JP4847654B2 - Gas detection device and gas detection system - Google Patents

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JP4847654B2 JP2001271196A JP2001271196A JP4847654B2 JP 4847654 B2 JP4847654 B2 JP 4847654B2 JP 2001271196 A JP2001271196 A JP 2001271196A JP 2001271196 A JP2001271196 A JP 2001271196A JP 4847654 B2 JP4847654 B2 JP 4847654B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス検知装置およびガス検知システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
ガス検知装置のある種のものとして、例えば壁などに固定される固定側ユニットと、当該固定側ユニットに着脱自在に保持される検知部ユニットとを備えてなるものが知られている。
【0003】
このようなガス検知装置においては、例えば部品交換などのメンテナンスが必要とされるセンサ部などの構成要素を検知部ユニットに設けておくことにより、当該ガス検知装置の全体を設置位置から取り外すことなく、検知部ユニットのみを取り外すことによって目的とするメンテナンスを行うことができるため、高いメンテナンス性が得られる。
【0004】
一方、例えば被検知ガスの濃度が一定のレベル以上となったときに、外部機器に対するガス検知信号(以下、「外部機器用ガス検知信号」ともいう。)を発信する外部制御回路部が、例えばリレーコイルが励磁されている正常動作状態から消磁されることによってリレー接点が切替られるリレーよりなる信号伝達手段を備えてなり、この信号伝達手段の作用に基づいて外部機器用ガス検知信号を発信する構成のガス検知装置が知られているが、このようなガス検知装置において、検知部ユニットを着脱自在に構成する場合には、下記のような問題が生ずる。
【0005】
すなわち、検知部ユニットに設けられている構成要素のメンテナンスを行う場合においては、固定側ユニットから検知部ユニットを離脱させるときに、検知部ユニットの電源スイッチ(以下、「検知部ユニットスイッチ」ともいう。)をOFF状態としなければならないが、この操作により、リレーコイルが消磁される結果、誤って外部機器用ガス検知信号が発せられてしまう。
【0006】
実際に、例えば複数のガス検知装置が共通の外部機器に接続されているガス検知システムにおいては、或るガス検知装置に係る検知ユニットスイッチをOFF状態としたことに起因する外部機器用ガス検知信号によって外部機器が作動するという誤動作がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、着脱可能なユニットを備えた挿抜式タイプのものであって、外部機器に対して誤信号を発することのないガス検知装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、メンテナンス性に優れ、高い信頼のあるガス検知を行うことのできるガス検知システムを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のガス検知装置は、固定して設置される固定側ユニットと、当該固定側ユニットに着脱自在に保持される検知部ユニットとを備えてなり、
前記検知部ユニットは、当該検知部ユニットをON状態またはOFF状態とする検知部ユニットスイッチを有するものであり、
前記固定側ユニットは、電力導入部と、通電状態において正常動作状態となる信号伝達手段を備え、ガス検知信号が発せられることによって当該信号伝達手段の通電状態が解除されたときに外部機器に対するガス検知信号を発信する外部制御回路部とを有し、
前記検知部ユニットは、ガス検知信号を発信するガス濃度検知部と、当該検知部ユニットの各構成要素の動作状態を管理する制御部とを有しており、
固定側ユニットに検知部ユニットが装着された状態において、電力導入部を介して導入された電力が、固定側ユニットにおける外部制御回路部に供給される経路から分岐した分岐経路を介して検知部ユニットにおける制御部に供給されることを特徴とする。
【0009】
本発明のガス検知装置においては、外部制御回路部における信号伝達手段が、リレーコイルが励磁されることによって正常動作状態とされるリレーよりなり、当該リレーコイルが消磁されたときに外部機器に対するガス検知信号が発信されるものであってもよい。
また、外部制御回路部における信号伝達手段が、発光ダイオードが発光することによって正常動作状態とされる光スイッチよりなり、当該発光ダイオードが消灯したときに外部機器に対するガス検知信号が発信されものであってもよい。
【0010】
