JP4724056B2

JP4724056B2 - Inspection device

Info

Publication number: JP4724056B2
Application number: JP2006167732A
Authority: JP
Inventors: 徹郎相川; 隆仏円
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2006-06-16
Filing date: 2006-06-16
Publication date: 2011-07-13
Anticipated expiration: 2026-06-16
Also published as: JP2007333639A

Description

本発明は、遠隔操作のカメラにより検査対象を撮影し、その撮影画像を検査対象から離れた場所に設置したモニタに出力し、この映像を基に検査員が目視等で確認する検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus in which an inspection object is photographed by a remotely operated camera, the photographed image is output to a monitor installed at a location away from the inspection object, and an inspector visually confirms this image.

一般に、発電プラントやプロセスプラント等の工業プラントなどでは、プラント機器の安全性を維持するために定期的な検査が実施されている。このプラントなどの検査方法としては、遠隔から操作したカメラにより検査対象を撮影し、その撮影画像を、検査対象から離れた場所に設置したモニタにカメラの映像を出力し、この映像を検査員が目視で確認するといった方法が多く用いられる（例えば、特許文献１参照）。これは、例えば原子力発電所の放射線管理区域のような危険性の高い区域で各種検査や作業する人（作業者や検査員）の数を安全性向上のために可及的に抑制し、作業時間の短縮を目的としたものである。
特開２００３−２０２９２１号公報 In general, in an industrial plant such as a power plant or a process plant, periodic inspections are performed to maintain the safety of plant equipment. As an inspection method for this plant, the inspection object is photographed by a remotely operated camera, and the photographed image is output to a monitor installed at a location away from the inspection object. Many methods such as visual confirmation are used (see, for example, Patent Document 1). This is to reduce the number of people (operators and inspectors) who perform various inspections and work in high-risk areas such as radiation control areas of nuclear power plants as much as possible to improve safety. The purpose is to shorten time.
JP 2003-202921 A

このような従来の検査方法では、カメラの映像を基に検査員が目視により検査対象の欠陥を探すため、カメラの画素分解能が検出すべき欠陥に対して不十分である場合、欠陥が発見しにくくなり、見落としが発生してしまう。このような欠陥の見落としを回避するためには、カメラの撮影範囲を狭くして検査を行なうのが一般的であるが、これでは広域な検査範囲を全て撮影範囲の狭いカメラで撮影するには時間がかかり過ぎる。その結果、検査時間が長時間化するといった問題がでてくる。 In such a conventional inspection method, an inspector visually looks for a defect to be inspected based on the image of the camera. If the pixel resolution of the camera is insufficient for the defect to be detected, the defect is found. It becomes difficult and oversight occurs. In order to avoid oversight of such defects, it is common to perform inspections with a narrow camera shooting range, but this requires shooting a wide inspection range with a camera with a narrow shooting range. It takes too long. As a result, there arises a problem that the inspection time becomes longer.

また、カメラの撮影範囲を狭くすることなくカメラの画素分解能を確保する方法としては、高分解能なカメラを利用する方法もある。しかし、高分解能なカメラは、サンプリング速度が遅く遠隔でカメラを操作するには操作性が悪くなるという課題がある。また、時間あたりに検査できる検査範囲が狭くなり前述した方法と同様に検査時間が長時間化するといった課題もある。また、高分解能なカメラ自体が高価なために検査コストが高くなってしまうという課題がある。 In addition, as a method of ensuring the pixel resolution of the camera without narrowing the shooting range of the camera, there is a method of using a high-resolution camera. However, a high-resolution camera has a problem that the sampling speed is slow and the operability is poor when the camera is operated remotely. In addition, there is a problem that the inspection range that can be inspected per time becomes narrow and the inspection time becomes longer as in the above-described method. Moreover, since the high-resolution camera itself is expensive, there is a problem that the inspection cost becomes high.

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、カメラもしくは検査対象物を移動（走査）させ、移動させながら得られた時系列の映像から、使用したカメラの画素分解能よりも高い画素分解能の画像を作成し、使用したカメラとほぼ同様のサンプリング速度により画像を出力し表示することができる検査装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve such a problem, and its purpose is to move (scan) the camera or the inspection object, and to use the camera from the time-series images obtained while moving the camera or the inspection object. It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus capable of generating an image with a pixel resolution higher than the pixel resolution and outputting and displaying an image at a sampling rate almost the same as that of the camera used.

本発明は、検査対象を広域的に撮影する広域カメラ、この広域カメラの撮影範囲内で前記検査対象を局所的に撮影する局所カメラ、前記検査対象からの光を前記広域カメラおよび前記局所カメラに導光する光学系を備えた撮影装置と、前記検査対象に前記撮影装置を走査させる撮影駆動装置と、この撮影駆動装置の走査による移動量を計測する移動量計測装置と、前記撮影装置から出力される画像を蓄積する画像蓄積装置と、この画像蓄積装置が蓄積している画像と前記移動量計測装置で計測した前記撮影駆動装置の移動量とに基づいて、前記広域カメラの画素分解能よりも高い画素分解能の高精細画像を作成する高精細画像作成装置と、高精細画像作成装置により作成した高精細画像と前記局所カメラから出力された画像とを比較して高精細画像の復元度を求め、この復元度に基づいて前記高精細画像作成装置を制御することにより、この高精細画像作成装置により作成される高精細画像を制御する画像比較装置と、この高精細画像作成装置により作成した高精細画像を表示する表示装置と、を備えたことを特徴とする検査装置である。 The present invention relates to a wide-area camera that images an inspection object in a wide area, a local camera that locally images the inspection object within an imaging range of the wide-area camera, and light from the inspection object to the wide-area camera and the local camera. An imaging device including an optical system that guides light, an imaging drive device that scans the imaging device on the inspection target, a movement amount measurement device that measures a movement amount by scanning of the imaging drive device, and an output from the imaging device Based on the image storage device for storing the image to be processed, the image stored in the image storage device and the movement amount of the photographing drive device measured by the movement amount measurement device, than the pixel resolution of the wide-area camera. A high-definition image creation device that creates a high-definition image with high pixel resolution and a high-definition image created by the high-definition image creation device are compared with the image output from the local camera. An image comparison device that controls a high-definition image created by the high-definition image creation device by obtaining a restoration degree of the image and controlling the high-definition image creation device based on the restoration degree, and the high-definition image An inspection apparatus comprising: a display device that displays a high-definition image created by the creation device.

本発明によれば、検査対象の検査を迅速かつ高精度で行なうことができる。 According to the present invention, an inspection target can be inspected quickly and with high accuracy.

以下、本発明に係わる実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、添付図面中、同一または相当部分には同一符号を付している。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part in an accompanying drawing.

