JP4742558B2

JP4742558B2 - Blur correction imaging apparatus and camera

Info

Publication number: JP4742558B2
Application number: JP2004291177A
Authority: JP
Inventors: 丈司入田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2004-10-04
Filing date: 2004-10-04
Publication date: 2011-08-10
Anticipated expiration: 2024-10-04
Also published as: JP2006106249A

Description

本発明は、光学系が結像する像のブレを補正するブレ補正撮像装置、及び、このようなブレ補正撮像装置を備えたカメラに関するものである。 The present invention relates to a blur correction imaging apparatus that corrects blurring of an image formed by an optical system, and a camera including such a blur correction imaging apparatus.

ブレ補正撮像装置は、画像を結像する光学系に備えられ、振動が生じた場合に、例えば光学系の一部を構成するブレ補正光学系を、この振動に起因する画像上のブレ（像ブレ）が低減される方向に変位させるものである。
このようなブレ補正撮像装置として、従来、手振れ等の振動を検出する角速度センサ等を設け、検出された振動の方向と、振れ量とに応じて、カメラの撮影用レンズ群に含まれる補正用レンズ群をシフト変位させるものが一般的である。 The vibration correction imaging apparatus is provided in an optical system that forms an image. When vibration occurs, for example, a vibration correction optical system that forms a part of the optical system is connected to a vibration (image) on the image caused by the vibration. It is displaced in a direction in which blur is reduced.
Conventionally, as such a blur correction imaging device, an angular velocity sensor or the like for detecting vibration such as camera shake is provided, and for correction included in the camera lens group according to the detected vibration direction and shake amount. In general, the lens group is shifted and displaced.

しかし、このように補正用レンズ群を移動する場合、そのシフト変位に起因して収差が発生するなど、光学性能が低下し、また、光学系全体のサイズが大型化する場合があった。
また、例えば、レンズ交換式のカメラシステムの交換用レンズのように、異なった撮影用光学系が多種類存在する場合には、個々の光学系毎に個別の設計が必要となる。 However, when the correction lens group is moved in this way, there are cases in which aberrations occur due to the shift displacement and the optical performance deteriorates and the size of the entire optical system increases.
Further, for example, when there are many kinds of different photographing optical systems, such as an interchangeable lens of an interchangeable lens camera system, an individual design is required for each optical system.

これに対し、像ブレを補正するために、デジタルスチルカメラの撮像素子をシフト変位させることが知られている。
例えば、固定部に対して所定の方向に移動可能に支持された外枠と、この外枠に対して外枠の移動方向と直交する方向に移動可能に支持された内枠とを設けて、この内枠によって撮像素子を保持することによって、撮像素子を光軸と略直交する面内で移動可能に支持したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。 On the other hand, in order to correct image blur, it is known to shift and displace an image sensor of a digital still camera.
For example, an outer frame supported to be movable in a predetermined direction with respect to the fixed portion, and an inner frame supported to be movable in a direction orthogonal to the moving direction of the outer frame with respect to the outer frame, It is known that the image pickup device is supported by the inner frame so that the image pickup device can be moved in a plane substantially orthogonal to the optical axis (see, for example, Patent Document 1).

このように、二重構造の枠体を、直交２軸方向にそれぞれアクチュエータによって駆動する場合、内枠側を駆動するアクチュエータの一端部を、外枠側に固定すると、外枠側を駆動する際に、このアクチュエータ全体を移動させることになるから、可動部分の質量が増加してしまう。一方、内枠側を駆動するアクチュエータの一端部を、固定部に固定すると、可動部分の質量は軽量化できるが、外枠側の駆動に伴い、内枠側を駆動するアクチュエータの固定部と駆動部とが、その駆動方向に対して横方向にずらされ、不安定な状態となってしまう。
特開２００３−１１０９１９号広報 As described above, when the double-structured frame is driven by the actuators in the two orthogonal axes, if one end of the actuator that drives the inner frame is fixed to the outer frame, the outer frame is driven. In addition, since the entire actuator is moved, the mass of the movable part is increased. On the other hand, if one end part of the actuator that drives the inner frame side is fixed to the fixed part, the mass of the movable part can be reduced. However, as the outer frame side is driven, the fixed part of the actuator that drives the inner frame side is driven. The portion is shifted in the lateral direction with respect to the driving direction, resulting in an unstable state.
Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-110919

本発明の課題は、可動部分を軽量化し、かつ、アクチュエータが駆動方向とは異なった方向にずれることを防止したブレ補正撮像装置、及び、このようなブレ補正撮像装置を有するカメラを提供することである。 An object of the present invention is to provide a shake correction imaging apparatus that reduces the weight of a movable part and prevents an actuator from shifting in a direction different from the driving direction, and a camera having such a shake correction imaging apparatus. It is.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, it attaches | subjects and demonstrates the code | symbol corresponding to the Example of this invention, but this invention is not limited to this.

