JP4929890B2

JP4929890B2 - Image stabilizer

Info

Publication number: JP4929890B2
Application number: JP2006196299A
Authority: JP
Inventors: 憲造市川
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 2006-07-19
Filing date: 2006-07-19
Publication date: 2012-05-09
Anticipated expiration: 2026-07-19
Also published as: JP2008029062A

Description

本発明は、圧電アクチュエータ、これを用いた手ぶれ補正装置及び圧電アクチュエータの検査方法に関するものである。 The present invention relates to a piezoelectric actuator, a camera shake correction apparatus using the piezoelectric actuator, and a piezoelectric actuator inspection method.

従来、圧電素子を用いて構成される圧電アクチュエータが提案されるに至っている。この圧電アクチュエータは、柱状の弾性体と、この弾性体の中心部に突設された突起部、及びこの突起部の両側であって前記弾性体の表面と裏面にそれぞれ貼着された各々一対の圧電素子とで構成されている。そして、各圧電素子に電圧を印加すると、圧電素子が伸長又は収縮し、これに伴って弾性体が変形する。この弾性体の変形により、前記突起部が上下方向及びこれと交差する左右方向とに変位し、この突起部の変位によって駆動対象を上下方向と左右方向とに駆動するものである（例えば、特許文献１参照。）。
特開平７−２７４５５６号公報 Conventionally, piezoelectric actuators configured using piezoelectric elements have been proposed. The piezoelectric actuator includes a columnar elastic body, a protrusion projecting from the central portion of the elastic body, and a pair of each bonded to the front and back surfaces of the elastic body on both sides of the protrusion. And a piezoelectric element. When a voltage is applied to each piezoelectric element, the piezoelectric element expands or contracts, and the elastic body is deformed accordingly. Due to the deformation of the elastic body, the protruding portion is displaced in the vertical direction and the horizontal direction intersecting with the vertical direction, and the object to be driven is driven in the vertical direction and the horizontal direction by the displacement of the protruding portion (for example, patent) Reference 1).
JP 7-274556 A

このような圧電アクチュエータを実際に各種装置に組み付けて用いるに際しては、変形に伴って弾性体自体が移動してしまうことから、これを防止して突起部が所定の変位量、変位軌跡で変位することを確保すべく、弾性体の周部を固定する必要がある。しかしながら、各種装置に組み込むに際して弾性体の周部を固定すると、固定状態や固定構造に応じて弾性体の変形量に変化が生ずる。したがって、従来の圧電アクチュエータは、各種装置に組み付けた際の固定状態や固定構造に応じて、突起部の変位量や変位軌跡が異なってしまい、設計した際に設定した変位量や変位軌跡を得られなくなってしまう。 When such a piezoelectric actuator is actually assembled and used in various devices, the elastic body itself moves along with the deformation. Therefore, this is prevented, and the protrusion is displaced by a predetermined displacement amount and displacement locus. In order to ensure this, it is necessary to fix the periphery of the elastic body. However, if the peripheral portion of the elastic body is fixed when incorporated into various devices, the amount of deformation of the elastic body changes depending on the fixed state or the fixed structure. Therefore, the conventional piezoelectric actuator has different displacement amount and displacement trajectory of the protrusions depending on the fixed state and fixed structure when assembled in various devices, and the displacement amount and displacement locus set at the time of design are obtained. It will not be possible.

本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、各種装置に組み付けた場合であっても、設計時と同様の変位量、変位軌跡で突起部を動作させることのできる圧電アクチュエータを用いた手ぶれ補正装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such conventional problems, even when assembled in various devices, the amount of displacement of the same manner as in the design, a piezoelectric actuator capable of operating the protrusion in the displacement trajectory An object of the present invention is to provide a camera shake correction device used .

前記課題を解決するため請求項１記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、可撓性を有する変形部と、この変形部の一面に設けられた突起部と、前記変形部の一面と他面の少なくとも一方の面に設けられ、前記突起部の両側に直線状に配置された第１及び第２の圧電素子と、これら第１及び第２の圧電素子の配置方向と直交する方向に配置された第３及び第４の圧電素子と、予め前記突起部の複数の変位パターンと、各変位パターンに対応する前記第１乃至第４の圧電素子の駆動電圧を記憶した記憶手段と、前記変形部の周部に形成され、非可撓性を有する固定部と、を備え、前記記憶手段に記憶されている変位パターンに対応する前記第１乃至第４の圧電素子の駆動電圧に基づいて、前記第１乃至第４の圧電素子に駆動電圧を印加することにより、前記板状部材を撓み変形させて前記突起部を変位させる圧電アクチュエータを備え、前記圧電アクチュエータに印加する駆動電圧を、前記変位パターンに従って連続的に切り替えることで前記突起部を変位させ、撮像素子を駆動させることを特徴とする。
In order to solve the above-described problem, in the camera shake correction device according to the first aspect of the present invention, a deformable portion having flexibility, a protrusion provided on one surface of the deformable portion, and one surface of the deformable portion, First and second piezoelectric elements which are provided on at least one of the other surfaces and are linearly arranged on both sides of the projection, and in a direction perpendicular to the arrangement direction of the first and second piezoelectric elements. Storage means for storing the arranged third and fourth piezoelectric elements, a plurality of displacement patterns of the protrusions, and driving voltages of the first to fourth piezoelectric elements corresponding to the respective displacement patterns; A fixing portion formed on the periphery of the deformable portion and having inflexibility, and based on driving voltages of the first to fourth piezoelectric elements corresponding to the displacement patterns stored in the storage means. And applying a drive voltage to the first to fourth piezoelectric elements. And a piezoelectric actuator that deflects and deforms the plate-like member to displace the protrusion, and the drive voltage applied to the piezoelectric actuator is continuously switched according to the displacement pattern to displace the protrusion. The image pickup device is driven .

また、請求項２記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記変形部と突起部とを一体的に形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the second aspect of the present invention, the deforming portion and the projecting portion are integrally formed.

また、請求項３記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記第１乃至第４の圧電素子が、前記突起部が設けられた面と同一の前記一面側と、前記突起部が設けられた面とは異なる他面側の少なくともいずれか一方に配置されたことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the third aspect of the present invention, the first to fourth piezoelectric elements are provided on the same side as the surface on which the protrusion is provided, and the protrusion is provided. It is characterized in that it is arranged on at least one of the other surface side different from the formed surface.

