JP4681635B2

JP4681635B2 - Inkjet recording apparatus and inkjet head

Info

Publication number: JP4681635B2
Application number: JP2008183965A
Authority: JP
Inventors: 伊左雄鈴木
Original assignee: Toshiba TEC Corp
Current assignee: Toshiba TEC Corp
Priority date: 2008-07-15
Filing date: 2008-07-15
Publication date: 2011-05-11
Anticipated expiration: 2028-07-15
Also published as: JP2010023241A

Description

本発明は、液滴を吐出して用紙に画像を形成するインクジェット記録装置およびインクジェットヘッドに関する。 The present invention relates to an ink jet recording apparatus and an ink jet head that discharge droplets to form an image on a sheet.

例えば、インクジェットヘッドにインク回収口を設けたインクジェット記録装置が開示されている。このインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドと、ノズルプレートの表面に付着したインクを除去するためのブレードを有するワイピング手段と、ノズルよりインクを吸引しインク充填や廃棄を行うパージ手段と、非印刷時にノズルを乾燥から保護するキャップ手段と、を備えている。インクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、ノズルの近傍に設けられたインク回収口と、を有している。インクジェット記録装置は、さらに、インク回収路に接続されたインク回収用ポンプを備えている。インク回収口は、ノズルの直径よりも大きく、ワイピング手段のブレードの厚みよりも小さく形成されている。 For example, an ink jet recording apparatus in which an ink recovery port is provided in an ink jet head is disclosed. The ink jet recording apparatus includes an ink jet head, a wiping means having a blade for removing ink attached to the surface of the nozzle plate, a purge means for sucking ink from the nozzle and filling and discarding the ink, and a nozzle when not printing And capping means for protecting the device from drying. The ink jet head has a nozzle for ejecting ink droplets and an ink recovery port provided in the vicinity of the nozzle. The ink jet recording apparatus further includes an ink recovery pump connected to the ink recovery path. The ink recovery port is formed to be larger than the nozzle diameter and smaller than the thickness of the blade of the wiping means.

このインクジェット記録装置では、インクジェットヘッドの保守動作において、ワイピング手段のブレードは、ノズルプレートの拭き取りを行う。この拭き取り動作と同時に、インク回収用ポンプが作動する。これによって、ブレードによってかき集められたインクがインク吸引口に吸引される（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−１２７４３６号公報 In this ink jet recording apparatus, in the maintenance operation of the ink jet head, the blade of the wiping means wipes the nozzle plate. Simultaneously with the wiping operation, the ink collecting pump is activated. As a result, the ink collected by the blade is sucked into the ink suction port (see, for example, Patent Document 1).
JP 2003-127436 A

上記従来のインクジェット記録装置では、一般的な装置の構成に加えて、インク回収用ポンプがさらに必要になっており、構造が複雑化している。また、インク回収用ポンプは、ワイピング手段の拭き取り動作時にのみ作動するようになっているため、ワイピング効果の向上が期待できるものの、メンテナンスの実行回数を少なくすることには必ずしもつながらないという問題がある。 In the conventional ink jet recording apparatus, in addition to a general apparatus configuration, an ink recovery pump is further required, and the structure is complicated. In addition, since the ink collection pump is operated only during the wiping operation of the wiping means, an improvement in the wiping effect can be expected, but there is a problem that the number of maintenance executions is not necessarily reduced.

本発明の目的は、簡単な構造でメンテナンスの実行回数を少なくすることができるインクジェット記録装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an ink jet recording apparatus that can reduce the number of maintenance operations with a simple structure.

前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェット記録装置は、液を吐出するノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給するための液が貯留されるタンクと、前記インクジェットヘッドと前記タンクとを接続する流路と、を具備し、前記インクジェットヘッドは、前記液が負圧で保持される液室と、前記液室と連通する前記ノズルと、前記ノズルの周囲に形成される撥液エリアと、前記ノズルとは独立に設けられるとともに、前記液室と連通する第１の液回収孔と、前記撥液エリアの周囲を取り囲むとともに、前記第１の液回収孔が配置される親液エリアと、前記親液エリア内に前記撥液エリアの周囲を取り囲むように設けられ、前記親液エリアの表面に対して窪んで形成されるとともに前記第１の液回収孔と連通される第１の溝部と、を含むとともに、前記液室の一つの壁部を構成するノズルプレートと、前記ノズルから液滴を吐出させる駆動素子と、前記ノズルプレートとの間に隙間を存して前記ノズルプレートの表面を覆う重複部と、前記ノズルに対応する位置に設けられた開口部と、前記ノズルプレートに対向する第１の面と、前記第１の面とは反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを貫通するように前記重複部に設けられ、前記第１の液回収孔に対向する位置に設けられた第２の液回収孔と、前記重複部内で前記第２の面から窪んで設けられ、前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記第２の液回収孔に連通される第２の溝部と、を有する保護カバーと、を有し、前記第１の液回収孔は、前記重複部と重なる位置に開口する。 In order to achieve the above object, an ink jet recording apparatus according to an aspect of the present invention includes an ink jet head having a nozzle for discharging a liquid, a tank for storing a liquid to be supplied to the ink jet head, and the ink jet head. And the flow path connecting the tank, and the inkjet head is formed around the nozzle, a liquid chamber in which the liquid is held at a negative pressure, the nozzle communicating with the liquid chamber, and the nozzle. The liquid repellent area and the nozzle are provided independently of each other, and the first liquid recovery hole communicating with the liquid chamber, the periphery of the liquid repellent area, and the first liquid recovery hole are disposed. A lyophilic area, and the lyophilic area is provided so as to surround the periphery of the lyophobic area, and is formed to be recessed with respect to the surface of the lyophilic area. Together comprise a first groove communicates with the first liquid recovery hole, and a nozzle plate forming one wall of the liquid chamber, a drive device for ejecting a liquid droplet from the nozzle, the nozzle plate An overlapping portion that covers the surface of the nozzle plate with a gap therebetween, an opening provided at a position corresponding to the nozzle, a first surface facing the nozzle plate, and the first Provided in the overlapping portion so as to penetrate the second surface opposite to the surface, the first surface and the second surface, and provided at a position facing the first liquid recovery hole. A second liquid recovery hole, and a second groove part that is provided to be recessed from the second surface in the overlapping part, surrounds the periphery of the opening, and communicates with the second liquid recovery hole; A protective cover having the first liquid recovery hole and the overlapping portion. It opened at a position where the.

