JP4818891B2

JP4818891B2 - Burn-in equipment

Info

Publication number: JP4818891B2
Application number: JP2006320109A
Authority: JP
Inventors: 原幸夫宮; 田充福
Original assignee: JAPAN ENGINEERING CORPORATION
Current assignee: JAPAN ENGINEERING CORPORATION
Priority date: 2006-11-28
Filing date: 2006-11-28
Publication date: 2011-11-16
Anticipated expiration: 2026-11-28
Also published as: JP2008134137A

Description

本発明は、バーンイン装置に関し、特に、移動の容易化を図ったバーンイン装置に関する。 The present invention relates to a burn-in apparatus, and more particularly to a burn-in apparatus that facilitates movement.

電子部品等の半導体装置の初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（Burn-In）試験を行う装置として、バーンイン装置が知られている。このバーンイン装置は半導体テスト装置の一種であり、被試験デバイス（Device Under Test）である半導体装置を複数装着したバーンインボードをバーンイン装置内に収納し、被試験デバイスに、電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、恒温槽内部の空気を加熱して所定の温度の熱ストレスを与えることにより、初期不良を顕在化させる。また、このバーンイン試験においては、被試験デイバスに動作用の電源や信号を供給して、被試験デバイスの動作テストを行い、被試験デイバスが正常に動作しているかどうかを試す試験を行う。 2. Description of the Related Art A burn-in apparatus is known as an apparatus for performing a burn-in test, which is a kind of screening test for revealing an initial failure of a semiconductor device such as an electronic component and removing an initial failure product. This burn-in equipment is a type of semiconductor test equipment. A burn-in board with a plurality of semiconductor devices, which are devices under test (Device Under Test), is stored in the burn-in equipment, and a voltage is applied to the device under test to electrically In addition to applying stress, the air in the thermostatic chamber is heated to apply a thermal stress at a predetermined temperature, thereby revealing the initial failure. In this burn-in test, an operation power supply or a signal is supplied to the device under test to perform an operation test of the device under test, and a test is performed to check whether the device under test is operating normally.

このようなバーンイン装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに挿入するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン装置に収納して、バーンイン試験を行うのが一般的である（例えば、特許文献１：特開２００５−２６５６６５号公報参照）。 In such a burn-in apparatus, since a long-time burn-in test over several hours to several tens of hours is performed, in order to improve test efficiency, a plurality of devices under test are inserted into one burn-in board, In general, a plurality of burn-in boards are housed in a burn-in apparatus and a burn-in test is performed (for example, refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-265665).

このように恒温槽の内部に複数のバーンインボードを収納するため、バーンイン装置が全体的に大きくなる傾向があり、大きなバーンイン装置の移動が困難な場合が生じている。例えば、バーンイン装置をエレベータに乗せようとする場合、エレベータの高さ、幅、奥行きには限りがあり、エレベータにバーンイン装置が乗せられないことも生じている。また、バーンイン装置を設置する室内の入り口の高さ、幅にも限りがあり、バーンイン装置をこの入り口から室内に搬入できないことも生じている。このような場合には、バーンイン装置をいくつかのパーツに分離して、エレベータに乗せたり、室内に搬入したりする必要がある。 As described above, since a plurality of burn-in boards are housed in the thermostatic chamber, the burn-in apparatus tends to be large as a whole, and it is difficult to move the large burn-in apparatus. For example, when trying to put a burn-in device on an elevator, the height, width, and depth of the elevator are limited, and the burn-in device cannot be put on the elevator. In addition, the height and width of the entrance to the room where the burn-in device is installed are limited, and it is sometimes impossible to carry the burn-in device into the room through this entrance. In such a case, it is necessary to divide the burn-in device into several parts and place it in an elevator or carry it in a room.

しかしながら、バーンイン装置は基本的に分解して分離されることを前提として作成されていないため、分離作業と組み立て作業が非常に煩雑である。特に、冷却システムを備えているバーンイン装置においては、冷却コンプレッサと熱交換器との間で冷媒を循環させる必要があるが、バーンイン装置を分解する際に、この冷媒も抜けてしまう。冷却コンプレッサにおける冷媒のバルブと、熱交換器における冷媒のバルブを閉めれば、冷却コンプレッサや熱交換器からの冷媒の飛散は防ぐことができるが、冷却コンプレッサと熱交換器との間のパイプ内に存在する冷媒は、それでも飛散してしまう。このため、バーンイン装置の移動が完了して、組み立てが完了した後に、再び、冷媒を補充しなければならないという問題も生じている。
特開２００５−２６５６６５号公報 However, since the burn-in apparatus is not basically created on the assumption that it is disassembled and separated, the separation work and the assembly work are very complicated. In particular, in a burn-in device equipped with a cooling system, it is necessary to circulate a refrigerant between the cooling compressor and the heat exchanger, but this refrigerant also escapes when the burn-in device is disassembled. If the refrigerant valve in the cooling compressor and the refrigerant valve in the heat exchanger are closed, scattering of the refrigerant from the cooling compressor and heat exchanger can be prevented, but in the pipe between the cooling compressor and the heat exchanger, The existing refrigerant will still scatter. For this reason, after the movement of the burn-in device is completed and the assembly is completed, there is a problem that the refrigerant must be replenished again.
JP 2005-265665 A

そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、容易に分離して移動可能なバーンイン装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a burn-in device that can be easily separated and moved.

