JP4872187B2 - Metal-clad laminate - Google Patents

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Description

本発明は耐熱性および接着性が良好な低誘電率ポリイミドを用いた金属張積層体に関する。該金属張積層体は、プリント配線板、面発熱体、電磁波シールド材料、フラットケーブルなどに加工される。   The present invention relates to a metal-clad laminate using a low dielectric constant polyimide having good heat resistance and adhesiveness. The metal-clad laminate is processed into a printed wiring board, a surface heating element, an electromagnetic shielding material, a flat cable, or the like.

金属張積層体には、絶縁性基材と金属層とを接着剤あるいは接着性フィルムを介して接着することによって製造されるものがある。例えば、絶縁性基材として芳香族系ポリイミドフィルムを用い、これと金属層とを接着性フィルムを介して接着した3層構造の金属張積層体が提案されている(特許文献1参照。)。   Some metal-clad laminates are manufactured by bonding an insulating substrate and a metal layer through an adhesive or an adhesive film. For example, a metal-clad laminate having a three-layer structure in which an aromatic polyimide film is used as an insulating substrate and the metal layer is bonded via an adhesive film has been proposed (see Patent Document 1).

従来、接着剤あるいは接着性フィルムとしては主にエポキシ系やアクリル系の接着剤が用いられてきた。しかしながら、これらの樹脂は耐熱性が劣るために接着後の製品の耐熱性が不充分となり、その後の加工条件、使用条件に制約が生じていた。   Conventionally, epoxy adhesives or acrylic adhesives have been mainly used as adhesives or adhesive films. However, since these resins are inferior in heat resistance, the heat resistance of the product after bonding becomes insufficient, and the subsequent processing conditions and use conditions are restricted.

このため、耐熱性に優れる接着剤、接着性フィルムが求められており、例えば、ポリイミドあるいはポリアミド酸の分散液を接着剤として絶縁性基材に塗布し、その後溶剤除去と、場合によってはイミド化処理を行い、熱圧着性の接着層を形成する方法が開示されている(特許文献2、3参照。)。また、樹脂の分散液をガラス板などに塗布し、その後溶剤除去と、場合によってはイミド化処理を行い、熱圧着性の接着性フィルムを形成する方法が開示されている。このようにして形成された接着層、接着性フィルムに、金属層などの被接着物が熱圧着される(特許文献2〜4参照。)。   For this reason, adhesives and adhesive films with excellent heat resistance are required. For example, a dispersion of polyimide or polyamic acid is applied to an insulating substrate as an adhesive, and then solvent removal and, in some cases, imidization are performed. A method of performing a treatment to form a thermocompression-bonding adhesive layer is disclosed (see Patent Documents 2 and 3). Also disclosed is a method in which a resin dispersion is applied to a glass plate or the like, followed by solvent removal and, in some cases, imidization, to form a thermocompression adhesive film. An object to be bonded such as a metal layer is thermocompression bonded to the adhesive layer and the adhesive film thus formed (see Patent Documents 2 to 4).

また、プリント配線板の回路面に、液状のカバーコート剤(カバーレイインキとも呼ばれる)またはカバーレイフィルムを用いて絶縁保護膜を形成することが行われている。カバーコート剤はスクリーン印刷等の方法によりプリント配線板の回路面に塗布された後に、硬化等の処理を経てカバーコート層を形成する。しかしながら、従来広く使われているカバーコート剤は、主に耐熱性、可とう性に劣るエポキシ系の樹脂であるために、カバーコート後のプリント配線板の耐熱性、可とう性が不充分となり、その後の加工条件、使用条件に制約が生じていた。そのため、耐熱性、可とう性に優れるカバーコート剤が求められており、例えば、溶剤を分散媒とするポリイミドあるいはポリアミド酸の分散液をカバーコート剤としてフレキシブルプリント配線板の回路面に塗布し、その後溶剤除去と、場合によってはイミド化処理を行い、カバーコート層を形成する方法が開示されている(特許文献5、6参照。)。   In addition, an insulating protective film is formed on a circuit surface of a printed wiring board using a liquid cover coat agent (also called cover lay ink) or a cover lay film. After the cover coating agent is applied to the circuit surface of the printed wiring board by a method such as screen printing, a cover coating layer is formed through a treatment such as curing. However, the widely used cover coat agent is mainly an epoxy resin that is inferior in heat resistance and flexibility, so that the heat resistance and flexibility of the printed wiring board after the cover coat become insufficient. The subsequent processing conditions and usage conditions were limited. Therefore, there is a need for a cover coating agent that is excellent in heat resistance and flexibility. For example, a polyimide or polyamic acid dispersion liquid using a solvent as a dispersion medium is applied to the circuit surface of a flexible printed wiring board as a cover coating agent, Thereafter, a method of forming a cover coat layer by removing the solvent and optionally imidizing is disclosed (see Patent Documents 5 and 6).

カバーレイフィルムとしては、耐熱性に優れるポリイミドフィルムが使われるが、フィルム自体が接着性を有さないものが多く、別途エポキシ系やアクリル系の耐熱性に劣る接着剤を用いる必要があり、上記と同様の問題があった。このため、可とう性があり耐熱性に優れる接着性フィルムが求められており、例えば、ポリイミドあるいはポリアミド酸の分散液をガラス板、金属板などのフィルム形成用支持体に塗布し、その後溶剤除去と、場合によってはイミド化処理を行い、熱圧着性の接着性カバーレイフィルムを形成する方法が開示されている(特許文献4参照。)。   As the cover lay film, a polyimide film having excellent heat resistance is used, but the film itself does not have many adhesive properties, and it is necessary to use an epoxy or acrylic heat resistance that is inferior separately. There was a similar problem. Therefore, there is a demand for an adhesive film that is flexible and has excellent heat resistance. For example, a polyimide or polyamic acid dispersion is applied to a film-forming support such as a glass plate or a metal plate, and then the solvent is removed. In some cases, an imidization treatment is performed to form a thermocompression adhesive cover lay film (see Patent Document 4).

近年の情報処理・通信分野では、大容量の情報を伝送・処理するために伝送周波数やCPUの動作周波数の高周波数化が進んでおり、絶縁層の薄膜化と同時に、接着層、カバーコート層を含めた絶縁層全体の低誘電率化による信号伝搬速度遅延時間の短縮が求められている。しかし、上に述べた従来の接着層、接着性フィルム、カバーコート層、カバーレイフィルムに用いられているポリイミドは芳香族ポリイミドであり、それらの10GHzにおける誘電率は、芳香環の含有率にもよるが、一般的には3.5程度と高い欠点がある。
特開昭55−91895号公報 特開平5−32950号公報 特開平5−59344号公報 特許第3213079号公報 特許第2820497号公報 特開平8−109259号公報
In the information processing and communication fields in recent years, the transmission frequency and CPU operating frequency have been increased to transmit and process large volumes of information. At the same time as the insulating layer has become thinner, the adhesive layer and cover coat layer There is a need to shorten the signal propagation speed delay time by lowering the dielectric constant of the entire insulating layer including. However, the polyimides used in the conventional adhesive layer, adhesive film, cover coat layer, and coverlay film described above are aromatic polyimides, and their dielectric constant at 10 GHz is also the content of aromatic rings. However, in general, there is a high defect of about 3.5.
JP-A-55-91895 JP-A-5-32950 JP-A-5-59344 Japanese Patent No. 3213079 Japanese Patent No. 2820497 JP-A-8-109259

本発明の目的は、従来、接着層やカバーコート層に用いられてきた芳香族ポリイミドの問題点を解決し、熱圧着可能で溶剤可溶性であり、耐熱性、接着性が良好な低誘電性ポリイミドを接着層、カバーコート層、カバーレイフィルムなどとして用いた金属張積層体を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the problems of aromatic polyimides conventionally used for adhesive layers and cover coat layers, and is a low dielectric polyimide that is thermocompression-bondable, solvent-soluble, and has good heat resistance and adhesion. Another object of the present invention is to provide a metal-clad laminate using the above as an adhesive layer, cover coat layer, cover lay film or the like.

一般的に高分子材料を構成するモノマーに脂肪族系のものを用いることにより誘電率が低下することが知られている。本発明者らは非芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて、ポリイミドの合成を行った。非芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族(鎖状)テトラカルボン酸二無水物;および、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクタ−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物などの脂環族テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。しかしながら、脂肪族(鎖状)テトラカルボン酸二無水物を用いて得られたポリイミドの耐熱性は著しく低いために、はんだ付けなどの加工に供することが不可能となり実用上問題がある。一方、脂環族テトラカルボン酸二無水物を用いると鎖状のものに比べて耐熱性が向上したポリイミドが得られる。しかしながら、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物を用いて得られたポリイミドは、溶剤への溶解性が低いために、ポリイミド溶液を金属層、絶縁性基材あるいはフィルム形成用支持体に塗布しても、接着層、カバーコート層およびカバーレイフィルムとして使用するのに充分な厚みが得られない。また、1,2,4,5−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクタ−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物を用いると、溶剤への溶解性が高いポリイミドが得られるが、ポリイミド溶液を金属層、絶縁性基材あるいはフィルム形成用支持体に塗布して得られる膜やフィルムは柔軟性が不足しており、接着層、カバーコート層およびカバーレイフィルムとして実用上問題がある。   In general, it is known that the use of an aliphatic monomer as the monomer constituting the polymer material lowers the dielectric constant. The present inventors synthesized a polyimide using a non-aromatic tetracarboxylic dianhydride. Non-aromatic tetracarboxylic dianhydrides include aliphatic (chain) tetracarboxylic dianhydrides such as 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride; and 1,2,3 4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetra And alicyclic tetracarboxylic dianhydrides such as carboxylic dianhydrides. However, since the heat resistance of the polyimide obtained using the aliphatic (chain) tetracarboxylic dianhydride is extremely low, it cannot be used for processing such as soldering, which causes a problem in practice. On the other hand, when an alicyclic tetracarboxylic dianhydride is used, a polyimide having improved heat resistance compared to a chain-like one can be obtained. However, since polyimides obtained using 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride have low solubility in solvents, polyimide solutions can be used for forming metal layers, insulating substrates or films. Even if it is applied to a support, a sufficient thickness for use as an adhesive layer, a cover coat layer and a cover lay film cannot be obtained. In addition, when 1,2,4,5-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride and bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride are used. A polyimide having high solubility in a solvent can be obtained, but a film or a film obtained by applying a polyimide solution to a metal layer, an insulating substrate or a film-forming support has insufficient flexibility, and an adhesive layer. There are practical problems as a cover coat layer and a cover lay film.

