JP4873645B2 - Optical fiber Raman laser device - Google Patents

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  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Description

本発明は、レーザ加工やレーザ計測に用いる光ファイバラマンレーザに関する。   The present invention relates to an optical fiber Raman laser used for laser processing and laser measurement.

従来、光ファイバの誘導ラマン散乱を利用したレーザ装置が市販されている。誘導ラマン散乱は、媒体に入射した光波が媒体を構成する物質の格子振動により変調され、入射した光波とは波長の異なる光が散乱される現象である。また、格子振動の振動数は物質の構造から決まる固有の振動数であるが、振動数は一様ではなく分布している。   Conventionally, a laser apparatus using stimulated Raman scattering of an optical fiber is commercially available. Stimulated Raman scattering is a phenomenon in which a light wave incident on a medium is modulated by lattice vibration of a material constituting the medium, and light having a wavelength different from that of the incident light wave is scattered. The frequency of the lattice vibration is a natural frequency determined by the structure of the material, but the frequency is not uniform and distributed.

入射した光波の振動数をνp、格子振動の振動数をνmとすると、散乱される光波の振動数は、νp−νmで与えられるνs、および、νpmで与えられるνaである。振動数νpの入射光を励起光、あるいはポンプ光と呼び、振動数νsの光波をストークス光、振動数νaの光波をアンチストークス光と呼ぶ。格子振動の振動数νmは分布しているので、ストークス光νsの振動数も分布する。光の振動数と波長の間には、(波長)=(光速)/(振動数)の関係があるので、振動数の分布により波長も分布することになる。 If the frequency of the incident light wave is ν p and the frequency of the lattice vibration is ν m , the frequency of the scattered light wave is given by ν s given by ν p −ν m and ν p + ν m . Ν a . The incident light having the frequency ν p is called excitation light or pump light, the light wave having the frequency ν s is called Stokes light, and the light wave having the frequency ν a is called anti-Stokes light. Since the frequency ν m of the lattice vibration is distributed, the frequency of the Stokes light ν s is also distributed. Since there is a relationship of (wavelength) = (speed of light) / (frequency) between the frequency of light and the wavelength, the wavelength is also distributed by the distribution of the frequency.

ポンプ光νpの強度が強くなると、ポンプ光νpとストークス光νsとが非線形な相互作用を起こし、その結果、格子振動に強制力が働くようになり、格子振動が激しくなる。格子振動が激しくなるとストークス光νsが強くなり、非線形相互作用を通じてさらに格子振動が激しくなる。 When the intensity of the pump light ν p is increased, the pump light ν p and the Stokes light ν s cause a non-linear interaction. As a result, a forcing force acts on the lattice vibration, and the lattice vibration becomes intense. When the lattice vibration becomes intense, the Stokes light ν s becomes stronger, and the lattice vibration becomes more intense through nonlinear interaction.

光ファイバに強いポンプ光νpが入射すると、ストークス光νsは伝播するにつれて強くなる。これは光ファイバを光の伝播方向に微小区間に区切って考えると理解が容易である。すなわち、途中の微小区間ではその区間でストークス光νsが発生すると共に、その一つ前の区間に存在したストークス光νsが伝播し到達する。ストークス光強度としては後者の方が強いのでストークス光νsとポンプ光νpの相互作用は主に伝播してきたストークス光νsとポンプ光νpとの間で起こる。その結果、ストークス光νsの強度は一つ前の区間での強度より大きいものとなる。 When strong pump light ν p is incident on the optical fiber, the Stokes light ν s becomes stronger as it propagates. This can be easily understood by dividing the optical fiber into minute sections in the light propagation direction. That is, in the middle of a small section with the Stokes light [nu s is generated in the section, the Stokes light [nu s were present in the previous section reaches propagated. Since the latter is stronger as the Stokes light intensity, the interaction between the Stokes light ν s and the pump light ν p mainly occurs between the propagated Stokes light ν s and the pump light ν p . As a result, the intensity of the Stokes light ν s is greater than the intensity in the previous section.

光ファイバでさらに効率よく誘導ラマン散乱を生じせしめるために、光ファイバの両端近くにファイバ内を伝播するストークス光νsを反射させ進行方向を反転させる機構を設けることがある(特許文献1参照)。ストークス光νsとポンプ光νpとの相互作用は光の伝播方向には無関係に起きるので、ストークス光νsを反射させて1本の光ファイバの中で多数回の相互作用を起こさせることができ、効率よく誘導ラマン散乱が起きる。ただし、ストークス光νsを取り出すためには前述の反射は100%の反射でなく、部分反射として一部を取り出すことになる。このような装置を光ファイバラマンレーザ、あるいは単に、ファイバラマンレーザと称する。 In order to generate stimulated Raman scattering more efficiently in an optical fiber, a mechanism for reflecting the Stokes light ν s propagating in the fiber and reversing the traveling direction may be provided near both ends of the optical fiber (see Patent Document 1). . Since the interaction between the Stokes light ν s and the pump light ν p occurs regardless of the propagation direction of the light, the Stokes light ν s is reflected to cause multiple interactions in one optical fiber. Stimulated Raman scattering occurs efficiently. However, in order to extract the Stokes light ν s , the above-described reflection is not 100% reflection, but a part is extracted as partial reflection. Such an apparatus is called an optical fiber Raman laser or simply a fiber Raman laser.

