JP4994827B2 - Laser scanning microscope - Google Patents

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Description

本発明は、レーザ走査型顕微鏡に関するものである。   The present invention relates to a laser scanning microscope.

従来、多重染色された蛍光標本の観察時に、個々の蛍光色素に対応して異なる波長のレーザ光を時分割で1波長ずつ照射して、発生する蛍光間のクロストークを防止するようにした蛍光観察方法(いわゆるシーケンシャルスキャン方式)が知られている。例えば、特許文献1に開示されたレーザ走査型顕微鏡では、複数のレーザ光源からの異なる波長のレーザ光が、1つに合成した後に音響光学素子(AOTF)を通過させられる。レーザ走査を行いながら、このAOTFを用いてレーザ波長切替を行うことで、上記シーケンシャルスキャン方式の蛍光観察方法を実行することができる。   Conventionally, when observing multiple-stained fluorescent specimens, laser light with different wavelengths corresponding to each fluorescent dye is irradiated one wavelength at a time in a time-sharing manner to prevent crosstalk between the generated fluorescence. An observation method (a so-called sequential scan method) is known. For example, in the laser scanning microscope disclosed in Patent Document 1, laser beams having different wavelengths from a plurality of laser light sources are combined into one and then passed through an acousto-optic element (AOTF). By performing laser wavelength switching using this AOTF while performing laser scanning, the sequential scanning fluorescence observation method can be executed.

また、刺激用走査手段で標本の任意の位置に比較的高い強度の光で光刺激を行いながら観察用走査手段で観察する場合に、刺激光と観察光とを標本の同一部位に同時に照射すると、刺激用のレーザ光を照射することにより発生する蛍光が、観察光に混入し、画像の輝度が飽和してしまう不都合がある。これを回避するために、音響光学素子を用いて観察光と刺激光の照射を時分割で行う方法が知られている(例えば、特許文献2および特許文献3参照。)。
さらに、音響光学素子よりも高速で切替を行うことができる素子として、電気光学素子が知られている(例えば、特許文献4参照。)。また、電気光学素子における光の偏向角を大きくするために、電気光学素子を直列的に複数個設けて多段構成にしたものも開示されている(例えば、特許文献5参照。)。
In addition, when observing with the scanning means for observation while performing optical stimulation with a relatively high intensity light at an arbitrary position of the specimen with the scanning means for stimulation, if the stimulation light and the observation light are simultaneously irradiated to the same part of the specimen Fluorescence generated by irradiating the stimulating laser beam is mixed into the observation light, and the luminance of the image is saturated. In order to avoid this, a method of performing irradiation of observation light and stimulation light in a time division manner using an acousto-optic element is known (see, for example, Patent Document 2 and Patent Document 3).
Furthermore, an electro-optic element is known as an element that can be switched at a higher speed than an acousto-optic element (see, for example, Patent Document 4). Also disclosed is a multi-stage configuration in which a plurality of electro-optical elements are provided in series in order to increase the light deflection angle in the electro-optical element (see, for example, Patent Document 5).

特開2006−31018号公報JP 2006-31018 A 特開2000−275529号公報JP 2000-275529 A 特開2005−292273号公報JP 2005-292273 A 特開2001−324679号公報JP 2001-324679 A 特開平10−288798号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-288798

しかしながら、特許文献1に記載されているように音響光学素子を用いて波長の切替を行う場合、音響光学結晶内を伝播する超音波の音速の制限があり、数μsecより速い切替を行うことができないという不都合がある。これは、ガルバノミラースキャナ等を用いて1本の光線を2次元的に走査して走査画像を取得する一般的なレーザ走査型顕微鏡において、レーザ光の1ライン走査毎にレーザ波長を切り替える(ミリ秒オーダー)ことは可能であるが、1画素毎にレーザ波長を切り替える(マイクロ秒オーダー)ことは困難であることを意味する。   However, when switching the wavelength using an acousto-optic element as described in Patent Document 1, there is a limitation on the speed of sound of ultrasonic waves propagating in the acousto-optic crystal, and switching faster than a few μsec may be performed. There is an inconvenience that it cannot be done. In a general laser scanning microscope that acquires a scanned image by two-dimensionally scanning one light beam using a galvanometer mirror scanner or the like, the laser wavelength is switched for each line scan of laser light (millimeters). This means that it is difficult to switch the laser wavelength for each pixel (on the order of microseconds).

仮に、画素毎の切替を行おうとしても、音響光学結晶内に定在する超音波の周波数が切り替わる遷移状態中を光が通過することになるので、音響光学結晶におけるシリンドリカルレンズ効果によって音響光学結晶から出射されるレーザ光が1軸方向に広がってしまい、対物レンズで集光されたときに非点較差を生じて分解能が低下してしまうという不都合がある。   Even if switching is performed for each pixel, light passes through a transition state in which the frequency of the ultrasonic wave existing in the acousto-optic crystal is switched. Therefore, the acousto-optic crystal is caused by the cylindrical lens effect in the acousto-optic crystal. The laser beam emitted from the laser beam spreads in one axis direction, and there is an inconvenience that the astigmatism difference is generated when the light is condensed by the objective lens and the resolution is lowered.

また、上述したように、音響光学素子による切替時間は数μsecであるため、1画素単位で刺激光と観察光との切替を行うことが困難であり、光刺激と観察とを画素単位で同時に実施する要求に対応できないという問題がある。   Further, as described above, since the switching time by the acoustooptic device is several μsec, it is difficult to switch between stimulation light and observation light in units of one pixel, and light stimulation and observation are performed simultaneously in units of pixels. There is a problem that it cannot respond to the request to be implemented.

また、光路に結合するレーザ光を高速に切り替えることができる素子として、特許文献4に示されるように、電気光学偏向素子(EOD)が知られているが、電気光学偏向素子は偏向角が小さく、屈折率変化を大きくするために電圧をかける空間(電極間距離)を200μm以下に設定する必要がある。
したがって、偏向角が小さいために市販のガスレーザ光源では空間的な配置が困難になるばかりか、狭い空間(電極間距離)にレーザ光を導くために焦点距離の長いレンズが必要となるなど、光学系もスペースおよびコストを必要とする。また、偏向角を稼ぐためには、特許文献5に示されるように、複数対の電極を直列に並べるなど複雑な構造が必要となり、コストがさらに高くなるという問題がある。
As an element capable of switching laser light coupled to an optical path at high speed, an electro-optic deflection element (EOD) is known as disclosed in Patent Document 4, but an electro-optic deflection element has a small deflection angle. In order to increase the refractive index change, it is necessary to set the space (distance between the electrodes) where voltage is applied to 200 μm or less.
Therefore, because the deflection angle is small, it is difficult to arrange spatially with a commercially available gas laser light source, and a lens with a long focal length is required to guide the laser light into a narrow space (distance between electrodes). The system also requires space and cost. In addition, in order to increase the deflection angle, as disclosed in Patent Document 5, a complicated structure such as arranging a plurality of pairs of electrodes in series is required, which increases the cost.

本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、市販のレーザ光源を簡単な構成で効率よく導入でき、光路分岐や波長の異なるレーザ光の合成などの照明光の切替を1画素単位以下の速度で行うことができるレーザ走査型顕微鏡を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and a commercially available laser light source can be efficiently introduced with a simple configuration, and switching of illumination light such as optical path branching and synthesis of laser beams having different wavelengths can be performed on a pixel basis. It aims at providing the laser scanning microscope which can be performed at the following speeds.

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、レーザ光源と、該レーザ光源から出射されるレーザ光を標本に対して2次元走査する観察用走査手段と、標本からの光を検出する検出光学系と、前記レーザ光源と前記観察用走査手段との間に配置され、電流の注入により屈折率のグラデーションが前記電流の注入方向に誘起される電気光学結晶を備え、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光の光路を切り替える電気光学偏向素子と、該電気光学偏向素子に加える電圧を前記観察用走査手段による走査に同期して制御する制御手段とを備え、前記電気光学結晶を挟んで対向配置され該電気光学結晶に電圧を印加して前記電流を注入する電極間に前記レーザ光が入射されることにより該レーザ光が前記電流の注入方向に偏向されるレーザ走査型顕微鏡を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The present invention relates to a laser light source, observation scanning means for two-dimensionally scanning a laser beam emitted from the laser light source, a detection optical system for detecting light from the sample, the laser light source, and the observation An electro-optic that is disposed between the scanning means and has an electro-optic crystal in which gradation of refractive index is induced in the direction of current injection by current injection, and switches an optical path of the laser light emitted from the laser light source A deflection element; and a control unit that controls a voltage applied to the electro-optic deflection element in synchronization with scanning by the observation scanning unit, and is arranged to face the electro-optic crystal and applies a voltage to the electro-optic crystal. Thus, a laser scanning microscope is provided in which the laser light is deflected in the current injection direction when the laser light is incident between the electrodes for injecting the current.