前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェットヘッドは、液が負圧で保持される液室と、前記液室と連通するノズルと、前記ノズルの周囲に形成される撥液エリアと、前記ノズルとは独立に設けられるとともに、前記液室と連通する第１の液回収孔と、前記撥液エリアの周囲を取り囲むとともに、前記第１の液回収孔が配置される親液エリアと、前記親液エリア内に前記撥液エリアの周囲を取り囲むように設けられ、前記親液エリアの表面に対して窪んで形成されるとともに前記第１の液回収孔と連通される第１の溝部と、を含むとともに、前記液室の一つの壁部を構成するノズルプレートと、前記ノズルから液滴を吐出させる駆動素子と、前記ノズルプレートとの間に隙間を存して前記ノズルプレートの表面を覆う重複部と、前記ノズルに対応する位置に設けられた開口部と、前記ノズルプレートに対向する第１の面と、前記第１の面とは反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを貫通するように前記重複部に設けられ、前記第１の液回収孔に対向する位置に設けられた第２の液回収孔と、前記重複部内で前記第２の面から窪んで設けられ、前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記第２の液回収孔に連通される第２の溝部と、を有する保護カバーと、を有し、前記第１の液回収孔は、前記重複部と重なる位置に開口する。
In order to achieve the above object, an ink jet head according to an aspect of the present invention includes a liquid chamber in which liquid is held at a negative pressure, a nozzle communicating with the liquid chamber, and a liquid repellent formed around the nozzle. The lyophilic liquid is provided independently of the area and the nozzle, and surrounds the first liquid recovery hole communicating with the liquid chamber and the liquid repellent area, and the first liquid recovery hole is disposed. A first area that is provided in the lyophilic area so as to surround the periphery of the lyophobic area, is recessed with respect to the surface of the lyophilic area, and communicates with the first liquid recovery hole. A nozzle plate that forms one wall of the liquid chamber, a drive element that discharges droplets from the nozzle, and a gap between the nozzle plate and the nozzle plate Heavy covering the surface of An opening provided at a position corresponding to the nozzle, a first surface facing the nozzle plate, a second surface opposite to the first surface, and the first surface And the second surface, the second liquid recovery hole provided in the overlapping portion and at a position facing the first liquid recovery hole, and the second liquid recovery hole in the overlapping portion. A protective cover having a second groove portion that is provided to be recessed from the surface and surrounds the periphery of the opening and communicates with the second liquid recovery hole, and the first liquid recovery hole Opens at a position overlapping the overlapping portion.

本発明によれば、簡単な構造でメンテナンスの実行回数を少なくすることができるインクジェット記録装置を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide an ink jet recording apparatus that can reduce the number of maintenance operations with a simple structure.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。実施形態に係るインクジェット記録装置は、用紙などのシート状記録媒体に対して液滴を吐出して、この記録媒体上に文字や画像を印刷する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The ink jet recording apparatus according to the embodiment discharges droplets onto a sheet-like recording medium such as paper and prints characters and images on the recording medium.

図１から図３に示すように、インクジェット記録装置１１は、装置の外郭となる本体ケース１２を備えている。インクジェット記録装置１１は、本体ケース１２の内部に、インクジェットヘッド２０１と、インクジェットヘッド２０１に液を供給するための供給装置１４と、インクジェットヘッド２０１の印刷を制御する制御部１５と、シート状記録媒体１７を送るためのシート送り機構１６と、シート状記録媒体１７が収納される給紙カセット１８と、給紙カセット１８とは独立に設けられる手差しトレイ１９と、を備えている。インクジェット記録装置１１は、さらに、インクジェットヘッド２０１をメンテナンスするための図示しないメンテナンス装置と、を備えている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the ink jet recording apparatus 11 includes a main body case 12 that is an outer shell of the apparatus. The ink jet recording apparatus 11 includes an ink jet head 201, a supply device 14 for supplying liquid to the ink jet head 201, a control unit 15 that controls printing of the ink jet head 201, and a sheet-like recording medium. 17 is provided with a sheet feeding mechanism 16 for feeding 17, a sheet feeding cassette 18 in which the sheet-like recording medium 17 is stored, and a manual feed tray 19 provided independently of the sheet feeding cassette 18. The ink jet recording apparatus 11 further includes a maintenance device (not shown) for maintaining the ink jet head 201.

図１に示すように、シート送り機構１６は、回転可能に設けられるとともにシート状記録媒体１７が巻きつけられるドラム２５と、シート状記録媒体１７をドラム２５に吸着させる帯電ローラ２６と、給紙カセット１８中のシート状記録媒体１７をドラム２５に向けて送る第１の送りローラ２７と、手差しトレイ１９に差し込まれたシート状記録媒体１７をドラム２５に向けて送る第２の送りローラ２８と、第１の送りローラ２７のシート送りと第２の送りローラ２８のシート送りとを切り替えることができる切替機構２９と、を有している。 As shown in FIG. 1, the sheet feeding mechanism 16 is provided rotatably, a drum 25 around which the sheet-like recording medium 17 is wound, a charging roller 26 that adsorbs the sheet-like recording medium 17 to the drum 25, and paper feeding A first feed roller 27 for feeding the sheet-like recording medium 17 in the cassette 18 toward the drum 25; a second feed roller 28 for feeding the sheet-like recording medium 17 inserted into the manual feed tray 19 toward the drum 25; And a switching mechanism 29 that can switch between the sheet feeding of the first feeding roller 27 and the sheet feeding of the second feeding roller 28.

図示省略したが、メンテナンス装置は、ノズルプレート６３上の付着液を拭き取るブレードを有するワイピング装置や、ノズル６４を吸引してノズル詰まりを解消するための吸引装置などを含んでいる。 Although not shown, the maintenance device includes a wiping device having a blade for wiping off the adhering liquid on the nozzle plate 63, a suction device for sucking the nozzle 64 to eliminate nozzle clogging, and the like.

図２に示すように、供給装置１４は、いわゆる循環式のもので構成されている。すなわち、供給装置１４は、第１のタンク３３、第２のタンク３４、循環流路３５、第１のポンプ３６、メインタンク３７、供給流路３８、第２のポンプ３９、第１の弁４０、回収流路４１、第２の弁４２、第１のフィルタ装置４３、および第２のフィルタ装置４４を含んでいる。なお、本発明に言うタンクは、第１のタンク３３と第２のタンク３４とを含んだ概念である。また、循環流路３５は、本発明に言う流路に相当する。 As shown in FIG. 2, the supply device 14 is a so-called circulation type. That is, the supply device 14 includes a first tank 33, a second tank 34, a circulation channel 35, a first pump 36, a main tank 37, a supply channel 38, a second pump 39, and a first valve 40. , A recovery channel 41, a second valve 42, a first filter device 43, and a second filter device 44. The tank referred to in the present invention is a concept including the first tank 33 and the second tank 34. The circulation channel 35 corresponds to the channel referred to in the present invention.

メインタンク３７は、大気開放タンクで構成される。メインタンク３７の内部に液が貯留されている。液は、例えば、シート状記録媒体１７に画像を形成することが可能なインクなどで構成されている。メインタンク３７は、内部に貯留した液を循環流路３５に供給することができる。メインタンク３７は、第１のタンク３３および第２のタンク３４よりも大きい容量を有している。メインタンク３７は、第３の液面センサ５３を有している。第３の液面センサ５３は、メインタンク３７の内部に貯留された液の液面の高さを検知できる。 The main tank 37 is composed of an atmospheric release tank. Liquid is stored inside the main tank 37. The liquid is composed of, for example, ink that can form an image on the sheet-like recording medium 17. The main tank 37 can supply the liquid stored therein to the circulation channel 35. The main tank 37 has a larger capacity than the first tank 33 and the second tank 34. The main tank 37 has a third liquid level sensor 53. The third liquid level sensor 53 can detect the height of the liquid level stored in the main tank 37.

第１のタンク３３は、いわゆるサブタンクであり、内部に液を貯留している。第１のタンク３３は、第１の液面センサ５１を有している。第１の液面センサ５１は、第１のタンク３３の内部に貯留した液の液面の高さを検知できる。第１のタンク３３は、例えば、図示しない固定式の架台の上側に載置されている。第１の液面センサ５１は、第１のタンク３３内に貯留された液が一定の液量以上になるように、第１のタンク３３内の液の液面を監視している。 The first tank 33 is a so-called sub tank and stores liquid therein. The first tank 33 has a first liquid level sensor 51. The first liquid level sensor 51 can detect the height of the liquid level stored in the first tank 33. For example, the first tank 33 is placed on the upper side of a fixed gantry (not shown). The first liquid level sensor 51 monitors the liquid level of the liquid in the first tank 33 so that the liquid stored in the first tank 33 is equal to or greater than a certain amount.

