JP4803314B1 - Solar cell inspection equipment - Google Patents

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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

【課題】 製造コストを抑えたうえで、外乱光及び外部磁界の影響を受けずに太陽電池パネル又は太陽電池セルの検査を行う。
【解決手段】 ステージ40上に、電極間に導線を介して抵抗を接続した太陽電池パネルSPを載置する。発光素子50、発光信号供給回路65及び光源駆動回路66は、太陽電池パネルSPの表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を照射する。センサ信号取出回路67及びロックインアンプ68は、前記光の照射によって前記検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。
【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To inspect a solar battery panel or a solar battery cell without being affected by disturbance light and an external magnetic field while suppressing manufacturing cost.
SOLUTION: A solar cell panel SP in which a resistor is connected between electrodes via a conducting wire is placed on a stage 40. The light emitting element 50, the light emission signal supply circuit 65, and the light source driving circuit 66 irradiate light whose intensity changes at a predetermined cycle over the entire surface of the solar cell panel SP. The sensor signal extraction circuit 67 and the lock-in amplifier 68 detect a magnetic field that is generated when a current flows through the inspection object due to the light irradiation, and whose intensity changes with a period equal to the predetermined period. .
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、太陽電池セル又は複数の太陽電池セルを接続して構成される太陽電池パネルの欠陥を検出する太陽電池検査装置に関する。   The present invention relates to a solar cell inspection device that detects a defect of a solar cell panel configured by connecting solar cells or a plurality of solar cells.

太陽電池パネルは、高温、低温、雨、雪等に晒される環境下で使用されるため、長期間が経過すると、太陽電池パネルを構成する個々の太陽電池セルの表面の電極を半田又は導電性ペーストで接続している箇所や、太陽電池セル間を接続している配線の接続箇所が劣化する可能性がある。そのため、長期間使用した太陽電池パネルは、接続不良や欠陥が発生していないことを検査する必要がある。また、太陽電池セルを製造した直後又は太陽電池セルから太陽電池パネルを製造した直後も、太陽電池セルの表面の電極を半田又は導電性ペーストで接続している箇所や、太陽電池セル間を接続している配線の接続箇所に接続不良がないことを検査する必要がある。   Since solar panels are used in environments exposed to high temperatures, low temperatures, rain, snow, etc., after a long period of time, the electrodes on the surface of the individual solar cells constituting the solar panel are soldered or conductive. There is a possibility that the location where the paste is connected or the location where the solar cells are connected is deteriorated. Therefore, it is necessary to inspect that the solar cell panel used for a long period of time does not have any connection failure or defect. In addition, immediately after manufacturing a solar battery cell or immediately after manufacturing a solar battery panel from a solar battery cell, the location where the electrodes on the surface of the solar battery cell are connected with solder or conductive paste or between the solar battery cells is connected. It is necessary to check that there is no connection failure at the connection point of the wiring.

太陽電池セルや、複数の太陽電池セルから構成される太陽電池パネルを検査する方法にはいくつかの方法があるが、例えば下記特許文献1に紹介されているように、発電によって発生する電流によって各点で発生する磁界を磁気センサにより検出し、磁界の分布状態又は磁界から計算され得る電流の分布状態を、正常なものと比較することで異常の有無を判断する方法がある。この方法であれば、太陽電池セルであっても、太陽電池パネル(下記特許文献1では太陽電池モジュールと記載されている)であっても、検査対象を発電により電流が流れる状態にすれば、接続不良等の不具合箇所を非接触で精度よく検出することができる。   There are several methods for inspecting a solar battery cell or a solar battery panel composed of a plurality of solar battery cells. For example, as introduced in Patent Document 1 below, by a current generated by power generation, There is a method in which the magnetic field generated at each point is detected by a magnetic sensor, and the presence / absence of an abnormality is determined by comparing the distribution state of the magnetic field or the current distribution state that can be calculated from the magnetic field with a normal one. If it is this method, even if it is a photovoltaic cell, even if it is a photovoltaic panel (it is described as a photovoltaic module in the following patent documents 1), if the inspection object is made into a state where current flows by power generation, It is possible to accurately detect a defective portion such as a connection failure without contact.

特開2010−171065号公報JP 2010-171065 A

しかしながら、太陽電池は検査のために照射される光以外の外乱光によっても発電するため、外乱光が検査対象物の各部で一様の強度でない場合には、検査精度が悪くなるという問題がある。また、外乱光の影響なくすことでこの問題に対処する場合は、暗室のように検査を行う場所が限定されてしまうため、検査対象物を検査を行う場所に持ち込む手間が必要になるという問題がある。また、磁気センサは発電によって発生する電流による磁界に、地磁気や検査対象物の近くにある電線等で発生する磁界といった外部磁界も加えた磁界を検出するので、外部磁界が検査対象物の各部で一様な強さでない場合にも、検査精度が悪くなるという問題がある。また、外部磁界をなくすことでこの問題に対処する場合には、磁気シールドされた部屋で電線等の磁界を発生させるものを検査対象物から極力遠ざけるというように、検査対象物を検査を行う場所に持ち込む手間に加えて、検査のための設備コストが高くなるという問題がある。   However, since the solar cell generates power even by disturbance light other than light irradiated for inspection, there is a problem that inspection accuracy deteriorates when the disturbance light is not uniform in intensity at each part of the inspection object. . In addition, when dealing with this problem by eliminating the influence of ambient light, there is a problem that it is necessary to take the inspection object to the inspection place because the inspection place is limited like a dark room. is there. In addition, the magnetic sensor detects a magnetic field obtained by adding an external magnetic field such as a magnetic field generated by a geomagnetic field or an electric wire near the inspection target to a magnetic field generated by a current generated by power generation. Even when the strength is not uniform, there is a problem that the inspection accuracy deteriorates. Also, when dealing with this problem by eliminating the external magnetic field, the place to inspect the inspection object as far as possible from the inspection object such as the one that generates a magnetic field such as an electric wire in a magnetically shielded room There is a problem that the cost of equipment for inspection becomes high in addition to the trouble of bringing it into the factory.

さらに、前記特許文献1に記載されているように、磁界分布又は電流分布を正常なものと比較することで異常の有無を判断する場合は、検査対象物が一定の大きさで表面の電極が同じ位置にある必要がある。しかし、太陽電池セルや、太陽電池パネルには様々な大きさと構造のものがあり、全ての検査対象物に対応する基準の検査結果を用意することは極めて困難である。このため、あらゆる太陽電池セルや、太陽電池パネルを検査対象物とする場合には、検査員が磁界分布又は電流分布を見て、不具合箇所を判断する必要があり、的確に不具合箇所を検出するのが困難であるという問題もある。   Furthermore, as described in Patent Document 1, when determining the presence or absence of abnormality by comparing the magnetic field distribution or the current distribution with a normal one, the inspection object is a constant size and the surface electrode is Must be in the same position. However, solar cells and solar panels have various sizes and structures, and it is extremely difficult to prepare standard inspection results corresponding to all inspection objects. For this reason, in the case where any solar battery cell or solar battery panel is an inspection object, it is necessary for the inspector to look at the magnetic field distribution or the current distribution to determine the defective part, and accurately detect the defective part. There is also a problem that it is difficult.

本発明は、この問題を解決するためになされたもので、外乱光や外部磁界が存在しても、低コストで、これらの影響を受けずに太陽電池セルや、太陽電池パネルの検査を行うことができ、さらにあらゆる種類の太陽電池セルや、太陽電池パネルの検査対象物に対しても、精度よく不具合箇所を検出できる太陽電池検査装置を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。   The present invention has been made to solve this problem. Even when ambient light or an external magnetic field is present, the solar cell and the solar battery panel are inspected at a low cost without being affected by them. In addition, another object of the present invention is to provide a solar cell inspection apparatus capable of detecting a defective portion with high accuracy even for all types of solar cells and inspection objects of solar cell panels. In addition, in the description of each constituent element of the present invention below, in order to facilitate understanding of the present invention, reference numerals of corresponding portions of the embodiment are described in parentheses, but each constituent element of the present invention is The present invention should not be construed as being limited to the configurations of the corresponding portions indicated by the reference numerals of the embodiments.

上記目的を達成するために、本発明の第1の特徴は、電極間に導線を介して抵抗を接続した状態の検査対象物である太陽電池パネル(SP)又は太陽電池セル(SC)の表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を照射する光照射手段(50,65,66)と、光照射手段による光の照射によって検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を、検査対象物に対向する複数の箇所で検出する磁界検出手段(10,20,30,40、61〜65,67,68)と、磁界検出手段によって検出された検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布を計算する分布計算手段(70,S10〜S41,S100〜S124)と、分布計算手段によって計算された検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布に基づいて、複数の電極の延設方向の各部に流れる電流の大きさの分布又は同電流による磁界の強さの分布に関する特性を表す第1特性値を電極ごとに計算する第1特性値計算手段(S170〜S214,S220〜S256,S260、S264〜S276,S284〜S298)とを備えたことにある。 In order to achieve the above object, the first feature of the present invention is that the surface of a solar cell panel (SP) or solar cell (SC) that is an inspection object in a state in which a resistor is connected between electrodes via a conductor. A light irradiating means (50, 65, 66) for irradiating light whose intensity changes at a predetermined cycle over the whole, and a magnetic field generated by a current flowing through the inspection object due to light irradiation by the light irradiating means. Magnetic field detection means (10, 20, 30, 40, 61 to 65, 67, 68) for detecting a magnetic field whose intensity changes at a period equal to the predetermined period at a plurality of locations facing the inspection object ; Based on the magnetic field detection results at a plurality of locations facing the inspection target detected by the magnetic field detection means, the current magnitude distribution at the plurality of locations of the inspection target or at a plurality of locations facing the inspection target. Distribution calculation means (70, S10 to S41, S100 to S124) for calculating the distribution of the strength of the magnetic field and the distribution of the current magnitude or the inspection object at a plurality of locations of the inspection object calculated by the distribution calculation means Based on the distribution of the magnetic field strength at a plurality of locations facing the object, the characteristics relating to the distribution of the magnitude of the current flowing in each part in the extending direction of the plurality of electrodes or the distribution of the strength of the magnetic field due to the current are shown. First characteristic value calculating means (S170 to S214, S220 to S256, S260, S264 to S276, S284 to S298) for calculating one characteristic value for each electrode is provided.

この場合、光照射手段を、発光する発光素子と、所定の周期で大きさの変化する駆動信号で発光素子を駆動する駆動回路とで構成するとよい。また、磁界検出手段を、光の照射によって検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界を検査対象物に対向する複数の箇所で検出する磁気センサ手段と、磁気センサ手段によって検出された磁界から前記所定の周期と等しい周期で強さが変化する磁界成分を取出す磁界成分取出手段とで構成するとよい。また、この場合の特性値としては、例えば、1つの電極の各部に流れる電流の平均値を全ての電極の各部に流れる電流の平均値で除した値、1つの電極の各部に流れる電流の最大値と最小値との差を1つの電極の各部に流れる電流の平均値で除した値、1つの電極の各部に流れる電流の標準偏差を1つの電極の各部に流れる電流の平均値で除した値、1つの太陽電池セル内の全ての電極の各部に流れる電流の平均値の最大値と最小値との差を前記1つの太陽電池セル内の全ての電極の各部に流れる電流の平均値で除した値である。また、この場合、前記第1特性値を計算する電流を、同電流に対応した磁界で置き換えることもできる。さらに、この場合、前記第1特性値を所定の許容値と比較して検査対象物の合否の判定を自動的に行ったり、前記第1特性値を表示して作業者に検査対象物の合否の判定を行わせたりするとよい。In this case, the light irradiating means may be composed of a light emitting element that emits light and a drive circuit that drives the light emitting element with a drive signal whose size changes at a predetermined period. Further, the magnetic field detection means includes a magnetic sensor means for detecting a magnetic field generated by current flowing through the inspection object by light irradiation at a plurality of locations facing the inspection object, and a magnetic field detected by the magnetic sensor means. The magnetic field component extracting means may extract a magnetic field component whose strength changes with a period equal to the predetermined period. The characteristic value in this case is, for example, a value obtained by dividing the average value of the current flowing through each part of one electrode by the average value of the current flowing through each part of all the electrodes, and the maximum current flowing through each part of one electrode. The difference between the value and the minimum value divided by the average value of the current flowing in each part of one electrode, and the standard deviation of the current flowing in each part of one electrode divided by the average value of the current flowing in each part of one electrode The difference between the maximum value and the minimum value of the average value of the current flowing in each part of all the electrodes in one solar cell is the average value of the current flowing in each part of all the electrodes in the one solar cell. It is the value divided. In this case, the current for calculating the first characteristic value can be replaced with a magnetic field corresponding to the current. Further, in this case, the first characteristic value is compared with a predetermined allowable value to automatically determine whether or not the inspection object is acceptable, or the first characteristic value is displayed to indicate whether the inspection object is acceptable to the operator. You may want to make a decision.

また、本発明の第2の特徴は、前記本発明の第1の特徴において、前記第1特性値計算手段を、分布計算手段によって計算された検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布に基づいて、複数の電極間に流れる電流の大きさの分布又は同電流による磁界の強さの分布に関する特性を表す第2特性値を計算する第2特性値計算手段(S170〜S214,S220〜S256,S262、S264,S278〜S298)に変更したことにある。Further, a second feature of the present invention is that, in the first feature of the present invention, the first characteristic value calculating means is configured to measure the magnitude of current at a plurality of locations of the inspection object calculated by the distribution calculating means. A second characteristic representing the distribution of the magnitude of the current flowing between the plurality of electrodes or the distribution of the strength of the magnetic field due to the current based on the distribution or the distribution of the magnetic field strength at a plurality of locations facing the inspection object. The second characteristic value calculation means (S170 to S214, S220 to S256, S262, S264, S278 to S298) for calculating the characteristic value is used.

この場合の第2特性値としては、例えば、1つの太陽電池セル内の複数の電極間の各部を流れる電流の平均値を、全ての太陽電池セル内の複数の電極間の各部を流れる電流の平均値で除した値である。また、この場合、前記第2特性値を計算する電流を、同電流に対応した磁界で置き換えることもできる。さらに、この場合も、前記第2特性値を所定の許容値と比較して検査対象物の合否の判定を自動的に行ったり、前記第2特性値を表示して作業者に検査対象物の合否の判定を行わせたりするとよい。  In this case, as the second characteristic value, for example, the average value of the current flowing through each part between the plurality of electrodes in one solar battery cell, the current flowing through each part between the plurality of electrodes in all the solar battery cells, It is the value divided by the average value. In this case, the current for calculating the second characteristic value can be replaced with a magnetic field corresponding to the current. Furthermore, also in this case, the second characteristic value is compared with a predetermined allowable value to automatically determine the pass / fail of the inspection object, or the second characteristic value is displayed to show the inspection object to the operator. It is good to make a pass / fail decision.

上記のように構成した本発明の第1及び第2の特徴においては、検査対象物(太陽電池パネル又は太陽電池セル)に照射して発電を起こさせる光の強度を所定の周期で変化させ、検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を、複数の箇所で検出するようにした。これにより、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、検査対象物に対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。そして、分布計算手段により、検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布を得ることができる。In the first and second features of the present invention configured as described above, the intensity of light that irradiates the inspection object (solar cell panel or solar cell) to cause power generation is changed at a predetermined period, A magnetic field generated by a current flowing through the object to be inspected and whose intensity changes with a period equal to the predetermined period is detected at a plurality of locations. As a result, even if ambient light or an external magnetic field exists, the magnetic field can be detected at a plurality of locations facing the object to be inspected without being affected by these costs without being affected by these costs. And the distribution calculation means can obtain the distribution of the current magnitude at a plurality of locations of the inspection object or the distribution of the magnetic field strength at the plurality of locations facing the inspection object.

発明者は、実験の結果、太陽電池セル又は太陽電池パネルにおいて、電極間の断線、電極間の接触不良等がある異常な状態では、前記第1及び第2特性値が正常な状態から大きく変化することを発見している。したがって、前記本発明の第1及び第2の特徴によれば、電極間の断線、電極間の接触不良等がある異常な太陽電池セル又は太陽電池パネルを的確に検出できる。 As a result of the experiment, the inventor has found that the first and second characteristic values greatly change from the normal state in a solar cell or solar panel in an abnormal state where there is a disconnection between electrodes, a contact failure between electrodes, or the like. Have found to be. Therefore, according to the first and second features of the present invention, it is possible to accurately detect an abnormal solar battery cell or solar battery panel having a disconnection between electrodes, a contact failure between electrodes, and the like.

また、本発明の他の特徴は、さらに、分布計算手段によって計算された電流の大きさの分布又は磁界の強さの分布を表示する表示手段(70,72,S300,S310)を設けたことにある。   Another feature of the present invention is that display means (70, 72, S300, S310) for displaying the current magnitude distribution or the magnetic field strength distribution calculated by the distribution calculating means is further provided. It is in.

これによれば、作業者は、検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布を視覚を通じて認識でき、分布の異常から検査対象物の正常及び異常を判断できるようになる。   According to this, the operator can visually recognize the distribution of the magnitude of the current at a plurality of locations of the inspection object or the distribution of the magnetic field strength at the plurality of locations opposite to the inspection object, from the distribution abnormality. It becomes possible to determine whether the inspection object is normal or abnormal.

本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置の全体構成図である。It is a whole lineblock diagram of a solar cell inspection device concerning one embodiment of the present invention. 図1のステージ及び磁気センサの移動機構の具体例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the specific example of the moving mechanism of the stage of FIG. 1, and a magnetic sensor. 図1の磁気センサ及びセンサ信号取出回路の詳細回路ブロック図である。It is a detailed circuit block diagram of the magnetic sensor and sensor signal extraction circuit of FIG. 図1のロックインアンプの詳細回路ブロック図である。FIG. 2 is a detailed circuit block diagram of the lock-in amplifier of FIG. 1. 図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムの前半部分を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing the first half of a data acquisition program executed by the controller of FIG. 前記データ取得プログラムの後半部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the second half part of the said data acquisition program. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの先頭部分を示すフローチャートである。2 is a flowchart showing a head portion of an evaluation program executed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Aに続く部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the part following FIG. 6A of the evaluation program performed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Bに続く部分を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a part following FIG. 6B of the evaluation program executed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Cに続く部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the part following FIG. 6C of the evaluation program performed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Dに続く部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the part following FIG. 6D of the evaluation program performed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Eに続く部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the part following FIG. 6E of the evaluation program performed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Fに続く部分を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a part following FIG. 6F of the evaluation program executed by the controller of FIG. 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図6Gに続く部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the part following FIG. 6G of the evaluation program performed by the controller of FIG. 太陽電池パネルの一例を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows an example of a solar cell panel. 図7の太陽電池セルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the photovoltaic cell of FIG. 図7の太陽電池セルの接続状態を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the connection state of the photovoltaic cell of FIG. 磁気センサによる太陽電池パネルの走査態様を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the scanning aspect of the solar cell panel by a magnetic sensor. 太陽電池セルの電極に異常が発生した場合における電極方向及び電極間方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the change of the magnitude | size of the electric current of an electrode direction and the direction between electrodes when abnormality generate | occur | produces in the electrode of a photovoltaic cell. 太陽電池セルの電極に他の異常が発生した場合における電極方向及び電極間方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the change of the magnitude | size of the electric current of an electrode direction and the direction between electrodes in case another abnormality generate | occur | produces in the electrode of a photovoltaic cell. 太陽電池セルの電極にさらに他の異常が発生した場合における電極方向及び電極間方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the change of the magnitude | size of the electric current of an electrode direction and the direction between electrodes when another abnormality generate | occur | produces in the electrode of a photovoltaic cell. 太陽電池パネルに流れる電流の大きさの分布図である。It is a distribution map of the magnitude | size of the electric current which flows into a solar cell panel. 太陽電池パネルのバスバー電極位置の検出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating detection of the bus-bar electrode position of a solar cell panel. (A)は接続線を介したバスバー電極と裏面電極との接続状態を説明するための説明図であり、(B)はバスバー電極及び接続線に流れる電流の大きさを示すグラフである。(A) is explanatory drawing for demonstrating the connection state of a bus-bar electrode and a back surface electrode via a connection line, (B) is a graph which shows the magnitude | size of the electric current which flows into a bus-bar electrode and a connection line. 図10Aの状態にある太陽電池セルの電流分布の表示状態を示す図である。It is a figure which shows the display state of the current distribution of the photovoltaic cell in the state of FIG. 10A. 図10Bの状態にある太陽電池セルの電流分布の表示状態を示す図である。It is a figure which shows the display state of the electric current distribution of the photovoltaic cell in the state of FIG. 10B. 図10Cの状態にある太陽電池セルの電流分布の表示状態を示す図である。It is a figure which shows the display state of the electric current distribution of the photovoltaic cell in the state of FIG. 10C.

以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置について図面を用いて説明する。図1は、この太陽電池検査装置の全体概略図である。太陽電池検査装置は、磁気センサ10を支持固定するセンサ支持台11を有し、センサ支持台11は、X方向スライド機構20によってX方向(紙面左右方向)に移動するとともに、Y方向スライド機構30によってY方向(紙面垂直方向)に移動する。センサ支持台11は、図2に詳細に示すように、方形状の平板で構成されて、上面にて磁気センサ10を支持固定する。このセンサ支持台11は、X方向スライド機構20の一部を構成する方形状の移動部材21により支持されている。この移動部材21には、センサ支持台11を上下に変位させて磁気センサ10の上下方向位置を調整する調整機構(図示しない)が設けられており、調整つまみ22の操作によりセンサ支持台11が上下方向に位置調整されるようになっている。   Hereinafter, a solar cell inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall schematic diagram of this solar cell inspection apparatus. The solar cell inspection apparatus includes a sensor support base 11 that supports and fixes the magnetic sensor 10. The sensor support base 11 is moved in the X direction (left and right direction in the drawing) by the X direction slide mechanism 20, and the Y direction slide mechanism 30. To move in the Y direction (perpendicular to the paper surface). As shown in detail in FIG. 2, the sensor support 11 is formed of a rectangular flat plate, and supports and fixes the magnetic sensor 10 on the upper surface. The sensor support 11 is supported by a rectangular moving member 21 that forms part of the X-direction slide mechanism 20. The moving member 21 is provided with an adjustment mechanism (not shown) that adjusts the vertical position of the magnetic sensor 10 by displacing the sensor support base 11 up and down. The position is adjusted in the vertical direction.

移動部材21の下面には、Y方向に所定の幅を有する凸部21aが設けられている。この凸部21aは、X方向に延設された支持部材23の上面に設けた溝23aに侵入して、溝23a内をX方向にスライドするようになっている。支持部材23の溝23a内には、X方向に延設されて移動部材21の凸部を貫通する雄ねじ24が収容されている。移動部材21の凸部21a内には、雄ねじ24に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ24の回転により、移動部材21がX方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ24と移動部材21に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ24の一端は、支持部材23の一端に組み付けたX方向モータ25の回転軸に連結され、雄ねじ24の他端は支持部材23の他端に回転可能に支持されている。これにより、X方向モータ25の回転により雄ねじ24が軸線周りに回転して、移動部材21、センサ支持台11及び磁気センサ10がX方向に移動する。   On the lower surface of the moving member 21, a convex portion 21a having a predetermined width in the Y direction is provided. The convex portion 21a enters the groove 23a provided on the upper surface of the support member 23 extending in the X direction, and slides in the groove 23a in the X direction. A male screw 24 that extends in the X direction and penetrates the convex portion of the moving member 21 is accommodated in the groove 23 a of the support member 23. A nut (not shown) screwed into the male screw 24 is incorporated in the convex portion 21 a of the moving member 21, and the moving member 21 moves in the X direction by the rotation of the male screw 24. That is, the ball screw mechanism is constituted by the male screw 24 and the nut incorporated in the moving member 21. One end of the male screw 24 is connected to a rotation shaft of an X-direction motor 25 assembled to one end of the support member 23, and the other end of the male screw 24 is rotatably supported by the other end of the support member 23. Thereby, the male screw 24 rotates around the axis by the rotation of the X direction motor 25, and the moving member 21, the sensor support base 11, and the magnetic sensor 10 move in the X direction.

支持部材23のX方向の両端近傍部の下面には、X方向に所定の幅を有する凸部23b,23cがそれぞれ設けられている。これらの凸部23b、23cは、Y方向にそれぞれ延設された支持部材31,32の上面に設けた溝31a,32aに侵入して、溝31a,32a内をY方向にスライドするようになっている。支持部材31の溝31a内には、Y方向に延設されて支持部材23の凸部23bを貫通する雄ねじ33が収容されている。支持部材23の凸部23b内には、雄ねじ33に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ33の回転により、支持部材23がY方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ33と支持部材23に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ33の一端は、支持部材31の一端に組み付けたY方向モータ34の回転軸に連結され、雄ねじ33の他端は支持部材31の他端に回転可能に支持されている。これにより、Y方向モータ34の回転により雄ねじ33が軸線周りに回転して、支持部材23が移動部材21、センサ支持台11及び磁気センサ10と共にY方向に移動する。   Convex portions 23 b and 23 c having a predetermined width in the X direction are provided on the lower surface of the support member 23 in the vicinity of both ends in the X direction. These convex portions 23b and 23c enter the grooves 31a and 32a provided on the upper surfaces of the support members 31 and 32 respectively extending in the Y direction, and slide in the grooves 31a and 32a in the Y direction. ing. In the groove 31a of the support member 31, a male screw 33 extending in the Y direction and penetrating the convex portion 23b of the support member 23 is accommodated. A nut (not shown) screwed into the male screw 33 is incorporated in the convex portion 23 b of the support member 23, and the support member 23 is moved in the Y direction by the rotation of the male screw 33. That is, the ball screw mechanism is configured by the male screw 33 and the nut incorporated in the support member 23. One end of the male screw 33 is connected to a rotation shaft of a Y-direction motor 34 assembled to one end of the support member 31, and the other end of the male screw 33 is rotatably supported by the other end of the support member 31. Thereby, the male screw 33 rotates around the axis by the rotation of the Y direction motor 34, and the support member 23 moves in the Y direction together with the moving member 21, the sensor support 11 and the magnetic sensor 10.

また、この太陽電池検査装置は、太陽電池パネルSPを載置するための、ステージ40を備えている。ステージ40は、支持部材31,32の各端部から上方に延設された連結部41a,41b,41c,41dを介して、支持部材31,32の上方に配置された方形状の枠体42を有している。枠体42は、支持部材31,32の上方にそれぞれ位置する支持部42a,42bと、両支持部42a,42bの両端部をそれぞれ連結する支持部42c、42dとを備えている。支持部42a,42b,42cには、内側方向に突出して太陽電池パネルSPを載置する載置部が設けられている。支持部42a,42bには、移動載置部材43が両端部にてY方向に摺動可能に組み付けられている。この移動載置部材43にも、支持部材42方向に突出して太陽電池パネルSPを載置する載置部が設けられている。そして、太陽電池パネルSPを枠体42の支持部42a,42b,42c及び移動載置部材43上に載置した状態では、磁気センサ10が太陽電池パネルSPの下方に位置するようになっている。   Moreover, this solar cell inspection apparatus is provided with a stage 40 for mounting the solar cell panel SP. The stage 40 has a rectangular frame 42 disposed above the support members 31 and 32 via connecting portions 41 a, 41 b, 41 c and 41 d extending upward from the respective end portions of the support members 31 and 32. have. The frame body 42 includes support portions 42a and 42b positioned above the support members 31 and 32, and support portions 42c and 42d that respectively connect both end portions of the support portions 42a and 42b. The support portions 42a, 42b, and 42c are provided with a placement portion that projects inward and places the solar cell panel SP. A movable mounting member 43 is assembled to the support portions 42a and 42b so as to be slidable in the Y direction at both ends. The moving mounting member 43 is also provided with a mounting portion that protrudes in the direction of the support member 42 and mounts the solar cell panel SP. And in the state which mounted solar cell panel SP on the support parts 42a, 42b, 42c of the frame 42, and the movement mounting member 43, the magnetic sensor 10 is located under the solar cell panel SP. .

ふたたび図1の説明に戻ると、ステージ40の枠体42上には複数の発光素子(LED)50が配置されている。複数の発光素子50はマトリクス状に配置されて、太陽電池パネルSPをステージ40上に載置した状態で、太陽電池パネルSP全体に均一な光量(すなわち強度)の光が照射されるようになっている。   Returning again to the description of FIG. 1, a plurality of light emitting elements (LEDs) 50 are arranged on the frame 42 of the stage 40. The plurality of light emitting elements 50 are arranged in a matrix so that the entire solar cell panel SP is irradiated with light having a uniform light amount (that is, intensity) with the solar cell panel SP placed on the stage 40. ing.

X方向モータ25内には、X方向モータ25の回転を検出して、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ25aが組み込まれている。この回転信号は、X方向モータ25が所定の微少角度だけ回転するたびにハイレベルとローレベルとを交互に切替えるパルス列信号であって、回転方向を識別するために互いにπ/2だけ位相のずれたA相信号とB相信号とで構成される。回転信号は、X方向位置検出回路61及びX方向フィードモータ制御回路62に出力される。X方向位置検出回路61は、前記回転信号のパルス数をX方向モータ25の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からX方向モータ25によるステージ40(太陽電池パネルSP)に対するセンサ支持台11のX方向位置(すなわち磁気センサ10のX方向位置)を検出し、検出したX方向位置をX方向フィードモータ制御回路62及び後述するコントローラ70に出力する。X方向フィードモータ制御回路62は、コントローラ70の指示により、X方向モータ25の駆動及び停止を制御する。このX方向モータ25の駆動時においては、フィードモータ制御回路62は、エンコーダ25aからの回転信号を用いてX方向モータ25を所定の回転速度で回転させる。   In the X direction motor 25, an encoder 25a that detects the rotation of the X direction motor 25 and outputs a rotation signal indicating the rotation is incorporated. This rotation signal is a pulse train signal that alternately switches between a high level and a low level each time the X-direction motor 25 rotates by a predetermined minute angle, and is phase-shifted by π / 2 to identify the rotation direction. The A phase signal and the B phase signal. The rotation signal is output to the X direction position detection circuit 61 and the X direction feed motor control circuit 62. The X-direction position detection circuit 61 counts up or down the number of pulses of the rotation signal in accordance with the rotation direction of the X-direction motor 25, and a sensor for the stage 40 (solar cell panel SP) by the X-direction motor 25 from the count value. The X-direction position of the support base 11 (that is, the X-direction position of the magnetic sensor 10) is detected, and the detected X-direction position is output to the X-direction feed motor control circuit 62 and a controller 70 described later. The X-direction feed motor control circuit 62 controls driving and stopping of the X-direction motor 25 according to instructions from the controller 70. When driving the X-direction motor 25, the feed motor control circuit 62 rotates the X-direction motor 25 at a predetermined rotation speed using a rotation signal from the encoder 25a.

