JP4819990B2 - Measuring microscope - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対物レンズ等の観察光学系を搭載したZ軸ステージの操作をZ軸モータ等により電動化した測定顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
このようなZ軸操作を自動化した測定顕微鏡は、対物レンズ及び接眼レンズ等の観察光学系をZ軸ステージに搭載し、このZ軸ステージをZ軸モータ等の電動駆動部によりZ軸上で昇降させ、サンプルステージ上に載置された標本に対するフォーカスを調整している。
【0003】
このように測定顕微鏡では、Z軸ステージの操作を電動化したことにより、標本の観察中に標本と対物レンズとが衝突することを防止するための制御手段を備えているが、電源が遮断されたときのZ軸ステージ自重による下降に対する対策は特に行われていない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このため、瞬間停電などの電気的な障害で測定顕微鏡の電源が切断されたときや、測定顕微鏡での観察を行わない未使用時での電源を切っているときに、対物レンズ及び接眼レンズ等の観察光学系を搭載したZ軸ステージがその自重の負荷により下降し、標本を載置したサンプルステージに接触して、標本を壊したり、対物レンズを破損したりして、取り扱いの不便なものであった。
【0005】
又、Z軸ステージ自重による下降を防止していないために、電源の遮断時と再投入時とで観察光学系の位置ずれを起こし、標本に対するフォーカスずれが発生するという問題がある。
【0006】
そこで本発明は、電源の通電が遮断されたときのZ軸ステージ自重による下降を防止して取り扱い性を向上させた測定顕微鏡を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載による発明は、観察光学系を搭載したステージを電動駆動部の駆動力により昇降させて標本に対するフォーカス調整を行う測定顕微鏡において、前記電動駆動部にブレーキをかける電磁ブレーキであって、前記電動駆動部への本体電源からの通電が遮断されたときに、前記ステージの自重による下降を防止させる下降防止手段と、当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断された場合、前記下降防止手段を働かせた後に前記電動駆動部への通電を遮断し、かつ当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が投入された場合、前記電動駆動部へ通電させてから前記下降防止手段を解除する操作手段とを備えたことを特徴とする測定顕微鏡である。
請求項2記載による発明は、観察光学系を搭載したステージを電動駆動部の駆動力により昇降させて標本に対するフォーカス調整を行う測定顕微鏡において、前記電動駆動部にブレーキをかける電磁ブレーキであって、前記電動駆動部への本体電源からの通電が遮断されたときに、前記ステージの自重による下降を防止させる下降防止手段とを備え、前記下降防止手段は、当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断されたときに前記電磁ブレーキを作動させるブレーキ制御手段と、前記測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断されたときに前記電磁ブレーキを作動させてから前記電動駆動部への通電を遮断し、かつ当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が投入されたときに前記電動駆動部へ通電させてから前記電磁ブレーキを解除させるモータ電源制御手段とを有することを特徴とする測定顕微鏡である。
請求項3記載による発明は、請求項1又は2に記載の測定顕微鏡において、更に、前記下降防止手段は、前記電動駆動部に短絡を起こさせる短絡手段を有することを特徴とする。
請求項4記載による発明は、請求項1又は2に記載の測定顕微鏡において、前記下降防止手段による前記ステージの自重による下降防止の作用を解除する解除手段を備えることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
(1)以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0012】
図1は測定顕微鏡の構成図である。ベース1上には、標本2を載置するためのサンプルステージ3が設けられている。このサンプルステージ3は、XY平面内に移動自在になっている。又、ベース1には、Z軸昇降用支柱4が立設されている。このZ軸昇降用支柱4には、Z軸ステージ5がZ軸方向に昇降自在に設けられている。なお、Z軸ステージ5は、Z軸昇降用支柱4に設けられたレール6に乗って昇降する。このZ軸ステージ5には、標本2の拡大像を得るための観察光学系として対物レンズ7及び接眼レンズ8などが設けられている。
【0013】
