JP4788453B2 - Liquid crystal device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、液晶装置及びその製造方法、並びに電子機器に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal device, a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus.

半透過反射型の液晶装置は、携帯電話や携帯情報端末等の表示デバイスとして広く用い
られている。ところで、半透過反射型の液晶装置では、反射表示と透過表示とを単一の液
晶層を用いて実現するために表示モード間での位相差の調整が必要である。そこで、下記
特許文献1では、透過表示領域と反射表示領域とで異なった位相差を有する位相差層を設
けることで、適切な反射表示及び透過表示を得られるようにしている。
特開2003−322857号公報
A transflective liquid crystal device is widely used as a display device such as a mobile phone or a portable information terminal. By the way, in a transflective liquid crystal device, it is necessary to adjust the phase difference between display modes in order to realize reflective display and transmissive display using a single liquid crystal layer. Therefore, in Patent Document 1 below, appropriate reflective display and transmissive display can be obtained by providing a retardation layer having a phase difference different between the transmissive display area and the reflective display area.
JP 2003-322857 A

特許文献1に記載の液晶装置によれば、液晶セルに位相差層を内蔵しているため、液晶
セルの外側に上記位相差の調整のためのλ/4位相差板等を設ける必要がなく、液晶装置
の薄型化や低コスト化を実現できる。しかしながら、液晶セルの内面側に設けられる位相
差層は、重合性液晶オリゴマーやコレステリック液晶が用いて形成されているため耐熱性
が低いものである。その一方で、位相差層とともに形成される液晶装置の構成部材には、
ITO(インジウム錫酸化物)膜等の特性を得るために加熱が必要なものもあり、これら
の構成部材の特性を出すために加熱を行うと、上記位相差層の位相差がずれてしまい所望
の表示特性を得られなくなるおそれがある。
According to the liquid crystal device described in Patent Document 1, since the retardation layer is built in the liquid crystal cell, there is no need to provide a λ / 4 retardation plate for adjusting the retardation on the outside of the liquid crystal cell. Therefore, it is possible to reduce the thickness and cost of the liquid crystal device. However, since the retardation layer provided on the inner surface side of the liquid crystal cell is formed using a polymerizable liquid crystal oligomer or cholesteric liquid crystal, the heat resistance is low. On the other hand, the constituent members of the liquid crystal device formed together with the retardation layer include:
Some of them require heating to obtain characteristics such as ITO (indium tin oxide) film. If heating is performed to obtain the characteristics of these constituent members, the retardation of the retardation layer is shifted and desired. The display characteristics may not be obtained.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、良好な光学特性を有す
る位相差層を具備して表示品質に優れ、また高歩留まりに製造可能な液晶装置とその製造
方法を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and includes a liquid crystal device having a retardation layer having good optical characteristics, excellent display quality, and capable of being manufactured at a high yield. It aims to provide a method.

本発明の液晶装置は、液晶層を挟持して対向配置された第1基板と第2基板とを備え、前記第1基板の前記液晶層側に、第1の焼成温度を有したポリイミド材料からなる第1配向膜が形成され、前記第2基板の前記液晶層側には、位相差層が形成されるとともに、第2の焼成温度を有したポリイミド材料からなる第2配向膜が前記位相差層を覆って形成されており、前記第1配向膜と前記第2配向膜とは異なるポリイミド材料からなり、前記第2配向膜の前記第2の焼成温度が、前記第1配向膜の前記第1の焼成温度より低い。 The liquid crystal device according to the present invention includes a first substrate and a second substrate that are arranged to face each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, and a polyimide material having a first baking temperature on the liquid crystal layer side of the first substrate. A first alignment film is formed, a retardation layer is formed on the liquid crystal layer side of the second substrate, and a second alignment film made of a polyimide material having a second baking temperature is formed on the retardation film. The first alignment film and the second alignment film are made of different polyimide materials, and the second baking temperature of the second alignment film is set to be different from that of the first alignment film. not low than 1 of the firing temperature.

このように位相差層を覆う第2配向膜について、第1配向膜よりもその焼成温度が低い
ポリイミド膜を用いることで、形成時の高温加熱を不要なものとし、比較的良好な配向規
制力を得つつ、位相差層の光学特性が損なわれるのを防止することができる。従って本発
明によれば、良好な光学特性を有する位相差層を具備して表示品質に優れ、また高歩留ま
りに製造可能な液晶装置を提供することができる。
Thus, the second alignment film covering the retardation layer uses a polyimide film whose firing temperature is lower than that of the first alignment film, thereby eliminating the need for high-temperature heating at the time of formation, and relatively good alignment regulating power. It is possible to prevent the optical properties of the retardation layer from being impaired. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a liquid crystal device that includes a retardation layer having good optical characteristics, is excellent in display quality, and can be manufactured at a high yield.

前記第1基板上に、互いの間に前記液晶層を駆動する電界を生じさせる第1電極と第2
電極とが形成されている構成であることが好ましい。すなわち、焼成温度の低い第2配向
膜が形成された前記第2基板側には電極が形成されていない液晶装置とすることが好まし
い。かかる構成の液晶装置としては、IPS(In-Plane Switching)方式やFFS(Frin
ge Field Switching)方式等の横電界方式の液晶装置を例示することができる。一方の基
板にのみ電極が形成されている液晶装置では、電極が形成された基板の配向膜については
良好な配向規制力が要求されるが、電極が形成されていない基板の配向膜については、必
要な配向規制力が小さくて済むため、第2配向膜の焼成温度が低くなっている本発明の液
晶装置の形態として好適である。
On the first substrate, a first electrode and a second electrode that generate an electric field for driving the liquid crystal layer between them.
A configuration in which electrodes are formed is preferable. That is, a liquid crystal device in which no electrode is formed on the second substrate side on which the second alignment film having a low baking temperature is formed is preferable. As the liquid crystal device having such a configuration, an IPS (In-Plane Switching) method or an FFS (Frin)
An example of the liquid crystal device is a horizontal electric field type such as a ge Field Switching type. In a liquid crystal device in which an electrode is formed only on one substrate, a good alignment regulating force is required for the alignment film of the substrate on which the electrode is formed, but for the alignment film on the substrate on which no electrode is formed, Since the necessary alignment regulating force is small, it is suitable as a form of the liquid crystal device of the present invention in which the firing temperature of the second alignment film is low.

1つのサブ画素領域内に反射表示を行う反射表示領域と透過表示を行う透過表示領域と
が設けられており、前記位相差層が、前記反射表示領域に選択的に形成されている構成と
することもできる。すなわち本発明の液晶装置は半透過反射型の液晶装置として構成する
ことができる。
A reflective display region for performing reflective display and a transmissive display region for performing transmissive display are provided in one sub-pixel region, and the retardation layer is selectively formed in the reflective display region. You can also. That is, the liquid crystal device of the present invention can be configured as a transflective liquid crystal device.

また前記位相差層の層厚によって、前記反射表示領域と前記透過表示領域とで前記液晶
層の層厚が異ならされている構成としてもよい。すなわち、前記位相差層がマルチギャッ
プ構造を実現するための液晶層厚調整層としても機能するものであってもよい。
Further, the thickness of the liquid crystal layer may be different between the reflective display region and the transmissive display region depending on the thickness of the retardation layer. That is, the retardation layer may function as a liquid crystal layer thickness adjusting layer for realizing a multi-gap structure.

また、前記位相差層の前記液晶層と反対側に、前記反射表示領域と前記透過表示領域と
で前記液晶層の層厚が異ならせる液晶層厚調整層が形成されている構成とすることもでき
る。マルチギャップ構造における液晶層厚調整層を別途設けることもできる。またかかる
構成において本発明では位相差層と第2基板との間に液晶層厚調整層を設けている。透明
な樹脂材料により構成される液晶層厚調整層の形成時の加熱によって位相差層の光学特性
が損なわれるのを防止できるからである。
In addition, a liquid crystal layer thickness adjusting layer may be formed on the opposite side of the retardation layer from the liquid crystal layer so that the reflective display region and the transmissive display region have different liquid crystal layer thicknesses. it can. A liquid crystal layer thickness adjusting layer in a multi-gap structure can also be provided separately. In such a configuration, in the present invention, a liquid crystal layer thickness adjusting layer is provided between the retardation layer and the second substrate. It is because it can prevent that the optical characteristic of a phase difference layer is impaired by the heating at the time of formation of the liquid-crystal layer thickness adjustment layer comprised with a transparent resin material.

本発明の液晶装置の製造方法は、液晶層を挟持して対向配置された第1基板と第2基板とを備え、前記第1基板の前記液晶層側に第1配向膜が形成され、前記第2基板の液晶層側に位相差層と該位相差層を覆う第2配向膜とが形成された液晶装置の製造方法であって、前記第2基板上に位相差層を形成する工程と、前記位相差層を覆うように配向膜形成材料を塗布する工程と、前記塗布された配向膜形成材料を前記位相差層の構成材料の相転移温度より低い温度で焼成する工程と、を含む。 The method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention includes a first substrate and a second substrate arranged to face each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, and a first alignment film is formed on the liquid crystal layer side of the first substrate, A method of manufacturing a liquid crystal device in which a retardation layer and a second alignment film covering the retardation layer are formed on the liquid crystal layer side of the second substrate, the step of forming the retardation layer on the second substrate; Applying an alignment film forming material so as to cover the retardation layer, and baking the applied alignment film forming material at a temperature lower than the phase transition temperature of the constituent material of the retardation layer. Mu

この製造方法によれば、第2配向膜の形成に際して位相差層の相転移温度より低い加熱
温度で加熱するので、位相差層を構成する高分子液晶等の配向が乱れて光学特性が損なわ
れるのを防止することができ、表示品質に優れた液晶装置を製造することができる。
According to this manufacturing method, since the second alignment film is heated at a heating temperature lower than the phase transition temperature of the retardation layer, the alignment of the polymer liquid crystal or the like constituting the retardation layer is disturbed and the optical characteristics are impaired. Can be prevented, and a liquid crystal device excellent in display quality can be manufactured.