X方向位置検出回路61におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ70の指示によって行われる。すなわち、コントローラ70は、電源投入時に、X方向フィードモータ制御回路62にセンサ支持台11の初期位置に対応したX方向限界位置への移動、及びX方向位置検出回路61に初期設定を指示する。この指示により、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向モータ25を駆動してセンサ支持台11を初期位置に対応したX方向限界位置まで移動させる。X方向位置検出回路61は、センサ支持台11のX方向への移動中、X方向モータ25内のエンコーダ25aからの回転信号を入力し続けている。そして、センサ支持台11が初期位置に対応したX方向限界位置まで達してX方向モータ25の回転が停止すると、X方向位置検出回路61はエンコーダ25aからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「0」にリセットする。このとき、X方向位置検出回路61は、X方向フィードモータ制御回路62に出力停止のための信号を出力し、これにより、X方向フィードモータ制御回路62はX方向モータ25への駆動信号の出力を停止する。その後に、X方向モータ25が駆動された際には、X方向位置検出回路61は、回転信号のパルス数をX方向モータ25の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいてセンサ支持台11のX方向位置を計算し、計算したX方向位置をX方向フィードモータ制御回路62及びコントローラ70に出力し続ける。   The initial setting of the count value in the X-direction position detection circuit 61 is performed according to an instruction from the controller 70 when the power is turned on. That is, the controller 70 instructs the X-direction feed motor control circuit 62 to move to the X-direction limit position corresponding to the initial position of the sensor support 11 and the X-direction position detection circuit 61 to perform initial setting when the power is turned on. In response to this instruction, the X-direction feed motor control circuit 62 drives the X-direction motor 25 to move the sensor support 11 to the X-direction limit position corresponding to the initial position. The X-direction position detection circuit 61 continues to input a rotation signal from the encoder 25a in the X-direction motor 25 while the sensor support base 11 is moving in the X direction. When the sensor support 11 reaches the X direction limit position corresponding to the initial position and the rotation of the X direction motor 25 stops, the X direction position detection circuit 61 detects the stop of the input of the rotation signal from the encoder 25a, The count value is reset to “0”. At this time, the X-direction position detection circuit 61 outputs a signal for stopping output to the X-direction feed motor control circuit 62, whereby the X-direction feed motor control circuit 62 outputs a drive signal to the X-direction motor 25. To stop. Thereafter, when the X direction motor 25 is driven, the X direction position detection circuit 61 counts up or down the number of pulses of the rotation signal in accordance with the rotation direction of the X direction motor 25, and based on the count value. Then, the X direction position of the sensor support 11 is calculated, and the calculated X direction position is continuously output to the X direction feed motor control circuit 62 and the controller 70.

Y方向モータ34内には、Y方向モータ34の回転を検出して、前記X方向モータ25と同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ34aが組み込まれている。この回転信号は、Y方向位置検出回路63及びY方向フィードモータ制御回路64に出力される。Y方向位置検出回路63は、前記回転信号のパルス数をY方向モータ34の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からY方向モータ34によるセンサ支持台11のY方向位置(すなわち磁気センサ10のY方向位置)を検出し、検出したY方向位置をY方向フィードモータ制御回路64及びコントローラ70に出力する。Y方向フィードモータ制御回路64は、コントローラ70の指示により、前記X方向フィードモータ制御回路62の場合と同様に、Y方向モータ34の駆動及び停止を制御する。   In the Y-direction motor 34, an encoder 34a that detects the rotation of the Y-direction motor 34 and outputs a rotation signal indicating the rotation is incorporated in the same manner as the X-direction motor 25. This rotation signal is output to the Y direction position detection circuit 63 and the Y direction feed motor control circuit 64. The Y-direction position detection circuit 63 counts up or counts down the number of pulses of the rotation signal in accordance with the rotation direction of the Y-direction motor 34, and the Y-direction position of the sensor support 11 by the Y-direction motor 34 (ie, the count value) The Y position of the magnetic sensor 10 is detected, and the detected Y direction position is output to the Y direction feed motor control circuit 64 and the controller 70. The Y-direction feed motor control circuit 64 controls the driving and stopping of the Y-direction motor 34 according to instructions from the controller 70 as in the case of the X-direction feed motor control circuit 62.

Y方向位置検出回路63におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ70の指示によって行われる。すなわち、コントローラ70は、電源投入時に、Y方向フィードモータ制御回路64にセンサ支持台11の初期位置に対応したY方向限界位置への移動、及びY方向位置検出回路63に初期設定を指示する。この指示により、Y方向フィードモータ制御回路64は、Y方向モータ34を駆動してセンサ支持台11を初期位置に対応したY方向限界位置まで移動させる。Y方向位置検出回路63は、センサ支持台11のY方向への移動中、Y方向モータ34内のエンコーダ34aからの回転信号を入力し続けている。そして、センサ支持台11が初期位置に対応したY方向限界位置まで達してY方向モータ34の回転が停止すると、Y方向位置検出回路63はエンコーダ34aからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「0」にリセットする。このとき、Y方向位置検出回路63は、Y方向フィードモータ制御回路64に出力停止のための信号を出力し、これにより、Y方向フィードモータ制御回路64はY方向モータ34への駆動信号の出力を停止する。その後に、Y方向モータ34が駆動された際には、Y方向位置検出回路63は、回転信号のパルス数をY方向モータ34の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいてセンサ支持台11のY方向位置を計算し、計算したY方向位置をY方向フィードモータ制御回路64及びコントローラ70に出力し続ける。   The initial setting of the count value in the Y-direction position detection circuit 63 is performed according to an instruction from the controller 70 when the power is turned on. That is, the controller 70 instructs the Y-direction feed motor control circuit 64 to move to the Y-direction limit position corresponding to the initial position of the sensor support 11 and the Y-direction position detection circuit 63 at the time of power-on. In response to this instruction, the Y-direction feed motor control circuit 64 drives the Y-direction motor 34 to move the sensor support 11 to the Y-direction limit position corresponding to the initial position. The Y-direction position detection circuit 63 continues to input a rotation signal from the encoder 34a in the Y-direction motor 34 while the sensor support 11 is moving in the Y direction. When the sensor support base 11 reaches the Y-direction limit position corresponding to the initial position and the rotation of the Y-direction motor 34 stops, the Y-direction position detection circuit 63 detects the stop of input of the rotation signal from the encoder 34a, The count value is reset to “0”. At this time, the Y-direction position detection circuit 63 outputs a signal for stopping the output to the Y-direction feed motor control circuit 64, whereby the Y-direction feed motor control circuit 64 outputs a drive signal to the Y-direction motor 34. To stop. Thereafter, when the Y direction motor 34 is driven, the Y direction position detection circuit 63 counts up or down the number of pulses of the rotation signal in accordance with the rotation direction of the Y direction motor 34, and based on the count value. The Y-direction position of the sensor support 11 is calculated and the calculated Y-direction position is continuously output to the Y-direction feed motor control circuit 64 and the controller 70.

この太陽電池検査装置は、さらに、発光信号供給回路65、光源駆動回路66、センサ信号取出回路67、ロックインアンプ68及びコントローラ70を備えている。発光信号供給回路65は、正弦波発振器及び矩形波変換回路を含み、コントローラ70によって作動制御されて、正弦波発振器によって発振される正弦波信号を発光制御信号として光源駆動回路66に供給する。なお、発光制御信号は、「0」を基準に正負に変化する信号であり、その周波数は、例えば数10ヘルツから数100ヘルツ程度である。また、発光信号供給回路65は、前記正弦波信号からなる発光制御信号を矩形波変換回路による変換により、前記発光制御信号と同期して「0」を中心として正負に変化する矩形波信号を生成して、参照信号としてロックインアンプ68に出力する。光源駆動回路66も、コントローラ70によって作動制御されて、前記供給された発光制御信号によって発光素子50を発光制御する。発光素子50は、前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化する発光強度で太陽電池パネルSPの表面を照射する。   The solar cell inspection apparatus further includes a light emission signal supply circuit 65, a light source drive circuit 66, a sensor signal extraction circuit 67, a lock-in amplifier 68, and a controller. The light emission signal supply circuit 65 includes a sine wave oscillator and a rectangular wave conversion circuit, and is controlled by the controller 70 to supply a sine wave signal oscillated by the sine wave oscillator to the light source drive circuit 66 as a light emission control signal. The light emission control signal is a signal that changes from positive to negative with reference to “0”, and the frequency thereof is, for example, about several tens of hertz to several hundreds of hertz. Further, the light emission signal supply circuit 65 generates a rectangular wave signal that changes positively and negatively around “0” in synchronization with the light emission control signal by converting the light emission control signal composed of the sine wave signal by the rectangular wave conversion circuit. Then, it is output to the lock-in amplifier 68 as a reference signal. The light source driving circuit 66 is also controlled by the controller 70 to control the light emitting element 50 to emit light according to the supplied light emission control signal. The light emitting element 50 irradiates the surface of the solar cell panel SP with a light emission intensity that changes in a sine wave shape in synchronization with the light emission control signal.

次に、磁気センサ10について説明しておく。磁気センサ10は、図3に示すように、X方向の磁界を検出するX方向磁気センサ10Aと、Y方向の磁界の変化を検出するY方向磁気センサ10Bとを備えている。X方向磁気センサ10Aは、抵抗r11,r12,r13及び磁気抵抗素子MR1からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗r11,r13の接続点と、抵抗r12及び磁気抵抗素子MR1の接続点との間に、センサ信号取出回路67の後述する定電圧供給回路67aから電圧+V,−Vが印加されるようになっている。また、X方向磁気センサ10Aにおいては、抵抗r13及び磁気抵抗素子MR1の接続点と、抵抗r11,r12間の接続点との間の電圧をX方向磁気検出信号として出力する。抵抗r11,r12,r13の値は同じであり、磁界の強さが「0」であるときの磁気抵抗素子MR1の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「0」を基準としたX方向の磁界の正負の変化により、X方向磁気検出信号はほぼ「0」を基準にX方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。   Next, the magnetic sensor 10 will be described. As shown in FIG. 3, the magnetic sensor 10 includes an X-direction magnetic sensor 10A that detects a magnetic field in the X direction, and a Y-direction magnetic sensor 10B that detects a change in the magnetic field in the Y direction. The X-direction magnetic sensor 10A is constituted by a bridge circuit composed of resistors r11, r12, r13 and a magnetoresistive element MR1, and between the connection point of the resistors r11, r13 and the connection point of the resistor r12 and the magnetoresistive element MR1. In addition, voltages + V and −V are applied from a constant voltage supply circuit 67a, which will be described later, of the sensor signal extraction circuit 67. In the X-direction magnetic sensor 10A, a voltage between the connection point of the resistor r13 and the magnetoresistive element MR1 and the connection point between the resistors r11 and r12 is output as an X-direction magnetic detection signal. The values of the resistors r11, r12, r13 are the same and are equal to the resistance value of the magnetoresistive element MR1 when the magnetic field strength is “0”. As a result, the X direction magnetic field detection signal is a voltage that changes positively or negatively in proportion to the magnitude of the magnetic field in the X direction with reference to approximately “0” due to the positive or negative change in the X direction magnetic field with respect to approximately “0”. Signal.

Y方向磁気センサ10Bは、抵抗r21,r22,r23及び磁気抵抗素子MR2からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗r21,r22の接続点と、抵抗r23及び磁気抵抗素子MR2の接続点との間に、センサ信号取出回路67の後述する定電圧供給回路67bから電圧+V,−Vが印加されるようになっている。また、Y方向磁気センサ10Bにおいては、抵抗r22及び磁気抵抗素子MR2の接続点と、抵抗r21,r23間の接続点との間の電圧をY方向磁気検出信号として出力する。抵抗r21,r22,r23の値は同じであり、磁界の強さが「0」であるときの磁気抵抗素子MR2の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「0」を基準としたY方向の磁界の正負の変化により、Y方向磁気検出信号はほぼ「0」を基準にY方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。   The Y-direction magnetic sensor 10B is composed of a bridge circuit composed of resistors r21, r22, r23 and a magnetoresistive element MR2, and between the connection point of the resistors r21, r22 and the connection point of the resistor r23 and the magnetoresistive element MR2. In addition, voltages + V and −V are applied from a constant voltage supply circuit 67 b described later of the sensor signal extraction circuit 67. In the Y direction magnetic sensor 10B, a voltage between the connection point of the resistor r22 and the magnetoresistive element MR2 and the connection point between the resistors r21 and r23 is output as a Y direction magnetic detection signal. The values of the resistors r21, r22, r23 are the same, and are equal to the resistance value of the magnetoresistive element MR2 when the magnetic field strength is “0”. As a result, the positive and negative changes in the magnetic field in the Y direction with respect to “0” as a reference cause the Y direction magnetic detection signal to change in positive and negative in proportion to the magnitude of the magnetic field in the Y direction with reference to “0”. Signal.

センサ信号取出回路67は、定電圧供給回路67a,67b及び増幅器67c,67dを備えている。定電圧供給回路67a,67bは、コントローラ70からの指示により、X方向磁気センサ10A及びY方向磁気センサ10Bに対して、定電圧+V,−Vを供給する。増幅器67c、67dは、X方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号をそれぞれ増幅してロックインアンプ68に出力する。   The sensor signal extraction circuit 67 includes constant voltage supply circuits 67a and 67b and amplifiers 67c and 67d. The constant voltage supply circuits 67a and 67b supply constant voltages + V and −V to the X-direction magnetic sensor 10A and the Y-direction magnetic sensor 10B according to instructions from the controller 70. The amplifiers 67c and 67d amplify the X direction magnetic detection signal and the Y direction magnetic detection signal, respectively, and output the amplified signals to the lock-in amplifier 68.

ロックインアンプ68は、図4に詳細に示すように、X方向磁気センサ10Aから増幅器67cを介して供給されるX方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ68aと、Y方向磁気センサ10Bから増幅器67dを介して供給されるY方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ68bとを備えている。ハイパスフィルタ68a,68bは、X方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号に含まれる、磁界の強さに比例した信号成分以外の不要な成分を取り除くとともに、信号をグランドレベルを中心に変化するようにする。   As shown in detail in FIG. 4, the lock-in amplifier 68 includes a high-pass filter 68a that inputs an X-direction magnetic detection signal supplied from the X-direction magnetic sensor 10A via an amplifier 67c, and an amplifier 67d from the Y-direction magnetic sensor 10B. And a high-pass filter 68b for inputting a Y-direction magnetic detection signal supplied via the. The high-pass filters 68a and 68b remove unnecessary components other than the signal component proportional to the strength of the magnetic field included in the X-direction magnetic detection signal and the Y-direction magnetic detection signal, and change the signal around the ground level. To.

ハイパスフィルタ68aの出力は、増幅器68cを介して位相検波回路68d,68eに供給される。位相検波回路68d,68eは、それぞれ乗算器によって構成されている。位相検波回路68dは、ハイパスフィルタ68a及び増幅器68cを介して供給されるX方向磁気検出信号に、発光信号供給回路65からの参照信号を乗算してローパスフィルタ68fに出力する。位相検波回路68eは、ハイパスフィルタ68a及び増幅器68cを介して供給されるX方向磁気検出信号に、発光信号供給回路65からの参照信号を位相シフト回路68gで90度位相を遅らせた遅延参照信号を乗算してローパスフィルタ68hに出力する。これにより、ローパスフィルタ68fにはX方向磁気検出信号の発光制御信号(参照信号)と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ68fは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してX方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ68hにはX方向磁気検出信号の発光制御信号よりも90度位相を遅らせた信号(遅延参照信号)と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ68hは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してX方向磁気検出信号の発光制御信号よりも90度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。   The output of the high pass filter 68a is supplied to the phase detection circuits 68d and 68e via the amplifier 68c. The phase detection circuits 68d and 68e are each configured by a multiplier. The phase detection circuit 68d multiplies the X direction magnetic detection signal supplied via the high pass filter 68a and the amplifier 68c by the reference signal from the light emission signal supply circuit 65 and outputs the result to the low pass filter 68f. The phase detection circuit 68e adds a delayed reference signal obtained by delaying the phase of the reference signal from the light emission signal supply circuit 65 by 90 degrees by the phase shift circuit 68g to the X-direction magnetic detection signal supplied via the high-pass filter 68a and the amplifier 68c. Multiply and output to low pass filter 68h. Thus, a component synchronized with the light emission control signal (reference signal) of the X-direction magnetic detection signal is supplied to the low-pass filter 68f, and the low-pass filter 68f performs low-pass filtering on the supplied component signal to A signal indicating the magnitude of the component synchronized with the light emission control signal is output. The low-pass filter 68h is supplied with a component synchronized with a signal (delayed reference signal) delayed in phase by 90 degrees from the light emission control signal of the X-direction magnetic detection signal. The low-pass filter 68h performs low-pass filter processing on the supplied component signal. Then, a signal indicating the magnitude of the component synchronized with the signal delayed by 90 degrees from the light emission control signal of the X direction magnetic detection signal is output.

ハイパスフィルタ68bの出力は、増幅器68iを介して位相検波回路68j,68kに供給される。位相検波回路68j,68kには、ローパスフィルタ68m,68nが接続されている。位相検波回路68j,68k及びローパスフィルタ68m,68nは、前述した位相検波回路68d,68e及びローパスフィルタ68f,68hと同様に構成されている。これにより、ローパスフィルタ68mにはY方向磁気検出信号の発光制御信号(参照信号)と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ68mは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してY方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ68nにはY方向磁気検出信号の発光制御信号よりも90度位相を遅らせた信号(遅延参照信号)と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ68nは供給された成分信号をローパス処理してY方向磁気検出信号の発光制御信号よりも90度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ68f,68h,68m,68nは、A/D変換器68o,68p,68q,68rにそれぞれ接続されている。A/D変換器68o,68p,68q,68rは、所定の時間間隔ごとに、ローパスフィルタ68f,68h,68m,68nからの信号をそれぞれA/D変換してコントローラ70に供給する。   The output of the high pass filter 68b is supplied to the phase detection circuits 68j and 68k through the amplifier 68i. Low-pass filters 68m and 68n are connected to the phase detection circuits 68j and 68k. The phase detection circuits 68j and 68k and the low-pass filters 68m and 68n are configured similarly to the phase detection circuits 68d and 68e and the low-pass filters 68f and 68h described above. As a result, a component synchronized with the light emission control signal (reference signal) of the Y-direction magnetic detection signal is supplied to the low-pass filter 68m, and the low-pass filter 68m performs low-pass filter processing on the supplied component signal to generate the Y-direction magnetic detection signal. A signal indicating the magnitude of the component synchronized with the light emission control signal is output. The low-pass filter 68n is supplied with a component synchronized with a signal (delayed reference signal) delayed in phase by 90 degrees from the light emission control signal of the Y-direction magnetic detection signal. The low-pass filter 68n performs low-pass processing on the supplied component signal A signal indicating the magnitude of the component synchronized with the signal delayed by 90 degrees from the light emission control signal of the Y direction magnetic detection signal is output. The low pass filters 68f, 68h, 68m, and 68n are connected to A / D converters 68o, 68p, 68q, and 68r, respectively. The A / D converters 68o, 68p, 68q, 68r respectively A / D convert the signals from the low-pass filters 68f, 68h, 68m, 68n and supply them to the controller 70 at predetermined time intervals.

ふたたび図1の説明に戻り、コントローラ70は、CPU、ROM、RAMを備えたマイクロコンピュータと、ハードディスクや不揮発性メモリなどの記憶装置と、入出力インタフェース等から構成される電子制御装置である。コントローラ70は、記憶装置に記憶された図5A及び図5Bのデータ取得プログラム及び図6A乃至図6Hの評価プログラムを実行してこの太陽電池検査装置の動作を制御する。コントローラ70には、作業者が各種パラメータや処理等を指示するための入力装置71と、作業者に対して作動状況等を視覚的に知らせるための表示装置72とが接続されている。   Returning to the description of FIG. 1 again, the controller 70 is an electronic control unit including a microcomputer including a CPU, a ROM, and a RAM, a storage device such as a hard disk and a nonvolatile memory, an input / output interface, and the like. The controller 70 controls the operation of this solar cell inspection apparatus by executing the data acquisition program of FIGS. 5A and 5B and the evaluation program of FIGS. 6A to 6H stored in the storage device. Connected to the controller 70 are an input device 71 for an operator to instruct various parameters, processing, and the like, and a display device 72 for visually informing the operator of the operation status and the like.

次に、太陽電池パネルSPについて説明しておく。太陽電池パネルSPは、図7に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルSCが、基板80上に固定されている。本実施形態では、X方向にtmax個、Y方向にsmax個の太陽電池セルSCが配置されているものとする。各太陽電池セルSCには様々な構造があるが、図8Aの拡大概略断面図に示すように、裏面電極81、p+形層82、p形層83、n形層84及び反射防止膜85を積層して構成されている。また、太陽電池セルSCは、平板状かつ長尺状に形成され等間隔で横方向に配列された複数のグリッド電極(受光面電極)86を備え、グリッド電極86の下端面はn形層84に接続されて上端面を上方に突出させている。複数のグリッド電極86の上端面には、棒状に形成した一対のバスバー電極87がそれらの下面にて接続されている。   Next, the solar cell panel SP will be described. As shown in FIG. 7, in the solar battery panel SP, a large number of solar battery cells SC arranged in a matrix are fixed on a substrate 80. In the present embodiment, it is assumed that tmax solar cells SC are arranged in the X direction and smax solar cells SC in the Y direction. Each solar cell SC has various structures. As shown in the enlarged schematic cross-sectional view of FIG. 8A, the back electrode 81, the p + type layer 82, the p type layer 83, the n type layer 84, and the antireflection film 85 are provided. It is configured by stacking. The solar cell SC includes a plurality of grid electrodes (light-receiving surface electrodes) 86 that are formed in a flat and long shape and are arranged in the horizontal direction at equal intervals, and the lower end surface of the grid electrode 86 is an n-type layer 84. And the upper end surface protrudes upward. A pair of bus bar electrodes 87 formed in a bar shape are connected to the upper end surfaces of the plurality of grid electrodes 86 at their lower surfaces.

そして、Y方向に配置されたsmax個の太陽電池セルSCは直列に接続され、この直列に接続されたsmax個の太陽電池セルSCからなるtmax組の太陽電池セルSC群がそれぞれ並列に接続されている。この場合、Y方向に配置されたsmax個の太陽電池セルSCにおいては、図8Bに示すように、隣の太陽電池セルSCのバスバー電極87を接続線88を介して裏面電極81に接続するようにしている。また、直列に接続されたsmax個の太陽電池セルSCからなるtmax組の太陽電池セルSC群においては、具体的には、太陽電池セルSC群のY方向一端の太陽電池セルSCのバスバー電極87が接続線89aによって共通に接続されるとともに、Y方向他端の太陽電池セルSCの裏面電極81が接続線89bによって共通に接続されている。そして、接続線89a,89bの出力端には、出力端子90a,90bが設けられている。なお、太陽電池セルSCの接続方法においては、X方向の複数列の太陽電池セルSCを直列に接続してもよい。   Then, smax solar cells SC arranged in the Y direction are connected in series, and tmax sets of solar cells SC composed of smax solar cells SC connected in series are connected in parallel. ing. In this case, in the smax solar cells SC arranged in the Y direction, the bus bar electrode 87 of the adjacent solar cell SC is connected to the back electrode 81 via the connection line 88 as shown in FIG. 8B. I have to. In addition, in tmax sets of solar cells SC group composed of smax solar cells SC connected in series, specifically, the bus bar electrodes 87 of the solar cells SC at one end in the Y direction of the solar cells SC group. Are connected in common by the connection line 89a, and the back electrode 81 of the solar cell SC at the other end in the Y direction is connected in common by the connection line 89b. Output terminals 90a and 90b are provided at the output ends of the connection lines 89a and 89b. In addition, in the connection method of the photovoltaic cells SC, a plurality of rows of photovoltaic cells SC in the X direction may be connected in series.

次に、上記のように構成した太陽電池検査装置の動作について説明する。作業者は、図7に示すように、検査対象となる太陽電池パネルSPの出力端子90a,90b間に導線L1,L2を介して小さな抵抗Rcs(例えば、5オーム程度の抵抗)を接続して、ステージ40の枠体42上に載置する。この場合、太陽電池パネルSPのX−Y平面の原点となる位置(後述するプログラムで変数n,mが共に「1」となる位置)の近傍のコーナーを、枠体42のコーナーの一つ(本実施形態では図2の右下に位置するコーナー)に合わせ、移動載置部材43を移動させて太陽電池パネルSPを固定する。なお、抵抗Rcsを接続する理由は、発光素子50を用いた光の照射により、太陽電池セルSCの発電による電流が太陽電池セルSCを流れるようにするためである。この状態で、太陽電池検査装置の電源が投入されると、上述したように、コントローラ70の指示により、X方向フィードモータ制御回路62及びY方向フィードモータ制御回路64はセンサ支持部材11(すなわち磁気センサ10)をX方向及びY方向の限界位置に移動させるとともに、X方向位置検出回路61及びY方向位置検出回路63は検出されるX方向位置及びY方向位置を初期値に設定する。   Next, the operation of the solar cell inspection apparatus configured as described above will be described. As shown in FIG. 7, the worker connects a small resistance Rcs (for example, a resistance of about 5 ohms) between the output terminals 90a and 90b of the solar cell panel SP to be inspected via the conducting wires L1 and L2. Then, it is placed on the frame body 42 of the stage 40. In this case, the corner in the vicinity of the position that is the origin of the XY plane of the solar cell panel SP (the position where the variables n and m are both “1” in the program described later) is one of the corners of the frame body 42 ( In the present embodiment, the solar cell panel SP is fixed by moving the moving mounting member 43 in accordance with the corner located in the lower right of FIG. The reason why the resistor Rcs is connected is to allow a current generated by the power generation of the solar cell SC to flow through the solar cell SC by light irradiation using the light emitting element 50. In this state, when the power supply of the solar cell inspection apparatus is turned on, as described above, the X direction feed motor control circuit 62 and the Y direction feed motor control circuit 64 cause the sensor support member 11 (that is, magnetic The sensor 10) is moved to the limit positions in the X direction and the Y direction, and the X direction position detection circuit 61 and the Y direction position detection circuit 63 set the detected X direction position and Y direction position to initial values.

その後、作業者は、入力装置71を操作することにより、太陽電池パネルSPの計測に必要なパラメータを入力する。この場合、必要なパラメータとしては、太陽電池セルSCのX方向及びY方向の数tmax,smax、各太陽電池セルSCのX方向及びY方向の長さ、各太陽電池セルSC内のバスバー電極87の数(図7に示す太陽電池セルSCにおいては2個)などである。この入力されたパラメータは、コントローラ70に記憶される。また、後述するデータ処理プログラムや評価プログラムにて使用されるX方向終了位置Xmax、Y方向終了位置Ymax、値Nn、値Nm、値ce等のパラメータが、この入力されたパラメータから計算されて記憶される。   Thereafter, the operator operates the input device 71 to input parameters necessary for the measurement of the solar cell panel SP. In this case, necessary parameters include the numbers tmax and smax of the solar cells SC in the X direction and the Y direction, the lengths of the solar cells SC in the X direction and the Y direction, and the bus bar electrodes 87 in the solar cells SC. (2 in the solar cell SC shown in FIG. 7). The input parameters are stored in the controller 70. Further, parameters such as an X-direction end position Xmax, a Y-direction end position Ymax, a value Nn, a value Nm, and a value ce used in a data processing program and an evaluation program described later are calculated from the input parameters and stored. Is done.

次に、作業者は、入力装置71の操作により、コントローラ70に図5A及び図5Bのデータ取得プログラムの実行を開始させる。すなわち、太陽電池パネルSPの計測の開始をコントローラ70に指示する。この指示に応答して、コントローラ70は、図5AのステップS10にてデータ取得プログラムの実行を開始し、ステップS11にて変数nを「0」に初期設定するとともに、変数m,aをそれぞれ「1」に初期設定する。変数n,mは、太陽電池パネルSPに対する磁気センサ10の走査位置を示す変数である。なお、磁気センサ10は、図9に示すように、まず、X方向に初期値Xsによって表される開始位置から終了値Xmaxによって表される終了位置を越えるまで所定の微小値ΔXずつ移動制御される。そして、X方向の終了位置に達すると、磁気センサ10はY方向に所定の微小値ΔYだけ移動制御され、その後に、X方向の終了位置からX方向の開始位置まで微小値ΔXずつ移動制御される。そして、ふたたび、磁気センサ10はY方向に微小値ΔYだけ移動制御されて、X方向の開始位置から終了位置まで微小値ΔXずつ移動制御される。このように、磁気センサ10は、X方向に往復運動しながらY方向に移動して、太陽電池パネルSPを走査する。なお、微小値ΔX,ΔYは、太陽電池セルSCの縦横の長さに比べて極めて小さい。変数aは、「1」により磁気センサ10の中心位置がX軸方向正側に移動している状態を表し、「−1」により磁気センサ10の中心位置がX軸方向負側に移動している状態を表している。以降、この磁気センサ10の中心位置を検査位置という。   Next, the operator causes the controller 70 to start executing the data acquisition program of FIGS. 5A and 5B by operating the input device 71. That is, the controller 70 is instructed to start measurement of the solar cell panel SP. In response to this instruction, the controller 70 starts execution of the data acquisition program in step S10 in FIG. 5A, initializes the variable n to “0” in step S11, and sets the variables m and a to “ Initial setting is “1”. The variables n and m are variables indicating the scanning position of the magnetic sensor 10 with respect to the solar cell panel SP. As shown in FIG. 9, the magnetic sensor 10 is first controlled to move by a predetermined minute value ΔX in the X direction from the start position represented by the initial value Xs to the end position represented by the end value Xmax. The When the end position in the X direction is reached, the magnetic sensor 10 is controlled to move by a predetermined minute value ΔY in the Y direction, and then controlled to move by a minute value ΔX from the end position in the X direction to the start position in the X direction. The Again, the magnetic sensor 10 is controlled to move by a minute value ΔY in the Y direction, and is controlled to move by a minute value ΔX from the start position to the end position in the X direction. Thus, the magnetic sensor 10 moves in the Y direction while reciprocating in the X direction, and scans the solar cell panel SP. Note that the minute values ΔX and ΔY are extremely small compared to the length and width of the solar battery cell SC. The variable a represents a state where the center position of the magnetic sensor 10 is moved to the X axis direction positive side by “1”, and the center position of the magnetic sensor 10 is moved to the X axis direction negative side by “−1”. It represents the state. Hereinafter, the center position of the magnetic sensor 10 is referred to as an inspection position.

前記ステップS11の処理後、コントローラ70は、ステップS12にて、X方向フィードモータ制御回路62に対して磁気センサ10をX軸方向に移動して検査位置がX軸方向の初期値Xsによって表される初期位置になるように指示するとともに、Y方向フィードモータ制御回路64に対して磁気センサ10をY軸方向に移動して検査位置がY軸方向の初期値Ysによって表される初期位置になるように指示する。この指示に応答して、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向位置検出回路61からX方向検出位置(X軸方向の検査位置すなわち測定位置)を入力しながら、X方向検出位置が初期値Xsに一致するまでX方向モータ25を駆動制御する。Y方向フィードモータ制御回路64は、Y方向位置検出回路63からY方向検出位置(Y軸方向の検査位置すなわち測定位置)を入力しながら、Y方向検出位置が初期値Ysに一致するまでY方向モータ34を駆動制御する。   After the process of step S11, the controller 70 moves the magnetic sensor 10 in the X-axis direction with respect to the X-direction feed motor control circuit 62 in step S12, and the inspection position is represented by the initial value Xs in the X-axis direction. And the Y-direction feed motor control circuit 64 moves the magnetic sensor 10 in the Y-axis direction so that the inspection position becomes the initial position represented by the initial value Ys in the Y-axis direction. To instruct. In response to this instruction, the X-direction feed motor control circuit 62 inputs the X-direction detection position (the inspection position in the X-axis direction, that is, the measurement position) from the X-direction position detection circuit 61, and the X-direction detection position is the initial value. The X direction motor 25 is driven and controlled until it coincides with Xs. The Y-direction feed motor control circuit 64 inputs the Y-direction detection position (inspection position in the Y-axis direction, that is, the measurement position) from the Y-direction position detection circuit 63, and continues until the Y-direction detection position matches the initial value Ys. The drive of the motor 34 is controlled.