請求項１の発明は、固定部（１５０）と、前記固定部に対して第１の軸に沿った方向に移動する第１の移動部材（１６１，１６２，１６３）と、前記第１の移動部材を前記固定部に対して前記第１の軸に沿った方向に移動可能にガイドする第１のガイド部（１５１）と、前記固定部と前記第１の移動部材との間に備えられる第１鋼球及び第２鋼球（１５１ｅ）と、一端側が前記第１の移動部材に備えられ他端側が前記固定部に備えられ、前記第１の移動部材と前記固定部とを引き付けるように付勢する第１スプリング（１６４）と、前記固定部に対して前記第１の軸と略直交する第２の軸に沿った方向に移動する第２の移動部材（１７１，１７２，１７３）と、前記第２の移動部材を前記固定部に対して前記第２の軸に沿った方向に移動可能にガイドする第２のガイド部（１５３）と、前記固定部と前記第２の移動部材との間に備えられる第３鋼球及び第４鋼球（１５１ｅ）と、一端側が前記第２の移動部材に備えられ他端側が前記固定部に備えられ、前記第２の移動部材と前記固定部とを引き付けるように付勢する第２スプリング（１６４）と、前記第１の移動部材を前記固定部に対して前記第１の軸に沿った方向に駆動する第１のアクチュエータ（１９１）と、前記第２の移動部材を前記固定部に対して前記第２の軸に沿った方向に駆動する第２のアクチュエータ（１９３）と、前記第１の移動部材に対して前記第２の軸に沿った方向に移動可能にこの第１の移動部材に支持され、かつ、前記第２の移動部材に対して前記第１の軸に沿った方向に移動可能にこの第２の移動部材に支持された撮像素子部（１８０）とを備え、前記第１鋼球は、前記第１のガイド部の前記撮像素子部の撮像面と平行な面に備えられ、前記第２鋼球は、前記第１のガイド部の前記撮像素子部の撮像面と直交する面に備えられ、前記第３鋼球は、前記第２のガイド部の前記撮像素子部の撮像面と平行な面に備えられ、前記第４鋼球は、前記第２のガイド部の前記撮像素子部の撮像面と直交する面に備えられ、前記第１スプリング及び前記第２スプリングは、前記撮像素子部の撮像面と平行な方向及び前記撮像面と直交する方向に対して傾斜して備えられ、前記撮像素子部の撮像面と平行な方向及び前記撮像面と直交する方向に対して傾斜する方向の付勢力を生じさせることを特徴とするブレ補正撮像装置である。
請求項２の発明は、請求項１に記載のブレ補正撮像装置（１４０）において、前記第１のガイド部（１５１，１５２，１６２，１６３）は、前記固定部（１５０）に固定された矩形断面の第１固定ガイドレール（１５１，１５２）と、前記第１の移動部材（１６１）の端部に接続される第１端部ガイド部（１６２，１６３）とを備え、前記第１端部ガイド部（１６２，１６３）は、前記第１固定ガイドレール（１５１，１５２）の一部が収容されるように形成された矩形断面の第１溝部（１６２ａ）を備え、前記第１固定ガイドレール（１５１，１５２）は、前記第１溝部（１６２ａ）に対向する位置であって、かつ前記第１の軸と前記第２の軸とで形成される水平面と平行な面に形成された第１の凹部（１５１ｃ）と、前記第１溝部（１６２ａ）に対向する位置であってかつ前記水平面と直交する面に形成された第２の凹部（１５１ｄ）と、を備え、前記第１の凹部（１５１ｃ）および前記第２の凹部（１５１ｄ）の内側には、前記第１鋼球が配置されていることを特徴とするブレ補正撮像装置。 The invention of claim 1, the fixed part (150), said first moving member moves in a direction along the first axis relative to the fixed portion (161, 162, 163), moving said first A first guide part (151) that guides a member to be movable in a direction along the first axis with respect to the fixed part, and a first guide part (151) provided between the fixed part and the first moving member. One steel ball and the second steel ball (151e), one end side is provided in the first moving member, and the other end side is provided in the fixing portion, and the first moving member and the fixing portion are attached to each other. A first spring (164) that urges; a second moving member (171, 172, 173) that moves in a direction along a second axis that is substantially orthogonal to the first axis with respect to the fixed portion ; The second moving member can be moved in a direction along the second axis with respect to the fixed portion. The second guide portion for guiding the (153), said third steel balls and the fourth steel ball fixing portion and provided between the second moving member and (151 e), one end of the second moving member A second spring (164) for urging the second moving member and the fixed portion to be attracted to each other, the other end side being provided to the fixed portion, and the first moving member to the fixed portion. On the other hand, a first actuator (191) that drives in the direction along the first axis and a second actuator that drives the second moving member in the direction along the second axis with respect to the fixed portion. The actuator (193) and the first moving member are supported by the first moving member so as to be movable in a direction along the second axis with respect to the first moving member, and with respect to the second moving member The second moving member is movable in a direction along the first axis. A supported image pickup device unit (180), the first steel ball is provided in the imaging plane which is parallel to the plane of the image pickup device unit of the first guide portion, the second steel ball, the Provided on a surface orthogonal to the imaging surface of the imaging device portion of the first guide portion, the third steel ball is provided on a surface parallel to the imaging surface of the imaging device portion of the second guide portion, The fourth steel ball is provided on a surface orthogonal to the imaging surface of the imaging element unit of the second guide unit, and the first spring and the second spring are parallel to the imaging surface of the imaging element unit. A direction and a direction perpendicular to the imaging surface are provided, and an urging force is generated in a direction parallel to the imaging surface of the imaging element unit and a direction inclined with respect to the direction orthogonal to the imaging surface. Is a shake correction imaging apparatus characterized by the above .
According to a second aspect of the present invention, in the shake correction imaging apparatus (140) according to the first aspect, the first guide portion (151, 152, 162, 163) is a rectangle fixed to the fixed portion (150). a first fixed guide rail section (151, 152), said first and a first end guide portion connected to an end portion of the moving member (161) (162, 163), said first end portion The guide portion (162, 163) includes a first groove portion (162a) having a rectangular cross section formed so as to accommodate a part of the first fixed guide rail (151, 152), and the first fixed guide rail. (151, 152) are positions that face the first groove part (162a) and are formed on a plane parallel to a horizontal plane formed by the first axis and the second axis. Recess (151c) and the first groove (16 a second concave portion (151d) formed on a surface opposite to the horizontal plane and orthogonal to the horizontal plane, wherein the first concave portion (151c) and the second concave portion (151d) A blur correction imaging apparatus, wherein the first steel ball is disposed inside.

請求項３の発明は、請求項１に記載のブレ補正撮像装置（１４０）において、前記第１のガイド部（１５１，１５２，１６２，１６３）は、前記固定部（１５０）に備えられ、前記第１の軸に沿って延在する第１のガイドレール（１５１，１５２）を有し、前記第２のガイド部（１５３，１５４，１７２，１７３）は、前記固定部（１５０）に備えられ、前記第２の軸に沿って延在する第２のガイドレール（１５３，１５４）を有することを特徴とするブレ補正撮像装置（１４０）である。
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のブレ補正撮像装置（１４０）において、前記撮像素子部（１８０）は、撮像素子（１８１）と、前記撮像素子（１８１）が固定された回路基板（１８２）を備え、前記撮像素子（１８１）は、前記回路基板（１８２）を介して前記第１の移動部材（１６１）及び前記第２の移動部材（１７１）にそれぞれ支持されることを特徴とするブレ補正撮像装置（１４０）である。
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のブレ補正撮像装置（１４０）において、前記第１のアクチュエータ（１９１）、前記第２のアクチュエータ（１９３）の少なくとも１つは、前記固定部（１５０）に固定された磁性体（１９１ａ，１９３ａ）を含むボイスコイルモータを有することを特徴とするブレ補正撮像装置（１４０）である。
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のブレ補正撮像装置（１４０）において、前記固定部（１５０）に対する前記第１の移動部材（１６１）の前記第１の軸に沿った方向の変位を検出する第１の位置検出部（１９２）と、前記固定部（１５０）に対する前記第２の移動部材（１７１）の前記第２の軸に沿った方向の変位を検出する第２の位置検出部（１９４）とを備えることを特徴とするブレ補正撮像装置（１４０）である。 A third aspect of the present invention, the shake correction image pickup apparatus according to claim 1 (140), said first guide portion (151,152,162,163) is provided in the fixed part (150), the The first guide rails (151, 152) extending along the first axis are provided, and the second guide portions (153, 154, 172, 173) are provided in the fixed portion (150). A blur correction imaging apparatus (140) having second guide rails (153, 154) extending along the second axis.
According to a fourth aspect of the present invention, in the shake correction imaging apparatus (140) according to any one of the first to third aspects, the imaging element unit (180) includes the imaging element (181) and the imaging. The image sensor (181) includes the first moving member (161) and the second moving member (via the circuit board (182), the circuit board (182) to which the element (181) is fixed. 171), which is respectively supported by the shake correction imaging device (140).
According to a fifth aspect of the present invention, in the shake correction imaging apparatus (140) according to any one of the first to fourth aspects, the first actuator (191) and the second actuator (193) At least one is a blur correction imaging device (140) having a voice coil motor including a magnetic body (191a, 193a) fixed to the fixing portion (150).
According to a sixth aspect of the present invention, in the shake correction imaging apparatus (140) according to any one of the first to fifth aspects, the first moving member (161) with respect to the fixed portion (150) A first position detection unit (192) that detects displacement in a direction along the first axis, and a direction along the second axis of the second moving member (171) with respect to the fixed unit (150) And a second position detection unit (194) for detecting the displacement of the image stabilization device (140).

請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のブレ補正撮像装置（１４０）と、前記ブレ補正撮像装置の前記撮像素子部の撮像面に被写体像を結像する撮像光学系（５１０）と、振動を検出する振動検出部（１１０，１２０）と、前記振動検出部の出力に応じて、前記撮像素子部（１８０）の変位を制御する補正制御部（１３０）とを備えるカメラ（１）である。 According to a seventh aspect of the present invention, an object image is formed on the image pickup surface of the image blur correction image pickup device (140) according to any one of the first to sixth aspects and the image pickup device portion of the image blur correction image pickup device. An imaging optical system (510) for imaging, vibration detection units (110, 120) for detecting vibrations, and a correction control unit for controlling the displacement of the image sensor unit (180) according to the output of the vibration detection unit ( 130).

本発明によれば、一方のアクチュエータによって、第１の軸、第２の軸に沿った方向にそれぞれ撮像素子を駆動する場合に、その駆動方向に沿って移動する移動部材のみ移動し、他の移動部材は移動しないから、他の方向の駆動用のアクチュエータはその影響を受けず、その駆動方向と異なった方向へのずれが防止される。
また、各アクチュエータは、その一端部を固定部に装着されるから、例えばボイスコイルモータのマグネット部のように重量のある部分を固定側とすることによって、可動部分の軽量化をすることができる。 According to the present invention, when the imaging device is driven in the direction along the first axis and the second axis by one actuator, only the moving member moving along the driving direction moves, Since the moving member does not move, the driving actuators in the other directions are not affected by this, and the shift in the direction different from the driving direction is prevented.
In addition, since one end of each actuator is attached to the fixed part, the movable part can be reduced in weight by setting a heavy part, such as a magnet part of a voice coil motor, for example. .

