JP4890652B1 - Lead screw type manual stage - Google Patents
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Abstract
【課題】送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、摺動部品の任意の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供する。
【解決手段】ハンドル４の回転操作部６と、環状のクランプ部材９と、クランプ部材９の内側の雌ネジ孔１２ａと係合する雄ネジ部１１と、第１第１ブロック５ａに係止して雄ネジ棒７のハンドル方向への移動を拘束する係止部１３とを備え、クランプ部材９の雌ネジ孔１２ａが雄ネジ部１１から離間するようにハンドル４の回転操作部６を回転させ、クランプ部材９を第１第１ブロック５ａに圧着させて雄ネジ棒７の回転を拘束し、摺動部品２を固定部品３に対して任意の位置で固定させる。
【選択図】図３[PROBLEMS] To provide a simple and functional stopper function for a lead screw type manual stage, which is a small manual stage, has high sliding accuracy, and easily fixes the rotation of a handle at an arbitrary position of a sliding part. Provide a feed screw type manual stage.
A rotation operation portion 6 of a handle 4, an annular clamp member 9, a male screw portion 11 engaged with a female screw hole 12a inside the clamp member 9, and a first first block 5a are engaged. And a locking portion 13 for restraining the movement of the male screw rod 7 in the direction of the handle, and the rotation operation portion 6 of the handle 4 is rotated so that the female screw hole 12a of the clamp member 9 is separated from the male screw portion 11. Then, the clamp member 9 is pressed against the first first block 5a to restrain the rotation of the male screw rod 7, and the sliding component 2 is fixed to the fixed component 3 at an arbitrary position.
[Selection] Figure 3
Description
本発明は、送りネジ式手動ステージに係り、特に、精密機器が取付けられる摺動部品に設けられた雌ネジ筒と、土台に接続される固定部品に固定されたブロックを貫通する雄ネジ棒とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて固定部品に対して摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式手動ステージに関する。 The present invention relates to a feed screw type manual stage, and in particular, a female screw cylinder provided in a sliding part to which a precision instrument is attached, and a male screw rod passing through a block fixed to a fixed part connected to a base. And a feed screw type manual stage that adjusts the position of an attached precision instrument by rotating a male screw rod by operating a handle to slide a sliding component with respect to a fixed component.
精密機器の位置調整を行う手動ステージには、その駆動機構により、主としてラックアンドピニオン式手動ステージ、及び送りネジ式手動ステージがあり、それぞれ固定部品に対して摺動部品を駆動して摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う機構を有する。また、所望の位置で摺動部品の摺動を固定させ、取り付けられた精密機器の位置設定を行うストッパ機構を有する。 There are mainly rack and pinion type manual stages and feed screw type manual stages depending on the drive mechanism used to adjust the position of precision equipment. And a mechanism for adjusting the position of the attached precision instrument. In addition, it has a stopper mechanism that fixes the sliding of the sliding component at a desired position and sets the position of the attached precision instrument.
特許文献１の図２を参照してラックアンドピニオン式手動ステージの駆動機構を説明する。ラックアンドピニオンによる駆動機構は、摺動部品に固定されたラック（特許文献１図２符号１３）と、ハンドルと回転軸が共通するように接続されて固定部品により支持されたピニオンギア（同符号１４）とが係合され、ハンドル（同符号９）を回転するとピニオンギアが連動して回転してラック上を移動し、摺動部品が固定部品に対して摺動する駆動機構である。すなわち、ハンドルは、摺動部品の摺動方向に対して交差する方向に取り付けられる。このラックアンドピニオン式による手動ステージは、後述するアリ溝式ステージという摺動機構と組み合わされ、ハンドル１回転により約１８ｍｍ移動し、素早く大きい動きが必要な場合に適した駆動機構である。 The drive mechanism of the rack and pinion type manual stage will be described with reference to FIG. The drive mechanism by the rack and pinion includes a rack (Patent Document 1, FIG. 2, symbol 13) fixed to the sliding component, and a pinion gear (same symbol) that is connected so that the handle and the rotation shaft are in common and supported by the stationary component. 14) is engaged, and when the handle (same reference numeral 9) is rotated, the pinion gear rotates in conjunction with it and moves on the rack, and the sliding component slides relative to the fixed component. That is, the handle is attached in a direction crossing the sliding direction of the sliding component. This manual stage by the rack and pinion type is combined with a sliding mechanism called a dovetail type stage, which will be described later, and moves about 18 mm by one rotation of the handle, and is a drive mechanism suitable for a case where quick and large movement is required.
特許文献１の図２２を参照して送りネジ式手動ステージの駆動機構を説明する。送りネジ式による駆動機構は、精密機器が取付けられる摺動部品の裏面に接続される雌ネジ筒（特許文献１図２２符号３０６）と、土台に接続される固定部品に固定されたブロックを貫通する雄ネジ棒（同符号３０７）とが係合され、ハンドル（同符号３０９）の操作により雄ネジ棒を回転させて固定部品に対して摺動部品を摺動させる摺動機構である。すなわち、ハンドルは、摺動部品の摺動方向と同じ方向に取り付けられる。この送りネジ式による手動ステージは、後述するアリ溝式ステージという摺動機構と組み合わされ、ハンドル１回転により約４．２ｍｍ移動し、耐荷重性が要求され微細な調整が必要な場合に適した駆動機構である。 A feed screw type manual stage drive mechanism will be described with reference to FIG. The feed screw type drive mechanism passes through a female screw cylinder (reference numeral 306 in Patent Document 1 and reference numeral 306) connected to the back surface of a sliding part to which a precision device is attached, and a block fixed to a fixed part connected to a base. This is a sliding mechanism that engages with a male threaded rod (same reference numeral 307) and rotates the male threaded rod by operating a handle (same numeral 309) to slide the sliding part relative to the fixed part. That is, the handle is attached in the same direction as the sliding direction of the sliding component. This feed screw type manual stage is combined with a sliding mechanism called dovetail type stage, which will be described later, and moves about 4.2 mm by one rotation of the handle, making it suitable for cases where load resistance is required and fine adjustment is required. It is a drive mechanism.
特許文献２の図１を参照してアリ溝による摺動機構を説明する。ラックアンドピニオン式手動ステージ、及び送りネジ式手動ステージでは、固定部品に対して摺動部品を滑らかに摺動させる摺動機構としてアリ溝式手動ステージを用いられるのが一般的である。アリ溝式手動ステージとは、台形状に窪んだアリ溝（特許文献１図１符号３）を有する固定部品と、台形状に突出したアリ（同符号２）を有する摺動部品が嵌合され、摺動部品が固定部品に対して滑らかに摺動する手動ステージである。 A sliding mechanism using a dovetail groove will be described with reference to FIG. In the rack and pinion type manual stage and the feed screw type manual stage, the dovetail type manual stage is generally used as a sliding mechanism for smoothly sliding the sliding part with respect to the fixed part. In the dovetail-type manual stage, a fixed part having a dovetail groove recessed in a trapezoidal shape (reference numeral 3 in FIG. 1) and a sliding part having an ant protruding in a trapezoidal shape (same numeral 2) are fitted. A manual stage in which the sliding part slides smoothly with respect to the fixed part.
特許文献２の図３を参照してアリ溝手動ステージにおいて所望の位置で摺動部品の摺動を固定させ、取り付けられた精密機器の位置設定を行うストッパ機構を説明する。固定部品の側面には摺動固定ネジ（特許文献２図３符号１０）が取付けられ、固定部品のアリ溝の側部に逆三角形の突出部（同符号３１）が形成されるように溝部３２が設けられる。そして、摺動固定ネジの先端部である摺動固定ネジ先端部を溝部から突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて固定部品のアリ溝と嵌合する摺動部品のアリを押さえ込ませ、固定部品に対する摺動部品の位置を固定する。 With reference to FIG. 3 of Patent Document 2, a stopper mechanism that fixes the sliding of the sliding component at a desired position on the dovetail manual stage and sets the position of the attached precision device will be described. A sliding fixing screw (reference numeral 10 in FIG. 3) is attached to the side surface of the fixed part, and the groove part 32 is formed so that an inverted triangular protrusion (same reference numeral 31) is formed on the side part of the dovetail groove of the fixed part. Is provided. Then, the tip of the sliding fixing screw, which is the tip of the sliding fixing screw, is pressed against the protruding portion from the groove portion, and the protruding portion is inclined inward to hold down the sliding component ant that fits into the fixing component dovetail groove. And fix the position of the sliding component relative to the fixed component.
