JP5008971B2 - Wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents
Wiring board and manufacturing method thereofInfo
- Publication number
- JP5008971B2 JP5008971B2 JP2006352612A JP2006352612A JP5008971B2 JP 5008971 B2 JP5008971 B2 JP 5008971B2 JP 2006352612 A JP2006352612 A JP 2006352612A JP 2006352612 A JP2006352612 A JP 2006352612A JP 5008971 B2 JP5008971 B2 JP 5008971B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor circuit
- groove
- wiring board
- adhesive layer
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 234
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 101
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 54
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 53
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 41
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 36
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 23
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000012787 coverlay film Substances 0.000 description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 125000005487 naphthalate group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Description
本発明は、電子機器の部品として用いられる配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a wiring board used as a component of an electronic device and a manufacturing method thereof.
近年、電子機器分野においては、電子機器の高密度化に伴い、電子機器類の可動部への配線などの用途に、フレキシブルプリント配線板が広く用いられている。また、電子機器類の小型化および高機能化に伴って、複数のフレキシブルプリント配線板を接続することにより形成された、種々の形状を有するフレキシブルプリント配線板が使用されている。 In recent years, in the electronic equipment field, with the increase in the density of electronic equipment, flexible printed wiring boards are widely used for applications such as wiring to movable parts of electronic equipment. In addition, with the miniaturization and high functionality of electronic devices, flexible printed wiring boards having various shapes formed by connecting a plurality of flexible printed wiring boards are used.
複数のフレキシブルプリント配線板の接続構造としては、例えば、コネクタによる接続構造が使用される。より具体的には、端部にコネクタ接続部が形成されるとともに、当該コネクタ接続部において、表面が露出された導体回路に接続端子が形成されたフレキシブルプリント配線板が開示されている。そして、上記接続端子を、コネクタに形成されたコネクタ挿入口に挿入することにより、複数のフレキシブルプリント配線板を接続する構成となっている(例えば、特許文献1参照)。 As a connection structure of a plurality of flexible printed wiring boards, for example, a connection structure using a connector is used. More specifically, there is disclosed a flexible printed wiring board in which a connector connection portion is formed at an end portion, and a connection terminal is formed on a conductor circuit whose surface is exposed in the connector connection portion. And it is the structure which connects a some flexible printed wiring board by inserting the said connection terminal in the connector insertion port formed in the connector (for example, refer patent document 1).
しかし、上述のコネクタによる接続においては、フレキシブルプリント配線板を接続するためのコネクタを設ける必要があるため、フレキシブルプリント配線板の接続構造が複雑になるとともに、コネクタの厚みによるスペースが必要となるため、電子機器類の小型化に対応できないという問題があった。 However, since the connector for connecting the flexible printed wiring board needs to be provided in the connection using the connector described above, the connection structure of the flexible printed wiring board is complicated, and a space depending on the thickness of the connector is required. There was a problem that it was not possible to cope with the downsizing of electronic devices.
そこで、電子機器類の小型化に対応するとともに、省スペース化を図るべく、上述のコネクタを使用する代わりに、導電性物質を熱硬化性樹脂中に分散させた異方導電性接着剤を用いて、複数のフレキシブルプリント配線板を接続する構造が知られている。より具体的には、接着剤層である異方導電性接着剤を介して、加熱加圧処理を行うことにより、第1のフレキシブルプリント配線板の第1の基材上に設けられた第1の導体回路と、第2のフレキシブルプリント配線板の第2の基材上に設けられた第2の導体回路を電気的に接続することにより、第1、第2のフレキシブルプリント配線板を接続する構造が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
しかし、上記特許文献2に記載の接続においては、導体回路と接着剤層の接触部分が平面であるため、導体回路と接着剤層が剥離する場合があり、導体回路と接着剤層の接着強度が不足するという問題があった。また、導体回路と接着剤層の接着強度を向上させるためには、接着剤層と接触する導体回路のスペースを増大させる必要があるため、電子機器類の小型化、省スペース化に十分に対応することができないという問題があった。
However, in the connection described in
そこで、本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、導体回路と接着剤層の接着強度を向上することができるとともに、電子機器類の小型化、省スペース化に対応することができる配線板およびその製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above-described problems, and can improve the adhesive strength between the conductor circuit and the adhesive layer, and can cope with downsizing and space saving of electronic devices. An object of the present invention is to provide a wiring board that can be manufactured and a method for manufacturing the same.
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、第1の基材と、第1の基材上に形成された導体回路と、第2の基材と、第2の基材上に形成された第2の導体回路とを備え、第1の導体回路が、導電性の接着剤層を介して、第2の導体回路に電気的に接続される配線板であって、第1の導体回路の表面であって、導電性の接着剤層と接触する部分に第1の溝部が形成され、第1の溝部の深さをH 11 、第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係を有し、第2の導体回路の表面であって、導電性の接着剤層と接触する部分に第2の溝部が形成され、第2の溝部の深さをH 21 、第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention described in
同構成によれば、溝部(第1の溝部及び第2の溝部)と導電性の接着剤層の密着性が向上するため、溝部が形成された導体回路(第1の導体回路及び第2の導体回路)と接着剤層の接着強度を向上させることが可能になる。また、接着剤層と接触する導体回路のスペースを増大させることなく、導体回路と接着剤層の接着強度を向上させることが可能になるため、電子機器類の小型化、省スペース化に対応することが可能になる。さらに、導体回路と接着剤層の接着強度が向上するため、導電性の接着剤層を使用する際に、第1の導体回路と第2の導体回路間の接続信頼性を向上させることが可能になる。また、溝部と接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と接着剤層の接着強度を、一層向上させることが可能になる。 According to this configuration, since the adhesion between the groove portions (the first groove portion and the second groove portion) and the conductive adhesive layer is improved, the conductor circuit in which the groove portions are formed (the first conductor circuit and the second groove portion) . It is possible to improve the adhesive strength between the conductor circuit) and the adhesive layer. In addition, since it is possible to improve the adhesive strength between the conductor circuit and the adhesive layer without increasing the space of the conductor circuit in contact with the adhesive layer, it is possible to reduce the size and space of electronic devices. It becomes possible. Furthermore, since the adhesive strength of the conductor circuit and the adhesive layer is improved, when using a conductive adhesive layer, it is possible to improve the first conductor circuits and the connection reliability between the second conductor circuits It becomes possible. Further, it is possible to further improve the adhesion between the groove and the adhesive layer and the adhesive strength between the conductor circuit in which the groove is formed and the adhesive layer.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の配線板であって、第1の溝部が複数形成され、複数の第1の溝部の各々が、同溝部の深さをH 11 、第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係を有し、第2の溝部が複数形成され、複数の第2の溝部の各々が、同溝部の深さをH 21 、第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係を有することを特徴とする。
The invention according to
請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の配線板であって、第1の溝部の表面および第2の溝部の表面が凹凸形状を有することを特徴とする。同構成によれば、溝部と接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と接着剤層の接着強度を、より一層向上させることが可能になる。 A third aspect of the present invention is the wiring board according to the first or second aspect, wherein the surface of the first groove and the surface of the second groove have an uneven shape. According to this configuration, it is possible to further improve the adhesion between the groove and the adhesive layer and the adhesive strength between the conductor circuit in which the groove is formed and the adhesive layer.
