JP5051183B2 - Power module - Google Patents
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Description
本発明は産業・民生機器のモータ制御などに使用されるパワーモジュールに関する。 The present invention relates to a power module used for motor control of industrial / consumer equipment.
装置の省エネルギー化の観点から産業・民生機器のモータ制御にはインバータが多く用いられる。インバータとして用いられるパワーモジュールは高電圧、大電流を取り扱うため、耐圧、放熱性、絶縁性能などが考慮されて製造される。そしてパワーモジュールは、例えば図14に示すようにモールド樹脂200によりパッケージされ、モールド樹脂200からリードフレーム202が取り出される構成を有することが多い。リードフレーム202はモールド樹脂200内に配置されたIGBTなどのパワーデバイスと外部を電気的に接続するものである。
From the viewpoint of energy saving of equipment, inverters are often used for motor control of industrial and consumer equipment. Since power modules used as inverters handle high voltages and large currents, they are manufactured in consideration of withstand voltage, heat dissipation, insulation performance, and the like. For example, as shown in FIG. 14, the power module is often packaged with a
モールド樹脂内部に配置される回路構成を回路図で表せば図15に示すハーフブリッジ回路204、図16に示すフルブリッジ回路206、図17に示す三相ブリッジ回路208などが例示できる。これらは整流コンバータ平滑後の電源入力端子であるP電極およびN電極を備え、それぞれ、U相、U、V相、U、V、W相を取り出すものである。
If the circuit configuration arranged inside the mold resin is represented by a circuit diagram, a half-
そして、樹脂モールドによるパッケージは、安価で生産性に優れ、大量生産が容易という特徴から、パワーモジュールその他半導体装置のパッケージとして広く用いられている。特許文献1にはフォトカプラのパッケージ技術、特許文献2には複数モジュールを同時に製造し、パッケージの切断により個別のモジュール(半導体装置)に分割する技術が開示されている。 A package using a resin mold is widely used as a package for power modules and other semiconductor devices because it is inexpensive, excellent in productivity, and easily mass-produced. Patent Document 1 discloses a photocoupler packaging technique, and Patent Document 2 discloses a technique in which a plurality of modules are simultaneously manufactured and divided into individual modules (semiconductor devices) by cutting the package.
例えば上述したハーフブリッジ回路、フルブリッジ回路、三相ブリッジ回路を搭載したパワーモジュールを個別に製作しようとすると、それぞれに対応するトランスファーモールド用金型を使用する必要がある。よってモジュール毎に金型を要するため低コスト化が阻害される問題があった。 For example, if a power module equipped with the above-described half-bridge circuit, full-bridge circuit, and three-phase bridge circuit is to be individually manufactured, it is necessary to use transfer molds corresponding to the power modules. Therefore, since a mold is required for each module, there is a problem that cost reduction is hindered.
ここで、特許文献2のようにパッケージの切断により個別のモジュールに分割する方法によれば複数モジュール間で金型を共用化しうる。しかしながらモールド樹脂で構成されるパッケージを分割する際に強い力を要する結果、分割すべき部分以外の部分に強い応力が及び得る。また、意図しない部分でパッケージの割れが生じ得る。これらの結果、歩留りが低減する問題があった。 Here, according to the method of dividing into individual modules by cutting a package as in Patent Document 2, a mold can be shared among a plurality of modules. However, when a package composed of mold resin is divided, a strong force is required. As a result, a strong stress can be applied to portions other than the portion to be divided. Further, the package may be broken at an unintended portion. As a result, there is a problem that the yield is reduced.
また、前述のハーフブリッジ回路(以後、最小回路という)を実質的に2個有するフルブリッジ回路、同回路を実質的に3個有する三相ブリッジ回路などではパッケージ内で最小回路間の接続を行うと配線を簡略化でき、全体として小型化し得る。ところが特許文献2に開示のモジュールでは最小回路間を接続するにしてもパッケージ外部で行う必要があり配線簡略化、小型化ができない問題があった。 Further, in the above-described full bridge circuit having substantially two half-bridge circuits (hereinafter referred to as a minimum circuit) and a three-phase bridge circuit having substantially three half-bridge circuits, the minimum circuits are connected in a package. Wiring can be simplified and the overall size can be reduced. However, in the module disclosed in Patent Document 2, there is a problem that even if the minimum circuits are connected, it is necessary to carry out the outside of the package and the wiring cannot be simplified or downsized.
