JP4959536B2 - Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope - Google Patents
Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope Download PDFInfo
- Publication number
- JP4959536B2 JP4959536B2 JP2007322121A JP2007322121A JP4959536B2 JP 4959536 B2 JP4959536 B2 JP 4959536B2 JP 2007322121 A JP2007322121 A JP 2007322121A JP 2007322121 A JP2007322121 A JP 2007322121A JP 4959536 B2 JP4959536 B2 JP 4959536B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- unit
- mirror
- light
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明は、光パルス多重化ユニット、照明装置及び顕微鏡に関するものである。 The present invention relates to an optical pulse multiplexing unit, an illumination device, and a microscope.
従来、レンズで光を集光した際に、その焦平面に複数の照射点を形成する構成が開示されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。また、複数の照射点を空間的に分離するとともに時間的にも分離させて形成する構成が開示されている（例えば、特許文献３参照）。図１４は、特開２００４−４７０４号公報に提案されている構成を示す。図１４に示された構成では、ビームスプリッターサブストレートの両側に、それぞれ３つの高反射鏡Ｓが配置されている。一方の側の３つの高反射鏡Ｓは、各々ビームスプリッターサブストレートとの間隔が異なるように配置されている。同様に、他方の側の３つの高反射鏡Ｓも、各々ビームスプリッターサブストレートとの間隔が異なるように配置されている。
このような構成において、入射するレーザ光線は、分割点５ａで先ず２つの光線に分割される。これらの光線は、２つの第１の高反射鏡Ｓで反射して、再度ビームスプリッターサブストレート１に向きを変え、そして該ビームスプリッターサブストレートに分割点５ｂでぶつかる。そこで該２つの分割光線から４つの分割光線が得られる。続く分割点５ｂおよび５ｄでさらに８本ないしは１６本の分割光線が得られ、これらの光線は、高反射鏡Ｓの角度の適当な調整によって分割光線の交差点９で一緒になる。結果的に上記光線束から、光線１〜８および１’〜８’から成る２つの光線束が得られる。
Conventionally, a configuration in which a plurality of irradiation points is formed on a focal plane when light is collected by a lens has been disclosed (see, for example,
In such a configuration, the incident laser beam is first divided into two beams at the dividing
しかしながら、特許文献１、２に記載された構成では、分割点からの光を再度ビームスプリッターに向かわせるために、光を高反射鏡に１回のみ反射させている。このような構成において、複数本の分割光線を得るためには、一方の側の高反射鏡とビームスプリッターとの距離を他方の側に対して異ならせることにより、分割された２つの光線の光路長差を生じさせる必要がある。このため、分割光線を得るとともに、複数の分割光線の光路長を一致させることが困難である。よって、複数の照射点を同時に照射することが困難である。また、特許文献３に記載された構成でも同様に、ハーフミラーにより分波された光をミラーに１回のみ反射させて再びハーフミラーに向かわせているため、分割光線を得るとともに、複数の分割光線の光路長を一致させることが困難である。このため、複数の照射点を同時に照射することは困難である。
However, in the configurations described in
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、複数の照射点を同時に照射することができる光パルス多重化ユニット、照明装置及び顕微鏡を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at providing the optical pulse multiplexing unit which can irradiate a several irradiation point simultaneously, an illuminating device, and a microscope.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、入射光を分波して、透過光及び反射光を生成するハーフミラーと、前記ハーフミラーの両側に対向配置され、前記ハーフミラーにより分波された透過光及び反射光をそれぞれ偏向して、再び前記ハーフミラー上の所定箇所で合波を行わせる光学ユニットと、所定面において光路長を一致させる光路長補正部とを有し、前記ハーフミラーの両側のうち一方の側に配置されている前記光学ユニットは、前記ハーフミラーにより分波された光を偏向する光偏向部を有し、前記光偏向部により偏向された光が他方の側に配置されている前記光学ユニットからの光と前記ハーフミラー上において共通箇所で同一の入射角度で再び合波するときの前記光偏向部の配置角度を基準角度としたとき、前記光偏向部は、前記基準角度から所定角度だけ傾けて配置されていることを特徴とする光パルス多重化ユニットを提供できる。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, according to the present invention, a half mirror that demultiplexes incident light and generates transmitted light and reflected light, and oppositely disposed on both sides of the half mirror, An optical unit that deflects transmitted light and reflected light separated by the half mirror and combines them again at a predetermined position on the half mirror; and an optical path length correction unit that matches the optical path length on a predetermined surface; And the optical unit disposed on one side of the half mirror has a light deflection unit that deflects the light demultiplexed by the half mirror, and is deflected by the light deflection unit. The angle of arrangement of the light deflection unit when the light from the optical unit arranged on the other side and the half mirror is combined again at the same incident angle on the half mirror is used as a reference angle. Come, the light deflection unit can provide an optical pulse multiplexing unit, characterized in that it is arranged to be inclined by a predetermined angle from the reference angle.
また、本発明の好ましい態様によれば、前記光偏向部は、前記基準角度から所定角度だけ傾けて配置されているミラーを有することが望ましい。 Further, according to a preferred aspect of the present invention, it is desirable that the light deflection unit has a mirror arranged to be inclined at a predetermined angle from the reference angle.
また、本発明の好ましい態様によれば、前記光偏向部は、出射端面の角度が前記基準角度から所定角度だけ傾けて配置された光ファイバを有することが望ましい。 Further, according to a preferred aspect of the present invention, it is desirable that the light deflection unit has an optical fiber arranged such that an angle of an emission end face is inclined by a predetermined angle from the reference angle.
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ハーフミラーの両側のうちの他方の側に配置されている前記光学ユニットは、前記一方の側の前記光学ユニットの前記光偏向部の所定角度の傾きによる複数の光路の光路長の相違を相殺するようにループ状の光路を有することが望ましい。 According to a preferred aspect of the present invention, the optical unit arranged on the other side of the half mirror is inclined at a predetermined angle of the light deflection unit of the optical unit on the one side. It is desirable to have a loop-shaped optical path so as to cancel the difference in optical path lengths of the plurality of optical paths.
