JP4725547B2 - Diffraction grating pattern - Google Patents

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本発明は、基板の表面に、回折格子からなる微小なセル(ドット)をマトリクス状に複数個配置し、それらの集まりによって表現されるパターン(マルチドットパターン)に関し、特に、解像度が高く、パターン(絵柄)の外形を規定する輪郭線が滑らかな回折格子パターンに関する。   The present invention relates to a pattern (multidot pattern) in which a plurality of minute cells (dots) made of diffraction gratings are arranged in a matrix on the surface of a substrate, and is expressed by a collection of them. The present invention relates to a diffraction grating pattern having a smooth outline defining the outer shape of (picture).

平面状の基板の表面に、回折格子からなる微小なドットを複数個配置することにより構成されるディスプレイが多く使用されている。
このようなディスプレイを作製する方法としては、特開昭60―156004号公報に例示されるような方法が公知である。この方法は、レーザー光の2光束干渉による微小な干渉縞(回折格子)を、そのピッチ,方向,および光強度を変化させて、感光性フィルムに次々と露光するものである。
Many displays that are configured by arranging a plurality of minute dots made of a diffraction grating on the surface of a planar substrate are used.
As a method for producing such a display, a method exemplified in JP-A-60-156004 is known. In this method, a minute interference fringe (diffraction grating) due to two-beam interference of laser light is successively exposed on a photosensitive film while changing the pitch, direction, and light intensity.

一方、レーザーではなく電子ビーム露光装置を用い、かつコンピュータ制御により、平面状の基板が載置されたX―Yステージを移動させて、基板の表面に、回折格子からなる複数の微小なドットを配置することにより、回折格子パターンが形成されたディスプレイを作製する方法が提案されている。
上記方法は、特開平2―72320号公報や米国特許5,058,992号に開示されている。
電子ビームを用いる方法によれば、回折格子(格子縞)を直接描画するため、格子間隔を任意に変えたり、直線に限らず曲線などの回折格子(格子縞)とできるなど、作製するパターンの自由度が飛躍的に向上する。
On the other hand, an electron beam exposure apparatus is used instead of a laser, and an XY stage on which a planar substrate is placed is moved by computer control, so that a plurality of minute dots made of a diffraction grating are formed on the surface of the substrate. There has been proposed a method of manufacturing a display in which a diffraction grating pattern is formed by arranging the display.
The above method is disclosed in JP-A-2-72320 and US Pat. No. 5,058,992.
According to the method using an electron beam, since the diffraction grating (grating fringes) is drawn directly, the lattice spacing can be arbitrarily changed, or the diffraction grating (grating fringes) can be changed to a curved line or the like. Will improve dramatically.

上記のディスプレイ(以後、回折格子パターンと称する)は、通常の印刷では表現できない指向性を持つ光沢を奏することから、興味ある視覚効果(アイキャッチ効果)を持つ表示体として、また、偽造防止を目的としたセキュリティ商品としての用途に広く応用されている。   The above-mentioned display (hereinafter referred to as a diffraction grating pattern) exhibits gloss having directivity that cannot be expressed by ordinary printing, so that the display has an interesting visual effect (eye-catching effect) and prevents forgery. It is widely applied to the intended use as a security product.

ところで、このようなパターンでは、それぞれ固有の回折格子をもつ微小なドット毎に露光(または、描画)が行なわれるため、形成するパターン(絵柄)の外形を規定する輪郭線は、最小構成単位であるセル(ドット)の形状に依存することになる。
2光束干渉によるドットは、レーザー光の断面形状に依存するため概ね円形であり、隣接するドットを密接させて、回折格子を隙間無く敷き詰めることは不可能であると共に、パターン(絵柄)の外形を規定する輪郭線は、円弧を有することになる。
By the way, in such a pattern, each minute dot having a unique diffraction grating is exposed (or drawn), so the contour line that defines the outer shape of the pattern (pattern) to be formed is the smallest structural unit. It depends on the shape of a certain cell (dot).
The dot due to the two-beam interference is generally circular because it depends on the cross-sectional shape of the laser beam, and it is impossible to close the adjacent dots closely and spread the diffraction grating without any gaps. The contour line to be defined has an arc.