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、低コスト、高歩留りでパワーモジュールを製造でき、配線簡略化、小型化ができるパワーモジュールを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a power module that can manufacture a power module at a low cost and a high yield, and that can simplify wiring and can be miniaturized.
本願の発明にかかるパワーモジュールは、第1半導体素子と、該第1半導体素子を搭載または該第1半導体素子とワイヤ接続された第1リードフレームと、第2半導体素子と、該第2半導体素子を搭載または該第2半導体素子とワイヤ接続された第2リードフレームと、該第1リードフレームと該第2リードフレームを接続する共通リードフレームと、該第1半導体素子、該第1リードフレーム、該第2半導体素子、該第2リードフレーム、及び該共通リードフレームを、該第1リードフレームと該第2リードフレームの一方又は両方の一部を外部に露出させるように一体的に覆うモールド体とを備え、該モールド体の一部であって、該第1半導体素子および該第1リードフレームと、該第2半導体素子および該第2リードフレームとの間の部分には他の部分よりも厚さが薄い強度低減部が形成され、該強度低減部の一部には貫通孔又は溝が形成されたことを特徴とする。 A power module according to the present invention includes a first semiconductor element, a first lead frame on which the first semiconductor element is mounted or wire-connected to the first semiconductor element, a second semiconductor element, and the second semiconductor element. A second lead frame mounted or wire-connected to the second semiconductor element, a common lead frame connecting the first lead frame and the second lead frame, the first semiconductor element, the first lead frame, A mold body that integrally covers the second semiconductor element, the second lead frame , and the common lead frame so as to expose a part of one or both of the first lead frame and the second lead frame to the outside. A part of the mold body between the first semiconductor element and the first lead frame, and the second semiconductor element and the second lead frame. Min reduced strength portion is thinner than other portions is formed on, for some said intensity reduction unit, characterized in that the through-holes or grooves are formed.
本願の発明にかかる他のパワーモジュールは、第1半導体素子と、該第1半導体素子を搭載または該第1半導体素子とワイヤ接続された第1リードフレームと、第2半導体素子と、該第2半導体素子を搭載または該第2半導体素子とワイヤ接続された第2リードフレームと、該第1リードフレームと該第2リードフレームを接続する共通リードフレームと、該第1半導体素子、該第1リードフレーム、該第2半導体素子、該第2リードフレーム、及び該共通リードフレームを、該第1リードフレームと該第2リードフレームの一方又は両方の一部を外部に露出させるように一体的に覆うモールド体とを備え、該モールド体の一部であって、該第1半導体素子および該第1リードフレームと、該第2半導体素子および該第2リードフレームとの間の部分には他の部分よりも厚さが薄い強度低減部が形成されたことを特徴とする。
Another power module according to the present invention includes a first semiconductor element, a first lead frame on which the first semiconductor element is mounted or wire-connected to the first semiconductor element, a second semiconductor element, and the second semiconductor element. A second lead frame having a semiconductor element mounted thereon or wire-connected to the second semiconductor element; a common lead frame connecting the first lead frame and the second lead frame; the first semiconductor element; the first lead; The frame, the second semiconductor element, the second lead frame, and the common lead frame are integrally covered so that a part of one or both of the first lead frame and the second lead frame is exposed to the outside. and a mold body, a part of the mold body, and the first semiconductor element and the first lead frame, the second semiconductor element and the second lead frame The portion wherein the reduced strength portion is thinner than other portions is formed.
本発明により、低コスト、高歩留りでパワーモジュールを製造でき、配線簡略化、小型化もできる。 According to the present invention, a power module can be manufactured with low cost and high yield, and wiring can be simplified and downsized.