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ハーフミラーの両側のうちの他方の側に配置されている前記光学ユニットの前記ループ状の光路は、２枚のミラーにより形成されていることが望ましい。 According to a preferred aspect of the present invention, it is desirable that the loop-shaped optical path of the optical unit arranged on the other side of the half mirror is formed by two mirrors. .
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ハーフミラーの両側のうちの他方の側に配置されている前記光学ユニットの前記ループ状の光路は、複数の光ファイバにより形成されていることが望ましい。 According to a preferred aspect of the present invention, it is desirable that the loop-shaped optical path of the optical unit arranged on the other side of the half mirror is formed by a plurality of optical fibers. .
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ミラーを基準となる角度から所定角度だけ傾けるためのミラー角度調整部を有することが望ましい。 Further, according to a preferred aspect of the present invention, it is desirable to have a mirror angle adjusting unit for tilting the mirror by a predetermined angle from a reference angle.
また、本発明の好ましい態様によれば、前記光学ユニットの位置を調整するための光学ユニット位置調整部を有することが望ましい。 Moreover, according to a preferable aspect of the present invention, it is desirable to have an optical unit position adjustment unit for adjusting the position of the optical unit.
また、本発明によれば、上述の光パルス多重化ユニットと、光パルスを発する光源とを有することを特徴とする照明装置を提供できる。 Moreover, according to this invention, the illuminating device characterized by having the above-mentioned optical pulse multiplexing unit and the light source which emits an optical pulse can be provided.
また、本発明によれば、上述の照明装置を有することを特徴とする顕微鏡を提供できる。 Moreover, according to this invention, the microscope characterized by having the above-mentioned illuminating device can be provided.
本発明には、複数の照射点を同時に照射することができる光パルス多重化ユニット、照明装置及び顕微鏡を提供することができるという効果を奏する。 The present invention has an effect of providing an optical pulse multiplexing unit, an illumination device, and a microscope that can irradiate a plurality of irradiation points simultaneously.
以下に、本発明にかかる光パルス多重化ユニット、照明装置及び顕微鏡の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of an optical pulse multiplexing unit, an illumination device, and a microscope according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.
図１は、本発明に係る光パルス多重化ユニットの実施例１の概略構成を示す図である。 FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a first embodiment of an optical pulse multiplexing unit according to the present invention.
図１において、光パルス多重化ユニットは、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）と、ミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）と、ハーフミラー１とで構成されている。ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）は、ミラーＭｉ‐１１(ｉ＝１〜３）とミラーＭｉ‐１２(ｉ＝１〜３）を備えている。ミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）は、ミラーＭｉ‐２１（ｉ＝１〜３）とミラーＭｉ‐２２（ｉ＝１〜３）を備えている。ミラーユニットＭＵｉ‐１、ＭＵｉ‐２は、光学ユニットに対応する。
In FIG. 1, the optical pulse multiplexing unit includes a mirror unit MUi-1 (i = 1 to 3), a mirror unit MUi-2 (i = 1 to 3), and a
ミラーＭｉ‐１１(ｉ＝１〜３）とミラーＭｉ‐１２(ｉ＝１〜３）は、２枚のミラーＭｉ‐１１、Ｍｉ‐１２及びハーフミラー１のいずれにも直交する仮想面が形成されるように配置されている。ミラーＭｉ‐２１（ｉ＝１〜３）とミラーＭｉ‐２２（ｉ＝１〜３）も同様に配置されている。
The mirror Mi-11 (i = 1 to 3) and the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) form a virtual plane orthogonal to any of the two mirrors Mi-11, Mi-12 and the
ここで、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３)は、基準の角度から所定角度だけ傾けて配置されている。このミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３)は、光偏向部に対応する。ここで、基準の角度（以下、適宜「基準角度」という。）とは、光偏向部としてのミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３)により偏向された光がハーフミラー１に対して他方の側に配置されているミラーユニットＭＵｉ‐２からの光とハーフミラー１上において共通箇所で同一の入射角度で再び合波するときのミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３)の配置角度をいう。
Here, the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) is arranged so as to be inclined by a predetermined angle from the reference angle. This mirror Mi-12 (i = 1 to 3) corresponds to the light deflection unit. Here, the reference angle (hereinafter referred to as “reference angle” as appropriate) refers to the light deflected by the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) as the light deflecting unit with respect to the other
図１において、ミラーＭ１‐１２、Ｍ２‐１２、Ｍ３‐１２のそれぞれの基準角度に対応するミラーの位置を、それぞれ点線でミラーＭ１‐１２”、Ｍ２‐１２”、Ｍ３‐１２”として示している。 In FIG. 1, the mirror positions corresponding to the reference angles of the mirrors M1-12, M2-12, and M3-12 are indicated by the dotted lines as mirrors M1-12 ″, M2-12 ″, and M3-12 ″, respectively. Yes.
さらに、上述の配置を図２、図３を用いて説明する。図２、図３は、それぞれ、ミラーユニットＭＵ１‐１のうちの２枚のミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２を示している。また、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２のそれぞれの反射面における法線Ｎも合わせて記載する。 Furthermore, the above arrangement will be described with reference to FIGS. 2 and 3 show two mirrors M1-11, M1-12 of the mirror unit MU1-1, respectively. In addition, the normal line N on each reflecting surface of the mirrors M1-11 and M1-12 is also described.
