JP4948436B2 - Laser device frame package and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明はレーザ素子を搭載するフレームパッケージおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a frame package on which a laser element is mounted and a manufacturing method thereof.

半導体レーザ素子を光源とするレーザ装置は、CDROM、DVD、光通信用として広く用いられている。これらのレーザ装置には、ヒートシンクを備えたステムと窓付きキャップからなるものや、カンタイプ等の種々の製品が提供されてきた。近年は、レーザ素子の耐久性および安定性が向上したことから、レーザ素子を気密に封止することなく搭載するレーザ装置が多用されている。   Laser devices using a semiconductor laser element as a light source are widely used for CDROM, DVD, and optical communication. These laser devices have been provided with various products such as a stem comprising a heat sink and a cap with a window, and a can type. In recent years, since the durability and stability of laser elements have been improved, laser devices that mount laser elements without being hermetically sealed have been widely used.

図6は、レーザ素子を搭載するフレームパッケージの従来の製造方法を示す。図6(a)に示すリードフレーム5は、単位フレーム部として、レーザ素子を搭載するダイアタッチ部10とダイアタッチ部10の一方側に配置された3本のリード12a、12b、12cとを備える。
3本のリード12a、12b、12cのうち、中央のリード12bはアースリードとして使用されるもので、ダイアタッチ部10に一体に連結されている。リード12aとリード12cは信号線として使用されるもので、リードフレーム5の一方側のレール部6aからダイアタッチ部10に向けて先端が延出して設けられる。リード12a、12cとダイアタッチ部10とが電気的に短絡しないように、リード12a、12cの先端部分の周囲のダイアタッチ部10はスリット状に切除されている。
FIG. 6 shows a conventional manufacturing method of a frame package on which a laser element is mounted. A lead frame 5 shown in FIG. 6A includes a die attach unit 10 on which a laser element is mounted and three leads 12a, 12b, and 12c arranged on one side of the die attach unit 10 as a unit frame unit. .
Of the three leads 12a, 12b, and 12c, the central lead 12b is used as a ground lead and is integrally connected to the die attach unit 10. The lead 12a and the lead 12c are used as signal lines, and are provided with leading ends extending from the rail portion 6a on one side of the lead frame 5 toward the die attach portion 10. The die attach portion 10 around the tip portions of the leads 12a and 12c is cut out in a slit shape so that the leads 12a and 12c and the die attach portion 10 are not electrically short-circuited.

図6(b)は、リードフレーム5を樹脂成形し、レーザ素子を搭載するフレームパッケージを形成した状態を示す。フレームパッケージに設ける樹脂成形部14は、ダイアタッチ部10に搭載したレーザ素子や、レーザ素子とリード12a、12cとを接続するボンディングワイヤが、レーザ装置の搬送時や、レーザ装置を実装した際に外部の電子部品等と接触したりしないように、ダイアタッチ部10の素子搭載面から外方に突出する突出部が設けられている。リード12a、12cのボンディング部12dは、樹脂成形部14から露出する。
特開2000−357839号公報 特開2002−43672号公報
FIG. 6B shows a state in which the lead frame 5 is resin-molded to form a frame package on which a laser element is mounted. The resin molding part 14 provided in the frame package is used when the laser element mounted on the die attach part 10 or the bonding wire connecting the laser element and the leads 12a and 12c is transported by the laser apparatus or when the laser apparatus is mounted. A protruding portion that protrudes outward from the element mounting surface of the die attach portion 10 is provided so as not to contact an external electronic component or the like. The bonding portions 12d of the leads 12a and 12c are exposed from the resin molding portion 14.
JP 2000-357839 A JP 2002-43672 A

レーザ素子を搭載するフレームパッケージをリードフレーム5を用いて形成する方法は、プレス加工によって製造できることから、リードをガラス封止するステムを形成するといった方法と比較してはるかに製造が容易であり、量産が可能で製造コストを効果的に低減させることができる。しかしながら、リードフレームを用いてフレームパッケージを形成する方法には、以下のような課題がある。   Since the method of forming the frame package on which the laser element is mounted using the lead frame 5 can be manufactured by pressing, it is much easier to manufacture than the method of forming a stem that seals the leads to glass, Mass production is possible, and the manufacturing cost can be effectively reduced. However, the method of forming a frame package using a lead frame has the following problems.

(1)レーザ素子とリードとはワイヤボンディングによって接続するから、リードのボンディング部については、ワイヤボンディング性を良好にするめっき(通常は金めっき)を施す必要がある。この場合のめっき厚は比較的厚いから、リードフレームの全体にめっきを施すと、めっきが不要な個所にも厚くめっきが付着することになり、めっきが無駄になる。
(2)リードフレームは樹脂モールド金型を用いて樹脂成形することになるが、製品の形態が異なると、製品ごとに樹脂モールド金型を別個に製作する必要があり、金型の製作コストが高くなる。また、モールド金型を新たに製作して量産工程にはいるため、製品を立ちあげる期間が長くかかる。
(3)リードフレームは多数個取りとなっているから、樹脂成形の際のばらつきによって品質が不安定となり、製品の歩留まりが悪い。樹脂モールドの際に発生するガスによって品質が低下する。樹脂成形には耐熱性を有する比較的高価な樹脂を使用するが、製品に使用されるのは、成形に用いる樹脂量のうちの5〜10%程度であり樹脂が無駄になる。
(1) Since the laser element and the lead are connected by wire bonding, the bonding portion of the lead needs to be plated (usually gold plating) to improve the wire bonding property. Since the plating thickness in this case is relatively thick, if plating is performed on the entire lead frame, the plating will also be thickly attached to places where plating is not required, resulting in wasted plating.
(2) The lead frame is resin-molded using a resin mold, but if the product form is different, it is necessary to manufacture the resin mold separately for each product. Get higher. In addition, since a mold is newly manufactured and is in the mass production process, it takes a long time to launch the product.
(3) Since a large number of lead frames are obtained, the quality becomes unstable due to variations in resin molding, resulting in poor product yield. Quality deteriorates due to gas generated during resin molding. For resin molding, a relatively expensive resin having heat resistance is used, but the amount used for the product is about 5 to 10% of the amount of resin used for molding, and the resin is wasted.

