JP4685468B2 - Support program for X-ray inspection apparatus, recording medium, X-ray inspection apparatus, and manufacturing system - Google Patents

Support program for X-ray inspection apparatus, recording medium, X-ray inspection apparatus, and manufacturing system Download PDF

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Description

本発明は、X線検査装置の制御プログラムが使用する検査条件データを生成するX線検査装置用支援プログラム、このプログラムを記録した記録媒体、前記プログラムによって生成された検査条件データを使用するX線検査装置およびこのX線検査装置を備えた製造システムに関するものである。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus support program for generating inspection condition data used by an X-ray inspection apparatus control program, a recording medium on which the program is recorded, and an X-ray using inspection condition data generated by the program. The present invention relates to an inspection apparatus and a manufacturing system including the X-ray inspection apparatus.

従来、例えば機械加工などによって形成された製造物の形状、寸法などを検査するためには、NC制御の接触式3次元測定機を使用することがある。
この種の接触式3次元測定機としては、製造物の3次元画像をモニタ画面に表示させ、このモニタ画面上で指定された目標検査箇所について測定を行う構成が採られている。
Conventionally, in order to inspect the shape and dimensions of a product formed by, for example, machining, an NC control contact type three-dimensional measuring machine is sometimes used.
This type of contact-type three-dimensional measuring machine employs a configuration in which a three-dimensional image of a product is displayed on a monitor screen, and measurement is performed on a target inspection point designated on the monitor screen.

この測定機による測定は、検査用接触子が製造物の外表面や凹部内であっても外面近傍の部位に接触しながら移動することによって行われる。前記3次元画像は、製造物をNC加工などにより製造する際に使用した3次元データに基づいて表示されている。
しかしながら、接触式3次元測定機は、製造物の外表面または内部であっても検査用接触子の届く範囲内しか測定することができないから、例えば鋳造物の内部に成形された孔の孔径や形状などを測定することはできないものである。
The measurement by this measuring machine is performed by moving the inspection contact while in contact with a portion in the vicinity of the outer surface even in the outer surface or recess of the product. The three-dimensional image is displayed based on the three-dimensional data used when the product is manufactured by NC processing or the like.
However, since the contact type three-dimensional measuring machine can measure only within the reach of the inspection contact even on the outer surface or inside of the product, for example, the hole diameter of the hole formed in the casting The shape cannot be measured.

このような不具合を解消する3次元測定機としては、例えば特許文献1に開示されたX線CT(コンピュータ断層撮影)装置がある。この特許文献1に示されたX線CT装置は、X線源とX線検出器との間に位置する被検査物に対してX線撮像(スキャン)を行い、この撮像結果に基づいて3次元画像をモニタ画面に直接表示させる構成が採られている。また、このX線CT装置は、前記3次元画像に対して検査する箇所を指定し、必要に応じて再度X線撮像を行う。   As a three-dimensional measuring machine that solves such problems, for example, there is an X-ray CT (Computer Tomography) apparatus disclosed in Patent Document 1. The X-ray CT apparatus disclosed in Patent Document 1 performs X-ray imaging (scanning) on an inspection object positioned between an X-ray source and an X-ray detector, and 3 based on the imaging result. A configuration in which a three-dimensional image is directly displayed on a monitor screen is adopted. The X-ray CT apparatus designates a portion to be inspected with respect to the three-dimensional image, and performs X-ray imaging again as necessary.

一般に、このX線CT装置のような従来のX線検査装置において、X線撮像によって被検査物の形状、寸法などを検査するに当たっては、X線撮像により得られた撮像データから断面画像を計算する際、一つの撮像データの全体に対して検査に必要な解像度となるように計算処理が行われている。   In general, in a conventional X-ray inspection apparatus such as this X-ray CT apparatus, when inspecting the shape, dimensions, etc. of an inspection object by X-ray imaging, a cross-sectional image is calculated from imaging data obtained by X-ray imaging. In this case, calculation processing is performed so that the entire resolution of one piece of imaging data has a resolution necessary for inspection.

また、従来のX線検査装置において、複数の被検査物について検査を行うためには、専用の被検査物固定治具を作製し、この治具にオペレータが被検査物を検査時に載せ替えている。一つの被検査物に対して検査項目が複数ある場合は、その度にX線検査装置の設定を変えてスキャンを行う。   In addition, in order to inspect a plurality of inspection objects in a conventional X-ray inspection apparatus, a dedicated inspection object fixing jig is prepared, and an operator places the inspection object on the jig during inspection. Yes. When there are a plurality of inspection items for one inspection object, scanning is performed by changing the setting of the X-ray inspection apparatus each time.

さらに、従来のX線検査装置においては、被検査物が一つまたは少数である場合は、検査用治具を使用することはなく、被検査物をX線検査装置内の測定台へ直接載せ、被検査物毎に検査の全工程を最初から最後まで(スキャンと検査位置の指定など)行っていた。
加えて、従来のX線検査装置においては、被検査物が同一種類であり、かつ検査項目が同じである場合は、いわゆるマクロ機能によって自動的に検査処理を行っている。
なお、本出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに見付け出すことはできなかった。
特開2004−188149号公報
Further, in the conventional X-ray inspection apparatus, when the inspection object is one or a small number, the inspection jig is not used, and the inspection object is directly placed on the measurement table in the X-ray inspection apparatus. The entire inspection process was performed from start to end (scanning and inspection position designation, etc.) for each inspection object.
In addition, in the conventional X-ray inspection apparatus, when the inspection object is the same type and the inspection items are the same, the inspection process is automatically performed by a so-called macro function.
In addition, the applicant could not find any prior art documents closely related to the present invention by the time of filing other than the prior art documents specified by the prior art document information described in the present specification. .
JP 2004-188149 A

従来のX線検査装置は、以下に述べるような問題があった。
(1)従来のX線検査装置は、撮像データの全ての撮像領域に対して同様の計算処理を行うため、被検査物の一つの断面や一箇所のみを高い分解能として計算することができない。このため、従来のX線検査装置は、一部分のみの詳細な画像が必要である場合でも全体が詳細な画像になってしまうから、処理に要する時間が不必要に長くなるという問題があった。
Conventional X-ray inspection apparatuses have the following problems.
(1) Since the conventional X-ray inspection apparatus performs the same calculation process on all the imaging regions of the imaging data, it cannot calculate only one cross section or one place of the inspection object with high resolution. For this reason, the conventional X-ray inspection apparatus has a problem that the time required for processing becomes unnecessarily long because the entire image becomes a detailed image even when a detailed image of only a part is required.