本発明のガス検知システムは、複数のガス検知装置が共通の外部機器に接続されてなるガス検知システムにおいて、
用いられるガス検知装置の少なくとも1つが請求項1〜請求項3のいずれかに記載のガス検知装置であることを特徴とする。
【0011】
【作用】
本発明のガス検知装置によれば、検知部ユニットスイッチをOFF状態とした場合でも、固定側ユニットには専用の電力供給用経路によって駆動電力の供給が維持されるため、外部制御回路部における信号伝達手段の通電状態が解除されずに当該信号伝達手段が正常動作状態を維持する結果、誤って外部機器に対するガス検知信号(外部機器用ガス検知信号)が発せられることがない。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1および図2は、本発明のガス検知装置の構成の一例を示す説明図であって、図1は、検知部ユニットが固定側ユニットに装着されている状態を示しており、図2は、検知部ユニットが固定側ユニットから離脱されている状態を示している。図3は、この例のガス検知装置に係る各構成要素の関係を説明するためのブロック図である。
このガス検知装置は、工場、その他の建物の壁などに固定される固定側ユニット10と、当該固定側ユニット10に着脱自在に保持される検知部ユニット20とを備えてなる。
この例においては、検知部ユニット20が、固定側ユニット10にスライド装着機構によって係合されて装着され、ねじによって固定される構成を有している。
【0013】
固定側ユニット10は、底部11Aおよび当該底部11Aに垂直な方向に伸びるよう連続する、例えばねじ用孔などを有する側部11Bよりなるシャーシ11と、当該シャーシ11の側部11Bにおける内面側に配置され、例えば換気扇などの外部機器に対して外部機器用ガス検知信号を発信する外部制御回路部30と、当該シャーシ11の底部11Aに設けられた、駆動電力を導入するための電力導入部15と、当該電力導入部15に隣接した位置に設けられたガス入出部13とを備えている。
この例においては、電力導入部15に、駆動電力が導入されることによってON状態とされるガス検知装置に係る電源スイッチが設けられている。
【0014】
そして、この固定側ユニット10は、電力導入部15を介して導入された駆動電力を検知部ユニット20に供給するための電力用接続部15Aと、被検知ガス濃度が一定のレベルである危険濃度レベルを超える場合に検知部ユニット20から発信されるガス検知信号を当該固定側ユニット10に伝達するためのガス検知信号用接続部18と、外部制御回路部30から発信される外部機器用ガス検知信号を外部機器に伝達するための接点19とを有している。
【0015】
外部制御回路部30は、リレーコイル32およびリレー接点を備えたリレーよりなる信号伝達手段と、例えば図4に示す構成のリレー制御回路35とを有するものである。
信号伝達手段であるリレーは、リレーコイル32が励磁されることによって正常動作状態を維持するものである。
リレー制御回路35は、トランジスタスイッチ37を備えてなるものである。
【0016】
外部制御回路部30においては、ガス検知信号の発信がないときには、リレー制御回路35のトランジスタスイッチ37が導通してジャンパー38が接点38aに通電されてリレーコイル32が励磁され、これにより、リレーが正常動作状態を維持する。この状態において、外部制御回路部30から外部機器用ガス検知信号が発信されることはない。
一方、ガス検知信号の発信があるときには、トランジスタスイッチ37が導通されないのでリレーコイル32が消磁され、これにより、正常動作状態にあるリレーのリレー接点が切り替えられることにより、外部制御回路部30から外部機器用ガス検知信号が発信される。
【0017】
検知部ユニット20は、操作パネルを有し、この操作パネルを介して入力される入力情報に基づいて検知部ユニット20の各構成要素に適宜の指令信号を発信することなどにより、当該各構成要素の動作状態を管理する制御部21と、固定側ユニット10のガス入出部13およびガス流路用接続部27を介して被検知ガスを導入および排出するために作用するポンプ部25と、導入された被検知ガスに基づいて検知部信号を発信するセンサ部26と、このセンサ部26からの検知部信号に基づいて被検知ガス濃度を算出し、この被検知ガス濃度が一定レベルを超えたときにはガス検知信号を発信するガス濃度検知部22とを備えており、これらの構成要素のすべてが検知部ユニット本体20Aに一体的に支持されている。
【0018】
この検知部ユニット20は、更に、固定側ユニット10の電力導入部15から導入された駆動電力を当該検知部ユニット20に供給するための電力用接続部24と、被検知ガス濃度を表示するための表示部28と、ガス濃度検知部22から発信されるガス検知信号を固定側ユニット10の外部制御回路部30に伝達するための、例えば端子板よりなるガス検知信号用接続部22Aとを有している。
【0019】
制御部21には、検知部ユニット20を駆動させるためのスイッチであって、操作することによってON状態あるいはOFF状態とされる検知部ユニットスイッチが設けられている。
