JP4946737B2 - Light source device, illumination device, monitor device, and image display device - Google Patents
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Description
本発明は、光源装置、照明装置、モニタ装置及び画像表示装置、特に、レーザ光を射出する光源装置の技術に関する。 The present invention relates to a light source device, an illumination device, a monitor device, and an image display device, and more particularly, to a technology of a light source device that emits laser light.
近年、画像表示装置の光源装置としてレーザ光源を用いる技術が提案されている。画像表示装置の光源装置として従来用いられているUHPランプと比較すると、レーザ光源は、高い色再現性、瞬時点灯が可能、長寿命である等の利点がある。レーザ光源は、光を射出する半導体素子等をパッケージ内に密閉することで、予期しない箇所から外部へのレーザ光の漏洩を防ぐこととしている。例えば、特許文献1にて提案された技術では、発生させたレーザ光を光ファイバへ導入するレーザ光源において、金属製のパッケージ内に光ファイバを収納することで、光ファイバの破損によるレーザ光の漏洩を防止する。 In recent years, a technique using a laser light source as a light source device of an image display device has been proposed. Compared with a UHP lamp conventionally used as a light source device for an image display device, a laser light source has advantages such as high color reproducibility, instant lighting, and long life. The laser light source is designed to prevent leakage of laser light from an unexpected part to the outside by sealing a semiconductor element or the like that emits light in a package. For example, in the technique proposed in Patent Document 1, in a laser light source that introduces generated laser light into an optical fiber, the optical fiber is housed in a metal package so that the laser light due to damage to the optical fiber is reduced. Prevent leakage.
光源装置は、光を共振させる外部共振器を用いることで、レーザ光の波長を狭帯域化でき、レーザ光の高出力化が可能となる。光を共振させる共振器構造内には、パッケージ外へ射出されるレーザ光より高いエネルギー密度の光が存在する。パッケージ内に高いエネルギー密度の光が存在するため、パッケージが破損した場合、高いエネルギー密度の光が漏洩することがあり得る。また、レーザ光源としては、波長変換素子により波長が変換された高調波光を射出するものが知られている。波長変換素子を用いることで、容易に入手可能な汎用の発光素子を用いて、所望の波長かつ十分な光量のレーザ光を供給することが可能となる。高調波光として可視光を射出する光源装置は、通常、基本波光として赤外光が用いられる。赤外光の場合は可視光の場合よりも忌避反応による退避が難しいことから、高出力の赤外光が漏洩することで人体、特に眼に不快感を与える不具合をもたらすことがあり得る。上記特許文献1の技術では、光ファイバのみならずパッケージが破損することで、高いエネルギー密度の光が漏洩する場合があるという問題がある。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、光源装置のパッケージが破損した場合に高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保可能な光源装置、その光源装置を用いる照明装置、モニタ装置、及び画像表示装置を提供することを目的とする。 By using an external resonator that resonates light, the light source device can narrow the wavelength of the laser light and increase the output of the laser light. Within the resonator structure that resonates the light, there is light having a higher energy density than the laser light emitted outside the package. Since high energy density light exists in the package, high energy density light may leak if the package breaks. As a laser light source, one that emits harmonic light whose wavelength is converted by a wavelength conversion element is known. By using the wavelength conversion element, it is possible to supply laser light having a desired wavelength and a sufficient amount of light using a general-purpose light-emitting element that can be easily obtained. In general, a light source device that emits visible light as harmonic light uses infrared light as fundamental wave light. In the case of infrared light, evacuation by a repelling reaction is more difficult than in the case of visible light, and leakage of high-power infrared light may cause problems that cause discomfort to the human body, particularly the eyes. The technique of Patent Document 1 has a problem in that not only the optical fiber but also the package is damaged, so that light with a high energy density may leak. The present invention has been made in view of the above-described problems, and a light source device capable of preventing leakage of light having a high energy density and ensuring high safety when a package of the light source device is damaged, and illumination using the light source device An object is to provide a device, a monitor device, and an image display device.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光源装置は、光を射出する光源部と、少なくとも光源部を収納するパッケージと、パッケージに設けられ、パターンをなすように形成されたパッケージ配線部と、を有し、パッケージ配線部の断線により、光源部からの光の射出を停止することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a light source device according to the present invention is formed so as to form a light source unit that emits light, a package that houses at least the light source unit, and a package. And the emission of light from the light source unit is stopped when the package wiring unit is disconnected.
パッケージが破損すると、パッケージのうち破損箇所においてパッケージ配線部が断線する。パッケージ配線部を用いることで、パッケージの破損とともに光源部からの光の射出を停止することができる。これにより、パッケージが破損した場合に高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保可能な光源装置を得られる。 When the package is damaged, the package wiring portion is disconnected at the damaged portion of the package. By using the package wiring part, the emission of light from the light source part can be stopped together with the breakage of the package. Thereby, when the package is broken, a light source device capable of preventing leakage of light having a high energy density and ensuring high safety can be obtained.
また、本発明の好ましい態様としては、パッケージ配線部の断線を検出する断線検出部を有し、断線検出部は、パッケージ配線部の断線を検出した場合に、光源部の駆動を停止させることが望ましい。これにより、パッケージの破損に応じて光源部からの光の射出を停止することができる。 In addition, as a preferable aspect of the present invention, a disconnection detection unit that detects disconnection of the package wiring unit is provided, and the disconnection detection unit may stop driving the light source unit when the disconnection of the package wiring unit is detected. desirable. Thereby, the emission of light from the light source unit can be stopped in accordance with the breakage of the package.
また、本発明の好ましい態様としては、パッケージは、光源部が配置された第1構造体と、パッケージ配線部が配置された第2構造体と、を有することが望ましい。これにより、第2構造体の破損に応じて光源部からの光の射出を停止することができる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, the package desirably includes a first structure in which the light source unit is disposed and a second structure in which the package wiring unit is disposed. Thereby, the emission of light from the light source unit can be stopped according to the breakage of the second structure.