図6に、従来公知技術による光ファイバラマンレーザ装置100の構成を示す。図6において、101は光ファイバ、102は出力端、103はポンプ光源、104、105、106は反射器となる光ファイバブラッググレーティング(以下、FBGと呼称する)である。   FIG. 6 shows a configuration of an optical fiber Raman laser device 100 according to a conventionally known technique. In FIG. 6, 101 is an optical fiber, 102 is an output end, 103 is a pump light source, and 104, 105, and 106 are optical fiber Bragg gratings (hereinafter referred to as FBGs) that serve as reflectors.

光ファイバ101は通常の単一モード光ファイバや、非線形効果を高めた光ファイバ(特許文献2参照)である。ポンプ光源103は波長が1064nmのYAGレーザであり、出力は2Wである。FBG104は特定の波長の光を反射する部品であって、図6の例では波長1064nmの光を反射する。FBG105、106は波長1120nmの光を反射し、反射率はFBG106がほぼ100%、FBG105は20%である。   The optical fiber 101 is a normal single mode optical fiber or an optical fiber with enhanced nonlinear effect (see Patent Document 2). The pump light source 103 is a YAG laser having a wavelength of 1064 nm, and the output is 2 W. The FBG 104 is a component that reflects light having a specific wavelength, and reflects light having a wavelength of 1064 nm in the example of FIG. The FBGs 105 and 106 reflect light having a wavelength of 1120 nm, and the reflectivities are approximately 100% for the FBG 106 and 20% for the FBG 105.

このような構成によって、光ファイバ101では波長1120nmで誘導ラマン散乱が起こり、光出力端102からはその一部が出力光として取り出される。   With such a configuration, stimulated Raman scattering occurs at a wavelength of 1120 nm in the optical fiber 101, and a part thereof is extracted as output light from the light output end 102.

さらに、近年、ダブルクラッドファイバの発明によりファイバレーザの高出力化が著しく進展しており、市販装置のシングルモードファイバレーザが2kW出力に至っている。ダブルクラッドファイバとはクラッドが2重になっているもので、内側のクラッドがコアを光励起するための励起光を伝播させ、コアには誘導放出を起こす元素を添加したものである。励起光源としては半導体レーザが用いられ、コアへの添加元素としてはYb等の希土類元素が用いられる。
特開平11−54853号公報 特開昭56−70683号公報 「シングルモードYb系ファイバーレーザーの高出力化の現状と動向」、レーザー研究、Vol. 33, No. 4, pp. 254-261
Furthermore, in recent years, the output of a fiber laser has been remarkably advanced by the invention of the double clad fiber, and the single mode fiber laser of a commercially available apparatus has reached 2 kW output. A double clad fiber is one in which the clad is doubled, and an inner clad propagates pumping light for optically pumping the core, and an element causing stimulated emission is added to the core. A semiconductor laser is used as an excitation light source, and a rare earth element such as Yb is used as an additive element to the core.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-54853 JP-A-56-70683 “Current Status and Trends of High-power Single-mode Yb Fiber Laser”, Laser Research, Vol. 33, No. 4, pp. 254-261

しかしながら、上記した高出力のファイバレーザ光を光ファイバラマンレーザのポンプ光として用いる場合、ポンプ光の強度が非常に強いためストークス光の強度も非常に強くなり、従来の数Wレベルのポンプ光では起こりにくかったことであるが、ストークス光を新たなポンプ光としてさらに次のストークス光が発生することが起こり得る。その際の周波数νs’はνs−νmである。νsを一次ストークス光、νs’を二次ストークス光と言う。以下、二次以降を高次のストークス光と呼ぶこととする。 However, when the above-described high-power fiber laser light is used as pump light for an optical fiber Raman laser, the intensity of the pump light is so strong that the intensity of the Stokes light is very strong. Although it was difficult to occur, it is possible that the next Stokes light is further generated using the Stokes light as a new pump light. In this case, the frequency ν s ′ is ν s −ν m . ν s is called primary Stokes light, and ν s ′ is called secondary Stokes light. Hereinafter, the second and subsequent orders are referred to as high-order Stokes light.

ラマン散乱は格子振動を介する過程であるため、熱的なエネルギーロスが不可避であり、ポンプ光からストークス光への変換効率は最大で80%程度である。高次のストークス光が発生するほど熱への放散が増しトータルとしての光のエネルギーは低下することになる。   Since Raman scattering is a process through lattice vibration, thermal energy loss is inevitable, and the conversion efficiency from pump light to Stokes light is about 80% at maximum. As higher-order Stokes light is generated, heat dissipation increases and the total light energy decreases.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、高次ストークス光の発生を抑制し、ポンプ光から一次ストークス光への変換効率を向上させることができる光ファイバラマンレーザ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides an optical fiber Raman laser device that can suppress the generation of high-order Stokes light and improve the conversion efficiency from pump light to primary Stokes light. For the purpose.

上記課題を解決するための本発明の要旨は、下記のごとくである。   The gist of the present invention for solving the above problems is as follows.