第２のタンク３４は、いわゆるサブタンクであり、内部に液を貯留している。第２のタンク３４も同様に、第２の液面センサ５２を有している。第２の液面センサ５２は、第２のタンク３４の内部に貯留した液の液面の高さを検知できる。第２のタンク３４は、図示しない高さ調整機構の上側に載置されており、設置高さを変更することができる。第２の液面センサ５２は、第２のタンク３４内に貯留された液が一定の液量以上になるように、第２のタンク３４内の液の液面を監視している。 The second tank 34 is a so-called sub tank and stores liquid therein. Similarly, the second tank 34 has a second liquid level sensor 52. The second liquid level sensor 52 can detect the height of the liquid level stored in the second tank 34. The second tank 34 is placed on the upper side of a height adjustment mechanism (not shown), and the installation height can be changed. The second liquid level sensor 52 monitors the liquid level of the liquid in the second tank 34 so that the liquid stored in the second tank 34 becomes equal to or larger than a certain liquid amount.

循環流路３５は、第１のタンク３３とインクジェットヘッド２０１とを接続する第１の部分３５Ａと、インクジェットヘッド２０１と第２のタンク３４とを接続する第２の部分３５Ｂと、第２のタンク３４と第１のタンク３３とを接続する第３の部分３５Ｃと、を有している。言い換えると、ループ状になった循環流路３５の途中に、インクジェットヘッド２０１と、第１のタンク３３と、第２のタンク３４と、がそれぞれ独立して配置されている。前記供給流路３８は、メインタンク３７と第３の部分３５Ｃとを接続している。回収流路４１は、第１の弁４０とインクジェットヘッド２０１との間の位置で、第１の部分３５Ａとメインタンク３７とを接続している。 The circulation channel 35 includes a first portion 35A that connects the first tank 33 and the inkjet head 201, a second portion 35B that connects the inkjet head 201 and the second tank 34, and a second tank. 34 and a third portion 35 C connecting the first tank 33. In other words, the inkjet head 201, the first tank 33, and the second tank 34 are independently arranged in the middle of the loop-shaped circulation flow path 35. The supply flow path 38 connects the main tank 37 and the third portion 35C. The recovery flow path 41 connects the first portion 35 A and the main tank 37 at a position between the first valve 40 and the inkjet head 201.

第１のポンプ３６は、第３の部分３５Ｃの途中に設けられている。図２に示すように、第１のポンプ３６は、循環流路３５内で、一の方向、すなわち、第１の部分３５Ａ、第２の部分３５Ｂ、第３の部分３５Ｃの順で回る方向に、液を循環させることができる。 The first pump 36 is provided in the middle of the third portion 35C. As shown in FIG. 2, the first pump 36 is arranged in one direction in the circulation channel 35, that is, in a direction rotating in the order of the first part 35A, the second part 35B, and the third part 35C. The liquid can be circulated.

第２のポンプ３９は、供給流路３８の途中に設けられている。第２のポンプ３９は、液をメインタンク３７から循環流路３５内に送って、循環流路３５内に液を供給できる。 The second pump 39 is provided in the middle of the supply flow path 38. The second pump 39 can send the liquid from the main tank 37 into the circulation channel 35 and supply the liquid into the circulation channel 35.

第１の弁４０および第２の弁４２は、それぞれ電磁弁で構成されている。第１の弁４０は、第１の部分３５Ａの途中に設けられている。第２の弁４２は、回収流路４１の途中に設けられている。第１の弁４０および第２の弁４２は、制御部１５の制御により、流路を開放したり、閉鎖したりすることができる。 The first valve 40 and the second valve 42 are each constituted by an electromagnetic valve. The first valve 40 is provided in the middle of the first portion 35A. The second valve 42 is provided in the middle of the recovery channel 41. The first valve 40 and the second valve 42 can open or close the flow path under the control of the control unit 15.

供給流路３８は、循環流路３５の第３の部分３５Ｃとメインタンク３７とを接続している。回収流路４１は、インク循環流路３５の第１の部分３５Ａとメインタンク３７とを接続している。回収流路４１は、第１の弁４０とインクジェットヘッド２０１との間の位置で、第３の部分３５Ｃに接続されている。 The supply flow path 38 connects the third portion 35 C of the circulation flow path 35 and the main tank 37. The recovery channel 41 connects the first portion 35 A of the ink circulation channel 35 and the main tank 37. The recovery channel 41 is connected to the third portion 35C at a position between the first valve 40 and the inkjet head 201.

第１のフィルタ装置４３は、第３の部分３５Ｃの途中で、第１のタンク３３と第１のポンプ３６との間の位置に設けられている。第１のフィルタ装置４３は、メッシュ状のフィルタ本体と、フィルタ本体を囲むハウジングなどを有している。第２のフィルタ装置４４は、回収流路４１の途中に設けられている。第２のフィルタ装置４４は、メッシュ状のフィルタ本体と、フィルタ本体を囲むハウジングなどを有している。第１、第２のフィルタ装置４３、４４によって、液中に含まれる異物を除去することができる。 The first filter device 43 is provided at a position between the first tank 33 and the first pump 36 in the middle of the third portion 35C. The first filter device 43 includes a mesh-shaped filter body, a housing surrounding the filter body, and the like. The second filter device 44 is provided in the middle of the recovery channel 41. The second filter device 44 includes a mesh-shaped filter main body, a housing surrounding the filter main body, and the like. Foreign substances contained in the liquid can be removed by the first and second filter devices 43 and 44.

制御部１５は、第１の液面センサ５１を介して第１のタンク３３内の液の液面高さを監視しており、第１のタンク３３内の液の液量が少なくなった場合には、第１のポンプ３６および第２のポンプ３９を駆動して、メインタンク３７から第１のタンク３３に液を供給する。また、制御部１５は、第２の液面センサ５２を介して第２のタンク３４内の液の液面高さを監視しており、第２のタンク３４内の液の液量が少なくなったとき場合には、第２のポンプ３９を駆動して、メインタンク３７から第２のタンク３４に液を供給する。 The control unit 15 monitors the liquid level of the liquid in the first tank 33 via the first liquid level sensor 51, and the amount of liquid in the first tank 33 decreases. The first pump 36 and the second pump 39 are driven to supply the liquid from the main tank 37 to the first tank 33. Further, the control unit 15 monitors the liquid level of the liquid in the second tank 34 via the second liquid level sensor 52, and the amount of liquid in the second tank 34 decreases. In such a case, the second pump 39 is driven to supply the liquid from the main tank 37 to the second tank 34.

