JP4925323B2 - Optical fiber collimator and optical fiber collimator array manufacturing method - Google Patents

Optical fiber collimator and optical fiber collimator array manufacturing method Download PDF

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Description

本発明は、光ファイバの先端にGRINレンズを融着した光ファイバコリメータ、及び複数の光ファイバコリメータを一体化した光ファイバコリメータアレイであって、特にGRINレンズ先端面が球面状でリターンロスの少ないもの、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical fiber collimator in which a GRIN lens is fused to the tip of an optical fiber, and an optical fiber collimator array in which a plurality of optical fiber collimators are integrated. Particularly, the tip surface of the GRIN lens is spherical and has little return loss. And a manufacturing method thereof.

光ファイバどうしを接続する従来の接触式光コネクタ(例えば特許文献1)において、接続時にファイバ端面にわずかなゴミなどが付着すると、接続損失が増大する。またそのような状態で長期間使用すると、光ファイバの端面が焼損してしまうという問題が少なからず起こっている。そのため、低コストで製造できる非接触式光コネクタが望まれている。また、光コネクタには、小型、低コスト、低挿入損失(<0.5dB)、低リターンロス(<−50dB)が必要である。   In a conventional contact-type optical connector (for example, Patent Document 1) for connecting optical fibers to each other, if a slight amount of dust adheres to the fiber end surface during connection, the connection loss increases. In addition, when used in such a state for a long time, there is a considerable problem that the end face of the optical fiber is burned out. Therefore, a non-contact type optical connector that can be manufactured at low cost is desired. In addition, the optical connector requires a small size, low cost, low insertion loss (<0.5 dB), and low return loss (<−50 dB).

光ファイバに融着可能なGRINレンズ(クラッドのないグランデッドインデックスレンズ)を用いると、ファイバとレンズの組み付け時に調芯作業が不要となる(特許文献2)。しかし、先端を垂直平面仕上げにすると、先端面で反射した光がほとんどファイバコアに戻ってしまうため、ARコート加工をしたとしても、リターンロスが−30dB程度と大きくなってしまう。
図11は、単一モード光ファイバ1の先端にGRINレンズ2を融着した光ファイバコリメータ11の説明図である。光ファイバ1のコアからの光はGRINレンズ1中を矢印のように進み、GRINレンズ2端面から放射するが、一部はGRINレンズ端面で反射し、光ファイバのコアに戻る(反射光を点線で表示)。
When a GRIN lens (grounded index lens without a clad) that can be fused to an optical fiber is used, alignment work becomes unnecessary when the fiber and the lens are assembled (Patent Document 2). However, when the tip is finished with a vertical flat surface, most of the light reflected by the tip surface returns to the fiber core, so even if AR coating is performed, the return loss becomes as large as about -30 dB.
FIG. 11 is an explanatory diagram of an optical fiber collimator 11 in which the GRIN lens 2 is fused to the tip of the single mode optical fiber 1. Light from the core of the optical fiber 1 travels through the GRIN lens 1 as indicated by an arrow and radiates from the end surface of the GRIN lens 2, but a part of the light is reflected by the end surface of the GRIN lens and returns to the core of the optical fiber (the reflected light is dotted) Display).

このようなリターンロスを低減する方策として、先端を斜めに研磨する方法がある。これによりリターンロスは−50dB以下にまで下がるが、組み立て時に互いの面が平行になるように軸方向に回転調芯をする必要がある。
図12は単一モード光ファイバ1の先端にGRINレンズ2を融着し、GRINレンズ先端を斜めに研磨した光ファイバコリメータ12を対にした光コネクタの説明図である。同図に示すように、出射光軸が屈折の影響でファイバの軸と一致しなくなるために、同軸上にファイバコリメータ対を配置できず、オフセットしなければならないため、X軸・Y軸・Z軸方向の調芯作業が避けられず、時間がかかりすぎて、コネクタとして使用するに耐えないものになってしまう。
As a measure for reducing such a return loss, there is a method in which the tip is polished obliquely. As a result, the return loss is reduced to -50 dB or less, but it is necessary to perform rotational alignment in the axial direction so that the surfaces are parallel when assembled.
FIG. 12 is an explanatory diagram of an optical connector having a pair of optical fiber collimators 12 in which the GRIN lens 2 is fused to the tip of the single mode optical fiber 1 and the tip of the GRIN lens is obliquely polished. As shown in the figure, since the outgoing optical axis does not coincide with the fiber axis due to refraction, the fiber collimator pair cannot be arranged on the same axis and must be offset, so the X axis, Y axis, Z Axis alignment work is unavoidable and takes too much time, making it unusable for use as a connector.

