JP4911956B2

JP4911956B2 - Liquid crystal dropping device

Info

Publication number: JP4911956B2
Application number: JP2005341116A
Authority: JP
Inventors: 由孝岡部; 真吾玉井
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2005-11-25
Filing date: 2005-11-25
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2025-11-25
Also published as: JP2007147921A

Description

本発明は、基板上に液晶を滴下する液晶滴下装置に関する。 The present invention relates to a liquid crystal dropping device that drops liquid crystal on a substrate.

液晶表示パネルの製造工程では、２枚のガラス基板の一方にその表示領域を囲むようにシール剤を塗布し、そのシール剤で囲まれた領域の内側に液晶を必要量滴下し、その基板と他方の基板とを真空中で位置合わせしてシール剤を介して貼り合わせ、その後、シール剤を硬化させることが行なわれる。 In the manufacturing process of the liquid crystal display panel, a sealing agent is applied to one of the two glass substrates so as to surround the display region, and a required amount of liquid crystal is dropped inside the region surrounded by the sealing agent. The other substrate is aligned in a vacuum and bonded via a sealant, and then the sealant is cured.

このような液晶表示パネルの製造工程において、表示品質の良好な液晶表示パネルを製造するためには、必要量の液晶を正確に滴下する必要がある。即ち、滴下する液晶の量が過少であると、貼り合わされた２枚の基板とシール剤とで囲まれる空間内に気泡が生じ、その気泡部分で表示ができなくなる。一方、滴下する液晶の量が過多であると、２枚の基板間において液晶層の厚みが厚くなり表示ムラを生じる。 In the manufacturing process of such a liquid crystal display panel, in order to manufacture a liquid crystal display panel with good display quality, it is necessary to accurately drop a required amount of liquid crystal. That is, if the amount of liquid crystal to be dropped is too small, bubbles are generated in the space surrounded by the two bonded substrates and the sealing agent, and display cannot be performed at the bubble portions. On the other hand, if the amount of liquid crystal to be dropped is excessive, the thickness of the liquid crystal layer increases between the two substrates, resulting in display unevenness.

ところで、従来は、次のような液晶滴下装置を用いて基板に対する液晶の滴下を行なっていた。 Conventionally, the liquid crystal is dropped onto the substrate by using the following liquid crystal dropping device.

特許文献１には、図６に示すように、基板１０１を搭載する基板ステージ１１１と、基板１０１上の定めた滴下位置に一定量の液晶（Ｌ）を滴下して供給する液晶供給装置１２０とを有する液晶滴下装置１１０が開示されている。 In Patent Document 1, as shown in FIG. 6, a substrate stage 111 on which a substrate 101 is mounted, a liquid crystal supply device 120 that drops and supplies a certain amount of liquid crystal (L) to a predetermined dropping position on the substrate 101, and A liquid crystal dropping device 110 having the above is disclosed.

液晶供給装置１２０は、液晶を貯溜するための容器１４０と、容器１４０内の液晶を一定体積ずつ取り出して基板１０１上に滴下するための計量部１４１を有する。計量部１４１は、ケーシング１４３と、ケーシング１４３の底部の固定部１４５と、ケーシング１４３内に設けられた円筒状の回転体１４４からなり、回転体１４４の回転軸１４６がケーシング１４３に取り付けられたサーボモータ１４７により駆動される。固定部１４５は回転体１４４の回転軸１４６を挟んだ対向位置に取出しポート１５２と吐出ポート１５３を備え、取出しポート１５２は固定部１４５内の流路１５７を介して容器１４０内に連通している。 The liquid crystal supply device 120 includes a container 140 for storing liquid crystal, and a measuring unit 141 for taking out a predetermined volume of liquid crystal in the container 140 and dropping it on the substrate 101. The measuring unit 141 includes a casing 143, a fixed part 145 at the bottom of the casing 143, and a cylindrical rotating body 144 provided in the casing 143, and a servo in which a rotating shaft 146 of the rotating body 144 is attached to the casing 143. It is driven by a motor 147. The fixed portion 145 includes a take-out port 152 and a discharge port 153 at opposite positions with the rotating shaft 146 of the rotating body 144 interposed therebetween. .

回転体１４４は、上記固定部１４５の取出しポート１５２と吐出ポート１５３に整合する２個の備蓄室１５１を備える。 The rotating body 144 includes two storage chambers 151 aligned with the take-out port 152 and the discharge port 153 of the fixed portion 145.

液晶供給装置１２０は、サーボモータ１４７による回転体１４４の回転によって、以下のように、ポンプ作用を営む。 The liquid crystal supply device 120 performs a pumping action as follows by the rotation of the rotating body 144 by the servo motor 147.

即ち、回転体１４４の備蓄室１５１が固定部１４５の取出しポート１５２を通過するとき、プランジャ１６０が備蓄室１５１の内部を下限から上限まで移動し、容器１４０内の液晶を取出しポート１５２経由で備蓄室１５１に吸い込んで取り出す。つまり、一定体積の液晶を計量して取り出す。そして、回転体１４４の備蓄室１５１が固定部１４５の吐出ポート１５３を通過するとき、プランジャ１６０が備蓄室１５１の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室１５１に蓄えた液晶を吐出ポート１５３（ノズル）経由で吐出し、１滴の液晶として基板１０１上に滴下する。 That is, when the stock room 151 of the rotating body 144 passes through the take-out port 152 of the fixed part 145, the plunger 160 moves from the lower limit to the upper limit inside the stock room 151, and takes out the liquid crystal in the container 140 via the take-out port 152. Intake into chamber 151 and take out. That is, a certain volume of liquid crystal is weighed out. When the storage chamber 151 of the rotating body 144 passes through the discharge port 153 of the fixed portion 145, the plunger 160 moves from the upper limit to the lower limit in the storage chamber 151, and the liquid crystal stored in the storage chamber 151 is discharged to the discharge port 153 ( Nozzle), and drops onto the substrate 101 as a drop of liquid crystal.