インクジェットヘッド２０１は、いわゆるシェアモードサイドシュータタイプのものである。このインクジェットヘッド２０１の内部を液が循環することができる。図３から図５に示すように、インクジェットヘッド２０１は、ヘッド本体２０２と、ヘッド本体２０２の内部に作りこまれるとともに液が負圧で保持される複数の液室２０３と、液室２０３の一つの壁部を構成するようにヘッド本体２０２に接着されるノズルプレート２０４と、液室２０３に連通するようにノズルプレート２０４に形成される複数のノズル２０５および複数の第１の液回収孔２０６と、を有している。ノズル２０５の直径は、例えば、３０μｍ程度である。また、第１の液回収孔２０６の直径も同様に、例えば３０μｍ程度である。 The inkjet head 201 is of a so-called share mode side shooter type. The liquid can circulate inside the inkjet head 201. As shown in FIG. 3 to FIG. 5, the inkjet head 201 includes a head main body 202, a plurality of liquid chambers 203 that are built in the head main body 202 and that holds liquid at a negative pressure, and one of the liquid chambers 203. A nozzle plate 204 bonded to the head body 202 so as to constitute one wall portion, a plurality of nozzles 205 and a plurality of first liquid recovery holes 206 formed in the nozzle plate 204 so as to communicate with the liquid chamber 203 ,have. The diameter of the nozzle 205 is, for example, about 30 μm. Similarly, the diameter of the first liquid recovery hole 206 is about 30 μm, for example.

ノズルプレート２０４は、例えば、ポリイミドで形成されており、方形板状をなしている。ノズルプレート２０４は、ノズル２０５の周囲に形成される撥液エリア２０４Ａと、撥液エリア２０４Ａの周囲に設けられる親液エリア２０４Ｂと、親液エリア２０４Ｂ内に設けられる第１の溝部２０７と、を有している。親液エリア２０４Ｂには、表面の改質処理がなされており、ノズルプレート２０４とインクとの間で親和性が高められている。この親液エリア２０４Ｂに、第１の液回収孔２０６が設けられている。撥液エリア２０４Ａは、ノズル２０５の周囲に方形に設けられている。撥液エリア２０４Ａには、表面処理がなされていない。なお、ノズルプレート２０４は、金属板によって形成されていてもよい。その場合、ノズル２０５、第１の液回収孔２０６および後述する第１の溝部２０７は、金属製のノズルプレート２０４に対してプレス加工を行って一括して形成される。 The nozzle plate 204 is made of, for example, polyimide and has a rectangular plate shape. The nozzle plate 204 includes a liquid repellent area 204A formed around the nozzle 205, a lyophilic area 204B provided around the liquid repellent area 204A, and a first groove 207 provided in the lyophilic area 204B. Have. The lyophilic area 204B is subjected to a surface modification process, and the affinity between the nozzle plate 204 and the ink is enhanced. A first liquid recovery hole 206 is provided in the lyophilic area 204B. The liquid repellent area 204 A is provided in a square shape around the nozzle 205. The liquid repellent area 204A is not subjected to surface treatment. The nozzle plate 204 may be formed of a metal plate. In that case, the nozzle 205, the first liquid recovery hole 206, and a first groove 207 described later are collectively formed by pressing the metal nozzle plate 204.

第１の溝部２０７は、撥液エリア２０４Ａの周囲を格子状に取り囲むように、親液エリア２０４Ｂに設けられている。第１の溝部２０７は、ノズルプレート２０４の親液エリア２０４Ｂの表面に対して窪んで形成されている。より具体的には、第１の溝部２０７は、その溝幅が例えば３０〜５０μｍで、深さが５〜２０μｍで形成されている。 The first groove 207 is provided in the lyophilic area 204B so as to surround the periphery of the liquid repellent area 204A in a lattice shape. The first groove 207 is formed to be recessed with respect to the surface of the lyophilic area 204B of the nozzle plate 204 . More specifically , the first groove portion 207 is formed with a groove width of, for example, 30 to 50 μm and a depth of 5 to 20 μm.

図４に示すように、インクジェットヘッド２０１は、さらに、ヘッド本体２０２の内部に作りこまれるとともに液室２０３と循環流路３５の第１の部分３５Ａとを接続する供給部２１１と、ヘッド本体２０２の内部に作りこまれるとともに液室２０３と循環流路３５の第２の部分３５Ｂとを接続する排出部２１２と、液滴の吐出を駆動する図示しないドライバＩＣと、を有している。 As shown in FIG. 4, the inkjet head 201 is further built inside the head main body 202 and connects the liquid chamber 203 and the first portion 35 A of the circulation channel 35, and the head main body 202. And a discharge portion 212 that connects the liquid chamber 203 and the second portion 35B of the circulation flow path 35, and a driver IC (not shown) that drives the discharge of droplets.

図４に示すように、複数のノズル２０５は、ノズルプレート２０４の中央部に２列に並んで形成されている。図３に示すように、ノズル２０５は、台形の断面形状を有している。 As shown in FIG. 4, the plurality of nozzles 205 are formed in two rows in the center of the nozzle plate 204. As shown in FIG. 3, the nozzle 205 has a trapezoidal cross-sectional shape.

なお、インクジェットヘッド２０１の液面高さは、第１のタンク３３の液面高さおよび第２のタンク３４の液面高さよりも高い位置にある。従って、インクジェットヘッド２０１の液面高さと第１のタンク３３および第２のタンク３４の液面高さとの間の水頭差により、液室２０３内で液が負圧に保持されている。この場合、液室２０３内の液の圧力は、例えば、０〜−３ｋＰａの範囲内で一定に管理されている。 The liquid level of the inkjet head 201 is higher than the liquid level of the first tank 33 and the liquid level of the second tank 34. Accordingly, the liquid is held at a negative pressure in the liquid chamber 203 due to a water head difference between the liquid level height of the inkjet head 201 and the liquid level heights of the first tank 33 and the second tank 34. In this case, the pressure of the liquid in the liquid chamber 203 is controlled to be constant within a range of 0 to −3 kPa, for example.

図５に示すように、ヘッド本体２０２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）製の２枚の板状の圧電部材を張り合わせて形成されている。圧電部材は、互いに分極方向が逆向きになるように接着されている。 As shown in FIG. 5, the head main body 202 is formed by bonding two plate-like piezoelectric members made of PZT (lead zirconate titanate). The piezoelectric members are bonded so that their polarization directions are opposite to each other.

液室２０３は、いわゆる圧力室であり、ノズル２０５に１対１で対応している。インクジェットヘッド２０１は、２個の液室２０３の間に、駆動素子である支柱２１３を有している。支柱２１３は、各ノズル２０５に対応して液室２０３の両壁部として一対に形成されており、ノズル２０５から液滴を吐出させることができる。図４に示すように、支柱２１３は、２列になったノズル２０５に対応して、２列で配置されている。支柱２１３の側面と、液室２０３の底面とにわたるように、支柱２１３を駆動するための電極２１９が形成されている。 The liquid chamber 203 is a so-called pressure chamber and corresponds to the nozzle 205 on a one-to-one basis. The ink jet head 201 has a support column 213 as a drive element between two liquid chambers 203. The struts 213 are formed as a pair as both wall portions of the liquid chamber 203 corresponding to each nozzle 205, and droplets can be ejected from the nozzle 205. As shown in FIG. 4, the support columns 213 are arranged in two rows corresponding to the nozzles 205 in two rows. An electrode 219 for driving the column 213 is formed so as to cover the side surface of the column 213 and the bottom surface of the liquid chamber 203.

図４に示すように、第１の液回収孔２０６は、供給部２１１または排出部２１２の近傍で液室２０３に連通している。 As shown in FIG. 4, the first liquid recovery hole 206 communicates with the liquid chamber 203 in the vicinity of the supply unit 211 or the discharge unit 212.