また、本発明の好ましい態様としては、パッケージは、パッケージ配線部及び断線検出部を接続する接続用導線を有し、接続用導線は、第1構造体に配置されることが望ましい。これにより、パッケージ配線部の断線を断線検出部で検出することができる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, it is desirable that the package has a connecting lead for connecting the package wiring part and the disconnection detecting part, and the connecting lead is arranged in the first structure. Thereby, the disconnection of the package wiring part can be detected by the disconnection detection part.
また、本発明の好ましい態様としては、第2構造体は、第1構造体に接合可能に形成された接合部を有し、パッケージ配線部の端部は、接合部に配置されることが望ましい。これにより、第1構造体及び第2構造体の接合によって、パッケージ配線部及び断線検出部を容易に接続することができる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, it is desirable that the second structure body has a joint portion formed so as to be capable of being joined to the first structure body, and an end portion of the package wiring portion is arranged at the joint portion. . Thereby, a package wiring part and a disconnection detection part can be easily connected by joining of a 1st structure and a 2nd structure.
また、本発明の好ましい態様としては、光源部は、第1波長の光を射出し、光源部から射出された第1波長の光を波長変換し、第1波長とは異なる波長である第2波長の光を射出する波長変換素子と、パッケージのうち波長変換素子からの光が入射する位置に設けられ、第1波長の光を反射し、第2波長の光を透過させる波長選択透過部と、を有し、パッケージ配線部のパターンは、パッケージのうち波長選択透過部で反射した第1波長の光が入射する領域における間隔が、第1波長の光が入射する領域以外の領域における間隔より小さく形成されることが望ましい。これにより、第1波長の光が入射する可能性が高い箇所についてパッケージ破損の検出分解能を高め、第1波長の光の漏洩を効果的に防止できる。 As a preferred aspect of the present invention, the light source unit emits light of the first wavelength, converts the wavelength of the first wavelength of light emitted from the light source unit, and has a second wavelength different from the first wavelength. A wavelength conversion element that emits light of a wavelength; a wavelength selective transmission unit that is provided at a position where light from the wavelength conversion element of the package is incident, reflects light of the first wavelength, and transmits light of the second wavelength; The pattern of the package wiring portion has an interval in the region where the first wavelength light reflected by the wavelength selective transmission portion of the package is incident is larger than the interval in the region other than the region where the first wavelength light is incident. It is desirable to form it small. Thereby, the detection resolution of the package breakage can be enhanced at a portion where the light with the first wavelength is likely to be incident, and the leakage of the light with the first wavelength can be effectively prevented.
また、本発明の好ましい態様としては、光源部から射出された光を波長変換する波長変換素子と、波長変換素子の温度を計測する温度計測部と、温度計測部による計測結果に基づいて、波長変換素子の温度を調節する温度調節部と、を有し、パッケージ配線部は、温度計測部及び温度調節部の少なくとも一方に接続されることが望ましい。これにより、パッケージの破損により、温度計測部による計測、及び温度調節部による温度調節の少なくとも一方を停止することができる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, a wavelength conversion element that converts the wavelength of light emitted from the light source unit, a temperature measurement unit that measures the temperature of the wavelength conversion element, and a wavelength based on a measurement result by the temperature measurement unit, It is desirable that the package wiring unit is connected to at least one of the temperature measuring unit and the temperature adjusting unit. Thereby, at least one of the measurement by the temperature measurement unit and the temperature adjustment by the temperature adjustment unit can be stopped due to breakage of the package.
また、本発明の好ましい態様としては、パッケージ配線部は、第1配線層と、第1配線層に対して光源部が設けられた側に配置された第2配線層と、を有し、第1配線層におけるパターンと第2配線層におけるパターンとが互いに略直交することが望ましい。第1配線層におけるパターンと第2配線層におけるパターンとを略直交させることで、パッケージ破損の検出分解能を高めることができる。これにより、光の漏洩を効果的に防止できる。 According to a preferred aspect of the present invention, the package wiring portion includes a first wiring layer and a second wiring layer disposed on the side where the light source portion is provided with respect to the first wiring layer. It is desirable that the pattern in the first wiring layer and the pattern in the second wiring layer are substantially orthogonal to each other. By making the pattern in the first wiring layer and the pattern in the second wiring layer substantially orthogonal to each other, it is possible to increase the detection resolution of the package breakage. Thereby, leakage of light can be effectively prevented.
また、本発明の好ましい態様としては、第2構造体は、セラミック部材を用いて構成されることが望ましい。絶縁性部材であるセラミック部材で構成された第2構造体を用いることで、パッケージ配線部同士の不要な導通を遮断できる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, it is desirable that the second structure is configured using a ceramic member. By using the second structure formed of the ceramic member that is an insulating member, unnecessary conduction between the package wiring portions can be cut off.
また、本発明の好ましい態様としては、第2構造体は、金属部材を用いて構成され、第2構造体及びパッケージ配線部の間に設けられた絶縁層を有することが望ましい。金属部材で構成された第2構造体を用いることで、パッケージを安価かつ強固にできる。絶縁層を用いることで、パッケージ配線部同士の不要な導通を遮断できる。 Moreover, as a preferable aspect of the present invention, it is desirable that the second structure is configured by using a metal member and has an insulating layer provided between the second structure and the package wiring portion. By using the second structure made of a metal member, the package can be made inexpensive and strong. By using the insulating layer, unnecessary conduction between the package wiring portions can be cut off.
さらに、本発明に係る照明装置は、上記の光源装置を有し、光源装置からの光を用いて被照射物を照明することを特徴とする。上記の光源装置を用いることで、高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保できる。これにより、高い安全性を確保可能な照明装置を得られる。 Furthermore, an illumination device according to the present invention includes the light source device described above, and illuminates an object to be irradiated using light from the light source device. By using the above light source device, it is possible to prevent leakage of light having a high energy density and to ensure high safety. Thereby, the illuminating device which can ensure high safety | security can be obtained.