本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、量産性を損なうことなく、また、パッケージの構造を簡素化することによって、樹脂成形を利用する方法と比較して容易にフレームパッケージを製造することができるレーザ素子用フレームパッケージおよびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve these problems, and it is possible to easily form a frame package as compared with a method using resin molding without impairing mass productivity and by simplifying the structure of the package. An object of the present invention is to provide a laser device frame package that can be manufactured and a method of manufacturing the same.

上記目的を達成するために、本発明は次の構成を備える。
すなわち、レーザ素子が搭載されるダイアタッチ部と、ダイアタッチ部に接続して設けられたリードとを備えるレーザ素子用フレームパッケージであって、前記ダイアタッチ部およびリードは、金属板をプレス加工して形成され、前記ダイアタッチ部は、リード素子を搭載する素子搭載面が平坦面に形成されるとともに、側縁部が前記素子搭載面に対して起立する折り曲げ部として形成され、前記ダイアタッチ部に連結して形成された折り曲げ片の表面に電気的絶縁性を有する絶縁層が形成され、該絶縁層を内面側とし、前記ダイアタッチ部と電気的に絶縁して、前記折り曲げ片によりリードが挟圧支持されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention comprises the following arrangement.
That is, a laser element frame package comprising a die attach part on which a laser element is mounted and a lead connected to the die attach part, wherein the die attach part and the lead are formed by pressing a metal plate. The die attach part is formed as a flat part with an element mounting surface on which a read element is mounted, and a side edge part is formed as a bent part standing on the element mounting surface. An insulating layer having electrical insulating properties is formed on the surface of the bent piece formed by being connected to the inner surface of the bent piece. It is characterized by being supported by pinching.

また、前記ダイアタッチ部に一体に連結して形成されたリードと、該リードを挟む配置に、前記折り曲げ片により挟圧支持された一対のリードとを備え、該折り曲げ片により支持されたリードは、前記素子搭載面上に一方のリード端を延出して支持されている構成とすることが有用である。
また、前記折り曲げ片により前記リードを挟圧支持した部位にかしめ加工が施されていることによって、リードがより確実に支持される。
In addition, the lead formed integrally connected to the die attach portion, and a pair of leads supported by the bent pieces in an arrangement sandwiching the leads, the leads supported by the bent pieces are: It is useful to have a structure in which one lead end is extended and supported on the element mounting surface.
Moreover, the lead is supported more reliably by caulking the portion where the lead is clamped and supported by the bent piece.

また、前記レーザ素子用フレームパッケージにレーザ素子を搭載してなるレーザ装置であって、前記ダイアタッチ部の素子搭載面にレーザ素子が搭載され、該レーザ素子と前記ダイアタッチ部に電気的に絶縁して支持されたリードとがワイヤボンディング接続されていることを特徴とする。   The laser device includes a laser element mounted on the laser element frame package, wherein the laser element is mounted on an element mounting surface of the die attach part, and is electrically insulated from the laser element and the die attach part. Thus, the supported lead is connected by wire bonding.

また、帯状に形成された金属板を順送りしながらプレス加工を施して形成するレーザ素子用フレームパッケージの製造方法であって、前記金属板にレーザ素子を搭載するダイアタッチ部と、リードを支持する折り曲げ片を形成する工程と、前記折り曲げ片の表面に、前記ダイアタッチ部とリードとを電気的に絶縁する絶縁層を形成する工程と、該絶縁層が形成された位置に合わせてリードをセットする工程と、前記絶縁層を内面側として前記折り曲げ片により前記リードを挟圧するように折り曲げる工程とを備えることを特徴とする。
また、前記折り曲げ片の表面に絶縁層を形成した後、前記ダイアタッチ部の側縁と前記折り曲げ片とを、ダイアタッチ部の素子搭載面に直角に折り曲げ、次いで、前記絶縁層が形成された位置に合わせてリードをセットすることを特徴とする。
また、前記リードの配置位置に合わせてリードを形成した別体のリードフレームを用意し、前記絶縁層にリードをセットする工程において、前記ダイアタッチ部および折り曲げ片が形成されたリードフレームに位置合わせして前記別体のリードフレームをセットすることを特徴とする。リードを形成したリードフレームを使用することによって、リードを絶縁層に位置合わせしてセットすることが容易になる。
Also, a method of manufacturing a frame package for a laser element, which is formed by pressing a metal plate formed in a belt shape in order, and supports a die attach portion for mounting the laser element on the metal plate and a lead. A step of forming a bent piece, a step of forming an insulating layer for electrically insulating the die attach portion and the lead on the surface of the bent piece, and setting the lead in accordance with the position where the insulating layer is formed And a step of bending so that the lead is clamped by the bent piece with the insulating layer as the inner surface side.
Further, after forming an insulating layer on the surface of the bent piece, the side edge of the die attach part and the bent piece are bent at right angles to the element mounting surface of the die attach part, and then the insulating layer is formed. The lead is set according to the position.
In addition, in the step of preparing a separate lead frame in which leads are formed in accordance with the positions of the leads and setting the leads in the insulating layer, the lead frame in which the die attach portion and the bent pieces are formed is aligned. Then, the separate lead frame is set. By using a lead frame in which leads are formed, it is easy to align and set the leads to the insulating layer.

