JP4958186B2 - Optical pickup inspection device, inspection method, inspection program, computer-readable recording medium, and optical pickup automatic adjustment device - Google Patents

Optical pickup inspection device, inspection method, inspection program, computer-readable recording medium, and optical pickup automatic adjustment device Download PDF

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Description

この発明は、レーザ光を用いて情報の記録・再生を行なう光ピックアップの検査装置および検査方法、ならびに光ピックアップの自動調整装置に関する。さらに、この発明は、上記の検査装置に実行させるためのプログラム、およびこのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。   The present invention relates to an optical pickup inspection apparatus and inspection method for recording / reproducing information using laser light, and an optical pickup automatic adjustment apparatus. Furthermore, the present invention relates to a program for causing the inspection apparatus to execute, and a computer-readable recording medium on which the program is recorded.

近年、コンパクトディスク(CD:Compact Disc)、デジタルバーサタイルディスク(DVD:Digital Versatile Disc)などの光記録媒体は、コンピュータやオーディオ、ビデオなどの多くの分野で利用されている。   In recent years, optical recording media such as compact discs (CDs) and digital versatile discs (DVDs) have been used in many fields such as computers, audios, and video.

光記録媒体に対して情報の記録や再生を行うためには、光記録媒体の情報記録面上に光スポットを照射し、光記録媒体上に形成されているトラックに光スポットを追従させる必要がある。このようにトラックに光スポットを追従させる制御をトラッキング制御と呼ぶ。   In order to record and reproduce information on the optical recording medium, it is necessary to irradiate the optical spot on the information recording surface of the optical recording medium so that the optical spot follows the track formed on the optical recording medium. is there. Control that causes the light spot to follow the track in this way is called tracking control.

トラッキング制御方式には、位相差法、3ビーム法、プッシュプル法、および差動プッシュプル(DPP:Differential Push-Pull)法など、いくつかの方式が知られている。以下、差動プッシュプル法について説明する。   There are several known tracking control methods such as a phase difference method, a three-beam method, a push-pull method, and a differential push-pull (DPP) method. Hereinafter, the differential push-pull method will be described.

差動プッシュプル法は、レーザ光源から光ディスクまでの光路に回折格子を設置し、回折格子の透過光(0次光)をメインビームとし、±1次回折光をサブビームとして、3ビームを用いるトラッキング制御方式である。3つのビームは、光ディスク上でのスポット間隔がトラックピッチの1/2の奇数倍になるように光ディスクに照射される。そして、メインビームおよびサブビームの各々の反射光のプッシュプル信号が検出され、検出された信号の差動信号がトラッキング誤差信号として用いられる。差動プッシュプル法では、光ビームの照射位置が光ディスクの半径方向にシフトした場合に、メインビームおよびサブビームの各プッシュプル信号に発生するオフセットが互いにキャンセルし合う。この結果、トラッキング誤差信号のオフセットを低減することができるので、安定したトラッキング制御が可能となる。   In the differential push-pull method, a diffraction grating is installed in the optical path from the laser light source to the optical disc, the transmitted light (0th order light) of the diffraction grating is used as the main beam, ± 1st order diffracted light is used as the sub beam, and tracking control using 3 beams. It is a method. The three beams are applied to the optical disc so that the spot interval on the optical disc is an odd multiple of 1/2 the track pitch. Then, the push-pull signal of the reflected light of each of the main beam and the sub beam is detected, and the differential signal of the detected signal is used as the tracking error signal. In the differential push-pull method, when the irradiation position of the light beam is shifted in the radial direction of the optical disc, offsets generated in the push-pull signals of the main beam and the sub beam cancel each other. As a result, since the offset of the tracking error signal can be reduced, stable tracking control can be performed.

しかし、3つのビームのスポット間隔がトラックピッチの1/2の奇数倍からずれた場合には上記オフセットがキャンセルしきれない。結果として、トラッキング誤差信号の振幅が減少し、トラッキング制御が不安定になる可能性がある。   However, when the spot interval of the three beams deviates from an odd multiple of ½ of the track pitch, the offset cannot be canceled. As a result, the amplitude of the tracking error signal decreases, and tracking control may become unstable.

差動プッシュプル法に用いられる光ピックアップの調整方法として、たとえば、特開2005−44424号公報(特許文献1)に開示された技術が知られている。この技術では、メインビームとサブビームのビーム間隔が大きく、光記録媒体の偏心が大きい場合の差動プッシュプル信号の振幅変化が観測される。そして、光ディスクの1回転あたりに得られる差動プッシュプル信号の包絡線を検出したとき、その振幅が周期性を持ち、極大値、極小値が少なくともそれぞれ2回ずつ得られるように光ピックアップの調整が行なわれる。   As an adjustment method of an optical pickup used in the differential push-pull method, for example, a technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2005-44424 (Patent Document 1) is known. In this technique, the amplitude change of the differential push-pull signal is observed when the beam interval between the main beam and the sub beam is large and the eccentricity of the optical recording medium is large. Then, when the envelope of the differential push-pull signal obtained per rotation of the optical disk is detected, the optical pickup is adjusted so that the amplitude has periodicity and the maximum value and the minimum value are obtained at least twice each. Is done.

なお、上記の公知技術とは技術分野が異なるが、同様に信号波形の包絡線や極値に着目した信号処理技術が、特開2007−209782号公報(特許文献2)および特開2004−79079号公報(特許文献3)に開示されている。特開2007−209782号公報(特許文献2)は、血液の酸素飽和度や心拍出量を決定するためのパルス酸素濃度計の出力信号の信号処理に関する技術を開示する。また、特開2004−79079号公報(特許文献3)は、トラッキング誤差信号に基づいて、レーザ光の照射位置がトラック以外に位置していることを示すオフトラック信号を生成する技術を開示する。   Although the technical field is different from the above-described known technique, signal processing techniques that focus on signal waveform envelopes and extreme values are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-209882 (Patent Document 2) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-79079. (Patent Document 3). Japanese Patent Laying-Open No. 2007-209782 (Patent Document 2) discloses a technique related to signal processing of an output signal of a pulse oximeter for determining blood oxygen saturation and cardiac output. Japanese Patent Laying-Open No. 2004-79079 (Patent Document 3) discloses a technique for generating an off-track signal indicating that an irradiation position of a laser beam is located other than a track based on a tracking error signal.

特開2005−44424号公報JP 2005-44424 A 特開2007−209782号公報JP 2007-209782 A 特開2004−79079号公報JP 2004-79079 A

このように、差動プッシュプル法を用いたトラッキング制御を安定化するためには、3つのビームのスポット間隔がトラックピッチの1/2の整数倍になるように回折格子の光源に対する位置関係を精度よく調整することが必要である。   Thus, in order to stabilize the tracking control using the differential push-pull method, the positional relationship of the diffraction grating with respect to the light source is set so that the spot interval of the three beams is an integral multiple of 1/2 of the track pitch. It is necessary to adjust accurately.

しかしながら、上記の特開2005−44424号公報(特許文献1)に開示される技術を用いた場合には回折格子の配置の良否を精度良く判定することが困難である。特開2005−44424号公報(特許文献1)の場合、光ディスクの1回転あたりに得られる差動プッシュプル信号の包絡線を検出したとき、その振幅が周期性を持ち、極大値、極小値が少なくともそれぞれ2回ずつ得られるように光ピックアップの調整が行なわれる。この場合、包絡線の振幅にどの程度の周期性が認められれば光ピックアップを良好と判断してよいのかが明らかでない。また、光ディスクの1回転あたりに得られる差動プッシュプル信号の包絡線の波形によって良否判定が行なわれるので、光ディスクの偏心が大きい場合にしか精度良く判定できないという問題もある。   However, when the technique disclosed in the above Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-44424 (Patent Document 1) is used, it is difficult to accurately determine the quality of the diffraction grating arrangement. In the case of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-44424 (Patent Document 1), when an envelope of a differential push-pull signal obtained per rotation of an optical disc is detected, the amplitude has periodicity, and a maximum value and a minimum value are The optical pickup is adjusted so that it can be obtained at least twice. In this case, it is not clear how much periodicity is recognized in the amplitude of the envelope so that the optical pickup can be judged as good. In addition, since the quality determination is performed based on the waveform of the envelope of the differential push-pull signal obtained per rotation of the optical disk, there is also a problem that the determination can be made with accuracy only when the eccentricity of the optical disk is large.

したがって、この発明の目的は、差動プッシュプル法によるトラッキング制御方式の光ピックアップを高精度に検査可能な検査装置および検査方法を提供することである。さらに、この発明の目的は、上記検査装置に実行させるためのプログラムおよびこのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することである。さらに、この発明の目的は、差動プッシュプル法によるトラッキング制御方式の光ピックアップを精度良く自動調整する自動調整装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of inspecting a tracking control type optical pickup by the differential push-pull method with high accuracy. Furthermore, an object of the present invention is to provide a program for causing the inspection apparatus to execute and a computer-readable recording medium on which the program is recorded. Furthermore, an object of the present invention is to provide an automatic adjustment device that automatically adjusts a tracking control type optical pickup based on a differential push-pull method with high accuracy.

この発明は要約すれば、光ピックアップの検査装置であって、誤差信号生成部と、AD変換部と、記憶部と、波形抽出部と、極値算出部と、判定部とを備える。ここで、光ピックアップは、レーザ光源と、光分岐素子と、対物レンズと、アクチュエータと、複数の光検出器とを含む。光分岐素子は、レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する。対物レンズは、複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する。アクチュエータは、対物レンズを光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させる。複数の光検出器は、複数の光ビームの各々が光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する。誤差信号生成部は、複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成する。AD変換部は、対物レンズが繰返し変位している間に得られた差動プッシュプル信号をデジタル変換する。記憶部は、差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶する。波形抽出部は、記憶部に記憶された第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出する。このときの第1の波形は、第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。極値算出部は、第1の波形の複数の極大値または極小値を算出する。判定部は、極値算出部によって算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、レーザ光源に対する光分岐素子の配置の良否を判定する。   In summary, the present invention is an optical pickup inspection apparatus, which includes an error signal generation unit, an AD conversion unit, a storage unit, a waveform extraction unit, an extreme value calculation unit, and a determination unit. Here, the optical pickup includes a laser light source, an optical branching element, an objective lens, an actuator, and a plurality of photodetectors. The light branching element branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams. The objective lens focuses each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The actuator repeatedly displaces the objective lens in the direction crossing the track of the optical recording medium. The plurality of photodetectors respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The error signal generation unit generates a differential push-pull signal based on the outputs of the plurality of photodetectors as a tracking error signal. The AD conversion unit digitally converts the differential push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced. The storage unit stores first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal. The waveform extraction unit extracts the first waveform based on the first time-series data stored in the storage unit. The first waveform at this time is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The extreme value calculation unit calculates a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform. The determination unit determines whether the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is good or not based on whether or not the variation of the plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit is within a predetermined range. To do.

上記の光ピックアップの検査装置によれば、時系列データから抽出した第1の波形の極値のばらつきを評価するによって、光ピックアップの検査を精度良く行なうことができる。この結果、光ピックアップの調整のばらつきを抑制でき、調整時間が短縮され、人件費などを削減することができる。   According to the inspection apparatus for an optical pickup described above, the inspection of the optical pickup can be performed with high accuracy by evaluating the variation in the extreme value of the first waveform extracted from the time series data. As a result, variations in adjustment of the optical pickup can be suppressed, adjustment time can be shortened, and labor costs can be reduced.

好ましくは、波形抽出部は、端点設定部と、包絡線生成部とを含む。端点設定部は、第1の時系列データの上下の包絡線の各々について、左右の端点の少なくとも一方を設定する。包絡線生成部は、左右の端点の一方から開始して時間軸の正方向または負方向に、第1の時系列データから所定の条件を満たすデータ点を順次抽出することによって上下の包絡線の各々を生成する。ここで、所定の条件は、隣接するデータ点を通る直線の傾きが所定の範囲内になることである。   Preferably, the waveform extraction unit includes an end point setting unit and an envelope generation unit. The end point setting unit sets at least one of the left and right end points for each of the upper and lower envelopes of the first time-series data. The envelope generation unit sequentially extracts data points that satisfy a predetermined condition from the first time-series data in the positive or negative direction of the time axis starting from one of the left and right end points, thereby generating upper and lower envelopes. Generate each. Here, the predetermined condition is that the slope of a straight line passing through adjacent data points is within a predetermined range.

上記の構成によれば、所定の条件を満たすように包絡線の振幅の変化が制限されるので、第1の時系列データにノイズ成分が含まれている場合でも、ノイズの影響を抑制して包絡線を生成することできる。   According to the above configuration, since the change in the amplitude of the envelope is limited so as to satisfy the predetermined condition, even if the first time-series data includes a noise component, the influence of noise is suppressed. An envelope can be generated.

好ましくは、包絡線生成部は、第1の時系列データから時間軸の正方向に抽出した複数の第1のデータ点と、時間軸の負方向に抽出した複数の第2のデータ点とを平均化することによって上下の包絡線の各々を生成する。したがって、より高精度に包絡線を生成することができる。   Preferably, the envelope generator generates a plurality of first data points extracted from the first time-series data in the positive direction of the time axis and a plurality of second data points extracted in the negative direction of the time axis. Each of the upper and lower envelopes is generated by averaging. Therefore, an envelope can be generated with higher accuracy.

また、好ましくは、包絡線生成部は、第1の時系列データの各データ点のうち、所定の閾値を超えて上下の包絡線を逸脱しているデータ点をノイズとして第1の時系列データから除去し、ノイズが除去された第1の時系列データを用いて上下の包絡線の各々を再度生成する。したがって、第1の時系列データにノイズ成分が含まれている場合でも、ノイズの影響を除去して高精度に包絡線を算出することができる。   Preferably, the envelope generator generates the first time-series data by using, as noise, a data point that exceeds a predetermined threshold and deviates from the upper and lower envelopes among the data points of the first time-series data. Then, each of the upper and lower envelopes is generated again using the first time-series data from which noise is removed. Therefore, even when the first time-series data includes a noise component, it is possible to remove the influence of noise and calculate the envelope with high accuracy.

好ましくは、端点設定部は、左右の端点の各々を設定するときに、第1の時系列データの最初または最後から数えて所定数のデータ点を大きさの順に並べたとき、所定番目のデータ点の値を端点の値に設定する。   Preferably, when setting each of the left and right end points, the end point setting unit sets a predetermined number of data points when arranging a predetermined number of data points in order of size from the beginning or end of the first time series data. Set the point value to the end point value.

上記の構成によれば、第1の時系列データの最初または最後のデータ点や0点などを端点としていないので、ノイズの影響を抑制できるとともに包絡線の端部における計算精度を高めることができる。この結果、判定部による良否判定の精度を向上させることができる。   According to the above configuration, since the first or last data point or 0 point of the first time series data is not an end point, the influence of noise can be suppressed and the calculation accuracy at the end of the envelope can be increased. . As a result, the accuracy of the pass / fail determination by the determination unit can be improved.

好ましくは、極値算出部は、第1の波形の複数の極小値を算出するときの構成として、サンプリング波形生成部と、平滑化部と、極小点抽出部とを含む。サンプリング波形生成部は、第1の波形を複数の区間に分割し、複数の区間の各々の最小点からなるサンプリング波形を生成する。平滑化部は、サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する。極小点抽出部は、サンプリング波形から平滑化波形を減じた値が負となる複数の負区間を抽出し、複数の負区間の各々におけるサンプリング波形の最小点を第1の波形の極小点として抽出する。   Preferably, the extreme value calculation unit includes a sampling waveform generation unit, a smoothing unit, and a minimum point extraction unit as a configuration for calculating a plurality of minimum values of the first waveform. The sampling waveform generation unit divides the first waveform into a plurality of sections, and generates a sampling waveform composed of the minimum points of the plurality of sections. The smoothing unit generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform. The local minimum point extraction unit extracts a plurality of negative intervals in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is negative, and extracts a minimum point of the sampling waveform in each of the plurality of negative intervals as a local minimum point of the first waveform. To do.

また、好ましくは、極値算出部は、第1の波形の複数の極大値を算出するときの構成として、サンプリング波形生成部と、平滑化部と、極大点抽出部とを含む。サンプリング波形生成部は、第1の波形を複数の区間に分割し、複数の区間の各々の最大点からなるサンプリング波形を生成する。平滑化部は、サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する。極大点抽出部は、サンプリング波形から平滑化波形を減じた値が正となる複数の正区間を抽出し、複数の正区間の各々におけるサンプリング波形の最大点を第1の波形の極大点として抽出する。   Preferably, the extreme value calculation unit includes a sampling waveform generation unit, a smoothing unit, and a maximum point extraction unit as a configuration for calculating a plurality of maximum values of the first waveform. The sampling waveform generation unit divides the first waveform into a plurality of sections, and generates a sampling waveform composed of the maximum points of the plurality of sections. The smoothing unit generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform. The maximum point extraction unit extracts a plurality of positive intervals in which the value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is positive, and extracts the maximum point of the sampling waveform in each of the plurality of positive intervals as the maximum point of the first waveform. To do.

上記の極値算出部の構成によれば、第1の波形のデータ数を削減したサンプリング波形を用いて極大点または極小点を抽出するので、元の第1の波形に含まれていたノイズ成分を低減させて精度良く極大点または極小点を抽出することができる。また、データ数が削減されたサンプリング波形を用いて極大点または極小点を抽出するので、コンピュータの処理時間を短縮することができる。また、移動平均によってサンプリング波形を平滑化した平滑化波形を利用して極大点または極小点を抽出するので、第1の波形の振幅の変化が著しい場合でも高精度に極大点または極小点の位置を検出することができる。これらの結果、判定部による良否判定の精度を向上させることができる。   According to the configuration of the extreme value calculation unit described above, the maximum point or the minimum point is extracted using the sampling waveform in which the number of data of the first waveform is reduced, so that the noise component included in the original first waveform And the maximum point or the minimum point can be extracted with high accuracy. In addition, since the maximum point or the minimum point is extracted using the sampling waveform in which the number of data is reduced, the processing time of the computer can be shortened. Further, since the maximum point or the minimum point is extracted using the smoothed waveform obtained by smoothing the sampling waveform by the moving average, the position of the maximum point or the minimum point can be accurately detected even when the change in the amplitude of the first waveform is significant. Can be detected. As a result, it is possible to improve the accuracy of the quality determination by the determination unit.

また、極値算出部は、第1の波形の複数の極小値を算出するときの他の好ましい構成として、サンプリング波形生成部と、平滑化部と、極小点抽出部とを含む。サンプリング波形生成部は、第1の波形を複数の区間に分割し、複数の区間の各々の最小点からなるサンプリング波形を生成する。平滑化部は、サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する。極小点抽出部は、サンプリング波形から平滑化波形を減じた値が負となる複数の負区間を抽出し、複数の負区間の各々におけるサンプリング波形の重心位置に対応する第1の波形上の点を、第1の波形の極小点として抽出する。   The extreme value calculation unit includes a sampling waveform generation unit, a smoothing unit, and a minimum point extraction unit as another preferable configuration when calculating a plurality of minimum values of the first waveform. The sampling waveform generation unit divides the first waveform into a plurality of sections, and generates a sampling waveform composed of the minimum points of the plurality of sections. The smoothing unit generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform. The local minimum point extraction unit extracts a plurality of negative sections in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is negative, and points on the first waveform corresponding to the centroid position of the sampling waveform in each of the plurality of negative sections Are extracted as the minimum points of the first waveform.

また、極値算出部は、第1の波形の複数の極大値を算出するときの他の好ましい構成として、サンプリング波形生成部と、平滑化部と、極大点抽出部とを含む。サンプリング波形生成部は、第1の波形を複数の区間に分割し、複数の区間の各々の最大点からなるサンプリング波形を生成する。平滑化部は、サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する。極大点抽出部は、サンプリング波形から平滑化波形を減じた値が正となる複数の正区間を抽出し、複数の正区間の各々におけるサンプリング波形の重心位置に対応する第1の波形上の点を、第1の波形の極大点として抽出する。   In addition, the extreme value calculation unit includes a sampling waveform generation unit, a smoothing unit, and a maximum point extraction unit as another preferable configuration when calculating a plurality of maximum values of the first waveform. The sampling waveform generation unit divides the first waveform into a plurality of sections, and generates a sampling waveform composed of the maximum points of the plurality of sections. The smoothing unit generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform. The local maximum point extraction unit extracts a plurality of positive intervals in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is positive, and points on the first waveform corresponding to the centroid position of the sampling waveform in each of the plurality of positive intervals Are extracted as local maximum points of the first waveform.

上記の極値算出部の構成によれば、各正区間または負区間におけるサンプリング波形の重心位置を利用して、第1の波形の極大点または極小点を抽出するので、第1の波形にノイズ成分が含まれている場合でも、適切な極大点または極小点の位置を高精度に抽出することができる。この結果、判定部における良否判定の精度を向上させることができる。   According to the configuration of the extreme value calculation unit described above, the maximum point or the minimum point of the first waveform is extracted using the gravity center position of the sampling waveform in each positive interval or negative interval. Even when the component is included, it is possible to accurately extract the position of the appropriate maximum or minimum point. As a result, it is possible to improve the accuracy of the quality determination in the determination unit.

好ましくは、判定部は、極値分類部と、比較部とを含む。極値分類部は、極値算出部によって算出された複数の極大値または極小値を第1および第2のグループに分類する。比較部は、第1のグループに属する複数の極大値または極小値の平均値と第2のグループに属する複数の極大値または極小値の平均値とを比較することによって、レーザ光源に対する光分岐素子の配置の良否を判定する。   Preferably, the determination unit includes an extreme value classification unit and a comparison unit. The extreme value classification unit classifies the plurality of maximum values or minimum values calculated by the extreme value calculation unit into first and second groups. The comparison unit compares the average value of the plurality of local maximum values or local minimum values belonging to the first group with the average value of the plurality of local maximum values or local minimum values belonging to the second group, so that the optical branching element for the laser light source The quality of the arrangement is determined.

通常、対物レンズが径方向の内周側に変位することによって光ディスク(光記録媒体)の内周側にレーザ光が照射される場合を第1のグループに分類し、対物レンズが光ディスクの外周側に変位することによって光ディスクの外周側にレーザ光が照射される場合を第2のグループに分類する。このとき、第1のグループの極大値または極小値の平均値と第2のグループの極大値または極小値の平均値を比較することによって、高精度に光ピックアップの良否判定を行なうことができる。   Usually, when the objective lens is displaced to the inner peripheral side in the radial direction and the laser beam is irradiated to the inner peripheral side of the optical disc (optical recording medium), it is classified into the first group. The case where the laser beam is irradiated on the outer peripheral side of the optical disc by being displaced to is classified into the second group. At this time, the quality of the optical pickup can be determined with high accuracy by comparing the average value of the maximum value or the minimum value of the first group with the average value of the maximum value or the minimum value of the second group.

好ましくは、極値分類部は、極値算出部によって算出された複数の極大値または極小値を、第1の時系列データの時間順に交互に第1および第2のグループに分類する。この結果、複数の極大値および極小値を対物レンズの変位に対応付けて第1、第2のグループに簡単に分類することができる。   Preferably, the extreme value classification unit classifies a plurality of local maximum values or local minimum values calculated by the extreme value calculation unit into first and second groups alternately in the time order of the first time-series data. As a result, a plurality of maximum values and minimum values can be easily classified into the first and second groups in association with the displacement of the objective lens.

また、好ましくは、誤差信号生成部は、複数の光検出器のうちメインビームの反射光を検出する光検出器の出力に基づくメインプッシュプル信号をさらに生成する。AD変換部は、対物レンズが繰返し変位している間に得られたメインプッシュプル信号をさらにデジタル変換する。記憶部は、メインプッシュプル信号がデジタル変換された第2の時系列データをさらに記憶する。波形抽出部は、記憶部に記憶された第2の時系列データに基づいて第2の波形をさらに抽出する。このときの第2の波形は、第2の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。極値算出部は、第2の波形の複数の極大値または極小値をさらに算出する。この場合、極値分類部は、極値算出部によって算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のうち、極値算出部によって算出された第2の波形の極大値または極小値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を第1のグループに分類し、残余の極大値または極小値を第2のグループに分類する。   Preferably, the error signal generation unit further generates a main push-pull signal based on an output of a photodetector that detects reflected light of the main beam among the plurality of photodetectors. The AD converter further digitally converts the main push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced. The storage unit further stores second time-series data obtained by digitally converting the main push-pull signal. The waveform extraction unit further extracts a second waveform based on the second time series data stored in the storage unit. The second waveform at this time is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the second time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The extreme value calculation unit further calculates a plurality of maximum values or minimum values of the second waveform. In this case, the extreme value classification unit includes the maximum value or the minimum value of the second waveform calculated by the extreme value calculation unit among the plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit. The maximum value or the minimum value obtained at substantially the same time as the time at which is given is classified into the first group, and the remaining maximum value or minimum value is classified into the second group.