さらに、本発明に係るモニタ装置は、上記の照明装置と、照明装置により照明された被写体を撮像する撮像部と、を有することを特徴とする。上記の照明装置を用いることで、高い安全性を確保できる。これにより、高い安全性を確保可能なモニタ装置を得られる。 Furthermore, a monitor device according to the present invention includes the above-described illumination device and an imaging unit that captures an image of a subject illuminated by the illumination device. By using the lighting device described above, high safety can be ensured. Thereby, a monitor device capable of ensuring high safety can be obtained.
さらに、本発明に係る画像表示装置は、上記の光源装置を有し、光源装置からの光を用いて画像を表示することを特徴とする。上記の光源装置を用いることで、高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保できる。これにより、高い安全性を確保可能な画像表示装置を得られる。 Furthermore, an image display device according to the present invention includes the light source device described above, and displays an image using light from the light source device. By using the above light source device, it is possible to prevent leakage of light having a high energy density and to ensure high safety. Thereby, an image display device capable of ensuring high safety can be obtained.
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施例1に係る光源装置10の概略構成を示す。光源装置10は、レーザ光を射出する半導体レーザである。半導体素子11は、第1波長の基本波光を射出する光源部であって、例えば、面発光型の半導体素子である。基本波光は、例えば赤外光である。第1波長は、例えば1064nmである。光学プリズム13は、プリズム用基台12上に配置されている。光学プリズム13は、直角三角形の側面を備える。光学プリズム13は、かかる直角三角形を二等分する2つの三角プリズムを貼り合わせて構成されている。2つの三角プリズムの接合面には、ダイクロイック膜14が形成されている。ダイクロイック膜14は、第1波長の光を透過させ、第1波長とは異なる波長である第2波長の光を反射する。
FIG. 1 shows a schematic configuration of a
第二高調波発生(Second−Harmonic Generation;SHG)素子15は、SHG素子用基台16上に配置されている。SHG素子15は、半導体素子11からの第1波長の基本波光を波長変換し、第2波長の高調波光を射出する波長変換素子である。高調波光は、例えば可視光である。第2波長は、第1波長の半分の波長であって、例えば532nmである。SHG素子15は、直方体形状をなしている。SHG素子15としては、例えば、非線形光学結晶を用いることができる。非線形光学結晶としては、例えば、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)の分極反転結晶(Periodically Poled Lithium Niobate;PPLN)を用いることができる。SHG素子15は、基本波光の第1波長に対応するピッチの分極反転構造を有する。SHG素子15を用いることで、容易に入手可能な汎用の光源を用いて、所望の波長かつ十分な光量のレーザ光を供給することが可能となる。
The second-harmonic generation (SHG)
外部共振器17は、半導体素子11との間において、半導体素子11からの光を共振させる。外部共振器17は、第1波長の光を選択的に反射し、第1波長とは異なる波長(第2波長を含む)の光を透過させる。外部共振器17としては、例えば、VHG(Volume Holographic Grating)を用いることができる。VHGは、LiNbO3、BGO等のフォトリフラクティブ結晶、ポリマー等を用いて形成できる。
The
第1構造体19及び第2構造体21は、半導体素子11、光学プリズム13、SHG素子15、外部共振器17を収納するパッケージを構成する。第1構造体19は、板形状の金属部材を用いて構成されている。半導体素子11、光学プリズム13、SHG素子15、外部共振器17は、第1構造体19上に配置されている。プリズム用基台12は、半導体素子11に対して紙面手前側、及び紙面奥側において光学プリズム13を支持する。プリズム用基台12は、半導体素子11が設けられた部分を空けて形成されている。SHG素子用基台16は、SHG素子15を支持する。
The
第2構造体21は、第1構造体19上にて半導体素子11、光学プリズム13、SHG素子15、外部共振器17を覆う。第2構造体21は、セラミック部材を用いて構成されている。第1構造体19及び第2構造体21は、第2構造体21の接合部22を第1構造体19に接合させることで、半導体素子11、光学プリズム13、SHG素子15、外部共振器17が設けられた空間を密閉する。接合部22は、第1構造体19に接合可能に形成された部分であって、第2構造体21のうち半導体素子11等を収納する部分の周囲に形成されている。接合部22は、第2構造体21の外縁部を第1構造体19の上面に平行になるように折り曲げて形成されている。接合部22を薄肉形状とすることで、半田のレーザ加熱等により第1構造体19及び第2構造体21を容易に接合できる。
The
ウィンドウ18は、第2構造体21のうち半導体素子11からの光が入射する位置に設けられている。ウィンドウ18は、第2構造体21に形成された開口を完全に塞ぐ形で設けられている。ウィンドウ18は、第1波長の光を反射し、第2波長の光を透過させる波長選択透過部として機能する。ウィンドウ18は、ガラス等の透明部材のうち外部共振器17側の面に誘電体多層膜を設けることにより構成されている。第1構造体19及び第2構造体21を用いた密閉構造と、波長選択性を持たせたウィンドウ18により、光源装置10外部への基本波光の射出を低減させる。
The
半導体素子11からの基本波光は、光学プリズム13へ入射する。光学プリズム13へ入射した光は、光学プリズム13の界面で反射し、光路が折り曲げられた後、ダイクロイック膜14へ入射する。ダイクロイック膜14へ入射した基本波光は、ダイクロイック膜14を透過し、光学プリズム13から射出する。光学プリズム13からの光は、SHG素子15へ入射する。
The fundamental wave light from the
光学プリズム13から基本波光を入射させることによりSHG素子15で生じた高調波光は、外部共振器17を透過する。外部共振器17を透過した高調波光は、ウィンドウ18を透過した後、光源装置10外へ射出する。光学プリズム13からSHG素子15を透過した基本波光は、外部共振器17で反射する。外部共振器17で反射した光は、SHG素子15へ入射する。