本発明に係るレーザ素子用フレームパッケージは、金属板をプレス加工して形成することができる簡易な構成となっていることから、製造が容易であり、多品種に容易に対応することができ、製品の立ち上げに要する時間を短縮することができる。また、本発明に係るレーザ素子用フレームパッケージの製造方法によれば、品質のばらつきを抑え、フレームパッケージを容易に量産することが可能となる。   The frame package for a laser device according to the present invention has a simple configuration that can be formed by pressing a metal plate, so that it is easy to manufacture and can easily cope with a wide variety of products. The time required for product launch can be reduced. In addition, according to the method for manufacturing a frame package for a laser element according to the present invention, it is possible to suppress mass variation and easily mass-produce the frame package.

以下、本発明に係るフレームパッケージおよびその製造方法について図面とともに説明する。
図1はレーザ素子を搭載するフレームパッケージの製造工程を示す。本実施形態のフレームパッケージの製造方法においては、樹脂成形方法を利用せず、かしめ加工を利用したプレス加工のみによってフレームパッケージを形成することを特徴とする。
リードフレームを加工する加工金型には、リードフレームを順送り(定寸送り)しながら所要の加工を施す複数の加工ステージが、リードフレームの送り方向に段階別に設けられている。リードフレームは加工金型上を順送りされつつ、これらの加工ステージにおいて順次加工が施され、所定の形状に加工される。
The frame package and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a manufacturing process of a frame package on which a laser element is mounted. The frame package manufacturing method of the present embodiment is characterized in that the frame package is formed only by pressing using caulking without using a resin molding method.
A processing die for processing a lead frame is provided with a plurality of processing stages for performing necessary processing while feeding the lead frame in order (fixed dimension feeding) in stages in the lead frame feeding direction. The lead frame is sequentially processed on these processing dies while being sequentially processed on these processing stages to be processed into a predetermined shape.

図1は、プレス金型を用いてリードフレームに加工を施した状態をA〜Fの加工ステージに対応して示す。
図のA部分は、リードフレーム5にダイアタッチ部10と一対の折り曲げ片16a、16bと、アース用のリード12bが形成された状態を示す。
ダイアタッチ部10は平面形状が長方形に形成され、吊りピン10aにより、リードフレーム5の他方側のレール部6bの近傍に配置されている。
リード12bはリードフレーム5の一方側のレール部6aからダイアタッチ部10に向けて延出し、ダイアタッチ部10と一体に連結して設けられている。
FIG. 1 shows a state in which a lead frame is processed using a press die corresponding to the processing stages A to F.
The portion A in the figure shows a state in which the die attach portion 10, the pair of bent pieces 16 a and 16 b, and the ground lead 12 b are formed on the lead frame 5.
The die attach part 10 has a rectangular planar shape, and is arranged in the vicinity of the rail part 6b on the other side of the lead frame 5 by a suspension pin 10a.
The lead 12b extends from the rail portion 6a on one side of the lead frame 5 toward the die attach portion 10 and is provided integrally with the die attach portion 10.

折り曲げ片16a、16bはダイアタッチ部10の基部位置(リード12bが連結される側)に、リード12b(リード12bの線方向)に対して左右対称に配置する。具体的には、ダイアタッチ部10側との連結部と、リード12bとの連結部との間にそれぞれスリット18a、18bを形成し、ダイアタッチ部10からウイング状に延出するように形成する。
ダイアタッチ部10、折り曲げ片16a、16b、リード12bは、通常、複数の加工ステージにより、順次プレス抜き加工を施して形成する。図のA部分は、これらの加工ステージにより加工した状態を示したものである。
The bent pieces 16a and 16b are arranged symmetrically with respect to the lead 12b (in the line direction of the lead 12b) at the base position of the die attach unit 10 (the side to which the lead 12b is connected). Specifically, slits 18a and 18b are formed between the connecting portion to the die attach portion 10 side and the connecting portion to the lead 12b, respectively, and are formed to extend from the die attach portion 10 in a wing shape. .
The die attach portion 10, the bent pieces 16a and 16b, and the lead 12b are usually formed by sequentially performing punching using a plurality of processing stages. Part A in the figure shows a state machined by these machining stages.

加工ステージBは、折り曲げ片16a、16bの表面に電気的絶縁性を有する絶縁テープ20を貼付する工程である。絶縁テープ20としてはたとえばポリイミドテープが使用できる。
半導体素子を搭載する一般的なリードフレームの製造工程には、インナーリードの変形を防止するためにリードに保護用のテープを貼着する工程がある。折り曲げ片16a、16bに絶縁テープ20を貼着する場合も同様の方法で行えばよい。すなわち、リードフレーム5の上方にリードフレーム5の長手方向と交差するように長尺状の絶縁テープを配置し、長尺状の絶縁テープからポンチによりテープを抜き、ポンチを突き下ろしてリードフレーム5の折り曲げ片16a、16bに絶縁テープ20を押接する。
The processing stage B is a step of attaching an insulating tape 20 having electrical insulation to the surfaces of the bent pieces 16a and 16b. As the insulating tape 20, for example, a polyimide tape can be used.
In a general manufacturing process of a lead frame on which a semiconductor element is mounted, there is a process of attaching a protective tape to the lead in order to prevent deformation of the inner lead. The same method may be used when the insulating tape 20 is adhered to the bent pieces 16a and 16b. That is, a long insulating tape is arranged above the lead frame 5 so as to intersect with the longitudinal direction of the lead frame 5, the tape is removed from the long insulating tape with a punch, and the punch is pushed down to lead the lead frame 5. The insulating tape 20 is pressed against the bent pieces 16a and 16b.