本発明者らは上記の課題を解決するため鋭意検討した結果、特定の脂環族テトラカルボン酸構造を有する繰り返し単位を有するポリイミドが、熱圧着可能で溶剤可溶性であり、耐熱性、接着性が良好であり、かつ、低誘電性であること、および、該ポリイミドを用いて作成した金属張積層体は、極めて好適な特性を有することを見出し、本発明に到達した。
すなわち本発明は、少なくとも1のポリイミド層、少なくとも1層の絶縁性基材、および、少なくとも1層の金属層を含む金属張積層体であって、該ポリイミド層が、一般式Iで示される繰り返し単位を有するポリイミドからなることを特徴とする金属張積層体を提供する。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a polyimide having a repeating unit having a specific alicyclic tetracarboxylic acid structure is thermocompression-bondable and solvent-soluble, and has heat resistance and adhesiveness. It was found that the metal-clad laminate having good and low dielectric properties and the use of the polyimide had extremely suitable characteristics, and reached the present invention.
That is, the present invention is a metal-clad laminate including at least one polyimide layer, at least one insulating substrate, and at least one metal layer, wherein the polyimide layer is represented by the general formula I Provided is a metal-clad laminate comprising a polyimide having a unit.


(式中、Rはシクロヘキサンから誘導される4価の基である。Φは炭素数2〜39の2価の脂肪族基、脂環族基、芳香族基、またはこれらの組み合わせからなる基であり、Φの主鎖には−O−、−SO−、−CO−、−CH−、−C(CH−、−OSi(CH−、−CO−、および、―S―からなる群から選ばれた少なくとも1の基が介在していてもよい。)
ポリイミド層は、前記ポリイミド(以下、“ポリイミドA”と称することがある)の有機溶剤溶液を絶縁性基材、金属層、または、その双方の表面上に塗布し、溶剤を蒸発させることにより形成される。また、ポリイミドAからなるポリイミドフィルムを、本発明におけるポリイミド層とすることもできる。

(In the formula, R is a tetravalent group derived from cyclohexane. Φ is a group consisting of a divalent aliphatic group having 2 to 39 carbon atoms, an alicyclic group, an aromatic group, or a combination thereof. And the main chain of Φ is —O—, —SO 2 —, —CO—, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —OSi (CH 3 ) 2 —, —C 2 H 4 O. And at least one group selected from the group consisting of — and —S— may intervene.)
The polyimide layer is formed by applying an organic solvent solution of the polyimide (hereinafter sometimes referred to as “polyimide A”) onto the surface of the insulating substrate, the metal layer, or both, and evaporating the solvent. Is done. Moreover, the polyimide film which consists of polyimide A can also be used as the polyimide layer in this invention.

ポリイミド層は、絶縁性基材と金属層の間に配置されていてもよいし、金属張積層体の表面層を形成するカバーコート層、カバーレイフィルムであってもよい。絶縁性基材と金属層の間にポリイミド層を配置し、一体化することによって、本発明の金属張積層体となすことができる。金属張積層体の表面層を形成するポリイミド層は、非プロトン性極性有機溶媒をエッチャントとして用いたウェットエッチング法によりパターン化することができる。
ポリイミドAのガラス転移温度は350℃以下であり、10GHzにおける誘電率は3.2以下であることが好ましい。
The polyimide layer may be disposed between the insulating substrate and the metal layer, or may be a cover coat layer or a cover lay film that forms the surface layer of the metal-clad laminate. By disposing and integrating a polyimide layer between the insulating substrate and the metal layer, the metal-clad laminate of the present invention can be obtained. The polyimide layer forming the surface layer of the metal-clad laminate can be patterned by a wet etching method using an aprotic polar organic solvent as an etchant.
The glass transition temperature of polyimide A is preferably 350 ° C. or lower, and the dielectric constant at 10 GHz is preferably 3.2 or lower.

本発明の接着層、接着性フィルム、カバーコート層、カバーレイフィルムからなる、金属張積層体の絶縁層は、10GHzにおける誘電率が3.2以下で、しかも接着性が良好であり、高周波用のプリント配線基板などに好適である。   The insulating layer of the metal-clad laminate composed of the adhesive layer, adhesive film, cover coat layer and cover lay film of the present invention has a dielectric constant at 10 GHz of 3.2 or less, good adhesiveness, and high frequency use. It is suitable for a printed wiring board.

本発明に用いられるポリイミドは、下記一般式Iで示される繰り返し単位を有する。   The polyimide used in the present invention has a repeating unit represented by the following general formula I.


式中、Rはシクロヘキサンから誘導される4価の基である。Φは炭素数2〜39の2価の脂肪族基、脂環族基、芳香族基、またはこれらの組み合わせからなる基であり、Φの主鎖には−O−、−SO−、−CO−、−CH−、−C(CH−、−OSi(CH−、−CO−、―S―などが介在していてもよい。

In the formula, R is a tetravalent group derived from cyclohexane. Φ is a group composed of a divalent aliphatic group having 2 to 39 carbon atoms, an alicyclic group, an aromatic group, or a combination thereof, and the main chain of Φ has —O—, —SO 2 —, — CO -, - CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - OSi (CH 3) 2 -, - C 2 H 4 O -, - such as S- may be interposed.

好ましいΦとしては、ポリアルキレン、ポリオキシアルキレン、キシリレン、およびそれらのアルキル置換体、ハロゲン置換体などの脂肪族基;シクロヘキサン、ジシクロヘキシルメタン、ジメチルシクロヘキサン、イソフォロン、ノルボルナン、およびそれらのアルキル置換体、ハロゲン置換体などから誘導される2価の脂環族基;および、ベンゼン、ナフタレン、ビフェニル、ジフェニルメタン、ジフェニルエーテル、ジフェニルスルフォン、ベンゾフェノン、およびそれらのアルキル置換体,ハロゲン置換体などから誘導される2価の芳香族基が挙げられる。より具体的には、下記構造式で表される2価の基が挙げられる。   Preferred Φ includes aliphatic groups such as polyalkylene, polyoxyalkylene, xylylene, and alkyl-substituted and halogen-substituted products thereof; cyclohexane, dicyclohexylmethane, dimethylcyclohexane, isophorone, norbornane, and alkyl-substituted products thereof, halogen A divalent alicyclic group derived from a substituent, and the like; and a divalent group derived from benzene, naphthalene, biphenyl, diphenylmethane, diphenyl ether, diphenylsulfone, benzophenone, and alkyl substituents, halogen substituents thereof, etc. An aromatic group is mentioned. More specifically, a divalent group represented by the following structural formula can be given.

一般式Iで示される繰り返し単位の含有量は、全繰り返し単位の10〜100モル%であるのが好ましく、50〜100モル%であるのがより好ましい。また、ポリイミド1分子中の一般式Iで示される繰り返し単位の個数は、10〜2000であるのが好ましく、20〜200であるのがより好ましい。   The content of the repeating unit represented by the general formula I is preferably 10 to 100 mol%, more preferably 50 to 100 mol% of all repeating units. In addition, the number of repeating units represented by the general formula I in one molecule of polyimide is preferably 10 to 2000, and more preferably 20 to 200.

ポリイミドAは、テトラカルボン酸成分とジアミン系成分(ジアミン及びその誘導体)とを反応させることにより得られる。テトラカルボン酸成分としては、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸エステル類、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられるが、好ましいのはシクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物である。なお、前記テトラカルボン酸成分は位置異性体を含む。   Polyimide A can be obtained by reacting a tetracarboxylic acid component with a diamine component (diamine and derivatives thereof). Examples of the tetracarboxylic acid component include cyclohexanetetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid esters, cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, and the like, and cyclohexanetetracarboxylic dianhydride is preferable. The tetracarboxylic acid component includes positional isomers.

上記テトラカルボン酸成分に由来するシクロへキサンテトラカルボン酸骨格を有するポリイミドAは高分子量化が容易で、フレキシブルなフィルムが得られ易い上に、溶剤に対する溶解度も充分に大きいので、フィルムの成形加工の面で有利である。また、接着剤またはカバーコート剤として塗布することによりフレキシブルで充分な厚み、耐久性を有する接着層またはカバーコート層を容易に形成でき、極めて有利である。   Polyimide A having a cyclohexanetetracarboxylic acid skeleton derived from the tetracarboxylic acid component is easy to obtain a high molecular weight, and it is easy to obtain a flexible film, and the solubility in a solvent is sufficiently high. This is advantageous. Further, it is very advantageous because it can be easily formed as a flexible adhesive layer or cover coat layer having sufficient thickness and durability by applying as an adhesive agent or a cover coat agent.

テトラカルボン酸成分は、ポリイミドAの溶剤可溶性、フィルムのフレキシビリティ、熱圧着性、高周波特性を損なわない範囲で、他のテトラカルボン酸またはその誘導体、例えば、ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エーテル、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、4,4−(p−フェニレンジオキシ)ジフタル酸、4,4−(m−フェニレンジオキシ)ジフタル酸、エチレンテトラカルボン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロペンタンテトラカルボン酸、3−カルボキシメチル−1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、ビシクロ[2.2.2]オクタ−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸、ジシクロヘキシルテトラカルボン酸、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン、それらの誘導体から選ばれる少なくとも1種の化合物を含んでいてもよい。   The tetracarboxylic acid component may be other tetracarboxylic acid or a derivative thereof such as pyromellitic acid, 3, 3 ′, 4 as long as it does not impair the solvent solubility of polyimide A, film flexibility, thermocompression bonding, and high frequency characteristics. , 4′-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (2,3- Dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, bi (2,3-dicarboxyphenyl) ether, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic acid, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic acid, 4,4- (p-phenylenediene) Oxy) diphthalic acid, 4,4- (m-phenylenedioxy) diphthalic acid, ethylenetetracarboxylic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,4,5-cyclopentanetetracarboxylic acid, 3-carboxymethyl-1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5 6-tetracarboxylic acid, dicyclohexyltetracarboxylic acid, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane, bi Su (3,4-dicarboxyphenyl) methane and at least one compound selected from derivatives thereof may be included.