上記課題を解決するため、本発明に係るバーンイン装置は、
被試験デバイスが挿入されたバーンインボードが収納される、測定ユニットと、
前記測定ユニットに分離可能に連結される温度調整ユニットであって、冷媒を循環させるための冷却コンプレッサと、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気と前記冷媒との間で熱交換をしてこの空気を冷却するための熱交換器と、前記熱交換器と前記冷却コンプレッサとの間で冷媒を循環させるためのパイプとを有する、温度調整ユニットと、
を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a burn-in apparatus according to the present invention includes:
A measurement unit that houses the burn-in board with the device under test inserted therein;
A temperature adjustment unit connected to the measurement unit in a separable manner, a cooling compressor for circulating the refrigerant, heat between the air circulating between the measurement unit and the temperature adjustment unit, and the refrigerant A temperature adjustment unit having a heat exchanger for exchanging and cooling the air, and a pipe for circulating a refrigerant between the heat exchanger and the cooling compressor;
It is characterized by providing.

この場合、前記温度調整ユニットは、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気を加熱するためのヒーターを、さらに備えるようにしてもよい。 In this case, the temperature adjustment unit may further include a heater for heating the air circulating between the measurement unit and the temperature adjustment unit.

また、前記温度調整ユニットは、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間で、空気を循環させるためのファンを、さらに備えるようにしてもよい。 The temperature adjustment unit may further include a fan for circulating air between the measurement unit and the temperature adjustment unit.

また、前記測定ユニットは、バーンインボードが収納される領域に設けられた予備ヒーターを備えるようにしてもよい。 The measurement unit may include a preliminary heater provided in a region where the burn-in board is stored.

また、前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気が送り出される第１ダクト開口に対応する位置に、前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気が流れ込む第２ダクト開口が位置しており、前記第１ダクト開口と前記第２ダクトが連結されることにより、前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気を流すためのダクトが形成され、
前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が送り出される試験領域開口に対応する位置に、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れ込む調整領域開口が位置しており、前記試験領域開口と前記調整領域開口とが連結されることにより、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れるようにしてもよい。 A second duct opening through which air flows from the temperature adjustment unit to the measurement unit is located at a position corresponding to the first duct opening through which air is sent from the temperature adjustment unit to the measurement unit. By connecting the duct opening and the second duct, a duct for flowing air from the temperature adjustment unit to the measurement unit is formed,
An adjustment region opening through which air flows from the measurement unit to the temperature adjustment unit is located at a position corresponding to the test region opening from which the air is sent from the measurement unit to the temperature adjustment unit, and the test region opening and the adjustment Air may flow from the measurement unit to the temperature adjustment unit by being connected to the region opening.

また、前記温度調整ユニット又は前記測定ユニットに分離可能に連結されて、前記冷却コンプレッサの駆動制御を行う制御ユニットをさらに備えるようにしてもよい。 In addition, a control unit that is detachably connected to the temperature adjustment unit or the measurement unit and that performs drive control of the cooling compressor may be further provided.

BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the embodiments described below do not limit the technical scope of the present invention.

図１は、本発明の一実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な斜視図であり、図２は、図１のバーンイン装置１０の全体的な正面図である。図３は、バーンイン装置１０の内部構成を説明するための正面レイアウト図であり、バーンインボードＢＩＢが収納された状態を示している。図４は、バーンイン装置１０のコネクタ５０にバーンインボードＢＩＢのエッジコネクタを挿入した状態を示す部分的な斜視図である。 FIG. 1 is an overall perspective view of a burn-in apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an overall front view of the burn-in apparatus 10 of FIG. FIG. 3 is a front layout diagram for explaining the internal configuration of the burn-in apparatus 10 and shows a state in which the burn-in board BIB is accommodated. FIG. 4 is a partial perspective view showing a state in which the edge connector of the burn-in board BIB is inserted into the connector 50 of the burn-in apparatus 10.

これらの図に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０は、温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とにより、構成されている。温度調整ユニット１００と測定ユニット２００の内部には、断熱壁３０で区画された空間により、恒温槽４０が形成されている。この恒温槽４０における測定ユニット２００の内部には、１又は複数のバーンインボードＢＩＢが収納される。 As shown in these drawings, the burn-in apparatus 10 according to the present embodiment includes a temperature adjustment unit 100, a measurement unit 200, and a control unit 300. Inside the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200, a thermostatic chamber 40 is formed by a space partitioned by the heat insulating wall 30. One or a plurality of burn-in boards BIB are accommodated inside the measurement unit 200 in the thermostatic chamber 40.