本発明は、支持基板に対してＸ軸に沿った方向に移動しかつ撮像素子部をＹ軸に沿った方向に移動可能に支持する移動ガイドレールと、支持基板に対してＹ軸に沿った方向に移動しかつ撮像素子部をＸ軸に沿った方向に移動可能に支持する移動ガイドレールと、各ガイドレールを支持基板に対して駆動するアクチュエータとを備えることによって上述した課題を解決する。 The present invention includes a moving guide rail that moves in the direction along the X axis with respect to the support substrate and supports the image pickup device portion so as to be movable in the direction along the Y axis, and the Y axis with respect to the support substrate. The above-described problem is solved by providing a moving guide rail that moves in the direction and supports the image sensor unit so as to be movable in the direction along the X axis, and an actuator that drives each guide rail with respect to the support substrate.

以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。
図１は、ボディ１００と、レンズ鏡筒５００とを備えている。
カメラ１は、例えば、レンズ非交換式のデジタルスチルカメラであって、レンズ鏡筒５００は、ボディ１００に固定されている。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings and the like.
FIG. 1 includes a body 100 and a lens barrel 500.
The camera 1 is, for example, a non-lens interchangeable digital still camera, and the lens barrel 500 is fixed to the body 100.

ボディ１００は、略矩形の容器状に形成され、その内部に、ヨーイング検出ジャイロ１１０と、ピッチング検出ジャイロ１２０と、制御装置１３０と、ブレ補正撮像装置１５０とを備えている。
ヨーイング検出ジャイロ１１０及びピッチング検出ジャイロ１２０は、それぞれカメラ１のヨーイング方向及びピッチング方向の回転（振れ）をそれぞれ検出する角速度センサである。
なお、本明細書においては、レンズ鏡筒５００の光軸をＺ軸とし、Ｚ軸と直交し、撮像素子の撮像面の長辺に沿った方向（正位置撮影時の横方向）の軸をＸ軸、Ｚ軸及びＸ軸とそれぞれ直交する軸をＹ軸としたＸ−Ｙ−Ｚ直交３軸を設定したときに、Ｘ軸回りにカメラ１が回転する振れを、「ピッチング」と称し、Ｙ軸回りにカメラ１が回転する振れを、「ヨーイング」と称して説明する。 The body 100 is formed in a substantially rectangular container shape, and includes a yawing detection gyro 110, a pitching detection gyro 120, a control device 130, and a shake correction imaging device 150 therein.
The yawing detection gyro 110 and the pitching detection gyro 120 are angular velocity sensors that respectively detect the rotation (shake) of the camera 1 in the yawing direction and the pitching direction.
In the present specification, the optical axis of the lens barrel 500 is the Z axis, and the axis in the direction perpendicular to the Z axis and along the long side of the imaging surface of the image sensor (lateral direction at the time of normal position shooting) is used. The shake that the camera 1 rotates around the X axis when the X, Y, and Z axes are set to the Y axis that is orthogonal to the X axis, the Z axis, and the X axis is referred to as “pitching”. The shake that the camera 1 rotates about the Y axis will be referred to as “yaw”.

制御装置１３０は、ヨーイング検出ジャイロ１１０及びピッチング検出ジャイロ１２０が出力する信号等を処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、ブレ補正撮像装置１４０の後述するアクチュエータ等を駆動するドライバ部とを備えている。
ブレ補正撮像装置１４０は、例えばＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子を、アクチュエータによって、Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ沿った方向に変位可能に支持したものであり、その詳細については後述する。
レンズ鏡筒５００は、略円筒状に形成され、その内径側に、撮像ユニットの撮像素子の撮像面に被写体像を結像する撮影用レンズ群５１０を収容している。 The control device 130 includes a central processing unit (CPU) that processes signals output by the yawing detection gyro 110 and the pitching detection gyro 120, and a driver unit that drives an actuator and the like described later of the shake correction imaging device 140. .
The blur correction imaging device 140 supports an imaging element such as a CCD or a CMOS, for example, by an actuator so as to be displaceable in directions along the X axis and the Y axis, details of which will be described later.
The lens barrel 500 is formed in a substantially cylindrical shape, and houses an imaging lens group 510 that forms a subject image on the imaging surface of the imaging element of the imaging unit on the inner diameter side thereof.

図２は、ブレ補正撮像装置１４０を、レンズ鏡筒５００の光軸に沿った方向から見た図である。
ブレ補正撮像装置１４０は、支持基板１５０と、移動ガイドレールユニット１６０，１７０と、撮像素子ユニット１８０と、Ｘ方向アクチュエータ１９１と、Ｘ方向位置検出器１９２と、Ｙ方向アクチュエータ１９３と、Ｙ方向位置検出器１９４とを備えている。 FIG. 2 is a view of the blur correction imaging device 140 as seen from the direction along the optical axis of the lens barrel 500.
The blur correction imaging device 140 includes a support substrate 150, moving guide rail units 160 and 170, an imaging element unit 180, an X direction actuator 191, an X direction position detector 192, a Y direction actuator 193, and a Y direction position. And a detector 194.

支持基板１５０は、カメラ１のボディ１００に固定される固定部であり、Ｘ軸に沿った方向の長辺を有する矩形の板状に形成されている。
支持基板１５０は、固定ガイドレール１５１，１５２，１５３，１５４と、Ｘ方向アクチュエータ１９１のマグネット部１９１ａと、Ｘ方向位置検出器１９２のＬＥＤ部１９２ａ及びＰＳＤ（ポジションセンシティブディテクタ）部１９２ｂと、Ｙ方向アクチュエータ１９３のマグネット部１９３ａと、Ｙ方向位置検出器１９４のＬＥＤ部１９４ａ及びＰＳＤ部１９４ｂとを備えている。 The support substrate 150 is a fixed portion fixed to the body 100 of the camera 1 and is formed in a rectangular plate shape having a long side in the direction along the X axis.
The support substrate 150 includes fixed guide rails 151, 152, 153, and 154, a magnet unit 191a of the X direction actuator 191, an LED unit 192a and a PSD (position sensitive detector) unit 192b of the X direction position detector 192, and a Y direction. A magnet unit 193a of the actuator 193 and an LED unit 194a and a PSD unit 194b of the Y-direction position detector 194 are provided.

固定ガイドレール１５１，１５２は、それぞれＸ軸に沿った方向に延在し、支持基板１５０に固定された案内部であって、支持基板１５０の一方の長辺側から、間隔を隔てて順次平行に配列されている。
固定ガイドレール１５３，１５４は、それぞれＹ軸に沿った方向に延在し、支持基板１５０に固定された案内部であって、支持基板１５０の一方の短辺側から、間隔を隔てて順次平行に配列されている。 The fixed guide rails 151 and 152 are guide portions that extend in the direction along the X axis and are fixed to the support substrate 150, and are sequentially parallel from one long side of the support substrate 150 at intervals. Is arranged.
Each of the fixed guide rails 153 and 154 extends in the direction along the Y axis and is a guide portion fixed to the support substrate 150. The fixed guide rails 153 and 154 are sequentially parallel from one short side of the support substrate 150 at intervals. Is arranged.