ジアミン系成分としては、ジアミン、ジイソシアネート、ジアミノジシラン類などが挙げられるが、好ましいのはジアミンである。ジアミン系成分中のジアミン含量は、好ましくは50モル%以上(100モル%を含む)である。   Examples of the diamine component include diamines, diisocyanates, and diaminodisilanes, with diamines being preferred. The diamine content in the diamine-based component is preferably 50 mol% or more (including 100 mol%).

前記ジアミンは、脂肪族ジアミンであっても芳香族ジアミンであってもよく、それらの混合物でもよい。なお、本発明において“芳香族ジアミン”とは、アミノ基が芳香族環に直接結合しているジアミンを表し、その構造の一部に脂肪族基、脂環族基、その他の置換基を含んでいてもよい。“脂肪族アミン”とは、アミノ基が脂肪族基または脂環族基に直接結合しているジアミンを表し、その構造の一部に芳香族基、その他の置換基を含んでいてもよい。   The diamine may be an aliphatic diamine, an aromatic diamine, or a mixture thereof. In the present invention, “aromatic diamine” refers to a diamine in which an amino group is directly bonded to an aromatic ring, and an aliphatic group, an alicyclic group, and other substituents are included in a part of the structure. You may go out. The “aliphatic amine” refers to a diamine in which an amino group is directly bonded to an aliphatic group or an alicyclic group, and an aromatic group or other substituent may be included in a part of the structure.

一般に、脂肪族ジアミンを構成成分として使用すると、中間生成物であるポリアミド酸と脂肪族ジアミンが強固な錯体を形成するために、高分子量ポリイミドが得られにくい。そのため、錯体の溶解性が比較的高い溶剤、例えばクレゾール、を用いるなどの工夫が必要になる。しかし、シクロへキサンテトラカルボン酸またはその誘導体と脂肪族ジアミンを構成成分として用いると、ポリアミド酸と脂肪族ジアミンの結合が比較的弱い錯体が形成されるので、ポリイミドを容易に高分子量化できる。   In general, when an aliphatic diamine is used as a constituent component, the polyamic acid as an intermediate product and the aliphatic diamine form a strong complex, and thus it is difficult to obtain a high molecular weight polyimide. Therefore, it is necessary to devise such as using a solvent having a relatively high solubility of the complex, such as cresol. However, when cyclohexanetetracarboxylic acid or a derivative thereof and an aliphatic diamine are used as components, a complex in which the bond between the polyamic acid and the aliphatic diamine is relatively weak is formed, so that the polyimide can be easily increased in molecular weight.

前記脂肪族ジアミンとしては、例えば、4,4’−ジアミノジシクロヘキシルメタン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ポリエチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル、ポリプロピレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、イソフォロンジアミン、ノルボルナンジアミン、シロキサンジアミン類などが挙げられる。   Examples of the aliphatic diamine include 4,4′-diaminodicyclohexylmethane, ethylenediamine, hexamethylenediamine, polyethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, polypropylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, 1,3- Examples include bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, isophorone diamine, norbornane diamine, and siloxane diamines.

前記芳香族ジアミンとしては、例えば、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、ジアミノベンゾフェノン、2,6−ジアミノナフタレン、1,5−ジアミノナフタレンなどが挙げられる。   Examples of the aromatic diamine include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, diaminobenzophenone, and 2,6. -Diaminonaphthalene, 1,5-diaminonaphthalene, etc. are mentioned.

本発明において、ポリイミドAは、通常、有機溶剤溶液として製造される。有機溶剤としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスルホン、p−クロルフェノール、m−クレゾール、2−クロル−4−ヒドロキシトルエンなどが挙げられる。   In the present invention, polyimide A is usually produced as an organic solvent solution. Examples of the organic solvent include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, tetramethylene sulfone, p-chlorophenol, and m-cresol. , 2-chloro-4-hydroxytoluene and the like.

ポリイミドAの有機溶剤溶液は下記の(i)〜(iii)の方法で得られる。
(i)ジアミン系成分の有機溶剤溶液にテトラカルボン酸成分を添加、あるいは、テトラカルボン酸成分の有機溶剤溶液にジアミン系成分を添加し、好ましくは80℃以下、特に室温付近ないしそれ以下の温度に0.5〜3時間保つ。得られた反応中間体のポリアミド酸溶液にトルエンあるいはキシレンなどの共沸脱水溶剤を添加して、生成水を共沸により系外へ除きつつ脱水反応を行い、ポリイミドAの有機溶剤溶液を得る。
(ii)反応中間体のポリアミド酸溶液に無水酢酸などの脱水剤を加えてイミド化した後、メタノールなどのポリイミドAに対する溶解能が乏しい溶剤を添加して、ポリイミドAを沈殿させる。ろ過・洗浄・乾燥により固体として分離した後、N,N−ジメチルアセトアミドなどの溶剤に溶解してポリイミドAの有機溶剤溶液を得る。
(iii)クレゾールなどの高沸点溶剤を用いてポリアミド酸溶液を調製し、そのまま150〜220℃に3〜12時間保ってポリイミド化させた後、メタノールなどのポリイミドAに対する溶解能が乏しい溶剤を添加して、ポリイミドAを沈殿させる。ろ過・洗浄・乾燥により固体として分離した後、N,N−ジメチルアセトアミドなどの溶剤に溶解してポリイミドAの有機溶剤溶液を得る。
The organic solvent solution of polyimide A is obtained by the following methods (i) to (iii).
(I) A tetracarboxylic acid component is added to an organic solvent solution of a diamine-based component, or a diamine-based component is added to an organic solvent solution of a tetracarboxylic acid component, preferably at a temperature of 80 ° C. or less, particularly near room temperature or lower. For 0.5 to 3 hours. An azeotropic dehydration solvent such as toluene or xylene is added to the resulting polyamic acid solution of the reaction intermediate, and a dehydration reaction is performed while removing the generated water out of the system by azeotropy to obtain an organic solvent solution of polyimide A.
(Ii) After imidization by adding a dehydrating agent such as acetic anhydride to the polyamic acid solution of the reaction intermediate, a solvent having poor solubility in polyimide A such as methanol is added to precipitate polyimide A. After being separated as a solid by filtration, washing and drying, it is dissolved in a solvent such as N, N-dimethylacetamide to obtain an organic solvent solution of polyimide A.
(Iii) A polyamic acid solution is prepared using a high-boiling solvent such as cresol, and kept at 150 to 220 ° C. for 3 to 12 hours to be converted into a polyimide, and then a solvent having poor solubility in polyimide A such as methanol is added. Then, polyimide A is precipitated. After being separated as a solid by filtration, washing and drying, it is dissolved in a solvent such as N, N-dimethylacetamide to obtain an organic solvent solution of polyimide A.

上記有機溶剤溶液のポリイミドA濃度は、5〜50重量%であるのが好ましく、10〜40重量%がより好ましい。   The polyimide A concentration in the organic solvent solution is preferably 5 to 50% by weight, and more preferably 10 to 40% by weight.

本発明において、ポリイミド層は、上記の(i)〜(iii)の方法で得られたポリイミドAの有機溶剤溶液を金属層などに塗布した後、加熱して溶剤を蒸発させることにより形成される。あるいは、該有機溶剤溶液から予め得たポリイミドフィルムをポリイミド層とすることもできる。このようなポリイミドフィルムは、該有機溶剤溶液を、ガラス板、金属板などのフィルム形成用支持体に塗布し、200℃〜350℃に加熱して溶剤を蒸発させ、形成されたフィルムを支持体から剥離することにより製造される。また、ポリアミド酸の有機溶剤溶液をフィルム形成用支持体に塗布し、200℃〜350℃に加熱して脱水イミド化反応を行う方法によってもポリイミドフィルムを製造することができる。ポリイミド層の厚さは1〜100μmであるのが好ましい。   In the present invention, the polyimide layer is formed by applying an organic solvent solution of polyimide A obtained by the above methods (i) to (iii) to a metal layer or the like and then heating to evaporate the solvent. . Alternatively, a polyimide film obtained in advance from the organic solvent solution can be used as a polyimide layer. In such a polyimide film, the organic solvent solution is applied to a film-forming support such as a glass plate or a metal plate, heated to 200 ° C. to 350 ° C. to evaporate the solvent, and the formed film is supported. It is manufactured by peeling from. A polyimide film can also be produced by a method in which an organic solvent solution of polyamic acid is applied to a film-forming support and heated to 200 ° C. to 350 ° C. to perform a dehydrating imidization reaction. The thickness of the polyimide layer is preferably 1 to 100 μm.

本発明に用いられるポリイミドAは高周波数における誘電率が低いという特徴に加えて、実用上重要な周波数領域である1〜20GHzの範囲において誘電率の周波数依存性が低くほぼ一定の値を示すという特徴も有しており、絶縁材料として極めて好ましい。ジアミンとして脂肪族ジアミンを選択すると、10GHzにおける誘電率が2.8以下となり特に好ましいが、芳香族ジアミンを用いた場合でも、3.2以下が達成される。達成できる誘電率の下限値は通常2.6である。さらにポリイミドAは、1〜20GHzの範囲において誘電正接についても周波数依存性が低く、0.008〜0.018の範囲でほぼ一定の値を示すという特徴も有しており、極めて優れた高周波特性を持つ。   In addition to the feature that the dielectric constant at high frequency is low, the polyimide A used in the present invention has a low frequency dependence of the dielectric constant in a frequency range of 1 to 20 GHz which is a practically important frequency range, and shows a substantially constant value. It also has characteristics and is extremely preferable as an insulating material. When an aliphatic diamine is selected as the diamine, the dielectric constant at 10 GHz is 2.8 or less, which is particularly preferable. However, even when an aromatic diamine is used, 3.2 or less is achieved. The lower limit of the dielectric constant that can be achieved is usually 2.6. Furthermore, polyimide A has a low frequency dependency for the dielectric loss tangent in the range of 1 to 20 GHz, and also has a characteristic of showing a substantially constant value in the range of 0.008 to 0.018, and has extremely excellent high frequency characteristics. have.