図１は、本発明の第１の実施形態に係わる検査装置１の構成図である。この検査装置１は、検査対象２を撮影する撮影装置３、撮影装置３を走査するために駆動する撮影駆動装置４、検査対象２の欠陥を検出する画像検査装置５を具備している。撮影装置３は、検査対象２を撮影する広域カメラ３ａおよびこの広域カメラ３ａの撮影範囲の一部を局所的に撮影する局所カメラ３ｂと、半透過ミラー３ｃおよび全反射ミラー３ｄとを有する光学系を備えている。 FIG. 1 is a configuration diagram of an inspection apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention. The inspection apparatus 1 includes an imaging apparatus 3 that images the inspection object 2, an imaging drive apparatus 4 that is driven to scan the imaging apparatus 3, and an image inspection apparatus 5 that detects defects in the inspection object 2. The imaging device 3 includes an optical system having a wide area camera 3a for imaging the inspection object 2, a local camera 3b for locally imaging a part of the imaging range of the wide area camera 3a, a semi-transmissive mirror 3c, and a total reflection mirror 3d. It has.

図２に示すように撮影駆動装置４は、撮影装置３により検査対象２の検査面に沿って走査し、連続的に検査対象２を撮影するように駆動する。図２は撮影駆動装置４により撮影装置３の撮影視点を走査するための走査の一例を示しており、図中３ｅは撮影装置３の走査方向を示している。この例ではテレビモニタなどの走査方法と同様に、水平方向に走査した後、再び走査始点に戻り、ここで、その水平方向の位置を垂直方向下方へ所定距離ずらし再度水平方向を走査する。この繰返しにより検査対象２の全面を撮影装置３により撮影する。 As shown in FIG. 2, the imaging drive device 4 is driven by the imaging device 3 to scan along the inspection surface of the inspection object 2 and continuously image the inspection object 2. FIG. 2 shows an example of scanning for scanning the photographing viewpoint of the photographing device 3 by the photographing driving device 4, and 3 e in the figure indicates the scanning direction of the photographing device 3. In this example, similarly to the scanning method of a television monitor or the like, after scanning in the horizontal direction, the scan is returned to the scanning start point. Here, the horizontal position is shifted downward by a predetermined distance and the horizontal direction is scanned again. By repeating this, the entire surface of the inspection object 2 is imaged by the imaging device 3.

撮影装置３では、検査対象２の広域な範囲を広域カメラ３ａにより撮影させ、広域カメラ３ａの撮影範囲の一部を局所的に局所カメラ３ｂにより撮影させ、他方、半透過ミラー３ｃにより検査対象２からの光の一部を透過させて広域カメラ３ａに導光して入力させ、残りの光を反射する。この反射させた光を全反射ミラー３ｄにより反射させ局所カメラ３ｂに導光して入力させるものである。 In the imaging device 3, a wide area of the inspection object 2 is imaged by the wide area camera 3a, a part of the imaging range of the wide area camera 3a is locally imaged by the local camera 3b, and on the other hand, the inspection object 2 by the transflective mirror 3c. A part of the light from the light is transmitted and guided to the wide-area camera 3a for input, and the remaining light is reflected. The reflected light is reflected by the total reflection mirror 3d and guided to the local camera 3b for input.

局所カメラ３ｂの撮影範囲は、後に説明する高精細画像作成装置５ａにより広域カメラ３ａが撮影した画像から作成する高精細画像の画素分解能に等しい画素分解能を有し、局所カメラ３ｂの画素数と前記画素分解能から算出された範囲とする。 The shooting range of the local camera 3b has a pixel resolution equal to the pixel resolution of the high-definition image created from the image taken by the wide-area camera 3a by the high-definition image creation device 5a described later. The range is calculated from the pixel resolution.

このように、半透過ミラー３ｃおよび全反射ミラー３ｄの光学機器を利用した光学系に構成することにより、広域カメラ３ａと同一の撮影位置から局所カメラ３ｂにより検査対象２を撮影することが容易に可能となる。仮に、これら光学機器を利用しない場合には、広域カメラ３ａと局所カメラ３ｂの撮影位置を同一にすることは物理的に困難であり、設置位置をずらす必要がある。その場合、広域カメラ３ａと局所カメラ３ｂの視点（撮影）位置が異なるため、広域カメラ３ａにより撮影した検査対象２の画像に対して、局所カメラ３ａにより撮影した検査対象２の画像が歪んでしまい、後に述べる画像比較装置５ｂによる画像間の比較が難しくなる。 In this way, by configuring the optical system using the optical devices of the semi-transmissive mirror 3c and the total reflection mirror 3d, it is easy to image the inspection object 2 by the local camera 3b from the same imaging position as the wide-area camera 3a. It becomes possible. If these optical devices are not used, it is physically difficult to make the shooting positions of the wide area camera 3a and the local camera 3b the same, and it is necessary to shift the installation positions. In this case, since the viewpoints (shooting) positions of the wide area camera 3a and the local camera 3b are different, the image of the inspection object 2 imaged by the local camera 3a is distorted with respect to the image of the inspection object 2 imaged by the wide area camera 3a. Therefore, comparison between images by the image comparison device 5b described later becomes difficult.

また、広域カメラ３ａと局所カメラ３ｂとにおいて検査対象２から入力される光の光量に相違がでるために、両画像間に明るさの相違が発生し、前述の問題と同様に画像比較装置５ｂによる画像間の比較が難しくなる。 Further, since the light amount of light input from the inspection object 2 is different between the wide area camera 3a and the local camera 3b, a difference in brightness occurs between the two images, and the image comparison device 5b is similar to the above-described problem. It becomes difficult to compare between images.

図３（ａ）〜（ｃ）は撮影装置３により撮影する画像の一例を示した。図３（ａ）は検査対象２の画像を示している。図３（ｂ）は撮影装置３の走査により得られる広域カメラ３ａの撮影画像を時間軸に沿った順に画像３１ａ，３１ｂ，３１ｃと順次図示している。 3A to 3C show an example of an image photographed by the photographing device 3. FIG. 3A shows an image of the inspection object 2. FIG. 3B sequentially shows images taken by the wide-area camera 3a obtained by scanning of the image taking device 3 as images 31a, 31b, and 31c in order along the time axis.

図３（ｂ）は、図３（ａ）の検査対象２に対して撮影装置３を左側から右側に水平方向に走査した場合の撮影画像を示しており、検査対象２が左側から順次撮影されている。 FIG. 3B shows a photographed image when the photographing apparatus 3 is scanned in the horizontal direction from the left side to the right side with respect to the inspection object 2 of FIG. 3A, and the inspection object 2 is sequentially photographed from the left side. ing.