ステップS12の処理後、コントローラ70は、ステップS13にて発光信号供給回路65の作動開始を指示する。この指示に応答して、発光信号供給回路65は、正弦波状の発光制御信号を光源駆動回路66に供給するとともに、前記発光制御信号と同期した矩形波状の参照信号をロックインアンプ68に供給し始める。次に、コントローラ70は、ステップS14にて光源駆動回路66の作動開始を指示する。この指示に応答して、光源駆動回路66は、前記供給された発光制御信号に応じて正弦波状に変化する駆動制御信号を発光素子50に供給して、発光素子50を発光制御し始める。次に、コントローラ70は、ステップS15にてセンサ信号取出回路67の作動開始を指示する。この指示に応答して、センサ信号取出回路67内の定電圧供給回路67a,67bは、X方向磁気センサ10A及びY方向磁気センサ10Bに定電圧信号+V,−Vを供給し始める。これにより、X方向磁気センサ10A及びY方向磁気センサ10BによるX方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号が、増幅器67c,67dを介してロックインアンプ68にそれぞれ供給され始める。   After the process of step S12, the controller 70 instructs the operation of the light emission signal supply circuit 65 to start in step S13. In response to this instruction, the light emission signal supply circuit 65 supplies a sinusoidal light emission control signal to the light source drive circuit 66, and supplies a rectangular wave reference signal synchronized with the light emission control signal to the lock-in amplifier 68. start. Next, the controller 70 instructs the light source driving circuit 66 to start operating in step S14. In response to this instruction, the light source driving circuit 66 supplies the light emitting element 50 with a drive control signal that changes in a sine wave shape according to the supplied light emission control signal, and starts light emission control of the light emitting element 50. Next, the controller 70 instructs the operation start of the sensor signal extraction circuit 67 in step S15. In response to this instruction, the constant voltage supply circuits 67a and 67b in the sensor signal extraction circuit 67 start to supply the constant voltage signals + V and −V to the X direction magnetic sensor 10A and the Y direction magnetic sensor 10B. As a result, the X direction magnetic detection signal and the Y direction magnetic detection signal from the X direction magnetic sensor 10A and the Y direction magnetic sensor 10B start to be supplied to the lock-in amplifier 68 via the amplifiers 67c and 67d, respectively.

このX方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号について説明する。前記発光素子50の発光制御により、発光素子50は、その発光強度を前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化させながら、太陽電池パネルSPの表面全体に均等に光を照射する。この光の照射により、太陽電池パネルSPは前記発光強度に応じて電力を発電し始める。この電力の発電により、各太陽電池セルSCの表面には電流が流れるとともに、電極を介して導線L1,L2及び抵抗Rcsに電流が流れ、各太陽電池セルSCの表裏面近傍には、前記電流による磁界が発生する。そして、X方向磁気センサ10Aは、X方向の磁界Hの大きさに比例した電圧をX方向磁気検出信号として出力し始める。また、Y方向磁気センサ10Bは、Y方向の磁界Hの大きさに比例した電圧をY方向磁気検出信号として出力し始める。これらのX方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号は、前記発光素子50の発光強度が正弦波状に変化するので、正弦波状に変化する信号である。ただし、X方向磁気検出信号及びY方向磁気検出信号の位相は、発光素子50を駆動制御するための正弦波状の発光制御信号とは若干異なる。   The X direction magnetic detection signal and the Y direction magnetic detection signal will be described. By the light emission control of the light emitting element 50, the light emitting element 50 uniformly irradiates the entire surface of the solar cell panel SP while changing the light emission intensity in a sine wave shape in synchronization with the light emission control signal. With this light irradiation, the solar cell panel SP starts to generate electric power according to the light emission intensity. Due to the power generation, a current flows on the surface of each solar cell SC, and a current flows through the electrodes to the conductors L1 and L2 and the resistor Rcs. A magnetic field is generated. Then, the X direction magnetic sensor 10A starts outputting a voltage proportional to the magnitude of the magnetic field H in the X direction as an X direction magnetic detection signal. Further, the Y direction magnetic sensor 10B starts to output a voltage proportional to the magnitude of the magnetic field H in the Y direction as a Y direction magnetic detection signal. These X direction magnetic detection signal and Y direction magnetic detection signal are signals that change sinusoidally because the light emission intensity of the light emitting element 50 changes sinusoidally. However, the phases of the X-direction magnetic detection signal and the Y-direction magnetic detection signal are slightly different from those of the sinusoidal light emission control signal for driving and controlling the light emitting element 50.

ロックインアンプ68においては、入力されたX方向磁気検出信号がハイパスフィルタ68a及び増幅器68cを介して位相検波回路(乗算器)68d,68eにそれぞれ供給されるとともに、入力されたY方向磁気検出信号がハイパスフィルタ68b及び増幅器68iを介して位相検波回路(乗算器)68j,68kにそれぞれ供給される。位相検波回路68d,68jには、発光信号供給回路65からの矩形波状の参照信号が供給されている。また、位相検波回路68e,68kには、前記参照信号の位相を位相シフト回路68gで90度遅らせた遅延参照信号が供給されている。そして、位相検波回路68d,68eは、増幅器68cを介して供給されたX方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ68f,68hを介してA/D変換器68o,68pにそれぞれ供給する。位相検波回路68j,68kは、増幅器68cを介して供給されたY方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ68m,68nを介してA/D変換器68q,68rにそれぞれ供給する。   In the lock-in amplifier 68, the input X-direction magnetic detection signal is supplied to the phase detection circuits (multipliers) 68d and 68e via the high-pass filter 68a and the amplifier 68c, and the input Y-direction magnetic detection signal. Are supplied to phase detection circuits (multipliers) 68j and 68k through a high-pass filter 68b and an amplifier 68i, respectively. A rectangular wave reference signal from the light emission signal supply circuit 65 is supplied to the phase detection circuits 68d and 68j. The phase detection circuits 68e and 68k are supplied with a delayed reference signal obtained by delaying the phase of the reference signal by 90 degrees by the phase shift circuit 68g. Then, the phase detection circuits 68d and 68e multiply the X direction magnetic detection signal supplied via the amplifier 68c by the reference signal and the delayed reference signal, respectively, and the multiplied signals are converted to A / A via the low pass filters 68f and 68h. The signals are supplied to D converters 68o and 68p, respectively. The phase detection circuits 68j and 68k multiply the Y direction magnetic detection signal supplied via the amplifier 68c by the reference signal and the delayed reference signal, respectively, and A / D convert the multiplied signals via the low pass filters 68m and 68n. It supplies to the devices 68q and 68r, respectively.

ここで、ローパスフィルタ68f,68h,68m,68nは供給された信号の成分の大きさを表す信号すなわち正弦波状の信号の振幅に比例した大きさを表す信号を出力するように機能する。したがって、A/D変換器68oには、X方向磁気検出信号の参照信号(すなわち発光制御信号)に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。A/D変換器68pには、X方向磁気検出信号の参照信号から90度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。A/D変換器68qには、Y方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。A/D変換器68rには、Y方向磁気検出信号の参照信号から90度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。そして、A/D変換器68o,68p,68q,68rは、それぞれ供給された信号を所定時間ごとにサンプリングしてA/D変換し、A/D変換したサンプリングデータをコントローラ70に供給する。したがって、コントローラ70には前記各信号成分の所定時間ごとの大きさを表すサンプリングデータが所定時間ごとに供給されるようになる。   Here, the low-pass filters 68f, 68h, 68m, and 68n function to output a signal that represents the magnitude of the component of the supplied signal, that is, a signal that represents the magnitude proportional to the amplitude of the sinusoidal signal. Therefore, the A / D converter 68o is supplied with a signal indicating the magnitude of the signal component synchronized with the reference signal (that is, the light emission control signal) of the X direction magnetic detection signal. The A / D converter 68p is supplied with a signal representing the magnitude of the signal component whose phase is delayed by 90 degrees from the reference signal of the X direction magnetic detection signal. A signal representing the magnitude of the signal component synchronized with the reference signal of the Y-direction magnetic detection signal is supplied to the A / D converter 68q. The A / D converter 68r is supplied with a signal representing the magnitude of the signal component whose phase is delayed by 90 degrees from the reference signal of the Y-direction magnetic detection signal. The A / D converters 68o, 68p, 68q, and 68r sample the supplied signals at predetermined time intervals, perform A / D conversion, and supply the A / D converted sampling data to the controller 70. Therefore, the sampling data representing the magnitude of each signal component every predetermined time is supplied to the controller 70 every predetermined time.

前記ステップS15の処理後、コントローラ70は、ステップS16にて変数nに変数aを加算する。この場合、ステップS16の処理前の変数nは「0」であり、変数aは「1」であるので、変数nは「1」に変更される。前記ステップS16の処理後、コントローラ70は、ステップS17にて、ロックインアンプ68のA/D変換器68o,68p,68q,68rから供給されるサンプリングデータを取込み、ステップS18にて取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Kに達したか否かを判定する。この所定数Kは、例えば数個から数十個の各サンプリングデータの数を表す値に設定されている。各サンプリングデータの数が所定数Kに達していなければ、コントローラ70は、ステップS18にて「No」と判定して、ステップS17にてA/D変換器68o,68p,68q,68rから次に出力されるサンプリングデータを取込む。そして、A/D変換器68o,68p,68q,68rから取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Kに達すると、コントローラ70は、ステップS18にて「Yes」と判定して、ステップS19以降の処理を実行する。ステップS17にて取込まれたサンプリングデータは、変数n,mによって指定されるサンプリングデータ群として、RAMに記憶される。   After the processing in step S15, the controller 70 adds the variable a to the variable n in step S16. In this case, since the variable n before the process of step S16 is “0” and the variable a is “1”, the variable n is changed to “1”. After the process of step S16, the controller 70 fetches the sampling data supplied from the A / D converters 68o, 68p, 68q, 68r of the lock-in amplifier 68 in step S17, and fetches the sampling data fetched in step S18. It is determined whether or not the number of sampling data has reached a predetermined number K. The predetermined number K is set to a value representing the number of sampling data of several to several tens, for example. If the number of sampling data does not reach the predetermined number K, the controller 70 makes a “No” determination at step S18, and then from the A / D converters 68o, 68p, 68q, 68r to the next at step S17. Takes output sampling data. When the number of sampling data fetched from the A / D converters 68o, 68p, 68q, 68r reaches a predetermined number K, the controller 70 determines “Yes” in step S18, and after step S19. Execute the process. The sampling data acquired in step S17 is stored in the RAM as a sampling data group specified by the variables n and m.

具体的には、A/D変換器68oから取込んだ所定数Kのサンプリングデータ、すなわちX方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのデータは、サンプリングデータ群Sx1(n,m)としてRAMに記憶される。A/D変換器68pから取込んだ所定数Kのサンプリングデータ、すなわちX方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのデータは、サンプリングデータ群Sx2(n,m)としてRAMに記憶される。A/D変換器68pから取込んだ所定数Kのサンプリングデータ、すなわちY方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのデータは、サンプリングデータ群Sy1(n,m)としてRAMに記憶される。A/D変換器68rから取込んだ所定数Kのサンプリングデータ、すなわちY方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのデータは、サンプリングデータ群Sy2(n,m)としてRAMに記憶される。なお、この場合の変数n,mは、共に「1」である。   Specifically, a predetermined number K of sampling data fetched from the A / D converter 68o, that is, a predetermined number K of data representing the magnitude of the signal component synchronized with the reference signal of the X-direction magnetic detection signal is the sampling data. The group Sx1 (n, m) is stored in the RAM. The predetermined number K of sampling data fetched from the A / D converter 68p, that is, the predetermined number K of data representing the magnitude of the signal component synchronized with the delayed reference signal of the X-direction magnetic detection signal is the sampling data group Sx2 (n , m) is stored in the RAM. A predetermined number K of sampling data fetched from the A / D converter 68p, that is, a predetermined number K of data representing the magnitude of the signal component synchronized with the reference signal of the Y-direction magnetic detection signal, is a sampling data group Sy1 (n, m) is stored in the RAM. The predetermined number K of sampling data taken from the A / D converter 68r, that is, the predetermined number K of data representing the magnitude of the signal component synchronized with the delayed reference signal of the Y-direction magnetic detection signal, is the sampling data group Sy2 (n , m) is stored in the RAM. In this case, the variables n and m are both “1”.

前記ステップS17,S18の処理後、コントローラ70は、ステップS19にて変数aが「1」であるか否かを判定する。変数aは「1」に初期設定されているので、この場合、コントローラ70は、ステップS19にて「Yes」と判定して、ステップS20にて、値Xs+n・ΔXがX軸方向の終了値Xmaxよりも大きいか否かを判定する。値Xs+n・ΔXは、X軸方向の走査間隔を表す所定値ΔXに変数nを乗算して初期値Xsを加算した値であり、次のX軸方向の検出位置(X軸方向の走査位置すなわち測定位置)を表す値(図9参照)である。値Xs+n・ΔXが終了値Xmax以下であれば、コントローラ70は、ステップS20にて「No」と判定して、ステップS21にて、X方向フィードモータ制御回路62に、磁気センサ10の中心位置をX軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向モータ25を作動させて磁気センサ10の中心位置をX軸方向正側に移動させ始める。   After the processes in steps S17 and S18, the controller 70 determines whether or not the variable a is “1” in step S19. Since the variable a is initially set to “1”, in this case, the controller 70 determines “Yes” in step S19, and in step S20, the value Xs + n · ΔX is the end value Xmax in the X-axis direction. It is judged whether it is larger than. The value Xs + n · ΔX is a value obtained by multiplying the predetermined value ΔX representing the scanning interval in the X-axis direction by the variable n and adding the initial value Xs, and the next detected position in the X-axis direction (scanning position in the X-axis direction, that is, It is a value (see FIG. 9) representing the (measurement position). If the value Xs + n · ΔX is equal to or less than the end value Xmax, the controller 70 makes a “No” determination at step S20, and sets the center position of the magnetic sensor 10 to the X-direction feed motor control circuit 62 at step S21. Instructs to move to the X axis direction positive side. Thereby, the X-direction feed motor control circuit 62 operates the X-direction motor 25 to start moving the center position of the magnetic sensor 10 to the positive side in the X-axis direction.

次に、コントローラ70は、ステップS22にてX方向位置検出回路61からX方向位置を入力し、ステップS23にて入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちX方向位置を示す値が値Xs+n・ΔX以上になったか否かを判定する。そして、X方向位置検出回路61から入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ70は、ステップS23にて「No」と判定し続けて、ステップS22,S23の処理を繰り返し実行する。X方向位置検出回路61から入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達すると、コントローラ70は、ステップS23にて「Yes」と判定し、ステップS24にてX方向フィードモータ制御回路62に、磁気センサ10のX軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向モータ25の作動を停止させて、磁気センサ10のX軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ10は、値Xs+n・ΔXで表されたX軸方向位置、かつY軸方向初期値Ysを磁気センサ10の検出位置として、太陽電池パネルSPの磁界を検出し始める。   Next, the controller 70 inputs the X direction position from the X direction position detection circuit 61 in step S22, and whether or not the X direction position input in step S23 has reached the next detection position in the X axis direction. That is, it is determined whether or not the value indicating the position in the X direction is equal to or greater than the value Xs + n · ΔX. The controller 70 continues to determine “No” in step S23 until the X-direction position input from the X-direction position detection circuit 61 reaches the detection position in the next X-axis direction, and the processing in steps S22 and S23. Repeatedly. When the X-direction position input from the X-direction position detection circuit 61 reaches the detection position in the next X-axis direction, the controller 70 determines “Yes” in step S23, and in step S24, the X-direction feed motor control circuit. 62 is instructed to stop the movement of the magnetic sensor 10 toward the positive side in the X-axis direction. Accordingly, the X-direction feed motor control circuit 62 stops the operation of the X-direction motor 25 and stops the movement of the magnetic sensor 10 to the positive side in the X-axis direction. As a result, the magnetic sensor 10 starts detecting the magnetic field of the solar cell panel SP using the X-axis direction position represented by the value Xs + n · ΔX and the Y-axis direction initial value Ys as the detection position of the magnetic sensor 10.

前記ステップS24の処理後、コントローラ70は、ステップS16に戻って、ステップS16の処理によって変数nに変数a(この場合、a=1)を加算して、前述のステップS17,S18のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップS17,S18の処理により、値Xs+(n−1)・ΔXで表されたX軸方向位置、かつY軸方向初期値Ysを検出位置とする磁気センサ10の磁界検出によるサンプリングデータがRAMに新たに記憶される。具体的には、X方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m)としてRAMに記憶される。また、Y方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照信号とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Kのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Sy1(n,m),Sy2(n,m)としてRAMに記憶される。なお、この場合の変数nは「2」であり、変数mは「1」である。   After the process of step S24, the controller 70 returns to step S16, adds the variable a (in this case, a = 1) to the variable n by the process of step S16, and obtains the sampling data of the above-described steps S17 and S18. Execute capture processing. By the processing of these steps S17 and S18, sampling data by magnetic field detection of the magnetic sensor 10 having the X-axis direction position represented by the value Xs + (n−1) · ΔX and the Y-axis direction initial value Ys as the detection position is obtained. Newly stored in RAM. Specifically, a predetermined number K of sampling data representing the magnitudes of signal components synchronized with the reference signal and the delayed reference of the X direction magnetic detection signal are sampled data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m ) Is stored in the RAM. A predetermined number K of sampling data representing the magnitudes of the signal components synchronized with the reference signal and the delayed reference signal of the Y-direction magnetic detection signal are sampled data groups Sy1 (n, m) and Sy2 (n, m). Stored in RAM. In this case, the variable n is “2” and the variable m is “1”.

そして、コントローラ70は、次のX軸方向の検出位置(X軸方向の走査位置)を表す値Xs+n・ΔXが終了値Xmaxよりも大きくなるまで、ステップS16〜S24の処理により、磁気センサ10による検出位置をX軸方向正側に所定値ΔXずつ移動させるとともに、変数nを「1」ずつ増加させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のX軸方向の検出位置を表す値Xs+n・ΔXが終了値Xmaxよりも大きくなると、コントローラ70は、ステップS20にて「Yes」と判定して、プログラムを図5BのステップS30に進める。この状態では、サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1,2,3・・・nmax,m=1)がRAMに記憶される。なお、値nmaxは、終了値Xmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数nの値であって、X軸方向における検出位置の数を表している。   Then, the controller 70 uses the magnetic sensor 10 until the value Xs + n · ΔX representing the next detection position in the X-axis direction (scanning position in the X-axis direction) becomes larger than the end value Xmax. The detection position is moved to the X axis direction positive side by a predetermined value ΔX, and sampling data is taken in while increasing the variable n by “1”. When the value Xs + n · ΔX representing the next detected position in the X-axis direction becomes larger than the end value Xmax, the controller 70 determines “Yes” in step S20 and advances the program to step S30 in FIG. 5B. . In this state, the sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1, 2, 3... Nmax, m = 1 ) Is stored in the RAM. The value nmax is a value of the variable n related to the sampling data group at the detection position immediately before the end value Xmax, and represents the number of detection positions in the X-axis direction.

コントローラ70は、ステップS30において、Y方向フィードモータ制御回路64に、磁気センサ10による検出位置をY軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Y方向フィードモータ制御回路64は、Y方向モータ34を作動させて磁気センサ10による検出位置をY軸方向正側に移動させ始める。次に、コントローラ70は、ステップS31にてY方向位置検出回路63からY方向位置を入力し、ステップS32にて入力したY方向位置が次のY軸方向の検出位置Ys+m・ΔYに達したか否かを判定する。この次のY軸方向の検出位置Ys+m・ΔYは、X軸方向の次の検出位置Xs+n・ΔXと同様に、Y軸方向の走査間隔を表す所定値ΔYに変数mを乗算して初期値Ysを加算した値である(図9参照)。そして、Y方向位置検出回路63から入力したY方向位置が次のY軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ70は、ステップS32にて「No」と判定し続けて、ステップS31,S32の処理を繰り返し実行する。Y方向位置検出回路63から入力したY方向位置が次のY軸方向の検出位置に達すると、コントローラ70は、ステップS32にて「Yes」と判定し、ステップS33にてY方向フィードモータ制御回路64に、磁気センサ10のY軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Y方向フィードモータ制御回路64は、Y方向モータ34の作動を停止させて、磁気センサ10検出位置のY軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ10は、値Xs+(n-1)・ΔX(=Xs+(nmax-1)・ΔX)で表されたX軸方向位置、かつ値Ys+m・ΔY(=Ys+ΔY)で表されたY軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルSPの表面近傍の磁界を検出し始める。   In step S30, the controller 70 instructs the Y-direction feed motor control circuit 64 to move the detection position by the magnetic sensor 10 to the Y axis direction positive side. Thereby, the Y-direction feed motor control circuit 64 operates the Y-direction motor 34 to start moving the detection position by the magnetic sensor 10 to the Y axis direction positive side. Next, the controller 70 inputs the Y-direction position from the Y-direction position detection circuit 63 in step S31, and whether the Y-direction position input in step S32 has reached the next detection position Ys + m · ΔY in the Y-axis direction. Determine whether or not. The next detected position Ys + m · ΔY in the Y-axis direction is the initial value Ys by multiplying a predetermined value ΔY representing the scanning interval in the Y-axis direction by a variable m, similarly to the next detected position Xs + n · ΔX in the X-axis direction. (See FIG. 9). Then, until the Y-direction position input from the Y-direction position detection circuit 63 reaches the next detection position in the Y-axis direction, the controller 70 continues to determine “No” in step S32, and the processing in steps S31 and S32 Repeatedly. When the Y-direction position input from the Y-direction position detection circuit 63 reaches the next detection position in the Y-axis direction, the controller 70 determines “Yes” in step S32, and the Y-direction feed motor control circuit in step S33. 64 is instructed to stop the movement of the magnetic sensor 10 toward the positive side in the Y-axis direction. Thereby, the Y-direction feed motor control circuit 64 stops the operation of the Y-direction motor 34 and stops the movement of the detection position of the magnetic sensor 10 to the Y axis direction positive side. As a result, the magnetic sensor 10 is represented by a value Xs + (n−1) · ΔX (= Xs + (nmax−1) · ΔX) and a value Ys + m · ΔY (= Ys + ΔY). The detection of the magnetic field in the vicinity of the surface of the solar cell panel SP is started using the position in the Y-axis direction as the detection position.

前記ステップS33の処理後、コントローラ70は、ステップS34にて、Y方向位置検出回路63からY方向位置を入力して、入力したY方向位置が終了値Ymaxによって表されたY軸方向の走査終了位置を越えたか否かを判定する。Y方向位置が走査終了位置を越えていなければ、コントローラ70は、ステップS34にて「No」と判定して、ステップS35にて変数mに「1」を加算し、ステップS36にて変数aに「−1」を乗算する。この場合、ステップS35の処理によって変数mは「2」になり、ステップS36の処理によって変数aは「−1」になる。また、変数nは値nmaxに保たれている。前記ステップS36の処理後、コントローラ70は、ステップS17に戻って、ステップS17,S18の処理より、K個ずつの各サンプリングデータ群Sx1(nmax,2),Sx2(nmax,2),Sy1(nmax,2),Sy2(nmax,2)をロックインアンプ68からそれぞれ取込み記憶する。   After the processing of step S33, the controller 70 inputs the Y-direction position from the Y-direction position detection circuit 63 in step S34, and the scanning in the Y-axis direction in which the input Y-direction position is represented by the end value Ymax is completed. It is determined whether or not the position has been exceeded. If the position in the Y direction does not exceed the scanning end position, the controller 70 determines “No” in step S34, adds “1” to the variable m in step S35, and sets the variable a in step S36. Multiply by “−1”. In this case, the variable m becomes “2” by the process of step S35, and the variable a becomes “−1” by the process of step S36. The variable n is kept at the value nmax. After the process of step S36, the controller 70 returns to step S17, and each of the K sampling data groups Sx1 (nmax, 2), Sx2 (nmax, 2), Sy1 (nmax) from the processes of steps S17 and S18. , 2), Sy2 (nmax, 2) are taken from the lock-in amplifier 68 and stored.

前記ステップS17,S18の処理後、コントローラ70は、ステップS19にて変数aは「1」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップS36の処理によって変数aは「−1」に設定されているので、コントローラ70は、ステップS19にて「No」と判定して、ステップS25にて、値Xs+(n−2)・ΔXがX軸方向の初期値Xsよりも小さいか否かを判定する。この場合、変数nはnmaxであり、値Xs+(n−2)・ΔXは、太陽電池パネルSPの図9における右端から2番目の検出位置を左側へ移動させた際における次のX軸方向の検出位置(X軸方向の走査位置)を表す値である。値Xs+(n−2)・ΔXが初期値Xsよりも小さくなければ、コントローラ70は、ステップS25にて「No」と判定して、ステップS26にて、X方向フィードモータ制御回路62に、磁気センサ10による検出位置をX軸方向負側に移動させるように指示する。これにより、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向モータ25を作動させて磁気センサ10による検出位置をX軸方向負側に移動させ始める。   After the processing in steps S17 and S18, the controller 70 determines whether or not the variable a is “1” in step S19. In this case, since the variable a is set to “−1” by the process of step S36, the controller 70 determines “No” in step S19, and in step S25, the value Xs + (n−2). ) · ΔX is determined whether or not it is smaller than the initial value Xs in the X-axis direction. In this case, the variable n is nmax, and the value Xs + (n−2) · ΔX is the value in the next X-axis direction when the second detection position from the right end of the solar cell panel SP in FIG. 9 is moved to the left side. This is a value representing the detection position (scanning position in the X-axis direction). If the value Xs + (n−2) · ΔX is not smaller than the initial value Xs, the controller 70 determines “No” in step S25, and in step S26, instructs the X-direction feed motor control circuit 62 to An instruction is given to move the detection position by the sensor 10 to the X axis direction negative side. Thereby, the X-direction feed motor control circuit 62 starts to move the detection position by the magnetic sensor 10 to the X-axis direction negative side by operating the X-direction motor 25.

次に、コントローラ70は、ステップS27にてX方向位置検出回路61からX方向位置を入力し、ステップS28にて入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちX方向位置を示す値が値Xs+(n−2)・ΔX以下になったか否かを判定する。そして、X方向位置検出回路61から入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ70は、ステップS28にて「No」と判定し続けて、ステップS27,S28の処理を繰り返し実行する。X方向位置検出回路61から入力したX方向位置が次のX軸方向の検出位置に達すると、コントローラ70は、ステップS28にて「Yes」と判定し、ステップS29にてX方向フィードモータ制御回路62に、検出位置のX軸方向負側への移動を停止させることを指示する。これにより、X方向フィードモータ制御回路62は、X方向モータ25の作動を停止させて、磁気センサ10による検出位置のX軸方向負側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ10は、値Xs+(n−2)・ΔX(=Xs+(nmax−2)・ΔX)で表されたX軸方向位置、かつ値Ys+(m−1)・ΔYs(=Ys+ΔYs)で表されたY軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルSPの表面近傍の磁界を検出し始める。   Next, the controller 70 inputs the X direction position from the X direction position detection circuit 61 in step S27, and whether or not the X direction position input in step S28 has reached the next detection position in the X axis direction, That is, it is determined whether or not the value indicating the position in the X direction is equal to or less than the value Xs + (n−2) · ΔX. The controller 70 continues to determine “No” in step S28 until the X-direction position input from the X-direction position detection circuit 61 reaches the detection position in the next X-axis direction, and the processing in steps S27 and S28. Repeatedly. When the X-direction position input from the X-direction position detection circuit 61 reaches the detection position in the next X-axis direction, the controller 70 determines “Yes” in step S28, and in step S29, the X-direction feed motor control circuit. 62 is instructed to stop the movement of the detection position to the negative side in the X-axis direction. Thereby, the X-direction feed motor control circuit 62 stops the operation of the X-direction motor 25 and stops the movement of the detection position by the magnetic sensor 10 to the negative side in the X-axis direction. As a result, the magnetic sensor 10 has an X-axis direction position represented by a value Xs + (n−2) · ΔX (= Xs + (nmax−2) · ΔX), and a value Ys + (m−1) · ΔYs (= Ys + ΔYs). ) To detect the magnetic field in the vicinity of the surface of the solar panel SP.

前記ステップS29の処理後、コントローラ70は、ステップS16に戻って、ステップS16の処理によって変数nに変数a(この場合、a=−1)を加算して、前述のステップS17,S18のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップS17,S18の処理により、前記ステップS16の処理前の値Xs+(n−2)・ΔX(=Xs+(nmax−2)・ΔX)で表されたX軸方向位置、かつ値Ys+(m−1)・ΔYs(=Ys+ΔYs)で表されたY軸方向位置を検出位置とするK個ずつの各サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)が取込み記憶される。なお、この取込み記憶されるサンプリングデータ群に関する変数nは値nmax−1であり、変数mは「2」である。   After the process of step S29, the controller 70 returns to step S16, adds the variable a (in this case, a = -1) to the variable n by the process of step S16, and samples the sampling data of the above-described steps S17 and S18. Execute the import process. By the processing in steps S17 and S18, the position in the X-axis direction represented by the value Xs + (n−2) · ΔX (= Xs + (nmax−2) · ΔX) before the processing in step S16, and the value Ys + ( m−1) · YS (= Ys + ΔYs) The K sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m) each having the position in the Y-axis direction as the detection position ), Sy2 (n, m) are captured and stored. Note that the variable n regarding the sampling data group to be captured and stored is the value nmax−1, and the variable m is “2”.

そして、コントローラ70は、次のX軸方向の検出位置(X軸方向の走査位置)を表す値Xs+(n−2)・ΔXが初期値Xsよりも小さくなるまで、ステップS16〜S19,S25〜S29の処理により、検出位置をX軸方向負側に所定値ΔXずつ移動させるとともに、変数nを「1」ずつ減少させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のX軸方向の検出位置を表す値Xs+(n−2)・ΔXが初期値Xsよりも小さくなると、コントローラ70は、ステップS25にて「Yes」と判定して、図5BのステップS30に進む。なお、このときの変数nは「1」である。この状態では、前述したサンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1,2,3・・・nmax,m=1)に加えて、サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1,2,3・・・nmax,m=2)がRAMに記憶される。   Then, the controller 70 performs steps S16 to S19 and S25 until the value Xs + (n−2) · ΔX representing the next detection position in the X-axis direction (scanning position in the X-axis direction) becomes smaller than the initial value Xs. By the processing of S29, the detection position is moved to the X axis direction negative side by a predetermined value ΔX, and the sampling data is taken in while the variable n is decreased by “1”. When the value Xs + (n−2) · ΔX representing the next detected position in the X-axis direction becomes smaller than the initial value Xs, the controller 70 determines “Yes” in step S25, and the step of FIG. 5B Proceed to S30. Note that the variable n at this time is “1”. In this state, the sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1, 2, 3... Nmax, m = 1), sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1, 2, 3... Nmax, m = 2) is stored in the RAM.

コントローラ70は、前述したステップS30〜S33の処理により、Y方向モータ34を作動させて磁気センサ10による検出位置を次のY軸方向検出位置Ys+m・ΔYに移動させる。その結果、磁気センサ10は、初期値Xsで表されたX軸方向の初期位置、かつ値Ys+m・ΔY(=Ys+2・ΔY)で表されたY軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルSPの表面近傍の磁界を検出し始める。次に、コントローラ70は、Y方向位置検出回路63によって検出されたY方向位置が終了位置を越えていないことを条件に、コントローラ70は、ステップS34にて「No」と判定して、ステップS35にて変数mに「1」を加算し、ステップS36にて変数aに「−1」を乗算する。この場合、ステップS35の処理によって変数mは「3」になり、ステップS36の処理によって変数aは「1」になる。また、変数nは「1」に保たれている。前記ステップS36の処理後、コントローラ70は、ステップS17に戻って、ステップS17,S18の処理より、K個ずつの各サンプリングデータ群Sx1(1,3),Sx2(1,3),Sy1(1,3),Sy2(1,3)をロックインアンプ68からそれぞれ取込み記憶する。   The controller 70 operates the Y direction motor 34 and moves the detection position by the magnetic sensor 10 to the next Y axis direction detection position Ys + m · ΔY by the processing of steps S30 to S33 described above. As a result, the magnetic sensor 10 uses the initial position in the X-axis direction represented by the initial value Xs and the position in the Y-axis direction represented by the value Ys + m · ΔY (= Ys + 2 · ΔY) as the detection position. Start detecting the magnetic field in the vicinity of the surface. Next, on the condition that the Y-direction position detected by the Y-direction position detection circuit 63 does not exceed the end position, the controller 70 determines “No” in step S34, and step S35. In step S36, “1” is added to the variable m, and in step S36, the variable a is multiplied by “−1”. In this case, the variable m becomes “3” by the process of step S35, and the variable a becomes “1” by the process of step S36. The variable n is kept at “1”. After the process of step S36, the controller 70 returns to step S17, and from the processes of steps S17 and S18, the K sampling data groups Sx1 (1,3), Sx2 (1,3), Sy1 (1 , 3) and Sy2 (1, 3) are taken from the lock-in amplifier 68 and stored.