ポリイミドAからなるポリイミドフィルムのガラス転移温度は、選択するジアミンにより異なるが、概ね350℃以下である。残存溶剤量にもよるが、ガラス転移温度以上の温度で接着性が発現するので、ガラス転移温度が高すぎるとその分熱圧着温度が高くなりすぎ、ガラス転移温度が低すぎるとフィルム自体の耐熱性が不足し、好ましくない。好ましいガラス転移温度の範囲は200〜350℃、特に好ましいのは、250〜320℃である。   The glass transition temperature of the polyimide film made of polyimide A varies depending on the selected diamine, but is generally 350 ° C. or lower. Although depending on the amount of residual solvent, adhesiveness develops at temperatures above the glass transition temperature, so if the glass transition temperature is too high, the thermocompression bonding temperature becomes too high, and if the glass transition temperature is too low, the heat resistance of the film itself It is not preferable because of lack of sex. The range of a preferable glass transition temperature is 200 to 350 ° C., and particularly preferably 250 to 320 ° C.

本発明の金属張積層体は、ポリイミドAの有機溶剤溶液を絶縁性基材、金属層、または、その双方の表面に塗布した後、溶剤を蒸発させることによりポリイミド接着層を形成し、被着体(絶縁性基材、金属層、プリント配線板など)を該接着層に熱圧着することにより製造することができる。また、絶縁性基材、金属層などの両面にポリイミドAの有機溶剤溶液を塗布し、接着層を形成した後に被着体を両面の接着層に熱圧着しても良い。さらに、ポリイミドAの有機溶剤溶液をガラス繊維布や炭素繊維布等に含浸させて使用することも可能である。また、ポリイミドAのフィルムを接着性ポリイミド層として使用し、複数の被着体の間に挟んだ上で熱圧着することによって本発明の金属張積層体を製造することができる。また、ポリイミドAのフィルム表面にスパッタリング、蒸着および無電解めっき等の方法で金属薄膜を直接形成して金属層とポリイミド層の積層構造を得た上で、被着体と熱圧着することにより金属張積層体を製造することもできる。なお、プリント配線板は、下記の絶縁性基材と金属層からなり、回路設計に基づいて導体パターンをプリントにより形成し、所定の加工を行ったものである。   The metal-clad laminate of the present invention forms a polyimide adhesive layer by applying an organic solvent solution of polyimide A to the surface of an insulating substrate, a metal layer, or both, and then evaporating the solvent. A body (insulating base material, metal layer, printed wiring board, etc.) can be manufactured by thermocompression bonding to the adhesive layer. Further, an organic solvent solution of polyimide A may be applied to both surfaces such as an insulating base material and a metal layer, and an adhesive layer may be formed, and then the adherend may be thermocompression bonded to the adhesive layers on both surfaces. Further, it is also possible to impregnate a glass fiber cloth or carbon fiber cloth with an organic solvent solution of polyimide A for use. Moreover, the metal-clad laminate of this invention can be manufactured by using a film of polyimide A as an adhesive polyimide layer and sandwiching it between a plurality of adherends, followed by thermocompression bonding. In addition, a metal thin film is directly formed on the surface of the polyimide A film by sputtering, vapor deposition, electroless plating, or the like to obtain a laminated structure of a metal layer and a polyimide layer, and then metallized by thermocompression bonding with an adherend. A tension laminate can also be produced. The printed wiring board is composed of the following insulating base material and metal layer, and a conductor pattern is formed by printing based on circuit design and subjected to predetermined processing.

より具体的には、まずポリイミドAの有機溶剤溶液を絶縁性基材上に塗布した後に、溶剤を蒸発させ、接着層を形成させる。次に、形成された接着層面に金属層を配置し、これを加圧ロールなどを使用して連続的に熱圧着することにより金属張積層体を製造できる。
また、ポリイミドAの有機溶剤溶液は、一般のカバーレイフィルムの接着剤としても使用可能である。この場合、該カバーレイフィルムの表面にポリイミドAの有機溶剤溶液を塗布し、溶剤を除去して接着層を形成させた後、加熱プレス成形機を用いて、回路パターンを作成したプリント配線板に熱圧着し金属張積層体を製造できる。
ポリイミドAの有機溶剤溶液は、カバーコート剤としても用いることができる。回路パターンを作成した後のプリント配線板の回路面に、該溶液を塗布した後、100℃〜350℃に加熱して溶剤を蒸発させることにより、回路面にポリイミドAの皮膜(カバーコート層)を形成することにより金属張積層体を製造できる。この方法により充分な厚み、可とう性、さらに回路面と良好な密着性を有するカバーコート層を形成することができる。
More specifically, an organic solvent solution of polyimide A is first applied on an insulating substrate, and then the solvent is evaporated to form an adhesive layer. Next, a metal-clad laminate can be produced by placing a metal layer on the formed adhesive layer surface and continuously thermocompressing the metal layer using a pressure roll or the like.
Moreover, the organic solvent solution of polyimide A can also be used as an adhesive for a general coverlay film. In this case, after applying an organic solvent solution of polyimide A to the surface of the coverlay film and removing the solvent to form an adhesive layer, the printed wiring board on which the circuit pattern was created using a hot press molding machine A metal-clad laminate can be manufactured by thermocompression bonding.
The organic solvent solution of polyimide A can also be used as a cover coat agent. After applying the solution to the circuit surface of the printed wiring board after creating the circuit pattern, the film is heated to 100 ° C. to 350 ° C. to evaporate the solvent, whereby a polyimide A film (cover coat layer) is formed on the circuit surface. By forming the metal-clad laminate, a metal-clad laminate can be manufactured. By this method, a cover coat layer having sufficient thickness, flexibility, and good adhesion to the circuit surface can be formed.

また、上記したように、ポリイミドAの有機溶剤溶液を予め接着性ポリイミドフィルムにすることもできる。かかる接着性ポリイミドフィルムを熱圧着により金属層、絶縁性基材、プリント配線板などの被着体と接着することにより金属張積層体を製造することができる。例えば“カプトン”(東レ・デュポン(株)製)等の芳香族系ポリイミドフィルム(絶縁性基材)、接着性ポリイミドフィルムと金属層を加圧ロールなどを使用して連続的に熱圧着することにより金属張積層体を製造することができる。さらに、接着性ポリイミドフィルムは、プリント配線板と一般のカバーレイフィルムとの接着にも使用可能であるのみならず、それ自体を接着性カバーレイフィルムとして使用することも可能である。この場合には、例えば、プリント配線板と接着性カバーレイフィルムを熱プレスなどの加熱成形機を用いて熱圧着することにより金属張積層体を製造できる。   Moreover, as above-mentioned, the organic solvent solution of polyimide A can also be made into an adhesive polyimide film previously. A metal-clad laminate can be produced by adhering such an adhesive polyimide film to an adherend such as a metal layer, an insulating substrate, or a printed wiring board by thermocompression bonding. For example, continuous thermocompression bonding of aromatic polyimide film (insulating substrate) such as “Kapton” (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.), adhesive polyimide film and metal layer using a pressure roll. Thus, a metal-clad laminate can be manufactured. Furthermore, the adhesive polyimide film can be used not only for adhesion between a printed wiring board and a general coverlay film, but can also be used as an adhesive coverlay film. In this case, for example, a metal-clad laminate can be manufactured by thermocompression bonding a printed wiring board and an adhesive coverlay film using a thermoforming machine such as a hot press.

さらに、ポリイミドAのフィルムの表面に、スパッタリング、蒸着および無電解めっき等の方法で金属薄膜を直接形成することにより、金属層/ポリイミド層の層構造を得ることもできる。蒸着法としては、通常の蒸着に加えて、CVD法、イオンプレーティング法等も適用できる。また、これらの方法で一旦金属薄膜を形成した後に、別の方法、たとえば電気めっき(電解めっきとも呼ばれる)法を用いて金属薄膜上にさらに他の金属膜を形成して所望の膜厚にすることも出来る。かかるポリイミド層と絶縁性基材を熱圧着により接着することにより金属張積層体を製造することもできる。この方法では金属薄膜を形成する前に、ポリイミドフィルム表面にアルカリ性薬液による処理、プラズマ処理、サンドブラスト処理等の公知の前処理を施してもよい。このような前処理により、ポリイミド層と金属層との接着強度が一層向上する。   Further, a metal layer / polyimide layer structure can be obtained by directly forming a metal thin film on the surface of the polyimide A film by a method such as sputtering, vapor deposition and electroless plating. As a vapor deposition method, a CVD method, an ion plating method, or the like can be applied in addition to normal vapor deposition. In addition, after a metal thin film is once formed by these methods, another metal film is formed on the metal thin film using another method, for example, electroplating (also called electrolytic plating) to obtain a desired film thickness. You can also A metal-clad laminate can also be produced by bonding such a polyimide layer and an insulating substrate by thermocompression bonding. In this method, before forming the metal thin film, the polyimide film surface may be subjected to a known pretreatment such as treatment with an alkaline chemical solution, plasma treatment, or sandblast treatment. By such pretreatment, the adhesive strength between the polyimide layer and the metal layer is further improved.

さらに、上記の各方法により得られたポリイミド層を、複数の任意のプリント配線板の回路面および/または非回路面上に配置し、熱圧着して一体化させることにより多層の金属張積層体を作ることも出来る。   Furthermore, a multilayer metal-clad laminate is obtained by arranging the polyimide layer obtained by each of the above methods on the circuit surface and / or non-circuit surface of a plurality of arbitrary printed wiring boards and integrating them by thermocompression bonding. Can also be made.

本発明に用いられる金属層の材料としては、銅、アルミニウム、ステンレス、金、銀、ニッケルなどが挙げられるが、好ましくは、銅、アルミニウム、ステンレスである。金属層としては、電解、圧延等の方法により得られた金属箔を用いても良いが、上記の如くポリイミド層および/または絶縁性基材の表面に直接形成したものを用いても良い。金属層の厚さは、特に制限がないが、通常使用される1〜100μmの範囲が好ましい。   Examples of the material for the metal layer used in the present invention include copper, aluminum, stainless steel, gold, silver, nickel, and the like, preferably copper, aluminum, and stainless steel. As the metal layer, a metal foil obtained by a method such as electrolysis or rolling may be used. Alternatively, a metal layer formed directly on the surface of the polyimide layer and / or the insulating substrate as described above may be used. Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of a metal layer, The range of 1-100 micrometers normally used is preferable.