この図に示すバーンイン装置１０の例では、バーンインボードＢＩＢを挿入するためのコネクタ５０が、１５段×４組の配置で固定的に取り付けられており、合計６０枚のバーンインボードを、これらのコネクタ５０に挿入することが可能である。但し、この恒温槽４０内に設けるコネクタ５０の数や配置は任意に変更可能である。すなわち、恒温槽４０内に収納されるバーンインボードＢＩＢの数や配置は、任意に変更可能である。 In the example of the burn-in device 10 shown in this figure, the connectors 50 for inserting the burn-in boards BIB are fixedly attached in an arrangement of 15 stages × 4 sets, and a total of 60 burn-in boards are connected to these connectors. 50 can be inserted. However, the number and arrangement of the connectors 50 provided in the thermostat 40 can be arbitrarily changed. That is, the number and arrangement of burn-in boards BIB stored in the thermostat 40 can be arbitrarily changed.

また、このバーンイン装置１０には、２枚のドア２０が設けられており、ドア２０を開状態にすることにより、バーンインボードを恒温槽４０から出し入れできるようになる。また、このドア２０にも断熱材が組み込まれており、ドア２０を閉状態にすることにより、周囲から熱的に遮断された空間である恒温槽４０が構成される。 The burn-in device 10 is provided with two doors 20, and the burn-in board can be taken in and out of the thermostatic bath 40 by opening the door 20. In addition, a heat insulating material is also incorporated in the door 20, and the thermostatic chamber 40 which is a space thermally blocked from the surroundings is configured by closing the door 20.

また、本実施形態においては、キャリアラックＣＲごと、バーンインボードＢＩＢが恒温槽４０に収納される。すなわち、１５枚のバーンインボードＢＩＢを格納したキャリアラックＣＲを、恒温槽４０に収納することにより、１５枚のバーンインボードＢＩＢが恒温槽４０に収納される。したがって、本実施形態に係るバーンイン装置１０には、４台のキャリアラックＣＲを収納することができることになる。 In the present embodiment, the burn-in board BIB is housed in the thermostat 40 for each carrier rack CR. That is, by storing the carrier rack CR storing 15 burn-in board BIBs in the constant temperature bath 40, 15 burn-in board BIBs are stored in the constant temperature bath 40. Therefore, four carrier racks CR can be stored in the burn-in device 10 according to the present embodiment.

さらに、本実施形態に係るバーンイン装置１０においては、この恒温槽４０の左側、上側、右側と延びる空気循環ダクトＤＴが設けられている。空気循環ダクトＤＴの左上側には、ファン７０が設けられている。このファン７０が駆動すると、空気循環ダクトＤＴの左側から、バーンインボードＢＩＢのある試験領域の空気が吸引され、空気循環ダクトＤＴの上側及び右側を通って、再び、バーンインボードＢＩＢのある試験領域に送出される。つまり、ファン７０により、恒温槽４０内の空気の循環が形成され、恒温槽４０の内部の空気が攪拌されて、恒温槽４０の内部温度が場所によらずに均一になる。これにより、バーンインボードに装着された被試験デバイスＤＵＴである半導体装置の周囲の温度を、所望の温度にすることができるようになる。 Furthermore, in the burn-in device 10 according to the present embodiment, an air circulation duct DT extending from the left side, the upper side, and the right side of the constant temperature bath 40 is provided. A fan 70 is provided on the upper left side of the air circulation duct DT. When the fan 70 is driven, the air in the test area with the burn-in board BIB is sucked from the left side of the air circulation duct DT, passes through the upper and right sides of the air circulation duct DT, and again enters the test area with the burn-in board BIB. Sent out. That is, the fan 70 forms a circulation of air in the thermostat 40 and the air inside the thermostat 40 is agitated, so that the internal temperature of the thermostat 40 becomes uniform regardless of the place. As a result, the ambient temperature of the semiconductor device that is the device under test DUT mounted on the burn-in board can be set to a desired temperature.

また、バーンイン装置１０の左側には、上述した温度調整ユニット１００が設けられている。この温度調整ユニット１００内には、冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４とが収納されている。本実施形態においては、この冷却ユニット１００は、冷媒として冷却水を用いた冷却方式を採用している。このため、冷却コンプレッサ１０２は、冷却水を循環するためのコンプレッサであり、冷却コンプレッサ１０２から送出された冷却水は、パイプ１０６を通って熱交換器１０４に到達し、熱交換器１０４において、冷却水の冷熱が恒温槽４０の内部の空気と熱交換される。熱交換器１０４で熱交換された冷却水は、再びパイプ１０６を通って冷却コンプレッサ１０２に戻る。 Further, the temperature adjustment unit 100 described above is provided on the left side of the burn-in apparatus 10. A cooling compressor 102 and a heat exchanger 104 are accommodated in the temperature adjustment unit 100. In the present embodiment, the cooling unit 100 employs a cooling system that uses cooling water as a refrigerant. Therefore, the cooling compressor 102 is a compressor for circulating the cooling water, and the cooling water sent from the cooling compressor 102 reaches the heat exchanger 104 through the pipe 106 and is cooled in the heat exchanger 104. The cold heat of the water exchanges heat with the air inside the thermostat 40. The cooling water heat-exchanged by the heat exchanger 104 returns to the cooling compressor 102 through the pipe 106 again.