光ファイバの先端にGI(グレーデッドインデックス)ファイバを融着し、GIファイバの先端を球面とすることで、実用上必要とされる−50dB以下のリターンロス特性を確保できる旨が、下記特許文献3に開示されている。GIファイバの先端を球面とすることで、リターンロスが低減し、出射光軸がファイバの軸と一致するので、同軸上にファイバコリメータ対を配置でき、コリメータ対の組み立てが容易となる。   The following patent document indicates that a return loss characteristic of −50 dB or less required for practical use can be secured by fusing a GI (graded index) fiber to the tip of the optical fiber and making the tip of the GI fiber spherical. 3 is disclosed. By making the tip of the GI fiber a spherical surface, the return loss is reduced and the outgoing optical axis coincides with the axis of the fiber, so that the fiber collimator pair can be arranged on the same axis, and the assembly of the collimator pair becomes easy.

特許文献3において、GIファイバ先端を球面加工する方法として、化学的エッチングを用いている。これは、GIファイバの外面に保護膜(メッキ)を形成した後所定の長さにカットし、次いでGIファイバ先端を化学的エッチングするものである。しかし、化学的エッチングはエッチングに要する時間が1〜4時間と長く、「めっき加工」「化学的エッチング加工」という工程に時間と手間がかかりすぎる。またプラズマなどによる物理的エッチングも可であるとの記述があるが具体的な方法は一切開示されていない。
さらに、最終的にめっきを除去することは難しく、コネクタに使用される一般的なフェルールに入れる組み立てが困難であるという問題もある。
特開昭61−87111号公報 特開2005−115097号公報 特開2005−128267号公報
In Patent Document 3, chemical etching is used as a method of processing a GI fiber tip on a spherical surface. In this method, after forming a protective film (plating) on the outer surface of the GI fiber, it is cut to a predetermined length, and then the tip of the GI fiber is chemically etched. However, chemical etching requires a long etching time of 1 to 4 hours, and the processes of “plating” and “chemical etching” take too much time and labor. Although there is a description that physical etching by plasma or the like is possible, no specific method is disclosed.
Further, it is difficult to finally remove the plating, and there is a problem that it is difficult to assemble in a general ferrule used for the connector.
JP-A-61-87111 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-115097 JP 2005-128267 A

本発明は、光ファイバの先端に融着したGRINレンズの先端が球面となっている汎用性に富んだ光ファイバコリメータを容易に製造できるようにすることを課題とするものである。
また本発明は、光ファイバの先端に融着したGRINレンズの先端が球面となっている多数の光ファイバコリメータを一体化した、汎用性に富む光ファイバコリメータアレイを容易に製造できるようにすることを課題とする。
An object of the present invention is to make it possible to easily manufacture a versatile optical fiber collimator in which the tip of a GRIN lens fused to the tip of an optical fiber is a spherical surface.
The present invention also makes it possible to easily manufacture a versatile optical fiber collimator array in which a large number of optical fiber collimators having a spherical tip of a GRIN lens fused to the tip of an optical fiber are integrated. Is an issue.