また、電子ビームを用いる方法によるセルは、内部の格子縞を直接描画するため、形状の制約を受けず、任意の形状をとりうる。
パターンを構成する最小単位として回折格子セルを採用する場合、特に、デジタル・データに基づいてコンピュータ制御によりパターンを作製するにあたり、セルの形状は矩形で、その配置はマトリクス配列であるのが一般的である。
この場合、パターン(絵柄)の外形を規定する輪郭線は、矩形を構成する直線を有することになる。
In addition, since the cell by the method using the electron beam directly draws the internal lattice pattern, it can take any shape without being restricted by the shape.
When a diffraction grating cell is adopted as the minimum unit constituting a pattern, especially when a pattern is produced by computer control based on digital data, the cell shape is generally rectangular and the arrangement is generally a matrix arrangement. It is.
In this case, the outline that defines the outer shape of the pattern (picture) has a straight line that forms a rectangle.

パターン(絵柄)の外形を規定する輪郭線を滑らかにするためには、画素となる回折格子セルを微小にするほど、目標とする輪郭線に近似させられるが、パターンを構成する回折格子セルの数が膨大になり、作製に時間と労力を一層要することになる。   In order to smooth the contour line that defines the outer shape of the pattern (picture), the smaller the diffraction grating cell as a pixel, the closer it is to the target contour line. The number will be enormous and will require more time and effort to make.

また、あくまで回折格子セルをパターンの構成単位とすると、隣接するセル間の接合部分での回折(ドットの輪郭を決定する境界線による)の影響を、依然として残すことになる。
セル単位で回折格子を基板上に配置するパターンにとって、セルの外形が生じさせる光の散乱がノイズ成分となることは不可避で、このノイズ成分はパターンのデザインによって変動するため定量的にとらえることが困難であり、同じ回折格子パターンの作製方法を用いても、使用される回折格子の種類に応じて、ノイズ成分が少なく品質の高いものもあれば、ノイズ成分を多量に含んだ品質の良くないパターンができることもある。後者では、パターンの彩度が低下し、全体に白みを帯びた画像となる傾向がある。
If the diffraction grating cell is used as a structural unit of the pattern to the last, the influence of diffraction (due to the boundary line that determines the outline of the dot) at the junction between adjacent cells still remains.
For patterns in which diffraction gratings are arranged on a substrate in units of cells, it is inevitable that light scattering caused by the outer shape of the cell becomes a noise component, and this noise component varies depending on the design of the pattern, and can be captured quantitatively. Even if the same diffraction grating pattern fabrication method is used, depending on the type of diffraction grating used, there are some that have low noise components and high quality, and those that contain a large amount of noise components are not good. Sometimes there is a pattern. In the latter case, the saturation of the pattern decreases, and the whole image tends to be white.

特に、回折格子セルと回折格子のない領域(以後、便宜的に、非回折格子セルと称することもある)が隣接する部分では、非回折格子セルからは回折光は発生しないため、回折格子セルの外形に起因するノイズ成分が顕著に観察されることとなる。   In particular, in a portion where a diffraction grating cell and a region without a diffraction grating (hereinafter sometimes referred to as a non-diffraction grating cell for convenience) are adjacent, diffracted light is not generated from the non-diffraction grating cell. The noise component resulting from the outer shape of the image will be remarkably observed.

加えて、マトリクス配列された矩形の画素を構成単位とする回折格子パターンでは、そのことを認識する悪意の者に、画素構造に基づく解析がされて、模造・偽造が行なわれる惧れがある。   In addition, in the case of a diffraction grating pattern having rectangular pixels arranged in a matrix as a structural unit, a malicious person recognizing that may perform an analysis based on the pixel structure and perform imitation or forgery.