前記配向膜形成材料として可溶性ポリイミドを用いることが好ましい。形成するポリイ
ミド膜のイミド化率が加熱により変化しにくく、所望のイミド化率を容易に得られ、第2
配向膜の配向規制力も安定するからである。また、溶媒の選択によってはさらに加熱温度
を下げられる点でも有利である。
Soluble polyimide is preferably used as the alignment film forming material. The imidization rate of the polyimide film to be formed is hardly changed by heating, and a desired imidization rate can be easily obtained.
This is because the alignment regulating force of the alignment film is also stabilized. Also, it is advantageous in that the heating temperature can be further lowered depending on the selection of the solvent.

本発明の液晶装置の製造方法は、前記位相差層を形成する工程に先立って、前記第2基
板上に、前記液晶層の層厚をサブ画素の平面領域内で異ならせる液晶層厚調整層を形成す
る工程を有する製造方法とすることもできる。このような製造方法とすることで、位相差
層が加熱されないようにすることができ、良好な光学特性の位相差層を具備したマルチギ
ャップ構造の液晶装置を製造することができる。
The method of manufacturing a liquid crystal device according to the present invention includes a liquid crystal layer thickness adjusting layer that varies the thickness of the liquid crystal layer on the second substrate in a plane area of the sub-pixels prior to the step of forming the retardation layer. It can also be set as the manufacturing method which has the process of forming. By using such a manufacturing method, the retardation layer can be prevented from being heated, and a multi-gap liquid crystal device including a retardation layer having good optical characteristics can be manufactured.

本発明の液晶装置の製造方法は、前記第1基板上に互いの間に前記液晶層を駆動する電界を生じさせる第1電極と第2電極とを形成する工程と、前記第1電極及び前記第2電極を覆う前記第1配向膜を形成する工程と、前記第1電極、前記第2電極、及び前記第1配向膜が形成された前記第1基板を、前記第2配向膜が形成された前記第2基板とシール材を介して貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法によれば、良好な光学特性の位相差層を具備した横電界方式の液晶装置を高歩留まりに製造することができる。 The method of manufacturing a liquid crystal device according to the present invention includes forming a first electrode and a second electrode that generate an electric field for driving the liquid crystal layer between the first substrate, the first electrode, Forming the first alignment film covering the second electrode; and forming the second alignment film on the first substrate on which the first electrode, the second electrode, and the first alignment film are formed. a step of bonding via the second substrate and the sealant was, that having a. According to this manufacturing method, a lateral electric field type liquid crystal device including a retardation layer having good optical characteristics can be manufactured with a high yield.

次に、本発明の電子機器は、先に記載の本発明の液晶装置を備える。この構成によれば、表示品質に優れかつ安価である表示部を具備した電子機器を提供することができる。
Next, an electronic apparatus of the present invention, obtain Bei the liquid crystal device of the present invention described above. According to this configuration, it is possible to provide an electronic apparatus including a display unit that is excellent in display quality and inexpensive.

(第1の実施形態)
以下、本発明の第1実施形態に係る液晶装置について図面を参照して説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態の液晶装置は、液晶に対して基板面方向の電界(横電界)を作用させ、配向
を制御することにより画像表示を行う横電界方式のうち、FFS(Fringe Field Switchi
ng)方式と呼ばれる方式を採用した液晶装置である。また、基板上にカラーフィルタを具
備したカラー液晶装置であり、R(赤)、G(緑)、B(青)の各色光を出射する3個の
サブ画素で1個の画素を構成するものとなっている。従って、表示を構成する最小単位と
なる表示領域を「サブ画素領域」と称し、一組(R,G,B)のサブ画素から構成される
表示領域を「画素領域」と称する。
The liquid crystal device according to the present embodiment is an FFS (Fringe Field Switchi) among horizontal electric field methods in which an image is displayed by controlling an orientation by applying an electric field (lateral electric field) in the substrate surface direction to liquid crystal.
ng) is a liquid crystal device adopting a method called a method. In addition, a color liquid crystal device having a color filter on a substrate, in which one pixel is composed of three sub-pixels that emit light of each color of R (red), G (green), and B (blue). It has become. Accordingly, a display area which is a minimum unit constituting display is referred to as a “sub-pixel area”, and a display area including a set (R, G, B) of sub-pixels is referred to as a “pixel area”.

図1は、本実施形態の液晶装置を構成するマトリクス状に形成された複数のサブ画素の
回路構成図である。図2は液晶装置100の任意の1サブ画素における平面構成図である
。図3は図2のA−A'線に沿う部分断面構成図である。
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a plurality of sub-pixels formed in a matrix that constitutes the liquid crystal device of the present embodiment. FIG. 2 is a plan configuration diagram of an arbitrary one subpixel of the liquid crystal device 100. FIG. 3 is a partial cross-sectional configuration diagram taken along the line AA ′ of FIG.

本実施形態の液晶装置100は、図3に示すように、互いに対向して配置されたTFT
アレイ基板(第1基板)10と対向基板(第2基板)20と、これらの基板10,20間
に挟持された液晶層50とを備え、TFTアレイ基板10の外面側にバックライト90を
配設してなる半透過反射型の液晶装置である。
As shown in FIG. 3, the liquid crystal device 100 according to the present embodiment includes TFTs arranged to face each other.
An array substrate (first substrate) 10, a counter substrate (second substrate) 20, and a liquid crystal layer 50 sandwiched between these substrates 10 and 20, and a backlight 90 is arranged on the outer surface side of the TFT array substrate 10. This is a transflective liquid crystal device.

なお、各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、
各層や各部材毎に縮尺を異ならせて表示している。
In each figure, in order to make each layer and each member recognizable on the drawing,
The scale is different for each layer and each member.

図1に示すように、液晶装置100の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成され
た複数のサブ画素領域には、それぞれ画素電極9と、画素電極9と電気的に接続されてサ
ブ画素をスイッチング制御するTFT30とが形成されており、データ線駆動回路101
から延びるデータ線6aがTFT30のソースに電気的に接続されている。データ線駆動
回路101は、画像信号S1、S2、…、Snをデータ線6aを介して各画素に供給する
。前記画像信号S1〜Snはこの順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数の
データ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
As shown in FIG. 1, a plurality of sub-pixel areas formed in a matrix that form an image display area of the liquid crystal device 100 are respectively connected to a pixel electrode 9 and a pixel electrode 9. The TFT 30 for switching control is formed, and the data line driving circuit 101 is formed.
A data line 6 a extending from the TFT is electrically connected to the source of the TFT 30. The data line driving circuit 101 supplies the image signals S1, S2,..., Sn to each pixel via the data line 6a. The image signals S1 to Sn may be supplied line-sequentially in this order, or may be supplied for each group to a plurality of adjacent data lines 6a.

TFT30のゲートには、走査線駆動回路102から延びる走査線3aが電気的に接続
されており、走査線駆動回路102から所定のタイミングで走査線3aにパルス的に供給
される走査信号G1、G2、…、Gmが、この順に線順次でTFT30のゲートに印加さ
れるようになっている。画素電極9はTFT30のドレインに電気的に接続されている。
そして、スイッチング素子であるTFT30が走査信号G1、G2、…、Gmの入力によ
り一定期間だけオン状態とされることで、データ線6aから供給される画像信号S1、S
2、…、Snが所定のタイミングで画素電極9に書き込まれるようになっている。
A scanning line 3 a extending from the scanning line driving circuit 102 is electrically connected to the gate of the TFT 30, and scanning signals G 1 and G 2 supplied in a pulsed manner from the scanning line driving circuit 102 to the scanning line 3 a at a predetermined timing. ,..., Gm are applied to the gate of the TFT 30 in line order in this order. The pixel electrode 9 is electrically connected to the drain of the TFT 30.
Then, the TFT 30 as a switching element is turned on for a certain period by the input of the scanning signals G1, G2,..., Gm, so that the image signals S1, S supplied from the data line 6a are turned on.
2, ..., Sn are written into the pixel electrode 9 at a predetermined timing.

画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは
、液晶を介して画素電極9と対向する共通電極との間で一定期間保持される。ここで、保
持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極9と共通電極との間に形成され
る液晶容量と並列に蓄積容量70が接続されている。蓄積容量70はTFT30のドレイ
ンと容量線3bとの間に設けられている。
Image signals S1, S2,..., Sn written to the liquid crystal via the pixel electrode 9 are held for a certain period between the common electrode facing the pixel electrode 9 via the liquid crystal. Here, in order to prevent the held image signal from leaking, a storage capacitor 70 is connected in parallel with the liquid crystal capacitor formed between the pixel electrode 9 and the common electrode. The storage capacitor 70 is provided between the drain of the TFT 30 and the capacitor line 3b.