一方、送りネジ式手動ステージには、「押しねじ型」と称される駆動機構及び摺動機構を用いた簡易手動ステージがある。この送りネジ式手動ステージは、小型であり摺動部品が摺動する範囲も狭いため一般的な手動ステージに用いられるアリ溝式摺動機構は採用されず、「押しねじ型」と称される簡易な駆動機構により位置調整を行う。そのため摺動部品の摺動自体の精度が低く、一般的な手動ステージに用いられるような精密な位置決めには適さない。すなわち、機能性や精度のレベルを落とした手動ステージといえる。 On the other hand, the feed screw type manual stage includes a simple manual stage using a drive mechanism and a sliding mechanism called “push screw type”. Since this feed screw type manual stage is small and the sliding range of the sliding parts is narrow, the dovetail type sliding mechanism used for a general manual stage is not adopted, and is called “push screw type”. Position adjustment is performed by a simple drive mechanism. For this reason, the accuracy of sliding of the sliding parts is low, and it is not suitable for precise positioning used in a general manual stage. In other words, it can be said to be a manual stage with a reduced level of functionality and accuracy.
図１０に、上述した従来の「押しねじ型」による送りネジ式手動ステージの実施例を示す。押しねじ型送りネジ式手動ステージ６００は、精密機器（図示せず）が精密機器取付孔１０６を介して取付けられる摺動部品１０２が、土台（図示せず）が土台取付孔１１７に固定される固定部品１０３に対して押しねじ１２２という駆動機構により駆動する。すなわち、固定部品１０３の両端にはそれぞれ第１ブロック１０５ａ、及び第２ブロック１０５ｂが取り付けられ、第１ブロック１０５ａと第２ブロック１０５ｂの間には２本の丸棒１２１が摺動部品１０２を貫通して架け渡され、ハンドルの１０４と反対側の丸棒１２１にはバネ１２４が設けられている。そして、摺動部品１０２は押しねじ１２２が接触している。 FIG. 10 shows an embodiment of the above-described conventional “push screw type” feed screw type manual stage. In the push screw type feed screw type manual stage 600, a sliding component 102 to which a precision device (not shown) is attached through a precision device attachment hole 106 is fixed, and a base (not shown) is fixed to the base attachment hole 117. The fixed component 103 is driven by a drive mechanism called a push screw 122. That is, the first block 105a and the second block 105b are attached to both ends of the fixed component 103, respectively, and two round bars 121 pass through the sliding component 102 between the first block 105a and the second block 105b. The round bar 121 on the opposite side of the handle 104 is provided with a spring 124. The sliding component 102 is in contact with the push screw 122.
「押しねじ型」による送りネジ式手動ステージ６００の駆動方法を説明する。ハンドル１０４を時計回りに回転すると押しねじ１２２が第１ブロック１０５ａに係合して摺動部品１０２を図中の矢印（Ｙ）の方向に押しだすように移動させる。一方、ハンドル１０４を反時計回りに回転すると、第１ブロック１０５ａに係合する押しねじ１２２が摺動部品１０２を引き込み、摺動部品１０２はバネ１２４に押されて図中の矢印（Ｙ）と反対方向に戻される。このように、ハンドル１０４の回転により摺動部品１０２が固定部品１０３に対して摺動する。 A driving method of the feed screw type manual stage 600 by the “push screw type” will be described. When the handle 104 is rotated clockwise, the push screw 122 engages with the first block 105a and moves the sliding component 102 so as to push out in the direction of the arrow (Y) in the drawing. On the other hand, when the handle 104 is rotated counterclockwise, the push screw 122 engaged with the first block 105a pulls the sliding part 102, and the sliding part 102 is pushed by the spring 124, and the arrow (Y) in the figure. It is returned in the opposite direction. In this way, the sliding component 102 slides with respect to the fixed component 103 by the rotation of the handle 104.
また、図１０に、送りネジ式手動ステージ６００におけるストッパ機構の実施例を示す。送りネジ式手動ステージ６００は、ハンドル１０４の回転操作により摺動部品１０２を摺動させるが、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品１０２を所定の位置で固定させる必要がある。しかし、送りネジ式手動ステージ６００は小型であるため、一般的な手動ステージに用いられる、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品１０２を所定の位置で固定させる機構を組み込むことは難しい。そこで、図１０に示すように、第２ブロック１０５ｂの中央を貫通して第２ブロック１０５ｂに係合するクランプボルト１２３を設け、このクランプボルト１２３を押すことで摺動部品１０２の矢印（Ｙ）方向の移動を止める。このストッパ機構により、摺動部品１０２は、ハンドル１０４を回転させても移動が拘束される。 FIG. 10 shows an embodiment of a stopper mechanism in the feed screw type manual stage 600. The feed screw type manual stage 600 slides the sliding component 102 by rotating the handle 104, but it is necessary to restrain the rotation of the male screw rod and fix the sliding component 102 at a predetermined position. However, since the feed screw type manual stage 600 is small, it is difficult to incorporate a mechanism used in a general manual stage to restrain the rotation of the male screw rod and fix the sliding component 102 at a predetermined position. Therefore, as shown in FIG. 10, a clamp bolt 123 that penetrates the center of the second block 105 b and engages with the second block 105 b is provided, and the arrow (Y) of the sliding component 102 is pressed by pressing the clamp bolt 123. Stop moving in the direction. With this stopper mechanism, the sliding component 102 is restrained from moving even when the handle 104 is rotated.
さらに、特許文献３には、手動ステージの使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージが開示されている。この多機能送りネジ式アリ溝ステージは、両端部にハンドルとの連結部を有する雄ネジ棒と、固定部品の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒を回転自在に保持する第１支持台及び第２支持台と、連結部を介して雄ネジ棒と着脱自在に連結して雄ネジ棒を回転させるハンドルと、を備え、摺動部品は、固定部品と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台及び第２支持台に当接するまで移動する。 Furthermore, Patent Document 3 discloses a multi-function feed screw dovetail stage that improves the usability of the manual stage. This multi-function feed screw dovetail stage is provided with male screw rods having connecting portions with handles at both ends, and a first support base and a first support base, which are provided on both sides of the fixed part, respectively, and rotatably hold the male screw rods. 2 a support base, and a handle that removably couples with the male threaded rod through the coupling portion and rotates the male threaded rod, and the sliding part is moved by the movement of the female thread cylinder connected to the fixed part. It moves until it abuts on the first support base and the second support base.
送りネジ式手動ステージにおいても、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品を固定部品に対して所定の位置で固定するストッパ機能は必須の機能である。しかし、アリ溝式の摺動機構に対して用いられる上述した一般的なストッパ機構は、摺動固定ネジを締め込むための工具を必要とし、固定部品の左右のアリ溝に摺動固定ネジを締め込むという複雑な操作を要し、簡易で機能的なストッパ機能とはいえないという問題がある。 Also in the feed screw type manual stage, a stopper function for restraining the rotation of the male screw rod and fixing the sliding part to the fixed part at a predetermined position is an essential function. However, the above-described general stopper mechanism used for the dovetail type sliding mechanism requires a tool for tightening the sliding fixing screw, and the sliding fixing screws are provided in the right and left dovetails of the fixed part. There is a problem that it is not a simple and functional stopper function because it requires a complicated operation of tightening.
特に、送りネジ式手動ステージについて、従来の「押しねじ型」の送りネジ式手動ステージに代替するような小型ながらより高い機能性や精度を保有する手動ステージが望まれているが、その簡易性に見合った適切なストッパ機能がないという問題がある。 In particular, there is a demand for a manual stage that has higher functionality and accuracy in spite of its small size and replaces the conventional “push screw type” feed screw type manual stage. There is a problem that there is no appropriate stopper function suitable for.
本願の目的は、かかる課題を解決し、送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品の所定の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供することである。 The purpose of this application is to solve this problem and to have a simple and functional stopper function for a feed screw type manual stage. It is a small manual stage that has high sliding accuracy and restrains the rotation of the male screw rod. Thus, a feed screw type manual stage that can easily fix the rotation of the handle at a predetermined position of the sliding component is provided.