The harmonic light generated in the
外部共振器17から基本波光を入射させることによりSHG素子15で生じた高調波光は、光学プリズム13内のダイクロイック膜14で反射し、光路が折り曲げられる。ダイクロイック膜14で反射した光は、光学プリズム13の界面での反射によりさらに光路が折り曲げられ、光学プリズム13から射出する。光学プリズム13から射出した光は、SHG素子15の近傍及び外部共振器17の近傍を通過する。SHG素子15の近傍及び外部共振器17の近傍を通過した光は、外部共振器17を透過した光と略平行に進行し、ウィンドウ18を透過する。
Harmonic light generated in the
外部共振器17側からSHG素子15を透過した基本波光は、光学プリズム13内のダイクロイック膜14を透過する。ダイクロイック膜14を透過した光は、光学プリズム13の界面で反射し、半導体素子11の方向へ進行する。光学プリズム13から半導体素子11へ入射した光は、半導体素子11に設けられたミラー層(不図示)で反射する。半導体素子11のミラー層、及び外部共振器17により反射された光は、半導体素子11から新たに射出する基本波光と共振して増幅される。光学プリズム13を用いることで、外部共振器17からSHG素子15へ基本波光を入射させることにより生じた高調波光を光源装置10外へ進行させ、かつSHG素子15を透過した基本波光を半導体素子11の方向へ進行させることができる。これにより、波長変換効率を向上させることができる。
The fundamental light that has passed through the
図2は、第1構造体19から第2構造体21を取り外した状態を示す。図3は、図2に示す第2構造体21のAA断面構成を示す。図2において第2構造体21は、第1構造体19側から斜めに見た構成を示す。パッケージを構成する第2構造体21には、パッケージ配線部25が設けられている。図3に示すように、パッケージ配線部25は、第2構造体21の内面に沿って配置されている。パッケージ配線部25は、1本の導線を複数箇所で折り曲げることにより、縞状のパターンをなすように形成されている。パッケージ配線部25のパターンは、半導体素子11からの光の進行方向に略直交させて配置されている。パッケージ配線部25の端部である第1端部26及び第2端部27は、いずれも接合部22に配置されている。パッケージ配線部25は、例えば、メタライズ技術等を用いて第2構造体21に金属膜を形成した後、金属膜をパターニングすることにより形成することができる。
FIG. 2 shows a state where the
図2に示す第1構造体19は、第2構造体21側から斜めに見た構成を示す。第1構造体19上のうち半導体素子11、プリズム用基台12、SHG素子用基台16、外部共振器17が設けられた部分以外の部分には、基板20が設けられている。基板20は、絶縁性部材を用いて構成されている。基板20上のうち半導体素子11に対向する部分には、光源用電力供給部33が設けられている。光源用電力供給部33は、半導体素子11へ電力を供給するための導線である。光源用電力供給部33のうち半導体素子11側とは反対側の端部には、不図示の光源駆動部が接続されている。
The
基板20上のうち光源用電力供給部33の両隣には、第1接続用導線31及び第2接続用導線32が設けられている。第1接続用導線31及び第2接続用導線32は、パッケージ配線部25及び不図示の断線検出回路を接続する接続用導線である。基板20は、光源用電力供給部33、第1接続用導線31、及び第2接続用導線32の不要な導通を遮断する。第1接続用導線31の端部34は、第1構造体19及び第2構造体21を接合することにより、パッケージ配線部25の第1端部26に当接する位置に設置される。
A
第2接続用導線32の端部35は、第1構造体19及び第2構造体21を接合することにより、パッケージ配線部25の第2端部27に当接する位置に設置される。第2構造体21の接合部22に第1端部26及び第2端部27を配置しているため、第1構造体19及び第2構造体21を接合することで、第1接続用導線31、第2接続用導線32及びパッケージ配線部25を容易に接続できる。
The
図4は、断線検出回路40の構成を示す。断線検出回路40は、パッケージ配線部25の断線を検出する断線検出部である。断線検出回路40は、パッケージ配線部25の断線を電圧の変化により検出する。第1接続用導線31には、通電用電源42が接続されている。第2接続用導線32には、電圧検出用抵抗43が接続されている。パッケージ配線部25及び電圧検出用抵抗43は、通電用電源42により通電する。コンパレータ45は、電圧検出用抵抗43の電圧と、比較用電源44による基準電圧とを比較し、その大小関係に応じて互いに異なる二値の電圧を出力する。光源駆動部41は、コンパレータ45からの入力に応じて半導体素子11を駆動する。パッケージ配線部25が通電している間、電圧検出用抵抗43の電圧と基準電圧の大小関係は一定となる。この間、コンパレータ45からの入力に応じて、光源駆動部41は、半導体素子11の駆動を継続する。
FIG. 4 shows a configuration of the disconnection detection circuit 40. The disconnection detection circuit 40 is a disconnection detection unit that detects disconnection of the
例えば、第2構造体21の破損によりパッケージ配線部25が断線したとする。パッケージ配線部25の断線により、電圧検出用抵抗43の電圧及び基準電圧の大小関係は変化する。電圧検出用抵抗43の電圧及び基準電圧の大小関係の変化に応じて、光源駆動部41は、半導体素子11の駆動を停止する。このようにして、断線検出回路40は、パッケージ配線部25の断線を検出した場合に、半導体素子11の駆動を停止する。半導体素子11は、パッケージ配線部25の断線により、光の射出を停止する。
For example, it is assumed that the
以上により、パッケージ配線部25を用いることで、パッケージの破損とともに半導体素子11からの光の射出を停止することができる。これにより、パッケージが破損した場合に高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保できるという効果を奏する。なお、断線検出回路40は、パッケージ配線部25の断線を検出可能であれば良く、本実施例で説明する構成に限られない。
As described above, by using the
図5は、本実施例の変形例を説明するものである。本変形例の第2構造体47は、金属部材を用いて構成されている。第2構造体47及びパッケージ配線部25の間には、絶縁層46が設けられている。絶縁層46は、パッケージ配線部25及び第2構造体47間の導通を遮断する。金属部材で構成された第2構造体47を用いることで、パッケージを安価かつ強固にできる。絶縁層46を用いることで、パッケージ配線部25同士の不要な導通を遮断できる。本変形例で説明するパッケージ配線部25は、第2構造体47に絶縁層46及び金属膜を積層した後、金属層をパターニングすることにより形成することができる。
FIG. 5 illustrates a modification of the present embodiment. The
光源装置10は、光源部として半導体素子を用いる他、半導体レーザ励起固体(Diode Pumped Solid State;DPSS)レーザや、固体レーザ、液体レーザ、ガスレーザ等を用いる構成としても良い。光源部は、複数の光を射出するアレイ光源であっても良い。光源装置10は、本実施例で説明する構成である場合に限られず、構成を適宜変更しても良い。
The
図6は、本発明の実施例2に係る光源装置50の概略構成を示す。上記実施例と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。ウィンドウ51は、外部共振器17からの光線に対して傾けて配置されている。ウィンドウ51は、第1波長の光を反射し、第2波長の光を透過させる波長選択透過部として機能する。ウィンドウ51は、ガラス等の透明部材のうち外部共振器17側の面に誘電体多層膜を設けることにより構成されている。外部共振器17から射出した高調波光は、ウィンドウ51を透過した後、光源装置50外へ射出する。外部共振器17からウィンドウ51へ斜めに入射した基本波光は、ウィンドウ51で反射した後、第2構造体21へ入射する。第2構造体21へ入射した基本波光は、第2構造体21で吸収される。
FIG. 6 shows a schematic configuration of a
図7は、第2構造体21に設けられたパッケージ配線部52の構成を説明するものである。領域ARは、第2構造体21のうちウィンドウ51で反射した第1波長の基本波光が入射する領域、及びその近傍の領域である。パッケージ配線部52のパターンは、領域ARにおける間隔が、第2構造体21のうち領域AR以外の領域より小さく形成されている。パッケージ配線部52のパターンは、領域ARにおける幅も、領域AR以外の領域より小さく形成されている。パッケージ配線部52の幅を小さくすることで、パッケージ配線部52を密に配置することができる。パッケージ配線部52の間隔を領域ARにて小さくすることで、基本波光が入射する可能性が高い箇所についてパッケージ破損の検出分解能を高めることができる。これにより、基本波光の漏洩を効果的に防止できる。
FIG. 7 illustrates the configuration of the
図8〜図10は、本発明の実施例3に係る光源装置について説明するものである。上記実施例と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図8に示すように、SHG素子15上には、ヒータ61及びサーミスタ62が設けられている。ヒータ61は、SHG素子15の中心部に配置されている。ヒータ61は、熱の供給によりSHG素子15の温度を調節する温度調節部である。ヒータ61は、例えば電熱ヒータである。サーミスタ62は、SHG素子15の温度を計測する温度計測部である。サーミスタ62は、SHG素子15のうち中心部以外の位置に配置されている。サーミスタ62は、SHG素子15の温度を計測可能であれば良く、本実施例で説明する位置に配置する場合に限られない。
FIGS. 8-10 demonstrates the light source device which concerns on Example 3 of this invention. The same parts as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. As shown in FIG. 8, a
図9は、SHG素子15の温度を調節するためのブロック構成を示す。サーミスタ62は、温度の変化を抵抗値の変化として温度制御部63へ出力する。温度制御部63は、サーミスタ62により計測された温度、及び所定の設定温度の偏差からヒータ61へ供給する電力量を計算し、計算された電力量に応じた電力をヒータ61へ供給する。温度制御部63は、サーミスタ62による計測結果に基づいてヒータ61のフィードバック制御を行う。ヒータ61は、サーミスタ62による計測結果に基づいて、SHG素子15の温度を調節する。
FIG. 9 shows a block configuration for adjusting the temperature of the
図10は、第1接続用導線31及び第2接続用導線32の間にヒータ61が接続された構成を説明するものである。ヒータ61は、第1接続用導線31の端部64、及びパッケージ配線部25の第1端部26の間に接続されている。ヒータ61は、第1接続用導線31、第2接続用導線32及びパッケージ配線部25を備えた回路を用いて電力が供給される。パッケージ配線部25が断線した場合、ヒータ61は、電力供給が遮断されることで駆動を停止する。本実施例では、パッケージ配線部25の断線により、半導体素子11が駆動を停止するとともに、ヒータ61も駆動を停止する。これにより、パッケージの破損により、半導体素子11の駆動を停止するとともに、ヒータ61による温度調節も停止することができる。また、ヒータ61への電力供給のための配線を別途設ける必要が無いため、光源装置を簡易な構成にできる。
FIG. 10 illustrates a configuration in which a
光源装置は、パッケージ配線部25にサーミスタ62の信号線を接続することとしても良い。サーミスタ62は、ヒータ61の場合と同様にして、パッケージ配線部25に接続することができる。これにより、パッケージの破損により、半導体素子11の駆動を停止するとともに、サーミスタ62による計測も停止することができる。ヒータ61の位置、数量、形状は、本実施例で説明するものに限られず、適宜変更しても良い。温度調節部としては、ヒータ61の他、ペルチェ素子や薄膜状の抵抗体を用いても良い。また、温度調節部として、赤外線照射等のエネルギーを制御することで温度制御を行うものを利用しても良い。
The light source device may connect the signal line of the
図11は、本発明の実施例4に係る光源装置の要部概略構成を示す。本実施例の光源装置は、第1配線層77及び第2配線層72により構成されたパッケージ配線部を有することを特徴とする。上記実施例と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。第1配線層77は、上記実施例のパッケージ配線部25(図2参照)と同様に構成されている。
FIG. 11 shows a schematic configuration of the main part of a light source device according to Embodiment 4 of the present invention. The light source device of the present embodiment has a package wiring portion constituted by a
第2配線層72は、第1配線層77に対して半導体素子11(図1参照)が設けられた側に配置されている。第1配線層77におけるパターンと第2配線層72におけるパターンは、互いに略直交する。第1配線層77及び第2配線層72の間には、絶縁層71が設けられている。絶縁層71は、第1配線層77及び第2配線層72間の不要な導通を遮断する。絶縁層71は、絶縁性部材を用いて構成されている。
The
パッケージ配線部のうち第1配線層77の第1端部26は、第1接続用導線31の端部34(図2参照)に接続されている。第1配線層77のうち第1端部26とは反対側の第2端部73は、第2配線層72の第1端部74に合わせて配置されている。絶縁層71のうち、第1配線層77の第2端部73及び第2配線層72の第1端部74に挟まれた部分には、不図示の貫通孔が形成されている。第1配線層77の第2端部73及び第2配線層72の第1端部74は、貫通孔に設けられた不図示のバンプにより接続されている。バンプは、導電性部材、例えば金属部材を用いて構成されている。
Of the package wiring portion, the
パッケージ配線部のうち第2配線層72の第2端部76は、第2接続用導線32の端部35(図2参照)に接続されている。このような構成により、パッケージ配線部の第1配線層77及び第2配線層72は、第1接続用導線31及び第2接続用導線32の間に接続されている。本実施例の光源装置は、パッケージの破損によりパッケージ配線部の第1配線層77及び第2配線層72の少なくとも一方に断線が生じれば、半導体素子11からの光の射出を停止する。第1配線層77におけるパターンと第2配線層72におけるパターンとを略直交させることで、パッケージ破損の検出分解能を高めることができる。これにより、光の漏洩を効果的に防止できる。
The
各実施例において、パッケージ配線部は、1本の導線で構成する場合に限られず、2本以上の複数本の導線で構成することとしても良い。例えば実施例3において2本の導線によりパッケージ配線部を構成する場合、一方の導線にヒータ、他方の導線にサーミスタを接続することとしても良い。各実施例の構成は、適宜組み合わせることとしても良い。 In each embodiment, the package wiring portion is not limited to being configured with one conductive wire, and may be configured with two or more conductive wires. For example, in the case where the package wiring portion is configured by two conductive wires in the third embodiment, a heater may be connected to one conductive wire, and a thermistor may be connected to the other conductive wire. The configurations of the embodiments may be combined as appropriate.
図12は、本発明の実施例5に係るモニタ装置80の概略構成を示す。モニタ装置80は、装置本体81と、光伝送部82とを有する。装置本体81は、上記実施例1の光源装置10(図1参照)を備える。光伝送部82は、2つのライトガイド84、85を有する。光伝送部82のうち被写体(不図示)側の端部には、拡散板86及び結像レンズ87が設けられている。第1ライトガイド84は、光源装置10からの光を被写体へ伝送する。拡散板86は、第1ライトガイド84の射出側に設けられている。第1ライトガイド84内を伝播した光は、拡散板86を透過することにより、被写体側にて拡散する。光源装置10から拡散板86までの光路中の各部は、被写体を照明する照明装置を構成する。
FIG. 12 shows a schematic configuration of a
第2ライトガイド85は、被写体からの光をカメラ83へ伝送する。結像レンズ87は、第2ライトガイド85の入射側に設けられている。結像レンズ87は、被写体からの光を第2ライトガイド85の入射面へ集光させる。被写体からの光は、結像レンズ87により第2ライトガイド85へ入射した後、第2ライトガイド85内を伝播してカメラ83へ入射する。
The second
第1ライトガイド84、第2ライトガイド85としては、多数の光ファイバを束ねたものを用いることができる。光ファイバを用いることで、レーザ光を遠方へ伝送させることができる。カメラ83は、装置本体81内に設けられている。カメラ83は、光源装置10からの光により照明された被写体を撮像する撮像部である。第2ライトガイド85から入射した光をカメラ83へ入射させることで、カメラ83による被写体の撮像ができる。上記実施例1の光源装置10を用いることにより、高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保できる。これにより、高い安全性を確保できるという効果を奏する。なお、モニタ装置80は、上記実施例のいずれの光源装置を適用しても良い。
As the 1st
図13は、本発明の実施例6に係るプロジェクタ90の概略構成を示す。プロジェクタ90は、スクリーン99に光を供給し、スクリーン99で反射する光を観察することで画像を鑑賞するフロント投写型のプロジェクタである。プロジェクタ90は、赤色(R)光用光源装置91R、緑色(G)光用光源装置91G、青色(B)光用光源装置91Bを有する。各色光用光源装置91R、91G、91Bは、いずれも上記実施例1の光源装置10(図1参照)と同様の構成を有する。上記実施例1と重複する説明は省略する。プロジェクタ90は、各色光用光源装置91R、91G、91Bからの光を用いて画像を表示する。
FIG. 13 shows a schematic configuration of a
R光用光源装置91Rは、R光を供給する光源装置である。拡散素子92は、照明領域の整形、拡大、照明領域におけるレーザ光の光量分布の均一化を行う。拡散素子92としては、例えば、回折光学素子である計算機合成ホログラム(Computer Generated Hologram;CGH)を用いることができる。フィールドレンズ93は、R光用光源装置91Rからのレーザ光を平行化させ、R光用空間光変調装置94Rへ入射させる。R光用光源装置91R、拡散素子92、及びフィールドレンズ93は、R光用空間光変調装置94Rを照明する照明装置を構成する。R光用空間光変調装置94Rは、照明装置からのR光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。R光用空間光変調装置94Rで変調されたR光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム95へ入射する。
The R light source device 91 </ b> R is a light source device that supplies R light. The diffusing
G光用光源装置91Gは、G光を供給する光源装置である。拡散素子92及びフィールドレンズ93を経たレーザ光は、G光用空間光変調装置94Gへ入射する。G光用光源装置91G、拡散素子92、及びフィールドレンズ93は、G光用空間光変調装置94Gを照明する照明装置を構成する。G光用空間光変調装置94Gは、照明装置からのG光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。G光用空間光変調装置94Gで変調されたG光は、クロスダイクロイックプリズム95のうちR光が入射する面とは異なる面へ入射する。
The G
B光用光源装置91Bは、B光を供給する光源装置である。拡散素子92及びフィールドレンズ93を経たレーザ光は、B光用空間光変調装置94Bへ入射する。B光用光源装置91B、拡散素子92、及びフィールドレンズ93は、B光用空間光変調装置94Bを照明する照明装置を構成する。B光用空間光変調装置94Bは、照明装置からのB光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。B光用空間光変調装置94Bで変調されたB光は、クロスダイクロイックプリズム95のうちR光が入射する面、及びG光が入射する面とは異なる面へ入射する。透過型液晶表示装置としては、例えば高温ポリシリコンTFT液晶パネル(High Temperature Polysilicon;HTPS)を用いることができる。
The
クロスダイクロイックプリズム95は、互いに略直交させて配置された2つのダイクロイック膜96、97を有する。第1ダイクロイック膜96は、R光を反射し、G光及びB光を透過させる。第2ダイクロイック膜97は、B光を反射し、R光及びG光を透過させる。クロスダイクロイックプリズム95は、それぞれ異なる方向から入射したR光、G光及びB光を合成し、投写レンズ98の方向へ射出する。投写レンズ98は、クロスダイクロイックプリズム95で合成された光をスクリーン99に向けて投写する。
The cross
上記の光源装置10と同様の構成を有する各色光用光源装置91R、91G、91Bを用いることにより、高いエネルギー密度の光の漏洩を防ぎ高い安全性を確保できる。これにより、高い安全性を確保できるという効果を奏する。なお、各色光用光源装置91R、91G、91Bは、上記各実施例で説明するいずれの光源装置と同様の構成を適用しても良い。プロジェクタ90は、例えば、R光用光源装置91RについてはSHG素子を用いず光源部からの基本波光をそのまま射出するものとし、G光用光源装置91G及びB光用光源装置91Bについて、上記の光源装置10と同様の構成としても良い。
By using each color
プロジェクタは、空間光変調装置として透過型液晶表示装置を用いる場合に限られない。空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置(Liquid Crystal On Silicon;LCOS)、DMD(Digital Micromirror Device)、GLV(Grating Light Valve)等を用いても良い。プロジェクタは、色光ごとに空間光変調装置を備える構成に限られない。プロジェクタは、一の空間光変調装置により2つ又は3つ以上の色光を変調する構成としても良い。プロジェクタは、空間光変調装置を用いる場合に限られない。プロジェクタは、ガルバノミラー等の走査手段により光源装置からのレーザ光を走査させ、被照射面において画像を表示するレーザスキャン型のプロジェクタであっても良い。プロジェクタは、画像情報を持たせたスライドを用いるスライドプロジェクタであっても良い。プロジェクタは、スクリーンの一方の面に光を供給し、スクリーンの他方の面から射出される光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタであっても良い。 The projector is not limited to the case where a transmissive liquid crystal display device is used as the spatial light modulation device. As the spatial light modulator, a reflective liquid crystal display (Liquid Crystal On Silicon; LCOS), DMD (Digital Micromirror Device), GLV (Grating Light Valve), or the like may be used. The projector is not limited to a configuration including a spatial light modulator for each color light. The projector may be configured to modulate two or three or more color lights with one spatial light modulator. The projector is not limited to the case where the spatial light modulator is used. The projector may be a laser scanning projector that scans the laser light from the light source device by scanning means such as a galvanometer mirror and displays an image on the irradiated surface. The projector may be a slide projector that uses a slide having image information. The projector may be a so-called rear projector that supplies light to one surface of the screen and observes an image by observing light emitted from the other surface of the screen.
本発明の光源装置は、画像表示装置である液晶ディスプレイに適用しても良い。本発明の光源装置と導光板を組み合わせることにより、液晶パネルを照明する照明装置として用いることができる。この場合も、高い安全性を確保することができる。本発明の光源装置は、モニタ装置や画像表示装置に適用される場合に限られない。本発明の光源装置は、例えば、レーザ光を用いた露光のための露光装置やレーザ加工装置等の光学系に用いても良い。 The light source device of the present invention may be applied to a liquid crystal display that is an image display device. By combining the light source device of the present invention and the light guide plate, it can be used as an illumination device for illuminating the liquid crystal panel. Also in this case, high safety can be ensured. The light source device of the present invention is not limited to being applied to a monitor device or an image display device. The light source device of the present invention may be used, for example, in an optical system such as an exposure device for laser beam exposure or a laser processing device.
以上のように、本発明に係る光源装置は、モニタ装置や画像表示装置に用いる場合に適している。 As described above, the light source device according to the present invention is suitable for use in a monitor device or an image display device.
10 光源装置、11 半導体素子、12 プリズム用基台、13 光学プリズム、14 ダイクロイック膜、15 SHG素子、16 SHG素子用基台、17 外部共振器、18 ウィンドウ、19 第1構造体、20 基板、21 第2構造体、22 接合部、25 パッケージ配線部、26 第1端部、27 第2端部、31 第1接続用導線、32 第2接続用導線、33 光源用電力供給部、34、35 端部、40 断線検出回路、41 光源駆動部、42 通電用電源、43 電圧検出用抵抗、44 比較用電源、45 コンパレータ、46 絶縁層、47 第2構造体、50 光源装置、51 ウィンドウ、52 パッケージ配線部、61 ヒータ、62 サーミスタ、63 温度制御部、64 端部、71 絶縁層、72 第2配線層、73、76 第2端部、74 第1端部、77 第1配線層、80 モニタ装置、81 装置本体、82 光伝送部、83 カメラ、84 第1ライトガイド、85 第2ライトガイド、86 拡散板、87 結像レンズ、90 プロジェクタ、91R R光用光源装置、91G G光用光源装置、91B B光用光源装置、92 拡散素子、93 フィールドレンズ、94R R光用空間光変調装置、94G G光用空間光変調装置、94B B光用空間光変調装置、95 クロスダイクロイックプリズム、96 第1ダイクロイック膜、97 第2ダイクロイック膜、98 投写レンズ、99 スクリーン Reference Signs List 10 light source device, 11 semiconductor element, 12 prism base, 13 optical prism, 14 dichroic film, 15 SHG element, 16 SHG element base, 17 external resonator, 18 window, 19 first structure, 20 substrate, 21 2nd structure, 22 junction part, 25 package wiring part, 26 1st end part, 27 2nd end part, 31 1st connection lead wire, 32 2nd connection lead wire, 33 light source power supply part, 34, 35 end, 40 disconnection detection circuit, 41 light source drive unit, 42 power supply for energization, 43 voltage detection resistor, 44 power supply for comparison, 45 comparator, 46 insulating layer, 47 second structure, 50 light source device, 51 window, 52 package wiring part, 61 heater, 62 thermistor, 63 temperature control part, 64 end part, 71 insulating layer, 72 second wiring layer, 73, 7 Second end portion, 74 First end portion, 77 First wiring layer, 80 Monitor device, 81 Device body, 82 Light transmission portion, 83 Camera, 84 First light guide, 85 Second light guide, 86 Diffuser plate, 87 Imaging lens, 90 projector, 91R R light source device, 91G G light source device, 91B B light source device, 92 diffusing element, 93 field lens, 94RR light spatial light modulator, 94G G light space Light modulator, spatial light modulator for 94B light, 95 cross dichroic prism, 96 first dichroic film, 97 second dichroic film, 98 projection lens, 99 screen
Claims (9)
少なくとも前記光源部を収納するパッケージと、
前記パッケージに設けられ、パターンをなすように形成されたパッケージ配線部と、
前記パッケージ配線部の断線を検出する断線検出部と、
を有し、
前記パッケージは、
前記光源部が配置され、前記パッケージ配線部及び前記断線検出部を接続する接続用導線が配置された第1構造体と、
前記パッケージ配線部が配置され、前記第1構造体に接合可能に形成された接合部に前記パッケージ配線部の端部が配置された第2構造体と、
を有し、
前記パッケージ配線部の断線を検出した場合に、前記光源部の駆動を停止させ、前記光源部からの光の射出を停止することを特徴とする光源装置 A light source that emits light;
A package for storing at least the light source unit;
A package wiring portion provided in the package and formed to form a pattern;
A disconnection detection unit for detecting disconnection of the package wiring unit;
Have
The package is
A first structure in which the light source unit is disposed, and a connecting conductor for connecting the package wiring unit and the disconnection detection unit is disposed;
A second structure in which the package wiring portion is disposed and an end portion of the package wiring portion is disposed at a joint portion formed so as to be capable of being joined to the first structure;
Have
When disconnection of the package wiring part is detected, driving of the light source part is stopped and emission of light from the light source part is stopped.
前記光源部から射出された前記第1波長の光を波長変換し、前記第1波長とは異なる波長である第2波長の光を射出する波長変換素子と、
前記パッケージのうち前記波長変換素子からの光が入射する位置に設けられ、前記第1波長の光を反射し、前記第2波長の光を透過させる波長選択透過部と、を有し、
前記パッケージ配線部のパターンは、前記パッケージのうち前記波長選択透過部で反射した前記第1波長の光が入射する領域における間隔が、前記第1波長の光が入射する領域以外の領域における間隔より小さく形成されることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 The light source unit emits light of a first wavelength,
A wavelength conversion element that converts the wavelength of the first wavelength of light emitted from the light source unit and emits light of a second wavelength that is different from the first wavelength;
A wavelength selective transmission part that is provided at a position where light from the wavelength conversion element is incident in the package, reflects the light of the first wavelength, and transmits the light of the second wavelength;
The pattern of the package wiring portion is such that the interval in the region where the light of the first wavelength reflected by the wavelength selective transmission portion of the package is incident is greater than the interval in the region other than the region where the light of the first wavelength is incident. The light source device according to claim 1, wherein the light source device is formed small.
前記波長変換素子の温度を計測する温度計測部と、
前記温度計測部による計測結果に基づいて、前記波長変換素子の温度を調節する温度調節部と、を有し、
前記パッケージ配線部は、前記温度計測部及び前記温度調節部の少なくとも一方に接続されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光源装置。 A wavelength conversion element that converts the wavelength of light emitted from the light source unit;
A temperature measurement unit for measuring the temperature of the wavelength conversion element;
A temperature adjusting unit that adjusts the temperature of the wavelength conversion element based on a measurement result by the temperature measuring unit;
The package wiring portion, the temperature measuring unit and the light source apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it is connected to at least one of the temperature adjusting unit.
前記第2構造体及び前記パッケージ配線部の間に設けられた絶縁層を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光源装置。 The second structure is configured using a metal member,
The light source device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that an insulating layer provided between said second structure and the package wiring portion.
前記照明装置により照明された被写体を撮像する撮像部と、を有することを特徴とするモニタ装置。 A lighting device according to claim 7 ;
An image pickup unit for picking up an image of a subject illuminated by the illumination device.
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