本実施形態ではリード12a、12cとダイアタッチ部10とが電気的に短絡しないように、ダイアタッチ部10側へ絶縁テープ20の一方の端部が延びるように、絶縁テープ20の平面形状をL字形としている。したがって、絶縁テープを抜くポンチには端面形状がL字形のポンチを使用する。絶縁テープ20を折り曲げ片16a、16bに貼着するから、絶縁テープ20としては粘着性のあるテープ、たとえばBステージのポリイミドテープを使用すればよい。ポリイミドテープは耐熱性の点からも有効である。   In this embodiment, the planar shape of the insulating tape 20 is L so that one end of the insulating tape 20 extends to the die attach portion 10 side so that the leads 12a, 12c and the die attach portion 10 are not electrically short-circuited. It is shaped like a letter. Accordingly, a punch having an L-shaped end surface is used as a punch for pulling out the insulating tape. Since the insulating tape 20 is attached to the bent pieces 16a and 16b, an adhesive tape, such as a B-stage polyimide tape, may be used as the insulating tape 20. Polyimide tape is also effective from the viewpoint of heat resistance.

なお、絶縁テープ20はリードをダイアタッチ部10に対して電気的に絶縁する絶縁層として設けるものであり、必ずしもテープ状のものでなければならないわけではない。たとえば、電気的絶縁性を有するペースト状等の絶縁材をコーティングしたり印刷したりする方法や、めっき等の化学的な処理等によることも可能である。   The insulating tape 20 is provided as an insulating layer that electrically insulates the leads from the die attach unit 10 and does not necessarily have to be in the form of a tape. For example, it is possible to use a method of coating or printing an insulating material such as a paste having electrical insulating properties, or a chemical treatment such as plating.

加工ステージCは、折り曲げ片16a、16bとダイアタッチ部10の側縁部分を起立形状に折り曲げ加工する工程である。
折り曲げ片16a、16bおよびダイアタッチ部10を、スリット18aの基部位置において、素子搭載面に対し直角に、同じ方向に折り曲げる。
図2(a)に、加工ステージCにおいて、折り曲げ片16a、16bと、ダイアタッチ部10の側縁部をそれぞれ折り曲げた状態を正面方向から見た状態を拡大して示す。折り曲げ片16a、16bはダイアタッチ部10の側縁部よりも外方に長く延出するから、ダイアタッチ部10の側縁部を折り曲げた折り曲げ部10cよりも、折り曲げ片16a、16bの折り曲げ片16a、16bの方が長く延出する。折り曲げ片16a、16bの折り曲げ片16a、16bの内面には略全域にわたって絶縁テープ20が被着する。
The processing stage C is a step of bending the bent pieces 16a and 16b and the side edge portions of the die attach unit 10 into an upright shape.
The bent pieces 16a and 16b and the die attach part 10 are bent at the base position of the slit 18a in the same direction at a right angle to the element mounting surface.
FIG. 2A shows an enlarged view of the bent state of the bent pieces 16a and 16b and the side edges of the die attach unit 10 as viewed from the front side in the processing stage C. FIG. Since the bent pieces 16a and 16b extend outward longer than the side edge portion of the die attach portion 10, the bent pieces 16a and 16b are bent more than the bent portion 10c where the side edge portion of the die attach portion 10 is bent. 16a and 16b extend longer. The insulating tape 20 is attached to the inner surfaces of the bent pieces 16a and 16b of the bent pieces 16a and 16b over substantially the entire area.

加工ステージDは、絶縁テープ20上にリード12a、12cを位置合わせしてセットする工程である。リード12a、12bはその先端を絶縁テープ20に押接するようにしてセットする。絶縁テープ20に粘着性を有するテープを使用すれば、リード12a、12cを押接する方法で簡単にセットすることができる。リード12a、12bをセットする際に、リード12bと平行になるように、位置合わせしながらセットする。   The processing stage D is a process of aligning and setting the leads 12a and 12c on the insulating tape 20. The leads 12a and 12b are set so that their tips are pressed against the insulating tape 20. If a tape having adhesiveness is used for the insulating tape 20, the leads 12a and 12c can be easily set by pressing. When the leads 12a and 12b are set, they are set while being aligned so as to be parallel to the lead 12b.

リード12a、12cは、一方のリード端が折り曲げ片16a、16bを超えて、ダイアタッチ部10の素子搭載面上まで延出するように配置する。これはリード12a、12cの先端がワイヤボンディングのボンディング部12dとなるからであり、リード12a、12cの先端側が折り曲げ片16a、16bを横切るようにリード12a、12cを配置することにより、リード12a、12cを折り曲げ片16a、16bによって支持した際に、ボンディング部12dを露出させるようにすることができる。
図2(b)は、加工ステージDにおいて、リード12a、12cをセットした状態を示す。絶縁テープ20上にリード12a、12cが接した状態でセットされている。
The leads 12a and 12c are arranged such that one lead end extends beyond the bent pieces 16a and 16b to the element mounting surface of the die attach unit 10. This is because the tips of the leads 12a and 12c become bonding portions 12d for wire bonding. By arranging the leads 12a and 12c so that the tips of the leads 12a and 12c cross the bent pieces 16a and 16b, the leads 12a and 12c are arranged. When the 12c is supported by the bent pieces 16a and 16b, the bonding portion 12d can be exposed.
FIG. 2B shows a state in which the leads 12 a and 12 c are set on the processing stage D. The leads 12a and 12c are set in contact with the insulating tape 20.