従来の回折格子パターンでは、回折格子からなるセルを構成単位としており、パターン全体の中で、各ドットはその状態を維持しているため、上記のような問題を有していた。
本発明は、作製時間と労力の大幅な増大を招くことなく、目標とする輪郭線に近似させて、外形を規定する輪郭線が滑らかであり、彩度が低下しない回折格子パターンを提供することを目的とする。
In the conventional diffraction grating pattern, a cell composed of a diffraction grating is used as a constituent unit, and each dot maintains its state in the entire pattern, and thus has the above-described problems.
The present invention provides a diffraction grating pattern in which the outline defining the outline is smooth and the saturation is not lowered by approximating the target outline without incurring a significant increase in production time and labor. With the goal.

(削除)(Delete)

本発明の請求項の回折格子パターンは、基板と、当該基板表面に、多数の格子線により構成された回折格子を備えた回折格子パターンにおいて、
前記回折格子は、方向,空間周波数,深さ,の少なくとも何れかが異なる複数の種類の領域を含むものであり、
前記格子線の端部の形状は、前記複数の種類の領域同士の境界部分において、当該格子線の幅よりも短い線分からなる階段状形状であることを特徴とする回折格子パターンである。
The diffraction grating pattern of claim 1 of the present invention is a diffraction grating pattern comprising a substrate and a diffraction grating composed of a number of grating lines on the substrate surface.
The diffraction grating includes a plurality of types of regions having different directions, spatial frequencies, and depths,
The shape of the end portion of the grating line is a diffraction grating pattern characterized in that it is a stepped shape including a line segment shorter than the width of the grating line at a boundary portion between the plurality of types of regions.

本発明の請求項の回折格子パターンは、前記基板上の回折格子が設けられた領域は、回折格子のない領域に囲まれていることを特徴とする請求項に記載の回折格子パターンである。 Diffraction grating pattern according to claim 2 of the present invention, the region where the diffraction grating is provided on the substrate, with the diffraction grating pattern according to claim 1, characterized in that it is surrounded by areas with no diffraction grating is there.

特許請求の範囲に記載されていない第一の別発明(別発明1)の回折格子パターンは、
基板表面に、方向,空間周波数,深さ,の少なくとも何れかが任意に変化した回折格子
が配置されて構成される回折格子パターンにおいて、
回折格子を構成する格子線は、その輪郭が回折格子の形成される領域の外形に応じた任
意の形状でありうることを特徴とする。
特許請求の範囲に記載されていない別発明2の回折格子パターンは、
回折格子を構成する格子線の少なくとも端部を規定する線分が、格子線幅よりも細かい
辺を持つことを特徴とする別発明1記載の回折格子パターンである。
特許請求の範囲に記載されていない別発明3の回折格子パターンは、
回折格子が等しい単位セルが隣接集合して構成される特定形状の領域については、その
領域の輪郭を規定し、前記輪郭の内部で位相のずれがなく連続した回折格子が、単位セル
毎ではなく前記領域毎に形成された構成であることを特徴とする別発明1または2に記載
の回折格子パターンである。
特許請求の範囲に記載されていない別発明4の回折格子パターンは、
形成される回折格子が異なる領域の境界では、その境界線に応じて、格子線幅よりも細かい辺により、格子線の少なくとも端部の輪郭が規定された構成であることを特徴とする別発明1〜3の何れかに記載の回折格子パターンである。
特許請求の範囲に記載されていない別発明5の回折格子パターンは、
形成される回折格子が異なる領域として、回折格子を有する領域と回折格子の存在しな
い領域との関係も含むことを特徴とする別発明4記載の回折格子パターンである。
特許請求の範囲に記載されていない別発明6の回折格子パターンは、
1インチ当たり25000本以上の格子線が形成された構成であることを特徴とする別発明1〜5の何れかに記載の回折格子パターンである。
特許請求の範囲に記載されていない別発明7の回折格子パターンは、
1μm角以下のセル構造により、格子線の外形が規定されることを特徴とする別発明1〜6の何れかに記載の回折格子パターンである。
The diffraction grating pattern of the first different invention (other invention 1) not described in the claims is:
In a diffraction grating pattern in which a diffraction grating in which at least one of direction, spatial frequency, and depth is arbitrarily changed is arranged on the substrate surface,
The grating lines constituting the diffraction grating may have an arbitrary shape according to the outer shape of the region where the diffraction grating is formed.
The diffraction grating pattern of another invention 2 not described in the claims is:
The diffraction grating pattern according to another invention 1, wherein a line segment defining at least an end of a grating line constituting the diffraction grating has a side smaller than the grating line width.
The diffraction grating pattern of another invention 3 not described in the claims is:
For an area of a specific shape configured by adjacent sets of unit cells having the same diffraction grating, the outline of the area is defined, and a continuous diffraction grating with no phase shift inside the outline is not per unit cell. It is the structure formed for every said area | region, It is a diffraction grating pattern of another invention 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
The diffraction grating pattern of another invention 4 which is not described in the claims is:
Another invention is characterized in that at the boundary between regions where the formed diffraction gratings are different, the outline of at least the end of the grating line is defined by a side smaller than the grating line width according to the boundary line. It is a diffraction grating pattern in any one of 1-3.
The diffraction grating pattern of another invention 5 which is not described in the claims is:
The diffraction grating pattern according to another invention 4 is characterized in that a relationship between a region having a diffraction grating and a region having no diffraction grating is included as a region where the formed diffraction grating is different.
The diffraction grating pattern of another invention 6 which is not described in the claims is:
6. The diffraction grating pattern according to any one of inventions 1 to 5, wherein 25,000 or more grating lines are formed per inch.
The diffraction grating pattern of another invention 7 which is not described in the claims is:
7. The diffraction grating pattern according to any one of inventions 1 to 6, wherein the outer shape of the grating line is defined by a cell structure of 1 μm square or less.