また、図３（ｂ）中、範囲３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、広域カメラ３ａの画像３１ａ，３１ｂ，３１ｃのそれぞれにおける局所カメラ３ｂの撮影範囲を示しており、広域カメラ３ａの撮影範囲を局所的に撮影している。 Further, in FIG. 3B, ranges 32a, 32b, and 32c indicate the shooting ranges of the local camera 3b in the images 31a, 31b, and 31c of the wide area camera 3a, respectively. I am shooting.

図３（ｃ）は、局所カメラ３ｂの撮影範囲が３２ａ，３２ｂ，３２ｃの場合における局所カメラ３ｂの画像を示したものである。なお、図３では、局所カメラ３ｂの撮影範囲を広域カメラ３ａの画像の中央部に設定した場合を示しているが、中央部に限定されるものでなく、例えば左上や右下のような他の所要の位置でもよい。 FIG. 3C shows an image of the local camera 3b when the imaging range of the local camera 3b is 32a, 32b, 32c. FIG. 3 shows a case where the shooting range of the local camera 3b is set at the center of the image of the wide area camera 3a. However, the present invention is not limited to the center, and other examples such as upper left and lower right are shown. The required position may be used.

図１に示すように画像検査装置５は高精細画像作成装置５ａ、画像比較装置５ｂ、移動量計測装置５ｃ、画像蓄積装置５ｄ、展開画像作成装置５ｅ、表示装置５ｆを具備している。移動量計測装置５ｃは撮影駆動装置４により走査させた撮影装置３の移動量を、広域カメラ３ａの撮影画像に画像処理を施し計測するものである。 As shown in FIG. 1, the image inspection device 5 includes a high-definition image creation device 5a, an image comparison device 5b, a movement amount measurement device 5c, an image storage device 5d, a developed image creation device 5e, and a display device 5f. The moving amount measuring device 5c measures the moving amount of the photographing device 3 scanned by the photographing driving device 4 by performing image processing on the photographed image of the wide area camera 3a.

図４は、移動量計測装置５ｃによる画像処理手順の一例のフローチャートである。図４に示すように移動量計測装置５ｃは、まず広域カメラ３ａからの撮影画像データに１次式を当てはめた線形補間法や３次元多項式を当てはめた３次元補間法などにより画像を拡大する画像拡大処理（Ｓ１）を実行する。この画像拡大処理を初めに実施することで、画像中における撮影装置３の移動量を１画素以下のサブピクセル精度で計測することができる。 FIG. 4 is a flowchart of an example of an image processing procedure performed by the movement amount measuring device 5c. As shown in FIG. 4, the moving amount measuring device 5c first enlarges an image by a linear interpolation method in which a linear expression is applied to captured image data from the wide-area camera 3a, a three-dimensional interpolation method in which a three-dimensional polynomial is applied, or the like. The enlargement process (S1) is executed. By performing this image enlargement process first, the movement amount of the photographing device 3 in the image can be measured with subpixel accuracy of one pixel or less.

次にブロックマッチング処理（Ｓ２）を実行する。図５に示すようにブロックマッチング処理は、広域カメラ３ａの例えば２枚の画像に画像拡大処理を実行した後の例えば２画像１００ａ，１００ｂにおいて、一方の画像１００ａの各画素の移動位置を他方の画像１００ｂから求める処理である。この具体的な画像処理方法の一例を以下に説明する。 Next, block matching processing (S2) is executed. As shown in FIG. 5, in the block matching process, for example, in the two images 100a and 100b after the image enlargement process is performed on, for example, two images of the wide area camera 3a, the movement position of each pixel of one image 100a is set to the other. This is processing to be obtained from the image 100b. An example of this specific image processing method will be described below.

まず一方の画像１００ａの移動位置を求める画素１０１を中心とした所要大の矩形ブロック１０２を設定し、さらに、この矩形ブロック１０２内の輝度の分散を求める。次に、矩形ブロック１０２内の輝度の分散が所定のしきい値以上である場合には、他方の画像１００ｂに対してブロック走査１０３を行い、輝度の差を用いた方法や輝度の相関を用いた方法などにより、最も矩形ブロック１０２に類似した位置を求める。前処理で最も矩形ブロック１０２に類似した位置と判断した位置が、一方の画像１００ａの移動位置を求める画素１０１の画像１００ｂにおける移動位置となる。ブロックマッチング処理は、この処理を一方の画像１００ａの全画素に対して実行する。 First, a required large rectangular block 102 centering on the pixel 101 for obtaining the moving position of one image 100a is set, and further, the luminance dispersion in the rectangular block 102 is obtained. Next, when the luminance dispersion in the rectangular block 102 is equal to or greater than a predetermined threshold value, the block scan 103 is performed on the other image 100b, and a method using luminance difference or luminance correlation is used. The position that is most similar to the rectangular block 102 is obtained by the method described above. The position determined as the position most similar to the rectangular block 102 in the preprocessing is the movement position in the image 100b of the pixel 101 for obtaining the movement position of the one image 100a. In the block matching process, this process is executed for all the pixels of one image 100a.

しかし、矩形ブロック１０２内の輝度の分散が所定のしきい値未満の画素については画像処理が実行されないために、他方の画像１００ｂに対する移動位置が求まらない。このように実行されない画素については、実行された周辺の画素の結果から他方の画像１００ｂに対する移動位置を推定する。 However, since the image processing is not executed for the pixels whose luminance distribution in the rectangular block 102 is less than the predetermined threshold value, the moving position with respect to the other image 100b cannot be obtained. For pixels that are not executed in this way, the movement position with respect to the other image 100b is estimated from the results of the executed peripheral pixels.

その推定方法の一例としては、移動位置を推定する画素を囲む、画像処理が実行された最低３画素を検索する。次に、画像の横方向をＸ軸、縦方向をＹ軸として、前記３画素のＸＹ軸上の位置と、Ｘ軸およびＹ軸の移動位置をＺ軸とした２つの３次元空間に３画素の値からそれぞれ３つの点をプロットする。 As an example of the estimation method, a search is made for at least three pixels that have been subjected to image processing and surround a pixel whose movement position is estimated. Next, three pixels in two three-dimensional spaces, where the horizontal direction of the image is the X axis and the vertical direction is the Y axis, the position of the three pixels on the XY axis and the movement position of the X and Y axes are the Z axis. Plot three points from each value.

この後、この３点を結ぶ３次元空間における平面を計算で求め、推定する画素の点がこの平面上にあるとして、推定する画素のＸＹ軸の位置からＺ軸の値を計算する。この計算で求めたＺ軸の値が移動位置となる。なお、この例では、３点を用いた平面を仮定したが３点以上を利用して計算できる多項式の面でもよい。 Thereafter, a plane in a three-dimensional space connecting these three points is obtained by calculation, and the value of the Z axis is calculated from the position of the estimated pixel on the XY axis, assuming that the point of the estimated pixel is on this plane. The Z-axis value obtained by this calculation is the movement position. In this example, a plane using three points is assumed, but a polynomial surface that can be calculated using three or more points may be used.