本実施形態においては、単体に形成したリード12a、12cをダイアタッチ部10に貼着した絶縁テープ20の貼着位置に位置合わせしてセットするが、リード12a、12cを単体で扱うことが煩わしい場合には、図3に示すように、ダイアタッチ部10に接合する位置に位置合わせしてリード12a、12cを形成したリードフレーム7を利用してダイアタッチ部10にリード12a、12cをセットする方法によることもできる。
リードフレーム7にリード12a、12cを形成する際には、ダイアタッチ部10や折り曲げ片16a、16bと干渉しないようにリード12a、12cを支持する吊りピン13を配置し、また、折り曲げ片16a、16bを曲げ加工等する加工の妨げにならない位置に吊りピン13を配置する。
In the present embodiment, the leads 12a and 12c formed as a single unit are positioned and set at the bonding position of the insulating tape 20 bonded to the die attach unit 10, but it is troublesome to handle the leads 12a and 12c as a single unit. In this case, as shown in FIG. 3, the leads 12 a and 12 c are set on the die attach unit 10 by using a lead frame 7 in which the leads 12 a and 12 c are formed at positions where the die attach unit 10 is joined. It can also depend on the method.
When the leads 12a and 12c are formed on the lead frame 7, the suspension pins 13 that support the leads 12a and 12c are disposed so as not to interfere with the die attach portion 10 and the bent pieces 16a and 16b. The suspension pin 13 is disposed at a position that does not hinder the processing of bending the 16b.

図3に示す例では、加工ステージDにリードフレーム5の単位フレーム部が順送りされてきたときに、その上方からリード12a、12cのみを形成したリードフレーム7をリードフレーム5に位置合わせして重ね合わせて、ダイアタッチ部10にリード12a、12cを位置合わせしてセットする方法である。この場合は、加工ステージD以後については、リードフレーム5の上にリードフレーム7が重なった形態で順送りして加工する。
リード12a、12cが形成されたリードフレーム7をダイアタッチ部10が形成されたリードフレーム5に位置合わせすることは容易である。リード12a、12cを支持する吊りピン13は後工程で、不要になったときにリード12a、12cの側縁位置から切り離して除去すればよい。
In the example shown in FIG. 3, when the unit frame portion of the lead frame 5 is sequentially fed to the processing stage D, the lead frame 7 in which only the leads 12 a and 12 c are formed from above is aligned with the lead frame 5 and overlapped. In addition, the leads 12a and 12c are positioned and set on the die attach unit 10. In this case, after the processing stage D, the lead frame 7 is overlapped on the lead frame 5 and processed in order.
It is easy to align the lead frame 7 on which the leads 12a and 12c are formed with the lead frame 5 on which the die attach portion 10 is formed. The suspension pins 13 that support the leads 12a and 12c may be removed from the side edge positions of the leads 12a and 12c when they are no longer needed in a later step.

本実施形態のように、ワイヤボンディングされるリード12a、12cについては、ダイアタッチ部10とは別体に形成する方法であれば、リード12a、12cにワイヤボンディング用の金めっき等を施す場合に、従来のようにダイアタッチ部10等にめっきが被着することがなく、めっきの無駄をなくすことができる。また、ダイアタッチ部10等についてはワイヤボンディング用のめっきとは異なる専用のめっきを施すといったことが容易にできるという利点もある。   As in this embodiment, if the leads 12a and 12c to be wire bonded are formed separately from the die attach unit 10, the leads 12a and 12c are subjected to wire bonding gold plating or the like. The plating is not deposited on the die attach portion 10 or the like as in the prior art, and the waste of plating can be eliminated. Further, there is an advantage that the die attach unit 10 and the like can be easily subjected to dedicated plating different from the wire bonding plating.

図1において、加工ステージEは、かしめ用の折り曲げ片16a、16bの内側にリード12a、12cをそれぞれ挟み込むようにして折り曲げ片16a、16bを挟み曲げする工程である。図は、折り曲げ片16a、16bによってリード12a、12cが厚さ方向に挟まれて支持されている状態を示す。
図2(c)が、この工程Eに対応する。リード12a、12bが折り曲げ片16a、16bによって挟み込まれて支持されている。折り曲げ片16a、16bのリード12a、12cが配置される内面(折り曲げる際に内側となる面)には絶縁テープ20が貼着されているから、リード12a、12cは絶縁テープ20を介して挟み込まれ、リード12a、12cとダイアタッチ部10とが電気的に短絡することが回避される。
In FIG. 1, a processing stage E is a step of sandwiching and bending the bent pieces 16a and 16b so that the leads 12a and 12c are sandwiched inside the crimped bent pieces 16a and 16b, respectively. The figure shows a state in which the leads 12a and 12c are sandwiched and supported by the bent pieces 16a and 16b in the thickness direction.
FIG. 2C corresponds to this step E. The leads 12a and 12b are sandwiched and supported by the bent pieces 16a and 16b. Since the insulating tape 20 is affixed to the inner surface (the inner surface when bending) of the bent pieces 16a and 16b on which the leads 12a and 12c are arranged, the leads 12a and 12c are sandwiched via the insulating tape 20. Thus, electrical short-circuit between the leads 12a and 12c and the die attach unit 10 is avoided.