図2に示すように、液晶装置100のサブ画素領域には、平面視略梯子状を成すY軸方
向に長手の画素電極(第1電極)9と、画素電極9と平面的に重なって配置された平面略
ベタ状の共通電極(第2電極)19とが設けられている。サブ画素領域の図示左上の端部
の角部(或いは各サブ画素領域の間隙)には、TFTアレイ基板10と対向基板20とを
所定間隔で離間した状態に保持するための柱状スペーサ40が立設されている。
As shown in FIG. 2, in the sub-pixel region of the liquid crystal device 100, a pixel electrode (first electrode) 9 that is substantially ladder-shaped in a plan view and that is long in the Y-axis direction is disposed so as to overlap the pixel electrode 9 in a planar manner. And a substantially flat solid common electrode (second electrode) 19 is provided. A columnar spacer 40 for holding the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 at a predetermined interval is provided at the corner (or the gap between the subpixel regions) at the upper left end of the subpixel region in the figure. It is installed.

画素電極9は、概略X軸方向に延びる複数本(図示では15本)の帯状電極9cと、こ
れらの帯状電極9cの図示左右方向の両端部と接続された平面視略矩形枠状の枠体部9a
とを備えて構成されており、前記複数の帯状電極9cは、互いに平行に均等な間隔でY軸
方向に配列されている。
The pixel electrode 9 includes a plurality of (15 in the figure) strip-like electrodes 9c extending substantially in the X-axis direction and a substantially rectangular frame-like frame in plan view connected to both ends of the strip-like electrodes 9c in the left-right direction in the figure. Part 9a
The plurality of strip electrodes 9c are arranged in the Y-axis direction at equal intervals in parallel with each other.

共通電極19は、図2に示すサブ画素領域内に部分的に設けられた反射層29を覆うよ
うに形成されている。本実施形態の場合、共通電極19はITO(インジウム錫酸化物)
等の透明導電材料からなる導電膜であり、反射層29は、アルミニウムや銀等の光反射性
の金属膜や、屈折率の異なる誘電体膜(SiOとTiO等)を積層した誘電体積層膜
(誘電体ミラー)からなるものである。液晶装置100は、上記反射層29での反射光を
散乱させる機能を具備していることが好ましく、かかる構成により反射表示の視認性を向
上させることができる。
The common electrode 19 is formed so as to cover the reflective layer 29 partially provided in the sub-pixel region shown in FIG. In the present embodiment, the common electrode 19 is ITO (indium tin oxide).
The reflective layer 29 is a dielectric in which a light reflective metal film such as aluminum or silver or a dielectric film (SiO 2 and TiO 2 or the like) having different refractive indexes is laminated. It consists of a laminated film (dielectric mirror). The liquid crystal device 100 preferably has a function of scattering the reflected light from the reflective layer 29. With this configuration, the visibility of the reflective display can be improved.

なお、共通電極19は、本実施形態のように反射層29を覆うように形成されている構
成のほか、透明導電材料からなる透明電極と、光反射性の金属材料からなる反射電極とが
平面的に区画されている構成、即ち、反射表示領域に対応して配置された透明電極と、反
射表示領域に対応して配置された反射電極とを備え、前記両電極が透過表示領域と反射表
示領域との間(境界部)で互いに電気的に接続されているものも採用することができる。
この場合、前記透明電極と反射電極とが画素電極9との間に電界を生じさせる共通電極を
構成する一方、前記反射電極は当該サブ画素領域の反射層としても機能する。
The common electrode 19 has a configuration in which the transparent electrode made of a transparent conductive material and a reflective electrode made of a light-reflective metal material are planar in addition to the structure formed so as to cover the reflective layer 29 as in the present embodiment. A transparent electrode arranged corresponding to the reflective display area, and a reflective electrode arranged corresponding to the reflective display area, both electrodes being a transmissive display area and a reflective display Those that are electrically connected to each other between the regions (boundary portions) can also be employed.
In this case, the transparent electrode and the reflective electrode constitute a common electrode that generates an electric field between the pixel electrode 9 and the reflective electrode also functions as a reflective layer in the sub-pixel region.

サブ画素領域には、X軸方向に延びるデータ線6aと、Y軸方向に延びる走査線3aと
、走査線3aに隣接して走査線3aと平行に延びる容量線3bとが形成されている。デー
タ線6aと走査線3aとの交差部に対応してその近傍にTFT30が設けられている。T
FT30は走査線3aの平面領域内に部分的に形成された島状のアモルファスシリコン膜
からなる半導体層35と、半導体層35と一部平面的に重なって形成されたソース電極6
b、及びドレイン電極132とを備えている。走査線3aは半導体層35と平面的に重な
る位置でTFT30のゲート電極として機能する。
In the sub-pixel region, a data line 6a extending in the X-axis direction, a scanning line 3a extending in the Y-axis direction, and a capacitor line 3b extending in parallel with the scanning line 3a adjacent to the scanning line 3a are formed. A TFT 30 is provided in the vicinity of the intersection of the data line 6a and the scanning line 3a. T
The FT 30 includes a semiconductor layer 35 made of an island-shaped amorphous silicon film partially formed in a plane region of the scanning line 3a, and a source electrode 6 formed to partially overlap the semiconductor layer 35 in a plane.
b and a drain electrode 132. The scanning line 3 a functions as a gate electrode of the TFT 30 at a position overlapping the semiconductor layer 35 in plan view.

TFT30のソース電極6bは、データ線6aから分岐されて半導体層35に延びる平
面視略L形を成しており、ドレイン電極132は、半導体層35上から−Y側に延びて平
面視略矩形状の容量電極131と電気的に接続されている。容量電極131上には、画素
電極9のコンタクト部9bが−Y側から進出して配置されており、両者が平面的に重なる
位置に設けられた画素コンタクトホール45を介して容量電極131と画素電極9とが電
気的に接続されている。また容量電極131は容量線3bの平面領域内に配置されており
、当該位置に厚さ方向で対向する容量電極131と容量線3bとを電極とする蓄積容量7
0が形成されている。
The source electrode 6b of the TFT 30 has a substantially L shape in plan view extending from the data line 6a and extending to the semiconductor layer 35, and the drain electrode 132 extends from above the semiconductor layer 35 to the −Y side and substantially rectangular in plan view. The capacitor electrode 131 having a shape is electrically connected. On the capacitor electrode 131, a contact portion 9b of the pixel electrode 9 is disposed so as to advance from the −Y side, and the capacitor electrode 131 and the pixel are connected via a pixel contact hole 45 provided at a position where they are two-dimensionally overlapped. The electrode 9 is electrically connected. The capacitor electrode 131 is disposed in the plane area of the capacitor line 3b, and the storage capacitor 7 having the capacitor electrode 131 and the capacitor line 3b facing each other in the thickness direction at the position.
0 is formed.

図3に示す断面構造をみると、液晶装置100は、互いに対向して配置されたTFTア
レイ基板(第1基板)10と対向基板(第2基板)20との間に液晶層50を挟持した構
成を備えており、液晶層50はTFTアレイ基板10と対向基板20とが対向する領域の
縁端に沿って設けられたシール材(図示略)によって前記両基板10,20間に封止され
ている。TFTアレイ基板10の外面側(液晶層と反対側)には、偏光板14が設けられ
、対向基板20の外面側には偏光板24が設けられている。TFTアレイ基板10の背面
側(図示下面側)には、光源と導光板91と反射板92とを具備したバックライト(照明
装置)90が設けられている。
In the cross-sectional structure shown in FIG. 3, the liquid crystal device 100 has a liquid crystal layer 50 sandwiched between a TFT array substrate (first substrate) 10 and a counter substrate (second substrate) 20 that are arranged to face each other. The liquid crystal layer 50 is sealed between the substrates 10 and 20 by a sealing material (not shown) provided along the edge of the region where the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 face each other. ing. A polarizing plate 14 is provided on the outer surface side (the side opposite to the liquid crystal layer) of the TFT array substrate 10, and a polarizing plate 24 is provided on the outer surface side of the counter substrate 20. A backlight (illuminating device) 90 including a light source, a light guide plate 91, and a reflection plate 92 is provided on the back surface side (the lower surface side in the drawing) of the TFT array substrate 10.