(1)光ファイバ内にて特性波長で誘導ラマン散乱を発生する光ファイバラマンレーザ装置であって、ポンプ光源と、第1の屈折率を有するコア領域と、該コア領域の外周に設けられた、第2の屈折率を有する第1のクラッド領域と、該第1のクラッド領域の外周に第3の屈折率を有する第2のクラッド領域とを有するダブルクラッド光ファイバとを具備し、前記コア領域は前記ポンプ光源から出射されて前記第1のクラッド領域で導光されたポンプ光によりレーザ放射を生じさせ、該レーザ放射を長手方向に搬送し、かつ誘導ラマン散乱によりストークス光を生じるものであって、コア領域の直径が一次ストークス光の波長より長い波長の光を閉じ込めないように所定の大きさ以下であり、前記第1のクラッド領域は、前記ポンプ光源から結合されたポンプ光をその長手方向に搬送して導光し、かつ、前記コア領域で生じた高次のストークス光の波長に対して吸収特性を有し、前記ダブルクラッド光ファイバは長手方向の少なくとも一部が屈曲されていることを特徴とする光ファイバラマンレーザ装置。 (1) An optical fiber Raman laser device that generates stimulated Raman scattering at a characteristic wavelength in an optical fiber, and is provided on a pump light source, a core region having a first refractive index, and an outer periphery of the core region , comprising a first cladding region having a second refractive index, and a double-clad optical fiber which have a second cladding region having a third refractive index of the outer periphery of the first cladding region, the core region produces a laser radiation by pumping light guided by the first cladding region is emitted from the pump light source, the laser radiation is conveyed to the long side direction, and the Stokes light by stimulated Raman scattering what der those resulting, predetermined size der less so as not to confine the light of longer wavelength than the diameter of the core region primary Stokes light is, the first cladding region, or the pump light source The combined pump light and the light guide is transported in its longitudinal direction, and has an absorption characteristic with respect to wavelength of the higher order Stokes light generated in said core region, wherein the double-clad optical fiber in the longitudinal direction An optical fiber Raman laser device characterized in that at least a part thereof is bent.

前記ポンプ光源は半導体レーザであり、前記ダブルクラッド光ファイバは石英系ファイバであって、前記コア領域は、レーザ放射を生じさせるためのYb、および、ラマン利得の大きな物質を添加したことを特徴とする()に記載の光ファイバラマンレーザ装置。 ( 2 ) The pump light source is a semiconductor laser, the double-clad optical fiber is a silica-based fiber, and the core region is doped with Yb for generating laser radiation and a substance with a large Raman gain. ( 1 ) The optical fiber Raman laser device according to ( 1 ).

本発明の光ファイバラマンレーザ装置によれば、高次ストークス光の発生による効率低下を抑制し、ポンプ光から一次ストークス光への変換効率を向上させることができる光ファイバラマンレーザ装置を提供することができる。   According to the optical fiber Raman laser device of the present invention, it is possible to provide an optical fiber Raman laser device capable of suppressing efficiency reduction due to generation of high-order Stokes light and improving conversion efficiency from pump light to primary Stokes light. Can do.

本発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。なお、下記の各図において、同一の機能を有する部分には同一の番号を付記した。   Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each following figure, the same number was attached | subjected to the part which has the same function.

本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40の一例について図1を参照して説明する。   An example of the optical fiber Raman laser device 40 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図1に示す光ファイバラマンレーザ装置40は、図6に示す従来公知技術による光ファイバラマン装置100の構成と概ね同様に構成されている。即ち、図1に示すように、光ファイバ1の両端に出力端42、ポンプ光源43が設けられており、また、ポンプ光源43と出力端42との間には、光ファイバブラッググレーティング(以下、FBGと呼称する)としての反射器46、45、44がポンプ光源43側から順に設けられている。   The optical fiber Raman laser device 40 shown in FIG. 1 is configured in substantially the same manner as the configuration of the optical fiber Raman device 100 according to the conventionally known technique shown in FIG. That is, as shown in FIG. 1, an output end 42 and a pump light source 43 are provided at both ends of the optical fiber 1, and an optical fiber Bragg grating (hereinafter referred to as “pump light source”) is provided between the pump light source 43 and the output end 42. Reflectors 46, 45, and 44 (referred to as FBG) are provided in order from the pump light source 43 side.

光ファイバ1は石英系の光ファイバであり受動素子である。本発明の第1の実施の形態では、光ファイバ1の全長は例えば1kmであり、途中、レーザ光伝播の曲げ損失を導入する目的で、この光ファイバ1を屈曲させた屈曲部48が設けられている。図1に示す場合には、屈曲部48は、FBG45とFBG46との間に設けられており、光ファイバ1が直径50mm以下のコイル状に20回以上巻かれた構成になっている。なお、この屈曲部48は、光ファイバ1の長手方向の少なくとも一部に設けられていればよい。   The optical fiber 1 is a silica-based optical fiber and is a passive element. In the first embodiment of the present invention, the total length of the optical fiber 1 is, for example, 1 km, and a bent portion 48 is provided by bending the optical fiber 1 for the purpose of introducing a bending loss of laser light propagation. ing. In the case shown in FIG. 1, the bent portion 48 is provided between the FBG 45 and the FBG 46, and the optical fiber 1 is wound 20 times or more in a coil shape having a diameter of 50 mm or less. Note that the bent portion 48 only needs to be provided in at least a part of the optical fiber 1 in the longitudinal direction.