熱交換器１０４は、恒温槽４０内に設けられている。このため、冷却ユニット１００が稼働している状態で、ファン７０により恒温槽内部の空気が循環すると、循環された空気が熱交換器１０４で冷却され、恒温槽４０の内部の温度を下げることができる。 The heat exchanger 104 is provided in the constant temperature bath 40. For this reason, when the air inside the thermostat is circulated by the fan 70 while the cooling unit 100 is in operation, the circulated air is cooled by the heat exchanger 104 and the temperature inside the thermostat 40 can be lowered. it can.

また、熱交換器１０４の左側には、ヒーター１２０が設けられている。このヒーター１２０は、例えば電熱ヒーターにより構成されており、ヒーター１２０に電源が供給されると発熱するように構成されている。ヒーター１２０が発熱している状態で、恒温槽４０内の空気を循環させることにより、恒温槽４０内の空気の温度を上げることができる。 A heater 120 is provided on the left side of the heat exchanger 104. The heater 120 is configured by, for example, an electric heater, and is configured to generate heat when power is supplied to the heater 120. By circulating the air in the thermostat 40 while the heater 120 is generating heat, the temperature of the air in the thermostat 40 can be raised.

さらに、測定ユニット２００における中央部分に、予備ヒーター１３０が設けられている。すなわち、右側の列のコネクタ５０と、左側の列のコネクタ５０との間に、予備のヒーターである予備ヒーター１３０が設けられている。この予備ヒーター１３０も、例えば電熱ヒーターにより構成されており、予備ヒーター１３０に電源が供給されると発熱するように構成されている。予備ヒーター１３０が発熱している状態で、恒温槽４０内の空気を循環させることにより、恒温槽４０内の空気の温度を上げることができる。 Further, a preliminary heater 130 is provided in the central portion of the measurement unit 200. That is, the spare heater 130 which is a spare heater is provided between the connector 50 in the right column and the connector 50 in the left column. The preliminary heater 130 is also composed of, for example, an electric heater, and is configured to generate heat when power is supplied to the preliminary heater 130. By circulating the air in the thermostat 40 while the preliminary heater 130 is generating heat, the temperature of the air in the thermostat 40 can be raised.

また、本実施形態においては、予備ヒーター１３０は、個別に電源の供給を制御することができ、このため、個別にオン／オフ制御することができる。これにより、循環する空気の下流側に位置する図中左側のバーンインボードＢＩＢが収納される領域の温度を、高い精度で制御することが可能となり、温度分布の均一化を図ることができる。 In the present embodiment, the auxiliary heater 130 can individually control the supply of power, and thus can be individually controlled on / off. This makes it possible to control the temperature of the region where the burn-in board BIB on the left side in the drawing, which is located downstream of the circulating air, is stored with high accuracy, and to achieve uniform temperature distribution.

本実施形態においては、バーンイン装置１０の全体的な制御を、制御ユニット３００が行う。すなわち、ヒーター１２０や予備ヒーター１３０の制御や、冷却コンプレッサ１０２の制御は、制御ユニット３００が行う。 In the present embodiment, the control unit 300 performs overall control of the burn-in apparatus 10. That is, the control unit 300 controls the heater 120 and the auxiliary heater 130 and the cooling compressor 102.

図５は、本実施形態に係るバーンイン装置１０を、温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とに、分離した状態を説明するブロック図であり、図６は、これら温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とを組み立てて、１つのバーンイン装置１０を構成した状態を説明するブロック図である。これら図５及び図６は、上述した図３のバーンイン装置１０を模式化して示している。 FIG. 5 is a block diagram illustrating a state in which the burn-in apparatus 10 according to the present embodiment is separated into the temperature adjustment unit 100, the measurement unit 200, and the control unit 300. FIG. 6 is a diagram illustrating these temperature adjustment units. 1 is a block diagram illustrating a state in which one burn-in device 10 is configured by assembling 100, a measurement unit 200, and a control unit 300. FIG. 5 and 6 schematically show the burn-in device 10 of FIG. 3 described above.

これら図５及び図６に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０では、温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とに分離して、３つのパーツに分解することができる。 As shown in FIGS. 5 and 6, in the burn-in device 10 according to the present embodiment, the temperature adjustment unit 100, the measurement unit 200, and the control unit 300 can be separated into three parts. .

上述したように、温度調整ユニット１００には、冷却コンプレッサ１０２と、熱交換器１０４とが組み込まれており、これら冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４との間は冷媒を循環させるパイプ１０６で接続されている。しかし、本実施形態の温度調整ユニット１００では、この冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４は、温度調整ユニット１００内に収納されているので、冷媒を循環させるパイプ１０６も温度調整ユニット１００内に収納されている。このため、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００とを分離したとしても、パイプ１０６内の冷媒が飛散することはない。また、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００とを分離する際に、パイプ１０６の冷媒の飛散を極力抑えるために、パイプ１０６を閉止するためのバルブを閉めたり、冷却コンプレッサ１０２や熱交換器１０４のバルブを閉じたりする必要はない。 As described above, the temperature adjustment unit 100 includes the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104, and the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104 are connected by the pipe 106 for circulating the refrigerant. ing. However, in the temperature adjustment unit 100 of the present embodiment, since the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104 are accommodated in the temperature adjustment unit 100, the pipe 106 for circulating the refrigerant is also accommodated in the temperature adjustment unit 100. ing. For this reason, even if the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are separated, the refrigerant in the pipe 106 is not scattered. Further, when the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are separated, the valve for closing the pipe 106 is closed in order to suppress the scattering of the refrigerant in the pipe 106 as much as possible, the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104 There is no need to close the valve.