Ｘ方向アクチュエータ１９１は、移動ガイドレールユニット１６０を、Ｘ軸に沿った方向に駆動するボイスコイルモータを備え、そのマグネット部１９１ａは、支持基板１６０の固定ガイドレール１５３と反対側の短辺に隣接して配置されている。
Ｘ方向位置検出器１９２は、支持基板１５０に対する移動ガイドレールユニット１６０のＸ軸に沿った方向の位置を検出するものであり、ＬＥＤ部１９２ａとＰＳＤ部１９２ｂとを、後述する可動スリット部１９２ｃを挟んで、対向して配置したものである。
Ｘ方向位置検出器１９２は、Ｘ方向アクチュエータ１９１と隣接して配置されている。
Ｙ方向アクチュエータ１９３は、移動ガイドレールユニット１７０を、Ｙ軸に沿った方向に駆動するボイスコイルモータを備え、そのマグネット部１９３ａは、支持基板１６０の固定ガイドレール１５１と反対側の短辺に隣接して配置されている。
Ｙ方向位置検出器１９４は、支持基板１５０に対する移動ガイドレールユニット１７０のＹ軸に沿った方向の位置を検出するものであり、ＬＥＤ部１９４ａとＰＳＤ部１９４ｂとを、後述する可動スリット部１９４ｃを挟んで、対向して配置したものである。
Ｘ方向位置検出器１９４は、Ｙ方向アクチュエータ１９３と隣接して配置されている。 The X direction actuator 191 includes a voice coil motor that drives the moving guide rail unit 160 in the direction along the X axis, and the magnet portion 191a is adjacent to the short side of the support substrate 160 opposite to the fixed guide rail 153. Are arranged.
The X-direction position detector 192 detects the position of the moving guide rail unit 160 in the direction along the X-axis with respect to the support substrate 150. The X-direction position detector 192 detects the LED portion 192a and the PSD portion 192b, and a movable slit portion 192c described later. They are placed opposite to each other.
The X direction position detector 192 is disposed adjacent to the X direction actuator 191.
The Y-direction actuator 193 includes a voice coil motor that drives the moving guide rail unit 170 in the direction along the Y-axis, and the magnet portion 193a is adjacent to the short side of the support substrate 160 opposite to the fixed guide rail 151. Are arranged.
The Y-direction position detector 194 detects the position of the movement guide rail unit 170 in the direction along the Y axis with respect to the support substrate 150. The Y-direction position detector 194 detects the LED portion 194a and the PSD portion 194b, and a movable slit portion 194c described later. They are placed opposite to each other.
The X direction position detector 194 is disposed adjacent to the Y direction actuator 193.

移動ガイドレールユニット１６０は、支持基板１５０に対して、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持され、移動ガイドレール１６１と、ガイド部１６２，１６３と、スプリング１６４と、Ｘ方向アクチュエータ１９１のコイル部１９１ｂと、Ｘ方向位置検出器１９２のスリット部１９２ｃとを備えている。
移動ガイドレール１６１は、Ｙ軸に沿った方向に延在し、撮像素子ユニット１８０を、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持するものである。
ガイド部１６２，１６３は、それぞれ移動ガイドレール１６１の両端部に接続され、上述した固定ガイドレール１５１，１５２に対して、それぞれＸ軸に沿った方向に移動可能に接続されている。
スプリング１６４は、移動ガイドレールユニット１６０と支持基板１５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング１６４は、それぞれ固定ガイドレール１５１，１５２と隣接して配置されている。 The moving guide rail unit 160 is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the support substrate 150, the moving guide rail 161, the guide portions 162 and 163, the spring 164, and the coil of the X direction actuator 191. Part 191b and a slit part 192c of the X-direction position detector 192.
The movement guide rail 161 extends in the direction along the Y axis, and supports the image sensor unit 180 so as to be movable in the direction along the Y axis.
The guide portions 162 and 163 are connected to both ends of the moving guide rail 161, respectively, and are connected to the above-described fixed guide rails 151 and 152 so as to be movable in the direction along the X axis.
The spring 164 is a coil spring in which a plurality of the moving guide rail units 160 and the support substrate 150 are provided between the surfaces facing each other, and urges them in directions approaching each other. The plurality of springs 164 are disposed adjacent to the fixed guide rails 151 and 152, respectively.

図３は、図２のIII−III部矢視断面図である。
固定ガイドレール１５１は、矩形の横断面を備えている。
ガイド部１６２は、固定ガイドレール１５１の一部が収容される矩形断面の溝部１６２ａが形成されている。
固定ガイドレール１５１は、その上面１５１ａと、一方の側面１５１ｂの上述した溝部１６２の溝面と対向する面部に、カップ状に凹ませた凹部１５１ｃ，１５１ｄが形成されている。
それぞれの凹部１５１ｃ，１５１ｄの内部には、ガイド部１６２の固定ガイドレール１５１に対する移動に伴い回転する鋼球１５１ｅが配置されている。
また、スプリング部１６４は、その付勢力によって、上述した固定ガイドレール１５１の一方の側面１５１ｂと、対向する溝部１６２の内面とが近接する方向に付勢されるように、その長手方向を支持基板１５１と直交する方向に対して傾斜させて配置されている。 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG.
The fixed guide rail 151 has a rectangular cross section.
The guide part 162 is formed with a groove 162a having a rectangular cross section in which a part of the fixed guide rail 151 is accommodated.
The fixed guide rail 151 has recesses 151c and 151d that are recessed in a cup shape on the upper surface 151a and on the surface of the one side surface 151b that faces the groove surface of the groove 162 described above.
Inside each of the recesses 151c and 151d, a steel ball 151e that rotates as the guide 162 moves relative to the fixed guide rail 151 is disposed.
In addition, the spring portion 164 is supported in the longitudinal direction by the biasing force so that the one side surface 151b of the fixed guide rail 151 described above and the inner surface of the opposed groove portion 162 are close to each other. Inclined with respect to the direction orthogonal to 151.

Ｘ方向アクチュエータ１９１のコイル部１９１ｂは、移動ガイドレール１６１から突き出したステー部に固定され、支持基板１５０に固定されたマグネット部１９１ａと対向して配置されている。また、コイル部１９１ｂのマグネット部１９１ａとは反対側に、支持基板１５０に対して固定された図示しないヨーク部が設けられている。
Ｘ方向位置検出器１９２のスリット部１９２ｃは、ガイド部１６２に固定され、その先端部は、上述したＬＥＤ部１９２ａ及びＰＳＤ部１９２ｂに挟まれて配置されている。 The coil portion 191 b of the X-direction actuator 191 is fixed to a stay portion protruding from the moving guide rail 161, and is disposed to face the magnet portion 191 a fixed to the support substrate 150. Further, a yoke portion (not shown) fixed to the support substrate 150 is provided on the opposite side of the coil portion 191b from the magnet portion 191a.
The slit portion 192c of the X-direction position detector 192 is fixed to the guide portion 162, and the tip portion is disposed between the LED portion 192a and the PSD portion 192b described above.

移動ガイドレールユニット１７０は、支持基板１５０に対して、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持され、移動ガイドレール１７１と、ガイド部１７２，１７３と、スプリング１７４と、Ｙ方向アクチュエータ１９３のコイル部１９３ｂと、Ｙ方向位置検出器１９４のスリット部１９４ｃとを備えている。
移動ガイドレール１７１は、Ｘ軸に沿った方向に延在し、撮像素子ユニット１８０を、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持するものである。
ガイド部１７２，１７３は、それぞれ移動ガイドレール１７１の両端部に接続され、上述した移動ガイドレール１５３，１５４に対して、それぞれＹ軸に沿った方向に移動可能に接続されている。
スプリング１７４は、移動ガイドレールユニット１７０と支持基板１５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング１７４は、それぞれ固定ガイドレール１５３，１５４と隣接して配置されている。 The moving guide rail unit 170 is supported so as to be movable in the direction along the Y axis with respect to the support substrate 150. The moving guide rail unit 171, the guide portions 172 and 173, the spring 174, and the coil of the Y direction actuator 193 are supported. Part 193b and a slit part 194c of the Y-direction position detector 194.
The movement guide rail 171 extends in the direction along the X axis, and supports the image sensor unit 180 so as to be movable in the direction along the X axis.
The guide portions 172 and 173 are respectively connected to both end portions of the moving guide rail 171 and are connected to the above-described moving guide rails 153 and 154 so as to be movable in the direction along the Y axis.
The spring 174 is a coil spring in which a plurality of the moving guide rail units 170 and the support substrate 150 are provided between the surfaces facing each other, and urges them in directions approaching each other. The plurality of springs 174 are disposed adjacent to the fixed guide rails 153 and 154, respectively.