図２は、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２ともに、基準の角度に配置されている状態を示している。基準の角度の状態では、ミラーＭ１‐１１で反射された光パルスの光路は、ハーフミラー１の反射面に対して平行となる。さらに、この光パルスは、ミラーＭ１‐１２で反射され、光線ａとなってハーフミラー１に入射する。
FIG. 2 shows a state in which the mirrors M1-11 and M1-12 are both arranged at the reference angle. In the state of the reference angle, the optical path of the light pulse reflected by the mirror M1-11 is parallel to the reflection surface of the
図３は、ミラーＭ１‐１１を基準角度の状態から矢印Ｙ方向へ所定角度だけ傾けた（回転した）状態を示している。ミラーＭ１‐１２は、基準角度の状態のままである。ミラーＭ１‐１１を所定角度だけ傾けることで、ミラーＭ１‐１２において反射された光パルスの光路は、光線ａ（点線）から光線ｂ（実線）へと変化する。 FIG. 3 shows a state in which the mirror M1-11 is tilted (rotated) by a predetermined angle in the arrow Y direction from the reference angle state. The mirror M1-12 remains in the reference angle state. By tilting the mirror M1-11 by a predetermined angle, the optical path of the light pulse reflected by the mirror M1-12 changes from the light beam a (dotted line) to the light beam b (solid line).
なお、図３では、ミラーＭ１‐１１の角度を傾斜させているが、これに限られない。例えば、ミラーＭ１‐１２の角度を傾斜させても同様に光路を偏向させることができる。 In FIG. 3, the angle of the mirror M1-11 is inclined, but the present invention is not limited to this. For example, even if the angle of the mirror M1-12 is inclined, the optical path can be similarly deflected.
さらに、光路長の調整について図４、図５に基づいて説明する。ここで、ミラーＭｉ‐１１、Ｍｉ‐１２（ｉ＝１〜３）は、ハーフミラー１の反射面に対する法線方向に沿って移動すること、つまり、対向するミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）を結ぶ直線上を移動できるように構成されている。
Further, the adjustment of the optical path length will be described with reference to FIGS. Here, the mirrors Mi-11 and Mi-12 (i = 1 to 3) move along the normal direction with respect to the reflection surface of the
また、ミラーＭｉ‐１１、Ｍｉ‐１２（ｉ＝１〜３）は、ハーフミラー１の反射面に対して平行方向に沿って移動すること、つまり、対向するミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）を結ぶ直線に対して垂直な線上を移動できるように構成されている。これらの移動は、例えば、後述する実施例におけるステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）により行われる。
Further, the mirrors Mi-11 and Mi-12 (i = 1 to 3) move along the parallel direction with respect to the reflection surface of the
図４は、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２を、ハーフミラー１から遠ざかる方向（図４の矢印で示す水平方向）に移動させている状態を示す。この移動によって生じる作用について、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２を用いて説明する。 FIG. 4 shows a state where the mirrors M1-11 and M1-12 are moved in a direction away from the half mirror 1 (horizontal direction indicated by an arrow in FIG. 4). The action caused by this movement will be described using the mirrors M1-11 and M1-12.
移動前のミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２により反射された光パルスに係る光線を光線ｂ（点線）で示す。光線ｂは、図３における角度を傾けたミラーＭ１‐１１の状態における光線ｂに対応している。これに対して、ハーフミラー１の反射面に対する法線方向（図４の水平方向）に沿って移動した後をミラーＭ１‐１１’、Ｍ１‐１２’とする。ミラーＭ１‐１１’、Ｍ１‐１２’により反射された光パルスに係る光線を光線ｃ（実線）で示す。
A light ray related to the light pulse reflected by the mirrors M1-11 and M1-12 before movement is indicated by a light ray b (dotted line). The light beam b corresponds to the light beam b in the state of the mirror M1-11 inclined at an angle in FIG. On the other hand, after moving along the normal direction (horizontal direction in FIG. 4) with respect to the reflecting surface of the
図５は、図４の状態から、さらにミラーＭ１‐１２’を、ハーフミラー１の反射面に対して平行方向（図５の矢印で示す垂直方向）に沿って移動させた状態を示す。この状態において、ミラーＭ１‐１２’で反射された光パルスに係る光線を光線ｄで示す。
FIG. 5 shows a state in which the mirror M1-12 'is further moved from the state of FIG. 4 along a parallel direction (vertical direction indicated by an arrow in FIG. 5) with respect to the reflecting surface of the
図５から明らかなように、光線ｂ（点線）と光線ｄ（実線）との間において、光路を一致させ、かつ光路長差を生じさせることができる。換言すると、ミラーＭ１‐１１を基準角度から所定角度だけ傾けることで、光線ｂを生じさせる。そして、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐１２を水平、垂直方向へ移動することで、光線ｂの角度を維持したまま、光線ｂに移動量に応じた光路長差を付与できる。 As is clear from FIG. 5, the optical path can be matched between the light beam b (dotted line) and the light beam d (solid line), and an optical path length difference can be generated. In other words, the light beam b is generated by tilting the mirror M1-11 by a predetermined angle from the reference angle. Then, by moving the mirrors M1-11, M1-12 in the horizontal and vertical directions, an optical path length difference corresponding to the amount of movement can be given to the light beam b while maintaining the angle of the light beam b.
図１に戻って説明を続ける。ミラーユニットＭＵ１‐１のミラーＭ１‐１２は、基準角度（点線で示すミラーＭ１‐１２”）から＋θ°傾けて配置されている。ミラーユニットＭＵ２‐１のミラーＭ２‐１２は、基準角度（点線で示すミラーＭ２‐１２”）から−２θ°傾けて配置されている。また、ミラーユニットＭＵ３‐１のミラーＭ３‐１２は、基準角度（点線で示すミラーＭ３‐１２”）から＋４θ°傾けて配置されている。ここで、傾き角度は、点線で示す基準角度の位置に対して、時計回りを負とし、反時計回りを正としている。 Returning to FIG. 1, the description will be continued. The mirror M1-12 of the mirror unit MU1-1 is arranged at an angle of + θ ° from the reference angle (mirror M1-12 ″ shown by a dotted line). The mirror M2-12 of the mirror unit MU2-1 is arranged at a reference angle (dotted line). Is tilted by −2θ ° from the mirror M2-12 ″) shown in FIG. Further, the mirror M3-12 of the mirror unit MU3-1 is disposed at an angle of + 4θ ° from the reference angle (mirror M3-12 ″ indicated by a dotted line). Here, the inclination angle is the position of the reference angle indicated by the dotted line. On the other hand, clockwise is negative and counterclockwise is positive.