本発明は、光ファイバの先端にGRINレンズを融着した複数のコリメータ部材の先端部分を多芯フェルールの各芯に挿入し、仮固定するステップと、弾性パッド上に貼付した研磨フィルムに前記フェルールを押圧した状態で、フェルールと研磨フィルムとを相対的に移動させ、前記フェルールと共に複数の前記GRINレンズ先端を球面状に研磨するステップと、前記フェルールから複数の前記コリメータ部材を抜き取るステップと、前記コリメータ部材のGRINレンズ先端に反射防止膜を形成するステップとを有することを特徴とする光ファイバコリメータの製造方法である。
The present invention includes a step of inserting and temporarily fixing the tip portions of a plurality of collimator members having a GRIN lens fused to the tip of an optical fiber into each core of a multi-core ferrule , and the ferrule on a polishing film affixed on an elastic pad. In a state where the ferrule and the polishing film are relatively moved in a state of pressing, a step of polishing the plurality of GRIN lens tips together with the ferrule into a spherical shape, a step of extracting the plurality of collimator members from the ferrule, And a step of forming an antireflection film at the tip of the GRIN lens of each collimator member.

前記フェルールとして、多芯フェルールを用い、その各芯にコリメータ部材の先端部分を挿入し、仮固定して研磨することで、多数のコリメータ部材を同時に研磨することができ、光ファイバコリメータの製造効率が向上する。   As the ferrule, a multi-core ferrule is used, and by inserting the tip end portion of the collimator member into each core, temporarily fixing and polishing, a large number of collimator members can be simultaneously polished, and the manufacturing efficiency of the optical fiber collimator Will improve.

また本発明は、光ファイバの先端にGRINレンズを融着した複数のコリメータ部材の先端部分を多芯フェルールの各芯に挿入し、接着剤で固定するステップと、弾性パッド上に貼付した研磨フィルムに前記フェルールを押圧した状態で、フェルールと研磨フィルムとを相対的に移動させ、前記フェルールと共に複数の前記GRINレンズ先端を球面状に研磨するステップとを有することを特徴とする光ファイバコリメータアレイの製造方法である。研磨終了後、必要に応じて、GRINレンズ先端に反射防止膜を形成することができる。   The present invention also includes a step of inserting tip portions of a plurality of collimator members having a GRIN lens fused to the tip of an optical fiber into each core of a multi-core ferrule and fixing with an adhesive, and a polishing film affixed on an elastic pad A step of relatively moving the ferrule and the polishing film in a state where the ferrule is pressed to polish the front ends of the plurality of GRIN lenses in a spherical shape together with the ferrule. It is a manufacturing method. After the polishing is completed, an antireflection film can be formed on the tip of the GRIN lens as necessary.

本発明の光ファイバコリメータの製造方法及び光ファイバコリメータアレイの製造方法は、フェルールと共にGRINレンズ先端を研磨するので、研磨時にコリメータ部材が損傷するのを防ぐことができる。また、弾性パッド上に貼付した研磨フィルムで研磨することで、GRINレンズ先端が自動的に球面状に研磨されるので、研磨作業がきわめて容易であり、高効率で光ファイバコリメータ又は光ファイバコリメータアレイを製造することができる。   Since the manufacturing method of the optical fiber collimator and the manufacturing method of the optical fiber collimator array of the present invention polish the tip of the GRIN lens together with the ferrule, it is possible to prevent the collimator member from being damaged during the polishing. In addition, since the tip of the GRIN lens is automatically polished into a spherical shape by polishing with a polishing film affixed on an elastic pad, the polishing operation is extremely easy and the optical fiber collimator or the optical fiber collimator array is highly efficient. Can be manufactured.

また本発明方法で製造した光ファイバコリメータは、化学エッチングを行わないので、コリメータ外周にメッキがなく、汎用性に優れる。   Moreover, since the optical fiber collimator manufactured by the method of the present invention does not perform chemical etching, the outer periphery of the collimator has no plating and is excellent in versatility.