上記目的を達成するため、本発明に係る送りネジ式手動ステージは、精密機器が取付けられる摺動部品に設けられた雌ネジ筒と、土台に接続される固定部品に固定されたブロックを貫通する雄ネジ棒とが係合され、ハンドルに連結された雄ネジ棒を回転させて固定部品に対して摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式手動ステージにおいて、ハンドルは、ハンドルの回転操作を行う回転操作部と、ブロックと回転操作部の間に挿入される環状のクランプ部材と、クランプ部材の内側の雌ネジ孔と係合する雄ネジ部と、ブロックに係止して雄ネジ棒のハンドル方向への移動を拘束する係止部と、を備え、ブロックとクランプ部材との間には第１のワッシャが挿入され、クランプ部材とハンドルの回転操作部との間には第２のワッシャが挿入され、係止部とブロックとの間には第３のワッシャが設けられ、ブロックのハンドル側端面と、ハンドルの回転操作部のブロック側端面との間隔は、クランプ部材の厚みと第１のワッシャの厚みと第２のワッシャの厚みとの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定され、回転操作部を時計回りに回転させると、クランプ部材内側に設けられた雌ネジと、雌ネジに係合する雄ネジ部の雄ネジとが共に左ネジに切られているため、クランプ部材の雌ネジ孔が雄ネジ部から離間するように移動し、雄ネジ棒の移動が係止部により拘束されているため、クランプ部材は第１のワッシャを介してブロックに圧着し、圧着面に発生する摩擦力により雄ネジ棒の回転が拘束されることを特徴とする。これにより、送りネジ式手動ステージは、クランプ部材とハンドルの回転操作部との間には第２のワッシャが挿入され、ブロックのハンドル側端面と、ハンドルの回転操作部のブロック側端面との間隔が、クランプ部材の厚みと第１のワッシャの厚みと第２のワッシャの厚みとの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定される。これにより、クランプ部材と回転操作部との間の摩擦やこじれによりハンドルが滑らかに回転しなくなるのを防止することができる。また、第２のワッシャ周りにクリアランスを設けることで、クランプ部材とブロックとを圧着させてクランプ部材の回転を拘束する際に、第１のワッシャ周りのクリアランスを吸収して十分に固定することができる。 In order to achieve the above object, a feed screw type manual stage according to the present invention penetrates a female screw cylinder provided in a sliding part to which a precision instrument is attached and a block fixed to a fixed part connected to a base. In a feed screw type manual stage that engages with a male threaded rod and rotates the male threaded rod connected to the handle to slide the sliding component against the fixed component to adjust the position of the attached precision instrument. The handle includes a rotation operation portion that performs a rotation operation of the handle, an annular clamp member that is inserted between the block and the rotation operation portion, a male screw portion that engages with a female screw hole inside the clamp member, and a block And a locking portion for restraining the movement of the male screw rod in the handle direction, and a first washer is inserted between the block and the clamp member, and the rotation operation portion of the clamp member and the handle When A second washer is inserted between them, and a third washer is provided between the locking portion and the block. The distance between the handle side end surface of the block and the block side end surface of the rotation operation portion of the handle is When the clearance is added to the total thickness of the thickness of the clamp member, the thickness of the first washer and the thickness of the second washer, and the rotation operation unit is rotated clockwise, it is provided inside the clamp member. Since the female screw and the male screw of the male screw part engaging with the female screw are both cut into the left screw, the female screw hole of the clamp member moves away from the male screw part , and the male screw since the movement of the rod is restrained by the locking portion, the clamp member and said Rukoto constrained rotation of the male screw rod by frictional force crimped to the block via the first washer, occurring crimping surface To do. Thus, in the feed screw type manual stage, the second washer is inserted between the clamp member and the rotation operation portion of the handle, and the distance between the handle side end surface of the block and the block side end surface of the rotation operation portion of the handle Is set to an interval in which a clearance is added to the total thickness of the thickness of the clamp member, the thickness of the first washer, and the thickness of the second washer. As a result, it is possible to prevent the handle from rotating smoothly due to friction or twist between the clamp member and the rotation operation unit. In addition, by providing a clearance around the second washer, when the clamp member and the block are pressure-bonded to restrain the rotation of the clamp member, the clearance around the first washer can be absorbed and fixed sufficiently. it can.
上記構成により、送りネジ式手動ステージは、摺動部品を固定部品に対して摺動させる駆動機構と、摺動部品を固定部品に対して所定の位置で固定させるストッパ機構とを共にハンドルに持たせることができる。つまり、送りネジ式手動ステージの摺動部品を駆動させる機能と固定させる機能とを同じ軸周りのハンドル回転操作により連続的に行うことができる。すなわち、ハンドルの回転操作部を雄ネジ部に対してクランプ部材の雌ネジ孔が離間するように回転させ、クランプ部材とブロックとを圧着させてクランプ部材の回転を拘束し、摺動部品を固定部品に対して所定の位置で固定させることができ、送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能が実現する。また、このストッパ機構を小型の手動ステージに採用することで、摺動の精度が高く、摺動部品の所定の位置でハンドルの回転を簡易に固定する送りネジ式手動ステージとすることができる。 With the above configuration, the feed screw type manual stage has both a drive mechanism for sliding the sliding part with respect to the fixed part and a stopper mechanism for fixing the sliding part with respect to the fixed part at a predetermined position. Can be made. That is, the function of driving and fixing the sliding component of the feed screw type manual stage can be continuously performed by the handle rotating operation around the same axis. In other words, the rotation operation part of the handle is rotated so that the female screw hole of the clamp member is separated from the male screw part, the clamp member and the block are crimped to restrain the rotation of the clamp member, and the sliding part is fixed. It can be fixed at a predetermined position with respect to the part, and a simple and functional stopper function for a feed screw type manual stage is realized. Further, by adopting this stopper mechanism in a small manual stage, it is possible to provide a feed screw type manual stage with high sliding accuracy and easily fixing the rotation of the handle at a predetermined position of the sliding component.
また、送りネジ式手動ステージは、ハンドルの回転操作部と雄ネジ部とが一体の部品であり、回転操作部には止めネジ孔が設けられ、雄ネジ部は内側に雌ネジ孔を有して雄ネジ棒に連結するハンドル側雄ネジ棒に係合し、止めネジ孔にハンドル側雄ネジ棒の回転を止める止めネジを締め込むことで、ハンドルの回転操作部の回転と雄ネジ棒の回転とを連動させることが好ましい。これにより、ハンドルの回転を固定したり、その固定を解除したりすることが容易にでき、これらの操作は作業者がハンドルを持ちながら工具を用いることなく操作することができる。 Also, the feed screw type manual stage is an integral part of the rotation operation part of the handle and the male screw part, the rotation operation part is provided with a set screw hole, and the male screw part has a female screw hole inside. By engaging the male screw rod on the handle side connected to the male screw rod and tightening the set screw to stop the rotation of the male screw rod on the handle side into the set screw hole, It is preferable to link the rotation. As a result, the rotation of the handle can be easily fixed and released, and these operations can be performed without using a tool while the operator holds the handle.
また、上記目的を達成するため、本発明に係る送りネジ式手動ステージは、精密機器が取付けられる摺動部品に設けられた雌ネジ筒と、土台に接続される固定部品に固定されたブロックを貫通する雄ネジ棒とが係合され、ハンドルに連結された雄ネジ棒を回転させて固定部品に対して摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式手動ステージにおいて、ハンドルは、ハンドルの回転操作を行う回転操作部と、ブロックと回転操作部の間に挿入される環状のクランプ部材と、クランプ部材の内側の雌ネジ孔と係合する雄ネジ部と、ブロックに係止して雄ネジ棒のハンドル方向への移動を拘束する係止部と、を備え、ブロックとクランプ部材との間には第１のワッシャが挿入され、係止部とブロックとの間には第３のワッシャが設けられ、ブロックのハンドル側端面と、ハンドルの回転操作部のブロック側端面との間隔は、クランプ部材の厚みと第１のワッシャの厚みとの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定され、回転操作部を時計回りに回転させると、クランプ部材内側に設けられた雌ネジと、雌ネジに係合する雄ネジ部の雄ネジとが共に左ネジに切られているため、クランプ部材の雌ネジ孔が雄ネジ部から離間するように移動し、雄ネジ棒の移動が係止部により拘束されているため、クランプ部材は第１のワッシャを介してブロックに圧着し、圧着面に発生する摩擦力により雄ネジ棒の回転が拘束されることを特徴とする。これにより、ブロックとクランプ部材との間の摩擦やこじれによりハンドルが滑らかに回転しなくなるのを防止することができる。また、第１のワッシャ周りにクリアランスを設けることでハンドルの回転操作部の回転と雄ネジ棒の回転とを滑らかに連動させることができる。In order to achieve the above object, the feed screw type manual stage according to the present invention includes a female screw cylinder provided in a sliding part to which a precision instrument is attached and a block fixed to a fixed part connected to a base. Feed screw type manual operation that adjusts the position of the attached precision device by rotating the male screw rod connected to the handle and sliding the sliding component against the fixed component. In the stage, the handle includes a rotation operation unit that performs a rotation operation of the handle, an annular clamp member that is inserted between the block and the rotation operation unit, and a male screw unit that engages with a female screw hole inside the clamp member. A locking portion for locking the male screw rod in the handle direction by locking to the block, and a first washer is inserted between the block and the clamp member, and the locking portion and the block Between the third A washer is provided, and the interval between the handle side end surface of the block and the block side end surface of the rotation operation portion of the handle is an interval obtained by adding a clearance to the total thickness of the clamp member and the first washer. When the rotation operation part is set and rotated clockwise, the female screw provided on the inner side of the clamp member and the male screw of the male screw part engaging with the female screw are both cut into the left screw. Since the female screw hole of the member moves away from the male screw portion and the movement of the male screw rod is restrained by the locking portion, the clamp member is crimped to the block via the first washer, The rotation of the male threaded rod is restrained by the frictional force generated in. As a result, it is possible to prevent the handle from being smoothly rotated due to friction and twist between the block and the clamp member. Further, by providing a clearance around the first washer, the rotation of the rotation operation portion of the handle and the rotation of the male screw rod can be smoothly linked.