ところで、この液晶滴下装置１１０が備える液晶供給装置１２０は、液晶を吐出させるためのサーボモータ１４７がその駆動によって運転中に発熱し、この熱が計量部１４１に伝わる。 By the way, in the liquid crystal supply device 120 provided in the liquid crystal dropping device 110, the servo motor 147 for discharging the liquid crystal generates heat during operation by driving, and this heat is transmitted to the measuring unit 141.

計量部１４１が加熱されると次の問題点が生じる。
(1)計量して取り出される液晶の温度が上がるので、液晶が熱膨張する。そのため、計量部１４１の備蓄室１５１で設定体積ずつの液晶を取り出したとしても、取り出した液晶の質量は、液晶が熱膨張した分だけ少なくなってしまう。 When the measuring unit 141 is heated, the following problems occur.
(1) Since the temperature of the liquid crystal that is weighed out increases, the liquid crystal expands thermally. Therefore, even if the set volume of the liquid crystal is taken out in the storage room 151 of the measuring unit 141, the mass of the taken out liquid crystal is reduced by the amount of thermal expansion of the liquid crystal.

(2)計量部１４１が熱膨張すると、液晶を取り出す計量部１４１の備蓄室１５１の内径が縮小すると考えられる。そのため、液晶を取り出す量が少なくなるので、その分、液晶の滴下量（１滴当たりの質量）が減ってしまう。
特開2004-89783 (2) It is considered that when the measuring unit 141 is thermally expanded, the inner diameter of the storage chamber 151 of the measuring unit 141 for taking out the liquid crystal is reduced. For this reason, the amount of liquid crystal taken out is reduced, and the amount of liquid crystal dropped (mass per droplet) is reduced accordingly.
JP2004-89783

本発明の課題は、駆動源からの熱が計量部に伝わることを防止して、液晶の滴下精度を向上させることにある。 An object of the present invention is to prevent the heat from the driving source from being transmitted to the metering unit and improve the dropping accuracy of the liquid crystal .

請求項１の発明は、液晶を基板上に滴下する液晶滴下装置において、液晶を貯溜する容器と、液晶を吐出するノズルと、前記容器から設定された量の液晶を取り出し、取り出した液晶を前記ノズルへ送出する計量部と、該計量部を駆動する駆動源と、該駆動源と該計量部の間に断熱部材を備えるものである。 The invention of claim 1 is a liquid crystal dropping device for dropping liquid crystal on a substrate, wherein a container for storing liquid crystal, a nozzle for discharging liquid crystal, a set amount of liquid crystal is taken out from the container, and the taken out liquid crystal is A metering unit to be delivered to the nozzle, a drive source for driving the metering unit, and a heat insulating member between the drive source and the metering unit.

請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記駆動源はモータであり、前記断熱部材は該モータの回転軸が貫通する孔を有するものである。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the drive source is a motor, and the heat insulating member has a hole through which the rotating shaft of the motor passes.

請求項３の発明は、請求項1又は２の発明において更に、放熱部材を更に有するものである。 The invention of claim 3 further includes a heat dissipating member in the invention of claim 1 or 2.

請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記放熱部材は、冷却媒体を流通させる流路を有するものである。 According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the heat dissipating member has a flow path through which the cooling medium flows.

請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において更に、前記駆動源を冷却する冷却装置を有するものである。 The invention of claim 5 further includes a cooling device for cooling the drive source in any of the inventions of claims 1 to 4.

本発明によれば、駆動源からの熱が計量部に伝わることを防止できるので、液晶の滴下精度を向上させることができる。 According to the present invention , it is possible to prevent the heat from the driving source from being transmitted to the measuring unit, and thus it is possible to improve the liquid crystal dropping accuracy.

図１は液晶滴下装置を示す模式図、図２は基板上の液晶滴下パターンを示す模式図、図３は液晶供給装置の計量部の要部を示す模式図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）における矢視Ａ方向でのカム展開図、図４は液晶滴下装置の変形例の要部を示す模式図、図５は液晶滴下装置の他の変形例の要部を示す模式図である。 1 is a schematic diagram showing a liquid crystal dropping device, FIG. 2 is a schematic diagram showing a liquid crystal dropping pattern on a substrate, FIG. 3 is a schematic diagram showing a main part of a measuring unit of the liquid crystal supply device, (A) is a front view, (B) is a cam development view in the direction of arrow A in FIG. (A), FIG. 4 is a schematic diagram showing a main part of a modification of the liquid crystal dropping apparatus, and FIG. 5 is a main part of another modification of the liquid crystal dropping apparatus. It is a schematic diagram shown.

以下、図面を参照しながらこの発明の実施例を説明する。
図１において、液晶滴下装置１０は、基板１を搭載する基板ステージ１１と、基板１上に液晶（Ｌ）を滴下して供給する液晶供給装置２０とを有する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
In FIG. 1, the liquid crystal dropping device 10 includes a substrate stage 11 on which a substrate 1 is mounted, and a liquid crystal supply device 20 that drops and supplies liquid crystal (L) onto the substrate 1.

基板ステージ１１は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、θ軸駆動部を備えた移動装置１２を有し、基板１をＸ方向とＹ方向のそれぞれに移動するとともに、θ方向に回転することができる。移動装置１２の各駆動部はサーボモータにより構成できる。 The substrate stage 11 has a moving device 12 having an X-axis drive unit, a Y-axis drive unit, and a θ-axis drive unit, and moves the substrate 1 in each of the X direction and the Y direction and rotates in the θ direction. Can do. Each drive part of the moving apparatus 12 can be comprised with a servomotor.

液晶供給装置２０は、容器４０と計量部４１とからなり、移動装置５０を備える。
容器４０は液晶（Ｌ）を蓄える。 The liquid crystal supply device 20 includes a container 40 and a measuring unit 41 and includes a moving device 50.
The container 40 stores liquid crystal (L).