インクジェットヘッド２０１は、さらに、ノズルプレート２０４上のノズル２０５を保護するための保護カバー２１４を有している。保護カバー２１４は、金属材料により形成されている。保護カバー２１４は、印刷時に用紙などがノズルプレート２０４に接触して、ノズル２０５が傷つけられてしまうことを防止している。保護カバー２１４は、ノズルプレート２０４の表面を覆う重複部２１５と、ノズル２０５に対応する位置に設けられた開口部２１６と、重複部２１５の周囲に設けられた枠部２１７と、を有している。保護カバー２１４は、枠部２１７を介してヘッド本体２０２に接着されている。重複部２１５とノズルプレート２０４との間には、隙間２１８が設けられており、この隙間２１８は、例えば、０．０１〜０．１ｍｍ程度の寸法に形成されている。枠部２１７とヘッド本体２０２との間には、保護カバー２１４を固定するための樹脂製の接着剤２３１が介在されている。 The inkjet head 201 further has a protective cover 214 for protecting the nozzle 205 on the nozzle plate 204. The protective cover 214 is made of a metal material. The protective cover 214 prevents paper or the like from coming into contact with the nozzle plate 204 during printing and damaging the nozzle 205. The protective cover 214 includes an overlapping portion 215 that covers the surface of the nozzle plate 204, an opening 216 provided at a position corresponding to the nozzle 205, and a frame portion 217 provided around the overlapping portion 215. Yes. The protective cover 214 is bonded to the head main body 202 via the frame portion 217. A gap 218 is provided between the overlapping portion 215 and the nozzle plate 204, and the gap 218 is formed to have a size of about 0.01 to 0.1 mm , for example . A resin adhesive 231 for fixing the protective cover 214 is interposed between the frame portion 217 and the head main body 202.

保護カバー２１４の重複部２１５は、ノズルプレート２０４に対向する第１の面２２１と、第１の面２２１とは反対側の第２の面２２２と、第１の面２２１と第２の面２２２と貫通する第２の液回収孔２２３と、開口部２１６の周囲を格子状に取り囲むように第２の面２２２に設けられる第２の溝部２２４と、を有している。第２の液回収孔２２３は、第１の液回収孔２０６に対向する位置に配置されている。第２の液回収孔２２３の直径は、第１の液回収孔２０６と同等か、第１の液回収孔２０６よりも若干大きい直径を有している。 The overlapping portion 215 of the protective cover 214 includes a first surface 221 that faces the nozzle plate 204, a second surface 222 opposite to the first surface 221, and the first surface 221 and the second surface 222. And a second liquid recovery hole 223 penetrating through and a second groove portion 224 provided on the second surface 222 so as to surround the periphery of the opening portion 216 in a lattice shape. The second liquid recovery hole 223 is disposed at a position facing the first liquid recovery hole 206. The diameter of the second liquid recovery hole 223 is the same as that of the first liquid recovery hole 206 or slightly larger than that of the first liquid recovery hole 206.

より具体的には、第２の溝部２２４は、その溝幅が例えば１００μｍ程度で、深さが５０μｍ程度に形成されている。第２の液回収孔２２３および第２の溝部２２４は、平板状の重複部２１５に対する微細加工、例えば、プレス加工、エッチング加工、レーザ加工といった手法によって一括して形成される。 More specifically , the second groove 224 has a groove width of, for example, about 100 μm and a depth of about 50 μm. The second liquid recovery hole 223 and the second groove part 224 are collectively formed by a technique such as press working, etching, or laser processing for the flat overlapping portion 215.

このような構成のインクジェット記録装置１１において、液滴の吐出は、次のようになされる。すなわち、制御部１５は、インクジェットヘッド２０１に対して印字信号をドライバＩＣに出力する。印刷信号を受けたドライバＩＣは、電気配線を介して駆動パルス電圧を支柱２１３に印加する。これにより、図６に２点鎖線で示すように、左右一対の支柱２１３は、シェアモード変形を行って湾曲するように離反する。そして、これらを初期位置に復帰させて液室２０３の液を加圧することで、ノズル２０５から液滴が勢い良く吐出される。 In the ink jet recording apparatus 11 having such a configuration, droplets are discharged as follows. That is, the control unit 15 outputs a print signal to the driver IC with respect to the inkjet head 201. Upon receiving the print signal, the driver IC applies a drive pulse voltage to the support 213 through the electrical wiring. Thereby, as shown with a dashed-two dotted line in FIG. 6, a pair of right and left support | pillar 213 leaves | separates so that a shear mode deformation | transformation may be performed and it may curve. Then, by returning these to the initial position and pressurizing the liquid in the liquid chamber 203, droplets are ejected vigorously from the nozzle 205.

一方、液滴の吐出を繰り返すと、ノズル２０５の周囲にミストが発生し、これがノズルプレート２０４に付着して図５に示すような付着液２２５、２２６となる。付着液２２５、２２６を放置すると、ノズル２０５から吐出される液滴の吐出方向が曲がったり、ノズル２０５に不吐出を生じたりする。本実施形態のインクジェットヘッド２０１では、ノズルプレート２０４に付着した付着液２２５は、撥液エリア２０４Ａから親液エリア２０４Ｂに向かって集められる。親液エリア２０４Ｂに集められた付着液２２５は、第１の溝部２０７および第１の液回収孔２０６を経由して負圧になっている液室２０３内に吸引される。このとき、第１の溝部２０７は、第１の液回収孔２０６に連通されているため、第１の溝部２０７内において液の吸引力が発揮され、液が第１の液回収孔２０６に効率よく回収される。また、第１の溝部２０７に導かれない付着液２２５に対しては、ノズルプレート２０４と保護カバー２１４との間の隙間２１８において液の吸引力が発揮されるため、この液も効率的に第１の液回収孔２０６に回収される。
On the other hand, when droplets are repeatedly ejected, mist is generated around the nozzle 205 and adheres to the nozzle plate 204 to form the adhering liquids 225 and 226 as shown in FIG. If the adhering liquids 225 and 226 are left unattended, the ejection direction of droplets ejected from the nozzle 205 is bent or non-ejection occurs in the nozzle 205. In the inkjet head 201 of this embodiment, the adhesion liquid 225 attached to the nozzle plate 204 is collected from the liquid repellent area 204A toward the lyophilic area 204B. The adhesion liquid 225 collected in the lyophilic area 204B is sucked into the liquid chamber 203 having a negative pressure via the first groove portion 207 and the first liquid recovery hole 206. At this time, since the first groove portion 207 communicates with the first liquid recovery hole 206, the suction force of the liquid is exhibited in the first groove portion 207, and the liquid is efficiently supplied to the first liquid recovery hole 206. It is recovered well. In addition, the adhering liquid 225 that is not guided to the first groove portion 207 exhibits a suction force of the liquid in the gap 218 between the nozzle plate 204 and the protective cover 214. It is recovered in one liquid recovery hole 206.