このようにメインビームのプッシュプル信号を利用することによって、レーザ光が光ディスクの内周側に照射した場合とレーザ光が光ディスクの外周側に照射した場合とに、高精度に極値を分類することができる。   By using the push-pull signal of the main beam in this way, extreme values are classified with high accuracy when the laser beam is irradiated on the inner periphery side of the optical disc and when the laser beam is irradiated on the outer periphery side of the optical disc. be able to.

また、好ましくは、誤差信号生成部は、複数の光検出器のうちメインビームの反射光を検出する光検出器の出力に基づいてメインプッシュプル信号をさらに生成する。AD変換部は、対物レンズが繰返し変位している間に得られたメインプッシュプル信号をさらにデジタル変換する。記憶部は、メインプッシュプル信号がデジタル変換された第2の時系列データをさらに記憶する。波形抽出部は、記憶部に記憶された第2の時系列データに基づいて第2の波形をさらに抽出する。このときの第2の波形は、第2の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。極値算出部は、第2の波形の複数の極大値および極小値をさらに算出する。この場合、極値分類部は、極値算出部によって算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のうち、第2の波形の極小値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を第1のグループに分類し、第2の波形の極大値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を第2のグループに分類する。   Preferably, the error signal generation unit further generates a main push-pull signal based on an output of a photodetector that detects reflected light of the main beam among the plurality of photodetectors. The AD converter further digitally converts the main push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced. The storage unit further stores second time-series data obtained by digitally converting the main push-pull signal. The waveform extraction unit further extracts a second waveform based on the second time series data stored in the storage unit. The second waveform at this time is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the second time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The extreme value calculation unit further calculates a plurality of maximum values and minimum values of the second waveform. In this case, the extreme value classification unit is obtained at substantially the same time as the time when the local waveform of the second waveform is given among the plurality of local maximum values or local minimum values calculated by the extreme value calculation unit. The maximum value or the minimum value is classified into the first group, and the maximum value or the minimum value obtained at substantially the same time as the time when the maximum value of the second waveform is given is classified into the second group.

このようにメインビームのプッシュプル信号を利用することによって、レーザ光が光ディスクの内周側に照射した場合とレーザ光が光ディスクの外周側に照射した場合とに、さらに高精度に極値を分類することができる。   By using the push-pull signal of the main beam in this way, extreme values are classified with higher accuracy when the laser beam is applied to the inner periphery of the optical disc and when the laser beam is applied to the outer periphery of the optical disc. can do.

この発明は、他の局面において、レーザ光源と、光分岐素子と、対物レンズと、アクチュエータと、複数の光検出器とを含む光ピックアップを検査するための光ピックアップの検査方法である。ここで、光分岐素子は、レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する。対物レンズは、複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する。アクチュエータは、対物レンズを光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させる。複数の光検出器は、複数の光ビームの各々が光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する。このとき、光ピックアップの検査方法は、複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成するステップと、対物レンズが繰返し変位している間に得られた差動プッシュプル信号をデジタル変換するステップと、差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶するステップと、記憶するステップで記憶された第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出するステップとを備える。ここで、第1の波形は、第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。光ピックアップの検査方法は、第1の波形の複数の極大値または極小値を算出するステップと、算出するステップで算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、レーザ光源に対する光分岐素子の配置の良否を判定するステップとをさらに備える。   In another aspect, the present invention is an optical pickup inspection method for inspecting an optical pickup including a laser light source, an optical branching element, an objective lens, an actuator, and a plurality of photodetectors. Here, the light branching element branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams. The objective lens focuses each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The actuator repeatedly displaces the objective lens in the direction crossing the track of the optical recording medium. The plurality of photodetectors respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium. At this time, the optical pickup inspection method includes a step of generating a differential push-pull signal based on outputs of a plurality of photodetectors as a tracking error signal, and a differential obtained while the objective lens is repeatedly displaced. Based on the step of digitally converting the push-pull signal, the step of storing the first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal, and the first time-series data stored in the step of storing. Extracting the waveform. Here, the first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The optical pickup inspection method includes a step of calculating a plurality of maximum values or minimum values of a first waveform, and a variation of the plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated in the calculating step within a predetermined range. And determining whether or not the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is good.

この発明は、さらに他の局面において、レーザ光源と、光分岐素子と、対物レンズと、アクチュエータと、複数の光検出器とを含む光ピックアップを検査するための検査プログラムである。ここで、光分岐素子は、レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する。対物レンズは、複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する。アクチュエータは、対物レンズを光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させる。複数の光検出器は、複数の光ビームの各々が光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する。このとき、検査プログラムはコンピュータに、対物レンズが繰返し変位している間に、複数の光検出器の出力に基づいて生成されてデジタル変換された差動プッシュプル信号を第1の時系列データとして記憶するステップと、記憶するステップで記憶された第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出するステップとを実行させる。ここで、第1の波形は、第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。検査プログラムはコンピュータに、第1の波形の複数の極大値または極小値を算出するステップと、算出するするステップで算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、レーザ光源に対する光分岐素子の配置の良否を判定するステップとをさらに実行させる。   In yet another aspect, the present invention provides an inspection program for inspecting an optical pickup including a laser light source, an optical branching element, an objective lens, an actuator, and a plurality of photodetectors. Here, the light branching element branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams. The objective lens focuses each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The actuator repeatedly displaces the objective lens in the direction crossing the track of the optical recording medium. The plurality of photodetectors respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium. At this time, the inspection program causes the differential push-pull signal generated based on the outputs of the plurality of photodetectors and digitally converted as the first time-series data to the computer while the objective lens is repeatedly displaced. A step of storing and a step of extracting the first waveform based on the first time-series data stored in the storing step are executed. Here, the first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The inspection program causes the computer to calculate a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform, and a variation in the plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated in the calculating step to be within a predetermined range. And determining whether the arrangement of the light branching element with respect to the laser light source is good or not is further executed.

また、この発明は、さらに他の局面において、上記の検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。   Moreover, this invention is a computer-readable recording medium which recorded said test | inspection program in another situation.

また、この発明は、さらに他の局面において、光ピックアップの自動調整装置であって、誤差信号生成部と、AD変換部と、記憶部と、波形抽出部と、極値算出部と、判定部と、調整部とを備える。ここで、光ピックアップは、レーザ光源と、光分岐素子と、対物レンズと、アクチュエータと、複数の光検出器とを含む。光分岐素子は、レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する。対物レンズは、複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する。アクチュエータは、対物レンズを光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させる。複数の光検出器は、複数の光ビームの各々が光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する。誤差信号生成部は、複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成する。AD変換部は、対物レンズが繰返し変位している間に得られた差動プッシュプル信号をデジタル変換する。記憶部は、差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶する。波形抽出部は、記憶部に記憶された第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出する。このときの第1の波形は、第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。極値算出部は、第1の波形の複数の極大値または極小値を算出する。判定部は、極値算出部によって算出された第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、レーザ光源に対する光分岐素子の配置の良否を判定する。調整部は、判定部の判定結果に応じて光分岐素子のレーザ光源に対する配置を調整する。   According to another aspect of the present invention, there is provided an automatic adjustment device for an optical pickup, an error signal generation unit, an AD conversion unit, a storage unit, a waveform extraction unit, an extreme value calculation unit, and a determination unit. And an adjustment unit. Here, the optical pickup includes a laser light source, an optical branching element, an objective lens, an actuator, and a plurality of photodetectors. The light branching element branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams. The objective lens focuses each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The actuator repeatedly displaces the objective lens in the direction crossing the track of the optical recording medium. The plurality of photodetectors respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium. The error signal generation unit generates a differential push-pull signal based on the outputs of the plurality of photodetectors as a tracking error signal. The AD conversion unit digitally converts the differential push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced. The storage unit stores first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal. The waveform extraction unit extracts the first waveform based on the first time-series data stored in the storage unit. The first waveform at this time is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. The extreme value calculation unit calculates a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform. The determination unit determines whether the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is good or not based on whether or not the variation of the plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit is within a predetermined range. To do. The adjustment unit adjusts the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source according to the determination result of the determination unit.

以上のとおり、この発明によれば、差動プッシュプル法によるトラッキング制御方式の光ピックアップの検査精度を高めることができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to improve the inspection accuracy of a tracking control type optical pickup using the differential push-pull method.

この発明の実施の形態1による光ピックアップ101の検査装置11の概略的な構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the test | inspection apparatus 11 of the optical pick-up 101 by Embodiment 1 of this invention. 光記録媒体106上に集光された3つのビームの照射位置を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing irradiation positions of three beams condensed on the optical recording medium 106. 光検出部110および誤差信号生成部221の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of a light detection unit 110 and an error signal generation unit 221. 差動プッシュプル信号DPPの信号波形の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the signal waveform of the differential push pull signal DPP. 図1の検査装置11のコンピュータ201のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of the computer 201 of the test | inspection apparatus 11 of FIG. 図1の検査装置11を構成するコンピュータ201のソフトウェアの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the software of the computer 201 which comprises the test | inspection apparatus 11 of FIG. 光ピックアップの検査装置11の検査手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the test | inspection procedure of the test | inspection apparatus 11 of an optical pick-up. AD変換部202から出力された時系列データ320の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the time series data 320 output from AD conversion part 202. 図7のステップS504の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the procedure of step S504 of FIG. 7 in more detail. 図9のステップS603の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S603 of FIG. 図9のステップS604の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S604 of FIG. 図9のステップS603およびS604の手順を示すフローチャートである。10 is a flowchart showing the procedure of steps S603 and S604 of FIG. 図9のステップS605の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S605 of FIG. 図9のステップS607の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S607 of FIG. 図8に示す時系列データ320に基づいて生成された上下の包絡線321,322を示す図である。It is a figure which shows the upper and lower envelopes 321 and 322 produced | generated based on the time series data 320 shown in FIG. 図15の上下の包絡線321,322から生成された低周波波形323を示す図である。It is a figure which shows the low frequency waveform 323 produced | generated from the upper and lower envelopes 321 and 322 of FIG. 図7のステップS506の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the procedure of step S506 of FIG. 7 in more detail. 図17のステップS551の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S551 of FIG. 図17のステップS551で生成されたサンプリング波形324を示す図である。It is a figure which shows the sampling waveform 324 produced | generated by step S551 of FIG. 図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S553 of FIG. 低周波波形323上で決定された極小点V1〜V5の位置を示す図である。It is a figure which shows the position of minimum point V1-V5 determined on the low frequency waveform 323. FIG. 図7のステップS507の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the procedure of step S507 of FIG. 7 in more detail. 差動プッシュプル信号の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a differential push pull signal. 極大点および極小点を含む信号の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the signal containing a maximum point and a minimum point. 図17のステップS551で生成されたサンプリング波形326を示す図である。It is a figure which shows the sampling waveform 326 produced | generated by step S551 of FIG. 図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S553 of FIG. メインプッシュプル信号MPPの時系列データ328と生成された上下の包絡線329,330とを示す図である。It is a figure which shows the time series data 328 of the main push pull signal MPP, and the upper and lower envelopes 329 and 330 produced | generated. 図27の上下の包絡線329,330から生成された低周波波形331を示す図である。It is a figure which shows the low frequency waveform 331 produced | generated from the upper and lower envelopes 329 and 330 of FIG. 実施の形態2における低周波波形323の複数の極小点の分類方法を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a method of classifying a plurality of minimum points of a low-frequency waveform 323 in the second embodiment. 実施の形態3における低周波波形323の複数の極小点の分類方法を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for describing a method for classifying a plurality of minimum points of a low-frequency waveform 323 according to Embodiment 3. 図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process sequence of step S553 of FIG. この発明の実施の形態5による光ピックアップの自動調整装置12の概略的な構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the automatic adjustment apparatus 12 of the optical pick-up by Embodiment 5 of this invention. 図32の自動調整装置12を構成するコンピュータ201Aのソフトウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the software structure of the computer 201A which comprises the automatic adjustment apparatus 12 of FIG. 光ピックアップの自動調整装置12による調整手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the adjustment procedure by the automatic adjustment apparatus 12 of an optical pick-up.

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して、その説明を繰返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

[実施の形態1]
(光ピックアップおよびその検査装置の概略的な構成)
図1は、この発明の実施の形態1による光ピックアップ101の検査装置11の概略的な構成を示す図である。
[Embodiment 1]
(Schematic configuration of optical pickup and its inspection device)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus 11 for an optical pickup 101 according to Embodiment 1 of the present invention.

図1を参照して、光ピックアップ101は、スピンドルモータ112によって回転している光記録媒体(光ディスク)106にレーザ光を照射することによって、光記録媒体106に記録された情報を読み出す装置である。   Referring to FIG. 1, an optical pickup 101 is a device that reads information recorded on an optical recording medium 106 by irradiating an optical recording medium (optical disk) 106 rotated by a spindle motor 112 with laser light. .

図1の光ピックアップ101は、レーザ光源としての半導体レーザ102と、コリメータレンズ103と、光分岐素子としての回折格子104と、ビームスプリッタ105と、レーザ光を光記録媒体106上に集光する対物レンズ107と、対物レンズ107を駆動するアクチュエータ111と、光記録媒体106で反射された光を集光する反射光集光レンズ108と、シリンドリカルレンズ109と、複数の光検出器131,132,133を有する光検出部110とを含む。   An optical pickup 101 in FIG. 1 includes a semiconductor laser 102 as a laser light source, a collimator lens 103, a diffraction grating 104 as an optical branching element, a beam splitter 105, and an objective for condensing laser light on an optical recording medium 106. Lens 107, actuator 111 that drives objective lens 107, reflected light condensing lens 108 that condenses the light reflected by optical recording medium 106, cylindrical lens 109, and a plurality of photodetectors 131, 132, and 133 And a light detection unit 110 having

コリメータレンズ103は、半導体レーザ102から出射された光ビームを平行光に変換する。   The collimator lens 103 converts the light beam emitted from the semiconductor laser 102 into parallel light.

回折格子104は、コリメータレンズ103から出力された平行光を、1つのメインビーム(0次光)と2つのサブビーム(±1次回折光)からなる3つのビームに分割する。各ビーム光はビームスプリッタ105を透過し、対物レンズ107によって光記録媒体106上に集光される。   The diffraction grating 104 divides the parallel light output from the collimator lens 103 into three beams including one main beam (0th order light) and two sub beams (± 1st order diffracted light). Each beam passes through the beam splitter 105 and is collected on the optical recording medium 106 by the objective lens 107.

アクチュエータ111は、駆動コイルによって対物レンズ107を変位させる。光記録媒体106に記録された情報の読出を行なうときには、光記録媒体106と対物レンズ107の距離を一定に保つようにアクチュエータ111が駆動される(フォーカスサーボ制御)。さらに、情報の読出時には、光ビームの照射位置を光記録媒体106の情報トラックに追従させるようにアクチュエータ111が駆動される(トラッキングサーボ制御)。   The actuator 111 displaces the objective lens 107 with a drive coil. When reading information recorded on the optical recording medium 106, the actuator 111 is driven so as to keep the distance between the optical recording medium 106 and the objective lens 107 constant (focus servo control). Further, at the time of reading information, the actuator 111 is driven so that the irradiation position of the light beam follows the information track of the optical recording medium 106 (tracking servo control).

図2は、光記録媒体106上に集光された3つのビームの照射位置を示す図である。図2を参照して、トラッキングサーボ制御により、メインビーム121が情報トラック126の中心に照射されるようにメインビーム121の照射位置が制御される。このとき、サブビーム122,123は、メインビーム121に対してそれぞれ左右に1/2トラックずれて照射される。すなわち、サブビーム122はトラック126とその左側に隣接するトラック125との中央に照射され、サブビーム123はトラック126とその右側に隣接するトラック127との中央に照射される。   FIG. 2 is a diagram showing irradiation positions of three beams condensed on the optical recording medium 106. Referring to FIG. 2, the irradiation position of main beam 121 is controlled by tracking servo control so that main beam 121 is irradiated to the center of information track 126. At this time, the sub beams 122 and 123 are irradiated with a shift of ½ track left and right with respect to the main beam 121, respectively. That is, the sub beam 122 is applied to the center of the track 126 and the track 125 adjacent to the left side thereof, and the sub beam 123 is applied to the center of the track 126 and the track 127 adjacent to the right side thereof.

再び図1を参照して、3つのビーム121,122,123が光記録媒体106によってそれぞれ反射される。これによって生じた3つの反射光は、ビームスプリッタ105により光路が曲げられ、反射光集光レンズ108およびシリンドリカルレンズ109とを通過して光検出部110に導かれる。光検出部110に導かれた反射光から、図3で後述する誤差信号生成部221によってトラッキング誤差信号が生成される。なお、シリンドリカルレンズ109は、非点収差法によってフォーカスサーボを行なうために設けられている。   Referring again to FIG. 1, the three beams 121, 122, and 123 are reflected by the optical recording medium 106, respectively. The three reflected lights generated thereby are deflected by the beam splitter 105, pass through the reflected light collecting lens 108 and the cylindrical lens 109, and are guided to the light detection unit 110. A tracking error signal is generated from the reflected light guided to the light detection unit 110 by an error signal generation unit 221 described later with reference to FIG. The cylindrical lens 109 is provided to perform focus servo by the astigmatism method.

図3は、光検出部110および誤差信号生成部221の構成を示す図である。
図3を参照して、光検出部110は、メインビーム用の4分割光検出器131と、2つのサブビーム用の2分割光検出器132,133とを含む。4分割光検出器131の受光面は4つの受光素子(A,B,C,D)に分割される。また、2分割光検出器132の受光面は2つの受光素子(E,F)に分割され、2分割光検出器133の受光面は2つの受光素子(G,H)に分割される。これらの受光素子(A〜H)は、それぞれ独立に光を検出し、検出した光強度に応じた信号を出力する。なお、図3では、各光検出器131〜133に照射された光ビームが破線で示されている。また、フォーカス制御に非点収差法を用いているので、光ディスク上のトラックの方向と受光素子上のトラックの方向とは90度ずれた方向になる。そこで、図3でも受光素子上のトラックの方向が90度ずれて示されている。
FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the light detection unit 110 and the error signal generation unit 221.
Referring to FIG. 3, light detection unit 110 includes a main beam quadrant photodetector 131 and two sub-beams quadrant photodetectors 132 and 133. The light receiving surface of the four-divided photodetector 131 is divided into four light receiving elements (A, B, C, D). In addition, the light receiving surface of the two-divided photodetector 132 is divided into two light receiving elements (E, F), and the light receiving surface of the two-divided photodetector 133 is divided into two light receiving elements (G, H). Each of these light receiving elements (A to H) detects light independently and outputs a signal corresponding to the detected light intensity. In FIG. 3, the light beams applied to the photodetectors 131 to 133 are indicated by broken lines. Further, since the astigmatism method is used for focus control, the direction of the track on the optical disc and the direction of the track on the light receiving element are shifted by 90 degrees. Therefore, also in FIG. 3, the direction of the track on the light receiving element is shifted by 90 degrees.

図3の誤差信号生成部221は、各光検出器131〜133ごとのプッシュプル信号MPP,SPP1,SPP2を生成するとともに、これらのプッシュプル信号MPP,SPP1,SPP2に基づいて差動プッシュプル信号DPPを生成する。光ピックアップの検査装置11は、トラッキング誤差信号として差動プッシュプル信号DPPを利用する。   3 generates the push-pull signals MPP, SPP1, and SPP2 for each of the photodetectors 131 to 133, and the differential push-pull signal based on these push-pull signals MPP, SPP1, and SPP2. Generate DPP. The optical pickup inspection device 11 uses a differential push-pull signal DPP as a tracking error signal.

誤差信号生成部221は、減算器141,142,143,146と、加算器144と、定数乗算器145とを含む。実施の形態1の場合、これらの演算器141〜146は、演算増幅器などのアナログ回路を用いて構成される。   The error signal generation unit 221 includes subtracters 141, 142, 143, 146, an adder 144, and a constant multiplier 145. In the case of the first embodiment, these computing units 141 to 146 are configured using an analog circuit such as an operational amplifier.

減算器141は、受光素子A,Dと受光素子B,Cとの差信号をメインプッシュプル信号MPPとして出力する。また、減算器142は、受光素子Eと受光素子Fとの差信号をサブプッシュプル信号SPP1として出力する。また、減算器143は、受光素子Gと受光素子Hとの差信号をサブプッシュプル信号SPP2として出力する。加算器144は、サブプッシュプル信号SPP1とSPP2との和信号をサブプッシュプル信号SPPとして出力する。減算器146は、メインプッシュプル信号MPPと定数乗算器145によって定数k倍されたサブプッシュプル信号SPPとの差信号を差動プッシュプル信号DPPとして出力する。受光素子A〜Hで受光された光信号の強度をそれぞれa〜hとしたとき、上記の関係は次式のように表わされる。   The subtracter 141 outputs a difference signal between the light receiving elements A and D and the light receiving elements B and C as the main push-pull signal MPP. The subtractor 142 outputs a difference signal between the light receiving element E and the light receiving element F as a sub push-pull signal SPP1. The subtractor 143 outputs a difference signal between the light receiving element G and the light receiving element H as a sub push-pull signal SPP2. The adder 144 outputs a sum signal of the sub push-pull signals SPP1 and SPP2 as the sub push-pull signal SPP. The subtractor 146 outputs a difference signal between the main push-pull signal MPP and the sub push-pull signal SPP multiplied by a constant k by the constant multiplier 145 as a differential push-pull signal DPP. When the intensities of the optical signals received by the light receiving elements A to H are a to h, the above relationship is expressed as the following equation.

DPP=MPP−k×SPP …(1)
MPP=(a+d)−(b+c) …(2)
SPP=SPP1+SPP2,SPP1=e−f,SPP2=g−h …(3)
ここで、係数kは0次光の光強度と+1次光および−1次光の光強度との違いを補正するためのものである。たとえば、光強度比が0次光:+1次光:−1次光=I0:I1:I1である場合には、係数k=I0/(2×I1)となる。
DPP = MPP-k × SPP (1)
MPP = (a + d)-(b + c) (2)
SPP = SPP1 + SPP2, SPP1 = ef, SPP2 = g−h (3)
Here, the coefficient k is for correcting the difference between the light intensity of the 0th order light and the light intensity of the + 1st order light and the −1st order light. For example, when the light intensity ratio is 0th order light: + 1st order light: −1st order light = I0: I1: I1, the coefficient k = I0 / (2 × I1).

再び図1を参照して、検査装置11は、上記の誤差信号生成部221と、コンピュータ201と、検査結果を表示するディスプレイ装置207とを含む。   Referring to FIG. 1 again, the inspection apparatus 11 includes the error signal generation unit 221, the computer 201, and a display device 207 that displays the inspection result.

コンピュータ201は、誤差信号生成部221から出力された差動プッシュプル信号DPPを利用して、半導体レーザ102に対する回折格子104の位置および姿勢が適切か否かを判定する。このため、コンピュータ201は、まず、スピンドルモータ112によって光記録媒体106を回転させてから、トラッキングサーボを行なわずにフォーカスサーボのみを行なっている状態になるよう光ピックアップ101を制御する。この後、コンピュータ201は、アクチュエータ111によって対物レンズ107を光記録媒体106の半径方向(トラックを横切る方向)の内周側と外周側とに繰返し変位させる。これによって、光記録媒体106上での光ビームの照射位置も半径方向の内周側と外周側との間を往復することになる。コンピュータ201は、このときに得られた差動プッシュプル信号DPPの時系列データを解析することによって、半導体レーザ102に対する回折格子104の配置が適切か否かを判定する。以下、具体的な波形を参照してコンピュータ201による信号処理の概略について説明する。   The computer 201 uses the differential push-pull signal DPP output from the error signal generation unit 221 to determine whether the position and orientation of the diffraction grating 104 with respect to the semiconductor laser 102 are appropriate. Therefore, the computer 201 first controls the optical pickup 101 so that only the focus servo is performed without performing the tracking servo after the optical recording medium 106 is rotated by the spindle motor 112. Thereafter, the computer 201 causes the actuator 111 to repeatedly displace the objective lens 107 in the radial direction (the direction crossing the track) of the optical recording medium 106 on the inner peripheral side and the outer peripheral side. As a result, the irradiation position of the light beam on the optical recording medium 106 also reciprocates between the inner peripheral side and the outer peripheral side in the radial direction. The computer 201 analyzes the time series data of the differential push-pull signal DPP obtained at this time to determine whether or not the arrangement of the diffraction grating 104 with respect to the semiconductor laser 102 is appropriate. Hereinafter, an outline of signal processing by the computer 201 will be described with reference to specific waveforms.