【0020】
センサ部26には、例えば半導体式センサ、定電位電解式センサ、隔膜ガルバニ電池式センサ、熱粒子化式センサなどの種々のセンサを、被検知ガスの種類に応じて適宜に用いることができる。
従って、ガス検知装置は、具体的に、例えばメタンガス、水素ガス、酸素ガス、一酸化炭素ガス、硫化水素ガス、二酸化硫黄ガス、一酸化窒素ガス、二酸化窒素ガス、ホスゲンガス、フロンガス、アンモニアガス、シランガスなどの種々のガスを検知対象のガス(被検知ガス)とすることができる。
【0021】
このガス検知装置においては、検知部ユニット20の構成要素である、センサ部26およびポンプ部25の各々は、メンテナンスが必要なものである。
【0022】
検知部ユニット20が固定側ユニット10に装着されることにより、固定側ユニット10の電力用接続部15Aと、検知部ユニット20の電力用接続部24とが電気的に接続され、これによって電力導入部15から制御部21に直接、駆動電力を供給するための専用の分岐電力供給路16Bが形成される。
従って、電力導入部15を介して導入された駆動電力は、電力供給経路16の主電力供給路16Aを介して外部制御回路部30に供給されると共に、当該主電力供給路16Aから分岐した分岐電力供給路16Bを介して制御部21に供給される。
【0023】
また、固定側ユニット10のガス入出部13と、検知部ユニット20のガス流路用接続部27とが接続されることにより、ガス流路が形成される。
図2において、検知部ユニット20における被検知ガスの流れを矢印で示すと共に、図3において、ガス検知装置の各構成要素間における被検知ガスの流れを点線で示す。
【0024】
そして、固定側ユニット10のガス検知信号用接続部18と、検知部ユニット20のガス検知信号用接続部22Aとが電気的に接続されることによってガス検知信号を伝達するためのガス検知信号経路23が形成され、これにより、ガス濃度検知部22と外部制御回路部30とが電気的に接続された状態が達成される。
【0025】
このような構成を有するガス検知装置によれば、下記のようにしてガス検知動作が行われる。
ガス検知装置は、固定側ユニット10に検知部ユニット20が装着され、電力導入部15を介して駆動電力が導入されることによって電源スイッチがON状態とされる共に、検知部ユニット20に係る検知部ユニットスイッチをON状態とすることによってガス検知動作が行われ、このガス検知動作中においては、ポンプ部25の作用により、ガス入出部13を介して導入された被検知ガスがセンサ部26に対して供給される。
【0026】
そして、供給された被検知ガスに基づいてセンサ部26から発信された検知部信号を受信したガス濃度検知部22においては、この検知部信号に基づいて被検知ガス濃度が算出され、その値が表示部28に表示される。
また、ガス濃度検知部22においては、得られる被検知ガス濃度が一定のレベルである危険濃度レベルを超える場合には、ガス検知信号が発信される。
【0027】
このように、ガス濃度検知部22からガス検知信号が発信されると、外部制御回路部30におけるリレーコイルが消磁され、これにより、当該外部制御回路部30から外部機器用ガス検知信号が発せられる。
【0028】
以上のようなガス検知装置によれば、電力導入部15を介して導入された駆動電力が、固定側ユニット10の外部制御回路部30に駆動電力を供給するための主電力供給路16Aから分岐した分岐電力供給路16Bを介して検知部ユニット20の制御部21に供給される構成を有しているため、検知部ユニットスイッチがOFF状態とされた場合には、分岐電力供給路16Bは遮断された状態となるが、主電力供給路16Aは遮断されることがなく、これにより、主電力供給路16Aによって外部制御回路部30には駆動電力が供給されることから、当該外部制御回路部30におけるリレーコイル32が消磁されず、リレーが正常状態を維持する結果、誤って外部機器用ガス検知信号が発せられることがない。
【0029】
従って、検知部ユニットスイッチの状態に制限されることなく、固定側ユニット10から検知部ユニット20を弊害なく離脱させることができることから、検知部ユニット20のみを取り外すことによって目的とするメンテナンスを行うことができるため、高いメンテナンス性が得られる。
【0030】
また、検知部ユニット20のメンテナンス中においても、固定側ユニット10に係る構成要素の各々の動作を継続することができるため、メンテナンス終了直後のガス検知装置の立ち上げに要する時間を短縮することができる。
【0031】
このガス検知装置は、小型化することができ、実際上、例えば固定側ユニット10におけるシャーシ11の側部11Bの幅が70mmとなる大きさとすることができる。
【0032】
このガス検知装置は、例えば集中管理を行うためなどに用いられる、各々、異なる種類のガスを被検知ガスとする複数のガス検知装置が共通の外部機器に接続されてなるガス検知システムを構成するガス検知装置として好適に用いることができる。