これに対して、ミラーＭ１‐１１、Ｍ２‐１１、Ｍ３‐１１、及びミラーユニットＭＵ１‐２、ＭＵ２‐２、ＭＵ３‐２内に配置されているミラーＭｉ‐２１、Ｍｉ‐２２（ｉ＝１〜３）は、全て基準角度の状態で配置されている。 On the other hand, mirrors M1-11, M2-11, M3-11, and mirrors Mi-21, Mi-22 (i = 1) arranged in the mirror units MU1-2, MU2-2, MU3-2. -3) are all arranged in a state of a reference angle.
ここで、図１で示すユニットへ光パルスを入射させる。ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）と、ミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）は、ハーフミラー１を挟み対向配置されている。ハーフミラー１は、入射した光パルスＰを反射側と透過側に分波(振幅分割)する。
Here, a light pulse is incident on the unit shown in FIG. The mirror unit MUi-1 (i = 1 to 3) and the mirror unit MUi-2 (i = 1 to 3) are arranged to face each other with the
入射された光パルスは、ハーフミラー１の所定箇所Ｏ１で分波される。分波された一方の光パルスは、ミラーＭｉ‐１１（ｉ＝１〜３）において反射される。ミラーＭｉ‐１１（ｉ＝１〜３）において反射された光パルスは、さらにミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３)において反射される。
The incident light pulse is demultiplexed at a predetermined location O1 of the
このとき、ミラーＭ１‐１２は、所定角度θだけ傾斜して配置されている。ミラーＭ１‐１２で反射された光パルスは、ハーフミラー１の所定箇所Ｏ２に入射する。入射した光パルスは、ハーフミラー１の所定箇所Ｏ２において、さらに反射光と透過光とに分波される。
At this time, the mirror M1-12 is disposed so as to be inclined by a predetermined angle θ. The light pulse reflected by the mirror M1-12 enters the predetermined location O2 of the
また、所定箇所Ｏ１で分波された他方の光パルスは、ミラーＭ１‐２１、Ｍ１‐２２で反射される。そして、ハーフミラー１の所定箇所Ｏ３に入射する。
The other optical pulse demultiplexed at the predetermined location O1 is reflected by the mirrors M1-21 and M1-22. And it injects into the predetermined location O3 of the
このとき、ミラーＭ１‐１１、Ｍ１‐２１、Ｍ１‐２２は基準角度の状態に設定されている。これに対して、ミラーＭ１‐１２は、所定角度θだけ基準角度から傾斜（回転）している。このため、図３を用いて上述したように、ミラーＭ１‐１２から反射した光パルスの光路は、傾斜量（回転量）に応じて変化する。このため、ミラーＭ１‐１２で反射した光パルスが入射する所定箇所Ｏ２と、ミラーＭ１‐２２で反射した光パルスが入射する所定箇所Ｏ３とは、異なる位置となる。 At this time, the mirrors M1-11, M1-21, and M1-22 are set to the reference angle state. On the other hand, the mirror M1-12 is inclined (rotated) from the reference angle by a predetermined angle θ. Therefore, as described above with reference to FIG. 3, the optical path of the light pulse reflected from the mirror M1-12 changes according to the tilt amount (rotation amount). Therefore, the predetermined location O2 where the light pulse reflected by the mirror M1-12 is incident and the predetermined location O3 where the light pulse reflected by the mirror M1-22 is incident are different positions.
所定箇所Ｏ２、Ｏ３において、さらに分波がそれぞれ行われる。そして、所定箇所Ｏ２を透過した光パルスは、ミラーＭ２‐１１、Ｍ２‐１２で反射される。このとき、ミラーＭ２‐１２は、所定角度−２θだけ基準角度から傾斜している。このため、ミラーＭ２‐１２で反射した光パルスの光路は、傾斜量に応じて変化する。 Further demultiplexing is performed at the predetermined locations O2 and O3. The light pulse transmitted through the predetermined location O2 is reflected by the mirrors M2-11, M2-12. At this time, the mirror M2-12 is inclined from the reference angle by a predetermined angle -2θ. For this reason, the optical path of the light pulse reflected by the mirror M2-12 changes according to the amount of inclination.
これに対して、ミラーユニットＭＵ２‐２内の２枚のミラーＭ２‐２１、Ｍ２‐２２は、基準角度の状態に設定されている。このため、ミラーＭ２‐１２、Ｍ２‐２２で反射された光パルスは、それぞれハーフミラー１の異なる所定箇所に入射する。
On the other hand, the two mirrors M2-21, M2-22 in the mirror unit MU2-2 are set to the reference angle state. For this reason, the light pulses reflected by the mirrors M2-12 and M2-22 are incident on different predetermined portions of the
ハーフミラー１に入射した光は、透過光と反射光とにさらに分波される。そして、ハーフミラー１の所定箇所を透過した光パルスは、ミラーＭ３‐１１、Ｍ３‐１２で反射される。このとき、ミラーＭ３‐１２は、所定角度＋４θだけ基準角度から傾斜している。このため、ミラーＭ３‐１２で反射した光パルスの光路は、傾斜量に応じて変化する。
The light incident on the
これに対して、ミラーユニットＭＵ３‐２内の２枚のミラーＭ３‐２１、Ｍ３‐２２は、基準角度の状態に設定されている。このため、ミラーＭ２‐１２、Ｍ２‐２２で反射された光パルスは、それぞれハーフミラー１の異なる所定箇所に入射する。
On the other hand, the two mirrors M3-21 and M3-22 in the mirror unit MU3-2 are set to the reference angle state. For this reason, the light pulses reflected by the mirrors M2-12 and M2-22 are incident on different predetermined portions of the
このように、ミラーＭ１‐１２、Ｍ２‐１２、Ｍ３‐１２を、それぞれ角度θ、−２θ、４θだけ傾斜させることで、伝播する光路によって様々な角度を有する複数の光パルスを得ることができる。 In this way, by tilting the mirrors M1-12, M2-12, and M3-12 by angles θ, −2θ, and 4θ, respectively, it is possible to obtain a plurality of optical pulses having various angles depending on the propagating optical path. .