前記ステップS17,S18の処理後、コントローラ70は、ステップS19にて変数aは「1」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップS36の処理によって変数aは「1」に設定されているので、コントローラ70は、ステップS19にて「Yes」と判定して、前述したステップS20〜S24,S16〜S19の処理を、値Xs+n・ΔXが終了値Xmaxよりも大きくなるまで繰り返し実行する。これにより、磁気センサ10による検出位置がX軸方向正側に走査されて、サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1,2,3・・・nmax,m=3)がRAMに新たに記憶される。   After the processing in steps S17 and S18, the controller 70 determines whether or not the variable a is “1” in step S19. In this case, since the variable a is set to “1” by the process of step S36, the controller 70 determines “Yes” in step S19, and the processes of steps S20 to S24 and S16 to S19 described above. Are repeatedly executed until the value Xs + n · ΔX becomes larger than the end value Xmax. Thereby, the detection position by the magnetic sensor 10 is scanned to the positive side in the X-axis direction, and the sampling data group Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (N = 1, 2, 3... Nmax, m = 3) is newly stored in the RAM.

そして、変数mを「3」に設定した状態で、磁気センサ10の検出位置のX軸方向正側への走査が終了すると、ステップS20の判定処理により、ステップS30〜S36の処理が実行されて、磁気センサ10による検出位置が次のY軸方向位置に変更されるとともに、変数m,aが変更される。そして、前述したステップS16〜S19,S25〜S29の処理により、磁気センサ10による検出位置がX軸方向負側へ走査され、サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1,2,3・・・nmax,m=4)がRAMに新たに記憶される。   When the variable m is set to “3” and the scanning of the detection position of the magnetic sensor 10 to the positive side in the X-axis direction is completed, the processes of steps S30 to S36 are executed by the determination process of step S20. The position detected by the magnetic sensor 10 is changed to the next position in the Y-axis direction, and the variables m and a are changed. Then, by the processing of steps S16 to S19 and S25 to S29 described above, the detection position by the magnetic sensor 10 is scanned to the negative side in the X-axis direction, and sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1. (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1, 2, 3... nmax, m = 4) are newly stored in the RAM.

このようなステップS16〜S36の処理により、磁気センサによる検出位置がX軸方向を往復するように走査されるとともにY軸方向正側に走査されて、Y方向位置検出回路63によって検出されるY方向位置が終了値Ymaxよりも大きくなると、コントローラ70は、ステップS34にて「Yes」と判定して、ステップS37以降の処理を実行する。この状態では、RAM内に、K個ずつの各サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1〜nmax,m=1〜mmax)が記憶されている。なお、値mmaxは、終了値Ymax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数mの値であって、Y軸方向における検出位置の数を表している。   By such processing of steps S16 to S36, the detection position by the magnetic sensor is scanned so as to reciprocate in the X-axis direction, and is scanned to the Y-axis direction positive side, and detected by the Y-direction position detection circuit 63. When the direction position becomes larger than the end value Ymax, the controller 70 determines “Yes” in step S34, and executes the processing after step S37. In this state, K sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1 to nmax, m = 1 to mmax) are stored. The value mmax is the value of the variable m related to the sampling data group at the detection position immediately before the end value Ymax, and represents the number of detection positions in the Y-axis direction.

コントローラ70は、ステップS37にてセンサ信号取出回路67の作動停止を指示し、ステップS38にて光源駆動回路66の作動停止を指示し、ステップS39にて発光信号供給回路65の作動停止を指示する。これらの作動停止の指示により、発光素子50、発光信号供給回路65、光源駆動回路66、センサ信号取出回路67、ロックインアンプ68及び磁気センサ10の作動が停止する。前記ステップS39の処理後、コントローラ70は、ステップS40にて、センサ支持台11をX方向駆動限界位置まで移動させることをX方向位置検出回路61及びX方向フィードモータ制御回路62に指示するとともに、センサ支持台11をY方向駆動限界位置まで移動させることをY方向位置検出回路63及びY方向フィードモータ制御回路64に指示して、ステップS41にてデータ取得プログラムの実行を終了する。X方向フィードモータ制御回路62は、前述の初期設定のように、X方向位置検出回路61と協働して、センサ支持台11をX方向駆動限界位置まで移動させる。Y方向フィードモータ制御回路64は、前述のように、Y方向位置検出回路63と協働して、センサ支持台11をY方向駆動限界位置まで移動させる。   The controller 70 instructs the sensor signal extraction circuit 67 to stop operating in step S37, instructs the light source drive circuit 66 to stop operating in step S38, and instructs the light emission signal supply circuit 65 to stop operating in step S39. . The operation of the light emitting element 50, the light emission signal supply circuit 65, the light source drive circuit 66, the sensor signal extraction circuit 67, the lock-in amplifier 68, and the magnetic sensor 10 is stopped by these operation stop instructions. After the process of step S39, the controller 70 instructs the X-direction position detection circuit 61 and the X-direction feed motor control circuit 62 to move the sensor support 11 to the X-direction drive limit position in step S40. The Y direction position detection circuit 63 and the Y direction feed motor control circuit 64 are instructed to move the sensor support 11 to the Y direction drive limit position, and the execution of the data acquisition program is terminated in step S41. The X-direction feed motor control circuit 62 moves the sensor support 11 to the X-direction drive limit position in cooperation with the X-direction position detection circuit 61 as in the initial setting described above. As described above, the Y-direction feed motor control circuit 64 moves the sensor support 11 to the Y-direction drive limit position in cooperation with the Y-direction position detection circuit 63.

次に、前記データ取得プログラムで取得した所定数Kずつのサンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)(n=1〜nmax,m=1〜mmax)を用いて、太陽電池パネルSPを評価する方法について説明する。この場合、作業者は、入力装置71を操作して、コントローラ70に図6A乃至図6Hの評価プログラムを実行させる。この評価プログラムにおいては、太陽電池パネルSPの合否判定が行われたり、作業者が太陽電池パネルSPの合否を判定するために、太陽電池パネルSPのX−Y座標の各点における電流の大きさと向きである電流分布の画像が表示装置に表示される。そこで、評価プログラムを説明する前に、太陽電池セルSCの電極に異常が発生した場合における電流分布について説明しておく。   Next, a predetermined number K of sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m) (n = 1 to 1) acquired by the data acquisition program. nmax, m = 1 to mmax), a method for evaluating the solar cell panel SP will be described. In this case, the operator operates the input device 71 to cause the controller 70 to execute the evaluation programs of FIGS. 6A to 6H. In this evaluation program, whether or not the solar cell panel SP is accepted or rejected, or the operator determines whether or not the solar cell panel SP is acceptable, the magnitude of the current at each point of the XY coordinates of the solar cell panel SP. An image of the current distribution as the direction is displayed on the display device. Therefore, before describing the evaluation program, the current distribution when an abnormality occurs in the electrode of the solar battery cell SC will be described.

図10Aは、太陽電池セルSCの電極の1つが断線している場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(A)は、1つの太陽電池セルSCに着目して、一対のバスバー電極87,87と一対の裏面電極81,81(裏面電極側端子81a,81aを図示)との間に抵抗を接続した等価回路を示している。なお、電流の方向は、図示上方向及び右方向を正とする。この状態で、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、Y方向位置において次のように変化する。まず、断線が生じていない場合には、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさの分布は、(B)のAに示すように、Y方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、バスバー電極87側を断線させた場合((A)のB断線)、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、(B)のBに示すように、断線箇所に近い下部であるY方向位置では小さく、上方に向かうに従って大きくなる。また、裏面電極側端子81a側を断線させた場合((A)のC断線)、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、(B)のCに示すように、断線箇所に遠い下部であるY方向位置では大きく、上方に向かうに従って大きくなる。これらは、断線箇所に近い位置の電流が流れ難く、断線した位置から離れるに従って、グリッド電極86などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。   FIG. 10A shows the experimental results of the current magnitude distribution when one of the electrodes of the solar battery cell SC is disconnected. In (A), focusing on one solar cell SC, a resistor is connected between the pair of bus bar electrodes 87 and 87 and the pair of back surface electrodes 81 and 81 (rear surface electrode side terminals 81a and 81a are shown). An equivalent circuit is shown. The current direction is positive in the upward direction and right direction in the figure. In this state, the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure changes as follows at the position in the Y direction. First, when no disconnection occurs, the distribution of the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure becomes substantially constant even if the position in the Y direction changes, as indicated by A in (B). . On the other hand, when the bus bar electrode 87 side is disconnected (B disconnection in (A)), the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure is as shown in B of (B) in the lower part near the disconnection point. It is small at a certain position in the Y direction and increases as it goes upward. Further, when the back electrode side terminal 81a side is disconnected (C disconnection in (A)), the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure is far from the disconnection location as indicated by C in (B). It is large at the position in the Y direction, which is the lower part, and becomes larger as it goes upward. These are presumed to be because the current at the position near the disconnection point hardly flows, and the current flowing through the grid electrode 86 and the like increases as the distance from the disconnection position increases.

(C)は、前述したA,B,Cの条件下で、右側のバスバー電極87に流れる電流の大きさのY方向における分布を示している。この場合、(B)の場合とは逆に、左側のバスバー電極87の断線箇所に近いY方向位置の電流の大きさは大きく、前記断線箇所から離れたY方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、左側のバスバー電極87を流れることができなくなった分の電流が右側のバスバー電極87に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極87側及び裏面電極側端子81a側を断線させた場合には、左側及び右側のバスバー電極87,87に流れる電流の大きさは、断線してない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ(電流の絶対値)の変化について説明したが、バスバー電極87内を流れる電流の向きはほぼY方向であるので、Y方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   (C) shows the distribution in the Y direction of the magnitude of the current flowing through the right bus bar electrode 87 under the conditions of A, B, and C described above. In this case, contrary to the case of (B), the magnitude of the current in the Y direction position near the disconnection location of the left bus bar electrode 87 is large, and the magnitude of the current is smaller in the Y direction position far from the disconnection location. Become. This is presumed to be because the current that cannot flow through the left bus bar electrode 87 flows into the right bus bar electrode 87. As described above, when the bus bar electrode 87 side and the back electrode side terminal 81a side are disconnected, the magnitude of the current flowing through the left and right bus bar electrodes 87 and 87 is extremely large compared to the case where the bus bar electrode 87 and 87 are not disconnected. You can see that it changes. In the above description, the change in the magnitude of the current (the absolute value of the current) has been described. However, since the direction of the current flowing in the bus bar electrode 87 is almost the Y direction, the magnitude of the current in the Y direction is used. Gives the same result.

また、(D)は、前述したA,B,Cの条件下で、左右のバスバー電極87,87間に流れる電流の大きさのX方向における分布を示している。この場合の電流分布は、左右のバスバー電極87,87の長尺方向全体にわたるX方向の電流分布の平均値又はバスバー電極の87,87の長尺方向の中間位置のX方向の電流分布である。この電流には、グリッド電極86にX方向に流れる電流に加えて、太陽電池セルSCの表面に流れる面電流も含まれる。正常な場合、バスバー電極87,87間にはほとんど電流が流れていない。一方、B断線の場合には、負方向(すなわち左方向)の電流が流れている。また、C断線の場合には、正方向(すなわち右方向)の電流が流れている。これらは、断線により流れることができなくなった分の電流がバスバー電極87,87間に流れるためと推定される。このように、前記断線により、バスバー電極87,87間に流れる電流の大きさも、正常な場合に比べて大きく変化する。また、このバスバー電極87,87間を流れる電流の向きはX方向である傾向が強いので、X方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   (D) shows the distribution in the X direction of the magnitude of the current flowing between the left and right bus bar electrodes 87, 87 under the conditions of A, B, C described above. The current distribution in this case is the average value of the current distribution in the X direction over the entire longitudinal direction of the left and right bus bar electrodes 87, 87 or the current distribution in the X direction at the intermediate position of the bus bar electrodes 87, 87 in the longitudinal direction. . This current includes a surface current flowing on the surface of the solar cell SC in addition to the current flowing in the X direction through the grid electrode 86. Under normal conditions, almost no current flows between the bus bar electrodes 87 and 87. On the other hand, in the case of B disconnection, a current in the negative direction (that is, the left direction) flows. Further, in the case of C disconnection, a current in the positive direction (that is, right direction) flows. These are presumed to be because the current that cannot flow due to the disconnection flows between the bus bar electrodes 87 and 87. As described above, due to the disconnection, the magnitude of the current flowing between the bus bar electrodes 87 and 87 also greatly changes compared to the normal case. Further, since the direction of the current flowing between the bus bar electrodes 87 and 87 tends to be in the X direction, the same result can be obtained even if the magnitude of the current in the X direction is used.

図10Bは、太陽電池セルSCの左側のバスバー電極87の接触抵抗rが大きい場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(A)は、1つの太陽電池セルSCに着目して、左右のバスバー電極87,87間に抵抗を接続した等価回路を示している。この場合、接触抵抗rを、左右のバスバー電極87,87間に、50cm及び150cmの電線を接続することにより実現している。なお、左右のバスバー電極87,87間の距離は、例えば5cmである。また、この場合も、電流の方向は、図示上方向及び右方向を正とする。このような接触抵抗rにより、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、Y方向位置において次のように変化する。まず、正常時(左右のバスバー電極87,87が通常に接続されている場合)には、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさの分布は、(B)のAに示すように、Y方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、左右のバスバー電極87,87間に50cmの電線を接続した場合には、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、(B)のBに示すように、接触抵抗rが大きい下部であるY方向位置では小さく、上方に向かうに従って大きくなる。また、左右のバスバー電極87,87間に150cmの電線を接続した場合には、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、(B)のCに示すように、接触抵抗rが大きい下部であるY方向位置ではさらに小さくなる。これらは、接触抵抗rが大きくて電流が流れ難い位置の電流が小さくなり、前記電流が流れ難い位置から離れるに従って、グリッド電極86などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。そして、この電流の変化は、前記図10Aの断線の場合に比べて小さいものである。   FIG. 10B shows the experimental results of the current magnitude distribution when the contact resistance r of the left bus bar electrode 87 of the solar battery cell SC is large. (A) shows an equivalent circuit in which a resistor is connected between the left and right bus bar electrodes 87 with a focus on one solar cell SC. In this case, the contact resistance r is realized by connecting 50 cm and 150 cm electric wires between the left and right bus bar electrodes 87, 87. The distance between the left and right bus bar electrodes 87, 87 is, for example, 5 cm. Also in this case, the current direction is positive in the upward direction and right direction in the figure. Due to such a contact resistance r, the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure changes as follows at the position in the Y direction. First, when normal (when the left and right bus bar electrodes 87, 87 are normally connected), the distribution of the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure is as shown in A of FIG. Even if the position in the Y direction changed, it became almost constant. On the other hand, when a 50 cm wire is connected between the left and right bus bar electrodes 87, 87, the magnitude of the current flowing through the left bus bar electrode 87 is large as shown in B of FIG. It is small at the position in the Y direction, which is the lower part, and becomes larger as it goes upward. When a 150 cm wire is connected between the left and right bus bar electrodes 87, 87, the magnitude of the current flowing through the left bus bar electrode 87 is large as shown in C of (B). At the lower position in the Y direction, it becomes even smaller. These are presumed to be because the current flowing through the grid electrode 86 and the like increases as the contact resistance r increases and the current at the position where it is difficult for the current to flow decreases, and the distance from the position where the current does not flow easily increases. This change in current is smaller than that in the case of the disconnection in FIG. 10A.

(C)は、前述したA,B,Cの条件下で、右側のバスバー電極87に流れる電流の大きさのY方向における分布を示している。この場合も、(B)の場合とは逆に、左側のバスバー電極87の接触抵抗rの大きなY方向位置の電流の大きさは大きく、前記断線箇所から離れたY方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。この場合も、左側のバスバー電極87を流れることができなくなった分の電流が右側のバスバー電極87に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極87側の接触抵抗が大きくなった場合も、前記断線の場合よりはその変化は小さいが、左側及び右側のバスバー電極87,87に流れる電流の大きさは、接触抵抗が正常な場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。また、裏面電極81側の接触抵抗が大きくなった場合も、同様な現象が現われる。なお、この場合も、前記説明では、電流の大きさ(電流の絶対値)の変化について説明したが、バスバー電極87内を流れる電流の向きはほぼY方向であるので、Y方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   (C) shows the distribution in the Y direction of the magnitude of the current flowing through the right bus bar electrode 87 under the conditions of A, B, and C described above. Also in this case, contrary to the case of (B), the magnitude of the current in the Y direction position where the contact resistance r of the left bus bar electrode 87 is large is large, and the magnitude of the current is larger in the Y direction position farther from the disconnection point. Becomes smaller. Also in this case, it is presumed that the current that cannot flow through the left bus bar electrode 87 flows into the right bus bar electrode 87. Thus, even when the contact resistance on the bus bar electrode 87 side is increased, the change is smaller than in the case of the disconnection, but the magnitude of the current flowing in the left and right bus bar electrodes 87 and 87 is determined by the contact resistance. It turns out that it changes very largely compared with the normal case. The same phenomenon also appears when the contact resistance on the back electrode 81 side increases. Also in this case, in the above description, the change in the magnitude of the current (the absolute value of the current) has been described. However, since the direction of the current flowing in the bus bar electrode 87 is almost the Y direction, the magnitude of the current in the Y direction is also described. The same result can be obtained using

また、(D)は、前述したA,B,Cの条件下で、左右のバスバー電極87,87間に流れる電流の大きさのX方向における分布を示している。この場合の電流分布も、左右のバスバー電極87,87の長尺方向全体にわたるX方向の電流分布の平均値又はバスバー電極の87,87の長尺方向の中間位置のX方向の電流分布である。この電流にも、グリッド電極86にX方向に流れる電流に加えて、太陽電池セルSCの表面に流れる面電流も含まれる。正常な場合、バスバー電極87,87間にはほとんど電流が流れていない。一方、左右のバスバー電極87,87間に50cmの電線を接続した場合には、負方向(すなわち左方向)の電流が流れている。また、左右のバスバー電極87,87間に150cmの電線を接続した場合には、前記Bの場合よりも絶対値の大きな負方向(すなわち左方向)の電流が流れている。これは、接触抵抗rにより流れることができなくなった分の電流がバスバー電極87,87間に流れるためと推定される。このように、電極の接触抵抗が大きくなった場合も、前記断線の場合よりはその変化は小さいが、バスバー電極87,87間に流れる電流の大きさも、正常な場合に比べて大きく変化する。また、このバスバー電極87間を流れる電流の向きはX方向である傾向が強いので、X方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   (D) shows the distribution in the X direction of the magnitude of the current flowing between the left and right bus bar electrodes 87, 87 under the conditions of A, B, C described above. The current distribution in this case is also the average value of the current distribution in the X direction over the entire longitudinal direction of the left and right bus bar electrodes 87, 87 or the current distribution in the X direction at the intermediate position of the bus bar electrodes 87, 87 in the longitudinal direction. . This current also includes a surface current flowing on the surface of the solar cell SC in addition to the current flowing in the X direction through the grid electrode 86. Under normal conditions, almost no current flows between the bus bar electrodes 87 and 87. On the other hand, when a 50 cm wire is connected between the left and right bus bar electrodes 87, 87, a current in the negative direction (that is, the left direction) flows. Further, when a 150 cm wire is connected between the left and right bus bar electrodes 87, 87, a current in the negative direction (that is, the left direction) having a larger absolute value than that in the case B is flowing. This is presumed to be because the current that cannot flow due to the contact resistance r flows between the bus bar electrodes 87 and 87. As described above, when the contact resistance of the electrode is increased, the change is smaller than that in the case of the disconnection, but the magnitude of the current flowing between the bus bar electrodes 87 and 87 is also greatly changed as compared with the normal case. Further, since the direction of the current flowing between the bus bar electrodes 87 tends to be in the X direction, the same result can be obtained even when the magnitude of the current in the X direction is used.

図10Cは、太陽電池セルSCのバスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じている場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(A)は、1つの太陽電池セルSCに着目して、左側のバスバー電極87が図示上部位置(図示×印位置)にてグリッド電極86と接触不良である状態の等価回路を示している。なお、この場合も、電流の方向は、図示上方向及び右方向を正とする。この状態で、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、Y方向位置において次のように変化する。まず、バスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じていない場合には、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさの分布は、(B)のAに示すように、若干は変化するもののY方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、バスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じた場合、図示左側のバスバー電極87に流れる電流の大きさは、(B)のBに示すように、接触不良位置から遠い下部であるY方向位置では大きく、接触不良位置である上方に向かうに従って小さくなる。これは、接触不良位置では、バスバー電極87に流れる電流が減少するためであると推定される。   FIG. 10C shows an experimental result of the distribution of current magnitude when a contact failure occurs between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86 of the solar battery cell SC. (A) shows an equivalent circuit in a state where the left bus bar electrode 87 is in poor contact with the grid electrode 86 at the upper position in the figure (indicated by the mark x in the figure), focusing on one solar cell SC. In this case as well, the current direction is positive in the upward direction and right direction in the figure. In this state, the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure changes as follows at the position in the Y direction. First, when there is no contact failure between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86, the distribution of the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure is slightly as shown in A of (B). Although it changed, it became almost constant even if the position in the Y direction changed. On the other hand, when a contact failure occurs between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86, the magnitude of the current flowing through the bus bar electrode 87 on the left side of the figure is as shown in FIG. It is large at the position in the Y direction and becomes smaller as it goes upward, which is the position of poor contact. This is presumably because the current flowing through the bus bar electrode 87 decreases at the contact failure position.

(C)は、前述したA,Bの条件下で、右側のバスバー電極87に流れる電流の大きさのY方向における分布を示している。この場合、(B)の場合とは逆に、左側のバスバー電極87の接触不良に近い上部であるY方向位置の電流の大きさは大きく、前記接触不良箇所から離れたY方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、左側のバスバー電極87を流れることができなくなった分の電流が右側のバスバー電極87に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じた場合も、左側及び右側のバスバー電極87,87に流れる電流の大きさは、接触不良が生じていない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ(電流の絶対値)の変化について説明したが、この場合も、バスバー電極87内を流れる電流の向きはほぼY方向であるので、Y方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   (C) shows the distribution in the Y direction of the magnitude of the current flowing through the right bus bar electrode 87 under the conditions A and B described above. In this case, contrary to the case of (B), the magnitude of the current in the Y direction position, which is the upper part near the contact failure of the left bus bar electrode 87, is large, and the current in the Y direction position farther from the contact failure point is larger. The size becomes smaller. This is presumed to be because the current that cannot flow through the left bus bar electrode 87 flows into the right bus bar electrode 87. Thus, even when a contact failure occurs between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86, the magnitude of the current flowing through the left and right bus bar electrodes 87, 87 is larger than that when no contact failure occurs. It turns out that it changes very greatly. In the above description, the change in the magnitude of the current (the absolute value of the current) has been described. Also in this case, since the direction of the current flowing in the bus bar electrode 87 is substantially the Y direction, the magnitude of the current in the Y direction. The same result can be obtained using

また、(D)は、前述したA,Bの条件下で、左右のバスバー電極87,87間に流れる電流の大きさのX方向における分布を示している。この場合の電流分布も、左右のバスバー電極87,87の長尺方向全体にわたるX方向の電流分布の平均値又はバスバー電極の87,87の長尺方向の中間位置のX方向の電流分布である。この場合も、この電流には、グリッド電極86にX方向に流れる電流に加えて、太陽電池セルSCの表面に流れる面電流も含まれる。正常な場合、バスバー電極87,87間にはほとんど電流が流れていない。一方、バスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じている場合には、正方向(すなわち右方向)の電流が流れている。これは、接触不良箇所により流れることができなくなった分の電流がバスバー電極87,87間に流れるためと推定される。このように、バスバー電極87とグリッド電極86との間に接触不良が生じた場合も、バスバー電極87,87間に流れる電流の大きさも、正常な場合に比べて大きく変化する。また、この場合も、このバスバー電極87,87間を流れる電流の向きはX方向である傾向が強いので、X方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。   Further, (D) shows the distribution in the X direction of the magnitude of the current flowing between the left and right bus bar electrodes 87, 87 under the conditions of A and B described above. The current distribution in this case is also the average value of the current distribution in the X direction over the entire longitudinal direction of the left and right bus bar electrodes 87, 87 or the current distribution in the X direction at the intermediate position of the bus bar electrodes 87, 87 in the longitudinal direction. . Also in this case, this current includes a surface current flowing on the surface of the solar battery cell SC in addition to a current flowing in the grid electrode 86 in the X direction. Under normal conditions, almost no current flows between the bus bar electrodes 87 and 87. On the other hand, when a contact failure occurs between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86, a current in the positive direction (that is, the right direction) flows. This is presumed to be because the current that could not flow due to the poor contact location flows between the bus bar electrodes 87 and 87. As described above, even when a contact failure occurs between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86, the magnitude of the current flowing between the bus bar electrodes 87 and 87 also changes greatly as compared with the normal case. Also in this case, since the direction of the current flowing between the bus bar electrodes 87 and 87 tends to be in the X direction, the same result can be obtained even if the magnitude of the current in the X direction is used.

次に、評価プログラムの実行について説明する。この評価プログラムの実行は図6AのステップS100にて開始され、コントローラ70は、ステップS102にて変数n,mをそれぞれ「1」に初期設定するとともに、変数CHを「0」に初期設定する。変数n,mは、それぞれX,Y軸方向における検出位置を指定するための変数である。そして、値nmax,mmaxは、前述のように、それぞれX,Y軸方向における検出位置の数を表している。変数CHは、詳しくは後述するが、「0」によりバスバー電極87がY軸方向に延設されていることを表し、「1」によりバスバー電極87がX軸方向に延設されていることを表す。前記ステップS102の処理後、コントローラ70は、ステップS104にて、変数n,mによって指定される所定数Kずつのサンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)の磁界の大きさの各平均値Sx1,Sx2,Sy1,Sy2を計算する。具体的には、各サンプリングデータ群Sx1(n,m),Sx2(n,m),Sy1(n,m),Sy2(n,m)ごとに、K個のサンプリングデータを加算して値Kで除算する。   Next, execution of the evaluation program will be described. The execution of this evaluation program is started in step S100 of FIG. 6A, and the controller 70 initializes the variables n and m to “1” and initializes the variable CH to “0” in step S102. Variables n and m are variables for designating detection positions in the X and Y axis directions, respectively. The values nmax and mmax represent the number of detection positions in the X and Y axis directions as described above. As will be described in detail later, the variable CH represents that the bus bar electrode 87 is extended in the Y-axis direction by “0”, and that the bus bar electrode 87 is extended in the X-axis direction by “1”. To express. After the processing in step S102, the controller 70 in step S104, the sampling data groups Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, n) for each predetermined number K specified by the variables n and m. m), Sy2 (n, m) The average values Sx1, Sx2, Sy1, and Sy2 of the magnitude of the magnetic field are calculated. Specifically, for each sampling data group Sx1 (n, m), Sx2 (n, m), Sy1 (n, m), Sy2 (n, m), K sampling data is added to obtain a value K. Divide by.

次に、コントローラ70は、ステップS106にて、前記計算した平均値Sx1,Sx2を用いた下記式1,2の演算の実行により、X方向磁気検出信号の極大値Hxと、X方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θxとを計算する。
Hx=(Sx12+Sx22)1/2 …式1
θx=tan-1(Sx2/Sx1) …式2
これにより、X方向磁気検出信号としてHx・sin(2πft+θx)が検出されたことになる。なお、fは、発光信号供給回路65から出力される発光信号及び参照信号の周波数に等しい。
Next, in step S106, the controller 70 executes the operations of the following formulas 1 and 2 using the calculated average values Sx1 and Sx2, and thereby the local maximum value Hx of the X direction magnetic detection signal and the X direction magnetic detection signal. The phase shift amount θx with respect to the reference signal is calculated.
Hx = (Sx1 2 + Sx2 2 ) 1/2 Formula 1
θx = tan -1 (Sx2 / Sx1) ... Formula 2
As a result, Hx · sin (2πft + θx) is detected as the X-direction magnetic detection signal. Note that f is equal to the frequency of the light emission signal and the reference signal output from the light emission signal supply circuit 65.

次に、コントローラ70は、ステップS108にて、前記計算した平均値Sy1,Sy2を用いた下記式3,4の演算の実行により、Y方向磁気検出信号の極大値Hyと、Y方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θyとを計算する。
Hy=(Sy12+Sy22)1/2 …式3
θy=tan-1(Sy2/Sy1) …式4
これにより、Y方向磁気検出信号としてHy・sin(2πft+θy)が検出されたことになる。
Next, in step S108, the controller 70 performs the operations of the following formulas 3 and 4 using the calculated average values Sy1 and Sy2, and thereby the maximum value Hy of the Y-direction magnetic detection signal and the Y-direction magnetic detection signal. The phase shift amount θy with respect to the reference signal is calculated.
Hy = (Sy1 2 + Sy2 2 ) 1/2 Formula 3
θy = tan -1 (Sy2 / Sy1) ... Equation 4
As a result, Hy · sin (2πft + θy) is detected as the Y-direction magnetic detection signal.

次に、コントローラ70は、ステップS110にて、前記計算したHx,θx,Hy,θyを用いた下記式5,6の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミング(前記X方向磁気検出信号Hx・sin(2πft+θx)及び前記Y方向磁気検出信号Hy・sin(2πft+θy)における2πftがπ/2のタイミング)における、検査位置の磁界の強さHxy及び磁界の向きθxyを計算する。この場合、通電電流が最大となるタイミングを採用した理由は、位相シフト量θx,θyは小さく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さHxyが最大値近傍の値になるためである。なお、位相シフト量θx,θyが小さくなく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さHxyが最大値近傍にならない場合には、磁界の強さHxyが最大値近傍になるようなタイミングの角度をπ/2に代えて用いればよい。
Hxy=[{Hx・sin(π/2+θx)}2+{Hy・sin(π/2+θy)}2]1/2 …式5
θxy=tan-1{Hy・sin(π/2+θy)}/{Hx・sin(π/2+θx)} …式6
Next, in step S110, the controller 70 performs the calculation of the following formulas 5 and 6 using the calculated Hx, θx, Hy, θy, and the timing at which the energization current becomes maximum (the X-direction magnetic detection signal). The magnetic field strength Hxy and the magnetic field direction θxy at the inspection position at Hx · sin (2πft + θx) and 2πft in the Y-direction magnetic detection signal Hy · sin (2πft + θy) at π / 2 are calculated. In this case, the reason why the timing at which the energization current becomes maximum is adopted is that the phase shift amounts θx and θy are small, and the magnetic field strength Hxy at the inspection position becomes a value near the maximum value near the timing at which the energization current becomes maximum. Because. When the phase shift amounts θx and θy are not small and the magnetic field strength Hxy at the inspection position is not near the maximum value near the timing when the energization current is maximum, the magnetic field strength Hxy is near the maximum value. Such a timing angle may be used instead of π / 2.
Hxy = [{Hx · sin (π / 2 + θx)} 2 + {Hy · sin (π / 2 + θy)} 2 ] 1/2
θxy = tan −1 {Hy · sin (π / 2 + θy)} / {Hx · sin (π / 2 + θx)} Equation 6

次に、コントローラ70は、ステップS112にて、太陽電池パネルSPに流れる電流は前記磁界の強さHxyに比例し、かつ方向が磁界の方向θxyと−π/2異なることから、前記計算したHxy,θxyを用いた下記式7,8の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミングにおける、燃料電池FCの電解質中の検査位置に流れる電流の大きさIxy及び方向θixyを計算する。ただし、値Kは、比例定数である。
Ixy=K・Hxy …式7
θixy=θxy−π/2 …式8
そして、このステップS112にて、前記計算された電流の大きさIxy及び方向θixyは、燃料電池FCの検査位置を表す変数n,mを用いて電流の大きさデータIxy(n,m)及び方向データθixy(n,m)としてRAM又は記憶装置に記憶される。
Next, in step S112, the controller 70 determines that the current flowing through the solar cell panel SP is proportional to the magnetic field strength Hxy and the direction differs from the magnetic field direction θxy by −π / 2. , Θxy are used to calculate the magnitude Ixy and the direction θixy of the current flowing at the inspection position in the electrolyte of the fuel cell FC at the timing when the energization current becomes the maximum. However, the value K is a proportionality constant.
Ixy = K · Hxy Equation 7
θixy = θxy−π / 2 Equation 8
In step S112, the calculated current magnitude Ixy and direction θixy are obtained by using the variables n and m representing the inspection position of the fuel cell FC and the current magnitude data Ixy (n, m) and direction. It is stored in the RAM or storage device as data θixy (n, m).

次に、コントローラ70は、ステップS114にて、前記計算したIxy,θixyを用いた下記式9,10の演算の実行により、太陽電池パネルSPの検査位置においてX方向及びY方向に流れる電流の大きさIx,Iyを計算する。
Ix=Ixy・cosθixy …式9
Iy=Ixy・sinθixy …式10
そして、このステップS114にて、前記計算された電流の大きさIx,Iyも、太陽電池パネルSPの検査位置を表す変数n,mを用いて電流の大きさデータIx(n,m),Iy(n,m)としてRAM又は記憶装置に記憶される。
Next, in step S114, the controller 70 executes the calculations of the following formulas 9 and 10 using the calculated Ixy and θixy, and thereby the magnitude of the current flowing in the X direction and the Y direction at the inspection position of the solar cell panel SP. Ix and Iy are calculated.
Ix = Ixy · cosθixy (Equation 9)
Iy = Ixy · sinθixy (Formula 10)
In step S114, the calculated current magnitudes Ix and Iy are also obtained from the current magnitude data Ix (n, m) and Iy using the variables n and m representing the inspection position of the solar cell panel SP. (n, m) is stored in the RAM or storage device.

そして、コントローラ70は、ステップS116にて変数nがX軸方向の検出位置数を表す値nmaxに達したか否かを判定する。変数nが値nmaxに達していなければ、コントローラ70は、ステップS116にて「No」と判定し、ステップS118にて変数nに「1」を加算してステップS104に戻る。そして、前述したステップS104〜S114の処理を実行した後、コントローラ70は、ステップS116にてふたたび変数nが値nmaxに達したか否かを判定する。変数nが値nmaxに達しない限り、ステップS104〜118の処理が繰り返し実行される。   In step S116, the controller 70 determines whether the variable n has reached a value nmax representing the number of detected positions in the X-axis direction. If the variable n has not reached the value nmax, the controller 70 determines “No” in step S116, adds “1” to the variable n in step S118, and returns to step S104. Then, after executing the processing of steps S104 to S114 described above, the controller 70 determines again whether or not the variable n has reached the value nmax in step S116. As long as the variable n does not reach the value nmax, the processes of steps S104 to S118 are repeatedly executed.

このようなステップS104〜S118の繰り返し処理中、変数nが値nmaxに達すると、コントローラ70は、ステップS116にて「Yes」と判定して、ステップS120にて変数mがY軸方向の検出位置数を表す値mmaxに達したか否かを判定する。変数mが値mmaxに達しなければ、コントローラ70は、ステップS120にて「No」と判定し、ステップS112にて変数mに「1」を加算し、ステップS124にて変数nを「1」に初期設定して、ステップS104に戻る。そして、変数nが所定値nmaxに達するまで前述したステップS104〜S118の処理を繰り返し実行した後、コントローラ70は、ステップS120にてふたたび変数mが値mmaxに達したか否かを判定する。変数mが値mmaxに達しない限り、ステップS104〜124の処理が繰り返し実行される。そして、変数mが値mmaxに達すると、コントローラ70は、ステップS120にて「Yes」と判定して、図6BのステップS130に進む。   When the variable n reaches the value nmax during the repeated processing of steps S104 to S118, the controller 70 determines “Yes” in step S116, and the variable m is detected in the Y-axis direction in step S120. It is determined whether or not the value mmax representing the number has been reached. If the variable m does not reach the value mmax, the controller 70 determines “No” in step S120, adds “1” to the variable m in step S112, and sets the variable n to “1” in step S124. Initialization is performed, and the process returns to step S104. Then, after repeatedly executing the processes of steps S104 to S118 described above until the variable n reaches the predetermined value nmax, the controller 70 determines again whether or not the variable m has reached the value mmax in step S120. As long as the variable m does not reach the value mmax, the processes in steps S104 to S124 are repeated. When the variable m reaches the value mmax, the controller 70 determines “Yes” in step S120, and proceeds to step S130 in FIG. 6B.

この時点では、太陽電池パネルSPの検査位置ごとに、電流の大きさデータIxy(n,m)、電流の方向データθixy(n,m)、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)及びY方向の電流の大きさデータIy(n,m)(n=1〜nmax,m=1〜mmax)が、RAM又は記憶装置に記憶されている。   At this time, the current magnitude data Ixy (n, m), the current direction data θixy (n, m), and the current magnitude data Ix (n, m) in the X direction for each inspection position of the solar cell panel SP. ) And Y-direction current magnitude data Iy (n, m) (n = 1 to nmax, m = 1 to mmax) are stored in the RAM or the storage device.

次に、バスバー電極87位置の電流の大きさデータIxy(n,m)を抽出するステップS130〜S134の処理を実行する。まず、コントローラ70は、ステップS130にて、前記計算した全ての電流の大きさデータIxy(n,m)の中から、最大の電流の大きさを最大電流Imaxとして抽出する。次に、コントローラ70は、ステップS132にて、全ての電流の大きさデータIxy(n,m)の分布において、度数分布が極大であり、かつ前記最大電流Imaxに最も近い電流の大きさを電流値Icとして計算する。図11は、前記電流の大きさデータIxy(n)の分布、最大電流Imax及び電流値Icを示している。前記ステップS132の処理後、コントローラ70は、ステップS134にて、前記全ての電流の大きさデータIxy(n)の中から、値{Ic−2・(Imax-Ic)}以上の電流の大きさデータIxy(n)を抽出する。これらのステップS130〜134の処理は、バスバー電極87位置の電流の大きさデータIxy(n,m)は、他の部分と比べて際立って大きいことに基づく。これにより、少なくとも、バスバー電極87位置の電流の大きさデータを含む大きな電流の大きさデータIxy(n,m)が抽出される。   Next, the processing of steps S130 to S134 for extracting the current magnitude data Ixy (n, m) at the bus bar electrode 87 position is executed. First, in step S130, the controller 70 extracts the maximum current magnitude as the maximum current Imax from all the calculated current magnitude data Ixy (n, m). Next, in step S132, the controller 70 determines the current magnitude closest to the maximum current Imax and having a maximum frequency distribution in the distribution of all current magnitude data Ixy (n, m). Calculate as the value Ic. FIG. 11 shows the distribution of the current magnitude data Ixy (n), the maximum current Imax and the current value Ic. After the processing in step S132, in step S134, the controller 70 determines the magnitude of the current greater than or equal to the value {Ic-2 · (Imax−Ic)} from all the current magnitude data Ixy (n). Data Ixy (n) is extracted. The processing in these steps S130 to S134 is based on the fact that the current magnitude data Ixy (n, m) at the position of the bus bar electrode 87 is significantly larger than the other portions. Thereby, at least large current magnitude data Ixy (n, m) including current magnitude data at the position of the bus bar electrode 87 is extracted.

次に、太陽電池パネルSPのステージ40上への置き方により、バスバー電極87がY軸方向に延設されているか、X軸方向に延設されているかを検出するステップS140〜S162の処理を実行する。コントローラ70は、まず、ステップS140にて変数nを「1」に初期設定し、ステップS142にて、前記ステップS134の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(n,m)において、変数nによって指定され、かつ変数mが連続している大きさデータIxy(n,m)の数を計算して値Nnとして設定する。そして、コントローラ70は、ステップS144にて、値Nnが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、バスバー電極87が変数nによって指定されるX軸方向位置にあり、かつY軸方向に延設されていれば、前記値Nnは1つの太陽電池セルSCのY軸方向の長さをY軸方向の検出間隔ΔY(図9参照)で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、上述したように、作業者が入力した1つの太陽電池セルSCのY軸方向の長さを検出間隔ΔYで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Nnが所定数以上でなければ、コントローラ70は、ステップS144にて「No」と判定して、ステップS146に進む。   Next, the processing of steps S140 to S162 for detecting whether the bus bar electrode 87 is extended in the Y-axis direction or the X-axis direction depending on how the solar cell panel SP is placed on the stage 40. Execute. First, the controller 70 initializes the variable n to “1” in step S140, and in step S142, the current magnitude data Ixy (n, m) extracted by the process in step S134 is set according to the variable n. The number of size data Ixy (n, m) that are specified and the variable m is continuous is calculated and set as a value Nn. In step S144, the controller 70 determines whether the value Nn is a predetermined number or more. In this determination process, if the bus bar electrode 87 is at the position in the X-axis direction specified by the variable n and extends in the Y-axis direction, the value Nn is the length of one solar cell SC in the Y-axis direction. This is based on the fact that the size is divided by the detection interval ΔY in the Y-axis direction (see FIG. 9). Therefore, as described above, the predetermined number is slightly smaller than the value obtained by dividing the length in the Y-axis direction of one solar cell SC input by the operator by the detection interval ΔY. In this case, if the value Nn is not equal to or greater than the predetermined number, the controller 70 determines “No” in step S144 and proceeds to step S146.

ステップS146においては、コントローラ70は、変数nをX軸方向の検出間隔ΔX(図9参照)に乗算した値n・ΔXが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数nの増加による検出位置のX軸方向への変化により、1つ分の太陽電池セルSCのX軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップS142,S144の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した1つの太陽電池セルSCのX軸方向の長さにほぼ等しい。値n・ΔXが所定距離以上でなければ、コントローラ70は、ステップS146にて「No」と判定して、ステップS148にて変数nに「1」を加算して、ステップS142に戻る。そして、これらのステップS142〜S146からなる循環処理中に、ステップS142の処理によって計算された値Nnが所定数以上になると、コントローラ70は、ステップS144にて「Yes」すなわちバスバー電極87はY軸方向に延設されていると判定して、図6CのステップS170に進む。一方、値Nnが所定数以上になったことが検出されず、値n・ΔXが所定距離以上になると、コントローラ70は、ステップS146にて「Yes」すなわちバスバー電極87はY軸方向に延設されていないと判定して、ステップS150〜S156の処理を実行する。   In step S146, the controller 70 determines whether or not a value n · ΔX obtained by multiplying the variable n by the detection interval ΔX (see FIG. 9) in the X-axis direction is equal to or greater than a predetermined distance. This processing is performed in the above-described steps S142 and S144 by a length corresponding to the width in the X-axis direction of one solar cell SC due to a change in the X-axis direction of the detection position due to an increase in the variable n described later. It is determined whether the processing has been executed. Therefore, the predetermined distance is substantially equal to the length in the X-axis direction of one solar cell SC input by the operator. If the value n · ΔX is not equal to or greater than the predetermined distance, the controller 70 determines “No” in step S146, adds “1” to the variable n in step S148, and returns to step S142. When the value Nn calculated by the process of step S142 becomes equal to or greater than a predetermined number during the circulation process including these steps S142 to S146, the controller 70 determines “Yes” in step S144, that is, the bus bar electrode 87 is connected to the Y axis. It determines with extending in the direction, and proceeds to step S170 in FIG. 6C. On the other hand, if it is not detected that the value Nn exceeds the predetermined number and the value n · ΔX exceeds the predetermined distance, the controller 70 determines “Yes” in step S146, that is, the bus bar electrode 87 extends in the Y-axis direction. It determines with having not been performed, and performs the process of step S150-S156.

ステップS150〜S156の処理は、バスバー電極87がX軸方向に延設されているかを検出する処理である。コントローラ70は、まず、ステップS150にて変数mを「1」に初期設定し、ステップS152にて、前記ステップS134の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(n,m)において、変数mによって指定され、かつ変数nが連続している大きさデータIxy(n,m)の数を計算して値Nmとして設定する。そして、コントローラ70は、ステップS154にて、値Nmが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、バスバー電極87が変数mによって指定されるY軸方向位置にあり、かつX軸方向に延設されていれば、前記値Nmは1つの太陽電池セルSCのX軸方向の長さをX軸方向の検出間隔ΔX(図9参照)で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、作業者が入力した1つの太陽電池セルSCのX軸方向の長さを検出間隔ΔXで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Nmが所定数以上でなければ、コントローラ70は、ステップS154にて「No」と判定して、ステップS156に進む。   The processes in steps S150 to S156 are processes for detecting whether the bus bar electrode 87 is extended in the X-axis direction. First, the controller 70 initially sets a variable m to “1” in step S150, and in step S152, in the current magnitude data Ixy (n, m) extracted by the process of step S134, according to the variable m. The number of size data Ixy (n, m) that are specified and the variable n is continuous is calculated and set as a value Nm. In step S154, the controller 70 determines whether the value Nm is a predetermined number or more. In this determination process, if the bus bar electrode 87 is at the position in the Y-axis direction specified by the variable m and is extended in the X-axis direction, the value Nm is the length of one solar cell SC in the X-axis direction. This is based on the fact that the size is divided by the detection interval ΔX in the X-axis direction (see FIG. 9). Therefore, the predetermined number is slightly smaller than a value obtained by dividing the length in the X-axis direction of one solar cell SC input by the operator by the detection interval ΔX. In this case, if the value Nm is not equal to or greater than the predetermined number, the controller 70 determines “No” in step S154 and proceeds to step S156.

ステップS156においては、コントローラ70は、変数mをY軸方向の検出間隔ΔY(図9参照)に乗算した値m・ΔYが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数mの増加による検出位置のY軸方向への変化により、1つ分の太陽電池セルSCのY軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップS152,S154の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した1つの太陽電池セルSCのY軸方向の長さにほぼ等しい。値m・ΔYが所定距離以上でなければ、コントローラ70は、ステップS156にて「No」と判定して、ステップS158にて変数mに「1」を加算して、ステップS152に戻る。そして、これらのステップS152〜S156からなる循環処理中に、ステップS152の処理によって計算された値Nmが所定数以上になると、コントローラ70は、ステップS154にて「Yes」すなわちバスバー電極87はX軸方向に延設されていると判定して、ステップS160,S162の処理後、図6CのステップS170に進む。   In step S156, the controller 70 determines whether or not a value m · ΔY obtained by multiplying the variable m by the detection interval ΔY (see FIG. 9) in the Y-axis direction is equal to or greater than a predetermined distance. This processing is performed in the steps S152 and S154 by the length corresponding to the width in the Y-axis direction of one solar cell SC due to the change in the detection position in the Y-axis direction due to the increase in the variable m described later. It is determined whether the processing has been executed. Therefore, the predetermined distance is substantially equal to the length in the Y-axis direction of one solar cell SC input by the operator. If the value m · ΔY is not equal to or greater than the predetermined distance, the controller 70 determines “No” in step S156, adds “1” to the variable m in step S158, and returns to step S152. When the value Nm calculated by the process of step S152 becomes equal to or larger than a predetermined number during the circulation process including these steps S152 to S156, the controller 70 determines “Yes” in step S154, that is, the bus bar electrode 87 is the X axis. It determines with extending in the direction, and proceeds to step S170 of FIG. 6C after the processing of steps S160 and S162.

ステップS160においては、コントローラ70は、前記ステップS134の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(n,m)を電流の大きさデータIxy(m,n)に並び換える。これは、後述する処理において、バスバー電極87がX軸方向に延設されている場合と、バスバー電極87がY軸方向に延設されている場合との処理を共通にするもので、電流の大きさデータIxy(n,m)のX座標値をY座標値に変更し、Y座標値をX座標値に変更することになる。そして、ステップS162においては、コントローラ70は、変数CHを、前記電流の大きさデータIxy(n,m)を電流の大きさデータIxy(m,n)に並び換えを表すとともに、バスバー電極87がX軸方向に延設されていること表す「1」に変更する。   In step S160, the controller 70 rearranges the current magnitude data Ixy (n, m) extracted by the process in step S134 into the current magnitude data Ixy (m, n). This is a common process in the case where the bus bar electrode 87 is extended in the X-axis direction and the case where the bus bar electrode 87 is extended in the Y-axis direction. The X coordinate value of the size data Ixy (n, m) is changed to the Y coordinate value, and the Y coordinate value is changed to the X coordinate value. In step S162, the controller 70 indicates that the variable CH is rearranged from the current magnitude data Ixy (n, m) to the current magnitude data Ixy (m, n), and the bus bar electrode 87 is It is changed to “1” indicating that it extends in the X-axis direction.

一方、値Nmが所定数以上になったことが検出されず、値m・ΔYが所定距離以上になると、コントローラ70は、ステップS156にて「Yes」すなわちバスバー電極87はY軸方向に延設されていないと判定して、図6HのステップS310に進む。なお、このステップS156における「Yes」との判定は、バスバー電極87のX軸方向の延設も、Y軸方向の延設も検出されないことを意味する。   On the other hand, if it is not detected that the value Nm exceeds the predetermined number and the value m · ΔY exceeds the predetermined distance, the controller 70 determines “Yes” in step S156, that is, the bus bar electrode 87 extends in the Y-axis direction. If it is not determined, the process proceeds to step S310 in FIG. 6H. The determination of “Yes” in step S156 means that neither the extension of the bus bar electrode 87 in the X-axis direction nor the extension in the Y-axis direction is detected.

次に、バスバー電極87の位置を示す電極位置座標Bxy(n,m)(すなわち磁気センサ10による検出位置群)を検出して、マトリクス状に配置したバスバー電極87のX方向及びY方向の順番を特定するX方向電極番号gx及びY方向電極番号gy(図7参照)を、前記検出した電極位置座標Bxy(n,m)に割当てる図6C及び図6DのステップS170〜S214の処理について説明する。なお、値n,mは、X軸方向及びY軸方向の磁気センサ10による検出位置をそれぞれ示す変数である。まず、コントローラ70は、図6CのステップS170にて、変数nを「1」に初期設定するとともに、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyをそれぞれ「1」に初期設定する。   Next, electrode position coordinates Bxy (n, m) (that is, a detection position group by the magnetic sensor 10) indicating the position of the bus bar electrode 87 is detected, and the order of the X direction and the Y direction of the bus bar electrodes 87 arranged in a matrix form. A process of steps S170 to S214 in FIG. 6C and FIG. 6D in which the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy (see FIG. 7) for specifying the position are assigned to the detected electrode position coordinates Bxy (n, m) will be described. . The values n and m are variables indicating the detection positions by the magnetic sensor 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. First, in step S170 of FIG. 6C, the controller 70 initializes the variable n to “1”, and initializes the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy to “1”, respectively.

次に、コントローラ70は、ステップS172にて、前記ステップS134にて抽出した電流の大きさデータIxy(n,m)に含まれて変数nによって指定される電流の大きさデータIxy(n,m)の数を値Nnmとして計算する。そして、コントローラ70は、ステップS174にて、この値Nnmが所定数以上であるかを判定する。これらのステップS172,S174の処理は、変数nによって指定されるX方向位置がバスバー電極87の位置に対応していれば、バスバー電極87の位置では電流の大きさデータIxy(n,m)は大きいはずであるので、値Nnmも大きいはずである。なお、前記所定数は、バスバー電極87のY方向の合計長さとY方向の移動距離単位ΔYによって決まる値であり、例えば、前記合計長さを移動距離単位ΔYで除した値の半分程度の値である。値を低めに設定するのは、後述するように、異常により電流の大きさが小さいバスバー電極87が存在する可能性があるためである。変数nによって指定されるX方向位置がバスバー電極87の位置に対応していなければ、値Nnmは小さいので、コントローラ70は、ステップS174にて「No」と判定して、ステップS176にて変数nがX軸方向の検出位置数を表す値nmaxに達したか判定する。変数nが値nmaxに達していなければ、コントローラ70は、ステップS176にて「No」と判定して、ステップS178にて変数nに「1」を加算して、前記ステップS172,S174の処理を実行する。   Next, in step S172, the controller 70 includes current magnitude data Ixy (n, m) included in the current magnitude data Ixy (n, m) extracted in step S134 and specified by the variable n. ) As the value Nnm. In step S174, the controller 70 determines whether this value Nnm is a predetermined number or more. In the processing of these steps S172 and S174, if the position in the X direction specified by the variable n corresponds to the position of the bus bar electrode 87, the current magnitude data Ixy (n, m) is Since it should be large, the value Nnm should also be large. The predetermined number is a value determined by the total length of the bus bar electrodes 87 in the Y direction and the movement distance unit ΔY in the Y direction. It is. The reason why the value is set lower is that there is a possibility that there is a bus bar electrode 87 with a small current due to an abnormality, as will be described later. If the position in the X direction specified by the variable n does not correspond to the position of the bus bar electrode 87, the value Nnm is small, so the controller 70 determines “No” in step S174, and the variable n in step S176. Determines whether or not the value nmax representing the number of detected positions in the X-axis direction has been reached. If the variable n has not reached the value nmax, the controller 70 determines “No” in step S176, adds “1” to the variable n in step S178, and performs the processing in steps S172 and S174. Execute.

変数nによって指定されるX方向位置がバスバー電極87の位置に対応して値Nnmが所定数よりも大きくなると、コントローラ70は、ステップS174にて「Yes」と判定して、ステップS180にて、Y軸方向の磁気センサ10の検出位置を示す変数mを「1」に初期設定するとともに、バスバー電極87のY軸方向の検出位置の数(バスバー電極87の長さをY軸方向の移動距離単位ΔYで除した数)をカウントするための変数pを「0」に初期設定して、ステップS182〜S186の判定処理を実行する。   When the X direction position specified by the variable n corresponds to the position of the bus bar electrode 87 and the value Nnm is larger than the predetermined number, the controller 70 determines “Yes” in step S174, and in step S180. The variable m indicating the detection position of the magnetic sensor 10 in the Y-axis direction is initially set to “1”, and the number of detection positions in the Y-axis direction of the bus bar electrode 87 (the length of the bus bar electrode 87 is the moving distance in the Y-axis direction). The variable p for counting (the number divided by the unit ΔY) is initialized to “0”, and the determination process of steps S182 to S186 is executed.

これらのステップS182〜S186の判定処理について説明する前に、バスバー電極87に対応するX方向位置のY方向の電流の大きさデータIxy(n,m)の分布について説明しておく。図12に示すように、複数のバスバー電極87はY方向に沿って配置されている。そして、複数のバスバー電極87は、図12及び図13(A)に示すように、接続線88によって裏面電極81に接続されている。この場合、バスバー電極87を流れる電流の大きさデータIxy(n,m)が大きいが、接続線88を流れる電流はX−Y平面を流れる電流ではなく、Z方向(下方向)に流れる成分を含むために小さい。したがって、複数のバスバー電極87に沿ってY方向に流れる電流は、図13(B)に示すように、バスバー電極87に対応する位置では大きく、接続線88に対応した位置では小さく、バスバー電極87と接続線88間では連続的に急激に変化する。   Before describing the determination processing in steps S182 to S186, the distribution of current magnitude data Ixy (n, m) in the Y direction at the X position corresponding to the bus bar electrode 87 will be described. As shown in FIG. 12, the plurality of bus bar electrodes 87 are arranged along the Y direction. The plurality of bus bar electrodes 87 are connected to the back electrode 81 by connection lines 88 as shown in FIGS. 12 and 13A. In this case, although the magnitude data Ixy (n, m) of the current flowing through the bus bar electrode 87 is large, the current flowing through the connection line 88 is not a current flowing through the XY plane but a component flowing in the Z direction (downward). Small to contain. Therefore, the current flowing in the Y direction along the plurality of bus bar electrodes 87 is large at the position corresponding to the bus bar electrode 87 and small at the position corresponding to the connection line 88, as shown in FIG. And the connection line 88 change continuously and rapidly.

ふたたび、図6Cの説明に戻ると、ステップS182においては、前記ステップS134の処理によって抽出した電流の大きさデータ群Ixy(n,m)(ただし、変数nは特定値)の中に、変数mによって指定される電流の大きさデータIxy(n,m)が存在するか否かが判定される。この場合、変数mに指定されるY方向位置がバスバー電極87に対応する位置であれば、図13(B)に示すように、その位置の電流の大きさデータIxy(n,m)は大きいので、前記ステップS182の判定においては、「Yes」すなわち存在すると判定される。また、変数mに指定されるY方向位置が接続線88に対応する位置であってバスバー電極87から離れた位置にあれば、その位置の電流の大きさデータIxy(n,m)は小さいので、前記ステップS182の判定においては、「No」すなわち存在しないと判定される。   Returning to the description of FIG. 6C, in step S182, the variable m is included in the current magnitude data group Ixy (n, m) (where the variable n is a specific value) extracted by the process of step S134. It is determined whether or not there is current magnitude data Ixy (n, m) specified by. In this case, if the position in the Y direction specified by the variable m is a position corresponding to the bus bar electrode 87, the current magnitude data Ixy (n, m) at that position is large as shown in FIG. Therefore, in the determination in step S182, it is determined that “Yes”, that is, exists. If the position in the Y direction specified by the variable m is a position corresponding to the connection line 88 and away from the bus bar electrode 87, the current magnitude data Ixy (n, m) at that position is small. In the determination in step S182, it is determined “No”, that is, it does not exist.

ステップS184においては、変数n,mによって指定される電流の大きさデータIxy(n,m)と、変数n,m−1によって指定される電流の大きさデータIxy(n,m−1)とを用いて計算した値{Ixy(n,m)−Ixy(n,m−1)}/Ixy(n,m−1)が所定の負の値−Io以下であるか否かが判定される。これは、変数mによって指定される位置が変数mの増加によりバスバー電極87を越えて接続線88の領域に入ったものの、バスバー電極87に近いために、前記ステップS182の処理によって「Yes」すなわち存在すると判定されたときでも、バスバー電極87に対応する位置でないことを判定するものである。すなわち、変数mによって指定されるY方向位置が接続線88領域に入った直後であれば、電流の大きさデータIxy(n,m)は急激に減少しているはずであるから、変数mによって指定されるY方向位置の電流の大きさデータIxy(n,m)は、変数m−1によって指定される前記Y方向位置の1つの前のY方向位置の電流の大きさデータIxy(n,m)よりある程度小さくなるはずである。したがって、この場合には、前記計算した値{Ixy(n,m)−Ixy(n,m−1)}/Ixy(n,m−1)は、ある程度絶対値の大きな負の値となるはずである。したがって、変数mによって指定される位置がバスバー電極87を越えて接続線88の領域に入っても、前記ステップS182の処理によって「Yes」すなわち存在すると判定された場合には、このステップS184にて「Yes」と判定され、それ以外の場合には「No」と判定される。   In step S184, current magnitude data Ixy (n, m) designated by variables n and m, current magnitude data Ixy (n, m-1) designated by variables n and m-1, and It is determined whether or not the value {Ixy (n, m) −Ixy (n, m−1)} / Ixy (n, m−1) calculated by using is less than or equal to a predetermined negative value −Io. . This is because the position specified by the variable m exceeds the bus bar electrode 87 due to the increase of the variable m and enters the area of the connection line 88. However, since the position is close to the bus bar electrode 87, “Yes”, that is, Even when it is determined that it exists, it is determined that the position does not correspond to the bus bar electrode 87. That is, if the position in the Y direction specified by the variable m is immediately after entering the connection line 88 region, the current magnitude data Ixy (n, m) should decrease rapidly. The current magnitude data Ixy (n, m) at the designated Y-direction position is the current magnitude data Ixy (n, m) at the Y-direction position immediately before the Y-direction position designated by the variable m-1. m) should be somewhat smaller. Therefore, in this case, the calculated value {Ixy (n, m) −Ixy (n, m−1)} / Ixy (n, m−1) should be a negative value having a large absolute value to some extent. It is. Therefore, even if the position specified by the variable m exceeds the bus bar electrode 87 and enters the region of the connection line 88, if it is determined as “Yes”, that is, exists by the processing of step S182, in step S184 “Yes” is determined, otherwise “No” is determined.

ステップS186においては、変数n,mによって指定される電流の大きさデータIxy(n,m)と、変数n,m+1によって指定される電流の大きさデータIxy(n,m−1)とを用いて計算した値{Ixy(n,m)−Ixy(n,m+1)}/Ixy(n,m+1)が所定の負の値−Io以下であるか否かが判定される。これは、変数mによって指定される位置が接続線88の領域にあるものの、変数の増加によってバスバー電極87に近づいてきたために、前記ステップS182の処理によって「Yes」すなわち存在すると判定されたときでも、バスバー電極87に対応する位置でないことを判定するものである。すなわち、変数mによって指定されるY方向位置がバスバー電極87領域に入る直前であれば、電流の大きさデータIxy(n,m)は急激に増加しているはずであるから、変数mによって指定されるY方向位置の電流の大きさデータIxy(n,m)は、変数m+1によって指定される前記Y方向位置の1つの後のY方向位置の電流の大きさデータIxy(n,m)よりある程度小さくなるはずである。したがって、この場合には、前記計算した値{Ixy(n,m)−Ixy(n,m+1)}/Ixy(n,m+1)は、ある程度絶対値の大きな負の値となるはずである。したがって、変数mによって指定される位置がバスバー電極87に近づいた接続線88の領域にあっても、前記ステップS182の処理によって「Yes」すなわち存在すると判定された場合には、このステップS186にて「Yes」と判定され、それ以外の場合には「No」と判定される。   In step S186, the current magnitude data Ixy (n, m) specified by the variables n and m and the current magnitude data Ixy (n, m-1) specified by the variables n and m + 1 are used. It is determined whether the value {Ixy (n, m) −Ixy (n, m + 1)} / Ixy (n, m + 1) calculated in this way is equal to or less than a predetermined negative value −Io. This is because the position specified by the variable m is in the area of the connection line 88, but has approached the bus bar electrode 87 due to the increase in the variable, so that even when it is determined as “Yes”, that is, exists by the processing of step S182. It is determined that the position does not correspond to the bus bar electrode 87. That is, if the position in the Y direction specified by the variable m is immediately before entering the bus bar electrode 87 region, the current magnitude data Ixy (n, m) should increase rapidly. The current magnitude data Ixy (n, m) at the Y-direction position is obtained from the current magnitude data Ixy (n, m) at the Y-position after one of the Y-direction positions specified by the variable m + 1. Should be small to some extent. Therefore, in this case, the calculated value {Ixy (n, m) −Ixy (n, m + 1)} / Ixy (n, m + 1) should be a negative value having a large absolute value to some extent. Therefore, even if the position specified by the variable m is in the region of the connection line 88 approaching the bus bar electrode 87, if it is determined as “Yes”, that is, exists by the processing in step S182, in this step S186. “Yes” is determined, otherwise “No” is determined.