Ｙ方向アクチュエータ１９３のコイル部１９３ｂは、移動ガイドレール１７１から突き出したステー部に固定され、支持基板１５０に固定されたマグネット部１９３ａと対向して配置されている。また、コイル部１９３ｂのマグネット部１９３ａとは反対側に、支持基板１５０に対して固定された図示しないヨーク部が設けられている。
Ｙ方向位置検出器１９４のスリット部１９４ｃは、ガイド部１７２に固定され、その先端部は、上述したＬＥＤ部１９４ａ及びＰＳＤ部１９４ｂに挟まれて配置されている。 The coil portion 193 b of the Y-direction actuator 193 is fixed to a stay portion protruding from the moving guide rail 171 and is disposed to face the magnet portion 193 a fixed to the support substrate 150. Further, a yoke portion (not shown) fixed to the support substrate 150 is provided on the opposite side of the coil portion 193b from the magnet portion 193a.
The slit part 194c of the Y-direction position detector 194 is fixed to the guide part 172, and the tip part is disposed between the LED part 194a and the PSD part 194b described above.

撮像素子ユニット１８０は、移動ガイドレールユニット１６０に対して、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持され、移動ガイドレールユニット１７０に対して、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持されている。
撮像素子ユニット１８０は、撮像素子１８１と、回路基板１８２と、ガイド部１８３，１８４と、スプリング１８５とを備えている。 The image sensor unit 180 is supported so as to be movable in the direction along the Y axis with respect to the moving guide rail unit 160, and is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the moving guide rail unit 170. Yes.
The image sensor unit 180 includes an image sensor 181, a circuit board 182, guide portions 183 and 184, and a spring 185.

撮像素子１８１は、撮影用レンズ群５１０がその撮像面に結像した被写体像を電気的な信号に変換して出力するものであり、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の光−電気変換素子を備えている。撮像素子１８１は、矩形の撮像面を有し、その長辺方向をＸ軸に沿って配置されている。
回路基板１８２は、撮像素子１８１の撮像面と反対側に固定される矩形の基板であり、そのサイズは、撮像素子１８１よりも長辺、短辺ともに大きく形成され、その長辺方向をＸ軸に沿って配置されている。
回路基板１８２は、その表面部に、撮像素子１８１に対して、その駆動信号等を供給し、かつ、撮像素子１８１が出力する画像信号を受け取り、処理する電子回路が設けられている。また、回路基板１８２は、図示しないフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）によって、制御装置１３０と接続されている。
ガイド部１８３は、回路基板１８２の外縁部において、移動ガイドレール１６１に対向する側の短辺に沿って設けられ、移動ガイドレール１６１に対して、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持されている。
ガイド部１８４は、回路基板１８２の外縁部において、移動ガイドレール１７１に対向する側の長辺に沿って設けられ、移動ガイドレール１７１に対して、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持されている。
スプリング１８５は、回路基板１８２と支持基板１５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング１８５の一部は、それぞれガイド部１８３，１８４と隣接して配置されている。 The imaging element 181 converts the subject image formed on the imaging surface by the photographing lens group 510 into an electrical signal and outputs the electrical signal. For example, the imaging element 181 includes a photoelectric conversion element such as a CCD or a CMOS. Yes. The imaging element 181 has a rectangular imaging surface, and the long side direction is arranged along the X axis.
The circuit board 182 is a rectangular board that is fixed on the opposite side to the imaging surface of the image sensor 181, and has a size that is larger on both the long side and the short side than the image sensor 181. Are arranged along.
The circuit board 182 is provided with an electronic circuit for supplying a drive signal and the like to the image sensor 181 and receiving and processing an image signal output from the image sensor 181 on the surface of the circuit board 182. The circuit board 182 is connected to the control device 130 by a flexible printed circuit board (FPC) (not shown).
The guide portion 183 is provided along the short side of the outer edge portion of the circuit board 182 facing the moving guide rail 161, and is supported so as to be movable in the direction along the Y axis with respect to the moving guide rail 161. ing.
The guide portion 184 is provided along the long side of the outer edge portion of the circuit board 182 facing the moving guide rail 171, and is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the moving guide rail 171. ing.
The plurality of springs 185 are coil springs provided between the surfaces of the circuit board 182 and the support board 150 facing each other and biasing them in the direction of approaching each other. Some of the plurality of springs 185 are disposed adjacent to the guide portions 183 and 184, respectively.

図４は、図２のIV−IV部矢視断面図である。
ガイド部１８３は、回路基板１８２の裏面（支持基板１５０側の面）に添付され、矩形の横断面を有して回路基板１８２の裏面から突き出して配置された角柱状部１８３ａと、回路基板１８２の裏面に沿って延在し、回路基板１８２の外側に張り出した平板状部１８３ｂとを備え、その横断面形状は、Ｌ字状となっている。
また、ガイド部１８３は、ガイド部１８３の角柱状部１８３ａの側面と、移動ガイドレール１６１の側面とが対向する箇所と、ガイド部１８３の平板状部１８３ｂの裏面と移動ガイドレール１６１の表面とが対向する箇所に、ガイド部１８３の移動ガイドレール１６１に対する移動に伴い回転する鋼球１８３ｃをそれぞれ備えている。
また、ガイド部１８３は、各鋼球１８３ｃが接触する箇所に、プレート状の鋼球受け部１８４ｄを備えている。
スプリング１８５は、その付勢力によって、ガイド部１８３の角柱状部１８３ａの側面と、移動ガイドレール１６１の側面とが相互に引き寄せられるように、その長手方向を支持基板１５０に対する直交方向に対して傾斜させて配置されている。 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
The guide portion 183 is attached to the back surface (the surface on the support substrate 150 side) of the circuit board 182, and has a rectangular columnar portion 183 a that has a rectangular cross section and protrudes from the back surface of the circuit board 182, and the circuit board 182. And a flat plate-like portion 183b extending outside the circuit board 182 and having an L-shaped cross section.
Further, the guide portion 183 includes a portion where the side surface of the prismatic portion 183a of the guide portion 183 and the side surface of the moving guide rail 161 face each other, the back surface of the flat plate portion 183b of the guide portion 183, and the surface of the moving guide rail 161. Are provided with steel balls 183c that rotate as the guide portion 183 moves relative to the moving guide rail 161, respectively.
Moreover, the guide part 183 is equipped with the plate-shaped steel ball receiving part 184d in the location where each steel ball 183c contacts.
The longitudinal direction of the spring 185 is inclined with respect to the direction orthogonal to the support substrate 150 so that the side surface of the prismatic portion 183a of the guide portion 183 and the side surface of the moving guide rail 161 are attracted to each other by the biasing force. Are arranged.

図５は、図２のV−V部矢視断面図であって、Ｘ方向アクチュエータ１９１の作動原理を示す図である。
Ｘ方向アクチュエータ１９１のマグネット部１９１ａは、着磁された磁性体であり、そのＮ極とＳ極とがＸ軸に沿った方向に配置されている。
鉄などの磁性体から成るコイル部１９１ｂは、長円状に巻かれたループコイルであって、その短軸方向をＸ軸に沿った方向に配置されている。
ヨーク部１９１ｃは、コイル部１９１ｂに対してマグネット部１９１ａと反対側に設けられている。
上述したコイル部１９１ｂに、図６に示す方向の電流を流すと、ローレンツ力が発生し、コイル部１９１ｂに対して、Ｘ軸に沿いかつマグネット部１９１ａのＮ極側に移動する駆動力が発生する。また、電流の方向を逆にすると、この駆動力も逆向きとなる。
従って、上述した制御装置１３０は、コイル部１９１ｂに通電される電流の極性及び電力を制御することによって、撮像素子ユニット１８０のＸ軸に沿った方向における変位を制御することができる。
なお、Ｙ方向アクチュエータ１９３も、このＸ方向アクチュエータ１９１と略同様の構成を備え、同じ原理によって駆動される。 FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV in FIG.
The magnet portion 191a of the X-direction actuator 191 is a magnetized magnetic body, and its N pole and S pole are arranged in a direction along the X axis.
The coil portion 191b made of a magnetic material such as iron is a loop coil wound in an oval shape, and its short axis direction is arranged in a direction along the X axis.
The yoke part 191c is provided on the opposite side to the magnet part 191a with respect to the coil part 191b.
When a current in the direction shown in FIG. 6 is applied to the coil portion 191b described above, a Lorentz force is generated, and a driving force that moves along the X axis and toward the N pole side of the magnet portion 191a is generated with respect to the coil portion 191b. To do. If the current direction is reversed, this driving force is also reversed.
Therefore, the control device 130 described above can control the displacement of the image sensor unit 180 in the direction along the X axis by controlling the polarity and power of the current supplied to the coil unit 191b.
The Y-direction actuator 193 has substantially the same configuration as the X-direction actuator 191 and is driven by the same principle.