そして、各光パルスがレンズＬに入射すると、レンズＬの焦平面において、複数の焦点を形成できる。同様の構成を繰り返して、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜ｎ）をｎ段構成する。各ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜ｎ）を（−２）ｎ−１×θだけ基準角度から傾斜（回転）させる。この結果、各々の光パルスに係る光線の角度がθ異なる２ｎ本の光線を生成できる。 When each light pulse enters the lens L, a plurality of focal points can be formed on the focal plane of the lens L. By repeating the same configuration, n stages of mirror units MUi-1 (i = 1 to n) are configured. Each mirror Mi-12 (i = 1 to n) is tilted (rotated) from the reference angle by (−2) n−1 × θ. As a result, it is possible to generate 2 n light rays having different light angles θ related to each light pulse.
また、本実施例では、図４、図５を用いて説明したように、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）を、それぞれ水平方向へ移動すること、また、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）を紙面の垂直方向へ移動することで、光線の角度を維持したまま、８本の光線の光路長が所定面において等しくなるように調整されている。 In this embodiment, as described with reference to FIGS. 4 and 5, the mirror units MUi-1 (i = 1 to 3) are respectively moved in the horizontal direction, and the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) are moved in the direction perpendicular to the plane of the paper so that the optical path lengths of the eight rays are adjusted to be equal on the predetermined plane while maintaining the angle of the rays.
本光学系に、光パルスＰを入射させる場合を考える。このとき、光路長の調整により、レンズＬの焦平面において、複数（８個）の光パルスを同時に照射することができる。 Consider a case in which a light pulse P is incident on this optical system. At this time, by adjusting the optical path length, a plurality (eight) of light pulses can be simultaneously irradiated on the focal plane of the lens L.
また、本実施例において、ハーフミラー１の両側のうちの他方の側に配置されているミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）は、一方の側のミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）のミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）の所定角度の傾きによる光路長の相違を相殺するようにループ状の光路を有している。このループ状の光路を形成しているミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）は、光路長補正部としての機能も有している。
In this embodiment, the mirror unit MUi-2 (i = 1 to 3) arranged on the other side of both sides of the
そして、本実施例では、ループ状の光路は、２枚のミラーＭｉ‐２１（ｉ＝１〜３）、Ｍｉ‐２２（ｉ＝１〜３）により形成されている。このようなループ状の光学系を用いることで、ミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）への入射位置から射出位置までの光路長を、入射角度の異なる光線ごとに異ならせることができる。換言すると、このようなループ状の光路を備えることで、光路長に関するバッファのような機能、すなわち、入射角度の異なる光線に応じた光路長を確保する機能をもたせることができる。 In this embodiment, the loop optical path is formed by two mirrors Mi-21 (i = 1 to 3) and Mi-22 (i = 1 to 3). By using such a loop optical system, the optical path length from the incident position to the mirror unit MUi-2 (i = 1 to 3) to the exit position can be made different for each light beam having a different incident angle. . In other words, by providing such a loop-shaped optical path, it is possible to provide a function like a buffer related to the optical path length, that is, a function of ensuring optical path lengths corresponding to light beams having different incident angles.
従って、レンズＬの焦平面において、複数（８個）の光パルスを同時に照射することができる。特に、本実施例では、光パルス多重化ユニットから射出される個々のパルスについて、独立して光路長の調整を行なうことができる。よって、複数の光パルスの同時性（例えば、同一面に各々のパルスが到達するタイミング）を、より高めることができる。あるいは、複数のパルスを幾つかのグループに分け、各グループ内の複数の光パルスの同時性を確保するとともに、他のグループの光パルスとの同時性を異ならせることができる。 Therefore, a plurality (eight) of light pulses can be simultaneously irradiated on the focal plane of the lens L. In particular, in this embodiment, the optical path length can be adjusted independently for each pulse emitted from the optical pulse multiplexing unit. Therefore, the simultaneity of a plurality of light pulses (for example, the timing at which each pulse reaches the same surface) can be further increased. Alternatively, it is possible to divide a plurality of pulses into several groups, ensure the simultaneity of the plurality of optical pulses in each group, and make the simultaneity with the optical pulses of other groups different.
次に、本発明の実施例２に係る光パルス多重化ユニットについて説明する。上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図６は、本実施例に係る光パルス多重化ユニットの概略構成を示している。 Next, an optical pulse multiplexing unit according to the second embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. FIG. 6 shows a schematic configuration of the optical pulse multiplexing unit according to the present embodiment.
本実施例では、図４、図５を用いて説明したように、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）を、それぞれステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）により図１の水平方向へ移動することができる。また、ステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）は、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）を紙面の垂直方向へ移動することができる。 In this embodiment, as described with reference to FIGS. 4 and 5, the mirror unit MUi-1 (i = 1 to 3) is moved in the horizontal direction in FIG. 1 by the stage STi (i = 1 to 3), respectively. can do. Further, the stage STi (i = 1 to 3) can move the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) in the direction perpendicular to the paper surface.
この結果、ステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）を用いて、各ミラーの位置を調整することができる。これにより、光線の角度を維持したまま、８本の光線の光路長が所定面において等しくなるように調整できる。このように、ステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）は、光路長補正部の機能と、光学ユニット位置調整部の機能と、ミラー角度調整部の機能とを有している。 As a result, the position of each mirror can be adjusted using the stage STi (i = 1 to 3). Thereby, the optical path lengths of the eight light beams can be adjusted to be equal on the predetermined plane while maintaining the angle of the light beams. As described above, the stage STi (i = 1 to 3) has the function of the optical path length correction unit, the function of the optical unit position adjustment unit, and the function of the mirror angle adjustment unit.