また、請求項４記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記固定部を、前記変形部の全周に亙って設けたことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the invention described in claim 4 , the fixing portion is provided over the entire circumference of the deformation portion.

また、請求項５記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記変形部と固定部とを一体的に形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the deformable portion and the fixed portion are integrally formed.

また、請求項６記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記固定部に、固定用の螺旋を挿通するための穴部及び／又は切欠部を設けたことを特徴とする。
The camera shake correction apparatus according to the invention described in claim 6 is characterized in that the fixing portion is provided with a hole portion and / or a notch portion for inserting a fixing spiral.

また、請求項７記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記固定部を前記変形部よりも厚肉に形成するとともに、前記固定部に配線用の凹部を形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the invention described in claim 7 , the fixing portion is formed thicker than the deformation portion, and a concave portion for wiring is formed in the fixing portion. .

また、請求項８記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記変形部に開口部を形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the eighth aspect of the present invention, an opening is formed in the deformable portion.

また、請求項９記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記開口部を、前記変形部における隣接する各圧電素子間の領域に形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the ninth aspect of the present invention, the opening is formed in a region between adjacent piezoelectric elements in the deforming portion.

また、請求項１０記載の発明に係る手振れ補正装置にあっては、前記開口部を、前記変形部であって、該変形部と前記固定部との境界の近傍に形成したことを特徴とする。
In the camera shake correction apparatus according to the invention described in claim 10 , the opening is the deforming portion and is formed in the vicinity of a boundary between the deforming portion and the fixing portion. .

本発明に係る手振れ補正装置によれば、突起部が設けられた可撓性を有する変形部の周部に固定部を形成するようにしたことから、この圧電アクチュエータを実際に各種装置に組み付けて用いるに際して、固定部にて固定することができる。このとき、固定部は当該圧電アクチュエータに予め設けられている部分であって、当該圧電アクチュエータの一部として設計された部分であることから、固定部を固定して各種装置に組み付けも、突起部の変位量や変位軌跡が設計時と異なってしまうことはない。よって、各種装置に組み付けた場合であっても、当該圧電アクチュエータを設計した際に設定した変位量や変位軌跡で動作させることができる。そして、この圧電アクチュエータの設計時の動作能力と同様の動作能力で撮像素子を駆動することができる。
According to the camera shake correction device according to the present invention, since the fixing portion is formed on the peripheral portion of the flexible deformable portion provided with the protrusion, the piezoelectric actuator is actually assembled to various devices. In use, it can be fixed by a fixing portion. At this time, since the fixing portion is a portion provided in advance in the piezoelectric actuator and is a portion designed as a part of the piezoelectric actuator, the fixing portion can be fixed and assembled to various devices. The amount of displacement and the displacement locus are not different from those at the time of design. Therefore, even when assembled in various devices, it can be operated with the displacement amount and the displacement trajectory set when the piezoelectric actuator is designed. Then, the image pickup device can be driven with an operation capability similar to the operation capability at the time of designing the piezoelectric actuator.

また、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法によれば、完成した圧電アクチュエータの良否を、簡単な作業で容易に判別することが可能となる。 In addition, according to the inspection method for a piezoelectric actuator according to the present invention, it is possible to easily determine the quality of a completed piezoelectric actuator with a simple operation.

以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
（第１の実施の形態） Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)

図１〜図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００は、矩形状のプレート２を有している。このプレート２は中央部に形成された変形部３と、この変形部３の全周に亙って形成された非変形部４とが一体的に形成されている。変形部３は肉薄状であって可撓性を有し、非変形部４は変形部３よりも肉厚状であって非可撓性を有している。 As shown in FIGS. 1 to 3, the piezoelectric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention has a rectangular plate 2. The plate 2 is integrally formed with a deformed portion 3 formed at the center and a non-deformed portion 4 formed over the entire circumference of the deformed portion 3. The deformable portion 3 is thin and flexible, and the non-deformable portion 4 is thicker than the deformable portion 3 and is inflexible.

前記変形部３の上面には、その中心部に突起部５が一体的に形成されている。図２に示すように、変形部３の下面側には、突起部５の一方側に配置された第１圧電素子Ａと他方側に配置された第２圧電素子Ｂとが、突起部５を通過する直線上に配置されているとともに、突起部５の一方側に配置された第３圧電素子Ｃと他方側に配置された第４圧電素子Ｄとが、突起部５を通過する直線上であって、前記第１及び第２圧電素子の配列方向とは直交する直線上に配置されている。また、変形部３の上面側には、第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄと対向する位置に第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈが配置されている。これら第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈは、電導性接着剤により貼着されている。 On the upper surface of the deformable portion 3, a protrusion 5 is integrally formed at the center thereof. As shown in FIG. 2, the first piezoelectric element A disposed on one side of the protrusion 5 and the second piezoelectric element B disposed on the other side are provided on the lower surface side of the deformable portion 3. The third piezoelectric element C disposed on one side of the protrusion 5 and the fourth piezoelectric element D disposed on the other side are arranged on a straight line passing through the protrusion 5 on the straight line passing through the protrusion 5. The first and second piezoelectric elements are arranged on a straight line perpendicular to the arrangement direction. Further, on the upper surface side of the deformable portion 3, fifth to eighth piezoelectric elements E to H are arranged at positions facing the first to fourth piezoelectric elements A to D. The first to fourth piezoelectric elements A to D and the fifth to eighth piezoelectric elements E to H are pasted with a conductive adhesive.

前記非変形部４の上下面には、前記変形部３を包囲する形状の周囲部材６が接着固定されており、図３（Ｂ）に示すように、上下の周囲部材６とこれにより挾持された前記非変形部４とにより固定部７が構成されている。固定部７には、相対向する一対の角部に、固定用のビス８等を受容するための切欠部９が形成されており、他の相対向する一対の角部には、ビス等を挿通するための円形孔１１と楕円孔１２とが形成されている。 A peripheral member 6 having a shape surrounding the deformable portion 3 is bonded and fixed to the upper and lower surfaces of the non-deformable portion 4, and is held between the upper and lower peripheral members 6 as shown in FIG. 3B. The non-deformable part 4 constitutes a fixed part 7. The fixing portion 7 is formed with a notch portion 9 for receiving a fixing screw 8 or the like at a pair of opposite corner portions, and a screw or the like is provided at the other pair of opposite corner portions. A circular hole 11 and an elliptical hole 12 for insertion are formed.