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の配線板であって、第1の基材及び第2の基材の少なくとも一方が、フレキシブルな基材であることを特徴とする。
Invention of
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の配線板であって、第1の基材及び第2の基材の少なくとも一方が、リジッドな基材であることを特徴とする。
Invention of
請求項6に記載の発明は、第1の基材と、第1の基材上に形成された第1の導体回路と、第2の基材と、第2の基材上に形成された第2の導体回路とを備え、第1の導体回路が、導電性の接着剤層を介して、第2の導体回路に電気的に接続される配線板の製造方法であって、第1の基材上に第1の導体回路を形成する工程と、第2の基材上に第2の導体回路を形成する工程と、第1の導体回路上に第1のレジスト層を形成する工程と、露光、現像処理により、第1のレジスト層に所定の第1のレジストパターンを形成する工程と、第1のレジストパターンを有する第1のレジスト層をマスクとして、第1の導体回路を、エッチングによって選択的に除去することにより、第1の導体回路の表面であって、導電性の接着剤層と接触する部分に、第1の溝部を形成する第1溝部形成工程と、第2の導体回路上に第2のレジスト層を形成する工程と、露光、現像処理により、第2のレジスト層に所定の第2のレジストパターンを形成する工程と、第2のレジストパターンを有する第2のレジスト層をマスクとして、第2の導体回路を、エッチングによって選択的に除去することにより、第2の導体回路の表面であって、導電性の接着剤層と接触する部分に、第2の溝部を形成する第2溝部形成工程とを含み、第1溝部形成工程において、第1の溝部の深さをH 11 、第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係が成立するように、エッチングを行い、第2溝部形成工程において、第2の溝部の深さをH 21 、第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係が成立するように、エッチングを行うことを特徴とする。
The invention of
同構成によれば、第1の導体回路を、導電性の接着剤層を介して、第2の導体回路に電気的に接続する際に、導電性の接着剤層との密着性に優れた溝部(第1の溝部及び第2の溝部)が形成されるとともに、導電性の接着剤層との接着強度に優れた導体回路(第1の導体回路及び第2の導体回路)を有し、第1の導体回路−第2の導体回路間の接続信頼性を向上することができる配線板を製造することができる。また、接着剤層と接触する導体回路のスペースを増大させることなく、導体回路と接着剤層の接着強度を向上させることが可能になるため、電子機器類の小型化、省スペース化に十分に対応することが可能な配線板を製造することができる。さらに、導体回路に溝部を形成する際に、導体回路においてクラック等を発生させることなく、溝部を形成することができるため、第1の導体回路と第2の導体回路の接続信頼性を向上させることが可能になる。また、溝部と導電性の接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と導電性の接着剤層の接着強度を、一層向上させることが可能な配線板を得ることが可能になる。 According to this configuration, when the first conductor circuit is electrically connected to the second conductor circuit via the conductive adhesive layer, the adhesiveness with the conductive adhesive layer is excellent. Groove portions (first groove portion and second groove portion) are formed, and have conductor circuits (first conductor circuit and second conductor circuit) excellent in adhesive strength with the conductive adhesive layer, A wiring board capable of improving the connection reliability between the first conductor circuit and the second conductor circuit can be manufactured. In addition, the adhesive strength between the conductor circuit and the adhesive layer can be improved without increasing the space of the conductor circuit in contact with the adhesive layer, which is sufficient for downsizing and space saving of electronic devices. A wiring board that can be used can be manufactured. Further improvements, in forming a groove on the conductor circuit, without causing cracks or the like in the conductor circuit, it is possible to form a groove, a first conductor circuit and the second connection reliability of the conductor circuits It becomes possible to make it. In addition, it is possible to obtain a wiring board capable of further improving the adhesion between the groove and the conductive adhesive layer, and the adhesive strength between the conductive circuit in which the groove is formed and the conductive adhesive layer. .