また本発明方法で製造した光ファイバコリメータアレイは、研磨を行ったフェルールのまま、光ファイバコリメータアレイとして使用できる。   Moreover, the optical fiber collimator array manufactured by the method of the present invention can be used as an optical fiber collimator array with the polished ferrule.

フェルールの材質は、ジルコニア製、ガラス製、樹脂製などとすることができる。   The material of the ferrule can be made of zirconia, glass, resin, or the like.

コリメータ部材の先端部分をフェルールに挿入し仮固定する手段は自由であるが、例えば熱可塑性樹脂接着剤を用いることができる。フェルールの芯穴内壁とコリメータ外周部を熱可塑性樹脂接着剤で接着、又はフェルールの後端面においてコリメータ外周部を熱可塑性樹脂接着剤で接着することができる。コリメータ部材を抜き取るときは、フェルールを加熱すればよい。   The means for inserting and temporarily fixing the tip of the collimator member into the ferrule is free, but for example, a thermoplastic resin adhesive can be used. The inner wall of the ferrule core hole and the outer peripheral part of the collimator can be bonded with a thermoplastic resin adhesive, or the outer peripheral part of the collimator can be bonded to the rear end face of the ferrule with a thermoplastic resin adhesive. What is necessary is just to heat a ferrule when extracting a collimator member.

コリメータ部材をフェルールに挿入し固定する手段としては、エポキシ樹脂などを使用することができる。   As means for inserting and fixing the collimator member into the ferrule, epoxy resin or the like can be used.

フェルールと共に前記GRINレンズ先端を球面状に研磨する装置としては、例えば図9に示す研磨装置13を用いることができる。
研磨装置13は、回転テーブル14、弾性パッド15、研磨フィルム16、軸17、おもり18、フェルール保持治具19、ファイバ保持棒20などからなる。回転テーブル14はその中心を軸として自転すると共に、中心からやや離れた2つの軸の回りを2軸公転する。これにより、回転テーブルは複雑な動きをし、フェルールがあらゆる方向に研磨されることになる。弾性パッド15はゴムなどの弾性体でなる円板で、回転テーブル14の上面に貼付されている。研磨フィルム16は上面が多数の砥粒を有する砥面となっている薄いシートで、弾性パッド15の上面に貼付されている。軸17には筒状のおもり18が上下動自在に挿通されている。フェルール保持具19はコリメータ部材を挿通したフェルールを保持するもので、おもり18に固定されている。したがって、フェルールはおもり18の重さで研磨フィルム16に押圧され、研磨が行われる。ファイバ保持棒20は、フェルール後端から延び出ている光ファイバ1を保持するものである。
As an apparatus for polishing the tip of the GRIN lens into a spherical shape together with the ferrule, for example, a polishing apparatus 13 shown in FIG. 9 can be used.
The polishing apparatus 13 includes a rotary table 14, an elastic pad 15, a polishing film 16, a shaft 17, a weight 18, a ferrule holding jig 19, a fiber holding rod 20, and the like. The rotary table 14 rotates about its center as an axis and revolves around two axes slightly apart from the center. As a result, the rotary table moves in a complicated manner, and the ferrule is polished in all directions. The elastic pad 15 is a disk made of an elastic body such as rubber, and is attached to the upper surface of the rotary table 14. The polishing film 16 is a thin sheet whose upper surface is a polishing surface having a large number of abrasive grains, and is attached to the upper surface of the elastic pad 15. A cylindrical weight 18 is inserted through the shaft 17 so as to be movable up and down. The ferrule holder 19 holds the ferrule inserted through the collimator member, and is fixed to the weight 18. Therefore, the ferrule is pressed against the polishing film 16 by the weight of the weight 18, and polishing is performed. The fiber holding rod 20 holds the optical fiber 1 extending from the rear end of the ferrule.