Z軸昇降用支柱4の内部には、Z軸ステージ5をZ軸方向に昇降させるためのZ軸駆動系9が設けられている。このZ軸駆動系9は、Z軸昇降用支柱4の上部に設けられたZ軸モータ10と、Z軸方向に設けられたボールねじ11と、このZ軸モータ10の回転軸とボールねじ11とを連結するカップリング12とから構成されている。ボールねじ11の下端は、支持端部13において回転自在に軸支されている。従って、Z軸ステージ5は、螺合部14によってボールねじ11と螺合され、ボールねじ11の回転によってZ軸方向で昇降するものとなっている。
【0014】
上記Z軸モータ10には、Z軸ステージ5の自重による下降を防止する手段として電磁ブレーキ15が付いている。この電磁ブレーキ15は、Z軸制御部16によって測定顕微鏡の本体電源が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25(図3参照)を切ったときに働くようになっている。図2は電磁ブレーキ付きZ軸モータ10の構成図である。Z軸モータ10の後方の回転軸17には、ディスク18が設けられている。さらに、この回転軸17には、バネ19を介して電磁石20が回転軸17の軸方向に移動自在に設けられている。この電磁石20は、板バネ21を介して各ネジ22,23により移動範囲が規定されている。
【0015】
このような電磁ブレーキ15であれば、電磁石20がオフすると、この電磁石20は、その電磁力がなくなりバネ19の付勢力によりディスク18が移動してZ軸モータ10に押し付けられ、Z軸モータ10の回転軸17の回転は停止する。電磁石20がオンすると、この電磁石20は、その電磁力がバネ19の付勢力に打ち勝ちディスク18がZ軸モータ10から離れ、Z軸モータ10の回転軸17の回転を開放する。
【0016】
上記Z軸制御部16の内部には、図3の機能ブロック図に示すようにZ軸操作回路24が形成されている。このZ軸操作回路24は、測定顕微鏡の本体電源25からの電力供給を受けると共に、観察者の操作を受けてZ軸モータ10を正逆転駆動し、かつ本体電源25が上記の如く瞬間停電などの電気的な障害で切断されたときに電磁ブレーキ15を働かせる機能を有している。
【0017】
次に、上記の如く構成された測定顕微鏡の作用について説明する。
【0018】
通常、観察者によってZ軸制御部16が操作されると、このZ軸制御部16は、観察者の操作に応じてZ軸モータ10を正逆転駆動する。このZ軸モータ10の正逆転駆動は、カップリング12を介してボールねじ11に伝達され、さらに螺合部14を介してZ軸ステージ5の昇降動作に変換される。このZ軸ステージ5の昇降動作により対物レンズ7が標本2に対してジャストフォーカス位置に調整される。
【0019】
このような通常の観察中に、本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されると、Z軸操作回路24は電磁ブレーキ15を働かせる。この電磁ブレーキ15は、電磁石20がオフし、その電磁力がなくなりバネ19の付勢力によりディスク18が移動してZ軸モータ10に押し付けられて、Z軸モータ10の回転軸17の回転を停止させる。
【0020】
このようにZ軸モータ10が停止することにより、Z軸ステージ5は、対物レンズ7及び接眼レンズ8などが設けられていても、その自重により下降することはない。
【0021】
なお、測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときでも、上記同様に、Z軸操作回路24により電磁ブレーキ15が働き、Z軸モータ10を停止させてZ軸ステージ5自重による下降が防止される。
【0022】
このように上記一実施の形態においては、対物レンズ7及び接眼レンズ8などが設けたZ軸ステージ5を昇降させるZ軸モータ10に電磁ブレーキ15を取り付け、Z軸制御部16によって測定顕微鏡の本体電源25が遮断したときに電磁ブレーキ15が働くようにしたので、測定顕微鏡の本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときでも、Z軸モータ10を停止させてZ軸ステージ5の自重による下降を防止し、標本2の破壊や対物レンズ7の破損をさせることなく、取り扱い性を向上できる。
【0023】
又、電磁ブレーキ15を取り付けたZ軸モータ10を用いるので、測定顕微鏡自体をコンパクトな構成で実現できる。
【0024】
さらに、Z軸ステージ5には、標本2の観察像を撮像するためにCCDカメラ26などを取り付けるが、このCCDカメラ26を取り付けたとしても、測定顕微鏡の本体電源25が切断されたときのZ軸ステージ5の自重による下降を防止できる。
【0025】
なお、上記第1の実施の形態では、電磁ブレーキ付きZ軸モータ10をボールねじ11の上部に設けているが、ボールねじ11の下部に設けても同様な効果を奏することは言うまでもない。
【0026】
(2)次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0027】
図4は測定顕微鏡におけるZ軸制御部内部の機能ブロック図である。この測定顕微鏡は、電磁ブレーキ付きZ軸モータ10に代えて、Z軸制御部24の内部にモータ短絡回路27を組み込んだものである。このモータ短絡回路27は、測定顕微鏡の本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときに、Z軸モータ10に短絡を起こさせる機能を有している。