TFTアレイ基板10は、ガラスや石英、プラスチック等からなる基板本体10Aを基
体としてなり、基板本体10Aの内面側(液晶層50側)には、走査線3a及び容量線3
bが形成されており、走査線3a及び容量線3bを覆ってゲート絶縁膜11が形成されて
いる。ゲート絶縁膜11上に、アモルファスシリコンの半導体層35が形成されており、
半導体層35に一部乗り上げるようにしてソース電極6bと、ドレイン電極132とが形
成されている。ドレイン電極132の図示右側には容量電極131が一体に形成されてい
る。半導体層35は、ゲート絶縁膜11を介して走査線3aと対向配置されており、当該
対向領域で走査線3aがTFT30のゲート電極を構成するようになっている。容量電極
131はゲート絶縁膜11を介して容量線3bと対向配置されており、容量電極131と
容量線3bとが対向する領域に、ゲート絶縁膜11を誘電体膜とする蓄積容量70が形成
されている。
The TFT array substrate 10 has a substrate body 10A made of glass, quartz, plastic, or the like as a base, and a scanning line 3a and a capacitor line 3 are provided on the inner surface side (liquid crystal layer 50 side) of the substrate body 10A.
b is formed, and the gate insulating film 11 is formed to cover the scanning line 3a and the capacitor line 3b. A semiconductor layer 35 of amorphous silicon is formed on the gate insulating film 11,
A source electrode 6 b and a drain electrode 132 are formed so as to partially run over the semiconductor layer 35. A capacitor electrode 131 is integrally formed on the right side of the drain electrode 132 in the figure. The semiconductor layer 35 is disposed to face the scanning line 3 a via the gate insulating film 11, and the scanning line 3 a constitutes the gate electrode of the TFT 30 in the facing region. The capacitor electrode 131 is disposed opposite to the capacitor line 3b via the gate insulating film 11, and a storage capacitor 70 using the gate insulating film 11 as a dielectric film is formed in a region where the capacitor electrode 131 and the capacitor line 3b are opposed to each other. Has been.

半導体層35、ソース電極6b、ドレイン電極132、及び容量電極131を覆って、
第1層間絶縁膜12が形成されており、第1層間絶縁膜12上の一部には樹脂層39が形
成されており、当該樹脂層39上に反射層29が形成されている。反射層29と第1層間
絶縁膜12とを覆って、ITO等の透明導電材料からなる共通電極19が形成されている
。上記樹脂層39はその表面に凹凸形状を有しており、かかる凹凸形状に倣う凹凸面を有
して形成された前記反射層29が光散乱性の反射手段を構成している。
Covering the semiconductor layer 35, the source electrode 6b, the drain electrode 132, and the capacitor electrode 131,
A first interlayer insulating film 12 is formed, a resin layer 39 is formed on a part of the first interlayer insulating film 12, and a reflective layer 29 is formed on the resin layer 39. A common electrode 19 made of a transparent conductive material such as ITO is formed so as to cover the reflective layer 29 and the first interlayer insulating film 12. The resin layer 39 has a concavo-convex shape on the surface thereof, and the reflection layer 29 formed with a concavo-convex surface following the concavo-convex shape constitutes a light-scattering reflecting means.

このようにサブ画素領域に部分的に反射層29が形成された本実施形態の液晶装置10
0では、図2に示した1サブ画素領域内のうち、反射層29の形成領域が、対向基板20
の外側から入射して液晶層50を透過する光を反射、変調して表示を行う反射表示領域R
となっている。また、反射層29の形成領域の外側の光透過領域が、バックライト90か
ら入射して液晶層50を透過する光を変調して表示を行う透過表示領域Tとなっている。
In this way, the liquid crystal device 10 of this embodiment in which the reflective layer 29 is partially formed in the sub-pixel region.
In 0, the formation region of the reflective layer 29 in one subpixel region shown in FIG.
Reflective display region R that reflects and modulates light that is incident from outside and transmits through the liquid crystal layer 50.
It has become. In addition, a light transmission region outside the formation region of the reflective layer 29 is a transmission display region T that performs display by modulating light incident from the backlight 90 and transmitted through the liquid crystal layer 50.

共通電極19を覆ってシリコン酸化物等からなる第2層間絶縁膜13が形成されている
。第2層間絶縁膜13の液晶層側の表面にITO等の透明導電材料からなる画素電極9が
形成されている。また、画素電極9、第2層間絶縁膜13を覆ってポリイミドからなる第
1配向膜18が形成されている。
A second interlayer insulating film 13 made of silicon oxide or the like is formed so as to cover the common electrode 19. A pixel electrode 9 made of a transparent conductive material such as ITO is formed on the surface of the second interlayer insulating film 13 on the liquid crystal layer side. A first alignment film 18 made of polyimide is formed so as to cover the pixel electrode 9 and the second interlayer insulating film 13.

第1層間絶縁膜12及び第2層間絶縁膜13を貫通して容量電極131に達する画素コ
ンタクトホール45が形成されており、この画素コンタクトホール45内に画素電極9の
コンタクト部9bが一部埋め込まれて、画素電極9と容量電極131とが電気的に接続さ
れている。上記画素コンタクトホール45の形成領域に対応して共通電極19にも開口部
が設けられており、この開口部を介して画素電極9と容量電極131とが電気的に接続さ
れるとともに、共通電極19と画素電極9とが短絡しないような構成になっている。
A pixel contact hole 45 penetrating the first interlayer insulating film 12 and the second interlayer insulating film 13 and reaching the capacitor electrode 131 is formed, and a contact portion 9 b of the pixel electrode 9 is partially embedded in the pixel contact hole 45. Thus, the pixel electrode 9 and the capacitor electrode 131 are electrically connected. The common electrode 19 has an opening corresponding to the region where the pixel contact hole 45 is formed, and the pixel electrode 9 and the capacitor electrode 131 are electrically connected through the opening, and the common electrode 19 19 and the pixel electrode 9 are configured not to be short-circuited.

一方、対向基板20は、ガラスや石英、プラスチック等からなる基板本体20Aを基体
としてなり、基板本体20Aの内面側(液晶層50側)には、サブ画素毎に異なる色光を
透過するカラーフィルタを備えたCF層22が形成されている。上記カラーフィルタは、
サブ画素内で色度の異なる2種類の色材領域に区画されている構成とすることが好ましい
。具体的には、透過表示領域Tの平面領域に対応して第1の色材領域が設けられ、反射表
示領域Rの平面領域に対応して第2の色材領域が設けられており、第1の色材領域の色度
が、第2の色材領域の色度より大きいものとされている構成を採用できる。また、反射表
示領域Rの一部に非着色領域を設ける構成としてもよい。このような構成とすることで、
カラーフィルタを表示光が1回のみ透過する透過表示領域Tと、2回透過する反射表示領
域Rとの間で表示光の色度が異なるのを防止でき、反射表示と透過表示の見映えを揃えて
表示品質を向上させることができる。なお、CF層22は、TFTアレイ基板10側に形
成することもできる。
On the other hand, the counter substrate 20 has a substrate body 20A made of glass, quartz, plastic, or the like as a base, and a color filter that transmits different color light for each sub-pixel is provided on the inner surface side (liquid crystal layer 50 side) of the substrate body 20A. The provided CF layer 22 is formed. The color filter is
It is preferable that the subpixel is divided into two types of color material regions having different chromaticities. Specifically, a first color material region is provided corresponding to the planar region of the transmissive display region T, and a second color material region is provided corresponding to the planar region of the reflective display region R. A configuration in which the chromaticity of one color material region is larger than the chromaticity of the second color material region can be employed. Moreover, it is good also as a structure which provides a non-colored area | region in a part of reflective display area | region R. With this configuration,
It is possible to prevent the chromaticity of the display light from differing between the transmissive display region T where the display light is transmitted only once through the color filter and the reflective display region R where the display light is transmitted twice, thereby improving the appearance of the reflective display and the transmissive display. The display quality can be improved by aligning them. The CF layer 22 can also be formed on the TFT array substrate 10 side.

CF層22の液晶層50側には、反射表示領域Rに対応して位相差層23が形成されて
いる。前記位相差層23は、本実施形態の場合、その光学軸方向に平行な振動方向を有す
る光に対して略1/2波長(λ/2)の位相差を付与するものであり、基板本体20Aの
内面側に設けられたいわゆる内面位相差層である。位相差層23は、高分子液晶(コレス
テリック液晶等)の溶液や液晶モノマー(あるいは液晶オリゴマー)の溶液を配向膜上に
塗布し、乾燥固化させる際に所定方向に配向させる方法により形成することができる。
On the liquid crystal layer 50 side of the CF layer 22, a retardation layer 23 is formed corresponding to the reflective display region R. In the present embodiment, the retardation layer 23 imparts a phase difference of approximately ½ wavelength (λ / 2) to light having a vibration direction parallel to the optical axis direction. This is a so-called inner surface retardation layer provided on the inner surface side of 20A. The retardation layer 23 may be formed by a method in which a polymer liquid crystal (cholesteric liquid crystal or the like) solution or a liquid crystal monomer (or liquid crystal oligomer) solution is applied onto an alignment film and is oriented in a predetermined direction when dried and solidified. it can.

