JP4710818B2 - Method for manufacturing a droplet discharge device and panel - Google Patents

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智己 川瀬
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セイコーエプソン株式会社
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本発明は、液滴吐出装置およびパネルの製造方法に関する。 The present invention relates to the production how the droplet discharge device and panels.

例えば液晶表示装置のカラーフィルタのような、画像表示装置のパネルを製造する方法として、液滴吐出装置(インクジェット描画装置)を用いて、パネル製造用の基板上に形成された多数の画素に対し、インク等の液状材料を液滴として付与することにより、各画素を形成する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。 For example, such as a color filter of a liquid crystal display device, as a method for producing a panel of an image display device, using a droplet ejection apparatus (ink jet drawing apparatus), for a number of pixels formed on a substrate for panel production , by applying a liquid material such as ink droplets, a method of forming each pixel is known (e.g., see Patent Document 1).
パネルを製造する液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、基板を保持するステージとを相対的に走査しながら、液滴吐出ヘッドのノズルから画素形成用の液状材料を液滴として吐出して、基板上の多数の画素へ付与する。 Droplet discharge device for manufacturing a panel, a head unit droplet discharge head is installed plurality, while relatively scanning a stage for holding a substrate, a liquid for forming pixels from the nozzle of the droplet discharge head and discharging the material as droplets, imparting to the number of pixels on the substrate.

1個の液滴吐出ヘッドには、多数のノズル(ノズル孔)が並んで形成されており、ノズル列を構成しているが、そのノズル列の長さは基板の大きさと比べると短いので、1回の走査によって液滴を吐出する領域の幅(描画する幅)を長くするために、ヘッドユニットには複数の液滴吐出ヘッドがそれらのノズル列が走査方向から見てつながるようにして設置されている。 In one droplet ejection head, is formed side by side a number of nozzles (nozzle holes) and also forms the nozzle array, the length of the nozzle array is shorter than the size of the substrate, to lengthen the single width of the area for ejecting droplets by scanning (width to be drawn), the head unit plurality of droplet discharge heads as their nozzle arrays leads viewed from the scanning direction established It is.

しかしながら、複数の液滴吐出ヘッド間で吐出量に多少のバラツキが生じるのが避けられないため、例えば、ある液滴吐出ヘッドによって液状材料を付与された画素では色が濃くなり、他の液滴吐出ヘッドによって液状材料を付与された画素では色が薄くなるなどして、パネル内に色ムラを生じるという問題がある。 However, since the slight variation in ejection amount among the plurality of droplet ejection heads occur inevitably, for example, the color becomes darker in the pixel onto which the liquid material by some droplet discharge head, the other droplets discharge in the pixel onto which the liquid material by the head with such color becomes thin, there is a problem that results in color unevenness in the panel.
また、ある液滴吐出ヘッドのノズル列とそれに隣接する液滴吐出ヘッドのノズル列との継ぎ目の部分で液状材料を付与された画素には、両液滴吐出ヘッド間の吐出量の差異や、ノズルピッチの誤差等が原因となり、色ムラが走査方向に沿って筋のように入った筋ムラが生じるという問題がある。 Further, in a portion in the pixel onto which the liquid material seam between the nozzle array of the nozzle array of one droplet ejection head droplet discharge head adjacent thereto, and the ejection amount of the difference between Ryoekishizuku discharge head, error of the nozzle pitch causes color unevenness is a problem that streaks containing as streaks along the scan direction is generated. この筋ムラが生じると、画像表示装置としたとき、画面に筋が入ったように見えてしまい、画質を損ねる。 When this streak unevenness, when the image display device, will look like streaks came on the screen, degrading the image quality.

特開昭59−75205号公報 JP-A-59-75205 JP

本発明の目的は、吐出区画(画素)に均一に液滴を吐出することができるとともに、有害な色ムラのないパネルを製造することができる液滴吐出装置およびパネルの製造方法、並びに、有害な色ムラのないパネルを備えた画像表示装置および電子機器を提供することにある。 An object of the present invention, uniformly it is possible to discharge droplets to the discharge compartment (pixel), a method of manufacturing a droplet discharge device and panel which can be manufactured panel no color heterogeneity, and adverse and an image display device and an electronic apparatus equipped with such free from color unevenness panel.

このような目的は、下記の本発明により達成される。 These objects are achieved by the present invention described below.
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、 The droplet ejection apparatus of the present invention includes a head unit which droplet discharge head is installed a plurality of plurality of nozzles for ejecting the liquid material as droplets having a nozzle row aligned linearly,
予め定められた複数の吐出区画を有する基体を保持するステージと、 A stage for holding a substrate having a plurality of ejection regions predetermined,
前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、 Moving means for relatively moving the the stage and the head unit,
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、 And control means for controlling the operation of the liquid droplet ejection head and the moving means,
前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上の吐出区画内へ付与して表示装置のパネルを製造するのに用いる液滴吐出装置であって、 Wherein actuation of the movement means by relatively moving the said and the substrate head unit in a direction perpendicular to the nozzle array, applying to said liquid material discharged as droplets from the nozzle into the discharge compartment on the substrate a droplet discharge device used to produce the panel of the display device Te,
前記ヘッドユニットは、ノズル列に直交する方向から見て第1の液滴吐出ヘッドと第2の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第1のヘッド列と、ノズル列に直交する方向から見て第3の液滴吐出ヘッドと第4の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第2のヘッド列とを有し、 The head unit so as to eject the first droplet ejection head and a droplet of the second liquid droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array a first head row formed is disposed, the third droplet ejection head and the liquid of the fourth droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array and a second head row formed are arranged to discharge droplets,
前記第1の液滴吐出ヘッド、前記第2の液滴吐出ヘッド、前記第3の液滴吐出ヘッドおよび前記第4の液滴吐出ヘッドには、それぞれ、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されており、 The first droplet ejection head, the second droplet ejection head, the third droplet ejection head and the fourth droplet ejection head, respectively, two nozzle rows are shifted by half a pitch parallel has been formed,
前記第1のヘッド列のノズルの位置と、前記第2のヘッド列のノズルの位置とが、ノズル列に直交する方向から見て一致しないようにずらして配置されており、 The position of the nozzle of the first head column, the position of the nozzle of the second head row are staggered so as not to coincide when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array,
前記ヘッドユニットと前記基体との1回の相対移動によって前記ヘッドユニットから前記基体上に液滴が吐出される範囲は、前記相対移動の方向と直交する方向に沿って複数の領域に分かれ、各領域内の吐出区画に対しては、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与することを特徴とする。 Range droplets are ejected onto said substrate from said head unit by a relative movement of one of said head unit and said substrate is divided into a plurality of regions along a direction perpendicular to the direction of the relative movement, each discharge for the compartment in the region, characterized by applying a droplet ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas.

このような液滴吐出装置によれば、一つの吐出区画について複数の異なる液滴吐出ヘッドのノズルから液状材料の液滴を吐出することができる。 According to the droplet ejection apparatus, it is possible to eject droplets of the liquid material from the nozzle of the plurality of different droplet ejection heads for one of the discharge compartment. よって、個々の液滴吐出ヘッドによって吐出量にバラツキ(誤差)があった場合であっても、製造されるパネルの面内で有害な色ムラが生じるのを防止することができる。 Therefore, even when there variation (error) among the amounts of ejection of the plurality of droplet ejection heads, it is possible to prevent harmful color heterogeneity in the plane of the panel to be produced occurs. すなわち、本発明と異なり、一つの吐出区画が一つの液滴吐出ヘッドのみのノズルから液状材料を付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッドの吐出量のバラツキがそのまま各吐出区画に付与される液状材料の量のバラツキ(誤差)につながり、色ムラが強く現れるが、本発明では、一つの吐出区画に付与される液状材料の量は、複数の液滴吐出ヘッドの吐出量を平均化したものとなるので、個々の吐出区画間での液状材料の量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。 That is, unlike the present invention, applied from the nozzles of one of the discharge compartment only one droplet ejection head when the liquid material is applied, the intact variations of the amounts of ejection of the droplet ejection heads each ejecting section lead to the amount of variation of the liquid material (error) to be, whereby color heterogeneity strongly appears, in the present invention, the amount of liquid material to be supplied onto one ejection regions, the average discharge amount of a plurality of droplet discharge heads since the one ized, it is possible to equalize the amount of liquid material supplied onto each of the ejection regions, it is possible to suppress color unevenness.

さらに、基体上の複数の領域の各領域内の吐出区画に対し、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与するようにしたことにより、基体全体として見たときに各吐出区画に対する液状材料の吐出量が偏ることがなく、基体の全体に渡ってバランス(平均化)される。 Further, with respect to the discharge compartment in each region of the plurality of regions on the substrate, by that supplies a droplet ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas, the entire substrate without discharge amount of the liquid material is biased against the ejection regions when viewed as are balanced throughout the substrate (averaged). よって、製造されるパネルの面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Therefore, it is possible to prevent the color unevenness in the plane of the panel to be manufactured more surely.

本発明の液滴吐出装置では、前記領域内の吐出区画に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの組み合わせは、当該領域に隣接する領域内の吐出区画に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの組み合わせに対し、少なくとも一つの液滴吐出ヘッドが共通していることが好ましい。 In the droplet ejection apparatus of the present invention, the combination of droplet ejection heads for ejecting liquid droplets to the ejection regions in said region, the droplet discharge head for discharging liquid droplets to the discharge compartment in the region adjacent to the region to a combination, it is preferable that at least one droplet ejection head are common.
これにより、基体上の相隣接する領域の境界での吐出量のズレを小さくすることができるので、各領域の境界部に筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。 Thus, it is possible to reduce the deviation of the ejection amount in the boundary area adjacent to each of the substrate, it is possible to prevent the streaks are conspicuous at the boundary of each region more reliably.

本発明の液滴吐出装置では、前記ヘッドユニットには、互いに異なる色の液状材料の液滴を吐出する複数組の液滴吐出ヘッドが設置されており、前記領域の境界の位置が各色ごとに異なることが好ましい。 In the droplet ejection apparatus of the present invention is the head unit, are installed a plurality of sets of droplet ejection heads for ejecting droplets of different colors of the liquid material from each other, the position of the boundary of the area for each color different it is preferable.
これにより、基体上の各領域の境界に筋ムラが生じた場合であっても、各色の吐出区画に生じる筋ムラが重ならずにパネルの異なる位置に分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。 Accordingly, even when the streaks in the boundary of each region on the substrate occurs, the streak that may occur in the discharge section of each color is dispersed in the panel of different positions without overlapping, make such a streak become inconspicuous can do.

本発明のパネルの製造方法は、液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、予め定められた複数の吐出区画を有する基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上の吐出区画内へ付与する工程を有する表示装置のパネルの製造方法であって、 Method for producing a panel according to the present invention, the orthogonal droplet discharge head and a plurality installed head unit, and a substrate having a plurality of ejection regions predetermined, and the droplet nozzle array formed in the ejection head direction are moved relative to a method for manufacturing a panel of a display device of the liquid material discharged as droplets from the nozzle has a step of applying to the discharge compartment on the substrate,
前記ヘッドユニットは、ノズル列に直交する方向から見て第1の液滴吐出ヘッドと第2の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第1のヘッド列と、ノズル列に直交する方向から見て第3の液滴吐出ヘッドと第4の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第2のヘッド列とを有し、 The head unit so as to eject the first droplet ejection head and a droplet of the second liquid droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array a first head row formed is disposed, the third droplet ejection head and the liquid of the fourth droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array and a second head row formed are arranged to discharge droplets,
前記第1の液滴吐出ヘッド、前記第2の液滴吐出ヘッド、前記第3の液滴吐出ヘッドおよび前記第4の液滴吐出ヘッドには、それぞれ、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されており、 The first droplet ejection head, the second droplet ejection head, the third droplet ejection head and the fourth droplet ejection head, respectively, two nozzle rows are shifted by half a pitch parallel has been formed,
前記第1のヘッド列のノズルの位置と、前記第2のヘッド列のノズルの位置とが、ノズル列に直交する方向から見て一致しないようにずらして配置されており、 The position of the nozzle of the first head column, the position of the nozzle of the second head row are staggered so as not to coincide when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array,
前記基体と前記ヘッドユニットとを、前記ノズル列に対してほぼ直交する方向に相対的に移動することにより、前記基体上に前記液状材料を付与するに際し、前記ヘッドユニットと前記基体との1回の相対移動によって前記ヘッドユニットから前記基体上に液滴が吐出される範囲は、前記相対移動の方向と直交する方向に沿って複数の領域に分かれ、各領域内の吐出区画に対しては、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与することを特徴とする。 And said base said head unit, by relative movement in a direction substantially orthogonal to the nozzle row, upon imparting the liquid material on the substrate, one of said head unit and said base body range by the relative movement droplets onto said substrate from said head unit is discharged of, divided into the plurality of regions along a direction perpendicular to the direction of relative movement, with respect to the ejection regions in each region, characterized by imparting liquid droplets ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas.

このようなパネルの製造方法によれば、一つの吐出区画について複数の異なる液滴吐出ヘッドのノズルから液状材料の液滴を吐出することができる。 According to the method for producing a panel, it is possible to eject droplets of the liquid material from the nozzle of the plurality of different droplet ejection heads for one of the discharge compartment. よって、個々の液滴吐出ヘッドによって吐出量にバラツキ(誤差)があった場合であっても、製造されるパネルの面内で有害な色ムラが生じるのを防止することができる。 Therefore, even when there variation (error) among the amounts of ejection of the plurality of droplet ejection heads, it is possible to prevent harmful color heterogeneity in the plane of the panel to be produced occurs. すなわち、本発明と異なり、一つの吐出区画が一つの液滴吐出ヘッドのみのノズルから液状材料を付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッドの吐出量のバラツキがそのまま各吐出区画に付与される液状材料の量のバラツキ(誤差)につながり、色ムラが強く現れるが、本発明では、一つの吐出区画に付与される液状材料の量は、複数の液滴吐出ヘッドの吐出量を平均化したものとなるので、個々の吐出区画間での液状材料の量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。 That is, unlike the present invention, applied from the nozzles of one of the discharge compartment only one droplet ejection head when the liquid material is applied, the intact variations of the amounts of ejection of the droplet ejection heads each ejecting section lead to the amount of variation of the liquid material (error) to be, whereby color heterogeneity strongly appears, in the present invention, the amount of liquid material to be supplied onto one ejection regions, the average discharge amount of a plurality of droplet discharge heads since the one ized, it is possible to equalize the amount of liquid material supplied onto each of the ejection regions, it is possible to suppress color unevenness.

さらに、基体上の複数の領域の各領域内の吐出区画に対し、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与するようにしたことにより、基体全体として見たときに各吐出区画に対する液状材料の吐出量が偏ることがなく、基体の全体に渡ってバランス(平均化)される。 Further, with respect to the discharge compartment in each region of the plurality of regions on the substrate, by that supplies a droplet ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas, the entire substrate without discharge amount of the liquid material is biased against the ejection regions when viewed as are balanced throughout the substrate (averaged). よって、製造されるパネルの面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Therefore, it is possible to prevent the color unevenness in the plane of the panel to be manufactured more surely.

本発明のパネルの製造方法では、前記パネルは、液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記液状材料は、フィルタ層を形成するためのインクであることが好ましい。 In the manufacturing method of the panel of the present invention, the panel is a color filter substrate of a liquid crystal display device, the liquid material is preferably an ink for forming a filter layer.
これにより、有害な色ムラのない液晶表示装置のカラーフィルタ基板を高い生産効率で製造することができる。 Thus, it can be produced with high production efficiency of the color filter substrate of a liquid crystal display having no harmful color heterogeneity.
本発明のパネルの製造方法では、前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものであることが好ましい。 In the manufacturing method of the panel of the present invention, the panel is an electroluminescent display device, the liquid material is preferably one containing a light emitting material.
これにより、有害な色ムラのないエレクトロルミネッセンス表示装置を高い生産効率で製造することができる。 Thus, it can be produced with high production efficiency electroluminescence display having no harmful color heterogeneity.

本発明の画像表示装置は、本発明のパネルの製造方法により製造されたパネルを備えることを特徴とする。 The image display device of the present invention is characterized in that it comprises a panel panel manufactured by the manufacturing method of the present invention.
これにより、有害な色ムラのない画像表示装置を高い生産効率で製造することができる。 Thus, it can be produced with high production efficiency of the image display apparatus having no harmful color heterogeneity.
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えることを特徴とする。 Electronic device of the present invention is characterized by comprising an image display device of the present invention.
これにより、有害な色ムラのない画像表示装置を備えた電子機器を安価に提供することができる。 Thus, it is possible to provide an electronic apparatus including the image display apparatus having no harmful color heterogeneity inexpensively.