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の配線板の製造方法であって、第1溝部形成工程において、第1の溝部を複数形成するとともに、複数の第1の溝部の各々が、同溝部の深さをH 11 、第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係が成立するように、エッチングを行い、第2溝部形成工程において、第2の溝部を複数形成するとともに、複数の第2の溝部の各々が、同溝部の深さをH 21 、第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係が成立するように、エッチングを行うことを特徴とする。
The invention according to
請求項8に記載の発明は、請求項6または請求項7に記載の配線板の製造方法であって、エッチングを行うことにより、第1の溝部の表面および第2の溝部の表面に凹凸形状を形成することを特徴とする。同構成によれば、溝部と接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と接着剤層の接着強度を、より一層向上させることが可能な配線版を得ることが可能になる。
Invention of
請求項9に記載の発明は、請求項6乃至請求項8のいずれか一項に記載の配線板の製造方法であって、第1の基材及び第2の基材の少なくとも一方が、フレキシブルな基材であることを特徴とする。
Invention of
請求項10に記載の発明は、請求項6乃至請求項8のいずれか一項に記載の配線板であって、第1の基材及び第2の基材の少なくとも一方が、リジッドな基材であることを特徴とする。
Invention of
本発明によれば、第1の基材と、第1の基材上に形成された第1の導体回路と、第2の基材と、第2の基材上に形成された第2の導体回路とを備え、第1の導体回路が、導電性の接着剤層を介して、第2の導体回路に電気的に接続される配線板において、導体回路(第1の導体回路及び第2の導体回路)と導電性の接着剤層の接着強度を向上させることが可能になる。また、電子機器類の小型化、省スペース化に対応することが可能になる。さらに、導電性の接着剤層を使用する際に、第1の導体回路と第2の導体回路間の接続信頼性を向上させることが可能になる。また、溝部(第1の溝部及び第2の溝部)と接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と接着剤層の接着強度を、一層向上させることが可能になる。 According to the present invention, a first substrate, a first conductor circuit formed on the first substrate, a second substrate, a second formed on the second substrate and a conductor circuit, the first conductor circuits via the conductive adhesive layer, the wiring board is electrically connected to the second conductor circuits, conductor circuits (first conductor circuits and the second It is possible to improve the adhesive strength between the conductive circuit) and the conductive adhesive layer. In addition, it is possible to cope with downsizing and space saving of electronic devices. Furthermore, when using a conductive adhesive layer, it is possible to improve the first conductor circuits and connection reliability between the second conductor circuits. In addition, it is possible to further improve the adhesion between the groove portions (the first groove portion and the second groove portion) and the adhesive layer, and the adhesive strength between the conductor circuit in which the groove portions are formed and the adhesive layer.
以下に、本発明の好適な実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る配線板を有する配線板接合体である多層フレキシブルプリント配線板の構成を示す断面図であり、図2は、本発明の実施形態に係る配線板の概略構成を示す断面図である。また、図3は、図1に示す配線板接合体である多層フレキシブルプリント配線板を構成する配線板の概略構成を示す断面図である。なお、本実施形態においては、配線板として、フレキシブルな基材上に形成された導体回路を有するフレキシブルプリント配線板を例に挙げて説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a multilayer flexible printed wiring board that is a wiring board assembly having a wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an outline of the wiring board according to the embodiment of the present invention. It is sectional drawing which shows a structure. FIG. 3 is a sectional view showing a schematic configuration of a wiring board constituting the multilayer flexible printed wiring board which is the wiring board assembly shown in FIG. In the present embodiment, a flexible printed wiring board having a conductor circuit formed on a flexible base material will be described as an example of the wiring board.
図1に示すように、本実施形態の多層フレキシブルプリント配線板1は、接着剤層30を介して、フレキシブルプリント配線板2,3が接着されたものである。フレキシブルプリント配線板2は、図2に示すように、柔軟な樹脂フィルムにて形成されたフレキシブルな基材4の片面に、所定の導体パターンを有する導体回路5が形成された、いわゆる片面フレキシブルプリント配線板であって、当該導体回路5を覆うように、絶縁層であるカバーレイフィルム6を設けたものである。なお、ここでいう「絶縁層」とは、導体回路5を保護するためのものをいい、カバーレイフィルム6や、カバーコート層等を含むものである。なお、接着剤層(不図示)を介して、導体回路5を設ける構成としても良いが、フレキシブルプリント配線板2の屈曲性・寸法安定性を考慮して、接着剤層を使用しないで、基材4の表面上に、導体回路5を設ける構成とすることが好ましい。
As shown in FIG. 1, the multilayer flexible printed