さらに、本実施形態に係るバーンイン装置１０では、温度調整ユニット１００内に、ヒーター１２０とファン７０も収納されている。すなわち、冷却コンプレッサ１０２や熱交換器１０４を含め、このバーンイン装置１０の冷却システム全体が、温度調整ユニット１００内に収納されている。このため、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との分離作業を極めて容易に行うことができる。 Furthermore, in the burn-in device 10 according to the present embodiment, the heater 120 and the fan 70 are also housed in the temperature adjustment unit 100. That is, the entire cooling system of the burn-in device 10 including the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104 is accommodated in the temperature adjustment unit 100. For this reason, the separation operation of the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 can be performed very easily.

温度調整ユニット１００と測定ユニット２００とを連結して、バーンイン装置１０を組み立てる際には、バーンインボードＢＩＢが収納される試験領域の上を空気が流れるためのダクト４００とダクト４１０とを連結する。具体的には、ダクト４００のダクト開口４０２と、ダクト４１０のダクト開口４１２との位置あわせをして連結することにより、温度調整ユニット１００から測定ユニット２００に空気を送り出すダクト開口４０２と、温度調整ユニット１００から測定ユニット２００に空気が流れ込むダクト開口４１２とが連結されて、温度調整ユニット１００から測定ユニット２００に空気が流れるための空気循環ダクトＤＴが形成される。 When assembling the burn-in device 10 by connecting the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200, the duct 400 and the duct 410 for allowing air to flow over the test area in which the burn-in board BIB is stored are connected. Specifically, the duct opening 402 of the duct 400 and the duct opening 412 of the duct 410 are aligned and connected to each other, whereby the duct opening 402 for sending air from the temperature adjustment unit 100 to the measurement unit 200, and the temperature adjustment. A duct opening 412 through which air flows from the unit 100 to the measurement unit 200 is connected to form an air circulation duct DT through which air flows from the temperature adjustment unit 100 to the measurement unit 200.

また、バーンインボードＢＩＢが収納されている試験領域の空気が、図中右側の熱交換器１０４に向けて流れるようにするために、バーンインボードＢＩＢが収納されている試験領域の開口４２０と、熱交換器１０４が収納されている収納領域の開口４２２との位置あわせをして連結する。これにより、測定ユニット２００の試験領域の空気が、温度調整ユニット１００に流れるようになる。そして、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との間の電気的な接続をするだけで、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との連結作業が終了する。 Further, in order to allow the air in the test area in which the burn-in board BIB is accommodated to flow toward the heat exchanger 104 on the right side in the drawing, the test area opening 420 in which the burn-in board BIB is accommodated, Align and connect with the opening 422 of the storage area in which the exchanger 104 is stored. As a result, the air in the test area of the measurement unit 200 flows into the temperature adjustment unit 100. Then, the electrical connection between the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 is merely completed, and the connection operation between the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 is completed.

さらに、本実施形態に係るバーンイン装置１０では、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間も分離することができる。測定ユニット２００と制御ユニット３００との間を分離する場合には、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間の電気的接続を切り離せばよい。そして、再度、測定ユニット２００と制御ユニット３００とを連結する場合には、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間の電気的接続をするだけでよい。 Furthermore, in the burn-in device 10 according to the present embodiment, the measurement unit 200 and the control unit 300 can also be separated. When the measurement unit 200 and the control unit 300 are separated, the electrical connection between the measurement unit 200 and the control unit 300 may be disconnected. When the measurement unit 200 and the control unit 300 are coupled again, it is only necessary to make an electrical connection between the measurement unit 200 and the control unit 300.

図７は、温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とを結合して、バーンイン装置１０を組み立てる場合における、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との間を固定する手法の一例を説明する図であり、バーンイン装置１０を正面から見た状態を示している。図８は、温度調整ユニット１００と、測定ユニット２００と、制御ユニット３００とを結合して、バーンイン装置１０を組み立てる場合における、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００と制御ユニット３００との間を固定する手法の一例を説明する図であり、バーンイン装置１０を背面から見た状態を示している。 FIG. 7 shows an example of a technique for fixing the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 when the temperature adjustment unit 100, the measurement unit 200, and the control unit 300 are combined to assemble the burn-in apparatus 10. It is a figure explaining and the state which looked at the burn-in apparatus 10 from the front is shown. FIG. 8 shows the fixing between the temperature adjustment unit 100, the measurement unit 200, and the control unit 300 when the burn-in apparatus 10 is assembled by combining the temperature adjustment unit 100, the measurement unit 200, and the control unit 300. It is a figure explaining an example of the method, and has shown the state which looked at the burn-in apparatus 10 from the back surface.