【0028】
次に、上記の如く構成された測定顕微鏡の作用について説明する。
【0029】
通常の観察中に、本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったとき、モータ短絡回路27は、Z軸モータ10に短絡を起こさせる。
【0030】
このZ軸モータ10の短絡によりZ軸モータ10は、Z軸ステージからの自重による下降回転トルクより大きな静止トルクを受ける。従って、Z軸モータ10の回転は停止し、Z軸ステージ5は、対物レンズ7及び接眼レンズ8などが設けられていても、その自重による下降は防止される。
【0031】
このように上記第2の実施の形態においては、本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときに、モータ短絡回路27によりZ軸モータ10に短絡を起こさせるので、上記第1の実施の形態と同様な効果を奏することができると共に、電磁ブレーキ15をなくすことにより測定顕微鏡自体を小型化でき、上記第1の実施の形態よりもコンパクト化を図ることができる。
【0032】
(3)次に、本発明の第3の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0033】
図5は測定顕微鏡におけるZ軸制御部内部の機能ブロック図である。この測定顕微鏡は、Z軸制御部16の内部に、ブレーキ制御回路28、及びモータ電源制御回路29を組み込んだものである。ブレーキ制御回路28は、本体電源25が上記の如く瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときに電磁ブレーキ15を作動させる機能を有している。
【0034】
モータ電源制御回路29は、電磁ブレーキ15を働かせた後に、Z軸モータ10に供給している本体電源25の電力を切断する機能を有している。
【0035】
又、Z軸操作回路24は、本体電源25が投入されたとき、先ず、モータ電源制御回路29によりZ軸モータ10への電力の供給を開始させ、次にブレーキ制御回路28に対して電磁ブレーキ15を解除させる指示を行う機能を有している。
【0036】
次に、上記の如く構成された測定顕微鏡の作用について説明する。
【0037】
先ず、測定顕微鏡の本体電源25が遮断されたときの動作を図6に示す位置ずれ防止の電源制御フローチャートに従って説明する。
【0038】
通常の観察中に、ステップ#1において、本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったとき、ブレーキ制御回路28は、ステップ#2において、電磁ブレーキ15を作動させる。
【0039】
電磁ブレーキ15が働けば、上記図2に示す電磁石20がオフし、その電磁力がなくなり、バネ19の付勢力によりディスク18が移動してZ軸モータ10に押し付けられ、Z軸モータ10の回転軸17の回転を停止させる。
【0040】
従って、Z軸モータ10の回転は停止し、Z軸ステージ5は、対物レンズ7及び接眼レンズ8などが設けられていても、その自重による下降は防止される。
【0041】
この後、モータ電源制御回路29は、ステップ#3において、電磁ブレーキ15を作動させた後に、Z軸モータ10に供給している本体電源25の電力を切断する。
【0042】
次に、測定顕微鏡の本体電源25が投入されたときの動作を図7に示す位置ずれ防止の電源制御フローチャートに従って説明する。
【0043】
測定顕微鏡の本体電源25がステップ#4において投入されると、Z軸操作回路24は、ステップ#5において、モータ電源制御回路29によりZ軸モータ10への電力の供給を開始させる。
【0044】
次に、Z軸操作回路24は、ステップ#6において、ブレーキ制御回路28に対して電磁ブレーキ15を解除させる指示を行う。
【0045】
この後、観察者によってZ軸制御部16が操作されると、このZ軸制御部16は、観察者の操作に応じてZ軸モータ10を正逆転駆動し、対物レンズ7を標本2に対してジャストフォーカス位置に調整するという通常の観察が行われる。
【0046】
このように上記第3の実施の形態においては、本体電源25が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本2の観察を行わない未使用時での本体電源25を切ったときに電磁ブレーキ15を作動させた後に、Z軸モータ10に供給している本体電源25の電力を切断し、かつ本体電源25が投入されたときZ軸モータ10への電力の供給を開始させ、次に電磁ブレーキ15を解除させるので、上記第1の実施の形態と同様な効果を奏することができると共に、Z軸モータ10の電源切替タイミングを操作することによって測定顕微鏡の本体電源25を切断するときにZ軸ステージ5の下降防止を行って後にZ軸モータ10の励磁を解除し、電源投入時にはZ軸モータ10を励磁させてからZ軸ステージ5の落下防止を解除するものとなり、本体電源25の切断時から再投入時までにおけるZ軸ステージ5の位置ずれを防止できる。これにより、Z軸ステージ5の位置再現性を高めることができ、測定顕微鏡の電源切断時と再投入時とでの標本2に対するフォーカスずれをなくすことができる。