本発明によれば、電気光学偏向素子の作動により、レーザ光源から出射されたレーザ光が偏向され、観察用走査手段に指向される。そして、観察用走査手段によりレーザ光が標本上において2次元的に走査されることにより、標本から発せられた蛍光あるいは反射光等の光が検出光学系により検出され、標本の2次元的な画像を取得することができる。   According to the present invention, the laser light emitted from the laser light source is deflected by the operation of the electro-optic deflection element and directed to the observation scanning unit. Then, when the laser beam is scanned two-dimensionally on the sample by the observation scanning means, light such as fluorescence or reflected light emitted from the sample is detected by the detection optical system, and a two-dimensional image of the sample is detected. Can be obtained.

この場合において、電気光学偏向素子が電流の注入により屈折率のグラデーションの誘起される電気光学結晶を備えるので、小さい電圧で大きな偏向角が得られる。すなわち、この電気光学偏向素子では、電気光学結晶に入射したレーザ光は、電界の付与によって生じる屈折率勾配により屈折による進行方向の変化が結晶中を進行するに伴って累積する。このようにして電気光学結晶に付与した電界の方向に大きな偏向角を得ることができる。   In this case, since the electro-optic deflection element includes an electro-optic crystal in which a gradation of refractive index is induced by current injection, a large deflection angle can be obtained with a small voltage. That is, in this electro-optic deflection element, the laser light incident on the electro-optic crystal is accumulated as the change in the traveling direction due to refraction proceeds in the crystal due to the refractive index gradient caused by the application of an electric field. In this way, a large deflection angle can be obtained in the direction of the electric field applied to the electro-optic crystal.

なお、電界を付与しない場合には、レーザ光は結晶中を直進し、付与する電界の強度に応じて偏向角を自在に制御できる。また、音響光学素子にように音波(弾性波)を使用するのではなく、電界の付与によって屈折率勾配を生じさせるので、音響光学素子に比べて応答性が非常に高いから、音響光学素子よりもさらに高速に光の進行方向を制御することができる。   When no electric field is applied, the laser beam travels straight through the crystal, and the deflection angle can be freely controlled according to the strength of the applied electric field. Moreover, since the refractive index gradient is generated by applying an electric field instead of using a sound wave (elastic wave) as in the acoustooptic element, the response is very high compared to the acoustooptic element. Furthermore, the traveling direction of light can be controlled at higher speed.

したがって、レーザ光の波長が切り替えられる場合には、電気光学偏向素子に加える電圧の切替により、観察用走査手段へ指向させるレーザ光の波長を高速に切り替えることができる。また、複数の光源からのレーザ光を電気光学偏向素子に入射させる場合には、電気光学偏向素子に加える電圧の切替により、観察用走査手段へ指向させる異なる光源からのレーザ光を高速に切り替えることができる。   Therefore, when the wavelength of the laser beam is switched, the wavelength of the laser beam directed to the observation scanning unit can be switched at a high speed by switching the voltage applied to the electro-optic deflection element. In addition, when laser light from a plurality of light sources is incident on the electro-optic deflection element, the laser light from different light sources directed to the observation scanning means is switched at high speed by switching the voltage applied to the electro-optic deflection element. Can do.

そして、この場合に、小さな電圧で大きな偏向角が得られるので、結晶の電極間距離を大きくとっても実用的な電圧で実用的な偏向角を得ることができる。したがって、レーザ光の十分な光束径を確保して、複雑な光学系等の構造の採用を不要とし、また、小さい電圧で大きな偏向角が得られるので、レーザ配置の自由度が増え、装置の小型化およびコスト低減を図ることができる。
この場合に、前記電気光学結晶が、KTa1−xNbであることが好ましい。
In this case, since a large deflection angle can be obtained with a small voltage, a practical deflection angle can be obtained with a practical voltage even if the distance between the electrodes of the crystal is large. Therefore, a sufficient beam diameter of the laser beam is ensured, and it is not necessary to employ a structure such as a complicated optical system, and a large deflection angle can be obtained with a small voltage. Miniaturization and cost reduction can be achieved.
In this case, it is preferable that the electro-optic crystal is KTa 1-x Nb x O 3 .

上記発明においては、前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、記制御手段が、前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御して、異なる波長のうち選択した波長の前記レーザ光が前記観察用走査手段に導かれるように前記電気光学偏向素子からのレーザ光の出射方向を切り替えることとしてもよい。
また、上記発明においては、前記電気光学偏向素子が、前記光源からのレーザ光の交差する位置に配置されていることとしてもよい。
Wavelength In the above invention, the laser light source, which comprises a plurality of light sources for oscillating laser beams having different wavelengths, the previous SL control means controls the voltage applied to the electro-optical deflecting elements, selected among the different wavelengths of may be the laser beam may switch the emission direction of the laser beam from the electro-optical deflecting element is guided in the observation scanning unit.
In the above invention, the electro-optic deflection element may be disposed at a position where the laser beams from the light sources intersect.

このようにすることで、複数の光源からの異なる波長のレーザ光を異なる方向から電気光学偏向素子に入射させた状態で、電気光学偏向素子に加える電圧を切り替えることにより、各レーザ光を同一方向に出射させることが可能となる。これにより、異なる波長のレーザ光を観察用走査手段に導いて、走査画素単位で標本に時分割に照射することができる。   In this way, by switching the voltage applied to the electro-optic deflecting element in a state where laser beams of different wavelengths from a plurality of light sources are incident on the electro-optic deflecting element from different directions, each laser light is directed in the same direction. Can be emitted. As a result, laser beams of different wavelengths can be guided to the observation scanning unit, and the sample can be irradiated in a time division manner in units of scanning pixels.

また、上記発明においては、標本に光刺激を与えるレーザ光の照射位置を調節する刺激用走査手段を備え、前記電気光学偏向素子が、前記観察用走査手段への光路と前記刺激用走査手段への光路との分岐点に配置され、前記制御手段が、前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御して、該電気光学偏向素子からのレーザ光の出射方向を前記観察用走査手段への光路と前記刺激用走査手段への光路とを切り替えることとしてもよい。   Further, in the above invention, a stimulation scanning unit that adjusts an irradiation position of a laser beam that gives a light stimulus to the sample is provided, and the electro-optic deflection element is connected to the optical path to the observation scanning unit and the stimulation scanning unit. The control means controls the voltage applied to the electro-optic deflection element, and the emission direction of the laser light from the electro-optic deflection element is the optical path to the observation scanning means. The optical path to the stimulation scanning unit may be switched.

このようにすることで、観察用走査手段への光路と刺激用走査手段への光路との分岐点に配置された電気光学偏向素子に加える電圧を制御することにより、レーザ光源からのレーザ光を観察用走査手段への光路または刺激用走査手段への光路に切り替えて入射させることができる。そして、レーザ光が観察用走査手段への光路に入射された場合には、観察用走査手段の作動によりレーザ光を標本上において2次元的に走査して、標本からの光を観察することができる。また、レーザ光が刺激用走査手段への光路に入射された場合には、刺激用走査手段の作動によりレーザ光を標本上の任意の位置に照射して、標本に光刺激を与えることができる。この場合に、光路の切替を上記電気光学偏向素子で行うことにより、きわめて高速に観察光と刺激光とを切り替えて、走査画素毎に、観察と光刺激とをほぼ同時に行うことができる。   In this way, the laser light from the laser light source can be controlled by controlling the voltage applied to the electro-optic deflection element disposed at the branch point between the optical path to the observation scanning means and the optical path to the stimulation scanning means. The optical path to the observation scanning means or the optical path to the stimulation scanning means can be switched and entered. When the laser beam is incident on the optical path to the observation scanning unit, the laser beam can be scanned two-dimensionally on the sample by the operation of the observation scanning unit to observe the light from the sample. it can. Further, when the laser light is incident on the optical path to the stimulation scanning unit, the laser beam can be irradiated to an arbitrary position on the sample by operating the stimulation scanning unit to give the sample optical stimulation. . In this case, by switching the optical path with the electro-optic deflection element, the observation light and the stimulation light can be switched at a very high speed, and the observation and the light stimulation can be performed almost simultaneously for each scanning pixel.