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本発明による回折格子パターンは、回折格子が形成されたセルを構成単位とするものでなく、再現しようとするパターンを回折格子毎に領域として形成し、前記セルよりも細かく、格子線幅以下のサイズのセル構造に基づいて、その領域の輪郭を規定するため、以下に示す効果が期待できる。
(1)回折格子セルの外形が認識できないほど細かいため、スキャナなどで読み取った対象物の情報や、ドローデータにより定義された形状の情報が損なわれず、対象物のもつイメージ(外観,雰囲気)を忠実に再現することが可能であり、偽造品との差異も明確に表現することができる。
The diffraction grating pattern according to the present invention does not have a cell in which the diffraction grating is formed as a constituent unit, but forms a pattern to be reproduced as a region for each diffraction grating, which is finer than the cell and has a grating line width or less. Since the outline of the region is defined based on the cell structure of the size, the following effects can be expected.
(1) Since the outer shape of the diffraction grating cell is so fine that it cannot be recognized, the information of the object read by the scanner and the information of the shape defined by the draw data are not impaired, and the image (appearance, atmosphere) of the object is not lost. It can be faithfully reproduced, and the difference from the counterfeit product can also be expressed clearly.

(2)回折光を発生する回折格子セルと、回折光を発生しないセルとの境界が滑らかに構成されているので、絵柄の外形がぼけず、明暗のコントラストが高く、S/N比が高い像を観察することができる。 (2) Since the boundary between the diffraction grating cell that generates diffracted light and the cell that does not generate diffracted light is configured smoothly, the outer shape of the pattern is not blurred, the contrast between light and dark is high, and the S / N ratio is high. The image can be observed.

(3)回折格子レベルの拡大率で観察を行った際に、回折格子セルの集まりにより表現された絵柄の周りに異なる空間周波数,角度を持つ回折格子セルが存在しないため、絵柄の認識を容易かつ正確に行うことができる。 (3) When observing at the magnification level of the diffraction grating level, there is no diffraction grating cell with different spatial frequency and angle around the pattern expressed by the collection of diffraction grating cells, making it easy to recognize the pattern And can be done accurately.