(2)従来のX線検査装置は、被検査物の種類、測定項目、必要分解能などが多岐にわたる場合、被検査物の設置やスキャン条件の設定を行うために工数が多く必要で、検査工程全体の時間が長くなるという問題があった。 (2) Conventional X-ray inspection equipment requires a lot of man-hours for setting the inspection object and setting scanning conditions when the types of inspection objects, measurement items, and necessary resolutions are diverse. There was a problem that the overall time was long.

(3)従来のX線検査装置は、マクロ機能により自動処理を行うことができるが、最初の1回目の検査は、手動によりスキャン条件等を入力しなければならない。この入力は、X線検査装置に被検査物を実際に装填した状態で行われる。すなわち、従来のX線検査装置は、被検査物がX線検査装置に装填されていない状態で事前準備を行うことはできず、このようないわゆるロス時間を短縮することが要請されている。 (3) Although the conventional X-ray inspection apparatus can perform automatic processing by the macro function, the first inspection for the first time must manually input scan conditions and the like. This input is performed in a state where the inspection object is actually loaded in the X-ray inspection apparatus. That is, the conventional X-ray inspection apparatus cannot be prepared in advance in a state where the inspection object is not loaded in the X-ray inspection apparatus, and it is required to reduce such a so-called loss time.

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、X線検査装置で行う検査の精度・分解能を高く保ちながら検査時間を短縮することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and an object thereof is to shorten the inspection time while maintaining high accuracy and resolution of the inspection performed by the X-ray inspection apparatus.

この目的を達成するため、本発明に係るX線検査装置用支援プログラムは、X線検査装置の検査条件データを生成するX線検査装置用支援プログラムであって、被検査物の3次元画像データを記憶手段から読み出しモニタ画面に被検査物の仮想3次元画像を表示するデータ読込みステップと、前記モニタ画面にオペレータの入力手段への操作に連動して移動する指示用ポインタを表示するポインタ表示ステップと、オペレータが前記指示用ポインタによって指定した仮想3次元画像上の検査位置に基づいて目標検査位置データを生成する位置データ生成ステップと、オペレータが前記指示用ポインタによって前記検査位置に対して指定した検査方向に基づいて目標検査方向データを生成する検査方向データ生成ステップと、オペレータが前記検査位置に対して指定した検査時の分解能から分解能データを生成する分解能データ生成ステップとを有し、前記位置データ生成ステップで指定可能な検査範囲を被検査物の内部を含む全体としたことを特徴とするものである。   In order to achieve this object, an X-ray inspection apparatus support program according to the present invention is an X-ray inspection apparatus support program for generating inspection condition data of an X-ray inspection apparatus, and includes three-dimensional image data of an inspection object. A data reading step for reading out the storage means and displaying a virtual three-dimensional image of the inspection object on the monitor screen; A position data generation step for generating target inspection position data based on the inspection position on the virtual three-dimensional image specified by the operator using the instruction pointer, and the operator specified for the inspection position by the instruction pointer An inspection direction data generation step for generating target inspection direction data based on the inspection direction; A resolution data generation step that generates resolution data from the resolution at the time of inspection specified for the inspection position, and the inspection range that can be specified in the position data generation step is the whole including the inside of the inspection object It is a feature.

請求項2に記載した発明に係る記録媒体は、請求項1に記載したX線検査装置用支援プログラムを記録したものである。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a recording medium recording the support program for an X-ray inspection apparatus according to the first aspect.

請求項3に記載した発明に係るX線検査装置は、請求項1に記載したX線検査装置用支援プログラムによって生成された検査条件データを使用してX線コンピュータ断層撮影および検査を実施するX線検査装置であって、前記検査条件データを記憶する記憶手段と、被検査物を着脱自在に支持する検査用治具と、前記検査用治具上の被検査物の位置をX線源とX線検出器とに対して位置決めする位置決め手段と、前記X線検査装置用支援プログラムがインストールされかつこのX線検査装置用支援プログラムによって生成された前記検査条件データに基づいてX線コンピュータ断層撮影を実施し、指定位置の断面画像を生成し検査を行う制御手段とを備えたものである。 An X-ray inspection apparatus according to the invention described in claim 3 performs X-ray computed tomography and inspection using inspection condition data generated by the support program for the X-ray inspection apparatus according to claim 1. A line inspection apparatus, the storage means for storing the inspection condition data, the inspection jig for detachably supporting the inspection object, and the position of the inspection object on the inspection jig as an X-ray source Positioning means for positioning with respect to the X-ray detector; X-ray computed tomography based on the inspection condition data generated by the support program for the X-ray inspection apparatus installed and the support program for the X-ray inspection apparatus And a control means for generating a cross-sectional image at a designated position and performing an inspection.

請求項4に記載した発明に係るX線検査装置は、請求項3に記載したX線検査装置において、検査用治具に設けられ、この検査用治具に支持された被検査物を特定可能な識別情報を有する識別手段と、前記識別手段から識別情報を読出す識別情報読出手段と、前記識別情報読出手段により読出された識別情報によって特定された被検査物に対応する検査条件データを前記記憶手段から読出す検査データ読出手段とを備え、制御手段は、前記検査データ読出手段によって読出された検査条件データに基づいてX線コンピュータ断層撮影を実施し、指定位置の断面画像を生成し検査を行うものである。   The X-ray inspection apparatus according to the invention described in claim 4 is the X-ray inspection apparatus according to claim 3, wherein the X-ray inspection apparatus is provided on the inspection jig and can specify the inspection object supported by the inspection jig. Identification means having various identification information, identification information reading means for reading identification information from the identification means, and inspection condition data corresponding to the inspection object specified by the identification information read by the identification information reading means Inspection data reading means for reading from the storage means, and the control means performs X-ray computed tomography based on the inspection condition data read by the inspection data reading means, generates a cross-sectional image at a specified position, and performs inspection Is to do.

請求項5に記載した発明に係る製造システムは、請求項3または請求項4に記載したX線検査装置を備えた製造システムであって、被検査物をワークとする製造装置と、この製造装置から前記被検査物を検査用治具とともに前記X線検査装置へ搬送・移載する上流側搬送装置と、前記X線検査装置から前記被検査物を検査用治具とともに後工程の装置へ搬送・移載する下流側搬送装置とを備えたものである。   A manufacturing system according to a fifth aspect of the present invention is a manufacturing system including the X-ray inspection apparatus according to the third or fourth aspect, wherein the manufacturing apparatus uses a workpiece as a workpiece, and the manufacturing apparatus. From the X-ray inspection apparatus, the inspection object is transferred together with the inspection jig to a subsequent process apparatus. The upstream transfer apparatus transfers and transfers the inspection object together with the inspection jig to the X-ray inspection apparatus. -It is equipped with the downstream conveyance apparatus to transfer.