このようなガス検知装置を複数備えてなるガス検知システムによれば、或る種のガスを検知するためのガス検知装置の検知部ユニットに係る検知部ユニットスイッチをOFF状態としたことに起因して外部機器用ガス検知信号が発せられることを防ぐことができるため、他のガス検知装置がガス検知動作中であっても、当該ガス検知装置のみの検知部ユニットを取り外し、メンテナンスを行うことができる。従って、優れたメンテナンス性を得ることができると共に、高い信頼のあるガス検知を行うことができる。
【0033】
本発明のガス検知装置およびガス検知システムは、例えば半導体製造工程において好適に用いることができる。
【0034】
本発明においては、種々の変更を加えることができる。
例えば、ガス検知装置においては、固定側ユニットにおける外部制御回路部の信号伝達手段が発光ダイオードが発光することによって正常動作状態とされる、例えばフォトカプラーなどの光スイッチよりなり、当該発光ダイオードが消灯したときに外部機器用ガス検知信号が発信される構成のものであってもよい。
このような構成のガス検知装置においても、信号伝達手段がリレーよりなるガス検知装置と同様に、外部機器に対して誤信号を発することがない、という作用効果を得ることができる。
【0035】
また、固定側ユニットが電力導入部と、外部制御回路部とを有し、また、検知部ユニットが制御部を有するものであれば、各ユニットを構成する構成要素は限定されるものではない。
【0036】
【発明の効果】
本発明のガス検知装置によれば、検知部ユニットスイッチをOFF状態とした場合でも、固定側ユニットには専用の電力供給用経路によって駆動電力の供給が維持されるため、外部制御回路部における信号伝達手段の通電状態が解除されずに当該信号伝達手段が正常動作状態を維持する結果、誤って外部機器に対するガス検知信号が発せられることがない。
【0037】
また、本発明のガス検知システムによれば、上記の特性を有するガス検知装置の検知部ユニットに係る検知部ユニットスイッチをOFF状態としたことに起因して外部機器が誤動作することを防ぐことができるため、優れたメンテナンス性を得ることができると共に、高い信頼のあるガス検知を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス検知装置の構成の一例を示す説明図であって、検知部ユニットが固定側ユニットに装着されている状態を示す説明図である。
【図2】 図1のガス検知装置において検知部ユニットが固定側ユニットから離脱されている状態を示す説明図である。
【図3】図1のガス検知装置に係る各構成要素の関係を説明するためのブロック図である。
【図4】図1のガス検知装置に係る外部制御回路部におけるリレー制御回路を示す説明用回路図である。
【符号の説明】
10 固定側ユニット
11 シャーシ
11A 底部
11B 側部
13 ガス入出部
15 電力導入部
15A 電力用接続部
16 電力供給経路
16A 主電力供給路
16B 分岐電力供給路
18 ガス検知信号用接続部
19 接点
20 検知部ユニット
21 制御部
22 ガス濃度検知部
22A ガス検知信号用接続部
23 ガス検知信号経路
24 電力用接続部
25 ポンプ部
26 センサ部
27 ガス流路用接続部
28 表示部
30 外部制御回路部
32 リレーコイル
35 リレー制御回路
37 トランジスタスイッチ
38 ジャンパー
38a 接点
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gas detection device and a gas detection system.
[0002]
[Prior art]
As a certain type of gas detection device, for example, a gas detection device including a fixed side unit fixed to a wall and a detection unit detachably held by the fixed side unit is known.
[0003]
In such a gas detection device, for example, by providing components such as a sensor unit that requires maintenance such as component replacement in the detection unit, the entire gas detection device can be removed from the installation position. Since the intended maintenance can be performed by removing only the detection unit, high maintainability can be obtained.