図4は、差動プッシュプル信号DPPの信号波形の一例を示す模式図である。図4(A),(B)は回折格子104の配置が適切な場合の波形の一例であり、図4(C)は回折格子104の配置が不適切な場合の波形の一例である。図4(A)〜(C)のX軸は時間軸を示し、Y軸は差動プッシュプル信号DPPの信号強度を示す。   FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a signal waveform of the differential push-pull signal DPP. 4A and 4B are examples of waveforms when the arrangement of the diffraction grating 104 is appropriate, and FIG. 4C is an example of a waveform when the arrangement of the diffraction grating 104 is inappropriate. 4A to 4C, the X axis represents the time axis, and the Y axis represents the signal strength of the differential push-pull signal DPP.

まず、図4(A)を参照して、3つのビームのスポット間隔がトラックピッチの1/2の奇数倍となっている場合には、差動プッシュプル信号DPPは、各プッシュプル信号MPP,SPPに発生するオフセットが互いにキャンセルし合ったものとなる。この結果、トラッキングサーボを行わずにフォーカスサーボのみを行っている状態で、図1の対物レンズ107を光記録媒体106の半径方向の外周側と内周側とに交互にシフトした場合には、図4(A)に示すように、ほぼ一様な振幅で周期的に変化する差動プッシュプル信号DPPの波形が得られる。図4(A)に見られる差動プッシュプル信号DPPの周期的な変化は、光スポットが光記録媒体106のトラックを横切るときの信号変化に起因するものである。   First, referring to FIG. 4A, when the spot interval of the three beams is an odd multiple of ½ of the track pitch, the differential push-pull signal DPP is represented by each push-pull signal MPP, The offsets generated in the SPP cancel each other. As a result, in the state where only the focus servo is performed without performing the tracking servo, when the objective lens 107 of FIG. 1 is alternately shifted to the outer peripheral side and the inner peripheral side in the radial direction of the optical recording medium 106, As shown in FIG. 4A, a waveform of a differential push-pull signal DPP that periodically changes with a substantially uniform amplitude is obtained. The periodic change of the differential push-pull signal DPP seen in FIG. 4A is due to the signal change when the optical spot crosses the track of the optical recording medium 106.

しかし、回折格子104の配置が適切であっても、図4(A)のような一様な振幅の信号波形が得られることはほとんどない。たとえば、DVD−Rのトラックピッチは0.74μmであるが、DVD−RAM(TypeII)のトラックピッチは0.615μmである。このため、DVD−Rの場合には図4(A)のように各プッシュプル信号MPP,SPPに発生するオフセットが綺麗にキャンセルされた光ピックアップであっても、DVD−RAM(TypeII)の場合には上記のオフセットが完全にはキャンセルされない。   However, even if the arrangement of the diffraction grating 104 is appropriate, a signal waveform having a uniform amplitude as shown in FIG. 4A is hardly obtained. For example, the track pitch of DVD-R is 0.74 μm, while the track pitch of DVD-RAM (Type II) is 0.615 μm. For this reason, in the case of DVD-R, even in the case of DVD-RAM (Type II), even if the optical pickup in which the offset generated in each push-pull signal MPP, SPP is canceled cleanly as shown in FIG. The above offset is not completely canceled.

この結果、図4(B)に示すように、差動プッシュプル信号DPPの波形には、光スポットがトラックを横切ることに起因する周波数成分の波形に加えて、より低周波数成分の波形が含まれる。すなわち、図4(B)に示すように、差動プッシュプル信号DPPの振幅に変化が生じ、振幅の大きい山部81と振幅の大きい谷部82とが周期的に現れる。   As a result, as shown in FIG. 4B, the waveform of the differential push-pull signal DPP includes the waveform of the lower frequency component in addition to the waveform of the frequency component resulting from the light spot crossing the track. It is. That is, as shown in FIG. 4B, a change occurs in the amplitude of the differential push-pull signal DPP, and a peak portion 81 having a large amplitude and a valley portion 82 having a large amplitude appear periodically.

このような振幅の変化は、光記録媒体106の半径方向への対物レンズ107の変位に対応するものである。通常、山部81は、対物レンズ107の中心が光記録媒体106の半径方向の中央部に位置している場合であり、谷部82は、対物レンズ107の中心が光記録媒体106の半径方向の内周側または外周側に位置している場合である。この理由は次のとおりである。   Such a change in amplitude corresponds to the displacement of the objective lens 107 in the radial direction of the optical recording medium 106. Usually, the peak portion 81 is a case where the center of the objective lens 107 is located in the center portion in the radial direction of the optical recording medium 106, and the valley portion 82 is a center portion of the objective lens 107 in the radial direction of the optical recording medium 106. It is a case where it is located in the inner peripheral side or outer peripheral side. The reason for this is as follows.

通常の光ピックアップは、対物レンズ107の中心が光記録媒体106の半径方向の中央部に位置するとき、光ビームが対物レンズ107の中心を通るように調整されている。したがって、対物レンズ107を光記録媒体106の内周側または外周側にずらした場合には、光ビームの中心が対物レンズ107の中心からずれることになる。それゆえ、光記録媒体106の内周側および外周側では3つのビームの強度のばらつきがより顕著になり、結果として差動プッシュプル信号DPPの強度が弱まることになる。   The normal optical pickup is adjusted so that the light beam passes through the center of the objective lens 107 when the center of the objective lens 107 is located at the center of the optical recording medium 106 in the radial direction. Therefore, when the objective lens 107 is shifted to the inner or outer peripheral side of the optical recording medium 106, the center of the light beam is shifted from the center of the objective lens 107. Therefore, variations in the intensity of the three beams become more conspicuous on the inner circumference side and the outer circumference side of the optical recording medium 106, and as a result, the intensity of the differential push-pull signal DPP becomes weaker.

これらの信号波形に対して、レーザ光源に対する回折格子104の配置が不適切であり、3つのビームの相互のスポット間隔がばらばらの場合には、図4(C)に示すように差動プッシュプル信号DPPの振幅にもばらつきが生じる。すなわち、図4(B)の場合には、谷部82の振幅がほぼ一定であったのに対して、図4(C)の場合には、互いに振幅の異なる谷部82A,82Bが交互に現れる。図4(C)の谷部82A,82Bのうち一方が、対物レンズ107の中心が光記録媒体106の内周側に位置している場合に対応し、他方の谷部が、対物レンズ107の中心が外周側に位置している場合に対応する。また、谷部82A,82Bに比べて振幅の大きい部分である山部81は、対物レンズ107の中心が光記録媒体106の半径方向の中央部に位置している場合に対応する。   When the arrangement of the diffraction grating 104 with respect to the laser light source is inappropriate with respect to these signal waveforms and the spot distances between the three beams are different, the differential push-pull as shown in FIG. Variations also occur in the amplitude of the signal DPP. That is, in the case of FIG. 4B, the amplitude of the valley portion 82 is almost constant, whereas in the case of FIG. 4C, the valley portions 82A and 82B having different amplitudes are alternately arranged. appear. 4C corresponds to the case where one of the valley portions 82A and 82B is located on the inner peripheral side of the optical recording medium 106, and the other valley portion corresponds to the objective lens 107. This corresponds to the case where the center is located on the outer peripheral side. Further, the peak 81, which is a portion having a larger amplitude than the valleys 82A and 82B, corresponds to the case where the center of the objective lens 107 is located at the center of the optical recording medium 106 in the radial direction.

このように、図1の回折格子104の配置の良否によって、差動プッシュプル信号DPPの波形のうち対物レンズ107の変位の対応した低周波数成分の波形が異なる。そこで、図1の光ピックアップの検査装置11は、この低周波数成分の波形の違いを利用して回折格子104の配置の良否を判定する。以下、対物レンズ107の変位に対応して変化する周波数成分の波形を低周波波形と称する。   As described above, the waveform of the low-frequency component corresponding to the displacement of the objective lens 107 in the waveform of the differential push-pull signal DPP differs depending on the quality of the arrangement of the diffraction grating 104 in FIG. Therefore, the inspection apparatus 11 for the optical pickup in FIG. 1 determines the quality of the arrangement of the diffraction grating 104 using the difference in the waveform of the low frequency component. Hereinafter, the waveform of the frequency component that changes corresponding to the displacement of the objective lens 107 is referred to as a low-frequency waveform.

具体的に、検査装置11のコンピュータ201は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの上下の包絡線を生成する。そして、コンピュータ201は、上記の低周波波形として、この上下の包絡線の差の波形を求め、求めた波形の複数の極小値を算出する。そして、コンピュータ201は、算出した複数の極小値のばらつきが所定の閾値よりも小さい場合に回折格子104の配置が適切であると判定する。以下、光ピックアップの検査装置11の構成および動作の詳細について説明する。   Specifically, the computer 201 of the inspection apparatus 11 generates upper and lower envelopes of time series data of the differential push-pull signal DPP. And the computer 201 calculates | requires the waveform of the difference of this upper and lower envelope as said low frequency waveform, and calculates the several minimum value of the calculated | required waveform. Then, the computer 201 determines that the arrangement of the diffraction grating 104 is appropriate when the variation of the plurality of calculated minimum values is smaller than a predetermined threshold value. Details of the configuration and operation of the optical pickup inspection apparatus 11 will be described below.

(光ピックアップの検査装置のハードウェア構成)
図5は、図1の検査装置11のコンピュータ201のハードウェア構成を示すブロック図である。図5を参照して、コンピュータ201は、AD(Analog to Digital)変換部202と、記憶装置203と、演算部204と、出力部205と、入力部206と、通信インターフェース208A,208Bとを含む。
(Hardware configuration of optical pickup inspection device)
FIG. 5 is a block diagram showing a hardware configuration of the computer 201 of the inspection apparatus 11 of FIG. Referring to FIG. 5, computer 201 includes an AD (Analog to Digital) conversion unit 202, a storage device 203, a calculation unit 204, an output unit 205, an input unit 206, and communication interfaces 208A and 208B. .

AD変換部202は、誤差信号生成部221で生成されたアナログ信号である差動プッシュプル信号DPPを時系列のデジタルデータに変換する。   The AD converter 202 converts the differential push-pull signal DPP, which is an analog signal generated by the error signal generator 221, into time-series digital data.

記憶装置203は、コンピュータ201の外部から与えられたデータと、コンピュータ201において生成されたデータとを格納する。外部から与えられたデータは、たとえば、上記AD変換部202で変換された時系列のデジタルデータや、コンピュータ201の動作を規定する設定値などである。コンピュータ201において生成されたデータは、たとえば、演算部204によって算出された信号処理のためのデータや、光ピックアップ101の良否判定の結果などである。   The storage device 203 stores data given from outside the computer 201 and data generated by the computer 201. The data given from the outside is, for example, time-series digital data converted by the AD conversion unit 202, a set value that defines the operation of the computer 201, or the like. The data generated in the computer 201 is, for example, data for signal processing calculated by the arithmetic unit 204, a result of pass / fail judgment of the optical pickup 101, and the like.

記憶装置203は、ハードディスクなど大容量のデータを記憶する外部記憶装置や、不揮発性および揮発性の半導体メモリなどによって構成される。   The storage device 203 includes an external storage device that stores a large amount of data such as a hard disk, a nonvolatile and volatile semiconductor memory, or the like.

演算部204は、予め作成されたプログラムに従って、記憶装置203に格納されたデータの処理を実行するマイクロプロセッサである。演算部204は、データ処理結果を出力部205に出力する。また、演算部204は、通信インターフェース208A,208Bを介して、光ピックアップ101のアクチュエータ111やスピンドルモータ112を制御する。   The arithmetic unit 204 is a microprocessor that executes processing of data stored in the storage device 203 in accordance with a program created in advance. The arithmetic unit 204 outputs the data processing result to the output unit 205. The arithmetic unit 204 controls the actuator 111 and the spindle motor 112 of the optical pickup 101 via the communication interfaces 208A and 208B.

出力部205は、演算部204によるデータ処理結果をディスプレイ装置207に出力する。ディスプレイ装置207は、データ処理結果を文字やグラフなどで画面に表示する。   The output unit 205 outputs the data processing result by the calculation unit 204 to the display device 207. The display device 207 displays the data processing result on the screen as characters or graphs.

入力部206は、コンピュータ201の外部からデータあるいはコマンドの入力を受ける。   The input unit 206 receives data or command input from the outside of the computer 201.

(光ピックアップの検査装置のソフトウェア構成の概要)
図6は、図1の検査装置11を構成するコンピュータ201のソフトウェアの構成を示すブロック図である。機能的に見ると、コンピュータ201は、スピンドルモータ112の回転を制御するモータ駆動部21と、光ピックアップ101のアクチュエータ111を制御する対物レンズ駆動部22と、記憶部23と、波形抽出部30と、極値算出部40と、判定部50とを含む。
(Outline of software configuration of optical pickup inspection device)
FIG. 6 is a block diagram showing a software configuration of the computer 201 constituting the inspection apparatus 11 of FIG. Viewed functionally, the computer 201 includes a motor drive unit 21 that controls the rotation of the spindle motor 112, an objective lens drive unit 22 that controls the actuator 111 of the optical pickup 101, a storage unit 23, and a waveform extraction unit 30. The extreme value calculation unit 40 and the determination unit 50 are included.

記憶部23は、アクチュエータ111によって光記録媒体106の半径方向に対物レンズ107が繰返し変位している間にデジタル変換された差動プッシュプル信号DPPを時系列データとして記憶する。   The storage unit 23 stores the differential push-pull signal DPP digitally converted while the objective lens 107 is repeatedly displaced in the radial direction of the optical recording medium 106 by the actuator 111 as time series data.

波形抽出部30は、記憶部23に記憶された差動プッシュプル信号DPPの時系列データに基づいて、対物レンズの周期的な変位に対応して変化する低周波波形を抽出する。具体的には、波形抽出部30は、低周波波形として時系列データの上下の包絡線の差の波形を生成する。波形抽出部30は、端点設定部31と包絡線生成部32と波形演算部33とを含む。端点設定部31は、上下の包絡線の各々について包絡線の左右の端点を設定する。包絡線生成部32は、左端点から開始して時間軸の正方向に、時系列データから所定の包絡線条件を満たすデータ点を順次抽出することによって上下の包絡線の各々を生成する。さらに、包絡線生成部32は、右端点から開始して時間軸の負方向に、時系列データから所定の包絡線条件を満たすデータ点を順次抽出することによって上下の包絡線の各々を生成する。最終的な包絡線は、時間軸正方向に生成した包絡線と時間軸負方向に生成した包絡線とを平均化することによって得られる。ここで、包絡線条件とは、隣接するデータ点を通る直線の傾きが所定の範囲内になることである。波形演算部33は、包絡線生成部32で生成された上下の包絡線の差の波形を低周波波形として出力する。   The waveform extraction unit 30 extracts a low-frequency waveform that changes corresponding to the periodic displacement of the objective lens based on the time series data of the differential push-pull signal DPP stored in the storage unit 23. Specifically, the waveform extraction unit 30 generates a waveform of the difference between the upper and lower envelopes of the time series data as a low frequency waveform. The waveform extraction unit 30 includes an end point setting unit 31, an envelope generation unit 32, and a waveform calculation unit 33. The end point setting unit 31 sets the left and right end points of the envelope for each of the upper and lower envelopes. The envelope generation unit 32 generates each of the upper and lower envelopes by sequentially extracting data points that satisfy a predetermined envelope condition from the time-series data in the positive direction of the time axis starting from the left end point. Furthermore, the envelope generation unit 32 generates each of the upper and lower envelopes by sequentially extracting data points that satisfy a predetermined envelope condition from the time-series data in the negative direction of the time axis starting from the right end point. . The final envelope is obtained by averaging the envelope generated in the time axis positive direction and the envelope generated in the time axis negative direction. Here, the envelope condition means that the slope of a straight line passing through adjacent data points falls within a predetermined range. The waveform calculator 33 outputs the waveform of the difference between the upper and lower envelopes generated by the envelope generator 32 as a low frequency waveform.

極値算出部40は、波形抽出部30で抽出された低周波波形の複数の極小値を算出する。極値算出部40は、サンプリング波形生成部41と、平滑化部42と、極小点抽出部43とを含む。サンプリング波形生成部41は、低周波波形を複数の区間に分割し、複数の区間の各々の最小点からなるサンプリング波形を生成する。平滑化部42は、サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する。極小点抽出部43は、サンプリング波形から平滑化波形を減じた値が負となる複数の負区間を抽出し、複数の負区間の各々におけるサンプリング波形の最小点を低周波波形の極小点として抽出する。   The extreme value calculation unit 40 calculates a plurality of minimum values of the low frequency waveform extracted by the waveform extraction unit 30. The extreme value calculation unit 40 includes a sampling waveform generation unit 41, a smoothing unit 42, and a local minimum point extraction unit 43. The sampling waveform generation unit 41 divides the low frequency waveform into a plurality of sections, and generates a sampling waveform composed of the minimum points of the plurality of sections. The smoothing unit 42 generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform. The minimum point extraction unit 43 extracts a plurality of negative intervals in which the value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is negative, and extracts the minimum point of the sampling waveform in each of the plurality of negative intervals as a minimum point of the low-frequency waveform. To do.

判定部50は、極値算出部40によって算出された低周波波形の複数の極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、半導体レーザ102に対する回折格子104の配置(位置および姿勢)の良否を判定する。判定部50は、極値分類部51と、比較部52とを含む。極値分類部51は、極値算出部40によって算出された複数の極小値を第1および第2のグループに分類する。比較部52は、第1のグループに属する複数の極小値の平均値と第2のグループに属する複数の極小値の平均値とを比較することによって、レーザ光源102に対する回折格子104の配置の良否を判定する。   The determination unit 50 determines the arrangement (position and orientation) of the diffraction grating 104 with respect to the semiconductor laser 102 depending on whether or not the variation of the plurality of minimum values of the low-frequency waveform calculated by the extreme value calculation unit 40 is within a predetermined range. Judge the quality of the. The determination unit 50 includes an extreme value classification unit 51 and a comparison unit 52. The extreme value classification unit 51 classifies the plurality of minimum values calculated by the extreme value calculation unit 40 into first and second groups. The comparison unit 52 compares the average value of the plurality of minimum values belonging to the first group with the average value of the plurality of minimum values belonging to the second group, thereby determining whether or not the diffraction grating 104 is disposed with respect to the laser light source 102. Determine.

(光ピックアップの検査装置の動作)
次に、上記の構成を有する光ピックアップの検査装置11の動作について説明する。
(Operation of optical pickup inspection device)
Next, the operation of the optical pickup inspection apparatus 11 having the above configuration will be described.

図7は、光ピックアップの検査装置11の検査手順を示すフローチャートである。
図5〜図7を参照して、図7のステップS501で、コンピュータ201は、検査装置11の初期設定を行なう。具体的に、コンピュータ201の入力部206は、サンプリングレートSrate、サンプリングデータ数Snum、区間データ数DSnum、移動平均データ数DAvnum、良否判定閾値Th、第1の上方制限値UL1、第1の下方制限値LL1、第2の上方制限値UL2、第2の下方制限値LL2、包絡線の移動平均データ数EAvnum、包絡線のノイズ除去レベルNrej、端点算出データ数IDnum、端点算出用の指定順位Norderなどのパラメータの入力を受け付ける。各パラメータの意味については、各パラメータが用いられる処理ステップにおいて説明する。入力された各パラメータは、図5のコンピュータの記憶装置203に格納される。
FIG. 7 is a flowchart showing the inspection procedure of the optical pickup inspection apparatus 11.
With reference to FIGS. 5 to 7, in step S <b> 501 of FIG. 7, the computer 201 performs initial setting of the inspection apparatus 11. Specifically, the input unit 206 of the computer 201 includes a sampling rate Srate, a sampling data number Snum, a section data number DSnum, a moving average data number DAvnum, a pass / fail judgment threshold Th, a first upper limit value UL1, and a first lower limit. Value LL1, second upper limit value UL2, second lower limit value LL2, moving average data number EAvnum of envelope, noise removal level Nrej of envelope, end point calculation data number IDnum, end order calculation order Node, etc. Accepts input of parameters. The meaning of each parameter will be described in the processing step in which each parameter is used. Each input parameter is stored in the storage device 203 of the computer in FIG.

実施の形態1では、各パラメータの値は具体的に以下のように設定される。サンプリングレートSrate=1200Hz、サンプリングデータ数Snum=1800、区間データ数DSnum=50、移動平均データ数DAvnum=11、良否判定閾値Th=0.05、第1の上方制限値UL1=0.1、第1の下方制限値LL1=−0.1、第2の上方制限値UL2=0.06、第2の下方制限値LL2=−0.06、包絡線の移動平均データ数EAvnum=60、包絡線のノイズ除去レベルNrej=1.2、端点算出データ数IDnum=20、端点算出用の指定順位Norder=8。   In the first embodiment, the value of each parameter is specifically set as follows. Sampling rate Rate = 1200 Hz, sampling data number Snum = 1800, interval data number DSnum = 50, moving average data number DAvnum = 11, pass / fail judgment threshold Th = 0.05, first upper limit value UL1 = 0.1, first 1 lower limit value LL1 = −0.1, second upper limit value UL2 = 0.06, second lower limit value LL2 = −0.06, moving average data number EAvnum = 60 of envelope, envelope The noise removal level Nrej = 1.2, the end point calculation data number IDnum = 20, the end point calculation designation order Node = 8.

次のステップS502で、コンピュータ201の対物レンズ駆動部22は、図1のアクチュエータ111を制御することによって、対物レンズ107を光記録媒体106の半径方向(トラックを横切る方向)の内周側と外周側との間で繰返し変位させる。コンピュータ201は、このときに得られる差動プッシュプル信号DPPをAD変換部202によってデジタル変換し、時系列データとして取得する。このとき、AD変換部202は、前述のサンプリングレートSrateで差動プッシュプル信号DPPをサンプリングする。これによって、サンプリングデータ数Snumの時系列データが生成される。ここで、サンプリングレートSrateは、元の信号である差動プッシュプル信号DPPの変化を十分に再現できる周波数に設定される。   In the next step S502, the objective lens driving unit 22 of the computer 201 controls the actuator 111 in FIG. 1 to move the objective lens 107 to the inner peripheral side and the outer peripheral side in the radial direction of the optical recording medium 106 (the direction across the track). Displace repeatedly between the sides. The computer 201 digitally converts the differential push-pull signal DPP obtained at this time by the AD conversion unit 202 and obtains it as time-series data. At this time, the AD conversion unit 202 samples the differential push-pull signal DPP at the above-described sampling rate Srate. As a result, time-series data of the sampling data number Snum is generated. Here, the sampling rate Srate is set to a frequency that can sufficiently reproduce the change of the differential push-pull signal DPP that is the original signal.

次のステップS503で、コンピュータ201は、AD変換部202によってデジタル変換された時系列データを記憶装置203に格納する。   In the next step S <b> 503, the computer 201 stores the time series data digitally converted by the AD conversion unit 202 in the storage device 203.

次のステップS504で、コンピュータ201の波形抽出部30は、時系列データの上下の包絡線を生成する。次のステップS505で、波形抽出部30は、上下の包絡線の差である低周波波形を生成する。ステップS504,S505の詳しい手順は、図9〜図16を参照して後述する。   In the next step S504, the waveform extraction unit 30 of the computer 201 generates upper and lower envelopes of the time series data. In the next step S505, the waveform extraction unit 30 generates a low frequency waveform that is the difference between the upper and lower envelopes. Detailed procedures of steps S504 and S505 will be described later with reference to FIGS.

