JP4838576B2 - Flexible actuator - Google Patents

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Description

本発明は、フレキシブルアクチュエータに係り、特にダイレクトドライブモータの駆動力を駆動対象に伝達するフレキシブルアクチュエータに好適なものである。   The present invention relates to a flexible actuator, and is particularly suitable for a flexible actuator that transmits a driving force of a direct drive motor to an object to be driven.

ロボットに用いられるアクチュエータの一つに、ダイレクトドライブモータを用いたものがある。ダイレクトドライブモータを用いたロボットにはハンドロボットや鉗子ロボットがある。回転型またはリニア型のダイレクトドライブモータは、摩擦の少ない、力伝達に適したモータであり、歯車などの伝達機構なしに駆動対象に力を伝達できるといったメリットがある。ダイレクトドライブモータの伝達機構には、従来、ワイヤを用いた駆動方式、もしくはロッドを用いた駆動方式が用いられてきた。関連する従来技術として、特開2003−311667公報(特許文献1)が挙げられる。   One of the actuators used in robots is one that uses a direct drive motor. Robots using direct drive motors include hand robots and forceps robots. A rotary type or linear type direct drive motor is a motor that has little friction and is suitable for force transmission, and has an advantage that force can be transmitted to an object to be driven without a transmission mechanism such as a gear. Conventionally, a drive system using a wire or a drive system using a rod has been used for a transmission mechanism of a direct drive motor. JP-A-2003-311667 (Patent Document 1) is given as a related prior art.

特開2003−311667公報JP 2003-31667 A

ロッド駆動は剛性が高いため、力の伝達特性に優れているが、柔軟性がないためアクチュエータの設置位置の自由度が低くなるといった課題がある。   Since the rod drive has high rigidity, it has excellent force transmission characteristics, but there is a problem that the degree of freedom of the installation position of the actuator is low due to lack of flexibility.

また、ワイヤ駆動は柔軟性を有しているため、アクチュエータを空間的に自由に配置できるものの、剛性が低いため精度良く力を伝達することができないという課題がある。さらに、ワイヤ駆動には、引く動作はできるが押す動作ができないといった課題がある。   Further, since the wire drive has flexibility, the actuator can be freely arranged spatially, but there is a problem that the force cannot be transmitted with high accuracy because of low rigidity. Furthermore, the wire drive has a problem that it can be pulled but cannot be pushed.

本発明の目的は、ダイレクトドライブモータと駆動対象とを空間的に任意に配置することを可能としつつ、駆動対象に作用する双方向の力をダイレクトドライブモータから正確に伝えることができるフレキシブルアクチュエータを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a flexible actuator capable of accurately transmitting a bidirectional force acting on a drive target from the direct drive motor while allowing the direct drive motor and the drive target to be arbitrarily arranged spatially. It is to provide.

前述の目的を達成するための本発明の第1の態様は、軸方向の駆動力を発生するリニア型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸方向の駆動力を駆動対象に伝達するスラストワイヤとを備え、前記スラストワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸方向に移動可能に配置され且つ軸方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合され、前記インナー部材が合成樹脂繊維で被覆され、前記アウター部材がポリマーで被覆されていることことにある。 In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention includes a linear direct drive motor that generates an axial driving force, and a thrust that transmits the axial driving force of the direct drive motor to an object to be driven. The thrust wire includes a cylindrical outer member having flexibility, and is disposed in the outer member so as to be movable in the axial direction and has rigidity in the axial direction. An inner member higher than the rigidity in the vertical direction, and both ends of the inner member are coupled to the direct drive motor and the driven object, and the inner member is covered with a synthetic resin fiber, The outer member is covered with a polymer .

また、本発明の第2の態様は、軸回転方向の駆動力を発生する回転型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸回転方向の駆動力を駆動対象に伝達するトルクワイヤとを備え、前記トルクワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸回転可能に配置され且つ軸回転方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合されていることにある。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotary direct drive motor that generates a driving force in the axial rotation direction, and a torque wire that transmits the driving force in the axial rotation direction of the direct drive motor to a drive target. The torque wire has a cylindrical outer member having flexibility, and is arranged in the outer member so as to be able to rotate about the shaft and has rigidity in a direction perpendicular to the shaft. It is comprised by the double structure which consists of a higher inner member, and it exists in the both ends of the said inner member being couple | bonded with the said direct drive motor and the said drive object.