本発明に用いられる絶縁性基材にはフレキシブルタイプのものとリジッドタイプのものがある。フレキシブルタイプの絶縁性基材としては、ポリイミド(ポリイミドAを除く)、ポリベンズイミダゾール、ポリベンズオキサゾール、ポリアミド(アラミドを含む)、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエステル(液晶性ポリエステルを含む)、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトンが挙げられ、好ましくは、ポリイミド、ポリベンズイミダゾール、ポリアミド(アラミドを含む)、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルスルホンである。フレキシブルタイプ絶縁性基材の厚さは特に制限されないが、3〜150μmであるのが好ましい。リジッドタイプの絶縁性基材としては、ガラス板、セラミック板、プラスチック板等の絶縁材板や金属板に絶縁皮膜を形成したもの、液晶ポリマー、フェノール樹脂、エポキシ樹脂等の熱可塑性や熱硬化性の各種樹脂を、ガラス繊維布、プラスチック繊維布やガラス短繊維等の補強剤に含浸、混練させた成形体が挙げられる。リジッドタイプ絶縁性基材の厚さは特に制限されないが、100〜2000μmであるのが好ましい。   The insulating base material used in the present invention includes a flexible type and a rigid type. Flexible insulating base materials include polyimide (excluding polyimide A), polybenzimidazole, polybenzoxazole, polyamide (including aramid), polyetherimide, polyamideimide, polyester (including liquid crystalline polyester), polysulfone , Polyethersulfone, polyetherketone, polyetheretherketone, and polyimide, polybenzimidazole, polyamide (including aramid), polyetherimide, polyamideimide, and polyethersulfone are preferable. The thickness of the flexible type insulating substrate is not particularly limited, but is preferably 3 to 150 μm. Rigid type insulating base materials include glass plates, ceramic plates, plastic plates, etc. and metal plates with insulating coatings, liquid crystal polymers, phenolic resins, epoxy resins, etc., thermoplastic and thermosetting And a molded product obtained by impregnating and kneading these various resins with a reinforcing agent such as glass fiber cloth, plastic fiber cloth, and short glass fiber. The thickness of the rigid type insulating substrate is not particularly limited, but is preferably 100 to 2000 μm.

ポリイミドAの有機溶剤溶液から形成した接着層およびこれから得た接着性ポリイミドフィルムのいずれを使用する場合も、熱圧着温度は、好ましくは200〜400℃、より好ましくは250〜350℃である。加圧力は、好ましくは0.1〜200kgf/cm、より好ましくは1〜100kgf/cmである。また、溶剤及び気泡を除くために減圧雰囲気で熱圧着しても良い。接着層または接着性ポリイミドフィルムを用いて以上の条件で熱圧着することにより極めて良好な接着強度が得られる。 When using either the adhesive layer formed from the organic solvent solution of polyimide A and the adhesive polyimide film obtained therefrom, the thermocompression bonding temperature is preferably 200 to 400 ° C, more preferably 250 to 350 ° C. The applied pressure is preferably 0.1 to 200 kgf / cm 2 , more preferably 1 to 100 kgf / cm 2 . Further, thermocompression bonding may be performed in a reduced pressure atmosphere to remove the solvent and bubbles. An extremely good adhesive strength can be obtained by thermocompression bonding under the above conditions using an adhesive layer or an adhesive polyimide film.

本発明に用いられるポリイミドAは、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチルスルホン、γ−ブチロラクトン、プロピレンカーボネート、ジオキサンなどの非プロトン性極性有機溶媒に可溶性である。そのため、上記の各方法により得られた本発明の金属張積層体や回路パターンを形成した後のプリント配線板のポリイミド層を、非プロトン性極性有機溶媒をエッチャントとしてウェットエッチングすることによりパターン化することが可能である。すなわち、ビアホールやフライングリードを形成したり、端子となる部分の上に存在するカバーコートを除去するに際して、従来の方法であるドライエッチングによるパターン化に比べて生産性が著しく改善され極めて有利である。また、回路の特定部分のみを露出させ、さらにその部分にのみ貴金属メッキするなどの各種の応用が可能である。   Polyimide A used in the present invention includes N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, tetramethylsulfone, γ-butyrolactone, propylene carbonate It is soluble in aprotic polar organic solvents such as dioxane. Therefore, the polyimide layer of the printed wiring board after forming the metal-clad laminate and circuit pattern of the present invention obtained by the above methods is patterned by wet etching using an aprotic polar organic solvent as an etchant. It is possible. That is, when forming a via hole or flying lead or removing a cover coat existing on a portion to be a terminal, productivity is remarkably improved as compared with the conventional patterning by dry etching, which is extremely advantageous. . Further, various applications such as exposing only a specific part of the circuit and plating a noble metal only on that part are possible.

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described specifically by way of examples. However, this invention is not restrict | limited at all by these Examples.

実施例および比較例で得られたポリイミドフィルム、および銅張積層体の評価は以下のように行った。
(1)誘電率、誘電正接
(株)関東電子応用開発製の誘電率誘電正接測定装置(CP431/461/501//531)を用い、空洞共振器摂動法にて誘電率、誘電正接を測定した。
(2)ガラス転移温度
島津製作所製の示差走査熱量計装置(DSC−50)を用い、昇温速度10℃/minの条件でDSC測定を行い、ガラス転移温度を求めた。
(3)接着強度
JIS C 6481に準拠して接着強度を測定した。
Evaluation of the polyimide films obtained in Examples and Comparative Examples and the copper clad laminate were performed as follows.
(1) Dielectric constant, dielectric loss tangent Measure dielectric constant and dielectric loss tangent by cavity resonator perturbation method using dielectric constant dielectric loss tangent measuring device (CP431 / 461/501 // 531) manufactured by Kanto Electronics Co., Ltd. did.
(2) Glass transition temperature Using a differential scanning calorimeter (DSC-50) manufactured by Shimadzu Corporation, DSC measurement was performed under the condition of a heating rate of 10 ° C./min to obtain a glass transition temperature.
(3) Adhesive strength Adhesive strength was measured in accordance with JIS C 6481.

参考例
1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物の合成
内容積5リットルのハステロイ製(HC22)オートクレーブにピロメリット酸552g、活性炭にロジウムを担持させた触媒(エヌ・イーケムキャット株式会社製)200g、水1656gを仕込み、攪拌をしながら反応器内を窒素ガスで置換した。次に水素ガスで反応器内を置換し、反応器の水素圧を5.0MPaとして60℃まで昇温した。水素圧を5.0MPaに保ちながら2時間反応させた。反応器内の水素ガスを窒素ガスで置換し、反応液をオートクレーブより抜き出し、この反応液を熱時濾過して触媒を分離した。濾過液をロータリーエバポレーターで減圧下に水を蒸発させて濃縮し、結晶を析出させた。析出した結晶を室温で固液分離し、乾燥して1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸481g(収率85.0%)を得た。
続いて、得られた1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸450gと無水酢酸4000gとを、5リットルのガラス製セパラブルフラスコ(ジムロート冷却管付)に仕込み、攪拌しながら反応器内を窒素ガスで置換した。窒素ガス雰囲気下で溶媒の還流温度まで昇温し、10分間溶媒を還流させた。攪拌しながら室温まで冷却し、結晶を析出させた。析出した結晶を固液分離し、乾燥して一次結晶を得た。更に分離母液をロータリーエバポレーターで減圧下に濃縮し、結晶を析出させた。この結晶を固液分離し、乾燥して二次結晶を得た。一次結晶、二次結晶を合わせて1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物375gが得られた(無水化の収率96.6%)。
Reference Example 1,2,4,5-Cyclohexanetetracarboxylic dianhydride synthesis A catalyst with 552 g pyromellitic acid in a 5 liter Hastelloy (HC22) autoclave and rhodium supported on activated carbon 200 g and 1656 g of water were charged, and the inside of the reactor was replaced with nitrogen gas while stirring. Next, the inside of the reactor was replaced with hydrogen gas, and the temperature of the reactor was increased to 60 ° C. with a hydrogen pressure of 5.0 MPa. The reaction was carried out for 2 hours while maintaining the hydrogen pressure at 5.0 MPa. The hydrogen gas in the reactor was replaced with nitrogen gas, the reaction solution was extracted from the autoclave, and the reaction solution was filtered while hot to separate the catalyst. The filtrate was concentrated by evaporating water under reduced pressure using a rotary evaporator to precipitate crystals. The precipitated crystals were separated into solid and liquid at room temperature and dried to obtain 481, g (yield: 85.0%) of 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.
Subsequently, 450 g of the obtained 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid and 4000 g of acetic anhydride were charged into a 5-liter glass separable flask (with Dimroth condenser), and the inside of the reactor was stirred. Replaced with nitrogen gas. The temperature was raised to the reflux temperature of the solvent under a nitrogen gas atmosphere, and the solvent was refluxed for 10 minutes. While stirring, the mixture was cooled to room temperature to precipitate crystals. The precipitated crystals were separated into solid and liquid and dried to obtain primary crystals. Further, the separated mother liquor was concentrated under reduced pressure using a rotary evaporator to precipitate crystals. The crystals were separated into solid and liquid and dried to obtain secondary crystals. The primary crystal and the secondary crystal were combined to obtain 375 g of 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (anhydrous yield of 96.6%).