次のステップS506で、コンピュータ201の極値算出部40は、低周波波形の複数の極小値を算出する。ステップS506の詳しい手順は、図17〜図21を参照して後述する。   In the next step S506, the extreme value calculation unit 40 of the computer 201 calculates a plurality of minimum values of the low frequency waveform. The detailed procedure of step S506 will be described later with reference to FIGS.

次のステップS507で、コンピュータ201の判定部50は、ステップS506で算出された低周波波形の複数の極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、半導体レーザ102に対する回折格子104の位置および姿勢の良否を判定する。ステップS506の詳しい手順は、図22を参照して後述する。以上によって、光ピックアップの検査装置11による検査手順が終了する。   In the next step S507, the determination unit 50 of the computer 201 determines whether the diffraction grating 104 with respect to the semiconductor laser 102 depends on whether the variation of the plurality of minimum values of the low-frequency waveform calculated in step S506 is within a predetermined range. The quality of the position and posture is determined. The detailed procedure of step S506 will be described later with reference to FIG. The inspection procedure by the optical pickup inspection apparatus 11 is thus completed.

(包絡線の生成−図7のステップS504)
図8は、AD変換部202から出力された時系列データ320の一例を示す図である。図8において、X軸は時間軸を示し、Y軸は差動プッシュプル信号DPPの強度を示す。実際の時系列データ320には、複数の山部81および谷部82A,82Bを含んで周期的に振幅が変化する信号の他に、局所的に突出するノイズ信号83が存在する。そこで、図6の波形抽出部30は、以下に説明する方法によって、これらのノイズ信号83の影響を受けないように時系列データ320の包絡線を生成する。
(Generation of Envelope—Step S504 in FIG. 7)
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the time-series data 320 output from the AD conversion unit 202. In FIG. 8, the X axis indicates the time axis, and the Y axis indicates the strength of the differential push-pull signal DPP. In the actual time series data 320, there is a locally protruding noise signal 83 in addition to a signal whose amplitude periodically changes including a plurality of peak portions 81 and valley portions 82A and 82B. Therefore, the waveform extraction unit 30 in FIG. 6 generates an envelope of the time series data 320 so as not to be affected by the noise signal 83 by the method described below.

図9は、図7のステップS504の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。以下、図9のフローチャートとともに図10〜図15を適宜参照しながら、時系列データ320の上側の包絡線(上包絡線)を生成する手順について説明する。   FIG. 9 is a flowchart showing in more detail the procedure of step S504 of FIG. Hereinafter, a procedure for generating the upper envelope (upper envelope) of the time-series data 320 will be described with reference to FIGS. 10 to 15 together with the flowchart of FIG.

図9のステップS601で、図6のコンピュータ201の波形抽出部30は初期設定を行う。包絡線の算出で必要となる設定値は、第1の上方制限値UL1、第1の下方制限値LL1、第2の上方制限値UL2、第2の下方制限値LL2、包絡線の移動平均データ数EAvnum、包絡線のノイズ除去レベルNrej、端点算出データ数IDnum、端点算出用の指定順位Norderの8つである。実施の形態1においてはそれぞれ以下に示す値とする。第1の上方制限値UL1=0.1、第1の下方制限値LL1=−0.1、第2の上方制限値UL2=0.06、第2の下方制限値LL2=−0.06、包絡線の移動平均データ数EAvnum=60、包絡線ノイズ除去レベルNrej=1.2、端点算出データ数IDnum=20、端点算出用の指定順位Norder=8。これらの値は全て図7のステップS501で入力されているものである。   In step S601 in FIG. 9, the waveform extraction unit 30 of the computer 201 in FIG. 6 performs initial setting. The setting values required for calculating the envelope are the first upper limit value UL1, the first lower limit value LL1, the second upper limit value UL2, the second lower limit value LL2, and the moving average data of the envelope There are eight numbers: an EAvnum, an envelope noise removal level Nrej, an end point calculation data number IDnum, and a specified order Node for end point calculation. In the first embodiment, the following values are used. First upper limit value UL1 = 0.1, first lower limit value LL1 = −0.1, second upper limit value UL2 = 0.06, second lower limit value LL2 = −0.06, Envelope moving average data number EAvnum = 60, envelope noise removal level Nrej = 1.2, end point calculation data number IDnum = 20, end point calculation designation order Node = 8. These values are all input in step S501 in FIG.

次のステップS602で、図6の波形抽出部30の端点設定部31は、上包絡線の左右の端点を設定する。端点は、サンプリングデータ数Snum個の時系列データから上包絡線を抽出する処理を行なう開始点となるものである。以下の説明では左端点の座標を(Xinit,Yinit)とする。   In the next step S602, the end point setting unit 31 of the waveform extraction unit 30 in FIG. 6 sets the left and right end points of the upper envelope. The end point is a starting point for performing the process of extracting the upper envelope from the time series data of the number of sampling data Snum. In the following description, the coordinates of the left end point are (Xinit, Yinit).

具体的に、端点設定部31は、Snum個のサンプリングデータのうち、時間が最も古いデータ点から数えて端点算出データ数IDnumである20個の中で、指定順位Norder番目である第8番目に大きい値を、時間軸の正方向に上包絡線を抽出するための初期値Yinitとする。端点算出データ数IDnumのサンプリングデータの中で最も大きい値はノイズの影響を受けている可能性が高いため、端点算出用の指定順位Norderは2以上であることが望ましい。実施の形態1においては、端点算出データ数IDnumとして20個のサンプリングデータの中にノイズの影響を受けている点の数が7点あってもノイズの影響を抑制できるように指定順位Norderを8と設定している。   Specifically, the end point setting unit 31 is the eighth among the Snum pieces of sampling data, which is the end point calculated data number IDnum counting from the oldest data point, which is the eighth in the specified order. A large value is set as an initial value Yinit for extracting the upper envelope in the positive direction of the time axis. Since the largest value among the sampling data of the endpoint calculation data number IDnum is highly likely to be affected by noise, it is desirable that the designation order Node for endpoint calculation is 2 or more. In the first embodiment, the specified order Noder is set to 8 so that the influence of noise can be suppressed even if the number of points affected by noise is 7 in the 20 sampling data as the endpoint calculation data number IDnum. Is set.

右端点についても同様に、Snum個のサンプリングデータのうち、時間が最も新しいデータ点から数えて端点算出データ数IDnum個の中で、指定順位Norder番目に大きい値を時間軸の上方向に上包絡線を抽出するための初期値とする。   Similarly for the right end point, among the Snum sampled data, among the number of end point calculated data numbers IDnum counted from the newest data point, the largest value in the specified order Norder is enveloped upward in the time axis. The initial value for extracting the line is used.

次に、図9のステップS603で、図6の包絡線生成部32は、左端点(Xinit,Yinit)から出発して時間軸の正方向に順次、包絡線条件を満たす上包絡線の候補となるデータ点を時系列データ320から抽出する。   Next, in step S603 of FIG. 9, the envelope generation unit 32 of FIG. 6 starts from the left end point (Xinit, Yinit) and sequentially selects an upper envelope candidate that satisfies the envelope condition in the positive direction of the time axis. Are extracted from the time-series data 320.

図10は、図9のステップS603の処理手順を説明するための図である。図10には、時系列データ320の最初の14個のデータ点A〜Nが模式的に示されている。図10において、左側が時間的に古いデータであり、右側が時間的に新しいデータとなる。図の点301が図6の端点設定部31によって設定された包絡線の端点(Xinit,Yinit)である。   FIG. 10 is a diagram for explaining the processing procedure of step S603 of FIG. In FIG. 10, the first 14 data points A to N of the time series data 320 are schematically shown. In FIG. 10, the left side is data that is temporally old, and the right side is data that is temporally new. A point 301 in the figure is an end point (Xinit, Yinit) of the envelope set by the end point setting unit 31 in FIG.

図10の場合、包絡線生成部32は、端点(Xinit,Yinit)から出発して、時間軸の正方向の点を点B、点C、点D、点E、…と順次参照し、所定の包絡線条件を満足した点を上包絡線の次の候補点とする。ここで、包絡線条件とは、上包絡線のデータ点のうち隣接するデータ点を通る直線の傾きが所定の範囲内になることである。すなわち、現在の候補点が端点(Xinit,Yinit)の場合、包絡線条件を満たす次の候補点(Xn,Yn)は、第1の下方制限値LL1および第1の上方制限値UL1を用いて次式(4)で与えられる。   In the case of FIG. 10, the envelope generating unit 32 starts from the end points (Xinit, Yinit) and sequentially refers to points in the positive direction of the time axis as point B, point C, point D, point E,. The point that satisfies the envelope condition is set as the next candidate point of the upper envelope. Here, the envelope condition means that the slope of a straight line passing through adjacent data points among the data points of the upper envelope is within a predetermined range. That is, when the current candidate point is the end point (Xinit, Yinit), the next candidate point (Xn, Yn) that satisfies the envelope condition is determined using the first lower limit value LL1 and the first upper limit value UL1. It is given by the following equation (4).

LL1×(Xn-Xinit)≦Yn−Yinit≦UL1×(Xn−Xinit) …(4)
上式の第1の上方制限値UL1および第1の下方制限値LL1は、時間軸方向の1データあたりのデータの変化量(傾き)の上限および下限をそれぞれ意味している。図10中には、上記の包絡線条件を満たす上方制限範囲302と下方制限範囲303とが示されている。
LL1 × (Xn−Xinit) ≦ Yn−Yinit ≦ UL1 × (Xn−Xinit) (4)
The first upper limit value UL1 and the first lower limit value LL1 in the above expression mean the upper limit and the lower limit of the data change amount (slope) per data in the time axis direction, respectively. FIG. 10 shows an upper limit range 302 and a lower limit range 303 that satisfy the above-described envelope condition.

具体的に、Yinit=3.0、点B(X座標:XB,Y座標:YB)のY座標の値YBを1.0、点C(X座標:XC,Y座標:YC)のY座標の値YCを3.1とする。点Bの場合には、
LL1×(XB−Xinit)=−0.1×1=−0.1
YB−Yinit=1.0−3.0=−2.0
UL1×(XB−Xinit)=0.1×1=0.1
となって、上式(4)を満足しない。このように、上包絡線の次の候補点を抽出する場合、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点と次の候補点との傾きが第1の下方制限値LL1を下回った点を包絡線の候補点としない。
Specifically, Yinit = 3.0, Y coordinate value YB of point B (X coordinate: XB, Y coordinate: YB) is 1.0, and Y coordinate of point C (X coordinate: XC, Y coordinate: YC) Let YC be 3.1. In the case of point B,
LL1 × (XB-Xinit) = − 0.1 × 1 = −0.1
YB-Yinit = 1.0-3.0 = -2.0
UL1 × (XB-Xinit) = 0.1 × 1 = 0.1
Thus, the above formula (4) is not satisfied. As described above, when the next candidate point of the upper envelope is extracted, the envelope generation unit 32 causes the slope between the current candidate point of the upper envelope and the next candidate point to be lower than the first lower limit value LL1. This point is not considered as an envelope candidate point.

一方、点Cの場合には、
LL1×(XC−Xinit)=−0.1×2=−0.2
YB−Yinit=3.1−3.0=0.1
UL1×(XC−Xinit)=0.1×2=0.2
となって、上式(4)を満足する。よって、点Cが包絡線の候補点となる。
On the other hand, in the case of point C,
LL1 × (XC-Xinit) = − 0.1 × 2 = −0.2
YB-Yinit = 3.1-3.0 = 0.1
UL1 × (XC-Xinit) = 0.1 × 2 = 0.2
Thus, the above formula (4) is satisfied. Therefore, the point C becomes an envelope candidate point.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Cを基準に、時間軸の正方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点D,E,Fは、点Cを基準とした下方制限範囲303Cを下回るので上包絡線の候補点とはならない。点Gは、点Cを基準とした上方制限範囲302Cおよび下方制限範囲303Cの範囲内にあって包絡線条件を満足するので、上包絡線の次の候補点となる。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for the next upper envelope candidate point in the positive direction of the time axis with reference to the point C, which is the current upper envelope candidate point. At this time, since the points D, E, and F are below the lower limit range 303C with respect to the point C, they are not candidate points for the upper envelope. Since the point G is within the upper limit range 302C and the lower limit range 303C with respect to the point C and satisfies the envelope condition, it becomes the next candidate point for the upper envelope.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Gを基準に、時間軸の正方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点Hは、点Gを基準とした下方制限範囲303Gを下回るので上包絡線の候補点とはならない。一方、点Iは、点Gを基準とした上方制限範囲302Gを上回る。ここで、包絡線生成部32は、包絡線条件を満たす範囲(下方制限範囲303Gと上方制限範囲302Gとの間)を上回る場合、包絡線条件を満たす範囲の上限の点Iaを上包絡線の候補点とする。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for the next upper envelope candidate point in the positive direction of the time axis with reference to the point G that is the current upper envelope candidate point. At this time, since the point H is below the lower limit range 303G with respect to the point G, it is not a candidate point for the upper envelope. On the other hand, the point I exceeds the upper limit range 302G with respect to the point G. Here, when the envelope generation unit 32 exceeds the range satisfying the envelope condition (between the lower limit range 303G and the upper limit range 302G), the upper limit point Ia of the range satisfying the envelope condition is set as the upper envelope point. Candidate points.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Iaを基準に、時間軸の正方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点Jは、点Iaを基準とした下方制限範囲303Iaを下回るので上包絡線の候補点とならない。一方、点Kは、点Iaを基準とした下方制限範囲303Iaと上方制限範囲302Iaとの間にあって包絡線条件を満足するので、次の上包絡線の候補となる。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for a next upper envelope candidate point in the positive direction of the time axis with reference to the point Ia which is the current upper envelope candidate point. At this time, the point J is less than the lower limit range 303Ia with the point Ia as a reference, and thus is not a candidate point for the upper envelope. On the other hand, the point K is between the lower limit range 303Ia and the upper limit range 302Ia with the point Ia as a reference and satisfies the envelope condition, and is therefore a candidate for the next upper envelope.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Kを基準に、時間軸の正方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点L,Mは、点Kを基準とした下方制限範囲303Kを下回るので上包絡線の候補点とはならない。一方、点Nは、点Kを基準とした下方制限範囲303Kと上方制限範囲302Kとの間にあって包絡線条件を満足するので、次の上包絡線の候補となる。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for the next candidate point of the upper envelope in the positive direction of the time axis with reference to the point K, which is the current candidate point of the upper envelope. At this time, since the points L and M are below the lower limit range 303K with respect to the point K, they are not candidate points for the upper envelope. On the other hand, the point N is between the lower limit range 303K and the upper limit range 302K with the point K as a reference, and satisfies the envelope condition, so becomes the next upper envelope candidate.

このようにして、上包絡線の候補点として、端点301、点C,G,Ia,K,Nが抽出される。ここで、上包絡線の候補とならなかった点B,D,E,F,H,J,L,MのX座標(時刻)に対応する包絡線の値については、各点の前後の直近の包絡線候補点を通る直線上の値を各X座標(時刻)に対応する包絡線の値とする。たとえば、点EのX座標(時刻)に対応する上包絡線上の点は、点Eを通ってY軸に平行な直線と、直線CGとの交点として与えられる。これにより、サンプリングデータ数Snumと同数の上包絡線321Aの候補点が生成される。   In this way, the end point 301 and the points C, G, Ia, K, and N are extracted as candidate points for the upper envelope. Here, the envelope values corresponding to the X coordinates (time) of the points B, D, E, F, H, J, L, and M that have not become candidates for the upper envelope are the latest before and after each point. A value on a straight line passing through the envelope candidate points is set as an envelope value corresponding to each X coordinate (time). For example, a point on the upper envelope corresponding to the X coordinate (time) of the point E is given as an intersection of a straight line passing through the point E and parallel to the Y axis and the straight line CG. Thereby, the same number of candidate points of the upper envelope 321A as the number of sampling data Snum are generated.

次に、図9のステップS604で、図6の包絡線生成部32は、ステップS602で設定した右端点から出発して時間軸の負方向に上包絡線の候補となるデータ点を時系列データ320から抽出する。ステップS604は、ステップS603と同様の処理を時間軸で反対方向に行うものである。   Next, in step S604 in FIG. 9, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 starts from the right end point set in step S602 and sets data points that are candidates for the upper envelope in the negative direction of the time axis as time-series data. Extract from 320. In step S604, processing similar to that in step S603 is performed in the opposite direction on the time axis.

図11は、図9のステップS604の処理手順を説明するための図である。図11には、図10と同様に、時系列データ320の最初の14個のデータ点A〜Nが模式的に示されている。図11において、左側が時間的に古いデータであり、右側が時間的に新しいデータとなる。   FIG. 11 is a diagram for explaining the processing procedure of step S604 of FIG. FIG. 11 schematically shows the first 14 data points A to N of the time-series data 320, as in FIG. In FIG. 11, the left side is data that is temporally old, and the right side is data that is temporally new.

図11において、現在の上包絡線の候補点として点Nが抽出されているとする。包絡線生成部32は、点Nを基準に、時間軸の負方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点M,Lは、点Nを基準とした下方制限範囲305Nを下回るので上包絡線の候補とならない。一方、点Kは、点Nを基準とした下方制限範囲305Nと上方制限範囲304Nとの間にあって包絡線条件を満足するので、次の上包絡線の候補となる。   In FIG. 11, it is assumed that a point N is extracted as a candidate point for the current upper envelope. The envelope generation unit 32 searches for a candidate point for the next upper envelope in the negative direction of the time axis with respect to the point N. At this time, since the points M and L are below the lower limit range 305N with respect to the point N, they are not candidates for the upper envelope. On the other hand, the point K is between the lower limit range 305N and the upper limit range 304N with the point N as a reference, and satisfies the envelope condition, so becomes the next upper envelope candidate.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Kを基準に、時間軸の負方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点Iは、点Kを基準とした包絡線条件を満たす範囲(下方制限範囲305Kと上方制限範囲304Kとの間)を上回るので、包絡線条件を満たす範囲の上限の点Ibを上包絡線の次の候補点とする。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for the next candidate point of the upper envelope in the negative direction of the time axis with reference to the point K that is the current candidate point of the upper envelope. At this time, since the point I exceeds the range that satisfies the envelope condition with respect to the point K (between the lower limit range 305K and the upper limit range 304K), the point Ib is higher than the upper limit point Ib of the range that satisfies the envelope condition. Let it be the next candidate point of the envelope.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Ibを基準に、時間軸の負方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点H,G,F,E、Dは、点Ibを基準とした下方制限範囲305Ibを下回るので上包絡線の候補点とならない。一方、点Cは、点Ibを基準とした下方制限範囲305Ibと上方制限範囲304Ibとの間にあって包絡線条件を満足するので、次の上包絡線の候補となる。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for the next candidate point of the upper envelope in the negative direction of the time axis with reference to the point Ib which is the current candidate point of the upper envelope. At this time, since the points H, G, F, E, and D are below the lower limit range 305Ib with respect to the point Ib, they are not candidate points for the upper envelope. On the other hand, the point C is between the lower limit range 305Ib and the upper limit range 304Ib with the point Ib as a reference and satisfies the envelope condition, and is therefore a candidate for the next upper envelope.

引き続き、包絡線生成部32は、現在の上包絡線の候補点である点Cを基準に、時間軸の負方向に次の上包絡線の候補点を探索する。このとき、点Bは、点Cを基準とした下方制限範囲305Cを下回るので上包絡線の候補点とはならない。一方、点Aは、点Cを基準とした下方制限範囲305Cと上方制限範囲304Cとの間にあって包絡線条件を満足するので、次の上包絡線の候補となる。   Subsequently, the envelope generation unit 32 searches for a candidate point of the next upper envelope in the negative direction of the time axis with reference to the point C that is the current candidate point of the upper envelope. At this time, since the point B is below the lower limit range 305C with respect to the point C, it is not a candidate point for the upper envelope. On the other hand, the point A is between the lower limit range 305C and the upper limit range 304C with the point C as a reference, and satisfies the envelope condition, so becomes the next upper envelope candidate.

このようにして、上包絡線の候補点として、図11の点N,K,Ib,C,Aが抽出される。ここで、上包絡線の候補とならなかった点B,D,E,F,G,H,J,L,MのX座標(時刻)に対応する包絡線の値については、各点の前後の直近の包絡線候補点を通る直線上の点の値を各X座標(時刻)に対応する包絡線の値とする。たとえば、点EのX座標(時刻)に対応する包絡線上の点は、点Eを通ってY軸に平行な直線と、直線CIbとの交点として与えられる。これにより、サンプリングデータ数Snumと同数の上包絡線321Bの候補点が生成される。   In this way, the points N, K, Ib, C, and A in FIG. 11 are extracted as candidate points for the upper envelope. Here, the envelope values corresponding to the X coordinates (time) of the points B, D, E, F, G, H, J, L, and M that are not candidates for the upper envelope are before and after each point. The value of the point on the straight line passing through the most recent envelope candidate point is the envelope value corresponding to each X coordinate (time). For example, a point on the envelope corresponding to the X coordinate (time) of the point E is given as an intersection of a straight line passing through the point E and parallel to the Y axis and the straight line CIb. Thereby, the same number of candidate points of the upper envelope 321B as the number of sampling data Snum are generated.

以下、図12を参照して上記の図10、図11で説明した図9のステップS603およびS604の手順を総括する。   Hereinafter, the procedure of steps S603 and S604 of FIG. 9 described with reference to FIGS. 10 and 11 will be summarized with reference to FIG.

図12は、図9のステップS603およびS604の手順を示すフローチャートである。図12では、現在の候補点(Xo,Yo)から次の候補点(Xn,Yn)が設定されるまでの手順が示されている。なお、図9におけるステップS603とステップS604とでは、以下のステップS632で時間軸正方向に次のデータ点を取得するか、時間軸負方向に次のデータ点を取得するかの違いがある。   FIG. 12 is a flowchart showing the procedure of steps S603 and S604 of FIG. FIG. 12 shows a procedure from the current candidate point (Xo, Yo) to the next candidate point (Xn, Yn) being set. Note that there is a difference between step S603 and step S604 in FIG. 9 in which the next data point is acquired in the time axis positive direction or the next data point is acquired in the time axis negative direction in the following step S632.

図12のステップS631で、図6の包絡線生成部32は、上包絡線の現在の候補点(Xo,Yo)を抽出しているとする。   In step S631 in FIG. 12, it is assumed that the envelope generation unit 32 in FIG. 6 has extracted the current candidate point (Xo, Yo) of the upper envelope.

次のステップS632で、包絡線生成部32は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320から、時間軸正方向(ステップS604の場合は負方向)に現在の候補点(Xo,Yo)の次のデータ点(Xn,Yn)を取得する。   In the next step S632, the envelope generation unit 32 determines the current candidate point (Xo, Yo) from the time-series data 320 of the differential push-pull signal DPP in the time axis positive direction (in the negative direction in step S604). The next data point (Xn, Yn) is acquired.

次のステップS633で、包絡線生成部32は、現在の候補点(Xo,Yo)を基準にして、ステップS632で取得したデータ点(Xn,Yn)が下方制限値LL1で規定される下方制限範囲以上であるか否かを判定する。すなわち、包絡線生成部32は、データ点(Xn,Yn)が次式(5)を満足するか否かを判定する。   In the next step S633, the envelope generation unit 32 uses the current candidate point (Xo, Yo) as a reference, and the lower limit in which the data point (Xn, Yn) acquired in step S632 is defined by the lower limit value LL1. It is determined whether or not the range is exceeded. That is, the envelope generation unit 32 determines whether or not the data point (Xn, Yn) satisfies the following equation (5).

LL1×|Xn−Xo|≦Yn−Yo …(5)
上式(5)が満足されない場合(ステップS633でNO)、包絡線生成部32は、処理をステップS632に戻して、時間軸正方向(ステップS604の場合は負方向)にさらに次のデータ点(Xn,Yn)を取得する。その後、ステップS633で、包絡線生成部32は、新しく取得したデータ点について上式(5)が満たされるか否かを判定する。
LL1 × | Xn−Xo | ≦ Yn−Yo (5)
If the above equation (5) is not satisfied (NO in step S633), the envelope generation unit 32 returns the process to step S632, and further sets the next data point in the time axis positive direction (in the negative direction in the case of step S604). (Xn, Yn) is acquired. Thereafter, in step S633, the envelope generation unit 32 determines whether or not the above equation (5) is satisfied for the newly acquired data point.