係る本発明の第1の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
(1)前記インナー部材はステンレス等の金属製芯線にポリアミド系繊維をコーティングして構成され、前記アウター部材は、硬鋼線を合成樹脂でコーティングし、さらにポリエチレンチューブで被覆した三層構造で構成されていること。
係る本発明の第2の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
(1)前記インナー部材が合成樹脂繊維で被覆され、前記アウター部材がポリマーで被覆されていること。
(2)前記インナー部材はステンレス等の金属製芯線にポリアミド系繊維をコーティングして構成され、前記アウター部材は、硬鋼線を合成樹脂でコーティングし、さらにポリエチレンチューブで被覆した三層構造で構成されていること。
また、本発明の第3の態様は、軸方向の駆動力を発生するリニア型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸方向の駆動力を駆動対象に伝達するスラストワイヤとを備え、前記スラストワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸方向に移動可能に配置され且つ軸方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合され、前記ダイレクトドライブモータの変位を前記インナー部材の挙動とは無関係に直接計測するエンコーダを備えたことにある
係る本発明の第3の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
)前記駆動対象の変位を計測するエンコーダを備えたこと。
A more preferable specific configuration example in the first aspect of the present invention is as follows.
(1) The inner member is formed by coating a polyamide fiber on a metal core wire such as stainless steel, and the outer member is formed by a three-layer structure in which a hard steel wire is coated with a synthetic resin and further covered with a polyethylene tube. is being done.
A more preferable specific configuration example in the second aspect of the present invention is as follows.
(1) The inner member is covered with a synthetic resin fiber, and the outer member is covered with a polymer.
(2) The inner member is formed by coating a polyamide fiber on a metal core wire such as stainless steel, and the outer member is formed by a three-layer structure in which a hard steel wire is coated with a synthetic resin and further covered with a polyethylene tube. is being done.
The third aspect of the present invention includes a linear direct drive motor that generates an axial driving force, and a thrust wire that transmits the axial driving force of the direct drive motor to a drive target, The thrust wire has a cylindrical outer member having flexibility, and is arranged in the outer member so as to be movable in the axial direction, and the rigidity in the axial direction is higher than the rigidity in the direction perpendicular to the axis. The inner member has a double structure, and both end portions of the inner member are coupled to the direct drive motor and the object to be driven, and the displacement of the direct drive motor is directly controlled regardless of the behavior of the inner member. in that it comprises an encoder which measures.
A more preferable specific configuration example in the third aspect of the present invention is as follows.
( 1 ) An encoder for measuring the displacement of the drive target is provided.

本発明のフレキシブルアクチュエータによれば、ダイレクトドライブモータと駆動対象とを空間的に任意に配置することを可能としつつ、駆動対象に作用する双方向の力をダイレクトドライブモータから正確に伝えることができる。   According to the flexible actuator of the present invention, the direct drive motor and the drive target can be arbitrarily arranged spatially, and the bidirectional force acting on the drive target can be accurately transmitted from the direct drive motor. .

以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態のフレキシブルアクチュエータを図1から図3を用いて説明する。図1は本実施形態のフレキシブルアクチュエータの全体構成を示す斜視図、図2は本実施形態に用いられるスラストワイヤの説明図、図3は本実施形態のフレキシブルアクチュエータを用いた力制御結果の一例を示す図である。なお、図2(a)はスラストワイヤの全体図、図2(b)はスラストワイヤのインナー部材単体を示す図、図2(c)はスラストワイヤのアウター部材単体を示す図である。
Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
The flexible actuator of 1st Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS. 1-3. FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of the flexible actuator of the present embodiment, FIG. 2 is an explanatory view of a thrust wire used in the present embodiment, and FIG. 3 is an example of a force control result using the flexible actuator of the present embodiment. FIG. 2A is an overall view of the thrust wire, FIG. 2B is a view showing a single inner member of the thrust wire, and FIG. 2C is a view showing a single outer member of the thrust wire.

フレキシブルアクチュエータは、図1に示すように、軸方向の駆動力を発生するリニア型のダイレクトドライブモータ101と、このダイレクトドライブモータ101による軸方向の駆動力を駆動対象103に伝達するスラストワイヤ102とを備えて構成されている。即ち、ダイレクトドライブモータ101は、スラストワイヤ102によって駆動力を駆動対象103に伝達して、駆動対象103を駆動する。また、駆動対象103にかかる力は、スラストワイヤ102によってダイレクトドライブモータ101に伝達される。   As shown in FIG. 1, the flexible actuator includes a linear direct drive motor 101 that generates an axial driving force, and a thrust wire 102 that transmits the axial driving force of the direct drive motor 101 to a drive target 103. It is configured with. That is, the direct drive motor 101 transmits a driving force to the driving target 103 by the thrust wire 102 to drive the driving target 103. Further, the force applied to the drive target 103 is transmitted to the direct drive motor 101 by the thrust wire 102.