したがって、変数mによって指定されるY方向位置がバスバー電極87に対応する位置であれば、コントローラ70は、ステップS182にて「Yes」と判定するとともに、ステップS184,S186にてそれぞれ「No」と判定して、ステップS188にて変数pに「1」を加算し、ステップS190にて変数mに「1」を加算して、ステップS182に戻る。変数mの増加によって検出位置がY方向に移動されても、検出位置がバスバー電極87に対応する位置である限り、前記ステップS182〜S190の循環処理が繰り返し実行されて、変数pが変数mの増加に従って増加する。このステップS182〜S190の循環処理中、検出位置がバスバー電極87を超えて接続線88の領域に入ると、コントローラ70は、ステップS182にて「No」又はステップS184,S186にて「Yes」と判定して、図6DのステップS192に進む。   Therefore, if the position in the Y direction specified by the variable m is a position corresponding to the bus bar electrode 87, the controller 70 determines “Yes” in step S182, and “No” in steps S184 and S186, respectively. In step S188, “1” is added to the variable p. In step S190, “1” is added to the variable m. Then, the process returns to step S182. Even if the detection position is moved in the Y direction due to an increase in the variable m, as long as the detection position is a position corresponding to the bus bar electrode 87, the cyclic processing of steps S182 to S190 is repeatedly performed, so that the variable p is the variable m. Increase with increasing. If the detection position exceeds the bus bar electrode 87 and enters the region of the connection line 88 during the circulation processing of steps S182 to S190, the controller 70 returns “No” in step S182 or “Yes” in steps S184 and S186. Determination is made, and the process proceeds to step S192 in FIG. 6D.

ステップS192においては、前記変数pが所定数以上であるかを判定する。この場合、所定数は、バスバー電極87の長さを移動距離単位ΔYで除した値よりも若干小さな値であり、本実施形態の場合、前記入力した太陽電池セルSCのY方向の長さと移動距離単位ΔYとにより予め決められた値である。バスバー電極87の位置に対応した電流の大きさIxy(n,m)が正確に検出されていれば、変数pは所定数以上であるので、コントローラ70はステップS192にて「Yes」と判定して、ステップS194にてバスバー電極87のX−Y座標位置を表す電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)内のいずれかにX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられているか否かを判定する。この判定処理は、今回検出したバスバー電極87の位置を表す電極位置座標Bxy(n,m)を定義して同電極位置座標Bxy(n,m)にX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyを割当てる前に、X方向位置が変数n−1で指定される前回検出のバスバー電極87の位置に対応した電極位置座標Bxy(n−1,m)にX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが既に割当てられているかを判定するものである。もし、前回検出のバスバー電極87の位置を表す電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)に未だX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられていなければ(すなわち電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)が未だ定義されていなければ)、コントローラ70は、ステップS194にて「No」と判定して、ステップS196にて電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)を定義してX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyを割当て、ステップS206に進む。この場合、変数pの使用により、バスバー電極87の長さに対応した位置分の電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)が定義されて、この定義された電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)にX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられたことになる。   In step S192, it is determined whether the variable p is greater than or equal to a predetermined number. In this case, the predetermined number is slightly smaller than the value obtained by dividing the length of the bus bar electrode 87 by the movement distance unit ΔY. In the present embodiment, the length and movement of the input solar cell SC in the Y direction. This value is predetermined by the distance unit ΔY. If the current magnitude Ixy (n, m) corresponding to the position of the bus bar electrode 87 is accurately detected, the variable p is equal to or greater than a predetermined number, and therefore the controller 70 determines “Yes” in step S192. In step S194, the X-direction electrode number is set to any one of the electrode position coordinates Bxy (n-1, mp) to Bxy (n-1, m-1) representing the XY coordinate position of the bus bar electrode 87. It is determined whether or not gx and Y-direction electrode number gy are assigned. In this determination process, the electrode position coordinates Bxy (n, m) representing the position of the bus bar electrode 87 detected this time are defined, and the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are added to the electrode position coordinates Bxy (n, m). Are assigned to the electrode position coordinates Bxy (n−1, m) corresponding to the position of the previously detected bus bar electrode 87, the position of which is designated by the variable n−1, and the X direction electrode number gx and the Y direction electrode number. It is determined whether gy has already been allocated. If the electrode position coordinates Bxy (n−1, m−p) to Bxy (n−1, m−1) representing the position of the bus bar electrode 87 detected last time are still the X direction electrode number gx and the Y direction electrode number gy. If not assigned (that is, if the electrode position coordinates Bxy (n−1, m−p) to Bxy (n−1, m−1) have not been defined yet), the controller 70 returns “No” in step S194. In step S196, the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) are defined, and the X direction electrode number gx and the Y direction electrode number gy are assigned, and step S206 is performed. Proceed to In this case, by using the variable p, the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) corresponding to the position corresponding to the length of the bus bar electrode 87 are defined. The X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are assigned to the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1).

一方、前回検出の電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)にX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが既に割当てられていれば、コントローラ70は、ステップS194にて「Yes」と判定して、ステップS198,S200に進む。ステップS198においては、前回検出の電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)に対応した位置の電流の大きさデータIxy(n−1,m−p)〜Ixy(n−1,m−1)の平均値Iavebが計算される。また、ステップS200においては、今回検出の電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)に対応した位置の電流の大きさデータIxy(n,m−p)〜Ixy(n,m−1)の平均値Iaveaが計算される。そして、コントローラ70は、ステップS202にて、今回の平均値Iaveaが前回の平均値Iaveb以上であるか否かを判定する。今回の平均値Iaveaが前回の平均値Iaveb以上であれば、コントローラ70は、ステップS202にて「Yes」と判定して、前回検出の電極位置座標Bxy(n−1,m−p)〜Bxy(n−1,m−1)に割当てられているX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyを、今回検出の電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)に割当て、ステップS206に進む。一方、今回の平均値Iaveaが前回の平均値Iaveb以上でなければ、コントローラ70は、ステップS202にて「No」と判定して、前記割当ての変更を行うことなく、ステップS206に進む。これらのステップS194〜S204の処理により、1つのバスバー電極87に対しては、最も平均電流の大きな1組の電流の大きさデータIxy(n,m−p)〜Ixy(n,m−1)に対応した電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)にのみ、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられる。ステップS206においては、コントローラ70は、Y方向電極番号gyに「1」を加算して、ステップS208に進む。これは、図12のY方向に沿って次のバスバー電極87の検出を意味する。   On the other hand, if the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are already assigned to the previously detected electrode position coordinates Bxy (n−1, m−p) to Bxy (n−1, m−1), the controller 70 determines “Yes” in step S194, and proceeds to steps S198 and S200. In step S198, current magnitude data Ixy (n-1, m-) at positions corresponding to the previously detected electrode position coordinates Bxy (n-1, mp) to Bxy (n-1, m-1). An average value Iaveb of p) to Ixy (n-1, m-1) is calculated. In step S200, current magnitude data Ixy (n, mp) to Ixy at positions corresponding to the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) detected this time. An average value Iavea of (n, m-1) is calculated. In step S202, the controller 70 determines whether or not the current average value Iavea is equal to or greater than the previous average value Iaveb. If the current average value Iavea is equal to or greater than the previous average value Iaveb, the controller 70 determines “Yes” in step S202 and determines the previously detected electrode position coordinates Bxy (n−1, m−p) to Bxy. The X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy assigned to (n−1, m−1) are used as electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m−1) detected this time. And proceed to step S206. On the other hand, if the current average value Iavea is not equal to or greater than the previous average value Iaveb, the controller 70 determines “No” in step S202 and proceeds to step S206 without changing the allocation. Through the processing of these steps S194 to S204, a set of current magnitude data Ixy (n, mp) to Ixy (n, m-1) having the largest average current is applied to one bus bar electrode 87. The X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are assigned only to the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) corresponding to. In step S206, the controller 70 adds “1” to the Y-direction electrode number gy and proceeds to step S208. This means that the next bus bar electrode 87 is detected along the Y direction in FIG.

また、前記ステップS192の判定処理において、「No」すなわち変数pが所定数未満である場合には、コントローラ70は、ステップS192にて「No」と判定して、ステップS194〜S206の処理を実行しないで、ステップS208に進む。この場合、電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)に対する、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyの割当ては行われない。   In the determination process of step S192, if “No”, that is, the variable p is less than a predetermined number, the controller 70 determines “No” in step S192 and executes the processes of steps S194 to S206. Instead, the process proceeds to step S208. In this case, the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are not assigned to the electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1).

ステップS208においては、変数mが値mmax(すなわち終了値Ymax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数mの値)に達したかが判定される。変数mが値mmaxに達していなければ、コントローラ70は、ステップS208にて「No」と判定して、ステップS210にて変数pを「0」に初期設定して、図6CのステップS190に進む。コントローラ70は、ステップS190にて変数mに「1」を加算し、ステップS182〜S184の判定処理をふたたび実行する。ステップS180〜S184の処理は、前述のように、Y方向の検出位置がバスバー電極87間の接続線88に対応していることを判定する処理である。そして、検出位置が接続線88に対応した位置にある状態では、コントローラ70は、ステップS182にて「No」又はステップS184,S186にて「Yes」と判定して、図6DのステップS192に進む。この場合、変数pは前記ステップS210の処理により「0」に保たれるので、コントローラ70はステップS192にて「No」と判定し続けて、図6DのステップS192,S208,S210及び図6CのステップS190,S182〜S186の循環処理を繰り返し実行する。   In step S208, it is determined whether the variable m has reached the value mmax (that is, the value of the variable m related to the sampling data group at the detection position immediately before the end value Ymax). If the variable m has not reached the value mmax, the controller 70 determines “No” in step S208, initializes the variable p to “0” in step S210, and proceeds to step S190 in FIG. 6C. . The controller 70 adds “1” to the variable m in step S190, and executes the determination processing in steps S182 to S184 again. The processing in steps S180 to S184 is processing for determining that the detection position in the Y direction corresponds to the connection line 88 between the bus bar electrodes 87 as described above. Then, in a state where the detection position is at a position corresponding to the connection line 88, the controller 70 determines “No” in step S182 or “Yes” in steps S184 and S186, and proceeds to step S192 in FIG. 6D. . In this case, since the variable p is maintained at “0” by the process of step S210, the controller 70 continues to determine “No” in step S192, and steps S192, S208, S210 of FIG. 6D and FIG. The circulation process of steps S190 and S182 to S186 is repeatedly executed.

この循環処理中、ステップS190による変数mの増加により、検出位置がバスバー電極87に対応した位置まで来ると、前述の場合と同様に、コントローラ70は、ステップS182にて「Yes」、ステップS184,S186にてそれぞれ「No」と判定して、ステップS182〜S190の循環処理を繰り返し実行する。そして、検出位置が接続線88の領域に入ると、前述のように、コントローラ70は、ステップS182にて「No」又はステップS184,S186にて「Yes」と判定して、図6DのステップS192〜S206の処理を実行する。これらのステップS192〜S206の処理により、Y方向の次のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)が定義されて次のX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられる。また、変数pが所定数未満のときには、ステップS192における「No」との判定のもとに、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyの割当ては行われない。   During the circulation process, when the detection position reaches the position corresponding to the bus bar electrode 87 due to the increase of the variable m in step S190, the controller 70 determines “Yes” in step S182, step S184, as described above. In S186, each is determined as “No”, and the circulation process of steps S182 to S190 is repeatedly executed. When the detection position enters the region of the connection line 88, as described above, the controller 70 determines “No” in step S182 or “Yes” in steps S184 and S186, and step S192 in FIG. 6D. The process of S206 is executed. Through the processing of these steps S192 to S206, electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) corresponding to the next bus bar electrode 87 in the Y direction are defined, and the next X direction electrode A number gx and a Y-direction electrode number gy are assigned. When the variable p is less than the predetermined number, the assignment of the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy is not performed based on the determination of “No” in Step S192.

これらのステップS192〜S206の処理後、コントローラ70は、前記ステップS208,S210の処理を実行して、ふたたび図6CのステップS190に進む。これにより、変数mの増加により、図12に示すY方向のバスバー電極87の位置を表す電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)が次々に定義されてX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられていく。そして、変数mが値mmaxに達すると、コントローラ70は、ステップS208にて「Yes」と判定し、ステップS212にてX方向電極番号gxに「1」を加算し、Y方向電極番号gyを「1」に戻して、図6CのステップS178に進む。コントローラ70は、ステップS178にて変数nに「1」を加算した後、ステップS172に進み、前述したステップS172〜S178の循環処理により、図12に示すX方向の次のバスバー電極87の列を検出する。そして、前記ステップS182〜S210の処理により、次のX方向の列におけるY方向の複数のバスバー電極87を検出し、前記ステップS212,S214の処理後の図6CのステップS170〜S190及び図6DのステップS192〜S210の処理により、X方向に移動しながら次々にバスバー電極87を検出して、バスバー電極87の位置を表す電極位置座標Bxy(n,m−p)〜Bxy(n,m−1)が次々に定義されてX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられていく。そして、変数nが値nmax(終了値Xmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数nの値)に達すると、コントローラ70は、ステップS176にて「Yes」と判定して、図6EのステップS220に進む。   After the processes in steps S192 to S206, the controller 70 executes the processes in steps S208 and S210, and again proceeds to step S190 in FIG. 6C. Thus, as the variable m increases, electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) representing the position of the bus bar electrode 87 in the Y direction shown in FIG. The direction electrode number gx and the Y direction electrode number gy are assigned. When the variable m reaches the value mmax, the controller 70 determines “Yes” in step S208, adds “1” to the X direction electrode number gx in step S212, and sets the Y direction electrode number gy to “ 1 ”, and the process proceeds to step S178 in FIG. 6C. The controller 70 adds “1” to the variable n in step S178, and then proceeds to step S172. By the cyclic processing in steps S172 to S178 described above, the controller 70 determines the next row of bus bar electrodes 87 in the X direction shown in FIG. To detect. Then, a plurality of bus bar electrodes 87 in the Y direction in the next column in the X direction are detected by the processes in steps S182 to S210, and steps S170 to S190 in FIG. 6C and the processes in FIG. 6D after the processes in steps S212 and S214 are detected. By the processing of steps S192 to S210, the bus bar electrodes 87 are successively detected while moving in the X direction, and electrode position coordinates Bxy (n, mp) to Bxy (n, m-1) representing the positions of the bus bar electrodes 87 are detected. ) Are defined one after another, and an X-direction electrode number gx and a Y-direction electrode number gy are assigned. When the variable n reaches the value nmax (the value of the variable n related to the sampling data group at the detection position immediately before the end value Xmax), the controller 70 determines “Yes” in step S176 and performs step S220 in FIG. 6E. Proceed to

次に、前記ステップS170〜S214の処理によって抽出されるべきバスバー電極87の位置を示す電極位置座標Bxy(n,m)(すなわち磁気センサ10による検出位置群)が断線や接触不良等の異常により電流の大きさデータが小さいために抽出されていない箇所を検出し、検出した箇所の電極位置座標Bxy(n,m)にX方向電極番号gx及びY方向電極番号gy(図7参照)を割当てる図6E及び図6FのステップS220〜S256の処理について説明する。まず、コントローラ70は、図6EのステップS220にて、変数k,sを「1」にそれぞれ初期設定する。変数kは、X方向においてバスバー電極87を指定するための変数である。変数sは、Y方向においてバスバー電極87を指定するための変数である。   Next, the electrode position coordinates Bxy (n, m) (that is, the detected position group by the magnetic sensor 10) indicating the position of the bus bar electrode 87 to be extracted by the processing of the steps S170 to S214 is due to an abnormality such as disconnection or contact failure. A portion that is not extracted because the current magnitude data is small is detected, and an X-direction electrode number gx and a Y-direction electrode number gy (see FIG. 7) are assigned to the electrode position coordinates Bxy (n, m) of the detected portion. Processing in steps S220 to S256 in FIGS. 6E and 6F will be described. First, the controller 70 initially sets the variables k and s to “1” in step S220 of FIG. 6E. The variable k is a variable for designating the bus bar electrode 87 in the X direction. The variable s is a variable for designating the bus bar electrode 87 in the Y direction.

次に、コントローラ70は、ステップS222にて、前記X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyの割当て処理により割当てられたY方向電極番号gyの最大値が、前記入力したY方向の太陽電池セルSCの数に等しい否かを判定する。すなわち、割当てられたX方向電極番号gxの少なくとも1つにおいて、Y方向の全てのバスバー電極87の位置が検出されているかを判定する。図12の左側からX方向に沿って2列のバスバー電極87のように、Y方向の全てのバスバー電極87が検出されていて、Y方向電極番号gyの最大値がY方向の太陽電池セルSCの数に等しければ、コントローラ70は、ステップS222にて「Yes」と判定して、ステップS224に進む。一方、Y方向電極番号gyの最大値がY方向の太陽電池セルSCの数に等しくなければ、コントローラ70は、ステップS222にて「No」と判定して、図6HのステップS310に進む。これは、X方向の全てのバスバー電極87の列において、Y方向の全てのバスバー電極87の位置が検出されていないことは、入力ミス又は何らかの異常が発生している可能性が高いからである。   Next, in step S222, the controller 70 determines that the maximum value of the Y-direction electrode number gy assigned by the assignment process of the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy is the input Y-direction solar cell. It is determined whether or not it is equal to the number of SCs. That is, it is determined whether or not the positions of all the bus bar electrodes 87 in the Y direction are detected in at least one of the assigned X direction electrode numbers gx. All the bus bar electrodes 87 in the Y direction are detected like the two rows of bus bar electrodes 87 along the X direction from the left side of FIG. 12, and the maximum value of the Y direction electrode number gy is the solar cell SC in the Y direction. If equal to the number, the controller 70 determines “Yes” in step S222 and proceeds to step S224. On the other hand, if the maximum value of the Y-direction electrode number gy is not equal to the number of solar cells SC in the Y direction, the controller 70 determines “No” in step S222 and proceeds to step S310 in FIG. 6H. This is because the position of all the bus bar electrodes 87 in the Y direction is not detected in the row of all the bus bar electrodes 87 in the X direction because there is a high possibility that an input error or some abnormality has occurred. .

ステップS224においては、変数kに等しいX方向電極番号gx(gx=k)によって特定されるY方向電極番号gyの最大値が、前記入力したY方向の太陽電池セルSCの数に等しいか否かが判定される。前記最大値がY方向の太陽電池セルSCの数に等しいとき(図12の左の2列のバスバー電極87群)、すなわち全てのY方向の磁気センサ10による検出位置群が抽出されているとき、コントローラ70は、ステップS224にて「Yes」と判定し、ステップS226にて変数kはX方向電極番号gxの最大値(すなわちX方向の太陽電池セルSCの数に1つの太陽電池セルSCにおけるバスバー電極87の数を乗算した値)に等しいかを判定する。そして、等しくないことを条件に、ステップS228にて変数kに「1」を加算して、ふたたび前記ステップS224の判定処理を実行する。これにより、全てのY方向の磁気センサ10による検出位置群が抽出されていれば、X方向におけるバスバー電極87の位置を指定するための変数kを順次増加させながら、ステップS224〜S228の処理を実行する。   In step S224, whether or not the maximum value of the Y-direction electrode number gy specified by the X-direction electrode number gx (gx = k) equal to the variable k is equal to the number of the input Y-direction solar cells SC. Is determined. When the maximum value is equal to the number of solar cells SC in the Y direction (the left two rows of bus bar electrode 87 groups in FIG. 12), that is, when the detection position groups by all the Y direction magnetic sensors 10 are extracted. The controller 70 determines “Yes” in step S224, and in step S226, the variable k is the maximum value of the X-direction electrode number gx (that is, the number of solar cells SC in the X direction is one solar cell SC. It is determined whether it is equal to the value obtained by multiplying the number of bus bar electrodes 87. Then, on the condition that they are not equal, “1” is added to the variable k in step S228, and the determination processing in step S224 is executed again. Thus, if the detection position groups by all the magnetic sensors 10 in the Y direction have been extracted, the processing of steps S224 to S228 is performed while sequentially increasing the variable k for designating the position of the bus bar electrode 87 in the X direction. Execute.

前記ステップS224にて「No」すなわち全てのY方向の磁気センサ10による検出位置群が抽出されていないと判定されたとき、コントローラ70は、ステップS230にて、変数kに等しいX方向電極番号gxが割当てられている電極位置座標Bxy(n,m)のY方向の中央値AvemをY方向電極番号gyごとに計算する。次に、コントローラ70は、ステップS232にて、変数s+1によって指定されるAvem(s+1)から変数sによって指定されるAvem(s)及び値ceを減算した絶対値|Avem(s+1)−Avem(s)−ce|が所定の小さな値Δp以下であるかを判定する。この場合、変数CHが「0」であってバスバー電極87がY軸方向に延設されている場合には、値ceは、太陽電池セルSCのY方向の長さを移動距離単位ΔYで除した値である。一方、変数CHが「1」であってバスバー電極87がX軸方向に延設されている場合、すなわち前記図6BのステップS160の処理によって電流の大きさデータIxy(n,m)が電流の大きさデータIxy(m,n)に並べ換えられている場合、値ceは、太陽電池セルSCのX方向の長さを移動距離単位ΔXで除した値である。したがって、値ceは、バスバー電極87の延設方向における位置検出数に等しい。   When it is determined in step S224 that “No”, that is, the detection position group by all the magnetic sensors 10 in the Y direction has not been extracted, the controller 70 determines in step S230 the X-direction electrode number gx equal to the variable k. Is calculated for each Y-direction electrode number gy for the median value Avem in the Y-direction of the electrode position coordinates Bxy (n, m). Next, in step S232, the controller 70 subtracts the absolute value | Avem (s + 1) −Avem (s) obtained by subtracting the Avem (s) specified by the variable s and the value ce from the Avem (s + 1) specified by the variable s + 1. ) −ce | is determined whether it is equal to or smaller than a predetermined small value Δp. In this case, when the variable CH is “0” and the bus bar electrode 87 is extended in the Y-axis direction, the value ce is obtained by dividing the length of the solar cell SC in the Y direction by the movement distance unit ΔY. It is the value. On the other hand, when the variable CH is “1” and the bus bar electrode 87 is extended in the X-axis direction, that is, the current magnitude data Ixy (n, m) is obtained as a result of the process of step S160 in FIG. 6B. When rearranged in the size data Ixy (m, n), the value ce is a value obtained by dividing the length of the solar cell SC in the X direction by the movement distance unit ΔX. Therefore, the value ce is equal to the number of detected positions in the extending direction of the bus bar electrode 87.

今、バスバー電極87がY方向にて連続して検出されていれば、前記絶対値|Avem(s+1)−Avem(s)−ce|はほぼ「0」である。したがって、この場合には、コントローラ70は、ステップS232にて「Yes」と判定して、ステップS234にて変数sに「1」を加算し、ステップS236にて変数s+1によって指定される次の中央値Avem(s+1)が存在していることを条件に「Yes」と判定して、ふたたびステップS232の判定処理を実行する。一方、図12のX方向の3列目のように、Y方向の4番目のバスバー電極87が検出されていない場合、変数sが「3」であるとき、前記絶対値|Avem(s+1)−Avem(s)−ce|はほぼ値ceとなる。この場合には、コントローラ70は、ステップS232にて「No」と判定し、ステップS238にて変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyに割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)の変数mに値ceをそれぞれ加算した電極位置座標Bxy(n,m+ce)を新たに定義し、定義した電極位置座標Bxy(n,m+ce)に変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数s+1に等しいY方向電極番号gyを割当て、変数mの中央値Avem(gy)を計算する。次に、ステップS240にて、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数s+1以上のY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)のY方向電極番号gyをそれぞれY方向電極番号gy+1に変更する。これにより、図12のX方向の3列目でY方向の4番目のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算され、Y方向電極番号gyも順番にY方向の全ての電極位置座標Bxy(n,m)に割当てられる。   If the bus bar electrode 87 is continuously detected in the Y direction, the absolute value | Avem (s + 1) −Avem (s) −ce | is almost “0”. Therefore, in this case, the controller 70 determines “Yes” in step S232, adds “1” to the variable s in step S234, and then determines the next center specified by the variable s + 1 in step S236. “Yes” is determined on condition that the value Avem (s + 1) exists, and the determination process in step S232 is executed again. On the other hand, when the fourth bus bar electrode 87 in the Y direction is not detected as in the third column in the X direction in FIG. 12, when the variable s is “3”, the absolute value | Avem (s + 1) − Avem (s) −ce | is approximately the value ce. In this case, the controller 70 determines “No” in step S232, and in step S238, the electrode position coordinates assigned to the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to the variable s. An electrode position coordinate Bxy (n, m + ce) obtained by adding the value ce to the variable m of Bxy (n, m) is newly defined, and the X-direction electrode equal to the variable k is defined in the defined electrode position coordinate Bxy (n, m + ce). Assign the Y-direction electrode number gy equal to the number gx and the variable s + 1, and calculate the median value Avem (gy) of the variable m. Next, in step S240, the Y-direction electrode number gy of the electrode position coordinate Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to or greater than the variable s + 1 are assigned is set in the Y direction Change to electrode number gy + 1. As a result, the electrode position coordinate Bxy (n, m) corresponding to the fourth bus bar electrode 87 in the Y direction in the third column in the X direction in FIG. 12 is replenished, and its median value Avem is also calculated. The electrode number gy is also sequentially assigned to all electrode position coordinates Bxy (n, m) in the Y direction.

また、図12のX方向の4列目のように、Y方向の3番目及び4番目のバスバー電極87が連続して検出されていない場合、変数sが「2」であるとき、前記絶対値|Avem(s+1)−Avem(s)−ce|はほぼ値2・ceとなる。そして、この場合には、前述のステップS238,S240の処理により、X方向に4列目でY方向の3番目のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算され、Y方向電極番号gyも順番にY方向の全ての電極位置座標Bxy(n,m)に割当てられる。しかし、この場合には、この補充によっても、変数sが「3」になったとき、前記絶対値|Avem(s+1)−Avem(s)−ce|はほぼ値ceとなる。したがって、ステップS234の処理後、コントローラ70は、ステップS236にて「Yes」と判定し、ステップS232にて「No」と判定して、ふたたびステップS238,S240の処理を実行する。これにより、X方向に4列目でY方向の4番目のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算され、Y方向電極番号gyも順番にY方向の全ての電極位置座標Bxy(n,m)に割当てられる。その結果、4列目のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)の数も太陽電池セルSCの数に等しくなる。なお、3つ以上の電極位置座標Bxy(n,m)が欠落しても同様に、前記ステップS232〜S240の処理により、欠落した電極位置座標Bxy(n,m)は補充される。   Further, when the third and fourth bus bar electrodes 87 in the Y direction are not continuously detected as in the fourth column in the X direction in FIG. 12, the absolute value is obtained when the variable s is “2”. | Avem (s + 1) −Avem (s) −ce | is approximately the value 2 · ce. In this case, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the third bus bar electrode 87 in the fourth column in the X direction and the third bus bar electrode 87 are replenished by the processing in steps S238 and S240 described above. The median value Avem is also calculated, and the Y-direction electrode number gy is also sequentially assigned to all electrode position coordinates Bxy (n, m) in the Y direction. In this case, however, the absolute value | Avem (s + 1) −Avem (s) −ce | becomes substantially the value ce when the variable s becomes “3” even by this replenishment. Therefore, after the process of step S234, the controller 70 determines “Yes” in step S236, determines “No” in step S232, and executes the processes of steps S238 and S240 again. As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the fourth bus bar electrode 87 in the fourth row in the X direction and the median value Avem are calculated, and the Y direction electrode number gy is also calculated. Are also sequentially assigned to all electrode position coordinates Bxy (n, m) in the Y direction. As a result, the number of electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 in the fourth row is also equal to the number of solar cells SC. Even if three or more electrode position coordinates Bxy (n, m) are missing, similarly, the missing electrode position coordinates Bxy (n, m) are replenished by the processing in steps S232 to S240.

前記ステップS232〜S240の処理中、変数s+1によって指定される中央値Avem(s+1)が存在しなくなると、すなわちY方向の次の電極位置座標Bxy(n,m)の中央値Avem(s+1)が存在しなくなると、コントローラ70は、ステップS236にて「No」と判定して、ステップS242にて変数sが変数kに等しいX方向電極番号gxによって特定されるY方向電極番号gyの最大値であるかを判定する。最大値であれば、コントローラ70は、ステップS242にて「Yes」と判定し、前述したステップS226以降の処理を実行する。このステップS228の処理により、変数kがX方向電極番号gxの最大値に等しくなると、すなわちX方向の最後の列の電極位置座標Bxy(n,m)の補充処理が終了すると、コントローラ70は、ステップS228にて「Yes」と判定して、図6GのステップS260に進む。   If the median value Avem (s + 1) specified by the variable s + 1 does not exist during the processing of steps S232 to S240, that is, the median value Avem (s + 1) of the next electrode position coordinate Bxy (n, m) in the Y direction is obtained. When it does not exist, the controller 70 determines “No” in step S236, and in step S242, the controller 70 determines the maximum value of the Y-direction electrode number gy specified by the X-direction electrode number gx equal to the variable k. Determine if there is. If it is the maximum value, the controller 70 determines “Yes” in step S242, and executes the processes after step S226 described above. When the variable k becomes equal to the maximum value of the X-direction electrode number gx by the processing of step S228, that is, when the replenishment processing of the electrode position coordinates Bxy (n, m) of the last column in the X direction is completed, the controller 70 In step S228, “Yes” is determined, and the process proceeds to step S260 in FIG. 6G.

一方、図12のX方向の5列目及び6列目のように、Y方向の最後のバスバー電極87が検出されていない場合、又は図12のX方向の7列目及び8列目のように、Y方向の最初のバスバー電極87が検出されていない場合には、前述したステップS232,S238,S240の処理では、電極位置座標Bxy(n,m)の欠落を補充できない。そして、この場合には、中央値Avem(s+1)(すなわち次の中央値Avem)が存在しなくなった時点でも、変数sがY方向電極番号gyの最大値に等しくなく、コントローラ70は、ステップS242にて「No」と判定して、図6FのステップS244に進む。   On the other hand, when the last bus bar electrode 87 in the Y direction is not detected as in the fifth and sixth columns in the X direction in FIG. 12, or in the seventh and eighth columns in the X direction in FIG. On the other hand, when the first bus bar electrode 87 in the Y direction has not been detected, the missing of the electrode position coordinates Bxy (n, m) cannot be replenished by the processing in steps S232, S238, and S240 described above. In this case, even when the median value Avem (s + 1) (that is, the next median value Avem) no longer exists, the variable s is not equal to the maximum value of the Y-direction electrode number gy, and the controller 70 performs step S242. It determines with "No" and progresses to step S244 of FIG. 6F.

ステップS244においては、コントローラ70は、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)のX座標値nをX方向座標nxとして設定するとともに、変数sによって指定される中央値Avem(s)に前記所定値ce(太陽電池セルSCのY方向の検出位置数)を加算した値Avem(s)+ceをY方向座標nyとする。そして、座標nx,nyで指定される電流の大きさデータIxy(nx−a,ny−a)〜Ixy(nx+a,ny+a)の中から最大値を抽出して最大電流値Iemaxとする。なお、値aは、5〜数10程度の予め決められた値である。これにより、電極位置座標Bxy(n,m)の中央座標値を囲む位置の所定範囲における電流の大きさデータIxy(n,m)の最大値が最大電流値Iemaxとして設定される。前記ステップS244の処理後、コントローラ70は、ステップS246にて前記最大電流値Iemaxが設定値以上であるかを判定する。なお、この設定値は、太陽電池セルSCが存在するならば、太陽電池セルSCが異常であっても、そのバスバー電極87位置にて検出される比較的小さな予め決められた電流値である。   In step S244, the controller 70 converts the X coordinate value n of the electrode position coordinate Bxy (n, m) assigned the X direction electrode number gx equal to the variable k and the Y direction electrode number gy equal to the variable s to the X direction coordinate. A value Avem (s) + ce obtained by adding the predetermined value ce (the number of detected positions in the Y direction of the solar cells SC) to the median value Avem (s) designated by the variable s is set as nx, and the Y direction coordinate ny And Then, the maximum value is extracted from the current magnitude data Ixy (nx-a, ny-a) to Ixy (nx + a, ny + a) specified by the coordinates nx, ny and is set as the maximum current value Iemax. The value a is a predetermined value of about 5 to several tens. As a result, the maximum value of the current magnitude data Ixy (n, m) in the predetermined range at the position surrounding the central coordinate value of the electrode position coordinate Bxy (n, m) is set as the maximum current value Iemax. After the processing in step S244, the controller 70 determines in step S246 whether the maximum current value Iemax is greater than or equal to a set value. Note that this set value is a relatively small predetermined current value detected at the position of the bus bar electrode 87 even if the solar cell SC is abnormal if the solar cell SC exists.