(4)ドットマトリクスのデータを元にした回折格子パターンでありながら、回折格子レベルの拡大率で観察を行っても、セル形状が認識されることがないため、製法や元データの断定が困難であり、極めて偽造されにくい。 (4) Although it is a diffraction grating pattern based on dot matrix data, it is difficult to determine the manufacturing method and the original data because the cell shape is not recognized even if observation is performed at a magnification of the diffraction grating level. It is extremely difficult to forge.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、従来の回折格子パターンの一例を示す説明図である。
このように、セルを構成単位として、基板上に複数個のセルを配置してパターン(絵柄,模様)を形成する場合、肉眼で観察する限り、絵柄,模様のアウトライン(同図では、女性の肌/洋服の縁/洋服の3領域を、3種類の回折格子により構成している)は滑らかであるとみなすことができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a conventional diffraction grating pattern.
As described above, when forming a pattern (pattern, pattern) by arranging a plurality of cells on a substrate with the cell as a structural unit, the outline of the pattern, pattern (in the figure, female The three areas of skin / clothes edge / clothes are composed of three types of diffraction gratings) can be considered smooth.

しかし、図中の拡大図に示すように、このような回折格子パターンではセルの外形がどのような形状を成しているのかが認識でき、このセルの外形により切り取られた格子線の外形部分に起因する回折光が、本来の設計方向(格子線に垂直な方向)とは異なる方向に散乱してしまい、回折格子パターンの像全体が白みを帯びる原因となる。   However, as shown in the enlarged view in the figure, it is possible to recognize what the outer shape of the cell is in such a diffraction grating pattern, and the outer portion of the grid line cut out by the outer shape of this cell The diffracted light resulting from is scattered in a direction different from the original design direction (direction perpendicular to the grating lines), which causes the entire image of the diffraction grating pattern to become white.

図2により、このことを詳述すると、セルが矩形などの形状で整然と配置されている場合、セルの外形に依存して生じる回折,散乱によるノイズ成分(同図では、冗長な回折光と記す)は、上下方向および左右方向に強く現われる傾向があり、回折格子パターンを観察した時に、本来見えては好ましくない方向から何らかの回折光が観察されてしまい、問題となることが多い。   This will be described in detail with reference to FIG. 2. When cells are regularly arranged in a rectangular shape or the like, noise components due to diffraction and scattering that occur depending on the outer shape of the cells (in the figure, they are described as redundant diffracted light). ) Tends to appear strongly in the vertical direction and the horizontal direction, and when observing the diffraction grating pattern, some diffracted light is observed from a direction that is not normally visible, and this often causes a problem.

特に、図3に示すように、回折格子セルと非回折格子セルが隣接する部分で、回折光を発生する回折格子セルと発生しない非回折格子セルの明暗のコントラストから上記ノイズ成分が強く知覚されることとなる。   In particular, as shown in FIG. 3, the noise component is strongly perceived from the contrast between the diffraction grating cell that generates the diffracted light and the non-diffraction grating cell that does not generate the diffraction grating cell and the non-diffraction grating cell adjacent to each other. The Rukoto.

このようなノイズ成分は、回折格子のピッチよりも大きな間隔で、セルの外形部分を規定する線分が、本来の設計である格子方向と異なる角度で存在する時に発生しやすく、回折格子のピッチよりも小さな間隔でそのような形状(線分)が配置されている場合は、光学的な振舞いは不定であり、ノイズ成分が強く認識されることはない。   Such a noise component is likely to occur when the line segment that defines the outer portion of the cell is present at an angle different from the original grating direction at intervals larger than the pitch of the diffraction grating. If such a shape (line segment) is arranged at a smaller interval than that, the optical behavior is indefinite, and the noise component is not strongly recognized.

回折格子セルを単位画素とするパターンでの輪郭線を一層滑らかにするためには、回折格子セルを極力小さくすることが有利であることは自明であるが、さらにセルを小さくし(元となるデジタル画像の解像度を向上させ)、格子線幅よりもセルの大きさが小さくなった場合を考える。
ここで、内部に回折格子が形成された画素単位である回折格子セルとは、概念が異なるため、格子線幅よりも小さいセルは、「セル構造」と称して両者を区別する。
セル構造がパターン内に存在するケースは、セル構造が格子線の中に埋まってしまうか、セル構造が全く格子線の中に属さないか、格子線のアウトライン上にセル構造が配置されるか、の何れかのケースに当てはまる。
It is obvious that it is advantageous to make the diffraction grating cell as small as possible in order to further smooth the contour line in the pattern having the diffraction grating cell as a unit pixel. Consider a case in which the resolution of a digital image is improved) and the cell size is smaller than the grid line width.
Here, since the concept is different from a diffraction grating cell that is a pixel unit in which a diffraction grating is formed inside, a cell smaller than the grating line width is referred to as a “cell structure” to distinguish them.
If the cell structure exists in the pattern, is the cell structure buried in the grid line, does the cell structure not belong to the grid line at all, or is the cell structure placed on the outline of the grid line? This applies to either of the cases.