以上で説明したブロックマッチング処理の例では、輝度の分散の高い矩形ブロック１０２にのみ当該処理を実行する。輝度の分散が高いということは画像のテクスチャが特徴的であり、マッチング処理に適しているということである。逆に輝度の分散が低いということは、画像のテクスチャが一様であり特碑的でないためにマッチング処理を実行した結果が間違った移動位置を計測する可能性が高くなる。このように矩形ブロックについてマッチング処理の実行の是非を判断することにより信頼性の高い計測が可能となる。また、輝度の分散以外に画像のテクスチャの特徴性を評価できる情報を用いて判断してもよい。 In the example of the block matching process described above, the process is executed only for the rectangular block 102 with high luminance dispersion. A high luminance dispersion means that the texture of the image is characteristic and is suitable for matching processing. On the other hand, when the luminance dispersion is low, there is a high possibility that the result of executing the matching process will measure the wrong moving position because the texture of the image is uniform and not special. As described above, it is possible to perform highly reliable measurement by determining whether or not to execute the matching process for the rectangular block. Further, determination may be made using information capable of evaluating the texture characteristics of the image in addition to the luminance dispersion.

なお、移動量計測装置５ｃは上記移動量計測方法以外に、検査対象２と撮影装置３との位置関係や、広域カメラ３ａの視野角および、撮影駆動装置４の移動情報などを基に幾何学的に計測する方法により移動量を計測するように構成してもよい。 In addition to the movement amount measurement method described above, the movement amount measuring device 5c is geometric based on the positional relationship between the inspection object 2 and the photographing device 3, the viewing angle of the wide area camera 3a, the movement information of the photographing driving device 4, and the like. Alternatively, the movement amount may be measured by a method of measuring automatically.

画像蓄積装置５ｄは、広域カメラ３ａの撮影画像と移動量計測装置５ｃの計測データを、後述する高精細画像作成装置５ａに必要となる情報数を蓄積するものである。 The image accumulating device 5d accumulates the number of information necessary for the high-definition image creating device 5a, which will be described later, with respect to the captured image of the wide area camera 3a and the measurement data of the movement amount measuring device 5c.

図６は広域カメラ３ａの画像と移動量計測装置５ｃの計測データとを共に図示しており、例えば蓄積できる情報数としては３つとしている。画像情報を蓄積する画像蓄積装置５ｄには画像情報が入力される入口５ｄａと、出力される出口５ｄｂを備えている。 FIG. 6 illustrates both the image of the wide area camera 3a and the measurement data of the movement amount measuring device 5c. For example, the number of pieces of information that can be stored is three. The image storage device 5d for storing image information includes an inlet 5da for inputting image information and an outlet 5db for outputting.

図６（ａ）は、所定時間ｔの開始時点の画像蓄積装置５ｄの状態を表しており、画像蓄積装置５ｄには、その入口５ｄａ側から出口５ｄｂに向けて時間ｔ−Δｔ（所要の微小時間）の画像情報２００ｂ、時間ｔ−Δ２ｔの画像情報２００ｃ、時間ｔ−Δ３ｔの画像情報２００ｄの順に３つの画像が蓄積されている。この後、時間ｔの画像情報２００ａが広域カメラ３ａと移動量計測装置５ｃから送られてくると画像蓄積装置５ｄは、その出口５ｄｂ側にある時間ｔ−Δ３ｔの画像情報２００ｄを選択する。 FIG. 6A shows the state of the image storage device 5d at the start of the predetermined time t. The image storage device 5d has a time t-Δt (required minute amount) from the inlet 5da side to the outlet 5db. (Time) image information 200b, image information 200c at time t-Δ2t, and image information 200d at time t-Δ3t are stored in this order. Thereafter, when the image information 200a at time t is sent from the wide area camera 3a and the movement amount measuring device 5c, the image storage device 5d selects the image information 200d at time t−Δ3t on the exit 5db side.

次に、選択した時間ｔ−Δ３ｔの画像情報２００ｄを消去し、画像蓄積装置５ｄに蓄積していた情報を出口５ｄｂ側へずらし、広域カメラ３ａと移動量計測装置５ｄから送られてきた時間ｔの画像情報２００ａを画像蓄積装置５ｄの入口５ｄａから画像蓄積装置５ｄへ与えて蓄積する。この状態を表したのが図６（ｂ）である。 Next, the image information 200d of the selected time t−Δ3t is erased, the information stored in the image storage device 5d is shifted to the exit 5db side, and the time t sent from the wide area camera 3a and the movement amount measuring device 5d. The image information 200a is supplied from the entrance 5da of the image storage device 5d to the image storage device 5d and stored. FIG. 6B shows this state.

このような手順にて画像情報を蓄積することにより、蓄積している画像情報の中で最も過去の画像情報を破棄し、最も新しい画像情報を常時、順に蓄積することが可能となり、広域カメラ３ａにより検査対象２を撮影してから最小の遅延時間で、過去から現在までの画像を高精細画像作成装置５ａに送ることができる。 By accumulating the image information in such a procedure, it becomes possible to discard the past image information among the accumulated image information and accumulate the newest image information in order at all times. Thus, images from the past to the present can be sent to the high-definition image creating apparatus 5a with a minimum delay time after the inspection object 2 is imaged.

高精細画像作成装置５ａは、画像蓄積装置５ｄに蓄積された広域カメラ３ａの画像と移動量計測装置５ｃの計測データから、広域カメラ３ａが有する画素分解能よりも高い画素分解能を有した高精細画像を作成する装置である。 The high-definition image creation device 5a is a high-definition image having a pixel resolution higher than the pixel resolution of the wide-area camera 3a from the image of the wide-area camera 3a stored in the image storage device 5d and the measurement data of the movement amount measuring device 5c. Is a device to create.

図７に示すように高精細画像作成装置５ａは、画像蓄積装置５ｄに蓄積されている最も新しい画像３００ａを基準として高精細画像３０２を作成処理する。ここで、高精細画像３０２とは、例えばその画素分解能を、最新画像３００ａと、画像蓄積装置５ｄに蓄積されている他の画像３００ｂの画像に対して２倍にしてある。 As shown in FIG. 7, the high-definition image creation device 5a creates a high-definition image 302 based on the newest image 300a stored in the image storage device 5d. Here, the high-resolution image 302 has, for example, the pixel resolution twice that of the latest image 300a and the other image 300b stored in the image storage device 5d.