本発明によれば、詳細に検査する箇所は高い分解能で検査することができ、その他の箇所は低い分解能で撮像することができるから、X線検査装置で行う検査の精度・分解能を高く保ちながら検査時間を短縮することができる。   According to the present invention, a portion to be inspected in detail can be inspected with a high resolution, and other portions can be imaged with a low resolution, so that the accuracy and resolution of the inspection performed by the X-ray inspection apparatus is kept high. Inspection time can be shortened.

また、本発明によれば、X線検査装置とは別体の例えばパーソナルコンピュータにおいてX線検査装置の検査条件データを作成することができる。このため、X線検査装置が他の被検査物についてスキャンや検査を実施している間に、被検査物の検査条件データを事前に作成しておくことができる。この結果、X線検査装置に被検査物を装填した後に検査条件データを入力する場合に較べ、検査工程に必要な時間を短縮することができる。   In addition, according to the present invention, inspection condition data for an X-ray inspection apparatus can be created, for example, in a personal computer separate from the X-ray inspection apparatus. For this reason, the inspection condition data of the inspection object can be created in advance while the X-ray inspection apparatus performs scanning or inspection for another inspection object. As a result, the time required for the inspection process can be shortened as compared with the case where inspection condition data is input after the inspection object is loaded into the X-ray inspection apparatus.

本発明によれば、被検査物の種類、測定項目、必要分解能などが多岐にわたる場合であってもX線検査装置とは別の例えばパーソナルコンピュータで前記各条件を一つの検査条件データに保存することができる。このため、各検査条件をX線検査装置に直接入力する場合に較べ、検査条件の入力に要する時間も短縮することができる。特に、本発明によれば、上述したように検査条件の入力時間を短縮することができることから、X線検査装置においてマクロ機能で自動処理を行うことにより検査工程での必要時間を著しく短縮することができる。   According to the present invention, even if there are various types of inspection objects, measurement items, required resolutions, and the like, the respective conditions are stored in one inspection condition data by a personal computer, for example, different from the X-ray inspection apparatus. be able to. For this reason, compared with the case where each inspection condition is directly input to the X-ray inspection apparatus, the time required for inputting the inspection condition can be shortened. In particular, according to the present invention, as described above, the inspection condition input time can be shortened, so that the time required for the inspection process can be significantly shortened by performing automatic processing with the macro function in the X-ray inspection apparatus. Can do.

請求項2記載の発明によれば、請求項1に記載した発明に係る支援プログラムの保存が容易になるとともに、複数のコンピュータに同一の支援プログラムを容易にインストールすることができる。   According to the second aspect of the present invention, the support program according to the first aspect of the present invention can be easily saved, and the same support program can be easily installed on a plurality of computers.

請求項3記載の発明に係るX線検査装置は、被検査物が検査用治具と位置決め手段とによって位置決めされた状態で装填され、この状態で被検査物毎の検査を事前に設定された検査条件データに基づいて行うことができる。請求項4記載の発明に係るX線検査装置は、被検査物が装填された後は被検査物の特定から検査まで自動で行うことができる。
したがって、被検査物の選択、被検査物毎の検査条件の入力など、従来、オペレータが行っていた操作が自動化され、検査工程で必要な時間のより一層の短縮を図ることができる。
The X-ray inspection apparatus according to the invention described in claim 3 is loaded in a state where the inspection object is positioned by the inspection jig and the positioning means, and in this state, the inspection for each inspection object is set in advance. This can be done based on inspection condition data. The X-ray inspection apparatus according to the fourth aspect of the invention can automatically perform the process from the identification of the inspection object to the inspection after the inspection object is loaded.
Accordingly, operations conventionally performed by the operator, such as selection of an inspection object and input of inspection conditions for each inspection object, are automated, and the time required for the inspection process can be further shortened.

請求項5記載の発明によれば、被検査物を製品化する過程で実施する加工・処理の後にX線検査装置によってその都度検査を自動的に行うことができる。
したがって、この発明によれば、製品の検査工程を含む製造ラインの自動化を図ることができるから、製造ラインの途中で人手により検査を行う製造システムに較べ、製造時間の短縮を図ることができる。
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to automatically inspect each time by the X-ray inspection apparatus after the processing / processing performed in the process of commercializing the inspection object.
Therefore, according to the present invention, the production line including the product inspection process can be automated, so that the production time can be shortened as compared with a production system in which inspection is performed manually in the middle of the production line.

以下、本発明に係るX線検査装置用支援プログラム、記憶媒体、X線検査装置および製造システムの一実施の形態を図1ないし図8によって詳細に説明する。ここでは、鋳造物の製造工程で本発明を実施する場合の形態について説明する。
図1は本発明に係る支援用プログラムが動作するコンピュータとX線検査装置の構成を示すブロック図、図2は本発明に係る製造システムの構成を示すブロック図、図3は製造システムの要部を拡大して示すブロック図、図4は本発明に係る支援プログラムの動作を示すフローチャートである。
Hereinafter, an embodiment of a support program for an X-ray inspection apparatus, a storage medium, an X-ray inspection apparatus, and a manufacturing system according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. Here, the form in the case of implementing this invention in the manufacturing process of a casting is demonstrated.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a computer and an X-ray inspection apparatus in which a support program according to the present invention is operated, FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a manufacturing system according to the present invention, and FIG. FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the support program according to the present invention.

図5は本発明に係る支援プログラムを実行している状態でのモニタ画面の表示を示す図、図6は検査項目と合格基準などを示す図、図7は他のスキャン方式を示す模式図、図8は2次元断面画像を示す図である。   FIG. 5 is a diagram showing display of a monitor screen in a state where the support program according to the present invention is being executed, FIG. 6 is a diagram showing inspection items and acceptance criteria, and FIG. 7 is a schematic diagram showing another scanning method, FIG. 8 shows a two-dimensional cross-sectional image.

これらの図において、符号1で示すものは、この実施の形態によるX線検査装置を示す。このX線検査装置1は、スキャン方式としてコーンビーム方式を採るもので、図1に示すように、X線2を円錐状に放射するX線源3と、X線2を受ける平面CCDからなるX線検出器4と、被検査物5を有する検査用治具6が載せられた測定台7と、本発明でいう制御手段を構成する制御装置8と、表示モニタ9と、請求項3でいう記憶手段としての記憶装置10などによって構成されている。なお、X線検査装置1は、図7に示すように、スキャン方式としてシングルスキャン方式を採ることもできる。 In these drawings, the reference numeral 1 indicates an X-ray inspection apparatus according to this embodiment. The X-ray inspection apparatus 1 employs a cone beam method as a scanning method, and includes an X-ray source 3 that emits X-rays 2 in a conical shape and a planar CCD that receives the X-rays 2 as shown in FIG. An X-ray detector 4, a measuring table 7 on which an inspection jig 6 having an object to be inspected 5 is placed, a control device 8 constituting a control means according to the present invention, a display monitor 9, It is comprised by the memory | storage device 10 etc. as a memory | storage means. As shown in FIG. 7 , the X-ray inspection apparatus 1 can also adopt a single scan method as a scan method.