上述したように、送りネジ式手動ステージは、クランプ部材内側に設けられた雌ネジと、雌ネジに係合する雄ネジ部の雄ネジとが、共に左ネジである。これにより、回転操作部を時計回りに回転させると摺動部品の移動がロックされ、回転操作部を反時計回りに回転させると摺動部品のロックが解除され、通常のネジの操作方法と一致し、操作に違和感を生じないようにすることができる。さらに、上述したように、送りネジ式手動ステージは、係止部とブロックとの間には第３のワッシャが設けられる。これにより、雄ネジ棒が回転する際に、係止部と対向するブロックの壁と間にワッシャを挟むことで係止部を滑らかに回転させることができる。As described above, in the feed screw type manual stage, the female screw provided inside the clamp member and the male screw of the male screw part that engages with the female screw are both left-handed screws. As a result, when the rotation operation unit is rotated clockwise, the movement of the sliding component is locked, and when the rotation operation unit is rotated counterclockwise, the sliding component is unlocked, which is consistent with a normal screw operation method. In this way, it is possible to prevent the operation from feeling uncomfortable. Furthermore, as described above, the feed screw type manual stage is provided with the third washer between the locking portion and the block. Thereby, when a male screw rod rotates, a latching part can be smoothly rotated by pinching a washer between the wall of the block which counters a latching part.
また、送りネジ式手動ステージは、クランプ部材の雌ネジ孔が雄ネジ部に接近するようにハンドルの回転操作部を回転させることで、クランプ部材とブロックとの圧着を解除させ、雄ネジ棒をハンドルの回転操作に連動させて回転させて固定部品に対して摺動部品を摺動させることが好ましい。これにより、ロックが掛かった状態の送りネジ式手動ステージに対して、回転操作部を逆方向に回転させるだけで容易に摺動部品のロックを解除することができる。このように、送りネジ式手動ステージの摺動部品を固定する機能と固定を解除する機能とを同じ軸周りのハンドル回転操作により簡易に行うことができる。 Also, the feed screw type manual stage releases the crimping of the clamp member and the block by rotating the rotation operation part of the handle so that the female screw hole of the clamp member approaches the male screw part, It is preferable that the sliding component is slid relative to the fixed component by being rotated in conjunction with the rotation operation of the handle. Thereby, the lock | rock of a sliding component can be easily cancelled | released only by rotating a rotation operation part with respect to the feed screw type manual stage in the state where the lock | rock was applied. In this way, the function of fixing the sliding part of the feed screw type manual stage and the function of releasing the fixation can be easily performed by rotating the handle around the same axis.
また、送りネジ式手動ステージは、雄ネジ棒が、固定部品の両端のブロックをそれぞれ貫通し、両端に回転操作部とクランプ部材と雄ネジ部と係止部とを有するハンドルに接続し、いずれの側からもハンドルの回転操作により雄ネジ棒の回転が固定されることが好ましい。これにより、ハンドルを両側に設けることができ、それぞれのハンドルによりいずれの側からも摺動部品を固定部品に対して摺動させ、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品を固定部品に対して所定の位置で固定させ、送りネジ式手動ステージの操作性が向上する。 Further, in the feed screw type manual stage, the male screw rods are connected to a handle having a rotation operation part, a clamp member, a male screw part, and a locking part at both ends, respectively, penetrating the blocks at both ends of the fixed part. It is preferable that the rotation of the male threaded rod is also fixed by rotating the handle from the side. As a result, the handle can be provided on both sides, and the sliding part is slid with respect to the fixed part from either side by each handle , and the rotation of the male screw rod is restrained to make the sliding part a fixed part. On the other hand, it is fixed at a predetermined position, and the operability of the feed screw type manual stage is improved.
さらに、送りネジ式手動ステージは、電動機の回転操作により雄ネジ棒を回転させ、固定部品に対して摺動部品を摺動させることが好ましい。これにより、簡易な構成部品を追加することで送りネジ式手動ステージを電動で操作することができる。 Further, the feed screw type manual stage preferably rotates the male screw rod by rotating the electric motor, and slides the sliding component with respect to the fixed component. Thereby, the feed screw type manual stage can be electrically operated by adding simple components.
以上のように、本発明に係る送りネジ式手動ステージによれば、送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、雄ネジ棒の回転を拘束させて摺動部品の所定の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供することができる。 As described above, according to the feed screw type manual stage according to the present invention, it has a simple and functional stopper function for the feed screw type manual stage, and the sliding accuracy is high while being a small manual stage, It is possible to provide a feed screw type manual stage in which the rotation of the male screw rod is constrained and the rotation of the handle can be easily fixed at a predetermined position of the sliding part.
以下に、図面を用いて本発明に係る送りネジ式手動ステージの実施形態につき、詳細に説明する。図１に、本発明に係る送りネジ式手動ステージ１の１つの実施形態の概略構成を斜視図で示す。また、図２に、図１に示す送りネジ式手動ステージ１の左側面図（図２（ａ）)、平面図（図２（ｂ）)、右側面図（図２（ｃ）)、底面図（図２（ｄ）)、正面図（図２（ｅ）)、及び背面図（図２（ｆ）)を示す。さらに、図３（ａ）に、図２（ｂ）のＣ−Ｃ断面図を示し、図３（ｂ）に、雄ネジ棒７に連結するハンドル４の内部構成を側面図で示す。 Hereinafter, embodiments of a feed screw type manual stage according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of one embodiment of a feed screw type manual stage 1 according to the present invention. 2 is a left side view (FIG. 2 (a)), a plan view (FIG. 2 (b)), a right side view (FIG. 2 (c)), and a bottom surface of the feed screw type manual stage 1 shown in FIG. A figure (Drawing 2 (d)), a front view (Drawing 2 (e)), and a rear view (Drawing 2 (f)) are shown. 3A is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 2B, and FIG. 3B is a side view showing the internal configuration of the handle 4 connected to the male screw rod 7. As shown in FIG.
本実施形態での送りネジ式手動ステージ１は、摺動部品２、固定部品３、第１ブロック５ａ，５ｂ、及びハンドル４から構成される。摺動部品２には精密機器取付孔２０が設けられて図示しない精密機器が取付けられる。また、図１に示すように、固定部品３には土台固定用孔２７が設けられて図示しない土台が接続される。また、図１及び図２（ｅ），（ｆ）に示すように、第１ブロック５ａ，５ｂは固定部品３の両側にブロック締結具２９によりそれぞれ固定される。また、摺動部品２の裏面には雌ネジが切られた雌ネジ筒８が取り付けられ、雌ネジ筒８には雄ネジが切られた雄ネジ棒７が係合する。この雄ネジ棒７の一端は、第１ブロック５ａを貫通してハンドル４に連結する。また、この雄ネジ棒７の他端は、図３（ａ）に示すように第２ブロック５ｂにより回転が許容されて上下左右に支持される。 The feed screw type manual stage 1 in this embodiment includes a sliding part 2, a fixing part 3, first blocks 5a and 5b, and a handle 4. The sliding component 2 is provided with a precision device mounting hole 20 to attach a precision device (not shown). Further, as shown in FIG. 1, the fixing component 3 is provided with a base fixing hole 27 and connected to a base (not shown). Moreover, as shown in FIG. 1 and FIGS. 2 (e) and 2 (f), the first blocks 5 a and 5 b are respectively fixed to both sides of the fixing component 3 by block fasteners 29. A female screw cylinder 8 with a female screw cut is attached to the back surface of the sliding component 2, and a male screw rod 7 with a male screw cut is engaged with the female screw cylinder 8. One end of the male threaded rod 7 passes through the first block 5 a and is connected to the handle 4. Further, the other end of the male threaded rod 7 is supported by the second block 5b in the vertical and horizontal directions as shown in FIG.