図2は、本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40が備える光ファイバ1の構成を示す構成図である。図2に示すように、光ファイバ1は、第1の屈折率を有するコア領域(以下、コアと呼称する)11の外周に、第2の屈折率を有するクラッド領域12が設けられた構成を有する。なお、光ファイバ1の被覆部分については図示していない。第1の屈折率は、第2の屈折率よりも高くなっている。   FIG. 2 is a configuration diagram showing a configuration of the optical fiber 1 provided in the optical fiber Raman laser device 40 according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the optical fiber 1 has a configuration in which a cladding region 12 having a second refractive index is provided on the outer periphery of a core region (hereinafter referred to as a core) 11 having a first refractive index. Have. The coated portion of the optical fiber 1 is not shown. The first refractive index is higher than the second refractive index.

クラッド12には、鉄、コバルト、セレンなどの赤外線吸収元素が混入されている。これにより、浸み出してきた二次ストークス光成分を吸収させるようになっている。また、コア11にゲルマニウムなどの不純物を混入することによりラマン利得を増すことができる。   The clad 12 is mixed with an infrared absorbing element such as iron, cobalt, or selenium. As a result, the secondary Stokes light component that has oozed out is absorbed. In addition, the Raman gain can be increased by mixing impurities such as germanium into the core 11.

ポンプ光源43としては例えば出力1kW、発振波長1085nmのYbファイバレーザを用いることができる。本発明の第1の実施の形態では、ポンプ光源43からのポンプ光は、光ファイバ1のコア11に導入されるように構成されている。ポンプ光源43の光ファイバ1への結合方法としてはファイバ同士のスプライシングでもよいし、自由空間からのレンズ集光によってもよい。光ファイバ1は石英系の光ファイバであり受動素子である。このポンプ光源43からのポンプ光は、誘導ラマン散乱により波長が1142nm程度であるストークス光と、波長が1206nm程度である二次ストークス光を生じる。   As the pump light source 43, for example, a Yb fiber laser with an output of 1 kW and an oscillation wavelength of 1085 nm can be used. In the first embodiment of the present invention, the pump light from the pump light source 43 is configured to be introduced into the core 11 of the optical fiber 1. As a method of coupling the pump light source 43 to the optical fiber 1, splicing between the fibers may be used, or lens condensing from free space may be used. The optical fiber 1 is a silica-based optical fiber and is a passive element. The pump light from the pump light source 43 generates Stokes light having a wavelength of about 1142 nm and secondary Stokes light having a wavelength of about 1206 nm by stimulated Raman scattering.

FBG44は特定の波長の光を反射する部品であって、図1の例では波長1085nmの光を反射する。FBG45、46は波長1142nmの光を反射し、反射率はFBG46がほぼ100%、FBG45は20%である。   The FBG 44 is a component that reflects light having a specific wavelength, and reflects light having a wavelength of 1085 nm in the example of FIG. The FBGs 45 and 46 reflect light having a wavelength of 1142 nm, and the reflectance is approximately 100% for the FBG 46 and 20% for the FBG 45.

光ファイバラマンレーザ装置40を作動させ、誘導ラマン散乱を発生する光ファイバ1のコア11に誘導ラマン散乱のポンプ光となるレーザ放射をポンプ光源43から導波させるとストークス光が発生する。このようにして波長1142nmで誘導ラマン散乱が起こり、出力端42からその一部が出力光として取り出される。   When the optical fiber Raman laser device 40 is operated and laser radiation serving as pump light of stimulated Raman scattering is guided from the pump light source 43 to the core 11 of the optical fiber 1 that generates stimulated Raman scattering, Stokes light is generated. In this way, stimulated Raman scattering occurs at a wavelength of 1142 nm, and a part thereof is extracted from the output end 42 as output light.

ポンプ光の伝播に伴いストークス光の強度が次第に強くなり、二次ストークス光が発生するようになる。上述の非線形現象と同様に二次ストークス光が強くなるほど新たにポンプ光となった一次ストークス光との非線形相互作用が大きくなり二次ストークス光が強くなる性質があるため、本発明の第1の実施の形態では、以下のようにして、二次ストークス光が成長する前に二次ストークス光を弱めることによって、ストークス光から二次ストークス光へのエネルギーの移譲を防いでいる。   As the pump light propagates, the intensity of the Stokes light gradually increases and secondary Stokes light is generated. Similar to the above-described nonlinear phenomenon, as the second-order Stokes light becomes stronger, the nonlinear interaction with the first-order Stokes light that has become pump light becomes larger and the second-order Stokes light becomes stronger. In the embodiment, energy transfer from the Stokes light to the secondary Stokes light is prevented by weakening the secondary Stokes light before the secondary Stokes light grows as follows.