実施例1
温度計、撹拌器、窒素導入管、側管付き滴下ロート、ディーンスターク、冷却管を備えた500mL5つ口フラスコに、窒素気流下、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル10.0g(0.05モル)と、溶剤としてN−メチル−2−ピロリドン85gを仕込んで溶解させた後、室温にて参考例で合成した1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物11.2g(0.05モル)を固体のまま1時間かけて分割投入し、室温下2時間撹拌した。次に共沸脱水溶剤としてキシレン30.0gを添加して180℃に昇温して3時間反応を行い、ディーンスタークでキシレンを還流させて、共沸してくる生成水を分離した。3時間後、水の留出が終わったことを確認し、1時間かけて190℃に昇温しながらキシレンを留去し29.0gを回収した後、内温が60℃になるまで空冷してポリイミドの有機溶剤溶液を得た。得られた溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤をさらに蒸発させ、薄茶色のフレキシブルな膜厚100μmのフィルムを得た。このフィルムのIRスペクトルを測定したところ、ν(C=O)1772、1700(cm−1)にイミド環の特性吸収が認められ、下記式IIの繰り返し単位を有するポリイミドであると同定された。
Example 1
In a 500 mL five-necked flask equipped with a thermometer, stirrer, nitrogen inlet tube, dropping funnel with side tube, Dean Stark, and condenser tube, 10.0 g (0.05 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether under nitrogen flow Then, 85 g of N-methyl-2-pyrrolidone as a solvent was added and dissolved, and then 11.2 g (0.05 g) of 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride synthesized in Reference Example at room temperature. Mol) was added in portions over 1 hour as a solid and stirred at room temperature for 2 hours. Next, 30.0 g of xylene was added as an azeotropic dehydration solvent, the temperature was raised to 180 ° C., the reaction was carried out for 3 hours, and xylene was refluxed with a Dean Stark to separate azeotropically produced water. After 3 hours, it was confirmed that the distillation of water had ended, xylene was distilled off while raising the temperature to 190 ° C. over 1 hour, 29.0 g was recovered, and then air-cooled until the internal temperature reached 60 ° C. Thus, an organic solvent solution of polyimide was obtained. The obtained solution was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film was fixed to a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to further evaporate the solvent, thereby obtaining a light brown flexible film having a thickness of 100 μm. When the IR spectrum of this film was measured, characteristic absorption of an imide ring was observed at ν (C═O) 1772 and 1700 (cm −1 ), and it was identified as a polyimide having a repeating unit of the following formula II.


得られたフィルムのガラス転移温度、誘電率、誘電正接を表1、2に示す。
上記ポリイミドの有機溶剤溶液を市販のポリイミドフィルム(東レ・デュポン(株)製、カプトン100H、厚さ25μm、以下、“カプトン100Hフィルム”と略称する)上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させ、厚さ20μmの接着層を形成した。この接着層に、電解銅箔(三井金属鉱業(株)製3EC−VLP、厚さ18μm、以下、“銅箔3EC−VLP”と略称する)を330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して銅張積層体を得た。接着強度を表1に示す。接着性は良好であった。

Tables 1 and 2 show the glass transition temperature, dielectric constant, and dielectric loss tangent of the obtained film.
The polyimide organic solvent solution was formed on a commercially available polyimide film (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd., Kapton 100H, thickness 25 μm, hereinafter abbreviated as “Kapton 100H film”) to a thickness of 200 μm using a doctor blade. Applied. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form an adhesive layer having a thickness of 20 μm. Electrolytic copper foil (3EC-VLP manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., thickness 18 μm, hereinafter abbreviated as “copper foil 3EC-VLP”) was thermocompression bonded to this adhesive layer for 30 minutes with a hot press set at 330 ° C. Thus, a copper clad laminate was obtained. The adhesive strength is shown in Table 1. Adhesion was good.

実施例2
実施例1と同じ500mlの5つ口のフラスコに、参考例で合成した1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物11.2g(0.05モル)と溶剤としてN−メチル−2−ピロリドン40.0gを仕込んで溶解させ、室温下、4,4’−ジアミノジシクロヘキシルメタン10.5g(0.05モル)を45.0gのジメチルアセトアミドに溶解した溶液を滴下ロートより2時間かけて滴下した。滴下終了後90℃に昇温し、1時間撹拌した。次に共沸脱水溶剤としてキシレン30.0gを添加して180℃に昇温して3時間反応を行い、ディーンスタークでキシレンを還流させて、共沸してくる生成水を分離した。3時間後、水の留出が終わったことを確認し、1時間かけて190℃に昇温しながらキシレンを留去し30.0gを回収した後、内温が60℃になるまで空冷してポリイミドの有機溶剤溶液を得た。得られた溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤をさらに蒸発させ、無色透明でフレキシブルな膜厚100μmのフィルムを得た。このフィルムのIRスペクトルを測定したところ、ν(C=O)1764、1691(cm−1)にイミド環の特性吸収が認められ、式IIIの繰り返し単位を有するポリイミドであると同定された。
Example 2
In the same 500 ml five-necked flask as in Example 1, 11.2 g (0.05 mol) of 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride synthesized in Reference Example and N-methyl-as a solvent were used. A solution prepared by dissolving 40.0 g of 2-pyrrolidone and dissolving 10.5 g (0.05 mol) of 4,4′-diaminodicyclohexylmethane in 45.0 g of dimethylacetamide at room temperature over 2 hours from a dropping funnel. And dripped. After completion of dropping, the temperature was raised to 90 ° C. and stirred for 1 hour. Next, 30.0 g of xylene was added as an azeotropic dehydration solvent, the temperature was raised to 180 ° C., the reaction was carried out for 3 hours, and xylene was refluxed with a Dean Stark to separate azeotropically produced water. After 3 hours, it was confirmed that the distillation of water had ended, xylene was distilled off while raising the temperature to 190 ° C. over 1 hour, 30.0 g was recovered, and then air-cooled until the internal temperature reached 60 ° C. Thus, an organic solvent solution of polyimide was obtained. The obtained solution was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. The self-supporting film was fixed to a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to further evaporate the solvent, thereby obtaining a colorless, transparent and flexible film having a thickness of 100 μm. When the IR spectrum of this film was measured, characteristic absorption of the imide ring was observed at ν (C═O) 1764, 1691 (cm −1 ), and it was identified as a polyimide having a repeating unit of the formula III.


得られたフィルムのガラス転移温度、誘電率、誘電正接を表1、2に示す。
上記ポリイミドの有機溶剤溶液を銅箔3EC−VLP上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させ、厚さ20μmの接着層を形成した。この接着層に、カプトン100Hフィルムを280℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して銅張積層体を得た。接着強度を表1に示す。接着性は良好であった。

Tables 1 and 2 show the glass transition temperature, dielectric constant, and dielectric loss tangent of the obtained film.
The polyimide organic solvent solution was applied onto copper foil 3EC-VLP to a thickness of 200 μm using a doctor blade. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form an adhesive layer having a thickness of 20 μm. A Kapton 100H film was thermocompression bonded to this adhesive layer with a hot press set at 280 ° C. for 30 minutes to obtain a copper clad laminate. The adhesive strength is shown in Table 1. Adhesion was good.

比較例1
実施例1と同じ500mlの5つ口のフラスコに、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル10.0g(0.05モル)と溶剤としてジメチルアセトアミド85.0gを仕込んで溶解させ、窒素気流下室温にてピロメリット酸二無水物10.9g(0.05モル)を固体のまま約1時間かけて添加し、添加終了後室温下3時間撹拌し、ポリアミド酸接着剤溶液を得た。
得られた接着剤溶液をガラス板に塗布し、50℃のホットプレート上で1時間乾燥後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥機中、100℃で3時間、200℃で3時間、250℃で2時間、300℃で1時間、さらに400℃で1時間加熱して溶剤を蒸発させ、褐色でフレキシブルな膜厚50μmのフィルムを得た。得られたフィルムのガラス転移温度、誘電率、誘電正接を表1に示す。
上記ポリアミド酸接着剤溶液をカプトン100Hフィルム上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。50℃のホットプレート上で1時間乾燥後、熱風乾燥機中、100℃で3時間、200℃で3時間、250℃で2時間、300℃で1時間、さらに400℃で1時間加熱してイミド化処理を行い、厚さ15μmの接着層を形成した。この接着層に、銅箔3EC−VLPを350℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して、銅張積層体を得た。接着強度を表1に示す。接着強度は不充分であった。
Comparative Example 1
In the same 500 ml five-necked flask as in Example 1, 10.0 g (0.05 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether and 85.0 g of dimethylacetamide as a solvent were dissolved and dissolved at room temperature in a nitrogen stream. 10.9 g (0.05 mol) of pyromellitic dianhydride was added as a solid over about 1 hour, and after completion of the addition, the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid adhesive solution.
The obtained adhesive solution was applied to a glass plate, dried on a hot plate at 50 ° C. for 1 hour, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film is fixed on a stainless steel fixture and heated in a hot air dryer at 100 ° C. for 3 hours, 200 ° C. for 3 hours, 250 ° C. for 2 hours, 300 ° C. for 1 hour, and 400 ° C. for 1 hour. The solvent was evaporated to obtain a brown and flexible film with a thickness of 50 μm. Table 1 shows the glass transition temperature, dielectric constant, and dielectric loss tangent of the obtained film.
The polyamic acid adhesive solution was applied to a thickness of 200 μm on a Kapton 100H film using a doctor blade. After drying for 1 hour on a hot plate at 50 ° C, heat in a hot air dryer for 3 hours at 100 ° C, 3 hours at 200 ° C, 2 hours at 250 ° C, 1 hour at 300 ° C, and 1 hour at 400 ° C. An imidization treatment was performed to form an adhesive layer having a thickness of 15 μm. Copper foil 3EC-VLP was thermocompression bonded to this adhesive layer with a hot press set at 350 ° C. for 30 minutes to obtain a copper clad laminate. The adhesive strength is shown in Table 1. Adhesive strength was insufficient.

使用銅箔:三井金属鉱業株式会社製、3EC−VLP(厚さ18μm)
使用ポリイミドフィルム:東レ・デュポン株式会社製、カプトン100H(厚さ25μm)
CTDA:1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
DCHM:4,4’−ジアミノジシクロヘキシルメタン
Copper foil used: 3EC-VLP (thickness 18 μm) manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.
Polyimide film used: Kapton 100H manufactured by Toray DuPont Co., Ltd. (thickness 25 μm)
CTDA: 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride
PMDA: pyromellitic dianhydride
ODA: 4,4'-diaminodiphenyl ether
DCHM: 4,4'-diaminodicyclohexylmethane

実施例3
実施例2で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をカプトン100Hフィルム上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させて、厚さ20μmの接着層を形成した。この接着層を有するカプトン100Hフィルムを接着性カバーレイフィルムとして用い、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(東洋紡績(株)製バイロフレックス)の回路面に接着層を介して重ね合わせ、280℃に設定した熱プレスで30分熱圧着した。カバーレイフィルムを有する銅張積層体は充分な可とう性を示し、さらに、回路面とカバーレイフィルムの密着性も良好であった。
Example 3
The polyimide organic solvent solution obtained in Example 2 was applied onto a Kapton 100H film to a thickness of 200 μm using a doctor blade. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form an adhesive layer having a thickness of 20 μm. Using the Kapton 100H film with this adhesive layer as an adhesive coverlay film, the adhesive layer is placed on the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Toyobo Co., Ltd. Viroflex) made of a copper layer / polyimide film. Then, they were thermocompression bonded with a hot press set at 280 ° C. for 30 minutes. The copper clad laminate having a coverlay film showed sufficient flexibility, and the adhesion between the circuit surface and the coverlay film was also good.