スラストワイヤ102は、図2に示すように、可撓性を有する筒状のアウター部材201と、可撓性を有してアウター部材201内に軸方向に移動可能に配置され且つ軸方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材203とからなる2重構造で構成されている。   As shown in FIG. 2, the thrust wire 102 has a cylindrical outer member 201 having flexibility, and is disposed in the outer member 201 so as to be movable in the axial direction and has rigidity in the axial direction. Is composed of a double structure composed of an inner member 203 having higher rigidity in a direction perpendicular to the axis.

インナー部材203は合成樹脂繊維で被覆され、アウター部材201はポリマーで被覆されている。具体的には、インナー部材203は、ステンレスの芯線を合成繊維、例えばポリアミド系繊維でコーティングしたものである。また、アウター部材201は、硬鋼線を合成樹脂でコーティングし、さらにポリエチレンチューブで被覆した三層構造のものである。かかる構成によって、インナー部材203は軸方向に高い剛性を持ち、軸に直交する方向には柔軟性を持ちつつ、アウター部材201の摩擦を低減することができる。そして、スラストワイヤ102は、押す場合も、引く場合も力を双方向に正確に伝えることができる。   The inner member 203 is covered with a synthetic resin fiber, and the outer member 201 is covered with a polymer. Specifically, the inner member 203 is formed by coating a stainless steel core wire with a synthetic fiber such as a polyamide fiber. The outer member 201 has a three-layer structure in which a hard steel wire is coated with a synthetic resin and further covered with a polyethylene tube. With such a configuration, the inner member 203 has high rigidity in the axial direction, and can reduce friction of the outer member 201 while having flexibility in a direction orthogonal to the axis. The thrust wire 102 can accurately transmit the force in both directions when pushing or pulling.

ここで、インナー部材203の外径は、アウター部材201の内径よりも小さい範囲で、インナー部材203の曲げ曲率の条件下でアウター部材201との摩擦力が許容内になる範囲で、できるだけ太くすることが望ましい。また、インナー部材203には、取付け用に金具202、204が装着されており、それぞれがダイレクトドライブモータ101及び駆動対象103に結合して取付けられる。図示例では、取付け用に金具202、204の端部に雄ネジ部が形成されており、このネジ部がダイレクトドライブモータ101及び駆動対象103の雌ネジ部にねじ込まれて結合される。   Here, the outer diameter of the inner member 203 is as large as possible within a range smaller than the inner diameter of the outer member 201 and within a range in which the frictional force with the outer member 201 is within an allowable range under the condition of the bending curvature of the inner member 203. It is desirable. Further, metal fittings 202 and 204 are attached to the inner member 203 for attachment, and they are attached to the direct drive motor 101 and the drive target 103 respectively. In the illustrated example, male screw portions are formed at the ends of the fittings 202 and 204 for mounting, and these screw portions are screwed into and coupled to the female screw portions of the direct drive motor 101 and the drive target 103.

上述した構成のフレキシブルアクチュエータを用いることにより、ダイレクトドライブモータ101と駆動対象103とを空間的に任意に自由に配置できる。図1では、ダイレクトドライブモータ101と駆動対象103とをほぼ180度の角度のスラストワイヤ102により接続した例を示したが、他の角度、位置関係でも配置できる。   By using the flexible actuator having the above-described configuration, the direct drive motor 101 and the drive target 103 can be freely arranged freely in space. Although FIG. 1 shows an example in which the direct drive motor 101 and the drive target 103 are connected by the thrust wire 102 having an angle of approximately 180 degrees, the direct drive motor 101 and the drive target 103 can be arranged at other angles and positional relationships.

また、本実施形態では、図1に示すように、リニアエンコーダ104がダイレクトドライブモータ101の変位を測定し、リニアエンコーダ105が駆動対象103の変位を測定し、力センサ106が駆動対象103にかかる力を測定するように構成されている。これらの測定値をダイレクトドライブモータ101の制御に用いることにより、より制御性を向上することができる。このとき、リニアエンコーダ104は、ダイレクトドライブモータ101の変位を直接計測できるように取付けられているので、ダイレクトドライブモータ101の変位フィードバック制御はスラストワイヤ102の影響を受けない効果がある。   In this embodiment, as shown in FIG. 1, the linear encoder 104 measures the displacement of the direct drive motor 101, the linear encoder 105 measures the displacement of the drive target 103, and the force sensor 106 is applied to the drive target 103. Configured to measure force. By using these measured values for controlling the direct drive motor 101, the controllability can be further improved. At this time, since the linear encoder 104 is mounted so that the displacement of the direct drive motor 101 can be directly measured, the displacement feedback control of the direct drive motor 101 is effective without being influenced by the thrust wire 102.