また、図2に示すように、フレキシブルプリント配線板2においては、導体回路5を、他の配線板であるフレキシブルプリント配線板3に設けられた導体回路14(後述の図3参照)と電気的に接続すべく、カバーレイフィルム6に開口部8が形成されており、当該開口部8から、導体回路5の表面5aの一部が、外部に露出する構成となっている。
In addition, as shown in FIG. 2, in the flexible printed
また、図2に示すように、カバーレイフィルム6は、導体回路5を覆うべく、導体回路5上に積層された接着剤層9とその上に積層された樹脂フィルム10により構成されている。
In addition, as shown in FIG. 2, the
フレキシブルプリント配線板3は、柔軟な樹脂フィルムにて形成されたフレキシブルな基材11の片面に、所定の導体パターンを有する他の導体回路である導体回路14を有する、いわゆる片面フレキシブルプリント配線板であって、当該導体回路14を覆うように、絶縁層であるカバーレイフィルム16を設けたものである。なお、この場合も、接着剤層(不図示)を介して、導体回路14を設ける構成としても良いが、接着剤層を使用しないで、基材11の表面上に、導体回路14を設ける構成とすることもできる。
The flexible printed
また、図3に示すように、フレキシブルプリント配線板3においては、導体回路14を、フレキシブルプリント配線板2に設けられた導体回路5と電気的に接続すべく、カバーレイフィルム16に開口部7が形成されており、当該開口部7から、導体回路14の表面14aの一部が、外部に露出する構成となっている。
As shown in FIG. 3, in the flexible printed
また、図3に示すように、カバーレイフィルム16は、導体回路14を覆うべく、導体回路14上に積層された接着剤層19とその上に積層された樹脂フィルム20により構成されている。
As shown in FIG. 3, the cover lay
そして、図1に示すように、フレキシブルプリント配線板2に設けられた導体回路5と、フレキシブルプリント配線板3に設けられた導体回路14が接着剤層30を介して電気的に接続される構成となっている。
As shown in FIG. 1, the
基材4、11を構成する樹脂フィルムとしては、柔軟性に優れた樹脂材料からなるものが使用される。かかる樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエステルフィルムなどの、フレキシブルプリント配線板用として汎用性のある樹脂のフィルムがいずれも使用可能である。また、特に、柔軟性に加えて高い耐熱性をも有しているのが好ましく、かかる樹脂フィルムとしては、例えば、ポリアミド系の樹脂フィルムや、ポリイミド、ポリアミドイミドなどのポリイミド系の樹脂フィルムやポリエチレンナフタレートが好適に使用される。
As a resin film which comprises the
また、樹脂フィルム10,20としては、上述の基材4,11を構成する樹脂フィルムと同様のものを使用することができる。また、接着剤層9,19を構成する接着剤としては、柔軟性や耐熱性にすぐれたものが好ましく、かかる接着剤としては、例えば、ナイロン系、エポキシ樹脂系、ブチラール樹脂系、アクリル樹脂系などの、各種の樹脂系の接着剤が挙げられる。また、導体回路5,14を構成する金属箔としては、銅箔等が好適に使用される。
Moreover, as the
また、本実施形態においては、導体回路5,14を電気的に接続する接着剤層30としては、導電性接着剤が使用される。この導電性接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂等の絶縁性の熱硬化性樹脂を主成分とし、当該樹脂中に導電性物質が分散されたものが使用できる。例えば、エポキシ樹脂に、銅、銀あるいは黒鉛等の導電性物質の粉末が分散されたものが挙げられる。このような導電性接着剤を使用することにより、導体回路5−導体回路14間を低い導電抵抗によって接続することが可能になるため、導体回路5−導体回路14間の導電性を向上することができる。
In the present embodiment, a conductive adhesive is used as the
また、本実施形態においては、接着剤層30に、導電性物質を含む異方導電性接着剤を使用こともできる。より具体的には、当該異方導電性接着剤として、例えば、上述のエポキシ樹脂等の絶縁性の熱硬化性樹脂を主成分とし、当該樹脂中に、微細な粒子(例えば、球状の金属微粒子や金属でメッキされた球状の樹脂粒子からなる金属微粒子)が多数、直鎖状に繋がった形状、または針形状を有する、所謂アスペクト比が大きい形状を有する導電性物質24(図4参照)が分散されたものを使用することができる。なお、ここで言うアスペクト比とは、導電性物質24の短径R(導電性物質の断面の長さ)と長径L(導電性物質の長さ)の比のことを言う。
In the present embodiment, an anisotropic conductive adhesive containing a conductive material can be used for the
また、本発明に使用される金属微粒子は、その一部に強磁性体が含まれるものが良く、強磁性を有する金属単体、強磁性を有する2種類以上の合金、強磁性を有する金属と他の金属との合金、および強磁性を有する金属を含む複合体のいずれかであることが好ましい。これは、強磁性を有する金属を使用することにより、金属自体が有する磁性により、磁場を用いて導電性物質24を配向させることが可能になるからである。例えば、ニッケル、鉄、コバルトおよびこれらのうち2種類以上の合金等を挙げることができる。
Further, the metal fine particles used in the present invention preferably include a ferromagnetic material in part, such as a single metal having ferromagnetism, two or more kinds of alloys having ferromagnetism, a metal having ferromagnetism, and the like. It is preferably any one of an alloy with the above metal and a composite containing a metal having ferromagnetism. This is because the use of a ferromagnetic metal makes it possible to orient the
また、導電性物質24のアスペクト比が10以上であることが好ましい。このような導電性物質24を使用することにより、接着剤層30として、異方導電性接着剤を使用する場合に、導電性物質24間の接触確率が高くなる。従って、導電性物質24の配合量を増やすことなく、導体回路5−導体回路14間を接続することが可能になる。
The aspect ratio of the
なお、導電性物質24のアスペクト比は、CCD顕微鏡観察等の方法により直接測定するが、断面が円でない導電性物質24の場合は、断面の最大長さを短径Rとしてアスペクト比を求める。また、導電性物質24は、必ずしもまっすぐな形状を有している必要はなく、多少の曲がりや枝分かれがあっても、問題なく使用できる。この場合、導電性物質の最大長さを長径Lとしてアスペクト比を求める。
The aspect ratio of the
また、導電性物質24の短径Rが1μm以下であることが望ましい。このような導電性物質24を使用することにより、接着剤層30として、異方導電性接着剤を使用する場合に、導電性物質24間の接触確率が更に高くなるため、更に少ない導電性物質24の配合量で、導体回路5−導体回路14間を接続することが可能になる。
Moreover, it is desirable that the short diameter R of the
ここで、本実施形態においては、図1、図2に示すように、導体回路5の表面5aに溝部15が形成される点に特徴がある。より具体的には、導体回路5の表面5aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分(即ち、導体回路5の、接着剤層30を介して導体回路14に接続される部分であって、図2に示す、導体回路5の表面5aの露出部分)に溝部15が形成されている。