図1に示す測定台7は、鉛直方向を軸線方向として検査用治具6を回転させる構成が採られ、図7に示す測定台7は、前記回転と上下移動を行うように構成されている。これらの測定台7には、図示してはいないが、予め定めた基準位置に前記検査用治具6を位置決めするための位置決め機構が設けられている。図7に示すシングルスキャン方式では、棒状のX線検出器4aを使用し、このX線検出器4aに向けてX線源3aから扇状にX線を放射する。   The measuring table 7 shown in FIG. 1 is configured to rotate the inspection jig 6 with the vertical direction as the axial direction, and the measuring table 7 shown in FIG. 7 is configured to rotate and move up and down. . Although not shown, these measuring tables 7 are provided with a positioning mechanism for positioning the inspection jig 6 at a predetermined reference position. In the single scan method shown in FIG. 7, a rod-shaped X-ray detector 4a is used, and X-rays are emitted in a fan shape from the X-ray source 3a toward the X-ray detector 4a.

前記制御装置8は、X線源3,3aからX線を放射させ、この状態で前記測定台7によって被検査物5を検査用治具6とともに回転させるとともに、所定の回転角度毎にX線検出器4,4aによってX線2を検出する。この実施の形態によるX線検査装置1の制御装置8は、前記X線の検出データ(撮像データ)から後述する支援プログラム11(図4参照)によって生成された検査条件データに基づいて要求箇所の2次元断面画像を生成し(X線コンピュータ断層撮影を実施し)、この2次元断面画像を表示モニタ9に表示させる。   The control device 8 emits X-rays from the X-ray sources 3 and 3a, and in this state, the measurement table 7 rotates the inspection object 5 together with the inspection jig 6, and X-rays at every predetermined rotation angle. The X-ray 2 is detected by the detectors 4 and 4a. The control device 8 of the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment determines the requested location based on inspection condition data generated by the support program 11 (see FIG. 4) described later from the X-ray detection data (imaging data). A two-dimensional cross-sectional image is generated (X-ray computed tomography is performed), and this two-dimensional cross-sectional image is displayed on the display monitor 9.

また、この制御装置8は、前記2次元断面画像から画像処理によって所定の検査を行う。被検査物5がエンジンのシリンダヘッドである場合の検査項目を図6に示す。図6において、始点と、終点と、直径は検査位置を指定するためのデータであり、角度は検査方向を指定するためのデータであり、要求分解能は検査時の分解能を指定するためのデータである。前記始点と終点は、後述する指示用円筒(図5中に矢印Aで示す)の軸線の始点と終点を示し直径は前記指示用円筒の直径を示す。角度は後述する指示線(図5中に矢印Cで示す)の角度を示す。   The control device 8 performs a predetermined inspection by image processing from the two-dimensional cross-sectional image. FIG. 6 shows the inspection items when the inspection object 5 is a cylinder head of an engine. In FIG. 6, the start point, the end point, and the diameter are data for specifying the inspection position, the angle is data for specifying the inspection direction, and the required resolution is data for specifying the resolution at the time of inspection. is there. The start point and end point indicate the start point and end point of an axis of an indicating cylinder (indicated by arrow A in FIG. 5) described later, and the diameter indicates the diameter of the indicating cylinder. The angle indicates an angle of an instruction line (indicated by an arrow C in FIG. 5) described later.

要求分解能は、その数値が小さくなればなるほど分解能が高くなるように構成されており、検査項目と検査箇所とに関連付けて設定する。なお、図6においては、一つの例として上記各条件に仮に数値を記入してあるが、これらの数値はオペレータによって入力されるものである。
制御装置8は、図6に示す各検査項目に対して合格基準に達しているか否かを判定し、判定結果を例えば表示モニタ9に表示させる。
The required resolution is configured such that the smaller the numerical value, the higher the resolution, and is set in association with the inspection item and the inspection location. In FIG. 6, as an example, numerical values are temporarily entered for each of the above conditions, but these numerical values are input by an operator.
The control device 8 determines whether or not the acceptance criterion is reached for each inspection item shown in FIG. 6 and displays the determination result on, for example, the display monitor 9.

この実施の形態によるX線検査装置1は、図2および図3に示す鋳造システム12に複数設けられている。この鋳造システム12は、シリンダヘッド(図示せず)が鋳造される鋳造素材部13と、鋳造後のシリンダヘッドが仮に置かれる素材置き場14と、シリンダヘッドに例えば粗削り加工を施す第1の加工部15と、シリンダヘッドに例えば孔開け加工を施す第2の加工部16と、バリ取り部17と、製造されたシリンダヘッドが載置される完成ストック部18などを備えている。   A plurality of X-ray inspection apparatuses 1 according to this embodiment are provided in the casting system 12 shown in FIGS. The casting system 12 includes a casting material part 13 in which a cylinder head (not shown) is cast, a material place 14 in which the cylinder head after casting is temporarily placed, and a first processing part that performs roughing on the cylinder head, for example. 15, a second processing portion 16 that performs, for example, drilling processing on the cylinder head, a deburring portion 17, and a completed stock portion 18 on which the manufactured cylinder head is placed.

この鋳造システム12における前記鋳造素材部13と素材置き場14との間と、第1の加工部15と第2の加工部16との間と、ばり取り部17と完成ストック部18との間とに、この実施の形態によるX線検査装置1がそれぞれ配置されている。これらのX線検査装置1は、鋳造システム12の各製造装置間を移動するワーク(シリンダヘッドなど)に対して検査を行う。なお、全てのワークに対して検査を行う他に、例えば同一ロットのワークに対しては代表の一つのみに対して検査を行うように、任意のワークのみに検査を行うことができる。 Between the casting material part 13 and the material storage place 14 in the casting system 12, between the first processing part 15 and the second processing part 16, and between the deburring part 17 and the finished stock part 18. In addition, the X-ray inspection apparatuses 1 according to this embodiment are respectively arranged. These X-ray inspection apparatuses 1 inspect workpieces (such as cylinder heads) that move between manufacturing apparatuses of the casting system 12. In addition to inspecting all the workpieces, for example, it is possible to inspect only an arbitrary workpiece so that only one representative of the workpieces of the same lot is inspected.