図７に示すように、バーンイン装置１０の正面側においては、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との間は、上下に設けられた連結装置５００によりそれぞれ連結される。 As shown in FIG. 7, on the front side of the burn-in device 10, the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are connected by connecting devices 500 provided above and below, respectively.

より具体的には、温度調整ユニット１００の右下の角部には、Ｌ字状の第１連結部５０２が設けられており、この第１連結部５０２はネジ５０４により、温度調整ユニット１００に取り付けられている。また、測定ユニット２００の左下の角部には、逆Ｌ字状の第２連結部５０６が設けられており、この第２連結部はネジ５０８により、測定ユニット２００に取り付けられている。 More specifically, an L-shaped first connection portion 502 is provided at the lower right corner of the temperature adjustment unit 100, and the first connection portion 502 is attached to the temperature adjustment unit 100 by a screw 504. It is attached. Further, an inverted L-shaped second connection portion 506 is provided at the lower left corner of the measurement unit 200, and this second connection portion is attached to the measurement unit 200 with a screw 508.

第１連結部５０２におけるバーンイン装置１０から張り出した張り出し部５１０には、貫通孔５１２が形成されている。これに対応して、第２連結部５０６におけるバーンイン装置１０から張り出した張り出し部５２０には、貫通孔５２２が形成されている。これら２つの貫通孔５１２、５２２との間の位置を合わせて、ネジ５３０を貫通孔５１２、５２２に貫通させて張り出し部５１０と張り出し部５２０とを共締めすることにより、第１連結部５１０と第２連結部５０６とが連結される。温度調整ユニット１００の右上の角部と測定ユニット２００の左上の角部との間に設けられている連結装置５００も、これと同様の構成である。 A through hole 512 is formed in the overhanging portion 510 that protrudes from the burn-in device 10 in the first connecting portion 502. Correspondingly, a through hole 522 is formed in the overhang portion 520 overhanging from the burn-in device 10 in the second connecting portion 506. By aligning the position between the two through holes 512 and 522 and passing the screw 530 through the through holes 512 and 522 and fastening the projecting portion 510 and the projecting portion 520 together, The 2nd connection part 506 is connected. The connecting device 500 provided between the upper right corner of the temperature adjustment unit 100 and the upper left corner of the measurement unit 200 has the same configuration.

なお、図１にも示したように、制御ユニット３００の奥行きは、測定ユニット２００の奥行きより短くなっていることから、バーンイン装置１０の正面側においては、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間は、段差が形成されている。このため、本実施形態においては、バーンイン装置１０の正面側では、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間は連結装置で連結されていない。但し、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間の連結をより強固なものにするために、バーンイン装置１０の正面側でも、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間を連結装置で連結するようにしてもよい。 As shown in FIG. 1, since the depth of the control unit 300 is shorter than the depth of the measurement unit 200, between the measurement unit 200 and the control unit 300 on the front side of the burn-in device 10. Has a step. For this reason, in this embodiment, the measurement unit 200 and the control unit 300 are not connected by a connecting device on the front side of the burn-in device 10. However, in order to further strengthen the connection between the measurement unit 200 and the control unit 300, the measurement unit 200 and the control unit 300 are also connected by a connection device on the front side of the burn-in apparatus 10. May be.

図８に示すように、バーンイン装置１０の背面側においては、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との間は、上下に設けられた連結装置６００によりそれぞれ連結されており、また、測定ユニット２００と制御ユニット３００との間も、上下に設けられた連結装置６００によりそれぞれ連結されている。 As shown in FIG. 8, on the back side of the burn-in apparatus 10, the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are connected to each other by a connection device 600 provided vertically, The control unit 300 is also connected by a connecting device 600 provided above and below.

より具体的には、温度調整ユニット１００の左下の角部には、バーンイン装置１０から張り出した第１張出連結部６１０が固定的に設けられており、この第１張出連結部６１０には、貫通孔６１２が形成されている。また、測定ユニット２００の右下の角部には、バーンイン装置１０から張り出した第２張出連結部６２０が固定的に設けられており、この第２張出連結部６２０には、貫通孔６２２が形成されている。 More specifically, a first overhanging connecting portion 610 that protrudes from the burn-in device 10 is fixedly provided at the lower left corner of the temperature adjustment unit 100, and the first overhanging connecting portion 610 includes A through-hole 612 is formed. In addition, a second overhanging connection portion 620 that protrudes from the burn-in device 10 is fixedly provided at the lower right corner of the measurement unit 200, and the second overhanging connection portion 620 has a through hole 622. Is formed.

これら２つの貫通孔６１２、６２２との間の位置を合わせて、ネジ６３０を貫通孔６１２、６２２に貫通させて第１張出連結部６１０と第２張出連結部６２０とを共締めすることにより、第１連張出部６１０と第２張出部６２０とが連結される。 Aligning the position between these two through holes 612 and 622, passing the screw 630 through the through holes 612 and 622, and fastening the first overhanging connection part 610 and the second overhanging connection part 620 together. Thus, the first continuous overhanging portion 610 and the second overhanging portion 620 are connected.