Here, the present embodiment is characterized in that a
このような構成により、導体回路5と接着剤層30の接触面積が増大するため、溝部15と接着剤層30の密着性が向上し、当該溝部15と接着剤層30の接着強度が向上することになる。また、接着剤層30と接触する導体回路5のスペースを増大させることなく、導体回路5と接着剤層30の接着強度を向上させることが可能になる。
With such a configuration, since the contact area between the
なお、溝部15と接着剤層30の密着性、および接着強度を一層向上させるとの観点から、溝部15の深さをH1、導体回路5の高さをH2(図5参照)とした場合に、0.02H2≦H1≦0.98H2の関係が成立することが好ましい。これは、0.02H2>H1の場合は、導体回路5の高さH2に比し、溝部15の深さH1が、かなり小さくなるため、導体回路5と接着剤層30の接触面積の増大効果が減少することになり、また、H1>0.98H2の場合は、溝部15の深さH1が大きくなるため、後述する、加圧処理により、導電性の接着剤層30を介して、導体回路5,14を接続する際に、高圧実装の必要性が生じる場合があり、導体回路5,14の接続工程が煩雑になる場合があるからである。例えば、導体回路5の高さH2が18μmの場合、溝部15の深さH1を1〜17μmとすることが好ましく、導体回路5の高さH2が35μmの場合、溝部15の高さH1を1〜34μmとすることが好ましい。
From the viewpoint of further improving the adhesion between the
また、図5に示すように、当該溝部15の表面15aが凹凸形状を有する構成とすることが好ましい。このような構成により、凹凸形状を有する溝部15の表面15aに、接着剤層30が噛み込むため、溝部15と接着剤層30の密着性、および溝部15が形成された導体回路5と接着剤層30の接着強度がより一層向上することになる。
Moreover, as shown in FIG. 5, it is preferable that the
次に、フレキシブルプリント配線板2の製造方法の一例を、図面を参照して説明する。まず、図6(a)に示す、基材4上に導体回路5が形成された積層体を作製する。より具体的には、柔軟な樹脂フィルムにより形成された基材4の表面上に、銅箔等の金属箔を積層し、当該金属箔を常法によりエッチングして、導体回路5を形成する。なお、ここでいう「エッチング」とは、導体回路5の厚みを1μmを超えて、除去する(薄くする)こと、あるいはそのための方法をいう。
Next, an example of a method for manufacturing the flexible printed
次いで、導体回路5を選択的に除去して、導体回路5の表面5aに、凹凸形状の表面15aを有する溝部15を形成する。この導体回路5の選択的除去は、種々の方法により行うことできるが、本実施形態においては、レジスト材料を露光、現像することにより形成されたレジストマスクを使用したエッチング、またはソフトエッチング(フラッシュエッチング、または、ライトエッチングとも言う)により行う。なお、ここでいう「ソフトエッチング」とは、導体回路5の厚みを1μm以下、除去する(薄くする)こと、あるいはそのための方法をいう。
Next, the
より具体的には、図6(b)に示すように、まず、基材4上に積層された導体回路5上に、レジスト材料を塗布やラミネートすることにより、レジスト層25を形成する。例えば、導体回路5上に、15〜25μmの薄いドライフィルムレジストをラミネートして積層することにより、レジスト層25を形成することができる。また、フォトレジストを塗布し、硬化させることによりレジスト層25を形成してもよい。
More specifically, as shown in FIG. 6B, first, a resist
次いで、形成されたレジスト層25に対して、所定の露光光源を用いて、所定の条件でパターン露光を施し、さらに所定の現像液(例えば、炭酸ナトリウム水溶液)により不要部分を溶解除去する。例えば、ネガ型のレジスト層25を使用する場合は、露光、現像処理により、光の照射部分が残ることになる。このような露光、現像処理により、図6(c)に示すように、レジスト層25に所定のレジストパターンが形成されることになる。
Next, pattern exposure is performed on the formed resist
次いで、図6(d)に示すように、レジストパターンを有するレジスト層25をマスクとして、導体回路5を、エッチング、またはソフトエッチングによって選択的に除去することにより、導体回路5の表面5aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に、凹凸形状の表面15aを有する溝部15を形成する。次いで、図6(e)に示すように、使用済みのレジスト層25を、導体回路5から剥離して除去する。
Next, as shown in FIG. 6D, by using the resist
次いで、図6(f)に示すように、パンチングやドリリングにより穴あけ加工を施すことにより、開口部8が形成されたカバーレイフィルム6を、導体回路5の上方に配置する。そして、図6(g)に示すように、導体回路5の溝部15と、カバーレイフィルム6の開口部8の位置合わせを行い、カバーレイフィルム6の接着剤層9を導体回路5上に載置し、カバーレイフィルム6を導体回路5上に貼り合わせることにより、上述の図2に示したフレキシブルプリント配線板2が製造されることになる。
Next, as shown in FIG. 6 (f), the cover lay
なお、上述のごとく、導体回路5は、銅箔等の金属箔に形成されているため、本実施形態におけるエッチング工程(または、ソフトエッチング工程)においては、導体回路5を形成する銅箔等を溶解して、選択的に除去可能なエッチング液(または、ソフトエッチング液)を使用して行う。
As described above, since the
このエッチング液としては、例えば、塩化第2銅や塩化第2鉄等が使用できる。なお、ソフトエッチングを行う場合は、硫酸と過酸化水素を主成分とするエッチング液等を使用することができる。また、当該エッチング液を用いたエッチング工程における処理温度としては、30〜50℃が好ましく、処理時間としては、60〜300秒間が好ましい。このうち、本実施形態のごとく、導体回路5の表面5aに、凹凸形状の表面15aを有する溝部15を形成する際には、エッチング液として、塩化第2銅、または塩化第2鉄を使用することが、特に好ましい。また、上述の、0.02H2≦H1≦0.98H2の関係を成立させるとの観点から、30〜50℃の処理温度で、60〜300秒間、処理することが、特に好ましい。但し、溝15の深さH1が、上述の0.02H2≦H1≦0.98H2の範囲において、小さい場合(例えば、H1=0.02H2の場合)、ソフトエッチングを行う際の温度は、20〜40℃が好ましく、導体回路5を構成する銅箔が、0.5〜2μm程度(時間にして、1分程度)溶解する条件が好ましい。
As this etching solution, for example, cupric chloride or ferric chloride can be used. In addition, when performing soft etching, the etching liquid etc. which have a sulfuric acid and hydrogen peroxide as a main component can be used. Moreover, as processing temperature in the etching process using the said etching liquid, 30-50 degreeC is preferable and 60-300 second is preferable as processing time. Among these, as in this embodiment, when forming the