上式(5)が満足された場合(ステップS633でYES)、次にステップS634が実行される。ステップS634で、包絡線生成部32は、現在の候補点(Xo,Yo)を基準にして、ステップS632で取得したデータ点(Xn,Yn)が上式制限値UL1で規定される上方制限範囲以下であるか否かを判定する。すなわち、包絡線生成部32は、データ点(Xn,Yn)が次式(6)を見たすか否かを判定する。   If the above equation (5) is satisfied (YES in step S633), step S634 is then executed. In step S634, the envelope generation unit 32 uses the current candidate point (Xo, Yo) as a reference, and the upper limit range in which the data point (Xn, Yn) acquired in step S632 is defined by the upper limit value UL1. It is determined whether or not: That is, the envelope generation unit 32 determines whether or not the data point (Xn, Yn) satisfies the following equation (6).

Yn−Yo≦UL1×|Xn−Xo| …(6)
上式(6)が満足された場合(ステップS634でYES)、次にステップS635が実行される。ステップS635で、包絡線生成部32は、ステップS632において取得したデータ点(Xn,Yn)を次の上包絡線の候補に設定し、図12の各手順が終了する。
Yn−Yo ≦ UL1 × | Xn−Xo | (6)
If the above equation (6) is satisfied (YES in step S634), step S635 is then executed. In step S635, the envelope generation unit 32 sets the data point (Xn, Yn) acquired in step S632 as a candidate for the next upper envelope, and each procedure in FIG. 12 ends.

一方、上式(6)が満足されない場合(ステップS634でNO)、ステップS636に進む。ステップS636で、包絡線生成部32は、上式(6)を満たす上限の点(Xn,UL1×|Xn−Xo|)を次の上包絡線の候補に設定し、図12の各手順が終了する。   On the other hand, if the above equation (6) is not satisfied (NO in step S634), the process proceeds to step S636. In step S636, the envelope generation unit 32 sets the upper limit point (Xn, UL1 × | Xn−Xo |) that satisfies the above equation (6) as a candidate for the next upper envelope, and each procedure in FIG. finish.

再び図9を参照して、ステップS605で、図6の包絡線生成部32は、ステップS603の包絡線の抽出結果とステップS604の包絡線の抽出結果との平均化を行う。   Referring to FIG. 9 again, in step S605, envelope generation unit 32 in FIG. 6 averages the envelope extraction result in step S603 and the envelope extraction result in step S604.

図13は、図9のステップS605の処理手順を説明するための図である。図13には、図10、図11と同様に、時系列データ320の最初の14個のデータ点A〜Nが模式的に示されている。また、ステップS603によって生成された上包絡線321AおよびステップS604によって生成された上包絡線321Bも図中に示されている。   FIG. 13 is a diagram for explaining the processing procedure of step S605 of FIG. FIG. 13 schematically shows the first 14 data points A to N of the time-series data 320 as in FIGS. 10 and 11. In addition, the upper envelope 321A generated in step S603 and the upper envelope 321B generated in step S604 are also shown in the drawing.

具体的に、包絡線生成部32は、サンプリングデータ数Snum個の時系列データ320の各X座標(時刻)に対応して、ステップS603による包絡線321Aの候補点とステップS604による包絡線321Bの候補点との平均値321Cを算出する。算出された平均値321Cは図中に丸印で示される。   Specifically, the envelope generation unit 32 corresponds to each X coordinate (time) of the time series data 320 of the sampling data number Snum, and the candidate point of the envelope 321A in step S603 and the envelope 321B in step S604. An average value 321C with the candidate points is calculated. The calculated average value 321C is indicated by a circle in the figure.

次に、図9のステップS606で、図6の包絡線生成部32は、ステップS605で平均化したデータ(図13の参照符号321C)に対して時間軸方向の平滑化処理を行う。このとき、平滑化処理は移動平均によって行なわれる。実施の形態1の場合、包絡線の各データ点の前後のEAvnum個のデータを用いて移動平均が計算される。ここで、移動平均データ数EAvnumは、ステップS601で60個に初期設定されている。ただし、包絡線の左端点の場合は左端点よりも後の時刻の点を用いて移動平均が計算され、包絡線の右端点の場合は右端点よりも前の時刻の点を用いて移動平均が計算される。   Next, in step S606 in FIG. 9, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 performs a smoothing process in the time axis direction on the data averaged in step S605 (reference numeral 321C in FIG. 13). At this time, the smoothing process is performed by moving average. In the case of Embodiment 1, a moving average is calculated using EAvnum data before and after each data point of the envelope. Here, the moving average data number EAvnum is initially set to 60 in step S601. However, in the case of the left end point of the envelope, the moving average is calculated using the point after the left end point, and in the case of the right end point of the envelope, the moving average is used using the point before the right end point. Is calculated.

次のステップS607で、図6の包絡線生成部32は、前のステップS606で生成した上包絡線を用いて、コンピュータ201の入力データである差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320に対してノイズ除去処理を行なう。すなわち、包絡線生成部32は、第1の時系列データ320の各データ点のうち、所定の閾値を超えて上包絡線を逸脱しているデータ点をノイズとして時系列データ320から除去する。   In the next step S607, the envelope generator 32 of FIG. 6 uses the upper envelope generated in the previous step S606 to generate the time series data 320 of the differential push-pull signal DPP that is the input data of the computer 201. To remove noise. That is, the envelope generation unit 32 removes, from the time series data 320, data points that exceed a predetermined threshold and deviate from the upper envelope from among the data points of the first time series data 320.

図14は、図9のステップS607の処理手順を説明するための図である。図14には、図10〜図13の場合と同様に、時系列データ320の最初の14個のデータ点A〜Nが模式的に示されている。また、ステップS606によって平滑化された上包絡線321Dも示されている。データ点A〜Nのうち、平滑化された上包絡線321Dを大きく上回っている点Iがノイズ除去対象点となる。   FIG. 14 is a diagram for explaining the processing procedure of step S607 of FIG. FIG. 14 schematically shows the first 14 data points A to N of the time-series data 320 as in the case of FIGS. 10 to 13. Also shown is the upper envelope 321D smoothed by step S606. Of the data points A to N, a point I that greatly exceeds the smoothed upper envelope 321D is a noise removal target point.

具体的に、包絡線生成部32は、各データ点A〜NのY座標と各データ点A〜NのX座標における上包絡線321Dの値との比を算出し、算出された比の値がステップS601で設定されたノイズ除去レベルNrejを超えたデータ点をノイズ除去の対象とする。たとえば、図14の点IのY座標の値を6.5とし、点IのX座標XIにおける上包絡線321Dの値を5.0とする。両者の比は、6.5/5.0=1.3であるので、ノイズ除去レベルNrej=1.2を超える。この結果、図14の点Iはノイズ除去の対象となる。   Specifically, the envelope generation unit 32 calculates the ratio between the Y coordinate of each data point A to N and the value of the upper envelope 321D in the X coordinate of each data point A to N, and the value of the calculated ratio However, data points exceeding the noise removal level Nrej set in step S601 are targeted for noise removal. For example, the value of the Y coordinate of the point I in FIG. 14 is set to 6.5, and the value of the upper envelope 321D at the X coordinate XI of the point I is set to 5.0. Since the ratio between the two is 6.5 / 5.0 = 1.3, it exceeds the noise removal level Nrej = 1.2. As a result, the point I in FIG. 14 is a target for noise removal.

次に、図14の点Iをノイズとして除去する方法について説明する。点Iを除去する場合、前述のステップS603において時間軸正方向に上包絡線を探索した場合に点Iの1つ前の上包絡線の候補点であった点Gと、ステップS604において時間軸負方向に上包絡線を探索した場合に点Iの1つ前の上包絡線の候補点であった点Kとに着目する。包絡線生成部32は、点Gを基準とした下方制限範囲303Gと、点Kを基準とした下方制限範囲305Kとを比較して、点IのX座標XIにおける値が小さいほうの下方制限範囲305Kを選択し、その下方制限範囲305Kよりもさらに小さい点Icを点Iに代わる点として設定する。このようにして新たに設定された点Icは、後述するステップS608,S609において再度、上包絡線を抽出するときに下方制限範囲よりも小さくなるので、上包絡線の候補とならない。   Next, a method for removing the point I in FIG. 14 as noise will be described. When the point I is removed, when the upper envelope is searched for in the positive direction of the time axis in the above-described step S603, the point G that is a candidate point for the upper envelope one point before the point I and the time axis in the step S604 When the upper envelope is searched in the negative direction, attention is paid to a point K that is a candidate point for the upper envelope one point before point I. The envelope generation unit 32 compares the lower limit range 303G with respect to the point G with the lower limit range 305K with respect to the point K, and the lower limit range with the smaller value at the X coordinate XI of the point I 305K is selected, and a point Ic smaller than the lower limit range 305K is set as a point to replace the point I. The newly set point Ic becomes smaller than the lower limit range when the upper envelope is extracted again in steps S608 and S609, which will be described later, and thus is not a candidate for the upper envelope.

次に、図9のステップS608で、図6の包絡線生成部32は、ステップS607におけるノイズ除去後の差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320に対して、時間軸正方向への上包絡線の再抽出を行なう。ステップS608の処理は基本的にはステップS603の処理と同じであるが、入力信号がノイズ除去後の時系列データ320である点と、第1の上方制限値UL1および第1の下方制限値LL1に代えて第2の上方制限値UL2および第2の下方制限値LL2を用いる点とでステップS603の処理と異なる。ステップS608のその他の処理は、ステップS603の処理と同様であるので説明を繰返さない。   Next, in step S608 in FIG. 9, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 performs an upper envelope in the time axis positive direction with respect to the time series data 320 of the differential push-pull signal DPP after noise removal in step S607. Re-extract the line. The process of step S608 is basically the same as the process of step S603, except that the input signal is time-series data 320 after noise removal, and the first upper limit value UL1 and the first lower limit value LL1. Instead of step S603, the second upper limit value UL2 and the second lower limit value LL2 are used instead. Other processing in step S608 is similar to the processing in step S603, and therefore description thereof will not be repeated.

次のステップS609で、図6の包絡線生成部32は、ステップS607におけるノイズ除去後の差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320に対して、時間軸負方向への上包絡線の抽出を行なう。ステップS609の処理は、入力信号がノイズ除去後の時系列データ320である点と、第1の上方制限値UL1および第1の下方制限値LL1に代えて第2の上方制限値UL2および第2の下方制限値LL2を用いる点とでステップS604の処理と異なる。ステップS609のその他の処理は、ステップS604の処理と同様であるので説明を繰返さない。   In the next step S609, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 extracts the upper envelope in the time axis negative direction from the time series data 320 of the differential push-pull signal DPP after noise removal in step S607. Do. The processing in step S609 includes the point that the input signal is time-series data 320 after noise removal, the second upper limit value UL2 and the second upper limit value UL1 instead of the first upper limit value UL1 and the first lower limit value LL1. Is different from the process of step S604 in that the lower limit value LL2 is used. The other processes in step S609 are the same as the processes in step S604, and therefore description thereof will not be repeated.

次のステップS610で、図6の包絡線生成部32は、ステップS608の包絡線の抽出結果とステップS609の包絡線の抽出結果との平均化を行う。具体的な処理内容はステップS605の処理内容と同じであるので説明を繰返さない。   In the next step S610, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 averages the envelope extraction result in step S608 and the envelope extraction result in step S609. Since the specific processing content is the same as the processing content of step S605, description will not be repeated.

次のステップS611で、図6の包絡線生成部32は、ステップS610で平均化したデータに対して時間軸方向の平滑化処理を行う。具体的な処理内容はステップS606の処理内容と同じであるので説明を繰返さない。   In the next step S611, the envelope generation unit 32 in FIG. 6 performs a smoothing process in the time axis direction on the data averaged in step S610. Since the specific processing content is the same as the processing content in step S606, the description will not be repeated.

次のステップS612で、ステップS611の処理結果を出力し、上包絡線を生成する処理を終了する。   In the next step S612, the processing result of step S611 is output, and the process of generating the upper envelope is terminated.

その後、図6の波形抽出部30は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320に対して下包絡線を生成する。下包絡線の生成手順は、これまで説明した上包絡線の生成手順でY軸を反転させた処理と同様であるので説明を繰返さない。   Thereafter, the waveform extraction unit 30 in FIG. 6 generates a lower envelope for the time series data 320 of the differential push-pull signal DPP. The procedure for generating the lower envelope is the same as the process of inverting the Y axis in the procedure for generating the upper envelope described so far, and therefore description thereof will not be repeated.

図15は、図8に示す時系列データ320に基づいて生成された上下の包絡線321,322を示す図である。上記の手順に従って上下の包絡線321,322を生成することによって、上下に突出した複数のノイズ信号83の影響を受けずに時系列データ320の包絡線321,322を生成することができる。   FIG. 15 is a diagram showing upper and lower envelopes 321 and 322 generated based on the time-series data 320 shown in FIG. By generating the upper and lower envelopes 321 and 322 according to the above procedure, the envelopes 321 and 322 of the time-series data 320 can be generated without being influenced by the plurality of noise signals 83 protruding vertically.

(低周波波形の生成−図7のステップS505)
図16は、図15の上下の包絡線321,322から生成された低周波波形323を示す図である。なお、低周波波形323は、この発明の第1の波形に対応する。
(Generation of Low Frequency Waveform—Step S505 in FIG. 7)
FIG. 16 is a diagram showing a low-frequency waveform 323 generated from the upper and lower envelopes 321 and 322 in FIG. The low frequency waveform 323 corresponds to the first waveform of the present invention.

図4(A)〜図4(C)を参照して説明したように、実施の形態1の光ピックアップの検査装置11では、差動プッシュプル信号DPPの時系列データに基づいて対物レンズ107の変位に対応して変化する周波数成分の波形(低周波波形)が取り出される。このとき、フーリエ解析などの周波数解析方法を用いることも考えられるけれども、高速フーリエ変換などの計算を行なうと、信号解析により時間がかかるようになり、短時間での光ピックアップの調整が困難になる。そこで、実施の形態1の光ピックアップの検査装置11は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの包絡線を利用して低周波波形を取り出す。具体的には図16に示すように、図6の波形演算部33は、上包絡線321と下包絡線322との差の波形を低周波波形323として生成する。   As described with reference to FIGS. 4A to 4C, in the optical pickup inspection apparatus 11 according to the first embodiment, the objective lens 107 is controlled based on the time-series data of the differential push-pull signal DPP. A waveform of a frequency component (low frequency waveform) that changes corresponding to the displacement is extracted. At this time, although it is conceivable to use a frequency analysis method such as Fourier analysis, if calculation such as fast Fourier transform is performed, it will take time due to signal analysis, and adjustment of the optical pickup in a short time becomes difficult. . Therefore, the optical pickup inspection apparatus 11 according to the first embodiment extracts a low-frequency waveform using the envelope of the time series data of the differential push-pull signal DPP. Specifically, as illustrated in FIG. 16, the waveform calculation unit 33 in FIG. 6 generates a waveform of a difference between the upper envelope 321 and the lower envelope 322 as a low frequency waveform 323.

なお、上下の包絡線を用いた低周波波形の算出方法は、元の時系列データの特徴によって異なる。差動プッシュプル信号DPPの場合には、上下の包絡線の差を低周波波形として算出するのが最適であるが、入力信号波形によっては上包絡線と下包絡線との平均または和を低周波波形として出力することが最善という場合もある。   Note that the low-frequency waveform calculation method using the upper and lower envelopes differs depending on the characteristics of the original time-series data. In the case of the differential push-pull signal DPP, it is optimal to calculate the difference between the upper and lower envelopes as a low frequency waveform, but depending on the input signal waveform, the average or sum of the upper and lower envelopes may be reduced. In some cases, it is best to output as a frequency waveform.

一つの指針としては、図15に示すように入力信号波形の上包絡線321と下包絡線322とが逆相の場合、すなわち上包絡線321が山のときに下包絡線322が谷となり、上包絡線321が谷のときに下包絡線322が山となるような場合には、図16に示すように上包絡線321と下包絡線322との差を低周波波形323として出力するのが好ましい。一方、図27で後述するメインプッシュプル信号MPPの時系列データ328のように上包絡線329と下包絡線330とが同相の場合、すなわち上包絡線329が山のときに下包絡線330も山となり、上包絡線329が谷のときに下包絡線330も谷となるような場合には、上包絡線と下包絡線との平均または和を低周波波形331として出力するのが好ましい。もしくは、上包絡線の形状と下包絡線の形状とが類似している場合には、いずれか一方の包絡線を低周波波形331として出力してもよい。このように、対物レンズ107の変位に対応して変化する周波数成分の波形(低周波波形)は、上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形である。   As one guideline, as shown in FIG. 15, when the upper envelope 321 and the lower envelope 322 of the input signal waveform are in reverse phase, that is, when the upper envelope 321 is a mountain, the lower envelope 322 becomes a valley, When the upper envelope 321 is a valley and the lower envelope 322 is a mountain, the difference between the upper envelope 321 and the lower envelope 322 is output as a low frequency waveform 323 as shown in FIG. Is preferred. On the other hand, when the upper envelope 329 and the lower envelope 330 are in phase as in time series data 328 of the main push-pull signal MPP described later in FIG. 27, that is, when the upper envelope 329 is a mountain, the lower envelope 330 is also When the upper envelope 329 is a valley and the lower envelope 330 is also a valley, it is preferable to output the average or sum of the upper envelope and the lower envelope as the low-frequency waveform 331. Alternatively, when the shape of the upper envelope and the shape of the lower envelope are similar, either one of the envelopes may be output as the low frequency waveform 331. In this way, the waveform of the frequency component (low frequency waveform) that changes in response to the displacement of the objective lens 107 is either one of the upper and lower envelopes, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes. It is a waveform based on.

(極小値の算出−図7のステップS506)
図17は、図7のステップS506の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。以下、図17のフローチャートとともに図18〜図21を適宜参照しながら、低周波波形323の複数の極小値を算出する手順について説明する。図17の最初のステップS551で、図6のサンプリング波形生成部41は、低周波波形323からサンプリング波形を生成する。
(Calculation of local minimum value-step S506 in FIG. 7)
FIG. 17 is a flowchart showing in more detail the procedure of step S506 of FIG. Hereinafter, a procedure for calculating a plurality of minimum values of the low-frequency waveform 323 will be described with reference to FIGS. 18 to 21 together with the flowchart of FIG. In the first step S551 in FIG. 17, the sampling waveform generation unit 41 in FIG. 6 generates a sampling waveform from the low frequency waveform 323.

図18は、図17のステップS551の処理手順を説明するための図である。図18を参照して、図6のサンプリング波形生成部41は、区間データ数DSnumごとに低周波波形323を複数の区間に分割する。実施の形態1の場合、図7のステップS501で、区間データ数DSnumとして50が予め入力されている。そして、サンプリング波形生成部41は、各区間の50個のデータ点ごとに最小値をとる点(すなわち、最小点)をそれぞれ算出し、この最小点を時系列に並べることにより、サンプリング波形を生成する。   FIG. 18 is a diagram for explaining the processing procedure of step S551 in FIG. Referring to FIG. 18, the sampling waveform generation unit 41 in FIG. 6 divides the low frequency waveform 323 into a plurality of sections for each section data number DSnum. In the case of the first embodiment, 50 is input in advance as the section data number DSnum in step S501 of FIG. Then, the sampling waveform generation unit 41 calculates a point having a minimum value (ie, the minimum point) for each of the 50 data points in each section, and generates the sampling waveform by arranging the minimum points in time series. To do.

図19は、図17のステップS551で生成されたサンプリング波形324を示す図である。サンプリング波形324の形状は低周波波形323とほぼ同じであるが、サンプリング波形324のデータ数は低周波波形323のデータ数Sunmの1/DSnumとなる。   FIG. 19 is a diagram showing the sampling waveform 324 generated in step S551 in FIG. The shape of the sampling waveform 324 is substantially the same as that of the low frequency waveform 323, but the number of data of the sampling waveform 324 is 1 / DSnum of the number of data Sunm of the low frequency waveform 323.

次に、図17のステップS552で、図6の平滑化部42は、ステップS551で生成したサンプリング波形324を平滑化した平滑化波形(図20の参照符号325)を生成する。このときの平滑化処理は移動平均によって行なわれる。実施の形態1の場合、サンプリング波形324の各データ点の前後のDAvnum個のデータを用いて移動平均が計算される。ここで、移動平均データ数DAvnumは、ステップS501で11個に初期設定されている。ただし、サンプリング波形324の左端点の場合は左端点よりも後の時刻の点を用いて移動平均が計算され、サンプリング波形324の右端点の場合は右端点よりも前の時刻の点を用いて移動平均が計算される。   Next, in step S552 in FIG. 17, the smoothing unit 42 in FIG. 6 generates a smoothed waveform (reference numeral 325 in FIG. 20) obtained by smoothing the sampling waveform 324 generated in step S551. The smoothing process at this time is performed by moving average. In the first embodiment, a moving average is calculated using DAvnum pieces of data before and after each data point of the sampling waveform 324. Here, the moving average data number DAvnum is initially set to 11 in step S501. However, in the case of the left end point of the sampling waveform 324, the moving average is calculated using the point at the time after the left end point, and in the case of the right end point of the sampling waveform 324, the point at the time before the right end point is used. A moving average is calculated.

次に、図17のステップS553で、図6の極小点抽出部43は、ステップS552で算出したサンプリング波形324の極小点の位置を抽出する。このときの極小点は差動プッシュプル信号DPPの谷部に対応する点である。なお、低周波波形323の定義の仕方によっては、たとえば、低周波波形323の符号を上記の場合と反転させた場合には、サンプリング波形324の極大点を抽出する必要がある。   Next, in step S553 in FIG. 17, the local minimum point extraction unit 43 in FIG. 6 extracts the position of the local minimum point in the sampling waveform 324 calculated in step S552. The minimum point at this time is a point corresponding to the valley of the differential push-pull signal DPP. Depending on how the low frequency waveform 323 is defined, for example, when the sign of the low frequency waveform 323 is inverted from the above case, it is necessary to extract the maximum point of the sampling waveform 324.

図20は、図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。図20を参照して、図6の極小点抽出部43は、サンプリング波形324と平滑化波形325とを比較して、サンプリング波形324から平滑化波形325を減じた値が負となる複数の区間(負区間と称する。)を抽出する。図20の場合、負区間は、区間[S1,T1],[S2,T2],…,[S5,T5]であり、サンプリング波形324が平滑化波形325を下回った点Si(iは整数)から再びサンプリング波形324が平滑化波形325を上回る点Ti(iは整数)までの区間である。複数の負区間[Si,Ti]の各々にサンプリング波形324の極小点があると推定される。そこで、極小点抽出部43は、各負区間[Si,Ti]の最小点を極小点の位置として抽出する。図20の例においてはV1からV5までの5点の極小点が抽出される。   FIG. 20 is a diagram for explaining the processing procedure of step S553 of FIG. Referring to FIG. 20, the minimum point extraction unit 43 in FIG. 6 compares the sampling waveform 324 and the smoothed waveform 325, and a plurality of sections in which the value obtained by subtracting the smoothed waveform 325 from the sampling waveform 324 is negative. (Referred to as negative interval). In the case of FIG. 20, the negative interval is the interval [S1, T1], [S2, T2],..., [S5, T5], and the point Si (i is an integer) where the sampling waveform 324 falls below the smoothing waveform 325. To the point Ti (i is an integer) where the sampling waveform 324 again exceeds the smoothing waveform 325. It is estimated that there is a minimum point of the sampling waveform 324 in each of the plurality of negative intervals [Si, Ti]. Therefore, the minimum point extraction unit 43 extracts the minimum point of each negative section [Si, Ti] as the position of the minimum point. In the example of FIG. 20, five minimum points from V1 to V5 are extracted.

次に、図17のステップS554で、ステップS553で抽出したサンプリング波形324の極小点V1〜V5の位置に相当する低周波波形323上での極小点の位置を決定する。実施の形態1においては、サンプリング波形324の極小点は、低周波波形323上でのある区間データ数DSnum(=50点)区間の最小点に相当する。したがって、サンプリング波形324の極小点が低周波波形323上での極小点となる。   Next, in step S554 in FIG. 17, the position of the minimum point on the low frequency waveform 323 corresponding to the positions of the minimum points V1 to V5 of the sampling waveform 324 extracted in step S553 is determined. In the first embodiment, the minimum point of the sampling waveform 324 corresponds to the minimum point of a section data number DSnum (= 50 points) on the low frequency waveform 323. Therefore, the minimum point of the sampling waveform 324 becomes the minimum point on the low frequency waveform 323.