何れのケースにおいても、同一種類のセル構造が単体で存在してしまうと、格子線の形状とは全く関係のない、セル構造の外形に依存したパターンが生まれてしまうため、格子線の外形を構成するのに十分な数の同一セル構造の群があることが前提となるが、セル構造を格子線の外形よりも十分に小さくすることで、格子線のピッチよりも細かく、光学的に滑らかであるとみなすことのできる外形を有する格子線を構成することが可能である。   In any case, if a cell structure of the same type exists alone, a pattern depending on the outer shape of the cell structure, which has nothing to do with the shape of the lattice line, is created. It is assumed that there are a sufficient number of groups of identical cell structures to configure, but by making the cell structure sufficiently smaller than the outline of the grid lines, the pitch of the grid lines is finer and optically smooth. It is possible to construct a grid line having an outer shape that can be regarded as.

図4は、図1と同じ回折格子パターンを、上記の考えに基づいて作製した一例を示す説明図である。
図中の拡大図に示すように、左下がり,右下がり,水平の3種類の回折格子(格子線)を採用する点では図1と等しいが、図4では、回折格子が等しいセルが隣接集合して構成される特定形状の領域については、その領域の輪郭を規定し、前記輪郭の内部で位相のずれがなく連続した回折格子が、セル毎ではなく領域毎に形成された構成となっている。
FIG. 4 is an explanatory view showing an example in which the same diffraction grating pattern as that in FIG. 1 is produced based on the above idea.
As shown in the enlarged view in the figure, it is the same as in FIG. 1 in that three types of diffraction gratings (grating lines), which are left-down, right-down, and horizontal, are adopted, but in FIG. For a region of a specific shape configured as described above, the contour of the region is defined, and a continuous diffraction grating without a phase shift inside the contour is formed not for each cell but for each region. Yes.

右下がりと水平の回折格子が隣接する境界を、同図中でさらに拡大して示す。
回折格子を構成する格子線の端部の形状を規定する線分が、格子線幅よりも細かい辺を持つ上述の「セル構造」により規定されるため、端部が階段状となり、一層滑らかな輪郭が実現される。
The boundary where the lower right and horizontal diffraction gratings are adjacent to each other is further enlarged in FIG.
Since the line segment that defines the shape of the end of the grating line constituting the diffraction grating is defined by the above-mentioned “cell structure” having sides smaller than the grating line width, the end is stepped and smoother. A contour is realized.

この場合においても、格子線のアウトラインに依存する光の回折,散乱が生じることに総じてセル構造の外形に依存した方向にノイズ成分が強く出る現象を抑制することが可能である。   Even in this case, it is possible to suppress a phenomenon in which a noise component is strongly generated in a direction depending on the outer shape of the cell structure as a result of light diffraction and scattering depending on the outline of the lattice line.

一般に、回折格子は1000本前後/mmの格子線を持ち、レリーフ型の回折格子で溝部(谷)を格子線とした場合、格子線の外形を規定することで、本発明の効果を見込むためには、セル構造の大きさは1μm角以下であることが望ましい。   In general, the diffraction grating has a grating line of about 1000 lines / mm, and when the groove part (valley) is a grating line in a relief type diffraction grating, the effect of the present invention is expected by defining the outer shape of the grating line. For this, the size of the cell structure is desirably 1 μm square or less.

このような条件に基づいて定義された回折格子パターンは、格子線のアウトラインが滑らかであり、ノイズ成分も少ないことから高精細な絵柄を表現することが可能である。   The diffraction grating pattern defined based on such conditions can express a high-definition pattern because the outline of the grating line is smooth and the noise component is small.