この実施の形態によるX線検査装置1を鋳造システム12に組込むに当たっては、図3に示すように、搬送方向の上流側に位置する製造装置(図3では粗削り装置19)から被検査物5を検査用治具6とともにX線検査装置1へ搬送・移載する上流側搬送装置21と、X線検査装置1から被検査物5を検査用治具6とともに後工程の装置(図3では孔開け装置22)へ搬送・移載する下流側搬送装置23とを備えている。これらの搬送装置21,23は、この実施の形態においては、検査用治具6をロボットアーム24によって把持し移載させる構成のものが用いられている。   In assembling the X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment into the casting system 12, as shown in FIG. 3, the inspection object 5 is removed from the manufacturing apparatus (rough cutting apparatus 19 in FIG. 3) located upstream in the conveying direction. An upstream conveying device 21 that conveys / transfers to / from the X-ray inspection apparatus 1 together with the inspection jig 6, and a post-process apparatus (the hole in FIG. And a downstream transport device 23 that transports and transfers to the opening device 22). In the present embodiment, these transfer devices 21 and 23 are configured to hold and transfer the inspection jig 6 by the robot arm 24.

前記検査用治具6は、図1に示すように、被検査物5を特定するためのバーコードシール25が貼着されている。このバーコードシールに記載されたバーコードに対応する各被検査物5の識別情報は、前記記憶装置10に予め記憶させておく。前記制御装置8は、各X線検査装置1に設けられたバーコードリーダ26によって前記バーコードを読み、このバーコードに対応する被検査物5の識別情報を記憶装置10から読み出す。   As shown in FIG. 1, the inspection jig 6 has a bar code seal 25 attached to identify the inspection object 5. The identification information of each inspection object 5 corresponding to the barcode described on the barcode seal is stored in the storage device 10 in advance. The control device 8 reads the bar code with a bar code reader 26 provided in each X-ray inspection apparatus 1, and reads the identification information of the inspection object 5 corresponding to the bar code from the storage device 10.

すなわち、制御装置8は、現在測定台7上に装填されている被検査物5を常に特定することができるように構成されている。前記バーコードを有するバーコードシール25によって本発明でいう識別手段が構成され、バーコードリーダ26によって本発明でいう識別情報読出手段が構成されている。また、この実施の形態では、前記制御装置8によって、本発明でいう検査データ読出手段が構成されている。なお、X線検査装置1は、バーコードシール25の代わりに、ICタグ(図示せず)を使用することもできる。 That is, the control device 8 is configured to always be able to identify the inspection object 5 currently loaded on the measurement table 7. The bar code seal 25 having the bar code constitutes the identification means in the present invention, and the bar code reader 26 constitutes the identification information reading means in the present invention. In this embodiment, the control device 8 constitutes inspection data reading means in the present invention. The X-ray inspection apparatus 1 can also use an IC tag (not shown) instead of the bar code seal 25.

また、前記検査用治具6は、図1に示すように、被検査物5を図示していない基準位置に対して位置決めした状態で固定するクランプ27を備えている。このクランプ27によって被検査物5を検査用治具6に固定することによって、被検査物5をX線源3,3aとX線検出器4,4aとに対して位置決めすることができる。前記クランプ27と前記測定台7の位置決め機構とによって、本発明でいう位置決め手段が構成されている。   Further, as shown in FIG. 1, the inspection jig 6 includes a clamp 27 for fixing the inspection object 5 in a state of being positioned with respect to a reference position (not shown). By fixing the inspection object 5 to the inspection jig 6 by the clamp 27, the inspection object 5 can be positioned with respect to the X-ray sources 3 and 3a and the X-ray detectors 4 and 4a. The clamp 27 and the positioning mechanism of the measuring table 7 constitute a positioning means in the present invention.

前記支援プログラム11は、図1中に符号31で示すパーソナルコンピュータ(以下、単にコンピュータと呼称する)によって実行される。このコンピュータ31には、表示モニタ32と、オペレータ(図示せず)の入力手段としてのキーボード33およびマウス34と、記憶装置35と、データベース36とが接続されている。このデータベース36には、被検査物5を設計するときに使用した3次元画像データ(図示せず)が記録されている。このデータベース36によって、請求項1でいう記憶手段が構成されている。なお、被検査物5がNCなどの工作機械によって形成されたものである場合は、設計時に作製した3次元画像データを使用することができる。 The support program 11 is executed by a personal computer ( hereinafter simply referred to as a computer) denoted by reference numeral 31 in FIG. Connected to the computer 31 are a display monitor 32, a keyboard 33 and a mouse 34 as input means for an operator (not shown), a storage device 35, and a database 36. In this database 36, three-dimensional image data (not shown) used when designing the inspection object 5 is recorded. The database 36 constitutes storage means as defined in claim 1. Note that when the inspection object 5 is formed by a machine tool such as an NC, the three-dimensional image data created at the time of design can be used.

前記記憶装置35は、後述する支援プログラム11によって生成された検査条件データを記憶させておくものである。この記憶装置35は、支援プログラム11を記録したCD−ROM37などの記録媒体を読み出すことができるように構成されている。   The storage device 35 stores inspection condition data generated by the support program 11 described later. The storage device 35 is configured to be able to read a recording medium such as a CD-ROM 37 on which the support program 11 is recorded.

また、この実施の形態による前記コンピュータ31は、前記鋳造システム12の全てのX線検査装置1の制御装置8に接続用ケーブル38によって接続されており、各制御装置8,8‥‥に検査条件データを送ることができるように構成されている。   Further, the computer 31 according to this embodiment is connected to the control devices 8 of all the X-ray inspection apparatuses 1 of the casting system 12 by connection cables 38, and the inspection conditions are connected to the control apparatuses 8, 8,. It is configured to be able to send data.

支援プログラム11は、図4に示すように、データ読込みステップ41と、ポインタ表示ステップ42と、位置データ生成ステップ43と、検査方向データ生成ステップ44と、分解能データ生成ステップ45とを実行する。   As illustrated in FIG. 4, the support program 11 executes a data reading step 41, a pointer display step 42, a position data generation step 43, an inspection direction data generation step 44, and a resolution data generation step 45.

前記データ読込みステップ41では、被検査物5の3次元画像データを前記データベース36から読み出し、表示モニタ32のモニタ画面32aに被検査物5の仮想3次元画像を表示する。この仮想3次元画像は、図5に示すようにモニタ画面32aに表示される。図5に示す画面表示は、シリンダヘッドを立ててシリンダボディ側から斜めに見た状態で示している。同図において、51は吸気ポートを示し、52は排気ポートを示し、53は燃焼室の天井壁を示す。   In the data reading step 41, the three-dimensional image data of the inspection object 5 is read from the database 36, and the virtual three-dimensional image of the inspection object 5 is displayed on the monitor screen 32a of the display monitor 32. This virtual three-dimensional image is displayed on the monitor screen 32a as shown in FIG. The screen display shown in FIG. 5 is shown in a state where the cylinder head is stood up and viewed obliquely from the cylinder body side. In the figure, 51 indicates an intake port, 52 indicates an exhaust port, and 53 indicates a ceiling wall of the combustion chamber.

前記ポインタ表示ステップ42では、前記モニタ画面32aにオペレータの入力手段(キーボード33やマウス34)への操作に連動して移動する指示用ポインタ(図示せず)を表示する。   In the pointer display step 42, an instruction pointer (not shown) that moves in conjunction with an operator's operation on the input means (keyboard 33 and mouse 34) is displayed on the monitor screen 32a.

前記位置データ生成ステップ43では、オペレータが前記指示用ポインタによって指定した仮想3次元画像上の検査位置に基づいて目標検査位置データを生成する。この実施の形態による前記仮想3次元画像上の検査位置は、図5中に矢印Aで示すように円筒状に表示される。この検査位置として指定可能な検査範囲は被検査物5の内部を含む全体である。前記円筒を使用して検査位置を指定するに当たっては、例えば、図5中に矢印Bで示すエリアにあるコマンドを選択する操作と、前記指示用ポインタによって仮想3次元画像上の部品の点、線、面、軸線などを選択する操作と、必要に応じたキーボード33による数値入力などの操作によって行う。   In the position data generation step 43, target inspection position data is generated based on the inspection position on the virtual three-dimensional image designated by the operator with the pointing pointer. The inspection position on the virtual three-dimensional image according to this embodiment is displayed in a cylindrical shape as indicated by an arrow A in FIG. The inspection range that can be designated as the inspection position is the whole including the inside of the inspection object 5. In specifying the inspection position using the cylinder, for example, an operation for selecting a command in the area indicated by an arrow B in FIG. 5 and a point or line of a part on the virtual three-dimensional image by the pointing pointer are used. The operation is performed by selecting a surface, an axis, and the like, and by inputting a numerical value using the keyboard 33 as necessary.

前記検査方向データ生成ステップ44では、オペレータが前記指示用ポインタによって前記円筒状の検査位置に対して指定した検査方向に基づいて目標検査方向データを生成する。前記検査方向は、図5中に前記円筒を横切る矢印(符号Cで示す)として表示される。図5に示す例では、一方の排気ポート52を縦方向に破断した断面(図8に示す)が得られるように指示している。図8に示す断面は、図5に示す円筒の軸線とは直行する面を図5において上側から見た状態の断面であり、前記矢印Cの基端(図5においては左端)が画面の下側に位置するように画面上に表示される。このように画面に映し出されるときの方向を指定できることにより、画面上で被検査部分を容易に確認することができる。   In the inspection direction data generation step 44, target inspection direction data is generated based on the inspection direction designated by the operator with respect to the cylindrical inspection position by the instruction pointer. The inspection direction is displayed as an arrow (indicated by symbol C) across the cylinder in FIG. In the example shown in FIG. 5, an instruction is given to obtain a cross section (shown in FIG. 8) in which one exhaust port 52 is cut in the vertical direction. The cross section shown in FIG. 8 is a cross section when the surface perpendicular to the axis of the cylinder shown in FIG. 5 is viewed from above in FIG. 5, and the base end (left end in FIG. 5) of the arrow C is the bottom of the screen. It is displayed on the screen so as to be located on the side. Since the direction when the image is displayed on the screen can be specified in this way, the part to be inspected can be easily confirmed on the screen.

前記分解能データ生成ステップ45では、オペレータが前記検査位置に対して指定した検査時の分解能から分解能データを生成する。分解能の大きさは、例えば図5中に前記矢印Cの本数や、矢印Cに関連付けられた属性情報として表示される。属性情報としては、例えば、表示される画像の画素数や、X線の出力などである。この属性情報は、図5中に示す各矢印Cを指示用ポインタにより選択することによって表示される副画面上で詳細なデータを入力・変更・確認することができる。また、この方法の他に、前記各矢印Cを指示用ポインタで選択し、コマンドエリアBで示すコマンドを使用してデータを入力・変更・確認することもできる。   In the resolution data generation step 45, resolution data is generated from the resolution at the time of inspection designated by the operator for the inspection position. The magnitude of the resolution is displayed as, for example, the number of the arrows C and attribute information associated with the arrows C in FIG. The attribute information includes, for example, the number of pixels of an image to be displayed and an X-ray output. As this attribute information, detailed data can be input / changed / confirmed on the sub-screen displayed by selecting each arrow C shown in FIG. In addition to this method, each arrow C can be selected with an instruction pointer, and data can be input / changed / confirmed using the command shown in the command area B.

これらの目標検査位置データと、目標検査方向データと、分解能データは、この実施の形態では記憶装置35に記憶されるとともに、接続用ケーブル38を介して前記鋳造システム12の全てのX線検査装置1の制御装置8,8‥‥に送られる。各制御装置8は、このように送られた前記3種類のデータに基づいて上述したようにX線コンピュータ断層撮影を実施し、仮想3次元画像を表示モニタ9に表示する。   These target inspection position data, target inspection direction data, and resolution data are stored in the storage device 35 in this embodiment, and all the X-ray inspection devices of the casting system 12 are connected via the connection cable 38. 1 to the control devices 8, 8. Each control device 8 performs X-ray computed tomography as described above based on the three types of data sent in this way, and displays a virtual three-dimensional image on the display monitor 9.

この実施の形態による支援プログラム11は、前記位置データ生成ステップ43で指定可能な検査範囲が被検査物5の内部を含む全体であるから、この支援プログラム11によって生成された検査条件データに基づいてX線検査装置1が実施する検査は、被検査物5の内部に形成された孔の内径や形状についても行うことができる。   The support program 11 according to this embodiment is based on the inspection condition data generated by the support program 11 because the inspection range that can be specified in the position data generation step 43 is the whole including the inside of the inspection object 5. The inspection performed by the X-ray inspection apparatus 1 can also be performed on the inner diameter and shape of the hole formed inside the inspection object 5.

例えば、この実施の形態によるX線検査装置1によれば、図8に示すように、排気ポート52の内部の孔径と形状とを検査することができる。図8は、X線検査装置1が図5で示す検査条件(目標検査位置、方向、分解能)で撮像し生成した2次元断面画像の1枚である。図8に示す画像は、図5中に示す円筒の軸線方向に断面位置の異なるものが多数得られる。図8において、54は燃焼室を示し、55はシリンダヘッド内のウォータージャケットを示す。   For example, according to the X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment, the hole diameter and shape inside the exhaust port 52 can be inspected as shown in FIG. FIG. 8 shows one of the two-dimensional cross-sectional images generated by the X-ray inspection apparatus 1 imaged under the inspection conditions (target inspection position, direction, resolution) shown in FIG. A large number of images shown in FIG. 8 having different cross-sectional positions in the axial direction of the cylinder shown in FIG. 5 are obtained. In FIG. 8, 54 indicates a combustion chamber, and 55 indicates a water jacket in the cylinder head.