このようなフレキシブルアクチュエータにおいて、駆動対象103をダイレクトドライブモータ101によって力制御した結果の一例を図3に示す。図3より、駆動対象103にかかる力(応答)302は、力制御指令値301に良く一致していることがわかる。即ち、本実施形態によるフレキシブルアクチュエータを用いることにより、スラストワイヤ102は柔軟性を損なわないまま、高い剛性を維持しているので、ダイレクトドライブモータ101と駆動対象103とを空間的に任意に自由に配置することができるといった長所に加え、力の伝達特性に優れており、駆動対象103とダイレクトドライブモータ101との間で作用する力を双方向に、摩擦が少なく、周波数特性が良く、正確に伝えることができる効果がある。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態のフレキシブルアクチュエータについて説明する。この第2実施形態は、次に述べる点で第1実施形態と相違するものであり、その他の点については第1実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
FIG. 3 shows an example of the result of force control of the drive target 103 by the direct drive motor 101 in such a flexible actuator. As can be seen from FIG. 3, the force (response) 302 applied to the drive target 103 is in good agreement with the force control command value 301. That is, by using the flexible actuator according to the present embodiment, the thrust wire 102 maintains high rigidity without losing flexibility, so that the direct drive motor 101 and the drive target 103 can be freely and freely arranged spatially. In addition to the advantage of being able to arrange, the force transmission characteristics are excellent, the force acting between the drive target 103 and the direct drive motor 101 is bidirectional, less friction, good frequency characteristics, accurate There is an effect that can be communicated.
(Second Embodiment)
Next, the flexible actuator of 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. The second embodiment is different from the first embodiment in the points described below, and the other points are basically the same as those in the first embodiment, and thus redundant description is omitted.

第1実施形態ではスラストワイヤ102の軸方向に力を伝える例であるが、第2実施形態では軸回転方向にトルクを伝達させる例である。即ち、第2実施形態では、ダイレクトドライブモータ101の代わりに回転型のダイレクトドライブモータを用い、さらに、スラストワイヤ102の代わりにトルクワイヤを用いている。具体的には、第2実施形態のフレキシブルアクチュエータは、軸回転方向の駆動力を発生する回転型のダイレクトドライブモータと、このダイレクトドライブモータによる軸回転方向の駆動力を駆動対象に伝達するトルクワイヤとを備えて構成されている。このトルクワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有してアウター部材内に軸回転可能に配置され且つ軸回転方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材とからなる2重構造で構成されている。   In the first embodiment, the force is transmitted in the axial direction of the thrust wire 102, but in the second embodiment, the torque is transmitted in the axial rotation direction. That is, in the second embodiment, a rotary direct drive motor is used instead of the direct drive motor 101, and a torque wire is used instead of the thrust wire 102. Specifically, the flexible actuator according to the second embodiment includes a rotary direct drive motor that generates a driving force in the axial rotation direction, and a torque wire that transmits the driving force in the axial rotation direction by the direct drive motor to a drive target. And is configured. This torque wire has a flexible cylindrical outer member, and is arranged so as to be axially rotatable in the outer member with flexibility, and the rigidity in the axial rotation direction is higher than the rigidity in the direction perpendicular to the axis. It is comprised by the double structure which consists of an inner member.

この第2実施形態では、ダイレクトドライブモータと駆動対象とを空間的に任意に自由に配置することができるといった長所に加え、トルクの伝達特性に優れており、駆動対象とダイレクトドライブモータとの間で作用するトルクを双方向に、摩擦が少なく、周波数特性が良く、正確に伝えることができる効果がある。   In the second embodiment, in addition to the advantage that the direct drive motor and the drive target can be freely arranged freely and spatially, the torque transmission characteristics are excellent, and the direct drive motor and the drive target are arranged between the drive target and the direct drive motor. Torque acting in both directions can be transmitted accurately in both directions with low friction and good frequency characteristics.