また、保護カバー２１４の重複部２１５の第２の面２２２に付着した付着液２２６は、第２の液回収孔２２３、隙間２１８、第１の液回収孔２０６を経由して、液室２０３内に回収される。このとき、第２の液回収孔２２３は、隙間２１８を介して第１の液回収孔２０６と連続されているため、第１の液回収孔２０６からの吸引力が第２の液回収孔２２３に伝達され、第２の液回収孔２２３から液が効率よく回収される。 Further, the adhering liquid 226 adhering to the second surface 222 of the overlapping portion 215 of the protective cover 214 passes through the second liquid recovery hole 223, the gap 218, and the first liquid recovery hole 206 to enter the liquid chamber 203. To be recovered. At this time, since the second liquid recovery hole 223 is continuous with the first liquid recovery hole 206 via the gap 218, the suction force from the first liquid recovery hole 206 is the second liquid recovery hole 223. The liquid is efficiently recovered from the second liquid recovery hole 223.

これらによって、ノズルプレート２０４上および保護カバー２１４上において継続的に付着液２２５、２２６が除去される。このため、本実施形態では、ノズルプレート２０４に対して行うワイピング等のメンテナンス作業の回数は、通常のインクジェット記録装置に比して極めて少ないものになっている。 Thus, the adhering liquids 225 and 226 are continuously removed on the nozzle plate 204 and the protective cover 214. For this reason, in the present embodiment, the number of maintenance operations such as wiping performed on the nozzle plate 204 is extremely smaller than that of a normal inkjet recording apparatus.

続いて、図７〜９を参照して、本実施形態のインクジェットヘッド２０１において、ノズルプレート２０４上に形成されるノズル２０５、第１の液回収孔２０６、親液エリア２０４Ｂおよび撥液エリア２０４Ａの製造工程について説明する。 7-9, in the inkjet head 201 of this embodiment, the nozzle 205, the first liquid recovery hole 206, the lyophilic area 204B, and the liquid repellent area 204A formed on the nozzle plate 204. The manufacturing process will be described.

本実施形態のインクジェットヘッド２０１では、ノズルプレート２０４をヘッド本体２０２に接着した状態で、レーザ加工を行って、ノズル２０５、第１の液回収孔２０６を一括して形成する。これらのレーザ加工には、例えばエキシマレーザを用いられる。もっとも、これらのレーザ加工に用いられるレーザとしては、これに限定されるものではなく、短波長のものであればどのようなレーザであってもよい。エキシマレーザのほかに、ノズル２０５および第１の液回収孔２０６の加工に用いられるレーザとしては、ＹＡＧ３倍波（３３５ｎｍ）、ＹＡＧ４倍波（２６６ｎｍ）などがある。好ましくは、微細な精度を要求されるノズル２０５にはエキシマレーザを用い、第１の溝部２０７や第１の液回収孔２０６には加工効率の点からＹＡＧなどを用いるとよい。 In the inkjet head 201 of the present embodiment, laser processing is performed in a state where the nozzle plate 204 is bonded to the head main body 202, and the nozzle 205 and the first liquid recovery hole 206 are collectively formed. For example, an excimer laser is used for the laser processing. However, the laser used for these laser processing is not limited to this, and any laser having a short wavelength may be used. In addition to the excimer laser, lasers used for processing the nozzle 205 and the first liquid recovery hole 206 include YAG third harmonic (335 nm), YAG fourth harmonic (266 nm), and the like. Preferably, an excimer laser is used for the nozzle 205 that requires fine accuracy, and YAG or the like is used for the first groove 207 or the first liquid recovery hole 206 from the viewpoint of processing efficiency.

続いて、ノズルプレート２０４上に撥液エリア２０４Ａと親液エリア２０４Ｂとを形成する。図７に示すように、ＵＶ光を透過させないフィルム部材、例えば、ポリイミドフィルム２２７をノズル２０５の周囲に貼り付ける。このように、ポリイミドフィルム２２７でマスキングを行った状態で、図８に示すようにノズルプレート２０４に対してＵＶ光２２８を照射して、ノズルプレート２０４の表面の改質を行う。これにより、ノズルプレート２０４上に親液エリア２０４Ｂを形成する。また、図９に示すように、その後ノズルプレート２０４からポリイミドフィルム２２７を除去することにより、ノズルプレート２０４上に撥液性を有する撥液エリア２０４Ａが形成される。これによって、ノズルプレート２０４上に撥液エリア２０４Ａと親液エリア２０４Ｂとが形成される。本実施形態によれば、ノズルプレート２０４にＵＶ光２２８を照射することによって、簡単且つ広い範囲に親液エリア２０４Ｂを形成することができる。 Subsequently, a liquid repellent area 204A and a lyophilic area 204B are formed on the nozzle plate 204. As shown in FIG. 7, a film member that does not transmit UV light, for example, a polyimide film 227 is attached around the nozzle 205. Thus, in the state masked with the polyimide film 227, the nozzle plate 204 is irradiated with UV light 228 as shown in FIG. Thereby, the lyophilic area 204B is formed on the nozzle plate 204. As shown in FIG. 9, the polyimide film 227 is then removed from the nozzle plate 204, thereby forming a liquid repellent area 204 A having liquid repellency on the nozzle plate 204. As a result, a liquid repellent area 204A and a lyophilic area 204B are formed on the nozzle plate 204. According to the present embodiment, the lyophilic area 204B can be formed easily and in a wide range by irradiating the nozzle plate 204 with the UV light 228.

なお、本実施形態では、ポリイミドフィルム２２７によってマスキングを行うようにしているが、マスキングの方法はこれに限られるものではない。他のマスキング方法としては、撥液エリア２０４Ａに対応する部分でＵＶ光を透過させないように設計したガラスマスクを用いても良い。この場合、ノズルプレート２０４にガラスマスクを接触させる接触式のマスク方法であってもよいし、ノズルプレート２０４にガラスマスクを接触させない非接触式のマスク方法であってもよい。接触式または非接触式のマスク方法のいずれかを用いて、ＵＶ光の照射を行って、ノズルプレート２０４上に撥液エリア２０４Ａと親液エリア２０４Ｂとを形成する。 In this embodiment, masking is performed by the polyimide film 227, but the masking method is not limited to this. As another masking method, a glass mask designed so as not to transmit UV light in a portion corresponding to the liquid repellent area 204A may be used. In this case, a contact-type mask method in which a glass mask is brought into contact with the nozzle plate 204 or a non-contact type mask method in which the glass mask is not brought into contact with the nozzle plate 204 may be used. Using either a contact-type or non-contact-type mask method, UV light irradiation is performed to form a liquid repellent area 204A and a lyophilic area 204B on the nozzle plate 204.