研磨装置13で、コリメータ部材を挿入したフェルールを研磨し、コリメータ部材先端部のGRINレンズ先端をフェルールと共に球面状に研磨する。図10はフェルールが研磨される状態の説明図である。フェルール4が研磨フィルム16に押し付けられると、その部分の弾性パッド15及び研磨フィルム16が変形、陥没する。このような状態で研磨されるため、フェルール4先端及びGRINレンズ2が球面状に研磨される。
複数のコリメータ部材の先端部分を多芯フェルールの各芯に挿入して研磨した場合は、GRINレンズ先端の球面状の部分が多芯フェルール先端面から突出した状態で研磨される(図8)。
フェルールの径と弾性パッドの硬さを調整することで、球面状に研磨する曲率を変えることができる。すなわち、フェルールの径が小さくなるほど、弾性パッドが軟らかくなるほど曲率が大きく(曲率半径が小さく)なる。
The polishing apparatus 13 polishes the ferrule into which the collimator member is inserted, and polishes the tip of the GRIN lens at the tip of the collimator member into a spherical shape together with the ferrule. FIG. 10 is an explanatory diagram of a state in which the ferrule is polished. When the ferrule 4 is pressed against the polishing film 16, the elastic pad 15 and the polishing film 16 at that portion are deformed and depressed. Since the polishing is performed in such a state, the tip of the ferrule 4 and the GRIN lens 2 are polished into a spherical shape.
When the tip portions of a plurality of collimator members are inserted into each core of the multi-core ferrule and polished, the spherical portion at the tip of the GRIN lens is polished in a state protruding from the tip surface of the multi-core ferrule (FIG. 8).
The curvature of polishing into a spherical shape can be changed by adjusting the diameter of the ferrule and the hardness of the elastic pad. That is, the smaller the ferrule diameter and the softer the elastic pad, the larger the curvature (the smaller the radius of curvature).

GRINレンズ先端に形成する反射防止膜は、従来から通常に使用されているものを使用できる。反射防止膜の反射率が0.2%以下ならば、最終的なリターンロスを−56dB以下にすることができる。   As the antireflection film formed on the front end of the GRIN lens, a conventionally used antireflection film can be used. If the reflectance of the antireflection film is 0.2% or less, the final return loss can be made −56 dB or less.

まず、直径125μmの単一モード光ファイバ1の先端に直径125μmのGRINレンズ2を融着し、GRINレンズ2を適宜な長さに切断し、コリメータ部材3’を作成する。その状態を図1に示す。GRINレンズ2の長さは、所定長さ(GRINレンズ中を進む光の蛇行周期の1/4の奇数倍の長さ)に研磨しろをプラスした長さとする。   First, a GRIN lens 2 having a diameter of 125 μm is fused to the tip of a single mode optical fiber 1 having a diameter of 125 μm, and the GRIN lens 2 is cut into an appropriate length to produce a collimator member 3 ′. The state is shown in FIG. The length of the GRIN lens 2 is a length obtained by adding a polishing margin to a predetermined length (a length that is an odd multiple of 1/4 of the meandering period of light traveling through the GRIN lens).

次に、コリメータ部材3’の先端部分を単芯フェルール4に挿入し、熱可塑性樹脂接着剤で仮固定する。その状態を図2に示す。   Next, the tip of the collimator member 3 'is inserted into the single core ferrule 4 and temporarily fixed with a thermoplastic resin adhesive. The state is shown in FIG.

次に、前記の研磨装置13でフェルール先端面及びGRINレンズ先端面を球面状に研磨する。図3に研磨が終了した状態を示す。   Next, the ferrule tip surface and the GRIN lens tip surface are polished into a spherical shape by the polishing apparatus 13. FIG. 3 shows a state where the polishing is completed.

次に、フェルール4を加熱して光ファイバコリメータ3をフェルール4から抜き取り、接着剤を洗浄する。さらにGRINレンズ2の先端に反射防止膜を形成し、図4に示す光ファイバコリメータ3が完成する。   Next, the ferrule 4 is heated, the optical fiber collimator 3 is extracted from the ferrule 4, and the adhesive is washed. Further, an antireflection film is formed at the tip of the GRIN lens 2 to complete the optical fiber collimator 3 shown in FIG.