本発明の第1の実施の形態によれば、光ファイバ1を屈曲させた場合に曲げ損失の波長依存性において長波長成分の損失が大となる性質を利用して、光ファイバ1を適当な半径を有するコイル状に巻いた屈曲部48を設け、ストークス光よりも長波長である二次ストークス光の成長を抑制すると共に、クラッド12に二次ストークス光波長の光に対し吸収特性を有する物質を混入することにより、曲げによりクラッド層に浸み出した二次ストークス光成分に対してさらに強い抑制効果を導入した。光ファイバ1に屈曲部48を設けるだけでは、ポンプ光の強度が例えば数Wレベルの小出力の場合にだけしか有効とならなかったが、上述したように吸収特性を有する物質を混入したことによって、レーザ加工等に用いる例えばkWレベルの高出力の場合にも適用することが可能になった。なお、上記では、二次ストークス光についてのみ説明したが、三次以降の高次ストークス光についても同様に抑制効果があることは言うまでもない。   According to the first embodiment of the present invention, when the optical fiber 1 is bent, the optical fiber 1 is appropriately used by utilizing the property that the loss of the long wavelength component becomes large in the wavelength dependence of the bending loss. A material having a bent portion 48 wound in a coil shape having a radius to suppress the growth of secondary Stokes light having a wavelength longer than that of Stokes light, and the clad 12 having absorption characteristics with respect to light of the secondary Stokes light wavelength Incorporating, a stronger suppression effect was introduced against the second-order Stokes light component leached into the cladding layer by bending. The provision of the bent portion 48 in the optical fiber 1 is effective only when the intensity of the pump light is, for example, a small output of several W level. However, as described above, the substance having the absorption characteristic is mixed. For example, it can be applied to the case of a high output of, for example, kW level used for laser processing. In the above description, only the second-order Stokes light has been described. Needless to say, the third-order and higher-order Stokes light has a similar suppression effect.

さらに、コア11にラマン利得の大きな媒質を用いることによって、ラマン変換の効率をより向上させることができる。   Furthermore, by using a medium having a large Raman gain for the core 11, the efficiency of Raman conversion can be further improved.

上述のように、本発明の高次ストークス光抑制光ファイバラマンレーザ装置によれば、高次ストークス光の発生による効率低下を抑制し、ポンプ光からストークス光へのラマン変換効率を最大化させる光ファイバラマンレーザ装置を提供することができる。   As described above, according to the high-order Stokes light suppressing optical fiber Raman laser device of the present invention, the light that suppresses the efficiency reduction due to the generation of the high-order Stokes light and maximizes the Raman conversion efficiency from the pump light to the Stokes light. A fiber Raman laser device can be provided.

そして、本発明の第1の実施の形態では、光ファイバラマンレーザ装置40におけるポンプ光からストークス光への波長変換が効率的に行われる。なお、上記のレーザ種類や波長、およびファイバ長は一例であり、他の値のものを選ぶこともできる。光ファイバ1に設ける屈曲部48の形状や曲げの回数も特にこだわるものではない。また、クラッド12に波長依存吸収のあるTmなどを添加させると更に有利である。   In the first embodiment of the present invention, wavelength conversion from pump light to Stokes light in the optical fiber Raman laser device 40 is efficiently performed. The above laser type, wavelength, and fiber length are merely examples, and other values can be selected. The shape of the bent portion 48 provided in the optical fiber 1 and the number of times of bending are not particularly particular. It is further advantageous to add Tm or the like having wavelength dependent absorption to the cladding 12.

本発明の第2の実施の形態として、図3に示すように、光ファイバラマンレーザ装置40が備える光ファイバ1のコア11の直径の大きさ2r(即ち、半径の大きさr)を後述する所定の大きさ以下に設定することによって、ストークス光の波長より長い光をコア11の中に閉じ込めないようにしてもよい。図3は、本発明の第2の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40が備える光ファイバ1の構成を示す構成図である。   As a second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, the diameter 2r (that is, the radius r) of the core 11 of the optical fiber 1 provided in the optical fiber Raman laser device 40 will be described later. By setting it to a predetermined size or less, light longer than the Stokes light wavelength may not be confined in the core 11. FIG. 3 is a configuration diagram showing the configuration of the optical fiber 1 provided in the optical fiber Raman laser device 40 according to the second embodiment of the present invention.

本発明の第2の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40は、図1に示す本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40と概ね同様にして構成されている。即ち、ポンプ光源43としては例えば出力1kW、発振波長1085nmのYbファイバレーザを用いている。1は石英系の光ファイバであり受動素子である。光ファイバ1の全長は1kmあり、途中、直径50mm以下のコイル状に20回以上巻いた屈曲部48が設けられて、レーザ光伝播の曲げ損失を導入している。ストークス光の波長は1142nm、二次ストークス光の波長は1206nm程度になっている。   The optical fiber Raman laser apparatus 40 according to the second embodiment of the present invention is configured in substantially the same manner as the optical fiber Raman laser apparatus 40 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. That is, as the pump light source 43, for example, a Yb fiber laser having an output of 1 kW and an oscillation wavelength of 1085 nm is used. Reference numeral 1 denotes a quartz optical fiber, which is a passive element. The total length of the optical fiber 1 is 1 km, and a bent portion 48 wound 20 times or more in a coil shape having a diameter of 50 mm or less is provided in the middle to introduce a bending loss of laser light propagation. The wavelength of Stokes light is 1142 nm, and the wavelength of secondary Stokes light is about 1206 nm.