また、上記発明においては、前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、前記電気光学偏向素子が、前記光源からのレーザ光の交差する位置に配置されていることとしてもよい。
このようにすることで、異なる波長のレーザ光を観察光および刺激光として高速で切り替えて標本の観察と光刺激とを走査画素単位でほぼ同時に行うことができる。
In the above invention, the laser light source includes a plurality of light sources that oscillate laser beams of different wavelengths, and the electro-optic deflection element is disposed at a position where the laser beams from the light sources intersect. Also good.
By doing so, it is possible to switch the laser beams of different wavelengths as observation light and stimulation light at high speed, and to perform specimen observation and light stimulation almost simultaneously in units of scanning pixels.

また、上記発明においては、前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、前記電気光学偏向素子が、これらの光源から発せられ相互に平行に配された複数のレーザ光の光路に光軸方向に隣接して配置され相互に逆方向に電圧が加えられる2つの前記電気光学結晶を備えることとしてもよい。
このようにすることで、一方の電気光学結晶により一方向に偏向されたレーザ光を他方の電気光学結晶により逆方向に偏向させて、相互にほぼ平行な2つの光路に選択的にレーザ光を出射させることができる。
In the above invention, the laser light source includes a plurality of light sources that oscillate laser beams of different wavelengths, and the electro-optic deflection elements are emitted from these light sources and are arranged in parallel to each other. It is good also as providing the said two electro-optic crystals which are arrange | positioned adjacent to an optical axis direction of this, and a voltage is applied to a mutually reverse direction.
By doing so, the laser beam deflected in one direction by one electro-optic crystal is deflected in the opposite direction by the other electro-optic crystal, and the laser beam is selectively transmitted to two optical paths that are substantially parallel to each other. Can be emitted.

また、上記発明においては、前記電気光学偏向素子と前記観察用走査手段または前記電気光学偏向素子と前記刺激用走査手段との間の少なくとも一方に、光ファイバが配置されていることとしてもよい。
このようにすることで、隣接する2つの電気光学結晶を通過することでほぼ平行な光路を維持したまま光ファイバに精度よく入射させ、観察用走査手段または刺激用走査手段へそれぞれ導くことができる。
In the above invention, an optical fiber may be disposed at least one of the electro-optic deflection element and the observation scanning unit or between the electro-optic deflection element and the stimulation scanning unit.
By doing so, it can be accurately incident on the optical fiber while passing through two adjacent electro-optic crystals while maintaining a substantially parallel optical path, and can be guided to the observation scanning means or the stimulation scanning means, respectively. .

また、上記発明においては、前記制御手段が、前記電気光学偏向素子からの光ファイバへのレーザ光の入射角度を変化させ、光ファイバへの入射光量を調整するよう前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御することとしてもよい。
このようにすることで、光変調手段を別個に設けることなく、標本に照射する光の強度を調節することができる。
Further, in the above invention, the voltage applied to the electro-optic deflection element by the control means to change the incident angle of the laser beam from the electro-optic deflection element to the optical fiber and adjust the amount of incident light to the optical fiber. It is good also as controlling.
By doing in this way, the intensity | strength of the light irradiated to a sample can be adjusted, without providing a light modulation means separately.

また、上記発明においては、前記制御手段が、前記観察用走査手段による標本へのレーザ光の各1画素照射時間内において前記電気光学偏向素子に加える電圧を切り替えることとしてもよい。
このようにすることで、電気光学偏向素子に加える電圧を切り替えて、走査画素毎に、切り替えた複数のレーザ光を照射することができる。
In the above invention, the control means may switch the voltage applied to the electro-optic deflection element within each pixel irradiation time of the laser beam to the specimen by the observation scanning means.
By doing so, it is possible to switch the voltage applied to the electro-optic deflection element and irradiate a plurality of switched laser beams for each scanning pixel.

また、上記発明においては、前記制御手段が、前記観察用走査手段による標本へのレーザ光の各1画素照射時間内において、観察用走査手段への光路と刺激用走査手段への光路とを切り替える時間比率を調節することとしてもよい。
このようにすることで、観察用走査手段による観察光の照射時間と、刺激用走査手段による刺激光の照射時間との比率を調節し、走査画素単位で、光刺激の程度を調節しつつ観察を行うことができる。
また、上記発明においては、前記制御手段は、前記検出光学系が備える光検出器の放電期間中に前記刺激用走査手段への光路に切り替えることとしてもよい。
In the above invention, the control means switches between the optical path to the observation scanning means and the optical path to the stimulation scanning means within each one-pixel irradiation time of the laser beam to the specimen by the observation scanning means. The time ratio may be adjusted.
In this way, the ratio between the observation light irradiation time by the observation scanning means and the stimulation light irradiation time by the stimulation scanning means is adjusted, and observation is performed while adjusting the degree of light stimulation in units of scanning pixels. It can be performed.
In the invention described above, the control means may switch the optical path to the stimulation scanning means during a discharge period of a photodetector provided in the detection optical system.

本発明によれば、市販のレーザ光源を簡単な構成で効率よく導入でき、光路分岐や波長の異なるレーザ光の合成などの照明光の切替を1画素単位以下の速度で行うことができるという効果を奏する。   According to the present invention, a commercially available laser light source can be efficiently introduced with a simple configuration, and illumination light switching such as optical path branching or synthesis of laser light having different wavelengths can be performed at a speed of one pixel unit or less. Play.

本発明の一実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1について、図1〜図9を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、図1に示されるように、レーザ光を出射する光源ユニット2と、観察用光学系3と、刺激用光学系4と、これら光学系3,4に対してそれぞれレーザ光を導く2本の光ファイバ5,6と、これら光学系3,4を合流させるダイクロイックミラー7と、標本Sに対し、レーザ光を照射し、標本Sから発せられる蛍光を集光する対物レンズ8と、これらを制御する制御ユニット9とを備えている。図中、符号10は対物レンズ8により集光された標本Sからの光を結像させる結像レンズである。
A laser scanning microscope 1 according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, a laser scanning microscope 1 according to this embodiment includes a light source unit 2 that emits laser light, an observation optical system 3, a stimulation optical system 4, and these optical systems 3 and 4. The two optical fibers 5 and 6 for guiding the laser light respectively, the dichroic mirror 7 for joining these optical systems 3 and 4, and the specimen S are irradiated with the laser light, and the fluorescence emitted from the specimen S is emitted. The objective lens 8 which condenses, and the control unit 9 which controls these are provided. In the figure, reference numeral 10 denotes an imaging lens that forms an image of light from the sample S collected by the objective lens 8.

光源ユニット2は、異なる波長λ1,λ2のレーザ光を発振し、相互に交差する光軸に沿ってレーザ光を出射するよう配置された2つのレーザ光源(光源)11,12と、これらレーザ光源11,12からのレーザ光の交差位置に配置された電気光学偏向素子13と、該電気光学偏向素子13を通過したレーザ光を前記2本の光ファイバ5,6の端面に入射させるカップリングレンズ14,15と、前記電気光学偏向素子13から所定の光路に出射されたレーザ光を一方のカップリングレンズ15に導くミラー16およびダイクロイックミラー17とを備えている。図中、符号18はシャッタ、符号19は調光用のNDフィルタである。   The light source unit 2 oscillates laser light having different wavelengths λ1 and λ2 and emits laser light along optical axes that intersect each other, and these laser light sources. Electro-optical deflecting element 13 disposed at the intersection of laser beams from 11 and 12 and a coupling lens for allowing the laser light that has passed through electro-optical deflecting element 13 to be incident on the end faces of the two optical fibers 5 and 6 14 and 15, and a mirror 16 and a dichroic mirror 17 that guide laser light emitted from the electro-optic deflection element 13 to a predetermined optical path to one coupling lens 15. In the figure, reference numeral 18 denotes a shutter, and reference numeral 19 denotes a dimming ND filter.

前記電気光学偏向素子13は、電流の注入により屈折率のグラデーションが誘起される電気光学結晶20と、該電気光学結晶20を挟んで対向配置される一対の電極21a,21bとを備えている。前記電気光学結晶20は、例えば、カー定数が3×10−16/V以上のものであり、KTa1−xNbにより構成されている。このような電気光学結晶20は、例えば、次の文献に開示されたものを使用できる。
「Nakamura et al., Wide-angle, low-voltage
electro-optic beam deflection based on space-charge-controlled mode of
electrical conduction in KTa1-xNbxO3, Applied Physics
Letters 89,
131115,
2006」
The electro-optic deflection element 13 includes an electro-optic crystal 20 in which a gradation of refractive index is induced by current injection, and a pair of electrodes 21 a and 21 b that are opposed to each other with the electro-optic crystal 20 interposed therebetween. For example, the electro-optic crystal 20 has a Kerr constant of 3 × 10 −16 m 2 / V 2 or more, and is composed of KTa 1-x Nb x O 3 . As such an electro-optic crystal 20, for example, one disclosed in the following document can be used.
"Nakamura et al., Wide-angle, low-voltage
electro-optic beam deflection based on space-charge-controlled mode of
electrical conduction in KTa 1-x Nb x O 3 , Applied Physics
Letters 89,
131115,
2006 ''

この電気光学結晶20の両端の電極21a,21bに加える電圧と屈折率のグラデーションの関係を図2に示す。
この電気光学偏向素子13では、電気光学結晶20に入射したレーザ光は、図3に示されるように、屈折による進行方向の変化が結晶中を進行するに伴って累積する。このようにして電気光学結晶20に付与した電界の方向に大きな偏向角を得ることができるようになっている。
FIG. 2 shows the relationship between the voltage applied to the electrodes 21a and 21b at both ends of the electro-optic crystal 20 and the gradation of the refractive index.
In the electro-optic deflection element 13, the laser light incident on the electro-optic crystal 20 is accumulated as the change in the traveling direction due to refraction proceeds in the crystal as shown in FIG. In this way, a large deflection angle can be obtained in the direction of the electric field applied to the electro-optic crystal 20.

なお、電界を付与しない場合には、レーザ光は、図3に破線で示すように、電気光学結晶20中を直進する。したがって、付与する電界の強度に応じて偏向角を自在に制御できるようになっている。   When no electric field is applied, the laser light travels straight through the electro-optic crystal 20 as indicated by a broken line in FIG. Therefore, the deflection angle can be freely controlled according to the strength of the applied electric field.

前記観察用光学系3は、光ファイバ5を介して導かれたレーザ光を略平行光にするコリメータレンズ22と、該コリメータレンズ22により略平行光にされたレーザ光を2次元的に走査する走査手段(観察用走査手段)23と、該走査手段23により走査されたレーザ光を集光して中間像を結像させる瞳投影レンズ24とを備えている。
走査手段23は、例えば、相互に交差する2方向にそれぞれ揺動可能な2枚のガルバノミラーを近接して配置した、いわゆる近接ガルバノミラーである。
The observation optical system 3 two-dimensionally scans the collimator lens 22 that makes the laser light guided through the optical fiber 5 substantially parallel light, and the laser light that has been made substantially parallel light by the collimator lens 22. A scanning unit (observation scanning unit) 23 and a pupil projection lens 24 that focuses the laser beam scanned by the scanning unit 23 to form an intermediate image are provided.
The scanning unit 23 is, for example, a so-called proximity galvanometer mirror in which two galvanometer mirrors that can swing in two directions intersecting each other are arranged close to each other.

また、観察用光学系3には、対物レンズ8により集光され、結像レンズ10、ダイクロイックミラー7、瞳投影レンズ24、走査手段23を介して戻る蛍光をレーザ光の光路から分岐するダイクロイックミラー25と、分岐された蛍光を集光させる共焦点レンズ26と、該共焦点レンズ26の焦点位置近傍に配置された共焦点ピンホール27と、該共焦点ピンホール27を通過した蛍光を波長毎に分離するダイクロイックミラー28と、分離された波長毎の蛍光をそれぞれ検出する2つの光検出器29,30とが設けられている。図中、符号31はミラー、符号32はバリアフィルタである。   In the observation optical system 3, a dichroic mirror that condenses the fluorescent light collected by the objective lens 8 and returned through the imaging lens 10, the dichroic mirror 7, the pupil projection lens 24, and the scanning unit 23 from the optical path of the laser light. 25, a confocal lens 26 for condensing the branched fluorescence, a confocal pinhole 27 disposed in the vicinity of the focal position of the confocal lens 26, and fluorescence passing through the confocal pinhole 27 for each wavelength. The dichroic mirror 28 is separated into two, and two photodetectors 29 and 30 for detecting the fluorescence for each separated wavelength are provided. In the figure, reference numeral 31 denotes a mirror, and reference numeral 32 denotes a barrier filter.

前記刺激用光学系4は、光ファイバ6を介して導かれたレーザ光を略平行光にするコリメータレンズ33と、該コリメータレンズ33により略平行光にされたレーザ光を2次元的に位置調節する走査手段(刺激用走査手段)34と、該走査手段34により走査されたレーザ光を集光して中間像を結像させる瞳投影レンズ35とを備えている。刺激用光学系4用の走査手段34を備えることにより、観察位置(観察用光学系3によって観察用レーザ光を照射する位置)とは独立した任意の位置に刺激用レーザ光を照射することができる。   The stimulating optical system 4 two-dimensionally adjusts the position of the collimator lens 33 that makes the laser light guided through the optical fiber 6 substantially parallel and the laser light that has been made substantially parallel by the collimator lens 33. Scanning means (stimulating scanning means) 34, and a pupil projection lens 35 that focuses the laser light scanned by the scanning means 34 to form an intermediate image. By providing the scanning means 34 for the stimulation optical system 4, it is possible to irradiate the stimulation laser light at an arbitrary position independent of the observation position (the position where the observation laser light is irradiated by the observation optical system 3). it can.

前記制御ユニット9は、各光検出器29,30により検出された蛍光の強度情報と、そのときの走査手段23による走査位置情報とを受信して対応づけて記憶するようになっている。また、制御ユニット9は、前記走査手段23による標本Sへのレーザ光の走査に同期して前記電気光学偏向素子13の電極21a,21bに加える電圧を切り替えるようになっている。本実施形態では、電極21a,21bへの電圧のかけ方として、図2のようにA〜Dの4種類のパターンがある。それぞれの場合におけるレーザ光の進み方が図4に示されている。図4は光源ユニット2を拡大して図示したもので、(a)〜(d)はそれぞれ、図2に示したA〜Dのように電圧を加えた場合に対応している。   The control unit 9 receives and stores the fluorescence intensity information detected by the photodetectors 29 and 30 and the scanning position information by the scanning means 23 at that time in association with each other. The control unit 9 switches the voltage applied to the electrodes 21a and 21b of the electro-optic deflection element 13 in synchronization with the scanning of the laser beam on the specimen S by the scanning means 23. In the present embodiment, there are four types of patterns A to D as shown in FIG. 2 as methods of applying voltages to the electrodes 21a and 21b. FIG. 4 shows how the laser light travels in each case. FIG. 4 is an enlarged view of the light source unit 2, and (a) to (d) correspond to the cases where a voltage is applied as indicated by A to D shown in FIG. 2.

図4(a)では、レーザ光源11からのレーザ光が観察用光学系3へ導入され、レーザ光源12からのレーザ光は光路外へ偏向される。図4(b)では、レーザ光源11からのレーザ光は光路外へ偏向され、レーザ光源12からのレーザ光が観察用光学系3に導入される。図4(c)では、レーザ光源11からのレーザ光が刺激用光学系4に導入され、レーザ光源12からのレーザ光は光路外へ偏向される。図4(d)では、レーザ光源11からのレーザ光は光路外へ偏向され、レーザ光源12からのレーザ光が刺激用光学系4に導入される。   In FIG. 4A, the laser light from the laser light source 11 is introduced into the observation optical system 3, and the laser light from the laser light source 12 is deflected out of the optical path. In FIG. 4B, the laser light from the laser light source 11 is deflected out of the optical path, and the laser light from the laser light source 12 is introduced into the observation optical system 3. In FIG. 4C, laser light from the laser light source 11 is introduced into the stimulation optical system 4, and the laser light from the laser light source 12 is deflected out of the optical path. In FIG. 4D, the laser light from the laser light source 11 is deflected out of the optical path, and the laser light from the laser light source 12 is introduced into the stimulation optical system 4.

具体的には、観察用光学系3に入射させるレーザ光の波長を切り替える場合に、図5に示されるように、電気光学偏向素子13の電極21a,21bに加える電圧を1走査画素内において反転させるように切り替える。これは、図2におけるA,Bを1画素毎に交互に切り替えることに相当する。これにより、2つのレーザ光源11,12からのレーザ光は、図4(a),(b)に示されるように、カップリングレンズ14に向かう同一の光路に交互に指向され、光ファイバ5を介して観察用光学系3に導かれるようになっている。図中、記号Bはレーザ光の出射される出射口を示している。   Specifically, when the wavelength of the laser light incident on the observation optical system 3 is switched, the voltage applied to the electrodes 21a and 21b of the electro-optic deflection element 13 is inverted within one scanning pixel as shown in FIG. Switch to let This is equivalent to switching A and B in FIG. 2 alternately for each pixel. As a result, the laser beams from the two laser light sources 11 and 12 are alternately directed to the same optical path toward the coupling lens 14 as shown in FIGS. Through the observation optical system 3. In the figure, symbol B indicates an exit from which laser light is emitted.

そして、波長λ1のレーザ光を標本Sに照射したときには、標本Sから発せられた蛍光を光検出器29で、波長λ2のレーザ光を標本Sに照射したときには、標本Sから発せられた蛍光を光検出器30で、それぞれ時分割で検出するようになっている。
このようにすることで、1走査画素単位の時分割蛍光検出を行うことができ、各波長間のデータ取得の時間差をきわめて小さくすることができる。また、観察用光学系3への光路中に波長を合成するダイクロイックミラーを設ける必要がなく、少ない損失でレーザ光を観察用光学系3に導くことができる。
When the sample S is irradiated with the laser light having the wavelength λ1, the fluorescence emitted from the sample S is detected by the photodetector 29, and when the sample S is irradiated with the laser light having the wavelength λ2, the fluorescence emitted from the sample S is emitted. The photodetector 30 detects each time-division.
By doing in this way, the time division fluorescence detection per scanning pixel unit can be performed, and the time difference of the data acquisition between each wavelength can be made very small. Further, it is not necessary to provide a dichroic mirror for synthesizing wavelengths in the optical path to the observation optical system 3, and the laser light can be guided to the observation optical system 3 with a small loss.

また、標本S上のある1点に波長λ1のレーザ光で光刺激を与えながら、波長λ1のレーザ光で蛍光観察を行う場合には、図6に示されるように、電気光学結晶20に加える電圧値を2段階に切り替える。これは、図2のA.Cを1画素毎に交互に切り替えることに相当する。これにより、電気光学結晶20に発生する屈折率の傾斜を変化させ、図4(a),(c)に示されるように、波長λ1のレーザ光をカップリングレンズ14に向かう光路と、カップリングレンズ15に向かう光路とにそれぞれ指向させ、光ファイバ5,6を介して観察用光学系3および刺激用光学系4にそれぞれ交互に導くことができる。光刺激は標本S上の1点を断続的に照射するパルス状の光刺激になる。   In addition, when fluorescence observation is performed with a laser beam with a wavelength λ1 while applying light stimulation to a certain point on the sample S with a laser beam with a wavelength λ1, it is added to the electro-optic crystal 20 as shown in FIG. The voltage value is switched between two levels. This is illustrated in FIG. This corresponds to switching C alternately for each pixel. As a result, the gradient of the refractive index generated in the electro-optic crystal 20 is changed, and as shown in FIGS. 4A and 4C, the optical path of the laser beam having the wavelength λ1 toward the coupling lens 14, and the coupling It can be directed to the optical path toward the lens 15, and can be alternately guided to the observation optical system 3 and the stimulation optical system 4 via the optical fibers 5 and 6, respectively. The light stimulus is a pulsed light stimulus that irradiates one point on the sample S intermittently.

このようにすることで、光刺激と観察とを時分割で行うことができ、刺激用のレーザ光により極大化した蛍光を検出することがなく、刺激に対する蛍光輝度の変化を正確に把握することができる。また、刺激用のレーザ光は高速のパルス状に点滅させられるので、ほぼ連続的な刺激と考えることができる。   In this way, light stimulation and observation can be performed in a time-sharing manner, without detecting fluorescence that has been maximized by the laser light for stimulation, and accurately grasping the change in fluorescence brightness with respect to the stimulus Can do. Further, since the stimulation laser light is blinked in a high-speed pulse shape, it can be considered as a substantially continuous stimulation.

また、光刺激を光検出器29におけるアナログ積算の放電期間に行う場合、図7に示されるように、光刺激に要する時間が観察に要する時間に比べて短くなる。刺激光は一般に強くすることが望まれ、観察光は弱くすることが望まれる。したがって、この場合には、電気光学結晶20に加える電圧を微調整することにより、光ファイバ5に入射するレーザ光の角度を変化させ、光ファイバ5に入射する観察用のレーザ光の光量を調節することが好ましい。また、電気光学結晶20と光ファイバ5との間に光量調節用のNDフィルタ(図示略)を配置することにしてもよい。
このようにすることで、光検出器29の放電期間を有効に利用して光刺激を行うので、光刺激を時分割で行うことにより蛍光検出効率の低下がまったく生じないという利点がある。
Further, when the light stimulation is performed during the analog integration discharge period in the light detector 29, the time required for the light stimulation is shorter than the time required for the observation as shown in FIG. In general, it is desirable to increase the stimulation light, and it is desirable to weaken the observation light. Therefore, in this case, by finely adjusting the voltage applied to the electro-optic crystal 20, the angle of the laser light incident on the optical fiber 5 is changed, and the amount of the observation laser light incident on the optical fiber 5 is adjusted. It is preferable to do. Further, an ND filter (not shown) for adjusting the amount of light may be disposed between the electro-optic crystal 20 and the optical fiber 5.
By doing so, since the light stimulation is performed by effectively using the discharge period of the photodetector 29, there is an advantage that the fluorescence detection efficiency is not lowered at all by performing the light stimulation in time division.

また、図8に示されるように、光刺激用のレーザ光の照射時間と観察用のレーザ光の照射時間との比率を変化させることにしてもよい。例えば、図8に示す例では、1画素への照射時間(例えば、2μsec)を観察と光刺激とで1:4に分割している。このようにすることで、光刺激と観察の光量分割比率を電気光学結晶20への電圧の印加時間を調節するだけで行うことができ、分割比率を調節するための別個の手段が不要となる。したがって、簡単な構成で信頼性が高いレーザ走査型顕微鏡1を提供することができる。   Further, as shown in FIG. 8, the ratio between the irradiation time of the laser light for light stimulation and the irradiation time of the laser light for observation may be changed. For example, in the example shown in FIG. 8, the irradiation time for one pixel (for example, 2 μsec) is divided into 1: 4 for observation and light stimulation. In this way, the light intensity division ratio for light stimulation and observation can be performed only by adjusting the voltage application time to the electro-optic crystal 20, and a separate means for adjusting the division ratio becomes unnecessary. . Therefore, the laser scanning microscope 1 having a simple configuration and high reliability can be provided.

さらに、図8に示す例では、1画素の期間内(2μsec)で観察および光刺激を4回に分割して、1回の観察光照射時間を0.1μsec、1回の刺激光照射時間を0.4μsecとして、交互に4回繰り返すように照射している。このようにすることで、刺激光の照射の連続性を高めることができる。1画素内での切替の繰り返し回数(分割数)を増やせば、刺激の連続性をさらに高めることができる。   Further, in the example shown in FIG. 8, observation and light stimulation are divided into four times within one pixel period (2 μsec), and one observation light irradiation time is 0.1 μsec, and one stimulation light irradiation time is set. Irradiation is repeated 4 times alternately at 0.4 μsec. By doing in this way, the continuity of stimulation light irradiation can be improved. Increasing the number of repetitions (number of divisions) of switching within one pixel can further increase the continuity of stimulation.

また、図9に示されるように、標本上のある1点に波長λ1のレーザ光による光刺激を行いながら、波長λ1,λ2のレーザ光による各画素内における時分割切替を行うことにより、2重染色標本Sの蛍光観察を行うこととしてもよい。これは1画素内で図2におけるA,C,B,Cの順に切り替えることに相当する。具体的には、一画素に対応する標本S上の範囲内において、まず、波長λ1の観察用のレーザ光を照射し、次いで、波長λ1の光刺激用のレーザ光を照射し、その後波長λ2の観察用のレーザ光を照射し、最後に再度波長λ1の光刺激用のレーザ光を照射する。   Further, as shown in FIG. 9, by performing time-division switching in each pixel with laser light of wavelengths λ1 and λ2 while performing light stimulation with laser light of wavelength λ1 at a certain point on the sample, 2 It is also possible to perform fluorescence observation of the heavily stained specimen S. This corresponds to switching in the order of A, C, B, and C in FIG. 2 within one pixel. Specifically, in the range on the sample S corresponding to one pixel, first, the laser beam for observation with the wavelength λ1 is irradiated, then the laser beam for light stimulation with the wavelength λ1 is irradiated, and then the wavelength λ2 The laser beam for observation is irradiated, and finally, the laser beam for light stimulation having the wavelength λ1 is irradiated again.

そして、波長λ1のレーザ光を照射することにより標本Sから発生する蛍光は一方の光検出器29により検出し、波長λ2のレーザ光を照射することにより標本Sから発生する蛍光は他方の光検出器30により検出する。この場合に、各光検出器29,30による蛍光検出のアナログ積算の放電期間に光刺激を行う。   Then, the fluorescence generated from the sample S by irradiating the laser beam with the wavelength λ1 is detected by one photodetector 29, and the fluorescence generated from the sample S by irradiating the laser beam with the wavelength λ2 is detected by the other light. It is detected by the device 30. In this case, light stimulation is performed during the analog integration discharge period of fluorescence detection by the photodetectors 29 and 30.

このようにすることで、2重染色標本Sの時分割蛍光観察と、ほぼ同時に時分割での光刺激を走査画素単位で切り替えて行うので、観察用の異なる複数の波長のレーザ光をきわめて短い時間差で照射することができ、また、刺激用のレーザ光により極大化する蛍光を検出することなく蛍光観察を行うことができる。また、光検出器29,30の放電期間に光刺激を行うので、光刺激を時分割で行うことによる蛍光検出効率の低下を生じさせずに済む。   In this way, since the time-division fluorescence observation of the double-stained specimen S and the optical stimulation in the time division are switched at the same time in units of scanning pixels, the laser beams having a plurality of different wavelengths for observation are extremely short. Irradiation can be performed with a time difference, and fluorescence observation can be performed without detecting fluorescence that is maximized by a stimulation laser beam. In addition, since light stimulation is performed during the discharge period of the photodetectors 29 and 30, it is not necessary to cause a decrease in fluorescence detection efficiency due to light stimulation performed in a time-sharing manner.

なお、本実施形態においては、標本S上の任意の1点について光刺激を行う場合を例示して説明したが、これに代えて、標本S上において光刺激用のレーザ光を螺旋状に走査させることにしてもよい。この場合に、間欠的に照射される光刺激用のレーザ光のスポットの移動距離が、スポット径以下となるようにすることで、螺旋状に連続的に光刺激を与えることができる。   In the present embodiment, the case where light stimulation is performed on an arbitrary point on the specimen S has been described as an example, but instead, the laser light for light stimulation is scanned on the specimen S in a spiral manner. You may decide to make it. In this case, the optical stimulation can be continuously applied in a spiral manner by making the moving distance of the spot of the laser beam for optical stimulation irradiated intermittently equal to or less than the spot diameter.

また、標本S上において光刺激用のレーザ光を任意の領域内において往復ラスタスキャン、ラインスキャンあるいはフリーラインスキャン方式により走査することにしてもよい。このようにすることで、観察と光刺激との同時性を損なうことなく、ポイント刺激より広範囲の任意領域に対する光刺激を行うことができる。   Further, the laser beam for light stimulation may be scanned on the specimen S in an arbitrary region by a reciprocating raster scan, a line scan, or a free line scan method. By doing so, it is possible to perform light stimulation on an arbitrary region in a wider range than point stimulation without impairing the simultaneity of observation and light stimulation.

また、本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1においては、2つのレーザ光源11,12からの波長λ1,λ2の異なる2つのレーザ光を切り替えることとしたが、これに代えて、図10〜図12に示されるように、3つのレーザ光源36からの波長λ1〜λ3の異なる3つのレーザ光を切り替えることにしてもよい。上記実施形態に加えて、電気光学結晶20に電圧をかけない状態で、カップリングレンズ14に波長λ3のレーザ光が指向される位置にレーザ光源36を配置している。   In the laser scanning microscope 1 according to the present embodiment, two laser beams having different wavelengths λ1 and λ2 from the two laser light sources 11 and 12 are switched. 12, three laser beams having different wavelengths λ1 to λ3 from the three laser light sources 36 may be switched. In addition to the above embodiment, the laser light source 36 is disposed at a position where the laser light having the wavelength λ3 is directed to the coupling lens 14 in a state where no voltage is applied to the electro-optic crystal 20.

そして、図11および図12に示されるように、電気光学偏向素子に加える電圧値および電圧の方向をを切り替えて、3つのレーザ光源11,12,36からの波長λ1,λ2,λ3のレーザ光を2つのカップリングレンズ14,15に向けてそれぞれ指向させることができる。   Then, as shown in FIGS. 11 and 12, the voltage value applied to the electro-optic deflection element and the direction of the voltage are switched, and the laser beams with wavelengths λ1, λ2, and λ3 from the three laser light sources 11, 12, and 36 are switched. Can be directed toward the two coupling lenses 14 and 15, respectively.

具体的には、次のようになる。
(a) 電極21a=0V、電極21b=200Vのとき、観察用光学系3=λ1(レーザ光源11)、刺激用光学系4=なし。
(b) 電極21a=200V、電極21b=0Vのとき、観察用光学系3=λ2(レーザ光源12)、刺激用光学系4=なし。
(c) 電極21a=0V、電極21b=0Vのとき、観察用光学系3=λ3(レーザ光源36)、刺激用光学系4=なし。
(d) 電極21a=0V、電極21b=100Vのとき、観察用光学系3=なし、刺激用光学系4=λ1(レーザ光源11)。
(e) 電極21a=100V、電極21b=0Vのとき、観察用光学系3=なし、刺激用光学系4=λ2(レーザ光源12)。
(f) 電極21a=0V、電極21b=130Vのとき、観察用光学系3=なし、刺激用光学系4=λ3(レーザ光源36)。
このようにすることで、例えば、図11に示されるように、波長λ1のレーザ光により光刺激を行いながら、波長λ2,λ3のレーザ光で蛍光観察を各走査画素単位で行うことができる。
Specifically, it is as follows.
(A) When electrode 21a = 0V and electrode 21b = 200V, observation optical system 3 = λ1 (laser light source 11), stimulation optical system 4 = none.
(B) When electrode 21a = 200V and electrode 21b = 0V, observation optical system 3 = λ2 (laser light source 12), stimulation optical system 4 = none.
(C) When the electrode 21a = 0V and the electrode 21b = 0V, the observation optical system 3 = λ3 (laser light source 36) and the stimulation optical system 4 = none.
(D) When the electrode 21a = 0V and the electrode 21b = 100V, the observation optical system 3 = none and the stimulation optical system 4 = λ1 (laser light source 11).
(E) When the electrode 21a = 100V and the electrode 21b = 0V, the observation optical system 3 = none and the stimulation optical system 4 = λ2 (laser light source 12).
(F) When the electrode 21a = 0V and the electrode 21b = 130V, the observation optical system 3 = none and the stimulation optical system 4 = λ3 (laser light source 36).
By doing so, for example, as shown in FIG. 11, fluorescence observation can be performed in units of scanning pixels with laser light with wavelengths λ2 and λ3 while performing light stimulation with laser light with wavelength λ1.

そして、このように構成することで、電気光学結晶20に生じる屈折率のグラデーションを利用して、紫外光から2光子励起用近赤外レーザ光(例えば、920nm)までのレーザ光を使用することができる。   With this configuration, laser light from ultraviolet light to two-photon excitation near-infrared laser light (for example, 920 nm) is used using the gradient of refractive index generated in the electro-optic crystal 20. Can do.

次に、本発明の第2の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡について、図13を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡は、図13に示される光源ユニット40を備えている。
なお、本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
Next, a laser scanning microscope according to the second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
The laser scanning microscope according to this embodiment includes a light source unit 40 shown in FIG.
In the description of the present embodiment, portions having the same configuration as those of the laser scanning microscope 1 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

光源ユニット40は、略平行な光軸を有する波長の異なる2つのレーザ光をそれぞれ照射するレーザ光源41,42と、各レーザ光源41,42からのレーザ光を透過させる電気光学偏向素子43と、該電気光学偏向素子43から出射された2本の平行な光軸に沿うレーザ光をそれぞれ観察用光学系3および刺激用光学系4に接続される光ファイバ5,6に入射させるカップリングレンズ14,15とを備えている。図中、符号44はミラーである。   The light source unit 40 includes laser light sources 41 and 42 that respectively emit two laser beams having substantially parallel optical axes and different wavelengths, an electro-optic deflection element 43 that transmits the laser light from each of the laser light sources 41 and 42, and Coupling lens 14 for causing laser beams along two parallel optical axes emitted from electro-optic deflection element 43 to enter optical fibers 5 and 6 connected to observation optical system 3 and stimulation optical system 4, respectively. , 15. In the figure, reference numeral 44 denotes a mirror.

本実施形態において電気光学偏向素子43は、光軸方向に隣接して配置される2つの電気光学結晶45,46と、各電気光学結晶45,46を挟む対向電極47a,47b;48a,48bとを備えている。そして、これら対向電極47a,47b;48a,48bには、相互に逆方向に同じ大きさの電圧が加えられるようになっている。   In the present embodiment, the electro-optic deflection element 43 includes two electro-optic crystals 45 and 46 arranged adjacent to each other in the optical axis direction, and counter electrodes 47a and 47b; 48a and 48b sandwiching the electro-optic crystals 45 and 46, respectively. It has. And the same magnitude | size voltage is applied to these counter electrode 47a, 47b; 48a, 48b to a mutually reverse direction.

すなわち、図14(a)に示されるように、一方の電気光学結晶45により一方向に偏向された波長λ1のレーザ光は、他方の電気光学結晶46により他方向に偏向され、略平行な光軸を保持しつつ一方のカップリングレンズ15に入射させられるようになっている。そして、図14(b)に示されるように、各電気光学結晶45,46の対向電極47a,47b;48a,48bに加える電圧値を切り替えることにより、偏向角度の変化を利用して他方のカップリングレンズ14に入射させられるようになっている。   That is, as shown in FIG. 14A, the laser light of wavelength λ1 deflected in one direction by one electro-optic crystal 45 is deflected in the other direction by the other electro-optic crystal 46, and is substantially parallel light. The light is incident on one coupling lens 15 while holding the shaft. Then, as shown in FIG. 14 (b), by switching the voltage value applied to the counter electrodes 47a, 47b; 48a, 48b of the electro-optic crystals 45, 46, the other cup is utilized using the change in the deflection angle. The light can enter the ring lens 14.

また、図14(a),(d)に示されるように、電気光学結晶45,46に加える電圧を逆転させることにより、電気光学結晶45によって一方向に偏向された波長λ2のレーザ光を他方の電気光学結晶46により他方向に偏向し、略平行な光軸を保持しつつカップリングレンズ14に入射させるようになっている。そして、図14(c)に示されるように、各電気光学結晶45,46の対向電極47a,47b;48a,48bに加える電圧値を切り替えることにより、偏向角度の変化を利用して波長λ2のレーザ光をカップリングレンズ15に入射させるようになっている。   Further, as shown in FIGS. 14A and 14D, by reversing the voltage applied to the electro-optic crystals 45 and 46, the laser light having the wavelength λ2 deflected in one direction by the electro-optic crystal 45 is converted into the other. This is deflected in the other direction by the electro-optic crystal 46 and is incident on the coupling lens 14 while maintaining a substantially parallel optical axis. Then, as shown in FIG. 14C, by switching the voltage value applied to the counter electrodes 47a, 47b; 48a, 48b of the electro-optic crystals 45, 46, the change in the deflection angle is used to change the wavelength λ2. Laser light is incident on the coupling lens 15.

このようにすることで、観察用のレーザ光および光刺激用のレーザ光として、異なる波長λ1,λ2のレーザ光を同軸でそれぞれ電気光学偏向素子43から出射させることができ、観察用および光刺激用のいずれについても波長合成用のダイクロイックミラーを不要とすることができるという利点がある。   By doing so, laser beams having different wavelengths λ1 and λ2 can be coaxially emitted from the electro-optic deflection element 43 as observation laser light and light stimulation laser light, respectively. Both of these methods have an advantage that a dichroic mirror for wavelength synthesis can be eliminated.

次に、本発明の第3の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡について、図15を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡は、図15に示される光源ユニット50を備えている。
なお、本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
Next, a laser scanning microscope according to the third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
The laser scanning microscope according to this embodiment includes a light source unit 50 shown in FIG.
In the description of the present embodiment, portions having the same configuration as those of the laser scanning microscope 1 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

この光源ユニット50は、3つの異なる波長λ1,λ2,λ3のレーザ光を出射する3つのレーザ光源51,52,53と、これらのレーザ光源51,52,53から出射されたレーザ光を合波するミラー54およびダイクロイックミラー55,56と、合波されたレーザ光を波長毎に異なる角度で分離する回折格子57と、分離された3つのレーザ光を所定の角度をなして交差するように集光する集光レンズ58,59と、該集光レンズ58,59によるレーザ光の交差位置に配置された電気光学偏向素子60と、2つの光ファイバ5,6に入射させるカップリングレンズ14,15およびミラー16およびダイクロイックミラー17とを備えている。
本実施形態における電気光学偏向素子60の動作は、第1の実施形態における図10〜図12の動作と同様である。
The light source unit 50 combines three laser light sources 51, 52, and 53 that emit laser beams having three different wavelengths λ1, λ2, and λ3, and laser beams emitted from these laser light sources 51, 52, and 53. Mirror 54 and dichroic mirrors 55 and 56, a diffraction grating 57 that separates the combined laser beams at different angles for each wavelength, and the three separated laser beams that intersect at a predetermined angle. The condensing lenses 58 and 59 that emit light, the electro-optic deflecting element 60 that is disposed at the intersection of the laser beams by the condensing lenses 58 and 59, and the coupling lenses 14 and 15 that are incident on the two optical fibers 5 and 6 And a mirror 16 and a dichroic mirror 17.
The operation of the electro-optic deflection element 60 in this embodiment is the same as the operation in FIGS. 10 to 12 in the first embodiment.

このようにすることで、現実的にレーザ光源51,52,53のサイズが大きく、第1の実施形態の方法では、3つのレーザ光源51,52,53を空間的に配置すると、大きなスペースを要してしまう場合にも、比較的小さなスペースに配置することができる。   By doing in this way, the size of the laser light sources 51, 52, 53 is practically large, and in the method of the first embodiment, if the three laser light sources 51, 52, 53 are spatially arranged, a large space is required. Even if necessary, it can be arranged in a relatively small space.

本発明の第1の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡の全体構成を示す模式図である。1 is a schematic diagram illustrating an overall configuration of a laser scanning microscope according to a first embodiment of the present invention. 図1のレーザ走査型顕微鏡の光源ユニットに備えられた電気光学偏向素子の電圧と屈折率との関係を示すグラフである。2 is a graph showing the relationship between the voltage and refractive index of an electro-optic deflection element provided in the light source unit of the laser scanning microscope of FIG. 図2の電気光学偏向素子の電気光学結晶内におけるレーザ光の屈折の状態を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a state of refraction of laser light in an electro-optic crystal of the electro-optic deflection element of FIG. 2. 図1のレーザ走査型顕微鏡の光源ユニットの動作を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining operation | movement of the light source unit of the laser scanning microscope of FIG. 図4(a)、(b)の動作を切り替えた場合における電極に加える電圧と出射されるレーザ光との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the voltage applied to an electrode at the time of switching operation | movement of Fig.4 (a), (b), and the emitted laser beam. 図4(a),(c)の動作を切り替えた場合における電極に加える電圧と出射されるレーザ光との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the voltage applied to an electrode at the time of switching operation | movement of Fig.4 (a), (c), and the emitted laser beam. 図6の動作において、光検出器の放電期間内に刺激用レーザ光を出射する場合を説明するグラフである。FIG. 7 is a graph for explaining a case in which stimulation laser light is emitted within a discharge period of the photodetector in the operation of FIG. 6. 図6の動作において、観察用レーザ光と刺激用レーザ光の照射時間の比率を変化させる場合を説明するグラフである。FIG. 7 is a graph for explaining a case where the ratio of the irradiation time of the observation laser light and the stimulation laser light is changed in the operation of FIG. 6. 図4(a),(b),(c)の動作を切り替えた場合における電極に加える電圧と出射されるレーザ光との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the voltage applied to an electrode at the time of switching operation | movement of Fig.4 (a), (b), (c), and the emitted laser beam. 図1のレーザ走査型顕微鏡の変形例であって、3つのレーザ光源を有する光源ユニットを示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a light source unit having three laser light sources, which is a modification of the laser scanning microscope of FIG. 1. 図10の光源ユニットにより、2つの異なる波長による観察と、さらに異なる波長による光刺激とを時分割で行う動作を説明するグラフである。It is a graph explaining the operation | movement which performs the observation by two different wavelengths, and the optical stimulation by a different wavelength by a time division by the light source unit of FIG. 図10の光源ユニットの動作を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining operation | movement of the light source unit of FIG. 本発明の第2の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡の光源ユニットを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the light source unit of the laser scanning microscope which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図13の光源ユニットの動作を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining operation | movement of the light source unit of FIG. 本発明の第3の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡の光源ユニットを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the light source unit of the laser scanning microscope which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

A 標本
λ1,λ2,λ3 波長
1 レーザ走査型顕微鏡
3 観察光学系(検出光学系)
5,6 光ファイバ
9 制御ユニット(制御手段)
11,12,36,41,42,51,52,53 レーザ光源(光源)
13,43,60 電気光学偏向素子
20,45,46 電気光学結晶
23 走査手段(観察用走査手段)
34 走査手段(刺激用走査手段)
A Sample λ1, λ2, λ3 Wavelength 1 Laser scanning microscope 3 Observation optical system (detection optical system)
5, 6 Optical fiber 9 Control unit (control means)
11, 12, 36, 41, 42, 51, 52, 53 Laser light source (light source)
13, 43, 60 Electro-optic deflection element 20, 45, 46 Electro-optic crystal 23 Scanning means (observation scanning means)
34 Scanning means (stimulating scanning means)

Claims (12)

レーザ光源と、
該レーザ光源から出射されるレーザ光を標本に対して2次元走査する観察用走査手段と、
標本からの光を検出する検出光学系と、
前記レーザ光源と前記観察用走査手段との間に配置され、電流の注入により屈折率のグラデーションが前記電流の注入方向に誘起される電気光学結晶を備え、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光の光路を切り替える電気光学偏向素子と、
該電気光学偏向素子に加える電圧を前記観察用走査手段による走査に同期して制御する制御手段とを備え、
前記電気光学結晶を挟んで対向配置され該電気光学結晶に電圧を印加して前記電流を注入する電極間に前記レーザ光が入射されることにより該レーザ光が前記電流の注入方向に偏向されるレーザ走査型顕微鏡。
A laser light source;
Scanning means for observation that two-dimensionally scans the specimen with laser light emitted from the laser light source;
A detection optical system for detecting light from the specimen;
The laser light emitted from the laser light source, comprising an electro-optic crystal that is disposed between the laser light source and the observation scanning unit and in which a gradation of refractive index is induced in the current injection direction by current injection. An electro-optic deflection element for switching the optical path of
Control means for controlling the voltage applied to the electro-optic deflection element in synchronization with scanning by the observation scanning means,
The laser beam is deflected in the direction of current injection by applying the voltage to the electro-optic crystal and injecting the current between the electrodes disposed opposite to each other with the electro-optic crystal interposed therebetween. Laser scanning microscope.
前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、
記制御手段が、前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御して、異なる波長のうち選択した波長の前記レーザ光が前記観察用走査手段に導かれるように前記電気光学偏向素子からのレーザ光の出射方向を切り替える請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
The laser light source includes a plurality of light sources that oscillate laser beams of different wavelengths,
Before SL control means, said electrical controls the voltage applied to the optical deflecting element, the laser light from the electro-optical deflecting element so that the laser beam of the selected wavelength of the different wavelengths are guided to the observation scanning unit the laser scanning microscope according to the emission direction to switch between El claim 1.
記電気光学偏向素子が、前記光源からのレーザ光の交差する位置に配置されている請求項2に記載のレーザ走査型顕微鏡。 Before SL electro-optical deflecting element, the laser scanning microscope according to claim 2, which is located where the laser light from the light source. 標本に光刺激を与えるレーザ光の照射位置を調節する刺激用走査手段を備え、
前記電気光学偏向素子が、前記観察用走査手段への光路と前記刺激用走査手段への光路との分岐点に配置され、
前記制御手段が、前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御して、該電気光学偏向素子からのレーザ光の出射方向を前記観察用走査手段への光路と前記刺激用走査手段への光路とを切り替える請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
Comprising a scanning means for stimulation for adjusting the irradiation position of the laser beam for applying a light stimulus to the specimen;
The electro-optic deflection element is disposed at a branch point between an optical path to the observation scanning unit and an optical path to the stimulation scanning unit;
The control means controls the voltage applied to the electro-optic deflection element, and determines the emission direction of the laser light from the electro-optic deflection element to the optical path to the observation scanning means and the optical path to the stimulation scanning means. The laser scanning microscope according to claim 1 to be switched.
前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、
前記電気光学偏向素子が、前記光源からのレーザ光の交差する位置に配置されている請求項4に記載のレーザ走査型顕微鏡。
The laser light source includes a plurality of light sources that oscillate laser beams of different wavelengths,
The laser scanning microscope according to claim 4, wherein the electro-optic deflection element is disposed at a position where laser beams from the light source intersect.
前記レーザ光源が、異なる波長のレーザ光を発振する複数の光源を備え、
前記電気光学偏向素子が、これらの光源から発せられ相互に平行に配された複数のレーザ光の光路に光軸方向に隣接して配置され相互に逆方向に電圧が加えられる2つの前記電気光学結晶を備える請求項2または請求項4に記載のレーザ走査型顕微鏡。
The laser light source includes a plurality of light sources that oscillate laser beams of different wavelengths,
The two electro-optical elements in which the electro-optic deflecting element is disposed adjacent to the optical path of a plurality of laser beams emitted from these light sources and arranged in parallel to each other, and a voltage is applied in opposite directions to each other. The laser scanning microscope according to claim 2 or 4, comprising a crystal.
前記電気光学偏向素子と前記観察用走査手段または前記電気光学偏向素子と前記刺激用走査手段との間の少なくとも一方に、光ファイバが配置されている請求項6に記載のレーザ走査型顕微鏡。   The laser scanning microscope according to claim 6, wherein an optical fiber is disposed at least one of the electro-optic deflection element and the observation scanning unit or between the electro-optic deflection element and the stimulation scanning unit. 前記制御手段が、前記電気光学偏向素子からの光ファイバへのレーザ光の入射角度を変化させ、光ファイバへの入射光量を調整するよう前記電気光学偏向素子に加える電圧を制御する請求項7に記載のレーザ走査型顕微鏡。   The control means controls the voltage applied to the electro-optic deflecting element so as to change the incident angle of the laser light from the electro-optic deflecting element to the optical fiber and adjust the amount of light incident on the optical fiber. The laser scanning microscope described. 前記制御手段が、前記観察用走査手段による標本へのレーザ光の各1画素照射時間内において前記電気光学偏向素子に加える電圧を切り替える請求項1から請求項4のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。 The laser scanning type according to any one of claims 1 to 4, wherein the control unit switches a voltage applied to the electro-optic deflection element within each one-pixel irradiation time of the laser beam to the specimen by the observation scanning unit. microscope. 前記制御手段が、前記観察用走査手段による標本へのレーザ光の各1画素照射時間内において、観察用走査手段への光路と刺激用走査手段への光路とを切り替える時間比率を調節する請求項4に記載のレーザ走査型顕微鏡。   The said control means adjusts the time ratio which switches the optical path to the scanning means for observation, and the optical path to the scanning means for stimulation within each 1 pixel irradiation time of the laser beam to the sample by the scanning means for observation. 4. A laser scanning microscope according to 4. 前記電気光学結晶が、KTa1−xNbである請求項1から請求項10のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。 The electro-optical crystal, KTa 1-x Nb x O 3 laser scanning microscope according to any one of claims 1 to claim 10. 前記制御手段は、前記検出光学系が備える光検出器の放電期間中に前記刺激用走査手段への光路に切り替える請求項10に記載のレーザ走査型顕微鏡。  The laser scanning microscope according to claim 10, wherein the control unit switches to an optical path to the stimulation scanning unit during a discharge period of a photodetector included in the detection optical system.
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