さらに、固定部７の各隣接する角部間の中央部であって上面側と裏面側には、電線等を配索するための凹部１３が設けられている。そして、図３（Ａ）に示すように、各圧電素子Ａ〜Ｈには電荷を印加できるように各々電線１４が接続され、これら電線１４は各々凹部１３内に配索されている。また、前記プレート２は、圧電素子Ａ〜Ｈの共通電極として使用するために、導電性材料からなり、図３（Ａ）に示すように、電線１５が接続される。 Furthermore, the recessed part 13 for routing an electric wire etc. is provided in the center part between each adjacent corner | angular part of the fixing | fixed part 7, and an upper surface side and a back surface side. As shown in FIG. 3A, electric wires 14 are connected to the piezoelectric elements A to H so that electric charges can be applied, and the electric wires 14 are routed in the recesses 13, respectively. Further, the plate 2 is made of a conductive material so as to be used as a common electrode for the piezoelectric elements A to H, and an electric wire 15 is connected as shown in FIG.

この圧電アクチュエータ１００は、図３（Ｂ）に示すように、本実施の形態における組み付け対象であるデジタルカメラ２０の所定箇所にビス８により固定される。そして、前記突起部５上にＣＣＤ２２が固定された台座２１が配置される。 As shown in FIG. 3B, the piezoelectric actuator 100 is fixed to a predetermined portion of the digital camera 20 to be assembled in the present embodiment by screws 8. A pedestal 21 on which the CCD 22 is fixed is disposed on the protrusion 5.

図４は、本実施の形態の回路構成を示すブロック図である。メモリ１６には、プログラム等が格納されている。ＣＰＵ１７はこのメモリ１６に格納されたプログラムに従って処理を実行することにより、トランジスタ１８ａ〜１８ｈを制御し、ＦＥＴ１９ａ〜１９ｈを介して、第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄに印加する電圧を制御する。また、メモリ１６には、前記プログラムとともに、図５（ａ）に示す第１第２圧電素子制御テーブル１６ａと、（ｂ）に示す第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂ、及び図示しない第５第６圧電素子制御テーブルと第７第８圧電素子制御テーブルが格納されている。第１第２圧電素子制御テーブル１６ａと第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂには、各々パターン（１）〜（６）、（１１）〜（１６）に対応して、各圧電素子Ａ〜Ｄに印加する電圧の正負等が記憶されている。また、図示しない第５第６圧電素子制御テーブルと第７第８圧電素子制御テーブルにも同様にパターン（１）〜（６）、（１１）〜（１６）に対応して、各圧電素子Ｅ〜Ｈに印加する電圧の正負等が記憶されている。 FIG. 4 is a block diagram showing a circuit configuration of the present embodiment. The memory 16 stores programs and the like. The CPU 17 executes processing according to a program stored in the memory 16, thereby controlling the transistors 18a to 18h and controlling voltages applied to the first to fourth piezoelectric elements A to D via the FETs 19a to 19h. . In addition to the program, the memory 16 includes the first and second piezoelectric element control tables 16a shown in FIG. 5A, the third and fourth piezoelectric element control tables 16b shown in FIG. 6 piezoelectric element control tables and a seventh eighth piezoelectric element control table are stored. In the first second piezoelectric element control table 16a and the third fourth piezoelectric element control table 16b, the piezoelectric elements A to D correspond to the patterns (1) to (6) and (11) to (16), respectively. The positive / negative of the voltage applied to is stored. Similarly, the fifth and sixth piezoelectric element control tables (not shown) and the seventh and eighth piezoelectric element control tables correspond to the patterns (1) to (6) and (11) to (16), respectively. The positive / negative of the voltage applied to .about.H is stored.

なお、以下の説明においては、図６、７に示したように、第１圧電素子Ａ側を「左」、第２圧電素子Ｂ側を「右」、第３圧電素子Ｃ側を「前」、第４圧電素子Ｄ側を「後」とする。 In the following description, as shown in FIGS. 6 and 7, the first piezoelectric element A side is “left”, the second piezoelectric element B side is “right”, and the third piezoelectric element C side is “front”. The fourth piezoelectric element D side is referred to as “rear”.

以上の構成に係る本実施の形態において、前記台座２１は、図６、７に示すように左右を左支柱２３Ｌと右支柱２３Ｒにより支持され、かつ前後を前支柱２３Ｆと後支柱２３Ｂにより支持され、突起部５の上端部を接触させた状態で配置される。なお、図６においては、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈを省略して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂのみを図示し、図７においては、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈを省略して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄのみを図示している。 In the present embodiment according to the above configuration, the pedestal 21 is supported by the left support 23L and the right support 23R on the left and right sides, and supported by the front support 23F and the rear support 23B on the front and rear as shown in FIGS. The upper end of the protrusion 5 is placed in contact with the protrusion 5. In FIG. 6, the third and fourth piezoelectric elements C and D and the fifth to eighth piezoelectric elements E to H are omitted, and only the first and second piezoelectric elements A and B are illustrated. In FIG. 1, the first and second piezoelectric elements A and B and the fifth to eighth piezoelectric elements E to H are omitted, and only the third and fourth piezoelectric elements C and D are shown.

そして、図５（ａ）に示した第１第２圧電素子制御テーブル１６ａにおけるパターン（１）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧が共に「０」であると、図６（１）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは直状を維持する。したがって、変形部３も直状を維持し、突起部５は台座２１の下面に当接して静止している。 Then, corresponding to the pattern (1) in the first second piezoelectric element control table 16a shown in FIG. 5A, the applied voltages to the first and second piezoelectric elements A and B are both “0”. Then, as shown in FIG. 6A, the first and second piezoelectric elements A and B maintain a straight shape. Therefore, the deformed portion 3 also maintains a straight shape, and the protruding portion 5 is in contact with the lower surface of the base 21 and is stationary.

次に、パターン（２）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「−」にすると、図６（２）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。 Next, when the voltage applied to the first and second piezoelectric elements A and B is set to “−” corresponding to the pattern (2), the first and second piezoelectric elements as shown in FIG. Both elements A and B extend. Accordingly, the deformable portion 3 bulges downward, and the protruding portion 5 is spaced downward from the lower surface of the base 21.