実施の形態1
本実施形態は図1−7を参照して説明する。なお、同一材料または同一、対応する構成要素には同一の符号を付して複数回の説明を省略する場合がある。他の実施形態でも同様である。
Embodiment 1
This embodiment will be described with reference to FIGS. In some cases, the same material or the same and corresponding components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted a plurality of times. The same applies to other embodiments.
図1はパワーモジュール10の平面図である。本実施形態のパワーモジュールは第1回路部12、第2回路部14、第3回路部16を備える。これらはそれぞれ前述の最小回路を構成するものである。すなわち本実施形態のパワーモジュール10は三相ブリッジ回路を構成するものである。第1回路部12、第2回路部14、第3回路部16はモールド体40で一体的に覆われる。モールド体40はパワーモジュール10のパッケージをなすものであり、典型的にはモールド樹脂で形成されるが特に限定されない。ここで、説明の便宜上図1においてモールド体40は破線で示されている。
FIG. 1 is a plan view of the
最小回路をなす第1回路部12の構成について説明する。IGBT18のコレクタ電極およびFWDi20のカソードが第3リードフレーム30にはんだ付けなどにより接続される。IGBT18のゲート電極はAlワイヤ36で第1リードフレーム26と接続される。IGBT18のエミッタ電極もFWDi20のアノードを介して第2リードフレーム28と接続される。ここで、第1リードフレーム26はN側ゲート駆動回路と接続されることを予定し、第2リードフレーム28はN側電極と接続されることを予定し、第3リードフレーム30は出力であり負荷と接続されることを予定するものである。
The configuration of the
第1回路部12はさらにIGBT22とFWDi24を備える。IGBT22のコレクタ電極とFWDi24のカソードは第5リードフレーム34にはんだ付けなどにより接続される。IGBT22のゲート電極はAlワイヤ36で第4リードフレーム32と接続される。IGBT22のエミッタ電極もFWDi24のアノードを介して第3リードフレーム30と接続される。ここで、第4リードフレーム32はP側ゲート駆動回路と接続されることを予定し、第5リードフレーム34はP側電極と接続されることを予定するものである。第2回路部14、第3回路部16も第1回路部12と同様の構成を備える。ここで、リードフレームはCu系材料、Fe系材料、その他合金などで構成され、ワイヤボンディングによる接続抵抗を考慮して必要に応じてAu、Agメッキなどが施されるが、材料やメッキの種類、有無について特に限定されない。Alワイヤ36についても特にAlに限定されず適宜材料選択が行われる。
The
第1リードフレーム26、第2リードフレーム28、第3リードフレーム30、第4リードフレーム32、第5リードフレーム34の一部はモールド体40から外部に露出する。第2回路部14、第3回路部16の相当部分も同様である。
A part of the
次いで、本実施形態のモールド体40の構成について説明する。モールド体40は第1回路部12と第2回路部14の間に両者を接続する第1強度低減部13を備える。同様に第2回路部14と第3回路部16の間に両者を接続する第2強度低減部15を備える。第1強度低減部13、第2強度低減部15は他の部分よりも薄く形成され、強度が弱い部分であり、分割可能な領域である。
Next, the configuration of the
第1強度低減部13、第2強度低減部15について、図1の正面図であってモールド体40のみを記載した図である図2を参照して説明する。図2に記載されるとおり、第1強度低減部13、第2強度低減部15はほかの部分よりも薄く形成される。
The first
図3は図1の側面図であってモールド体40の内部も表した図である。第1リードフレーム26はエポキシ樹脂などの絶縁体58を介してAlヒートシンク56に搭載される。これによりモールド体40内部の放熱性を高めることができる。
FIG. 3 is a side view of FIG. 1 and also shows the inside of the
本実施形態の構成によれば第1強度低減部13および第2強度低減部15においてモールド体40を分割可能である。よって例えばハーフブリッジ回路を備えるパワーモジュールを要する場合は第1強度低減部13と第2強度低減部15両方で分割を行うことで3個のパワーモジュールを得ることができる。またハーフブリッジ回路を備えるパワーモジュールとフルブリッジ回路を備えるパワーモジュールを要する場合は第1強度低減部13か第2強度低減部15のいずれか一方の分割を行うことでそれらを得ることができる。よってパワーモジュールのタイプごとに金型を準備する必要がなく、金型を共用化できるため、製造コストを低減できる。
According to the configuration of the present embodiment, the
例えばフルブリッジ回路を構成する場合はモールド体40外部のPCB(プリント基板)上において第2リードフレーム28同士、第5リードフレーム34同士を接続することが必要である。
For example, when configuring a full bridge circuit, it is necessary to connect the second lead frames 28 and the fifth lead frames 34 on a PCB (printed circuit board) outside the