[0004]
On the other hand, for example, when the concentration of the gas to be detected reaches a certain level or more, an external control circuit unit that transmits a gas detection signal to the external device (hereinafter also referred to as “gas detection signal for external device”), for example, A signal transmission means comprising a relay whose relay contact is switched by degaussing from a normal operating state in which the relay coil is excited is provided, and a gas detection signal for external equipment is transmitted based on the action of the signal transmission means. A gas detection device having a configuration is known. However, in such a gas detection device, when the detection unit is configured to be detachable, the following problems occur.
[0005]
That is, when performing maintenance of the components provided in the detection unit, when the detection unit is detached from the fixed unit, the power switch of the detection unit (hereinafter also referred to as “detection unit switch”). )) Must be turned off, but this operation causes the relay coil to be demagnetized, and as a result, an external device gas detection signal is erroneously issued.
[0006]
Actually, for example, in a gas detection system in which a plurality of gas detection devices are connected to a common external device, a gas detection signal for an external device resulting from turning off a detection unit switch related to a certain gas detection device There is a malfunction that the external device is activated by.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made based on the circumstances as described above, and the object thereof is a pluggable type equipped with a detachable unit, and does not generate an error signal to an external device. The object is to provide a gas detection device.
Another object of the present invention is to provide a gas detection system that has excellent maintainability and can perform highly reliable gas detection.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The gas detector of the present invention comprises a fixed side unit that is fixedly installed, and a detector unit that is detachably held by the fixed side unit,
The detection unit has a detection unit switch that turns the detection unit on or off.
The fixed-side unit includes a power introduction unit and a signal transmission unit that is in a normal operation state in an energized state. When the gas detection signal is generated and the energized state of the signal transmission unit is released, An external control circuit unit for transmitting a detection signal,
The detection unit has a gas concentration detection unit that transmits a gas detection signal, and a control unit that manages the operating state of each component of the detection unit.
In a state where the detection unit is mounted on the fixed side unit, the power introduced through the power introduction unit is detected via the branch path branched from the path supplied to the external control circuit unit in the fixed side unit. It is supplied to the control part in.
[0009]
In the gas detection device of the present invention, the signal transmission means in the external control circuit unit is composed of a relay that is brought into a normal operation state when the relay coil is excited, and the gas to the external device when the relay coil is demagnetized. A detection signal may be transmitted.
Further, the signal transmission means in the external control circuit unit is an optical switch that is brought into a normal operation state when the light emitting diode emits light, and a gas detection signal is transmitted to the external device when the light emitting diode is turned off. May be.
[0010]
The gas detection system of the present invention is a gas detection system in which a plurality of gas detection devices are connected to a common external device.
At least one of the gas detection devices used is the gas detection device according to any one of claims 1 to 3.
[0011]
[Action]
According to the gas detection device of the present invention, even when the detection unit switch is in the OFF state, the drive power supply is maintained by the dedicated power supply path to the fixed side unit. As a result of the signal transmission means maintaining the normal operation state without releasing the energized state of the transmission means, a gas detection signal (external device gas detection signal) for the external device is not erroneously issued.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
1 and 2 are explanatory views showing an example of the configuration of the gas detection device of the present invention. FIG. 1 shows a state in which the detection unit is mounted on the fixed side unit, and FIG. FIG. 4 shows a state where the detection unit is detached from the fixed unit. FIG. 3 is a block diagram for explaining the relationship between the components according to the gas detector of this example.
This gas detection apparatus includes a fixed side unit 10 fixed to a wall of a factory or other building, and a detection unit 20 that is detachably held by the fixed side unit 10.
In this example, the detection unit 20 is mounted on the stationary unit 10 by being engaged by a slide mounting mechanism, and is fixed by a screw.
[0013]
The fixed-side unit 10 is arranged on the inner surface side of the chassis 11 composed of a bottom 11A and a side 11B having, for example, a screw hole and the like, extending continuously in a direction perpendicular to the bottom 11A, and the side 11B of the chassis 11. For example, an external control circuit unit 30 that transmits an external device gas detection signal to an external device such as a ventilation fan, and a power introduction unit 15 that is provided on the bottom 11A of the chassis 11 and that introduces drive power And a gas inlet / outlet part 13 provided at a position adjacent to the electric power introduction part 15.
In this example, the power introduction unit 15 is provided with a power switch related to a gas detection device that is turned on when drive power is introduced.