そして、最新画像３００ａの画素３０１ａが例えば高精細画像３０２の座標１Ａ，２Ａ，１Ｂ，２Ｂの画素だとすると、画像３００ｂの画素３０１ｂは、移動量計測装置５ｄにより計測した移動位置を基に画像３００ａからの相対移動位置を計算し、高精細画像３０２における座標を計算する。この例では、座標を２Ｂ，３Ｂ，２Ｃ，３Ｃとする。この処理を画像蓄積装置５ｄに蓄積された全画像の全画素に対して実行する。 If the pixel 301a of the latest image 300a is, for example, a pixel of coordinates 1A, 2A, 1B, and 2B of the high-definition image 302, the pixel 301b of the image 300b is extracted from the image 300a based on the movement position measured by the movement amount measuring device 5d. Is calculated, and the coordinates in the high-definition image 302 are calculated. In this example, the coordinates are 2B, 3B, 2C, 3C. This process is executed for all pixels of all images stored in the image storage device 5d.

次に、高精細画像３０２の輝度を計算する。すなわち、図７に示すように、高精細画像３０２の座標２Ｂは、画像３００ａの画素３０１ａと画像３００ｂの画素３０１ｂが重複した座標であり、高精細画像３０２の座標２Ｂの輝度は、画素３０１ａと画素３０１ｂの輝度の平均値により計算される。高精細画像作成装置５ａでは、この処理を高精細画像３０２の全ての画素に対して実行し、高精細画像３０２の輝度を決定する。この処理段階で作成された高精細画像３０２は、平均輝度で作成されているためコントラストの悪い画像である。 Next, the brightness of the high-definition image 302 is calculated. That is, as shown in FIG. 7, the coordinate 2B of the high-definition image 302 is a coordinate where the pixel 301a of the image 300a and the pixel 301b of the image 300b overlap, and the luminance of the coordinate 2B of the high-definition image 302 is the pixel 301a. It is calculated by the average value of the luminance of the pixel 301b. In the high-definition image creating apparatus 5a, this process is executed for all the pixels of the high-definition image 302, and the brightness of the high-definition image 302 is determined. The high-definition image 302 created at this processing stage is an image with poor contrast because it is created with average luminance.

そこで、次に画像のコントフストを上げるコントラスト改善処理を実行する。 Therefore, a contrast improvement process for increasing the image contrast is executed next.

図８は高精細画像作成装置５ａにより高精細画像のコントラストを改善するためのコントラスト改善処理の説明図である。すなわち、図８に示すように例えば画素４００のコントラストを上げる場合、まず、画素４００を中心とする所要大の中央範囲４０１と、その周辺の周辺範囲４０２を同心状に設定する。このとき、周辺範囲４０２は、中央範囲４０１よりも広い範囲でなければならない。図８では、例えば中央範囲４０１の画素が３行３列（３×３）、周辺範囲４０２の画素が５行５列（５×５）で図示してある。 FIG. 8 is an explanatory diagram of a contrast improvement process for improving the contrast of a high-definition image by the high-definition image creation device 5a. That is, as shown in FIG. 8, for example, when increasing the contrast of the pixel 400, first, a required large central range 401 centering on the pixel 400 and a peripheral range 402 around it are set concentrically. At this time, the peripheral range 402 must be wider than the central range 401. In FIG. 8, for example, the pixels in the central range 401 are illustrated in 3 rows and 3 columns (3 × 3), and the pixels in the peripheral range 402 are illustrated in 5 rows and 5 columns (5 × 5).

次に、中央範囲４０１、周辺範囲４０２の各々の平均輝度を求め、中央範囲４０１の平均輝度から周辺範囲４０２の平均輝度を差し引く。この差し引いた輝度がプラスの場合には、中央範囲４０１の方が周辺範囲４０２よりも明るく、逆にマイナスの場合には中央範囲４０１の方が周辺範囲４０２よりも暗いことになる。 Next, the average luminance of each of the central range 401 and the peripheral range 402 is obtained, and the average luminance of the peripheral range 402 is subtracted from the average luminance of the central range 401. When the subtracted luminance is positive, the central range 401 is brighter than the peripheral range 402, and conversely, when it is negative, the central range 401 is darker than the peripheral range 402.

そこで、この差し引いた値を画素４００の輝度に加算することにより、中央範囲４０１が周辺範囲４０２よりも明るい場合には、画素４００を更に明るく、中央範囲４０１が周辺範囲４０２よりも暗い場合には、画素４００を更に暗くし、画素４００のコントラストを強調改善する。 Therefore, by adding this subtracted value to the luminance of the pixel 400, when the central range 401 is brighter than the peripheral range 402, the pixel 400 is brighter and when the central range 401 is darker than the peripheral range 402. , The pixel 400 is further darkened and the contrast of the pixel 400 is enhanced.

画像比較装置５ｂは、広域カメラ３ａの撮影範囲の一部を、局所的に撮影した局所カメラ３ｂの画像と、高精細画像作成装置５ａにより作成した高精細画像と、を比較し、高精細画像作成装置５ａを制御する。局所カメラ３ｂの画像の画素分解能は、高精細画像作成装置５ａにより作成した高精細画像の画素分解能と等しくなるように局所カメラ３ｂの撮影範囲が設定されており、半透過ミラー３ｃおよび全反射ミラー３ｄの光学機器（光学系）を利用することによりカメラの視点位置も同一にすることができる。 The image comparison device 5b compares a part of the photographing range of the wide-area camera 3a with the image of the local camera 3b that is locally photographed and the high-definition image created by the high-definition image creation device 5a. The creation device 5a is controlled. The imaging range of the local camera 3b is set so that the pixel resolution of the image of the local camera 3b is equal to the pixel resolution of the high-definition image created by the high-definition image creation device 5a, and the transflective mirror 3c and the total reflection mirror By using 3d optical equipment (optical system), the viewpoint position of the camera can be made the same.

したがって、図９に示すように、広域カメラ３ａの画像５００の撮影範囲５０３を撮影した局所カメラ３ｂの画像５０２は、広域カメラ３ａの画像５００から作成した高精細画像５０１の撮影範囲５０３の領域の画像と等しい画像であり、局所カメラ３ｂの画像５０２と高精細画像５０１の撮影範囲５０３の画像とを比較することにより、高精細画像作成装置５ａにより作成した高精細画像５０１の復元度を評価することができる。 Therefore, as shown in FIG. 9, the image 502 of the local camera 3b obtained by photographing the photographing range 503 of the image 500 of the wide area camera 3a is an area of the photographing range 503 of the high-definition image 501 created from the image 500 of the wide area camera 3a. The restoration degree of the high-definition image 501 created by the high-definition image creation device 5a is evaluated by comparing the image 502 of the local camera 3b with the image in the shooting range 503 of the high-definition image 501. be able to.