図4のように最小回路を6個備えるパワーモジュールであっても同様に無駄のないパワーモジュールの製造が可能である。すなわち三相ブリッジ回路を備えるパワーモジュールを製造する場合は図4の矢印Aにおいて分割を行い、フルブリッジ回路を備えるパワーモジュールを製造する場合は矢印Bにおいて分割を行い、ハーフブリッジ回路を備えるパワーモジュールを製造する場合は矢印Cにおいて分割を行う。同様に6の倍数だけ最小回路を備えるようにパワーモジュールを構成しておくと無駄なく、一度のモールド工程でスループット良くパワーモジュールを製造できる。 Even in the case of a power module having six minimum circuits as shown in FIG. 4, it is possible to manufacture a power module without waste. That is, when a power module having a three-phase bridge circuit is manufactured, division is performed at arrow A in FIG. 4, and when a power module having a full bridge circuit is manufactured, division is performed at arrow B, and a power module having a half bridge circuit is provided. Is produced at arrow C. Similarly, if the power module is configured so as to have the minimum circuit by a multiple of 6, the power module can be manufactured with a high throughput in a single molding process without waste.
図5−7はモールド体(パッケージ)の分割を容易化するパワーモジュールについて説明する図である。図5は平面図であり、最小回路を構成する第1回路部72、第2回路部74が記載されている。第1回路部72、第2回路部74の間には両者を接続する強度低減部76を備える。強度低減部76はモールド体の一部であってほかの部分より薄く形成され、かつ一部に貫通孔78を備える。貫通孔78は強度低減部76に沿って形成される。図6は図5の正面図であり、貫通孔78は破線で示されている。なお、図5は図1と異なり、モールド体のみ表すものであり、その内部は記載していない。
FIGS. 5-7 is a figure explaining the power module which makes easy the division | segmentation of a mold body (package). FIG. 5 is a plan view showing the
このように強度低減部76に貫通孔78を設けることで、モールド体を分割する際に強い力を要しない。よって分割すべき部分以外の部分に強い応力が及ばない。貫通孔78が分割の起点となってガイド役を果たすため、意図しない部分でモールド体の割れが生じ得ることがない。よって、歩留りを高めることができる。
By providing the through
上述のとおり、強度低減部において分割することなしに複数の最小回路を備えたパワーモジュールが製造される場合もある。そのような場合に図5、6のように貫通孔を形成してしまうとモールド体の強度が不十分であることが考えられる。このような場合を考慮して、強度低減部に貫通孔ではなく溝を備える構成としてもよい。例えば図5における貫通孔78を溝に置き換えた構成とすると必要な強度を保ち得る。図7は溝82を備えるパワーモジュール80を示す図である。溝82は破線で描かれている。
As described above, a power module including a plurality of minimum circuits may be manufactured without being divided in the strength reduction unit. In such a case, if a through hole is formed as shown in FIGS. 5 and 6, it is considered that the strength of the mold body is insufficient. In consideration of such a case, the strength reducing portion may be provided with a groove instead of the through hole. For example, if the through
最小回路の数は2以上である限りにおいて特にその数は限定されない。最小回路の数が2以上であれば最小回路間に強度低減部を備え本発明の効果を得ることができる。また最小回路の構成はIGBT、FWDiに加えてゲートドライブ回路や制御用ICを含んでいても良い。また、IGBT、FWDiではなくほかのパワーデバイスであってもよい。その他本発明の特徴を失わない範囲で変形をなし得る。 The number is not particularly limited as long as the number of minimum circuits is 2 or more. If the number of the minimum circuits is two or more, the strength reduction part is provided between the minimum circuits, and the effect of the present invention can be obtained. The minimum circuit configuration may include a gate drive circuit and a control IC in addition to the IGBT and FWDi. In addition, other power devices may be used instead of IGBT and FWDi. Other modifications can be made without losing the characteristics of the present invention.