温度調整ユニット１００の左上の角部と測定ユニット２００の右上の角部との間に設けられている連結装置６００も、これと同様の構成であり、測定ユニット２００の左下の角部と制御ユニット３００の右下の角部との間に設けられている連結装置６００も、これと同様の構成であり、測定ユニット２００の左上の角部と制御ユニット３００の右上の角部との間に設けられている連結装置６００も、これと同様の構成である。 The connecting device 600 provided between the upper left corner of the temperature adjustment unit 100 and the upper right corner of the measurement unit 200 has the same configuration as this, and the lower left corner of the measurement unit 200 and the control unit. The connecting device 600 provided between the lower right corner portion of 300 has the same configuration as this, and is provided between the upper left corner portion of the measurement unit 200 and the upper right corner portion of the control unit 300. The connecting device 600 shown in FIG.

以上のように、本実施形態に係るバーンイン装置１０によれば、バーンイン装置１０の温度調整ユニット１００と測定ユニット２００との間を容易に分離することができ、また、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００とを容易に連結することができるので、バーンイン装置１０を分解して容易に移動することができる。特に、冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４とこれらの間で冷媒を循環させるパイプ１０６とが、いずれも温度調整ユニット１００に収納されているので、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００とを分離する際に、冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４との間のパイプ１０６から、冷媒が飛散することを回避することができる。 As described above, according to the burn-in device 10 according to the present embodiment, the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 of the burn-in device 10 can be easily separated, and the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit can be separated. 200 can be easily connected to each other, so that the burn-in apparatus 10 can be easily disassembled and moved. In particular, since the cooling compressor 102, the heat exchanger 104, and the pipe 106 for circulating the refrigerant between them are all housed in the temperature adjustment unit 100, the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are separated. In addition, the refrigerant can be prevented from being scattered from the pipe 106 between the cooling compressor 102 and the heat exchanger 104.

また、空気循環ダクトＤＴ内の空気を循環させるためのファン７０も、温度調整ユニット１００内に設けるようにしたので、測定ユニット２００にファンを設ける場合と比べて、測定ユニット２００の高さはその分、低くすることができ、ひいては、バーンイン装置１０全体の高さも低くすることができる。すなわち、ファン７０を温度調整ユニット１００に設けることにより、ファン７０の設置位置の自由度が増し、バーンイン装置１０全体の高さを低く抑えることができる。 Further, since the fan 70 for circulating the air in the air circulation duct DT is also provided in the temperature adjustment unit 100, the height of the measurement unit 200 is higher than that in the case where the fan is provided in the measurement unit 200. The overall height of the burn-in apparatus 10 can also be lowered. That is, by providing the fan 70 in the temperature adjustment unit 100, the degree of freedom of the installation position of the fan 70 is increased, and the overall height of the burn-in device 10 can be suppressed low.

また、温度調整ユニット１００と測定ユニット２００を分離可能に構成しつつも、空気循環ダクトＤＴにおける空気の流路の断面積は、必要十分な大きさを確保することができるので、空気を循環させるための圧力損失を少なくでき、ファン７０の出力も小さくて済むようになる。 In addition, while the temperature adjustment unit 100 and the measurement unit 200 are configured to be separable, the cross-sectional area of the air flow path in the air circulation duct DT can ensure a necessary and sufficient size, so that air is circulated. Therefore, the pressure loss can be reduced, and the output of the fan 70 can be reduced.

さらに、予備ヒーター１３０を、バーンインボードＢＩＢが収納される試験領域の中央部分に設けたので、バーンインボードＢＩＢが収納されている試験領域内の温度の均一化を図ることができる。すなわち、予備ヒーター１３０を個別にオン／オフ制御することにより、恒温槽４０内を循環する空気の下流側にある、図中左側のバーンインボードＢＩＢが格納される領域の温度を安定化させることができる。 Furthermore, since the preliminary heater 130 is provided in the center portion of the test area in which the burn-in board BIB is accommodated, the temperature in the test area in which the burn-in board BIB is accommodated can be made uniform. That is, the temperature of the region where the burn-in board BIB on the left side in the figure is stored on the downstream side of the air circulating in the thermostat 40 can be stabilized by individually controlling the on / off of the preliminary heater 130. it can.

なお、本発明は上記実施形態に限定されず種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態では、制御ユニット３００を測定ユニット２００に分離可能に連結することとしたが、制御ユニット３００は、温度調整ユニット１００に分離可能に連結するようにしてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible. For example, in the above-described embodiment, the control unit 300 is detachably connected to the measurement unit 200. However, the control unit 300 may be detachably connected to the temperature adjustment unit 100.