コア11の直径の大きさについて、二次ストークス光を閉じ込めない所定の大きさは、例えば次のようにして定めることができる。図3に示す光ファイバ1の各特性値が、例えば、ストークス光の波長λ、二次ストークス光の波長λ2、コア11の屈折率n1、コア11の半径r、クラッドの屈折率n2のとき、
2.405λ/{2π(n1 2−n2 2)1/2} <r < 2.405λ2/{2π(n1 2−n2 2)1/2}
となるようにコア11の半径rを設計しておくことにより、ストークス光と二次ストークス光のうち、二次ストークス光はコアから染み出すことになる。その結果、二次ストークス光だけが損失を多く受けるようになり、強度の成長を抑制することができる。例えば、n1=1.5、n2=1.499のとき、8.0μm <r < 8.4μmである。
As for the diameter of the core 11, a predetermined size that does not confine the secondary Stokes light can be determined as follows, for example. The characteristic values of the optical fiber 1 shown in FIG. 3 are, for example, the Stokes light wavelength λ, the secondary Stokes light wavelength λ 2 , the core 11 refractive index n 1 , the core 11 radius r, and the cladding refractive index n 2. When,
2.405λ / {2π (n 1 2 −n 2 2 ) 1/2 } <r <2.405λ 2 / {2π (n 1 2 −n 2 2 ) 1/2 }
By designing the radius r of the core 11 so that the secondary Stokes light out of the Stokes light and the secondary Stokes light leaks out of the core. As a result, only the secondary Stokes light receives a lot of loss, and the intensity growth can be suppressed. For example, when n 1 = 1.5 and n 2 = 1.499, 8.0 μm <r <8.4 μm.

上述の場合には、光の閉じ込め効果として、波長が長いほど空間モードの基本モードの直径が大きくなるので、同じコア径の場合は波長が長いほどクラッド領域への光波電界の浸み出しが増し、クラッド領域での吸収の影響を受けやすくなる現象を利用した。   In the above case, as the light confinement effect, the longer the wavelength, the larger the diameter of the fundamental mode of the spatial mode. Therefore, in the case of the same core diameter, the longer the wavelength, the greater the penetration of the lightwave electric field into the cladding region. A phenomenon that is easily affected by absorption in the cladding region was used.

本発明の第2の実施の形態によれば、光ファイバ1のコア11の直径の大きさ2rを所定の大きさ(例えば(8.0×2=)16.0μm越(8.4×2=)16.8μm未満)に設定することによって、ストークス光をコア11の中に閉じ込め、ストークス光より波長の長い二次ストークス光をコア11からしみ出さることができる。これにより、高次ストークス光の発生による効率低下をより抑制し、光ファイバラマンレーザ装置40によるポンプ光から一次ストークス光への波長変換を効率的に行い、変換効率をさらに向上させることができる。そして、本発明の第2の実施の形態は、図2に示す本発明の第1の実施の形態と同様の効果も有する。   According to the second embodiment of the present invention, the diameter 2r of the core 11 of the optical fiber 1 exceeds a predetermined size (for example, (8.0 × 2 =) 16.0 μm (8.4 × 2). =) Less than 16.8 μm), the Stokes light can be confined in the core 11 and the secondary Stokes light having a longer wavelength than the Stokes light can be oozed out of the core 11. Thereby, the efficiency fall by generation | occurrence | production of high-order Stokes light can be suppressed more, wavelength conversion from the pump light by the optical fiber Raman laser apparatus 40 to primary Stokes light can be performed efficiently, and conversion efficiency can further be improved. The second embodiment of the present invention also has the same effect as the first embodiment of the present invention shown in FIG.

なお、上記のレーザ種類や波長、およびファイバ長は一例であり、他の値のものを選ぶこともできる。光ファイバ1に設ける屈曲部48の形状や曲げの回数も特にこだわるものではない。また、クラッド12に波長依存吸収のあるTmなどを添加させると更に有利である。   The above laser type, wavelength, and fiber length are merely examples, and other values can be selected. The shape of the bent portion 48 provided in the optical fiber 1 and the number of times of bending are not particularly particular. It is further advantageous to add Tm or the like having wavelength dependent absorption to the cladding 12.

本発明の第3の実施の形態として、本発明の第1の実施の形態及び本発明の第2の実施の形態の場合のようにコア11に外部からポンプレーザ光を導入するのでなく、2重クラッド構造としてビーム質の悪い半導体レーザ光を内側にある第1クラッド13に導光してポンプ光として用いて、コア11自体に誘導放出を起こさせてファイバレーザとしてもよい。図5は、本発明の第3の実施の形態における、ポンプ光源部分の構造を例示的に説明する図である。図5に示すように、光ファイバ1は第1の屈折率を有するコア領域11の外周に、第2の屈折率を有する第1のクラッド(以下、第1のクラッドと呼称する)13が設けられた構成を有する。さらに、第1のクラッドの外周には、第3の屈折率を有する第2のクラッド領域(以下、第2のクラッドと呼称する)14が設けられた構成を有する。なお、光ファイバ1の被覆部分については図示していない。第1の屈折率は、第2の屈折率よりも高く、第2の屈折率は第3の屈折率よりも高くなっている。   As a third embodiment of the present invention, pump laser light is not introduced into the core 11 from the outside as in the case of the first embodiment of the present invention and the second embodiment of the present invention. A semiconductor laser beam having a poor beam quality as a heavy cladding structure may be guided to the first cladding 13 on the inner side and used as pump light to induce stimulated emission in the core 11 itself to be a fiber laser. FIG. 5 is a diagram for exemplarily explaining the structure of the pump light source portion in the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the optical fiber 1 is provided with a first clad (hereinafter referred to as a first clad) 13 having a second refractive index on the outer periphery of a core region 11 having a first refractive index. It has the structure which was made. Further, a second cladding region (hereinafter referred to as a second cladding) 14 having a third refractive index is provided on the outer periphery of the first cladding. The coated portion of the optical fiber 1 is not shown. The first refractive index is higher than the second refractive index, and the second refractive index is higher than the third refractive index.