以下、本発明の液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, the droplet ejection apparatus of the present invention, a method of manufacturing a panel, will be described in detail with reference to preferred embodiments of an image display device and an electronic apparatus in the accompanying drawings.
本実施形態では、パネルの一例として、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板10を製造する場合について代表して説明する。 In the present embodiment, as an example of a panel will be described typically the case of manufacturing the color filter substrate 10 which is a component of a liquid crystal display device.
(液滴吐出装置の全体構成) (Overall configuration of the droplet discharge device)
図1に示すように、液滴吐出装置1は、複数の液滴吐出ヘッド2をキャリッジ105に搭載してなるヘッドユニット103と、ヘッドユニット103を水平な一方向(以下、「X軸方向」と言う)に移動させるキャリッジ移動機構(移動手段)104と、後述する基体10Aを保持するステージ106と、ステージ106をX軸方向に垂直であって水平な方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるステージ移動機構(移動手段)108と、制御手段112とを備えている。 As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a head unit 103 formed by mounting a plurality of droplet ejection heads 2 on the carriage 105, the horizontal direction the head unit 103 (hereinafter, "X axis direction" say a carriage moving mechanism (moving means) 104 for moving the), a stage 106 for holding a later-described base body 10A, the horizontal direction be perpendicular to the stage 106 in the X-axis direction (hereinafter, "Y axis direction" a stage moving mechanism (moving means) 108 for moving the means), and a control unit 112.

また、液滴吐出装置1の近傍には、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の液状材料111をそれぞれ貯留する3個のタンク101が設置されている。 In the vicinity of the droplet ejection apparatus 1, red (R), green (G), and blue (B) 3 pieces of tank 101 three kinds of liquid materials 111 respectively storing is installed. 各タンク101と、ヘッドユニット103とは、液状材料111を送液する流路となるチューブ110を介して接続されている。 And each of the tanks 101, the head unit 103 are connected via a tube 110 functioning as a flow path for sending the liquid materials 111. 各タンク101に貯留された液状材料111は、例えば圧縮空気の力によって、ヘッドユニット103の各液滴吐出ヘッド2に送液(供給)される。 Liquid material 111 stored in each tank 101, for example, by the force of the compressed air is the droplet discharge head 2 to the feeding of the head unit 103 (supplied).

本発明において「液状材料」とは、パネルの画素を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド2のノズル25から吐出可能な粘度を有する材料をいう。 The "liquid material" in the present invention, comprise a material for forming the pixel of the panel refers to a material having a viscosity that can be ejected from the nozzles 25 of the droplet ejection heads 2. この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。 In this case, regardless of the material is water-based or oil-based. また、ノズル25から吐出可能な流動性(粘度)を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。 Furthermore, a sufficient if provided with a discharge flowable from the nozzle 25 (viscosity), solid material may be a fluid as a whole be dispersed.
本実施形態における液状材料111は、カラーフィルタ基板10の画素のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。 The liquid material 111 in the present embodiment are organic solvent inks in which pigments for forming a filter layer of pixels of a color filter substrate 10 are dissolved or dispersed in an organic solvent.

なお、以下の説明では、赤、緑、青の液状材料111を区別して言うときには、111R、111G、111Bの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「液状材料111」と言う。 In the following description, red, green, when you say to distinguish between the liquid material 111 of the blue, 111R, 111G, denoted by the sign of the 111B, when you say to collectively do not distinguish between the colors, simply referred to as "liquid material 111" say.
キャリッジ移動機構104の作動は、制御手段112により制御される。 Operation of the carriage moving mechanism 104 is controlled by the control unit 112. 本実施形態のキャリッジ移動機構104は、ヘッドユニット103をZ軸方向(鉛直方向)に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。 Carriage moving mechanism 104 of the present embodiment, the head unit 103 is moved along the Z-axis direction (vertical direction), also has a function to adjust the height. さらに、キャリッジ移動機構104は、Z軸に平行な軸の回りでヘッドユニット103を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット103のZ軸回りの角度を微調整することができる。 Further, the carriage moving mechanism 104 has a function of rotating the head unit 103 around an axis parallel to the Z-axis also has, thereby, it is possible to finely adjust the angle of the head unit 103 around the Z axis.

ステージ106は、X軸方向とY軸方向との双方に平行な平面を有する。 The stage 106 has a plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. また、ステージ106は、カラーフィルタ基板10を製造するための基体10Aをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。 The stage 106 is constructed so that the base 10A used for manufacturing a color filter substrate 10 can be fixed or held on the plane.
ステージ移動機構108は、X軸方向およびZ軸方向の双方に直交するY軸方向に沿ってステージ106を移動させ、その作動は、制御手段112により制御される。 Stage moving mechanism 108, along the Y axis direction perpendicular to both the X-axis direction and the Z-axis direction by moving the stage 106, its operation is controlled by the control unit 112. さらに、本実施形態のステージ移動機構108は、Z軸に平行な軸の回りでステージ106を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ106に載置された基体10AのZ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。 Further, the stage moving mechanism 108 of the present embodiment has a function of rotating the stage 106 around an axis parallel to the Z-axis also has, by this, the base 10A mounted on the stage 106 around the Z-axis it can be corrected to be straight to fine-tune the slope.

上述のように、ヘッドユニット103は、キャリッジ移動機構104によってX軸方向に移動させられる。 As described above, the head unit 103 is moved in the X-axis direction by the carriage moving mechanism 104. 一方、ステージ106は、ステージ移動機構108によってY軸方向に移動させられる。 On the other hand, the stage 106 is moved in the Y-axis direction by the stage moving mechanism 108. つまり、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108によって、ステージ106に対するヘッドユニット103の相対位置が変わる。 By the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108, the relative position of the head unit 103 is changed with respect to the stage 106.
なお、制御手段112の詳細な構成および機能は、後述する。 The detailed structure and function of the control unit 112 will be described later.

(ヘッドユニット) (Head unit)
図2は、図1に示す液滴吐出装置1におけるヘッドユニット103、および基体10Aを示す平面図である。 Figure 2 is a plan view showing a head unit 103, and the base 10A of the droplet ejection apparatus 1 shown in FIG.
図2に示すヘッドユニット103は、複数の液滴吐出ヘッド2がキャリッジ105に搭載された構成となっている。 The head unit 103 shown in FIG. 2, a plurality of droplet ejection heads 2 are mounted configurations on the carriage 105. 図2中では、キャリッジ105を仮想線(二点鎖線)で表している。 In Figure 2 represents the carriage 105 in a virtual line (two-dot chain line). また、液滴吐出ヘッド2を示す実線は、液滴吐出ヘッド2のノズル面(ノズルプレート128)の位置を示している。 The solid line showing the droplet ejection heads 2 indicate the positions of nozzle surfaces of the droplet ejection heads 2 (nozzle plate 128).

ヘッドユニット103には、赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R、第2ヘッド22R、第3ヘッド23R、第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2と、緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G、第2ヘッド22G、第3ヘッド23G、第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2と、青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B、第2ヘッド22B、第3ヘッド23B、第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2との、計12個の液滴吐出ヘッド2が設置されている。 The head unit 103, the first head 21R for ejecting the red liquid material 111R, the second head 22R, a third head 23R, and four droplet ejection heads 2 of the fourth head 24R, the green liquid material 111G first head 21G for ejecting the second head 22G, a third head 23G, and four droplet ejection heads 2 of the fourth head 24G, a first head 21B for ejecting the blue liquid material 111B, the second head 22B, third head 23B, the four droplet ejection heads 2 of the fourth head 24B, a total of twelve droplet ejection heads 2 is installed.
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド2を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド2」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第1ヘッド21R、第2ヘッド22R、・・・」のように言う。 In the following description, the case of collectively these droplet ejection heads 2, referred to as "droplet ejection head 2", if there is a need to distinguish the individual is "first head 21R, the second head 22R, say as ... ".

図2に示す基体10Aは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板10を製造するためのものである。 Base 10A shown in FIG. 2 is for producing a color filter substrate 10 of the stripe arrangement. この基体10Aには、赤の画素(吐出区画)18Rと、緑の画素(吐出区画)18Gと、青の画素(吐出区画)18Bとがそれぞれ多数設けられている。 This base body 10A, a red pixel (ejection regions) 18R, a green pixel (ejection regions) 18G, blue pixels (ejection regions) 18B and is provided a number, respectively. 液滴吐出装置1は、画素18Rには赤色の液状材料111Rを付与し、画素18Gには緑色の液状材料111Gを付与し、画素18Bには青色の液状材料111Bを付与するように作動する。 Droplet discharge device 1, the red liquid material 111R is assigned to the pixel 18R, the pixel 18G grant green liquid material 111G, the pixel 18B operates to impart the blue liquid material 111B.

各画素18R、18G、18Bは、ほぼ長方形をなしている。 Each pixel 18R, 18G, 18B has a substantially rectangular shape. 基体10Aは、画素18R、18G、18Bの長軸方向がX軸方向に平行になり、短軸方向がY軸方向に平行になるような姿勢でステージ106上に保持される。 Base 10A, the pixel 18R, 18G, the long axis direction of 18B become parallel to the X-axis direction, a minor axis direction is held on the stage 106 in a posture such that parallel to the Y-axis direction. 基体10A上には、Y軸方向に沿っては画素18R、18G、18の順に3色の画素が繰り返し配列され、X軸方向に沿っては同色の画素が配列されている。 On the substrate 10A, Y-axis along a direction pixel 18R, 18G, 18 3-color pixels to be repeatedly arranged in this order, along the X-axis direction of the same color pixels are arrayed. Y軸方向に並ぶ一組の画素18R、18G、18Bは、製造されたカラーフィルタ基板10の一画素分に相当する。 A set of pixels 18R aligned in the Y-axis direction, 18G, 18B correspond to one pixel of the color filter substrate 10 to be manufactured.

(液滴吐出ヘッド) (Droplet discharge head)
図3は、液滴吐出ヘッド2のノズル面(ノズルプレート128)の一部と、基体10Aの画素とを拡大して示す平面図である。 Figure 3 is a plan view showing an enlarged a portion of the nozzle surface of the droplet ejection heads 2 (nozzle plate 128), and the pixels of the base 10A. なお、液滴吐出ヘッド2のノズル面は、基体10Aに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図3中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド2のノズル面を実線で示す。 The nozzle surface of the droplet discharge head 2, a direction opposite the base 10A, that is provided facing vertically downward, in FIG. 3, for clarity, the nozzle surface of the droplet ejection heads 2 It is shown by the solid line.
液滴吐出ヘッド2のノズル面には、多数のノズル(ノズル孔)25がX軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。 The nozzle surface of the droplet discharge head 2, are formed side by side linearly at equal intervals a number of nozzles (nozzle holes) 25 along the X-axis direction to form a nozzle array. 本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド2には、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、本発明では、一つの液滴吐出ヘッド2が有するノズル列の数は、1列でも、3列以上でもよい。 In this embodiment, the one droplet ejection head 2, two nozzle arrays are formed in parallel shifted by half a pitch, in the present invention, the nozzle arrays included in one droplet ejection head 2 few, even one row, or in three or more rows. また、一つの液滴吐出ヘッド2に形成されるノズル25の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。 The number of nozzles 25 which are formed on one droplet ejection head 2 is not particularly limited, normally a range of about several dozens to several hundreds.

図4(a)および(b)に示すように、液滴吐出ヘッド2は、インクジェットヘッドである。 As shown in FIGS. 4 (a) and (b), each of the droplet ejection heads 2 constitutes an ink jet head. より具体的には、液滴吐出ヘッド2は、振動板126と、ノズルプレート128とを備えている。 More specifically, the droplet ejection head 2 is provided with a vibrating plate 126, a nozzle plate 128. 振動板126と、ノズルプレート128との間には、タンク101から孔131を介して供給される液状材料111が常に充填される液たまり129が位置している。 A vibration plate 126, between the nozzle plate 128, liquid reservoir 129 liquid material 111 supplied through the hole 131 from the tank 101 is always filled is positioned.

また、振動板126と、ノズルプレート128との間には、複数の隔壁122が位置している。 Further, the vibration plate 126, between the nozzle plate 128, a plurality of partition walls 122 are positioned. そして、振動板126と、ノズルプレート128と、1対の隔壁122とによって囲まれた部分がキャビティ120である。 Then, the vibration plate 126 and the nozzle plate 128, a portion surrounded by a pair of partition walls 122 are cavities 120. キャビティ120はノズル25に対応して設けられているため、キャビティ120の数とノズル25の数とは同じである。 Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzle 25, it is the same as the number of the number of nozzles 25 of the cavity 120. キャビティ120には、1対の隔壁122間に位置する供給口130を介して、液たまり129から液状材料111が供給される。 The cavity 120, through the supply port 130 located between a pair of partition walls 122, the liquid material 111 is supplied from the liquid reservoir 129.

振動板126上には、それぞれのキャビティ120に対応して、キャビティ120内に充填された液状材料111の圧力を変化させる駆動素子としての振動子124が位置する。 On the vibration plate 126 corresponding to the respective cavities 120, the vibrator 124 as a driving element for changing the pressure of the liquid material 111 filled in the cavity 120 is located. 振動子124は、ピエゾ素子124Cと、ピエゾ素子124Cを挟む1対の電極124A、124Bと、を含む。 Vibrator 124 includes a piezoelectric element 124C, 1 pair of electrodes 124A sandwiching the piezoelectric element 124C, and 124B, the. この1対の電極124A、124Bとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル25から液状材料111が吐出される。 The pair of electrodes 124A, by applying a drive voltage between the 124B, the liquid material 111 is discharged from the corresponding nozzle 25. なお、ノズル25からZ軸方向に液状材料111が吐出されるように、ノズル25の形状が調整されている。 As in the liquid material 111 from the nozzle 25 in the Z axis direction is discharged, it is adjusted the shape of the nozzle 25.

制御手段112(図1)は、複数の振動子124のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。 Control unit 112 (FIG. 1) may be configured to provide independently the signals to each of the plurality of vibrators 124. つまり、ノズル25から吐出される材料111の体積が、制御手段112からの信号に応じてノズル25毎に制御されてもよい。 In other words, the volume of the material 111 ejected from the nozzle 25 may be controlled for each nozzle 25 in response to signals from the control unit 112.
なお、液滴吐出ヘッド2は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料111の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。 Incidentally, the droplet ejection head 2 is not limited to a piezoelectric actuator such as shown and the driving element, use an electrostatic actuator, or by utilizing thermal expansion of the liquid material 111 by using the electrothermal transducer droplets may be of structure that ejects.

(制御手段) (Control means)
次に、制御手段112の構成を説明する。 Next, a configuration of the control unit 112. 図5に示すように、制御手段112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、キャリッジ位置検出手段302と、ステージ位置検出手段303とを備えている。 5, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage unit 202, a processing unit 204, a scan driver 206, a head driver 208, a carriage position detecting means 302, stage position detection and a means 303.

バッファメモリ200と処理部204とは相互に通信可能に接続されている。 The buffer memory 200 and the processing unit 204 are communicably connected to each other. 処理部204と記憶手段202とは、相互に通信可能に接続されている。 Processing unit 204 and the storage unit 202 is communicably connected to each other. 処理部204と走査駆動部206とは相互に通信可能に接続されている。 The processing unit 204 and the scan driver 206 are communicably connected to each other. 処理部204とヘッド駆動部208とは相互に通信可能に接続されている。 The processing unit 204 and the head driver 208 are communicably connected to each other. また、走査駆動部206は、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108と相互に通信可能に接続されている。 The scan driving unit 206 is communicably connected to the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108. 同様にヘッド駆動部208は、複数の液滴吐出ヘッド2のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。 Similarly head driving unit 208 is communicably connected to the plurality of droplet ejection heads 2.

入力バッファメモリ200は、外部情報処理装置から、液状材料111の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。 Input buffer memory 200, from the external information processing apparatus receives the data, that is, the drawing pattern data relating to the position for discharging droplets of the liquid material 111. 入力バッファメモリ200は、この描画パターンデータを処理部204に供給し、処理部204は、描画パターンデータを記憶手段202に格納する。 Input buffer memory 200 outputs the drawing pattern data to the processing unit 204, the processing unit 204 stores the drawing pattern data in the storage unit 202. 記憶手段202は、RAM、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。 Storage unit 202, RAM, magnetic recording medium, and a magneto-optical recording medium.