実施例4
実施例1で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜を、ステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤を蒸発させ、薄茶色のフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。得られた接着性ポリイミドフィルムを銅箔3EC−VLPとカプトン100Hフィルムの間に挟み、330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して、フレキシブル銅張積層体を得た。フレキシブル銅張積層体の接着強度を表3に示す。
Example 4
The polyimide organic solvent solution obtained in Example 1 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. The self-supporting film was fixed to a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to evaporate the solvent, thereby obtaining a light brown flexible polyimide film having a thickness of 30 μm. The obtained adhesive polyimide film was sandwiched between copper foil 3EC-VLP and Kapton 100H film, and thermocompression bonded with a hot press set at 330 ° C. for 30 minutes to obtain a flexible copper-clad laminate. Table 3 shows the adhesive strength of the flexible copper-clad laminate.

比較例2
比較例1で得られたポリアミド酸接着剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜を、ステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥機中、100℃で3時間、200℃で3時間、250℃で2時間、300℃で1時間、さらに400℃で1時間加熱して溶剤を蒸発させ、褐色でフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。得られた接着性ポリイミドフィルムを銅箔3EC−VLPとカプトン100Hフィルムの間に挟み、330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して、フレキシブル銅張積層体を得た。フレキシブル銅張積層体の接着強度を表3に示す。
Comparative Example 2
The polyamic acid adhesive solution obtained in Comparative Example 1 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film is fixed to a stainless steel fixing jig in a hot air dryer at 100 ° C. for 3 hours, 200 ° C. for 3 hours, 250 ° C. for 2 hours, 300 ° C. for 1 hour, and 400 ° C. for 1 hour. The solvent was evaporated by heating to obtain a brown and flexible adhesive polyimide film having a thickness of 30 μm. The obtained adhesive polyimide film was sandwiched between copper foil 3EC-VLP and Kapton 100H film, and thermocompression bonded with a hot press set at 330 ° C. for 30 minutes to obtain a flexible copper-clad laminate. Table 3 shows the adhesive strength of the flexible copper-clad laminate.

使用銅箔:三井金属鉱業株式会社製、3EC−VLP(厚さ18μm)
使用ポリイミドフィルム:東レ・デュポン株式会社製、カプトン100H(厚さ25μm)
CTDA:1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
Copper foil used: 3EC-VLP (thickness 18 μm) manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.
Polyimide film used: Kapton 100H manufactured by Toray DuPont Co., Ltd. (thickness 25 μm)
CTDA: 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride
PMDA: pyromellitic dianhydride
ODA: 4,4'-diaminodiphenyl ether

実施例5
実施例2で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜を、ステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤を蒸発させ、無色透明でフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。得られた接着性ポリイミドフィルムを接着性カバーレイフィルムとして用い、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面に、280℃に設定した熱プレスで30分熱圧着した。カバーレイフィルムを有する銅張積層体は充分な可とう性を示し、さらに、回路面とカバーレイフィルムの密着性も良好であった。
Example 5
The polyimide organic solvent solution obtained in Example 2 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film was fixed to a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to evaporate the solvent, thereby obtaining a colorless, transparent and flexible 30 μm thick adhesive polyimide film. Using the obtained adhesive polyimide film as an adhesive cover lay film, the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) made of a copper layer / polyimide film is heated for 30 minutes at 280 ° C. Thermocompression bonding was performed. The copper clad laminate having a coverlay film showed sufficient flexibility, and the adhesion between the circuit surface and the coverlay film was also good.

実施例6
実施例1で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤を蒸発させ、無色透明でフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。得られた接着性ポリイミドフィルムを接着性カバーレイフィルムとして用い、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面に、330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着した。カバーレイフィルムを有する銅張積層体は充分な可とう性を示し、さらに、回路面とカバーレイフィルムの密着性も良好であった。
Example 6
The polyimide organic solvent solution obtained in Example 1 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film was fixed on a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to evaporate the solvent, thereby obtaining a colorless, transparent and flexible adhesive polyimide film having a thickness of 30 μm. Using the obtained adhesive polyimide film as an adhesive coverlay film, the heat treatment set at 330 ° C. for 30 minutes on the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) composed of a copper layer / polyimide film. Thermocompression bonding was performed. The copper clad laminate having a coverlay film showed sufficient flexibility, and the adhesion between the circuit surface and the coverlay film was also good.

実施例7
実施例1で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をカバーコート剤として、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させ、厚さ30μmのカバーコート層を形成した。カバーコート層は充分な可とう性を示し、さらにプリント配線板との密着性も良好であった。
Example 7
Using the organic solvent solution of polyimide obtained in Example 1 as a cover coating agent, a thickness of 200 μm using a doctor blade on the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) made of a copper layer / polyimide film. It was applied. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form a cover coat layer having a thickness of 30 μm. The cover coat layer showed sufficient flexibility and also had good adhesion to the printed wiring board.

実施例8
実施例2で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をカバーコート剤として銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させ、厚さ30μmのカバーコート層を形成した。カバーコート層は充分な可とう性を示し、さらにプリント配線板との密着性も良好であった。
Example 8
Using a doctor blade on the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viloflex) made of a copper layer / polyimide film using the polyimide organic solvent solution obtained in Example 2 as a cover coating agent, a thickness of 200 μm It was applied to. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form a cover coat layer having a thickness of 30 μm. The cover coat layer showed sufficient flexibility and also had good adhesion to the printed wiring board.

比較例3
比較例1で得られたポリアミド酸接着剤溶液をカバーコート剤として、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。50℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥機中、100℃で3時間、200℃で3時間、250℃で2時間、300℃で1時間、さらに400℃で1時間の加熱してイミド化処理を行い、カバーコート層を形成した。カバーコート層はプリント配線板と密着せず、強度は不充分であった。
Comparative Example 3
Using the polyamic acid adhesive solution obtained in Comparative Example 1 as a cover coating agent, a doctor blade is used on the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) made of a copper layer / polyimide film to a thickness of 200 μm. It was applied. After drying on a hot plate at 50 ° C for 1 hour, further heating in a hot air dryer at 100 ° C for 3 hours, 200 ° C for 3 hours, 250 ° C for 2 hours, 300 ° C for 1 hour, and 400 ° C for 1 hour Then, an imidization treatment was performed to form a cover coat layer. The cover coat layer did not adhere to the printed wiring board, and the strength was insufficient.

比較例4
比較例1で得られたポリアミド酸接着剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥機中、100℃で3時間、200℃で3時間、250℃で2時間、300℃で1時間、さらに400℃で1時間加熱して溶剤を蒸発させ、褐色でフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。得られた接着性ポリイミドフィルムを接着性カバーレイフィルムとして用い、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面に、280℃に設定した熱プレスで30分熱圧着した。カバーレイフィルムはプリント配線板と密着せず、強度は不充分であった。
Comparative Example 4
The polyamic acid adhesive solution obtained in Comparative Example 1 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film is fixed on a stainless steel fixture and heated in a hot air dryer at 100 ° C. for 3 hours, 200 ° C. for 3 hours, 250 ° C. for 2 hours, 300 ° C. for 1 hour, and 400 ° C. for 1 hour. Then, the solvent was evaporated to obtain a brown and flexible adhesive polyimide film having a thickness of 30 μm. Using the obtained adhesive polyimide film as an adhesive cover lay film, the circuit surface of a two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) made of a copper layer / polyimide film is heated for 30 minutes at 280 ° C. Thermocompression bonding was performed. The coverlay film did not adhere to the printed wiring board, and the strength was insufficient.

実施例9
実施例4で得られた接着性ポリイミドフィルムを、ガラス布基材のエポキシ樹脂リジッドプリント配線板(富士通インターコネクトテクノロジーズ(株)製、NEMA:FR−4)の回路面と、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の回路面との間に挟み、330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して、フレキシブルリジッド銅張積層体を得た。このフレキシブルリジッド銅張積層体には気泡などの非接着部が無く接着状態は良好であった。
Example 9
The adhesive polyimide film obtained in Example 4 was obtained by using a glass cloth base epoxy resin rigid printed wiring board (manufactured by Fujitsu Interconnect Technologies Ltd., NEMA: FR-4) and a copper layer / polyimide film. The flexible rigid copper-clad laminate was obtained by sandwiching it between the two-layer flexible printed wiring board (Viroflex) and the circuit surface of the two-layered flexible printed wiring board and thermocompression bonding with a hot press set at 330 ° C. for 30 minutes. This flexible rigid copper-clad laminate did not have non-adhered portions such as bubbles and had a good adhesion state.

実施例10
実施例1で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をカバーコート剤として、ガラス布基材のエポキシ樹脂リジッドプリント配線板(NEMA:FR−4)の回路面上にドクターブレードを用いて200μmの厚さに塗布した。90℃のホットプレート上で1時間乾燥後、さらに熱風乾燥器中220℃で1時間乾燥させ、厚さ30μmのカバーコート層を形成した。カバーコート層とプリント配線板との密着性は良好であった。
Example 10
Using a polyimide organic solvent solution obtained in Example 1 as a cover coating agent, a thickness of 200 μm using a doctor blade on the circuit surface of an epoxy resin rigid printed wiring board (NEMA: FR-4) of a glass cloth substrate It was applied to. After drying on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour, it was further dried at 220 ° C. for 1 hour in a hot air dryer to form a cover coat layer having a thickness of 30 μm. Adhesion between the cover coat layer and the printed wiring board was good.