以上が、インクジェット記録装置１１の実施形態である。本実施形態によれば、インクジェット記録装置１１は、液を吐出するインクジェットヘッド２０１と、インクジェットヘッド２０１に供給するための液が貯留されるタンクと、インクジェットヘッド２０１とタンクとを接続する流路と、を具備し、インクジェットヘッド２０１は、ヘッド本体２０２と、ヘッド本体２０２の内部に作りこまれるとともに、液が負圧で保持される液室２０３と、液室２０３の一つの壁部を構成するように、ヘッド本体２０２に接着されるノズルプレート２０４と、液室２０３と連通するようにノズルプレート２０４に形成されるノズル２０５と、ノズル２０５から液滴を吐出させる駆動素子と、ノズル２０５とは独立に設けられるとともに、液室２０３と連通するようにノズルプレート２０４に形成される第１の液回収孔２０６と、を有し、ノズルプレート２０４は、ノズル２０５の周囲に形成される撥液エリア２０４Ａと、撥液エリア２０４Ａの周囲を取り囲むとともに、第１の液回収孔２０６が配置される親液エリア２０４Ｂと、親液エリア２０４Ｂ内に撥液エリア２０４Ａの周囲を取り囲むように設けられ、親液エリア２０４Ｂの表面に対して窪んで形成されるとともに第１の液回収孔２０６と連通される第１の溝部２０７と、を含む。 The above is the embodiment of the inkjet recording apparatus 11. According to the present embodiment, the ink jet recording apparatus 11 includes an ink jet head 201 that ejects liquid, a tank that stores liquid to be supplied to the ink jet head 201, and a flow path that connects the ink jet head 201 and the tank. The ink jet head 201 constitutes a head main body 202, a liquid chamber 203 that is built in the head main body 202, and holds the liquid at a negative pressure, and one wall portion of the liquid chamber 203. As described above, the nozzle plate 204 bonded to the head body 202, the nozzle 205 formed on the nozzle plate 204 so as to communicate with the liquid chamber 203, the drive element that discharges droplets from the nozzle 205, and the nozzle 205 The first is formed on the nozzle plate 204 so as to be provided independently and to communicate with the liquid chamber 203. The nozzle plate 204 surrounds the liquid repellent area 204A formed around the nozzle 205 and the liquid repellent area 204A, and the first liquid recovery hole 206 is disposed. The lyophilic area 204B is provided in the lyophilic area 204B so as to surround the periphery of the lyophobic area 204A. First groove portion 207.

この構成によれば、液室２０３内では液が負圧に保持されるため、ノズルプレート２０４に液が付着していた場合には、第１の液回収孔２０６からこの付着した液が液室２０３内に吸引される。これにより、ノズルプレート２０４に付着した液を除去して、この液に起因する不吐出や液滴の吐出方向曲がりなどを防止できる。また、ノズルプレート２０４上に親液エリア２０４Ｂおよび撥液エリア２０４Ａが設けられるため、ノズルプレート２０４に付着する液を親液エリア２０４Ｂに集めて、第１の液回収孔２０６により当該液を効率よく回収することができる。さらに、親液エリア２０４Ｂには、撥液エリア２０４Ａの周囲を取り囲むように第１の溝部２０７が設けられるため、液室２０３から第１の液回収孔２０６に作用する吸引力を、第１の溝部２０７を介して親液エリア２０４Ｂにまで及ぼすことができる。これによって、さらに効率よく親液エリア２０４Ｂ上の液を回収することができる。このように本実施形態のインクジェット記録装置１１では、日常的に第１の液回収孔２０６から液が吸引されるため、インクジェットヘッド２０１に対して行うワイピング等のメンテナンスの回数を減らすことができる。これにより、メンテナンスを実行する間隔を長期化して、印刷速度を高速化できる。なお、ノズルプレート２０４に付着した付着液２２５、２２６を液室２０３内に戻したとしても、液室２０３内の液に対して付着液の占める割合は小さいため、付着液の影響は極めて小さい。また、ノズルプレート２０４に付着する液の量も少なくなるため、メンテナンス装置のワイピング装置等を簡易な構成にすることができる。 According to this configuration, since the liquid is maintained at a negative pressure in the liquid chamber 203, when the liquid adheres to the nozzle plate 204, the adhering liquid is transferred from the first liquid recovery hole 206 to the liquid chamber. It is sucked into 203. As a result, the liquid adhering to the nozzle plate 204 can be removed, and non-ejection caused by this liquid and the ejection direction curve of the droplet can be prevented. Further, since the lyophilic area 204B and the lyophobic area 204A are provided on the nozzle plate 204, the liquid adhering to the nozzle plate 204 is collected in the lyophilic area 204B, and the liquid is efficiently collected by the first liquid recovery hole 206. It can be recovered. Further, since the first groove portion 207 is provided in the lyophilic area 204B so as to surround the periphery of the liquid repellent area 204A, the suction force acting on the first liquid recovery hole 206 from the liquid chamber 203 is reduced by the first 207. It can affect the lyophilic area 204B through the groove 207. Thereby, the liquid on the lyophilic area 204B can be recovered more efficiently. As described above, in the ink jet recording apparatus 11 of the present embodiment, since the liquid is sucked from the first liquid recovery hole 206 on a daily basis, the number of maintenance such as wiping performed on the ink jet head 201 can be reduced. As a result, the maintenance interval can be extended and the printing speed can be increased. Even if the adhering liquids 225 and 226 adhering to the nozzle plate 204 are returned into the liquid chamber 203, the influence of the adhering liquid is very small because the ratio of the adhering liquid to the liquid in the liquid chamber 203 is small. Further, since the amount of the liquid adhering to the nozzle plate 204 is reduced, the wiping device of the maintenance device can be simplified.

この場合、インクジェットヘッド２０１は、ノズルプレート２０４との間に隙間２１８を存してノズルプレート２０４の表面を覆う重複部２１５と、ノズル２０５に対応する位置に設けられた開口部２１６と、を有する保護カバー２１４を具備する。この構成によれば、保護カバー２１４によりシート状記録媒体１７等がノズルプレート２０４に接触することを防止することができる。これによって、シート状記録媒体１７等によってノズル２０５が傷つけられてしまうことを防止することができる。また、開口部２１６が設けられているため、ノズル２０５からの液の吐出が保護カバー２１４によって妨げられることがないことはいうまでもない。 In this case, the inkjet head 201 includes an overlapping portion 215 that covers the surface of the nozzle plate 204 with a gap 218 between the nozzle plate 204 and an opening 216 provided at a position corresponding to the nozzle 205. A protective cover 214 is provided. According to this configuration, the protective cover 214 can prevent the sheet-like recording medium 17 and the like from coming into contact with the nozzle plate 204. This can prevent the nozzle 205 from being damaged by the sheet-like recording medium 17 or the like. Further, since the opening 216 is provided, it goes without saying that the discharge of the liquid from the nozzle 205 is not hindered by the protective cover 214.

この場合、第１の液回収孔２０６は、ノズルプレート２０４上で、重複部２１５と重なる位置に開口する。この構成によれば、第１の液回収孔２０６で作用する吸引力を重複部２１５とノズルプレート２０４との間の隙間２１８にも作用させることができる。これによって、重複部２１５とノズルプレート２０４との間の隙間２１８に液が付着してしまった場合であっても、この付着液２２５を第１の液回収孔２０６で液室２０３内に回収することができる。 In this case, the first liquid recovery hole 206 opens on the nozzle plate 204 at a position overlapping the overlapping portion 215. According to this configuration, the suction force acting on the first liquid recovery hole 206 can also act on the gap 218 between the overlapping portion 215 and the nozzle plate 204. As a result, even if the liquid adheres to the gap 218 between the overlapping portion 215 and the nozzle plate 204, the adhering liquid 225 is recovered in the liquid chamber 203 through the first liquid recovery hole 206. be able to.