図１に示すように、ハンドル４の回転により摺動部品２は、第１ブロック５ａ及び第２ブロック５ｂの間を摺動する。固定部品３の側面には目盛板２６が取り付けられ、対向する摺動部品２の側面には矢印２８が取り付けられ、固定部品３に対する摺動部品２の移動量が目視により算定できる。そして、ハンドル４の回転操作により雄ネジ棒７を回転させ、雄ネジ棒７に係合する雌ネジ筒８を移動させる。これにより固定部品３に対して摺動部品２が摺動し、取り付けられた精密機器の位置調整が行われる。この雌ネジ筒８及び雄ネジ棒７には、それぞれ右ネジが切られているため、ハンドル４を時計回りに回転させることで摺動部品２は図１中“Ｘ”の方向に移動し、ハンドル４を反時計回りに回転させることで摺動部品２は図１中“Ｘ”と反対の方向に移動する。 As shown in FIG. 1, the sliding component 2 slides between the first block 5 a and the second block 5 b by the rotation of the handle 4. A scale plate 26 is attached to the side surface of the fixed component 3, and an arrow 28 is attached to the side surface of the opposed sliding component 2, so that the amount of movement of the sliding component 2 relative to the fixed component 3 can be calculated visually. Then, the male screw rod 7 is rotated by rotating the handle 4, and the female screw cylinder 8 engaged with the male screw rod 7 is moved. Thereby, the sliding component 2 slides with respect to the fixed component 3, and the position adjustment of the attached precision instrument is performed. Since the female screw cylinder 8 and the male screw rod 7 are each threaded with a right-hand thread, by rotating the handle 4 clockwise, the sliding component 2 moves in the direction of “X” in FIG. By rotating the handle 4 counterclockwise, the sliding component 2 moves in the direction opposite to "X" in FIG.
図３（ｂ）にハンドル４の内部構成を示す。ハンドル４は、雄ネジ棒７に連結される係止部１３、軸部１０、及びハンドル側雄ネジ棒１４と、一体となる雄ネジ部１１及び回転操作部６とから構成される。そして、ハンドル側雄ネジ棒１４が雄ネジ部１１内周の雌ネジ孔１２ｂに係合し、全体としてハンドル４を形成する。また、第１ブロック５ａと回転操作部６の間において内周に雌ネジ孔１２ａを有する環状のクランプ部材９が挿入される。係止部１３は、第１ブロック５ａの内部において軸部１０の外周に設けられた突起であり、第１ブロック５ａ内に挿入された第３ワッシャ１６ｃに係止して雄ネジ棒７がハンドル４の方向へ移動するのを拘束する。軸部１０は、雄ネジ棒７とハンドル側雄ネジ棒１４とを接続するネジが切られてない丸棒の部分である。回転操作部６は、ハンドル４の回転操作を行うツマミの部分である。雄ネジ部１１は、回転操作部６と一体となった部品であり、外周に雄ネジが切られ、内周の雌ネジ孔１２ｂに雌ネジが切られている。外周に切られた雄ネジは、クランプ部材９の内面に設けられた雌ネジ孔１２ａに係合する。 FIG. 3B shows the internal configuration of the handle 4. The handle 4 includes a locking portion 13 connected to the male screw rod 7, a shaft portion 10, and a handle-side male screw rod 14, and a male screw portion 11 and a rotation operation portion 6 that are integrated. Then, the handle-side male screw rod 14 engages with the female screw hole 12b on the inner periphery of the male screw portion 11 to form the handle 4 as a whole. An annular clamp member 9 having a female screw hole 12a on the inner periphery is inserted between the first block 5a and the rotation operation unit 6. The locking portion 13 is a protrusion provided on the outer periphery of the shaft portion 10 inside the first block 5a. The locking portion 13 is locked to the third washer 16c inserted into the first block 5a, and the male screw rod 7 is used as a handle. The movement in the direction of 4 is restrained. The shaft portion 10 is a round bar portion that is not threaded to connect the male screw rod 7 and the handle-side male screw rod 14. The rotation operation unit 6 is a knob portion for performing the rotation operation of the handle 4. The male screw portion 11 is a part integrated with the rotation operation portion 6, and has a male screw cut on the outer periphery and a female screw cut on the inner screw hole 12b. The male screw cut on the outer periphery engages with a female screw hole 12 a provided on the inner surface of the clamp member 9.
ハンドル４の回転操作部６には止めネジ孔２５が設けられ、止めネジ孔２５にハンドル側雄ネジ棒１４の回転を止める止めネジを締め込むことで、雄ネジ棒７に連結される係止部１３、軸部１０、及びハンドル側雄ネジ棒１４は、一体となった回転操作部６と雄ネジ部１１と連動して回転する。すなわち、ハンドル４の回転操作部６を回転すると雄ネジ棒７が連動して回転する。 The rotation operation portion 6 of the handle 4 is provided with a set screw hole 25, and a lock connected to the male screw rod 7 by tightening a set screw for stopping the rotation of the handle side male screw rod 14 into the set screw hole 25. The portion 13, the shaft portion 10, and the handle-side male screw rod 14 rotate in conjunction with the integrated rotation operation portion 6 and the male screw portion 11. That is, when the rotation operation portion 6 of the handle 4 is rotated, the male threaded rod 7 is rotated in conjunction with it.
第１ブロック５ａとクランプ部材９との間には第１ワッシャ１６ａが挿入される。また、クランプ部材９とハンドル４の回転操作部６との間には第２ワッシャ１６ｂが挿入される。そして、このとき、第１ブロック５ａのハンドル４側端面と、ハンドル４の回転操作部６の第１ブロック５ａ側端面との間隔は、クランプ部材９の厚みと第１ワッシャ１６ａの厚みと第２ワッシャ１６ｂ厚みの合計の厚みにクリアランス（α）が付加された間隔に設定される。なお、第２ワッシャ１６ｂが挿入されない場合には、第１ブロック５ａのハンドル４側端面と、ハンドル４の回転操作部６のブロック６ａ側端面との間隔は、クランプ部材９の厚みと第１ワッシャ１６ａの厚みとの合計の厚みにクリアランス（α）が付加された間隔に設定される。 A first washer 16a is inserted between the first block 5a and the clamp member 9. Further, a second washer 16 b is inserted between the clamp member 9 and the rotation operation portion 6 of the handle 4. At this time, the distance between the end face on the handle 4 side of the first block 5a and the end face on the first block 5a side of the rotation operation portion 6 of the handle 4 is determined by the thickness of the clamp member 9, the thickness of the first washer 16a, and the second. The interval is set such that the clearance (α) is added to the total thickness of the washer 16b. When the second washer 16b is not inserted, the distance between the handle 4 side end surface of the first block 5a and the block 6a side end surface of the rotation operation portion 6 of the handle 4 is determined by the thickness of the clamp member 9 and the first washer. It is set to an interval obtained by adding a clearance (α) to the total thickness with the thickness of 16a.