本実施例では、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）の傾斜角度を任意に調整できる。そして、ステージＳＴｉ（ｉ＝１〜３）を用いることで、調整した傾斜角度に応じて、所定面において複数の光路の光路長が等しくなるように調整することができる。 In the present embodiment, the tilt angle of the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) can be arbitrarily adjusted. Then, by using the stage STi (i = 1 to 3), the optical path lengths of the plurality of optical paths can be adjusted to be equal on the predetermined surface according to the adjusted inclination angle.
（変形例１）
次に、光パルス多重化ユニットの変形例について説明する。上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図７は、本変形例に係る光パルス多重化ユニットの概略構成を示している。
(Modification 1)
Next, a modification of the optical pulse multiplexing unit will be described. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. FIG. 7 shows a schematic configuration of an optical pulse multiplexing unit according to this modification.
本変形例では、光路長を調整するために、ミラーを移動する代わりに、遅延素子７０１〜７０７を用いる。図７に示すように、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）とハーフミラー１との間の光路中において、各光線に対応して遅延素子７０１、７０２、７０３、７０４、７０５、７０６、７０７が配置されている。この遅延素子７０１、７０２、７０３、７０４、７０５、７０６、７０７は、光路長補正部に対応する。なお、図７において、ミラーユニットＭＵ３‐１からの射出光線において、遅延素子７０５、７０６、７０７は、複数の光線に重複して配置されているように記載されているが、実際には、光線ごとに対応して、それぞれ一つの遅延素子が配置されている。
In this modification, in order to adjust the optical path length, delay
図８は、ミラーユニットＭＵ２‐１近傍の構成を示している。遅延素子７０１〜７０７の基本的な構成は、全て同じである。図８に示す遅延素子７０２を例に構成を説明する。遅延素子７０２は、一組の楔形素子７０２ａ、７０２ｂから構成されている。楔形素子７０２ａ、７０２ｂの相対的な位置を矢印Ｙ１方向に沿って変えることで、遅延素子７０２の光学的な厚みを変えることができる。
FIG. 8 shows a configuration near the mirror unit MU2-1. The basic configurations of the
また、遅延素子７０２への光線の入射角度を垂直に保持することが望ましい。このため、矢印Ｙ２方向へ遅延素子７０２を回転させる機構（不図示）も備えている。
In addition, it is desirable to keep the incident angle of the light beam on the
遅延素子は、ｎ番目のミラーユニットＭＵｎ‐１から出射された全光線２ｎ−１本のそれぞれに対して配置されている。このため、各光線に対して、それぞれ個別に光路長を調整することができる。 The delay element is arranged for each of 2 n−1 total rays emitted from the nth mirror unit MUn-1. For this reason, the optical path length can be individually adjusted for each light beam.
（変形例２）
次に、光パルス多重化ユニットの他の変形例について説明する。上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図９は、本変形例に係る光パルス多重化ユニットの概略構成を示している。
(Modification 2)
Next, another modification of the optical pulse multiplexing unit will be described. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. FIG. 9 shows a schematic configuration of an optical pulse multiplexing unit according to this modification.
本変形例では、光路長を調整するために、ミラーを移動する代わりに、遅延素子９０１〜９０７を用いる。図９に示すように、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）とハーフミラー１との間の光路中において、各光線に対応して遅延素子９０１、９０２、９０３、９０４、９０５、９０６、９０７が配置されている。この遅延素子９０１、９０２、９０３、９０４、９０５、９０６、９０７は、光路長補正部に対応する。なお、図９において、ミラーユニットＭＵ３‐１からの射出光線において、遅延素子９０５、９０６、９０７は、複数の光線に重複して配置されているように記載されているが、実際には、光線ごとに対応して、それぞれ一つの遅延素子が配置されている。
In this modification, in order to adjust the optical path length, delay
図１０は、ミラーユニットＭＵ２‐１近傍の構成を示している。遅延素子９０１〜９０７の基本的な構成は、全て同じである。図１０に示す遅延素子９０２を例に構成を説明する。遅延素子９０２は、平行平板で構成されている。
FIG. 10 shows a configuration near the mirror unit MU2-1. The basic configurations of the
また、遅延素子９０２は、上述の変形例とは異なり、遅延素子９０２の位置及び角度、光学的な厚さは固定されている。
The
遅延素子は、ｎ番目のミラーユニットＭＵｎ‐１から出射された全光線２ｎ−１本のそれぞれに対して、配置されている。このため、各光線に対して、それぞれ個別に光路長を調整することができる。 The delay element is arranged for each of the 2 n-1 total rays emitted from the nth mirror unit MUn-1. For this reason, the optical path length can be individually adjusted for each light beam.
次に、ループ状の光路を有するミラーユニットの他の構成例について説明する。上述した各実施例においては、ミラーユニットＭＵｉ‐２（ｉ＝１〜３）は、２枚のミラーＭｉ‐２１、Ｍｉ‐２２（ｉ＝１〜３）によるループ状の光路を有している。本変形例では、図１１に示すように、ミラーの代わりに、光ファイバによりループ状の光路を有している。 Next, another configuration example of the mirror unit having a looped optical path will be described. In each of the embodiments described above, the mirror unit MUi-2 (i = 1 to 3) has a loop-shaped optical path formed by two mirrors Mi-21 and Mi-22 (i = 1 to 3). . In this modification, as shown in FIG. 11, a loop-shaped optical path is provided by an optical fiber instead of a mirror.
図１１は、ミラーユニットＭＵ３‐２の構成を示している。ミラーユニットＭＵ３‐２には、４本の光線が入射する。このため、各光線に対応して光ファイバＦＢ１、ＦＢ２、ＦＢ３、ＦＢ４が配置されている。上記各実施例で述べたように、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）を、それぞれ所定角度θ、−２θ、４θだけ傾けることで、ミラーユニットＭＵ３‐２に異なる角度の光線が入射する。 FIG. 11 shows the configuration of the mirror unit MU3-2. Four light beams enter the mirror unit MU3-2. For this reason, optical fibers FB1, FB2, FB3, and FB4 are arranged corresponding to the respective light beams. As described in the above embodiments, the mirror Mi-12 (i = 1 to 3) is tilted by the predetermined angles θ, −2θ, and 4θ, respectively, so that light beams having different angles are incident on the mirror unit MU3-2. .