実施例11
実施例1で得られたポリイミドの有機溶剤溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で2時間加熱して溶剤を蒸発させ、薄茶色のフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを2枚得た。得られた接着性ポリイミドフィルムをカバーレイフィルムとして用い、銅層/ポリイミド系フィルムからなる2層型両面フレキシブルプリント配線板(バイロフレックス)の両回路面に、330℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して、銅張積層体を得た。この銅張積層体は充分な可とう性を示し、さらに、プリント配線板の回路面とカバーレイフィルムの密着性も良好であった。
得られたカバーレイ付き銅貼り積層体の両面に、スクリーン印刷法によりアクリル系レジストを塗布し、パターン露光、現像してレジストパターンを形成した。次にこの積層体を80℃のN−メチル−2−ピロリドン浴に10分間浸漬した後に、取り出して水洗した。次に積層体を40℃の水系レジスト剥離液浴に10分間浸漬した後に、取り出して水洗した。このウエットエッチングによりカバーレイの非マスク領域が良好な形状で除去されていた。
Example 11
The polyimide organic solvent solution obtained in Example 1 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. This self-supporting film was fixed to a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 2 hours to evaporate the solvent, thereby obtaining two light brown flexible 30 μm thick adhesive polyimide films. Using the obtained adhesive polyimide film as a cover lay film, heat treatment set at 330 ° C. for 30 minutes on both circuit surfaces of a two-layer double-sided flexible printed wiring board (Viroflex) consisting of a copper layer / polyimide film A copper-clad laminate was obtained by thermocompression bonding. This copper clad laminate exhibited sufficient flexibility, and the adhesion between the circuit surface of the printed wiring board and the coverlay film was also good.
An acrylic resist was applied to both surfaces of the obtained copper-clad laminate with coverlay by screen printing, and pattern exposure and development were performed to form a resist pattern. Next, this laminate was immersed in an N-methyl-2-pyrrolidone bath at 80 ° C. for 10 minutes, and then taken out and washed with water. Next, the laminate was immersed in an aqueous resist stripping solution bath at 40 ° C. for 10 minutes, and then taken out and washed with water. By this wet etching, the non-mask region of the coverlay was removed in a good shape.

実施例12
実施例2で得られたポリイミド溶液をガラス板に塗布し、90℃のホットプレート上で1時間加熱して溶剤を蒸発させた後、ガラス板から剥がして自立膜を得た。この自立膜をステンレス製の固定治具に固定して熱風乾燥器中220℃で1時間加熱して溶剤をさらに蒸発させ、無色透明でフレキシブルな膜厚30μmの接着性ポリイミドフィルムを得た。次に、得られたポリイミドフィルムを5mol/Lのヒドラジン、1mol/Lの水酸化ナトリウムを含む水溶液に25℃にて1分間浸漬し、水洗した。このフィルムを乾燥後、高周波スパッタ装置に入れ、Arガス存在下、0.1Pa、基板温度100℃、電力密度60kW/m、印加電圧2kVにて20分間銅をスパッタリングし、ポリイミドフィルム上に厚み0.6μmの銅薄膜を形成させた。
さらに、この銅薄膜つきポリイミドフィルムを硫酸銅を100g/L、98%硫酸を120g/L含む水溶液からなる銅めっき浴に浸漬し、1A/dmの電流密度で、25℃で20分間電気めっきを行った。フィルム上に形成されたスパッタリング銅膜と電気銅めっき膜の合計の厚みは8μmであった。
この様にして得られたポリイミド層/銅層の積層体のポリイミド面に、カプトン100Hフィルムを重ね合わせた上で、280℃に設定した熱プレスで30分熱圧着して銅張積層体を得た。ポリイミド層とカプトンフィルムの接着強度は1.43kgf/cmであり、接着性は良好であった。
Example 12
The polyimide solution obtained in Example 2 was applied to a glass plate, heated on a hot plate at 90 ° C. for 1 hour to evaporate the solvent, and then peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. The self-supporting film was fixed on a stainless steel fixing jig and heated in a hot air dryer at 220 ° C. for 1 hour to further evaporate the solvent, thereby obtaining a colorless and transparent adhesive polyimide film having a thickness of 30 μm. Next, the obtained polyimide film was immersed in an aqueous solution containing 5 mol / L hydrazine and 1 mol / L sodium hydroxide at 25 ° C. for 1 minute and washed with water. After drying this film, it is put into a high-frequency sputtering device, and copper is sputtered for 20 minutes at 0.1 Pa, substrate temperature of 100 ° C., power density of 60 kW / m 2 , and applied voltage of 2 kV in the presence of Ar gas, and the thickness is deposited on the polyimide film. A 0.6 μm copper thin film was formed.
Furthermore, this polyimide film with a copper thin film was immersed in a copper plating bath made of an aqueous solution containing 100 g / L of copper sulfate and 120 g / L of 98% sulfuric acid, and electroplated at a current density of 1 A / dm 2 at 25 ° C. for 20 minutes. Went. The total thickness of the sputtering copper film and the electrolytic copper plating film formed on the film was 8 μm.
After superimposing a Kapton 100H film on the polyimide surface of the polyimide layer / copper layer laminate obtained in this way, a copper-clad laminate was obtained by thermocompression with a hot press set at 280 ° C. for 30 minutes. It was. The adhesive strength between the polyimide layer and the Kapton film was 1.43 kgf / cm 2 , and the adhesiveness was good.

Claims (16)

少なくとも1のポリイミド層、少なくとも1層の絶縁性基材、および、少なくとも1層の金属層を含む金属張積層体であって、該ポリイミド層が、一般式Iで示される繰り返し単位を有するポリイミドからなることを特徴とする金属張積層体。

(式中、Rはシクロヘキサンから誘導される4価の基である。Φは

または、

で表される2価の基である。)
A metal-clad laminate comprising at least one polyimide layer, at least one insulating substrate, and at least one metal layer, wherein the polyimide layer is made of polyimide having a repeating unit represented by the general formula I A metal-clad laminate characterized by comprising:

(In the formula, R is a tetravalent group derived from cyclohexane.

Or

It is a bivalent group represented by these. )
前記ポリイミド層が、前記絶縁性基材、前記金属層、または、その双方の表面上に形成されていることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer is formed on the surface of the insulating substrate, the metal layer, or both. 前記ポリイミド層が、前記絶縁性基材と前記金属層の間に配置されていることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer is disposed between the insulating substrate and the metal layer. 前記ポリイミド層が、前記ポリイミドの有機溶剤溶液を前記絶縁性基材、前記金属層、または、その双方の表面に塗布し、溶剤を蒸発させることにより形成された接着層であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の金属張積層体。 The polyimide layer is an adhesive layer formed by applying an organic solvent solution of the polyimide to the surface of the insulating substrate, the metal layer, or both, and evaporating the solvent. The metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 3. 前記ポリイミド層が、前記ポリイミドからなる接着性ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer is an adhesive polyimide film made of the polyimide. 前記ポリイミド層が、前記金属張積層体の表面層であることを特徴とする請求項1または2記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer is a surface layer of the metal-clad laminate. 前記ポリイミド層が、前記ポリイミドの有機溶剤溶液を塗布し、溶剤を蒸発させることにより形成されたカバーコート層であることを特徴とする請求項6記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 6, wherein the polyimide layer is a cover coat layer formed by applying an organic solvent solution of the polyimide and evaporating the solvent. 前記ポリイミド層が、前記ポリイミドからなるカバーレイフィルムであることを特徴とする請求項6記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 6, wherein the polyimide layer is a coverlay film made of the polyimide. 前記ポリイミド層が、非プロトン性極性有機溶媒をエッチャントとして用いたウェットエッチング法によりパターン化されていることを特徴とする請求項6記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 6, wherein the polyimide layer is patterned by a wet etching method using an aprotic polar organic solvent as an etchant. 前記ポリイミド層が、前記絶縁性基材と前記金属層の間に配置されており、かつ、前記ポリイミドの有機溶剤溶液を塗布し、溶剤を蒸発させることにより形成された接着層、または、前記ポリイミドからなる接着性ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The polyimide layer is disposed between the insulating substrate and the metal layer, and an adhesive layer formed by applying an organic solvent solution of the polyimide and evaporating the solvent, or the polyimide The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the metal-clad laminate is an adhesive polyimide film. 前記ポリイミド層が、前記絶縁性基材と前記金属層からなるプリント配線板の回路面および/または非回路面上に配置されていることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer is disposed on a circuit surface and / or a non-circuit surface of a printed wiring board composed of the insulating base and the metal layer. 前記ポリイミド層の上に、絶縁性基材がさらに配置されていることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein an insulating base material is further disposed on the polyimide layer. 前記ポリイミド層の上に、プリント配線板さらに配置されていることを特徴とする請求項11記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 11, further comprising a printed wiring board disposed on the polyimide layer. 前記ポリイミドのガラス転移温度が250〜320℃の範囲であることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide has a glass transition temperature in the range of 250 to 320 ° C. 前記ポリイミドの10GHzにおける誘電率が3.2以下であることを特徴とする請求項1記載の金属張積層体。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide has a dielectric constant at 10 GHz of 3.2 or less. 前記ポリイミド層が前記ポリイミドの有機溶剤溶液を前記絶縁性基材、前記金属層、またはその双方の表面に塗布し乾燥することにより形成されるものであり、該有機溶剤溶液がジアミン系成分の有機溶剤溶液にテトラカルボン酸成分を添加し、またはテトラカルボン酸成分の有機溶剤溶液にジアミン系成分を添加し80℃以下の温度で反応させることにより得られる反応中間体のポリアミド酸溶液に共沸脱水溶剤を添加した後、生成水を共沸により系外へ除きつつ脱水反応を行うことにより得られるものである請求項1記載の金属張積層体 The polyimide layer is formed by applying an organic solvent solution of the polyimide to the surface of the insulating substrate, the metal layer, or both, and drying, and the organic solvent solution is an organic diamine component. Addition of tetracarboxylic acid component to solvent solution, or addition of diamine component to organic solvent solution of tetracarboxylic acid component and reaction at a temperature of 80 ° C or less, azeotropic dehydration to polyamic acid solution of reaction intermediate obtained The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the metal-clad laminate is obtained by performing a dehydration reaction after removing the generated water from the system azeotropically after adding the solvent .
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