本発明方法で製造した光ファイバコリメータは、汎用性に優れ、種々の用途に使用できる。図5はキャピラリ(ガラス製、ジルコニア製など)に光ファイバコリメータ3を対として挿入、固定した超小型のコリメータ対モジュールとして利用した例である。対のコリメータは芯ずれ、角度ずれがほとんど無く、相互の距離のみを調整すればよいので、製作が非常に簡単であり、高効率の光接続が可能である。   The optical fiber collimator manufactured by the method of the present invention has excellent versatility and can be used for various applications. FIG. 5 shows an example in which an optical fiber collimator 3 is inserted and fixed in a capillary (made of glass, zirconia, etc.) as a pair and is used as an ultra-compact collimator pair module. The pair of collimators have almost no misalignment or angular misalignment, and only the mutual distance needs to be adjusted. Therefore, the manufacture is very simple and highly efficient optical connection is possible.

図6は、図5のコリメータ対モジュールの、対のコリメータの間にフィルタのようなパッシブデバイスを挟んだパッシブモジュールとして利用した例である。この場合も、コリメータ相互の距離のみを調整すればよいので、製作が非常に簡単である。   FIG. 6 shows an example in which the collimator pair module of FIG. 5 is used as a passive module in which a passive device such as a filter is sandwiched between the pair of collimators. Also in this case, since only the distance between the collimators needs to be adjusted, the manufacture is very simple.

単芯フェルールに代えて、多芯フェルールを用いることができる。図7は多芯フェルールの例を示している。多芯フェルール7は、16個の芯穴8を有する。その各芯穴18にコリメータ部材3’を挿入し、研磨すると、図8に示すように、GRINレンズ先端の球面状の部分が多芯フェルール先端面から突出した状態で研磨される。研磨終了した光ファイバコリメータ3をフェルールから抜き出し、反射防止膜を形成することで、一度に16本の光ファイバコリメータ3を得ることができる。   A multi-core ferrule can be used instead of the single-core ferrule. FIG. 7 shows an example of a multi-core ferrule. The multi-core ferrule 7 has 16 core holes 8. When the collimator member 3 ′ is inserted into each core hole 18 and polished, the spherical portion at the tip of the GRIN lens is polished in a state of protruding from the tip of the multi-core ferrule as shown in FIG. By removing the polished optical fiber collimator 3 from the ferrule and forming an antireflection film, 16 optical fiber collimators 3 can be obtained at a time.

エポキシ樹脂接着剤などでコリメータ部材3’を多芯フェルール7に固定すると、図8に示す研磨を終了した状態で、そのまま光ファイバコリメータアレイとして使用することができる。なお、図8の状態から、GRINレンズ先端面に反射防止膜を形成することが望ましい。
本発明方法で製造した光ファイバコリメータアレイは、図5、6の単芯の場合と同様に、筒状のキャピラリに挿入し、コリメータアレイ対モジュールやパッシブモジュールとして使用することができる。
When the collimator member 3 ′ is fixed to the multi-core ferrule 7 with an epoxy resin adhesive or the like, it can be used as it is as an optical fiber collimator array in the state where the polishing shown in FIG. From the state of FIG. 8, it is desirable to form an antireflection film on the front end surface of the GRIN lens.
The optical fiber collimator array manufactured by the method of the present invention can be inserted into a cylindrical capillary and used as a collimator array pair module or a passive module, as in the case of the single core shown in FIGS.