本発明の第1実施形態のフレキシブルアクチュエータの全体構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing the whole flexible actuator composition of a 1st embodiment of the present invention. 本実施形態に用いられるスラストワイヤの説明図である。It is explanatory drawing of the thrust wire used for this embodiment. 本実施形態のフレキシブルアクチュエータを用いた力制御結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the force control result using the flexible actuator of this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

101…ダイレクトドライブモータ、102…スラストワイヤ、103…駆動対象、104,105…リニアエンコーダ、106…力センサ、201…アウター部材、202,204…金具、203…インナー部材、301…力制御指令値、302…駆動対象にかかる力。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Direct drive motor, 102 ... Thrust wire, 103 ... Drive object, 104, 105 ... Linear encoder, 106 ... Force sensor, 201 ... Outer member, 202, 204 ... Metal fitting, 203 ... Inner member, 301 ... Force control command value 302: Force applied to the driven object.

Claims (6)

軸方向の駆動力を発生するリニア型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸方向の駆動力を駆動対象に伝達するスラストワイヤとを備え、
前記スラストワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸方向に移動可能に配置され且つ軸方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、
前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合され
前記インナー部材が合成樹脂繊維で被覆され、前記アウター部材がポリマーで被覆されていること、
を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。
A linear direct drive motor that generates an axial driving force, and a thrust wire that transmits the axial driving force of the direct drive motor to a drive target;
The thrust wire is a cylindrical outer member having flexibility, and is disposed in the outer member so as to be movable in the axial direction, and the rigidity in the axial direction is perpendicular to the axis. It is composed of a double structure consisting of a higher inner member,
Both ends of the inner member are coupled to the direct drive motor and the drive object ,
The inner member is covered with a synthetic resin fiber, and the outer member is covered with a polymer ;
A flexible actuator characterized by
軸回転方向の駆動力を発生する回転型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸回転方向の駆動力を駆動対象に伝達するトルクワイヤとを備え、
前記トルクワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸回転可能に配置され且つ軸回転方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、
前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合されていること、
を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。
A rotary direct drive motor that generates a driving force in the axial rotation direction, and a torque wire that transmits the driving force in the axial rotation direction by the direct drive motor to a drive target;
The torque wire includes a cylindrical outer member having flexibility, and is arranged in the outer member so as to be capable of rotating in the shaft, and the rigidity in the shaft rotation direction is higher than the rigidity in the direction perpendicular to the shaft. It is composed of a double structure consisting of a high inner member,
Both end portions of the inner member are coupled to the direct drive motor and the drive target;
A flexible actuator characterized by
請求項2において、前記インナー部材が合成樹脂繊維で被覆され、前記アウター部材がポリマーで被覆されていること、を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。 The flexible actuator according to claim 2 , wherein the inner member is covered with a synthetic resin fiber, and the outer member is covered with a polymer. 請求項1または3において、前記インナー部材はステンレス等の金属製芯線にポリアミド系繊維をコーティングして構成され、前記アウター部材は、硬鋼線を合成樹脂でコーティングし、さらにポリエチレンチューブで被覆した三層構造で構成されていること、を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。 4. The inner member according to claim 1 , wherein the inner member is made of a metal core wire such as stainless steel coated with a polyamide fiber, and the outer member is made of a hard steel wire coated with a synthetic resin and further covered with a polyethylene tube. A flexible actuator comprising a layered structure. 軸方向の駆動力を発生するリニア型のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータによる軸方向の駆動力を駆動対象に伝達するスラストワイヤとを備え、
前記スラストワイヤは、可撓性を有する筒状のアウター部材と、可撓性を有して前記アウター部材内に軸方向に移動可能に配置され且つ軸方向の剛性が軸に垂直な方向の剛性より高いインナー部材と、からなる2重構造で構成され、
前記インナー部材の両端部は前記ダイレクトドライブモータ及び前記駆動対象に結合され、
前記ダイレクトドライブモータの変位を前記インナー部材の挙動とは無関係に直接計測するエンコーダを備えたこと、
を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。
A linear direct drive motor that generates an axial driving force, and a thrust wire that transmits the axial driving force of the direct drive motor to a drive target;
The thrust wire is a cylindrical outer member having flexibility, and is disposed in the outer member so as to be movable in the axial direction, and the rigidity in the axial direction is perpendicular to the axis. It is composed of a double structure consisting of a higher inner member,
Both ends of the inner member are coupled to the direct drive motor and the drive object,
An encoder that directly measures the displacement of the direct drive motor regardless of the behavior of the inner member;
A flexible actuator characterized by
請求項5において、前記駆動対象の変位を計測するエンコーダを備えたこと、を特徴とするフレキシブルアクチュエータ。   The flexible actuator according to claim 5, further comprising an encoder that measures a displacement of the drive target.
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