図21は、低周波波形323上で決定された極小点V1〜V5の位置を示す図である。以上で、図17に示す低周波波形323の極小点を抽出するステップが終了する。   FIG. 21 is a diagram showing the positions of the minimum points V1 to V5 determined on the low frequency waveform 323. FIG. This completes the step of extracting the minimum point of the low-frequency waveform 323 shown in FIG.

(光ピックアップの良否判定−図7のステップS507)
図22は、図7のステップS507の手順をさらに詳しく示したフローチャートである。図6の判定部50は、図7のステップS506で算出された低周波波形323上での極小点V1〜V5の位置のばらつきから、図1のレーザ光源102に対する回折格子104の配置(位置および姿勢)の良否を判定する。
(Optical Pickup Pass / Fail Judgment—Step S507 in FIG. 7)
FIG. 22 is a flowchart showing in more detail the procedure of step S507 of FIG. 6 determines the arrangement (position and position) of the diffraction grating 104 with respect to the laser light source 102 in FIG. 1 from the variation in the positions of the minimum points V1 to V5 on the low-frequency waveform 323 calculated in step S506 in FIG. (Position) is judged as good or bad.

まず、図22のステップS651で、図6の極値分類部51は、極値算出部40によって算出された複数の極小点を第1および第2のグループに分類する。実施の形態1の場合、極値分類部51は、複数の極小点V1〜V5を時系列順に交互に第1、第2のグループに分類する。前述の図21の場合、極小点V1,V3,V5が第1のグループに分類され、極小点V2,V4が第2のグループに分類される。このように分類する理由は次のとおりである。   First, in step S651 in FIG. 22, the extreme value classification unit 51 in FIG. 6 classifies the plurality of local minimum points calculated by the extreme value calculation unit 40 into first and second groups. In the case of the first embodiment, the extreme value classification unit 51 classifies the plurality of minimum points V1 to V5 alternately into the first and second groups in time series order. In the case of FIG. 21 described above, the minimum points V1, V3, and V5 are classified into the first group, and the minimum points V2 and V4 are classified into the second group. The reason for this classification is as follows.

実施の形態1の光ピックアップの検査装置11では、図1の対物レンズ107を光記録媒体106の半径方向の内周側と外周側とに繰返し変位させた場合の差動プッシュプル信号DPPが検出される。この場合、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの振幅は周期的に変動し、対物レンズ107を内周側にシフトした場合の振幅の谷と対物レンズ107を外周側にシフトした場合の振幅の谷とが交互に現れる。したがって、低周波波形の複数の極小点を時系列順に交互に分類することによって、対物レンズ107が内周側にシフトしたときの差動プッシュプル信号DPPの振幅と、対物レンズ107が外周側にシフトしたときの差動プッシュプル信号の振幅とに分類することが可能になる。   In the optical pickup inspection apparatus 11 according to the first embodiment, the differential push-pull signal DPP is detected when the objective lens 107 in FIG. 1 is repeatedly displaced toward the inner and outer peripheral sides of the optical recording medium 106 in the radial direction. Is done. In this case, the amplitude of the time series data of the differential push-pull signal DPP periodically varies, and the amplitude trough when the objective lens 107 is shifted to the inner peripheral side and the amplitude when the objective lens 107 is shifted to the outer peripheral side. No valleys appear alternately. Therefore, by alternately classifying a plurality of minimum points of the low frequency waveform in time series order, the amplitude of the differential push-pull signal DPP when the objective lens 107 is shifted to the inner peripheral side, and the objective lens 107 to the outer peripheral side. It becomes possible to classify into the amplitude of the differential push-pull signal when shifted.

次に、図22のステップS652で、図6の比較部52は、第1、第2のグループごとに極小点の値(極小値)の平均値を算出する。そして、次のステップS653で、比較部52は、各グループごとの平均値の比が所定の範囲内か否かを判定する。具体的には、比較部52は、平均値の比の値と1との差の絶対値が、図7のステップS501で入力した良否判定閾値Th(Th=0.05)以下の場合は回折格子の配置は良好と判定し、良否判定閾値Thを超える場合には不良と判定する。以上で、回折格子104の配置の良否を判定する手順が終了する。   Next, in step S652 of FIG. 22, the comparison unit 52 of FIG. 6 calculates the average value of the minimum point values (minimum values) for each of the first and second groups. Then, in the next step S653, the comparison unit 52 determines whether or not the ratio of the average values for each group is within a predetermined range. Specifically, the comparison unit 52 performs diffraction when the absolute value of the difference between the average value ratio and 1 is equal to or less than the pass / fail judgment threshold Th (Th = 0.05) input in step S501 of FIG. It is determined that the arrangement of the lattice is good, and is determined to be defective if it exceeds the pass / fail judgment threshold Th. This is the end of the procedure for determining the quality of the arrangement of the diffraction grating 104.

(まとめ)
このように実施の形態1の光ピックアップの検査装置11によれば、差動プッシュプル信号DPPの時系列データから抽出した低周波波形323の極小点V1〜V5の値(極小値)のばらつきを評価するによって、光ピックアップ101の検査を精度良く行なうことができる。この結果、回折格子104の位置および姿勢の調整のばらつきを抑制でき、調整時間が短縮され、人件費等を削減することができる。
(Summary)
As described above, according to the optical pickup inspection apparatus 11 of the first embodiment, variations in the values (minimum values) of the minimum points V1 to V5 of the low-frequency waveform 323 extracted from the time series data of the differential push-pull signal DPP. By the evaluation, the optical pickup 101 can be inspected with high accuracy. As a result, variation in the adjustment of the position and orientation of the diffraction grating 104 can be suppressed, the adjustment time can be shortened, and labor costs and the like can be reduced.

具体的には、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ320の上下の包絡線321,322の差の波形を、対物レンズ107の周期的な変位に対応して変化する周波数成分の波形(低周波波形)323として生成する。   Specifically, the waveform of the difference between the upper and lower envelopes 321 and 322 of the time series data 320 of the differential push-pull signal DPP is changed to a waveform of a frequency component that changes in accordance with the periodic displacement of the objective lens 107 (low Frequency waveform) 323.

また、時系列データから上下の包絡線321,322を生成するときに、隣接する点を通る直線の傾きが第1の上方制限値UL1と第1の下方制限値LL1との間になるように包絡線321,322の振幅の変化が制限されるので、時系列データにノイズ信号83が含まれている場合でも、ノイズの影響を抑制して包絡線321,322を生成することができる。   Further, when the upper and lower envelopes 321 and 322 are generated from the time series data, the slope of the straight line passing through the adjacent points is between the first upper limit value UL1 and the first lower limit value LL1. Since changes in the amplitudes of the envelopes 321 and 322 are limited, the envelopes 321 and 322 can be generated while suppressing the influence of noise even when the noise signal 83 is included in the time-series data.

また、時系列データから上下の各包絡線321,322を生成するときに、時間軸正方向に生成された包絡線と時間軸負方向に生成された包絡線とを平均化し、さらに平均化された包絡線を移動平均によって平滑化して最終的な包絡線を生成するので、元の時系列データにノイズ成分が含まれている場合でも精度良く包絡線321,322を生成することができる。   Further, when generating the upper and lower envelopes 321 and 322 from the time series data, the envelope generated in the time axis positive direction and the envelope generated in the time axis negative direction are averaged and further averaged. Since the final envelope is generated by smoothing the envelopes by moving average, the envelopes 321 and 322 can be generated with high accuracy even if the original time-series data includes a noise component.

また、一度、上下の包絡線を生成した後に、時系列データのうちノイズ除去レベルNrejを超えて上下の包絡線を逸脱しているデータ点がノイズとして除去され、ノイズ除去後の時系列データを用いて包絡線が再度生成されるのでさらに高精度に包絡線を生成することができる。   Also, once the upper and lower envelopes are generated, the data points that exceed the noise removal level Nrej and deviate from the upper and lower envelopes in the time series data are removed as noise, and the time series data after noise removal is Since the envelope is generated again by using the envelope, the envelope can be generated with higher accuracy.

また、上下の各包絡線321,322を抽出するときの開始点である包絡線の端点は、時系列データの最初または最後など特定のデータ点を避けて設定されるので、ノイズの影響を除去して包絡線の計算精度を高めることができる。   In addition, the end points of the envelopes, which are the starting points when extracting the upper and lower envelopes 321 and 322, are set avoiding specific data points such as the beginning or end of time series data, thus eliminating the influence of noise. Thus, the calculation accuracy of the envelope can be increased.

また、低周波波形323の極小点V1〜V5を抽出するときに、低周波波形323のデータ数を削減したサンプリング波形324を用いて極小点V1〜V5を抽出するので、元の低周波波形323に含まれていたノイズ成分を低減させて精度良く極小点V1〜V5を抽出することができる。また、データ数が削減されたサンプリング波形324を用いて極小点V1〜V5を抽出するので、コンピュータの処理時間を短縮することができる。また、移動平均によってサンプリング波形324を平滑化した平滑化波形325を利用して極小点V1〜V5を抽出するので、低周波波形323の振幅の変化が著しい場合でも高精度に極小点V1〜V5の位置を検出することができる。これらの結果、判定部50による良否判定の精度を向上させることができる。   Further, when extracting the minimum points V1 to V5 of the low frequency waveform 323, the minimum points V1 to V5 are extracted using the sampling waveform 324 in which the number of data of the low frequency waveform 323 is reduced, so that the original low frequency waveform 323 is extracted. Therefore, it is possible to extract the local minimum points V1 to V5 with high accuracy. Further, since the minimum points V1 to V5 are extracted using the sampling waveform 324 in which the number of data is reduced, the processing time of the computer can be shortened. Further, since the minimum points V1 to V5 are extracted using the smoothed waveform 325 obtained by smoothing the sampling waveform 324 by moving average, the minimum points V1 to V5 can be accurately obtained even when the amplitude of the low frequency waveform 323 is significantly changed. Can be detected. As a result, the accuracy of the quality determination by the determination unit 50 can be improved.

また、判定部50では、複数の極小点V1〜V5が、対物レンズ107が光記録媒体106の内周側にシフトしたときと外周側にシフトしたときとに分類され、分類されたこれらの極小点の値(極小値)の平均値を対比することによって、光ピックアップ101の良否判定を精度良く行なうことができる。   Further, the determination unit 50 classifies the plurality of minimum points V1 to V5 when the objective lens 107 is shifted to the inner peripheral side of the optical recording medium 106 and when the objective lens 107 is shifted to the outer peripheral side. By comparing the average value of the point values (minimum values), the quality of the optical pickup 101 can be determined with high accuracy.

(従来技術との比較)
以下、実施の形態1における包絡線の生成方法および極値の算出方法と従来技術による方法とを比較する。
(Comparison with conventional technology)
Hereinafter, the envelope generation method and the extreme value calculation method in the first embodiment will be compared with the conventional method.

図23は、差動プッシュプル信号の一例を示す図である。図23のX軸は時間軸を示し、Y軸は差動プッシュプル信号の強度を示す。実施の形態1で示した方法では、差動プッシュプル信号のうち図中の3つの矢印部分(1001、1002、1003)の振幅を算出するのに、信号波形の概形である包絡線を求めてから、包絡線の極小点または極大点の位置を特定することによって振幅を算出している。   FIG. 23 is a diagram illustrating an example of the differential push-pull signal. In FIG. 23, the X axis represents the time axis, and the Y axis represents the intensity of the differential push-pull signal. In the method shown in the first embodiment, an envelope that is an outline of a signal waveform is obtained in order to calculate the amplitudes of the three arrow portions (1001, 1002, 1003) in the figure of the differential push-pull signal. After that, the amplitude is calculated by specifying the position of the minimum or maximum point of the envelope.

前述の特開2007−209782号公報(特許文献2)に開示された第1の従来技術も信号波形の解析に包絡線を用いるが、包絡線の算出方法が実施の形態1の場合と異なる。第1の従来技術の場合、上包絡線を生成するときに、入力信号波形の局所極大点を算出し、算出された局所極大点間を線形補間または3次スプライン法による補間を行うことによって上包絡線を生成している。また、下包絡線を生成するときに、入力信号波形の局所極小点を算出し、算出された局所極小点間を線形補間または3次スプライン法による補間を行なうことによって下包絡線を生成している。   The first prior art disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-209882 (Patent Document 2) also uses an envelope for signal waveform analysis, but the method for calculating the envelope is different from that in the first embodiment. In the case of the first prior art, when generating the upper envelope, the local maximum points of the input signal waveform are calculated, and the interpolation between the calculated local maximum points is performed by linear interpolation or cubic spline method. An envelope is generated. Further, when generating the lower envelope, the local minimum point of the input signal waveform is calculated, and the lower envelope is generated by performing interpolation between the calculated local minimum points by linear interpolation or cubic spline method. Yes.

このために、第1の従来技術を用いて図23の差動プッシュプル信号の上下の包絡線を算出すると、図23中の局所的なノイズ(1004、1005、1006)の影響を受けることになる。さらに、局所極大点を用いているために上包絡線の谷部(極小点付近)1007を正確にトレースすることができない。下包絡線に関しても同様に、局所極小点を用いるために、下包絡線の山部(極大点付近)1008を正確にトレースすることができない。これに対して、実施の形態1の場合にはノイズの影響を抑制しながら上下の包絡線を正確にトレースするので精度の良い包絡線を得ることができる。   For this reason, if the upper and lower envelopes of the differential push-pull signal in FIG. 23 are calculated using the first conventional technique, it is affected by local noise (1004, 1005, 1006) in FIG. Become. Further, since the local maximum point is used, the valley portion (near the minimum point) 1007 of the upper envelope cannot be accurately traced. Similarly, since the local minimum point is used for the lower envelope, the peak (near the maximum point) 1008 of the lower envelope cannot be accurately traced. On the other hand, in the case of the first embodiment, since the upper and lower envelopes are accurately traced while suppressing the influence of noise, an accurate envelope can be obtained.

また、特開2004−79079号公報(特許文献3)に開示される第2の従来技術によると、トラッキング誤差信号の値の変化が増加傾向から減少傾向に移行したことを判定することによって極大点を検出している。また、トラッキング誤差信号の値の変化が減少傾向から増加傾向に移行したことを判定することによって極小点を検出している。さらに、第2の従来技術では、ノイズが大きいトラッキング誤差信号での偽ピークを誤検出する可能性を減らすために、ゼロクロスポイント間で検出するピーク数が1つに限定される。   According to the second prior art disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-79079 (Patent Document 3), the maximum point is determined by determining that the change in the value of the tracking error signal has shifted from an increasing trend to a decreasing trend. Is detected. Further, the minimum point is detected by determining that the change in the value of the tracking error signal has shifted from a decreasing tendency to an increasing tendency. Furthermore, in the second prior art, the number of peaks detected between zero cross points is limited to one in order to reduce the possibility of false detection of false peaks in a tracking error signal with large noise.

このために、第2の従来技術を用いて図24に示す波形の極大点および極小点を検出すると、極大点1011の1点のみを検出し、極小点1012と極大点1013を検出できないという問題がある。これに対して、平滑化波形と比較することによって極大点および極小点を抽出する実施の形態1の場合には、極大点および極小点を位置を正確に求めることができる。   Therefore, when the local maximum point and the local minimum point of the waveform shown in FIG. 24 are detected using the second prior art, only one of the local maximum points 1011 is detected, and the local minimum point 1012 and the local maximum point 1013 cannot be detected. There is. On the other hand, in the case of the first embodiment in which the maximum point and the minimum point are extracted by comparing with the smoothed waveform, the position of the maximum point and the minimum point can be accurately obtained.

[実施の形態1の変形例]
以下、実施の形態1の変形例として、図16の低周波波形323の極大点を求める方法について補足する。低周波波形323の極大点を求める場合も、極小点を求める場合と同様に、図17の各ステップに従って計算が行なわれる。
[Modification of Embodiment 1]
Hereinafter, as a modification of the first embodiment, a method for obtaining the maximum point of the low-frequency waveform 323 in FIG. 16 will be supplemented. When obtaining the maximum point of the low-frequency waveform 323, the calculation is performed according to the steps of FIG.

まず、図17のステップS551で、図6のサンプリング波形生成部41は、低周波波形323からサンプリング波形を生成する。このとき、図18に示すように、図6のサンプリング波形生成部41は、区間データ数DSnumごとに低周波波形323を複数の区間に分割する。そして、サンプリング波形生成部41は、各区間の50個のデータ点ごとに最大値をとる点(すなわち、最大点)をそれぞれ算出し、この最大点を時系列に並べることにより、サンプリング波形を生成する。   First, in step S551 in FIG. 17, the sampling waveform generation unit 41 in FIG. 6 generates a sampling waveform from the low frequency waveform 323. At this time, as shown in FIG. 18, the sampling waveform generation unit 41 in FIG. 6 divides the low frequency waveform 323 into a plurality of sections for each section data number DSnum. Then, the sampling waveform generation unit 41 calculates a point having the maximum value (ie, the maximum point) for each of the 50 data points in each section, and generates the sampling waveform by arranging the maximum points in time series. To do.

図25は、図17のステップS551で生成されたサンプリング波形326を示す図である。図25のサンプリング波形326の形状は図19のサンプリング波形324とほぼ同じであるが、図19の場合には図18の各区間の最小点によってサンプリング波形が生成されていたのに対して、図25の場合には図18の各区間の最大点によってサンプリング波形が生成される。   FIG. 25 is a diagram showing the sampling waveform 326 generated in step S551 in FIG. The shape of the sampling waveform 326 in FIG. 25 is almost the same as that of the sampling waveform 324 in FIG. 19, but in the case of FIG. 19, the sampling waveform is generated by the minimum point in each section of FIG. In the case of 25, a sampling waveform is generated by the maximum point of each section in FIG.

次に、図17のステップS552で、図6の平滑化部42は、ステップS551で生成したサンプリング波形326を平滑化した平滑化波形(図26の参照符号327)を生成する。このときの平滑化処理は移動平均によって行なわれる。実施の形態1の変形例の場合、サンプリング波形326の各データ点の前後のDAvnum個のデータを用いて移動平均が計算される。ここで、移動平均データ数DAvnumは、ステップS501で11個に初期設定されている。ただし、サンプリング波形326の左端点の場合は左端点よりも後の時刻の点を用いて移動平均が計算され、サンプリング波形326の右端点の場合は右端点よりも前の時刻の点を用いて移動平均が計算される。   Next, in step S552 in FIG. 17, the smoothing unit 42 in FIG. 6 generates a smoothed waveform (reference numeral 327 in FIG. 26) obtained by smoothing the sampling waveform 326 generated in step S551. The smoothing process at this time is performed by moving average. In the modification of the first embodiment, a moving average is calculated using DAvnum pieces of data before and after each data point of the sampling waveform 326. Here, the moving average data number DAvnum is initially set to 11 in step S501. However, in the case of the left end point of the sampling waveform 326, the moving average is calculated using the point after the left end point, and in the case of the right end point of the sampling waveform 326, the point of the time before the right end point is used. A moving average is calculated.

次に、図17のステップS553で、図6の極大点抽出部43は、ステップS552で算出したサンプリング波形326の極大点の位置を抽出する。   Next, in step S553 in FIG. 17, the local maximum point extraction unit 43 in FIG. 6 extracts the position of the local maximum point in the sampling waveform 326 calculated in step S552.

図26は、図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。図26を参照して、図6の極大点抽出部43は、サンプリング波形326と平滑化波形327とを比較して、サンプリング波形326から平滑化波形327を減じた値が正となる複数の区間(正区間と称する。)を抽出する。図26の場合、正区間は、区間[P1,Q1],[P2,Q2],…,[P5,Q5]であり、サンプリング波形326が平滑化波形327を上回った点Pi(iは整数)から再びサンプリング波形326が平滑化波形327を下回る点Qi(iは整数)までの区間である。複数の正区間[Pi,Qi]の各々にサンプリング波形326の極大点があると推定される。そこで、極大点抽出部43は、各々の正区間[Pi,Qi]の最大点を極大点の位置として抽出する。図26の例においてはR1からR5までの5点の極大点が抽出される。   FIG. 26 is a diagram for explaining the processing procedure of step S553 in FIG. Referring to FIG. 26, the local maximum point extraction unit 43 in FIG. 6 compares the sampling waveform 326 with the smoothed waveform 327, and a plurality of intervals in which the value obtained by subtracting the smoothed waveform 327 from the sampling waveform 326 is positive. (Referred to as a positive interval). In FIG. 26, the positive interval is the interval [P1, Q1], [P2, Q2],..., [P5, Q5], and the point Pi (i is an integer) where the sampling waveform 326 exceeds the smoothed waveform 327. To the point Qi (i is an integer) where the sampling waveform 326 falls below the smoothing waveform 327 again. It is estimated that there is a maximum point of the sampling waveform 326 in each of the plurality of positive intervals [Pi, Qi]. Therefore, the local maximum point extraction unit 43 extracts the maximum point of each positive section [Pi, Qi] as the position of the local maximum point. In the example of FIG. 26, five local maximum points from R1 to R5 are extracted.

次に、図17のステップS554で、ステップS553で抽出したサンプリング波形326の極大点R1〜R5の位置に相当する低周波波形323上での極大点の位置を決定する。実施の形態1においては、サンプリング波形326の極大点は、低周波波形323上でのある区間データ数DSnum(=50点)区間の最大点に相当する。したがって、サンプリング波形326の極大点が低周波波形323上での極大点となる。以上で、図17に示す低周波波形323の極大点を抽出するステップが終了する。   Next, in step S554 in FIG. 17, the position of the local maximum point on the low frequency waveform 323 corresponding to the positions of the local maximum points R1 to R5 of the sampling waveform 326 extracted in step S553 is determined. In the first embodiment, the maximum point of the sampling waveform 326 corresponds to the maximum point of a section data number DSnum (= 50 points) on the low frequency waveform 323. Therefore, the maximum point of the sampling waveform 326 becomes the maximum point on the low frequency waveform 323. Thus, the step of extracting the maximum point of the low frequency waveform 323 shown in FIG. 17 is completed.

[実施の形態2]
実施の形態1の検査装置11は、トラッキング誤差信号として差動プッシュプル信号DPPのみを用いて図1の回折格子104の配置の良否を判定していた。実施の形態2の場合には、検査装置11は、トラッキング誤差信号として差動プッシュプル信号DPPに加えてメインプッシュプル信号MPPをさらに用いて、回折格子104の配置の良否の判定を行なう。これによって光ピックアップの良否判定の精度をさらに高めることができる。
[Embodiment 2]
The inspection apparatus 11 according to the first embodiment determines the quality of the arrangement of the diffraction grating 104 in FIG. 1 using only the differential push-pull signal DPP as a tracking error signal. In the case of the second embodiment, the inspection apparatus 11 further determines the quality of the arrangement of the diffraction grating 104 by further using the main push-pull signal MPP in addition to the differential push-pull signal DPP as a tracking error signal. Thereby, the accuracy of the optical pickup quality determination can be further increased.

ここで、メインプッシュプル信号MPPの時系列データの信号解析手順は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの解析手順とほぼ同じである。したがって、図6の検査装置11の構成および図7のフローチャートは、実施の形態1の場合と実施の形態2の場合とでほぼ共通する。以下では実施の形態1の場合と異なる部分について主に説明し、共通する部分については説明を繰返さない。   Here, the time series data analysis procedure of the main push-pull signal MPP is substantially the same as the time series data analysis procedure of the differential push-pull signal DPP. Therefore, the configuration of the inspection apparatus 11 in FIG. 6 and the flowchart in FIG. 7 are almost the same in the case of the first embodiment and the case of the second embodiment. In the following, different parts from the case of the first embodiment will be mainly described, and description of common parts will not be repeated.

まず、実施の形態2の場合、図7のステップS503において、図6の記憶部23は、差動プッシュプル信号DPPに加えてメインプッシュプル信号MPPの時系列データも記憶する。   First, in the case of the second embodiment, in step S503 in FIG. 7, the storage unit 23 in FIG. 6 stores time-series data of the main push-pull signal MPP in addition to the differential push-pull signal DPP.