本発明の第3の実施の形態では、図1に示す本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40と概ね同様にして構成されている。即ち、図4に示すように、光ファイバ1の両端に出力端42、ポンプ光源43が設けられており、また、ポンプ光源43と出力端42との間には、FBGとしての反射器47、46、45、44がポンプ光源43側から順に設けられている。ポンプ光源43としては例えば出力1kW、発振波長980nmの半導体レーザを用いている。光ファイバ1は、石英系のダブルクラッド光ファイバでありコアにYbをドープした能動素子である。   The third embodiment of the present invention is configured in substantially the same manner as the optical fiber Raman laser device 40 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. That is, as shown in FIG. 4, an output end 42 and a pump light source 43 are provided at both ends of the optical fiber 1, and a reflector 47 as an FBG is provided between the pump light source 43 and the output end 42. 46, 45, and 44 are provided in order from the pump light source 43 side. As the pump light source 43, for example, a semiconductor laser having an output of 1 kW and an oscillation wavelength of 980 nm is used. The optical fiber 1 is a silica-based double clad optical fiber and is an active element having a core doped with Yb.

ポンプ光源43の半導体レーザからの発振波長980nmのレーザ光は、第1クラッド13に結合され、第1クラッド13内を伝播しながらYbがドープされたコア11を励起して波長1085nmにおいて誘導放出によるレーザ動作を起こさせるようになっている。このレーザ光が誘導ラマン散乱のポンプ光となる。ストークス光の波長は1142nm、二次ストークス光の波長は1206nm程度になる。   Laser light with an oscillation wavelength of 980 nm from the semiconductor laser of the pump light source 43 is coupled to the first cladding 13 and is excited by the Yb-doped core 11 while propagating through the first cladding 13 and stimulated emission at a wavelength of 1085 nm. It is designed to cause laser operation. This laser beam becomes pump light for stimulated Raman scattering. The wavelength of Stokes light is about 1142 nm, and the wavelength of secondary Stokes light is about 1206 nm.

本発明の第3の実施の形態では、図4に示すFBG44、47は特定の波長の光を反射する部品であって、図4の例では、波長1085nmの誘導放出レーザ光を反射する。FBG45、46は波長1142nmのストークス光を反射し、反射率はFBG46がほぼ100%、FBG45は20%である。FBG47は前述したように波長1085nmの光を反射し、FBG44と共に誘導放出レーザ光をコア11内に閉じこめる。光ファイバ1の全長は30mあり、途中、直径50mmのコイル状に20回以上巻いた屈曲部48が設けられて、曲げ損失を導入している。また、第1クラッド13に鉄、コバルト、セレンなどの赤外線吸収元素を混入し浸み出してきた二次ストークス光成分を吸収させる。このような構成によって、光ファイバ1では波長1142nmで誘導ラマン散乱が起こり、FBG44その一部が透過し、出力端42から出力光として取り出される。 In the third embodiment of the present invention, the FBGs 44 and 47 shown in FIG. 4 are components that reflect light of a specific wavelength. In the example of FIG. 4, the stimulated emission laser light having a wavelength of 1085 nm is reflected. The FBGs 45 and 46 reflect Stokes light having a wavelength of 1142 nm, and the reflectivities are approximately 100% for the FBG 46 and 20% for the FBG 45. As described above, the FBG 47 reflects light having a wavelength of 1085 nm, and confines the stimulated emission laser light in the core 11 together with the FBG 44. The total length of the optical fiber 1 is 30 m, and a bending portion 48 wound 20 times or more in a coil shape with a diameter of 50 mm is provided in the middle to introduce bending loss. In addition, an infrared absorbing element such as iron, cobalt, or selenium is mixed into the first cladding 13 to absorb the secondary Stokes light component that has oozed out. With such a configuration, stimulated Raman scattering occurs at a wavelength of 1142 nm in the optical fiber 1, a part of which is transmitted through the FBG 44, and is extracted from the output end 42 as output light.

本発明の第3の実施の形態によれば、コア11自体に誘導放出を起こさせてファイバレーザとすることができるようにしたことで、光ファイバ1へ外部からラマン散乱のポンプ光を導入するための処理や光学系を省略することができ、トータルの効率を向上させる効果がある。なお、本発明の第3の実施の形態は、図2に示す本発明の第1の実施の形態と同様の効果も有する。   According to the third embodiment of the present invention, stimulated emission is caused in the core 11 itself so that a fiber laser can be obtained, so that pump light of Raman scattering is introduced into the optical fiber 1 from the outside. Therefore, the processing and the optical system can be omitted, and the total efficiency is improved. Note that the third embodiment of the present invention also has the same effect as the first embodiment of the present invention shown in FIG.