図5に示すように、回折格子による特定の絵柄(図中の「TOP」の文字)が、他の回折格子と隣接して存在していると、絵柄の認識が困難である。
一方、図6に示すように、回折格子による文字の周囲に非回折格子セルを配置すると、より一層絵柄の視認効果を高くすることができる。他の絵柄を構成する回折格子からの回折光が周囲に存在しない分、アウトラインの認識が容易となるからである。
As shown in FIG. 5, it is difficult to recognize a pattern if a specific pattern by the diffraction grating (the letter “TOP” in the figure) is present adjacent to another diffraction grating.
On the other hand, as shown in FIG. 6, if the non-diffraction grating cell is arranged around the character of the diffraction grating, the visual effect of the pattern can be further enhanced. This is because the outline can be easily recognized because the diffracted light from the diffraction gratings constituting the other patterns does not exist in the surroundings.

この高い視認効果は、肉眼で回折格子パターンを観察する際にも、顕微鏡などを用いて拡大観察する際にも、同様に見込むことができる。
特に、これまでの大きな回折格子セルで表現されたマイクロ文字などの微細なパターンは滑らかなアウトラインを形成できず、外形は回折格子セルのサイズに依存したものとなっていた。
This high visual recognition effect can be expected similarly when observing the diffraction grating pattern with the naked eye or when magnifying the image using a microscope or the like.
In particular, a fine pattern such as a micro letter represented by a large diffraction grating cell so far cannot form a smooth outline, and the outer shape depends on the size of the diffraction grating cell.

このようなマイクロパターンが、周囲の回折格子セルと隣接して存在していると、パターンの認識が困難であり、同時に偽造品との差違も明確にすることができなかった。   If such a micropattern is present adjacent to the surrounding diffraction grating cell, it is difficult to recognize the pattern, and at the same time, the difference from the counterfeit product cannot be clarified.

本発明による滑らかなアウトラインを有する回折格子の周囲に非回折格子セルを配置することで、回折格子が光らない条件でも絵柄の形状の視認効果が高く、絵柄の認識が容易で、高精細なパターンを得ることができる。   By disposing a non-diffraction grating cell around a diffraction grating having a smooth outline according to the present invention, the effect of visually recognizing the shape of the pattern is high even under conditions where the diffraction grating does not shine, the pattern recognition is easy, and a high-definition pattern Can be obtained.

従来の回折格子パターンの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of the conventional diffraction grating pattern. 回折格子セルの外形部分で発生するノイズ成分を表す説明図。Explanatory drawing showing the noise component which generate | occur | produces in the external shape part of a diffraction grating cell. 回折格子セルと非回折格子セルの隣接する部分を示す説明図。Explanatory drawing which shows the part which a diffraction grating cell and a non-diffraction grating cell adjoin. 本発明による回折格子パターンの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of the diffraction grating pattern by this invention. 回折格子パターンの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of a diffraction grating pattern. 回折格子パターンの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of a diffraction grating pattern.

Claims (2)

基板と、当該基板表面に、多数の格子線により構成された回折格子を備えた回折格子パターンにおいて、
前記回折格子は、方向,空間周波数,深さ,の少なくとも何れかが異なる複数の種類の領域を含むものであり、
前記格子線の端部の形状は、前記複数の種類の領域同士の境界部分において、当該格子線の幅よりも短い線分からなる階段状形状であることを特徴とする回折格子パターン。
In a diffraction grating pattern comprising a substrate and a diffraction grating composed of a large number of grating lines on the substrate surface,
The diffraction grating includes a plurality of types of regions having different directions, spatial frequencies, and depths,
The diffraction grating pattern is characterized in that the shape of the end portion of the grating line is a stepped shape consisting of a line segment shorter than the width of the grating line at a boundary portion between the plurality of types of regions.
前記基板上の回折格子が設けられた領域は、回折格子のない領域に囲まれていることを特徴とする請求項に記載の回折格子パターン。 The diffraction grating pattern according to claim 1 , wherein the region where the diffraction grating is provided on the substrate is surrounded by a region without the diffraction grating.
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