図６は、図２のVI部拡大図であって、Ｘ方向位置検出器１９２の作動原理を示す図である。
Ｘ方向位置検出器１９２は、ＬＥＤ部１９２ａが発する光がスリット部１９２ｃに形成されたスリットを通過してＰＳＤ部１９２ｂに到達した位置を検出することによって、支持基板１６０に対する移動ガイドレールユニット１７０の位置を検出するものである。
ＰＳＤ部１９２ｂは、Ｘ軸に沿った方向に、列状に配列された複数の図示しない受光素子を備えている。スリット部１９２ｃが移動することによって、ＰＳＤ部１９２ｂが受光する位置は変化し、制御装置１３０は、ＰＳＤ部１９２ｂのどの位置から出力があるかを検出することによって、移動ガイドレールユニット１７０の位置を検出する。
なお、Ｙ方向位置検出器１９４も、このＸ方向位置検出器１９２と略同様の構成を備え、同じ原理によって移動ガイドレールユニット１７０に対する撮像素子ユニット１８０の位置を検出するものである。 FIG. 6 is an enlarged view of a portion VI in FIG. 2 and shows an operation principle of the X direction position detector 192.
The X-direction position detector 192 detects the position where the light emitted from the LED portion 192a passes through the slit formed in the slit portion 192c and reaches the PSD portion 192b, thereby detecting the position of the moving guide rail unit 170 relative to the support substrate 160. The position is detected.
The PSD unit 192b includes a plurality of light receiving elements (not shown) arranged in a line in the direction along the X axis. As the slit portion 192c moves, the position where the PSD portion 192b receives light changes, and the control device 130 detects the position of the PSD portion 192b from which there is an output, thereby changing the position of the moving guide rail unit 170. To detect.
Note that the Y-direction position detector 194 has substantially the same configuration as the X-direction position detector 192, and detects the position of the image sensor unit 180 with respect to the moving guide rail unit 170 based on the same principle.

以上のように、実施例１によれば、例えばＸ軸に沿った方向に撮像素子１８１を駆動する場合は、Ｘ方向アクチュエータ１９１の駆動によって移動ガイドレールユニット１６０のみ移動し、他の移動ガイドレールユニット１７０は移動しない。このため、Ｙ方向アクチュエータ１９３には影響を与えないから、Ｙ方向アクチュエータ１９３の支持基板１５０側に固定された部分と移動ガイドレールユニット１７０側に固定された部分とが、Ｘ軸に沿った方向にずれることがない。同様に、撮像素子１８１をＹ方向に駆動する場合にも、Ｘ方向アクチュエータ１９１がＹ軸に沿った方向にずれないから、各アクチュエータの駆動方向と異なった方向へのずれが防止される。
また、各アクチュエータ１９１，１９３は、重量が大きいマグネット部１９１ａ，１９３ａを支持基板１５０に固定しているから、可動部分の軽量化を図ることができる。 As described above, according to the first embodiment, for example, when the image sensor 181 is driven in the direction along the X axis, only the movement guide rail unit 160 is moved by driving the X direction actuator 191, and the other movement guide rails are moved. Unit 170 does not move. For this reason, since the Y-direction actuator 193 is not affected, the portion fixed to the support substrate 150 side of the Y-direction actuator 193 and the portion fixed to the moving guide rail unit 170 side are directions along the X-axis. There is no slippage. Similarly, when the image sensor 181 is driven in the Y direction, the X direction actuator 191 does not shift in the direction along the Y axis, so that a shift in a direction different from the drive direction of each actuator is prevented.
In addition, since the actuators 191 and 193 have the heavy magnet portions 191a and 193a fixed to the support substrate 150, the weight of the movable portion can be reduced.

本発明を適用したカメラ及びブレ補正撮像装置の実施例２について説明する。
なお、実施例２において、上述した実施例１と同様の部分については、同じ符号を付して説明を省略し、主に相違点について説明する。
実施例２のカメラは、図１に示す実施例１のカメラと略同様の構成を備えるが、実施例１のブレ補正撮像装置１４０に代えて、以下説明するブレ補正撮像装置２４０を備えている。 Second Embodiment A camera and a shake correction imaging apparatus to which the present invention is applied will be described.
In the second embodiment, the same portions as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and differences are mainly described.
The camera according to the second embodiment has substantially the same configuration as the camera according to the first embodiment illustrated in FIG. 1, but includes a blur correction imaging device 240 described below instead of the blur correction imaging device 140 according to the first embodiment. .

図７は、実施例２のブレ補正撮像装置２４０を、レンズ鏡筒５００の光軸に沿った方向から見た図である。
ブレ補正撮像装置２４０は、支持基板２５０と、移動ガイドレールユニット２６０，２７０と、撮像素子ユニット２８０と、Ｘ方向アクチュエータ１９１と、Ｘ方向位置検出器１９２と、Ｙ方向アクチュエータ１９３と、Ｙ方向位置検出器１９４とを有する。 FIG. 7 is a diagram of the blur correction imaging apparatus 240 according to the second embodiment as viewed from the direction along the optical axis of the lens barrel 500.
The blur correction imaging device 240 includes a support substrate 250, moving guide rail units 260 and 270, an imaging element unit 280, an X direction actuator 191, an X direction position detector 192, a Y direction actuator 193, and a Y direction position. And a detector 194.

支持基板２５０は、X軸に沿った方向の長辺を有する矩形の板状に形成され、固定ガイドレール２５１，２５２，２５３，２５４と、Ｘ方向アクチュエータ１９１のマグネット部１９１ａと、Ｘ方向位置検出器１９２のＬＥＤ部１９２ａ及びＰＳＤ部１９２ｂと、Ｙ方向アクチュエータ１９３のマグネット部１９３ａと、Ｙ方向位置検出器１９４のＬＥＤ部１９４ａ及びＰＳＤ部１９４ｂとを備えている。 The support substrate 250 is formed in a rectangular plate shape having long sides in the direction along the X axis, the fixed guide rails 251, 252, 253, and 254, the magnet portion 191a of the X direction actuator 191, and the X direction position detection. The LED unit 192a and the PSD unit 192b of the detector 192, the magnet unit 193a of the Y-direction actuator 193, and the LED unit 194a and PSD unit 194b of the Y-direction position detector 194 are provided.

固定ガイドレール２５１，２５２は、それぞれX軸に沿った方向に延在し、支持基板２５０に固定された案内部であって、支持基板２５０の対向する各長辺部に沿って、平行にそれぞれ配列されている。
固定ガイドレール２５３，２５４は、それぞれY軸に沿った方向に延在し、支持基板２５０に固定された案内部であって、支持基板２５０の対向する各短辺部に沿って、平行にそれぞれ配列されている。 Each of the fixed guide rails 251 and 252 extends in a direction along the X axis and is a guide portion fixed to the support substrate 250, and is parallel to each of the opposing long side portions of the support substrate 250. It is arranged.
The fixed guide rails 253 and 254 each extend in a direction along the Y axis and are guide portions fixed to the support substrate 250, and are parallel to each other along the short side portions of the support substrate 250 facing each other. It is arranged.