そして、前記位置にバスバー電極87が存在して、前記最大電流値Iemaxが設定値以上であれば、コントローラ70は、ステップS246にて「Yes」と判定してステップS248に進む。これは、図12のX方向の5列目又は6列目のように、Y方向の最後のバスバー電極87が検出されていない場合の処理である。ステップS248においては、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)の変数mに所定値ceをそれぞれ加算した電極位置座標Bxy(n,m+ce)を新たに定義し、新たに定義した電極位置座標Bxy(n,m+ce)に変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数s+1に等しいY方向電極番号gyを割当て、変数mの中央値Avem(gy)を計算する。これにより、検出されていなかったY方向の後方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。そして、コントローラ70は、図6EのステップS234以降の処理を実行するが、図12のX方向の5列目のように、Y方向の最後の1つのバスバー電極87が検出されていなかった場合には、ステップS234の処理よって増加された変数sはY方向電極番号gyの最大値を示すことになるので、ステップS242にて「Yes」と判定されてステップS226以降に進められる。   If the bus bar electrode 87 is present at the position and the maximum current value Iemax is greater than or equal to the set value, the controller 70 determines “Yes” in step S246 and proceeds to step S248. This is processing when the last bus bar electrode 87 in the Y direction is not detected as in the fifth or sixth row in the X direction in FIG. In step S248, the electrode position obtained by adding the predetermined value ce to the variable m of the electrode position coordinates Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to the variable s are assigned. Coordinate Bxy (n, m + ce) is newly defined, and X-direction electrode number gx equal to variable k and Y-direction electrode number gy equal to variable s + 1 are assigned to newly defined electrode position coordinate Bxy (n, m + ce), and variable Calculate the median value Avem (gy) of m. As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 behind in the Y direction that has not been detected are supplemented, and the median value Avem is also calculated. Then, the controller 70 executes the processing after step S234 in FIG. 6E, but when the last one bus bar electrode 87 in the Y direction has not been detected as in the fifth column in the X direction in FIG. Since the variable s increased by the process of step S234 indicates the maximum value of the Y-direction electrode number gy, it is determined as “Yes” in step S242, and the process proceeds to step S226 and subsequent steps.

しかし、図12のX方向の6列目のように、Y方向の最後の2つのバスバー電極87が検出されていなかった場合には、ステップS242にてふたたび「No」と判定されて、前述したステップS244〜S248からなる処理が実行されて、検出されていなかったY方向の後方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)がさらに補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。その結果、全てのバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充される。さらに、Y方向の最後の3つ以上のバスバー電極87が検出されていなかった場合にも、前述したステップS244〜S248からなる処理が実行されて、検出されていなかったY方向の後方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。   However, if the last two bus bar electrodes 87 in the Y direction have not been detected as in the sixth column in the X direction in FIG. 12, it is again determined as “No” in step S <b> 242. The process consisting of steps S244 to S248 is executed, and the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 behind the Y direction which has not been detected are further supplemented, and the median value Avem is also calculated. Is done. As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to all the bus bar electrodes 87 are supplemented. Further, even when the last three or more bus bar electrodes 87 in the Y direction are not detected, the processing including steps S244 to S248 described above is executed, and the bus bar electrodes behind the Y direction that have not been detected. The electrode position coordinate Bxy (n, m) corresponding to 87 is supplemented and its median value Avem is also calculated.

次に、図12のX方向の7列目及び8列目のように、Y方向の最初のバスバー電極87が検出されていない場合について説明する。この場合には、前記ステップS244の処理によって計算されるY方向座標ny(=Avem(s)+ce)付近には、太陽電池セルSCは存在しない。したがって、この場合には、コントローラ70は、ステップS246にて「No」と判定して、ステップS250に進む。ステップS244においては、コントローラ70は、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)のX座標値nをX方向座標nxとして設定するとともに、中央値Avem(1)から前記所定値ceを減算した値Avem(1)−ceをY方向座標nyとする。そして、座標nx,nyで指定される電流の大きさデータIxy(nx−a,ny−a)〜Ixy(nx+a,ny+a)の中から最大値を抽出して最大電流値Ismaxとする。なお、この場合も、値aは、5〜数10程度の予め決められた値である。これにより、電極位置座標Bxy(n,m)の中央座標値を囲む位置の所定範囲における電流の大きさデータIxy(n,m)の最大値が最大電流値Ismaxとして設定される。前記ステップS250の処理後、コントローラ70は、ステップS252にて、前記ステップS246と同様に、前記最大電流値Ismaxが前記設定値以上であるかを判定する。   Next, a case where the first bus bar electrode 87 in the Y direction is not detected as in the seventh and eighth rows in the X direction in FIG. 12 will be described. In this case, the solar cell SC does not exist in the vicinity of the Y-direction coordinate ny (= Avem (s) + ce) calculated by the process of step S244. Accordingly, in this case, the controller 70 determines “No” in step S246 and proceeds to step S250. In step S244, the controller 70 converts the X coordinate value n of the electrode position coordinate Bxy (n, m) assigned the X direction electrode number gx equal to the variable k and the Y direction electrode number gy equal to the variable s to the X direction coordinate. The value Avem (1) -ce obtained by subtracting the predetermined value ce from the median value Avem (1) is set as the Y-direction coordinate ny. Then, the maximum value is extracted from the current magnitude data Ixy (nx−a, ny−a) to Ixy (nx + a, ny + a) specified by the coordinates nx and ny to obtain the maximum current value Ismax. In this case, the value a is a predetermined value of about 5 to several tens. As a result, the maximum value of the current magnitude data Ixy (n, m) in a predetermined range of the position surrounding the central coordinate value of the electrode position coordinate Bxy (n, m) is set as the maximum current value Ismax. After the processing in step S250, the controller 70 determines in step S252 whether the maximum current value Ismax is greater than or equal to the set value, as in step S246.

そして、前記位置にバスバー電極が存在して、前記最大電流値Ismaxが設定値以上であれば、コントローラ70は、ステップS252にて「Yes」と判定してステップS254に進む。これは、図12のX方向の7列目又は8列目のように、Y方向の最初のバスバー電極87が検出されていない場合の処理である。ステップS254においては、変数kに等しいX方向電極番号gx及び「1」であるY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)の変数mから前記所定値ceをそれぞれ減算した電極位置座標Bxy(n,m−ce)を新たに定義し、新たに定義した電極位置座標Bxy(n,m−ce)に変数kに等しいX方向電極番号gx及び「1」であるY方向電極番号gyを割当て、変数mの中央値Avem(gy)を計算する。これにより、検出されていなかったY方向の前方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。前記ステップS254の処理後、コントローラ70は、ステップS256にて、変数kに等しいX方向電極番号gx及び「2」以上のY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)のY方向電極番号gyをそれぞれY方向電極番号gy+1に変更する。これにより、図12のX方向の7列目でY方向の1番目のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算され、Y方向電極番号gyも順番にY方向の全ての電極位置座標Bxy(n,m)に割当てられる。   If the bus bar electrode is present at the position and the maximum current value Ismax is equal to or greater than the set value, the controller 70 determines “Yes” in step S252 and proceeds to step S254. This is processing when the first bus bar electrode 87 in the Y direction is not detected as in the seventh or eighth row in the X direction in FIG. In step S254, the predetermined value ce is subtracted from the variable m of the electrode position coordinate Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy of “1” are assigned. The electrode position coordinate Bxy (n, m-ce) is newly defined, and the X-direction electrode number gx equal to the variable k is set to the newly defined electrode position coordinate Bxy (n, m-ce) and the Y direction is “1”. The electrode number gy is assigned, and the median value Avem (gy) of the variable m is calculated. As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 ahead in the Y direction that has not been detected are supplemented, and the median value Avem is also calculated. After the process of step S254, the controller 70 determines in step S256 the electrode position coordinates Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to or greater than “2” are assigned. The Y direction electrode number gy is changed to the Y direction electrode number gy + 1. As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the first bus bar electrode 87 in the Y direction in the seventh column in the X direction in FIG. 12 are supplemented, and the median value Avem is also calculated. The electrode number gy is also sequentially assigned to all electrode position coordinates Bxy (n, m) in the Y direction.

そして、コントローラ70は、図6EのステップS234以降の処理を実行するが、図12のX方向の7列目のように、Y方向の最初の1つのバスバー電極87のみが検出されていなかった場合には、ステップS234の処理によって増加された変数sはY方向電極番号gyの最大値を示すことになるので、ステップS242にて「Yes」と判定されてステップS226以降に進められる。   Then, the controller 70 executes the processing after step S234 in FIG. 6E, but only the first bus bar electrode 87 in the Y direction has not been detected as in the seventh column in the X direction in FIG. Since the variable s increased by the process of step S234 indicates the maximum value of the Y-direction electrode number gy, it is determined as “Yes” in step S242, and the process proceeds to step S226 and subsequent steps.

しかし、図12のX方向の8列目のように、Y方向の最初の2つのバスバー電極87が検出されていなかった場合には、ステップS242にてふたたび「No」と判定されて、前述したステップS250〜S256からなる処理が実行されて、検出されていなかったY方向の前方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。その結果、全てのバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充される。さらに、Y方向の最初の3つ以上のバスバー電極87が検出されていなかった場合にも、前述したステップS250〜S256からなる処理が実行されて、検出されていなかったY方向の前方のバスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)が補充されるとともに、その中央値Avemも計算される。   However, if the first two bus bar electrodes 87 in the Y direction have not been detected as in the eighth column in the X direction in FIG. 12, it is again determined as “No” in step S242, and is described above. The processing consisting of steps S250 to S256 is executed, and the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 in the front in the Y direction that has not been detected are supplemented, and the median value Avem is also calculated. The As a result, the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to all the bus bar electrodes 87 are supplemented. Further, even when the first three or more bus bar electrodes 87 in the Y direction are not detected, the processing including steps S250 to S256 described above is executed, and the front bus bar electrode in the Y direction that has not been detected. The electrode position coordinate Bxy (n, m) corresponding to 87 is supplemented and its median value Avem is also calculated.

また、図6FのステップS246において「No」と判定されるとともに、ステップS252においても「No」と判定された場合には、コントローラ70は、図6HのステップS310以降に進める。これは、バスバー電極87に対応した電極位置座標Bxy(n,m)の補充ができない場合には、太陽電池検査装置に異常が発生していて、太陽電池パネルSPの異常を的確に検出できない可能性が高いためである。   Further, if “No” is determined in step S246 of FIG. 6F and “No” is also determined in step S252, the controller 70 proceeds to step S310 and subsequent steps in FIG. 6H. This is because when the electrode position coordinates Bxy (n, m) corresponding to the bus bar electrode 87 cannot be replenished, an abnormality has occurred in the solar cell inspection device, and the abnormality of the solar cell panel SP cannot be accurately detected. This is because the nature is high.

次に、太陽電池パネルSPの合否の判定及び電流分布の画像表示を行う図6G及び図6HのステップS260〜S312の処理について説明する。まず、コントローラ70は、ステップS260にて、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられている全ての電極位置座標Bxy(n,m)群に対応した全てのY方向の電流の大きさデータIy(n,m)群のデータであって、各大きさデータIy(n,m)群の両端部に対応する大きさデータIxy(n,m)群を除いた全ての大きさデータIxy(n,m)群のトータル平均値Iavtyを計算する。この処理により、図7において、全てのバスバー電極87の両端部を除いてバスバー電極87に流れる電流の検出位置ごとのY方向の電流のトータル平均値Iavtyが計算される。各大きさデータIy(n,m)群の両端部すなわちバスバー電極87の両端部を除く理由は、この両端部では電流が安定しないことがあるためで、両端部の長さとしては全長の数パーセントから20パーセント程度である。   Next, the process of steps S260 to S312 in FIG. 6G and FIG. 6H that performs the pass / fail determination of the solar battery panel SP and the image display of the current distribution will be described. First, in step S260, the controller 70 determines the magnitudes of all Y-direction currents corresponding to all the electrode position coordinate Bxy (n, m) groups to which the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are assigned. All the size data except for the size data Ixy (n, m) group corresponding to both ends of each size data Iy (n, m) group. The total average value Iavty of the Ixy (n, m) group is calculated. By this processing, in FIG. 7, the total average value Iavty of the current in the Y direction for each detection position of the current flowing through the bus bar electrode 87 excluding both ends of all the bus bar electrodes 87 is calculated. The reason for excluding both end portions of each size data Iy (n, m) group, that is, both end portions of the bus bar electrode 87, is that current may not be stable at both end portions. It is about 20 percent from percent.

次に、コントローラ70は、ステップS262にて、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられている全ての電極位置座標Bxy(n,m)群に対応した全てのX方向の電流の大きさデータIx(n,m)群以外の、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)群のトータル平均値Iavtxを計算する。すなわち、全てのX方向の電流の大きさデータIx(n,m)群から、全ての電極位置座標Bxy(n,m)群に対応した全てのX方向の電流の大きさデータIx(n,m)群を除いたX方向の電流の大きさデータIx(n,m)群の平均値Iavtxを計算する。この処理により、図7において、全てのバスバー電極87が位置する部分を除く、太陽電池パネルSPの全体に流れるX方向の電流のトータル平均値Iavtxを計算することになる。そして、コントローラ70は、ステップS264にて、変数k,s,t,ep,qを「1」にそれぞれ初期設定する。変数kは、図7に示すように、X方向電極番号gxを指定するための1〜kmaxで変化する変数である。変数sは、Y方向電極番号gyを指定するための1〜smaxで変化する変数である。変数tは、X方向の太陽電池セルSCを指定するための1〜tmaxで変化する変数である。変数epは、1つの太陽電池セルSC内のバスバー電極87を指定するための変数であり、図7では「1」又は「2」である。変数qは、バスバー電極87の長尺方向の位置を指定するための変数であり、本実施形態では「1」〜「3」で変化する。   Next, in step S262, the controller 70 calculates all X-direction currents corresponding to all the electrode position coordinates Bxy (n, m) groups to which the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are assigned. A total average value Iavtx of the current magnitude data Ix (n, m) group in the X direction other than the magnitude data Ix (n, m) group is calculated. That is, from all the X-direction current magnitude data Ix (n, m) group, all the X-direction current magnitude data Ix (n, m) corresponding to all the electrode position coordinates Bxy (n, m) group. m) The average value Iavtx of the current magnitude data Ix (n, m) group in the X direction excluding the group is calculated. By this process, in FIG. 7, the total average value Iavtx of the current in the X direction flowing through the entire solar cell panel SP excluding the portion where all the bus bar electrodes 87 are located is calculated. In step S264, the controller 70 initializes the variables k, s, t, ep, and q to “1”. As shown in FIG. 7, the variable k is a variable that changes from 1 to kmax for designating the X-direction electrode number gx. The variable s is a variable that changes from 1 to smax for designating the Y-direction electrode number gy. The variable t is a variable that changes from 1 to tmax for designating the solar cell SC in the X direction. The variable ep is a variable for designating the bus bar electrode 87 in one solar battery cell SC, and is “1” or “2” in FIG. The variable q is a variable for designating the position of the bus bar electrode 87 in the longitudinal direction, and changes from “1” to “3” in the present embodiment.

前記ステップS264の処理後、コントローラ70は、ステップS266にて、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyが割当てられた電極位置座標Bxy(n,m)に対応したY方向の電流の大きさデータIy(n,m)から、前記ステップS260の場合と同様に両端部を除いたY方向の電流の大きさデータIy(n,m)を抽出する。そして、ステップS268にて、前記抽出したY方向の電流の大きさデータIy(n,m)を用いて次のような計算を実行する。まず、変数kに等しいX方向電極番号gx及び変数sに等しいY方向電極番号gyが割当てられた1つのバスバー電極87に流れる平均電流として、前記抽出したY方向の電流の大きさデータIy(n,m)の平均値Iaveyを計算する。この平均値Iaveyを、変数t,s,epによって指定される評価データA(t,s,ep)としてRAM又は記憶装置に記憶しておく。   After the process of step S264, the controller 70 corresponds to the electrode position coordinate Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to the variable s are assigned in step S266. The Y-direction current magnitude data Iy (n, m) excluding both ends is extracted from the Y-direction current magnitude data Iy (n, m) as in the case of step S260. In step S268, the following calculation is executed using the extracted Y-direction current magnitude data Iy (n, m). First, as the average current flowing through one bus bar electrode 87 to which the X-direction electrode number gx equal to the variable k and the Y-direction electrode number gy equal to the variable s are assigned, the extracted Y-direction current magnitude data Iy (n , M), the average value Iavey is calculated. This average value Iavey is stored in RAM or a storage device as evaluation data A (t, s, ep) designated by variables t, s, and ep.

次に、前記ステップS268にて、前記計算した平均値Iaveyの絶対値|Iavey|を前記ステップS260の処理により計算したトータル平均値Iavtyの絶対値|Iavty|で除算して、除算結果|Iavey|/|Iavty|を1つのバスバー電極87に流れる電流レベルを評価するための評価データB(t,s,ep)としてRAM又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出したY方向の電流の大きさデータIy(n,m)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Iaveyの絶対値|Iavey|で除算して、除算結果(最大値−最小値)/|Iavey|を、1つのバスバー電極87に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データC(t,s,ep)としてRAM又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出したY方向の電流の大きさデータIy(n,m)の標準偏差σを前記計算した平均値Iaveyの絶対値|Iavey|で除算して、除算結果σ/|Iavey|を、1つのバスバー電極87に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データD(t,s,ep)としてRAM又は記憶装置に記憶しておく。   Next, in step S268, the absolute value | Iavey | of the calculated average value Iavey is divided by the absolute value | Iavty | of the total average value Iavty calculated by the processing of step S260, and the division result | / | Iavty | is stored in the RAM or storage device as evaluation data B (t, s, ep) for evaluating the current level flowing through one bus bar electrode 87. Further, the minimum value is subtracted from the maximum value of the extracted Y-direction current magnitude data Iy (n, m), and the subtraction result is divided by the absolute value | Iavey | of the calculated average value Iavey. The division result (maximum value−minimum value) / | Iavey | is stored in RAM or a storage device as evaluation data C (t, s, ep) for evaluating the fluctuation of the current level flowing through one bus bar electrode 87. deep. Further, the standard deviation σ of the extracted Y-direction current magnitude data Iy (n, m) is divided by the absolute value | Iavey | of the calculated average value Iavey, and the division result σ / | Iavey | It is stored in RAM or a storage device as evaluation data D (t, s, ep) for evaluating the fluctuation of the current level flowing through one bus bar electrode 87.

前記ステップS268の処理後、コントローラ70は、ステップS270にて、変数epが前記入力した太陽電池セルSCの電極数に達したか否かを判定する。変数epが太陽電池セルSCの電極数に達していなければ、コントローラ70は、ステップS270にて「No」と判定し、ステップS272にて変数epに「1」を加算し、かつステップS274にて変数kに「1」を加算して、ステップS266に戻る。そして、変数epが太陽電池セルSCの電極数に達するまで、ステップS266〜274の処理を実行する。これにより、変数t,sによって指定される1つの太陽電池セルSCの各バスバー電極87に関する評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep)が計算されてRAM又は記憶装置に記憶されることになる。   After the process of step S268, the controller 70 determines in step S270 whether or not the variable ep has reached the number of electrodes of the input solar cell SC. If the variable ep does not reach the number of electrodes of the solar battery cell SC, the controller 70 determines “No” in step S270, adds “1” to the variable ep in step S272, and in step S274. “1” is added to the variable k, and the process returns to step S266. And the process of step S266-274 is performed until the variable ep reaches the number of electrodes of the photovoltaic cell SC. Thereby, evaluation data A (t, s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep) for each bus bar electrode 87 of one solar cell SC specified by the variables t, s. ), D (t, s, ep) are calculated and stored in the RAM or storage device.

変数epが太陽電池セルSCの電極数に達すると、コントローラ70は、ステップS270にて「Yes」と判定し、ステップS276にて、前記計算したX方向電極番号gx及びY方向電極番号gyが割当てられた太陽電池セルSCの全てのバスバー電極87に関する評価データA(t,s,ep)を用いて、それらの最大値から最小値を減算してそれらの平均値で除算することにより、1つの太陽電池セルSC内のバスバー電極87間の電流のばらつきを評価するための評価データE(t,s)を計算してRAM又は記憶装置に記憶する。   When the variable ep reaches the number of electrodes of the solar battery cell SC, the controller 70 determines “Yes” in step S270, and assigns the calculated X-direction electrode number gx and Y-direction electrode number gy in step S276. By using the evaluation data A (t, s, ep) relating to all the bus bar electrodes 87 of the solar cells SC obtained, the minimum value is subtracted from the maximum value and divided by the average value. Evaluation data E (t, s) for evaluating the variation in current between the bus bar electrodes 87 in the solar battery cell SC is calculated and stored in the RAM or the storage device.

次に、コントローラ70は、ステップS278にて、値(k−ep+1)に等しいX方向電極番号gx及び値sに等しいY方向電極番号gyが割当てられている電極位置座標Bxy(n,m)と、値kに等しいX方向電極番号gx及び値sに等しいY方向電極番号gyが割当てられている電極位置座標Bxy(n,m)と間の全ての座標(n,m)のうちで、変数mが値{Avem(s)−(2−q)・ce/3}である座標(n,m)に対応したX方向の電流の大きさデータIx(n,m)を抽出する。ここで、抽出されるX方向の電流の大きさデータIx(n,m)について説明しておく。図7に示すように、変数kはX方向のバスバー電極87を指定するもので、値epは1つの太陽電池セルSC内のバスバー電極87の数(図7の例では2つ)を表すものである。そして、このステップS278の処理の時点では、前記ステップS266〜S274の循環処理の終了により、変数kはX方向に配置された各太陽電池セルSCの図示右側の最後のバスバー電極87を指定するための値になっている。したがって、図7の最も左側の太陽電池セルSCの処理時には、同最も左側の太陽電池セルSCのX方向の両端のバスバー電極87の位置に挟まれたX方向の全ての座標(n,m)のうちで、値{Avem(s)−(2−q)・ce/3}により指定されたY方向位置の座標が指定される。そして、値Avem(s)は変数sによって指定されるY方向の太陽電池セルSCのバスバー電極87のY方向の中央位置を表し、値ceはバスバー電極87のY方向の長さにほぼ等しいので、最初、変数qが「1」であるときには、前記バスバー電極87の位置に挟まれたX方向の全ての座標(n,m)のうちで、バスバー電極87のY方向の中央位置からバスバー電極87の長さの1/3だけ小さなY方向位置の座標(n,m)に対応したX方向の電流の大きさデータIx(n,m)が抽出される。   Next, in step S278, the controller 70 sets the electrode position coordinates Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the value (k−ep + 1) and the Y-direction electrode number gy equal to the value s are assigned. Among all the coordinates (n, m) between the electrode position coordinates Bxy (n, m) to which the X-direction electrode number gx equal to the value k and the Y-direction electrode number gy equal to the value s are assigned. The current magnitude data Ix (n, m) in the X direction corresponding to the coordinates (n, m) where m is the value {Avem (s)-(2-q) · ce / 3} is extracted. Here, the extracted magnitude data Ix (n, m) in the X direction will be described. As shown in FIG. 7, the variable k designates the bus bar electrode 87 in the X direction, and the value ep represents the number of bus bar electrodes 87 in one solar cell SC (two in the example of FIG. 7). It is. At the time of the process in step S278, the variable k designates the last bus bar electrode 87 on the right side of each solar cell SC arranged in the X direction by the end of the circulation process in steps S266 to S274. It is the value of. Therefore, when processing the leftmost solar cell SC in FIG. 7, all the coordinates (n, m) in the X direction sandwiched between the positions of the bus bar electrodes 87 at both ends in the X direction of the leftmost solar cell SC. Among them, the coordinates of the position in the Y direction designated by the value {Avem (s) − (2-q) · ce / 3} are designated. The value Avem (s) represents the center position in the Y direction of the bus bar electrode 87 of the solar cell SC in the Y direction specified by the variable s, and the value ce is substantially equal to the length of the bus bar electrode 87 in the Y direction. First, when the variable q is “1”, the bus bar electrode from the center position in the Y direction of the bus bar electrode 87 among all the coordinates (n, m) in the X direction sandwiched between the positions of the bus bar electrode 87. Current magnitude data Ix (n, m) in the X direction corresponding to the coordinates (n, m) of the Y direction position that is smaller by 1/3 of the length of 87 is extracted.

前記ステップS278の処理後、コントローラ70は、ステップS280にて、前記抽出したX方向の電流の大きさデータIx(n,m)を用いて次の計算を実行する。まず、抽出した全ての大きさデータIx(n,m)の平均値Iavexを計算する。次に、この平均値の絶対値|Iavex|を前記ステップS262の処理によって計算したX方向の電流の大きさのトータル平均値の絶対値|Iavtx|で除算して、除算結果をバスバー電極87間の電流レベルを評価するための評価値データF(t,s,q)としてRAM又は記憶装置に記憶しておく。   After the process of step S278, the controller 70 performs the following calculation using the extracted current magnitude data Ix (n, m) in the X direction in step S280. First, an average value Iavex of all the extracted size data Ix (n, m) is calculated. Next, the absolute value | Iavex | of the average value is divided by the absolute value | Iavtx | of the total average value of the current magnitude in the X direction calculated by the process of step S262, and the division result is obtained between the bus bar electrodes 87. Is stored in the RAM or storage device as evaluation value data F (t, s, q) for evaluating the current level.

次に、コントローラ70は、ステップS282にて変数qが「3」に達したか否かを判定する。そして、変数qが「3」に達していなければ、コントローラ70は、ステップS282にて「No」と判定し、ステップS283にて変数qに「1」を加算して、前述したステップS278,S280の処理を実行する。この場合、変数qは「2」であるので、ステップS278の処理においては、前記バスバー電極87の位置に挟まれたX方向の全ての座標(n,m)のうちで、バスバー電極87のY方向の中央位置の座標(n,m)に対応したX方向の電流の大きさデータIx(n,m)が抽出される。そして、この抽出した大きさデータIx(n,m)に関しても、ステップS280の処理により、平均値Iavexが計算され、この平均値Iavexを用いて評価値データF(t,s,q)=|Iavex|/|Iavtx|が計算されてRAM又は記憶装置に記憶される。   Next, the controller 70 determines whether or not the variable q has reached “3” in step S282. If the variable q does not reach “3”, the controller 70 determines “No” in step S282, adds “1” to the variable q in step S283, and performs the above-described steps S278 and S280. Execute the process. In this case, since the variable q is “2”, in the process of step S278, among all the coordinates (n, m) in the X direction sandwiched between the positions of the bus bar electrode 87, the Y of the bus bar electrode 87 is determined. The current magnitude data Ix (n, m) in the X direction corresponding to the coordinates (n, m) of the center position in the direction is extracted. With respect to the extracted magnitude data Ix (n, m), the average value Iavex is calculated by the processing in step S280, and the evaluation value data F (t, s, q) = | Iavex | / | Iavtx | is calculated and stored in the RAM or the storage device.

そして、ステップS282の判定処理がふたたび実行される。この場合も、変数qは「3」に達していないので、コントローラ70は、前記ステップS283,S278、S280の処理を実行する。この場合、変数qは「3」に設定されているので、ステップS278の処理においては、前記バスバー電極87の位置に挟まれたX方向の全ての座標(n,m)のうちで、バスバー電極87のY方向の中央位置からバスバー電極87の長さの1/3だけ大きなY方向位置の座標(n,m)に対応したX方向の電流の大きさデータIx(n,m)が抽出される。そして、この場合も、抽出した大きさデータIx(n,m)に関しても、ステップS280の処理により、平均値Iavexが計算され、この平均値Iavexを用いて評価値データF(t,s,q)=|Iavex|/|Iavtx|が計算されてRAM又は記憶装置に記憶される。前記ステップS278の処理後、変数qは「3」であるので、コントローラ70は、ステップS282にて「Yes」と判定して、図6HのステップS284に進む。なお、この時点では、変数t,sによって指定される1つの太陽電池セルSCに関して、評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)がRAM又は記憶装置に記憶されている。   Then, the determination process in step S282 is executed again. Also in this case, since the variable q has not reached “3”, the controller 70 executes the processes of steps S283, S278, and S280. In this case, since the variable q is set to “3”, in the process of step S278, the bus bar electrode out of all the coordinates (n, m) in the X direction sandwiched between the positions of the bus bar electrode 87. Current magnitude data Ix (n, m) in the X direction corresponding to the coordinate (n, m) of the Y direction position that is 1/3 of the length of the bus bar electrode 87 is extracted from the center position in the Y direction of 87. The In this case, the average value Iavex is also calculated for the extracted size data Ix (n, m) by the processing in step S280, and the evaluation value data F (t, s, q is calculated using the average value Iavex. ) = | Iavex | / | Iavtx | is calculated and stored in the RAM or the storage device. Since the variable q is “3” after the process in step S278, the controller 70 determines “Yes” in step S282, and proceeds to step S284 in FIG. 6H. At this time, the evaluation data A (t, s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep) for one solar cell SC specified by the variables t, s. , D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1 to 3) are stored in the RAM or storage device.

ステップS284においては、コントローラ70は、変数t,sによって指定される太陽電池セルSCに関して、評価データB(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)がそれぞれ許容値よりも大きいか否かを判定する。この場合、許容値は、太陽電池セルSCの異常を判定するための、各評価データごとに予め決められた値である。そして、評価データB(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)のうちのいずれか1つでも許容値よりも大きければ、コントローラ70は、ステップS284にて「Yes」と判定して、ステップS286にて変数t,sによって指定されるエラーデータEr(t,s)を太陽電池セルSCの異常を表す“1”に設定して、ステップS288に進む。なお、エラーデータEr(t,s)は、初期において全て正常を表す“0”に設定されている。一方、全ての評価データB(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)がそれぞれ許容値以下であれば、コントローラ70は、ステップS284にて「No」と判定して、ステップS288に進む。   In step S284, the controller 70 performs evaluation data B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep) for the solar cell SC specified by the variables t and s. ), E (t, s), and F (t, s, q) (q = 1 to 3) are each determined as to whether they are larger than the allowable values. In this case, the allowable value is a value determined in advance for each evaluation data for determining the abnormality of the solar battery cell SC. Evaluation data B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1) If any one of (3) to (3) is larger than the allowable value, the controller 70 determines “Yes” in step S284, and in step S286, the error data Er ( t, s) is set to “1” representing the abnormality of the solar battery cell SC, and the process proceeds to step S288. The error data Er (t, s) is initially set to “0” indicating normality. On the other hand, all evaluation data B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1 to 3) is less than or equal to the allowable value, the controller 70 determines “No” in step S284 and proceeds to step S288.