[0014]
The fixed unit 10 includes a power connection unit 15A for supplying the driving power introduced through the power introduction unit 15 to the detection unit 20, and a dangerous concentration at which the detected gas concentration is a constant level. Gas detection signal connection unit 18 for transmitting a gas detection signal transmitted from detection unit 20 to the fixed unit 10 when the level is exceeded, and external device gas detection transmitted from external control circuit unit 30 And a contact 19 for transmitting a signal to an external device.
[0015]
The external control circuit unit 30 includes a signal transmission means including a relay having a relay coil 32 and a relay contact, and a relay control circuit 35 having a configuration shown in FIG. 4, for example.
The relay which is a signal transmission means maintains a normal operation state when the relay coil 32 is excited.
The relay control circuit 35 includes a transistor switch 37.
[0016]
In the external control circuit unit 30, when no gas detection signal is transmitted, the transistor switch 37 of the relay control circuit 35 is turned on, the jumper 38 is energized to the contact 38a, and the relay coil 32 is excited, whereby the relay is activated. Maintain normal operating conditions. In this state, the external device gas detection signal is not transmitted from the external control circuit unit 30.
On the other hand, when the gas detection signal is transmitted, since the transistor switch 37 is not turned on, the relay coil 32 is demagnetized, thereby switching the relay contact of the relay in a normal operation state, thereby causing the external control circuit unit 30 to externally switch. An instrument gas detection signal is transmitted.
[0017]
The detection unit 20 has an operation panel, and by transmitting appropriate command signals to the respective components of the detection unit 20 based on input information input through the operation panel, the respective components A control unit 21 that manages the operation state of the gas generator, a pump unit 25 that operates to introduce and discharge the gas to be detected through the gas inlet / outlet unit 13 and the gas flow path connection unit 27 of the fixed side unit 10, and A sensor unit 26 for transmitting a detection unit signal based on the detected gas and a detected gas concentration based on the detection unit signal from the sensor unit 26, and when the detected gas concentration exceeds a certain level The gas concentration detection part 22 which transmits a gas detection signal is provided, and all these components are integrally supported by 20 A of detection part unit main bodies.
[0018]
The detection unit 20 further displays a power connection unit 24 for supplying driving power introduced from the power introduction unit 15 of the fixed side unit 10 to the detection unit 20 and the detected gas concentration. Display unit 28 and a gas detection signal connection unit 22A made of, for example, a terminal plate for transmitting a gas detection signal transmitted from the gas concentration detection unit 22 to the external control circuit unit 30 of the fixed unit 10. is doing.
[0019]
The control unit 21 is provided with a detection unit switch that is a switch for driving the detection unit 20 and is turned on or off by operation.
[0020]
Various sensors such as a semiconductor sensor, a constant potential electrolytic sensor, a diaphragm galvanic cell sensor, and a thermal particleization sensor can be appropriately used for the sensor unit 26 according to the type of gas to be detected.
Therefore, the gas detection device specifically includes, for example, methane gas, hydrogen gas, oxygen gas , carbon monoxide gas, hydrogen sulfide gas, sulfur dioxide gas, nitrogen monoxide gas, nitrogen dioxide gas, phosgene gas, Freon gas, ammonia gas, silane gas. Various gases such as those described above can be used as detection target gases (detected gases).
[0021]
In this gas detection device, each of the sensor unit 26 and the pump unit 25 which are components of the detection unit 20 needs maintenance.
[0022]
By attaching the detection unit 20 to the fixed unit 10, the power connection 15 </ b> A of the fixed unit 10 and the power connection 24 of the detection unit 20 are electrically connected, thereby introducing power. A dedicated branch power supply path 16B for supplying drive power directly from the unit 15 to the control unit 21 is formed.
Accordingly, the drive power introduced through the power introduction unit 15 is supplied to the external control circuit unit 30 through the main power supply path 16A of the power supply path 16, and is branched from the main power supply path 16A. It is supplied to the control unit 21 via the power supply path 16B.
[0023]
Further, the gas flow path is formed by connecting the gas inlet / outlet part 13 of the fixed unit 10 and the gas flow path connecting part 27 of the detection unit 20.
In FIG. 2, the flow of the gas to be detected in the detection unit 20 is indicated by an arrow, and in FIG. 3, the flow of the gas to be detected between each component of the gas detection device is indicated by a dotted line.