【0047】
(4)次に、本発明の第4の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1及び図5と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0048】
図8は測定顕微鏡の構成図である。この測定顕微鏡は、Z軸モータ10をZ軸駆動系9の下部に取り付け、Z軸駆動系9の上部にボールねじ11を手動により操作してZ軸ステージ5を昇降できるようにハンドル30を取り付け、かつZ軸操作回路24のブレーキ制御回路28に対してブレーキ解除回路31を接続したものである。このブレーキ解除回路31は、手動によりブレーキ制御回路28を解除するためのものである。
【0049】
このような構成であれば、測定顕微鏡の本体電源25が切断されている場合、ブレーキ解除回路31を用いて手動によりブレーキ制御回路28による電磁ブレーキ15を切断し、Z軸モータ10に対する下降防止の作用を解除する。これにより、ハンドル30を回転させることによりZ軸駆動系9を手動により操作してZ軸ステージ5を昇降できる。
【0050】
このように上記第4の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様な効果を奏することができると共に、測定顕微鏡の本体電源25が切断されているときに手動により落下防止の状態を解除してZ軸ステージ5を操作することができ、これにより観察中に停電等により本体電源25の障害で電源が切断されても、Z軸ステージ5を手動により退避させることができ、本体電源25が切断されているときでも標本2を壊さずに安全に退避させたり、Z軸のメンテナンスをすることができる。従って、安全性を高めかつ保守性を向上できる。
【0051】
なお、本発明は、上記第1乃至第4の実施の形態に限定されるものでなく次の通りに変形してもよい。
【0052】
例えば、電磁ブレーキ付きのZ軸モータ10に代えて、Z軸モータ10からボールねじ11への駆動力の伝達を切り離す電磁クラッチを用いてもよい。
【0053】
また、上述した第3、第4の実施の形態では、モータ電源制御回路して電磁ブレーキを作動させる機能のみ開示しているが、これに限られるものではなく、第3、第4の実施の形態に第2の実施の形態で挙げたモータ短絡回路を用い、測定顕微鏡の本体電源が例えば瞬間停電などの電気的な障害で切断されたとき、又は測定顕微鏡で標本の観察を行わない未使用時での本体電源を切った時に、Z軸モータに短絡を起こさせるようにしてもよい。
【0054】
また、モータ電源制御回路とモータ短絡回路とを併用して作動させるようにすることで、より安全性を高めてもよい。
【0055】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、電源の通電が遮断されたときのZ軸ステージの自重による下降を防止して取り扱い性を向上させた測定顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる測定顕微鏡の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わる測定顕微鏡の第1の実施の形態における電磁ブレーキ付きZ軸モータの構成図。
【図3】本発明に係わる測定顕微鏡の第1の実施の形態におけるZ軸制御部内部の機能ブロック図。
【図4】本発明に係わる測定顕微鏡の第2の実施の形態におけるZ軸制御部内部の機能ブロック図。
【図5】本発明に係わる測定顕微鏡の第3の実施の形態におけるZ軸制御部内部の機能ブロック図。
【図6】本発明に係わる測定顕微鏡の第3の実施の形態における位置ずれ防止の電源制御フローチャート。
【図7】本発明に係わる測定顕微鏡の第3の実施の形態における位置ずれ防止の電源制御フローチャート。
【図8】本発明に係わる測定顕微鏡の第4の実施の形態を示す構成図。
【符号の説明】
1:ベース
2:標本
3:サンプルステージ
4:Z軸昇降用支柱
5:Z軸ステージ
6:レール
7:対物レンズ
8:接眼レンズ
9:Z軸駆動系
10:Z軸モータ
11:ボールねじ
12:カップリング
13:支持端部
14:螺合部
15:電磁ブレーキ
16:Z軸制御部
17:Z軸モータの後方の回転軸
18:ディスク
19:バネ
20:電磁石
21:板バネ
22,23:ネジ
24:Z軸操作回路
25:本体電源
26:CCDカメラ
27:モータ短絡回路
28:ブレーキ制御回路
29:モータ電源制御回路
30:ハンドル
31:ブレーキ解除回路[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a measurement microscope in which an operation of a Z-axis stage equipped with an observation optical system such as an objective lens is motorized by a Z-axis motor or the like.