この場合、保護カバー２１４は、ノズルプレート２０４に対向する第１の面２２１と、第１の面２２１とは反対側の第２の面２２２と、第１の面２２１と第２の面２２２とを貫通するように重複部２１５に設けられる第２の液回収孔２２３と、を有する。この構成によれば、第２の液回収孔２２３は、ノズルプレート２０４と重複部２１５との間の隙間２１８に連通する。このため、隙間２１８に作用する第１の液回収孔２０６からの吸引力を第２の液回収孔２２３にも作用させることができる。これによって、保護カバー２１４の第２の面２２２に付着した付着液２２６を第２の液回収孔２２３、隙間２１８、第１の液回収孔２０６を介して液室２０３内に回収することができる。 In this case, the protective cover 214 includes a first surface 221 that faces the nozzle plate 204, a second surface 222 opposite to the first surface 221, a first surface 221, and a second surface 222. And a second liquid recovery hole 223 provided in the overlapping portion 215 so as to penetrate through. According to this configuration, the second liquid recovery hole 223 communicates with the gap 218 between the nozzle plate 204 and the overlapping portion 215. For this reason, the suction force from the first liquid recovery hole 206 acting on the gap 218 can also be applied to the second liquid recovery hole 223. As a result, the attached liquid 226 adhering to the second surface 222 of the protective cover 214 can be recovered in the liquid chamber 203 through the second liquid recovery hole 223, the gap 218, and the first liquid recovery hole 206. .

この場合、保護カバー２１４は、第２の溝部２２４を有し、第２の溝部２２４は、重複部２１５内で第２の面２２２から窪んで設けられ、開口部２１６の周囲を取り囲むとともに、第２の液回収孔２２３に連通される。この構成によれば、第２の液回収孔２２３で発揮される吸引力を第２の溝部２２４内にも作用させることができる。これによって、保護カバー２１４の第２の面２２２に付着した付着液２２６についても、効率よく液室２０３内に回収することができる。 In this case, the protective cover 214 has a second groove portion 224, and the second groove portion 224 is provided to be recessed from the second surface 222 in the overlapping portion 215, surrounds the periphery of the opening 216, and The second liquid recovery hole 223 communicates with the second liquid recovery hole 223. According to this configuration, the suction force exerted by the second liquid recovery hole 223 can be applied also to the second groove 224. As a result, the attached liquid 226 attached to the second surface 222 of the protective cover 214 can also be efficiently collected in the liquid chamber 203.

なお、本実施形態にかかるインクジェットヘッド２０１は、内部を液が循環する液循環式のもので構成されているが、内部を液が循環しない非循環式のものであっても、本実施形態の構造を採用することができる。 Note that the inkjet head 201 according to the present embodiment is configured with a liquid circulation type in which liquid circulates inside, but even if it is a non-circulation type in which liquid does not circulate inside, A structure can be adopted.

本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。このほか、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。 The present invention is not limited to the embodiment described above. Of course, various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

第１の実施形態に係るインクジェット記録装置を示す側面模式図。1 is a schematic side view illustrating an ink jet recording apparatus according to a first embodiment. 図１に示すインクジェット記録装置の供給装置を示す系統図。FIG. 2 is a system diagram showing a supply device of the ink jet recording apparatus shown in FIG. 1. 図１に示すインクジェットヘッドを示す下面図。The bottom view which shows the inkjet head shown in FIG. 図３に示すインクジェットヘッドにおいて、保護カバーを除去した状態を示す下面図。The bottom view which shows the state which removed the protective cover in the inkjet head shown in FIG. 図３に示すインクジェットヘッドのＦ５−Ｆ５線に沿った断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line F5-F5 of the inkjet head shown in FIG. 図３に示すインクジェットヘッドのＦ６−Ｆ６線に沿った断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of the inkjet head shown in FIG. 3 taken along line F6-F6. 図５に示すインクジェットヘッドの製造工程のうち最初の工程を示す断面図。Sectional drawing which shows the first process among the manufacturing processes of the inkjet head shown in FIG. 図７に示すインクジェットヘッドの製造工程の次の工程を示す断面図。Sectional drawing which shows the next process of the manufacturing process of the inkjet head shown in FIG. 図８に示すインクジェットヘッドの製造工程の次の工程を示す断面図。Sectional drawing which shows the next process of the manufacturing process of the inkjet head shown in FIG.

Explanation of symbols

１１…インクジェット記録装置、２０１…インクジェットヘッド、２０２…ヘッド本体、２０３…液室、２０４…ノズルプレート、２０４Ａ…撥液エリア、２０４Ｂ…親液エリア、２０５…ノズル、２０６…第１の液回収孔、２０７…第１の溝部、２１３…支柱、２１４…保護カバー、２１５…重複部、２１６…開口部、２１８…隙間、２２１…第１の面、２２２…第２の面、２２３…第２の液回収孔、２２４…第２の溝部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Inkjet recording apparatus, 201 ... Inkjet head, 202 ... Head main body, 203 ... Liquid chamber, 204 ... Nozzle plate, 204A ... Liquid repellent area, 204B ... Lipophilic area, 205 ... Nozzle, 206 ... First liquid recovery hole 207 ... first groove portion, 213 ... support, 214 ... protection cover, 215 ... overlapping portion, 216 ... opening, 218 ... gap, 221 ... first surface, 222 ... second surface, 223 ... second Liquid recovery hole, 224 ... second groove

Claims

An inkjet head having a nozzle for discharging liquid;
A tank for storing a liquid to be supplied to the inkjet head;
A flow path connecting the inkjet head and the tank;
Comprising
The inkjet head is
A liquid chamber in which the liquid is held at a negative pressure;
The nozzle communicating with the liquid chamber, the liquid repellent area formed around the nozzle, the first liquid recovery hole provided independently of the nozzle and communicating with the liquid chamber, and the liquid repellent A lyophilic area surrounding the area, the lyophilic area in which the first liquid recovery hole is disposed, and the lyophilic area surrounding the lyophobic area; A first groove portion that is formed to be recessed and communicated with the first liquid recovery hole, and a nozzle plate that constitutes one wall portion of the liquid chamber;
A driving element for discharging droplets from the nozzle;
An overlapping portion that covers the surface of the nozzle plate with a gap between the nozzle plate, an opening provided at a position corresponding to the nozzle, a first surface facing the nozzle plate, and A position that is provided in the overlapping portion so as to penetrate the second surface opposite to the first surface, the first surface, and the second surface, and that faces the first liquid recovery hole. A second liquid recovery hole provided in the second portion, and a second liquid recovery hole provided in the overlapping portion so as to be recessed from the second surface, surrounding the opening and communicating with the second liquid recovery hole. A protective cover having a groove,
Have
The ink jet recording apparatus, wherein the first liquid recovery hole is opened at a position overlapping the overlapping portion.

A liquid chamber in which the liquid is held at a negative pressure;
A nozzle communicating with the liquid chamber, a liquid repellent area formed around the nozzle, a first liquid recovery hole provided independently of the nozzle and communicating with the liquid chamber, and the liquid repellent area A lyophilic area in which the first liquid recovery hole is disposed, and a lyophilic area in the lyophilic area so as to surround the lyophobic area, with respect to the surface of the lyophilic area A first groove portion that is formed to be recessed and communicated with the first liquid recovery hole, and a nozzle plate that constitutes one wall portion of the liquid chamber;
A driving element for discharging droplets from the nozzle;
An overlapping portion that covers the surface of the nozzle plate with a gap between the nozzle plate, an opening provided at a position corresponding to the nozzle, a first surface facing the nozzle plate, and A position that is provided in the overlapping portion so as to penetrate the second surface opposite to the first surface, the first surface, and the second surface, and that faces the first liquid recovery hole. A second liquid recovery hole provided in the second portion, and a second liquid recovery hole provided in the overlapping portion so as to be recessed from the second surface, surrounding the opening and communicating with the second liquid recovery hole. A protective cover having a groove,
Have
The inkjet head according to claim 1, wherein the first liquid recovery hole is opened at a position overlapping the overlapping portion.