また、撮影装置３が前述した光学機器を用いた構成としているため、画像間の比較が容易にできる。画像比較装置５ｂは、局所カメラ３ａの画像５０２と高精細画像５０１の撮影範囲５０３の画像を比較評価し、評価値が一定のしきい値以下の場合にはコントラスト改善処理を再度繰り返すように高精細画像作成装置５ａに指示する。画像の比較評価は、輝度の差を用いる方法や、輝度の相関を評価する方法などを利用する。 In addition, since the photographing apparatus 3 uses the above-described optical apparatus, comparison between images can be easily performed. The image comparison device 5b compares and evaluates the image 502 of the local camera 3a and the image of the shooting range 503 of the high-definition image 501, and when the evaluation value is equal to or less than a certain threshold value, the image improvement device 5b repeats the contrast improvement processing again. The fine image creating apparatus 5a is instructed. For comparative evaluation of images, a method using a difference in luminance, a method for evaluating correlation of luminance, or the like is used.

このように、局所カメラ３ａと画像比較装置５ｂにより高精細画像作成装置５ａを制御することで、高精細画像の復元度を高品質に維持することが可能となる。 As described above, by controlling the high-definition image creation device 5a by the local camera 3a and the image comparison device 5b, it is possible to maintain the restoration degree of the high-definition image with high quality.

展開画像作成装置５ｅは、高精細画像作成装置５ａにより作成した高精細画像を検査対象２の形状から平面に座標変換し、移動量計測装置５ｃにより計測した撮影装置３の移動量を基に平面に座標変換した高精度画像を合成して、検査対象２の全面を１度に見ることが可能な平面展開画像を作成する。この平面展開画像を表示装置５ｆに出力し検査員などに提供することで、検査対象２の正常な箇所と、正常な箇所とは異なる箇所を比較しながら欠陥箇所を検出する比較検査ができる。 The developed image creation device 5e performs coordinate conversion of the high definition image created by the high definition image creation device 5a from the shape of the inspection object 2 to a plane, and is based on the movement amount of the imaging device 3 measured by the movement amount measurement device 5c. Is combined with the high-accuracy image that has been coordinate-transformed to create a flat developed image that allows the entire surface of the inspection object 2 to be viewed at a time. By outputting this flat developed image to the display device 5f and providing it to an inspector or the like, a comparative inspection for detecting a defective portion while comparing a normal portion of the inspection object 2 with a portion different from the normal portion can be performed.

また、撮影装置３が移動することにより得られた時系列の画像から広域カメラ３ａの画素分解能よりも高い画素分解能を有した高精細画像を広域カメラ３ａのサンプリング速度と同等の時間間隔で得ることができ、この高精細画像により高精度の検査が可能となる。さらに、広域カメラ３ａの撮影領域の一部を局所的に光学機器を用いて局所カメラ３ａにより撮影することにより、容易に画像比較装置５ｂにより画像間の比較ができ、高品質の高精度画像を提供することが可能である。 In addition, a high-definition image having a pixel resolution higher than the pixel resolution of the wide area camera 3a is obtained at a time interval equivalent to the sampling speed of the wide area camera 3a from a time-series image obtained by moving the photographing device 3. This high-definition image enables high-precision inspection. Furthermore, a part of the imaging area of the wide-area camera 3a is locally captured by the local camera 3a using an optical device, so that the images can be easily compared by the image comparison device 5b, and a high-quality high-accuracy image can be obtained. It is possible to provide.

図１０は、本発明の第２の実施形態に係る検査装置１Ａの構成図である。この検査装置１Ａは、図１で示す第１の実施形態に係る検査装置１に対し、撮影装置３を走査させる撮影駆動装置４に代えて、検査対象２自体を移動させることにより撮影装置３を走査させる検査体駆動装置６を設けた点に特徴があり、これ以外は図１で示す検査装置１とほぼ同様の構成である。 FIG. 10 is a configuration diagram of an inspection apparatus 1A according to the second embodiment of the present invention. The inspection apparatus 1A moves the inspection object 2 itself by moving the inspection object 2 itself instead of the imaging drive apparatus 4 that scans the imaging apparatus 3 with respect to the inspection apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIG. The inspection object driving device 6 to be scanned is characterized in that it has the same configuration as the inspection device 1 shown in FIG.

すなわち、第２の検査装置１Ａは撮影装置３を駆動せずに固定する一方、検査体駆動装置６により検査対象２を駆動することにより走査させて撮影装置３により連続的に検査対象２を撮影させる。 That is, the second inspection apparatus 1 </ b> A fixes the imaging apparatus 3 without driving it, while the inspection object driving apparatus 6 drives the inspection object 2 to scan and continuously image the inspection object 2 by the imaging apparatus 3. Let

この検査装置１Ａによれば、検査対象２を走査させることにより前記第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 According to this inspection apparatus 1A, it is possible to obtain the same function and effect as in the first embodiment by scanning the inspection object 2.

図１１は本発明の第３の実施形態に係わる検査装置１Ｂの構成図である。この検査装置１Ｂは、図１で示す第１の実施形態に係る検査装置１に対して、欠陥検査装置５ｇを追加した点に特徴があり、これ以外は図１で示す検査装置１と同様である。 FIG. 11 is a configuration diagram of an inspection apparatus 1B according to the third embodiment of the present invention. This inspection apparatus 1B is characterized in that a defect inspection apparatus 5g is added to the inspection apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1, and other than this, the inspection apparatus 1B is the same as the inspection apparatus 1 shown in FIG. is there.

欠陥検査装置５ｇは、展開画像作成装置５ｅにより作成された平面展開画像に対して図１２に示すような画像処理を適用して、自動で検査対象２の欠陥箇所を認識して検査する装置である。 The defect inspection apparatus 5g is an apparatus for automatically recognizing and inspecting a defect portion of the inspection object 2 by applying image processing as shown in FIG. 12 to the planar development image created by the development image creation apparatus 5e. is there.

すなわち、図１２に示すように欠陥検査装置５ｇは、まず欠陥の輪郭線を求めるために展開画像作成装置５ｅからの平面展開画像に微分処理（Ｓ１１）を施し、次に微分成分の大きさが所定のしきい値以上の領域を抽出する２値化処理（Ｓ１２）を行なう。この２値化処理にて抽出した結果は、欠陥の輪郭線であるため輪郭線で囲まれた領域を欠陥領域とする閉領域埋込み処理（Ｓ１３）を実行する。 That is, as shown in FIG. 12, the defect inspection apparatus 5g first performs a differentiation process (S11) on the flat developed image from the developed image creating apparatus 5e in order to obtain a defect outline, and then the magnitude of the differential component is determined. A binarization process (S12) is performed to extract an area above a predetermined threshold. Since the result extracted in this binarization process is the outline of the defect, the closed area embedding process (S13) is executed in which the area surrounded by the outline is the defect area.