ステップS288においては、コントローラ70は、変数tが前記入力したX方向の太陽電池セルSCの数tmaxに達したか否かを判定する(図7参照)。変数tがX方向の太陽電池セルSCの数tmaxに達していなければ、コントローラ70は、ステップS288にて「No」と判定し、ステップS290にて変数tに「1」を加算し、ステップS292にて変数ep,qを初期値「1」に戻して、図6GのステップS274に戻る。そして、コントローラ70は、前述した図6GのステップS266〜S283及び図6HのステップS284,S286の処理を繰り返し実行して、変数t,sによって指定される太陽電池セルSCの評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)及びエラーデータEr(t,s)を計算してRAM又は記憶装置に記憶する。そして、これらの図6GのステップS266〜S283及び図6HのステップS284,S286の処理を、変数tがX方向の太陽電池セルSCの数tmaxに達するまで行い、変数nがX方向の太陽電池セルSCの数tmaxに達すると、コントローラ70は、ステップS288にて「Yes」と判定して、ステップS294に進む。その結果、図7の最も左側から最も右側の太陽電池セルSCに関する評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)及びエラーデータEr(t,s)がRAM又は記憶装置に記憶されることになる。   In step S288, the controller 70 determines whether or not the variable t has reached the input number tmax of solar cells SC in the X direction (see FIG. 7). If the variable t has not reached the number tmax of the solar cells SC in the X direction, the controller 70 determines “No” in step S288, adds “1” to the variable t in step S290, and performs step S292. The variables ep and q are returned to the initial value “1” and the process returns to step S274 in FIG. 6G. Then, the controller 70 repeatedly executes the processes of steps S266 to S283 of FIG. 6G and steps S284 and S286 of FIG. 6H described above to evaluate the evaluation data A (t, t of the solar cell SC specified by the variables t and s. s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1-3) and error data Er (t, s) are calculated and stored in the RAM or storage device. Then, the processes in steps S266 to S283 in FIG. 6G and steps S284 and S286 in FIG. 6H are performed until the variable t reaches the number tmax of the solar cells SC in the X direction, and the variable n is the solar cell in the X direction. When the SC number tmax is reached, the controller 70 determines “Yes” in step S288, and proceeds to step S294. As a result, the evaluation data A (t, s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1 to 3) and error data Er (t, s) are stored in the RAM or the storage device.

ステップS294においては、コントローラ70は、変数sが前記入力したY方向の太陽電池セルSCの数smaxに達したか否かを判定する(図7参照)。変数sがY方向の太陽電池セルSCの数smaxに達していなければ、コントローラ70は、ステップS294にて「No」と判定し、ステップS296変数sに「1」を加算し、ステップS298にて変数k,t,ep,qを初期値「1」に戻して、図6GのステップS266に戻る。そして、コントローラ70は、前述した図6GのステップS266〜S283及び図6HのステップS284〜S292の処理を繰り返し実行して、変数t,sによって指定される太陽電池セルSCの評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)及びエラーデータEr(t,s)を計算してRAM又は記憶装置に記憶する。そして、これらの図6GのステップS266〜S283及び図6HのステップS284〜S292の処理を、変数sがY方向の太陽電池セルSCの数smaxに達するまで行い、変数nがY方向の太陽電池セルSCの数smaxに達すると、コントローラ70は、ステップS294にて「Yes」と判定して、ステップS300に進む。その結果、図7の全ての太陽電池セルSCに関する評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s),F(t,s,q)(q=1〜3)及びエラーデータEr(t,s)がRAM又は記憶装置に記憶されることになる。   In step S294, the controller 70 determines whether or not the variable s has reached the input number of solar cells SC in the Y direction smax (see FIG. 7). If the variable s has not reached the number smax of solar cells SC in the Y direction, the controller 70 determines “No” in step S294, adds “1” to the variable s in step S296, and in step S298. The variables k, t, ep, and q are returned to the initial value “1”, and the process returns to step S266 in FIG. 6G. Then, the controller 70 repeatedly executes the processes of steps S266 to S283 in FIG. 6G and steps S284 to S292 in FIG. 6H described above to evaluate the evaluation data A (t, t of the solar cell SC specified by the variables t and s. s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep), E (t, s), F (t, s, q) (q = 1-3) and error data Er (t, s) are calculated and stored in the RAM or storage device. Then, the processes in steps S266 to S283 in FIG. 6G and steps S284 to S292 in FIG. 6H are performed until the variable s reaches the number smax of solar cells SC in the Y direction, and the variable n is the solar cell in the Y direction. When the number of SCs smax is reached, the controller 70 determines “Yes” in step S294 and proceeds to step S300. As a result, evaluation data A (t, s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (t, s, ep) regarding all the solar cells SC in FIG. , E (t, s), F (t, s, q) (q = 1 to 3) and error data Er (t, s) are stored in the RAM or the storage device.

ステップS300においては、コントローラ70は、前記RAM又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータIxy(n,m)、電流の方向データθixy(n,m)、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)及びY方向の電流の大きさデータIy(n,m)(n=1〜N,m=1〜M)から表示用画像データを生成して、表示装置72に画像データによって表された画像を表示する。この画像は、例えば、太陽電池セルSCの検査位置ごとに、電流の大きさデータIxy(n,m)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとともに、電流の方向データθixy(n,m)によって示された方向を示す矢印を表示する。また、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)及びY方向の電流の大きさデータIy(n,m)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとよい。この場合、バスバー電極87がX方向に延設されていて変数CHが“1”である場合には、表示装置72における電流の大きさデータIxy(m,n)の表示状態を90度回転させる。   In step S300, the controller 70 stores current magnitude data Ixy (n, m), current direction data θixy (n, m), current magnitude data Ix (X direction) stored in the RAM or storage device. n, m) and Y direction current magnitude data Iy (n, m) (n = 1 to N, m = 1 to M) are generated and displayed on the display device 72 by the image data. Displayed images. This image is displayed, for example, with different brightness and color according to the current magnitude data Ixy (n, m) for each inspection position of the solar cell SC, and the current direction data θixy (n, m, An arrow indicating the direction indicated by m) is displayed. Further, the brightness, color, and the like may be displayed in accordance with the current magnitude data Ix (n, m) in the X direction and the current magnitude data Iy (n, m) in the Y direction. In this case, when the bus bar electrode 87 is extended in the X direction and the variable CH is “1”, the display state of the current magnitude data Ixy (m, n) in the display device 72 is rotated by 90 degrees. .

図14A乃至図14Cは、1つ太陽電池セルSCに関する表示例を示している。図14Aは、図10Aの正常及び断線異常に対応した例である。(A)は太陽電池セルが正常の場合であり、(B)は左側のバスバー電極87側の表面側接続線に断線が生じた場合であり、(C)は左側の裏面電極81側の裏面側接続線に断線が生じた場合である。図14Bは、図10Bの正常及び抵抗増大に対応した例である。(A)は太陽電池セルが正常の場合であり、(B)は左側のバスバー電極87側の表面側接続線として50cmの導線を追加した場合であり、(C)は左側のバスバー電極87側の表面側接続線として150cmの導線を追加した場合である。図14Cは、図10Bの正常及びバスバー電極87とグリッド電極86との接続不良に対応した例である。(A)は太陽電池セルが正常の場合であり、(B)は左側のバスバー電極87とグリッド電極86とが接続不良の場合である。   14A to 14C show display examples related to one solar cell SC. FIG. 14A is an example corresponding to the normality and disconnection abnormality of FIG. 10A. (A) is a case where the solar battery cell is normal, (B) is a case where a disconnection occurs in the surface side connection line on the left bus bar electrode 87 side, and (C) is a back surface on the left back electrode 81 side. This is a case where a break occurs in the side connection line. FIG. 14B is an example corresponding to the normality and resistance increase of FIG. 10B. (A) is a case where the solar cell is normal, (B) is a case where a 50 cm conductive wire is added as a surface side connection line on the left bus bar electrode 87 side, and (C) is a left bus bar electrode 87 side. This is a case where a lead wire of 150 cm is added as the surface-side connecting wire. FIG. 14C is an example corresponding to the normal state and the connection failure between the bus bar electrode 87 and the grid electrode 86 in FIG. 10B. (A) is a case where the solar cell is normal, and (B) is a case where the left bus bar electrode 87 and the grid electrode 86 are poorly connected.

前記ステップS300の処理後、コントローラ70は、ステップS302にて、エラーデータEr(t,s)(t=1〜tmax,s=1〜smax)の中に“1”を示すエラーデータが存在するかを調べる。“1”を示すエラーデータが存在しなければ、コントローラ70は、ステップS302にて「No」と判定して、ステップS304にて表示装置72に「合格」を表示し、ステップS314にてこの評価プログラムの実行を終了する。一方、“1”を示すエラーデータが存在すると、コントローラ70は、ステップS302にて「Yes」と判定して、ステップS306にて表示装置72に「不合格」を表示し、ステップS308にて、エラーデータE(t,s)が“1”である変数t,sを取り出して、前記表示した画像中の変数t,sによって指定される太陽電池セルSCを欠陥ありの太陽電池セルSCとして表示する。   After the processing in step S300, in step S302, the controller 70 includes error data indicating “1” in the error data Er (t, s) (t = 1 to tmax, s = 1 to smax). Find out. If there is no error data indicating “1”, the controller 70 determines “No” in step S302, displays “pass” on the display device 72 in step S304, and evaluates this in step S314. Terminates program execution. On the other hand, if there is error data indicating “1”, the controller 70 determines “Yes” in Step S302, displays “Fail” on the display device 72 in Step S306, and in Step S308, The variables t and s whose error data E (t, s) is “1” are extracted, and the solar cell SC specified by the variables t and s in the displayed image is displayed as a defective solar cell SC. To do.

次に、図6BのステップS156にて「Yes」、図6EのステップS222にて「No」、図6FのステップS252にて「No」と判定されて、図9HのステップS310,S312の処理に進められた場合について説明する。これらは、入力ミス、検査装置の異常などにより太陽電池セルSCの自動的な合否の判定が不能であったり、不能である可能性が高い場合である。この場合も、コントローラ70は、ステップS310にて、前記ステップS300の処理と同様に、電流の大きさデータIxy(n,m)、電流の方向データθixy(n,m)、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)及びY方向の電流の大きさデータIy(n,m)(n=1〜N,m=1〜M)から表示用画像データを生成して、表示装置72に画像データによって表された画像を表示する。次に、コントローラ70は、ステップS312にて、「太陽電池セルSCの合否判定は不能」である旨を表示装置72に表示して、ステップS314にてこの評価プログラムの実行を終了する。   Next, “Yes” is determined in step S156 in FIG. 6B, “No” is determined in step S222 in FIG. 6E, and “No” is determined in step S252 in FIG. 6F, and the processing in steps S310 and S312 in FIG. The case where it advanced is demonstrated. These are cases where the automatic pass / fail determination of the solar battery cell SC is impossible or highly possible due to an input error, an abnormality in the inspection device, or the like. Also in this case, the controller 70, in step S310, similarly to the processing in step S300, the current magnitude data Ixy (n, m), the current direction data θixy (n, m), and the current in the X direction. Display image data is generated from the magnitude data Ix (n, m) and the magnitude data Iy (n, m) (n = 1 to N, m = 1 to M) of the current in the Y direction, and the display device 72. The image represented by the image data is displayed on the screen. Next, in step S312, the controller 70 displays on the display device 72 that “success / failure determination of the solar battery cell SC is impossible”, and ends the execution of the evaluation program in step S314.

上記のように動作する実施形態においては、発光素子50は、発光信号供給回路65及び光源駆動回路66の駆動制御により、ステージ40上に載置した太陽電池パネルSPの表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を均等に照射する。そして、X方向及びY方向スライド機構20,30により、磁気センサ10で太陽電池パネルSPの表面全体を走査し、センサ信号取出回路67及びロックインアンプ68が、太陽電池パネルSPに発電によって流れる電流により発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。したがって、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルSPに対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。   In the embodiment that operates as described above, the light emitting element 50 has a predetermined cycle over the entire surface of the solar cell panel SP placed on the stage 40 by the drive control of the light emission signal supply circuit 65 and the light source drive circuit 66. Irradiate light with varying intensity evenly. Then, the X and Y direction slide mechanisms 20 and 30 scan the entire surface of the solar cell panel SP with the magnetic sensor 10, and the sensor signal extraction circuit 67 and the lock-in amplifier 68 flow through the solar cell panel SP by power generation. , And a magnetic field whose intensity changes with a period equal to the predetermined period is detected. Therefore, even if disturbance light or an external magnetic field exists, the magnetic field can be detected at a plurality of locations facing the solar cell panel SP without being affected by these costs while suppressing costs.

そして、前記検出結果に基づいて、コントローラ70は、ステップS10〜S41,S100〜S124の処理により、太陽電池パネルSPに対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、太陽電池パネルSPの複数の箇所における電流の大きさの分布を計算する。したがって、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルSPの複数の箇所における電流の大きさの分布を的確に得ることができる。さらに、上記実施形態においては、コントローラ70は、ステップS300,S310の処理により、前記計算された電流の大きさの分布を表示装置72に表示する。その結果、作業者は、太陽電池パネルSPの複数の箇所における電流の大きさの分布を視覚を通じて認識でき、分布の異常から太陽電池パネルSPの正常及び異常を判断できるようになる。   And based on the said detection result, the controller 70 is the process of step S10-S41, S100-S124. Based on the detection result of the magnetic field in the several location which opposes solar cell panel SP, several of solar cell panel SP is obtained. The distribution of the magnitude of the current at the location is calculated. Therefore, even if ambient light or an external magnetic field is present, the cost can be suppressed and the distribution of current magnitudes at a plurality of locations of the solar cell panel SP can be accurately obtained without being affected by these effects. it can. Further, in the above-described embodiment, the controller 70 displays the calculated current magnitude distribution on the display device 72 by the processes of steps S300 and S310. As a result, the operator can visually recognize the distribution of current magnitudes at a plurality of locations of the solar cell panel SP, and can determine whether the solar cell panel SP is normal or abnormal from the distribution abnormality.

また、上記実施形態においては、コントローラ70は、ステップS170〜S214,S220〜S256,S260〜S298の処理により、前記太陽電池パネルSPの複数の箇所における電流の大きさの分布に基づいて、複数のバスバー電極87の延設方向の各部に流れる電流の大きさに関する特性を表す評価データB,C,D,Eと、複数のバスバー電極87間に流れる電流の大きさの分布に関する特性を表す評価データFを計算するとともに、これらの評価データB,C,D,E,Fを用いて太陽電池パネルSPの合否の判定を自動的に行うようにした。これらの評価データB,C,D,E,Fは、実験の結果、太陽電池パネルSPにおいて、電極間の断線、電極間の接触不良等がある異常な状態では正常な状態から大きく変化することが分かっている。したがって、これらの評価データB,C,D,E,Fを用いることで、太陽電池パネルSPの合否の判定は的確に行われる。   Moreover, in the said embodiment, the controller 70 is based on distribution of the magnitude | size of the electric current in the several location of the said solar cell panel SP by the process of step S170-S214, S220-S256, S260-S298. Evaluation data B, C, D, E representing characteristics relating to the magnitude of the current flowing in each part in the extending direction of the bus bar electrode 87 and evaluation data representing characteristics relating to the distribution of the magnitude of the current flowing between the plurality of bus bar electrodes 87. In addition to calculating F, the evaluation data B, C, D, E, and F are used to automatically determine whether the solar cell panel SP is acceptable. These evaluation data B, C, D, E, and F show that, as a result of the experiment, the solar cell panel SP changes greatly from the normal state in an abnormal state where there is a disconnection between the electrodes, a poor contact between the electrodes, or the like. I know. Therefore, by using these evaluation data B, C, D, E, and F, the pass / fail judgment of the solar cell panel SP is accurately performed.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the object of the present invention.

上記実施形態では、複数の太陽電池セルSCを有する太陽電池パネルSPを検査するようにした。しかし、本発明は、これに代えて、太陽電池SCを個々に検査する検査装置にも適用できる。   In the above embodiment, the solar battery panel SP having the plurality of solar battery cells SC is inspected. However, the present invention can be applied to an inspection apparatus that individually inspects the solar cells SC instead.

また、上記実施形態においては、1つの太陽電池セルSCの両端部のバスバー電極87間のX方向の電流の大きさデータIx(m,n)の分布に関して、図6GのステップS278〜S282の処理によりY方向の3箇所の分布を計算するようにした。しかし、この分布に関しては、3箇所よりも少ない1箇所又は2箇所であってもよいし、4箇所以上であってもよい。また、1つの太陽電池セルSCの両端部のバスバー電極87間全体のX方向の電流の大きさデータIx(m,n)の平均を計算するようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, regarding the distribution of the magnitude | size data Ix (m, n) of the electric current of the X direction between the bus-bar electrodes 87 of the both ends of one solar cell SC, the process of step S278-S282 of FIG. Thus, the distribution at three locations in the Y direction is calculated. However, this distribution may be one or two places less than three, or four or more places. Alternatively, the average of the current magnitude data Ix (m, n) in the X direction across the bus bar electrodes 87 at both ends of one solar cell SC may be calculated.

また、上記実施形態においては、X方向電極番号gx及びY方向電極番号gyを電極位置座標Bxy(n,m)に割当てる図6C及び図6DのステップS170〜S214の処理において、電流の大きさデータIxy(n,m)を用いてバスバー電極87の位置を検出するようにした。しかし、バスバー電極87位置を流れる電流の向きはほぼY方向であるので、前記電流の大きさデータIxy(n,m)に代えて、Y方向の電流の大きさデータIy(n,m)を用いるようにしてもよい。さらに、上記実施形態においては、バスバー電極87に流れる電流の評価のための評価データA(t,s,ep),B(t,s,ep),C(t,s,ep),D(t,s,ep),E(t,s)の算出のための図6GのステップS260,S266〜S276の処理において、Y方向の電流の大きさデータIy(n,m)を用いた。しかし、前記のように、バスバー電極87位置を流れる電流の向きはほぼY方向であるので、前記Y方向の電流の大きさデータIy(n,m)に代えて、電流の大きさデータIxy(n,m)を用いるようにしてもよい。また、評価データF(t,s,q)の算出のための図6GのステップS262,S278〜S283の処理において、X方向の電流の大きさデータIx(n,m)を用いた。しかし、バスバー電極87間を流れる電流の向きは主にX方向であるので、前記X方向の電流の大きさデータIx(n,m)に代えて、電流の大きさデータIxy(n,m)を用いるようにしてもよい。   Further, in the above-described embodiment, the current magnitude data in the processing of steps S170 to S214 in FIGS. 6C and 6D in which the X-direction electrode number gx and the Y-direction electrode number gy are assigned to the electrode position coordinates Bxy (n, m). The position of the bus bar electrode 87 is detected using Ixy (n, m). However, since the direction of the current flowing through the bus bar electrode 87 is substantially in the Y direction, the current magnitude data Iy (n, m) in the Y direction is used instead of the current magnitude data Ixy (n, m). You may make it use. Furthermore, in the above embodiment, the evaluation data A (t, s, ep), B (t, s, ep), C (t, s, ep), D (for evaluating the current flowing through the bus bar electrode 87 is used. In the processing of steps S260 and S266 to S276 in FIG. 6G for calculating t, s, ep) and E (t, s), current magnitude data Iy (n, m) in the Y direction is used. However, as described above, since the direction of the current flowing through the bus bar electrode 87 is substantially the Y direction, the current magnitude data Ixy (n, m) is substituted for the current magnitude data Iy (n, m) in the Y direction. n, m) may be used. Further, in the processing of steps S262 and S278 to S283 in FIG. 6G for calculating the evaluation data F (t, s, q), the current magnitude data Ix (n, m) in the X direction is used. However, since the direction of the current flowing between the bus bar electrodes 87 is mainly in the X direction, instead of the current magnitude data Ix (n, m) in the X direction, current magnitude data Ixy (n, m) May be used.

また、上記実施形態及び変形例では、図6AのステップS104〜S112の処理より、磁気センサ10の検出位置のX方向磁気検出信号の極大値Hx、X方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θx、Y方向磁気検出信号の極大値Hy、Y方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θy、磁界の強さHxy及び磁界の向きθxyを計算して、ステップS112,S114の処理により、磁気センサ10の検出位置の電流の大きさIxy(n,m)、前記電流の方向θixy(n,m)、X方向の電流の大きさIx(n,m)及びY方向の電流の大きさIy(n,m)を計算した。そして、これらの電流の大きさIxy(n,m)、前記電流の方向θixy(n,m)、X方向の電流の大きさIx(n,m)及びY方向の電流の大きさIy(n,m)を用いて、太陽電池セルSCに関する評価データを計算して太陽電池セルSCを評価するようにした。しかし、電流の大きさIxyは磁界の大きさHxyに比例しており、電流の方向θixyは磁界の方向θxyとπ/2異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ10の各検出位置のX方向磁気検出信号の極大値Hx、Y方向磁気検出信号の極大値Hy及び磁界の強さHxyを、上記実施形態のX方向の電流の大きさIx(n,m)、Y方向の電流の大きさIy(n,m)及び電流の大きさIxy(n,m)に代えて用いることにより、各太陽電池セルSCに関する評価データを計算して太陽電池パネルSPを評価するようにしてもよい。   Further, in the above embodiment and the modified example, the maximum value Hx of the X direction magnetic detection signal at the detection position of the magnetic sensor 10 and the phase shift amount with respect to the reference signal of the X direction magnetic detection signal are obtained by the processing of Steps S104 to S112 in FIG. θx, the maximum value Hy of the Y-direction magnetic detection signal, the phase shift amount θy with respect to the reference signal of the Y-direction magnetic detection signal, the magnetic field strength Hxy, and the magnetic field direction θxy are calculated, and the process of steps S112 and S114 is performed. The current magnitude Ixy (n, m) at the detection position of the sensor 10, the current direction θixy (n, m), the current magnitude Ix (n, m) in the X direction, and the current magnitude Iy in the Y direction (n, m) was calculated. The current magnitude Ixy (n, m), the current direction θixy (n, m), the X-direction current magnitude Ix (n, m), and the Y-direction current magnitude Iy (n , M), the evaluation data on the solar cell SC is calculated to evaluate the solar cell SC. However, the current magnitude Ixy is proportional to the magnetic field magnitude Hxy, and the current direction θixy only differs from the magnetic field direction θxy by π / 2. Therefore, the maximum value Hx of the X-direction magnetic detection signal, the maximum value Hy of the Y-direction magnetic detection signal, and the magnetic field strength Hxy at each detection position of the magnetic sensor 10 can be obtained without converting the information about the magnetic field into information about the current. By using instead of the current magnitude Ix (n, m), the current magnitude Iy (n, m) in the Y direction and the current magnitude Ixy (n, m) in the above embodiment, You may make it evaluate solar cell panel SP by calculating the evaluation data regarding each photovoltaic cell SC.

また、上記実施形態では、バスバー電極87の位置を自動的に検出し、検出した位置の電流の大きさの分布に関する評価データを計算して、各太陽電池セルSCの合否判定を行うようにした。しかし、これに代えて、作業者が表示装置72に表示される電流分布の画像を見てバスバー電極87の位置をコントローラ70に指示し、コントローラ70がこの指示された位置の電流の大きさの分布に関する評価データを計算して、各太陽電池セルSCの合否判定を行うようにしてもよい。また、コントローラ70は、合否判定まで行わなくて、評価データを計算して表示装置72に表示し、作業者に各太陽電池セルSCの合否判定を行わせるようにしてもよい。さらに、コントローラ70は、評価データの計算も行わずに、電流分布を図10のようなグラフや図14のような画像で表示装置72に表示し、作業者はこの表示を見て各太陽電池セルSCの合否を判定するようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, the position of the bus-bar electrode 87 was detected automatically, the evaluation data regarding the distribution of the magnitude | size of the electric current of the detected position was calculated, and the pass / fail judgment of each solar cell SC was performed. . However, instead, the operator looks at the current distribution image displayed on the display device 72 and instructs the position of the bus bar electrode 87 to the controller 70, and the controller 70 determines the magnitude of the current at the indicated position. You may make it perform the pass / fail determination of each photovoltaic cell SC by calculating the evaluation data regarding distribution. In addition, the controller 70 may calculate the evaluation data and display it on the display device 72 without performing the pass / fail determination, and allow the operator to perform the pass / fail determination of each solar cell SC. Further, the controller 70 displays the current distribution on the display device 72 as a graph as shown in FIG. 10 or an image as shown in FIG. 14 without calculating the evaluation data. You may make it determine the pass / fail of the cell SC.

また、上記実施形態及び変形例においては、磁気センサ10を載置したステージ40をX,Y方向に移動するようにした。しかし、これに代えて、検査対象物である太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCをセットするステージを複数の発光素子と共にX,Y方向に移動するようにしてもよい。また、双方のステージがX,Y方向に移動するようにしてもよい。さらには、磁気センサ10及び検査対象物である太陽電池パネルSP(又は太陽電池セルSC)をセットするステージを移動させずに、多数の磁気センサ10を、マトリクス状に配置するようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment and modification, the stage 40 which mounted the magnetic sensor 10 was moved to the X and Y directions. However, instead of this, the stage on which the solar cell panel SP or the solar cell SC that is the inspection object is set may be moved together with the plurality of light emitting elements in the X and Y directions. Further, both stages may move in the X and Y directions. Furthermore, a large number of magnetic sensors 10 may be arranged in a matrix without moving the stage on which the magnetic sensor 10 and the solar cell panel SP (or solar cell SC) that is the inspection object are moved. .

また、上記実施形態及び変形例においては、太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの各種評価データを計算して、各種評価データの値によって太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの合否を判定するようにした。しかし、検査対象である太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの形状及び大きさが1つに限定されていれば、正常な太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCに関する各種計算パラメータ(例えば、電流の大きさデータIxy(m、n)、X方向の電流の大きさデータIx(m,n)、Y方向の電流の大きさデータIx(m,n)など)との比較により、太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの合否判定を行うようにしてもよい。また、検査対象である太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの電流分布(又は磁界分布)と共に、正常な太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの電流分布(又は磁界分布)を表示して、作業者に対比観察により検査対象である太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCの合否判定を行わせるようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment and modification, various evaluation data of solar cell panel SP or photovoltaic cell SC are calculated, and the pass / fail of solar cell panel SP or photovoltaic cell SC is determined with the value of various evaluation data. I made it. However, if the shape and size of the solar cell panel SP or solar cell SC to be inspected are limited to one, various calculation parameters (for example, current of the normal solar cell panel SP or solar cell SC). Comparison with magnitude data Ixy (m, n), current magnitude data Ix (m, n) in the X direction, current magnitude data Ix (m, n) in the Y direction, etc.) Or you may make it perform the pass / fail determination of the photovoltaic cell SC. Also, the current distribution (or magnetic field distribution) of the normal solar panel SP or solar cell SC is displayed together with the current distribution (or magnetic field distribution) of the solar panel SP or solar cell SC to be inspected. A person may be allowed to make a pass / fail judgment on the solar cell panel SP or the solar cell SC to be inspected by contrast observation.

また、上記実施形態においては、複数の発光素子(LED)50をマトリクス状に配置した光源を利用したが、検査対象物である太陽電池パネルSP又は太陽電池セルSCをセットするステージ40上の光量が均一になるならば、どのような光源でもよく、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the light source which has arrange | positioned several light emitting element (LED) 50 in the matrix form was utilized, the light quantity on the stage 40 which sets the solar cell panel SP or solar cell SC which is a test object Any light source such as a fluorescent lamp or a lamp may be used as long as it becomes uniform.

また、上記実施形態では、磁気センサとして磁気抵抗素子(MR素子)を利用したが、これに代えて、ホール素子、磁気インピーダンス素子効果センサ、フラックスゲート、超伝導量子干渉素子などを利用するようにしてもよい。   In the above embodiment, a magnetoresistive element (MR element) is used as the magnetic sensor. Instead, a Hall element, a magneto-impedance element effect sensor, a flux gate, a superconducting quantum interference element, or the like is used. May be.

10…磁気センサ、20…X方向スライド機構、25…X方向モータ、30…Y方向スライド機構、34…Y方向モータ、40…ステージ、50…発光素子、65…発光信号供給回路、67…センサ信号取出回路、68…ロックインアンプ、70…コントローラ、71…入力装置、72…表示装置、86…グリッド電極、87…バスバー電極、SP…太陽電離パネル、SC…太陽電池セル DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Magnetic sensor, 20 ... X direction slide mechanism, 25 ... X direction motor, 30 ... Y direction slide mechanism, 34 ... Y direction motor, 40 ... Stage, 50 ... Light emitting element, 65 ... Light emission signal supply circuit, 67 ... Sensor Signal extraction circuit, 68 ... Lock-in amplifier, 70 ... Controller, 71 ... Input device, 72 ... Display device, 86 ... Grid electrode, 87 ... Busbar electrode, SP ... Solar ionization panel, SC ... Solar cell

Claims (3)

電極間に導線を介して抵抗を接続した状態の検査対象物である太陽電池パネル又は太陽電池セルの表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を照射する光照射手段と、
前記光照射手段による光の照射によって前記検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を、前記検査対象物に対向する複数の箇所で検出する磁界検出手段と
前記磁界検出手段によって検出された前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、前記検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布を計算する分布計算手段と、
前記分布計算手段によって計算された前記検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布に基づいて、前記複数の電極の延設方向の各部に流れる電流の大きさの分布又は同電流による磁界の強さの分布に関する特性を表す第1特性値を電極ごとに計算する第1特性値計算手段と
を備えたことを特徴とする太陽電池検査装置。
A light irradiation means for irradiating light whose intensity changes at a predetermined cycle over the entire surface of the solar battery panel or solar battery cell that is an inspection object in a state where a resistance is connected between the electrodes,
A magnetic field generated when a current flows through the inspection object due to light irradiation by the light irradiation means, and a magnetic field whose intensity changes with a period equal to the predetermined period is a plurality of magnetic fields facing the inspection object. Magnetic field detection means for detecting at a location ;
Based on the magnetic field detection results at a plurality of locations facing the inspection object detected by the magnetic field detection means, the current magnitude distribution at the plurality of locations of the inspection object or the inspection object is opposed. A distribution calculating means for calculating the distribution of the magnetic field strength at a plurality of locations;
Based on the distribution of the magnitude of current at a plurality of locations of the inspection object calculated by the distribution calculating means or the distribution of the strength of the magnetic field at a plurality of locations facing the inspection object, the plurality of electrodes. First characteristic value calculating means for calculating, for each electrode, a first characteristic value representing a characteristic relating to a distribution of magnitude of current flowing in each part in the extending direction or a distribution of magnetic field strength due to the current. A solar cell inspection apparatus characterized by that.
電極間に導線を介して抵抗を接続した状態の検査対象物である太陽電池パネル又は太陽電池セルの表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を照射する光照射手段と、
前記光照射手段による光の照射によって前記検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を、前記検査対象物に対向する複数の箇所で検出する磁界検出手段と
前記磁界検出手段によって検出された前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、前記検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布を計算する分布計算手段と、
前記分布計算手段によって計算された前記検査対象物の複数の箇所における電流の大きさの分布又は前記検査対象物に対向する複数の箇所における磁界の強さの分布に基づいて、前記複数の電極間に流れる電流の大きさの分布又は同電流による磁界の強さの分布に関する特性を表す第2特性値を計算する第2特性値計算手段と
を備えたことを特徴とする太陽電池検査装置。
A light irradiation means for irradiating light whose intensity changes at a predetermined cycle over the entire surface of the solar battery panel or solar battery cell that is an inspection object in a state where a resistance is connected between the electrodes,
A magnetic field generated when a current flows through the inspection object due to light irradiation by the light irradiation means, and a magnetic field whose intensity changes with a period equal to the predetermined period is a plurality of magnetic fields facing the inspection object. Magnetic field detection means for detecting at a location ;
Based on the magnetic field detection results at a plurality of locations facing the inspection object detected by the magnetic field detection means, the current magnitude distribution at the plurality of locations of the inspection object or the inspection object is opposed. A distribution calculating means for calculating the distribution of the magnetic field strength at a plurality of locations;
Based on the distribution of the magnitude of the current at a plurality of locations of the inspection object calculated by the distribution calculating means or the distribution of the strength of the magnetic field at a plurality of locations facing the inspection object, between the plurality of electrodes. A second characteristic value calculating means for calculating a second characteristic value representing a characteristic relating to a distribution of the magnitude of the current flowing through the magnetic field or a distribution of the intensity of the magnetic field caused by the current. Inspection device.
請求項1又は2に記載した太陽電池検査装置において、さらに、
前記分布計算手段によって計算された電流の大きさの分布又は磁界の強さの分布を表示する表示手段を設けたことを特徴とする太陽電池検査装置。
In the solar cell inspection apparatus according to claim 1 or 2 ,
A solar cell inspection apparatus, comprising display means for displaying a current magnitude distribution or a magnetic field strength distribution calculated by the distribution calculating means.
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