[0002]
[Prior art]
A measuring microscope that automates such Z-axis operation is equipped with an observation optical system such as an objective lens and an eyepiece on a Z-axis stage, and the Z-axis stage is moved up and down on the Z-axis by an electric drive unit such as a Z-axis motor. The focus on the specimen placed on the sample stage is adjusted.
[0003]
As described above, the measurement microscope is equipped with a control means for preventing the specimen and the objective lens from colliding during the observation of the specimen because the operation of the Z-axis stage is motorized. No special measures are taken against descent due to the Z-axis stage's own weight.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
For this reason, when the measuring microscope is turned off due to an electrical failure such as a momentary power failure, or when the measuring microscope is turned off when not used for observation with the measuring microscope, the objective lens, eyepiece, etc. The Z-axis stage equipped with the observation optical system is lowered by its own weight, touches the sample stage on which the specimen is placed, breaks the specimen, breaks the objective lens, and is inconvenient to handle Met.
[0005]
In addition, since the lowering due to the weight of the Z-axis stage is not prevented, there is a problem in that the position of the observation optical system is shifted between when the power is turned off and when the power is turned on again, resulting in a focus shift with respect to the sample.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a measurement microscope that is improved in handling by preventing a drop due to its own weight when the power supply is cut off.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to
The invention according to
According to a third aspect of the present invention, in the measurement microscope according to the first or second aspect, the descending prevention unit further includes a short-circuit unit that causes a short circuit in the electric drive unit.
According to a fourth aspect of the present invention, in the measurement microscope according to the first or second aspect of the present invention, the measuring microscope includes a release unit that cancels the action of preventing the descent by the weight of the stage by the descent preventing unit.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0012]
FIG. 1 is a configuration diagram of a measurement microscope. A
[0013]
A Z-
[0014]
The Z-
[0015]
In the case of such an
[0016]
A Z-
[0017]
Next, the operation of the measurement microscope configured as described above will be described.
[0018]
Normally, when the Z-
[0019]
During such normal observation, when the main
[0020]
As the Z-
[0021]
Even when the main
[0022]
As described above, in the above-described embodiment, the
[0023]
Further, since the Z-
[0024]
Further, a
[0025]
In the first embodiment, although the Z-
[0026]
(2) Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0027]
FIG. 4 is a functional block diagram inside the Z-axis control unit in the measurement microscope. In this measuring microscope, a motor
[0028]
Next, the operation of the measurement microscope configured as described above will be described.
[0029]
During normal observation, when the main
[0030]
Due to the short circuit of the Z-
[0031]
As described above, in the second embodiment, when the main
[0032]
(3) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0033]
FIG. 5 is a functional block diagram inside the Z-axis control unit in the measurement microscope. This measuring microscope incorporates a
[0034]
The motor power
[0035]
When the main
[0036]
Next, the operation of the measurement microscope configured as described above will be described.
[0037]
First, the operation when the main
[0038]
During normal observation, when the main
[0039]
When the
[0040]
Therefore, the rotation of the Z-
[0041]
Thereafter, in
[0042]
Next, the operation when the
[0043]
When the main
[0044]
Next, the Z-
[0045]
Thereafter, when the Z-
[0046]
As described above, in the third embodiment, when the main
[0047]
(4) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0048]
FIG. 8 is a configuration diagram of the measurement microscope. In this measuring microscope, a Z-
[0049]
With such a configuration, when the main
[0050]
As described above, according to the fourth embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and when the main
[0051]
The present invention is not limited to the first to fourth embodiments, and may be modified as follows.
[0052]
For example, instead of the Z-
[0053]
In the third and fourth embodiments described above, only the function of operating the electromagnetic brake by the motor power control circuit is disclosed, but the present invention is not limited to this, and the third and fourth embodiments are disclosed. When the motor short circuit mentioned in the second embodiment is used as the form, the main power supply of the measurement microscope is disconnected due to an electrical failure such as a momentary power failure, or the sample is not observed with the measurement microscope The Z-axis motor may be short-circuited when the main body power supply is turned off.
[0054]
Further, the safety may be further improved by operating the motor power supply control circuit and the motor short circuit together.
[0055]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a measurement microscope that prevents the Z-axis stage from being lowered due to its own weight when the power supply is cut off and has improved handling.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a measurement microscope according to the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram of a Z-axis motor with an electromagnetic brake in the first embodiment of the measurement microscope according to the present invention.
FIG. 3 is a functional block diagram inside the Z-axis control unit in the first embodiment of the measurement microscope according to the present invention.
FIG. 4 is a functional block diagram inside a Z-axis control unit in a second embodiment of a measurement microscope according to the present invention.
FIG. 5 is a functional block diagram inside a Z-axis control unit in a third embodiment of a measurement microscope according to the present invention.
FIG. 6 is a power supply control flowchart for preventing displacement in the third embodiment of the measurement microscope according to the present invention.
FIG. 7 is a power supply control flowchart for preventing misalignment in the third embodiment of the measurement microscope according to the present invention.
FIG. 8 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of a measurement microscope according to the present invention.
[Explanation of symbols]
1: Base 2: Specimen 3: Sample stage 4: Z-axis lifting column 5: Z-axis stage 6: Rail 7: Objective lens 8: Eyepiece 9: Z-axis drive system 10: Z-axis motor 11: Ball screw 12: Coupling 13: support end 14: screwing part 15: electromagnetic brake 16: Z-axis control part 17: rotating shaft 18 behind the Z-axis motor 18: disk 19: spring 20: electromagnet 21:
Claims (4)
前記電動駆動部にブレーキをかける電磁ブレーキであって、前記電動駆動部への本体電源からの通電が遮断されたときに、前記ステージの自重による下降を防止させる下降防止手段と、
当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断された場合、前記下降防止手段を働かせた後に前記電動駆動部への通電を遮断し、かつ当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が投入された場合、前記電動駆動部へ通電させてから前記下降防止手段を解除する操作手段と、
を備えたことを特徴とする測定顕微鏡。In a measurement microscope that adjusts the focus on the specimen by moving the stage equipped with the observation optical system up and down by the driving force of the electric drive unit,
An electromagnetic brake that applies a brake to the electric drive unit, and when the energization from the main power supply to the electric drive unit is interrupted, a descent prevention unit that prevents the descent of the stage due to its own weight;
When energization of the main body power to the measurement microscope is cut off, energization of the electric drive unit is interrupted after the lowering prevention means is activated, and energization of the main body power supply to the measurement microscope is turned on An operation means for releasing the lowering prevention means after energizing the electric drive unit;
A measuring microscope comprising:
前記電動駆動部にブレーキをかける電磁ブレーキであって、前記電動駆動部への本体電源からの通電が遮断されたときに、前記ステージの自重による下降を防止させる下降防止手段と、
を備え、
前記下降防止手段は、当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断されたときに前記電磁ブレーキを作動させるブレーキ制御手段と、
前記測定顕微鏡への前記本体電源の通電が切断されたときに前記電磁ブレーキを作動させてから前記電動駆動部への通電を遮断し、かつ当該測定顕微鏡への前記本体電源の通電が投入されたときに前記電動駆動部へ通電させてから前記電磁ブレーキを解除させるモータ電源制御手段と、
を有する、
ことを特徴とする測定顕微鏡。 In a measurement microscope that adjusts the focus on the specimen by moving the stage equipped with the observation optical system up and down by the driving force of the electric drive unit,
An electromagnetic brake that applies a brake to the electric drive unit, and when the energization from the main power supply to the electric drive unit is interrupted, a descent prevention unit that prevents the descent of the stage due to its own weight;
With
The descent prevention means includes a brake control means for operating the electromagnetic brake when the power supply of the main body to the measurement microscope is cut off,
When the power supply to the measuring microscope is cut off, the electromagnetic brake is activated and then the electric drive unit is turned off, and the power supply to the measuring microscope is turned on. Motor power control means for releasing the electromagnetic brake after energizing the electric drive unit,
Having
Measuring microscope you wherein a.
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