次に、この閉領域埋込み処理により抽出した領域の面積が所定のしきい値以上のものを選択するノイズ除去処理（Ｓ１４）を実行し、欠陥を検出する。また、展開画像作成装置５ｅにより作成した平面展開画像について、欠陥検査装置５ｇにより自動認識した欠陥領域を色等を変えてオーバーレイ表示し、検査員が視覚的に識別しやすい情報として表示装置５ｆに出力する。 Next, a noise removal process (S14) is performed in which the area extracted by the closed area embedding process is selected so that the area is equal to or larger than a predetermined threshold value, and a defect is detected. Further, with respect to the flat developed image created by the developed image creating device 5e, the defect area automatically recognized by the defect inspecting device 5g is overlaid and displayed on the display device 5f as information that is easily identifiable by the inspector. Output.

したがって、この検査装置１Ｂによれば、前記第１の実施形態の検査装置１と同様の効果が得られると共に、検査対象２の欠陥を高精度に自動検出することができる。 Therefore, according to this inspection apparatus 1B, the same effect as the inspection apparatus 1 of the first embodiment can be obtained, and the defect of the inspection object 2 can be automatically detected with high accuracy.

図１３は本発明の第４の実施形態に係わる検査装置１Ｃの構成図である。この検査装置１Ｃは、上記第１の実施形態に係る検査装置１において、検査対象２が一端面が開口した筒状であり、その筒状検査対象２ａの内部を、その開口端から照明する照明装置７を設けた点に主な特徴がある。 FIG. 13 is a configuration diagram of an inspection apparatus 1C according to the fourth embodiment of the present invention. In this inspection apparatus 1C, in the inspection apparatus 1 according to the first embodiment, the inspection object 2 has a cylindrical shape whose one end face is opened, and illumination that illuminates the inside of the cylindrical inspection object 2a from the opening end. The main feature is that the device 7 is provided.

照明装置７は、撮影装置３の広域カメラ３ａの受光側前面に配設され、筒状検査対象２ａ内に、その開口端２ａａから挿入し得る外径を有する透明円筒体７ａ、所要の照明光を出力する光源装置７ｂ、この光源装置７ｂからの光を筒状検査対象２ａ内に投光して、その内面を照明する一方、筒状検査対象２ａの内面からの光を撮影装置３の受光部、すなわち、広域カメラ３ａの入光部に案内する光学系７ｃを具備している。 The illuminating device 7 is disposed on the light receiving side front surface of the wide area camera 3a of the photographing device 3, and has a transparent cylindrical body 7a having an outer diameter that can be inserted into the cylindrical inspection object 2a from the opening end 2aa, and required illumination light. The light source device 7b that outputs the light, the light from the light source device 7b is projected into the cylindrical inspection object 2a to illuminate the inner surface thereof, and the light from the inner surface of the cylindrical inspection object 2a is received by the imaging device 3 Part, that is, an optical system 7c for guiding the light incident part of the wide area camera 3a.

光学系７ｃは透明円筒体７ａに配設された光源装置７ｂからの投光を透明円筒体７ａの挿入先端部（図１３中左端部）側へ反射させる照明用半透過ミラー７ｃａと、透明円筒体７ａの挿入先端部（図１３中左端部）の内部に配設されて照明用半透過ミラー７ｃａからの光を遠心方向ヘリング状に反射させる円錐ミラー７ｃｂを具備している。 The optical system 7c includes an illumination translucent mirror 7ca that reflects the light emitted from the light source device 7b disposed on the transparent cylindrical body 7a toward the insertion tip (left end in FIG. 13) of the transparent cylindrical body 7a, and a transparent cylinder. A cone mirror 7cb is provided inside the insertion tip (left end in FIG. 13) of the body 7a and reflects the light from the illumination semi-transmissive mirror 7ca in a centrifugal direction herring shape.

また、撮影駆動装置４ａは透明円筒体７ａを、筒状検査対象２ａ内に軸方向に挿脱すると共に、透明円筒体７ａをその中心軸周りに回動させるように構成されている。 The imaging drive device 4a is configured to insert and remove the transparent cylindrical body 7a in the cylindrical inspection object 2a in the axial direction and to rotate the transparent cylindrical body 7a around its central axis.

したがって、この筒状検査対象２ａの内面を撮影する場合は、まず、撮影駆動装置４ａを駆動して透明円筒体７ａを筒状検査対象２ａ内へその開口端から内方へ適宜位置まで挿入する。この挿入状態において、光源装置７ｂからの照明光が照明用半透過ミラー７ｃａで反射されて円錐ミラー７ｃｂ側に向けて照射される。さらに、その照明光は、円錐ミラー７ｃｂの外周面にてリング状に反射され、この反射光が筒状検査対象２ａの内周面２ｂに照射されて照明される。一方、この内周面２ｂで反射した光は、再び円錐ミラー７ｃｂの外周面にて反射され、その反射光は再度照明用半透過ミラー７ｃａ側に反射される。この照明用半透過ミラー７ｃａは、円錐ミラー７ｃｂ側からの光の一部を透過させるため、筒状検査対象２ａの内周面２ｂからの反射光は、広域カメラ３ａおよび局所カメラ３ｂに入力される。 Therefore, when imaging the inner surface of the cylindrical inspection object 2a, first, the imaging drive device 4a is driven to insert the transparent cylindrical body 7a into the cylindrical inspection object 2a from the opening end to the inner position as appropriate. . In this inserted state, the illumination light from the light source device 7b is reflected by the illumination semi-transmissive mirror 7ca and is irradiated toward the conical mirror 7cb side. Further, the illumination light is reflected in a ring shape on the outer peripheral surface of the conical mirror 7cb, and this reflected light is applied to the inner peripheral surface 2b of the cylindrical inspection object 2a to be illuminated. On the other hand, the light reflected by the inner peripheral surface 2b is reflected again by the outer peripheral surface of the conical mirror 7cb, and the reflected light is reflected again to the illumination semi-transmissive mirror 7ca side. Since this illumination semi-transmissive mirror 7ca transmits part of the light from the conical mirror 7cb side, the reflected light from the inner peripheral surface 2b of the cylindrical inspection object 2a is input to the wide area camera 3a and the local camera 3b. The

そして、撮影装置３は、撮影駆動装置４ａにより、筒状検査対象２ａの軸方向と周方向にも走査される。これにより、撮影装置３には２次元で走査された画像が得られ、高精度画像作成装置５ａによる高精度画像の作成時において、同一の画素の重なりを持つ画素が発生するのを防止または低減できる。 The imaging device 3 is also scanned in the axial direction and the circumferential direction of the cylindrical inspection object 2a by the imaging drive device 4a. As a result, a two-dimensionally scanned image is obtained in the photographing device 3, and the generation of pixels having the same pixel overlap is prevented or reduced when the high-precision image creation device 5a creates a high-precision image. it can.