移動装置５０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を有し、液晶供給装置２０をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動する。移動装置５０の各駆動部はサーボモータにより構成できる。移動装置１２及び／又は移動装置５０は、基板ステージ１１上の基板１に対し、液晶供給装置２０を相対的に移動させる。 The moving device 50 includes an X-axis drive unit, a Y-axis drive unit, and a Z-axis drive unit, and moves the liquid crystal supply device 20 in each of the X direction, the Y direction, and the Z direction. Each drive unit of the moving device 50 can be constituted by a servo motor. The moving device 12 and / or the moving device 50 moves the liquid crystal supply device 20 relative to the substrate 1 on the substrate stage 11.

計量部４１は、ケーシング４３と、ケーシング４３内に設けた円柱状の回転体４４と、ケーシング４３の底部の固定部４５とからなり、回転体４４はその上部に回転軸４６を有し、回転軸４６がケーシング４３の上面に取り付けられたサーボモータ４７により駆動される。回転体４４は２個の備蓄室５１を、回転軸４６の軸心を中心とする同一半径上でかつ回転軸４６を挟んだ対向位置に備え、固定部４５は取出しポート５２とノズルを構成する吐出ポート５３を備え、回転体４４の１つの備蓄室５１が取出しポート５２に対向するとき回転体４４の他方の備蓄室５１が吐出ポート５３と対向する。取出しポート５２は固定部４５内の流路５７を介して容器４０内に連通する。回転体４４は固定部４５に液密に摺接し、回転体４４の回転により２個の備蓄室５１は取出しポート５２と吐出ポート５３を順に通過し、取出しポート５２経由で滴下量に応じた量の液晶を備蓄室５１内に計量して取出し、備蓄室５１は、取出した液晶を一時的に蓄え、吐出ポート５３を介して備蓄室５１内の液晶を基板１へ吐出する。 The measuring unit 41 includes a casing 43, a columnar rotating body 44 provided in the casing 43, and a fixing unit 45 at the bottom of the casing 43, and the rotating body 44 has a rotation shaft 46 on the upper portion thereof, and rotates. The shaft 46 is driven by a servo motor 47 attached to the upper surface of the casing 43. The rotating body 44 includes two storage chambers 51 on the same radius centered on the axis of the rotating shaft 46 and at opposed positions sandwiching the rotating shaft 46, and the fixed portion 45 constitutes a take-out port 52 and a nozzle. When the discharge port 53 is provided and one storage chamber 51 of the rotating body 44 faces the take-out port 52, the other storage chamber 51 of the rotating body 44 faces the discharge port 53. The take-out port 52 communicates with the inside of the container 40 through a flow path 57 in the fixed portion 45. The rotating body 44 is in fluid-tight sliding contact with the fixed portion 45, and the two storage chambers 51 pass through the take-out port 52 and the discharge port 53 in order by the rotation of the rotary body 44, and the amount corresponding to the dripping amount via the take-out port 52. The liquid crystal in the storage room 51 is weighed and taken out, and the storage room 51 temporarily stores the taken-out liquid crystal and discharges the liquid crystal in the storage room 51 to the substrate 1 through the discharge port 53.

計量部４１は、図３に示す如く、回転体４４に相対するカム５４を回転軸４６の周囲に固定配置し、回転体４４とカム５４の間で回転軸４６に固定した回転板５５に設けた複数のガイド孔５６に備蓄室５１と同数のプランジャ６０を上下動自在に保持し、プランジャ６０の下端部を備蓄室５１に嵌合して備蓄室５１の内部で往復動可能にし、プランジャ６０の上端部（カムフォロワ６０Ａ）をばね６１によりカム５４のカム面に衝合させている。ばね６１は、プランジャ６０の中間部に設けたフランジ６０Ｂと回転板５５の間に介装される。 As shown in FIG. 3, the measuring unit 41 is provided on a rotating plate 55 in which a cam 54 facing the rotating body 44 is fixedly disposed around the rotating shaft 46, and is fixed to the rotating shaft 46 between the rotating body 44 and the cam 54. The plurality of guide holes 56 hold the same number of plungers 60 as the storage chambers 51 so that the plungers 60 can move up and down, and the lower ends of the plungers 60 are fitted into the storage chambers 51 so as to be able to reciprocate inside the storage chambers 51. The upper end portion (cam follower 60 A) is abutted against the cam surface of the cam 54 by a spring 61. The spring 61 is interposed between a flange 60 B provided at an intermediate portion of the plunger 60 and the rotating plate 55.

ここで、図３（Ｂ）を用いて、カム５４の形状について詳細に説明する。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における矢視Ａでのカム展開図である。 Here, the shape of the cam 54 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 3B is a cam development view taken along arrow A in FIG.

図３（Ｂ）において、カム５４は、回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の取出しポート５２上を通過するとき、プランジャ６０が、備蓄室５１における回転方向（矢印Ｒ方向）先頭側の端部が取出しポート５２の左側端部上を通過するタイミングで上昇を開始し、備蓄室５１における回転方向後方側の端部が取出しポート５２の右側端部上を通過するタイミングで上限に達して停止するようにカム面の形状が設定される。また、プランジャ６０の上限位置は、プランジャ６０が上限に位置した状態での備蓄室５１内が、１回の滴下に必要とされる滴下量と同量の液晶を収容可能な容積となるように、カム５４により規定される。 In FIG. 3 (B), when the stock room 51 of the rotating body 44 passes over the take-out port 52 of the fixed portion 45, the cam 54 is located on the leading side in the rotational direction (arrow R direction) in the stock room 51. Ascending starts when the end passes over the left end of the take-out port 52, and reaches the upper limit when the end on the rear side in the rotation direction of the storage chamber 51 passes over the right end of the take-out port 52. The shape of the cam surface is set to stop. Also, the upper limit position of the plunger 60 is such that the inside of the storage chamber 51 in a state where the plunger 60 is positioned at the upper limit is a volume capable of accommodating the same amount of liquid crystal as that required for one dropping. , Defined by the cam 54.