また、上述した実施形態では、制御ユニット３００もバーンイン装置１０から分離可能に構成したが、制御ユニット３００は、必ずしも分離可能に構成する必要はない。例えば、制御ユニット３００の制御機能を、温度調整ユニット１００に組み込んでバーンイン装置１０を構成するようにしてもよい。 In the above-described embodiment, the control unit 300 is also configured to be separable from the burn-in apparatus 10, but the control unit 300 is not necessarily configured to be separable. For example, the burn-in apparatus 10 may be configured by incorporating the control function of the control unit 300 into the temperature adjustment unit 100.

また、上述した実施形態のバーンイン装置１０では、キャリアラックＣＲごと、恒温槽４０にバーンイン装置１０を収納するとしたが、キャリアラックＣＲは恒温槽４０に収納せずに、バーンインボードＢＩＢだけを恒温槽４０に収納するようにしてもよい。 Further, in the burn-in device 10 of the above-described embodiment, the burn-in device 10 is stored in the thermostat 40 for each carrier rack CR. You may make it accommodate in 40.

図１は、本実施形態に係るバーンイン装置の全体構成の一例を説明する斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating an example of the overall configuration of the burn-in apparatus according to the present embodiment. 図２は、図１に示したバーンイン装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the burn-in apparatus shown in FIG. 図３は、図１に示したバーンイン装置の内部レイアウトの一例を説明するための正面図である。FIG. 3 is a front view for explaining an example of the internal layout of the burn-in apparatus shown in FIG. 図４は、本実施形態に係るバーンイン装置におけるコネクタと、このコネクタに挿入されているバーンインボードとを示す部分的な斜視図である。FIG. 4 is a partial perspective view showing a connector in the burn-in device according to the present embodiment and a burn-in board inserted in the connector. 図５は、図１に示したバーンイン装置の温度調整ユニットと測定ユニットと制御ユニットとを分離した状態を説明するためのブロック図である。FIG. 5 is a block diagram for explaining a state in which the temperature adjustment unit, the measurement unit, and the control unit of the burn-in apparatus shown in FIG. 1 are separated. 図５に示した温度調整ユニットと測定ユニットと制御ユニットとを連結して、バーンイン装置を組み立てた状態を説明するためのブロック図である。FIG. 6 is a block diagram for explaining a state where the burn-in device is assembled by connecting the temperature adjustment unit, the measurement unit, and the control unit shown in FIG. 5. 図７は、本実施形態に係る温度調整ユニットと測定ユニットとの間を連結する連結装置の構成の一例を説明するための正面図である。FIG. 7 is a front view for explaining an example of the configuration of a connecting device that connects the temperature adjustment unit and the measurement unit according to the present embodiment. 図８は、本実施形態に係る温度調整ユニットと測定ユニットと制御ユニットの間を連結する連結装置の構成の一例を説明するための背面図である。FIG. 8 is a rear view for explaining an example of the configuration of a coupling device that couples the temperature adjustment unit, the measurement unit, and the control unit according to the present embodiment.

Explanation of symbols

１０バーンイン装置
２０ドア
３０断熱壁
４０恒温槽
５０コネクタ
７０ファン
１００温度調整ユニット
２００測定ユニット
３００制御ユニット
ＢＩＢバーンインボード
ＣＲキャリアラック DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Burn-in apparatus 20 Door 30 Thermal insulation wall 40 Constant temperature bath 50 Connector 70 Fan 100 Temperature adjustment unit 200 Measurement unit 300 Control unit BIB Burn-in board CR Carrier rack

Claims

A measurement unit that houses the burn-in board with the device under test inserted therein;
A temperature adjustment unit connected to the measurement unit in a separable manner, a cooling compressor for circulating the refrigerant, heat between the air circulating between the measurement unit and the temperature adjustment unit, and the refrigerant A temperature adjustment unit having a heat exchanger for exchanging and cooling the air, and a pipe for circulating a refrigerant between the heat exchanger and the cooling compressor;
A control unit that is detachably connected to the temperature adjustment unit or the measurement unit, and performs drive control of the cooling compressor;
With
The temperature adjustment unit includes:
A fan for circulating air between the measurement unit and the temperature adjustment unit;
A heater for heating air circulating between the measurement unit and the temperature adjustment unit ;
Further comprising a,
The measurement unit further includes a preliminary heater provided in a region where the burn-in board is stored,
A second duct opening through which air flows from the temperature adjustment unit to the measurement unit is located at a position corresponding to the first duct opening through which air is sent from the temperature adjustment unit to the measurement unit. By connecting the measurement unit, the first duct opening and the second duct are connected, and a duct for flowing air from the temperature adjustment unit to the measurement unit is formed,
An adjustment region opening through which air flows from the measurement unit to the temperature adjustment unit is located at a position corresponding to a test region opening through which air is sent from the measurement unit to the temperature adjustment unit, and the temperature adjustment unit and the measurement By connecting a unit, the test area opening and the adjustment area opening are connected, and air flows from the measurement unit to the temperature adjustment unit.
A burn-in device characterized by that.

The preheater, the are several arranged in a central portion of the measuring unit, the plurality of pre-heaters is constituted by an electric heater which can control the supply of the individual power supply, it in claim 1, wherein The burn-in device described.