例えば、入射端２００ａから入射した光線は、光ファイバＦＢ１内を伝搬する。そして、射出端２００ｂから射出する。このとき、各光ファイバＦＢ１〜ＦＢ４は、ミラーＭｉ‐１２（ｉ＝１〜３）の所定角度の傾きによる光路長の相違を相殺するようにループ状の光路を形成している。このように、各光ファイバＦＢ１〜ＦＢ４は、光路長補正部の機能を有している。このような構成によっても、レンズＬの焦平面上に、同時に複数の光パルスを照射することができる。
For example, the light beam incident from the
図１２は、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）の別の変形例に係る構成を示している。本変形例では、２つのミラーＭ２−１１，Ｍ２−１２の代わりにループ状の光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１を採用している。ここで、入射する光線の本数（例えば２本）に対応して、複数の光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１が配置されている。 FIG. 12 shows a configuration according to another modification of the mirror unit MUi-1 (i = 1 to 3). In this modification, loop-shaped optical fibers FB10 and FB11 are employed instead of the two mirrors M2-11 and M2-12. Here, a plurality of optical fibers FB10 and FB11 are arranged corresponding to the number of incident light beams (for example, two).
ハーフミラー１（図１２では不図示）により分割された透過光は、光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１の入射端面３００ａ、３０１ａに入射する。光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１により導光された光は、それぞれ出射端面３００ｂ、３０１ｂから出射してハーフミラー１に向かう。なお、光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１は、光偏向部に対応する。
The transmitted light divided by the half mirror 1 (not shown in FIG. 12) enters the incident end faces 300a and 301a of the optical fibers FB10 and FB11. Light guided by the optical fibers FB10 and FB11 is emitted from the emission end faces 300b and 301b, respectively, and travels toward the
また、光ファイバＦＢ１０、ＦＢ１１の、それぞれの入射端面３００ａ、３０１ａおよび出射端面３００ｂ、３０１ｂを、ハーフミラー１と垂直な面内において矢印で示す方向に移動および偏向させる移動機構３１０ａ、３２０ａ、３１０ｂ、３２０ｂを備える。
Also, moving
また、ミラーの代わりに、光ファイバを用いることができるのは、ミラーユニットＭＵｉ‐１（ｉ＝１〜３）のうちの全てのユニット、または何れか１つのミラーユニットでも良い。 Further, instead of the mirror, an optical fiber may be used for all units of the mirror unit MUi-1 (i = 1 to 3) or any one of the mirror units.
次に、上述の光パルス多重化ユニットを備える照明装置及びこの照明装置を備える顕微鏡の実施例について説明する。図１３は本実施例に係る顕微鏡の概略構成を示している。 Next, an embodiment of an illumination device including the above-described optical pulse multiplexing unit and a microscope including the illumination device will be described. FIG. 13 shows a schematic configuration of the microscope according to the present embodiment.
レーザ光源１０１は、光パルスＰを供給する。光パルスＰは、光パルス多重化ユニット１０２に入射する。光パルス多重化ユニット１０２は、上述した各実施例の構成を備えている。制御装置１０３は、例えば、光パルス多重化ユニット１０２のミラーの角度等を制御する。レーザ光源１０１と光パルス多重化ユニット１０２と制御装置１０３で照明装置を構成している。
The
このため、複数、例えば、８個の光パルスが生成される。便宜上、図１３においては、光パルス多重化ユニット１０２から射出される８個の光パルスを進行方向に沿って配列して記載している。しかしながら、実際は、空間的に異なる位置に生成された８個の光パルスが生成されている。
For this reason, a plurality of, for example, eight optical pulses are generated. For convenience, in FIG. 13, eight optical pulses emitted from the optical
光パルスは、ダイクロイックミラー１１１で反射される。そして、光パルスは、リレーレンズ１１３、ミラー１１４、結像レンズ１１５、対物レンズ１１６を介して、試料１１７上に結像される。ここで、スキャンミラー１１２を所定範囲で傾斜（回転）させることで、試料１１７面上を複数の光パルスで同時に照射しながら走査できる。
The light pulse is reflected by the
光パルスが照射されると試料１１７面では蛍光が発生する。発生した蛍光は、光路を戻り、ダイクロイックミラー１１１を透過する。そして、ミラー１１８、レンズ１１９、ピンホール１２０を介して検出器１２１に入射する。これにより、検出器１２１は、蛍光による情報を得ることができる。
When the light pulse is irradiated, fluorescence is generated on the surface of the
かかる構成によれば、リレーレンズ１１３、ミラー１１４、結像レンズ１１５、対物レンズ１１６からなる合成光学系の焦平面上において、複数の光パルスを同時に照射できる。そして、試料１１７面と焦平面とを一致させることで、試料１１７上を、複数の光パルスで同時に照射することができる。また、光パルス多重化ユニットは、種々の観察用途に用いることができる。このため、他のレーザ顕微鏡にも適用可能である。
According to such a configuration, a plurality of light pulses can be simultaneously irradiated on the focal plane of the combining optical system including the
以上のように、本発明にかかる光パルス多重化ユニットは、複数の照射点を同時に照射する光学系に有用である。 As described above, the optical pulse multiplexing unit according to the present invention is useful for an optical system that simultaneously irradiates a plurality of irradiation points.