移動ガイドレールユニット２６０は、支持基板２５０に対して、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持され、移動ガイドレール２６１と、ガイド部２６２，２６３と、スプリング２６４と、Ｘ方向アクチュエータ１９１のコイル部１９１ｂと、Ｘ方向位置検出器１９２のスリット部１９２ｃとを備えている。
移動ガイドレール２６１は、Ｙ軸に沿った方向に延在し、撮像素子ユニット２８０を、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持するものである。
ガイド部２６２，２６３は、それぞれ移動ガイドレール２６１の両端部に備えられ、上述した固定ガイドレール２５１，２５２に対して、それぞれＸ軸に沿った方向に移動可能に接続されている。
スプリング２６４は、移動ガイドレールユニット２６０と支持基板２５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング２６４は、それぞれ固定ガイドレール２５１，２５２と隣接して配置されている。 The moving guide rail unit 260 is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the support substrate 250, the moving guide rail 261, the guide portions 262 and 263, the spring 264, and the coil of the X direction actuator 191. Part 191b and a slit part 192c of the X-direction position detector 192.
The movement guide rail 261 extends in the direction along the Y axis, and supports the image sensor unit 280 so as to be movable in the direction along the Y axis.
The guide portions 262 and 263 are provided at both ends of the moving guide rail 261, respectively, and are connected to the above-described fixed guide rails 251 and 252 so as to be movable in the direction along the X axis.
The spring 264 is a coil spring in which a plurality of the moving guide rail units 260 and the support substrate 250 are provided between the surfaces facing each other, and urges them in a direction approaching each other. The plurality of springs 264 are disposed adjacent to the fixed guide rails 251 and 252, respectively.

移動ガイドレールユニット２７０は、支持基板２５０に対して、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持され、移動ガイドレール２７１と、ガイド部２７２，２７３と、スプリング２７４と、Ｙ方向アクチュエータ１９３のコイル部１９１ｂと、Ｙ方向位置検出器１９４のスリット部１９４ｃとを備えている。
移動ガイドレール２７１は、Ｘ軸に沿った方向に延在し、撮像素子ユニット２８０を、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持するものである。
ガイド部２７２，２７３は、それぞれ移動ガイドレール２７１の両端部に備えられ、上述した固定ガイドレール２５３，２５４に対して、それぞれＹ軸に沿った方向に移動可能に接続されている。
スプリング２７４は、移動ガイドレールユニット２７０と支持基板２５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング２７４は、それぞれ固定ガイドレール２５３，２５４と隣接して配置されている。 The moving guide rail unit 270 is supported so as to be movable in the direction along the Y axis with respect to the support substrate 250. The moving guide rail unit 271, the guide portions 272 and 273, the spring 274, and the coil of the Y direction actuator 193 are supported. Part 191b and a slit part 194c of the Y-direction position detector 194.
The movement guide rail 271 extends in the direction along the X axis, and supports the image sensor unit 280 so as to be movable in the direction along the X axis.
The guide portions 272 and 273 are provided at both ends of the moving guide rail 271, respectively, and are connected to the above-described fixed guide rails 253 and 254 so as to be movable in the direction along the Y axis.
The spring 274 is a coil spring in which a plurality of the moving guide rail units 270 and the support substrate 250 are provided between the surfaces facing each other, and urges them in a direction approaching each other. The plurality of springs 274 are disposed adjacent to the fixed guide rails 253 and 254, respectively.

実施例２においては、移動ガイドレール２６１と、移動ガイドレール２７１とは、交差しており、移動ガイドレール２６１は、その一部が、移動ガイドレール２７１に対して、レンズ鏡筒５００の光軸方向対物側に配置されている。
そして、固定ガイドレール２５１，２５２は、移動ガイドレール２７１を挟んだ両側に配置され、固定ガイドレール２５３，２５４は、移動ガイドレール２６１を挟んだ両側に配置されている。 In the second embodiment, the moving guide rail 261 and the moving guide rail 271 intersect with each other, and a part of the moving guide rail 261 is the optical axis of the lens barrel 500 with respect to the moving guide rail 271. It is arranged on the direction objective side.
The fixed guide rails 251 and 252 are arranged on both sides of the movement guide rail 271, and the fixed guide rails 253 and 254 are arranged on both sides of the movement guide rail 261.

撮像素子ユニット２８０は、撮像素子１８１と、回路基板１８２と、ガイド部２８１，２８２と、スプリング２８３とを備えている。
ガイド部２８１は、回路基板１８２の外縁部において、移動ガイドレール２６１に対向する側の短辺に沿って設けられ、移動ガイドレール２６１に対して、Ｙ軸に沿った方向に移動可能に支持されている。
ガイド部２８２は、回路基板１８２の外縁部において、移動ガイドレール２７１に対向する側の短辺に沿って設けられ、移動ガイドレール２７１に対して、Ｘ軸に沿った方向に移動可能に支持されている。
スプリング２８３は、回路基板１８２と支持基板２５０とが相互に対向する面間にわたして複数設けられ、これらを相互に近接する方向に付勢するコイルスプリングである。複数のスプリング２８３の一部は、それぞれガイド部２８１，２８２と隣接して配置されている。 The image sensor unit 280 includes an image sensor 181, a circuit board 182, guide portions 281 and 282, and a spring 283.
The guide portion 281 is provided along the short side of the outer edge portion of the circuit board 182 facing the moving guide rail 261, and is supported so as to be movable in the direction along the Y axis with respect to the moving guide rail 261. ing.
The guide portion 282 is provided along the short side of the outer edge portion of the circuit board 182 facing the moving guide rail 271 and is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the moving guide rail 271. ing.
A plurality of springs 283 are coil springs provided between the surfaces of the circuit board 182 and the support board 250 facing each other and biasing them in the direction of approaching each other. Some of the plurality of springs 283 are disposed adjacent to the guide portions 281 and 282, respectively.

図８は、図７のVIII−VIII部矢視断面図である。
ガイド部２８１は、移動ガイドレール２６１の表面（支持基板２５０と反対側の面）に対向して設けられた面部２８１ａと、面部２８１ａの撮像素子ユニット２８０側の端から支持基板１５０側に折り曲げられ、移動ガイドレール２６１の端面と、回路基板１８２の端面とにその両面を挟まれた面部２８１ｂと、面部２８１ｂの支持基板１５０側の端から折り曲げられ、回路基板１８２の裏面に沿って延在する面部２８１ｃとを備え、その横断面は、クランク状となっている。
ガイド部２８１は、その面部２８１ｃを、回路基板１８２の裏面に固定されている。 8 is a cross-sectional view taken along arrow VIII-VIII in FIG.
The guide portion 281 is bent toward the support substrate 150 from the surface portion 281a provided to face the surface of the moving guide rail 261 (the surface opposite to the support substrate 250) and the end of the surface portion 281a on the image sensor unit 280 side. The surface portion 281b sandwiched between the end surface of the moving guide rail 261 and the end surface of the circuit board 182 and the end of the surface portion 281b on the support substrate 150 side are bent and extend along the back surface of the circuit board 182. The cross section is provided with a crank shape.
The guide portion 281 has a surface portion 281 c fixed to the back surface of the circuit board 182.

移動ガイドレール２６１は、撮像素子ユニット２８０側の端から、支持基板１５０側に突き出した矩形断面のリブ部２６１ａを備えている。
そして、ガイド部２８１の面部２８１ａと移動ガイドレール２６１の表面部とが対向する面間と、ガイド部２８１の面部２８１ｂとリブ部２６１ａとが対向する面間には、ガイド部２８１の移動ガイドレール２６１に対する移動に伴い、回転する鋼球２８１ｄがそれぞれ配置されている。そして、ガイド部２８１の各鋼球２８１ｄと接する部分には、それぞれプレート状の鋼球受け部２８１ｅが設けられている。
また、スプリング２８３は、その付勢力によって、ガイド部２８１の面部２８１ｂと、移動ガイドレール２６１のリブ部２６１ａとが、相互に近接する方向に付勢されるように、その長手方向を、支持基板１５０に直交する方向に対して、傾斜して配置されている。 The movement guide rail 261 includes a rib portion 261a having a rectangular cross section that protrudes from the end on the imaging element unit 280 side to the support substrate 150 side.
The moving guide rail of the guide portion 281 is between the surface where the surface portion 281a of the guide portion 281 and the surface portion of the moving guide rail 261 face each other and between the surface where the surface portion 281b of the guide portion 281 and the rib portion 261a face each other. Along with the movement with respect to 261, rotating steel balls 281d are respectively arranged. And the plate-shaped steel ball receiving part 281e is provided in the part which touches each steel ball 281d of the guide part 281, respectively.
Further, the spring 283 has a longitudinal direction in the support substrate so that the surface portion 281b of the guide portion 281 and the rib portion 261a of the moving guide rail 261 are urged in a direction close to each other by the urging force. Inclined with respect to the direction orthogonal to 150.