一方、吐出ポート５３側については、取出しポート５２側と反対で、プランジャ６０が、備蓄室５１における回転方向先頭側の端部が吐出ポート５３における回転体４４の回転方向手前側端部上を通過するタイミングで下降を開始し、備蓄室５１における回転方向後方側の端部が吐出ポート５３における回転体４４の回転方向後側端部上を通過するタイミングで下限に達して停止するようにカム５４のカム面の形状が設定される。そしてプランジャ６０が下限に達した段階において、備蓄室５１内の液晶すべてが吐出ポート５３を通って吐出されて基板１上に滴下される。 On the other hand, on the discharge port 53 side, opposite to the take-out port 52 side, the plunger 60 passes the end on the front side in the rotation direction in the storage chamber 51 over the end on the near side in the rotation direction of the rotating body 44 in the discharge port 53. The cam 54 is stopped so as to reach a lower limit and stop when the end of the storage chamber 51 on the rear side in the rotational direction passes over the rear end of the discharge port 53 in the rotational direction of the rotating body 44. The shape of the cam surface is set. When the plunger 60 reaches the lower limit, all the liquid crystal in the storage chamber 51 is discharged through the discharge port 53 and dropped onto the substrate 1.

尚、図３（Ａ）においては、便宜上、あたかも備蓄室５１が取出しポート５２の真上に位置したときにこの備蓄室５１内のプランジャ６０が下限位置に位置し、備蓄室５１が吐出ポート５３の真上に位置したときにこの備蓄室５１内のプランジャ６０が上限位置に位置するかの如く示したが、図３（Ｂ）に示すように、備蓄室５１が取出しポート５２、或いは吐出ポート５３の真上（備蓄室５１が取出しポート５２、或いは吐出ポート５３に完全に重なる位置）にあるときは備蓄室５１内のプランジャ６０は上限位置と下限位置の間に位置することとなる。 In FIG. 3A, for convenience, when the storage chamber 51 is positioned directly above the take-out port 52, the plunger 60 in the storage chamber 51 is positioned at the lower limit position, and the storage chamber 51 is connected to the discharge port 53. Although the plunger 60 in the storage room 51 is shown as if it is located at the upper limit position when it is located directly above the storage room 51, as shown in FIG. The plunger 60 in the storage chamber 51 is positioned between the upper limit position and the lower limit position when it is directly above 53 (a position where the storage chamber 51 completely overlaps the take-out port 52 or the discharge port 53).

液晶供給装置２０は、サーボモータ４７による回転体４４の回転によって以下の如くにポンプ作用を営む。 The liquid crystal supply device 20 performs a pumping action as follows by the rotation of the rotating body 44 by the servo motor 47.

(a)取出し作用
回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の取出しポート５２を通過するとき、プランジャ６０が備蓄室５１の内部を下限から上限まで移動し（図３（Ｂ））、容器４０の液晶を取出しポート５２経由で備蓄室５１に計量して取出す。 (a) Extraction action When the storage chamber 51 of the rotating body 44 passes through the extraction port 52 of the fixed portion 45, the plunger 60 moves from the lower limit to the upper limit in the storage chamber 51 (FIG. 3B), and the container 40 The liquid crystal is taken out into the storage room 51 via the take-out port 52 and taken out.

(b)吐出作用
回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の吐出ポート５３を通過するとき、プランジャ６０が備蓄室５１の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室５１に蓄えた液晶を吐出ポート５３経由で吐出し、１滴の液晶として基板１上に滴下する。 (b) Discharge action When the storage chamber 51 of the rotating body 44 passes through the discharge port 53 of the fixed portion 45, the plunger 60 moves from the upper limit to the lower limit in the storage chamber 51, and discharges the liquid crystal stored in the storage chamber 51. It is discharged via the port 53 and dropped onto the substrate 1 as a drop of liquid crystal.

液晶供給装置２０は２個の備蓄室５１を備えているから、各備蓄室５１相互間で、容器４０から滴下量に応じた液晶を取出しポート５２経由で備蓄室５１に取出す工程と、備蓄室５１内に一時的に蓄えられた液晶を吐出ポート５３経由で吐出する工程とを並行して行なう。 Since the liquid crystal supply device 20 includes two storage chambers 51, a step of taking out the liquid crystal corresponding to the dropping amount from the container 40 to the storage chamber 51 via the port 52 between the storage chambers 51, and the storage chamber The step of discharging the liquid crystal temporarily stored in 51 via the discharge port 53 is performed in parallel.

液晶滴下装置１０は、液晶供給装置２０と基板ステージ１１上の基板１との面方向の相対的な位置を検出する検出装置（不図示）と、検出装置の検出結果に基づいて液晶供給装置２０を作動させるとともに移動装置１２を制御する制御装置（不図示）を備える。ここで検出装置は、例えば、移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダ及び移動装置５０の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダが用いられ、これらのエンコーダからの出力値に基づいて、基板ステージ１１の位置情報、及び液晶供給装置２０の位置情報を得て、これらの位置情報から液晶供給装置２０の吐出ポート５３と基板１との相対的な位置を検出する。 The liquid crystal dropping device 10 includes a detection device (not shown) that detects a relative position in the surface direction between the liquid crystal supply device 20 and the substrate 1 on the substrate stage 11, and the liquid crystal supply device 20 based on the detection result of the detection device. And a control device (not shown) for controlling the moving device 12. Here, as the detection device, for example, an encoder provided in a servo motor constituting each drive unit of the moving device 12 and an encoder provided in a servo motor constituting each drive unit of the moving device 50 are used, and these encoders are used. The position information of the substrate stage 11 and the position information of the liquid crystal supply device 20 are obtained based on the output values from the output values, and the relative position between the discharge port 53 of the liquid crystal supply device 20 and the substrate 1 is determined from these position information. To detect.