加工ステージFは、折り曲げ片16a、16bによってリード12a、12cを挟み込んだ状態で、折り曲げ片16a、16bによる折り曲げ位置をかしめ加工する工程である。かしめ部22は、折り曲げ片16a、16bとリード12a、12cを厚さ方向にかしめることによって、側面形状が屈曲した形状となり、折り曲げ片16a、16bとリード12a、12cとが強固に支持される。
図2(d)が、工程Fに対応する。絶縁テープ20を介して折り曲げ片16a、16bによりリード12a、12cが挟圧支持されている構成は前工程と変わらない。かしめ加工によって、折り曲げ片16a、16b、リード12a、12cが屈曲した形状となるが、絶縁テープ20もこれらにならって屈曲し、絶縁テープ20による電気的な絶縁作用が阻害されることはない。
なお、図3に示した、リード12a、12cを形成したリードフレーム7を用いて加工する場合も、図1に示す場合とまったく同様の加工工程による。
The processing stage F is a step of caulking the bending positions of the bent pieces 16a and 16b in a state where the leads 12a and 12c are sandwiched between the bent pieces 16a and 16b. The caulking portion 22 has a bent side surface shape by caulking the bent pieces 16a and 16b and the leads 12a and 12c in the thickness direction, and the bent pieces 16a and 16b and the leads 12a and 12c are firmly supported. .
FIG. 2D corresponds to the process F. The configuration in which the leads 12a and 12c are supported by the bent pieces 16a and 16b via the insulating tape 20 is the same as in the previous step. The bent pieces 16a and 16b and the leads 12a and 12c are bent by the caulking process, but the insulating tape 20 is also bent in accordance with these, and the electrical insulating action by the insulating tape 20 is not hindered.
Note that the processing using the lead frame 7 formed with the leads 12a and 12c shown in FIG. 3 is performed in exactly the same processing steps as in the case shown in FIG.

図4(a)、(b)、(c)は、リード12a、12cをかしめ固定した後、リードフレーム5から切り離した単体のフレームパッケージ24の側面図、正面図、底面図である。リードフレーム7とリードフレーム5を組み合わせてフレームパッケージを形成する場合は、リード12a、12cの側縁位置で吊りピン13を切断して吊りピン13を除去することによってフレームパッケージ24が得られる。   4A, 4B, and 4C are a side view, a front view, and a bottom view of a single frame package 24 that is separated from the lead frame 5 after the leads 12a and 12c are caulked and fixed. When the lead frame 7 and the lead frame 5 are combined to form a frame package, the frame package 24 is obtained by cutting the suspension pins 13 at the side edge positions of the leads 12a and 12c and removing the suspension pins 13.

図4に示すように、フレームパッケージ24は、レーザ素子28を搭載するダイアタッチ部10とリード12a、12b、12cとからなり、ダイアタッチ部10の素子搭載面は平坦面に形成され、ダイアタッチ部10の両側縁が素子搭載面に対し直角に折り曲げられた折り曲げ部10cとして形成されている。ダイアタッチ部10には一体にアース用のリード12bが連結され、リード12bを挟む配置に一対の信号用のリード12a、12cが折り曲げ片16a、16bにより挟圧され、かしめ部22によりかしめ固定されている。 As shown in FIG. 4, the frame package 24 includes a die attach unit 10 on which the laser element 28 is mounted and leads 12a, 12b, 12c. The element mounting surface of the die attach unit 10 is formed on a flat surface, and the die attach is performed. Both side edges of the portion 10 are formed as bent portions 10c that are bent at right angles to the element mounting surface. A ground lead 12b is integrally connected to the die attach portion 10, and a pair of signal leads 12a and 12c are sandwiched between the bent pieces 16a and 16b in an arrangement sandwiching the lead 12b, and are caulked and fixed by a caulking portion 22. ing.

ダイアタッチ部10の主面はレーザ素子を搭載する平坦面に形成され、ダイアタッチ部10の両側縁に折り曲げ部10cが起立して設けられていることにより、ダイアタッチ部10の強度が補強され、かつ折り曲げ部10cがレーザ素子28およびボンディングワイヤを保護する保護部となる。
リード12a、12cは、絶縁テープ20を介してダイアタッチ部10上にセットしてかしめ固定するから、図4(a)に示すように、ダイアタッチ部10と一体形成されるリード12bとは、リード12bの厚さ分程度、側面方向の位置が偏位した配置となる。
The main surface of the die attach unit 10 is formed on a flat surface on which a laser element is mounted, and the bent portions 10c are provided upright on both side edges of the die attach unit 10, thereby reinforcing the strength of the die attach unit 10. In addition, the bent portion 10c serves as a protective portion that protects the laser element 28 and the bonding wire.
Since the leads 12a and 12c are set on the die attach unit 10 via the insulating tape 20 and fixed by caulking, as shown in FIG. 4A, the lead 12b integrally formed with the die attach unit 10 is The position in the side surface direction is shifted by about the thickness of the lead 12b.

リード12a、12cとダイアタッチ部10との電気的絶縁は、電気的絶縁性を有する絶縁テープ20を介してリード12a、12cがかしめ固定されることによる。
リード12a、12cは、ダイアタッチ部10側の一方のリード端を折り曲げ片16a、16bを超えて、ダイアタッチ部10側に延出させた配置とすることにより、ボンディング部12dは、ダイアタッチ部10の素子搭載面と平行な面として露出する。リード12a、12cの先端部とダイアタッチ部10との間にも絶縁テープ20が介在し、リード12a、12cとダイアタッチ部10との電気的短絡が回避されている。
The electrical insulation between the leads 12a and 12c and the die attach part 10 is based on the caulking and fixing of the leads 12a and 12c via an insulating tape 20 having electrical insulation.
The leads 12a and 12c are arranged such that one lead end on the die attach part 10 side extends beyond the bent pieces 16a and 16b to the die attach part 10 side, so that the bonding part 12d becomes the die attach part. It is exposed as a plane parallel to 10 element mounting surfaces. The insulating tape 20 is also interposed between the tips of the leads 12a and 12c and the die attach part 10, so that an electrical short circuit between the leads 12a and 12c and the die attach part 10 is avoided.

本実施形態のフレームパッケージ24の製造方法はプレス加工のみによってフレームパッケージ24を組み立てるから、従来の樹脂成形方法を使用する方法と比較して、大きく生産性を向上させることができる。また、樹脂成形方法を利用する場合と比較して製品の品質のばらつきを抑えることができ、品質を安定させることができる。
また、樹脂成形用にモールド金型を製作するといった必要がなくなることから、モールド金型の製作費用が削減できるとともに、新製品の立ち上げに要する時間を短縮することが可能になる。
Since the manufacturing method of the frame package 24 of this embodiment assembles the frame package 24 only by press work, productivity can be greatly improved compared with the method of using the conventional resin molding method. In addition, it is possible to suppress variations in product quality as compared with the case of using a resin molding method, and it is possible to stabilize the quality.
In addition, since it is not necessary to manufacture a mold for resin molding, it is possible to reduce the manufacturing cost of the mold and reduce the time required for starting up a new product.

図5は、フレームパッケージ24にレーザ素子28を搭載したレーザ装置30を示す。レーザ素子28がダイアタッチ部10の素子搭載面に搭載され、レーザ素子28とリード12a、12cのボンディング部12dとがボンディングワイヤ29によりワイヤボンディングされている。ダイアタッチ部10の両側縁に起立形状に設けられた折り曲げ部10cが、ダイアタッチ部10の補強、およびレーザ素子28およびボンディングワイヤ29を保護するよう作用する。レーザ素子28からはダイアタッチ部10の素子搭載面に平行に上方にレーザ光が放射される。
本実施形態のレーザ装置30は、プレス加工のみによって形成される簡易な構成からなるから、製造が容易で、製造コストを効果的に引き下げることが可能である。
FIG. 5 shows a laser device 30 in which the laser element 28 is mounted on the frame package 24. The laser element 28 is mounted on the element mounting surface of the die attach unit 10, and the laser element 28 and the bonding parts 12 d of the leads 12 a and 12 c are wire-bonded by bonding wires 29. Bent portions 10c provided on both side edges to standing shape of the die attach portion 10 acts to protect the reinforcement of the die attach portion 10, and the laser element 28 and the bonding wire 29. Laser light is emitted upward from the laser element 28 in parallel with the element mounting surface of the die attach unit 10.
Since the laser device 30 of the present embodiment has a simple configuration formed only by pressing, it is easy to manufacture and can effectively reduce the manufacturing cost.

なお、上記実施形態においては、3本のリードを備えたフレームパッケージについて説明したが、リードの本数やダイアタッチ部の形状等、フレームパッケージの形態は上記実施形態の構成に限定されるものではない。また、上記実施形態ではダイアタッチ部10の両側縁部に折り曲げ部10cを設けたが、レーザ光が放射されるダイアタッチ部10の上辺部に折り曲げ部を設けることも可能である。上辺部に折り曲げ部を設ける場合はレーザ光を遮蔽しないように折り曲げ部に開口あるいは切欠を設ければよい。
また、フレームパッケージを構成する材料も、鉄−ニッケル合金、銅等の適宜材料を選択することができる。
In the above-described embodiment, the frame package including three leads has been described. However, the form of the frame package, such as the number of leads and the shape of the die attach portion, is not limited to the configuration of the above-described embodiment. . Moreover, although the bending part 10c was provided in the both-sides edge part of the die attach part 10 in the said embodiment, it is also possible to provide a bending part in the upper side part of the die attach part 10 to which a laser beam is radiated | emitted. When a bent portion is provided on the upper side, an opening or a cutout may be provided in the bent portion so as not to shield the laser beam.
Moreover, the material which comprises a frame package can also select suitably materials, such as an iron-nickel alloy and copper.

本発明に係るフレームパッケージの製造工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing process of the frame package which concerns on this invention. 工程C〜Fにおける曲げ加工を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the bending process in process C-F. フレームパッケージの他の製造工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the other manufacturing process of a frame package. フレームパッケージの側面図(a)、正面図(b)、底面図(c)である。They are a side view (a), a front view (b), and a bottom view (c) of the frame package. レーザ装置の正面図である。It is a front view of a laser apparatus. 従来のフレームパッケージの製造工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing process of the conventional frame package.