以上のように、実施例２においても、上述した実施例１と同様の効果を奏することができ、さらに、各移動ガイドレールユニットの形状が簡単であるから、その製作が容易となる効果がある。 As described above, also in the second embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained. Further, since the shape of each moving guide rail unit is simple, there is an effect that the manufacture thereof is facilitated. .

（変形例）
本発明は、以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）上述した各実施例のカメラは、レンズ非交換式のデジタルスチルカメラであるが、これに限らず、レンズ交換式のカメラや、ムービーカメラであってもよい。
（２）撮像素子を複数の方向にそれぞれ移動可能に支持する機構は、上述した各実施例のものに限定されず、例えば、移動ガイドレールユニットの形状や、各ガイドレール及びガイド部の配置等に適宜変更を加えることができる。また、各実施例における鋼球も必ずしも必要ではなく、すべり接触としてもよい。 (Modification)
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention.
(1) The camera of each embodiment described above is a non-lens interchangeable digital still camera, but is not limited thereto, and may be a lens interchangeable camera or a movie camera.
(2) The mechanism for supporting the image pickup device so as to be movable in a plurality of directions is not limited to that of each of the above-described embodiments. For example, the shape of the moving guide rail unit, the arrangement of each guide rail and guide portion, and the like Changes can be made as appropriate. Moreover, the steel ball in each Example is not necessarily required and may be a sliding contact.

本発明を適用したカメラの実施例１の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of Example 1 of the camera to which this invention is applied. 図１のカメラのブレ補正撮像装置を、レンズ鏡筒の光軸に沿った方向から見た図である。It is the figure which looked at the camera shake correction imaging device of the camera of FIG. 1 from the direction along the optical axis of the lens barrel. 図２のIII−III部矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 2. 図２のIV−IV部矢視断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 2. 図２のV−V部矢視断面図である。It is a VV section arrow sectional view of Drawing 2. 図２のVI部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a VI part in FIG. 2. 本発明を適用したブレ補正装置の実施例２を、レンズ鏡筒の光軸に沿った方向から見た図である。It is the figure which looked at Example 2 of the blurring correction device to which the present invention is applied from the direction along the optical axis of the lens barrel. 図７のVIII−VIII部矢視断面図である。It is a VIII-VIII section arrow sectional view of Drawing 7.

Explanation of symbols

１カメラ
１００ボディ
１１０ヨーイング検出ジャイロ
１２０ピッチング検出ジャイロ
１３０制御装置
１４０ブレ補正撮像装置
１５０支持基板
１６０移動ガイドレールユニット
１６１移動ガイドレール
１６２，１６３ガイド部
１６４スプリング
１７０移動ガイドレールユニット
１７１移動ガイドレール
１７２，１７３ガイド部
１７４スプリング
１８０撮像素子ユニット
１８１撮像素子
１８２回路基板
１８３，１８４ガイド部
１９１Ｘ方向アクチュエータ
１９１ａマグネット部
１９１ｂコイル部
１９２Ｘ方向位置検出器
１９２ａＬＥＤ部
１９２ｂＰＳＤ部
１９２ｃスリット部
１９３Ｙ方向アクチュエータ
１９３ａマグネット部
１９３ｂコイル部
１９４Ｙ方向位置検出器
１９４ａＬＥＤ部
１９４ｂＰＳＤ部
１９４ｃスリット部
５００レンズ鏡筒
５１０撮影用レンズ群

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Camera 100 Body 110 Yawing detection gyro 120 Pitching detection gyro 130 Control apparatus 140 Shake correction imaging apparatus 150 Support board 160 Movement guide rail unit 161 Movement guide rail 162,163 Guide part 164 Spring 170 Movement guide rail unit 171 Movement guide rail 172 173 Guide part 174 Spring 180 Image sensor unit 181 Image sensor 182 Circuit board 183,184 Guide part 191 X direction actuator 191a Magnet part 191b Coil part 192 X direction position detector 192a LED part 192b PSD part 192c Slit part 193 Y direction actuator 193a Magnet part 193b Coil part 194 Y direction position detector 194a LED part 194b PS Parts 194c slit portion 500 a lens barrel 510 photographic lens

Claims

A fixed part;
A first moving member that moves in a direction along a first axis with respect to the fixed portion;
A first guide portion for movably guiding the first movable member in a direction along the first axis relative to said fixed portion,
A first steel ball and a second steel ball provided between the fixed portion and the first moving member;
A first spring having one end side provided in the first moving member and the other end side provided in the fixed portion, and urged to attract the first moving member and the fixed portion;
A second moving member that moves in a direction along a second axis substantially orthogonal to the first axis with respect to the fixed portion;
A second guide portion for movably guiding the second movable member in a direction along the second axis relative to said fixed portion,
A third steel ball and a fourth steel ball provided between the fixed portion and the second moving member;
A second spring having one end side provided in the second moving member and the other end side provided in the fixed portion, and urged to attract the second moving member and the fixed portion;
A first actuator that drives the first moving member in a direction along the first axis with respect to the fixed portion;
A second actuator that drives the second moving member in a direction along the second axis with respect to the fixed portion;
The first moving member is supported by the first moving member so as to be movable in the direction along the second axis, and the first moving member is along the first axis with respect to the second moving member. An image pickup device portion supported by the second moving member so as to be movable in a predetermined direction ,
The first steel ball is provided on a surface parallel to the imaging surface of the imaging element unit of the first guide unit,
The second steel ball is provided on a surface orthogonal to the imaging surface of the imaging element unit of the first guide unit,
The third steel ball is provided on a surface parallel to the imaging surface of the imaging element unit of the second guide unit,
The fourth steel ball is provided on a surface orthogonal to the imaging surface of the imaging element unit of the second guide unit,
The first spring and the second spring are provided to be inclined with respect to a direction parallel to the imaging surface of the imaging element unit and a direction orthogonal to the imaging surface, and a direction parallel to the imaging surface of the imaging element unit And a blur correction imaging apparatus that generates an urging force in a direction inclined with respect to a direction orthogonal to the imaging surface .

The blur correction imaging apparatus according to claim 1,
The first guide portion includes a first fixed guide rail having a rectangular cross section fixed to the fixed portion, and a first end guide portion connected to an end portion of the first moving member,
The first end guide portion includes a first groove portion having a rectangular cross section formed so as to accommodate a part of the first fixed guide rail,
The first fixed guide rail is a first recess formed at a position facing the first groove and parallel to a horizontal plane formed by the first axis and the second axis. And a second recess formed at a surface facing the first groove and orthogonal to the horizontal plane,
The blur correction imaging apparatus, wherein the first steel ball is disposed inside the first recess and the second recess.

The blur correction imaging apparatus according to claim 1 ,
The first guide portion includes a first guide rail provided on the fixed portion and extending along the first axis,
The blur correction imaging apparatus, wherein the second guide portion includes a second guide rail provided in the fixed portion and extending along the second axis.

The blur correction imaging apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The image sensor unit includes an image sensor and a circuit board on which the image sensor is fixed,
The image pickup device is supported by the first moving member and the second moving member via the circuit board, respectively.

The blur correction imaging apparatus according to any one of claims 1 to 4,
At least one of the first actuator and the second actuator has a voice coil motor including a magnetic body fixed to the fixing portion.

The shake correction imaging apparatus according to any one of claims 1 to 5,
A first position detecting unit that detects a displacement of the first moving member in the direction along the first axis with respect to the fixed unit;
And a second position detecting unit that detects a displacement of the second moving member in a direction along the second axis with respect to the fixed unit.

The blur correction imaging apparatus according to any one of claims 1 to 6,
An imaging optical system that forms a subject image on an imaging surface of the imaging device unit of the blur correction imaging device;
A vibration detector for detecting vibration;
A camera comprising: a correction control unit that controls the displacement of the image sensor unit according to the output of the vibration detection unit.