次に、実施の形態2の場合、図7のステップS504において、図6の端点設定部31は、さらに、メインプッシュプル信号MPPの時系列データについても、上下の各包絡線の端点を設定する。そして、包絡線生成部32は、さらにメインプッシュプル信号MPPの時系列データに対して、上下の各包絡線を生成する。   Next, in the case of the second embodiment, in step S504 in FIG. 7, the end point setting unit 31 in FIG. 6 further sets the end points of the upper and lower envelopes for the time series data of the main push-pull signal MPP. . Then, the envelope generator 32 further generates upper and lower envelopes for the time series data of the main push-pull signal MPP.

図27は、メインプッシュプル信号MPPの時系列データ328と生成された上下の包絡線329,330とを示す図である。具体的な包絡線329,330の生成方法は、図9〜図15を参照して説明した差動プッシュプル信号DPPの場合と同様であるので説明を繰返さない。   FIG. 27 is a diagram showing the time series data 328 of the main push-pull signal MPP and the upper and lower envelopes 329 and 330 generated. A specific method of generating envelopes 329 and 330 is the same as that of differential push-pull signal DPP described with reference to FIGS. 9 to 15, and therefore description thereof will not be repeated.

次に、実施の形態2の場合、図7のステップS505において、図6の波形演算部33は、さらに、ステップS504で生成したメインプッシュプル信号MPPの時系列データの上下の包絡線の平均である低周波波形を生成する。   Next, in the case of the second embodiment, in step S505 in FIG. 7, the waveform calculation unit 33 in FIG. 6 further calculates the average of the upper and lower envelopes of the time series data of the main push-pull signal MPP generated in step S504. Generate a low frequency waveform.

図28は、図27の上下の包絡線329,330から生成された低周波波形331を示す図である。メインプッシュプル信号MPPの場合には、上包絡線329と下包絡線330とが同相であるので、波形演算部33は、上包絡線329と下包絡線330との平均(または和)の波形を低周波波形331として生成する。なお、図28の場合には、上包絡線329の形状と下包絡線330の形状とは類似しているので、いずれか一方の波形を低周波波形とすることもできる。低周波波形331は、この発明の第2の波形に対応する。   FIG. 28 is a diagram showing a low-frequency waveform 331 generated from the upper and lower envelopes 329 and 330 in FIG. In the case of the main push-pull signal MPP, since the upper envelope 329 and the lower envelope 330 are in phase, the waveform calculator 33 calculates the average (or sum) waveform of the upper envelope 329 and the lower envelope 330. Is generated as a low-frequency waveform 331. In the case of FIG. 28, since the shape of the upper envelope 329 and the shape of the lower envelope 330 are similar, one of the waveforms can be a low frequency waveform. The low frequency waveform 331 corresponds to the second waveform of the present invention.

次に、実施の形態2の場合、図7のステップS506において、図6の極値算出部40は、さらに、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331についても極小点を算出する。具体的な極小点の算出方法は、図17〜図21を参照して説明した差動プッシュプル信号DPPの場合と同様であるので説明を繰返さない。   Next, in the case of the second embodiment, in step S506 in FIG. 7, the extreme value calculation unit 40 in FIG. 6 further calculates a minimum point for the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP. A specific method for calculating the minimum point is the same as that of differential push-pull signal DPP described with reference to FIGS. 17 to 21, and therefore description thereof will not be repeated.

次に、図7のステップS507の判定処理ついて説明する。実施の形態2の場合には、図22のステップS651での低周波波形323の極値の分類方法が実施の形態1の場合と異なる。図22のステップS652,S653は、実施の形態1の場合と同じであるので説明を繰返さない。   Next, the determination process in step S507 in FIG. 7 will be described. In the second embodiment, the method of classifying the extreme values of the low-frequency waveform 323 in step S651 in FIG. 22 is different from that in the first embodiment. Steps S652 and S653 in FIG. 22 are the same as those in the first embodiment, and therefore description thereof will not be repeated.

図29は、実施の形態2における低周波波形323の複数の極小点の分類方法を説明するための図である。図29では、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの上下の包絡線の差である低周波波形323と、メインプッシュプル信号MPPの時系列データの上下の包絡線の平均である低周波波形331とが示される。低周波波形323,331は、共通の時間軸(X軸)に対して表示されている。また、図29に示すように、図7のステップS506において、低周波波形323に対して極小点Va1〜Va5が抽出され、低周波波形331に対して極小点Vb1,Vb2が抽出されている。   FIG. 29 is a diagram for explaining a method of classifying a plurality of minimum points of the low-frequency waveform 323 according to the second embodiment. In FIG. 29, the low frequency waveform 323 that is the difference between the upper and lower envelopes of the time series data of the differential push-pull signal DPP and the low frequency waveform that is the average of the upper and lower envelopes of the time series data of the main push-pull signal MPP. 331 is shown. The low frequency waveforms 323 and 331 are displayed with respect to a common time axis (X axis). Also, as shown in FIG. 29, in step S506 of FIG. 7, minimum points Va1 to Va5 are extracted from the low frequency waveform 323, and minimum points Vb1 and Vb2 are extracted from the low frequency waveform 331.

実施の形態2の場合、図22のステップS651において、図6の極値分類部51は、低周波波形331の極小点Vb1,Vb2とほぼ同じ時刻に得られた低周波波形323の極小点Va2,Va4を第1のグループに分類し、残余の極小点Va1,Va3,Va5を第2のグループに分類する。この効果は次のとおりである。   In the case of the second embodiment, in step S651 of FIG. 22, the extreme value classification unit 51 of FIG. 6 performs the minimal point Va2 of the low-frequency waveform 323 obtained at substantially the same time as the minimal points Vb1 and Vb2 of the low-frequency waveform 331. , Va4 are classified into the first group, and the remaining minimum points Va1, Va3, Va5 are classified into the second group. This effect is as follows.

既に説明したように、図1の対物レンズ107が光記録媒体106の内周側および外周側にそれぞれシフトした場合に対応して低周波波形323の極小点が得られる。したがって、実施の形態1の場合には、複数の極小点を時間順に交互に第1のグループと第2のグループに分類していた。   As already described, the minimum point of the low frequency waveform 323 is obtained corresponding to the case where the objective lens 107 of FIG. 1 is shifted to the inner and outer peripheral sides of the optical recording medium 106, respectively. Therefore, in the case of the first embodiment, the plurality of minimum points are classified into the first group and the second group alternately in time order.

しかしながら、回折格子の調整が極めて不十分な場合や外乱の影響を受けた場合には、図1の対物レンズ107の内周側および外周側のシフトに対応しない偽のピークを検出することがある。この場合に実施の形態1のように、複数の極小点を時間順に交互に第1のグループと第2のグループとに分類する方法を用いると、対物レンズ107のシフトに対応して極小点を正確に分類できない。   However, if the adjustment of the diffraction grating is extremely insufficient or affected by a disturbance, a false peak that does not correspond to the shift of the objective lens 107 in FIG. . In this case, as in the first embodiment, if a method of alternately classifying a plurality of local minimum points into the first group and the second group in time order is used, the local minimum points corresponding to the shift of the objective lens 107 are obtained. Cannot be classified correctly.

そこで、実施の形態2では、図6の極値分類部51は、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331の極小点Vb1,Vb2を利用して、差動プッシュプル信号DPPに基づく低周波波形323の極小点Va1〜Va5を、極小点Vb1,Vb2に対応する第1のグループと残余の第2のグループとに分類する。これによって、回折格子の107の配置の良否判定を実施の形態1の場合よりも精度よく行なうことができる。   Therefore, in the second embodiment, the extreme value classification unit 51 in FIG. 6 uses the minimum points Vb1 and Vb2 of the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP, and uses the low-frequency based on the differential push-pull signal DPP. The local minimum points Va1 to Va5 of the waveform 323 are classified into a first group corresponding to the local minimum points Vb1 and Vb2 and a remaining second group. Thereby, the quality determination of the arrangement of the diffraction grating 107 can be performed with higher accuracy than in the first embodiment.

なお、上記の場合と異なり、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331の複数の極大点を利用して、差動プッシュプル信号DPPに基づく低周波波形323の極小点Va1〜Va5を第1、第2のグループに分類することも可能である。   Unlike the above case, the local minimum points Va1 to Va5 of the low-frequency waveform 323 based on the differential push-pull signal DPP are set to the first using a plurality of maximum points of the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP. It is also possible to classify into the second group.

[実施の形態3]
実施の形態2では、図6の極値分類部51は、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331の極小点または極大点のいずれかを用いて、差動プッシュプル信号DPPの極小点を分類していた。実施の形態3では、極値分類部51は、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331の極小点および極大点の両方を用いて、差動プッシュプル信号DPPの低周波波形323の極小点を分類する。
[Embodiment 3]
In the second embodiment, the extreme value classification unit 51 of FIG. 6 uses the minimum point or the maximum point of the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP to determine the minimum point of the differential push-pull signal DPP. It was classified. In the third embodiment, the extreme value classification unit 51 uses both the minimum point and the maximum point of the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP, and uses the minimum point of the low-frequency waveform 323 of the differential push-pull signal DPP. Classify.

具体的に、実施の形態3の場合、図7のステップS506において、図6の極値算出部40は、メインプッシュプル信号MPPに基づく低周波波形331に対して、極小点および極大点の両方を算出する。具体的な極小点の算出方法は図17〜図21での説明と同様であり、極大点の算出方法は図25、図26での説明と同様であるので、詳細な説明を繰返さない。   Specifically, in the case of the third embodiment, in step S506 in FIG. 7, the extreme value calculation unit 40 in FIG. 6 has both a minimum point and a maximum point with respect to the low-frequency waveform 331 based on the main push-pull signal MPP. Is calculated. A specific method for calculating a minimum point is the same as that described with reference to FIGS. 17 to 21, and a method for calculating a maximum point is the same as that described with reference to FIGS. 25 and 26, and thus detailed description will not be repeated.

次に、実施の形態3の場合の図7のステップS507における判定処理について説明する。   Next, the determination process in step S507 of FIG. 7 in the case of Embodiment 3 will be described.

図30は、実施の形態3における低周波波形323の複数の極小点の分類方法を説明するための図である。図30では、差動プッシュプル信号DPPの時系列データの上下包絡線の差である低周波波形323と、メインプッシュプル信号MPPの時系列データの上下の包絡線の平均である低周波波形331とが示される。ここで、低周波波形323,331は、共通の時間軸(X軸)に対して表示されている。また、図30に示すように、図7のステップS506において、低周波波形323に対して極小点Va1〜Va5が抽出され、低周波波形331に対して極大点Rb1〜Rb3および極小点Vb1,Vb2が抽出されている。   FIG. 30 is a diagram for explaining a method of classifying a plurality of minimum points of the low-frequency waveform 323 according to the third embodiment. In FIG. 30, a low frequency waveform 323 that is the difference between the upper and lower envelopes of the time series data of the differential push-pull signal DPP and a low frequency waveform 331 that is the average of the upper and lower envelopes of the time series data of the main push-pull signal MPP. Is shown. Here, the low frequency waveforms 323 and 331 are displayed with respect to a common time axis (X axis). Further, as shown in FIG. 30, in step S506 of FIG. 7, local minimum points Va1 to Va5 are extracted from the low frequency waveform 323, and local maximum points Rb1 to Rb3 and local minimum points Vb1 and Vb2 are extracted from the low frequency waveform 331. Has been extracted.

実施の形態3の場合、図22のステップS651において、図6の極値分類部51は、低周波波形331の極小点Vb1,Vb2とほぼ同じ時刻に得られた低周波波形323の極小点Va2,Va4を第1のグループに分類し、低周波波形331の極大点Rb1〜Rb3とほぼ同じ時刻に得られた低周波波形323の極小点Va1,Va3,Va5を第2のグループに分類する。   In the case of the third embodiment, in step S651 of FIG. 22, the extreme value classification unit 51 of FIG. 6 performs the local minimum point Va2 of the low frequency waveform 323 obtained at substantially the same time as the local minimum points Vb1 and Vb2 of the low frequency waveform 331. , Va4 are classified into the first group, and the minimum points Va1, Va3, Va5 of the low frequency waveform 323 obtained at substantially the same time as the maximum points Rb1 to Rb3 of the low frequency waveform 331 are classified into the second group.

この結果、実施の形態3の場合によれば、回折格子の調整が極めて不十分な場合や外乱の影響を受けた場合などに得られた偽の極小点は、第1、第2のグループのいずれにも分類されない。したがって、実施の形態3のよる光ピックアップの検査装置11は、実施の形態2の場合よりもさらに精度よく図1の回折格子104の配置の良否を判定することができる。なお、実施の形態3のその他の点については、実施の形態2の場合と同様であるので説明を繰返さない。   As a result, according to the third embodiment, the false minimum points obtained when the adjustment of the diffraction grating is extremely insufficient or when the influence of the disturbance is exerted are the first and second groups. Not classified. Therefore, the optical pickup inspection apparatus 11 according to the third embodiment can determine the quality of the arrangement of the diffraction grating 104 in FIG. 1 with higher accuracy than in the second embodiment. Since other points of the third embodiment are the same as those of the second embodiment, description thereof will not be repeated.

[実施の形態4]
実施の形態4による光ピックアップの検査装置11は、図6の極小点抽出部43の動作が実施の形態1の場合と異なる。具体的には、実施の形態1の場合には、図17のステップS553で、極小点抽出部43は、各負区間[Si,Ti]の最小点をサンプリング波形324の極小点の位置として抽出していた(図20に関する説明参照)。これに対して、実施の形態4では、極小点抽出部43は、各負区間[Si,Ti]におけるサンプリング波形324の重心位置を抽出する。そして、図17のステップS554で、極小点抽出部43は、抽出された重心位置に対応する低周波波形323上の点を、低周波波形323の極小点として出力する。
[Embodiment 4]
The optical pickup inspection apparatus 11 according to the fourth embodiment is different from the first embodiment in the operation of the minimum point extraction unit 43 shown in FIG. Specifically, in the case of the first embodiment, in step S553 in FIG. 17, the local minimum point extraction unit 43 extracts the minimum point of each negative interval [Si, Ti] as the position of the local minimum point of the sampling waveform 324. (See description regarding FIG. 20). On the other hand, in Embodiment 4, the local minimum point extraction unit 43 extracts the barycentric position of the sampling waveform 324 in each negative section [Si, Ti]. Then, in step S554 in FIG. 17, the minimum point extraction unit 43 outputs a point on the low frequency waveform 323 corresponding to the extracted barycentric position as a minimum point of the low frequency waveform 323.

図31は、図17のステップS553の処理手順を説明するための図である。図31(A)は実施の形態1の場合を比較例として示す図であり、図31(B)は実施の形態4の場合の説明図である。図31(A),図31(B)では、サンプリング波形が平滑化波形を下回る負区間[S1,T1]〜[S7,T7]が既に抽出されているとする。   FIG. 31 is a diagram for explaining the processing procedure of step S553 of FIG. FIG. 31A is a diagram illustrating the case of the first embodiment as a comparative example, and FIG. 31B is an explanatory diagram of the case of the fourth embodiment. 31A and 31B, it is assumed that negative intervals [S1, T1] to [S7, T7] in which the sampling waveform is lower than the smoothed waveform have already been extracted.

図31(A)に示すように、実施の形態1の場合、負区間[S1,T1]〜[S7,T7]のそれぞれの最小点V1〜V7がサンプリング波形の極小点として抽出される。このとき、負区間[S3,T3]のように極小点を複数個含む場合に、負区間[S3,T3]の最小点V3が極小点として抽出されると、極小点の位置をX軸方向にずれた位置として評価してしまう。   As shown in FIG. 31A, in the case of the first embodiment, the minimum points V1 to V7 in the negative intervals [S1, T1] to [S7, T7] are extracted as the minimum points of the sampling waveform. At this time, when the minimum point V3 of the negative interval [S3, T3] is extracted as the minimum point when a plurality of minimum points are included as in the negative interval [S3, T3], the position of the minimum point is determined in the X-axis direction. It will be evaluated as a position deviated.

そこで、負区間[S3,T3]に対して重心位置を算出し、重心位置に対応するサンプリング波形上の点V3_newを極小点として出力することで、X軸方向へのずれを軽減することができる。これによって、最終的な光ピックアップ装置の良否の判定精度を向上させることができる。具体的な重心位置の計算方法は以下のとおりである。   Therefore, by calculating the barycentric position for the negative interval [S3, T3] and outputting the point V3_new on the sampling waveform corresponding to the barycentric position as a minimum point, the shift in the X-axis direction can be reduced. . As a result, it is possible to improve the quality accuracy of the final optical pickup device. A specific method for calculating the position of the center of gravity is as follows.

図31(B)において、負区間[Si,Ti]の両端の点を通る直線SiTiを仮定する。また、点Siを出発して点Tiに至るサンプリング波形上のデータ点Wiの座標を(Xw,Yw)とし、点Siの座標を(Xs,Ys)とし、点Tiの座標を(Xt,Yt)とする。さらに、各データ点Wiを通りY軸に平行な直線と直線SiTiとの交点の座標を(Xc,Yc)とする。   In FIG. 31 (B), a straight line SiTi passing through points on both ends of the negative section [Si, Ti] is assumed. The coordinates of the data point Wi on the sampling waveform starting from the point Si and reaching the point Ti are (Xw, Yw), the coordinates of the point Si are (Xs, Ys), and the coordinates of the point Ti are (Xt, Yt). ). Further, the coordinates of the intersection of a straight line passing through each data point Wi and parallel to the Y axis and the straight line SiTi are (Xc, Yc).

このとき、各データ点Wiに対して|Xw−Xs|×|Yw−Yc|を計算し、それらの総和Sum1を求める。さらに、各データ点Wiに対して|Yw−Yc|を計算し、それらの総和Sum2を求める。このとき、重心位置のX座標は、Xs+Sum1/Sum2で与えられる。   At this time, | Xw−Xs | × | Yw−Yc | is calculated for each data point Wi, and a sum Sum1 thereof is obtained. Further, | Yw−Yc | is calculated for each data point Wi, and a sum Sum2 thereof is obtained. At this time, the X coordinate of the center of gravity is given by Xs + Sum1 / Sum2.

実施の形態4のその他の点については、実施の形態1の場合と同様であるので説明を繰返さない。なお、低周波波形の定義の仕方によっては、たとえば、低周波波形の符号を上記の場合と反転させた場合には、サンプリング波形324の各正区間における重心位置を計算する必要がある。この場合、極大点抽出部43は、各正区間の重心位置に対応する低周波波形上の点を極大点とする。   Since other points of the fourth embodiment are the same as those of the first embodiment, description thereof will not be repeated. Depending on how the low-frequency waveform is defined, for example, when the sign of the low-frequency waveform is inverted from the above case, it is necessary to calculate the barycentric position in each positive section of the sampling waveform 324. In this case, the local maximum point extraction unit 43 sets a point on the low-frequency waveform corresponding to the barycentric position of each positive section as the local maximum point.

[実施の形態5]
図32は、この発明の実施の形態5による光ピックアップの自動調整装置12の概略的な構成を示すブロック図である。
[Embodiment 5]
FIG. 32 is a block diagram showing a schematic configuration of an optical pickup automatic adjustment device 12 according to Embodiment 5 of the present invention.

図32を参照して、光ピックアップ101Aは、回折格子104を支持するとともに回折格子104の位置および姿勢を調整可能な調整機構113をさらに含む点で、図1の光ピックアップ101と異なる。調整機構113は、コンピュータ201Aからの指令によって、x軸、y軸、z軸方向の回折格子104の位置と各軸回りの角度とを調整する。光ピックアップ101Aのその他の点は、図1の光ピックアップ101と同様であるので、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して説明を繰返さない。   Referring to FIG. 32, optical pickup 101A differs from optical pickup 101 in FIG. 1 in that it further includes an adjustment mechanism 113 that supports diffraction grating 104 and can adjust the position and orientation of diffraction grating 104. The adjustment mechanism 113 adjusts the position of the diffraction grating 104 in the x-axis, y-axis, and z-axis directions and the angle around each axis according to a command from the computer 201A. Since other points of optical pickup 101A are the same as those of optical pickup 101 in FIG. 1, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

図32の自動調整装置12は、誤差信号生成部221と、コンピュータ201Aと、調整結果を表示するディスプレイ装置207とを含む。誤差信号生成部221およびディスプレイ装置207の構成は実施の形態1の場合と同様であるので説明を繰返さない。   The automatic adjustment device 12 of FIG. 32 includes an error signal generation unit 221, a computer 201A, and a display device 207 that displays an adjustment result. Since configurations of error signal generation unit 221 and display device 207 are the same as those in the first embodiment, description thereof will not be repeated.

図33は、図32の自動調整装置12を構成するコンピュータ201Aのソフトウェア構成を示すブロック図である。コンピュータ201Aは、回折格子104の調整機構113を制御する回折格子調整部24をさらに含む点で、図6のコンピュータ201のソフトウェア構成と異なる。回折格子調整部24は、判定部50を構成する比較部52による比較結果に応じて回折格子104のレーザ光源102に対する配置を調整する。コンピュータ201Aのその他のソフトウェア構成は、図6のコンピュータ201の場合と同様であるので、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して説明を繰返さない。   FIG. 33 is a block diagram showing a software configuration of a computer 201A that constitutes the automatic adjustment apparatus 12 of FIG. The computer 201A is different from the software configuration of the computer 201 in FIG. 6 in that the computer 201A further includes a diffraction grating adjustment unit 24 that controls the adjustment mechanism 113 of the diffraction grating 104. The diffraction grating adjustment unit 24 adjusts the arrangement of the diffraction grating 104 with respect to the laser light source 102 according to the comparison result by the comparison unit 52 configuring the determination unit 50. Since the other software configuration of computer 201A is the same as that of computer 201 in FIG. 6, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

図34は、光ピックアップの自動調整装置12による調整手順を示すフローチャートである。図34のフローチャートは、図7のステップS507の後にステップS508,S509をさらに含む点で図7のフローチャートと異なる。   FIG. 34 is a flowchart showing an adjustment procedure by the automatic adjustment device 12 of the optical pickup. The flowchart in FIG. 34 differs from the flowchart in FIG. 7 in that steps S508 and S509 are further included after step S507 in FIG.

図34を参照して、ステップS507の判定処理のステップは、実施の形態1の場合と同様である。具体的には、図33の極値分類部51は、極値算出部40によって算出された複数の極小点を第1および第2のグループに分類する。極値分類部51は、複数の極小点V1〜V5を時系列順に交互に第1、第2のグループに分類する。そして、図33の比較部52は、第1、第2のグループごとに極小点の値(極小値)の平均値を算出する。   Referring to FIG. 34, the determination processing step in step S507 is the same as that in the first embodiment. Specifically, the extreme value classification unit 51 in FIG. 33 classifies the plurality of local minimum points calculated by the extreme value calculation unit 40 into first and second groups. The extreme value classification unit 51 classifies the plurality of minimum points V1 to V5 alternately into the first and second groups in time series order. Then, the comparison unit 52 in FIG. 33 calculates the average value of the minimum point values (minimum values) for each of the first and second groups.

次に、図34のステップS508で、図33の比較部52は、各グループごとの平均値の比と1との差を求め、求めた差の絶対値がステップS501で入力した良否判定閾値Th(Th=0.05)以下の場合は回折格子の配置は良好と判定し(ステップS508でYES)、光ピックアップの自動調整装置12による調整手順が終了する。   Next, in step S508 in FIG. 34, the comparison unit 52 in FIG. 33 obtains the difference between the ratio of the average value for each group and 1, and the pass / fail judgment threshold Th that the absolute value of the obtained difference is input in step S501. If (Th = 0.05) or less, it is determined that the arrangement of the diffraction grating is good (YES in step S508), and the adjustment procedure by the optical pickup automatic adjustment device 12 is completed.

一方、図33の比較部52は、各グループごとの平均値の比と1との差の絶対値が良否判定閾値Thを超える場合には回折格子の配置は不良と判定して(ステップS508でNO)、ステップS509に進む。   On the other hand, the comparison unit 52 in FIG. 33 determines that the arrangement of the diffraction grating is defective when the absolute value of the difference between the ratio of the average value for each group and 1 exceeds the pass / fail judgment threshold Th (Step S508). NO), the process proceeds to step S509.