実施の形態2
本実施形態は図8−13を参照して説明する。本実施形態のパワーモジュールは異なる最小回路間をモールド体内部で接続する共通リードフレームを備える。図8に記載の通り、本実施形態の共通リードフレーム100は第1回路部12の第5リードフレーム34、第2回路部14の第5リードフレーム102、第3回路部16の第5リードフレーム104のすべてとモールド体40内部において接続される。
Embodiment 2
This embodiment will be described with reference to FIGS. The power module of this embodiment includes a common lead frame that connects different minimum circuits within the mold body. As shown in FIG. 8, the
本実施形態のようにパワーモジュールが三相ブリッジ回路を構成する場合、それぞれの最小回路が備える第5リードフレーム34、102、104はP側電極と接続されることを予定するものである。 When the power module constitutes a three-phase bridge circuit as in the present embodiment, the fifth lead frames 34, 102, and 104 included in each minimum circuit are expected to be connected to the P-side electrode.
本実施形態の構成によれば第5リードフレーム34、102、104がモールド体40内部において共通リードフレーム100により接続されているため、モールド体40外部のPCB(プリント基板)上において第5リードフレーム34、102、104間を接続することを要しない。よってPCB上の配線を簡略化でき、装置全体として小型化が可能となる。
According to the configuration of the present embodiment, the fifth lead frames 34, 102, and 104 are connected by the
また、第5リードフレーム34、102、104が共通リードフレーム100により接続されているため、これらのリードフレームの少なくとも一がモールド体40の外部に露出し接続が行われれば足りる。従って、これらのリードフレームのうちモールド体外部に露出する部分であって、その部分で接続が行われないものについては切断してもよい。なお、図8においてはそのような切断が行われずすべての第5リードフレームがモールド体40の外部に露出する構成が示されている。
Further, since the fifth lead frames 34, 102, and 104 are connected by the
ここで、第1強度低減部13および第2強度低減部15は共通リードフレーム100を横断するように、他の部分より薄く形成されるため、分割が容易化し実施形態1相当の効果を得ることができる。さらに、モールド体40の一部であって第1強度低減部13または第2強度低減部15に貫通孔や溝を設けることもでき、実施形態1と同様の効果を得ることができる。
Here, since the first
共通リードフレーム100を用いることにより分割の難化が考えられる場合には共通リードフレーム100に貫通孔や溝を設けるとよい。すなわち、図9に記載のように第1強度低減部13における共通リードフレーム100の一部に貫通孔110を設けると分割の際に「強い力を要する」ことや「意図しない部分でのパッケージ割れ」を抑制し歩留りを高めることができる。図10には図9の円枠内とその近傍の正面図を示す。
When it is possible to make division difficult by using the
同様に第1強度低減部13における共通リードフレーム100の一部に溝を設けても良い。図10に相当する領域における溝の形状の例は図11に溝112として示す。溝を設ける意義は実施形態1と同様であるから省略する。
Similarly, a groove may be provided in a part of the
共通リードフレーム100に貫通孔や溝を設けた場合にはその部分で電気抵抗が高まり、パワーモジュールの特性に影響することが考えられる。そこで、図12に記載のように第1強度低減部13において共通リードフレーム120の幅を太くすることで、その他の直線部分と同等の抵抗となるようにしてもよい。これによりパワーモジュールの特性への影響を回避できる。図13には図12の円枠内とその近傍の正面図を示す。なお、溝122に代えて貫通孔を設けてもよい。
When a through hole or a groove is provided in the
本実施形態では共通リードフレームの材料は第1リードフレーム26などの他のリードフレームと同一材料とする。これにより共通リードフレームと他のリードフレームについて同一の素材(単版)から同時に形成できるため製造を容易化できる。共通リードフレーム、その他のリードフレームの形成にはパンチング、エッチングなどが用いられる。しかしながら、パッケージの分割を行い、所望の回路を備えるパワーモジュールを製造することを考慮すれば、共通リードフレームの材料を他のリードフレームの材料よりも分割容易なものとしておくことも有効である。その他少なくとも実施形態1相当の変形が可能である。
In this embodiment, the material of the common lead frame is the same as that of other lead frames such as the
10 パワーモジュール、 12 第1回路部、 13 第1強度低減部、 26 第1リードフレーム、 40 モールド体、 78 貫通孔、 82 溝、 100 共通リードフレーム
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記第1半導体素子を搭載または前記第1半導体素子とワイヤ接続された第1リードフレームと、