今、図２に示す如くに、基板１への液晶の滴下パターン（３Ａ，３Ｂ，…は滴下位置、３Ａは滴下開始位置、３Ｚは滴下終了位置、４はシール剤）が縦横に行列状に等間隔のパターンであり、このようなパターンで液晶を滴下するときの基板１に対する液晶供給装置２０の吐出ポート５３の移動経路（滴下経路）が、例えば矢印で示すように左右の端部で交互にＵ字状に折り返す経路をなすとする。このような場合、制御装置は、各直線状経路の両端滴下位置を除く中間滴下位置では、液晶供給装置２０と基板１との相対位置関係を検出する検出装置の検出結果に基づいて、液晶供給装置２０と基板１との相対移動を停止させずに吐出ポート５３から各滴下位置への吐出を行ない、各直線状経路の両端滴下位置では検出装置の検出結果に基づいて、液晶供給装置２０と基板１との相対移動を停止させて吐出ポート５３から各滴下位置への吐出を行なう。 As shown in FIG. 2, liquid crystal dropping patterns (3A, 3B,... Are dropping positions, 3A is a dropping start position, 3Z is a dropping end position, and 4 is a sealant) are vertically and horizontally arranged in a matrix as shown in FIG. It is an equally spaced pattern, and the movement path (dropping path) of the discharge port 53 of the liquid crystal supply device 20 with respect to the substrate 1 when the liquid crystal is dropped in such a pattern is alternately at the left and right ends as indicated by arrows, for example. Suppose that a path that folds back in a U-shape is formed. In such a case, the controller supplies the liquid crystal based on the detection result of the detection device that detects the relative positional relationship between the liquid crystal supply device 20 and the substrate 1 at the intermediate dropping position excluding the both-end dropping position of each linear path. The discharge from the discharge port 53 to each dropping position is performed without stopping the relative movement between the apparatus 20 and the substrate 1, and the liquid crystal supply apparatus 20 The relative movement with respect to the substrate 1 is stopped, and discharge from the discharge port 53 to each dropping position is performed.

即ち、制御装置は、基板ステージ１１の位置情報を移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取るとともに、液晶供給装置２０の吐出ポート５３のＸ、Ｙ方向での位置情報を、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取り、例えば、予め教示された基板１上の各滴下位置３Ａ，３Ｂ，…３Ｚの位置情報に基づいて、所定の滴下位置が吐出ポート５３を通過するタイミングで、液晶供給装置２０に吐出指令を出力する機能を備える。 That is, the control device reads the position information of the substrate stage 11 from the output value of the encoder of the servo motor that constitutes each drive unit of the moving device 12, and the position of the discharge port 53 of the liquid crystal supply device 20 in the X and Y directions. The information is read from the output values of the encoders of the servo motors constituting the X-axis drive unit and the Y-axis drive unit, and for example, based on the position information of each drop position 3A, 3B,. , A function of outputting a discharge command to the liquid crystal supply device 20 at a timing when a predetermined dropping position passes through the discharge port 53.

液晶供給装置２０は、制御装置の制御下において吐出回数と吐出タイミングをサーボモータ４７により制御し、１回の吐出動作において、先に述べた取出し作用にて備蓄室５１内に蓄えられた液晶すべてを吐出ポート５３から吐出させる。このとき、備蓄室５１内の容積は１回の滴下に必要とされる滴下量と同量となっていることから、備蓄室５１内の液晶をすべて吐出させれば必要とする滴下量が得られる。つまり、液晶を吐出させる段階での液量調整を不要とすることから、高速で安定した滴下を行なうことができる。これにより、基板ステージ１１を停止させずに、基板ステージ１１の位置座標に基づいて滴下位置到達毎に必要量の液晶の吐出を行なうことができ、滴下工程に要する時間を大幅に短縮することができる。 The liquid crystal supply device 20 controls the number of discharges and the discharge timing by the servo motor 47 under the control of the control device, and all the liquid crystals stored in the storage chamber 51 by the take-out action described above in one discharge operation. Is discharged from the discharge port 53. At this time, since the volume in the storage chamber 51 is the same as the amount of dripping required for one dripping, the required amount of dripping can be obtained by discharging all the liquid crystal in the stocking chamber 51. It is done. That is, since it is not necessary to adjust the amount of liquid at the stage of discharging the liquid crystal, it is possible to perform stable dropping at high speed. Thus, a required amount of liquid crystal can be discharged every time the dropping position is reached based on the position coordinates of the substrate stage 11 without stopping the substrate stage 11, and the time required for the dropping process can be greatly shortened. it can.

液晶滴下装置１０は以下の如くに動作する。
(1)移動装置５０により、液晶供給装置２０の吐出ポート５３が滴下開始位置へ移動する。 The liquid crystal dropping device 10 operates as follows.
(1) The discharge port 53 of the liquid crystal supply device 20 is moved to the dropping start position by the moving device 50.

(2)閉ループ状にシール剤４が塗布された基板１を基板ステージ１１に搭載する。基板１の位置決めマークを検出装置にて認識し、基板ステージ１１上での基板１の位置ずれ状態を検出する。 (2) The substrate 1 coated with the sealant 4 in a closed loop shape is mounted on the substrate stage 11. The positioning mark of the substrate 1 is recognized by the detection device, and the position shift state of the substrate 1 on the substrate stage 11 is detected.

(3)上述の(2)で検出した基板１の位置ずれ状態を加味して移動装置１２を移動させ、基板１上の滴下開始位置３Ａ（図２）が、前述(1)で滴下開始位置に位置付けられた吐出ポート５３の直下となるように基板１を位置決めする。 (3) The moving device 12 is moved in consideration of the position shift state of the substrate 1 detected in the above (2), and the dropping start position 3A (FIG. 2) on the substrate 1 is the dropping start position in the above (1). The substrate 1 is positioned so as to be directly below the discharge port 53 positioned at the position.