ステップS509で、図33の回折格子調整部24は、比較部52の判定結果に応じて調整機構113に回折格子104の位置および姿勢を変更させる。具体的には次のとおりである。   In step S509, the diffraction grating adjustment unit 24 of FIG. 33 causes the adjustment mechanism 113 to change the position and orientation of the diffraction grating 104 according to the determination result of the comparison unit 52. Specifically, it is as follows.

まず、回折格子調整部24は、x軸、y軸、z軸の各軸方向および各軸回りの角度について調整前の状態における良否判定結果(各グループごとの極値の平均値の比の値)を記憶装置203に記憶する。次に、回折格子調整部24は、各軸の正方向または右回り方向に回折格子104の位置または姿勢を変更する。そして、回折格子調整部24は、調整後の状態における良否判定結果(極値の平均値の比の値)を比較部52から受け、調整前の状態にくらべて目標値である1に近付いているか否かを判定する。目標値である1に近付いている場合には、良否判定結果と目標値との偏差が良否判定閾値Th以内となるまで、同一方向に調整を続ける。目標値である1からの偏差が大きくなった場合には、各軸の調整方向を逆方向に変更する。   First, the diffraction grating adjustment unit 24 determines whether the x-axis, y-axis, and z-axis directions and angles around each axis are good or bad in the state before adjustment (the ratio of the average value of extreme values for each group). ) Is stored in the storage device 203. Next, the diffraction grating adjustment unit 24 changes the position or orientation of the diffraction grating 104 in the positive direction or clockwise direction of each axis. Then, the diffraction grating adjustment unit 24 receives the pass / fail judgment result (value of the average value of the extreme values) in the adjusted state from the comparison unit 52, and approaches the target value of 1 as compared with the state before the adjustment. It is determined whether or not. When the target value is approaching 1, adjustment is continued in the same direction until the deviation between the pass / fail determination result and the target value is within the pass / fail determination threshold Th. When the deviation from 1 which is the target value becomes large, the adjustment direction of each axis is changed to the reverse direction.

図34のステップS502〜S509は、ステップS508で良否判定結果と目標値との偏差が良否判定閾値Th以内と判定される(ステップS508でYESとなる)まで繰返される。図34のその他のステップについては、実施の形態1の場合と同様であるので、同一または相当する部分については同一の参照符号を付して説明を繰返さない。   Steps S502 to S509 in FIG. 34 are repeated until it is determined in step S508 that the deviation between the pass / fail determination result and the target value is within the pass / fail determination threshold Th (YES in step S508). Since the other steps in FIG. 34 are the same as those in the first embodiment, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

図34の光ピックアップの自動調整装置12によれば、差動プッシュプル信号DPPの時系列データから抽出した低周波波形の極小値のばらつきを評価することによって、光ピックアップの調整を精度良く行なうことができる。この結果、光ピックアップの調整結果のばらつきを抑制でき、調整時間が短縮され、人件費などを削減することができる。   According to the optical pickup automatic adjusting device 12 of FIG. 34, the optical pickup can be adjusted with high accuracy by evaluating the variation in the minimum value of the low-frequency waveform extracted from the time series data of the differential push-pull signal DPP. Can do. As a result, variations in the adjustment results of the optical pickup can be suppressed, adjustment time can be shortened, and labor costs can be reduced.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものでないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

11 光ピックアップの検査装置、12 光ピックアップの自動調整装置、21 モータ駆動部、22 対物レンズ駆動部、23 記憶部、24 回折格子調整部、30 波形抽出部、31 端点設定部、32 包絡線生成部、33 波形演算部、40 極値算出部、41 サンプリング波形生成部、42 平滑化部、43 極小点(極大点)抽出部、50 判定部、51 極値分類部、52 比較部、101,101A 光ピックアップ、102 レーザ光源(半導体レーザ)、104 回折格子、106 光記録媒体、107 対物レンズ、111 アクチュエータ、112 スピンドルモータ、121 メインビーム、122,123 サブビーム、131 4分割光検出器、132,133 2分割光検出器、201,201A コンピュータ、202 AD変換部、221 誤差信号生成部、320,328 時系列データ、321,329 上包絡線、322,330 下包絡線、323,331 低周波波形、324,326 サンプリング波形、325,327 平滑化波形、[Pi,Qi] 正区間、[Si,Ti] 負区間、DPP 差動プッシュプル信号、MPP メインプッシュプル信号、SPP,SPP1,SPP2 サブプッシュプル信号。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Optical pick-up inspection apparatus, 12 Optical pick-up automatic adjustment apparatus, 21 Motor drive part, 22 Objective lens drive part, 23 Memory | storage part, 24 Diffraction grating adjustment part, 30 Waveform extraction part, 31 End point setting part, 32 Envelope generation Unit, 33 waveform calculation unit, 40 extreme value calculation unit, 41 sampling waveform generation unit, 42 smoothing unit, 43 minimum point (maximum point) extraction unit, 50 determination unit, 51 extreme value classification unit, 52 comparison unit, 101, 101A Optical pickup, 102 Laser light source (semiconductor laser), 104 Diffraction grating, 106 Optical recording medium, 107 Objective lens, 111 Actuator, 112 Spindle motor, 121 Main beam, 122, 123 Sub beam, 131 Four-segment photodetector, 132, 133 Two-part photodetector, 201, 201A Computer, 202 D conversion unit, 221 Error signal generation unit, 320, 328 Time series data, 321, 329 Upper envelope, 322, 330 Lower envelope, 323, 331 Low frequency waveform, 324, 326 Sampling waveform, 325, 327 Smoothing waveform , [Pi, Qi] positive interval, [Si, Ti] negative interval, DPP differential push-pull signal, MPP main push-pull signal, SPP, SPP1, SPP2 sub-push-pull signal.

Claims (17)

レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する光分岐素子と、
前記複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させるアクチュエータと、
前記複数の光ビームの各々が前記光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する複数の光検出器とを含む光ピックアップを検査するための光ピックアップの検査装置であって、
前記複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成する誤差信号生成部と、
前記対物レンズが繰返し変位している間に得られた前記差動プッシュプル信号をデジタル変換するAD変換部と、
前記差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出する波形抽出部とを備え、
前記第1の波形は、前記第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記第1の波形の複数の極大値または極小値を算出する極値算出部と、
前記極値算出部によって算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、前記レーザ光源に対する前記光分岐素子の配置の良否を判定する判定部とをさらに備える、光ピックアップの検査装置。
A laser light source;
A light branching element that branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams;
An objective lens that focuses each of the plurality of light beams on an optical recording medium;
An actuator for repeatedly displacing the objective lens in a direction crossing a track of the optical recording medium;
An inspection apparatus for an optical pickup for inspecting an optical pickup including a plurality of photodetectors that respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium,
An error signal generation unit that generates a differential push-pull signal based on outputs of the plurality of photodetectors as a tracking error signal;
An AD converter for digitally converting the differential push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced;
A storage unit for storing first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal;
A waveform extraction unit that extracts a first waveform based on the first time-series data stored in the storage unit;
The first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
An extreme value calculation unit for calculating a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform;
The quality of the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is determined based on whether or not the variation of a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit is within a predetermined range. An inspection apparatus for an optical pickup, further comprising a determination unit that performs the inspection.
前記波形抽出部は、
前記第1の時系列データの上下の包絡線の各々について、左右の端点の少なくとも一方を設定する端点設定部と、
前記左右の端点の一方から開始して時間軸の正方向または負方向に、前記第1の時系列データから所定の条件を満たすデータ点を順次抽出することによって上下の包絡線の各々を生成する包絡線生成部とを含み、
前記所定の条件は、隣接するデータ点を通る直線の傾きが所定の範囲内になることである、請求項1に記載の光ピックアップの検査装置。
The waveform extraction unit
For each of the upper and lower envelopes of the first time series data, an endpoint setting unit that sets at least one of the left and right endpoints;
Starting from one of the left and right end points, each of the upper and lower envelopes is generated by sequentially extracting data points that satisfy a predetermined condition from the first time-series data in the positive or negative direction of the time axis. An envelope generator,
The optical pickup inspection apparatus according to claim 1, wherein the predetermined condition is that a slope of a straight line passing through adjacent data points falls within a predetermined range.
前記包絡線生成部は、前記第1の時系列データから時間軸の正方向に抽出した複数の第1のデータ点と、時間軸の負方向に抽出した複数の第2のデータ点とを平均化することによって前記上下の包絡線の各々を生成する、請求項2に記載の光ピックアップの検査装置。   The envelope generation unit averages a plurality of first data points extracted in the positive direction of the time axis from the first time series data and a plurality of second data points extracted in the negative direction of the time axis. The optical pickup inspection device according to claim 2, wherein each of the upper and lower envelopes is generated by converting into an upper and lower envelope. 前記包絡線生成部は、前記第1の時系列データの各データ点のうち、所定の閾値を超えて上下の包絡線を逸脱しているデータ点をノイズとして前記第1の時系列データから除去し、ノイズが除去された前記第1の時系列データを用いて上下の包絡線の各々を再度生成する、請求項2または3に記載の光ピックアップの検査装置。   The envelope generation unit removes, from the first time-series data, data points that exceed a predetermined threshold and deviate from the upper and lower envelopes among the data points of the first time-series data. The optical pickup inspection device according to claim 2, wherein each of the upper and lower envelopes is generated again using the first time-series data from which noise has been removed. 前記端点設定部は、前記左右の端点の各々を設定するときに、前記第1の時系列データの最初または最後から数えて所定数のデータ点を大きさの順に並べたとき、所定番目のデータ点の値を端点の値に設定する、請求項2〜4のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。   When the end point setting unit sets each of the left and right end points, when the predetermined number of data points are arranged in order of size from the beginning or end of the first time-series data, the predetermined point data The optical pickup inspection apparatus according to claim 2, wherein a point value is set to an end point value. 前記極値算出部は、前記第1の波形の複数の極小値を算出するときに、
前記第1の波形を複数の区間に分割し、前記複数の区間の各々の最小点からなるサンプリング波形を生成するサンプリング波形生成部と、
前記サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する平滑化部と、
前記サンプリング波形から前記平滑化波形を減じた値が負となる複数の負区間を抽出し、前記複数の負区間の各々における前記サンプリング波形の最小点を前記第1の波形の極小点として抽出する極小点抽出部とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
When the extreme value calculation unit calculates a plurality of minimum values of the first waveform,
A sampling waveform generation unit that divides the first waveform into a plurality of sections and generates a sampling waveform including the minimum points of the plurality of sections;
A smoothing unit that generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform;
A plurality of negative intervals in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is negative are extracted, and a minimum point of the sampling waveform in each of the plurality of negative intervals is extracted as a minimum point of the first waveform. The optical pickup inspection device according to claim 1, further comprising a minimum point extraction unit.
前記極値算出部は、前記第1の波形の複数の極大値を算出するときに、
前記第1の波形を複数の区間に分割し、前記複数の区間の各々の最大点からなるサンプリング波形を生成するサンプリング波形生成部と、
前記サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する平滑化部と、
前記サンプリング波形から前記平滑化波形を減じた値が正となる複数の正区間を抽出し、前記複数の正区間の各々における前記サンプリング波形の最大点を前記第1の波形の極大点として抽出する極大点抽出部とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
When the extreme value calculation unit calculates a plurality of maximum values of the first waveform,
A sampling waveform generating unit that divides the first waveform into a plurality of sections and generates a sampling waveform composed of the maximum points of the plurality of sections;
A smoothing unit that generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform;
A plurality of positive intervals in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is positive are extracted, and a maximum point of the sampling waveform in each of the plurality of positive intervals is extracted as a maximum point of the first waveform. The optical pickup inspection apparatus according to claim 1, further comprising a local maximum point extraction unit.
前記極値算出部は、前記第1の波形の複数の極小値を算出するときに、
前記第1の波形を複数の区間に分割し、前記複数の区間の各々の最小点からなるサンプリング波形を生成するサンプリング波形生成部と、
前記サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する平滑化部と、
前記サンプリング波形から前記平滑化波形を減じた値が負となる複数の負区間を抽出し、前記複数の負区間の各々における前記サンプリング波形の重心位置に対応する前記第1の波形上の点を、前記第1の波形の極小点として抽出する極小点抽出部とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
When the extreme value calculation unit calculates a plurality of minimum values of the first waveform,
A sampling waveform generation unit that divides the first waveform into a plurality of sections and generates a sampling waveform including the minimum points of the plurality of sections;
A smoothing unit that generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform;
A plurality of negative intervals in which the value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is negative are extracted, and points on the first waveform corresponding to the centroid position of the sampling waveform in each of the plurality of negative intervals are determined. An inspection apparatus for an optical pickup according to claim 1, further comprising: a minimum point extraction unit that extracts a minimum point of the first waveform.
前記極値算出部は、前記第1の波形の複数の極大値を算出するときに、
前記第1の波形を複数の区間に分割し、前記複数の区間の各々の最大点からなるサンプリング波形を生成するサンプリング波形生成部と、
前記サンプリング波形が移動平均された平滑化波形を生成する平滑化部と、
前記サンプリング波形から前記平滑化波形を減じた値が正となる複数の正区間を抽出し、前記複数の正区間の各々における前記サンプリング波形の重心位置に対応する前記第1の波形上の点を、前記第1の波形の極大点として抽出する極大点抽出部とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
When the extreme value calculation unit calculates a plurality of maximum values of the first waveform,
A sampling waveform generating unit that divides the first waveform into a plurality of sections and generates a sampling waveform composed of the maximum points of the plurality of sections;
A smoothing unit that generates a smoothed waveform obtained by moving and averaging the sampling waveform;
A plurality of positive intervals in which a value obtained by subtracting the smoothed waveform from the sampling waveform is positive are extracted, and points on the first waveform corresponding to the centroid position of the sampling waveform in each of the plurality of positive intervals are determined. The inspection apparatus for an optical pickup according to claim 1, further comprising: a maximum point extraction unit that extracts the maximum point of the first waveform.
前記判定部は、
前記極値算出部によって算出された複数の極大値または極小値を第1および第2のグループに分類する極値分類部と、
前記第1のグループに属する複数の極大値または極小値の平均値と前記第2のグループに属する複数の極大値または極小値の平均値とを比較することによって、前記レーザ光源に対する前記光分岐素子の配置の良否を判定する比較部とを含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
The determination unit
An extreme value classification unit that classifies a plurality of local maximum values or local minimum values calculated by the extreme value calculation unit into first and second groups;
By comparing an average value of a plurality of local maximum values or local minimum values belonging to the first group and an average value of a plurality of local maximum values or local minimum values belonging to the second group, the optical branching element for the laser light source The optical pickup inspection apparatus according to claim 1, further comprising a comparison unit that determines whether the arrangement of the optical pickup is good or bad.
前記極値分類部は、前記極値算出部によって算出された複数の極大値または極小値を、前記第1の時系列データの時間順に交互に第1および第2のグループに分類する、請求項10に記載の光ピックアップの検査装置。   The extreme value classification unit classifies a plurality of local maximum values or local minimum values calculated by the extreme value calculation unit into first and second groups alternately in the time order of the first time-series data. 10. The optical pickup inspection apparatus according to 10. 前記誤差信号生成部は、前記複数の光検出器のうち前記メインビームの反射光を検出する光検出器の出力に基づくメインプッシュプル信号をさらに生成し、
前記AD変換部は、前記対物レンズが繰返し変位している間に得られた前記メインプッシュプル信号をさらにデジタル変換し、
前記記憶部は、前記メインプッシュプル信号がデジタル変換された第2の時系列データをさらに記憶し、
前記波形抽出部は、前記記憶部に記憶された前記第2の時系列データに基づいて第2の波形をさらに抽出し、
前記第2の波形は、前記第2の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記極値算出部は、前記第2の波形の複数の極大値または極小値をさらに算出し、
前記極値分類部は、前記極値算出部によって算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のうち、前記極値算出部によって算出された前記第2の波形の極大値または極小値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を前記第1のグループに分類し、残余の極大値または極小値を第2のグループに分類する、請求項10に記載の光ピックアップの検査装置。
The error signal generation unit further generates a main push-pull signal based on an output of a photodetector that detects reflected light of the main beam among the plurality of photodetectors,
The AD converter further digitally converts the main push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced,
The storage unit further stores second time-series data obtained by digitally converting the main push-pull signal,
The waveform extraction unit further extracts a second waveform based on the second time series data stored in the storage unit,
The second waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the second time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
The extreme value calculation unit further calculates a plurality of maximum values or minimum values of the second waveform,
The extreme value classification unit includes a maximum value of the second waveform calculated by the extreme value calculation unit or a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit. The local maximum value or local minimum value obtained at approximately the same time as the time at which the local minimum value is given is classified into the first group, and the remaining local maximum value or local minimum value is classified into the second group. Optical pickup inspection device.
前記誤差信号生成部は、前記複数の光検出器のうち前記メインビームの反射光を検出する光検出器の出力に基づいてメインプッシュプル信号をさらに生成し、
前記AD変換部は、前記対物レンズが繰返し変位している間に得られた前記メインプッシュプル信号をさらにデジタル変換し、
前記記憶部は、前記メインプッシュプル信号がデジタル変換された第2の時系列データをさらに記憶し、
前記波形抽出部は、前記記憶部に記憶された前記第2の時系列データに基づいて第2の波形をさらに抽出し、
前記第2の波形は、前記第2の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記極値算出部は、前記第2の波形の複数の極大値および極小値をさらに算出し、
前記極値分類部は、前記極値算出部によって算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のうち、前記第2の波形の極小値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を前記第1のグループに分類し、前記第2の波形の極大値を与える時刻とほぼ同時刻に得られた極大値または極小値を前記第2のグループに分類する、請求項10に記載の光ピックアップの検査装置。
The error signal generation unit further generates a main push-pull signal based on an output of a photodetector that detects reflected light of the main beam among the plurality of photodetectors,
The AD converter further digitally converts the main push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced,
The storage unit further stores second time-series data obtained by digitally converting the main push-pull signal,
The waveform extraction unit further extracts a second waveform based on the second time series data stored in the storage unit,
The second waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the second time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
The extreme value calculation unit further calculates a plurality of maximum values and minimum values of the second waveform,
The extreme value classifying unit is obtained at approximately the same time as the time when the minimum value of the second waveform is given among the plurality of local maximum values or local minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculating unit. Classifying the local maximum value or local minimum value into the first group, and classifying the local maximum value or local minimum value obtained at approximately the same time as the time of giving the local maximum value of the second waveform into the second group; The optical pickup inspection apparatus according to claim 10.
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する光分岐素子と、
前記複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させるアクチュエータと、
前記複数の光ビームの各々が前記光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する複数の光検出器とを含む光ピックアップを検査するための光ピックアップの検査方法であって、
前記複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成するステップと、
前記対物レンズが繰返し変位している間に得られた前記差動プッシュプル信号をデジタル変換するステップと、
前記差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶するステップと、
前記記憶するステップで記憶された前記第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出するステップとを備え、
前記第1の波形は、前記第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記第1の波形の複数の極大値または極小値を算出するステップと、
前記算出するステップで算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、前記レーザ光源に対する前記光分岐素子の配置の良否を判定するステップとをさらに備える、光ピックアップの検査方法。
A laser light source;
A light branching element that branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams;
An objective lens that focuses each of the plurality of light beams on an optical recording medium;
An actuator for repeatedly displacing the objective lens in a direction crossing a track of the optical recording medium;
An inspection method of an optical pickup for inspecting an optical pickup including a plurality of photodetectors that respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams by the optical recording medium,
Generating a differential push-pull signal based on the outputs of the plurality of photodetectors as a tracking error signal;
Digitally converting the differential push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced;
Storing first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal;
Extracting a first waveform based on the first time-series data stored in the storing step,
The first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
Calculating a plurality of local maxima or minima of the first waveform;
The quality of the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is determined based on whether or not the variation of the plurality of local maximum values or local minimum values of the first waveform calculated in the calculating step is within a predetermined range. And a step of inspecting the optical pickup.
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する光分岐素子と、
前記複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させるアクチュエータと、
前記複数の光ビームの各々が前記光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する複数の光検出器とを含む光ピックアップを検査するためにコンピュータに、
前記対物レンズが繰返し変位している間に、前記複数の光検出器の出力に基づいて生成されてデジタル変換された差動プッシュプル信号を第1の時系列データとして記憶するステップと、
前記記憶するステップで記憶された前記第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出するステップとを実行させ、
前記第1の波形は、前記第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記第1の波形の複数の極大値または極小値を算出するステップと、
前記算出するするステップで算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、前記レーザ光源に対する前記光分岐素子の配置の良否を判定するステップとをさらに実行させるための検査プログラム。
A laser light source;
A light branching element that branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams;
An objective lens that focuses each of the plurality of light beams on an optical recording medium;
An actuator for repeatedly displacing the objective lens in a direction crossing a track of the optical recording medium;
A computer for inspecting an optical pickup including a plurality of photodetectors that respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflection of each of the plurality of light beams by the optical recording medium;
Storing the differential push-pull signal generated and digitally converted based on the outputs of the plurality of photodetectors as first time-series data while the objective lens is repeatedly displaced;
Performing a step of extracting a first waveform based on the first time-series data stored in the storing step;
The first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
Calculating a plurality of local maxima or minima of the first waveform;
The quality of the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is determined based on whether or not the variation of the plurality of local maximum values or local minimum values of the first waveform calculated in the calculating step is within a predetermined range. And an inspection program for further executing the step.
請求項15に記載の検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   A computer-readable recording medium on which the inspection program according to claim 15 is recorded. レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射した光をメインビームおよび少なくとも2つのサブビームを含む複数の光ビームに分岐する光分岐素子と、
前記複数の光ビームの各々を光記録媒体上に集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光記録媒体のトラックと交差する方向に繰返し変位させるアクチュエータと、
前記複数の光ビームの各々が前記光記録媒体で反射されて生じた複数の反射光をそれぞれ検出する複数の光検出器とを含む光ピックアップを自動調整するための光ピックアップの自動調整装置であって、
前記複数の光検出器の出力に基づいた差動プッシュプル信号をトラッキング誤差信号として生成する誤差信号生成部と、
前記対物レンズが繰返し変位している間に得られた前記差動プッシュプル信号をデジタル変換するAD変換部と、
前記差動プッシュプル信号がデジタル変換された第1の時系列データを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記第1の時系列データに基づいて第1の波形を抽出する波形抽出部とを備え、
前記第1の波形は、前記第1の時系列データの上下の包絡線のいずれか一方、上下の包絡線の和、または上下の包絡線の差に基づく波形であり、
前記第1の波形の複数の極大値または極小値を算出する極値算出部と、
前記極値算出部によって算出された前記第1の波形の複数の極大値または極小値のばらつきが所定の範囲内にあるか否かによって、前記レーザ光源に対する前記光分岐素子の配置の良否を判定する判定部と、
前記判定部の判定結果に応じて前記光分岐素子の前記レーザ光源に対する配置を調整する調整部とをさらに備える、光ピックアップの自動調整装置。
A laser light source;
A light branching element that branches light emitted from the laser light source into a plurality of light beams including a main beam and at least two sub beams;
An objective lens that focuses each of the plurality of light beams on an optical recording medium;
An actuator for repeatedly displacing the objective lens in a direction crossing a track of the optical recording medium;
An optical pickup automatic adjustment device for automatically adjusting an optical pickup including a plurality of photodetectors that respectively detect a plurality of reflected lights generated by reflecting each of the plurality of light beams on the optical recording medium. And
An error signal generation unit that generates a differential push-pull signal based on outputs of the plurality of photodetectors as a tracking error signal;
An AD converter for digitally converting the differential push-pull signal obtained while the objective lens is repeatedly displaced;
A storage unit for storing first time-series data obtained by digitally converting the differential push-pull signal;
A waveform extraction unit that extracts a first waveform based on the first time-series data stored in the storage unit;
The first waveform is a waveform based on one of the upper and lower envelopes of the first time-series data, the sum of the upper and lower envelopes, or the difference between the upper and lower envelopes,
An extreme value calculation unit for calculating a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform;
The quality of the arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source is determined based on whether or not the variation of a plurality of maximum values or minimum values of the first waveform calculated by the extreme value calculation unit is within a predetermined range. A determination unit to perform,
An automatic adjustment device for an optical pickup, further comprising: an adjustment unit that adjusts an arrangement of the optical branching element with respect to the laser light source in accordance with a determination result of the determination unit.
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