キャリッジ位置検出手段302は、キャリッジ105、すなわちヘッドユニット103のX軸方向の位置(移動距離)を検出し、その検出信号を処理部204へ入力する。 The carriage position detecting device 302, the carriage 105, i.e., detects the X-axis direction position of the head unit 103 (moving distance), and inputs the detection signal to the processing unit 204.
ステージ位置検出手段303は、ステージ106、すなわち基体10AのY軸方向の位置(移動距離)を検出し、その検出信号を処理部204へ入力する。 Stage position detecting means 303, the stage 106, i.e., detects the Y-axis direction position of the base 10A (movement distance), and inputs the detection signal to the processing unit 204.
キャリッジ位置検出手段302、ステージ位置検出手段303は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。 The carriage position detecting device 302, stage position detecting means 303, for example a laser length measuring device or the like.

処理部204は、キャリッジ位置検出手段302およびステージ位置検出手段303の検出信号に基づき、走査駆動部206を介して、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108の作動を制御(クローズドループ制御)し、ヘッドユニット103の位置と、基体10Aの位置とを制御する。 Processing unit 204, based on the detection signal of the carriage position detecting means 302 and the stage position detecting unit 303, via the scan driving unit 206, the operation of the carriage moving mechanism 104 and the stage moving mechanism 108 is controlled (closed loop control), controlling the position of the head unit 103, the position of the base 10A.
さらに、処理部204は、ステージ移動機構108の作動を制御することにより、ステージ106すなわち基体10Aの移動速度を制御する。 Further, the processing unit 204, by controlling the operation of the stage moving mechanism 108, controls the moving velocity of the stage 106, that the base 10A.

また、処理部204は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル25のオン・オフを指定する選択信号SCをヘッド駆動部208へ与える。 Further, the processing unit 204, on the basis of the drawing pattern data, providing a selection signal SC for specifying the on-off of the nozzle 25 for each ejection timing to the head driver 208. ヘッド駆動部208は、選択信号SCに基づいて、液状材料111の吐出に必要な吐出信号ESを液滴吐出ヘッド2に与える。 Head driving unit 208, based on the selection signals SC, give discharge signal ES necessary for the discharge of the liquid material 111 to the droplet discharge head 2. この結果、液滴吐出ヘッド2における対応するノズル25から、液状材料111が液滴として吐出される。 As a result, from the nozzle 25 corresponding in droplet ejection head 2, the liquid material 111 is ejected as droplets.
制御手段112は、CPU、ROM、RAMを含んだコンピュータであってもよい。 Control unit 112, CPU, ROM, may be a computer including a RAM. この場合には、制御手段112の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。 In this case, the function of the control unit 112 is realized by a software program executed by a computer. もちろん、制御手段112は、専用の回路(ハードウェア)によって実現されてもよい。 Of course, the control unit 112 may be realized by a dedicated circuit (hardware).

次に制御手段112におけるヘッド駆動部208の構成と機能を説明する。 Next will be described the configuration and function of the head driving unit 208 in the control unit 112.
図6(a)に示すように、ヘッド駆動部208は、1つの駆動信号生成部203と、複数のアナログスイッチASとを有する。 As shown in FIG. 6 (a), the head driving unit 208 includes one driving signal generator 203, and a plurality of analog switches AS. 図6(b)に示すように、駆動信号生成部203は、駆動信号DSを生成する。 As shown in FIG. 6 (b), the drive signal generator 203 generates a driving signal DS. 駆動信号DSの電位は、基準電位Lに対して時間的に変化する。 Potential of the driving signal DS is temporally changed with respect to the reference potential L. 具体的には、駆動信号DSは、吐出周期EPで繰り返される複数の吐出波形Pを含む。 Specifically, the driving signal DS includes a plurality of ejection waveforms P that repeat with the ejection cycle EP. ここで、吐出波形Pは、ノズル25から1つの液滴を吐出するために、対応する振動子124の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。 Here, the discharge waveform P, in order to eject one droplet through one nozzle 25, corresponding to the drive voltage waveform to be applied between the pair of electrodes 124A and 124B in the corresponding vibrator 124.
駆動信号DSは、アナログスイッチASのそれぞれの入力端子に供給される。 The driving signal DS is supplied to respective input terminals of the analog switches AS. アナログスイッチASのそれぞれは、ノズル25のそれぞれに対応して設けられている。 Each of the analog switches AS, is provided corresponding to each nozzle 25. つまり、アナログスイッチASの数とノズル25の数とは同じである。 That is, the same as the number of the number of nozzles 25 of the analog switches AS.

処理部204は、ノズル25のオン・オフを表す選択信号SCを、アナログスイッチASのそれぞれに与える。 Processing unit 204, a selection signal SC for indicating ON and OFF of each of the nozzles 25 to each of the analog switches AS. ここで、選択信号SCは、アナログスイッチAS毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。 Here, the selection signal SC can become either a state of high level and a low level with respect to each of the analog switches AS. 一方、アナログスイッチASは、駆動信号DSと選択信号SCとに応じて、振動子124の電極124Aに吐出信号ESを供給する。 On the other hand, the analog switch AS, in response to the selection signal SC and the drive signal DS, applies an ejection signal ES to the electrode 124A of the vibrator 124. 具体的には、選択信号SCがハイレベルの場合には、アナログスイッチASは電極124Aに吐出信号ESとして駆動信号DSを伝播する。 Specifically, when the selection signal SC is at a high level, the analog switches AS is the driving signal DS as the ejection signal ES to the corresponding electrode 124A. 一方、選択信号SCがローレベルの場合には、アナログスイッチASが出力する吐出信号ESの電位は基準電位Lとなる。 On the other hand, when the selection signal SC is at a low level, the potential of the ejection signal ES that the corresponding analog switch AS outputs to the reference potential L. 振動子124の電極124Aに駆動信号DSが与えられると、その振動子124に対応するノズル25から液状材料111が吐出される。 When the drive signal DS is applied to the electrode 124A of the vibrator 124, the liquid material 111 is discharged from the nozzle 25 that corresponds to the vibrator 124. なお、それぞれの振動子124の電極124Bには基準電位Lが与えられている。 Incidentally, the reference potential L is applied to the electrode 124B of each of the oscillator 124.

図6(b)に示す例では、2つの吐出信号ESのそれぞれにおいて、吐出周期EPの2倍の周期2EPで吐出波形Pが現れるように、2つの選択信号SCのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。 In the example shown in FIG. 6 (b), in each of two ejection signals ES, as discharge waveform P at twice the cycle 2EP the ejection cycle EP appears, and duration of the high level in each of the two selection signals SC and the low-level period is set. これによって、対応する2つのノズル25のそれぞれから、周期2EPで液状材料111が吐出される。 Thus, from each of the two corresponding nozzles 25, the liquid material 111 is ejected in the cycle 2EP. また、これら2つのノズル25に対応する振動子124のそれぞれには、共通の駆動信号生成部203からの共通の駆動信号DSが与えられている。 Further, each of the vibrators 124 that correspond to the two nozzles 25, a common driving signal DS is applied from a shared driving signal generator unit 203. このため、2つのノズル25からほぼ同じタイミングで液状材料111が吐出される。 Therefore, the liquid material 111 is ejected at substantially the same time from the two nozzles 25.

このような液滴吐出装置1では、ステージ移動機構108の作動により、ステージ106上に保持された基体10AをY軸方向に移動させ、ヘッドユニット103の下を通過させつつ、ヘッドユニット103の各液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111の液滴を吐出して、基体10A上の各画素18R、18G、18Bに付与する(着弾させる)ように作動する。 In such a droplet ejection apparatus 1, by the operation of the stage moving mechanism 108 moves the base 10A which is held on the stage 106 in the Y-axis direction, while passing under the head unit 103, each of the head units 103 from the nozzles 25 of the droplet ejection head 2 ejects droplets of the liquid material 111, the pixels 18R on the base 10A, 18G, it imparts to 18B (to land) operates as. 以下、この動作を「ヘッドユニット103と基体10Aとの主走査」と言うことがある。 Hereinafter, this operation may be referred to as "main scanning movement between the head unit 103 and the base 10A".

ヘッドユニット103全体として基体10Aに対し液状材料111を吐出可能なX軸方向の長さ(後述する全吐出幅W)よりも、基体10AのX軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット103と基体10Aとの主走査を1回行うことにより、基体10Aの全体に対して液状材料111を付与することができる。 The head unit 103 as a whole base 10A can discharge the liquid material 111 to X-axis direction length than the (entire ejection width W described later), if those width in the X-axis direction of the base 10A is small, the main scanning of the head unit 103 and the base 10A by carrying out once, it is possible to supply the liquid materials 111 onto the whole of the base 10A.
これに対し、ヘッドユニット103の全吐出幅Wよりも、基体10AのX軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット103と基体10Aとの主走査と、キャリッジ移動機構104の作動によるヘッドユニット103のX軸方向の移動(これを「副走査」と呼ぶ)とを交互に繰り返し行うことにより、基体10Aの全体に対して液状材料111を付与することができる。 In contrast, than the entire ejection width W of the head unit 103, when those large width in the X-axis direction of the base 10A includes a main scanning of the head unit 103 and the base 10A, the operation of the carriage moving mechanism 104 moving (this referred to as "sub-scanning") in the X-axis direction of the head unit 103 by by repeating alternately and can impart liquid material 111 on the entire substrate 10A.

次に、上述したような液滴吐出装置1を用いてカラーフィルタ基板10を製造する方法ついて、詳細に説明する。 Next, a method of manufacturing the color filter substrate 10 using the droplet ejection apparatus 1 described above will be described in detail.
図7は、カラーフィルタ基板10の製造方法を示す断面図である。 Figure 7 is a cross-sectional view showing a manufacturing method of the color filter substrate 10. 図7に示すように、基体10Aは、光透過性を有する支持基板12と、支持基板12上に形成されたブラックマトリクス14と、ブラックマトリクス14上に形成されたバンク16とを含む。 As shown in FIG. 7, the base 10A includes a supporting substrate 12 having optical transparency, a black matrix 14 formed on the supporting substrate 12, and a bank 16 formed on the black matrix 14. ブラックマトリクス14は、遮光性を有する材料で形成されている。 The black matrix 14 is formed of a material having a light shielding property.

そして、ブラックマトリクス14とブラックマトリクス14上のバンク16とは、支持基板12上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素18R、18G、18Bが規定されるように位置している。 And, the bank 16 on the black matrix 14 and the black matrix 14, positioned so that a plurality of light transmitting parts matrix to support substrate 12, namely a matrix of a plurality of pixels 18R, 18G, 18B are defined ing. すなわち、支持基板12、ブラックマトリクス14およびバンク16によって、画素18R、18G、18Bが区画形成されている。 That is, by the support substrate 12, a black matrix 14 and the bank 16, the pixel 18R, 18G, 18B are defined and formed. 画素18Rは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FRが形成されるべき領域であり、画素18Gは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FGが形成されるべき領域であり、画素18Bは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FBが形成されるべき領域である。 Pixel 18R is a region in which a filter layer 111FR is formed that transmits only light in a wavelength range of red, the pixel 18G is a region in which a filter layer 111FG is formed that transmits only light of green wavelength region There, the pixel 18B is a region in which a filter layer 111FB is formed that transmits only light of the blue wavelength region.

カラーフィルタ基板10を製造する際には、まず、以下の手順にしたがって基体10Aを作成する。 When manufacturing a color filter substrate 10, first, to create a base 10A according to the following procedure. まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板12上に金属薄膜を形成する。 First, by a sputtering method or an evaporation method to form a metal thin film on the supporting substrate 12. その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス14を形成する。 Thereafter, a lattice-shaped black matrix 14 from the metal thin film by a photolithography process. ブラックマトリクス14の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。 Examples of the material of the black matrix 14 is a metallic chromium and chromium oxide. なお、支持基板12は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。 The support substrate 12 is a substrate having optical transparency to visible light, for example a glass substrate. 続いて、支持基板12およびブラックマトリクス14を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。 Then, so as to cover the supporting substrate 12 and the black matrix 14 is coated with a resist layer composed of a photosensitive resin composition of the negative type. そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。 Then, while the mask is a film adhesion are formed in a matrix pattern over the resist layer, exposing the resist layer. その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク16が得られる。 Thereafter, by removing the non-exposed portion of the resist layer in the etching process, the bank 16 is obtained. 以上の工程によって、基体10Aが得られる。 Through the above steps, the base 10A is obtained.
なお、バンク16に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。 Instead of the bank 16 may be used banks formed from a resin black. その場合は、金属薄膜(ブラックマトリクス14)は不要となり、バンク層は、1層のみとなる。 In that case, the metal thin film (black matrix 14) is required, and the bank layer is constructed from one layer.

次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体10Aを親液化する。 Then, by means of an oxygen plasma process under atmospheric pressure lyophilic substrate 10A. この処理によって、支持基板12と、ブラックマトリクス14と、バンク16とで規定されたそれぞれの凹部(画素の一部)における支持基板12の表面と、ブラックマトリクス14の表面と、バンク16の表面とが親液性を呈するようになる。 The surface of the supporting substrate 12, a black matrix 14, and the surface of the supporting substrate 12 in the respective recesses defined by the bank 16 (part of the pixel), and the surface of the black matrix 14, and the surface of the bank 16 There will assume a lyophilic. さらに、その後、基体10Aに対して、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。 Further, thereafter, to the substrate 10A, plasma treatment is performed as a process gas tetrafluoromethane. 4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク16の表面がフッ化処理(撥液性に処理)され、このことで、バンク16の表面が撥液性を呈するようになる。 By plasma treatment using tetrafluoromethane, the surface of the bank 16 in each of the recesses is fluorination treatment (treatment liquid-repellent), by this, the surface of the bank 16 becomes to exhibit liquid repellency. なお、4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板12の表面およびブラックマトリクス14の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。 Incidentally, by the plasma process using tetrafluoromethane, the surface of the surface and the black matrix 14 of the supporting substrate 12 provided with lyophilic previously lose some lyophilic, yet these surfaces lyophilic and maintain.
なお、支持基板12の材質、ブラックマトリクス14の材質、およびバンク16の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。 The material of the supporting substrate 12, the material of the black matrix 14, and depending on the material of the banks 16, even without a surface treatment as described above, the surface exhibiting the desired lyophilic and lyophobic property can be obtained There is also, in such a case, it is not subjected to the surface treatment.

上記のようにして画素18R、18G、18Bが形成された基体10Aは、液滴吐出装置1のステージ106上に運ばれ、ステージ106に保持される。 Base 10A of pixels 18R, 18G, 18B are formed as described above is transported onto the stage 106 of the droplet ejection apparatus 1 is held on the stage 106. 液滴吐出装置1は、ステージ移動機構108を作動させて基体10AをY軸方向に移動させてヘッドユニット103の下を通過させながら、各液滴吐出ヘッド2から液状材料111の液滴を吐出して、各画素18R、18G、18Bに付与する。 Droplet discharge device 1, while passing under the head unit 103 by operating the stage moving mechanism 108 moves the base 10A in the Y-axis direction, ejects droplets of the liquid material 111 from the droplet ejection heads 2 and imparts the pixels 18R, 18G, to 18B. このとき、図7(a)〜(c)に示すように、画素18Rに対しては、赤色の液状材料(カラーフィルタ材料)111Rを吐出し、画素18Gに対しては、緑色の液状材料(カラーフィルタ材料)111Gを吐出し、画素18Bに対しては、青色の液状材料(カラーフィルタ材料)111Bを吐出する。 At this time, as shown in FIG. 7 (a) ~ (c), for pixels 18R, ejecting the red liquid material (color filter material) 111R, for pixels 18G, the green liquid material ( ejecting a color filter material) 111G, for pixels 18B, for ejecting the blue liquid material (color filter material) 111B.

各画素18R、18G、18Bに液状材料111R、111G、111Bが付与されたら、基体10Aを図示しない乾燥装置へ搬送し、各画素18R、18G、18B内の液状材料111R、111G、111Bを乾燥させる。 When each pixel 18R, 18G, liquid material 18B 111R, 111G, 111B is applied, is conveyed to a drying apparatus (not shown) the substrate 10A, the pixels 18R, 18G, the liquid material 111R in 18B, dried 111G, the 111B . これにより、各画素18R、18G、18B上にフィルタ層111FR、111FG、111FBが得られる。 Thus, each pixel 18R, 18G, 18B filter layer on 111FR, 111FG, can 111FB are obtained. なお、液滴吐出装置1での液状材料111R、111G、111Bの付与と、乾燥装置での乾燥とを繰り返し行って積層することによって最終的なフィルタ層111FR、111FG、111FBを形成してもよい。 Incidentally, the liquid material in a droplet ejection apparatus 1 111R, 111G, and application of 111B, the final filter layer 111FR by stacking repeatedly performed and drying in a drying device, 111FG, may be formed 111FB .

その後、基体10Aを図示しないオーブン内に搬送し、このオーブンにて、フィルタ層111FR、111FG、111FBを再加熱(ポストベーク)する。 Then transported into an oven (not shown) substrate 10A, in this oven, filter layers 111FR, 111FG, reheating 111FB (post-baking).
次いで、基体10Aを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、フィルタ層111FR、111FG、111FB、およびバンク16を覆う保護膜(オーバーコート)20を形成する。 Then conveyed to the protective film forming apparatus (not shown) the substrate 10A, in this protective film forming apparatus, for forming filter layers 111FR, 111FG, 111FB, and the protective film covering the bank 16 (overcoat) 20.
フィルタ層111FR、111FG、111FB、およびバンク16を覆う保護膜20が形成された後に、乾燥装置にて保護膜20を完全に乾燥させる。 Filter layers 111FR, 111FG, 111FB, and after the protective film 20 covering the bank 16 is formed to completely dry the protective film 20 in the drying device. さらに、図示しない硬化装置にて保護膜20を加熱して完全に硬化することで、基体10Aはカラーフィルタ基板10となる。 Moreover, by completely cured by heating the protective film 20 at unillustrated curing device, the base 10A becomes a color filter substrate 10.

図8は、本発明の液滴吐出装置1のヘッドユニット103における各液滴吐出ヘッド2の位置関係を説明するための模式的な平面図である。 Figure 8 is a schematic plan view for explaining the positional relation of each of the droplet ejection heads 2 of the droplet ejection apparatus 1 of the head unit 103 of the present invention.
前述したように、ヘッドユニット103には、赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2と、緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2と、青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2との、計12個の液滴吐出ヘッド2が設置されている。 As described above, the first head to the head unit 103 for discharging the four droplet ejection heads 2 of the first head 21R~ fourth head 24R for ejecting the red liquid material 111R, the green liquid material 111G and 21G four droplet ejection heads 2 of the fourth head 24G, the four droplet ejection heads 2 of the first head 21B~ fourth head 24B for ejecting the blue liquid material 111B, total of 12 droplet discharge head 2 is installed. 図8中の細長い図形は、それらの各液滴吐出ヘッド2のノズル列の位置を表している。 Elongated shape in FIG. 8 represents the positions of the nozzle rows of the droplet discharge head 2.

液滴吐出ヘッド2では、ノズル列の両端付近のノズル25の吐出量を精度良くコントロールするのが一般に困難で、吐出量の誤差が生じ易い。 In the droplet ejection head 2, is generally difficult to accurately control the discharge amount of the nozzle 25 in the vicinity of both ends of the nozzle array, likely error in the discharge amount caused. そこで、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド2のノズル列の両端付近にある所定個数(例えば10個程度)のノズル25を使用しない(液状材料111を吐出させない)ようにしている。 Therefore, in the present embodiment, to avoid using nozzles 25 of the predetermined number in the vicinity of both ends of the nozzle array of each of the droplet ejection heads 2 (e.g., about 10) (not ejected liquid material 111). これにより、各ノズル25での液状材料111の吐出量をより均一化することができ、製造されるカラーフィルタ基板10の画素18R、18G、18Bの色を面内でより均一にすることができ、色ムラの発生をより確実に防止することができる。 This makes it possible to uniformize the amount of ejection of the liquid material 111 in each nozzle 25, the pixels 18R of the color filter substrate 10 to be manufactured, 18G, can be made more uniform the color of 18B in a plane , it is possible to prevent the occurrence of color unevenness more reliably.
図8中の、各液滴吐出ヘッド2のノズル列を表す細長い図形において、両端の太く表示された不使用部分26は、上記のような使用しないノズル25がある範囲を表している。 In Figure 8, the elongated figure representing the nozzle array of the droplet discharge head 2, the unused portion 26 which is thicker displayed at both ends represents a range in which there is a nozzle 25 is not used as described above.

以下、まず、赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係について説明する。 Hereinafter, it will be described first positional relation of the four droplet ejection heads 2 of the first head 21R~ fourth head 24R for ejecting the red liquid material 111R.
第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目r の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 The first and second droplet ejection heads 21R and 22R, the direction orthogonal to the nozzle row, that is connected by the seam r 1 their nozzle arrays when viewed from the Y axis direction, disposed so as to function as a long nozzle array It is. すなわち、Y軸方向から見た継ぎ目r でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。 In other words, a nozzle pitch at the seam r 1 when viewed from the Y axis direction is also being to become a regular length a nozzle pitch in the nozzle array. このような位置関係で配置された第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとからなる列をヘッド列31Rと呼ぶ。 The long nozzle array constituted from the first and second droplet ejection heads 21R and 22R arranged with such a positional relationship referred to as a head array 31R.
なお、ノズル列の継ぎ目r では、不使用部分26を見込んで、第1ヘッド21Rのノズル列の図8中の右端部と、第2ヘッド22Rのノズル列の図8中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。 In seams r 1 of the nozzle arrays, in anticipation of unused portion 26, and a right end portion in FIG. 8 of the nozzle array of the first head 21R, and the left end portion in FIG. 8 of the nozzle array of the second head 22R , when viewed from the Y axis direction is a portion near their ends are arranged to overlap each other.

同様にして、第3ヘッド23Rと第4ヘッド24Rとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目r の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 Similarly, the third head 23R and the fourth head 24R, the nozzle arrays of viewed from the Y axis direction is connected at the position of the seam r 2, it is arranged to function as a long nozzle array. すなわち、Y軸方向から見た継ぎ目r でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。 In other words, a nozzle pitch at the seam r 2 when viewed from the Y axis direction is also being to become a regular length a nozzle pitch in the nozzle array. このような位置関係で配置された第3ヘッド23Rと第4ヘッド24Rとからなる列をヘッド列32Rと呼ぶ。 Such position the third head 23R arranged in relation and columns comprising a fourth head 24R referred to as a head array 32R.
さらに同様に、ノズル列の継ぎ目r では、不使用部分26を見込んで、第3ヘッド23Rのノズル列の図8中の右端部と、第4ヘッド24Rのノズル列の図8中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。 More Similarly, the seam r 2 of the nozzle arrays, in anticipation of unused portion 26, and a right end portion in FIG. 8 of the nozzle array of the third head 23R, the left end portion in FIG. 8 of the nozzle array of the fourth head 24R and, when viewed from the Y axis direction is a part of the vicinity of their ends are arranged to overlap each other.

上述のようなヘッド列31Rにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Rにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目r の位置と継ぎ目r の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。 Long nozzle array formed from the head array 31R described above, the long nozzle array formed from the head array 32R, as viewed from the Y axis direction, the position of the seam r 1 of the nozzle row and the seam r 2 and positions so as not to coincide, are arranged on top of each other.
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Rについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Rの液滴を吐出することができる。 Using such overlapping, the droplet ejection apparatus 1, for one pixel 18R, a plurality eject different droplet ejection from the nozzles 25 of the head 2 of the liquid material 111R droplets (two in this embodiment) can do.
例えば、第1ヘッド21Rのノズル列と第3ヘッド23Rのノズル列とが重なり合っている図8中のR で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Rの場合には、図3に示すように、第1ヘッド21Rのノズル25から吐出された液滴91と、第3ヘッド23Rのノズル25から吐出された液滴92とが付与される。 For example, in the case of a nozzle array and the third pixel 18R ejected droplets using an area indicated as R 1 in FIG. 8 where the nozzle rows of the head 23R are overlapped in the first head 21R is as shown in FIG. 3 to a droplet 91 ejected from the nozzle 25 of the first head 21R, and the droplet 92 discharged from the nozzles 25 of the third head 23R is applied.
なお、図3中では、ヘッド列31R(第1ヘッド21R)のノズル25の位置と、ヘッド列32R(第3ヘッド23R)のノズル25の位置とがY軸方向から見て一致しないようにずらして配置されている。 Incidentally, in FIG. 3, shifted so that the position of the nozzles 25 in the head array 31R (first head 21R), the position of the nozzles 25 in the head array 32R (third head 23R) does not match when viewed from the Y axis direction It is arranged Te.
また、ノズル列のノズル25のピッチと、画素(吐出区画)18RのX軸方向(ノズル列に平行な方向)の長さとが略等しく(厳密には、ノズル25のピッチの方が少し短く)設定されている。 Further, the pitch of the nozzles 25 of the nozzle array, the pixels (ejection regions) 18R X-axis direction length (in the direction parallel to the nozzle array) are substantially equal in (strictly speaking, slightly shorter towards the pitch of the nozzles 25) It has been set.
また、同一の画素18Rに吐出される液滴のうちの最も離れている2つの液滴が、同列に属する2つのノズル25から吐出されるようになっている。 Also, two droplets farthest of the droplets discharged in the same pixel 18R is adapted to be ejected from two nozzles 25 belonging to the same row.
また、同一の画素18Rには、第1ヘッド21Rと、第3ヘッド23Rとのすべての列の所定のノズル25から液滴が吐出されるようになっている。 Moreover, the same pixel 18R, so that the the first head 21R, the liquid droplets from predetermined nozzles 25 of all the columns in the third head 23R is ejected. なお、これらについては、R 、R 、G 〜G 、B 〜B で示す各範囲についてもそれぞれ同様であるので、以下の説明では、その説明を省略する。 It should be noted that these, because R 2, R 3, G 1 ~G 3, B 1 for even the range indicated by .about.B 3 is the same, respectively, in the following description, the description thereof is omitted.

図示を省略するが、同様にして、第1ヘッド21Rのノズル列と第4ヘッド24Rのノズル列とが重なり合っている図8中のR で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Rの場合には、第1ヘッド21Rのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Rのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 Although not shown, in the same way, the case of the pixel 18R ejected droplets using an area indicated as R 2 in FIG. 8 where the nozzle row and the nozzle array of the fourth head 24R are overlapped in the first head 21R the, the droplets ejected through the nozzles 25 of the first head 21R, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24R are supplied thereto. また、第2ヘッド22Rのノズル列と第4ヘッド24Rのノズル列とが重なり合っている図8中のR で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Rの場合には、第2ヘッド22Rのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Rのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 In the case of the nozzle row and the fourth pixel 18R ejected droplets using an area indicated as R 3 in FIG. 8 where the nozzle rows of the head 24R are overlapped in the second head 22R is the second head 22R the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24R are supplied thereto.

上述したことを換言すれば、次のように言うことができる。 In other words that described above, it can be said as follows. ヘッドユニット103と基体10Aとを1回主走査(相対移動)することによってヘッドユニット103から基体10上に赤色の液状材料111Rの液滴が吐出される範囲は、主走査方向(相対移動方向)と直交する方向、すなわちX軸方向に沿って複数の領域に分かれる。 The head unit 103 and the base 10A and the single main scan range (relative movement) droplets of red liquid material 111R onto the substrate 10 from the head unit 103 by is ejected, the main scanning direction (relative movement direction) direction perpendicular to, i.e. along the X-axis direction divided into a plurality of regions. すなわち、図8中のR で示す範囲のノズル列によって液状材料111Rが付与される領域(以下、「R 領域」と略称する)と、図8中のR で示す範囲のノズル列によって液状材料111Rが付与される領域(以下、「R 領域」と略称する)と、図8中のR で示す範囲のノズル列によって液状材料111Rが付与される領域(以下、「R 領域」と略称する)との3つの領域に、ノズル列の継ぎ目r 、r の位置を境界として分かれる。 That is, the area which the liquid material 111R is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by R 1 in FIG. 8 (hereinafter, referred to as "R 1 region") and, by the nozzle rows of the range indicated by R 2 in FIG. 8 area liquid material 111R is applied (hereinafter, referred to as "R 2 region") and a region (hereinafter which the liquid material 111R is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by R 3 in FIG. 8, "R 3 region into three regions with "and abbreviated), we divided the position of the seam r 1, r 2 of the nozzle arrays as the boundary. そして、これらの各領域内の画素18Rに対しては、上述したように各領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液状材料111Rの液滴が付与される。 And, for these pixels 18R in each of the regions, the liquid material 111R of the liquid droplets discharged from each of the two droplet ejection heads 2 of the nozzles 25 of different combinations for each area is applied as described above .

液滴吐出装置1では、一つの画素18Rについて複数の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Rの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド2によって吐出量にバラツキ(誤差)があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。 In the droplet ejection apparatus 1, since the eject droplets of one pixel 18R liquid material through the nozzles 25 of the plurality of different droplet ejection heads 2 for 111R, variations in the amount of ejection of the plurality of droplet ejection heads 2 (error) even if there was, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured. すなわち、液滴吐出装置1と異なり、一つの画素18Rが一つの液滴吐出ヘッド2のみのノズル25から液状材料111Rを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド2の吐出量のバラツキがそのまま画素18Rに付与される液状材料111Rの量のバラツキ(誤差)につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置1では、一つの画素18Rに付与される液状材料111Rの量は、複数(本実施形態では二個)の液滴吐出ヘッド2の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素18R間での液状材料111Rの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。 On the other hand, in the droplet ejection apparatus 1, one if the pixel 18R is supplying the liquid material 111R from the nozzles 25 of one droplet ejection head 2 alone, the variation of the amounts of ejection of the droplet ejection heads 2 There leads to the exact amount of liquid material 111R to be applied to the pixels 18R variation (error), whereby color heterogeneity strongly appears, in the droplet ejection apparatus 1, the amount of liquid material 111R to be supplied onto one pixel 18R is since a plurality of (in this embodiment two) becomes the average of the discharge amount of the droplet ejection heads 2, it is possible to uniformize the amount of liquid material 111R supplied onto each of the pixels 18R, the color unevenness it can be suppressed.

さらに、上述したように、R 領域と、R 領域と、R 領域との3つの領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液滴がその領域内の画素18Rに対して付与されるので、基体10A全体として見たときに各画素18Rに対する液状材料111Rの吐出量が偏ることがなく、基体10Aの全体に渡ってバランス(平均化)される。 Further, as described above, and R 1 region, R 2 region and, R 3 region and three different combinations of the two droplet droplets ejected from each nozzle 25 of the discharge head 2 is the region for each area since the granted to the pixels 18R, without being biased ejection amount of the liquid material 111R for each pixel 18R when viewed as a whole base 10A, is throughout the base 10A balance (averaged). よって、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Therefore, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured more surely.

また、R 領域の画素18Rに対して液状材料111Rを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Rおよび第3ヘッド23Rであり、このR 領域に隣接するR 領域の画素18Rに対して液状材料111Rを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Rおよび第4ヘッド24Rであり、両者の組み合わせにおいては、第1ヘッド21Rが共通している。 Further, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111R to the pixels 18R in the R 1 region is a first head 21R and the third head 23R, R 2 area adjacent to the R 1 region the combination of two droplet ejection heads 2 for relative pixel 18R supplying the liquid material 111R is a first head 21R and the fourth head 24R, in the combination of the two, first head 21R are common .

同様にして、R 領域の画素18Rに対して液状材料111Rを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Rおよび第4ヘッド24Rであり、このR 領域に隣接するR 領域の画素18Rに対して液状材料111Rを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第2ヘッド22Rおよび第4ヘッド24Rであり、両者の組み合わせにおいては、第4ヘッド24Rが共通している。 Similarly, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111R to the pixels 18R in the R 2 region is a first head 21R and the fourth head 24R, adjacent to the R 2 region R the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111R to three regions of the pixel 18R is a second head 22R and the fourth head 24R, in the combination of the two, the fourth head 24R is common ing.

このようにして、ある領域内の画素18Rに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせと、その領域に隣接する領域内の画素18Rに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせとで、少なくとも一つの液滴吐出ヘッド2が共通するようにすることにより、相隣接する領域の境界での吐出量のズレを小さくすることができるので、基体10A上の各領域の境界部に色ムラ(後述する筋ムラ)が目立つのをより確実に防止することができる。 Thus, the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets to the pixels 18R in a certain area, and the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets to the pixels 18R in the region adjacent to the region in at least by one droplet ejection head 2 is so common, it is possible to reduce the discharge amount of shift in phase boundary adjacent areas, the color at the boundary of each region on the substrate 10A unevenness can be more reliably prevented from (including a streak described later) stands out.

また、液滴吐出装置1では、第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとがヘッド列31Rを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第3ヘッド23Rと第4ヘッド24Rとがヘッド列32Rを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット103全体として基体10Aに対し液状材料111を吐出可能なX軸方向の長さ(以下、「全吐出幅」と言う)Wを大きくすることができる。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, by the first and second droplet ejection heads 21R and 22R constitute the head array 31R, related by their nozzle rows function as a long nozzle array, the third head 23R If by the fourth head 24R constitutes the head array 32R, so their nozzle rows function as a long nozzle array connected, capable of ejecting the X axis of the liquid material 111 to the base 10A as a whole the head unit 103 direction length (hereinafter, referred to as "full discharge width") W can be increased. よって、基体10Aの全面に対して液状材料111を吐出するために必要なヘッドユニット103と基体10Aとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Wより幅の小さい基体10Aに対しては、1回の主走査で全面に液状材料111を吐出することができる。 Therefore, it is possible to reduce the number of main scanning of the head unit 103 and the base 10A required to eject the liquid material 111 on the entire surface of the base 10A, particularly, a small base 10A width than entire ejection width W for, it is possible to eject the liquid material 111 on the entire surface by one main scanning.

また、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Rにおけるノズル列の継ぎ目r の位置と、ヘッド列32Rにおけるノズル列の継ぎ目r の位置とがY軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam r 1 of the nozzle arrays in the head array 31R, the position of the seam r 2 of the nozzle arrays in the head array 32R are prevented match when viewed from the Y axis direction it provides an advantage as described below.
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Rを付与された画素18Rは、他の位置にある画素18Rに対する色ムラが出易い。 In general, the pixel 18R onto which the liquid material 111R is supplied through the nozzles 25 in the vicinity of the seam of the nozzle arrays more easily out uneven color for pixels 18R provided at the other positions. その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。 As the reason, the nozzle 25 of the seam of nozzle arrays is that and is difficult to control the discharge amount is close to both ends of the nozzle array with high precision, an error of the nozzle pitch at the seam can be considered. このようなノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。 When the color unevenness due to such a seam of nozzle arrays is generated, in the color filter substrate 10 to be manufactured, the color unevenness was continuously as streaks along the Y-axis direction, it appears as a so-called streak unevenness .

上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置1と異なり、ヘッド列31Rにおけるノズル列の継ぎ目r の位置とヘッド列32Rにおける継ぎ目r の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板10において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。 If streaks as described above has occurred, unlike the liquid droplet ejection apparatus 1, when the position of the seam r 2 at the position and the head array 32R seam r 1 of the nozzle arrays in the head array 31R are the same, manufacturing are two streaks overlap in the color filter substrate 10, whereby such streaks become conspicuous.
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Rにおけるノズル列の継ぎ目r の位置と、ヘッド列32Rにおけるノズル列の継ぎ目r の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目r の位置と継ぎ目r の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。 In contrast, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam r 1 of the nozzle arrays in the head array 31R, so that the seam r 2 of the nozzle arrays in the head array 32R are shifted with respect to each other when viewed from the Y axis direction since steaks are dispersed at the positions of the seams r 2 of the seams r 1 in the color filter substrate 10 to be manufactured, it is possible to make such a streak become inconspicuous.

次に、緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係について説明する。 Next, a description will be given of the first positional relationship of the head 21G 4 pieces of droplet ejection heads 2 of the fourth head 24G for ejecting the green liquid material 111G.
緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係は、前述した赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。 Ejecting the green liquid material 111G positional relation of the four droplet ejection heads 2 of the first head 21G~ fourth head 24G, the first head 21R~ fourth head 24R for ejecting the liquid material 111R of red aforementioned is the same as four positional relationship between the droplet ejection heads 2, it will be described in a simplified manner.

第1ヘッド21Gと第2ヘッド22Gとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目g の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 The first head 21G and the second head 22G, a direction orthogonal to the nozzle row, that is connected by the seam g 1 their nozzle arrays when viewed from the Y axis direction, disposed so as to function as a long nozzle array It is. このような位置関係で配置された第1ヘッド21Gと第2ヘッド22Gとからなる列をヘッド列31Gと呼ぶ。 The long nozzle array constituted from the first head 21G and the second head 22G arranged with such a positional relationship referred to as a head array 31G.
同様にして、第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目g の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 Similarly, the third head 23G and the fourth head 24G, their nozzle arrays when viewed from the Y axis direction is connected by the seam g 2, are arranged to function as a long nozzle array. このような位置関係で配置された第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとからなる列をヘッド列32Gと呼ぶ。 Such position the third head 23G arranged in relation and columns comprising a fourth head 24G referred to as a head array 32G.

上述のようなヘッド列31Gにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Gにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目g の位置と継ぎ目g の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。 Long nozzle array formed from the head array 31G described above, and the long nozzle array formed from the head array 32G, when viewed from the Y axis direction, the position and the seam g 2 of the seams g 1 of the nozzle arrays and positions so as not to coincide, are arranged on top of each other.
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Gについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Gの液滴を吐出することができる。 Using such overlapping, the droplet ejection apparatus 1, for one pixel 18G, plural ejecting different droplet ejection from the nozzles 25 of the head 2 of the liquid material 111G droplets (two in this embodiment) can do.

すなわち、第1ヘッド21Gのノズル列と第3ヘッド23Gのノズル列とが重なり合っている図8中のG で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Gの場合には、第1ヘッド21Gのノズル25から吐出された液滴と、第3ヘッド23Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 That is, when the pixel 18G ejected droplets using an area indicated as G 1 in the nozzle row and the third in FIG. 8 where the nozzle rows of the head 23G are overlapped in the first head 21G is the first head 21G the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the third head 23G are applied. また、第1ヘッド21Gのノズル列と第4ヘッド24Gのノズル列とが重なり合っている図8中のG で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Gの場合には、第1ヘッド21Gのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 In the case of the pixel 18G ejected droplets using an area indicated as G 2 in the nozzle array and in Figure 8 in which the nozzle row of the fourth head 24G are overlapped in the first head 21G is the first head 21G the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24G are supplied thereto. また、第2ヘッド22Gのノズル列と第4ヘッド24Gのノズル列とが重なり合っている図8中のG で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Gの場合には、第2ヘッド22Gのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 In the case of the nozzle row and the fourth pixel 18G ejected droplets using an area indicated as G 3 in FIG. 8 where the nozzle rows of the head 24G are overlapped in the second head 22G is the second head 22G the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24G are supplied thereto.

上述したことを換言すれば、次のように言うことができる。 In other words that described above, it can be said as follows. ヘッドユニット103と基体10Aとを1回主走査(相対移動)することによってヘッドユニット103から基体10上に緑色の液状材料111Gの液滴が吐出される範囲は、X軸方向に沿って複数の領域に分かれる。 Range droplets green liquid material 111G is ejected onto the substrate 10 from the head unit 103 by the head unit 103 and the base 10A and the one main scanning (relative movement) is in multiple along the X-axis direction divided into regions. すなわち、図8中のG で示す範囲のノズル列によって液状材料111Gが付与される領域(以下、「G 領域」と略称する)と、図8中のG で示す範囲のノズル列によって液状材料111Gが付与される領域(以下、「G 領域」と略称する)と、図8中のG で示す範囲のノズル列によって液状材料111Gが付与される領域(以下、「G 領域」と略称する)との3つの領域に、ノズル列の継ぎ目g 、g の位置を境界として分かれる。 That is, the region where the liquid material 111G is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by G 1 in FIG. 8 (hereinafter, abbreviated as "G 1 region") and, by the nozzle rows of the range indicated by G 2 in FIG. 8 area liquid material 111G is applied (hereinafter, abbreviated as "G 2 region") and a region (hereinafter which the liquid material 111G is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by G 3 in FIG. 8, "G 3 region into three regions with "and abbreviated), we divided the position of the seam g 1, g 2 of the nozzle arrays as the boundary. そして、これらの各領域内の画素18Gに対しては、上述したように各領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液状材料111Gの液滴が付与される。 And, for these pixels 18G in each of the regions, the liquid material 111G of droplets discharged from each of the two droplet ejection heads 2 of the nozzles 25 of different combinations for each area is applied as described above .

液滴吐出装置1では、一つの画素18Gについて複数の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Gの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド2によって吐出量にバラツキ(誤差)があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。 In the droplet ejection apparatus 1, since the eject droplets of one pixel 18G liquid material through the nozzles 25 of the plurality of different droplet ejection heads 2 for 111G, variations in the amount of ejection of the plurality of droplet ejection heads 2 (error) even if there was, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured. すなわち、液滴吐出装置1と異なり、一つの画素18Gが一つの液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Gを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド2の吐出量のバラツキがそのまま画素18Gに付与される液状材料111Gの量のバラツキ(誤差)につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置1では、一つの画素18Gに付与される液状材料111Gの量は、複数(本実施形態では二個)の液滴吐出ヘッド2の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素18G間での液状材料111Gの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。 On the other hand, in the droplet ejection apparatus 1, when the one pixel 18G is supplying the liquid material 111G from the nozzles 25 of one droplet ejection head 2, variations of the amounts of ejection of the droplet ejection heads 2 lead to the amount of variation of the liquid material 111G applied to the pixel 18G (error) directly, whereby color heterogeneity strongly appears, in the droplet ejection apparatus 1, the amount of liquid material 111G to be supplied onto one pixel 18G has a plurality because becomes the average of the discharge amount of the droplet ejection heads 2 (two in this embodiment), it is possible to uniformize the amount of liquid material 111G supplied onto each of the pixels 18G, suppress color unevenness be able to.

さらに、上述したように、G 領域と、G 領域と、G 領域との3つの領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液滴がその領域内の画素18Gに対して付与されるので、基体10A全体として見たときに各画素18Gに対する液状材料111Gの吐出量が偏ることがなく、基体10Aの全体に渡ってバランス(平均化)される。 Further, as described above, G 1 region and, G 2 region and, G 3 3 different droplet ejected from each of the two droplet ejection heads 2 of the nozzle 25 combinations within the area for each area of the region since the granted to the pixels 18G, without being biased ejection amount of the liquid material 111G for each pixel 18G when viewed as a whole base 10A, it is throughout the base 10A balance (averaged). よって、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Therefore, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured more surely.

また、G 領域の画素18Gに対して液状材料111Gを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Gおよび第3ヘッド23Gであり、このG 領域に隣接するG 領域の画素18Gに対して液状材料111Gを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Gおよび第4ヘッド24Gであり、両者の組み合わせにおいては、第1ヘッド21Gが共通している。 Further, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111G to the pixels 18G in G 1 region is a first head 21G and the third head 23G, G 2 area adjacent to the G 1 region the combination of two droplet ejection heads 2 for relative pixel 18G supplying the liquid material 111G is the first head 21G and the fourth head 24G, in the combination of the two, first head 21G are common .

同様にして、G 領域の画素18Gに対して液状材料111Gを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Gおよび第4ヘッド24Gであり、このG 領域に隣接するG 領域の画素18Gに対して液状材料111Gを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第2ヘッド22Gおよび第4ヘッド24Gであり、両者の組み合わせにおいては、第4ヘッド24Gが共通している。 Similarly, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111G to the pixels 18G in the G 2 region is a first head 21G and the fourth head 24G, G adjacent to the G 2 region the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111G for three regions of the pixel 18G is a second head 22G and the fourth head 24G, in the combination of the two, the fourth head 24G are common ing.

このようにして、ある領域内の画素18Gに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせと、その領域に隣接する領域内の画素18Gに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせとで、少なくとも一つの液滴吐出ヘッド2が共通するようにすることにより、相隣接する領域の境界での吐出量のズレを小さくすることができるので、基体10A上の各領域の境界部に色ムラ(後述する筋ムラ)が目立つのをより確実に防止することができる。 Thus, the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets to the pixel 18G in the certain area, and the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets in a pixel 18G in the region adjacent to the region in at least by one droplet ejection head 2 is so common, it is possible to reduce the discharge amount of shift in phase boundary adjacent areas, the color at the boundary of each region on the substrate 10A unevenness can be more reliably prevented from (including a streak described later) stands out.

また、液滴吐出装置1では、第1ヘッド21Gと第2ヘッド22Gとがヘッド列31Gを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとがヘッド列32Gを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット103の全吐出幅Wを大きくすることができる。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, by the first head 21G and the second head 22G are constituting the head array 31G, related by their nozzle rows function as a long nozzle array, the third head 23G If by the fourth head 24G are constituting the head array 32G, since their nozzle rows function as a long nozzle array connected, it is possible to increase the entire ejection width W of the head unit 103. よって、基体10Aの全面に対して液状材料111を吐出するために必要なヘッドユニット103と基体10Aとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Wより幅の小さい基体10Aに対しては、1回の主走査で全面に液状材料111を吐出することができる。 Therefore, it is possible to reduce the number of main scanning of the head unit 103 and the base 10A required to eject the liquid material 111 on the entire surface of the base 10A, particularly, a small base 10A width than entire ejection width W for, it is possible to eject the liquid material 111 on the entire surface by one main scanning.

また、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Gにおけるノズル列の継ぎ目g の位置と、ヘッド列32Gにおけるノズル列の継ぎ目g の位置とがY軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam g 1 of the nozzle arrays in the head array 31G, and the position of the seam g 2 of the nozzle arrays in the head array 32G are not to match when viewed from the Y axis direction it provides an advantage as described below.
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Gを付与された画素18Gは、他の位置にある画素18Gに対する色ムラが出易い。 In general, the pixel 18G onto which the liquid material 111G by a nozzle 25 in the vicinity of the seam of the nozzle arrays more easily out uneven color the pixels 18G provided at the other positions. その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。 As the reason, the nozzle 25 of the seam of nozzle arrays is that and is difficult to control the discharge amount is close to both ends of the nozzle array with high precision, an error of the nozzle pitch at the seam can be considered. ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。 When the color unevenness caused by the seam of nozzle arrays is generated, in the color filter substrate 10 to be manufactured, the color unevenness was continuously as streaks along the Y-axis direction, appears as a so-called streak unevenness.

上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置1と異なり、ヘッド列31Gにおけるノズル列の継ぎ目g の位置とヘッド列32Gにおける継ぎ目g の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板10において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。 If streaks as described above has occurred, unlike the liquid droplet ejection apparatus 1, when the position of the seam g 2 at the position and the head array 32G seams g 1 of the nozzle arrays in the head array 31G are the same, manufacturing are two streaks overlap in the color filter substrate 10, whereby such streaks become conspicuous.
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Gにおけるノズル列の継ぎ目g の位置と、ヘッド列32Gにおけるノズル列の継ぎ目g の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目g の位置と継ぎ目g の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。 In contrast, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam g 1 of the nozzle arrays in the head array 31G, since the position of the seam g 2 of the nozzle arrays in the head array 32G are shifted with respect to each other when viewed from the Y axis direction since steaks are dispersed at the positions of the seam g 2 of the seams g 1 in the color filter substrate 10 to be manufactured, it is possible to make such a streak become inconspicuous.

次に、青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係について説明する。 It will now be described positional relationship of the four droplet ejection heads 2 of the first head 21B~ fourth head 24B for ejecting the blue liquid material 111B.
青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係は、前述した赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。 For ejecting the blue liquid material 111B 4 pieces of positional relationship between the droplet ejection head 2 of the first head 21B~ fourth head 24B, the first head 21R~ fourth head 24R for ejecting the liquid material 111R of red aforementioned is the same as four positional relationship between the droplet ejection heads 2, it will be described in a simplified manner.

第1ヘッド21Bと第2ヘッド22Bとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目b の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 The first head 21B and the second head 22B, the direction orthogonal to the nozzle row, that is connected by the seam b 1 their nozzle arrays when viewed from the Y axis direction, disposed so as to function as a long nozzle array It is. このような位置関係で配置された第1ヘッド21Bと第2ヘッド22Bとからなる列をヘッド列31Bと呼ぶ。 The long nozzle array constituted from the first head 21B and the second head 22B arranged with such a positional relation is referred to as a head array 31B.
同様にして、第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目b の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。 Similarly, the third head 23B and the fourth head 24B, those of the nozzle array when viewed from the Y axis direction is connected by the seam b 2, it is arranged to function as a long nozzle array. このような位置関係で配置された第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとからなる列をヘッド列32Bと呼ぶ。 A column comprising a third head 23B and the fourth head 24B arranged with such a positional relation is referred to as a head array 32B.

上述のようなヘッド列31Bにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Bにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目b の位置と継ぎ目b の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。 Long nozzle array formed from the head array 31B described above, and the long nozzle array formed from the head array 32B, when viewed from the Y axis direction, the position of the seam b 1 of the nozzle row and the seam b 2 and positions so as not to coincide, are arranged on top of each other.
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Bについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Bの液滴を吐出することができる。 Using such overlapping, the droplet ejection apparatus 1, for one pixel 18B, a plurality discharging droplets of the liquid material 111B from different droplet ejection heads 2 of the nozzle 25 (two in this embodiment) can do.

すなわち、第1ヘッド21Bのノズル列と第3ヘッド23Bのノズル列とが重なり合っている図8中のB で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Bの場合には、第1ヘッド21Bのノズル25から吐出された液滴と、第3ヘッド23Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 That is, when the nozzle array and the third pixel 18B in which the nozzle rows of the head 23B is ejected droplets using an area indicated as to which B 1 in FIG. 8 where overlap of the first head 21B is the first head 21B the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the third head 23B is applied. また、第1ヘッド21Bのノズル列と第4ヘッド24Bのノズル列とが重なり合っている図8中のB で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Bの場合には、第1ヘッド21Bのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 In the case of the nozzle rows and pixel 18B in which the nozzle row is ejected droplets using an area indicated as with that 8 in B 2 which overlap the fourth head 24B of the first head 21B is the first head 21B the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24B are supplied thereto. また、第2ヘッド22Bのノズル列と第4ヘッド24Bのノズル列とが重なり合っている図8中のB で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Bの場合には、第2ヘッド22Bのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。 In the case of the nozzle rows and pixel 18B in which the nozzle row is ejected droplets using an area indicated as 8 in B 3 that overlaps the fourth head 24B of the second head 22B is the second head 22B the droplets ejected through the nozzle 25, and the liquid droplets ejected from the nozzles 25 of the fourth head 24B are supplied thereto.

上述したことを換言すれば、次のように言うことができる。 In other words that described above, it can be said as follows. ヘッドユニット103と基体10Aとを1回主走査(相対移動)することによってヘッドユニット103から基体10上に青色の液状材料111Bの液滴が吐出される範囲は、X軸方向に沿って複数の領域に分かれる。 Range droplets of the blue liquid material 111B is ejected onto the substrate 10 from the head unit 103 by the head unit 103 and the base 10A and the one main scanning (relative movement) is in multiple along the X-axis direction divided into regions. すなわち、図8中のB で示す範囲のノズル列によって液状材料111Bが付与される領域(以下、「B 領域」と略称する)と、図8中のB で示す範囲のノズル列によって液状材料111Bが付与される領域(以下、「B 領域」と略称する)と、図8中のB で示す範囲のノズル列によって液状材料111Bが付与される領域(以下、「B 領域」と略称する)との3つの領域に、ノズル列の継ぎ目b 、b の位置を境界として分かれる。 That is, the region where the liquid material 111B is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by B 1 in FIG. 8 (hereinafter, abbreviated as "B 1 region") and, by the nozzle rows of the range indicated by B 2 in FIG. 8 area liquid material 111B is applied (hereinafter, referred to as "B 2 region") and a region (hereinafter which the liquid material 111B is supplied by the nozzle arrays that are provided in the regions shown by B 3 in FIG. 8, "B 3 region into three regions with "and abbreviated), we divided the position of the seam b 1, b 2 of the nozzle arrays as the boundary. そして、これらの各領域内の画素18Bに対しては、上述したように各領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液状材料111Bの液滴が付与される。 And, for these pixels 18B in each area, the droplets of the liquid material 111B which is discharged from each of the two droplet ejection heads 2 of the nozzles 25 of different combinations for each area is applied as described above .

液滴吐出装置1では、一つの画素18Bについて複数の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Bの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド2によって吐出量にバラツキ(誤差)があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。 In the droplet ejection apparatus 1, since the discharge of one of the pixels 18B from different droplet ejection nozzles 25 of the head 2 of the liquid material 111B droplets, variations in the amount of ejection of the plurality of droplet ejection heads 2 (error) even if there was, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured. すなわち、液滴吐出装置1と異なり、一つの画素18Bが一つの液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Bを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド2の吐出量のバラツキがそのまま画素18Bに付与される液状材料111Bの量のバラツキ(誤差)につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置1では、一つの画素18Bに付与される液状材料111Bの量は、複数(本実施形態では二個)の液滴吐出ヘッド2の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素18B間での液状材料111Bの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。 On the other hand, in the droplet ejection apparatus 1, when the one pixel 18B is supplying the liquid material 111B from the nozzles 25 of one droplet ejection head 2, variations of the amounts of ejection of the droplet ejection heads 2 It leads to variation in the amount of liquid material 111B to be applied to the pixel 18B (error) directly, whereby color heterogeneity strongly appears, in the droplet ejection apparatus 1, the amount of liquid material 111B to be supplied onto one pixel 18B has a plurality because becomes the average of the discharge amount of the droplet ejection heads 2 (two in this embodiment), it is possible to uniformize the amount of liquid material 111B supplied onto each of the pixels 18B, suppress color unevenness be able to.

さらに、上述したように、B 領域と、B 領域と、B 領域との3つの領域ごとに異なる組み合わせの2つの液滴吐出ヘッド2のノズル25からそれぞれ吐出した液滴がその領域内の画素18Bに対して付与されるので、基体10A全体として見たときに各画素18Bに対する液状材料111Bの吐出量が偏ることがなく、基体10Aの全体に渡ってバランス(平均化)される。 Further, as described above, B 1 region and, B 2 region and, B 3 region and three different combinations of the two droplet droplets ejected from each nozzle 25 of the discharge head 2 is the region for each area since the granted to the pixel 18B, without being biased ejection amount of the liquid material 111B for each pixel 18B when viewed as a whole base 10A, it is throughout the base 10A balance (averaged). よって、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Therefore, it is possible to prevent the color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured more surely.

また、B 領域の画素18Bに対して液状材料111Bを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Bおよび第3ヘッド23Bであり、このB 領域に隣接するB 領域の画素18Bに対して液状材料111Bを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Bおよび第4ヘッド24Bであり、両者の組み合わせにおいては、第1ヘッド21Bが共通している。 Further, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111B to the pixel 18B of the B 1 region is a first head 21B and the third head 23B, B 2 area adjacent to the B 1 region the combination of two droplet ejection heads 2 for relative pixel 18B supplying the liquid material 111B is a first head 21B and the fourth head 24B, in the combination of the two, first head 21B is common .

同様にして、B 領域の画素18Bに対して液状材料111Bを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第1ヘッド21Bおよび第4ヘッド24Bであり、このB 領域に隣接するB 領域の画素18Bに対して液状材料111Bを付与する2つの液滴吐出ヘッド2の組み合わせは、第2ヘッド22Bおよび第4ヘッド24Bであり、両者の組み合わせにおいては、第4ヘッド24Bが共通している。 Similarly, the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111B to the pixel 18B of the B 2 region is a first head 21B and the fourth head 24B, B adjacent to the B 2 region the combination of two droplet ejection heads 2 for supplying the liquid material 111B to three regions of the pixel 18B is a second head 22B and the fourth head 24B, in the combination of the two, the fourth head 24B is common ing.

このようにして、ある領域内の画素18Bに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせと、その領域に隣接する領域内の画素18Bに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド2の組み合わせとで、少なくとも一つの液滴吐出ヘッド2が共通するようにすることにより、相隣接する領域の境界での吐出量のズレを小さくすることができるので、基体10A上の各領域の境界部に色ムラ(後述する筋ムラ)が目立つのをより確実に防止することができる。 Thus, the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets in a pixel 18B in a certain area, and the combination of droplet ejection heads 2 for ejecting liquid droplets in a pixel 18B in the regions adjacent to the region in at least by one droplet ejection head 2 is so common, it is possible to reduce the discharge amount of shift in phase boundary adjacent areas, the color at the boundary of each region on the substrate 10A unevenness can be more reliably prevented from (including a streak described later) stands out.

また、液滴吐出装置1では、第1ヘッド21Bと第2ヘッド22Bとがヘッド列31Bを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとがヘッド列32Bを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット103の全吐出幅Wを大きくすることができる。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, by the first head 21B and the second head 22B is constituting the head array 31B, function as a long nozzle array led their nozzle array, the third head 23B If by the fourth head 24B constitutes the head array 32B, since their nozzle rows function as a long nozzle array connected, it is possible to increase the entire ejection width W of the head unit 103. よって、基体10Aの全面に対して液状材料111を吐出するために必要なヘッドユニット103と基体10Aとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Wより幅の小さい基体10Aに対しては、1回の主走査で全面に液状材料111を吐出することができる。 Therefore, it is possible to reduce the number of main scanning of the head unit 103 and the base 10A required to eject the liquid material 111 on the entire surface of the base 10A, particularly, a small base 10A width than entire ejection width W for, it is possible to eject the liquid material 111 on the entire surface by one main scanning.

また、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Bにおけるノズル列の継ぎ目b の位置と、ヘッド列32Bにおけるノズル列の継ぎ目b の位置とがY軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。 Further, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam b 1 of the nozzle arrays, and the position of the seam b 2 of the nozzle arrays in the head array 32B are not to match when viewed from the Y axis direction in the head array 31B it provides an advantage as described below.
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Bを付与された画素18Bは、他の位置にある画素18Bに対する色ムラが出易い。 In general, the pixel 18B onto which the liquid material 111B by the nozzles 25 in the vicinity of the seam of the nozzle arrays more easily out uneven color for a pixel 18B provided at the other positions. その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。 As the reason, the nozzle 25 of the seam of nozzle arrays is that and is difficult to control the discharge amount is close to both ends of the nozzle array with high precision, an error of the nozzle pitch at the seam can be considered. ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。 When the color unevenness caused by the seam of nozzle arrays is generated, in the color filter substrate 10 to be manufactured, the color unevenness was continuously as streaks along the Y-axis direction, appears as a so-called streak unevenness.

上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置1と異なり、ヘッド列31Bにおけるノズル列の継ぎ目b の位置とヘッド列32Bにおける継ぎ目b の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板10において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。 If streaks as described above has occurred, unlike the liquid droplet ejection apparatus 1, when the position of the seam b 2 of the position and the head array 32B of the seam b 1 of the nozzle arrays in the head array 31B are matched, prepared are two streaks overlap in the color filter substrate 10, whereby such streaks become conspicuous.
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Bにおけるノズル列の継ぎ目b の位置と、ヘッド列32Bにおけるノズル列の継ぎ目b の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目b の位置と継ぎ目b の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。 In contrast, in the droplet ejection apparatus 1, the position of the seam b 1 of the nozzle arrays in the head array 31B, since the position of the seam b 2 of the nozzle arrays in the head array 32B are shifted with respect to each other when viewed from the Y axis direction since steaks are dispersed at the positions of the seam b 2 of the seams b 1 in the color filter substrate 10 to be manufactured, it is possible to make such a streak become inconspicuous.

このようなヘッドユニット103では、赤色の液状材料111Rを吐出するヘッド列31R、32Rにより形成される長尺ノズル列と、緑色の液状材料111Gを吐出するヘッド列31G、32Gにより形成される長尺ノズル列と、青色の液状材料111Bを吐出するヘッド列31B、32Bにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て重なるように配置されている。 In such a head unit 103, long formed the head array 31R for ejecting the red liquid material 111R, the two long nozzle array formed from the 32R, the head array 31G for ejecting the green liquid material 111G, the 32G a nozzle row, the head array 31B for ejecting the blue liquid material 111B, and the long nozzle array formed by 32B, is arranged so as to overlap when viewed from the Y axis direction. これにより、ヘッドユニット103と基体10Aとを主走査することによって、全吐出幅Wの範囲では、画素18R、18G、18Bに対して一度に赤、緑、青の各色の液状材料111R、111G、111Bを付与することができる。 Thus, by main scanning of the head unit 103 with the base 10A, the range of the entire discharge width W, pixels 18R, 18G, red in one respect 18B, green, blue liquid materials 111R, 111G, 111B can be imparted.

液滴吐出装置1では、赤色の液状材料111Rを吐出するヘッド列31R、32Rにおけるノズル列の継ぎ目r 、r と、緑色の液状材料111Gを吐出するヘッド列31G、32Gにおけるノズル列の継ぎ目g 、g と、青色の液状材料111Bを吐出するヘッド列31B、32Bにおけるノズル列の継ぎ目b 、b とは、それらの位置がY軸方向から見て互いに一致しないように配置されている。 In the droplet ejection apparatus 1, the head array 31R for ejecting the red liquid material 111R, the seams r 1, r 2 of the nozzle arrays in the 32R, the head array 31G for ejecting the green liquid material 111G, seams of the nozzle arrays in the 32G and g 1, g 2, the head array 31B for ejecting the blue liquid material 111B, the seams b 1, b 2 of the nozzle arrays in 32B, their positions are arranged so as not to coincide with each other when viewed from the Y axis direction ing.
上述したことを換言すれば、基体10A上の赤色の画素18Rに関するR 領域、R 領域、R 領域の境界の位置と、緑色の画素18Gに関するG 領域、G 領域、G 領域の境界の位置と、青色の画素18Bに関するB 領域、B 領域、B 領域の境界の位置とが互いに一致しないようにされている。 In other words that described above, R 1 regions for red pixels 18R on the base 10A, R 2 region, and the position of the boundary of the R 3 region, G 1 regions for the green pixel 18G, G 2 region, G 3 region the position of the boundary of, B 1 regions for the blue pixel 18B, B 2 region, and the position of the boundary of the B 3 regions are not to coincide with each other.

これにより、製造されたカラーフィルタ基板10において、赤色の画素18Rに発生する筋ムラと、緑色の画素18Gに発生する筋ムラと、青色の画素18Bに発生する筋ムラとを別々の位置に分散させることができるので、筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。 Thus, in the color filter substrate 10 to be manufactured, distributed and streak that may be generated on any red pixels 18R, the streak that may be generated on any green pixels 18G, the streak that may be generated on any blue pixels 18B at separate positions since it is possible to it is possible to more reliably prevent the streaks are conspicuous.
特に、本実施形態では、ノズル列の継ぎ目r 、g 、b 、r 、g 、b の位置がY軸方向から見て等間隔に位置するので、各筋ムラを規則的に分散させることができ、筋ムラを極めて目立たなくさせることができる。 In particular, in the present embodiment, since the seam r 2, g 2, b 2 , the position of r 1, g 1, b 1 of the nozzle arrays are positioned at equal intervals when viewed from the Y axis direction, regularly each streaks can be dispersed in can be not very inconspicuous stripe unevenness.

図9は、本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットの他の構成例を模式的に示す平面図である。 Figure 9 is a plan view of another configuration example of the head unit shown schematically in the droplet ejection apparatus of the present invention.
図9に示すヘッドユニット103'には、12個の液滴吐出ヘッド2が集合してなる4つのヘッド群51、52、53、54が設置され、計48個の液滴吐出ヘッド2が搭載されている。 The head unit 103 'shown in FIG. 9, 12 of the droplet ejection heads 2 groups four heads formed by the set 51, 52, 53, and 54 are installed, mounted total 48 droplet ejection heads 2 It is. 各ヘッド群51、52、53、54の12個の液滴吐出ヘッド2は、前述したヘッドユニット103と同様の配置(図8参照)とされている。 12 droplet ejection heads 2 of the head group 51, 52, 53 and 54 are arranged similar to the head unit 103 described above (see FIG. 8). なお、図9中では、簡略化のため、各ヘッド群51、52、53、54を単なる長方形の図形で表している。 Incidentally, in FIG. 9, for simplification, represent each head group 51, 52, 53, 54 in a simple rectangle.

ヘッド群51とヘッド群52とは、それらのノズル列(全吐出幅W)がY軸方向から見て継ぎ目j でつながって機能するように配置されたヘッド群列61を構成する。 A head group 51 and the head group 52, those of the nozzle rows (entire ejection width W) constitutes a head group columns 61 arranged to function connected by a seam j 1 when viewed from the Y axis direction.
同様に、ヘッド群53とヘッド群54とは、それらのノズル列(全吐出幅W)がY軸方向から見て継ぎ目j でつながって機能するように配置されたヘッド群列62を構成する。 Likewise, the head group 53 and the head group 54 and their nozzle arrays (entire ejection width W) constitutes a head group columns 62 arranged to function connected by seam j 2 when viewed from the Y axis direction . そして、ヘッド群列61とヘッド群列62とは、Y軸方向から見て継ぎ目j の位置と継ぎ目j の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。 Then, the head group column 61 and the head group column 62, as the positions of the seam j 2 of the seam j 1 when viewed from the Y axis direction does not coincide, is arranged on top of each other.

このようなヘッドユニット103'を備えた液滴吐出装置1では、一つの画素18R、18G、18Bに対し、二つのヘッド群(ヘッド群51および53、ヘッド群51および54、または、ヘッド群52および54)から吐出した液状材料111を付与する。 In the droplet ejection apparatus 1 provided with such a head unit 103 ', one pixel 18R, 18G, to 18B, two head groups (head group 51 and 53, the head group 51 and 54, or the head group 52 and 54) supplying the liquid material 111 ejected from. これにより、各画素18R、18G、18Bに付与される液状材料111の量を基体10A上の各位置でさらに均一化することができるので、製造されるカラーフィルタ基板10の面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。 Thus, each pixel 18R, 18G, since the amount of the liquid material 111 applied to 18B can be more uniform at each position on the substrate 10A, color unevenness in the color filter substrate 10 to be manufactured it can be prevented from occurring more reliably.

また、Y軸方向から見て、ヘッド群51の全吐出幅Wとヘッド群52の全吐出幅Wがつながって機能し、ヘッド群53の全吐出幅Wとヘッド群54の全吐出幅Wがつながって機能するので、ヘッドユニット103'全体として基体10Aに対し液状材料111を吐出可能なX軸方向の長さ(図9中の総吐出幅W')をさらに大きくすることができる。 Further, when viewed from the Y axis direction, leading entire ejection width W and the entire ejection width W of the head group 52 of the head group 51 functions, entire ejection width W of the entire ejection width W and the head group 54 of the head group 53 is since functions connected, it is possible to further increase the '(length of ejectable X-axis direction total discharge width W in FIG. 9) of the liquid material 111 to the base 10A as a whole' head unit 103.
さらに、ヘッド群列61におけるヘッド群同士の継ぎ目j の位置と、ヘッド群列62におけるヘッド群同士の継ぎ目j の位置とがY軸方向から見て一致しないように配置したことにより、製造されたカラーフィルタ基板10において、継ぎ目j に起因して発生する筋ムラと、継ぎ目j に起因して発生する筋ムラとを別々の位置に分散させることができるので、筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。 Furthermore, by the position of the seam j 1 between the head group in the head group column 61, and the seam j 2 between the head groups in the head group column 62 is arranged so as not to coincide when viewed from the Y axis direction, producing in the color filter substrate 10 to be, the streak that may be generated due to the seam j 1, since the streaks generated due to the seam j 2 can be dispersed at separate positions, streaks from becoming conspicuous it can be more reliably prevented.

以上説明したような本発明は、カラーフィルタ基板10の製造に限らず、例えばエレクトロルミネッセンス表示装置等の他方式の画像表示装置の製造にも適用することができる。 The above-described present invention as is applicable to the production of color filters is not limited to the manufacturing of the substrate 10, for example, an image display device of another type such as electroluminescence display device.
図10は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置30の製造方法を示す断面図である。 Figure 10 is a sectional view showing a method of manufacturing the organic electroluminescent display device 30. 以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置30を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板10を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。 Hereinafter, there will be described a case of manufacturing the organic electroluminescent display device 30 according to the present invention, description thereof is omitted for described focusing on differences from the case of manufacturing the color filter substrate 10 described above, the same matters .

図10に示す基体30Aは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置30を製造するための基板である。 Base 30A shown in FIG. 10 is a substrate for manufacturing an organic electroluminescent display device 30. この基体30Aは、マトリクス状に配置された複数の画素(吐出区画)38R、38G、38Bが形成されている。 The base 30A has a plurality of pixels arranged in a matrix (ejection regions) 38R, 38G, 38B are formed.
具体的には、基体30Aは、支持基板32と、支持基板32上に形成された回路素子層34と、回路素子層34上に形成された複数の画素電極36と、複数の画素電極36の間に形成されたバンク40とを有している。 Specifically, the base 30A includes a supporting substrate 32, a circuit element layer 34 formed on the supporting substrate 32, a plurality of pixel electrodes 36 formed on the circuit element layer 34, a plurality of pixel electrodes 36 and a bank 40 formed between. 支持基板32は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。 Supporting substrate 32 is a substrate having light permeability with respect to visible light, for example a glass substrate. 複数の画素電極36のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ITO(Indium-Tin Oxide)電極である。 Each of the plurality of pixel electrodes 36 also has light permeability with respect to visible light, for example, an ITO (Indium-Tin Oxide) electrode. また、複数の画素電極36は、回路素子層34上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素を規定する。 Further, a plurality of pixel electrodes 36 are arranged in a matrix on the circuit element layer 34, each of which defines a pixel. そして、バンク40は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極36のそれぞれを囲む。 Then, banks 40 has a lattice-like shape, surrounding each of the plurality of pixel electrodes 36. また、バンク40は、回路素子層34上に形成された無機物バンク40Aと、無機物バンク40A上に位置する有機物バンク40Bとからなる。 Moreover, the banks 40 are constituted from inorganic banks 40A formed on the circuit element layer 34, and organic banks 40B positioned on the inorganic bank 40A.

回路素子層34は、支持基板32上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜42と、絶縁膜42上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子44と、複数のスイッチング素子44を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜45とを有する層である。 Circuit element layer 34 includes a plurality of scan electrodes extending in a predetermined direction on the supporting substrate 32, an insulating film 42 formed to cover the plurality of scan electrodes, both a plurality of scan electrode located on the insulating film 42 a plurality of signal electrodes extending in a direction orthogonal to the direction in which extends, a plurality of switching elements 44 located near the intersection of the scanning electrodes and signal electrodes, such as polyimide which is formed to cover the plurality of switching elements 44 a layer having an interlayer insulating film 45. それぞれのスイッチング素子44のゲート電極44Gおよびソース電極44Sは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。 The gate electrode 44G and source electrode 44S of each of the switching elements 44 are corresponding scanning electrode and the corresponding signal electrode and electrically connected. 層間絶縁膜45上には複数の画素電極36が位置する。 On the interlayer insulating film 45 a plurality of pixel electrodes 36 are located. 層間絶縁膜45には、各スイッチング素子44のドレイン電極44Dに対応する部位にスルーホール44Vが設けられており、このスルーホール44Vを介して、スイッチング素子44と、対応する画素電極36との間の電気的接続が形成されている。 The interlayer insulating film 45, holes 44V are provided at portions corresponding to drain electrodes 44D of the switching elements 44, through the through holes 44V, between the switching element 44, the corresponding pixel electrodes 36 electrical connections are formed. また、バンク40に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子44が位置している。 Further, each of the switching elements 44 in a position corresponding to the bank 40 is positioned. つまり、図10中の上側から観察すると、複数のスイッチング素子44のそれぞれは、バンク40に覆われるように位置している。 That is, when viewed from the upper side in FIG. 10, each of the plurality of switching elements 44 is positioned so as to be covered with the bank 40.

基体30Aの画素電極36とバンク40とで規定される凹部は、画素38R、画素38G、画素38Bに対応する。 Concave portions each defined by the pixel electrode 36 and the bank 40 of the base 30A, the pixels 38R, pixels 38G, corresponding to the pixel 38B. 画素38Rは、赤の波長域の光線を発光する発光層211FRが形成されるべき領域であり、画素38Gは、緑の波長域の光線を発光する発光層211FGが形成されるべき領域であり、画素38Bは、青の波長域の光線を発光する発光層211FBが形成されるべき領域である。 Pixel 38R is a region in which a luminous layer 211FR is formed for emitting light of the red wavelength region, the pixel 38G is a region in which a luminous layer 211FG is formed for emitting light of green wavelength region, pixel 38B is a region in which a luminous layer 211FB are formed for emitting light of the blue wavelength region.

このような基体30Aは、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて製造することができる。 Such base 30A can be manufactured by using a known film forming technology and a patterning technology.
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体30Aを親液化する。 Then, by means of an oxygen plasma process under atmospheric pressure, lyophilic The substrate 30A. この処理によって、画素電極36とバンク40とで規定された画素38R、38G、38Bにおける画素電極36の表面、無機物バンク40Aの表面、および有機物バンク40Bの表面が、親液性を呈するようになる。 This process, defined pixel 38R in the pixel electrode 36 and the bank 40, 38G, the surface of the pixel electrode 36 at 38B, the surface of the inorganic bank 40A, and the surface of the organic bank 40B, tend to take on lyophilic . さらに、その後、基体30Aに対して、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。 Further, thereafter, to the substrate 30A, plasma treatment is performed as a process gas tetrafluoromethane. 4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク40Bの表面がフッ化処理(撥液性に処理)されて、このことで有機物バンク40Bの表面が撥液性を呈するようになる。 By plasma treatment using tetrafluoromethane, the surface of the organic bank 40B in each of the recess is fluorination treatment (treatment liquid repellency), such that the surface of the organic bank 40B in this exhibits liquid repellency Become. なお、4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極36の表面および無機物バンク40Aの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。 Incidentally, by the plasma process using tetrafluoromethane, the surface of the surface and the inorganic bank 40A of the pixel electrode 36 given the lyophilic previously lose the lyophilic slightly, but still maintains the lyophilic .

なお、画素電極36の材質、無機バンク40の材質、および有機バンク40の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。 The material of the pixel electrodes 36, the material of the inorganic banks 40, and depending on the material of the organic banks 40, even without a surface treatment described above, the resulting surface exhibits a desired lyophilic and non-lyophilic Sometimes. そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。 In such a case, it is not subjected to the surface treatment.
また、表面処理が施された複数の画素電極36のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層37R、37G、37Bを形成してもよい。 Further, on each of the plurality of pixel electrodes 36 thus subjected to the surface treatment, corresponding hole transport layers 37R, 37G, it may be formed 37B. 正孔輸送層37R、37G、37Bが、画素電極36と、後述の発光層211FR、211FG、211FBとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。 Hole transport layer 37R, 37G, 37B is, the pixel electrode 36, described later of the light-emitting layer 211FR, 211FG, if positioned between the 211FB, luminous efficiency of the electroluminescence display device is increased.

上記のようにして画素38R、38G、38Bが形成された基体30Aに対し、図10(a)〜(c)に示すように、本発明の液滴吐出装置1を用いて、前述したカラーフィルタ基板10の場合と同様に、各画素38R、38G、38Bに対し、それぞれ、液状材料211R、211G、211Bを付与する。 Pixels 38R as described above, 38G, to base 30A of 38B is formed, as shown in FIG. 10 (a) ~ (c), using the droplet ejection apparatus 1 of the present invention, a color filter described above as with the substrate 10, the pixel 38R, 38G, to 38B, respectively, the liquid material 211R, 211G, and 211B to impart. 液状材料211Rは、赤色の有機発光材料を含むものであり、液状材料211Gは、緑色の有機発光材料を含むものであり、液状材料211Bは、青色の有機発光材料を含むものである。 Liquid material 211R includes a red organic luminescent material, the liquid material 211G includes a green organic luminescent material, the liquid material 211B includes a blue organic light emitting material.

その後、基体30Aを乾燥装置へ移送して、各画素38R、38G、38Bに付与された液状材料211R、211G、211Bを乾燥させることにより、各画素38R、38G、38B上に発光層211FR、FG、FBが得られる。 Then transfer the substrate 30A to the drying device, each pixel 38R, 38G, liquid material was applied to 38B 211R, 211G, by drying the 211B, each pixel 38R, 38G, 38B emitting layer on 211FR, FG , FB is obtained.
次に、発光層211FR、211FG、211FB、およびバンク40を覆うように対向電極46を設ける。 Next, the light emitting layer 211FR, 211FG, 211FB, and to cover the bank 40 provided opposing electrode 46. 対向電極46は陰極として機能する。 Counter electrode 46 functions as a cathode.

その後、封止基板48と基体30Aとを、互いの周辺部で接着することで、図10(d)に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置30が得られる。 Then, a sealing substrate 48 and the substrate 30A, by bonding with their peripheral portions, the organic electroluminescent display device 30 shown in FIG. 10 (d) is obtained. なお、封止基板48と基体30Aとの間には不活性ガス49が封入されている。 Incidentally, the inert gas 49 is sealed between the sealing substrate 48 and the substrate 30A.
有機エレクトロルミネッセンス表示装置30において、発光層211FR、211FG、211FBから発光した光は、画素電極36と、回路素子層34と、支持基板32と、を介して射出する。 In the organic electroluminescent display device 30, light emitting layer 211FR, 211FG, light emitted from 211FB includes a pixel electrode 36, the circuit element layers 34 and the supporting substrate 32 and emitted through the. このように回路素子層34を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。 The electroluminescent display device in which light is emitted through the circuit element layer 34 in this manner is called as a bottom emission type display device.

以上、本発明を液晶表示装置(カラーフィルタ基板)の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置(SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)またはFED(Field Emission Display)と呼ばれることもある)の製造にも適用することができる。 Above, a method of manufacturing a liquid crystal display of the present invention (the color filter substrate), has been described as applied to the manufacture of electroluminescent display device, the present invention is not limited to, for example, a back substrate of a plasma display device manufacture or can be applied to the production of an image display apparatus having an electron emitting device (SED (sometimes referred to as Surface-Conduction electron-Emitter display) or FED (Field emission display)).

<本発明の電子機器の実施形態> <Embodiment of the electronic apparatus of the present invention>
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板10を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置1000は、各種電子機器の表示部に用いることができる。 And a liquid crystal display device comprising the color filter substrate 10 manufactured in the manner described above, the image display device 1000 of the electroluminescent display device or the like which is produced in the manner described above is used in the display portion of various electronic devices be able to.
図11は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 Figure 11 is a perspective view showing a configuration of a mobile personal computer to which the electronic device (or notebook) of the present invention.

この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。 In this figure, the personal computer 1100 includes a main body 1104 having a keyboard 1102 and a display unit 1106, display unit 1106, it is rotatably supported via a hinge structure portion with respect to the main body portion 1104 there.
このパーソナルコンピュータ1100においては、表示ユニット1106が画像表示装置1000を備えている。 In the personal computer 1100, the display unit 1106 includes the image display device 1000.

図12は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。 Figure 12 is a perspective view showing the configuration of a cellular phone to which an electronic apparatus of the present invention (including PHS).
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206とともに、画像表示装置1000を表示部に備えている。 In this figure, a cellular phone 1200 includes a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204, a mouthpiece 1206, and an image display device 1000 on the display unit.
図13は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。 Figure 13 is a perspective view showing a structure of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention. なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。 Incidentally, in this figure, which is also briefly shown External Connection.

ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。 In a conventional camera, with respect to a silver salt film is exposed to the optical image of a subject, the digital still camera 1300 photoelectrically converts the imaging device the optical image of a subject such as CCD (Charge Coupled Device) generating an imaging signal (image signal).
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、画像表示装置1000が表示部に設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。 Finder on the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, an image display device 1000 is provided on the display unit, and configured to perform display on the basis of a pickup signal from the CCD, for displaying a subject as an electronic image to function as.
ケースの内部には、回路基板1308が設置されている。 Inside the casing, the circuit board 1308 is installed. この回路基板1308は、撮像信号を格納(記憶)し得るメモリが設置されている。 The circuit board 1308, memory is provided which can of storing an image pickup signal.

また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。 Furthermore, (in the illustrated configuration the back side) the front side of the case 1302, the receiving unit 1304 is provided including an optical lens (imaging optical system), CCD.
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。 A photographer confirms a subject image displayed on the display unit, and presses the shutter button 1306, CCD image pickup signal at that time is transferred and stored in the memory of the circuit board 1308.

また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。 In the digital still camera 1300, the side surface of the case 1302, a video signal output terminal 1312 and an input-output terminal 1314 for data communication are provided. そして、図示のように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、デ−タ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。 Then, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312 - personal computer 1440 to the input-output terminal 1314 for data communication are connected respectively, as needed. さらに、所定の操作により、回路基板1308のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。 Furthermore, by a predetermined operation, the imaging signal stored in the memory of the circuit board 1308 has a configuration which is outputted to the television monitor 1430 or the personal computer 1440.

なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、タッチパネルを備えた機器(例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機)、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例 The electronic apparatus of the present invention, the above-described personal computer (mobile personal computer), mobile phone, and the digital still camera, for example, a television, a video camera, a viewfinder type or monitor direct view type video tape recorder , laptop personal computers, car navigation equipment, (including those with communication function) pager, an electronic notebook, an electronic dictionary, a calculator, an electronic game machine, a word processor, a work station, a video phone, a security television monitor, an electronic binoculars, POS terminals , apparatuses with touch panel (for example, a financial institution cash dispensers, ticket vending machines), medical devices (electronic thermometers, blood pressure meters, blood sugar meters, electrocardiogram displaying devices, ultrasound diagnostic apparatus, an endoscopic display device), fish finder, various measuring instruments, meters and gauges (for example, ば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。 If, gages for vehicles, aircraft, and ships), a flight simulator, various monitors, and a projection display such as a projector.
以上、本発明の液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。 Above, the droplet ejection apparatus of the present invention, a method of manufacturing a panel, have been described for the embodiment shown the image display device and an electronic apparatus, the present invention is not limited thereto. 液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。 Each unit constituting the liquid droplet ejection apparatus can be replaced with an arbitrary configuration capable of exhibiting the same function. また、任意の構成物が付加されていてもよい。 Or it may be added with a arbitrary structures.

本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。 Perspective view of an embodiment of a droplet discharge apparatus of the present invention. 図1に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニット、および基体を示す平面図。 Plan view illustrating the head unit, and the substrate in the droplet ejection apparatus shown in FIG. 液滴吐出ヘッドのノズル面(ノズルプレート)の一部と、基体の画素とを拡大して示す平面図。 Enlarged plan view showing a part of the nozzle surface of the droplet discharge head (nozzle plate), and a substrate of the pixel. 図1に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、(a)は断面斜視図、(b)は断面図。 Is a diagram illustrating a droplet discharge head of the droplet ejection apparatus shown in FIG. 1, (a) is a sectional perspective view, (b) is a cross-sectional view. 図1に示す液滴吐出装置のブロック図。 Block diagram of the droplet ejection apparatus shown in FIG. (a)はヘッド駆動部を示す模式図、(b)はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。 (A) is a schematic view showing a head drive unit, (b) is a timing chart showing a driving signal, selection signal and the discharge signal in the head driving unit. カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。 Cross-sectional view showing a manufacturing method of the color filter substrate. 本発明の液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図。 Schematic plan view illustrating the positional relation of each of the droplet ejection heads in the head unit of the droplet ejection apparatus of the present invention. 本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットの他の構成例を模式的に示す平面図。 Plan view of another example of the configuration of the head unit shown schematically in the droplet ejection apparatus of the present invention. 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。 Cross-sectional view showing a manufacturing method of an organic electroluminescence display device. 本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 It is a perspective view showing a configuration of a mobile personal computer to which the electronic apparatus of the present invention (or notebook). 本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図。 Perspective view showing the configuration of a mobile phone to which an electronic apparatus of the present invention (including PHS). 本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。 Perspective view showing a structure of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention. 示す平面図。 Plan view showing.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1……液滴吐出装置 2……液滴吐出ヘッド 21R、21G、21B……第1ヘッド 22R、22G、22B……第2ヘッド 23R、23G、23B……第3ヘッド 24R、24G、24B……第4ヘッド 25……ノズル 26……不使用部分 31R、31G、31B、32R、32G、32B……ヘッド列 51、52、53、54……ヘッド群 61、62……ヘッド群列 91、92……液滴 101……タンク 103、103'……ヘッドユニット 104……キャリッジ移動機構 105……キャリッジ 106……ステージ 108……ステージ移動機構 110……チューブ 111、111R、111G、111B、211R、211G、211B……液状材料 112……制御手段 120……キャビティ 122……隔壁 124……振動 1 ...... droplet discharge device 2 ...... droplet discharge heads 21R, 21G, 21B ...... first head 22R, 22G, 22B ...... second head 23R, 23G, 23B ...... third head 24R, 24G, 24B ... ... fourth head 25 ...... nozzles 26 ...... unused portions 31R, 31G, 31B, 32R, 32G, 32B ...... head rows 51, 52, 53, 54 ...... head group 61, 62 ...... head group column 91, 92 ...... droplet 101 ...... tank 103, 103 '... head unit 104 ...... carriage moving mechanism 105 ... carriage 106 ...... stage 108 ...... stage moving mechanism 110 ... tube 111,111R, 111G, 111B, 211R , 211G, 211B ...... liquid material 112 ...... control means 120 ...... cavity 122 ...... partition wall 124 ...... vibration 124A、124B……電極 124C……ピエゾ素子 126……振動板 128……ノズルプレート 129……液たまり 130……供給口 131……孔 200……バッファメモリ 202……記憶手段 203……駆動信号生成部 204……処理部 206……走査駆動部 208……ヘッド駆動部 AS……アナログスイッチ DS……駆動信号 SC……選択信号 ES……吐出信号 10A、30A……基体 10……カラーフィルタ基板 12、32……支持基板 14……ブラックマトリクス 16、40……バンク 20……保護膜 18R、18G、18B、38R、38G、38B……画素 111FR、111FG、111FB……フィルタ層 30……有機エレクトロルミネッセンス表示装置 34……回路素子層 36……画素電極 40A 124A, 124B ...... electrode 124C ...... piezoelectric element 126 ...... diaphragm 128 ...... nozzle plate 129 ...... liquid reservoir 130 ...... supply port 131 ...... hole 200 ...... buffer memory 202 ...... storage unit 203 ...... driving signal generator 204 ...... processor 206 ...... scan driver 208 ...... head driving unit AS ...... analog switch DS ...... drive signal SC ...... selection signal ES ...... ejection signal 10A, 30A ...... substrate 10 ...... color filter substrate 12, 32 ...... supporting substrate 14 ...... black matrix 16, 40 ...... bank 20 ...... protective film 18R, 18G, 18B, 38R, 38G, 38B ...... pixel 111FR, 111FG, 111FB ...... filter layer 30 ...... The organic electroluminescent display device 34 ...... circuit element layer 36 ...... pixel electrode 40A ……無機物バンク 40B……有機物バンク 42……絶縁膜 44……スイッチング素子 44G……ゲート電極 44S……ソース電極 44D……ドレイン電極 44V……スルーホール 45……層間絶縁膜 46……対向電極 48……封止基板 49……不活性ガス 302……キャリッジ位置検出手段 303……ステージ位置検出手段 1000……画像表示装置 1100……パーソナルコンピュータ 1102……キーボード 1104……本体部 1106……表示ユニット 1200……携帯電話機 1202……操作ボタン 1204……受話口 1206……送話口 1300……ディジタルスチルカメラ 1302……ケース(ボディー) 1304……受光ユニット 1306……シャッタボタン 1308……回路基板 1312……ビデオ信号 ...... inorganic bank 40B ...... organic bank 42 ...... insulating film 44 ...... switching element 44G ...... gate electrode 44S ...... source electrode 44D ...... drain electrode 44V ...... through hole 45 ...... interlayer insulating film 46 ...... counter electrode 48 ...... sealing substrate 49 ...... inert gas 302 ...... carriage position detecting means 303 ...... stage position detecting means 1000 ...... image display apparatus 1100 ...... personal computer 1102 ...... keyboard 1104 ...... body portion 1106 ...... display unit 1200 ...... mobile phone 1202 ...... operation buttons 1204 ...... earpiece 1206 ...... mouthpiece 1300 ...... digital still camera 1302 ...... case (body) 1304 ...... light receiving unit 1306 ...... shutter button 1308 ...... circuit board 1312 ...... video signal 出力端子 1314……データ通信用の入出力端子 1430……テレビモニタ 1440……パーソナルコンピュータ 37R、37G、37B……正孔輸送層 211FR、211FG、211FB……発光層 Output terminal 1314 input-output terminal 1430 ...... television monitor 1440 ...... personal computer 37R of ...... for data communication, 37G, 37B ...... hole transport layer 211FR, 211FG, 211FB ...... luminescent layer

Claims (6)

  1. 液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、 A head unit droplet ejection heads is installed a plurality of plurality of nozzles for ejecting the liquid material as droplets having a nozzle row aligned linearly,
    予め定められた複数の吐出区画を有する基体を保持するステージと、 A stage for holding a substrate having a plurality of ejection regions predetermined,
    前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、 Moving means for relatively moving the the stage and the head unit,
    前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、 And control means for controlling the operation of the liquid droplet ejection head and the moving means,
    前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上の吐出区画内へ付与して表示装置のパネルを製造するのに用いる液滴吐出装置であって、 Wherein actuation of the movement means by relatively moving the said and the substrate head unit in a direction perpendicular to the nozzle array, applying to said liquid material discharged as droplets from the nozzle into the discharge compartment on the substrate a droplet discharge device used to produce the panel of the display device Te,
    前記ヘッドユニットは、ノズル列に直交する方向から見て第1の液滴吐出ヘッドと第2の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第1のヘッド列と、ノズル列に直交する方向から見て第3の液滴吐出ヘッドと第4の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第2のヘッド列とを有し、 The head unit so as to eject the first droplet ejection head and a droplet of the second liquid droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array a first head row formed is disposed, the third droplet ejection head and the liquid of the fourth droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array and a second head row formed are arranged to discharge droplets,
    前記第1の液滴吐出ヘッド、前記第2の液滴吐出ヘッド、前記第3の液滴吐出ヘッドおよび前記第4の液滴吐出ヘッドには、それぞれ、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されており、 The first droplet ejection head, the second droplet ejection head, the third droplet ejection head and the fourth droplet ejection head, respectively, two nozzle rows are shifted by half a pitch parallel has been formed,
    前記第1のヘッド列のノズルの位置と、前記第2のヘッド列のノズルの位置とが、ノズル列に直交する方向から見て一致しないようにずらして配置されており、 The position of the nozzle of the first head column, the position of the nozzle of the second head row are staggered so as not to coincide when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array,
    前記ヘッドユニットと前記基体との1回の相対移動によって前記ヘッドユニットから前記基体上に液滴が吐出される範囲は、前記相対移動の方向と直交する方向に沿って複数の領域に分かれ、各領域内の吐出区画に対しては、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与することを特徴とする液滴吐出装置。 Range droplets are ejected onto said substrate from said head unit by a relative movement of one of said head unit and said substrate is divided into a plurality of regions along a direction perpendicular to the direction of the relative movement, each for ejection regions in the region, the droplet discharge apparatus characterized by imparting liquid droplets ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas.
  2. 前記領域内の吐出区画に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの組み合わせは、当該領域に隣接する領域内の吐出区画に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの組み合わせに対し、少なくとも一つの液滴吐出ヘッドが共通している請求項1に記載の液滴吐出装置。 The combination of droplet ejection heads for ejecting liquid droplets to the discharge compartment in the area, compared the combination of droplet ejection heads for ejecting liquid droplets to the discharge compartment in the region adjacent to the region, at least one droplet the apparatus according to claim 1, the ejection head is common.
  3. 前記ヘッドユニットには、互いに異なる色の液状材料の液滴を吐出する複数組の液滴吐出ヘッドが設置されており、前記領域の境界の位置が各色ごとに異なる請求項1または2に記載の液滴吐出装置。 The said head unit, different colors from each other a plurality of sets of droplet ejection heads for ejecting liquid droplets of the liquid material is installed, the position of the boundary of the region according to different claims 1 or 2 for each color the droplet discharge device.
  4. 液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、予め定められた複数の吐出区画を有する基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上の吐出区画内へ付与する工程を有する表示装置のパネルの製造方法であって、 A head unit droplet ejection heads is installed a plurality, and a substrate having a plurality of ejection regions for predetermined direction are relatively moved perpendicular to the droplet nozzle array formed in the discharge head, a method of manufacturing a panel of a display device having a step of applying the liquid material discharged as droplets from the nozzle into the discharge compartment on the substrate,
    前記ヘッドユニットは、ノズル列に直交する方向から見て第1の液滴吐出ヘッドと第2の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第1のヘッド列と、ノズル列に直交する方向から見て第3の液滴吐出ヘッドと第4の液滴吐出ヘッドのノズル列が連続して配置され同色の液状材料の液滴を吐出するように配置されてなる第2のヘッド列とを有し、 The head unit so as to eject the first droplet ejection head and a droplet of the second liquid droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array a first head row formed is disposed, the third droplet ejection head and the liquid of the fourth droplet nozzle array of the ejection head is arranged in series the same color of the liquid material when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array and a second head row formed are arranged to discharge droplets,
    前記第1の液滴吐出ヘッド、前記第2の液滴吐出ヘッド、前記第3の液滴吐出ヘッドおよび前記第4の液滴吐出ヘッドには、それぞれ、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されており、 The first droplet ejection head, the second droplet ejection head, the third droplet ejection head and the fourth droplet ejection head, respectively, two nozzle rows are shifted by half a pitch parallel has been formed,
    前記第1のヘッド列のノズルの位置と、前記第2のヘッド列のノズルの位置とが、ノズル列に直交する方向から見て一致しないようにずらして配置されており、 The position of the nozzle of the first head column, the position of the nozzle of the second head row are staggered so as not to coincide when viewed from the direction perpendicular to the nozzle array,
    前記基体と前記ヘッドユニットとを、前記ノズル列に対してほぼ直交する方向に相対的に移動することにより、前記基体上に前記液状材料を付与するに際し、前記ヘッドユニットと前記基体との1回の相対移動によって前記ヘッドユニットから前記基体上に液滴が吐出される範囲は、前記相対移動の方向と直交する方向に沿って複数の領域に分かれ、各領域内の吐出区画に対しては、各領域ごとに異なる組み合わせの複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液滴を付与することを特徴とするパネルの製造方法。 And said base said head unit, by relative movement in a direction substantially orthogonal to the nozzle row, upon imparting the liquid material on the substrate, one of said head unit and said base body range by the relative movement droplets onto said substrate from said head unit is discharged of, divided into the plurality of regions along a direction perpendicular to the direction of relative movement, with respect to the ejection regions in each region, method for producing a panel, which comprises applying a droplet ejected from each nozzle of the plurality of droplet ejection heads of different combinations for each of the areas.
  5. 前記パネルは、液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記液状材料は、フィルタ層を形成するためのインクである請求項4に記載のパネルの製造方法。 The panel is a color filter substrate of a liquid crystal display device, the liquid material, manufacturing method of the panel according to claim 4 which is an ink for forming a filter layer.
  6. 前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものである請求項4に記載のパネルの製造方法。 The panel is an electroluminescent display device, the liquid material, manufacturing method of making a panel as claimed in claim 4 in which comprises a luminescent material.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10166574A (en) * 1996-12-10 1998-06-23 Brother Ind Ltd Ink jet line head
JP2000006389A (en) * 1998-06-29 2000-01-11 Konica Corp Ink jet printer
JP2000289233A (en) * 1999-04-05 2000-10-17 Casio Comput Co Ltd Print head
JP2002096462A (en) * 2000-07-21 2002-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd Recording head
JP2002292859A (en) * 2001-03-30 2002-10-09 Fuji Photo Film Co Ltd Recording head and ink jet printer
JP2003305853A (en) * 2002-04-12 2003-10-28 Canon Inc Recording head, and recorder equipped with the same
JP2004230660A (en) * 2002-01-30 2004-08-19 Seiko Epson Corp Liquid droplet ejection head, ejection method and device therefor, electrooptic device, method and equipment for manufacturing the same, color filter, method and apparatus for producing the same, device with base material, and method and apparatus for producing the same
JP2004243267A (en) * 2003-02-17 2004-09-02 Seiko Epson Corp Droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic apparatus
JP2004255335A (en) * 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp Method and apparatus for discharging liquid substance, manufacture method for color filter and color filter, liquid crystal display device, manufacture method for electroluminescence device, electroluminescence device, manufacture method for plasma display panel, plasma display panel, and electronic equipment

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10166574A (en) * 1996-12-10 1998-06-23 Brother Ind Ltd Ink jet line head
JP2000006389A (en) * 1998-06-29 2000-01-11 Konica Corp Ink jet printer
JP2000289233A (en) * 1999-04-05 2000-10-17 Casio Comput Co Ltd Print head
JP2002096462A (en) * 2000-07-21 2002-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd Recording head
JP2002292859A (en) * 2001-03-30 2002-10-09 Fuji Photo Film Co Ltd Recording head and ink jet printer
JP2004230660A (en) * 2002-01-30 2004-08-19 Seiko Epson Corp Liquid droplet ejection head, ejection method and device therefor, electrooptic device, method and equipment for manufacturing the same, color filter, method and apparatus for producing the same, device with base material, and method and apparatus for producing the same
JP2003305853A (en) * 2002-04-12 2003-10-28 Canon Inc Recording head, and recorder equipped with the same
JP2004243267A (en) * 2003-02-17 2004-09-02 Seiko Epson Corp Droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic apparatus
JP2004255335A (en) * 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp Method and apparatus for discharging liquid substance, manufacture method for color filter and color filter, liquid crystal display device, manufacture method for electroluminescence device, electroluminescence device, manufacture method for plasma display panel, plasma display panel, and electronic equipment

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