コリメータ部材3’の断面説明図である。It is a section explanatory view of collimator member 3 '. コリメータ部材3’を挿入したフェルール4の断面説明図であるIt is a cross-sectional explanatory view of the ferrule 4 with the collimator member 3 ′ inserted therein. 球面状に研磨されたフェルール4及び光ファイバコリメータ3の断面説明図である。FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view of a ferrule 4 and an optical fiber collimator 3 polished into a spherical shape. 光ファイバコリメータ3の断面説明図である。FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view of the optical fiber collimator 3. コリメータ対モジュールの断面説明図ある。It is a section explanatory view of a collimator pair module. パッシブモジュールの断面説明図である。It is a section explanatory view of a passive module. 多芯フェルール7の斜視図である。3 is a perspective view of a multi-core ferrule 7. FIG. 球面状に研磨された多芯フェルール7及び光ファイバコリメータ3の断面説明図である。FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view of a multi-core ferrule 7 and an optical fiber collimator 3 polished into a spherical shape. 研磨装置13の説明図である。It is explanatory drawing of the grinding | polishing apparatus. 研磨装置13による研磨の状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state of grinding | polishing by the grinding | polishing apparatus 13. FIG. 光ファイバコリメータ11の断面説明図である。3 is a cross-sectional explanatory view of the optical fiber collimator 11. FIG. 光ファイバコリメータ12を対にした状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which made the optical fiber collimator 12 a pair.

符号の説明Explanation of symbols

1 光ファイバ
2 GRINレンズ
3 光ファイバコリメータ
3’ コリメータ部材
4 フェルール
5 キャピラリ
6 デバイス
7 多芯フェルール
8 芯穴
9 光ファイバコリメータアレイ
11 光ファイバコリメータ
12 光ファイバコリメータ
13 研磨装置
14 回転テーブル
15 弾性パッド
16 研磨フィルム
17 軸
18 おもり
19 フェルール保持治具
20 ファイバ保持棒
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber 2 GRIN lens 3 Optical fiber collimator 3 'Collimator member 4 Ferrule 5 Capillary 6 Device 7 Multi-core ferrule 8 Core hole 9 Optical fiber collimator array 11 Optical fiber collimator 12 Optical fiber collimator 13 Polishing device 14 Rotary table 15 Elastic pad 16 Polishing film 17 Axis 18 Weight 19 Ferrule holding jig 20 Fiber holding rod

Claims (2)

光ファイバの先端にGRINレンズを融着した複数のコリメータ部材の先端部分を多芯フェルールの各芯に挿入し、仮固定するステップと、
弾性パッド上に貼付した研磨フィルムに前記フェルールを押圧した状態で、フェルールと研磨フィルムとを相対的に移動させ、前記フェルールと共に複数の前記GRINレンズ先端を球面状に研磨するステップと、
前記フェルールから複数の前記コリメータ部材を抜き取るステップと、
前記各コリメータ部材のGRINレンズ先端に反射防止膜を形成するステップとを有することを特徴とする光ファイバコリメータの製造方法。
Inserting the tip portions of a plurality of collimator members having a GRIN lens fused to the tip of the optical fiber into each core of the multi-core ferrule, and temporarily fixing;
In a state where the ferrule is pressed against a polishing film affixed on an elastic pad, the ferrule and the polishing film are relatively moved, and a plurality of the GRIN lens tips are polished into a spherical shape together with the ferrule;
Extracting a plurality of the collimator members from the ferrule;
And a step of forming an antireflection film at the tip of the GRIN lens of each collimator member.
光ファイバの先端にGRINレンズを融着した複数のコリメータ部材の先端部分を多芯フェルールの各芯に挿入し、接着剤で固定するステップと、
弾性パッド上に貼付した研磨フィルムに前記フェルールを押圧した状態で、フェルールと研磨フィルムとを相対的に移動させ、前記フェルールと共に複数の前記GRINレンズ先端を球面状に研磨するステップを有することを特徴とする光ファイバコリメータアレイの製造方法。
Inserting the tip portions of a plurality of collimator members each having a GRIN lens fused to the tip of the optical fiber into each core of the multi-core ferrule and fixing with an adhesive;
The ferrule and the polishing film are relatively moved in a state in which the ferrule is pressed against the polishing film affixed on the elastic pad, and a plurality of GRIN lens tips are polished together with the ferrule into a spherical shape. A method for manufacturing an optical fiber collimator array.
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