図8から分かるように、このX線検査装置1によれば、図5に示されているシリンダヘッドの一部のみがX線検査装置1の表示モニタ9に表示される。この実施の形態によるX線検査装置1は、図8に示す画像に基づいて、前記合否判定を行い、その判定結果を表示モニタ9に表示する。   As can be seen from FIG. 8, according to the X-ray inspection apparatus 1, only a part of the cylinder head shown in FIG. 5 is displayed on the display monitor 9 of the X-ray inspection apparatus 1. The X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment performs the pass / fail determination based on the image shown in FIG. 8 and displays the determination result on the display monitor 9.

したがって、この実施の形態による支援プログラム11を使用することによって、詳細に検査する箇所のみを高い分解能で検査することができ、その他の箇所は低い分解能で撮像するか、または撮像しなくてよいから、X線検査装置1で行う検査の精度・分解能を高く保ちながら検査時間を短縮することができる。   Therefore, by using the support program 11 according to this embodiment, only the portion to be inspected in detail can be inspected with high resolution, and the other portions may be imaged with low resolution or may not be imaged. The inspection time can be shortened while keeping the accuracy and resolution of the inspection performed by the X-ray inspection apparatus 1 high.

この実施の形態による前記支援プログラム11を使用することにより、X線検査装置1とは別体のコンピュータ31においてX線検査装置1の検査条件データを作成することができる。このため、X線検査装置1が他の被検査物5についてスキャンや検査を実施している間に、被検査物5の検査条件データを事前に作成しておくことができる。この結果、X線検査装置1に被検査物5を装填した後に検査条件データを入力する場合に較べ、検査工程に必要な時間を短縮することができる。   By using the support program 11 according to this embodiment, it is possible to create inspection condition data for the X-ray inspection apparatus 1 in a computer 31 separate from the X-ray inspection apparatus 1. For this reason, inspection condition data of the inspection object 5 can be created in advance while the X-ray inspection apparatus 1 performs scanning or inspection for the other inspection object 5. As a result, the time required for the inspection process can be shortened as compared with the case where inspection condition data is input after the inspection object 5 is loaded in the X-ray inspection apparatus 1.

この実施の形態による前記支援プログラム11を使用することにより、被検査物5の種類、測定項目、必要分解能などが多岐にわたる場合であってもX線検査装置1とは別のコンピュータ31で前記各条件を一つの検査条件データとして保存することができる。このため、前記各検査条件をX線検査装置1に一つずつ直接入力する場合に較べ、検査条件の入力に要する時間も短縮することができる。特に、本発明によれば、上述したように検査条件の入力時間を短縮することができることから、X線検査装置1において、従来のX線検査装置と同等のマクロ機能で自動処理を行うことにより、検査工程での必要時間を著しく短縮することができる。   By using the support program 11 according to this embodiment, each of the above-mentioned items is measured by a computer 31 separate from the X-ray inspection apparatus 1 even when the type, measurement item, required resolution, etc. of the inspection object 5 are various. Conditions can be saved as one inspection condition data. For this reason, compared with the case where each said inspection condition is directly inputted into the X-ray inspection apparatus 1 one by one, the time required for inputting the inspection condition can also be shortened. In particular, according to the present invention, since the input time of the inspection conditions can be shortened as described above, the X-ray inspection apparatus 1 performs automatic processing with a macro function equivalent to that of the conventional X-ray inspection apparatus. The time required for the inspection process can be significantly shortened.

この実施の形態においては、前記支援プログラム11をCD−ROM37に記録してあるから、支援プログラム11の保存を容易に行うことができる。また、支援プログラム11がCD−ROM37に記録されていることにより、図示してはいないが、複数のコンピュータに同一の支援プログラム11を容易にインストールすることができる。   In this embodiment, since the support program 11 is recorded on the CD-ROM 37, the support program 11 can be easily stored. Further, since the support program 11 is recorded on the CD-ROM 37, although not shown, the same support program 11 can be easily installed in a plurality of computers.

この実施の形態によるX線検査装置1は、被検査物5毎の検査用治具6に設けられたバーコードによって被検査物5を特定し、クランプ27を有する位置決め手段によって被検査物5を位置決めできるから、被検査物5毎の検査を自動で行うことができる。
したがって、このX線検査装置1によれば、被検査物5の選択、被検査物5毎の検査条件の入力など、従来、オペレータが行っていた操作を自動化することができる。
In the X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment, the inspection object 5 is specified by a bar code provided on the inspection jig 6 for each inspection object 5, and the inspection object 5 is positioned by positioning means having a clamp 27. Since the positioning is possible, the inspection for each inspection object 5 can be automatically performed.
Therefore, according to the X-ray inspection apparatus 1, operations conventionally performed by an operator such as selection of the inspection object 5 and input of inspection conditions for each inspection object 5 can be automated.

この実施の形態による鋳造システム12によれば、被検査物5(鋳造物)を製品化する過程で実施する加工・処理の後にX線検査装置1によってその都度検査を自動的に行うことができる。
したがって、この鋳造システム12によれば、製品の検査工程を含む製造ラインの自動化を図ることができ、製造ラインの途中で人手により検査を行う製造システムに較べ、製造時間の短縮を図ることができる。
According to the casting system 12 according to this embodiment, the X-ray inspection apparatus 1 can automatically perform an inspection each time after processing / processing performed in the process of commercializing the inspection object 5 (casting). .
Therefore, according to this casting system 12, it is possible to automate the production line including the product inspection process, and it is possible to shorten the production time compared to the production system in which inspection is performed manually in the middle of the production line. .

上述した実施の形態では支援プログラム11をX線検査装置1とは別体のコンピュータ31にインストールする例を示したが、本発明に係る支援プログラム11は、X線検査装置1が有するコンピュータ(制御装置8)にインストールすることができる。この場合、X線検査装置1によってX線コンピュータ断層撮影を行ないながら、このX線検査装置1上で次の被検査装置の検査条件データを生成することができる。   In the embodiment described above, an example in which the support program 11 is installed in the computer 31 that is separate from the X-ray inspection apparatus 1 has been described. It can be installed on the device 8). In this case, while performing X-ray computed tomography by the X-ray inspection apparatus 1, inspection condition data of the next apparatus to be inspected can be generated on the X-ray inspection apparatus 1.

本発明に係る支援用プログラムが動作するコンピュータとX線検査装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the computer and X-ray inspection apparatus with which the program for assistance which concerns on this invention operate | moves. 本発明に係る製造システムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the manufacturing system which concerns on this invention. 製造システムの要部を拡大して示すブロック図である。It is a block diagram which expands and shows the principal part of a manufacturing system. 本発明に係る支援プログラムの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the assistance program which concerns on this invention. 本発明に係る支援プログラムを実行している状態でのモニタ画面の表示を示す図である。It is a figure which shows the display of the monitor screen in the state which is running the assistance program which concerns on this invention. 検査項目と合格基準などを示す図である。It is a figure which shows an inspection item, acceptance criteria, etc. 他のスキャン方式を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows another scanning system. 2次元断面画像を示す図である。It is a figure which shows a two-dimensional cross-sectional image.