次に、パターン（３）に対応して、第１圧電素子Ａへの印加電圧を「−」にし、第２圧電素子Ｂへの印加電圧を「＋」にすると、図６（３）に示すように、第１圧電素子Ａは伸長し、第２圧電素子Ｂは収縮する。したがって、変形部３の第１圧電素子Ａ側は下方に膨出し、第２圧電素子Ｂ側は上方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は左側に傾きながら上方に変位し、右上端部５ａを台座２１の下面に当接させて、台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げる。 Next, when the applied voltage to the first piezoelectric element A is set to “−” and the applied voltage to the second piezoelectric element B is set to “+” corresponding to the pattern (3), the result is shown in FIG. Thus, the first piezoelectric element A expands and the second piezoelectric element B contracts. Therefore, the first piezoelectric element A side of the deforming portion 3 bulges downward, the second piezoelectric element B side bulges upward, and the deforming portion 3 is deformed into a waveform. Accordingly, the protruding portion 5 is displaced upward while tilting to the left side, the upper right end portion 5a is brought into contact with the lower surface of the pedestal 21, and the pedestal 21 is pushed up above the left and right columns 23L and 8R.

次に、パターン（４）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「＋」にすると、図６（４）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に収縮する。したがって、変形部３は上方に膨出し、突起部５は台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げた状態で直立し、頂面５ｂを台座２１の下面に当接させる。 Next, when the voltage applied to the first and second piezoelectric elements A and B is set to “+” corresponding to the pattern (4), the first and second piezoelectric elements as shown in FIG. 6 (4). Both elements A and B contract. Accordingly, the deformable portion 3 bulges upward, and the protrusion 5 stands upright with the pedestal 21 pushed up above the left and right columns 23L, 8R, and the top surface 5b abuts against the lower surface of the pedestal 21.

次に、パターン（５）に対応して、第１圧電素子Ａへの印加電圧を「＋」にし、第２圧電素子Ｂへの印加電圧を「−」にすると、図６（５）に示すように、第１圧電素子Ａは収縮し、第２圧電素子Ｂは伸長する。したがって、変形部３の第１圧電素子Ａ側は上方に膨出し、第２圧電素子Ｂ側は下方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は左上端部５ｃにて台座２１を持ち上げた状態で、右側に傾き、これにより台座２１は左側から右側に搬送される。 Next, when the applied voltage to the first piezoelectric element A is set to “+” and the applied voltage to the second piezoelectric element B is set to “−” corresponding to the pattern (5), it is shown in FIG. Thus, the first piezoelectric element A contracts and the second piezoelectric element B expands. Therefore, the first piezoelectric element A side of the deforming portion 3 bulges upward, the second piezoelectric element B side bulges downward, and the deforming portion 3 is deformed into a waveform. Therefore, the protruding portion 5 is tilted to the right side with the pedestal 21 being lifted by the upper left end portion 5c, whereby the pedestal 21 is conveyed from the left side to the right side.

次に、パターン（６）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「−」にすると、図６（６）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。 Next, when the voltage applied to the first and second piezoelectric elements A and B is set to “−” corresponding to the pattern (6), the first and second piezoelectric elements as shown in FIG. Both elements A and B extend. Accordingly, the deformable portion 3 bulges downward, and the protruding portion 5 is spaced downward from the lower surface of the base 21.

よって、以上の（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において右回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を右方向に搬送することができる。また、これとは逆に（６）→（５）→（４）→（３）→（２）→（１）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において左回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を左方向に搬送することもできる。 Therefore, by applying voltage to the first and second piezoelectric elements A and B in the above cycle (1) → (2) → (3) → (4) → (5) → (6), The part 5 can be elliptically moved clockwise in the vertical plane. As a result, the CCD 22 on the pedestal 21 can be conveyed in the right direction. Conversely, voltage is applied to the first and second piezoelectric elements A and B in a cycle of (6) → (5) → (4) → (3) → (2) → (1). Thus, the protrusion 5 can be elliptically moved counterclockwise in the vertical plane, and as a result, the CCD 22 on the pedestal 21 can be transported in the left direction.

一方、図５（ｂ）に示した第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂにおけるパターン（１１）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧が共に「０」であると、図７（１１）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは直状を維持する。したがって、変形部３も直状を維持し、突起部５は台座２１の下面に当接して静止している。 On the other hand, the applied voltages to the third and fourth piezoelectric elements C and D are both “0” corresponding to the pattern (11) in the third and fourth piezoelectric element control table 16b shown in FIG. Then, as shown in FIG. 7 (11), the third and fourth piezoelectric elements C and D maintain a straight shape. Therefore, the deformed portion 3 also maintains a straight shape, and the protruding portion 5 is in contact with the lower surface of the base 21 and is stationary.

次に、パターン（１２）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「−」にすると、図７（１２）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。 Next, when the voltage applied to the third and fourth piezoelectric elements C and D is set to “−” corresponding to the pattern (12), the third and fourth piezoelectric elements as shown in FIG. Elements C and D both extend. Accordingly, the deformable portion 3 bulges downward, and the protruding portion 5 is spaced downward from the lower surface of the base 21.

次に、パターン（１３）に対応して、第３圧電素子Ｃへの印加電圧を「−」にし、第４圧電素子Ｄへの印加電圧を「＋」にすると、図７（１３）に示すように、第３圧電素子Ｃは伸長し、第４圧電素子Ｄは収縮する。したがって、変形部３の第３圧電素子Ｃ側は下方に膨出し、第４圧電素子Ｄ側は上方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は前側に傾きながら上方に変位し、後上端部５ｄを台座２１の下面に当接させて、台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げる。 Next, when the applied voltage to the third piezoelectric element C is set to “−” and the applied voltage to the fourth piezoelectric element D is set to “+” corresponding to the pattern (13), the result is shown in FIG. 7 (13). Thus, the third piezoelectric element C expands and the fourth piezoelectric element D contracts. Therefore, the third piezoelectric element C side of the deforming portion 3 bulges downward, the fourth piezoelectric element D side bulges upward, and the deforming portion 3 is deformed into a waveform. Therefore, the protrusion 5 is displaced upward while tilting to the front side, the rear upper end 5d is brought into contact with the lower surface of the pedestal 21, and the pedestal 21 is pushed up above the left and right supports 23L and 8R.