また本実施形態の場合、位相差層23は、反射表示領域Rにおける液晶層50の厚さを
透過表示領域Tにおける液晶層50の厚さよりも小さくするための液晶層厚調整層として
も機能するものとなっている。半透過反射型の液晶表示装置では、反射表示領域Rへの入
射光は液晶層50を2回透過するが、透過表示領域Tへの入射光は液晶層50を1回しか
透過しない。これにより反射表示領域Rと透過表示領域Tとの間で液晶層50のリタデー
ションが異なると、光透過率に差異を生じて均一な画像表示が得られないことになる。そ
こで位相差層23を液晶層50側に突出させて形成することでいわゆるマルチギャップ構
造を実現している。具体的には、反射表示領域Rにおける液晶層50の層厚が透過表示領
域Tにおける液晶層50の層厚の半分程度に設定されて、反射表示領域Rおよび透過表示
領域Tにおける液晶層50のリタデーションが略同一に設定されている。これにより、反
射表示領域Rおよび透過表示領域Tにおいて均一な画像表示を得ることができるようにな
っている。
In the present embodiment, the retardation layer 23 also functions as a liquid crystal layer thickness adjusting layer for making the thickness of the liquid crystal layer 50 in the reflective display region R smaller than the thickness of the liquid crystal layer 50 in the transmissive display region T. It has become a thing. In the transflective liquid crystal display device, incident light to the reflective display region R passes through the liquid crystal layer 50 twice, but incident light to the transmissive display region T passes through the liquid crystal layer 50 only once. As a result, if the retardation of the liquid crystal layer 50 is different between the reflective display region R and the transmissive display region T, a difference in light transmittance occurs, and a uniform image display cannot be obtained. Therefore, a so-called multi-gap structure is realized by forming the retardation layer 23 so as to protrude toward the liquid crystal layer 50. Specifically, the layer thickness of the liquid crystal layer 50 in the reflective display region R is set to about half the layer thickness of the liquid crystal layer 50 in the transmissive display region T, and the liquid crystal layer 50 in the reflective display region R and the transmissive display region T The retardation is set substantially the same. Thereby, a uniform image display can be obtained in the reflective display region R and the transmissive display region T.

本実施形態の場合、液晶層50を構成する液晶はΔn=0.1の屈折率異方性を持ち、
誘電異方性ε//は10、ε=4の正の異方性を持つものを使用している。また透過表示
領域Tの液晶厚さは3.5μmとし、反射表示領域Rの液晶厚さを1.4μm、位相差層
23の層厚を2.1μmとしている。
In the present embodiment, the liquid crystal constituting the liquid crystal layer 50 has a refractive index anisotropy of Δn = 0.1,
Dielectric anisotropy epsilon // is used one with 10, a positive anisotropy of ε = 4. The transmissive display region T has a liquid crystal thickness of 3.5 μm, the reflective display region R has a liquid crystal thickness of 1.4 μm, and the retardation layer 23 has a thickness of 2.1 μm.

本実施形態では、位相差層23を反射表示領域Rに選択的に形成しているが、位相差層
としての機能の観点からは透過表示領域Tにおける透過光に対する位相差と、反射表示領
域Rにおける透過光に対する位相差とに所定の差異を生じさせることができればよく、液
晶層厚調整層としての機能の観点からは反射表示領域Rにおいて透過表示領域Tにおいて
よりも液晶層50側に突出して形成されていればよいため、部位により膜厚の異なる位相
差層をCF層22上に形成してもよい。すなわち、透過表示領域Tにおいて薄い膜厚、小
さい位相差を有し、反射表示領域Rにおいて厚い膜厚、大きい位相差を有する位相差層を
形成してもよい。
In the present embodiment, the retardation layer 23 is selectively formed in the reflective display region R. However, from the viewpoint of the function as the retardation layer, the retardation for the transmitted light in the transmissive display region T and the reflective display region R From the viewpoint of the function as the liquid crystal layer thickness adjusting layer, the reflective display region R protrudes more toward the liquid crystal layer 50 than in the transmissive display region T from the viewpoint of the function as the liquid crystal layer thickness adjusting layer. As long as it is formed, a retardation layer having a different thickness depending on the part may be formed on the CF layer 22. That is, a retardation layer having a thin film thickness and a small phase difference in the transmissive display region T and a thick film thickness and a large phase difference in the reflective display region R may be formed.

位相差層23及びCF層22を覆うようにしてポリイミドからなる第2配向膜28が形
成されている。本実施形態の液晶装置では、TFTアレイ基板10の第1配向膜18と対
向基板20の第2配向膜28は、いずれもポリイミドからなる配向膜であるが、材料が異
なるものであって硬化する材料固有の焼成温度が異なったものとなっている。すなわち、
位相差層23を覆って形成された第2配向膜28を構成するポリイミド材料の焼成温度(
硬化する温度)が、画素電極9を覆って形成された第1配向膜18を構成するポリイミド
材料の焼成温度(硬化する温度)よりも低くなっている。一般に、ポリイミド膜の液晶に
対する配向規制力はそのイミド化率が高いものほど大きくすることができるが、イミド化
率の高いポリイミド膜を得るには220〜230℃程度以上の高温加熱(焼成)工程が必
要であり、位相差層23の形成後にこのような加熱を行うと位相差層23を構成する高分
子液晶等の配向が乱れたり、高分子液晶自体の変質が生じる結果、位相差層23において
所望の光学特性(位相差)が得られなくなるおそれがある。
A second alignment film 28 made of polyimide is formed so as to cover the retardation layer 23 and the CF layer 22. In the liquid crystal device of this embodiment, the first alignment film 18 of the TFT array substrate 10 and the second alignment film 28 of the counter substrate 20 are both alignment films made of polyimide, but are made of different materials and cured. The firing temperature specific to the material is different. That is,
The firing temperature of the polyimide material constituting the second alignment film 28 formed so as to cover the retardation layer 23 (
The curing temperature) is lower than the firing temperature (curing temperature) of the polyimide material constituting the first alignment film 18 formed so as to cover the pixel electrode 9. In general, the higher the imidization rate, the greater the alignment regulating force on the liquid crystal of the polyimide film can be increased, but in order to obtain a polyimide film with a high imidization rate, a high-temperature heating (firing) step of about 220 to 230 ° C. or higher. Therefore, if such heating is performed after the retardation layer 23 is formed, the orientation of the polymer liquid crystal or the like constituting the retardation layer 23 is disturbed or the polymer liquid crystal itself is altered. In this case, the desired optical characteristics (phase difference) may not be obtained.

そこで本発明では、位相差層23を覆う第2配向膜28について、TFTアレイ基板1
0の第1配向膜18を構成するポリイミド材料の焼成温度よりも低い焼成温度を有したポ
リイミド材料を用いてポリイミド膜を形成することで、200℃を超える加熱を不要なも
のとし、比較的良好な配向規制力を得つつ位相差層23の光学特性が損なわれるのを防止
するようになっている。本実施形態の液晶装置100に備えられた第2配向膜28のイミ
ド化率は70%〜80%程度とすることが好ましい。かかる範囲のイミド化率のポリイミ
ド膜であれば、200℃未満の加熱で形成することができ、また必要な配向規制力を得る
ことができる。
Therefore, in the present invention, the second alignment film 28 covering the retardation layer 23 is used for the TFT array substrate 1.
By forming a polyimide film using a polyimide material having a firing temperature lower than the firing temperature of the polyimide material constituting the first alignment film 18 of 0, heating exceeding 200 ° C. is unnecessary, and relatively good The optical properties of the retardation layer 23 are prevented from being impaired while obtaining a good alignment regulating force. The imidation ratio of the second alignment film 28 provided in the liquid crystal device 100 of the present embodiment is preferably about 70% to 80%. A polyimide film having an imidization ratio in such a range can be formed by heating at less than 200 ° C., and a necessary alignment regulating force can be obtained.

また、位相差層23が形成されていないTFTアレイ基板10側の第1配向膜18につ
いては、硬化する材料固有の焼成温度が相対的に高いポリイミド膜を用いることで、液晶
に対する配向規制力を良好なものとし、表示品質の低下を防止するようになっている。本
実施形態の場合、第1配向膜18のイミド化率は90%以上とすることが好ましい。
In addition, for the first alignment film 18 on the TFT array substrate 10 side where the retardation layer 23 is not formed, a polyimide film having a relatively high baking temperature specific to the material to be cured is used, so that the alignment regulating force on the liquid crystal can be reduced. It is assumed to be good and display quality is prevented from being lowered. In the case of this embodiment, the imidation ratio of the first alignment film 18 is preferably 90% or more.

本実施形態の液晶装置のように横電界方式の液晶装置では、一方の基板にのみ電極が形
成されており、かかる電極に印加される電圧によって液晶を駆動するようになっているた
め、電極(画素電極9、共通電極19)が形成されたTFTアレイ基板10に設けられる
第1配向膜18では良好な配向規制力が必要である一方、電極が形成されていない対向基
板20に設けられる第2配向膜28については、第1配向膜18に比して配向規制力が若
干劣るものであっても表示品質にはほとんど影響しない。従って本発明は、一方の基板に
のみ液晶を駆動する電極が設けられる横電界方式の液晶装置に好適に用いることができる
技術である。
In a horizontal electric field type liquid crystal device like the liquid crystal device of this embodiment, an electrode is formed only on one substrate, and the liquid crystal is driven by a voltage applied to the electrode. In the first alignment film 18 provided on the TFT array substrate 10 on which the pixel electrode 9 and the common electrode 19) are formed, a good alignment regulating force is required, while on the second substrate 20 provided on the counter substrate 20 on which no electrode is formed. The alignment film 28 has little influence on the display quality even if the alignment regulating force is slightly inferior to that of the first alignment film 18. Therefore, the present invention is a technique that can be suitably used for a horizontal electric field type liquid crystal device in which an electrode for driving liquid crystal is provided only on one substrate.

なお、本実施形態の液晶装置における各光学部材における光学軸配置は例えば以下のよ
うに構成することができる。
In addition, the optical axis arrangement | positioning in each optical member in the liquid crystal device of this embodiment can be comprised as follows, for example.