[0024]
And the gas detection signal path | route for transmitting the gas detection signal by connecting the gas detection signal connection part 18 of the stationary unit 10 and the gas detection signal connection part 22A of the detection part unit 20 electrically. 23 is formed, thereby achieving a state in which the gas concentration detection unit 22 and the external control circuit unit 30 are electrically connected.
[0025]
According to the gas detection device having such a configuration, the gas detection operation is performed as follows.
In the gas detection device, the detection unit 20 is mounted on the fixed side unit 10 and the power switch is turned on by introducing drive power through the power introduction unit 15. The gas detection operation is performed by setting the unit switch to the ON state. During this gas detection operation, the gas to be detected introduced to the sensor unit 26 through the gas inlet / outlet unit 13 by the action of the pump unit 25. Supplied against.
[0026]
And in the gas concentration detection part 22 which received the detection part signal transmitted from the sensor part 26 based on the supplied to-be-detected gas, a to-be-detected gas density | concentration is calculated based on this detection part signal, and the value is set. It is displayed on the display unit 28.
In addition, the gas concentration detection unit 22 transmits a gas detection signal when the obtained concentration of the gas to be detected exceeds a certain dangerous concentration level.
[0027]
As described above, when the gas detection signal is transmitted from the gas concentration detection unit 22, the relay coil in the external control circuit unit 30 is demagnetized, whereby the external device gas detection signal is generated from the external control circuit unit 30. .
[0028]
According to the gas detector as described above, the driving power introduced through the power introduction unit 15 branches from the main power supply path 16A for supplying the driving power to the external control circuit unit 30 of the fixed side unit 10. The branch power supply path 16B is cut off when the detection unit switch is turned off because the control unit 21 of the detection unit 20 is supplied via the branched power supply path 16B. However, the main power supply path 16A is not cut off, and the driving power is supplied to the external control circuit unit 30 by the main power supply path 16A. As a result of the relay coil 32 in 30 being not demagnetized and maintaining the relay in a normal state, the external device gas detection signal is not erroneously issued.
[0029]
Accordingly, the detection unit 20 can be detached from the stationary unit 10 without any problem without being restricted by the state of the detection unit switch , and the intended maintenance can be performed by removing only the detection unit 20. Therefore, high maintainability can be obtained.
[0030]
Further, since the operation of each component related to the stationary unit 10 can be continued even during the maintenance of the detection unit 20, the time required to start up the gas detection device immediately after the maintenance is completed can be shortened. it can.
[0031]
This gas detection device can be reduced in size, and in practice, for example, the width of the side portion 11B of the chassis 11 in the fixed unit 10 can be set to a size of 70 mm.
[0032]
This gas detection device is used for centralized management, for example, and constitutes a gas detection system in which a plurality of gas detection devices each using a different type of gas are connected to a common external device. It can be suitably used as a gas detection device.
According to the gas detection system including a plurality of such gas detection devices, the detection unit switch related to the detection unit of the gas detection device for detecting a certain kind of gas is turned off. Therefore, even if another gas detection device is in the gas detection operation, the detection unit of the gas detection device alone can be removed and maintenance can be performed. it can. Therefore, excellent maintainability can be obtained, and highly reliable gas detection can be performed.
[0033]
The gas detection device and gas detection system of the present invention can be suitably used, for example, in a semiconductor manufacturing process.
[0034]
Various modifications can be made in the present invention.
For example, in the gas detector, the signal transmission means of the external control circuit unit in the fixed unit is made into a normal operation state when the light emitting diode emits light, for example, an optical switch such as a photocoupler, and the light emitting diode is turned off. The gas detection signal for the external device may be transmitted when it is done.
Also in the gas detection device having such a configuration, it is possible to obtain an operational effect that an error signal is not issued to an external device, similarly to the gas detection device in which the signal transmission means is a relay.
[0035]
In addition, as long as the fixed side unit has a power introduction unit and an external control circuit unit, and the detection unit has a control unit, the components constituting each unit are not limited.
[0036]
【The invention's effect】
According to the gas detection device of the present invention, even when the detection unit switch is in the OFF state, the drive power supply is maintained by the dedicated power supply path to the fixed side unit. As a result of the signal transmission means maintaining the normal operation state without releasing the energized state of the transmission means, a gas detection signal for an external device is not erroneously issued.