次に、パターン（１４）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「＋」にすると、図７（１４）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に収縮する。したがって、変形部３は上方に膨出し、突起部５は台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げた状態で直立し、頂面５ｂを台座２１の下面に当接させる。 Next, when the voltage applied to the third and fourth piezoelectric elements C and D is both “+” corresponding to the pattern (14), the third and fourth piezoelectric elements are obtained as shown in FIG. Both elements C and D contract. Accordingly, the deformable portion 3 bulges upward, and the protrusion 5 stands upright with the pedestal 21 pushed up above the left and right columns 23L, 8R, and the top surface 5b abuts against the lower surface of the pedestal 21.

次に、パターン（１５）に対応して、第３圧電素子Ｃへの印加電圧を「＋」にし、第４圧電素子Ｄへの印加電圧を「−」にすると、図７（１５）に示すように、第３圧電素子Ｃは収縮し、第４圧電素子Ｄは伸長する。したがって、変形部３の第３圧電素子Ｃ側は上方に膨出し、第４圧電素子Ｄ側は下方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は前上端部５ｅにて台座２１を持ち上げた状態で、後側に傾き、これにより台座２１は前側から後側に搬送される。 Next, when the applied voltage to the third piezoelectric element C is set to “+” and the applied voltage to the fourth piezoelectric element D is set to “−” corresponding to the pattern (15), the result is shown in FIG. 7 (15). Thus, the third piezoelectric element C contracts and the fourth piezoelectric element D expands. Therefore, the third piezoelectric element C side of the deforming portion 3 bulges upward, the fourth piezoelectric element D side bulges downward, and the deforming portion 3 is deformed into a waveform. Accordingly, the protruding portion 5 is tilted rearward with the pedestal 21 being lifted by the front upper end 5e, whereby the pedestal 21 is conveyed from the front side to the rear side.

次に、パターン（１６）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「−」にすると、図７（１６）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。 Next, when the voltage applied to the third and fourth piezoelectric elements C and D is set to “−” corresponding to the pattern (16), the third and fourth piezoelectric elements are formed as shown in FIG. Elements C and D both extend. Accordingly, the deformable portion 3 bulges downward, and the protruding portion 5 is spaced downward from the lower surface of the base 21.

よって、以上の（１１）→（１２）→（１３）→（１４）→（１５）→（１６）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において後回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を前方向から後方向に搬送することができる。また、これとは逆に（１６）→（１５）→（１４）→（１３）→（１２）→（１１）のサイクルで、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において前回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を後方向から前方向に搬送することができる。 Therefore, by applying voltage to the first and second piezoelectric elements A and B in the above cycle (11) → (12) → (13) → (14) → (15) → (16), The part 5 can be elliptically moved backward in the vertical plane, and as a result, the CCD 22 on the pedestal 21 can be conveyed from the front to the rear. On the other hand, a voltage is applied to the third and fourth piezoelectric elements C and D in a cycle of (16) → (15) → (14) → (13) → (12) → (11). Thus, the protrusion 5 can be elliptically moved forward in the vertical plane, and as a result, the CCD 22 on the pedestal 21 can be conveyed from the rear to the front.

すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００によれば、下記（イ）〜（ニ）に示す各方向への搬送を行うことができる。
（イ）右方向への搬送：（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）
（ロ）左方向への搬送：（６）→（５）→（４）→（３）→（２）→（１）
（ハ）後方向への搬送：（１１）→（１２）→（１３）→（１４）→（１５）→（１６）
（ニ）前方向への搬送：（１６）→（１５）→（１４）→（１３）→（１２）→（１１） That is, according to the piezoelectric actuator 100 according to the present embodiment, it is possible to carry in each direction shown in the following (A) to (D).
(A) Transport in the right direction: (1) → (2) → (3) → (4) → (5) → (6)
(B) Leftward transport: (6) → (5) → (4) → (3) → (2) → (1)
(C) Backward transport: (11) → (12) → (13) → (14) → (15) → (16)
(D) Forward transport: (16) → (15) → (14) → (13) → (12) → (11)

したがって、印加電圧を制御して各方向への搬送（イ）〜（ニ）を組み合わせることにより、台座２１をその中心から平面上の全ての方向に駆動することができる。よって、圧電アクチュエータ１００の圧電素子Ａ〜Ｄに電圧を印加し、撮像素子を駆動することにより、デジタルカメラにおける手振れ補正機構を達成することができる。 Therefore, the pedestal 21 can be driven in all directions on the plane from the center by controlling the applied voltage and combining the conveyances (a) to (d) in each direction. Therefore, a camera shake correction mechanism in a digital camera can be achieved by applying a voltage to the piezoelectric elements A to D of the piezoelectric actuator 100 and driving the imaging element.

また、変形部３の上面側に設けられた圧電素子Ｅ〜Ｈに関しては、前述した圧電素子Ａ〜Ｄと逆向きに変形するように制御すればよい。これにより、変形部３の下面側に設けられた圧電素子Ａ〜Ｄと上面側に設けられた圧電素子Ｅ〜Ｈの協働により、変形部３を確実かつ迅速に変形させて、ＣＣＤ２２を高速に駆動することができる。 Further, the piezoelectric elements E to H provided on the upper surface side of the deformable portion 3 may be controlled so as to be deformed in the opposite direction to the piezoelectric elements A to D described above. Thus, the deformation of the deformable portion 3 is reliably and quickly performed by the cooperation of the piezoelectric elements A to D provided on the lower surface side of the deformable portion 3 and the piezoelectric elements E to H provided on the upper surface side. Can be driven.

なお、第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００（後述する第２及び第３の実施の形態とは異なり「開口部」がない構成）においては、図８に「Ｊ１：第１の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．３２８」、垂直方向変位量（μｍ）「０．３２８」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ１：第１の実施の形態」として示すようになる。 Note that in the piezoelectric actuator 100 according to the first embodiment (a configuration without an “opening” unlike the second and third embodiments described later), “J1: first embodiment” is shown in FIG. As shown as “form”, the horizontal displacement (μm) “0.328” and the vertical displacement (μm) “0.328” are obtained. Further, the movement trajectory of the arbitrary point PA of the protrusion 5 is as shown in FIG. 9 as “J1: First Embodiment”.

ここで、固定部７は当該圧電アクチュエータ１００に予め設けられている部分であって、当該圧電アクチュエータ１００の一部として設計された部分であることから、固定部７を固定してデジタルカメラ２０に組み付けも、突起部５の変位量や変位軌跡が設計時と異なってしまうことはない。よって、デジタルカメラ２０に組み付けた場合であっても、当該圧電アクチュエータ１００を設計した際に設定した変位量や変位軌跡で動作させることができる。よって、デジタルカメラ２０において、圧電アクチュエータ１００の設計時の動作能力と同様の動作能力でＣＣＤ２２を駆動することができる。 Here, since the fixing portion 7 is a portion provided in advance in the piezoelectric actuator 100 and is a portion designed as a part of the piezoelectric actuator 100, the fixing portion 7 is fixed to the digital camera 20. In the assembly, the displacement amount and displacement locus of the protrusion 5 are not different from those at the time of design. Therefore, even when assembled in the digital camera 20, the piezoelectric actuator 100 can be operated with the displacement amount and the displacement locus set when the piezoelectric actuator 100 is designed. Therefore, in the digital camera 20, the CCD 22 can be driven with an operation capability similar to the operation capability at the time of designing the piezoelectric actuator 100.

また、本実施の形態においては、圧電アクチュエータ１００をデジタルカメラ２０に搭載した場合を示したが、これに限ることなく各種移動体の移動に用いることができる。この場合、図１０に示すように、固定台２５側に圧電アクチュエータ１００の固定部７にて固定し、突起部５上に移動体２６の下面を接触させて配置すればよい。 In the present embodiment, the case where the piezoelectric actuator 100 is mounted on the digital camera 20 has been described. However, the present invention is not limited to this and can be used for moving various moving bodies. In this case, as shown in FIG. 10, the fixing portion 7 of the piezoelectric actuator 100 may be fixed to the fixing base 25 side, and the lower surface of the moving body 26 may be placed on the protruding portion 5 in contact.

図１１は、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００を製造する最終工程において、完成した圧電アクチュエータ１００を検査する際の検査方法を示す図である。図示のように、検査台２７に完成した圧電アクチュエータ１００を固定部７にて固定する。しかる後に、突起部５に所定の外力Ｆをその上方より加えて、変形部３を変形させる。すると、この変形部３の変形に伴って圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが変形して、各圧電素子Ａ〜Ｈから起電力が生ずる。この起電力を圧電素子Ｅ〜Ｈ毎に検出し、予め記憶してある圧電素子Ａ〜Ｈの適正起電力と比較する。この比較の結果、検出した圧電素子Ａ〜Ｈの起電力が対応する適正起電力と全て一致するか、又は許容誤差以内である場合には、当該圧電アクチュエータ１００を合格品（良品）と判断し、これ以外である場合には不合格品（不良品）と判断する。無論、これらの比較、判断は、電気的、機械的に行ってもよいし、作業者が行ってもよい。 FIG. 11 is a diagram showing an inspection method for inspecting the completed piezoelectric actuator 100 in the final process of manufacturing the piezoelectric actuator 100 according to the present embodiment. As shown in the figure, the completed piezoelectric actuator 100 is fixed to the inspection table 27 by the fixing portion 7. Thereafter, a predetermined external force F is applied to the protrusion 5 from above to deform the deformable portion 3. Then, the piezoelectric elements A to D and E to H are deformed along with the deformation of the deforming portion 3, and an electromotive force is generated from each of the piezoelectric elements A to H. This electromotive force is detected for each of the piezoelectric elements E to H, and compared with the appropriate electromotive force of the piezoelectric elements A to H stored in advance. As a result of this comparison, if all the detected electromotive forces of the piezoelectric elements A to H match with the corresponding appropriate electromotive forces or are within an allowable error, the piezoelectric actuator 100 is determined to be an acceptable product (good product). In other cases, it is determined as a rejected product (defective product). Of course, these comparisons and determinations may be performed electrically and mechanically, or by an operator.

かかる検査方法によれば、完成した圧電アクチュエータ１００の良否を、簡単な作業で容易に判別することが可能となる。また、この検査は完成した圧電アクチュエータ１００の検査のみならず、デジタルカメラ等の修理に際して、搭載されている圧電アクチュエータ１００の良否を検査する際に用いることもできる。 According to such an inspection method, it is possible to easily determine the quality of the completed piezoelectric actuator 100 with a simple operation. This inspection can be used not only for inspection of the completed piezoelectric actuator 100 but also for inspection of the quality of the mounted piezoelectric actuator 100 when repairing a digital camera or the like.

（第２の実施の形態）
図１２〜図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００を示すものである。この圧電アクチュエータ２００にあっては、前記変形部３において、隣接する圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈ間の領域に略正方形の開口部３０が設けられている。これにより、４個の開口部３０間には、一端部が突起部５の周部に結合され、他端部が変形部３の周部に残存した部分に結合された架橋部３１が形成されている。そして、こられ各架橋部３１に圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが各々配置されている。 (Second Embodiment)
12 to 15 show a piezoelectric actuator 200 according to a second embodiment of the present invention. In the piezoelectric actuator 200, a substantially square opening 30 is provided in the region between the adjacent piezoelectric elements A to D and E to H in the deformable portion 3. Thereby, between the four openings 30, a bridging portion 31 is formed in which one end portion is coupled to the peripheral portion of the protruding portion 5 and the other end portion is coupled to the portion remaining on the peripheral portion of the deformable portion 3. ing. Then, the piezoelectric elements A to D and E to H are arranged on the respective bridging portions 31.

なお、これら開口部３０及び架橋部３１以外の構成は、前述した第１の実施の形態と同様であるので、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 In addition, since structures other than these opening part 30 and bridge | crosslinking part 31 are the same as that of 1st Embodiment mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected to the same part and description is abbreviate | omitted.

係る構成において、前述した第１の実施の形態のように、変形部３が無開口状であると、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により変形部３の全体を変形させなければならないことから、変形部３の全体を変形する際の抵抗が大きく、突起部５の変位が妨げられる。しかるに、本実施の形態においては、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により、図１５に示すように、変形部３を架橋部３１にて大きく変形することができ、変形時の抵抗は小さくなる。したがって、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈに印加する電圧を小さくしつつ、突起部５の変位量を大きくすることができる。 In such a configuration, as in the first embodiment described above, if the deformable portion 3 is open, the entire deformable portion 3 must be deformed by expansion or contraction of the piezoelectric elements A to D and E to H. Therefore, the resistance at the time of deforming the entire deforming portion 3 is large, and the displacement of the protruding portion 5 is hindered. However, in the present embodiment, due to the expansion or contraction of the piezoelectric elements A to D and E to H, the deformable portion 3 can be largely deformed by the bridging portion 31 as shown in FIG. The resistance becomes smaller. Accordingly, it is possible to increase the amount of displacement of the protrusion 5 while reducing the voltage applied to the piezoelectric elements A to D and E to H.

すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００においては、図８に「Ｊ２：第２の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．４３４」、垂直方向変位量（μｍ）「０．４６９」、変位比率（水平方向）「１．３２」、変位比率（垂直方向）「１．３５」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ２：第２の実施の形態」として示すように、「Ｊ１：第１の実施の形態」よりも大きなものとなる。 That is, in the piezoelectric actuator 200 according to this embodiment, as shown in FIG. 8 as “J2: Second Embodiment”, the horizontal displacement (μm) “0.434”, the vertical displacement. (Μm) “0.469”, displacement ratio (horizontal direction) “1.32”, and displacement ratio (vertical direction) “1.35” are obtained. Further, as shown in FIG. 9 as “J2: Second Embodiment”, the movement trajectory of the arbitrary point PA of the protrusion 5 is larger than “J1: First Embodiment”.

（第３の実施の形態）
図１６〜図１９は、本発明の第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータ３００を示すものである。この圧電アクチュエータ３００にあっては、前記変形部３において、隣接する圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈ間の領域に、第２の実施の形態と同様の略正方形の第１開口部４０が設けられている。これにより、４個の第１開口部４０間には、一端部が突起部５の周部に結合され、他端部が変形部３の周部に残存した部分に結合された架橋部４１が形成されている。そして、こられ各架橋部３１に圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが各々配置されている。さらに、変形部３には、４個の第２開口部４２が形成されている。これら第２開口部４２は、第１開口部４０よりも外側であって、固定部７との境界の近傍にて該境界に沿ってが設けられている。 (Third embodiment)
16 to 19 show a piezoelectric actuator 300 according to a third embodiment of the present invention. In the piezoelectric actuator 300, in the deforming portion 3, a substantially square first opening 40 similar to that of the second embodiment is provided in a region between adjacent piezoelectric elements A to D and E to H. It has been. As a result, between the four first openings 40, there is a bridging portion 41 in which one end portion is coupled to the peripheral portion of the protruding portion 5 and the other end portion is coupled to the portion remaining in the peripheral portion of the deformable portion 3. Is formed. Then, the piezoelectric elements A to D and E to H are arranged on the respective bridging portions 31. Furthermore, four second openings 42 are formed in the deformable portion 3. These second openings 42 are provided outside the first openings 40 and along the boundary in the vicinity of the boundary with the fixed portion 7.

なお、これら第１開口部４０、架橋部４１及び第２開口部４２以外の構成は、前述した第１の実施の形態と同様であるので、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 In addition, since structures other than these 1st opening part 40, bridge | crosslinking part 41, and 2nd opening part 42 are the same as that of 1st Embodiment mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected to the same part and description is abbreviate | omitted. .

係る構成において、前述した第１の実施の形態のように、変形部３が無開口状であると、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により変形部３の全体を変形させなければならないことから、変形部３の全体を変形する際の抵抗が大きく、突起部５の変位が妨げられる。しかるに、本実施の形態においては、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により、図１９に示すように、変形部３を架橋部３１にて大きく変形することができるのみならず、変形部３において第１開口部４０と第２開口部４２間に残存する枠部４３を変形させることもできる。よって、第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００よりも、さらに変形時の抵抗を小さくすることができる。したがって、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈに印加する電圧を一層小さくしつつ、突起部５の変位量を大きくすることができる。 In such a configuration, as in the first embodiment described above, if the deformable portion 3 is open, the entire deformable portion 3 must be deformed by expansion or contraction of the piezoelectric elements A to D and E to H. Therefore, the resistance at the time of deforming the entire deforming portion 3 is large, and the displacement of the protruding portion 5 is hindered. However, in the present embodiment, not only can the deformable portion 3 be largely deformed by the bridging portion 31 as shown in FIG. 19 due to the expansion or contraction of the piezoelectric elements A to D and E to H, The frame portion 43 remaining between the first opening 40 and the second opening 42 can be deformed in the deformation portion 3. Therefore, the resistance during deformation can be further reduced as compared with the piezoelectric actuator 200 according to the second embodiment. Therefore, it is possible to increase the amount of displacement of the protrusion 5 while further reducing the voltage applied to the piezoelectric elements A to D and E to H.

すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００においては、図８に「Ｊ３：第３の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．５３８」、垂直方向変位量（μｍ）「１．２５０」、変位比率（水平方向）「１．６４」、変位比率（垂直方向）「３．６０」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ３：第３の実施の形態」として示すように、「Ｊ１：第１の実施の形態」及び「Ｊ２：第２の実施の形態」よりも大きなものとなる。 That is, in the piezoelectric actuator 200 according to the present embodiment, as shown in FIG. 8 as “J3: Third Embodiment”, the horizontal displacement (μm) “0.538”, the vertical displacement. (Μm) “1.250”, displacement ratio (horizontal direction) “1.64”, and displacement ratio (vertical direction) “3.60” are obtained. Further, as shown in FIG. 9 as “J3: Third Embodiment”, the movement trajectory of the arbitrary point PA of the protrusion 5 is “J1: First Embodiment” and “J2: Second This is larger than the “embodiment”.

なお、以上に説明した実施の形態においては、変形部３の下面側と上面側とに圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈを配置するようにしたが、いずれか一方の面のみに圧電素子を配置するようにしてもよい。また、開口部３０、４０を略正方形としたが、開口部の形状はこれに限ることなく他の形状であってもよい。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、前述したデジタルカメラにおける撮像素子（ＣＣＤ）の駆動のみならず、各種対象物の搬送、駆動に用いることができる。また、第２及び第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００、３００においても、図１１に示した方法により検査を行うことができる。 In the embodiment described above, the piezoelectric elements A to D and E to H are disposed on the lower surface side and the upper surface side of the deformable portion 3, but the piezoelectric elements are disposed only on one of the surfaces. It may be arranged. Moreover, although the opening parts 30 and 40 were made into the substantially square shape, the shape of an opening part is not restricted to this, Other shapes may be sufficient. Furthermore, the piezoelectric actuator according to the present invention can be used not only for driving the image pickup device (CCD) in the digital camera described above but also for conveying and driving various objects. Also, the piezoelectric actuators 200 and 300 according to the second and third embodiments can be inspected by the method shown in FIG.

本発明の第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。1 is a perspective view of a piezoelectric actuator according to a first embodiment of the present invention. 同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where the piezoelectric element of the same piezoelectric actuator was separated. （Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。(A) is a plan view of the piezoelectric actuator, and (B) is a cross-sectional view taken along line aa in (A). 同実施の形態の回路構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the circuit structure of the embodiment. （ａ）は第１第２圧電素子制御テーブルを示す図、（ｂ）は第３第４圧電素子制御テーブルを示す図である。(A) is a figure which shows a 1st 2nd piezoelectric element control table, (b) is a figure which shows a 3rd 4th piezoelectric element control table. （１）−（６）は、第１の実施の形態の動作遷移図である。(1)-(6) are operation | movement transition diagrams of 1st Embodiment. （１１）−（１６）は、同実施の形態の動作遷移図である。(11)-(16) are operation transition diagrams of the same embodiment. 各実施の形態の特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of each embodiment. 各実施の形態の点ＰＡの移動軌跡を示す図である。It is a figure which shows the movement locus | trajectory of the point PA of each embodiment. 本実施の形態に係る圧電アクチュエータの配置状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the arrangement | positioning state of the piezoelectric actuator which concerns on this Embodiment. 本発明の一実施の形態に係る圧電アクチュエータの検査方法を示す図である。It is a figure which shows the inspection method of the piezoelectric actuator which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the piezoelectric actuator which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where the piezoelectric element of the same piezoelectric actuator was separated. （Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。(A) is a plan view of the piezoelectric actuator, and (B) is a cross-sectional view taken along line aa in (A). 同圧電アクチュエータの動作状態を示す要部斜視図である。It is a principal part perspective view which shows the operation state of the piezoelectric actuator. 本発明の第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the piezoelectric actuator which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where the piezoelectric element of the same piezoelectric actuator was separated. （Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。(A) is a plan view of the piezoelectric actuator, and (B) is a cross-sectional view taken along line aa in (A). 同圧電アクチュエータの動作状態を示す要部斜視図である。It is a principal part perspective view which shows the operation state of the piezoelectric actuator.

Explanation of symbols

２プレート
３変形部
４非変形部
５突起部
６周囲部材
７固定部
９切欠部
１１円形孔
１２楕円孔
１３凹部
１６メモリ
１６ａ第１第２圧電素子制御テーブル
１６ｂ第３第４圧電素子制御テーブル
１７ＣＰＵ
１８ａ〜１８ｈトランジスタ
１９ａ〜１９ｈＦＥＴ
２０デジタルカメラ
２１台座
２２ＣＣＤ
２５固定台
２６移動体
２７検査台
３０開口部
３１架橋部
４０第１開口部
４１架橋部
４２第２開口部
４３枠部
１００圧電アクチュエータ
２００圧電アクチュエータ
３００圧電アクチュエータ
Ａ〜Ｈ圧電素子
2 Plate 3 Deformation part 4 Non-deformation part 5 Protrusion part 6 Peripheral member 7 Fixing part 9 Notch part 11 Circular hole 12 Elliptical hole 13 Concave part 16 Memory 16a 1st 2nd piezoelectric element control table 16b 3rd 4th piezoelectric element control table 17 CPU
18a-18h transistor 19a-19h FET
20 Digital Camera 21 Base 22 CCD
DESCRIPTION OF SYMBOLS 25 Fixed stand 26 Moving body 27 Inspection stand 30 Opening part 31 Bridging part 40 1st opening part 41 Bridging part 42 2nd opening part 43 Frame part 100 Piezoelectric actuator 200 Piezoelectric actuator 300 Piezoelectric actuator AH Piezoelectric element

Claims

A deformable portion having flexibility;
A protrusion provided on one surface of the deformable portion;
First and second piezoelectric elements provided on at least one surface of the deformable portion and the other surface, and arranged linearly on both sides of the protrusion;
Third and fourth piezoelectric elements arranged in a direction orthogonal to the arrangement direction of the first and second piezoelectric elements;
Storage means for storing in advance a plurality of displacement patterns of the protrusions and driving voltages of the first to fourth piezoelectric elements corresponding to the respective displacement patterns;
A fixed portion formed on the periphery of the deformable portion and having inflexibility;
With
By applying a driving voltage to the first to fourth piezoelectric elements based on the driving voltage of the first to fourth piezoelectric elements corresponding to the displacement pattern stored in the storage means, the plate-like A piezoelectric actuator that deflects and deforms the member to displace the protrusion,
A camera shake correction apparatus, wherein the projection voltage is displaced by continuously switching a driving voltage applied to the piezoelectric actuator according to the displacement pattern, thereby driving the imaging device.

The camera shake correction apparatus according to claim 1 , wherein the piezoelectric actuator integrally forms the deforming portion and the protruding portion.

In the piezoelectric actuator, the first to fourth piezoelectric elements are at least one of the one surface side that is the same as the surface on which the protruding portion is provided and the other surface side that is different from the surface on which the protruding portion is provided. The camera shake correction device according to claim 1 , wherein the camera shake correction device is disposed on one side .

The piezoelectric actuator, image stabilization apparatus according to any one of the fixed part, to claims 1-3, characterized in that provided over the entire circumference of the deformed portion.

The piezoelectric actuator, image stabilization apparatus according to any one of the fixed portion and the deformation portion from claim 1, characterized in that integrally formed on the 4.

The piezoelectric actuator, the the fixed portion, the camera shake correction apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that a hole portion and / or the notch for inserting the spiral for fixing.

The piezoelectric actuator, the fixed portion so as to form thicker than the flexible portion, the camera shake correction apparatus according to any one of claims 1 to 6, characterized in that a recess for wiring to the fixed part .

The piezoelectric actuator, image stabilization apparatus according to any one from 7 to claim 1, characterized in that an opening is formed in the flexible portion.

9. The camera shake correction device according to claim 8 , wherein the piezoelectric actuator has the opening formed in a region between adjacent piezoelectric elements in the deformable portion .

The camera shake correction device according to claim 8 or 9 , wherein the piezoelectric actuator has the opening formed in the vicinity of a boundary between the deformation portion and the fixing portion .