TFTアレイ基板10側の偏光板14の透過軸と、対向基板20側の偏光板24の透過
軸とが互いに直交するように配置されており、前記偏光板24の透過軸が図2に示すX軸
と平行に配置されている。また、第1配向膜18,28のラビング方向は偏光板24の透
過軸と平行である。前記第1配向膜18,28のラビング方向は、X軸方向に限定される
ものではないが、画素電極9と共通電極19との間に生じる電界の主方向(帯状電極9c
の延在方向と直交する方向)と交差する方向とする。そして、初期状態ではラビング方向
に沿って平行配向している液晶が、画素電極9と共通電極19との間への電圧印加によっ
て、上記電界の主方向側へ回転して配向する。この初期配向状態と電圧印加時の配向状態
との差異に基づいて明暗表示が成されるようになっている。
The transmission axis of the polarizing plate 14 on the TFT array substrate 10 side and the transmission axis of the polarizing plate 24 on the counter substrate 20 side are arranged to be orthogonal to each other, and the transmission axis of the polarizing plate 24 is X shown in FIG. It is arranged parallel to the axis. Further, the rubbing direction of the first alignment films 18 and 28 is parallel to the transmission axis of the polarizing plate 24. The rubbing direction of the first alignment films 18 and 28 is not limited to the X-axis direction, but the main direction of the electric field generated between the pixel electrode 9 and the common electrode 19 (the strip electrode 9c).
Direction perpendicular to the extending direction). In the initial state, the liquid crystal aligned in parallel along the rubbing direction is rotated and aligned toward the main direction side of the electric field by applying a voltage between the pixel electrode 9 and the common electrode 19. Bright and dark display is performed based on the difference between the initial alignment state and the alignment state when a voltage is applied.

上記各実施形態では、FFS方式と呼ばれる方式を採用したが、同様に基板面方向の電
界で液晶を動作するIPS(In Plane Switching)方式等でも同様な効果が得られる。ま
た本発明の技術範囲は、FFS方式やIPS方式に代表される横電界駆動型の液晶装置に
限定されず、TNモードやVANモードの液晶を具備し、一方の基板の液晶層側に位相差
層が設けられている液晶装置にも適用することができる。すなわち、これらの液晶装置に
おいても、配向膜形成時の加熱によって位相差層の光学特性が設計からずれてしまうのを
効果的に防止することができ、表示品質に優れ、高歩留まりに製造可能な液晶装置を実現
することができる。
In each of the above embodiments, a method called an FFS method is adopted, but the same effect can be obtained by an IPS (In Plane Switching) method in which liquid crystal is operated by an electric field in the direction of the substrate surface. The technical scope of the present invention is not limited to a horizontal electric field drive type liquid crystal device typified by an FFS mode or an IPS mode, but includes a TN mode or VAN mode liquid crystal, and a phase difference is provided on the liquid crystal layer side of one substrate. The present invention can also be applied to a liquid crystal device provided with a layer. That is, even in these liquid crystal devices, it is possible to effectively prevent the optical characteristics of the retardation layer from deviating from the design due to the heating during the formation of the alignment film, and the display quality is excellent and the device can be manufactured with a high yield. A liquid crystal device can be realized.

<液晶装置の製造方法>
次に、図4を参照して本実施形態の液晶装置の製造方法について説明する。図4(a)
〜図4(c)は、液晶装置100のうち、対向基板20の製造工程を示す断面工程図であ
る。
<Method for manufacturing liquid crystal device>
Next, a manufacturing method of the liquid crystal device of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 (a)
FIG. 4C is a cross-sectional process diagram illustrating a manufacturing process of the counter substrate 20 in the liquid crystal device 100.

まず、図4(a)に示すように、ガラスや石英等からなる透明基板である基板本体20
Aを用意したならば、基板本体20Aの一面側(図示上面)に公知の印刷法等を用いてC
F層22を形成する。次に、図4(b)に示すように、CF層22上に部分的に位相差層
23を形成する。
First, as shown in FIG. 4A, a substrate body 20 which is a transparent substrate made of glass, quartz or the like.
If A is prepared, C is printed on one side (the upper surface in the drawing) of the substrate body 20A using a known printing method or the like.
The F layer 22 is formed. Next, as shown in FIG. 4B, a retardation layer 23 is partially formed on the CF layer 22.

位相差層23は、例えば以下の方法によって形成することができる。   The retardation layer 23 can be formed by the following method, for example.

まず、CF層22上に配向膜形成材料をスピンコート法、あるいはフレキソ印刷法で塗
布、焼成した後、ラビング処理を行う。次に、この配向膜上に高分子液晶溶液をスピンコ
ート法(例えば回転数700rpmで30秒)により塗布する。ここで用いる高分子液晶
は、例えばPLC−7023(商品名、旭電化工業(株)製)の8%溶液であり、溶媒は
シクロヘキサノンとメチルエチルケトンの混合液である。次に、塗布した高分子液晶溶液
のプレベイクを80℃で1分間行い、さらにベイクにより得られた高分子液晶層のアイソ
トロピック転移温度(相転移温度)以上となる180℃で30分間加熱した後、徐々に冷
却して高分子液晶を配向させる。ここで、相転移温度とは、位相差を生じさせて変化する
温度のことである。次に、形成した高分子液晶層上であって前記反射表示領域Rに対応す
る平面領域にレジストをパターン形成し、かかるレジストをマスクとして前記高分子液晶
層のエッチングを行う。かかるエッチング処理には、ドライエッチングの他、Nメチル−
2ピロリジノン溶液を用いたウェットエッチングも適用できる。以上の工程により、反射
表示領域Rに対応するCF層22上の領域に高分子液晶層からなる位相差層23を形成す
ることができる。
First, an alignment film forming material is applied and baked on the CF layer 22 by a spin coating method or a flexographic printing method, and then a rubbing process is performed. Next, a polymer liquid crystal solution is applied onto the alignment film by a spin coating method (for example, at a rotation speed of 700 rpm for 30 seconds). The polymer liquid crystal used here is, for example, an 8% solution of PLC-7023 (trade name, manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), and the solvent is a mixed solution of cyclohexanone and methyl ethyl ketone. Next, pre-baking of the applied polymer liquid crystal solution is performed at 80 ° C. for 1 minute, and after heating at 180 ° C. for 30 minutes, which is equal to or higher than the isotropic transition temperature (phase transition temperature) of the polymer liquid crystal layer obtained by baking. The polymer liquid crystal is aligned by gradually cooling. Here, the phase transition temperature is a temperature that changes by causing a phase difference. Next, a resist is patterned on the formed polymer liquid crystal layer on a planar region corresponding to the reflective display region R, and the polymer liquid crystal layer is etched using the resist as a mask. This etching process includes dry etching and N-methyl-
Wet etching using a 2-pyrrolidinone solution can also be applied. Through the above steps, the retardation layer 23 made of a polymer liquid crystal layer can be formed in the region on the CF layer 22 corresponding to the reflective display region R.

なお、上記位相差層23の形成方法としては、液晶モノマーや液晶オリゴマーの溶液を
基板上に塗布した後、露光して重合させる方法も適用できる。この形成方法では、前記液
晶モノマーや液晶オリゴマーの塗布膜に対して部分的に露光処理を行った後、現像するこ
とで容易にパターニングすることが可能であるため、高分子液晶層のパターニングが不要
であるという利点がある。
In addition, as a formation method of the said phase difference layer 23, after apply | coating the solution of a liquid crystal monomer or a liquid crystal oligomer on a board | substrate, it can apply and expose and polymerize. In this formation method, patterning of the polymer liquid crystal layer is not required because it can be easily patterned by developing after partially exposing the liquid crystal monomer or liquid crystal oligomer coating film. There is an advantage of being.

次に、図4(c)に示すように、位相差層23が形成された基板上に、第2配向膜28
を形成し、さらにラビング等の配向処理工程を施す。第2配向膜28の形成方法としては
、ポリアミック酸を脱水して閉環することによりポリイミド膜を形成する方法、又は可溶
性ポリイミド溶液の溶媒を蒸発させることによってポリイミド膜を形成する方法を用いる
ことができる。具体的には、ポリアミック酸又は可溶性ポリイミドを含む配向膜形成材料
を基板上に印刷法やスピンコート法を用いて塗布した後、仮焼成工程(加熱温度60℃〜
80℃、加熱時間30秒〜60秒)、及び本焼成工程(加熱温度180℃以下、加熱時間
1〜1.5時間)を経てポリイミド膜を形成する。
Next, as shown in FIG. 4C, the second alignment film 28 is formed on the substrate on which the retardation layer 23 is formed.
And an alignment treatment process such as rubbing is performed. As a method of forming the second alignment film 28, a method of forming a polyimide film by dehydrating and ring-closing polyamic acid, or a method of forming a polyimide film by evaporating a solvent of a soluble polyimide solution can be used. . Specifically, after an alignment film forming material containing polyamic acid or soluble polyimide is applied on a substrate using a printing method or a spin coating method, a temporary baking step (heating temperature: 60 ° C. to
A polyimide film is formed through 80 ° C., heating time 30 seconds to 60 seconds) and a main baking step (heating temperature 180 ° C. or less, heating time 1 to 1.5 hours).

本実施形態の液晶装置の製造方法では、上記ポリイミド膜の形成工程における加熱温度
を、前記位相差層23の相転移温度(位相差が変化する温度)より低い温度とされる。す
なわち、位相差層23を構成する高分子液晶の相転移温度は、一般に150〜200℃程
度であるから、位相差層23の構成材料に応じて第2配向膜28を形成する際の加熱温度
も180℃以下とするのがよい。このような形成方法とすることで、ポリイミド膜の形成
工程における加熱によって位相差層23を構成する高分子液晶の配向性が低下するのを防
止でき、位相差層23の光学特性が損なわれるのを防止して良好な表示品質を得ることが
できる。
In the manufacturing method of the liquid crystal device of the present embodiment, the heating temperature in the polyimide film forming step is set to be lower than the phase transition temperature of the retardation layer 23 (temperature at which the phase difference changes). That is, since the phase transition temperature of the polymer liquid crystal constituting the retardation layer 23 is generally about 150 to 200 ° C., the heating temperature when forming the second alignment film 28 according to the constituent material of the retardation layer 23. Is preferably 180 ° C. or lower. By adopting such a forming method, it is possible to prevent the orientation of the polymer liquid crystal constituting the retardation layer 23 from being lowered by heating in the polyimide film forming step, and the optical characteristics of the retardation layer 23 are impaired. Can be prevented and good display quality can be obtained.

また本実施形態に係る製造方法では、第2配向膜28の形成に用いる配向膜形成材料と
して、可溶性ポリイミドを用いることが好ましい。可溶性ポリイミドでは予めポリアミッ
ク酸を閉環したものを原料として用いているため、形成するポリイミド膜のイミド化率が
加熱により変化しにくく、所望のイミド化率を容易に得られ、第2配向膜28の配向規制
力も安定するからである。また、溶媒の選択によってはさらに加熱温度(焼成温度)の低
い材料を用いることができる点でも有利である。
In the manufacturing method according to the present embodiment, it is preferable to use soluble polyimide as the alignment film forming material used for forming the second alignment film 28. Since soluble polyimide uses a material in which polyamic acid is closed in advance as a raw material, the imidization rate of the polyimide film to be formed is hardly changed by heating, and a desired imidization rate can be easily obtained. This is because the orientation regulating force is also stabilized. Further, it is advantageous in that a material having a lower heating temperature (firing temperature) can be used depending on the selection of the solvent.

以上の工程により対向基板20を作製したならば、公知の製造方法を用いて作製したT
FTアレイ基板10と前記対向基板20とをシール材を介して貼り合わせる。その後、T
FTアレイ基板10と対向基板20とシール材とに囲まれる空間に液晶を充填して封止す
る。そして、基板本体10Aの外面側と基板本体20Aの外面側とにそれぞれ偏光板14
,24を配設し、TFTアレイ基板10の外面側にバックライト90を配設することで、
上記実施形態の液晶装置100を製造することができる。
If the counter substrate 20 is manufactured by the above steps, T manufactured using a known manufacturing method.
The FT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together with a sealing material. Then T
A space surrounded by the FT array substrate 10, the counter substrate 20, and the sealing material is filled with liquid crystal and sealed. Then, polarizing plates 14 are respectively provided on the outer surface side of the substrate body 10A and the outer surface side of the substrate body 20A.
, 24, and a backlight 90 on the outer surface side of the TFT array substrate 10,
The liquid crystal device 100 of the above embodiment can be manufactured.

なお、TFTアレイ基板10と対向基板20とを貼り合わせる工程や液晶を封入する工
程、偏光板14,24を配設する工程、バックライト90の製造工程等は公知の製造工程
を適用することができる。また、TFTアレイ基板10と対向基板20とを貼り合わせる
際に、両基板の対向面に液晶を予め配置しておき、封止口を有さない枠状のシール材を用
いて液晶を封入する工程を適用してもよい。
A known manufacturing process may be applied to the process of bonding the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20, the process of encapsulating the liquid crystal, the process of disposing the polarizing plates 14 and 24, the process of manufacturing the backlight 90, and the like. it can. In addition, when the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together, liquid crystal is arranged in advance on the opposing surfaces of both substrates, and the liquid crystal is sealed using a frame-shaped sealing material that does not have a sealing port. A process may be applied.

以上説明したように、本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、位相差層23を形成
した後の第2配向膜28の形成工程において、配向膜形成材料の焼成温度を位相差層23
を構成する高分子液晶等の相転移温度(位相差が変化する温度)より低い温度としている
ので、第2配向膜28の形成工程における加熱によって位相差層23の光学特性が変化す
るのを防止することができ、表示品質に優れた液晶装置を製造することができる。
As described above, according to the method for manufacturing the liquid crystal device of the present embodiment, in the step of forming the second alignment film 28 after forming the retardation layer 23, the firing temperature of the alignment film forming material is set to the retardation layer 23.
Since the temperature is lower than the phase transition temperature (the temperature at which the phase difference is changed) of the polymer liquid crystal or the like that constitutes the liquid crystal, the optical characteristics of the phase difference layer 23 are prevented from being changed by heating in the process of forming the second alignment film 28 Thus, a liquid crystal device excellent in display quality can be manufactured.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について、図5を参照して説明する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図5は、本実施形態の液晶装置を説明するための断面構成図であって、先の第1実施形
態における図3に相当する図である。本実施形態の液晶装置200は、先の第1実施形態
と同様の基本構成を具備したFFS方式の半透過反射型液晶装置である。なお、図5にお
いて、図1から図3と共通の構成要素には同一の符号を付し、それらの詳細な説明は省略
する。
FIG. 5 is a cross-sectional configuration diagram for explaining the liquid crystal device according to the present embodiment, and corresponds to FIG. 3 in the first embodiment. The liquid crystal device 200 of this embodiment is an FFS transflective liquid crystal device having the same basic configuration as that of the first embodiment. In FIG. 5, the same components as those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施形態の液晶装置200は、図5に示すように、反射表示領域Rに対応して選択的
に液晶層厚調整層26が形成されており、かかる液晶層厚調整層26上に位相差層23が
積層されている点に特徴を有している。液晶層厚調整層26は、アクリル樹脂等からなる
透明な樹脂膜であり、その表面に形成された前記位相差層23とともに液晶層50側に突
出して、反射表示領域Rにおける液晶層厚を、透過表示領域Tにおける液晶層厚より小さ
くするものとして機能する。
In the liquid crystal device 200 of the present embodiment, as shown in FIG. 5, a liquid crystal layer thickness adjustment layer 26 is selectively formed corresponding to the reflective display region R, and a phase difference is formed on the liquid crystal layer thickness adjustment layer 26. It is characterized in that the layer 23 is laminated. The liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 is a transparent resin film made of an acrylic resin or the like, and protrudes toward the liquid crystal layer 50 together with the retardation layer 23 formed on the surface thereof. It functions as a thickness smaller than the liquid crystal layer thickness in the transmissive display region T.

先の第1実施形態では、位相差層23がマルチギャップ構造を実現するための液晶層厚
調整層を兼ねる構成としていたが、位相差層23が自身を透過する光に対して付与する位
相差はその膜厚によって変化するため、所望の位相差を得るべく位相差層23を形成する
と、液晶層厚調整層としての膜厚が不足することが考えられる。そこで本実施形態では、
位相差層23とCF層22との間に液晶層厚調整層26を設けることで、反射表示領域R
における液晶層厚を調整できるようにしている。
In the previous first embodiment, the retardation layer 23 also serves as a liquid crystal layer thickness adjusting layer for realizing a multi-gap structure. However, the retardation layer 23 imparts to the light transmitted through itself. Therefore, if the retardation layer 23 is formed so as to obtain a desired retardation, the film thickness as the liquid crystal layer thickness adjusting layer may be insufficient. Therefore, in this embodiment,
By providing the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 between the retardation layer 23 and the CF layer 22, the reflective display region R
The liquid crystal layer thickness can be adjusted.

図5に示すように、液晶層厚調整層26は、位相差層23よりも基板本体20A側に形
成することが好ましい。従ってCF層22と基板本体20Aとの間に形成してもよい。上
述したように、液晶層厚調整層26はアクリル樹脂等により形成され、典型的には液体樹
脂材料を塗布した後、塗布膜を加熱して硬化させることで形成されるものであるため、液
晶層厚調整層26を位相差層23上に形成すると位相差層23が加熱されることになるか
らである。
As shown in FIG. 5, the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 is preferably formed closer to the substrate body 20 </ b> A than the retardation layer 23. Therefore, it may be formed between the CF layer 22 and the substrate body 20A. As described above, the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 is formed of an acrylic resin or the like, and is typically formed by applying a liquid resin material and then heating and curing the coating film. This is because when the layer thickness adjusting layer 26 is formed on the retardation layer 23, the retardation layer 23 is heated.