そして、この検査装置１Ｃによっても前記第１の実施形態の検査装置１と同様に広域カメラ３ａの撮影画像から高精度画像が作成されると共に、局所カメラ３ｂの画像と画像比較することにより、高品質の高精度画像を得ることができる。 And also by this inspection apparatus 1C, a high-precision image is created from the captured image of the wide area camera 3a as in the inspection apparatus 1 of the first embodiment, and by comparing the image with the image of the local camera 3b, it is possible to A high-quality image with high quality can be obtained.

また、この検査装置１Ｃによれば、通常では検査対象の外側から撮影することが困難な筒状検査対象２ａの内周面２ｂにおいても広域，局所カメラ３ａ，３ｂによる撮影が可能となり、前記第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。 In addition, according to the inspection apparatus 1C, it is possible to perform imaging with the wide area and local cameras 3a and 3b even on the inner peripheral surface 2b of the cylindrical inspection object 2a, which is usually difficult to image from outside the inspection object. The same effect as that of the first embodiment can be obtained.

本発明の第１の実施形態に係る検査装置の構成図。1 is a configuration diagram of an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図１で示す撮影装置の走査例を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating a scanning example of the imaging apparatus illustrated in FIG. 1. （ａ），（ｂ），（ｃ）は図１で示す撮影装置の画像例をそれぞれ示す図。(A), (b), (c) is a figure which each shows the example of an image of the imaging device shown in FIG. 図１で示す移動量計測装置が実行するブロックマッチング処理のフローチャート。The flowchart of the block matching process which the movement amount measuring apparatus shown in FIG. 1 performs. 図４で示すブロックマッチング処理の説明図。Explanatory drawing of the block matching process shown in FIG. 図１で示す画像蓄積装置の説明図。Explanatory drawing of the image storage apparatus shown in FIG. 図４で示す高精度画像作成装置による高精度画像の作成方法の説明図。Explanatory drawing of the production method of the high precision image by the high precision image production apparatus shown in FIG. 図１で示す高精度画像作成装置による高精度画像のコントラスト改善処理の説明図。Explanatory drawing of the contrast improvement process of the high precision image by the high precision image creation apparatus shown in FIG. 図１で示す画像比較装置による画像比較処理の説明図。Explanatory drawing of the image comparison process by the image comparison apparatus shown in FIG. 本発明の第２の実施形態に係る検査装置の構成図。The block diagram of the inspection apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係る検査装置の構成図。The block diagram of the inspection apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 図１１で示す欠陥検査装置による欠陥検査処理のフローチャート。The flowchart of the defect inspection process by the defect inspection apparatus shown in FIG. 本発明の第４の実施形態に係る撮影装置の構成図。The block diagram of the imaging device which concerns on the 4th Embodiment of this invention.

Explanation of symbols

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，… 検査装置
２検査対象
２ａ筒状検査対象
３撮影装置
３ａ広域カメラ
３ｂ局所カメラ
３ｃ半透過ミラー
３ｄ全反射ミラー
４，４ａ撮影駆動装置
５画像検査装置
５ａ高精細画像作成装置
５ｂ画像比較装置
５ｃ移動量計測装置
５ｄ画像蓄積装置
５ｅ展開画像作成装置
５ｆ表示装置
６検査体駆動装置
７照明装置
７ａ透明円筒体
７ｂ光源装置
７ｃａ照明用半透過ミラー
７ｃｂ円錐ミラー 1, 1A, 1B, 1C,... Inspection device 2 Inspection object 2a Tubular inspection object 3 Imaging device 3a Wide area camera 3b Local camera 3c Semi-transmission mirror 3d Total reflection mirror 4, 4a Imaging drive device 5 Image inspection device 5a High-definition image Creation device 5b Image comparison device 5c Movement amount measurement device 5d Image storage device 5e Expanded image creation device 5f Display device 6 Inspection object drive device 7 Illumination device 7a Transparent cylinder 7b Light source device 7ca Illumination semi-transmission mirror 7cb Conical mirror

Claims

Wide area camera for photographing the inspection object in a wide area, local camera for photographing the inspection object locally within the photographing range of the wide area camera, and optical for guiding light from the inspection object to the wide area camera and the local camera An imaging device equipped with a system;
An imaging drive device that scans the imaging device to the inspection object;
A moving amount measuring device for measuring a moving amount by scanning of the photographing driving device;
An image storage device for storing an image output from the photographing device;
A high-definition image having a pixel resolution higher than the pixel resolution of the wide-area camera is created based on the image accumulated by the image accumulation device and the movement amount of the photographing drive device measured by the movement amount measurement device. A fine image creation device;
Comparing a high-definition image created by a high-definition image creation device with an image output from the local camera to obtain a restoration degree of the high-definition image, and controlling the high-definition image creation device based on the restoration degree The image comparison device that controls the high-definition image created by the high-definition image creation device,
A display device for displaying a high-definition image created by the high-definition image creation device;
An inspection apparatus comprising:

The inspection apparatus according to claim 1, further comprising an inspection body driving device that moves the inspection object instead of the imaging driving device.

3. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the movement amount measuring device includes an image processing unit that obtains a movement amount by scanning of the imaging driving device or the inspection object driving device as a movement amount in the image of the wide area camera. Inspection device characterized by

4. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the movement amount measuring device uses a movement amount obtained by scanning the imaging driving device or the inspection object driving device as a movement amount in an image of the wide area camera. An inspection apparatus comprising measuring means for measuring from shape information of the inspection object, position information of the inspection object and the imaging apparatus, and scanning information of the imaging drive apparatus or the inspection object drive apparatus.

5. The inspection device according to claim 1, wherein a high-definition image created by the high-definition image creation device is measured by the movement amount measurement device, or the imaging drive device or the inspection object drive device. An inspection apparatus comprising: a developed image creation device that creates a planar developed image obtained by synthesizing a plurality of the high-definition images by performing coordinate conversion into a planar image based on a movement amount and the shape of the inspection target.

The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein image processing is performed on a high-definition image created by the high-definition image creating device or a flat developed image created by the developed image creating device, An inspection apparatus comprising an image inspection apparatus for automatically identifying and inspecting a defect to be inspected.

The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the object to be inspected is cylindrical, and at least a part of the inspection object can be inserted into and removed from the inside of the cylinder. An inspection apparatus comprising an illuminating device having an optical system that illuminates the inside of an object and guides light from the inside to the optical system.

8. The inspection apparatus according to claim 7, further comprising a photographing drive device that scans the illumination device and the photographing device in a circumferential direction inside the cylindrical inspection object.