図４に、ハンドル４の回転を固定し、また固定を解除する機構を示す。図４（ａ）は、ハンドル４の側面図及びＤ−Ｄ底面図であり、雄ネジ棒７、第１ブロック５ａ、第１ワッシャ１６ａ、クランプ部材９、第２ワッシャ１６ｂ、及び回転操作部６が順番に示されている。図４（ｂ）には、雄ネジ棒７の回転を拘束させて摺動部品２を固定部品３に対して所定の位置で固定させるために、雄ネジ棒７の回転を固定させるロック機構を施す場合を示す。図４（ｂ）は、ロック機構の説明のため、第１ブロック５ａ及びクランプ部材９については断面図で示す。図４（ｂ）のＥ−Ｅ断面に示すように、回転操作部６を時計回りに回転させる。クランプ部材９内側の雌ネジ孔１２ａの雌ネジと、この雌ネジに係合する雄ネジ部１１の雄ネジとは共に左ネジが切られている。従って、回転操作部６を時計回りに回転させると、図中符号“Ｚ”で示すように、雄ネジ部１１とクランプ部材９の雌ネジ孔１２ａとが離間するように移動する。 FIG. 4 shows a mechanism for fixing and releasing the rotation of the handle 4. FIG. 4A is a side view and a DD bottom view of the handle 4. The male screw rod 7, the first block 5 a, the first washer 16 a, the clamp member 9, the second washer 16 b, and the rotation operation unit 6 are shown. Are shown in order. FIG. 4B shows a lock mechanism for fixing the rotation of the male screw rod 7 in order to restrain the rotation of the male screw rod 7 and fix the sliding component 2 to the fixed component 3 at a predetermined position. The case of applying is shown. FIG. 4B is a cross-sectional view of the first block 5a and the clamp member 9 for explaining the lock mechanism. As shown in the EE cross section of FIG. 4B, the rotation operation unit 6 is rotated clockwise. Both the female screw of the female screw hole 12a inside the clamp member 9 and the male screw of the male screw part 11 that engages with this female screw are left-handed. Accordingly, when the rotation operation portion 6 is rotated clockwise, the male screw portion 11 and the female screw hole 12a of the clamp member 9 move so as to be separated from each other, as indicated by reference numeral “Z” in the drawing.
しかし、係止部１３が第１ブロック５ａ内に挿入された第３ワッシャ１６ｃに係止し、雄ネジ棒７がハンドル４の方向へ移動するのを拘束する。従って、雄ネジ部１１に張力が導入され、クランプ部材９にその張力の反力として圧縮力が発生する。この圧縮力により、クランプ部材９は第１ワッシャ１６ａを介して第１ブロック５ａに密着するように移動し、第２ワッシャ１６ｂ周りにクリアランス（α）を持ちながら回転操作部６から離間するように移動する。この結果、クランプ部材９と第１ブロック５ａとは圧着されて圧着面に摩擦力が発生する。この摩擦力により、クランプ部材９及び雄ネジ部１１の回転が拘束され、雄ネジ棒７の回転が固定される。 However, the locking portion 13 is locked to the third washer 16c inserted into the first block 5a, and restrains the male screw rod 7 from moving in the direction of the handle 4. Accordingly, a tension is introduced into the male screw portion 11, and a compressive force is generated in the clamp member 9 as a reaction force of the tension. With this compressive force, the clamp member 9 moves so as to be in close contact with the first block 5a via the first washer 16a, and is separated from the rotation operation unit 6 while having a clearance (α) around the second washer 16b. Moving. As a result, the clamp member 9 and the first block 5a are pressure-bonded and a frictional force is generated on the pressure-bonding surface. By this frictional force, the rotation of the clamp member 9 and the male screw portion 11 is restricted, and the rotation of the male screw rod 7 is fixed.
固定された雄ネジ棒７の回転を開放させる解除機構を施す場合を説明する。ハンドル４の回転操作部６を雄ネジ部１１に対してクランプ部材９の雌ネジ孔１２ａが接近するように反時計回りに回転させることでクランプ部材９と第１ブロック５ａとの圧着が解除され、ハンドル４の操作により雄ネジ棒７を回転させて固定部品３に対して摺動部品２を摺動させる。この操作により、クランプ部材９と第１ブロック５ａとはワッシャ１６ａ周りにクリアランスが生じるように離間する。この結果、クランプ部材９面と第１ブロック５ａ面の摩擦力は消滅する。この摩擦力の消滅により、ハンドル４の回転操作部６の回転により雄ネジ棒７が連動して回転する。 A case where a release mechanism for releasing the rotation of the fixed male screw rod 7 is provided will be described. By rotating the rotation operation portion 6 of the handle 4 counterclockwise so that the female screw hole 12a of the clamp member 9 approaches the male screw portion 11, the crimping between the clamp member 9 and the first block 5a is released. Then, the male threaded rod 7 is rotated by operating the handle 4 to slide the sliding component 2 relative to the fixed component 3. By this operation, the clamp member 9 and the first block 5a are separated so that a clearance is generated around the washer 16a. As a result, the frictional force between the clamp member 9 surface and the first block 5a surface disappears. Due to the disappearance of this frictional force, the male threaded rod 7 rotates in conjunction with the rotation of the rotation operation portion 6 of the handle 4.
このように、図４（ｂ）に示す雄ネジ棒７の回転を固定させるロック機構を施す場合には、第２ワッシャ１６ｂ周りに生じたクリアランスは、図４（ｃ）に示す解除機構を施す場合には、第１ワッシャ１６ａ周りに移動する。このように、第１ブロック５ａのハンドル４側端面と、ハンドル４の回転操作部６の第１ブロック５ａ側端面との間隔を、クランプ部材９の厚みと第１ワッシャ１６ａの厚みと第２ワッシャ１６ｂ厚みの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定することで、ロック機構及び解除機構の動作を滑らかにすることができる。 As described above, when the lock mechanism for fixing the rotation of the male screw rod 7 shown in FIG. 4B is applied, the clearance generated around the second washer 16b is applied with the release mechanism shown in FIG. 4C. In such a case, it moves around the first washer 16a. As described above, the distance between the end face on the handle 4 side of the first block 5a and the end face on the first block 5a side of the rotation operation portion 6 of the handle 4 is determined by the thickness of the clamp member 9, the thickness of the first washer 16a, and the second washer. By setting the interval at which the clearance is added to the total thickness of 16b, the operation of the lock mechanism and the release mechanism can be made smooth.
雄ネジ棒７は、固定部品３の両端の第１ブロック５ａ，５ｂをそれぞれ貫通し、両端に回転操作部６とクランプ部材９と雄ネジ部１１と係止部１３とを有するハンドル４に接続し、いずれの側からもハンドル４の回転操作により雄ネジ棒７の回転が固定される。 The male threaded rod 7 passes through the first blocks 5a and 5b at both ends of the fixed component 3, and is connected to the handle 4 having the rotation operation section 6, the clamp member 9, the male thread section 11 and the locking section 13 at both ends. The rotation of the male threaded rod 7 is fixed by rotating the handle 4 from either side.
さらに、送りネジ式手動ステージ１は，電動機の回転操作により雄ネジ棒７を回転させ、固定部品に対して摺動部品を摺動させることが好ましい。これにより、簡易な構成部品を追加することで送りネジ式手動ステージを電動で操作することができる。これにより、ハンドル４を両側に設けることができ、それぞれのハンドル４によりいずれの側からも摺動部品２を固定部品３に対して摺動させ、雄ネジ棒７の回転を拘束させて摺動部品２を固定部品３に対して所定の位置で固定させ、送りネジ式手動ステージの操作性が向上する。 Furthermore, it is preferable that the feed screw type manual stage 1 rotates the male screw rod 7 by rotating the electric motor and slides the sliding component with respect to the fixed component. Thereby, the feed screw type manual stage can be electrically operated by adding simple components. Thereby, the handle 4 can be provided on both sides, and the slide part 2 is slid with respect to the fixed part 3 from either side by each handle 4 , and the rotation of the male screw rod 7 is restrained to slide. The component 2 is fixed to the fixed component 3 at a predetermined position, and the operability of the feed screw type manual stage is improved.
電動機がカプラを介してハンドル４の回転操作部６の端部に連結され、電動機の回転操作により雄ネジ棒７を回転させ、固定部品３に対して摺動部品２を摺動させる。これにより、簡易な構成部品を追加することで送りネジ式手動ステージを電動で操作することができる。 The electric motor is connected to the end of the rotation operation portion 6 of the handle 4 through a coupler, and the male screw rod 7 is rotated by the rotation operation of the electric motor, and the sliding component 2 is slid with respect to the fixed component 3. Thereby, the feed screw type manual stage can be electrically operated by adding simple components.