符号の説明Explanation of symbols

1…X線検査装置、3,3a…X線源、4,4a…X線検出器、5…被検査物、6…検査用治具、7…測定台、8…制御装置、9,32…表示モニタ、12…鋳造システム、21…上流側搬送装置、23…下流側搬送装置、27…クランプ、31…コンピュータ、33…キーボード、34…マウス、41…データ読込みステップ、42…ポインタ表示ステップ、43…位置データ生成ステップ、44…検査方向データ生成ステップ、45…分解能データ生成ステップ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray inspection apparatus, 3, 3a ... X-ray source, 4, 4a ... X-ray detector, 5 ... Test object, 6 ... Inspection jig, 7 ... Measurement stand, 8 ... Control apparatus, 9, 32 ... Display monitor, 12 ... Casting system, 21 ... Upstream conveying device, 23 ... Downstream conveying device, 27 ... Clamp, 31 ... Computer, 33 ... Keyboard, 34 ... Mouse, 41 ... Data reading step, 42 ... Pointer display step 43 ... Position data generation step, 44 ... Inspection direction data generation step, 45 ... Resolution data generation step.

Claims (5)

2次元断面画像に基づいて検査を行うX線検査装置の検査条件データを生成するX線検査装置用支援プログラムであって、
被検査物の3次元画像データを記憶手段から読み出しモニタ画面に被検査物の仮想3次元画像を表示するデータ読込みステップと、
前記モニタ画面にオペレータの入力手段への操作に連動して移動する指示用ポインタを表示するポインタ表示ステップと、
オペレータが前記指示用ポインタによって指定した仮想3次元画像上の検査位置に基づいて目標検査位置データを生成する位置データ生成ステップと、
オペレータが前記指示用ポインタによって前記検査位置に対して指定した検査方向に基づいて目標検査方向データを生成する検査方向データ生成ステップと、
オペレータが前記検査位置に対して指定した検査時の分解能から分解能データを生成する分解能データ生成ステップとを有し、
前記位置データ生成ステップで指定可能な検査範囲は、被検査物の内部を含む全体であることを特徴とするX線検査装置用支援プログラム。
An X-ray inspection apparatus support program that generates inspection condition data for an X-ray inspection apparatus that performs an inspection based on a two-dimensional cross-sectional image,
A data reading step of reading out the three-dimensional image data of the inspection object from the storage means and displaying the virtual three-dimensional image of the inspection object on the monitor screen;
A pointer display step for displaying an instruction pointer that moves in conjunction with an operation of the operator's input means on the monitor screen;
A position data generation step for generating target inspection position data based on the inspection position on the virtual three-dimensional image designated by the operator with the pointing pointer;
An inspection direction data generation step for generating target inspection direction data based on the inspection direction designated by the operator with respect to the inspection position by the instruction pointer;
A resolution data generation step for generating resolution data from the resolution at the time of inspection designated by the operator with respect to the inspection position;
The support program for an X-ray inspection apparatus characterized in that the inspection range that can be specified in the position data generation step is the whole including the inside of the inspection object.
請求項1記載のX線検査装置用支援プログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。   A recording medium on which the support program for an X-ray inspection apparatus according to claim 1 is recorded. 請求項1記載のX線検査装置用支援プログラムによって生成された検査条件データを使用してX線コンピュータ断層撮影および検査を実施するX線検査装置であって、
前記検査条件データを記憶する記憶手段と、
被検査物を着脱自在に支持する検査用治具と、
前記検査用治具上の被検査物の位置をX線源とX線検出器とに対して位置決めする位置決め手段と、
前記X線検査装置用支援プログラムがインストールされかつこのX線検査装置用支援プログラムによって生成された前記検査条件データに基づいてX線コンピュータ断層撮影を実施し、指定位置の断面画像を生成し検査を行う制御手段とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
An X-ray inspection apparatus that performs X-ray computed tomography and inspection using inspection condition data generated by the support program for an X-ray inspection apparatus according to claim 1,
Storage means for storing the inspection condition data;
An inspection jig for detachably supporting an object to be inspected;
Positioning means for positioning the position of the inspection object on the inspection jig with respect to the X-ray source and the X-ray detector;
The X-ray inspection apparatus support program is installed, and X-ray computed tomography is performed based on the inspection condition data generated by the X-ray inspection apparatus support program, and a cross-sectional image at a specified position is generated to perform an inspection. An X-ray inspection apparatus comprising: a control means for performing.
請求項3記載のX線検査装置において、
検査用治具に設けられ、この検査用治具に支持された被検査物を特定可能な識別情報を有する識別手段と、
前記識別手段から識別情報を読出す識別情報読出手段と、
前記識別情報読出手段により読出された識別情報によって特定された被検査物に対応する検査条件データを前記記憶手段から読出す検査データ読出手段とを備え、
制御手段は、前記検査データ読出手段によって読出された検査条件データに基づいてX線コンピュータ断層撮影を実施し、指定位置の断面画像を生成し検査を行うことを特徴とするX線検査装置。
The X-ray inspection apparatus according to claim 3,
An identification means provided on an inspection jig and having identification information capable of specifying an object to be inspected supported by the inspection jig;
Identification information reading means for reading identification information from the identification means;
Inspection data reading means for reading, from the storage means, inspection condition data corresponding to the inspection object specified by the identification information read by the identification information reading means;
An X-ray inspection apparatus characterized in that the control means performs X-ray computed tomography based on the inspection condition data read by the inspection data reading means, generates a cross-sectional image at a specified position, and performs the inspection.
請求項3または請求項4記載のX線検査装置を備えた製造システムであって、
被検査物をワークとする製造装置と、
この製造装置から前記被検査物を検査用治具とともに前記X線検査装置へ搬送・移載する上流側搬送装置と、
前記X線検査装置から前記被検査物を検査用治具とともに後工程の装置へ搬送・移載する下流側搬送装置とを備えたことを特徴とする製造システム。
A manufacturing system comprising the X-ray inspection apparatus according to claim 3 or 4,
A manufacturing device that uses the object to be inspected as a workpiece;
An upstream conveying device that conveys / transfers the inspection object from the manufacturing apparatus to the X-ray inspection apparatus together with an inspection jig;
A manufacturing system comprising: a downstream transport device that transports / transfers the inspection object from the X-ray inspection device to a subsequent process device together with an inspection jig.
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