そして、本発明の第3の実施の形態では、光ファイバラマンレーザ装置40におけるポンプ光からストークス光への波長変換が効率的に行われる。また、第1クラッド13に波長依存吸収のあるTmなどを添加させると更に有利である。なお、上記のレーザ種類や波長、およびファイバ長は一例であり、他の値のものを選ぶこともできる。また、光ファイバ1に設ける屈曲部48の形状や曲げの回数は特にこだわるものではない。また、第一クラッド13の断面形状も図2に示す略円形状以外の形状であってもよい。さらに、FBG44の後段で光ファイバ1を一旦切って、ダブルクラッドでない通常の光ファイバにスプライシングなどによりつないでも良い。   In the third embodiment of the present invention, wavelength conversion from pump light to Stokes light in the optical fiber Raman laser device 40 is efficiently performed. It is further advantageous to add Tm or the like having wavelength dependent absorption to the first cladding 13. The above laser type, wavelength, and fiber length are merely examples, and other values can be selected. Further, the shape of the bent portion 48 provided in the optical fiber 1 and the number of times of bending are not particularly limited. Further, the cross-sectional shape of the first cladding 13 may be a shape other than the substantially circular shape shown in FIG. Further, the optical fiber 1 may be cut once after the FBG 44 and connected to a normal optical fiber that is not double-clad by splicing or the like.

本発明は、レーザ加工や計測に用いる光ファイバラマンレーザに利用できる。   The present invention can be used for an optical fiber Raman laser used for laser processing and measurement.

本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the optical fiber Raman laser apparatus 40 which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40が備える光ファイバ1の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the optical fiber 1 with which the optical fiber Raman laser apparatus 40 which concerns on the 1st Embodiment of this invention is provided. 本発明の第2の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40が備える光ファイバ1の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the optical fiber 1 with which the optical fiber Raman laser apparatus 40 which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is provided. 本発明の第3の実施の形態に係る光ファイバラマンレーザ装置40の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the optical fiber Raman laser apparatus 40 which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態における、ポンプ光源部分の構造を例示的に説明する図である。It is a figure explaining illustratively the structure of the pump light source part in the 3rd Embodiment of this invention. 従来のラマン光ファイバレーザを例示的に説明する図である。It is a figure explaining the conventional Raman optical fiber laser exemplarily.

符号の説明Explanation of symbols

1 本発明による光ファイバ
11 コア
12 クラッド
13 第1クラッド
14 第2クラッド
40 本発明による光ファイバラマンレーザ装置
42、102 出力端
43、103 ポンプ光源
44〜47、104〜106 FBG
48 光ファイバの屈曲部
100 従来公知技術による光ファイバラマンレーザ装置
101 従来公知技術による光ファイバ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber by this invention 11 Core 12 Clad 13 1st clad 14 2nd clad 40 Optical fiber Raman laser apparatus 42, 102 output end 43, 103 Pump light source 44-47, 104-106 FBG by this invention
48 Bending portion of optical fiber 100 Optical fiber Raman laser device 101 according to conventionally known technology 101 Optical fiber according to conventionally known technology

Claims (2)

光ファイバ内にて特性波長で誘導ラマン散乱を発生する光ファイバラマンレーザ装置であって、
ポンプ光源と、
第1の屈折率を有するコア領域と、該コア領域の外周に設けられた、第2の屈折率を有する第1のクラッド領域と、該第1のクラッド領域の外周に第3の屈折率を有する第2のクラッド領域とを有するダブルクラッド光ファイバとを具備し
前記コア領域は前記ポンプ光源から出射されて前記第1のクラッド領域で導光されたポンプ光によりレーザ放射を生じさせ、該レーザ放射を長手方向に搬送し、かつ誘導ラマン散乱によりストークス光を生じるものであって、コア領域の直径が一次ストークス光の波長より長い波長の光を閉じ込めないように所定の大きさ以下であり、
前記第1のクラッド領域は、前記ポンプ光源から結合されたポンプ光をその長手方向に搬送して導光し、かつ、前記コア領域で生じた高次のストークス光の波長に対して吸収特性を有し、
前記ダブルクラッド光ファイバは長手方向の少なくとも一部が屈曲されていることを特徴とする光ファイバラマンレーザ装置。
An optical fiber Raman laser device that generates stimulated Raman scattering at a characteristic wavelength in an optical fiber,
A pump light source;
A core region having a first refractive index; a first cladding region having a second refractive index provided on the outer periphery of the core region; and a third refractive index on the outer periphery of the first cladding region. comprising a double clad optical fiber which have a second cladding region having,
Said core region produces a laser radiation by pumping light guided by the first cladding region is emitted from the pump light source, the laser radiation is conveyed to the long side direction, and the Stokes light by stimulated Raman scattering the I der those resulting, Ri predetermined size der less so as not to confine the light of longer wavelength than the diameter of the core region primary Stokes light,
The first cladding region transports and guides the pump light coupled from the pump light source in the longitudinal direction, and has an absorption characteristic with respect to the wavelength of higher-order Stokes light generated in the core region. Have
An optical fiber Raman laser device, wherein the double clad optical fiber is bent at least partially in the longitudinal direction.
前記ポンプ光源は半導体レーザであり、
前記ダブルクラッド光ファイバは石英系ファイバであって、
前記コア領域は、レーザ放射を生じさせるためのYb、および、ラマン利得の大きな物質を添加したことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバラマンレーザ装置。
The pump light source is a semiconductor laser;
The double clad optical fiber is a silica-based fiber,
The optical fiber Raman laser apparatus according to claim 1, wherein the core region is doped with Yb for generating laser radiation and a substance having a large Raman gain .
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