図５に、ＸＹ方向に摺動する送りネジ式手動ステージ１００を、左側面図（図５（ａ））、平面図（図５（ｂ））、右側面図（図５（ｃ））、底面図（図５（ｄ））、正面図（図５（ｅ））、背面図（図５（ｆ））、及び側面図（図５（ｇ））で示す。このように、本発明に係る送りネジ式手動ステージ１００は、図２に示す１方向に摺動する送りネジ式手動ステージ１だけではなく、ＸＹ方向に摺動する送りネジ式手動ステージ１００にも採用できる。この場合、２つのハンドル２０４ａ，２０４ｂにより、それぞれＸ方向またはＹ方向のロック機構及び解除機構を行うことができる。 FIG. 5 is a left side view (FIG. 5A), a plan view (FIG. 5B), a right side view (FIG. 5C) of a feed screw type manual stage 100 that slides in the XY directions. A bottom view (FIG. 5D), a front view (FIG. 5E), a rear view (FIG. 5F), and a side view (FIG. 5G) are shown. Thus, the feed screw type manual stage 100 according to the present invention is not limited to the feed screw type manual stage 1 that slides in one direction shown in FIG. Can be adopted. In this case, the locking mechanism and the releasing mechanism in the X direction or the Y direction can be performed by the two handles 204a and 204b, respectively.
図６に、Ｚ方向に摺動する機構の送りネジ式手動ステージ２００を、正面図（図６（ａ）)、平面図（図６（ｂ））、左側面図（図６（ｃ））、及び右側面図（図６（ｄ））
で示す。このように、本発明に係る送りネジ式手動ステージ２００は、図５に示すＸＹ方向に摺動する送りネジ式手動ステージ１００などだけではなく、Ｚ方向に摺動する送りネジ式手動ステージにも採用できる。この場合、送りネジ式手動ステージ２００自体をＺ方向に自立できるようにするため第１ブロック２０５ａを第２ブロック２０５ｂと異なる形にする。
6 is a front view (FIG. 6A), a plan view (FIG. 6B), and a left side view (FIG. 6C) of a feed screw type manual stage 200 having a mechanism that slides in the Z direction. And right side view (FIG. 6D)
It shows with. As described above, the feed screw type manual stage 200 according to the present invention is not limited to the feed screw type manual stage 100 that slides in the XY directions shown in FIG. 5 but also the feed screw type manual stage that slides in the Z direction. Can be adopted. In this case, the first block 205a is formed differently from the second block 205b so that the feed screw type manual stage 200 itself can stand in the Z direction.
図７に、他の実施例として、雄ネジ棒がブロックにより保護されたタイプの送りネジ式手動ステージ３００を、左側面図（図７（ａ））、平面図（図７（ｂ））、右側面図（図７（ｃ））、底面図（図７（ｄ））、正面図（図７（ｅ））、及び背面図（図７（ｆ））で示す。この実施例では、第１ブロック３０５ａは雄ネジ棒３０７を内蔵して保護する形状であり、第１ブロック３０５ｂは平板である。 FIG. 7 shows another example of a feed screw type manual stage 300 of a type in which a male screw rod is protected by a block, a left side view (FIG. 7A), a plan view (FIG. 7B), A right side view (FIG. 7C), a bottom view (FIG. 7D), a front view (FIG. 7E), and a rear view (FIG. 7F) are shown. In this embodiment, the first block 305a has a shape in which a male screw rod 307 is incorporated and protected, and the first block 305b is a flat plate.
図８に、他の実施例として、摺動距離の短いタイプの多機能送りネジ式アリ溝ステージ４００を、左側面図（図８（ａ））、平面図（図８（ｂ））、右側面図（図８（ｃ））、底面図（図８（ｄ））、正面図（図８（ｅ））、及び背面図（図８（ｆ））で示す。このように、本発明に係るロック機構及び解除機構は、多機能送りネジ式アリ溝ステージ４００のハンドル３０４にも適用できる。 In FIG. 8, as another embodiment, a multi-function feed screw dovetail stage 400 of a short sliding distance is shown in a left side view (FIG. 8A), a plan view (FIG. 8B), and a right side. A front view (FIG. 8C), a bottom view (FIG. 8D), a front view (FIG. 8E), and a rear view (FIG. 8F) are shown. Thus, the lock mechanism and the release mechanism according to the present invention can also be applied to the handle 304 of the multi-function feed screw dovetail stage 400.
図９に、他の実施例として、摺動距離の長いタイプの多機能送りネジ式アリ溝ステージ５００を、左側面図（図９（ａ））、平面図（図９（ｂ））、右側面図（図９（ｃ））、底面図（図９（ｄ））、正面図（図９（ｅ））、及び背面図（図９（ｆ））で示す。このように、本発明に係るロック機構及び解除機構は、多機能送りネジ式アリ溝ステージ５００のハンドル４０４にも適用できる。 In FIG. 9, as another embodiment, a multi-function feed screw dovetail stage 500 of a long sliding distance is shown in a left side view (FIG. 9A), a plan view (FIG. 9B), and a right side. A front view (FIG. 9C), a bottom view (FIG. 9D), a front view (FIG. 9E), and a rear view (FIG. 9F) are shown. Thus, the lock mechanism and the release mechanism according to the present invention can also be applied to the handle 404 of the multi-function feed screw dovetail stage 500.
図１１に、電動機によりハンドルの回転制御を行うシステムを示す。第１ブロック４０５ａに第１ワッシャ４１６ａを介してクランプ部材４０９が接続し、クランプ部材４０９に第２ワッシャ４１６ｂを介して回転操作部４０６が接続する。さらに、回転操作部４０６には、カプラ３１により電動機３２及び制御装置３３が連結される。すなわち、電動機３２がカプラを３１介して回転操作部４０６の端部に連結され、電動機３２の回転操作により雄ネジ棒７を回転させ、固定部品３に対して摺動部品２を摺動させる。このように、簡易な構成部品を追加することで送りネジ式手動ステージを電動で操作することができる。 FIG. 11 shows a system for controlling the rotation of the handle by an electric motor. The clamp member 409 is connected to the first block 405a via the first washer 416a, and the rotation operation unit 406 is connected to the clamp member 409 via the second washer 416b. Further, the motor 32 and the control device 33 are connected to the rotation operation unit 406 by the coupler 31. That is, the electric motor 32 is connected to the end of the rotation operation unit 406 via the coupler 31, and the male screw rod 7 is rotated by the rotation operation of the electric motor 32, and the sliding component 2 is slid with respect to the fixed component 3. Thus, the feed screw type manual stage can be electrically operated by adding simple components.
１，１００，２００，３００，４００，５００ 送りネジ式手動ステージ、２，１０２ 摺動部品、３，１０３ 固定部品、４，１０４，２０４ａ，２０４ｂ，３０４，４０４ ハンドル、５，１０５ ブロック、５ａ，１０５ａ，２０５ａ，３０５ａ，４０５ａ 第１ブロック、５ｂ，１０５ｂ，２０５ｂ，３０５ｂ 第２ブロック、６，４０６ 回転操作部、７，３０７ 雄ネジ棒、８ 雌ネジ筒、９，４０９ クランプ部材、１０ 軸部、１１ 雄ネジ部、１２，１２ａ，１２ｂ 雌ネジ孔、１３ 係止部、１４ ハンドル側雄ネジ棒、１５，１６ ワッシャ、１６ａ，４１６ａ 第１ワッシャ、１６ｂ，４１６ｂ 第２ワッシャ、１６ｃ 第３ワッシャ、１７，１１７ 土台取付孔、１８ ストッパ孔、１９ 雌ネジ部、２０，１２０ 精密機器取付孔、６００ 押しねじ型送りネジ式手動ステージ、２５ 止めネジ孔、２６ 目盛板、２７ 土台固定用孔、２８ 矢印、２９ ブロック締結具、３０ 先端部、３１ カプラ、３２ 電動機、３３ 制御装置、１２１ 丸棒、１２２ 押しねじ、１２３ クランプボルト、１２４ バネ付き丸棒。 1,100,200,300,400,500 Feed screw type manual stage, 2,102 sliding part, 3,103 fixed part, 4,104,204a, 204b, 304,404 handle, 5,105 block, 5a, 105a, 205a, 305a, 405a 1st block, 5b, 105b, 205b, 305b 2nd block, 6,406 Rotating operation part, 7,307 Male threaded rod, 8 Female threaded cylinder, 9,409 Clamp member, 10 Shaft part , 11 Male threaded part, 12, 12a, 12b Female threaded hole, 13 Locking part, 14 Handle side male threaded rod, 15, 16 washer, 16a, 416a First washer, 16b, 416b Second washer, 16c Third washer , 17, 117 Foundation mounting hole, 18 stopper hole, 19 female thread, 20, 120 Precision instrument mounting , 600 Push screw type feed screw type manual stage, 25 Set screw hole, 26 Scale plate, 27 Base fixing hole, 28 Arrow, 29 Block fastener, 30 Tip, 31 Coupler, 32 Electric motor, 33 Controller, 121 Round Bar, 122 push screw, 123 clamp bolt, 124 Round bar with spring.
Claims (6)
ハンドルは、ハンドルの回転操作を行う回転操作部と、ブロックと回転操作部の間に挿入される環状のクランプ部材と、クランプ部材の内側の雌ネジ孔と係合する雄ネジ部と、ブロックに係止して雄ネジ棒のハンドル方向への移動を拘束する係止部と、を備え、
ブロックとクランプ部材との間には第１のワッシャが挿入され、クランプ部材とハンドルの回転操作部との間には第２のワッシャが挿入され、係止部とブロックとの間には第３のワッシャが設けられ、
ブロックのハンドル側端面と、ハンドルの回転操作部のブロック側端面との間隔は、クランプ部材の厚みと第１のワッシャの厚みと第２のワッシャの厚みとの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定され、
回転操作部を時計回りに回転させると、クランプ部材内側に設けられた雌ネジと、雌ネジに係合する雄ネジ部の雄ネジとが共に左ネジに切られているため、クランプ部材の雌ネジ孔が雄ネジ部から離間するように移動し、雄ネジ棒の移動が係止部により拘束されているため、クランプ部材は第１のワッシャを介してブロックに圧着し、圧着面に発生する摩擦力により雄ネジ棒の回転が拘束されることを特徴とする送りネジ式手動ステージ。 A female screw cylinder provided on a sliding part to which a precision instrument is attached and a male screw bar penetrating a block fixed to a fixed part connected to a base are engaged, and a male screw bar connected to a handle is In the feed screw type manual stage that rotates and slides the sliding part against the fixed part, and adjusts the position of the attached precision instrument,
The handle includes a rotation operation part that performs a rotation operation of the handle, an annular clamp member that is inserted between the block and the rotation operation part, a male screw part that engages with a female screw hole inside the clamp member, and a block A locking portion that locks and restrains the movement of the male threaded rod in the direction of the handle,
A first washer is inserted between the block and the clamp member, a second washer is inserted between the clamp member and the rotation operation portion of the handle, and a third isher between the locking portion and the block. Washer,
The clearance between the handle side end surface of the block and the block side end surface of the rotation operation portion of the handle has a clearance added to the total thickness of the thickness of the clamp member, the thickness of the first washer, and the thickness of the second washer. Set to interval,
When the rotation operation unit is rotated clockwise, the female screw provided on the inner side of the clamp member and the male screw of the male screw part engaging with the female screw are both cut into the left screw. Since the screw hole moves away from the male screw portion and the movement of the male screw rod is restrained by the locking portion, the clamp member is crimped to the block via the first washer and is generated on the crimping surface. feed screw type manual stage rotation of the male screw rod and said Rukoto is restrained by friction.
ハンドルは、ハンドルの回転操作を行う回転操作部と、ブロックと回転操作部の間に挿入される環状のクランプ部材と、クランプ部材の内側の雌ネジ孔と係合する雄ネジ部と、ブロックに係止して雄ネジ棒のハンドル方向への移動を拘束する係止部と、を備え、
ブロックとクランプ部材との間には第１のワッシャが挿入され、係止部とブロックとの間には第３のワッシャが設けられ、
ブロックのハンドル側端面と、ハンドルの回転操作部のブロック側端面との間隔は、クランプ部材の厚みと第１のワッシャの厚みとの合計の厚みにクリアランスが付加された間隔に設定され、
回転操作部を時計回りに回転させると、クランプ部材内側に設けられた雌ネジと、雌ネジに係合する雄ネジ部の雄ネジとが共に左ネジに切られているため、クランプ部材の雌ネジ孔が雄ネジ部から離間するように移動し、雄ネジ棒の移動が係止部により拘束されているため、クランプ部材は第１のワッシャを介してブロックに圧着し、圧着面に発生する摩擦力により雄ネジ棒の回転が拘束されることを特徴とする送りネジ式手動ステージ。 A female screw cylinder provided on a sliding part to which a precision instrument is attached and a male screw bar penetrating a block fixed to a fixed part connected to a base are engaged, and a male screw bar connected to a handle is In the feed screw type manual stage that rotates and slides the sliding part against the fixed part, and adjusts the position of the attached precision instrument,
The handle includes a rotation operation part that performs a rotation operation of the handle, an annular clamp member that is inserted between the block and the rotation operation part, a male screw part that engages with a female screw hole inside the clamp member, and a block A locking portion that locks and restrains the movement of the male threaded rod in the direction of the handle,
A first washer is inserted between the block and the clamp member, and a third washer is provided between the locking portion and the block,
The interval between the handle side end surface of the block and the block side end surface of the rotation operation portion of the handle is set to an interval obtained by adding a clearance to the total thickness of the clamp member and the first washer,
When the rotation operation unit is rotated clockwise, the female screw provided on the inner side of the clamp member and the male screw of the male screw part engaging with the female screw are both cut into the left screw. Since the screw hole moves away from the male screw portion and the movement of the male screw rod is restrained by the locking portion, the clamp member is crimped to the block via the first washer and is generated on the crimping surface. feed screw type manual stage rotation of the male screw rod and said Rukoto is restrained by friction.
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014054188A1 (en) * | 2012-10-05 | 2014-04-10 | 株式会社ミラック光学 | Motorized units for manual stages, and manual stages with motorized units |
| CN108942040A (en) * | 2018-08-06 | 2018-12-07 | 肥东万安工程机械有限公司 | A kind of forklift door frame apparatus for welding and positioning |
| CN112764318A (en) * | 2019-10-21 | 2021-05-07 | 佳能株式会社 | Support device, projection optical system, exposure device, article manufacturing method, and adjustment method |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08268691A (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Nihon Bisoh Co Ltd | Lock preventing structure for screw feeder device and multistage screw jack using the lock preventing structure |
| JPH0970777A (en) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Narishige:Kk | Coarse and fine adjustment integrated type slide mechanism in micro manipulator |
| JP2005001103A (en) * | 2003-02-17 | 2005-01-06 | Misumi Corp | Locking device of sliding mechanism |
| JP4505535B1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-07-21 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage |
| JP4606501B2 (en) * | 2009-03-19 | 2011-01-05 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage |
-
2011
- 2011-03-31 JP JP2011077552A patent/JP4890652B1/en active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08268691A (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Nihon Bisoh Co Ltd | Lock preventing structure for screw feeder device and multistage screw jack using the lock preventing structure |
| JPH0970777A (en) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Narishige:Kk | Coarse and fine adjustment integrated type slide mechanism in micro manipulator |
| JP2005001103A (en) * | 2003-02-17 | 2005-01-06 | Misumi Corp | Locking device of sliding mechanism |
| JP4505535B1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-07-21 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage |
| JP4606501B2 (en) * | 2009-03-19 | 2011-01-05 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014054188A1 (en) * | 2012-10-05 | 2014-04-10 | 株式会社ミラック光学 | Motorized units for manual stages, and manual stages with motorized units |
| WO2014069190A1 (en) * | 2012-10-05 | 2014-05-08 | 株式会社ミラック光学 | Motorization unit for manual stage, and manual stage having motorization unit |
| CN104704573A (en) * | 2012-10-05 | 2015-06-10 | Miruc光学株式会社 | Motorization unit for manual stage, and manual stage having motorization unit |
| JP5913624B2 (en) * | 2012-10-05 | 2016-06-08 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage motorized unit and manual stage with motorized unit |
| KR101728316B1 (en) * | 2012-10-05 | 2017-04-19 | 가부시키가이샤 미락쿠 고가쿠 | Motorization unit for manual stage, and manual stage having motorization unit |
| DE112013004907B4 (en) | 2012-10-05 | 2018-03-08 | Miruc Optical Co., Ltd. | Motorization unit for a manual table and manual table with a motorization unit |
| CN108942040A (en) * | 2018-08-06 | 2018-12-07 | 肥东万安工程机械有限公司 | A kind of forklift door frame apparatus for welding and positioning |
| CN112764318A (en) * | 2019-10-21 | 2021-05-07 | 佳能株式会社 | Support device, projection optical system, exposure device, article manufacturing method, and adjustment method |
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| Publication number | Publication date |
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