符号の説明Explanation of symbols

5、7 リードフレーム
10 ダイアタッチ部
10c 折り曲げ部
12a、12b、12c リード
12d ボンディング部
13 吊りピン
14 樹脂成形部
16a、16b、 折り曲げ片
20 絶縁テープ
22 かしめ部
24 フレームパッケージ
28 レーザ素子
29 ボンディングワイヤ
30 レーザ装置
5, 7 Lead frame 10 Die attach part 10c Bending part 12a, 12b, 12c Lead 12d Bonding part 13 Hanging pin 14 Resin molding part 16a, 16b, Bending piece 20 Insulating tape 22 Caulking part 24 Frame package 28 Laser element 29 Bonding wire 30 Laser equipment

Claims (7)

レーザ素子が搭載されるダイアタッチ部と、ダイアタッチ部に接続して設けられたリードとを備えるレーザ素子用フレームパッケージであって、
前記ダイアタッチ部およびリードは、金属板をプレス加工して形成され、
前記ダイアタッチ部は、レーザ素子を搭載する素子搭載面が平坦面に形成されるとともに、側縁部が前記素子搭載面に対して起立する折り曲げ部として形成され、
前記ダイアタッチ部に連結して形成された折り曲げ片の表面に電気的絶縁性を有する絶縁層が形成され、該絶縁層を内面側とし、前記ダイアタッチ部と電気的に絶縁して、前記折り曲げ片によりリードが挟圧支持されていることを特徴とするレーザ素子用フレームパッケージ。
A frame package for a laser element comprising a die attach part on which a laser element is mounted and a lead provided connected to the die attach part,
The die attach part and the lead are formed by pressing a metal plate,
The die attach part is formed as a bent part where the element mounting surface on which the laser element is mounted is formed as a flat surface, and the side edge part stands up with respect to the element mounting surface,
An insulating layer having electrical insulation is formed on the surface of the bent piece formed connected to the die attach portion, and the bent portion is electrically insulated from the die attach portion with the insulating layer as an inner surface side. A frame package for a laser device, wherein a lead is supported by being clamped by a piece.
前記ダイアタッチ部に一体に連結して形成されたリードと、
該リードを挟む配置に、前記折り曲げ片により挟圧支持された一対のリードとを備え、該折り曲げ片により支持されたリードは、前記素子搭載面上に一方のリード端を延出して支持されていることを特徴とする請求項1記載のレーザ素子用フレームパッケージ。
A lead formed integrally connected to the die attach part;
And a pair of leads supported by the bent pieces, and the leads supported by the bent pieces are supported by extending one lead end on the element mounting surface. The frame package for a laser device according to claim 1, wherein the frame package is for a laser device.
前記折り曲げ片により前記リードを挟圧支持した部位にかしめ加工が施されていることを特徴とする請求項1または2記載のレーザ素子用フレームパッケージ。   3. The laser device frame package according to claim 1, wherein a crimping process is applied to a portion where the lead is clamped and supported by the bent piece. 請求項1〜3のいずれか一項記載のレーザ素子用フレームパッケージにレーザ素子を搭載してなるレーザ装置であって、
前記ダイアタッチ部の素子搭載面にレーザ素子が搭載され、
該レーザ素子と前記ダイアタッチ部に電気的に絶縁して支持されたリードとがワイヤボンディング接続されていることを特徴とするレーザ装置。
A laser device comprising a laser element mounted on the laser element frame package according to any one of claims 1 to 3,
A laser element is mounted on the element mounting surface of the die attach unit,
A laser device characterized in that the laser element and a lead electrically insulated and supported by the die attach part are connected by wire bonding.
帯状に形成された金属板を順送りしながらプレス加工を施して形成するレーザ素子用フレームパッケージの製造方法であって、
前記金属板にレーザ素子を搭載するダイアタッチ部と、リードを支持する折り曲げ片を形成する工程と、
前記折り曲げ片の表面に、前記ダイアタッチ部とリードとを電気的に絶縁する絶縁層を形成する工程と、
該絶縁層が形成された位置に合わせてリードをセットする工程と、
前記絶縁層を内面側として前記折り曲げ片により前記リードを挟圧するように折り曲げる工程と
を備えることを特徴とするレーザ素子用フレームパッケージの製造方法。
A method of manufacturing a frame package for a laser element, which is formed by performing press processing while sequentially feeding a metal plate formed in a strip shape,
A step of forming a die attach part for mounting a laser element on the metal plate, and a bent piece for supporting a lead;
Forming an insulating layer on the surface of the bent piece to electrically insulate the die attach part and the lead;
Setting a lead in accordance with the position where the insulating layer is formed;
And a step of bending the insulating layer as an inner surface side so that the leads are clamped by the bent piece.
前記折り曲げ片の表面に絶縁層を形成した後、
前記ダイアタッチ部の側縁と前記折り曲げ片とを、ダイアタッチ部の素子搭載面に直角に折り曲げ、
次いで、前記絶縁層が形成された位置に合わせてリードをセットすることを特徴とする請求項5記載のレーザ素子用フレームパッケージの製造方法。
After forming an insulating layer on the surface of the bent piece,
The side edge of the die attach part and the bent piece are bent at right angles to the element mounting surface of the die attach part,
6. The method of manufacturing a frame package for a laser element according to claim 5, wherein a lead is set in accordance with a position where the insulating layer is formed.
前記リードの配置位置に合わせてリードを形成した別体のリードフレームを用意し、
前記絶縁層にリードをセットする工程において、前記ダイアタッチ部および折り曲げ片が形成されたリードフレームに位置合わせして前記別体のリードフレームをセットすることを特徴とする請求項5または6記載のレーザ素子用フレームパッケージの製造方法。
Prepare a separate lead frame in which the lead is formed according to the arrangement position of the lead,
7. The step of setting a lead on the insulating layer, wherein the separate lead frame is set in alignment with the lead frame on which the die attach portion and the bent piece are formed. A method for manufacturing a frame package for a laser device.
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