(4)移動装置１２により基板ステージ１１上の基板１を液晶供給装置２０の吐出ポート５３に対する前述の滴下経路に沿って相対移動させ、液晶を吐出ポート５３から基板１上の各滴下位置に前述の如くに滴下する。制御装置は、移動装置１０の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダ信号により、滴下位置を検出する。 (4) The substrate 1 on the substrate stage 11 is moved relative to the discharge port 53 of the liquid crystal supply device 20 by the moving device 12 along the above-described dropping path, and the liquid crystal is transferred from the discharge port 53 to each dropping position on the substrate 1. Drip as shown. The control device detects the dropping position based on an encoder signal of a servo motor that constitutes each driving unit of the moving device 10.

しかるに、液晶滴下装置１０は、図１に示す如く、回転体４４を回転させる駆動源のサーボモータ４７と液晶供給装置２０の計量部４１の間に上下２枚の断熱部材６２を備える。即ち、サーボモータ４７は円筒状のハウジング部４７Ａにフランジ部４７Ｂを有し、計量部４１のケーシング４３の上面とサーボモータ４７のフランジ部４７Ｂとの間に、ゴム、セラミック等からなる上下２枚の円板状の断熱部材６２を介在させて、サーボモータ４７を取り付けている。２枚の断熱部材６２の間には、更にアルミ合金等からなる円板状の放熱板６３（放熱部材）を挟持し、放熱板６３により上側の断熱部材６２に溜まった熱を放散している。上下２枚の断熱部材６２及び放熱板６３は、それぞれ回転体４４の回転軸４６が貫通する孔６２Ａを内周に有し、回転軸４６との間に環状隙間を設けて、回転軸４６との接触による摩擦抵抗の発生を防止している。 However, as shown in FIG. 1, the liquid crystal dropping device 10 includes two upper and lower heat insulating members 62 between a servo motor 47 serving as a driving source for rotating the rotating body 44 and the measuring unit 41 of the liquid crystal supply device 20. That is, the servo motor 47 has a flange portion 47B in a cylindrical housing portion 47A, and two upper and lower sheets made of rubber, ceramic, etc., between the upper surface of the casing 43 of the measuring portion 41 and the flange portion 47B of the servo motor 47. A servo motor 47 is attached with a disc-shaped heat insulating member 62 interposed therebetween. A disc-shaped heat radiating plate 63 (heat radiating member) made of an aluminum alloy or the like is further sandwiched between the two heat insulating members 62, and the heat accumulated in the upper heat insulating member 62 is dissipated by the heat radiating plate 63. . The two upper and lower heat insulating members 62 and the heat radiating plate 63 each have a hole 62 A through which the rotating shaft 46 of the rotating body 44 passes, and an annular gap is provided between the rotating shaft 46 and the rotating shaft 46. This prevents the generation of frictional resistance due to contact.

尚、放熱板６３は、断熱部材６２の計量部４１側に、計量部４１のケーシング４３に直接接触させて配置し、計量部４１の熱を放散するようにすることもできる。 The heat radiating plate 63 may be disposed on the measuring unit 41 side of the heat insulating member 62 so as to be in direct contact with the casing 43 of the measuring unit 41 so as to dissipate the heat of the measuring unit 41.

本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
（ａ）液晶滴下装置１０は、駆動源のサーボモータ４７と計量部４１の間に断熱部材６２を備えるので、サーボモータ４７が運転中に発熱しても、この熱が液晶供給装置２０の計量部４１に伝わることを断熱部材６２が防止する。その結果、基板１枚当りの液晶の滴下量の精度を向上させることができ、製造される液晶表示パネルの表示品質を向上させることができる。 According to the present embodiment, the following operational effects can be obtained.
(A) Since the liquid crystal dropping device 10 includes the heat insulating member 62 between the servo motor 47 serving as the driving source and the measuring unit 41, even if the servo motor 47 generates heat during operation, this heat is measured by the liquid crystal supply device 20. The heat insulating member 62 prevents transmission to the portion 41 . As a result, the accuracy of the amount of liquid crystal dropped per substrate can be improved, and the display quality of the manufactured liquid crystal display panel can be improved.

(b)計量部４１の上面とサーボモータ４７のフランジ部４７Ｂとの間に、サーボモータ４７の回転軸４６が貫通する孔６２Ａを有する断熱部材６２を介在させて、サーボモータ４７を取り付けたので、サーボモータ４７で発生する熱が液晶供給装置２０の計量部４１に伝わることを防止することができるとともに、回転軸４６と断熱部材６２の内周の孔６２Ａとの間に設けた環状隙間により、回転軸４６と断熱部材６２との接触による摩擦抵抗の発生を防止することができる。サーボモータ４７は、円筒状のハウジング部４７Ａと、ハウジング部４７Ａの両端のフランジ部４７Ｂが主に熱を持ちやすく、回転軸４６は比較的温度上昇が少ない。従って、ハウジング部４７Ａと、フランジ部４７Ｂを断熱すれば、回転軸４６を断熱しなくても、計量部４１への伝熱は十分防止できる。 (b) Since the servo motor 47 is mounted between the upper surface of the measuring portion 41 and the flange portion 47B of the servo motor 47, the heat insulating member 62 having a hole 62A through which the rotation shaft 46 of the servo motor 47 passes is interposed. The heat generated by the servo motor 47 can be prevented from being transmitted to the measuring unit 41 of the liquid crystal supply device 20, and the annular gap provided between the rotary shaft 46 and the inner peripheral hole 62 A of the heat insulating member 62. Generation of frictional resistance due to contact between the rotating shaft 46 and the heat insulating member 62 can be prevented. In the servo motor 47, the cylindrical housing portion 47A and the flange portions 47B at both ends of the housing portion 47A are mainly easily heated, and the temperature of the rotary shaft 46 is relatively small. Therefore, if the housing portion 47A and the flange portion 47B are thermally insulated, heat transfer to the measuring portion 41 can be sufficiently prevented even if the rotating shaft 46 is not thermally insulated.