１ ハーフミラー
ＭＵ１‐１、ＭＵ２‐１、ＭＵ３‐１、ＭＵ１‐２、ＭＵ２‐２、ＭＵ３‐２ ミラーユニット
Ｍ１‐１１、Ｍ１‐１２、Ｍ２‐１１、Ｍ２‐１２、Ｍ３‐１１、Ｍ３‐１２、Ｍ１‐２１、Ｍ１‐２２、Ｍ２‐２１、Ｍ２‐２２、Ｍ３‐２１、Ｍ３‐２２ ミラー
Ｌ レンズ
ＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３ ステージ
７０１、７０２、７０３、７０４、７０５、７０６、７０７ 遅延素子
９０１、９０２、９０３、９０４、９０５、９０６、９０７ 遅延素子
ＦＢ１、ＦＢ２、ＦＢ３、ＦＢ４、ＦＢ１０、ＦＢ１１ 光ファイバ
２００ａ 入力端
２００ｂ 出力端
１０１ レーザ光源
１０２ 光パルス多重化ユニット
１０３ 制御装置
１０４ 顕微鏡
１１１ ダイクロイックミラー
１１２ スキャンミラー
１１３ リレーレンズ
１１４ ミラー
１１５ 結像レンズ
１１６ 対物レンズ
１１７ 試料
１１８ ミラー
１１９ レンズ
１２０ ピンホール
１２１ 検出器
1 Half mirror MU1-1, MU2-1, MU3-1, MU1-2, MU2-2, MU3-2 Mirror unit M1-11, M1-12, M2-11, M2-12, M3-11,
120
Claims (10)
前記ハーフミラーの両側に対向配置され、前記ハーフミラーにより分波された透過光及び反射光をそれぞれ偏向して、再び前記ハーフミラー上の所定箇所で合波を行わせる光学ユニットと、
所定面において光路長を一致させる光路長補正部とを有し、
前記ハーフミラーの両側のうち一方の側に配置されている前記光学ユニットは、前記ハーフミラーにより分波された光を偏向する光偏向部を有し、前記光偏向部により偏向された光が他方の側に配置されている前記光学ユニットからの光と前記ハーフミラー上において共通箇所で同一の入射角度で再び合波するときの前記光偏向部の配置角度を基準角度としたとき、前記光偏向部は、前記基準角度から所定角度だけ傾けて配置されていることを特徴とする光パルス多重化ユニット。 A half mirror that demultiplexes incident light to generate transmitted light and reflected light;
An optical unit that is disposed opposite to both sides of the half mirror, deflects the transmitted light and reflected light separated by the half mirror, and multiplexes again at a predetermined location on the half mirror;
An optical path length correction unit that matches the optical path length on a predetermined surface,
The optical unit disposed on one side of both sides of the half mirror has a light deflection unit that deflects the light demultiplexed by the half mirror, and the light deflected by the light deflection unit is the other The light deflection when the arrangement angle of the light deflection unit when the light from the optical unit arranged on the side of the light and the half mirror is combined again at the same incident angle at the same location is set as a reference angle The optical pulse multiplexing unit is characterized in that the unit is arranged to be inclined at a predetermined angle from the reference angle.
光パルスを発する光源とを有することを特徴とする照明装置。 The optical pulse multiplexing unit according to any one of claims 1 to 8,
And a light source that emits a light pulse.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007322121A JP4959536B2 (en) | 2007-12-13 | 2007-12-13 | Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007322121A JP4959536B2 (en) | 2007-12-13 | 2007-12-13 | Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009145576A JP2009145576A (en) | 2009-07-02 |
| JP4959536B2 true JP4959536B2 (en) | 2012-06-27 |
Family
ID=40916246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007322121A Active JP4959536B2 (en) | 2007-12-13 | 2007-12-13 | Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4959536B2 (en) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104500B2 (en) * | 1986-09-17 | 1995-11-13 | 株式会社ニコン | Speckle erasing optics |
| JP2002277620A (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Nikon Corp | Amplitude division means, illuminating optical device having the amplitude division means, projecting exposure device, and exposing method |
| DE10215162B4 (en) * | 2002-04-05 | 2006-01-05 | Lavision Biotec Gmbh | Beam splitter device and laser scanning microscope |
| JP5060733B2 (en) * | 2005-03-28 | 2012-10-31 | オリンパス株式会社 | Optical pulse multiplexing unit, optical pulse generator using the same, and optical pulse multiplexing method |
| JP2006275908A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Olympus Corp | Multiplexing unit for signal optical pulse and time resolved measuring device using it |
-
2007
- 2007-12-13 JP JP2007322121A patent/JP4959536B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009145576A (en) | 2009-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20160246062A1 (en) | Beam splitter apparatus, light source apparatus, and scanning observation apparatus | |
| JP5384350B2 (en) | Multi-beam scanning device | |
| US7413311B2 (en) | Speckle reduction in laser illuminated projection displays having a one-dimensional spatial light modulator | |
| KR102519000B1 (en) | image display device | |
| US8817362B2 (en) | Modular pattern illumination and light beam multiplexing for selective excitation of microparticles | |
| JP5178107B2 (en) | Laser scanning microscope | |
| US9733462B2 (en) | Scanning apparatus, confocal observation apparatus and disk scanning apparatus | |
| TWI576612B (en) | Light irradiation apparatus and drawing apparatus | |
| KR101743810B1 (en) | Light irradiation apparatus and drawing apparatus | |
| US20150362714A1 (en) | Beam splitter apparatus, scanning observation apparatus, laser-scanning microscope, and laser-scanning endoscope | |
| JP2014006308A (en) | Scanning type confocal laser microscope | |
| JP4959536B2 (en) | Optical pulse multiplexing unit, illumination device and microscope | |
| WO2012090520A1 (en) | Laser processing device and laser processing method | |
| JP5964706B2 (en) | Optical processing equipment | |
| JP2012008308A (en) | Imaging optical system and confocal scanning microscope using the same | |
| JP3890891B2 (en) | Laser drawing device | |
| JP6345963B2 (en) | Light irradiation apparatus and drawing apparatus | |
| JP2006301234A (en) | Uniformizing optical device and parallel light source apparatus using the same | |
| CN113260893A (en) | Optical system | |
| JP3084829B2 (en) | Image forming device | |
| JP4106394B2 (en) | Multi-beam optical system | |
| JP2002040343A (en) | Laser scanner | |
| US20230314780A1 (en) | Method, optical apparatus and retrofit kit for producing light sheets by means of a retroreflector | |
| JP4495014B2 (en) | Wavelength multiplexing optical communication equipment | |
| JP2012168440A (en) | Scanning microscope |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101210 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120222 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120229 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120321 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150330 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |