JP4704691B2 - Semiconductor memory device - Google Patents

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Description

この発明はリフレッシュ動作を必要とする半導体記憶装置に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor memory device that requires a refresh operation.

半導体記憶装置のダイナミック型RAMを構成する各メモリセルは、情報を電荷の有無によって保持するキャパシタと、このキャパシタに接続されるアドレス選択用のMOSFETとによって構成されている。このようなメモリセルでは、例えば、キャパシタが充電された状態をデータ「1」とし、逆に放電された状態をデータ「0」とすることにより、情報を保持している。   Each memory cell constituting the dynamic RAM of the semiconductor memory device includes a capacitor that holds information depending on the presence or absence of electric charge, and an address selection MOSFET connected to the capacitor. In such a memory cell, for example, information is held by setting a state in which the capacitor is charged as data “1” and conversely setting the discharged state as data “0”.

ところが、キャパシタは充電後の経過時間と共に充電された電荷がリーク電流等により減少していく。このため、従来の半導体記憶装置では、所定周期でメモリセルに記憶されている情報を読み出して増幅し、再度同じメモリセルに書き込み更新する、いわゆるリフレッシュ動作を行っている。   However, in the capacitor, the charged electric charge decreases with leakage current or the like with the elapsed time after charging. For this reason, the conventional semiconductor memory device performs a so-called refresh operation in which information stored in a memory cell is read and amplified at a predetermined cycle, and is written and updated again in the same memory cell.

図4は従来の半導体記憶装置のリフレッシュ動作に関連する部分の構成を示すブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a portion related to a refresh operation of a conventional semiconductor memory device.

図4に示すように、半導体記憶装置は複数のメモリセルが配列形成されているメモリアレイ1を備える。また、半導体記憶装置はメモリアレイ1の各メモリセルから読み出されたデータを増幅するセンスアンプ5と、センスアンプ5にメモリアレイ1のコラムアドレスの選択信号を出力するコラムデコーダ6と、外部からのコラムアドレス信号をバッファしてコラムデコーダ6に出力するコラムアドレスバッファ7とを備える。   As shown in FIG. 4, the semiconductor memory device includes a memory array 1 in which a plurality of memory cells are arranged. The semiconductor memory device also includes a sense amplifier 5 that amplifies data read from each memory cell of the memory array 1, a column decoder 6 that outputs a selection signal for the column address of the memory array 1 to the sense amplifier 5, and an external device. And a column address buffer 7 for buffering the column address signal and outputting it to the column decoder 6.

また、半導体記憶装置はメモリアレイ1にローアドレスの選択信号を出力するローデコーダ2と、外部からのローアドレス信号をバッファしてローデコーダに2に出力するローアドレスバッファ4とを備える。このローデコーダ2とローアドレスバッファ4との間には、ローアドレスバッファ4からのローアドレス信号とリフレッシュアドレス生成回路10で生成されたセルフリフレッシュ動作用アドレス信号とを選択してローデコーダ2に出力するマルチプレクサ3を備える。リフレッシュアドレス生成回路10は、リフレッシュタイミングを制御するリフレッシュコントローラ11と、リフレッシュコントローラ11からの制御信号により所定周期でクロック信号を生成するリフレッシュタイマ12と、クロック信号をカウントしてセルフリフレッシュ動作用アドレス信号を生成し、マルチプレクサ3に出力するアドレスカウンタ13とを備える。   The semiconductor memory device also includes a row decoder 2 that outputs a row address selection signal to the memory array 1 and a row address buffer 4 that buffers a row address signal from the outside and outputs the row address signal to the row decoder 2. Between the row decoder 2 and the row address buffer 4, the row address signal from the row address buffer 4 and the address signal for self-refresh operation generated by the refresh address generation circuit 10 are selected and output to the row decoder 2. The multiplexer 3 is provided. The refresh address generation circuit 10 includes a refresh controller 11 that controls refresh timing, a refresh timer 12 that generates a clock signal at a predetermined period in response to a control signal from the refresh controller 11, and an address signal for self-refresh operation by counting the clock signal. And an address counter 13 that outputs to the multiplexer 3.

このような従来の半導体記憶装置では、通常、外部からのアドレス入力による外部リフレッシュ方式と、内蔵回路により所定周期で行われるセルフリフレッシュ方式とを備える。   Such a conventional semiconductor memory device usually includes an external refresh method by external address input and a self-refresh method performed by a built-in circuit at a predetermined cycle.

セルフリフレッシュ方式では、リフレッシュコントローラ11により設定された周期で、リフレッシュタイマ12がクロック信号を発生し、アドレスカウンタ13でこのクロック信号をカウントして、セルフリフレッシュを行うメモリセルのアドレス信号(セルフリフレッシュ動作用アドレス信号)を生成する。このセルフリフレッシュ動作用アドレス信号はマルチプレクサ3を介してローデコーダ2に入力され、ローデコーダ2は入力されたセルフリフレッシュ動作用アドレス信号に基づきメモリアレイ1の該当するメモリセルを含む縦列を選択する選択信号を発生する。選択された縦列の各メモリセルのデータは読み出され、センスアンプ5に出力される。センスアンプ5はコラムデコーダ6からの選択信号に応じて、該当するメモリセルのデータを検知して増幅し、再度メモリセルに書き込む。   In the self-refresh method, the refresh timer 12 generates a clock signal at a cycle set by the refresh controller 11, the address counter 13 counts this clock signal, and the address signal (self-refresh operation) of the memory cell that performs self-refresh. Address signal). The address signal for self-refresh operation is input to the row decoder 2 through the multiplexer 3, and the row decoder 2 selects to select a column including the corresponding memory cell of the memory array 1 based on the input address signal for self-refresh operation. Generate a signal. Data of each memory cell in the selected column is read and output to the sense amplifier 5. The sense amplifier 5 detects and amplifies data of the corresponding memory cell in accordance with a selection signal from the column decoder 6 and writes it again into the memory cell.

このような従来の半導体記憶装置のセルフリフレッシュ方式では、メモリアレイの全てのメモリセルに対して同じ周期でリフレッシュ動作を行う。この場合、全てのメモリセルで確実にデータを記憶しておくため、最悪のケースを想定してプロセス不良等により情報記憶保持時間が最も短いメモリセルに応じた周期が設定されている。このため、大半の問題ないメモリセルでは、データのリフレッシュ動作の回数が必要以上に多くなり、消費電力が大きくなる。特に、メモリに読み書きを行わない場合(非動作状態)には消費電力の殆どがこのリフレッシュ動作によるものであり、省電力化を行う場合、この影響は無視できない。   In the conventional self-refresh method of the semiconductor memory device, the refresh operation is performed at the same cycle for all the memory cells in the memory array. In this case, in order to reliably store data in all the memory cells, the period corresponding to the memory cell with the shortest information storage holding time is set by assuming a worst case due to a process failure or the like. For this reason, in memory cells having no problem, the number of data refresh operations is increased more than necessary, and the power consumption increases. In particular, when reading / writing is not performed on the memory (non-operating state), most of the power consumption is due to this refresh operation, and this effect cannot be ignored when power saving is performed.

このような問題を解決する半導体記憶装置として、予め各メモリセルの情報記憶保持時間を測定し、情報記憶保持時間の短いメモリセルを特定し、このメモリセルに対してのみリフレッシュ時間を短くする装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開昭61−217988号公報
As a semiconductor memory device that solves such a problem, a device that measures information storage holding time of each memory cell in advance, identifies a memory cell having a short information storage holding time, and shortens a refresh time only for this memory cell. Has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
JP-A-61-217988

しかしながら、特許文献1に示された半導体記憶装置では、情報記憶保持時間の短いメモリセルを特定し、この特定されたメモリセルにリフレッシュ動作を行う場合にのみ、他のメモリセル(通常のメモリセル)とは異なるリフレッシュ信号を発生しなければならず、セルフリフレッシュを行うためのクロック信号の周期を変更しなければならない。このため、リフレッシュ動作の制御が複雑となってしまう。   However, in the semiconductor memory device disclosed in Patent Document 1, only when a memory cell having a short information storage holding time is specified and a refresh operation is performed on the specified memory cell, other memory cells (normal memory cells) ) Must be generated, and the cycle of the clock signal for performing self-refresh must be changed. This complicates the control of the refresh operation.

また、情報記憶保持時間の測定は待機状態(非動作状態)とメモリセルに情報を書き込み読み出すまでの動作状態とで行われ、一般に動作状態での情報記憶保持時間の方が非動作状態での情報記憶保持時間よりも短い。これは、動作状態では、メモリアレイのワード線、ビット線、およびメモリセルの相互干渉による影響が強いため、メモリセルに流れるリーク電流が大きくなり、キャパシタに充電されている電荷が早く減少するからである。このため、図4に示す従来の半導体記憶装置および特許文献1に示した半導体記憶装置では、動作状態において最も情報記憶保持時間が短いメモリセルに応じてリフレッシュ動作の周期が決定されるので、非動作状態では必要以上にリフレッシュ動作を行ってしまい、消費電力が増加する。   The information storage retention time is measured in a standby state (non-operation state) and an operation state until information is written to and read from the memory cell. Generally, the information storage retention time in the operation state is more in the non-operation state. It is shorter than the information storage retention time. This is because in the operating state, the influence of mutual interference between the word lines, bit lines, and memory cells of the memory array is strong, so that the leakage current flowing through the memory cells increases and the charge charged in the capacitors decreases quickly. It is. Therefore, in the conventional semiconductor memory device shown in FIG. 4 and the semiconductor memory device shown in Patent Document 1, the refresh operation cycle is determined according to the memory cell having the shortest information storage holding time in the operating state. In the operating state, the refresh operation is performed more than necessary, and the power consumption increases.

この発明の目的は、動作状態、非動作状態のいずれの場合においても確実にメモリセルの情報を記憶し、且つ省電力化された、簡素な構造の半導体記憶装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having a simple structure in which information of a memory cell is reliably stored in both an operating state and a non-operating state, and power saving is achieved.

リフレッシュタイミング信号に応じて、メモリアレイを構成するセルのセルフリフレッシュ動作を行う半導体記憶装置において、所定周期のリフレッシュ信号を生成するリフレッシュ信号生成手段と、メモリアレイに対するリフレッシュ信号よりも短い周期からなる読み出し制御信号またはリフレッシュ信号よりも短い周期からなる書き込み制御信号を検出する動作検出手段と、読み出し制御信号および書き込み制御信号の周期に基づく動作検出手段の出力信号とリフレッシュ信号とを、リフレッシュ信号の所定周期以下の周期となるように合成してリフレッシュタイミング信号を出力するタイミング信号生成手段と、該タイミング信号生成手段から出力される前記リフレッシュタイミング信号に応じてセルフリフレッシュ動作を行うメモリアレイのセルのアドレスデータを生成するアドレスカウンタと、を備え、タイミング信号生成手段は論理和回路であることを特徴としている。 In a semiconductor memory device that performs a self-refresh operation of cells constituting a memory array in response to a refresh timing signal, refresh signal generating means for generating a refresh signal having a predetermined cycle and reading having a cycle shorter than the refresh signal for the memory array An operation detection means for detecting a write control signal having a cycle shorter than that of the control signal or the refresh signal, an output signal of the operation detection means based on the cycle of the read control signal and the write control signal, and the refresh signal, and a predetermined cycle of the refresh signal Timing signal generation means for outputting a refresh timing signal by synthesizing so as to have the following cycle, and a memory for performing a self-refresh operation in accordance with the refresh timing signal output from the timing signal generation means Comprising an address counter for generating address data of the ray cells, the timing signal generating means is characterized by a logical sum circuit.

この構成では、メモリアレイの各セルが動作していない状態では、リフレッシュ信号生成手段で生成されるリフレッシュ信号の周期に基づいてメモリアレイの各セルのリフレッシュ動作が行われ、メモリアレイの各セルが動作している状態では、リフレッシュ信号と動作検出手段の出力信号との合成信号であるリフレッシュタイミング信号の周期に基づいてメモリアレイの各セルのリフレッシュ動作が行われる。この際、半導体記憶装置では、通常、リフレッシュタイミングと読み出しまたは書き込みタイミングは同期しないように制御されているので、リフレッシュタイミング信号の周期はリフレッシュ信号の周期よりも短くなる。   In this configuration, when each cell of the memory array is not operating, the refresh operation of each cell of the memory array is performed based on the cycle of the refresh signal generated by the refresh signal generating means, and each cell of the memory array is In the operating state, the refresh operation of each cell of the memory array is performed based on the cycle of the refresh timing signal which is a combined signal of the refresh signal and the output signal of the operation detecting means. At this time, in the semiconductor memory device, normally, the refresh timing and the read or write timing are controlled so as not to be synchronized, so the cycle of the refresh timing signal is shorter than the cycle of the refresh signal.

また、この発明の半導体記憶装置は、リフレッシュ信号生成手段で、メモリアレイを構成する全てのセルの非動作状態での最低情報記憶保持時間よりも短く、且つ、読み出し制御信号または書き込み制御信号の周期よりも長い周期のリフレッシュ信号が生成されることを特徴としている。   In the semiconductor memory device of the present invention, the refresh signal generating means is shorter than the minimum information storage holding time in the non-operating state of all the cells constituting the memory array, and the cycle of the read control signal or the write control signal A refresh signal with a longer period is generated.

この構成では、メモリアレイの各セルが非動作状態すなわち待機状態にある場合には、この状態で全てのセルが情報を記憶し続けられる最も長い周期でリフレッシュ動作が行われる。一方、メモリセルの各セルが動作状態にある場合には、前記非動作状態のリフレッシュ動作を制御する信号と、読み出し制御信号および書き込み制御信号とにより得られるリフレッシュタイミング信号の周期でリフレッシュ動作が行われる。この際、読み出し制御信号および書き込み制御信号の周期はリフレッシュ信号の周期よりも短く、これらを合成するため、リフレッシュタイミング信号はリフレッシュ信号の周期よりも短くなる。すなわち、動作状態では、非動作状態よりも短い繰り返しタイミングでリフレッシュ動作が行われる。   In this configuration, when each cell of the memory array is in a non-operating state, that is, in a standby state, the refresh operation is performed in the longest cycle in which all cells can continue to store information in this state. On the other hand, when each memory cell is in an operating state, the refresh operation is performed in the cycle of the refresh timing signal obtained from the signal for controlling the refresh operation in the non-operating state, the read control signal, and the write control signal. Is called. At this time, the cycle of the read control signal and the write control signal is shorter than the cycle of the refresh signal, and in order to synthesize them, the refresh timing signal is shorter than the cycle of the refresh signal. That is, in the operating state, the refresh operation is performed with a shorter repetition timing than in the non-operating state.

この構成では、タイミング信号生成手段が論理和回路であることで、リフレッシュ信号生成手段からのリフレッシュ信号と動作検出手段からの出力信号とが単に入力されれば、これらの合成信号であるリフレッシュタイミング信号が出力される。   In this configuration, since the timing signal generation means is an OR circuit, if the refresh signal from the refresh signal generation means and the output signal from the operation detection means are simply input, the refresh timing signal that is a composite signal of these signals is input. Is output.

また、この発明の半導体記憶装置は、動作検出手段を、読み出し制御信号とメモリアレイの読み出し対象セルを選択する選択信号とが入力されることにより検出信号を出力する第1論理積回路と、書き込み制御信号と前記メモリアレイの書き込み対象セルを選択する選択信号とが入力されることにより検出信号を出力する第2論理積回路と、第1、第2論理積回路からの検出信号を入力して、これらの合成信号を出力する論理和回路とで構成することを特徴としている。   In the semiconductor memory device of the present invention, the operation detecting means includes a first AND circuit that outputs a detection signal when a read control signal and a selection signal for selecting a read target cell of the memory array are input, and a write A second AND circuit that outputs a detection signal when a control signal and a selection signal for selecting a write target cell of the memory array are input; and a detection signal from the first and second AND circuits , And a logical sum circuit that outputs these combined signals.

この構成では、読み出し制御信号と書き込み制御信号と選択信号とが単に入力されれば、二つの論理積回路と一つの論理和回路のみからなる回路構成で、前記タイミング信号生成手段(論理和回路)へ与える信号が出力される。   In this configuration, when the read control signal, the write control signal, and the selection signal are simply input, the timing signal generating means (logical sum circuit) has a circuit configuration including only two logical product circuits and one logical sum circuit. The signal given to is output.

この発明によれば、メモリセルが非動作時には動作時よりも長い周期である非動作時の周期に応じてリフレッシュ動作が行われ、メモリセルが動作時には、前記非動作時の周期を基準として、さらにメモリセルの情報の読み出しまたは書き込みの周期に応じて、非動作時よりも短い周期でリフレッシュ動作が行われる。これにより、メモリセルの非動作時に必要以上に短い周期でリフレッシュ動作を行わず、メモリセルの動作時には、確実に保持さている情報を更新できる周期でリフレッシュ動作が行われる。この結果、必要以上にリフレッシュ動作が行われず、省電力化された半導体記憶装置を構成することができる。   According to the present invention, when the memory cell is not operating, the refresh operation is performed according to the non-operating cycle which is longer than the operating time, and when the memory cell is operating, the non-operating cycle is used as a reference. Further, the refresh operation is performed in a cycle shorter than that in the non-operation according to the read / write cycle of the information in the memory cell. As a result, the refresh operation is not performed at a cycle shorter than necessary when the memory cell is not operating, and the refresh operation is performed at a cycle where the stored information can be reliably updated when the memory cell is operating. As a result, a refresh operation is not performed more than necessary, and a power-saving semiconductor memory device can be configured.

また、この発明によれば、読み出し制御信号および書き込み制御信号の周期がメモリセルの非動作時のリフレッシュタイミングを与えるリフレッシュ信号の周期よりも短いので、メモリセルが動作時には、読み出しタイミングおよび書き込みタイミングに基づいて頻繁にリフレッシュ動作が行われるので、確実にメモリセルの情報を更新することができる。   Further, according to the present invention, since the cycle of the read control signal and the write control signal is shorter than the cycle of the refresh signal that gives the refresh timing when the memory cell is not operating, the read timing and the write timing are set when the memory cell is operating. Since the refresh operation is frequently performed based on the information, the information of the memory cell can be surely updated.

また、この発明によれば、リフレッシュタイミング信号を生成する回路が論理和回路のみで構成されるので、複雑な制御を必要とせず、メモリセルの動作状態に応じたリフレッシュ動作を容易に且つ簡素な構成で実現することができる。   In addition, according to the present invention, the circuit for generating the refresh timing signal is composed of only an OR circuit, so that complicated control is not required and the refresh operation according to the operation state of the memory cell can be easily and simply performed. It can be realized with a configuration.

また、この発明によれば、メモリアレイの動作の検出を二つの論理積回路と一つの論理和回路のみで行うので、さらに、複雑な制御を必要とせず、メモリセルの動作状態に応じたリフレッシュ動作を容易に且つ簡素な構成で実現することができる。   In addition, according to the present invention, since the operation of the memory array is detected by only two logical product circuits and one logical sum circuit, further complicated control is not required, and refresh according to the operation state of the memory cell is performed. The operation can be realized easily and with a simple configuration.

本発明の実施形態に係る半導体記憶装置について図1〜3を参照して説明する。
図1は本実施形態に係る半導体記憶装置のリフレッシュ動作に関連する部分の構成を示すブロック図である。
本実施形態の半導体記憶装置は、それぞれが情報を電荷状態で保持するキャパシタと該キャパシタに接続しアドレスの選択信号により動作するMOSFET等の半導体素子とを備える複数のメモリセルが配列形成されているメモリアレイ1を備える。これらメモリセルはメモリアレイ1の横列方向に複数本配線されたワード線と縦列方向に複数本配線されたビット線との交点に配設されている。また、半導体記憶装置はメモリアレイ1の該当するメモリセルを検知して、読み出しデータを増幅するセンスアンプ5と、センスアンプ5にメモリアレイ1のコラムアドレスの選択信号を出力するコラムデコーダ6と、外部からのコラムアドレス信号をバッファしてコラムデコーダ6に出力するコラムアドレスバッファ7とを備える。
A semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a portion related to the refresh operation of the semiconductor memory device according to the present embodiment.
In the semiconductor memory device of this embodiment, a plurality of memory cells each including a capacitor that holds information in a charge state and a semiconductor element such as a MOSFET that is connected to the capacitor and operates according to an address selection signal are arranged. A memory array 1 is provided. These memory cells are arranged at the intersections of a plurality of word lines wired in the row direction of the memory array 1 and a plurality of bit lines wired in the column direction. The semiconductor memory device detects a corresponding memory cell in the memory array 1 and amplifies read data, a column decoder 6 that outputs a selection signal of a column address of the memory array 1 to the sense amplifier 5, And a column address buffer 7 for buffering a column address signal from the outside and outputting it to the column decoder 6.

また、半導体記憶装置はメモリアレイ1にローアドレスの選択信号を出力するローデコーダ2と、外部からのローアドレス信号をバッファしてローデコーダに2に出力するローアドレスバッファ4とを備える。そして、このローデコーダ2とローアドレスバッファ4との間には、ローアドレスバッファ4からのローアドレス信号とリフレッシュアドレス生成回路10で生成されたセルフリフレッシュ動作用アドレス信号とを選択してローデコーダ4に出力するマルチプレクサ3を備える。   The semiconductor memory device also includes a row decoder 2 that outputs a row address selection signal to the memory array 1 and a row address buffer 4 that buffers a row address signal from the outside and outputs the row address signal to the row decoder 2. A row address signal from the row address buffer 4 and a self-refresh operation address signal generated by the refresh address generation circuit 10 are selected between the row decoder 2 and the row address buffer 4 to select the row decoder 4. Is provided.

リフレッシュアドレス生成回路10は、セルフリフレッシュタイミングを制御するリフレッシュコントローラ11と、リフレッシュコントローラ11からの制御信号により所定周期でクロック信号を生成するリフレッシュタイマ12とを備える。また、リフレッシュアドレス生成回路10は、読み出し制御信号(OE)と、チップセレクト信号(CS)と、書き込み制御信号(WE)とに基づき、メモリアレイ1にアクセス中であるかどうかを検出して、動作検出信号を生成する動作検出回路18を備える。そして、リフレッシュアドレス生成回路10は、リフレッシュタイマ12から出力されるクロック信号と、動作検出回路18から出力される動作検出信号とを入力してこれらの合成信号をリフレッシュタイミング信号として出力する論理和回路14と、この論理和回路14からのリフレッシュタイミング信号に基づきリフレッシュ動作を行うセルのローアドレスを与えるセルフリフレッシュ動作用アドレス信号を生成するアドレスカウンタ13とを備える。また、動作検出回路18は、読み出し制御信号(OE)とチップセレクト信号(CS)とに基づき読み出し動作検出信号を出力する論理積回路16と、書き込み制御信号(WE)とチップセレクト信号(CS)とに基づき書き込み動作検出信号を出力する論理積回路17と、これら論理積回路16,17の出力信号を合成して動作検出信号を出力する論理和回路15とを備える。ここで、リフレッシュコントローラ11とリフレッシュタイマ12とが本発明の「リフレッシュ信号生成手段」に相当し、論理和回路14が本発明の「タイミング信号生成手段」に相当する。また、論理積回路16が本発明の「第1論理積回路」に相当し、論理積回路17が本発明の「第2論理積回路」に相当する。そして、論理積回路15が本発明の「動作信号検出手段の論理和回路」に相当する。   The refresh address generation circuit 10 includes a refresh controller 11 that controls self-refresh timing, and a refresh timer 12 that generates a clock signal at a predetermined period by a control signal from the refresh controller 11. The refresh address generation circuit 10 detects whether or not the memory array 1 is being accessed based on the read control signal (OE), the chip select signal (CS), and the write control signal (WE). An operation detection circuit 18 that generates an operation detection signal is provided. Then, the refresh address generation circuit 10 receives the clock signal output from the refresh timer 12 and the operation detection signal output from the operation detection circuit 18, and outputs these combined signals as a refresh timing signal. 14 and an address counter 13 that generates a self-refresh operation address signal that gives a row address of a cell that performs a refresh operation based on the refresh timing signal from the OR circuit 14. The operation detection circuit 18 outputs a read operation detection signal based on the read control signal (OE) and the chip select signal (CS), a write control signal (WE), and a chip select signal (CS). And an AND circuit 15 that outputs the operation detection signal by combining the output signals of the AND circuits 16 and 17. Here, the refresh controller 11 and the refresh timer 12 correspond to “refresh signal generation means” of the present invention, and the OR circuit 14 corresponds to “timing signal generation means” of the present invention. The AND circuit 16 corresponds to the “first AND circuit” of the present invention, and the AND circuit 17 corresponds to the “second AND circuit” of the present invention. The AND circuit 15 corresponds to the “OR circuit of the operation signal detection means” of the present invention.

また、半導体記憶装置は、読み出し制御信号(OE)とチップセレクト信号(CS)とに基づき半導体記憶装置各部の読み出し動作の制御を行うリード制御信号を生成するリードコントローラ21と、書き込み制御信号(WE)とチップセレクト信号(CS)とに基づき半導体記憶装置各部の書き込み動作を制御を行うライト制御信号を生成するライトコントローラ22とを備える。   The semiconductor memory device also includes a read controller 21 that generates a read control signal for controlling a read operation of each part of the semiconductor memory device based on a read control signal (OE) and a chip select signal (CS), and a write control signal (WE). ) And a chip select signal (CS) and a write controller 22 for generating a write control signal for controlling the write operation of each part of the semiconductor memory device.

このような半導体記憶装置では、データの書き込みは以下のように行われる。
図示していないマイクロプロセッサからデータの書き込み制御信号(WE)が出力されると、ライトコントローラ22はチップセレクト信号(CS)に基づいてライト制御信号を生成し、装置内の書き込み動作に関与する各部に出力する。これと同時に、マイクロプロセッサからは、ローアドレスバッファ4とコラムアドレスバッファ7とのそれぞれにローアドレス信号およびコラムアドレス信号がデータバスを介して入力される。ローアドレスバッファ4は入力されたローアドレス信号をバッファしてマルチプレクサ3を介してローデコーダ2に出力する。ローデコーダ2は入力されたローアドレス信号に基づき該当するワード線を選択するワード線選択信号をメモリアレイ1に出力する。一方、コラムアドレスバッファ7は入力されたコラムアドレス信号をバッファしてコラムデコーダ6に出力する。コラムデコーダ6は入力されたコラムアドレス信号に基づき該当するビット線を選択するビット線選択信号をセンスアンプ5に出力する。センスアンプ5は入力されたビット線選択信号と、メモリアレイ1に与えられたワード線選択信号とに基づき、選択されたワード線とビット線との交点に配設されたメモリセルを検知する。そして、センスアンプ5は、前記ライトコントローラから出力されるライト制御信号に応じて、データ入出力部8から入力されたデータを検知したメモリセルに書き込む。
In such a semiconductor memory device, data is written as follows.
When a data write control signal (WE) is output from a microprocessor (not shown), the write controller 22 generates a write control signal based on the chip select signal (CS), and each unit involved in the write operation in the apparatus. Output to. At the same time, a row address signal and a column address signal are input from the microprocessor to the row address buffer 4 and the column address buffer 7 via the data bus. The row address buffer 4 buffers the input row address signal and outputs it to the row decoder 2 via the multiplexer 3. The row decoder 2 outputs a word line selection signal for selecting a corresponding word line to the memory array 1 based on the input row address signal. On the other hand, the column address buffer 7 buffers the input column address signal and outputs it to the column decoder 6. The column decoder 6 outputs a bit line selection signal for selecting a corresponding bit line to the sense amplifier 5 based on the input column address signal. The sense amplifier 5 detects a memory cell disposed at the intersection of the selected word line and the bit line based on the input bit line selection signal and the word line selection signal applied to the memory array 1. The sense amplifier 5 writes the data input from the data input / output unit 8 in the detected memory cell in accordance with the write control signal output from the write controller.

一方、データの読み込みは以下のように行われる。
図示していないマイクロプロセッサからデータの読み込み制御信号(OE)が出力されると、リードコントローラ21はチップセレクト信号(CS)に基づいてリード制御信号を生成し、装置内の書き込み動作に関与する各部に出力する。これと同時に、マイクロプロセッサからは、ローアドレスバッファ4とコラムアドレスバッファ7とのそれぞれにローアドレス信号およびコラムアドレス信号がデータバスを介して入力される。ローアドレスバッファ4は入力されたローアドレス信号をバッファしてマルチプレクサ3を介してローデコーダ2に出力する。ローデコーダ2は入力されたローアドレス信号に基づき該当するワード線を選択するワード線選択信号をメモリアレイ1に出力する。一方、コラムアドレスバッファ7は入力されたコラムアドレス信号をバッファしてコラムデコーダ6に出力する。コラムデコーダ6は入力されたコラムアドレス信号に基づき該当するビット線を選択するビット線選択信号をセンスアンプ5に出力する。センスアンプ5は入力されたビット線選択信号と、メモリアレイ1に与えられたワード線選択信号とに基づき、選択されたワード線とビット線との交点に配設されたメモリセルを検知する。そして、センスアンプ5は、前記リードコントローラ21から出力されるリード制御信号に応じて、該当するメモリセルに書き込まれているデータを読み出して増幅し、データ入出力部8に出力する。
On the other hand, data is read as follows.
When a data read control signal (OE) is output from a microprocessor (not shown), the read controller 21 generates a read control signal based on the chip select signal (CS), and each part involved in the write operation in the apparatus. Output to. At the same time, a row address signal and a column address signal are input from the microprocessor to the row address buffer 4 and the column address buffer 7 via the data bus. The row address buffer 4 buffers the input row address signal and outputs it to the row decoder 2 via the multiplexer 3. The row decoder 2 outputs a word line selection signal for selecting a corresponding word line to the memory array 1 based on the input row address signal. On the other hand, the column address buffer 7 buffers the input column address signal and outputs it to the column decoder 6. The column decoder 6 outputs a bit line selection signal for selecting a corresponding bit line to the sense amplifier 5 based on the input column address signal. The sense amplifier 5 detects a memory cell disposed at the intersection of the selected word line and the bit line based on the input bit line selection signal and the word line selection signal applied to the memory array 1. The sense amplifier 5 reads and amplifies the data written in the corresponding memory cell in accordance with the read control signal output from the read controller 21, and outputs the amplified data to the data input / output unit 8.

このような半導体記憶装置では、前述のように各メモリセルの経時的に揮発するデータを保持するため、リフレッシュ動作を行う。このリフレッシュ動作とは、前述のように外部入力によるリフレッシュ動作と、内部回路でタイミングを発生するセルフリフレッシュ動作とがある。外部入力によるリフレッシュ動作は、外部からリフレッシュ動作の制御が入力されると入力されたリフレッシュアドレスに従い、前述の読み出し動作を行い、センスアンプ5で読み出されたデータを増幅して、該当するメモリセルに再度書き込むことにより実現される。   In such a semiconductor memory device, a refresh operation is performed in order to hold data that volatilizes with time in each memory cell as described above. As described above, the refresh operation includes a refresh operation by an external input and a self-refresh operation that generates timing in an internal circuit. In the refresh operation by an external input, when the control of the refresh operation is input from the outside, the read operation is performed according to the input refresh address, the data read by the sense amplifier 5 is amplified, and the corresponding memory cell This is realized by rewriting to.

次に、本実施形態の半導体記憶装置のセルフリフレッシュ動作について図2、図3を参照して説明する。
図2は半導体記憶装置が動作時のセルフリフレッシュ動作の信号を示すタイミングチャートであり、図3は半導体記憶装置が非動作時のセルフリフレッシュ動作の信号を示すタイミングチャートである。
(1)半導体記憶装置が動作状態の場合(図2に対応)
セルフリフレッシュ動作が設定されていると、リフレッシュコントローラ11は、予め設定されている周期Ts でクロック信号を発生する制御信号をリフレッシュタイマ12に出力する。リフレッシュタイマ12はこの制御信号に応じて周期Ts でパルスが繰り返されるクロック信号(図2(a)に示す信号)を出力する。このクロック信号の周期Ts は、半導体記憶装置の製造最終段階で、メモリアレイを構成する全てのメモリセルに対して、非動作状態での情報記憶保持時間を測定し、この情報記憶保持時間から所定のマージン時間を減算して設定されている。このクロック信号が本発明の「リフレッシュ信号」に相当する。
Next, the self-refresh operation of the semiconductor memory device of this embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 2 is a timing chart showing a signal of a self-refresh operation when the semiconductor memory device is operating, and FIG. 3 is a timing chart showing a signal of a self-refresh operation when the semiconductor memory device is not operating.
(1) When the semiconductor memory device is in an operating state (corresponding to FIG. 2)
When the self-refresh operation is set, the refresh controller 11 outputs a control signal for generating a clock signal at a preset cycle T s to the refresh timer 12. In response to this control signal, the refresh timer 12 outputs a clock signal (a signal shown in FIG. 2A) whose pulses are repeated at a cycle T s . The period T s of the clock signal is obtained by measuring the information storage holding time in the non-operating state for all the memory cells constituting the memory array at the final stage of manufacturing the semiconductor memory device. It is set by subtracting a predetermined margin time. This clock signal corresponds to the “refresh signal” of the present invention.

一方、半導体記憶装置が動作時には、チップセレクト信号(CS)と、読み出し制御信号(OE)または書き込み制御信号(WE)とがマイクロプロセッサから出力されており、動作検出回路18の論理積回路16は読み出し制御信号(OE)とチップセレクト信号(CS)とを検知すると読み出し動作検出信号を出力し、論理積回路17は書き込み制御信号(WE)とチップセレクト信号(CS)とを検知すると書き込み動作検出信号を出力する。これら読み出し制御信号と書き込み制御信号とは論理和回路15に入力され、論理和回路15はこれらの信号の論理和演算を行い、合成信号である動作検出信号(図2(b)に示す信号)を出力する。ここで、動作検出信号は、各パルスが前記クロック信号のパルスと一致しないように制御されている。この制御としては、前記読み出し制御信号、書き込み制御信号、チップセレクト信号に基づく各検出信号を所定時間遅延させる処理等が用いられている。また、読み出し制御信号の周期TMRは前記クロック信号の周期Ts よりも大幅に短く、例えば、クロック信号の周期Ts が2μsec.程度である場合に、読み出し制御信号の周期TMRは60nsec.〜200nsec.程度に設定されている。一方、書き込み制御信号の周期TMWは前記クロック信号の周期Ts よりも短く、例えば、クロック信号の周期Ts が2μsec.程度である場合に、書き込み制御信号の周期TMWは200nsec.〜1.0μsec.程度に設定されている。なお、これら制御信号の周期はこれらの例に限らない。 On the other hand, when the semiconductor memory device is operating, a chip select signal (CS) and a read control signal (OE) or a write control signal (WE) are output from the microprocessor, and the AND circuit 16 of the operation detection circuit 18 When the read control signal (OE) and the chip select signal (CS) are detected, a read operation detection signal is output. When the AND circuit 17 detects the write control signal (WE) and the chip select signal (CS), the write operation is detected. Output a signal. These read control signal and write control signal are input to an OR circuit 15, and the OR circuit 15 performs an OR operation on these signals, and an operation detection signal (signal shown in FIG. 2B) that is a composite signal. Is output. Here, the operation detection signal is controlled so that each pulse does not coincide with the pulse of the clock signal. As this control, a process of delaying each detection signal based on the read control signal, the write control signal, and the chip select signal for a predetermined time is used. The cycle T MR of the read control signal is significantly shorter than the cycle T s of the clock signal. For example, the cycle T s of the clock signal is 2 μsec. The read control signal period T MR is 60 nsec. ~ 200 nsec. Is set to about. On the other hand, the cycle T MW of the write control signal is shorter than the cycle T s of the clock signal. For example, the cycle T s of the clock signal is 2 μsec. The period T MW of the write control signal is 200 nsec. -1.0 μsec. Is set to about. The period of these control signals is not limited to these examples.

論理和回路14はリフレッシュタイマ12から入力されるクロック信号と動作検出回路18から入力される動作検出信号とを論理和演算して、合成信号であるリフレッシュタイミング信号(図2(c)に示す信号)を出力する。   The logical sum circuit 14 performs a logical sum operation on the clock signal input from the refresh timer 12 and the operation detection signal input from the operation detection circuit 18 to generate a refresh timing signal (signal shown in FIG. 2C) as a composite signal. ) Is output.

アドレスカウンタ13は、入力されるリフレッシュタイミング信号に基づいて、カウント処理を行い、セルフリフレッシュ動作用アドレス信号(図2(d)に示す信号)を生成してマルチプレクサ3に出力する。なお、図2(d)では、セルフリフレッシュ動作用アドレス信号を所定幅を有するパルスで表現しているが、実際には、ビット毎のデータ信号がデータバスラインによりパラレルで伝送される。   The address counter 13 performs a counting process based on the input refresh timing signal, generates a self-refresh operation address signal (signal shown in FIG. 2D), and outputs it to the multiplexer 3. In FIG. 2D, the address signal for self-refresh operation is represented by a pulse having a predetermined width, but actually, a data signal for each bit is transmitted in parallel via the data bus line.

マルチプレクサ3は、リフレッシュコントローラ11からの制御信号が入力される等、セルフリフレッシュ動作が行われていると検知すると、入力されたセルフリフレッシュ動作用アドレス信号をローデコーダ2に出力する。ローデコーダ2は、入力されたセルフリフレッシュ動作用アドレス信号に基づき該当するメモリセルが配設されているワード線を選択するワード線選択信号をメモリアレイ1に出力する。センスアンプ5は選択されたワード線に配設されいる各メモリセルを、前記リフレッシュタイミング信号に応じて、順次検出し、読み出された情報を増幅して、再度該当するメモリセルに書き込む。なお、この際、半導体記憶装置は、通常のメモリセルの情報の読み出しおよび書き込みのタイミングと、セルフリフレッシュ動作のタイミングとが一致しないように、いずれかの動作を遅延させる等して制御している。   When the multiplexer 3 detects that a self-refresh operation is being performed, such as when a control signal from the refresh controller 11 is input, the multiplexer 3 outputs the input address signal for self-refresh operation to the row decoder 2. The row decoder 2 outputs to the memory array 1 a word line selection signal for selecting a word line in which the corresponding memory cell is arranged based on the input address signal for self-refresh operation. The sense amplifier 5 sequentially detects each memory cell disposed on the selected word line in accordance with the refresh timing signal, amplifies the read information, and writes it again to the corresponding memory cell. At this time, the semiconductor memory device is controlled by delaying one of the operations so that the timing of reading and writing information of the normal memory cell does not coincide with the timing of the self-refresh operation. .

このように、動作時には、読み出し制御信号(OE)の周期TMRや書き込み制御信号(WE)の周期TMWと、非動作時におけるメモリアレイのメモリセルの最低情報記憶保持時間よりも短いセルフリフレッシュ周期Tsとの組み合わせにより、セルフリフレッシュ動作が行われる。 As described above, during the operation, the read control signal (OE) cycle T MR and the write control signal (WE) cycle T MW, and the self-refresh time shorter than the minimum information storage holding time of the memory cells of the memory array at the non-operation time. A self-refresh operation is performed in combination with the period T s .

(2)半導体記憶装置が非動作状態の場合(図3に対応)
半導体記憶装置が非動作状態の場合、読み出し制御信号(OE)および書き込み制御信号(WE)は発生しないので、動作検出回路18からは動作検出信号が出力されない。このため、論理和回路14は、リフレッシュタイマ12からのクロック信号からなるリフレッシュタイミング信号(図3(a)に示す信号)を出力する。そして、アドレスカウンタ13はこの周期Ts のリフレッシュタイミング信号の応じてセルフリフレッシュ動作用アドレス信号(図3(b)に示す信号)を出力する。このように、非動作時には、読み出し制御信号(OE)の周期TMRや書き込み制御信号(WE)の周期TMWよりも長く、且つ非動作時におけるメモリアレイのメモリセルの最低情報記憶保持時間よりも短い周期Ts でセルフリフレッシュ動作が行われる。
(2) When the semiconductor memory device is in a non-operating state (corresponding to FIG. 3)
Since the read control signal (OE) and the write control signal (WE) are not generated when the semiconductor memory device is in a non-operating state, the operation detection signal is not output from the operation detection circuit 18. For this reason, the OR circuit 14 outputs a refresh timing signal (signal shown in FIG. 3A) composed of a clock signal from the refresh timer 12. Then, the address counter 13 outputs a self-refresh operation address signal (signal shown in FIG. 3B) in response to the refresh timing signal of the cycle T s . As described above, at the time of non-operation, the read control signal (OE) period T MR and the write control signal (WE) period T MW are longer than the minimum information storage holding time of the memory cells of the memory array at the non-operation time. the self-refresh operation is also carried out in a short period T s.

このような構成とすることで、半導体記憶装置の動作時には、周期Ts ,TMR,TMWからなる間隔でセルフリフレッシュ動作が行われるので、非動作時のセルフリフレッシュ周期Ts よりも短い時間間隔でセルフリフレッシュ動作が行われる。特に、前記の例では、読み出し周期TMRが非動作時のセルフリフレッシュ周期Ts の1/10以下程度であり、書き込み周期TMWが非動作時のセルフリフレッシュ周期Ts の1/2以下程度であるので、動作時には、非動作時に比較して10倍以上の繰り返し速度でセルフリフレッシュ動作を行うことができる。 With such a configuration, during the operation of the semiconductor memory device, the self-refresh operation is performed at intervals of the cycles T s , T MR , and T MW , so that the time is shorter than the self-refresh cycle T s during non-operation. A self-refresh operation is performed at intervals. In particular, in the above example, the read cycle T MR is much less than 1/10 of the self-refresh period T s of the time of non-operation, the degree less than half of the write period T MW self refresh period T s at the time of non-operation Therefore, during operation, the self-refresh operation can be performed at a repetition rate of 10 times or more compared with that during non-operation.

これにより、非動作時よりもメモリセルの情報記憶保持時間が短い動作時においても、セルフリフレッシュ動作の間隔が非常に短くなるので、確実に情報を保持し続ける半導体記憶装置を構成することができる。そして、非動作時には、メモリセルが非動作時に情報を保持し得る時間に応じた、前記動作時よりも長い周期のセルフリフレッシュ周期でリフレッシュ動作が行われるので、必要以上に電力消費されることが無くなる。   As a result, the self-refresh operation interval becomes very short even during an operation in which the information storage retention time of the memory cell is shorter than that during the non-operation time, so that it is possible to configure a semiconductor memory device that reliably retains information. . When the memory cell is not in operation, the refresh operation is performed in a self-refresh cycle longer than that in the operation according to the time during which the memory cell can hold information when the memory cell is not in operation. Disappear.

なお、通常、動作時の情報記憶保持時間は非動作時の情報記憶保持時間と比較して、10倍程度短くなることはないが、もし、動作時の情報記憶保持時間が動作時のリフレッシュ繰り返し間隔よりも短くなった場合にはメモリアレイ1へのアクセス周期(データ読み出し周期またはデータ書き込み周期)をこの情報記憶保持時間よりもさらに短く設定すればよい。   Normally, the information storage holding time during operation does not become about 10 times shorter than the information storage holding time during non-operation. However, if the information storage holding time during operation is refreshed repeatedly during operation. When the interval is shorter than the interval, the access cycle (data read cycle or data write cycle) to the memory array 1 may be set shorter than the information storage holding time.

また、前述の構成とすることで、非動作時のリフレッシュ動作のためのクロック信号と、動作検出信号から動作時のリフレッシュ信号を生成する回路を単なる論理和回路のみで形成することができるので、動作時と非動作時で異なるリフレッシュ動作を行う半導体記憶装置を、簡素な構造で実現することができる。   Further, with the above-described configuration, a circuit that generates a refresh signal during operation from a clock signal for refresh operation during non-operation and an operation detection signal can be formed using only a logical OR circuit. A semiconductor memory device that performs different refresh operations during operation and non-operation can be realized with a simple structure.

また、前述の構成とすることで、動作検出信号を生成する回路を二つの論理積回路と一つの論理和回路とで構成することができるので、前述の機能を備える半導体記憶装置をさらに簡素な構造で実現することができる。   In addition, with the above-described configuration, the circuit that generates the operation detection signal can be configured with two logical product circuits and one logical sum circuit, so that the semiconductor memory device having the above-described function can be further simplified. Can be realized with a structure.

本発明の実施形態に係る半導体記憶装置のリフレッシュ動作に関連する部分の構成を示すブロック図1 is a block diagram showing a configuration of a portion related to a refresh operation of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. 半導体記憶装置が動作時のセルフリフレッシュ動作の信号を示すタイミングチャートTiming chart showing signals of self-refresh operation when semiconductor memory device is operating 半導体記憶装置が非動作時のセルフリフレッシュ動作の信号を示すタイミングチャートTiming chart showing signals of self-refresh operation when semiconductor memory device is not operating 従来の半導体記憶装置のリフレッシュ動作に関連する部分の構成を示すブロック図A block diagram showing a configuration of a portion related to a refresh operation of a conventional semiconductor memory device

符号の説明Explanation of symbols

1−メモリアレイ
2−ローデコーダ
3−マルチプレクサ
4−ローアドレスバッファ
5−センスアンプ
6−コラムデコーダ
7−コラムアドレスバッファ
8−データ入出力部
10−リフレッシュアドレス生成回路
11−リフレッシュコントローラ
12−リフレッシュタイマ
13−アドレスカウンタ
14,15−論理和回路
16,17−論理積回路
18−動作検出回路
21−リードコントローラ
22−ライトコントローラ
1-memory array 2-row decoder 3-multiplexer 4-row address buffer 5-sense amplifier 6-column decoder 7-column address buffer 8-data input / output unit 10-refresh address generation circuit 11-refresh controller 12-refresh timer 13 -Address counters 14 and 15-OR circuits 16 and 17-AND circuit 18-Operation detection circuit 21-Read controller 22-Write controller

Claims (3)

リフレッシュタイミング信号に応じて、メモリアレイを構成するセルのセルフリフレッシュ動作を行う半導体記憶装置において、
所定周期のリフレッシュ信号を生成するリフレッシュ信号生成手段と、
前記メモリアレイに対する、前記リフレッシュ信号よりも短い周期からなる読み出し制御信号または前記リフレッシュ信号よりも短い周期からなる書き込み制御信号を検出する動作検出手段と、
前記読み出し制御信号および前記書き込み制御信号の周期に基づく前記動作検出手段の出力信号と前記リフレッシュ信号とを、前記リフレッシュ信号の所定周期以下の周期となるように合成して前記リフレッシュタイミング信号を出力するタイミング信号生成手段と、
該タイミング信号生成手段から出力される前記リフレッシュタイミング信号に応じて前記セルフリフレッシュ動作を行う前記メモリアレイのセルのアドレスデータを生成するアドレスカウンタと、を備え
前記タイミング信号生成手段は論理和回路であることを特徴とする半導体記憶装置。
In a semiconductor memory device that performs a self-refresh operation of cells constituting a memory array in response to a refresh timing signal,
Refresh signal generating means for generating a refresh signal of a predetermined period;
Operation detecting means for detecting a read control signal having a cycle shorter than the refresh signal or a write control signal having a cycle shorter than the refresh signal for the memory array;
The refresh timing signal is output by synthesizing the output signal of the operation detecting means based on the period of the read control signal and the write control signal and the refresh signal so as to be a period equal to or less than a predetermined period of the refresh signal. Timing signal generating means;
An address counter that generates address data of cells of the memory array that performs the self-refresh operation in response to the refresh timing signal output from the timing signal generation means ;
The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the timing signal generating means is an OR circuit .
前記リフレッシュ信号生成手段は、前記メモリアレイを構成する全てのセルの非動作状態での最低情報記憶保持時間よりも短く、且つ、前記読み出し制御信号または前記書き込み制御信号の周期よりも長い周期のリフレッシュ信号を生成する請求項1に記載の半導体記憶装置。   The refresh signal generating means refreshes with a cycle shorter than a minimum information storage holding time in a non-operating state of all cells constituting the memory array and longer than a cycle of the read control signal or the write control signal The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the signal is generated. 前記動作検出手段は、
前記読み出し制御信号と前記メモリアレイの読み出し対象セルを選択する選択信号とが入力されることにより検出信号を出力する第1論理積回路と、
前記書き込み制御信号と前記メモリアレイの書き込み対象セルを選択する選択信号とが入力されることにより検出信号を出力する第2論理積回路と、
第1論理積回路からの検出信号と第2論理積回路からの検出信号とを入力して、これらの合成信号を出力する論理和回路とからなる請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。
The motion detection means is
A first AND circuit that outputs a detection signal by receiving the read control signal and a selection signal for selecting a read target cell of the memory array;
A second AND circuit that outputs a detection signal by receiving the write control signal and a selection signal for selecting a write target cell of the memory array;
3. The semiconductor memory according to claim 1, comprising a logical sum circuit that inputs a detection signal from the first logical product circuit and a detection signal from the second logical product circuit and outputs a combined signal thereof. apparatus.
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