(c)液晶滴下装置１０は、更に断熱部材６２の間に放熱板（放熱部材）６３を有するので、計量部４１への伝熱を有効に防止することができる。或いは、断熱部材６２の計量部４１側に放熱板６３を、計量部４１のケーシング４３に直接接触させて配置した。そのため断熱部材６２を通過した熱を放熱板６３にて放散することができる。 (c) Since the liquid crystal dropping device 10 further includes the heat radiating plate (heat radiating member) 63 between the heat insulating members 62, heat transfer to the measuring unit 41 can be effectively prevented. Alternatively, the heat radiating plate 63 is arranged on the side of the measuring unit 41 of the heat insulating member 62 so as to be in direct contact with the casing 43 of the measuring unit 41. Therefore, the heat that has passed through the heat insulating member 62 can be dissipated by the heat radiating plate 63.

図４は、図１の液晶供給装置２０の放熱板６３内に水や空気等の冷却媒体を流通させる流路６３Ｃを形成して、冷却媒体により放熱板６３を強制的に冷却するようにしたものである。 4, a flow path 63 C for flowing a cooling medium such as water or air is formed in the heat radiating plate 63 of the liquid crystal supply device 20 of FIG. 1, and the heat radiating plate 63 is forcibly cooled by the cooling medium. Is.

図４の液晶の滴下装置によれば、更に放熱板６３内に水等の冷却媒体を流通させる流路６３Ｃを有するので、上記の(a)、(b)、(c)の作用効果に加え、計量部４１への伝熱を更に有効に防止することができる。その結果、この実施例にあっても液晶の滴下量（１滴当りの質量）が減少することを防止することができる。 According to the liquid crystal dropping device of FIG. 4, the liquid crystal dropping device 63 further includes a flow path 63 C through which a cooling medium such as water flows in the heat radiating plate 63. Heat transfer to the measuring unit 41 can be further effectively prevented. As a result, even in this embodiment, it is possible to prevent the liquid crystal drop amount (mass per drop) from decreasing.

図５は、図１の液晶供給装置２０のサーボモータ４７の外周にペルチェ素子６４からなる冷却装置を取り付けたものであり、ペルチェ素子６４の冷却面をサーボモータ４７の外周に取り付け、更にペルチェ素子６４の放熱面にヒートシンク６５からなる放熱部材を取り付けたものである。 FIG. 5 is a view in which a cooling device comprising a Peltier element 64 is attached to the outer periphery of the servo motor 47 of the liquid crystal supply device 20 of FIG. 1, and the cooling surface of the Peltier element 64 is attached to the outer periphery of the servo motor 47. A heat radiating member composed of a heat sink 65 is attached to 64 heat radiating surfaces.

また、冷却装置６４として送風ファンを用いて、サーボモータ４７の外周を冷却することもできる。 Further, the outer periphery of the servo motor 47 can be cooled using a blower fan as the cooling device 64.

図５の液晶滴下装置１０は、その駆動源としてのサーボモータ自体を冷却する冷却装置を有するので、駆動源自体の発熱を放散することができる。その結果、この実施例にあっても液晶の滴下量（１滴当りの質量）が減少することを防止することができる。 Since the liquid crystal dropping device 10 of FIG. 5 has a cooling device that cools the servo motor itself as its drive source, it can dissipate the heat generated by the drive source itself. As a result, even in this embodiment, it is possible to prevent the liquid crystal drop amount (mass per drop) from decreasing.

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。 The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment, and even if there is a design change or the like without departing from the gist of the present invention. It is included in the present invention.

例えば、図１に示した上記実施例において、放熱板６３をサーボモータ４７の外形とほぼ同じ大きさに形成したもので説明したが、サーボモータ４７や計量部４１の外形よりも大きく形成しても良い。放熱板６３の外形を大きくすると、放熱板６３の表面積が大きくなるので、放熱板６３の放熱効率が向上し、計量部４１への伝熱をより確実に防止することができる。また、更に、放熱板６３の表面にひれ状の突起を複数設け、放熱効率を更に高めるようにしても良い。 For example, in the above-described embodiment shown in FIG. 1, the heat sink 63 is described as being formed to have substantially the same size as the outer shape of the servo motor 47. Also good. When the outer shape of the heat radiating plate 63 is increased, the surface area of the heat radiating plate 63 is increased, so that the heat radiating efficiency of the heat radiating plate 63 is improved and heat transfer to the measuring unit 41 can be more reliably prevented. Furthermore, a plurality of fin-like protrusions may be provided on the surface of the heat radiating plate 63 to further increase the heat radiation efficiency.

また、図１に示した上記実施例において、液晶滴下装置２０を移動装置５０にサーボモータ４７を介して連結するように示したが、図１において２つの断熱部材６２の間に設けた放熱板６３を介して連結するようにしても良い。即ち、放熱板６３が移動装置５０との間の連結具を兼ねるようにしても良い。このように構成することで、放熱板６３に伝わった熱を移動装置５０に伝えて放散させることができる。そのため、図１に示した放熱板６３を用いた場合よりも、計量部４１への伝熱をより確実に防止することができる。 Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the liquid crystal dropping device 20 is shown to be connected to the moving device 50 via the servo motor 47, but the heat radiating plate provided between the two heat insulating members 62 in FIG. 1. You may make it connect via 63. FIG. That is, the heat radiating plate 63 may also serve as a connection tool between the moving device 50. By comprising in this way, the heat transmitted to the heat sink 63 can be transmitted to the moving device 50 and dissipated. Therefore, heat transfer to the measuring unit 41 can be more reliably prevented than when the heat radiating plate 63 shown in FIG. 1 is used.

また、サーボモータ４７と移動装置５０とを連結する連結具にアルミ合金等の熱伝導率が良好な部材を用いても良い。このようにすることにより、サーボモータ４７で発生した熱が移動装置５０へも伝達されて放散されるので、これによっても、サーボモータ４７の熱が計量部４１に伝達されることが防止できる。 Further, a member having a good thermal conductivity such as an aluminum alloy may be used as a connecting tool for connecting the servo motor 47 and the moving device 50. By doing so, the heat generated by the servo motor 47 is also transmitted to the moving device 50 and dissipated, so that the heat of the servo motor 47 can also be prevented from being transmitted to the measuring unit 41.

また、図１に示した上記実施例において、サーボモータ４７側から断熱部材６２、放熱板６３、断熱部材６２の順で配置した構成を示したが、放熱板６３、断熱部材６２の順で配置して構成しても良い。このように構成した場合、サーボモータ４７で発生した熱が断熱部材６２に伝わる前に放熱板６３によって放散されるので、断熱部材６２をサーボモータ４７に直接接触させる場合よりも、熱が計量部４１に伝わることを効果的に防止することができる。尚、この場合にも、図４に示した、冷却媒体を流通させる流路を備えた放熱板６３を用いることができる。 In the above-described embodiment shown in FIG. 1, the heat insulating member 62, the heat radiating plate 63, and the heat insulating member 62 are arranged in this order from the servo motor 47 side, but the heat radiating plate 63 and the heat insulating member 62 are arranged in this order. May be configured. In such a configuration, since the heat generated by the servo motor 47 is dissipated by the heat radiating plate 63 before being transmitted to the heat insulating member 62, the heat is measured more than the case where the heat insulating member 62 is brought into direct contact with the servo motor 47. 41 can be effectively prevented. In this case as well, the heat radiating plate 63 having a flow path for circulating the cooling medium shown in FIG. 4 can be used.

また、放熱板６３にアルミ合金を用いた例で説明したが、これに限られるものではなく、銅、銀等の他の部材であっても良い。このとき、放熱板６３は、サーボモータ４７や計量部４１を構成する部材よりも熱伝導率が大きな部材で形成することが好ましい。 Moreover, although the example which used the aluminum alloy for the heat sink 63 was demonstrated, it is not restricted to this, Other members, such as copper and silver, may be sufficient. At this time, the heat radiating plate 63 is preferably formed of a member having a higher thermal conductivity than the members constituting the servo motor 47 and the measuring unit 41.

また、図１に示した上記実施例において、断熱部材６２を中空に形成し、その中空空間に乾燥空気等の気体を封入するようにしても良い。また、中空空間を真空雰囲気としても良い。 Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the heat insulating member 62 may be formed in a hollow shape, and a gas such as dry air may be sealed in the hollow space. The hollow space may be a vacuum atmosphere.

また、断熱部材６２におけるサーボモータ４７などの他の部材との接触面を粗面に加工し、他の部材との接触部に空気が進入しやすい構成としても良い。このように、他の部材との間に、金属などと比べて熱伝導率が小さい空気を介在させることで、断熱部材６２による断熱効果を一層高めることができる。 In addition, the contact surface of the heat insulating member 62 with another member such as the servomotor 47 may be processed into a rough surface so that air can easily enter the contact portion with the other member. Thus, the heat insulation effect by the heat insulation member 62 can be further enhanced by interposing air having a smaller thermal conductivity than other metals.

また、図５に示した上記実施例において、ペルチェ素子６４の代わりに、図４に示した、冷却媒体を流通させる流路を備えた放熱板６３と同様に構成した部材を冷却装置として用いても良い。また、このような冷却装置とペルチェ素子６４を組み合わせて用いても良い。 Further, in the above-described embodiment shown in FIG. 5, instead of the Peltier element 64, a member configured similarly to the heat radiating plate 63 provided with the flow path for circulating the cooling medium shown in FIG. Also good. Further, such a cooling device and the Peltier element 64 may be used in combination.

図１は液晶滴下装置を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a liquid crystal dropping device. 図２は基板上の液晶滴下パターンを示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a liquid crystal dropping pattern on the substrate. 図３は液晶供給装置の計量部の要部を示す模式図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）における矢視Ａ方向でのカム展開図である。3A and 3B are schematic views showing the main part of the measuring unit of the liquid crystal supply device, in which FIG. 3A is a front view, and FIG. 3B is a cam development view in the direction of arrow A in FIG. 図４は液晶滴下装置の変形例の要部を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing a main part of a modification of the liquid crystal dropping device. 図５は液晶滴下装置の他の変形例の要部を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing a main part of another modification of the liquid crystal dropping device. 図６は従来の液晶滴下装置を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic view showing a conventional liquid crystal dropping device.

Explanation of symbols

１基板
１０液晶滴下装置
２０液晶供給装置
４０容器
４１計量部
４６回転軸
４７サーボモータ（駆動源）
５３ノズル
６２断熱部材
６２Ａ孔
６３放熱板（放熱部材）
６３Ｃ流路
６４ペルチェ素子（冷却装置） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 10 Liquid crystal dropping device 20 Liquid crystal supply device 40 Container 41 Measuring unit 46 Rotating shaft 47 Servo motor (drive source)
53 Nozzle 62 Heat Insulating Member 62A Hole 63 Heat Dissipation Plate (Heat Dissipation Member)
63C Flow path 64 Peltier element (cooling device)

Claims

In a liquid crystal dropping device that drops liquid crystal on a substrate,
A container for storing liquid crystal;
A nozzle for discharging liquid crystal;
A measuring unit for taking out a set amount of liquid crystal from the container and sending out the taken out liquid crystal to the nozzle;
A drive source for driving the measuring unit;
A liquid crystal dropping device comprising a heat insulating member between the driving source and the measuring unit.

The drive source is a motor;
The liquid crystal dropping device according to claim 1, wherein the heat insulating member has a hole through which a rotating shaft of the motor passes.

The liquid crystal dropping device according to claim 1, further comprising a heat radiating member.

The liquid crystal dropping device according to claim 3, wherein the heat radiating member has a flow path through which a cooling medium flows.

The liquid crystal dropping device according to claim 1, further comprising a cooling device that cools the drive source.