なお、液晶層厚調整層26を光硬化性の樹脂材料で形成する場合には、液晶層厚調整層
26の形成工程で位相差層23が必要以上に加熱されることはないため、位相差層23上
に液晶層厚調整層26を形成することも可能である。この場合には、液晶層厚調整層26
が高分子液晶等からなる位相差層23の保護層としても機能するため、位相差層23の変
質を防止することができる。また、位相差層23を形成するための高分子液晶層をCF層
22上に形成した後、光硬化性樹脂材料からなる液晶層厚調整層26を前記高分子液晶層
上にパターン形成すれば、かかる液晶層厚調整層26を高分子液晶層をパターニングする
ためのマスクとして利用することができる。
When the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 is formed of a photocurable resin material, the retardation layer 23 is not heated more than necessary in the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 forming step. It is also possible to form the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 on the layer 23. In this case, the liquid crystal layer thickness adjusting layer 26
Functions as a protective layer for the retardation layer 23 made of a polymer liquid crystal or the like, so that the retardation layer 23 can be prevented from being altered. In addition, after a polymer liquid crystal layer for forming the retardation layer 23 is formed on the CF layer 22, a liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 made of a photocurable resin material is patterned on the polymer liquid crystal layer. The liquid crystal layer thickness adjusting layer 26 can be used as a mask for patterning the polymer liquid crystal layer.

(電子機器)
図6は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。図6に示す携帯電話130
0は、本発明の液晶装置を小サイズの表示部1301として備え、複数の操作ボタン13
02、受話口1303、及び送話口1304を備えて構成されている。これにより、本発
明の液晶装置により構成された表示品質に優れる表示部を具備した携帯電話1300を提
供することができる。
(Electronics)
FIG. 6 is a perspective view showing an example of an electronic apparatus according to the present invention. Mobile phone 130 shown in FIG.
0 includes the liquid crystal device of the present invention as a small-sized display unit 1301 and a plurality of operation buttons 13.
02, an earpiece 1303, and a mouthpiece 1304. Thus, a mobile phone 1300 provided with a display unit that is configured by the liquid crystal device of the present invention and has excellent display quality can be provided.

上記各実施の形態の液晶表示装置は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナル
コンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニ
タ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓
、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備
えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの電子機器において
も、高コントラスト、広視野角の表示が可能になっている。
The liquid crystal display device of each of the above embodiments is not limited to the above mobile phone, but an electronic book, personal computer, digital still camera, liquid crystal television, viewfinder type or monitor direct view type video tape recorder, car navigation device, pager, electronic It can be suitably used as an image display means for devices such as notebooks, calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, touch panels, etc., and any electronic device can display with high contrast and wide viewing angle. It has become.

第1実施形態に係る液晶装置の等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the liquid crystal device according to the first embodiment. 同、1サブ画素の平面構成図。FIG. 3 is a plan configuration diagram of one sub-pixel. 図2のA−A’線に沿う断面構成図。FIG. 3 is a cross-sectional configuration diagram taken along line A-A ′ of FIG. 2. 第1実施形態に係る液晶装置の製造方法を示す断面工程図。Sectional process drawing which shows the manufacturing method of the liquid crystal device which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る液晶装置の断面構成図。The cross-sectional block diagram of the liquid crystal device which concerns on 2nd Embodiment. 電子機器の一例を示す斜視構成図。FIG. 11 is a perspective configuration diagram illustrating an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

100,200 液晶装置、10 TFTアレイ基板(第1基板)、20 対向基板(
第2基板)、30 TFT(スイッチング素子)、9 画素電極(第1電極)、19 共
通電極(第2電極)、22 CF層、23 位相差層、26 液晶層厚調整層、29 反
射層、39 樹脂層、50 液晶層、R 反射表示領域、T 透過表示領域
100, 200 Liquid crystal device, 10 TFT array substrate (first substrate), 20 Counter substrate (
(Second substrate), 30 TFT (switching element), 9 pixel electrode (first electrode), 19 common electrode (second electrode), 22 CF layer, 23 retardation layer, 26 liquid crystal layer thickness adjusting layer, 29 reflective layer, 39 resin layer, 50 liquid crystal layer, R reflective display area, T transmissive display area

Claims (10)

液晶層を挟持して対向配置された第1基板と第2基板とを備え、
前記第1基板の前記液晶層側に、第1の焼成温度を有したポリイミド材料からなる第1配向膜が形成され、
前記第2基板の前記液晶層側には、位相差層が形成されるとともに、第2の焼成温度を有したポリイミド材料からなる第2配向膜が前記位相差層を覆って形成されており、前記第1配向膜と前記第2配向膜とは異なるポリイミド材料からなり、前記第2配向膜の前記第2の焼成温度が、前記第1配向膜の前記第1の焼成温度より低い
晶装置。
A first substrate and a second substrate disposed opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween;
A first alignment film made of a polyimide material having a first baking temperature is formed on the liquid crystal layer side of the first substrate,
A retardation layer is formed on the liquid crystal layer side of the second substrate, and a second alignment film made of a polyimide material having a second baking temperature is formed so as to cover the retardation layer. The first alignment film and the second alignment film are made of different polyimide materials, and the second baking temperature of the second alignment film is lower than the first baking temperature of the first alignment film.
Liquid crystal devices.
前記第1基板上に、互いの間に前記液晶層を駆動する電界を生じさせる第1電極と第2電極とが形成されている
請求項1に記載の液晶装置。
A first electrode and a second electrode for generating an electric field for driving the liquid crystal layer are formed between the first substrate and the first substrate.
The liquid crystal device according to claim 1 .
1つのサブ画素領域内に反射表示を行う反射表示領域と透過表示を行う透過表示領域とが設けられており、前記位相差層が、前記反射表示領域に選択的に形成されている
求項1又は2に記載の液晶装置。
A reflective display area for performing reflective display and a transmissive display area for performing transmissive display are provided in one sub-pixel area, and the retardation layer is selectively formed in the reflective display area.
The liquid crystal device according to Motomeko 1 or 2.
前記位相差層の層厚によって、前記反射表示領域と前記透過表示領域とで前記液晶層の層厚が異ならされている
求項3に記載の液晶装置。
Depending on the thickness of the retardation layer, the thickness of the liquid crystal layer is different between the reflective display region and the transmissive display region.
The liquid crystal device according to Motomeko 3.
前記位相差層の前記液晶層と反対側に、前記反射表示領域と前記透過表示領域とで前記液晶層の層厚が異ならせる液晶層厚調整層が形成されている
請求項3又は4に記載の液晶装置。
A liquid crystal layer thickness adjusting layer is formed on the opposite side of the retardation layer from the liquid crystal layer so that the thickness of the liquid crystal layer varies between the reflective display region and the transmissive display region.
The liquid crystal device according to claim 3 or 4 .
液晶層を挟持して対向配置された第1基板と第2基板とを備え、前記第1基板の前記液晶層側に第1配向膜が形成され、前記第2基板の液晶層側に位相差層と該位相差層を覆う第2配向膜とが形成された液晶装置の製造方法であって、
前記第2基板上に位相差層を形成する工程と、前記位相差層を覆うように配向膜形成材料を塗布する工程と、前記塗布された配向膜形成材料を前記位相差層の構成材料の相転移温度より低い温度で焼成する工程と、を含む
晶装置の製造方法。
A first substrate and a second substrate arranged opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, wherein a first alignment film is formed on the liquid crystal layer side of the first substrate, and a phase difference is formed on the liquid crystal layer side of the second substrate A method for manufacturing a liquid crystal device in which a layer and a second alignment film covering the retardation layer are formed,
A step of forming a retardation layer on the second substrate, a step of applying an alignment film forming material so as to cover the retardation layer, and the applied alignment film forming material of the constituent material of the retardation layer Firing at a temperature lower than the phase transition temperature.
Method of manufacturing a liquid crystal device.
前記配向膜形成材料として可溶性ポリイミドを用いる
求項6に記載の液晶装置の製造方法。
Soluble polyimide is used as the alignment film forming material.
Method of manufacturing a liquid crystal device according to Motomeko 6.
前記位相差層を形成する工程に先立って、
前記第2基板上に、前記液晶層の層厚をサブ画素の平面領域内で異ならせる液晶層厚調整層を形成する工程を有する
求項6又は7に記載の液晶装置の製造方法。
Prior to the step of forming the retardation layer,
Forming a liquid crystal layer thickness adjusting layer on the second substrate, wherein the thickness of the liquid crystal layer varies within the plane region of the sub-pixel.
Method of manufacturing a liquid crystal device according to Motomeko 6 or 7.
前記第1基板上に互いの間に前記液晶層を駆動する電界を生じさせる第1電極と第2電極とを形成する工程と、前記第1電極及び前記第2電極を覆う前記第1配向膜を形成する工程と、前記第1電極、前記第2電極、及び前記第1配向膜が形成された前記第1基板を、前記第2配向膜が形成された前記第2基板とシール材を介して貼り合わせる工程と、を有する
求項6から8のいずれか1項に記載の液晶装置の製造方法。
Forming a first electrode and a second electrode for generating an electric field for driving the liquid crystal layer between each other on the first substrate; and the first alignment film covering the first electrode and the second electrode And the first substrate on which the first electrode, the second electrode, and the first alignment film are formed, and the second substrate on which the second alignment film is formed and a sealing material. And laminating
Method of manufacturing a liquid crystal device according to any one of Motomeko 6 8.
請求項1から5のいずれか1項に記載の液晶装置を備えた
子機器。
The liquid crystal device according to claim 1 is provided.
Electronic equipment.
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