[0037]
In addition, according to the gas detection system of the present invention, it is possible to prevent an external device from malfunctioning due to the detection unit switch related to the detection unit of the gas detection device having the above characteristics being turned off. As a result, excellent maintainability can be obtained, and highly reliable gas detection can be performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an example of a configuration of a gas detection device according to the present invention, and is a diagram illustrating a state in which a detection unit is attached to a stationary unit.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state where a detection unit is detached from a fixed unit in the gas detection device of FIG.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the relationship between each component related to the gas detection device of FIG. 1;
4 is an explanatory circuit diagram illustrating a relay control circuit in an external control circuit unit according to the gas detection device of FIG. 1;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Fixed side unit 11 Chassis 11A Bottom part 11B Side part 13 Gas inlet / outlet part 15 Power introduction part 15A Power connection part 16 Power supply path 16A Main power supply path 16B Branch power supply path 18 Gas detection signal connection part 19 Contact point 20 Detection part Unit 21 Control unit 22 Gas concentration detection unit 22A Gas detection signal connection unit 23 Gas detection signal path 24 Power connection unit 25 Pump unit 26 Sensor unit 27 Gas flow channel connection unit 28 Display unit 30 External control circuit unit 32 Relay coil 35 Relay control circuit 37 Transistor switch 38 Jumper 38a Contact

Claims (4)

固定して設置される固定側ユニットと、当該固定側ユニットに着脱自在に保持される検知部ユニットとを備えてなり、
前記検知部ユニットは、当該検知部ユニットをON状態またはOFF状態とする検知部ユニットスイッチを有するものであり、
前記固定側ユニットは、電力導入部と、通電状態において正常動作状態となる信号伝達手段を備え、ガス検知信号が発せられることによって当該信号伝達手段の通電状態が解除されたときに外部機器に対するガス検知信号を発信する外部制御回路部とを有し、
前記検知部ユニットは、ガス検知信号を発信するガス濃度検知部と、当該検知部ユニットの各構成要素の動作状態を管理する制御部とを有しており、
固定側ユニットに検知部ユニットが装着された状態において、電力導入部を介して導入された電力が、固定側ユニットにおける外部制御回路部に供給される経路から分岐した分岐経路を介して検知部ユニットにおける制御部に供給されることを特徴とするガス検知装置。
A fixed-side unit that is fixedly installed, and a detection unit that is detachably held by the fixed-side unit,
The detection unit has a detection unit switch that turns the detection unit on or off.
The fixed-side unit includes a power introduction unit and a signal transmission unit that is in a normal operation state in an energized state. When the gas detection signal is generated and the energized state of the signal transmission unit is released, An external control circuit unit for transmitting a detection signal,
The detection unit has a gas concentration detection unit that transmits a gas detection signal, and a control unit that manages the operating state of each component of the detection unit.
In a state where the detection unit is mounted on the fixed side unit, the power introduced through the power introduction unit is detected via the branch path branched from the path supplied to the external control circuit unit in the fixed side unit. A gas detection device that is supplied to a control unit.
外部制御回路部における信号伝達手段が、リレーコイルが励磁されることによって正常動作状態とされるリレーよりなり、当該リレーコイルが消磁されたときに外部機器に対するガス検知信号が発信されることを特徴とする請求項1に記載のガス検知装置。The signal transmission means in the external control circuit section is composed of a relay that is brought into a normal operation state when the relay coil is excited, and a gas detection signal is transmitted to an external device when the relay coil is demagnetized. The gas detection device according to claim 1. 外部制御回路部における信号伝達手段が、発光ダイオードが発光することによって正常動作状態とされる光スイッチよりなり、当該発光ダイオードが消灯したときに外部機器に対するガス検知信号が発信されることを特徴とする請求項1に記載のガス検知装置。The signal transmission means in the external control circuit section is composed of an optical switch that is brought into a normal operation state when the light emitting diode emits light, and a gas detection signal is transmitted to an external device when the light emitting diode is turned off. The gas detection device according to claim 1. 複数のガス検知装置が共通の外部機器に接続されてなるガス検知システムにおいて、
用いられるガス検知装置の少なくとも1つが請求項1〜請求項3のいずれかに記載のガス検知装置であることを特徴とするガス検知システム。
In a gas detection system in which a plurality of gas detection devices are connected to a common external device,
A gas detection system, wherein at least one of the gas detection devices used is the gas detection device according to any one of claims 1 to 3.
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