第2半導体素子と、
前記第2半導体素子を搭載または前記第2半導体素子とワイヤ接続された第2リードフレームと、
前記第1リードフレームと前記第2リードフレームを接続する共通リードフレームと、
前記第1半導体素子、前記第1リードフレーム、前記第2半導体素子、前記第2リードフレーム、及び前記共通リードフレームを、前記第1リードフレームと前記第2リードフレームの一方又は両方の一部を外部に露出させるように一体的に覆うモールド体とを備え、
前記モールド体の一部であって、前記第1半導体素子および前記第1リードフレームと、前記第2半導体素子および前記第2リードフレームとの間の部分には他の部分よりも厚さが薄い強度低減部が形成され、
前記強度低減部の一部には貫通孔又は溝が形成されたことを特徴とするパワーモジュール。 A first semiconductor element;
A first lead frame on which the first semiconductor element is mounted or wire-connected to the first semiconductor element;
A second semiconductor element;
A second lead frame on which the second semiconductor element is mounted or wire-connected to the second semiconductor element;
A common lead frame connecting the first lead frame and the second lead frame;
The first semiconductor element, the first lead frame, the second semiconductor element, the second lead frame , and the common lead frame may be a part of one or both of the first lead frame and the second lead frame. And a mold body that is integrally covered so as to be exposed to the outside,
A part of the mold body between the first semiconductor element and the first lead frame and the second semiconductor element and the second lead frame is thinner than the other part. Strength reduction part is formed,
A power module, wherein a through hole or a groove is formed in a part of the strength reducing portion.
前記第1半導体素子を搭載または前記第1半導体素子とワイヤ接続された第1リードフレームと、 A first lead frame on which the first semiconductor element is mounted or wire-connected to the first semiconductor element;
第2半導体素子と、 A second semiconductor element;
前記第2半導体素子を搭載または前記第2半導体素子とワイヤ接続された第2リードフレームと、 A second lead frame on which the second semiconductor element is mounted or wire-connected to the second semiconductor element;
前記第1リードフレームと前記第2リードフレームを接続する共通リードフレームと、 A common lead frame connecting the first lead frame and the second lead frame;
前記第1半導体素子、前記第1リードフレーム、前記第2半導体素子、前記第2リードフレーム、及び前記共通リードフレームを、前記第1リードフレームと前記第2リードフレームの一方又は両方の一部を外部に露出させるように一体的に覆うモールド体とを備え、 The first semiconductor element, the first lead frame, the second semiconductor element, the second lead frame, and the common lead frame may be a part of one or both of the first lead frame and the second lead frame. And a mold body that is integrally covered so as to be exposed to the outside,
前記モールド体の一部であって、前記第1半導体素子および前記第1リードフレームと、前記第2半導体素子および前記第2リードフレームとの間の部分には他の部分よりも厚さが薄い強度低減部が形成されたことを特徴とするパワーモジュール。 A part of the mold body between the first semiconductor element and the first lead frame and the second semiconductor element and the second lead frame is thinner than the other part. A power module in which a strength reducing portion is formed.
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