また、本実施形態においては、上述のごとく、エッチング(または、ソフトエッチング)により、導体回路5の接続部分に溝部15を形成するため、導体回路5に対して、外部から応力を負荷することなく溝部15を形成することが可能になる。従って、導体回路5に溝部15を形成する際に、導体回路5においてクラック等を発生させることなく、溝部15を形成することができるため、導体回路5と導体回路14の接続信頼性を向上させることが可能になる。
In the present embodiment, as described above, the
なお、フレキシブルプリント配線板3の製造方法は、従来と同様にして製造することができる。即ち、柔軟な樹脂フィルムにて形成された基材11上に、上述の図6(a)の場合と同様にして、導体回路14が形成された積層体を作製し、次いで、上述の図6(f)、(g)の場合と同様にして、カバーレイフィルム16の接着剤層19を導体回路14上に載置し、カバーレイフィルム16を導体回路14に貼り合わせることにより、上述の図3に示したフレキシブルプリント配線板3が製造されることになる。
In addition, the manufacturing method of the flexible printed
次に、接着剤層30を介して、フレキシブルプリント配線板2の導体回路5と、フレキシブルプリント配線板3の導体回路14を接続する方法の一例を、図面を参照して説明する。
Next, an example of a method for connecting the
まず、図7(a)に示すように、フレキシブルプリント配線板2、3の間に、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とし、導電性物質24を含有する接着剤層30である異方導電性接着剤を介在させる。次いで、図7(a)に示すように、圧着部材であるヘッド26を、フレキシブルプリント配線板3の上方に設置する。そして、当該ヘッド26を、図中の矢印Xの方向に移動させて、図7(b)に示すように、フレキシブルプリント配線板3を介して、当該異方導電性接着剤をフレキシブルプリント配線板2の方向へ所定の圧力で加圧した状態で、異方導電性接着剤を加熱溶融させ、硬化温度に加熱する。なお、上述のごとく、異方導電性接着剤は、熱硬化性樹脂を主成分としているため、当該異方導電性接着剤は、所定の硬化温度にて加熱をすると、一旦、軟化するが、当該加熱を継続することにより、硬化することになる。そして、予め設定した異方導電性接着剤の硬化時間が経過すると、ヘッド26による加熱状態を解除して、異方導電性接着剤の硬化温度の維持状態を開放し、冷却を開始することにより、図1に示す、異方導電性接着剤を介して導体回路5,14が接続された、フレキシブルプリント配線板2,3からなる配線板接合体である多層フレキシブルプリント配線板1が製造される。
First, as shown in FIG. 7A, an
以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)本実施形態においては、フレキシブルプリント配線板2の導体回路5の表面5aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に溝部15を形成する構成としている。従って、溝部15と接着剤層30の密着性が向上するため、当該溝部15が形成された導体回路5と接着剤層30の接着強度を向上させることが可能になる。また、接着剤層30と接触する導体回路5のスペースを増大させることなく、導体回路5と接着剤層30の接着強度を向上させることが可能になるため、電子機器類の小型化、省スペース化に対応することが可能になる。さらに、導体回路5と接着剤層30の接着強度が向上するため、導電性の接着剤層30を使用する際に、導体回路5−導体回路14間の接続信頼性が向上することになる。
According to the present embodiment described above, the following effects can be obtained.
(1) In the present embodiment, the
(2)本実施形態においては、溝部15の深さをH1、導体回路5の高さをH2とした場合に、0.02H2≦H1≦0.98H2の関係が成立する構成としている。従って、溝部15と接着剤層30の密着性、および溝部15が形成された導体回路5と接着剤層30の接着強度が一層向上することになる。
(2) In the present embodiment, when the depth of the
(3)本実施形態においては、溝部15の表面15aに凹凸形状を形成する構成としている。従って、溝部と接着剤層の密着性、および溝部が形成された導体回路と接着剤層の接着強度を、より一層向上させることが可能になる。
(3) In this embodiment, it is set as the structure which forms uneven | corrugated shape in the
(4)本実施形態のフレキシブルプリント配線板2の製造方法においては、導体回路5上に形成され、レジストパターンを有するレジスト層25をマスクとして、導体回路5を、エッチングによって選択的に除去して、導体回路5の表面5aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に、溝部15を形成する構成としている。従って、導体回路5を、導電性の接着剤層30を介して、導体回路14に電気的に接続する際に、接着剤層30との密着性に優れた溝部15が形成されるとともに、接着剤層30との接着強度に優れた導体回路5を有し、導体回路5−導体回路14間の接続信頼性を向上することができるフレキシブルプリント配線板2を製造することができる。また、接着剤層30と接触する導体回路5のスペースを増大させることなく、導体回路5と接着剤層30の接着強度を向上させることが可能になるため、電子機器類の小型化、省スペース化に十分に対応することが可能な配線板を製造することができる。さらに、導体回路5に溝部15を形成する際に、導体回路5においてクラック等を発生させることなく、溝部15を形成することができるため、導体回路5と導体回路14の接続信頼性を向上させることが可能になる。
(4) In the method for manufacturing the flexible printed
なお、上記実施形態は以下のように変更しても良い。
・図8に示すように、フレキシブルプリント配線板3において、フレキシブルプリント配線板2の溝部15と同様に、導体回路14の表面14aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に、溝部31を形成するとともに、当該溝部31の表面31aに、図5において説明した凹凸形状を形成する構成としてもよい。このようにフレキシブルプリント配線板2,3の導体回路5,14の各々に、溝部15,31を設けて、導電性の接着剤層30を介して、導体回路5,14を接続することにより、溝部15と接着剤層30のみならず、溝部31と接着剤層30の密着性、および導体回路14と接着剤層30の接着強度も向上することになる。その結果、導体回路5−導体回路14間の接続信頼性がより一層向上することになる。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
As shown in FIG. 8, in the flexible printed
・また、配線板として、フレキシブルプリント配線板2の代わりに、図9に示す、リジッドな基材35上に、導体回路36が形成されたリジッド配線板37を使用する構成としても良い。そして、この場合も、フレキシブルプリント配線板2の溝部15と同様に、導体回路36の表面36aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に、溝部38を形成するとともに、当該溝部38の表面38aに、図5において説明した凹凸形状を形成する構成としてもよい。このような構成により、上述のフレキシブルプリント配線板2を使用する場合と同様の効果を得ることができる。なお、溝部38の形成方法は、上述の溝部15の形成方法と同様の方法を使用することができる。
Further, instead of the flexible printed
・また、配線板接合体を構成する配線板として、図10に示すように、上述のリジッド配線板37と、リジッドな基材39上に、他の導体回路40が形成されたリジッド配線板41を使用する構成としても良い。そして、この場合も、フレキシブルプリント配線板2の溝部15と同様に、リジッド配線板41において、導体回路40の表面40aであって、導電性の接着剤層30と接触する部分に、溝部42を形成するとともに、当該溝部42の表面42aに、図5において説明した凹凸形状を形成する構成としてもよい。このようにリジッド配線板37,41の導体回路36,40の各々に、溝部38,42を設けて、導電性の接着剤層30を介して、導体回路36,40を接続することにより、溝部38と接着剤層30のみならず、溝部42と接着剤層30の密着性、および導体回路40と接着剤層30の接着強度も向上することになる。その結果、導体回路36,40間の接続信頼性がより一層向上することになる。なお、溝部42の形成方法は、上述の溝部15の形成方法と同様の方法を使用することができる。
As a wiring board constituting the wiring board assembly, as shown in FIG. 10, a
・また、上述の図1、図9において、フレキシブルプリント配線板3の代わりに、上述の導体回路5(または、導体回路36)が、導電性の接着剤層30を介して、例えば、Auメッキバンプを備えるICチップ等の電子部品(不図示)に電気的に接続される構成としても良い。このような構成により、上述の図1、図9において、フレキシブルプリント配線板3を使用する場合と同様の効果を得ることができる。なお、この場合、導体回路5を備えるフレキシブルプリント配線板2(または、導体回路36を備えるリジッド配線板37)とICチップの接合体は、従来と同様にして製造することができる。即ち、例えば、上述の図7において、フレキシブルプリント配線板3の代わりに、Auメッキバンプが配列されたICチップを使用する。そして、図7の場合と同様に、フレキシブルプリント配線板2とICチップの間に、導電性物質24を含有する接着剤層30である異方導電性接着剤を介在させる。次いで、図7の場合と同様に、圧着部材であるヘッド26を移動させて、ICチップを介して、当該異方導電性接着剤をフレキシブルプリント配線板2の方向へ所定の圧力で加圧した状態で、異方導電性接着剤を加熱溶融させ、硬化温度に加熱し、冷却を開始する。そうすると、異方導電性接着剤を介して導体回路5とICチップのAuメッキバンプが接続された、フレキシブルプリント配線板2とICチップからなる接合体が製造されることになる。
1 and FIG. 9 described above, instead of the flexible printed
本発明の活用例としては、電子機器の部品として用いられる配線板およびその製造方法が挙げられる。 Examples of utilization of the present invention include a wiring board used as a component of an electronic device and a method for manufacturing the same.
1…多層フレキシブルプリント配線板、2…フレキシブルプリント配線板、3…フレキシブルプリント配線板、4…基材、5…導体回路、5a…導体回路の表面、11…基材、14…他の導体回路、14a…他の導体回路の表面、15…溝部、15a…溝部の表面、24…導電性物質、25…レジスト層、30…導電性の接着剤層、31…溝部、31a…溝部の表面、35…基材、36…導体回路、36a…導体回路の表面、37…リジッド配線板、38…溝部、38a…溝部の表面、39…基材、40…他の導体回路、40a…他の導体回路の表面、41…リジッド配線板、42…溝部、42a…溝部の表面、H1…溝部の深さ、H2…導体回路の高さ
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記第1の導体回路の表面であって、前記導電性の接着剤層と接触する部分に第1の溝部が形成され、前記第1の溝部の深さをH 11 、前記第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係を有し、
前記第2の導体回路の表面であって、前記導電性の接着剤層と接触する部分に第2の溝部が形成され、前記第2の溝部の深さをH 21 、前記第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係を有する
ことを特徴とする配線板。 A first substrate, a first conductor circuit formed on the first substrate on a second substrate and a second conductive circuit formed on said second substrate wherein the first conductor circuits via the conductive adhesive layer, the second conductor circuits to a circuit board to be electrically connected,
A first groove is formed on a surface of the first conductor circuit and in contact with the conductive adhesive layer, the depth of the first groove is H 11 , and the first conductor circuit is formed. When the height of H 12 is H 12 , the relationship of 0.02H 12 ≦ H 11 ≦ 0.98H 12 is satisfied ,
A second groove is formed on the surface of the second conductor circuit and in contact with the conductive adhesive layer. The depth of the second groove is set to H 21 , and the second conductor circuit is formed. the height when the H 22, have a relation of 0.02H 22 ≦ H 21 ≦ 0.98H 22
Wiring board you wherein a.
前記第2の溝部が複数形成され、複数の前記第2の溝部の各々が、同溝部の深さをH 21 、前記第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の配線板。 When a plurality of the first groove portions are formed, and each of the plurality of first groove portions has a depth of H 11 and the height of the first conductor circuit is H 12 , 0.02H has a relationship of 12 ≦ H 11 ≦ 0.98H 12,
When a plurality of the second groove portions are formed, and each of the plurality of second groove portions has a depth of H 21 and the height of the second conductor circuit is H 22 , 0.02H have a relationship of 22 ≦ H 21 ≦ 0.98H 22
The wiring board according to claim 1.
前記第1の基材上に前記第1の導体回路を形成する工程と、
前記第2の基材上に前記第2の導体回路を形成する工程と、
前記第1の導体回路上に第1のレジスト層を形成する工程と、
露光、現像処理により、前記第1のレジスト層に所定の第1のレジストパターンを形成する工程と、
前記第1のレジストパターンを有する前記第1のレジスト層をマスクとして、前記第1の導体回路を、エッチングによって選択的に除去することにより、前記第1の導体回路の表面であって、前記導電性の接着剤層と接触する部分に、第1の溝部を形成する第1溝部形成工程と、
前記第2の導体回路上に第2のレジスト層を形成する工程と、
露光、現像処理により、前記第2のレジスト層に所定の第2のレジストパターンを形成する工程と、
前記第2のレジストパターンを有する前記第2のレジスト層をマスクとして、前記第2の導体回路を、エッチングによって選択的に除去することにより、前記第2の導体回路の表面であって、前記導電性の接着剤層と接触する部分に、第2の溝部を形成する第2溝部形成工程とを含み、
前記第1溝部形成工程において、前記第1の溝部の深さをH 11 、前記第1の導体回路の高さをH 12 とした場合に、0.02H 12 ≦H 11 ≦0.98H 12 の関係が成立するように、エッチングを行い、
前記第2溝部形成工程において、前記第2の溝部の深さをH 21 、前記第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係が成立するように、エッチングを行う
ことを特徴とする配線板の製造方法。 A first substrate, a first conductor circuit formed on the first substrate on a second substrate and a second conductive circuit formed on said second substrate wherein the first conductor circuits via the conductive adhesive layer, a electrically connected to the manufacturing method of wiring board in the second conductor circuits,
Forming a first conductive circuit on the first substrate,
Forming the second conductor circuit on the second substrate;
Forming a first resist layer on the first conductor circuit;
Exposure and development, forming a predetermined first resist pattern on said first resist layer,
As a mask the first resist layer having the first resist pattern, the first conductive circuit, by selectively removed by etching, a surface of the first conductive circuit, the conductive the portion contacting the sex of the adhesive layer, and the first groove portion forming step of forming a first groove,
Forming a second resist layer on the second conductor circuit;
Forming a predetermined second resist pattern on the second resist layer by exposure and development; and
Using the second resist layer having the second resist pattern as a mask, the second conductor circuit is selectively removed by etching to form a surface of the second conductor circuit, and the conductive layer Including a second groove portion forming step of forming a second groove portion in a portion that contacts the adhesive adhesive layer,
In the first groove portion forming step, a depth of the first groove H 11, the height of the first conductor circuit is an H 12, of 0.02H 12 ≦ H 11 ≦ 0.98H 12 Etching so that the relationship is established,
In the second groove portion forming step, a depth of the second groove when the H 21, the height of the second conductor circuit and a H 22, of 0.02H 22 ≦ H 21 ≦ 0.98H 22 Etching so that the relationship is established
A method for manufacturing a wiring board.
前記第2溝部形成工程において、前記第2の溝部を複数形成するとともに、複数の前記第2の溝部の各々が、同溝部の深さをH 21 、前記第2の導体回路の高さをH 22 とした場合に、0.02H 22 ≦H 21 ≦0.98H 22 の関係が成立するように、エッチングを行う
ことを特徴とする請求項6に記載の配線板の製造方法。 In the first groove portion forming step, a plurality of the first groove portions are formed, and each of the plurality of first groove portions has a depth of H 11 and a height of the first conductor circuit of H. 12 and etching is performed so that the relationship of 0.02H 12 ≦ H 11 ≦ 0.98H 12 is satisfied,
In the second groove portion forming step, a plurality of the second groove portions are formed, and each of the plurality of second groove portions has a depth of the groove portion of H 21 and a height of the second conductor circuit of H. 22 , etching is performed so that the relationship of 0.02H 22 ≦ H 21 ≦ 0.98H 22 is satisfied.
The method for manufacturing a wiring board according to claim 6.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352612A JP5008971B2 (en) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | Wiring board and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352612A JP5008971B2 (en) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | Wiring board and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008166401A JP2008166401A (en) | 2008-07-17 |
JP5008971B2 true JP5008971B2 (en) | 2012-08-22 |
Family
ID=39695509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006352612A Active JP5008971B2 (en) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | Wiring board and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008971B2 (en) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6144494A (en) * | 1984-08-09 | 1986-03-04 | ソニー株式会社 | Electric connector |
JPH0812352B2 (en) * | 1985-03-20 | 1996-02-07 | 松下電器産業株式会社 | Liquid crystal display |
JP2003264352A (en) * | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Fujikura Ltd | Position deviation preventing structure in connection between wiring boards |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006352612A patent/JP5008971B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008166401A (en) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4955970B2 (en) | Flexible printed wiring board and manufacturing method thereof | |
JP5882390B2 (en) | Method for forming a chip / substrate assembly | |
JP2009253270A (en) | Printed circuit board and method of manufacturing the same | |
CN216531943U (en) | Laminated body | |
KR20070073730A (en) | Wiring substrate, wiring material, copper-clad laminate, and method of manufacturing the wiring substrate | |
KR20120108952A (en) | Method of manufacturing circuit board, and method of manufacturing electronic device | |
JP2008016817A (en) | Buried pattern substrate and its manufacturing method | |
JP2007173477A (en) | Flexible printed wiring board | |
JP2008235594A (en) | Bonded body of wiring boards and method of manufacturing the same | |
US20090308644A1 (en) | Method for Manufacturing PCB and PCB Manufactured using the Same | |
JP2009021545A (en) | Manufacturing method of printed-circuit board | |
JP2010135860A (en) | Method of manufacturing printed circuit board | |
JP4825784B2 (en) | Package for semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP5008971B2 (en) | Wiring board and manufacturing method thereof | |
KR101518067B1 (en) | Multilayer printed wiring board and its manufacturing method | |
JP2009141129A (en) | Flexible printed wiring board and method of manufacturing the same | |
TW202112197A (en) | Circuit board, method for manufacturing circuit board, and electronic device | |
JP2007318080A (en) | Flexible printed board | |
JP2012169688A (en) | Method for manufacturing multilayer printed wiring board | |
JP2006179833A (en) | Wiring board and its manufacture | |
KR101924458B1 (en) | Manufacturing method of electronic chip embedded circuit board | |
JP2008235346A (en) | Flexible printed wiring board | |
KR100771310B1 (en) | Rigid flexible printed circuit board and fabricating method of the same | |
JP2002141637A (en) | Printed-wiring board and its manufacturing method | |
KR20070119916A (en) | Printed circuit board and fabricating method of the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080710 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080724 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20090820 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100707 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20101001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5008971 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |