JP5011799B2 - Optical encoder - Google Patents
Optical encoder Download PDFInfo
- Publication number
- JP5011799B2 JP5011799B2 JP2006107432A JP2006107432A JP5011799B2 JP 5011799 B2 JP5011799 B2 JP 5011799B2 JP 2006107432 A JP2006107432 A JP 2006107432A JP 2006107432 A JP2006107432 A JP 2006107432A JP 5011799 B2 JP5011799 B2 JP 5011799B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- scale
- reflective
- infrared
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明は光源と反射部材と受光素子とを備えた光学式エンコーダに関するものである。例えば、サーボモータの回転軸、リニアモータの駆動部分に結合されて使用されるものである。 The present invention relates to an optical encoder including a light source, a reflecting member, and a light receiving element. For example, it is used by being coupled to a rotating shaft of a servo motor and a driving portion of a linear motor.
従来、光学式エンコーダに用いられる反射部材は、ガラス、樹脂材等の表面にアルミ、クロムなどの金属膜を蒸着することで、紫外光〜可視光〜赤外光といった広い波長範囲にわたって高い反射率を有している。反射部材を用いた光学式エンコーダの開示例としては、例えば、特許文献1、特許文献2がある。特許文献1、特許文献2ともに凹面鏡を光源からの光線を平行光線化するコリメートレンズとして用いている。特許文献1では凹面鏡の材質はアルミであり、特許文献2では凹面鏡の反射膜材質に関する記述は無く、これは上述のアルミなどの金属膜を蒸着した反射部材を用いることが一般常識的として存在していることを意味している。
Conventionally, reflecting members used in optical encoders have a high reflectance over a wide wavelength range from ultraviolet light to visible light to infrared light by depositing a metal film such as aluminum or chromium on the surface of glass, resin material, etc. have. As an example of disclosure of an optical encoder using a reflecting member, there are, for example,
また、光学式エンコーダのコード板としては、大別して透過式と反射式の2種類が一般に良く知られている。透過式コード板は、ガラス、光学樹脂などの透明部材の上にクロムなどの金属を蒸着した非透過部と蒸着が施されていない透過部から構成されている。光源から出射された光線をコード板に照射し、コード板によって符号化された透過光を受光素子にて検出するものである。特に、高い精度が要求される光学式エンコーダの透過式コード板には、クロムを蒸着し、エッチングによってパターン形成されたものが一般的に知られている。 In addition, as a code plate for an optical encoder, two types, a transmission type and a reflection type, are generally well known. The transmission type code plate is composed of a non-transmission portion obtained by vapor-depositing a metal such as chromium on a transparent member such as glass or optical resin, and a non-evaporation transmission portion. A light beam emitted from a light source is applied to a code plate, and transmitted light encoded by the code plate is detected by a light receiving element. In particular, a transmission code plate of an optical encoder that requires high accuracy is generally known in which chromium is vapor-deposited and patterned by etching.
一方、反射式コード板はガラス、樹脂材の上にクロムなどの金属膜を蒸着した反射部と光線を透過または吸収させる非反射部とから構成される。光源から出射された光線をコード板に照射し、コード板によって符号化された反射光を受光素子にて検出するものである。反射式コード板を用いた光学式エンコーダの開示例としては、例えば特許文献3がある。LED(Light Emitting Diode)光源から出射された光線をスケール円板上に設けられたインクリメンタルパターンおよびアブソリュートパターンに照射し、その反射光を受光素子アレイにて検出する構成となっている。特許文献3の実施の形態によれば、スケール円板の表面にクロム等を蒸着することにより反射パターンを形成している。他にも反射式コード板を用いた光学式エンコーダは広く存在するが、反射パターンはクロム等の金属膜を蒸着または金属板そのものにスリット穴を開けて反射パターンを形成することが常識となって知られている。
On the other hand, the reflective code plate is composed of a reflective part in which a metal film such as chromium is deposited on glass or a resin material and a non-reflective part that transmits or absorbs light. A light beam emitted from a light source is irradiated onto a code plate, and reflected light encoded by the code plate is detected by a light receiving element. As an example of disclosure of an optical encoder using a reflective code plate, there is
また、光学式エンコーダの信号検出用に用いられる光源としては、主として赤外LEDやLD(laser Diode)が用いられ、それに応じて信号検出用受光素子としては、800〜1000nm領域付近の波長である赤外光に対して高い感度を有するものが使用されている。 In addition, as a light source used for signal detection of the optical encoder, an infrared LED or LD (laser diode) is mainly used, and accordingly, a light receiving element for signal detection has a wavelength in the vicinity of the 800 to 1000 nm region. Those having high sensitivity to infrared light are used.
従来のエンコーダに用いられている金属膜を蒸着した反射部材は、エンコーダの信号検出に必要な赤外光に対して高い反射率を有するが、エンコーダの信号検出に特に必要ない可視光に対しても高い反射率を有する。そのため、反射膜を蒸着する基材に不透明な材質を用いた場合は勿論のこと、ガラス、光学樹脂などの透明な材料を基材に用いた場合であっても表面の金属膜が存在することによって反射面は不透明となり、反射部材の裏面や反射部材の奥側にある部材を目視で確認することは出来ない。金属蒸着膜の反射部材を光学式エンコーダに用いた場合には、反射面(金属蒸着面)が目視の妨げとなり、反射部材の奥にある部材が見えないため、特に高い精度が要求される光学式エンコーダの組付けを容易に行うことが出来ず、組立てに時間がかかるという課題があった。 Reflective members deposited with a metal film used in conventional encoders have high reflectivity for infrared light necessary for encoder signal detection, but for visible light that is not particularly necessary for encoder signal detection. Also have a high reflectivity. Therefore, the surface metal film exists even when an opaque material is used for the base material on which the reflective film is deposited, and even when a transparent material such as glass or optical resin is used for the base material. As a result, the reflecting surface becomes opaque, and the back surface of the reflecting member and the members on the back side of the reflecting member cannot be visually confirmed. When a reflective member with a metal vapor deposition film is used for an optical encoder, the reflective surface (metal vapor deposition surface) hinders visual observation, and the member behind the reflective member cannot be seen. There was a problem that assembly of the encoder could not be easily performed, and it took time to assemble.
この発明に係る光学式エンコーダは、赤外光線を発する光源と、光源からの赤外光線を反射し可視光線および紫外光線のいずれか一方を少なくとも透過する反射部材と、反射部材に反射された赤外光線が照射される透過式コード板と、透過式コード板を透過した赤外光線を受光する受光素子とを備えたことを特徴とするものである。 Red optical encoder according to the present invention comprises a light source for emitting infrared light, a reflecting member for transmitting therethrough at least one of the reflected visible light and ultraviolet light and infrared light from the light source, reflected by the reflecting member It is characterized by comprising a transmissive code plate irradiated with external light rays and a light receiving element for receiving infrared light transmitted through the transmissive code plate .
この発明に係る光学式エンコーダは、赤外光線を発する光源と、光源からの赤外光線を反射し可視光線および紫外光線のいずれか一方を少なくとも透過する反射部材と、反射部材に反射された赤外光線が照射される透過式コード板と、透過式コード板を透過した赤外光線を受光する受光素子とを備えたので、光学式エンコーダの組付けを高い精度で容易に行うことができる。 Red optical encoder according to the present invention comprises a light source for emitting infrared light, a reflecting member for transmitting therethrough at least one of the reflected visible light and ultraviolet light and infrared light from the light source, reflected by the reflecting member Since the transmission type code plate irradiated with the external light beam and the light receiving element that receives the infrared ray transmitted through the transmission type code plate are provided, the optical encoder can be easily assembled with high accuracy.
実施の形態1.
図1は、実施の形態1による光学式エンコーダの概略構造を示す図である。光源である赤外LED1から出射された光線104は、モータ等の回転軸2上にミラー受け103を介して組付けられた反射部材を有する反射膜102を備えた凹面ミラー101にて反射される。反射された光線105は凹面ミラー101によってコリメートされて略平行光線となってスケール円板3のほぼ全周にわたって照射される。スケール円板3上には透過部と非透過部とからなるスリット6が設けられており、スケール円板3を透過した光線はスリット6によって符号化され、受光部4上に設けられた受光素子5にて検出される。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic structure of an optical encoder according to the first embodiment. A
一般に、光線は物体にあたった場合には、反射、吸収、透過の態様のいずれか、またはその組合せ(一定の割合による組合せ)を示すことになる。特に、実在の物体の場合には、その大半が反射、吸収、透過の組合せになっており、その割合が最も大きなものを捉えて、反射、吸収、透過と称している。この明細書中におていも、単に反射、透過、吸収と称している場合にも、他の態様を一切含むことを否定するものではなく、反射率、透過率、吸収率が最も高いものをそれぞれ反射、透過、吸収と称している。よって、単に反射、透過と称している場合にも、光線の一部を吸収されることを含むものであり、反射率または透過率が高いものを指している。このことは、明細書全文を通じて共通することである。 In general, when a light ray hits an object, it will show one of the reflection, absorption, and transmission modes, or a combination thereof (combination at a fixed ratio). In particular, in the case of real objects, most of them are a combination of reflection, absorption, and transmission, and the thing with the largest ratio is captured and referred to as reflection, absorption, and transmission. Even in this specification, even if it is simply referred to as reflection, transmission, absorption, it does not deny that other aspects are included, but the one with the highest reflectance, transmittance, and absorption rate. These are called reflection, transmission and absorption, respectively. Therefore, even when simply referred to as reflection or transmission, it includes absorption of a part of the light beam, and indicates that the reflectance or transmittance is high. This is common throughout the entire specification.
凹面ミラー101には、光学樹脂成型またはガラス切削によって形成された基材に誘電体多層膜等の物質が蒸着されている。この誘電体多層膜を蒸着することで、反射部材が形成される。凹面ミラー101は、光源の波長である赤外光に対しては高い反射率を有するが、可視光、紫外光の波長領域での反射率は低くなっている。
In the
誘電体多層膜としては、各種の誘電体膜の組合せが考えられるが、信号検出に必要な波長領域である光線を反射または吸収し、波長領域が信号検出に用いられない光線(信号検出に必要な波長領域以外の波長領域の光線)の全部または一部を透過する反射膜102となっている。すなわち、凹面ミラー101は、光線が赤外光である場合には反射または吸収し、光線が可視光または紫外光である場合には透過することになる。
A combination of various dielectric films can be considered as the dielectric multilayer film, but it reflects or absorbs light in the wavelength region necessary for signal detection, and the light whose wavelength region is not used for signal detection (required for signal detection The
本発明の反射部材について説明する。検出のための光源、受光素子のほかに反射部材を備えた光学式エンコーダにおいて、従来の金属膜を蒸着した反射部材の代わりに、誘電体多層膜等の物質を蒸着した反射部材を用いるのが本発明である。例えば、反射部材が、エンコーダの信号検出に必要な赤外光(800nmより長い波長)の光線に対しては、高い反射率(例えば70%以上)を有し、目視に必要な可視光は低い反射率(例えば50%以下)かつ高い透過率(例えば、10%以上)を有することで、ミラーの他の部材に対する相対位置が目視により判別しやすくなることで、精度の必要な組立て工程を簡略化することができるものである。 The reflecting member of the present invention will be described. In an optical encoder provided with a reflecting member in addition to a light source for detection and a light receiving element, a reflecting member deposited with a substance such as a dielectric multilayer film is used instead of the reflecting member deposited with a metal film. The present invention. For example, the reflecting member has a high reflectance (for example, 70% or more) for infrared light (wavelength longer than 800 nm) necessary for encoder signal detection, and the visible light necessary for visual inspection is low. By having high reflectivity (for example, 50% or less) and high transmittance (for example, 10% or more), the relative position of the mirror with respect to other members can be easily discerned visually, simplifying the assembly process that requires precision. It can be made.
ここで、赤外光に対して高い反射率を有すると述べたのは、主としてエンコーダに用いられる光源が赤外光であることによるものであり、実際には反射する波長領域は誘電体などの多層膜の膜厚を変えることによって自在に設計することが可能である。このため、赤外光に限らず、例えば波長700nmの光線は反射させるがそれ以外の光線を透過させるような反射部材を用いることもできる。また、可視光に対して高い透過率を有すると述べたが、CCD等の撮像素子を用いて撮像する場合には可視光に対して不透明であっても赤外光に対して透明であればカメラ映像を通じて目視観察することができる。つまり、エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線は反射させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域の光線は透過するような反射部材を用いれば本発明の目的は達せられる。 Here, the reason why it has a high reflectivity with respect to infrared light is mainly because the light source used for the encoder is infrared light, and the wavelength region to be reflected is actually a dielectric material or the like. It is possible to design freely by changing the film thickness of the multilayer film. For this reason, not only infrared light but also a reflecting member that reflects, for example, light having a wavelength of 700 nm but transmits other light can be used. In addition, it has been described that it has a high transmittance with respect to visible light, but when it is imaged using an imaging device such as a CCD, it is opaque to visible light but transparent to infrared light. Visual observation is possible through camera images. That is, the object of the present invention can be achieved by using a reflective member that reflects light in the wavelength region necessary for encoder signal detection and transmits light in the wavelength region necessary for visual observation including imaging by the image sensor.
具体的には、実施の形態1では、凹面ミラー101の反射部材は、信号検出に必要な波長領域の光線を反射し、信号検出に必要な波長領域以外の光線を透過することになる。凹面ミラー101では、赤外光である場合には反射し、可視光である場合には透過することになる。
Specifically, in the first embodiment, the reflecting member of the
このため、紫外光から可視光までの光線は凹面ミラー101を透過するため、凹面ミラー101上方から目視にてミラー受け103の上面が観察できる。ミラー受け103の上面にはアライメントのためのマーキングが施されている。凹面ミラー101を組付ける際には、凹面ミラー101を通してミラー受け103の上面のアライメントマークを観察することで、回転軸2の回転中心7上に凹面ミラー101の光軸中心がくるように、高い精度で容易に位置を調整することができる。
For this reason, since light rays from ultraviolet light to visible light pass through the
また、高精度な光学式エンコーダの光学部品は高精度に組付ける必要があるため、UV(Ultra Violet :紫外)光硬化式の接着剤106を用いた組付けを行う手法が有効である。UV光硬化式の接着剤106をミラー受け103の上部に塗布し、その上に凹面ミラー101を搭載して回転中心7上に凹面ミラー101の光軸中心がくるように位置を調整した後に、UV光を照射して接着剤106を硬化させて組付けを固定することによって、高い位置精度で容易に凹面ミラー101を組付けることができる。UV光硬化式の接着剤106を使用する場合には、凹面ミラー101は、赤外光である場合には反射し、光線が可視光および紫外光である場合には透過する反射部材になっている。
In addition, since it is necessary to assemble optical parts of a high-precision optical encoder with high precision, a method of assembling using a UV (Ultra Violet) ultraviolet
上記組付けの際には、反射膜として従来のように金属膜を用いた場合には、金属膜がUV光照射の妨げとなり、照射されない箇所すなわち未硬化部分が生じる、あるいは完全に硬化させるために必要な時間が透過レンズを用いた場合よりも多くかかることが懸念される。これに対して、反射部材または受光素子5の組付けに紫外光硬化式の接着剤を用いた場合には、反射膜102は可視光から紫外光までの波長の光を透過する性質を有するため、上記組付け方法を実施する際には、例えば凹面ミラーの上方107よりUV光を照射しても反射膜102による影が出来ないため効率よく照射することができる。このため、硬化時間の短縮による高効率化が可能となるとともに、未硬化部分が減少することによる信頼性の高い組付けを行うことができる。
When a metal film is used as a reflection film during the above assembly, the metal film hinders UV light irradiation, and a portion that is not irradiated, that is, an uncured portion is generated or is completely cured. There is a concern that it takes more time than the case where the transmission lens is used. In contrast, when an ultraviolet light curable adhesive is used for assembling the reflective member or the light receiving element 5, the
ここでは、光源に赤外LEDを使用し、反射膜102は赤外光に対して高い反射率を有しかつ紫外光から可視光までに対しては透過する反射部材を用いた構成について述べた。また、接着にはUV光を照射することにより硬化する接着剤を用いた構成に着いて述べた。しかしながら、構成はこれに限るものではなく、接着にあたっては、可視光を照射することにより硬化する接着剤を用いた場合であっても本発明の目的は達せられる。すなわち、エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線を反射させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域、または接着剤の硬化に必要な波長領域を透過するような反射部材を用いれば本発明の目的は達せられる。
Here, an infrared LED is used as a light source, and the
また、凹面ミラー101の用途も本実施の形態の構成に限るものではなく、光線を集光、発散、コリメート等の役割を持ったレンズとしての働きをする反射部材を用いた光学式エンコーダにおいても、反射部材または反射部材周辺の部材の位置調整が必要な光学式エンコーダ全般にわたって、組付けを高い精度で容易に行うことができるものである。
In addition, the use of the
実施の形態2.
図2は、実施の形態2による光学式エンコーダの概略構造を示す図であり、透過式スケール円板を用いた光学式ロータリーエンコーダの概略図である。光源である赤外LED1から出射された光線はスケール円板3に照射され、スケール円板3を透過した光線を受光部4上に設けられた受光素子5にて検出する。透過光を符号化するスケール円板3は、信号検出に必要な波長領域の光線である赤外光を透過する透過部201と遮断する非透過部202とから構成される。なお、図において、同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものであり、このことは明細書の全文において共通することである。また、明細書全文に表れている構成要素の形容は、あくまで例示であってこれらの記載に限定されるものではない。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic structure of the optical encoder according to the second embodiment, and is a schematic diagram of an optical rotary encoder using a transmission scale disk. The light beam emitted from the
スケール円板3は光学樹脂成型またはガラス材にて形成された円板状の基材上に非透過部202が誘電体多層膜等の物質を蒸着することにより形成されており、反射部材となる。非透過部202は赤外LED1の波長である赤外光に対しては高い反射率を有する。すなわち、信号検出に必要な光線は透過させずに遮断するが、可視光、紫外光の波長領域での反射率は低く、紫外光から可視光までの光線は透過する。このため、例えば図2の右方(受光部5のある側)からスケール円板3を通して目視にて光源の赤外LED1の位置が観察でき、逆に図2左方(光源1のある側)からスケール円板3を通して目視にて受光素子4の位置が観察できる。
The
また、一般にスケール円板を形成する際には、光線を透過させる必要のある箇所(いわゆるトラック部分)以外は余計な光線が受光素子に入射しないようにするため、ほぼ全面を非透過部とするのが通常である。このため、従来のクロム蒸着等を施したスケール円板では、例えば受光素子側から目視にて観察する際にスケール円板の反対側にある部材(図2では光源1や回転軸2)の位置を確認することは出来ないが、本発明によるスケール円板3を適用した場合には、光源や回転軸2の位置が目視にて確認できるため、回転軸2に対するスケール円板3の相対位置およびスケール円板3に対する光源1の位置を調整することが容易となり、組立て精度の向上や組立て時間の短縮が期待できる。
In general, when forming a scale disk, almost all the surface is made a non-transmission portion so that extra light rays are not incident on the light receiving element except for portions where light rays need to be transmitted (so-called track portions). It is normal. For this reason, in the conventional scale disk subjected to chromium deposition or the like, for example, when visually observing from the light receiving element side, the position of the member (
図3は、実施の形態2による光学式エンコーダの概略構造を示す図であり、樹脂成型により形成された回転軸との締結構造を備えたスケール円板の概略構成を示す図である。
図3(a)はスケール円板の上面図であり、図3(b)は図3(a)中の一点鎖線での断面図を示している。樹脂成型にてスケール円板3を作成する場合には、スケール円板3に回転軸2を差し込むような形で締結する構造を容易に作成することができる。スケール円板3に備えられた締結部204に対して回転軸2を組付ける際には、締結部204と回転軸2の隙間がない状態で回転軸を圧入して組付ける場合がある。しかしながら、高精度な光学式エンコーダの場合は回転軸2の回転中心7に対してスケール円板3が高精度に組付けられる必要があるため、締結部204と回転軸2との間に隙間を空けておき、スケール円板3の偏芯調整を行った後に、接着等の手段により固定する方法がしばしばとられる。
FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic structure of the optical encoder according to the second embodiment, and is a diagram illustrating a schematic configuration of a scale disk including a fastening structure with a rotation shaft formed by resin molding.
FIG. 3A is a top view of the scale disk, and FIG. 3B shows a cross-sectional view taken along the alternate long and short dash line in FIG. When creating the
この際に、接着剤としてUV光硬化式の接着剤を用いた組付けを行う手法が有効である。あらかじめUV光接着剤203を回転軸2もしくは締結部3の内側に塗布して回転軸2を締結部204に挿入し、スケール円板3を回転中心7に対して偏芯調整した後にUV光を照射して接着剤203を硬化させて組付けることによって、高い位置精度でスケール円板3を組付けることができる。
At this time, a method of assembling using a UV light curable adhesive as an adhesive is effective. The UV light adhesive 203 is applied in advance to the inside of the
組付けの際には、非透過部にクロム蒸着等の金属膜を用いた場合には、金属膜がUV光照射の妨げとなり、図3ではスケール円板3の上方から照射UV光を照射しても接着剤203に光線が照射されず、スケール円板3の側方より光線を照射する必要があるため、硬化させるのに時間がかかったり、照射されない箇所すなわち未硬化部分が生じたりすることが懸念される。
When assembling, if a metal film such as chromium vapor deposition is used for the non-transmission part, the metal film hinders the UV light irradiation. In FIG. 3, the irradiation UV light is irradiated from above the
これに対して、本発明の反射部材を適用することで、反射膜となる非透過部202は可視光から紫外光まで透過する性質を有するため、上記の組付け方法を実施する際には、例えばスケール円板3の上方よりUV光を照射しても反射膜202により遮蔽されないため光線が効率よく照射され硬化時間の短縮による高効率化が可能となるとともに、未硬化部分が減少する事による高信頼性組付が期待される。
On the other hand, by applying the reflective member of the present invention, the
また、本実施の形態における非透過部202として用いる反射部材は必ずしも高い反射率を有する必要は無く、エンコーダ検出に必要な波長領域に対して大きい吸収係数を持った部材を適用することもできる。これは蒸着をする誘電体多層膜の材質や膜厚を変える事により自在に設計可能であり、高い反射率もしくは大きい吸収係数を持つことにより光源からの光線に対して高い遮断性を有する。
In addition, the reflecting member used as the
本実施の形態では一例として光源に赤外LEDを使用し、非透過部202は赤外光に対して高い遮断性を有しかつ紫外光から可視光に対しては、透過する反射部材(または吸収部材)を用いた構成について述べたが、構成はこれに限るものではない。エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線は反射または吸収させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域、または接着剤の硬化に必要な波長領域を透過する様な反射部材(または吸収部材)を用いれば本発明の目的は達せられる。
In this embodiment, as an example, an infrared LED is used as a light source, and the
また、本発明の有効性は本実施の形態の構成に限るものではなく、上記目的を達成可能な様々な光学式ロータリーエンコーダに適用可能である。 The effectiveness of the present invention is not limited to the configuration of the present embodiment, and can be applied to various optical rotary encoders that can achieve the above object.
実施の形態3.
図4は、実施の形態3による光学式エンコーダの概略構造を示す図であり、透過式リニアスケールを用いた光学式リニアエンコーダの概略を示す斜視図である。光源である赤外LED1から出射された光線はリニアスケール300に照射され、リニアスケール300を透過した光線を受光部4上に設けられた受光素子5にて検出する。透過光を符号化するリニアスケール300は、赤外の光線を透過する透過部301と遮断する非透過部302とから構成される。なお、リニアスケール300は、図面上に示す左右の矢印の方向に移動することでスケールとしての役割を果たすものであり、透過式コード板になっている。図4ではスケールが移動する場合の構成について述べるが、光源と受光部とを一体とした光学ヘッドが移動するような構成についても本実施の形態は適用可能である。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic structure of the optical encoder according to the third embodiment, and is a perspective view showing an outline of the optical linear encoder using a transmission linear scale. A light beam emitted from the
リニアスケール300は光学樹脂成型またはガラス材にて形成された板状の基材上に、非透過部302となる誘電体多層膜等の物質を蒸着して形成することができる反射部材が形成されている。非透過部302は光源LED1の波長である赤外光に対しては高い反射率を有する。赤外の光線は透過させずに遮断するが、可視光や紫外光の波長領域での反射率は低く、紫外光から可視光までの光線は透過する。例えば、図4の手前側(光源1のある側)からスケール300を通して目視にて受光部4の位置が観察でき、逆に図4の奥側(受光部4のある側)からスケール300を通して目視にて光源の赤外LED1の位置が観察できる。
The
また、一般にリニアスケールを形成する際には、光線の透過させる必要のある箇所(いわゆるトラック部分)以外は余計な光線が受光素子に入射しないようにほぼ全面を非透過部とすることが多い。このため、従来のようにクロム蒸着等を施すのでは、リニアスケールを用いたエンコーダでは、例えば、受光素子側から目視にて観察する際にリニアスケールの反対側にある部材(図4では光源1)の位置を確認することは出来ない。これに対して、本発明によるリニアスケール300を適用した場合には、光源1の位置が目視にて確認でき、また、逆に光源1の側からリニアスケール300を通じて受光素子5の位置を確認できるため、リニア駆動部に対するリニアスケール300の相対位置およびリニアスケール300に対する受光素子5や光源1の位置調整が容易となり、組立て精度の向上や組立て時間の短縮を図ることができる。
In general, when a linear scale is formed, the entire surface is often made a non-transmissive portion so that extra light does not enter the light receiving element except for a portion where light rays need to be transmitted (so-called track portion). For this reason, in the case of performing chromium vapor deposition or the like as in the prior art, in an encoder using a linear scale, for example, when visually observing from the light receiving element side, a member on the opposite side of the linear scale (
また、リニアスケール300をガイドに組付ける際には、接着剤としてUV光硬化式の接着剤を用いた組付けを行う手法が有効である。この実施の形態の場合には、あらかじめUV光接着剤をガイドの接着箇所に塗布してリニアスケール300を配置し、リニアスケール300をリニアスケールまたは光学ヘッドの駆動方向に対して適正な位置に来るよう調整した後に、UV光を照射して接着剤を硬化させて組付けることによって、高い位置精度でリニアスケール300を組付けることができる。
Further, when assembling the
上記組付けの際には、非透過部302に金属膜を用いた場合には、金属膜がUV光照射の妨げとなり、照射されない箇所すなわち未硬化部分が生じたり、完全に硬化させるために必要な時間が透過レンズの場合よりも多くかかったりする。これに対して本発明の反射部材を用いることにより、非透過部302は可視光から紫外光までは透過する性質を有するため、上記組付け方法を実施する際にUV光を照射しても非透過部302による影が出来ないため、効率よく照射され硬化時間の短縮による高効率化が可能となるとともに、未硬化部分が減少することによる高信頼性組付けが期待できる。 When a metal film is used for the non-transmissive portion 302 in the above assembly, the metal film hinders UV light irradiation, and a portion that is not irradiated, that is, an uncured portion is generated or is necessary for complete curing. It takes more time than with a transmissive lens. On the other hand, by using the reflecting member of the present invention, the non-transmissive portion 302 has a property of transmitting from visible light to ultraviolet light. Since the shadow by the transmissive part 302 cannot be formed, it is possible to achieve high efficiency by efficiently irradiating and shortening the curing time, and high reliability assembly by reducing the uncured part can be expected.
また、本実施の形態における非透過部302として用いる反射部材は、必ずしも高い反射率を有する必要は無く、エンコーダ検出に必要な波長領域に対して大きい吸収係数を持った部材を適用することもできる。これは蒸着をする誘電体多層膜の材質や膜厚を変えることにより自在に設計可能であり、高い反射率もしくは大きい吸収係数を持つことにより光源1からの光線に対して高い遮断性を有することになる。
In addition, the reflecting member used as the non-transmissive portion 302 in the present embodiment does not necessarily have a high reflectance, and a member having a large absorption coefficient can be applied to the wavelength region necessary for encoder detection. . This can be freely designed by changing the material and film thickness of the dielectric multilayer film to be deposited, and has a high blocking property against the light from the
本実施の形態では一例として光源に赤外LED1を使用し、非透過部302は赤外光に対して高い遮断性を有しかつ紫外光から可視光までに対して透過する反射部材(または吸収部材)を用いた構成について述べたが、構成はこれに限るものではない。エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線を反射または吸収させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域、または接着剤の硬化に必要な波長領域を透過する様な反射部材(または吸収部材)を用いれば本発明の目的は達せられる。また、本発明の有効性は本実施の形態の構成に限るものではなく、上記目的を達成可能な様々な光学式リニアエンコーダに適用可能である。
In this embodiment, an
実施の形態4.
図5は、実施の形態4による光学式エンコーダの概略構造を示す図であり、反射式スケール円板を用いたロータリーエンコーダの概略を示す側面図である。光源である赤外LED1から出射された赤外の光線は反射式スケール円板400に照射され、スケール円板400で反射された光線を受光部4上に設けられた受光素子5にて検出する。反射光を符号化する反射式スケール円板400は、赤外の光線を反射する反射部402と赤外の光線を透過または吸収する非反射部401とから構成される。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 5 is a diagram showing a schematic structure of an optical encoder according to Embodiment 4, and is a side view showing an outline of a rotary encoder using a reflective scale disk. Infrared rays emitted from the
反射式スケール円板400は、光学樹脂成型またはガラス材にて形成された円板状の基材上に反射部材である反射部402が誘電体多層膜等の物質を蒸着することにより形成されている。樹脂成型により形成された回転軸2と締結構造を備えたスケール円板400である。反射部402は光源LED1の波長である赤外光に対しては高い反射率を有するが、可視光や紫外光の波長領域での反射率は低く、紫外光から可視光までの光線は透過するため、例えば、図5の上方(受光部4のある側)からスケール円板400を通して目視にて回転軸2の位置が観察でき、逆に図5の下方(回転軸2のある側)からスケール円板3を通して目視にて受光素子5の位置が観察できる。
The
また、一般にスケール円板を形成する際には、光線の反射させる必要のある箇所(いわゆるトラック部分)以外は余計な光線が受光素子に入射しないようにほぼ全面を非反射部(すなわち透過部または吸収部)とすることが多い。このため、非反射部を透過部とした場合であっても、従来のクロム蒸着等を施した反射式スケール円板では、例えば受光素子側から目視にて観察する際にはスケール円板の反対側にある部材(図5では回転軸2)の位置を確認することは出来ない。これに対して、本発明によるスケール円板400を適用した場合には、非反射部401を透過部とすることによって、回転軸2の位置が目視にて確認できるため、回転軸2に対するスケール円板400の相対位置調整が容易となり、組立て精度の向上や組立て時間の短縮を図ることができる。
In general, when a scale disk is formed, almost the entire surface other than a portion where a light beam needs to be reflected (a so-called track portion) is not reflected on the light receiving element (that is, a transmissive portion or a transparent portion). Absorbing part). For this reason, even when the non-reflective part is a transmissive part, the conventional reflective scale disk subjected to chromium vapor deposition or the like is opposite to the scale disk when visually observed from the light receiving element side, for example. The position of the member on the side (rotating
また、非反射部401にエンコーダ検出に必要な波長領域に対して大きい吸収係数を持ち、かつ紫外光から可視光までの光線を透過する部材を適用することもできる。これは非反射部に反射部とは異なる材質もしくは膜圧の誘電体多層膜で必要な波長領域に対して大きい吸収係数を持たせるように自在に設計された部材を適用する事により可能となる。よって非反射部を吸収部材とした場合にも本発明によるスケール円板を適用した場合には、回転軸2の位置が目視にて確認できるため、回転軸に対するスケール円板の相対位置調整が容易となり、組立て精度の向上や組立て時間の短縮を図ることができる。
In addition, a member that has a large absorption coefficient with respect to the wavelength region necessary for encoder detection and transmits light from ultraviolet light to visible light can be applied to the
また、図では樹脂成型により形成された回転軸2との締結構造を備えたスケール円板400の概略構成を示しているが、樹脂成型にてスケール円板400を作成する場合には、反射式スケール円板400に回転軸2を差し込むような形で締結する構造を容易に作成することができる。スケール円板400に備えられた締結部404に対して回転軸2を組付ける際には、締結部404と回転軸2との隙間がない状態で回転軸2を圧入して組付ける方法がある。しかしながら、高精度な光学式エンコーダの場合には回転軸2の回転中心7に対してスケール円板400を高精度に組付ける必要があるため、締結部404と回転軸2との間に隙間を空けておき、スケール円板400の偏芯調整を行った後に、接着等の手段により固定する方法がしばしばとられる。
Further, the drawing shows a schematic configuration of the
この時、接着剤としてUV光硬化式の接着剤を用いた組付けを行う手法が有効である。あらかじめUV光接着剤403を回転軸2もしくは締結部404の内側に塗布して回転軸2を締結部404に挿入し、スケール円板400を回転中心7に対して偏芯調整した後にUV光を照射して接着剤403を硬化させて組付けることによって、高い位置精度でスケール円板400を組付けることができる。
At this time, a method of assembling using a UV light curable adhesive as an adhesive is effective. The
上記組付けの際には、反射部402に金属膜を用いた場合や、非反射部401に従来の吸収材を適用した場合には、金属膜や吸収膜がUV光照射の妨げとなり、例えば、図5のスケール円板400の上方からUV光を照射しても接着剤403に光線が照射されなかったり、影ができるためスケール円板400の側方からUV光を照射する必要があったりして、硬化させるのに時間がかかったり照射されない箇所すなわち未硬化部分が生じやすかったりする。
In the case of the above assembly, when a metal film is used for the
これに対して本発明の反射部材を適用することによって、反射部材からなる反射部402及び非反射部401の吸収部材は、可視光から紫外光までの光は透過する性質を有するため、上記組付け方法を実施する際に、例えばスケール円板400の上方からUV光を照射しても反射膜や吸収膜により遮蔽されることなく、UV光が効率よく照射され硬化時間の短縮による高効率化が可能となるとともに、未硬化部分が減少することによって信頼性の高い組付をすることができる。
On the other hand, by applying the reflecting member of the present invention, the reflecting
本実施の形態では、一例として光源に赤外LED1を使用し、反射部402は赤外光に対して高い反射率(または吸収係数)を有し、かつ紫外光から可視光までの光に対して透過する反射部材または吸収部材を用いた構成について述べたが、構成はこれに限るものではない。エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線は反射させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域または接着剤の硬化に必要な波長領域を透過するような反射部材を用いれば本発明の目的は達せられる。
In this embodiment, as an example, the
また、本発明の有効性は本実施の形態のように光源1を回転軸2の軸線上に配置し、スケール円板400の全周に照射する構成の光学式ロータリーエンコーダに限るものではなく、例えば特許文献3のようにスケール円板400の一部分に光源1からの赤外の光線を照射する構成にも適用可能であり、上記目的を達成可能な様々な光学式ロータリーエンコーダにも同様に適用可能である。
The effectiveness of the present invention is not limited to the optical rotary encoder configured to irradiate the entire circumference of the
実施の形態5.
図6は、実施の形態5による光学式エンコーダの概略構造を示す図であり、反射式リニアスケールとインデックススケールとを用いた光学式リニアエンコーダの概略を示す側面図である。反射式リニアスケール503は赤外の光線の方向を変換する平板ミラーであり、インデックススケール500はインデックススリット板である。
Embodiment 5 FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a schematic structure of an optical encoder according to the fifth embodiment, and is a side view showing an outline of an optical linear encoder using a reflective linear scale and an index scale. The reflective
光源である赤外LED1から出射された光線はインデックススケール500に照射され、インデックススケール500を透過した光線は反射式リニアスケール503に照射される。反射式リニアスケール503を反射した光線は再度インデックススケール500を透過して受光部4上に設けられた受光素子5にて検出される。インデックススケール500は光源1からの光線を透過する透過部501と光線を反射もしくは吸収することによって遮断する非透過部502から構成される。また、反射光を符号化する反射式リニアスケール503は、光線を反射する反射部504と光線を透過もしくは吸収する非反射部505から構成される。
A light beam emitted from the
インデックススケール500は光学樹脂成型またはガラス材にて形成された板状の基材上に非透過部502が誘電体多層膜等の物質を蒸着することにより形成されている。この非透過部502が反射部材となる。非透過部502は光源LED1の波長である赤外光に対しては高い反射率を有する、すなわち赤外領域の光線を透過させずに遮断するが、可視光や紫外光の波長領域での反射率は低く、紫外光から可視光までの光線は透過するため、例えば図6の下側(反射式リニアスケール503のある側)からインデックススケール500を通して目視にて光源の赤外LED1や受光素子5の位置が観察でき、逆に図6の上側(光源1や受光素子5のある側)からスケール500を通して目視にて反射スケール503の位置が観察できる。なお、光学ヘッド506は図中の左右の矢印方向に移動する構成になっている。
The
特に、高精度が必要とされるリニアエンコーダにおいては、光源1、インデックススケール500、反射式リニアスケール503、受光素子5の相対位置が正確に組付けられる必要がある。このため光源1とインデックススケール500および受光部4を光学ヘッド506として一体に組付けることが多い。その際、非透過部に従来の金属膜を蒸着したインデックススケールを用いた場合には、インデックススケールの下方から目視にて光源や受光素子の位置が確認できないため、光学ヘッド506内のインデックススケールと光源または受光素子との位置調整が困難になる。これに対しして、本実施の形態によるインデックススケール500を用いること事によって光学ヘッド506内の光学部品の位置調整を容易かつ正確に実施することができる。なぜならば、非透過部502が可視光を透過する反射部材からできているからである。
In particular, in a linear encoder that requires high accuracy, the relative positions of the
また、インデックススケール500を光学ヘッド506に組付ける際には、接着剤としてUV光硬化式の接着剤を用いた組付けを行う手法が有効である。本実施の形態では、あらかじめUV光接着剤を光学ヘッド506内の接着箇所に塗布してインデックススケール500を配置し、インデックススケール500を光源1や受光素子5に対して適正な位置に来るよう調整した後にUV光を照射して接着剤を硬化させて組付けることによって、高い位置精度でインデックススケール500を光学ヘッド506に組付けることができる。
Further, when assembling the
上記組付けの際には、非透過部502にクロムなどの金属膜を用いた場合には、金属膜がUV光照射の妨げとなり、照射されない箇所すなわち未硬化部分が生じたり、接着剤が硬化するのに時間がかかったりすることになる。これに対して、本実施の形態のインデックススケール500を用いることによって、非透過部502は可視光から紫外光までは透過する性質を有するため、上記組付け方法を実施する際にUV光を照射しても非透過部502による影ができないため効率よく照射され、硬化時間の短縮による高効率化が可能となるとともに、未硬化部分が減少することによる信頼性の高い組付けをすることができる。
When a metal film such as chromium is used for the
また、本実施の形態における非透過部502として用いる反射部材は、必ずしも高い反射率を有する必要は無く、エンコーダ検出に必要な波長領域に対して大きい吸収係数を持った部材を適用することもできる。これは蒸着をする誘電体多層膜の材質や膜厚を変えることによって自在に設計可能であり、高い反射率または大きい吸収係数を持つことによって光源1からの光線に対して高い遮断性を有することになる。
Further, the reflecting member used as the
また、実施の形態4と同様、反射式リニアスケール503の反射部504に誘電体多層膜を蒸着した本発明の反射部材を用いることもできる。この場合には反射式リニアスケール503をガイドに取り付ける際にUV光硬化型の接着剤を用いて固定する場合に、これまでの説明と同様に組付けの高効率化、高信頼性化を図ることができる。
As in the fourth embodiment, the reflective member of the present invention in which a dielectric multilayer film is deposited on the
本実施の形態では一例として、光源に赤外LED1を使用し、インデックススケール500や反射式リニアスケール503の反射部504は赤外光に対して高い反射率(または吸収係数)を有し、かつ紫外光から可視光まだに対して透過する反射部材(または吸収部材)を用いた構成について述べたが、構成はこれに限るものではない。エンコーダ信号検出に必要な波長領域の光線を反射または吸収させ、撮像素子による撮影を含めた目視に必要な波長領域または接着剤の硬化に必要な波長領域を透過するような反射部材(または吸収部材)を用いれば本発明の目的は達せられる。
In this embodiment, as an example, the
本発明の有効性は本実施の形態のインデックススケール構成に限るものではなく、光学式ロータリーエンコーダや透過式リニアスケールを用いたリニアエンコーダに対しても適用可能であり、また、反射式リニアスケールについても上記目的を達成可能な様々な光学式リニアエンコーダに適用可能である。 The effectiveness of the present invention is not limited to the index scale configuration of the present embodiment, but can also be applied to a linear encoder using an optical rotary encoder or a transmission linear scale. The present invention can also be applied to various optical linear encoders that can achieve the above object.
実施の形態6.
図7は、実施の形態6による光学式エンコーダの概略構造を示す図である。光源である赤外LED1から出射された光線はモータの当て面603に対して組付けられたミラー面602を有するプリズム601にて反射され、反射された光線はスケール円板3に照射される。スケール円板3上には透過部と非透過部とからなるスリット6が設けられており、スケール円板3を透過した光線はスリット6によって符号化され、受光部4上に設けられた受光素子5にて検出される。よって、プリズム601は、平板ミラーを組み合わせることで赤外の光線の方向を変換している。
FIG. 7 is a diagram showing a schematic structure of an optical encoder according to the sixth embodiment. A light beam emitted from the
プリズム601は光学樹脂成型またはガラス切削によって形成された三角柱の基材に誘電体多層膜等の物質が蒸着されており、光源の波長である赤外光に対しては高い反射率を有するが、可視光や紫外光の波長領域での反射率は低く、紫外光から可視光までの光線は透過するため、プリズム601の上方(光源1のある側)から目視にてモータ当て面603が観察できる。モータ当て面603の上面にはアライメントのためのマーキングが施されており、プリズム601を組付ける際にはプリズム601を通してモータ当て面603上面のアライメントマークを観察して光源に正対するよう調整される。また、実施の形態1から5と同様、UV光を照射することによって硬化する接着剤を用いて組付けを実施する際にもUV光がミラー面602の影を作ることなく効率的に照射可能である。
The
一般にガラスや光学樹脂を用いた光学プリズムによるミラーは屈折率差による全反射条件にて光線を反射させる。透明部材で構成されているため、目視による組付けやUV光接着剤を用いた組付けが可能であるが、全反射条件以外の入射角の光線は反射しないため、自在な角度に光線を反射させることはできない。図7では入射角45度に光線が入射しているため、一般の光学プリズムを用い場合でも同様の効果が得られるが、光学系の必要性から深い角度の反射等が必要な場合には、全反射条件から外れる場合があり、その際には本発明の反射部材は特に有効である。すなわち、本発明のミラーをプリズム601に用いることで、目視による組付けやUV光接着剤を用いた組付けの容易さはそのままに、全反射条件以外の角度の光線を反射させることができる。
In general, a mirror made of an optical prism using glass or optical resin reflects light rays under a total reflection condition due to a difference in refractive index. Because it is made of transparent material, it can be assembled visually or with UV light adhesive, but it does not reflect light rays with angles other than the total reflection conditions, so it reflects light at any angle. I can't let you. In FIG. 7, since the light beam is incident at an incident angle of 45 degrees, the same effect can be obtained even when a general optical prism is used. However, when reflection at a deep angle is necessary due to the necessity of the optical system, In some cases, the reflective member of the present invention is particularly effective. That is, by using the mirror of the present invention for the
また、本発明の有効性は本実施の形態の構成に限られるものではなく、光線の方向を変換するための平板ミラーもしくは平板ミラーを組み合わせたプリズム状の反射部材を用いた光学式エンコーダにおいて、反射部材または反射部材周辺の部材の位置調整が必要な光学式エンコーダ全般にわたって有効なものである。 In addition, the effectiveness of the present invention is not limited to the configuration of the present embodiment, in an optical encoder using a prism-like reflecting member that combines a flat mirror or a flat mirror for converting the direction of the light beam, This is effective over all optical encoders that require adjustment of the position of the reflecting member or members around the reflecting member.
以上のように、全ての実施の形態に共通して、この発明に係る光学式エンコーダは、光線を発する光源と、信号検出に必要な波長領域の光線を反射し、信号検出に必要な波長領域以外の波長領域の光線の全部または一部を透過する反射部材と、光線を受光する受光素子とを備えたので、光学式エンコーダの組付けを高い精度で容易に行うことができる。 As described above, in common with all the embodiments, the optical encoder according to the present invention reflects a light source emitting a light beam and a light beam in a wavelength region necessary for signal detection, and a wavelength region necessary for signal detection. Since the reflection member that transmits all or part of the light beams in the other wavelength regions and the light receiving element that receives the light beams are provided, the assembly of the optical encoder can be easily performed with high accuracy.
また、この発明に係る光学式エンコーダは、光線を発する光源と、光線が赤外光である場合には反射し、光線が可視光および紫外光である場合には透過する反射部材と、光線を受光する受光素子とを備えたので、光学式エンコーダの組付けを高い精度で容易に行うことができる。 The optical encoder according to the present invention includes a light source that emits a light beam, a reflective member that reflects when the light beam is infrared light, and a transparent member that transmits when the light beam is visible light and ultraviolet light, and a light beam. Since the light receiving element for receiving light is provided, the optical encoder can be easily assembled with high accuracy.
さらに、反射部材が紫外光を透過するので、紫外光を照射することで硬化する接着剤を用いた組付けをおこうなうことができ、光学式エンコーダの組付けを高い精度で容易に行うことができる。 Furthermore, since the reflecting member transmits ultraviolet light, it is possible to perform assembly using an adhesive that cures when irradiated with ultraviolet light, and the optical encoder is easily assembled with high accuracy. be able to.
1 LED(光源)、2 回転軸、3 スケール円板、4 受光部、5 受光素子、6 スリット、7 回転中心、
101 凹面ミラー、102 反射膜、103 ミラー受け、104 光線、105 光線、106 接着剤、107 凹面ミラーの上方、201 透過部、202 非透過部、203 接着剤、204 締結部、300 リニアスケール、301 透過部、302 非透過部、400 スケール円板、401 非反射部、402 反射部、403 接着剤、404 締結部、500 インデックススケール、501 透過部、502 非透過部、503 反射式リニアスケール、504 反射部、505 非反射部、506 ヘッド、601 プリズム、602 ミラー面、603 モータ当て面。
1 LED (light source), 2 rotation axis, 3 scale disk, 4 light receiving part, 5 light receiving element, 6 slit, 7 rotation center,
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記光源からの赤外光線を反射し可視光線および紫外光線のいずれか一方を少なくとも透過する反射部材と、
前記反射部材に反射された赤外光線が照射される透過式コード板と、
前記透過式コード板を透過した赤外光線を受光する受光素子とを備えたことを特徴とする光学式エンコーダ。 A light source that emits infrared rays;
A reflective member that reflects infrared light from the light source and transmits at least one of visible light and ultraviolet light; and
A transmission type code plate irradiated with infrared rays reflected by the reflection member;
An optical encoder comprising: a light receiving element that receives infrared light transmitted through the transmission code plate.
前記光源からの赤外光線を反射し可視光線および紫外光線のいずれか一方を少なくとも透過する反射部材を有する反射式コード板と、
前記反射式コード板に反射された赤外光線を受光する受光素子とを備えたことを特徴とする光学式エンコーダ。 A light source that emits infrared rays;
A reflective code plate having a reflecting member that reflects infrared light from the light source and transmits at least one of visible light and ultraviolet light;
An optical encoder comprising: a light receiving element that receives infrared light reflected by the reflective code plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006107432A JP5011799B2 (en) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | Optical encoder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006107432A JP5011799B2 (en) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | Optical encoder |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007278927A JP2007278927A (en) | 2007-10-25 |
JP5011799B2 true JP5011799B2 (en) | 2012-08-29 |
Family
ID=38680513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006107432A Active JP5011799B2 (en) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | Optical encoder |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5011799B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7156686B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | optical encoder |
JP7156687B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | optical encoder |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010276403A (en) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | Motor system with encoder, encoder, and method for manufacturing motor system with encoder |
JP5792253B2 (en) * | 2013-10-02 | 2015-10-07 | ファナック株式会社 | Transmission optical encoder having a light guide |
JP6243368B2 (en) * | 2015-02-27 | 2017-12-06 | ファナック株式会社 | Adhesion method for adhering parts with energy ray curable adhesive |
JP6474289B2 (en) * | 2015-03-19 | 2019-02-27 | 株式会社キーエンス | Optical rotary encoder |
EP3957343A1 (en) | 2016-09-09 | 2022-02-23 | Sanofi-Aventis Deutschland GmbH | Reading device, drug delivery device and drug delivery device in combination with a reading device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62251616A (en) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | Sharp Corp | Photointerrupter |
JPH03150426A (en) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Nec Corp | Cold shield |
JP2578523B2 (en) * | 1990-10-02 | 1997-02-05 | ファナック株式会社 | Mounting structure and mounting method of optical rotary encoder |
JP4101700B2 (en) * | 2002-06-03 | 2008-06-18 | 三菱電機株式会社 | Photoelectric rotary encoder |
JP3639827B2 (en) * | 2002-09-19 | 2005-04-20 | 三菱電機株式会社 | Motor system with optical encoder and optical encoder |
JP2004340929A (en) * | 2003-04-21 | 2004-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | Optical rotary encoder |
-
2006
- 2006-04-10 JP JP2006107432A patent/JP5011799B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7156686B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | optical encoder |
JP7156687B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | optical encoder |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007278927A (en) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5011799B2 (en) | Optical encoder | |
US7304294B2 (en) | Reflective encoder with reduced background noise | |
JP5063979B2 (en) | Reflective encoder with various emitter-detector configurations | |
US20070215799A1 (en) | Reflective encoder with three-dimensional code carrier | |
US20080173800A1 (en) | Optical encoder and optical lens module | |
JP2013504068A (en) | Apparatus and method for optically correcting scale track eccentricity with rotation angle sensor | |
US7784694B2 (en) | Reflective encoder with lens on code strip | |
JP4252578B2 (en) | Optical encoder | |
JP2005156549A (en) | Optical encoder | |
JP6407502B1 (en) | Absolute encoder | |
US20230384495A1 (en) | Grating part and manufacturing method thereof | |
JP5919363B1 (en) | Rotary encoder | |
JP2013181964A (en) | Slit disc of encoder, and encoder using slit disc | |
US7089672B2 (en) | Optical angle and torque sensor | |
US6084844A (en) | Optical head assembly | |
US20070120048A1 (en) | Reflective encoder module | |
JP2011021909A (en) | Scale for encoder and encoder apparatus | |
US7209412B2 (en) | Optical head and optical disk drive unit therewith | |
TW201928303A (en) | Optical encoder | |
JP2008128904A (en) | Optical absolute rotary encoder | |
JP2002228491A (en) | Emission light source device for optical encoder | |
JP2015072177A (en) | Transmission type optical encoder with light guide path | |
US20180113007A1 (en) | Reflective absolute encoder sensor | |
JP3705280B2 (en) | Optical encoder | |
KR101227125B1 (en) | Optical encoder and displacement measurement method using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120321 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120521 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5011799 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |