JP4975705B2 - Image processing apparatus, image processing method, image processing computer program, and storage medium storing image processing computer program - Google Patents
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Description
本発明は、カメラで撮影された複数の画像の貼り合せ及び貼り合わせた結合画像に基づく測定や作図を行う装置、方法、コンピュータ・プログラム及び記憶媒体に関する。 The present invention relates to an apparatus, a method, a computer program, and a storage medium that perform measurement and drawing based on a combination of a plurality of images captured by a camera and a combined image.
従来、複数の画像を貼り合わすために、例えば、2つの画像のオーバーラップ域において、色相、彩度、明度の各色成分データをもとに色成分同士が近い箇所を貼り合せて、つなぎ目の違和感をなくす画像処理がなされて1枚の結合画像を作成している。(例えば特許文献1参照) Conventionally, in order to paste a plurality of images, for example, in a region where two images overlap, a portion where the color components are close to each other based on each color component data of hue, saturation, and brightness is combined, and the sense of incongruity at the joint Image processing that eliminates the above is performed to create one combined image. (For example, see Patent Document 1)
しかし、画像間の色成分情報をもとに結合させているため、つなぎ目に違和感のない結合画像であっても、つなぎ目において画像間の位置寸法精度を保証しにくいため、風景を撮像した画像には適しているが、半導体基板画像や医用画像などの寸法精度を必要とする場合に、結合画像上で実寸法の測定値を得ることができないという問題があった。 However, since it is combined based on the color component information between images, it is difficult to guarantee the positional dimensional accuracy between images at the joints even if the joint images have no sense of incongruity at the joints. Is suitable, but there is a problem that when a dimensional accuracy of a semiconductor substrate image, a medical image, or the like is required, a measurement value of an actual dimension cannot be obtained on the combined image.
また、一般的に、画像間で共通領域をもたすためカメラ撮影時には、図14に表すように隣接する画像21、22、23でオーバーラップ部分24を確保する必要があり、測定対象物に対する照明のムラなどの撮影環境によっては、測定対象物の色成分情報と異なる色成分情報となるために貼り合わせの間違いが生ずるという問題があった。
In general, since a common area is provided between images, it is necessary to secure an
貼り合せた画像では画像の寸法精度が保証しにくいため、画像を使用しての測定をする場合は、顕微鏡を使用して撮影した画像上での測定であって、Quick Grain(株式会社イノテック製)のように、貼り合せていない1枚の画像上での測定を実施されていた。 Since it is difficult to guarantee the dimensional accuracy of an image in a pasted image, when measuring using an image, it is a measurement on an image taken using a microscope, and Quick Grain (manufactured by Innotech Co., Ltd.) ), The measurement was performed on one image that was not pasted.
ところが、半導体ウエハや細胞などを測定対象物とした場合は、顕微鏡の対物レンズを高倍率にしてCCDカメラで撮影する必要があり、対物レンズの倍率によってCCDカメラで撮影できる範囲が大小に変化することから、対物レンズが高倍率になると撮影し測定できる範囲が縮小するため、大きな測定対象物であると高倍率で撮影された1枚の画像上では、複数の画像に跨る点間の精度保証された寸法測定はできなかった。 However, when a semiconductor wafer or cell is used as a measurement object, it is necessary to shoot with a CCD camera with a high objective lens of the microscope, and the range that can be captured with the CCD camera varies depending on the magnification of the objective lens. As a result, when the objective lens has a high magnification, the range that can be photographed and measured is reduced. Therefore, on a single image photographed at a high magnification for a large measurement object, accuracy is guaranteed between points that span multiple images. The measured dimensions could not be measured.
このような場合には、CCDカメラで撮影された高倍率の画像上での測定ではなく、測定顕微鏡を使用し測定顕微鏡に内設された精度保証されたマイクロメータなどの測定器に基づく座標により測定を行っていた。 In such a case, the measurement is not performed on a high-magnification image photographed by a CCD camera, but is based on coordinates based on a measuring instrument such as a micrometer that is built in the measuring microscope using a measuring microscope. We were measuring.
しかし、測定顕微鏡では測定対象物を一度に確認できる範囲が限定されるため、測定対象物のどの部分とどの部分とを測定したのかが一目で把握しにくいという問題があった。 However, since the range in which the measurement object can be confirmed at a time is limited in the measurement microscope, there is a problem that it is difficult to grasp at a glance which part of the measurement object and which part are measured.
そこで、本発明の目的は、撮影対象物の撮影環境に影響されず、かつ顕微鏡の対物レンズを高倍率にして撮影した画像であっても、複数の画像を貼り合わせた結合画像の寸法精度を保証できる結合画像を作成でき、該結合画像上で、貼り合せる前の複数の画像に跨る任意の点の選択によって、長さの実寸値や角度などのデータを把握することができる画像処理の装置、方法、コンピュータ・プログラム及び記憶媒体を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to improve the dimensional accuracy of a combined image obtained by pasting together a plurality of images, even if the image is not affected by the photographing environment of the photographing object and is photographed with a high magnification of the objective lens of the microscope. Image processing apparatus capable of creating a combined image that can be guaranteed, and grasping data such as an actual length value and an angle by selecting an arbitrary point across a plurality of images before pasting on the combined image A method, a computer program and a storage medium are provided.
本発明において、「座標データ」とは、測定顕微鏡などの測定装置に内設された座標でX軸方向及びY軸方向の実寸法値による値を意味し、「画素値」とは、画素の有している情報、例えば色の濃度情報などを意味し、「画素位置」とは、例えば(Xi,Yi)と表示し、画像上における画素のX軸方向及びY軸方向の位置を意味し、「ピクセル」は画素数の単位を意味する。 In the present invention, the “coordinate data” means coordinates provided in a measuring device such as a measuring microscope and values based on actual dimension values in the X-axis direction and the Y-axis direction, and “pixel value” means the pixel value. Meaning information, for example, color density information, and “pixel position” means, for example, (Xi, Yi) and means the position of the pixel in the X-axis direction and Y-axis direction on the image. , “Pixel” means a unit of the number of pixels.
本発明において、「結合画像」とは、カメラで撮影した複数の画像を貼り合わせて1枚の画像にした画像を意味する。 In the present invention, the “combined image” means an image obtained by combining a plurality of images taken by a camera into one image.
請求項1に記載の画像処理装置の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする装置であって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手段と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手段と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手段を含むことを特徴とする。
The invention of the image processing device according to
請求項2に記載の画像処理装置の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする装置であって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手段と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手段と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手段と、該結合画像上において測定をする手段として、結合画像上の任意の点の選択によって実寸値を把握する手段と、を含むことを特徴とする。
The invention of the image processing device according to
請求項3に記載の画像処理方法の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする方法であって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する工程と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する工程と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する工程を含むことを特徴とする。
The invention of the image processing method according to
請求項4に記載の画像処理方法の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする方法であって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する工程と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する工程と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する工程と、該結合画像上において測定をする工程として、結合画像上において任意の点の選択によって実寸値を把握する工程と、を含むことを特徴とする。 In the image processing method according to the fourth aspect of the present invention, in the state where the measurement object is installed on the movable part of the coordinate measuring device, all the images are taken by the camera installed on the coordinate measuring device, Is a method of measuring based on the combined image that is pasted, taken with a camera installed on the coordinate measuring device in a state where the measurement object is installed on the movable part of the coordinate measuring device A step of acquiring an image and coordinate data of an actual size value of the center position of the image, a step of mutually converting the actual size value of the coordinate data and the number of pixels of the image, and an image from the coordinate data at the center position of the image identifying the position of a pixel of the upper, a step of creating a combined image by sticking to match the center position of the image at the position of the pixel, as the step of the measurement on the combined image, Ren on combined image Characterized in that it comprises the step of grasping the actual value, a by selection of a point.
請求項5に記載の画像処理コンピュータ・プログラムの発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする処理をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムであって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手順と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手順と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手順と、をコンピュータに実行させるためのものであることを特徴とする。
The invention of the image processing computer program according to
請求項6に記載の画像処理コンピュータ・プログラムの発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする処理をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムであって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手順と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手順と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手順と、該結合画像上において測定をする手順として、結合画像上において任意の点の選択によって実寸値を把握する手順と、をコンピュータに実行させるためのものであることを特徴とする。
The invention of the image processing computer program according to
請求項7に記載の画像処理コンピュータ・プログラムを記憶した記憶媒体の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする処理をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムをコンピュータ可読形式で物理的に格納した記憶媒体であって、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手順と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手順と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手順と、をコンピュータに実行させるためのものであることを特徴とする。
The invention of the storage medium storing the image processing computer program according to
請求項8に記載の画像処理コンピュータ・プログラムを記憶した記憶媒体の発明は、測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより、すべての画像を撮影し、前記撮影した複数の画像を貼り合わせて、貼り合せた結合画像に基づいて測定をする処理をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムをコンピュータ可読形式で物理的に格納した記憶媒体であって、m測定対象物を座標測定装置の可動部に設置した状態で、前記座標測定装置に設置したカメラにより撮影した画像と、該画像の中心位置の実寸値の座標データとを取得する手順と、該座標データによる実寸値と画像の画素数とを相互に換算する手順と、画像の中心位置における座標データから画像上の画素の位置を特定し、該画素の位置に画像の中心位置を一致させて貼り合せて結合画像を作成する手順と、該結合画像上において測定をする手順として、結合画像上において任意の点の選択によって実寸値を把握する手順と、をコンピュータに実行させるためのものであることを特徴とする。 The invention of the storage medium storing the image processing computer program according to claim 8 is a method of storing all images by a camera installed in the coordinate measuring apparatus in a state where the measurement object is installed in the movable part of the coordinate measuring apparatus. photographed, by bonding a plurality of images the imaging, a physically stored to a storage medium a computer program in a computer-readable format for executing the processing of the measurement based on the laminated combined image to the computer A procedure for acquiring an image taken by a camera installed in the coordinate measuring device and coordinate data of an actual size value of the center position of the image in a state where the m measuring object is installed on a movable part of the coordinate measuring device ; The procedure for mutually converting the actual size value by the coordinate data and the number of pixels of the image and the position of the pixel on the image from the coordinate data at the center position of the image are specified. And, a procedure for creating a combined image by sticking to match the center position of the image at the position of the pixel, as a procedure for the measurement on the combined image, the actual value by the selection of any point on the combined image It is for making a computer perform the procedure to grasp | ascertain.
請求項1記載の画像処理装置の発明は、画像の中心位置における寸法精度保証のとれた測定器による座標データを基にして、画素位置を特定して、該画素位置に画像の中心位置を一致させて画像を貼り合せるため、測定対象物に対する照明ムラなどの外的環境に左右されず、撮像した複数画像間のオーバーラップ域における色成分からなる画素値の一致の判別や、画像間のつなぎ目の違和感をなくす画像処理をする必要がなく、撮像した複数画像間の位置関係寸法の精度が保証された結合画像を作成できるという効果がある。
The invention of the image processing apparatus according to
カメラによる撮影時において、複数画像のオーバーラップ域の色成分なる画素値の一致判別のためや、つなぎ目の違和感をなくす画像処理のために、オーバーラップをさせて画像を撮影する必要がないという効果がある。 The effect that it is not necessary to shoot images with overlapping images for the purpose of determining the coincidence of pixel values that are the color components of the overlapping areas of multiple images or for image processing that eliminates the sense of discomfort at the joints when shooting with a camera There is.
請求項2記載の画像処理装置の発明は、請求項1の発明の効果を有し、結合画像上での任意の点を指定することによって、長さや円の半径などの実寸値把握、結合画像上での中心位置の特定や円の中心位置の特定、又は複合画像の実寸値に基づく拡大や縮小ができるという効果がある。
The invention of the image processing apparatus according to
また、結合画像上に測定結果などをグラフィカルに表示することが可能であるので、測定や作図に携わる担当者間での意思疎通が行いやすいという効果がある。 Further, since the measurement result and the like can be graphically displayed on the combined image, there is an effect that it is easy to communicate between persons in charge of measurement and drawing.
さらに、測定顕微鏡などの測定器やカメラのない場所でも、保存した結合画像に基づいて、画像上での測定や作図ができるという効果がある。 Furthermore, there is an effect that measurement and plotting can be performed on an image based on the stored combined image even in a place without a measuring instrument such as a measuring microscope or a camera.
請求項3に記載の画像処理装置の発明は、請求項1に記載の発明と同じ効果がある。 The invention of the image processing apparatus according to the third aspect has the same effect as the invention according to the first aspect.
請求項4に記載の画像処理方法の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明と同じ効果がある。 The invention of the image processing method according to the fourth aspect has the same effect as the invention according to any one of the first to third aspects.
請求項5に記載の画像処理コンピュータ・プログラムの発明は、請求項1又は3に記載の発明と同じ効果がある。 The invention of the image processing computer program according to the fifth aspect has the same effect as the invention according to the first or third aspect.
請求項6に記載の画像処理コンピュータ・プログラムの発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載の発明と同じ効果がある。 The invention of the image processing computer program according to the sixth aspect has the same effect as the invention according to any one of the first to fifth aspects.
請求項7に記載の画像処理コンピュータ・プログラムを記憶した記憶媒体の発明は、請求項1、3又は5のいずれかに記載の発明と同じ効果があり、可搬性があるので任意の場所でいつでも使用できるという効果がある。
The invention of the storage medium storing the image processing computer program according to
請求項8に記載の画像処理コンピュータ・プログラムを記憶した記憶媒体の発明は、請求項1乃至7のいずれかに記載の発明と同じ効果があり、可搬性があるので任意の場所でいつでも使用できるという効果がある。
The invention of the storage medium storing the image processing computer program according to claim 8 has the same effect as the invention according to any one of
次ぎに、本発明の画像処理測定装置の最良の形態を説明する。 Next, the best mode of the image processing measurement apparatus of the present invention will be described.
図1は、本発明の一実施例で測定顕微鏡装置全体の構成例を示す概略図であり、測定顕微鏡1と、倍率を選択できる対物レンズ3と、定置された測定対象物2を撮影するカメラ4と、撮影した画像と座標データを保存し、撮像した複数画像の貼り合せ、貼り合せた結合画像を使用した計測や作図をするなどの画像処理を行うアプリケーションを制御する画像処理装置5、画像を表示するモニター画面6を備えている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of an entire measurement microscope apparatus according to an embodiment of the present invention. The
図2は、本発明の画像処理装置5として適用される画像処理コンピュータ・システム100の構成を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an image
ハードディスクや可搬型メディアであるCDなどの画像処理コンピュータ・プログラムの記憶媒体である補助記憶装置110から、画像処理コンピュータ・システム100へ画像処理コンピュータ・プログラムがコピーされた後、入力装置111から、カメラ、測定機器、キーボードなどからの情報が画像処理コンピュータ・システム100へ入力され、画像処理コンピュータ・システム100が画像処理を実行して、出力装置112によりモニター画面6の表示や印刷機の印刷が実行される。
After the image processing computer program is copied from the
画像処理コンピュータ・システム100は、装置全体の制御をして、各種の画像処理を行うアプリケーション・プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)101と、入力装置111から入力された実寸値の目盛などから1画素当りの実寸値を計算し保存をする1画素当り実寸値取得部102と、入力装置111から入力された撮像された画像と該画像のX軸及びY軸の座標データを保存する画像・座標データ保存部103と、1画素当り実寸値保存部102と画像・座標データ保存部103から情報を取り出して、座標データから画素位置を特定して、撮影された画像の中心位置を特定された画素位置に一致させて、撮像された複数の画像を貼り合せて結合画像を作る画像貼り合せ部104と、画像上において、長さなどの実寸値データや円などの幾何学的データを取得する方法や手順を入力したデータ取得方法保存部105と、結合画像上で画素位置を指定すると、長さなどの実寸値データや円などの幾何学的データを取得するデータ取得部106とを備える。
The image
画像処理制御システム部100を構成する各部の動作を、画像処理全体の流れを示した図3に沿って説明する。
The operation of each unit constituting the image processing
1画素当り実寸値取得部102における動作を、1画素当り実寸値把握ステップS201の詳細ステップである図4により説明する。
The operation in the actual size
あらかじめ測定対象物2をカメラ4で撮影する際の対物レンズ3の倍率を決定し、該倍率と同一倍率で対物ミクロメータや物差しなどの測定器の目盛を撮影して、ステップS31において、例えば図5に表す目盛の画像7を取得する。
The magnification of the
画像7は画素12から構成されており、例えば、図6で説明すると、撮影した画像7はX軸方向がP画素数でY軸方向がQ画素数から構成されており、また画素12は画像内の2次元の座標系により、X軸方向とY軸方向の画素位置を(Xj,Yj)のように特定することができる。
The
ステップS32を図7で説明すると、対物ミクロメータなどの測定器の目盛の画像11と、該画像11を構成する画素12とを表しており、目盛の画像11の始点Aの目盛(aμm)を表示している画素と終点Bの目盛(bμm)を表示している画素とを手入力で指定をすると、始点Aの画素の位置(X1、Y1)と終点B(X2、Y2)の画素の位置が取得される。
Step S32 will be described with reference to FIG. 7. The
ステップS33において、まず、人が、始点Aと終点B間の実寸値を、始点Aの目盛(aμm)と終点Bの目盛(bμm)から計算して実寸値(b―a)μmを入力し、次に、1画素当り実寸値取得部102により、始点Aと終点B間の画素数が、取得した始点Aの画素位置(X1、Y1)と終点Bの画素位置(X2、Y2)から、式((X1―X2)2+(Y1―Y2)2)1/2より算出される。
In step S33, the person first calculates the actual size value between the start point A and the end point B from the scale of the start point A (a μm) and the scale of the end point B (b μm), and inputs the actual size value (ba) μm. Next, the actual size
ステップS34において、始点Aと終点Bとの間の実寸値及び画素数とから1画素当りの実寸値を算出するキャリブレーションを行い、算出した1画素当り実寸値を1画素当り実寸値取得部102に保存する。
In step S34, calibration is performed to calculate an actual size value per pixel from the actual size value and the number of pixels between the start point A and the end point B, and the calculated actual size value per pixel is obtained as an actual size
図2における画像・座標データ保存部103の動作を、撮影画像及び座標データ保存のステップS202をもとに説明する。
The operation of the image / coordinate
画像撮影は、例えば、測定顕微鏡1に設置されたカメラ4で、撮影時の対物レンズ3の倍率を、対物ミクロメータなどの測定器の目盛を撮影したときの対物レンズの倍率と同一倍率として測定対象物を撮影する。
For example, the camera 4 installed in the measuring
撮影された画像と、該画像の中心位置の座標データとして、測定顕微鏡などの測定器に内設される実寸値の2次元座標に基づくX軸及びY軸の座標位置のデータ、例えば座標位置(cμm、dμm)を示す座標データとを、測定器とつながった入力装置111により取得し、画像・座標データ保存部103に保存する。
As coordinate data of the photographed image and the center position of the image, coordinate position data of the X axis and the Y axis based on the two-dimensional coordinates of the actual size value provided in a measuring instrument such as a measurement microscope, for example, coordinate position ( The coordinate data indicating c μm and d μm) is acquired by the
また、測定対象物の撮影は、各画像間の座標データの位置関係を保証するため、測定顕微鏡などの測定器に測定対象物を定置したままの状態で、すべての画像を撮影することが必要である。 In addition, in order to guarantee the positional relationship of the coordinate data between each image, it is necessary to shoot all the images with the measurement object placed on a measuring instrument such as a measurement microscope. It is.
図2の画像貼り合わせ部104の動作を、図3の複数画像の実寸値に基づく貼り付けのステップS203の詳細ステップを示す図8により説明する。
The operation of the
マウスなどの入力装置111により、1枚目の画像を指定すると、図8におけるステップS51において、1枚目の画像が画像・座標データ保存部103から取得され、出力部107により、例えば、図11に示すように画像15がモニター画面6上に表示される。
When the first image is designated by the
ステップS52において、画像取得と同時に、1枚目の画像15の中心位置Cの座標データ(X3μm,Y3μm)を画像・座標データ保存部103から取得し、また、モニター画面6に表示されている画像の中心位置Cの画素位置の画素データ(e1,f1)も取得する。
In step S52, simultaneously with image acquisition, the coordinate data (X3 μm, Y3 μm) of the center position C of the
マウスなどの入力装置111により、2枚目の画像を指定すると、ステップS53において、2枚目の画像を画像・座標データ保存部103から取得し、出力部112により、例えば、図12に示すように画像16がモニター画面6上に表示される。
When the second image is designated by the
ステップS54は、ステップS54の詳細ステップを示した図9により説明をする。2枚目の画像16の中心位置Dの座標データを取得するステップS501は、画像・座標データ保存部103から2枚目画像の座標データ(X4μm,Y4μm)を取得する。
Step S54 will be described with reference to FIG. 9 showing the detailed steps of step S54. In step S501 for acquiring the coordinate data of the center position D of the
1枚目の画像の座標データ(X3μm,Y3μm)と2枚目の画像の座標データ(X4μm,Y4μm)との差を把握するステップS502では、X軸方向の場合には、X3μmとX4μmとの差を、X軸方向で正方向か負方向か、及び差の長さを実寸値(X4−X3)μmで算出する。Y軸方向の座標データの差(Y4−Y3)μmもX軸の場合と同じようにして算出する。 In step S502 for grasping the difference between the coordinate data (X3 μm, Y3 μm) of the first image and the coordinate data (X4 μm, Y4 μm) of the second image, in the case of the X-axis direction, the difference between X3 μm and X4 μm. The difference is calculated in the X axis direction as a positive direction or a negative direction, and the length of the difference is calculated as an actual size value (X4−X3) μm. The difference (Y4−Y3) μm in the coordinate data in the Y axis direction is also calculated in the same manner as in the case of the X axis.
座標データの差を画素数に換算するステップS503では、X軸の座標データの差(X4−X3)μmを、1画素当りの実寸値取得部102からの1画素当りの実寸値データ(例えば、Jμm/1画素)を取得して、式(X4−X3)μm/(Jμm/1画素)により画素数に換算し取得する。Y軸の画素数もX軸の場合と同じようにして取得する。
In step S503 for converting the difference in the coordinate data into the number of pixels, the difference (X4−X3) μm in the X-axis coordinate data is obtained from the actual size value data per pixel (for example, from the actual size
1枚目の画像15の画素位置(e1,f1)を基準に、2枚目の画像16の中心位置DのX軸の画素位置を把握するステップS504では、1枚目の画像15の画素位置(e1,f1)を基準にして、2枚目の画像16のX軸方向の正負及び画素の数の差を加算して、X軸の画素の位置e2を式(e1+(X4−X3)μm/(Jμm/1画素))により算出する。Y軸の画素位置もX軸と同じようにしてY軸の画素位置f2を取得する。
In step S504, where the pixel position (e1, f1) of the
これにより、2枚目の画像16の中心位置の画素位置(e2,f2)は、1枚目の画像15の中心位置の画素位置(e1,f1)を基準として、1枚目の画像15と2枚目の画像16のそれぞれの中心位置の間の距離の実寸値から換算した画素数を加えて特定されたことになる。
Accordingly, the pixel position (e2, f2) at the center position of the
2枚目の画像の貼り付けステップS55では、図13に示すように1枚目の画像の画素位置(e1,f1)と2枚目の画像の画素位置(e2,f2)に基づき、2枚目の画像の中心位置が画素位置(e2,f2)に一致させて貼り合わされると、出力装置112により図13に示すように、1枚目及び2枚目の画像を貼り合わせた結合画像7が出力装置112によりモニター画面6に表示される。
In the second image pasting step S55, as shown in FIG. 13, based on the pixel position (e1, f1) of the first image and the pixel position (e2, f2) of the second image, When the center position of the eye image is pasted so as to coincide with the pixel position (e2, f2), as shown in FIG. 13, the combined
画像の貼り合わせる関係は、図13に示すように2つの画像が離れた場合に限定されず、2つの画像の一部がオーバーラップした場合、あるいは上下の位置関係の場合、左右の位置関係などの場合も同様にして貼り合わされる。 The relationship of pasting images is not limited to the case where the two images are separated as shown in FIG. 13, and when the two images partially overlap or in the case of a vertical positional relationship, the positional relationship between the left and right, etc. In the case of, the same is applied.
3枚目以降の画像貼り付けの動作も、同じ動作の繰り返しとなるので説明を省略するが、ステップS53からS55を1画像ごとに繰り返して、結合画像が完成される。 The operation for pasting the third and subsequent images is also the same operation and will not be described, but steps S53 to S55 are repeated for each image to complete the combined image.
この結合画像は、各画像の境界範囲において色成分によって貼り合せていった結合画像に比べ、実寸値と対応したデータによって画像上の位置を特定して貼り付けていくので、結合画像上の任意の点の位置精度が保証されるという効果がある。 Since this combined image is pasted by specifying the position on the image based on the data corresponding to the actual size value, compared to the combined image pasted by the color component in the boundary range of each image, There is an effect that the positional accuracy of the point is guaranteed.
図2におけるデータ処理方法保存部105は、結合画像上の任意の点を指定することによって得ようとする実寸値データ、幾何学的データ又は縮尺付情報の画像処理方法を記憶している。
The data processing
実寸値データ処理方法としては、画像上で指定した点間の実寸値の長さを取得でき、幾何学的データ処理方法としては、画像上での任意の点の指定によって、2点間の中心点位置、直線による交差点の角度、円の中心位置と半径を取得でき、縮尺付情報処理方法としては、画像の大きさを表示する縮尺付の画像を取得することができるという各データの処理方法を保存している。 As the actual size value data processing method, the length of the actual size value between the points specified on the image can be acquired. As the geometric data processing method, the center between two points can be specified by specifying any point on the image. Each data processing method can acquire a point position, an angle of an intersection by a straight line, a center position and a radius of a circle, and a scaled information processing method that can acquire a scaled image that displays the size of the image Is saved.
図2におけるデータ取得部106の動作は、図3の結合画像上での実寸値データなどの取得のステップS204の詳細ステップである図10に基づいて説明する。
The operation of the
データの処理方法を選択するステップS61では、画像を利用して、長さ、中心点位置、角度、円の中心位置と半径及び縮尺付画像などのうちから得ようとするデータ処理方法を、データ処理方法保存部105から選択して、マウスなどの入力装置111により取得する。
In step S61 of selecting a data processing method, the data processing method to be obtained from the length, the center point position, the angle, the center position and radius of the circle, the scaled image, and the like using the image is selected. It selects from the processing method preservation | save
任意の点を指定するステップS62では、マウスなどの入力装置111より、結合画像上において、得たいと選択したデータを作成するのに指定された任意の点が入力される。例えば、長さの場合ならば2点が、円の場合ならば3点が、2本の直線が交差する角度の場合ならば4点が入力装置111より指定され入力される。
In step S62 for designating an arbitrary point, an arbitrary point designated for creating data selected to be obtained on the combined image is input from the
選択されたデータを取得するステップS63では、データ処理方法保存部105のデータ処理方法及び入力装置111により入力されたデータにより、得たいとするデータを得ることができる。
In step S63 for acquiring the selected data, the data to be obtained can be obtained from the data processing method of the data processing
例えば、結合画像上で、任意の2点間の距離の実寸値を把握する場合には、図15において、結合画像は画像イ、ロ、ハ、ニ、ホ及びヘの6枚の画像を貼り合わせた結合画像であるが、入力装置111により、任意の2点間の距離の実寸値を把握する画像処理方法が選択され、該画像処理方法に基づき、画素E(X5,Y5)と画素F(X6,Y6)が入力されると、画素Eと画素F間の画素数は、式((X5―X6)2+(Y5―Y6)2)1/2より算出され、算出された画素数を、1画素当り実寸値保存部102より取得した1画素当りの実寸値で算出した実寸値を得ることができる。
For example, when grasping the actual size value of the distance between two arbitrary points on the combined image, the combined image in FIG. 15 is pasted with six images a, b, c, d, e and f. Although the combined image is combined, an image processing method for grasping the actual size value of the distance between any two points is selected by the
結合画像は画像・座標データ入力部103に保存されているので、測定顕微鏡を使用しない場所であっても、測定対象物の結合画像から実寸値を得ることができるという効果がある。
Since the combined image is stored in the image / coordinate
次に、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明は実施例により限定されるものでない。 Next, although an Example is given and this invention is demonstrated, this invention is not limited by an Example.
較正の取れた対物ミクロメータ(OB−MM、1/100 オリンパス(株))を測定顕微鏡(STM6−N312D型 オリンパス(株))に定置し、対物レンズの倍率を選択してCCDカメラで撮影する。 Place a calibrated objective micrometer (OB-MM, 1/100 Olympus Corporation) on a measuring microscope (STM6-N312D Olympus Corporation), select the magnification of the objective lens, and shoot with a CCD camera .
図3の1画素当りの実寸値把握ステップS201では、図2に示す1画素当り実寸値保存部102が実行される。図5において、画像7上の対物ミクロメータの目盛11のうち、始点Aと終点Bの2点をマウスなどの入力装置111で入力し、目盛から把握した2点間の実寸値100μmを手入力すると、始点Aの画素(10、20)と終点Bの画素(100,50)の場合、画素数が((100−10)2+(50−20)2)1/2=94.87ピクセルとなり、1画素当りの実寸値1.05μmを取得できる。
In the actual size value grasping step S201 per pixel in FIG. 3, the actual size
次に、図3の撮影画像及び座標データ保存ステップS202では、測定対象物を測定顕微鏡で、対物ミクロメータを撮影したときと同一の対物レンズの倍率で撮影し、画像と座標データを入力装置111により入力する。
Next, in the captured image and coordinate data storage step S202 of FIG. 3, the measurement object is photographed with a measurement microscope at the same objective lens magnification as when the objective micrometer is photographed, and the image and coordinate data are input to the
例えば、1枚目の画像取得を図11で説明すると、1枚目の画像15と、該画像の中心位置Cの実寸値からなる座標データ(100μm、50μm)を、測定顕微鏡の座標情報より取得し、画像・座標データ保存部103に保存する。
For example, the acquisition of the first image will be described with reference to FIG. 11. The coordinate data (100 μm, 50 μm) including the
次に、2枚目の画像取得も1枚目の画像の取得のときと同じように、図12で示す画像16と該画像16の中心位置Dの実寸値からなる座標データ(2000μm、1000μm)を画像・座標データ保存部103に保存する。
Next, in the same way as the acquisition of the first image, coordinate data (2000 μm, 1000 μm) consisting of the
図3の複数画像の実寸値に基づく貼り付けのステップS203では、X軸方向の実寸値1900μmを画素数に換算すると画素数が1809.5ピクセルとなり、Y軸方向の実寸値950μmを画素数に換算すると画素数が904.8ピクセルとなる。 In step S203 for pasting based on the actual size values of a plurality of images in FIG. 3, when the actual size value 1900 μm in the X-axis direction is converted into the number of pixels, the number of pixels becomes 1809.5 pixels, and the actual size value 950 μm in the Y-axis direction becomes the number of pixels. When converted, the number of pixels is 904.8 pixels.
図13で説明すると、1枚目の画像15と2枚目の画像16ともX軸とY軸の画素数は同一で、例えば、X軸が640ピクセル、Y軸が480ピクセルとすると、1枚目の画像15の中心位置Cの画素位置が(320,240)となり、2枚目の画像の中心位置Dの画素位置は、画像15を基準にすると、X軸が320+1809.5=2129.5ピクセルで、Y軸が240+904.8=1144.8ピクセルとなるから、小数点以下四捨五入して、(2130,1145)と特定される。
Referring to FIG. 13, the
画像17の画素数は、図11においてX軸のXgが640ピクセルで、Y軸のYgが480ピクセルであったが、貼り合せた結合画像の画素数は、画像15の始点の画素位置を(0,0)とし、画像16の中心位置(2130,1145)に、画像の半分の画素数をX軸で320ピクセル、Y軸で240ピクセルをそれぞれ加えて、図13においてX軸のXgが2450ピクセル、Y軸のYgが1385ピクセルとなる。
The number of pixels in the
3枚目以降も、2枚目と同じようにして順次貼り合わされて、すべての画像の貼り合せが終わると、結合された画像上の任意の点の位置は、測定顕微鏡で測定した座標情報の実寸値を、画面上の画素位置に換算して貼り付けたものであるので、結合画像は寸法精度が保証されたものができる。 The third and subsequent sheets are sequentially pasted in the same manner as the second sheet, and when all the images have been pasted, the position of an arbitrary point on the combined image is the position of the coordinate information measured with the measuring microscope. Since the actual size value is pasted after being converted into the pixel position on the screen, the combined image can have a dimensional accuracy guaranteed.
結合画像上の任意の点の選択によって実寸値を把握する画像処理方法のうち、2点を指定し、該2点間の中心位置、中心位置の座標データ及び2点と中心位置間の実寸値を表示する実施例を説明する。 In the image processing method for grasping the actual size value by selecting an arbitrary point on the combined image, two points are designated, the center position between the two points, the coordinate data of the center position, and the actual size value between the two points and the center position. Will be described.
データ処理方法保存部105に記憶されている、任意の2点の指定によって、該2点間の中心位置、中心位置の座標データ及び2点と中心位置間の実寸値を表示する画像処理方法を説明する。
An image processing method for displaying the center position between the two points, the coordinate data of the center position, and the actual size value between the two points by specifying any two points stored in the data processing
任意の2点の座標は、座標と画素位置とが把握されている点を基準として、任意の2点の画素位置から1画素当り実寸値取得部102を用いて演算して求め、任意の2点の座標を平均することにより中心位置の座標を求め、該座標は実寸値表示なので、2点の座標と中心位置の座標を把握すれば、任意の2点と中心位置間の実寸値を演算して求める画像処理方法がデータ処理方法保存部105に記憶されている。
The coordinates of the two arbitrary points are obtained by calculation using the actual size
そこで、任意の2点の指定によって、該2点間の中心位置、中心位置の座標データ及び2点と中心位置間の実寸値を表示する画像処理方法を選択して入力装置111で入力し、画像で2点を特定して入力装置111により入力すると、データ処理方法保存部105の演算により、画像上に2点間の中心位置、中心位置の座標データの表示及び2点と中心位置間の実寸値が演算され、出力装置112によりモニター画面6に表示される。
Therefore, by specifying any two points, an image processing method for displaying the center position between the two points, the coordinate data of the center position and the actual size value between the two points and the center position is selected and input with the
結合画像上において選択された任意の点からなる図形の作成及び図形に係る特定の点を指定する画像処理方法のうち、3点を指定すると、該3点を円周上の点とする円、円の中心位置、半径の実寸値及び円の中心位置の座標データを表示する実施例を説明する。 Of the image processing method for designating a figure composed of arbitrary points selected on the combined image and designating a specific point related to the figure, when three points are designated, a circle having the three points as points on the circumference, An embodiment for displaying the center position of the circle, the actual size value of the radius, and the coordinate data of the center position of the circle will be described.
データ処理方法保存部105に記憶されている、任意の3点から円、円の中心位置、半径の実寸値及び円の中心位置の座標データを表示するデータ処理方法を、例として、半径の実寸値及び円の中心位置の座標データについて説明する。
As an example, the data processing method for displaying the circle, the center position of the circle, the actual size value of the radius, and the coordinate data of the center position of the circle from the arbitrary three points stored in the data processing
入力装置111により入力された任意の点を座標(Xi,Yi)、演算で求めようとする円の中心座標を(a,b)、半径をrとすると、
Σ{Xi2+Yi2+AXi+BYi+C}=0 ・・・・数1
A=−2a ・・・・数2
B=−2b ・・・・数3
C=a2+b2−r2 ・・・・数4
が成立し、数1をA、B、Cについて偏微分すると、
∂/∂A=AΣXi2+BΣXiYi+CΣXi+ΣXi3+ΣXiYi2=0
・ ・・・・数5
∂/∂B=AΣXiYi+BΣYi2+CΣYi+ΣXi2Yi+ΣYi3=0
・ ・・・・数6
∂/∂C=AΣXi+BΣYi+CΣ1+ΣXi2+ΣYi2=0
・ ・・・・数7
数5、数6、数7を行列を用いて解くと、数8に示す数式が求められる。
Arbitrary points input by the
Σ {Xi 2 + Yi 2 + AXi + BYi + C} = 0...
A = -2a .....
B = -2b ..... 3
C = a 2 + b 2 −r 2 ...
Is established, and partial differentiation of
∂ / ∂A = AΣXi 2 + BΣXiYi + CΣXi + ΣXi 3 + ΣXiYi 2 = 0
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 5
∂ / ∂B = AΣXiYi + BΣYi 2 + CΣYi + ΣXi 2 Yi + ΣYi 3 = 0
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・
∂ / ∂C = AΣXi + BΣYi + CΣ1 + ΣXi 2 + ΣYi 2 = 0
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 7
When
数8から、逆行列を求めるとA,B,Cが求まり、数2、数3、数4より、円の中心座標(a,b)、円の半径 rを求める画像処理方法が記憶されている。
When the inverse matrix is obtained from Equation 8, A, B, and C are obtained. From
円、円の中心位置、半径の実寸値及び円の中心位置の座標データを表示する画像処理方法を入力装置111により選択することを入力し、画像で3点を特定して入力装置111により入力すると、データ処理方法保存部105の演算により、画像上に、該3点を円周上の点とする円、円の中心位置、半径の実寸値及び円の中心位置の座標データが表示される。
Entering the selection of the image processing method for displaying the circle, the center position of the circle, the actual size value of the radius, and the coordinate data of the center position of the circle by the
結合画像を実寸値に基づき縮小又は拡大する画像処理方法のうち、画像に実寸値に基づく縮尺を表示し、該縮尺表示された画像のハードコピー上で物差しなどの測定器で測定し縮尺換算で実寸値を把握できるという実施例を説明する。 Of the image processing methods for reducing or enlarging the combined image based on the actual size value, the scale based on the actual size value is displayed on the image, measured on a hard copy of the displayed image with a measuring instrument such as a ruler, etc. An embodiment in which the actual size value can be grasped will be described.
データ処理方法保存部105に記憶されている、縮尺表示された画像の印刷実行をするデータ処理方法は、結合画像の縦(Y軸)横(X軸)の画素数を取得し、1画素当り実寸値取得部102から取得した1画素当り実寸値による演算をして、結合画像の縦横の実寸値を取得され、出力装置112によりモニター画面6に表示される。
The data processing method stored in the data processing
実寸値表示により、印刷したときの結合画像の大きさが把握できるので、該結合画像の大きさが小さくて見えにくい場合には、入力装置111により実寸値に対する倍率を入力すると、結合画像の縦横の長さが入力された倍率で変更され、該変更された結合画像の印刷が実行されるというプロセスのデータ処理方法が記憶されている。
Since the actual size value display allows the size of the combined image when printed to be grasped, if the size of the combined image is small and difficult to see, inputting the magnification for the actual size value with the
また、結合画像の縦横の倍率を指定しない場合は、印刷機器が保持している初期値で印刷が実行されるというデータ処理方法が記憶されている。 In addition, a data processing method is stored in which printing is executed with an initial value held by the printing device when the vertical and horizontal magnifications of the combined image are not designated.
例えば、画像の画素数から演算された実寸値の結合画像の縦が7mm、横が12.5mmとなる場合、このままの大きさでは画像が小さくて見えにくいと判断すると、画像の倍率を縦横ともそれぞれ実寸値の10倍とすることを意図し、該倍率の画像で印刷するように倍率を入力装置111により入力する。
For example, when the combined image of the actual size value calculated from the number of pixels of the image is 7 mm in length and 12.5 mm in width, if it is determined that the image is small and difficult to see with this size, the magnification of the image is Each of them is intended to be 10 times the actual size value, and the magnification is input by the
すると、結合画像を縦が70mm、横が125mmの大きさで印刷するように、出力装置112に命令がなされ、出力装置112により実寸値で10倍に拡大された画像が紙などに印刷される。
Then, the
拡大されて印刷された画像の紙コピーに物差しなどの測定具を用いて測定し、計測対象物が10mmの場合は、実寸値で1mmであることがわかる。 Measurement is performed using a measuring tool such as a ruler on a paper copy of an enlarged and printed image. When the measurement target is 10 mm, the actual size value is 1 mm.
1 測定顕微鏡
2 測定対象物
3 対物レンズ
4 カメラ
5 画像処理制御システム機器
6 モニター画面
7 画像
11 対物ミクロメータの目盛画像図
12 画素
15 1枚目の画像
16 2枚目の画像
17 結合画像
21 画像
22 画像
23 画像
24 オーバーラップ部分
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11 Scale Image of
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