JP4663505B2

JP4663505B2 - Optical parts

Info

Publication number: JP4663505B2
Application number: JP2005356697A
Authority: JP
Inventors: 淳荒武; 元速石井; 靖之井上; 智浩中西; 悟今野; 信一津田; 文明塙; 智世柴崎
Original assignee: NTT Electronics Corp; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: NTT Electronics Corp; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2005-12-09
Filing date: 2005-12-09
Publication date: 2011-04-06
Anticipated expiration: 2025-12-09
Also published as: JP2007163604A

Description

本発明は、光通信に使用する光部品に関し、特に光ファイバを接続した光部品に関する。 The present invention relates to an optical component used for optical communication, and more particularly to an optical component to which an optical fiber is connected.

インターネットの爆発的な普及に伴う通信トラヒックの増大を支えているのが、光ファイバによる光通信技術である。ＦＴＴＨアクセス網を用いた音楽や映像の送受信、情報のリアルタイム化によって、アクセスラインの急速なブロードバンド化が進んでいる。 Optical communication technology using optical fibers supports the increase in communication traffic accompanying the explosive spread of the Internet. With the transmission and reception of music and video using the FTTH access network and real-time information transmission, access lines are rapidly becoming broadband.

このような光ファイバを用いた通信には、光ファイバと光デバイスを接続するためのインタフェースが必須である。通常、光ファイバは並列に複数本並べて被覆の施されたテープファイバの形で取り扱われており、ファイバとデバイスとの接続部にはＶ溝つき基板とリッドにより光ファイバの芯線が等間隔に実装された光ファイバアレイ部品が用いられている。このような光ファイバアレイ部品に代表される光部品の構造としては、V溝をガラスやシリコン基板上に精密に作製し、その上に光ファイバの芯線を搭載して、リッドにより押さえ、接着剤で固定したものが実現されている。この構造は光ファイバアレイ部品のみならず、シリコンベンチのような光実装部品の光ファイバ固定法として一般的に用いられている。 For communication using such an optical fiber, an interface for connecting the optical fiber and the optical device is essential. Usually, optical fibers are handled in the form of a tape fiber that is arranged in parallel and coated. Optical fiber core wires are mounted at equal intervals by a V-grooved substrate and lid at the connection between the fiber and the device. An optical fiber array component is used. As the structure of optical components represented by such an optical fiber array component, a V-groove is precisely manufactured on a glass or silicon substrate, an optical fiber core wire is mounted on the V-groove, and the adhesive is pressed by a lid. The one fixed by is realized. This structure is generally used as an optical fiber fixing method not only for optical fiber array components but also for optical mounting components such as silicon benches.

図１に、従来の光ファイバアレイ部品の構造を示す。この光ファイバアレイ部品は、基板３０のＶ溝３１にテープファイバ２０からの光ファイバ芯線２１を搭載してリッド１０で固定するように構成されている。このような光ファイバアレイ部品の構造は、例えば特許文献１の図７に示されている。 FIG. 1 shows the structure of a conventional optical fiber array component. This optical fiber array component is configured such that the optical fiber core wire 21 from the tape fiber 20 is mounted in the V groove 31 of the substrate 30 and fixed by the lid 10. The structure of such an optical fiber array component is shown in FIG.

特許第３１９１７９７号Japanese Patent No. 3191997 特開平１０−９６８３６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-96836

しかしながら、このような構造の光ファイバアレイ部品では、Ｖ溝およびリッドのエッジにより、ファイバ芯線に局所的な力がかかり、傷がつきやすいという問題があった。特に、図１（ｂ）に示すようにＶ溝のエッジとリッドのエッジが一致している場合は、ファイバ芯線２１には、図１（ｃ）に示すように局所的に三方向からの力が集中することになる。このような状態で、温度変化などの外的ストレスがかかると、ファイバが断線するなどの問題が生じる。 However, the optical fiber array component having such a structure has a problem that a local force is applied to the fiber core wire due to the V groove and the edge of the lid, and the fiber core wire is easily damaged. In particular, when the edge of the V groove coincides with the edge of the lid as shown in FIG. 1B, a force from three directions is locally applied to the fiber core wire 21 as shown in FIG. Will concentrate. When an external stress such as a temperature change is applied in such a state, a problem such as disconnection of the fiber occurs.

この問題に対処するために、Ｖ溝のエッジとリッドのエッジをずらしたり（特許文献１の図３など）、リッドのエッジに丸みをつけたり（特許文献２の図６）することで、ファイバにかかる局所的な力を分散し、傷がつかない構造が提案されている。しかしなお、エッジとファイバが接触することで生じる傷やストレスを防止することはできない。 In order to cope with this problem, the edge of the V-groove and the edge of the lid are shifted (FIG. 3 in Patent Document 1, etc.), or the edge of the lid is rounded (FIG. 6 in Patent Document 2). Structures that disperse such local forces and are not scratched have been proposed. However, it is still impossible to prevent scratches and stress caused by contact between the edge and the fiber.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ファイバに座屈構造を持たせることでエッジとの接触を避け、信頼性の高い光ファイバ部品を提供することにある。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a highly reliable optical fiber component by avoiding contact with an edge by providing a buckling structure to the fiber. There is.

本発明は、このような目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、溝を有する基板と、前記溝に芯線が配置された光ファイバと、前記芯線を前記溝に固定するように前記基板に搭載されたリッドとを備えた光部品において、前記芯線の先端と反対側の前記リッドのエッジが、前記芯線の先端と反対側の前記溝のエッジより前記芯線の先端側に配置され、前記光ファイバの芯線を、前記芯線の先端と反対側の前記溝のエッジ部に接触させないように座屈させたことを特徴とする。 In order to achieve such an object, the present invention provides a substrate having a groove, an optical fiber having a core wire disposed in the groove, and fixing the core wire to the groove. in the optical component and a lid mounted on the substrate, or falling edge of di opposite the lid and the distal end of the core wire, said core wire distal end and the groove on the opposite side or falling edge of di than of the core wire is disposed distally, the core wire of the optical fiber, characterized in that to buckle as or falling edge of not contacting the di portion of the groove opposite to the distal end of the core wire.

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光部品において、溝を有する基板と、前記溝に芯線が配置された光ファイバと、前記芯線を前記溝に固定するように前記基板に搭載されたリッドとを備えた光部品において、前記芯線の先端と反対側の前記溝のエッジが、前記芯線の先端と反対側の前記リッドのエッジより前記芯線の先端側に配置され、前記光ファイバの芯線を、前記芯線の先端と反対側の前記リッドのエッジ部に接触させないように座屈させたことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the optical component according to the first aspect, the substrate having a groove, an optical fiber having a core wire disposed in the groove, and the core wire being fixed to the groove. in the optical component and a lid mounted on the substrate, or falling edge of di of the groove at the tip opposite of the core wire, the distal end side of the distal end opposite the or falling edge of di than the core wire of the lid of the core wire disposed, the core wire of the optical fiber, characterized in that was buckled tip the seat so as not to contact the or falling edge of di portion of the lid opposite the core.

また、請求項３に記載の発明は、請求項１ないし２のいずれかに記載の光部品において、前記光ファイバは上下にスタックされたテープファイバであることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the optical component according to any one of the first or second aspects, the optical fiber is a tape fiber stacked vertically.

また、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の光部品において、前記リッドのエッジ部と前記溝のエッジ部との距離Ｇは前記光ファイバの芯線の径ｄに対してＧ≧４ｄであることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the optical component according to any one of the first to third aspects, the distance G between the edge portion of the lid and the edge portion of the groove is the diameter d of the core wire of the optical fiber. G ≧ 4d.

また、請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の光部品において、前記リッドの長さと前記溝の長さとの比は１／２以上であることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the optical component according to any one of the first to fourth aspects, the ratio between the length of the lid and the length of the groove is 1/2 or more. .

また、請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の光部品において、前記光ファイバの芯線が前記溝に搭載された前記基板と前記リッドを接着剤で固着し、前記接着剤の接着面の少なくとも一方に凹凸をつけたことを特徴とする。 The invention according to claim 6 is the optical component according to any one of claims 1 to 5 , wherein the core of the optical fiber and the lid mounted on the groove are fixed with an adhesive, An unevenness is provided on at least one of the adhesive surfaces of the adhesive.

また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の光部品において、前記光ファイバの芯線の近傍の接着面には凹凸をつけていないことを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, in the optical component according to the sixth aspect, the adhesive surface in the vicinity of the core wire of the optical fiber is not uneven.

また、請求項８に記載の発明は、請求項６または７に記載の光部品において、前記溝に対向する前記リッドの接着面には凹凸をつけていないことを特徴とする。 The invention according to claim 8 is the optical component according to claim 6 or 7 , wherein the bonding surface of the lid facing the groove is not uneven.

また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の光部品において、前記溝に対向する前記リッドの接着面であって、前記光ファイバの芯線と接触する部分から１ｍｍの範囲には凹凸をつけていないことを特徴とする。 According to a ninth aspect of the present invention, in the optical component according to the eighth aspect of the present invention, the adhesive surface of the lid that faces the groove is within a range of 1 mm from a portion that contacts the core of the optical fiber. It is characterized by not having irregularities.

また、請求項１０に記載の発明は、請求項６ないし９のいずれかに記載の光部品において、前記凹凸の凸部は凹凸をつけていない面から突出していないことを特徴とする。 According to a tenth aspect of the present invention, in the optical component according to any one of the sixth to ninth aspects, the concavo-convex convex portion does not protrude from a surface not provided with the concavo-convex portion.

また、請求項１１に記載の発明は、請求項６ないし１０のいずれかに記載の光部品において、前記凹凸をつけた面の表面粗さＲａは１〜５μｍであることを特徴とする。 According to an eleventh aspect of the present invention, in the optical component according to any one of the sixth to tenth aspects, a surface roughness Ra of the surface with the irregularities is 1 to 5 μm.

また、請求項１２に記載の発明は、請求項１ないし１１のいずれかに記載の光部品において、前記リッドまたは前記基板と前記光ファイバの被覆終端部との間で前記光ファイバの芯線を覆うように樹脂が充填されたことを特徴とする。 The invention of claim 12 is the optical component according to any one of claims 1 to 11, the core wire of the optical fiber between the pre-Symbol lid or the substrate and the coating end portion of the optical fiber The resin is filled so as to cover it.

また、請求項１３に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載の光部品であって、前記基板または前記リッドの材質は、ガラス、シリコン、プラスティックのいずれかであることを特徴とする。 The invention according to claim 13 is the optical component according to any one of claims 1 to 12 , wherein a material of the substrate or the lid is any of glass, silicon, and plastic. And

また、請求項１４に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載の光部品であって、前記基板または前記リッドの材質は、紫外線または可視光に対して透過性があることを特徴とする。 The invention according to claim 14 is the optical component according to any one of claims 1 to 12 , wherein a material of the substrate or the lid is transmissive to ultraviolet light or visible light. Features.

以下、本発明について図面を参照しながら具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

図２に、本発明の一実施形態における光ファイバ部品の構造を示す。この光ファイバ部品は、Ｖ溝３１を有する基板３０と、光ファイバ芯線２１を有するテープファイバ２０と、Ｖ溝に搭載された光ファイバ芯線を固定するリッド１０とから構成されている。図２に示すように、テープファイバ２０の光ファイバ芯線２１は、基板３０のＶ溝３１に搭載され、リッド１０により固定されている。 FIG. 2 shows the structure of an optical fiber component in one embodiment of the present invention. This optical fiber component includes a substrate 30 having a V-groove 31, a tape fiber 20 having an optical fiber core wire 21, and a lid 10 for fixing the optical fiber core wire mounted in the V-groove. As shown in FIG. 2, the optical fiber core wire 21 of the tape fiber 20 is mounted in the V groove 31 of the substrate 30 and fixed by the lid 10.

図２では、テープファイバからのファイバ芯線をエッジ部４０で座屈させている。この構造では、図２（ｃ）に示すように、ファイバ芯線はＶ溝のエッジから離れた状態となり、Ｖ溝のエッジ部でファイバ芯線に局所的な力がかかることはない。 In FIG. 2, the fiber core wire from the tape fiber is buckled at the edge portion 40. In this structure, as shown in FIG. 2C, the fiber core wire is separated from the edge of the V-groove, and no local force is applied to the fiber core wire at the edge of the V-groove.

ファイバ芯線を座屈させるためには、リッドまたは基板のＶ溝部の長さを変える必要がある。図２では、リッドの長さを短くし、Ｖ溝のエッジ部でファイバ芯線を座屈させている。ファイバ芯線を座屈させる度合いは、図３（ａ）に示すように、ファイバ芯線２１がＶ溝３１から完全に離れていてもよいし、図３（ｂ）に示すように、Ｖ溝３１から完全に離れていなくてもＶ溝のエッジから離れていれば本発明の効果を得ることができる。また、リッドのエッジ部ではファイバ芯線に三方向から局所的な力がかかり、マイクロベントによる光学特性の劣化を引き起こすことがある。したがって、リッドのエッジからＶ溝のエッジまでの距離Ｇは、マイクロベントなどの光学的劣化が生じない範囲にする必要がある。経験的には、ファイバ芯線の径の４倍以上であることが望ましい。 In order to buckle the fiber core wire, it is necessary to change the length of the V-groove portion of the lid or the substrate. In FIG. 2, the length of the lid is shortened and the fiber core wire is buckled at the edge of the V groove. The degree of buckling of the fiber core wire may be such that the fiber core wire 21 may be completely separated from the V-groove 31 as shown in FIG. 3A, or from the V-groove 31 as shown in FIG. Even if it is not completely separated, the effect of the present invention can be obtained if it is separated from the edge of the V groove. In addition, a local force is applied to the fiber core wire from three directions at the edge portion of the lid, which may cause deterioration of optical characteristics due to microventing. Therefore, the distance G from the edge of the lid to the edge of the V-groove needs to be within a range in which optical degradation such as microventing does not occur. Empirically, it is desirable that it is four times or more the diameter of the fiber core wire.

一方、リッドの長さを短くし、距離Ｇを大きく取ると、リッドとＶ溝基板の接着面積が減少し、接着強度が劣化する。図４に、リッドの長さをａとし、Ｖ溝の長さをｂとした場合の接着相対強度を示す。なお、この図は、リッドの長さとＶ溝の長さが等しいとき（ａ＝ｂ）のときの接着強度を１としている。 On the other hand, if the length of the lid is shortened and the distance G is increased, the bonding area between the lid and the V-groove substrate is reduced, and the bonding strength is deteriorated. FIG. 4 shows the relative adhesive strength when the lid length is a and the V-groove length is b. In this figure, the adhesive strength when the length of the lid is equal to the length of the V groove (a = b) is 1.

図に示すように、Ｖ溝の長さｂに対するリッドの長さａの割合ａ／ｂが０．５を下回ると接着強度がピークから１／３以下に低下することが分かる。リッドが短くなると、接着面積が減少するが、同時にファイバの曲がりによって生じる上向きの応力は小さくなり剥離が抑制される効果が生じる。また、一般に接着部周辺は接着時のストレスなどにより剥離が生じやすく中央部に比べて接着力が小さくなり、接着面積０点付近ではある一定の接着面積がなければ接着強度は面積に応じて上昇しない。これらのことから、接着強度は図４のグラフのようになるものと考えられる。ファイバ部品としては接着強度が１／３を下回るとリッドを保持できなくなる。例えば、幅２．５ｍｍ、Ｖ溝長４ｍｍの８芯ハーフピッチファイバ部品において、リッドの長さを２ｍｍより小さくすると接着強度が十分ではなかった。これら接着強度に関する検討からａ／ｂは０．５以上あることが望ましい。 As shown in the figure, it can be seen that when the ratio a / b of the length a of the lid to the length b of the V-groove is less than 0.5, the adhesive strength is reduced to 1/3 or less from the peak. When the lid is shortened, the bonding area is reduced, but at the same time, the upward stress caused by the bending of the fiber is reduced, and the effect of suppressing peeling is produced. In general, the adhesive area is easily peeled off due to stress during bonding, and the adhesive strength is smaller than the central area. If there is no fixed adhesion area near the adhesion area 0, the adhesion strength increases with the area. do not do. From these facts, it is considered that the adhesive strength is as shown in the graph of FIG. As a fiber component, when the adhesive strength is less than 1/3, the lid cannot be held. For example, in an 8-core half-pitch fiber component having a width of 2.5 mm and a V-groove length of 4 mm, the adhesive strength is not sufficient when the lid length is less than 2 mm. From the examination on the adhesive strength, it is desirable that a / b is 0.5 or more.

次に、図５に本発明の他の実施形態による光ファイバ部品のいくつかを示す。図５（ａ）から（ｄ）のいずれにおいても、ファイバ芯線２１を座屈させるために、リッドのエッジとＶ溝のエッジが離間している。リッドのエッジとＶ溝のエッジが一致している場合は、図６に示すように、エッジ部においてファイバ芯線２１に三方向から局所的な力が加わり、マイクロベントによる光学特性の劣化やファイバ芯線に生じた傷から断線につながることがある。図５に示す構造のように、リッドのエッジとＶ溝のエッジが離間している場合は、図７に示すように、Ｖ溝のエッジ部では上方向からの圧力を受けないので、エッジで受ける力が軽減される。さらに、本発明ではファイバ芯線に座屈構造を持たせて、エッジ部でファイバに局所的な力が加わらないようにしている。 Next, FIG. 5 shows some optical fiber components according to other embodiments of the present invention. In any of FIGS. 5A to 5D, the edge of the lid and the edge of the V-groove are separated in order to buckle the fiber core wire 21. When the edge of the lid and the edge of the V-groove coincide with each other, as shown in FIG. 6, local force is applied to the fiber core wire 21 from three directions at the edge portion, and the optical characteristics deteriorate due to the microvent or the fiber core wire. May lead to disconnection from scratches. As shown in FIG. 5, when the lid edge and the V-groove edge are separated from each other, as shown in FIG. The power received is reduced. Furthermore, in the present invention, the fiber core wire has a buckling structure so that local force is not applied to the fiber at the edge portion.

図５（ａ）では、リッドのエッジ部分に丸みをつけた構造としている。これにより、エッジ部４０だけでなく、リッドのエッジによるファイバ芯線２１への局所的な力を防止している。また、図５（ｂ）に示すように、リッドの下部を斜めに切り取ったり、図５（ｃ）に示すように、リッドの下部を曲面加工したりして、座屈構造を受け入れる構造とすることもできる。さらに、上述した接着強度の劣化を抑えるために、図５（ｄ）に示すように、Ｖ溝のエッジ付近のリッド部分を取り除いて、座屈構造を受け入れる構造とすることもできる。これにより、リッドと基板の接着面積を他の構造と比べて大きく取ることができるので、光部品を小型化しつつ、リッドと基板の接着強度を確保することができる。 FIG. 5A shows a structure in which the edge portion of the lid is rounded. Thereby, not only the edge part 40 but the local force to the fiber core wire 21 by the edge of a lid is prevented. Further, as shown in FIG. 5 (b), the lower part of the lid is cut obliquely, or the lower part of the lid is curved as shown in FIG. 5 (c) so as to receive the buckling structure. You can also Furthermore, in order to suppress the above-described deterioration of the adhesive strength, as shown in FIG. 5 (d), it is also possible to remove the lid portion in the vicinity of the edge of the V-groove to accept the buckling structure. As a result, the bonding area between the lid and the substrate can be increased as compared with other structures, so that the bonding strength between the lid and the substrate can be ensured while downsizing the optical component.

図５は、通常ピッチの４芯のテープファイバを使用した場合の実施形態を示したが、本発明は他のタイプのテープファイバにも適用することができる。図８に、４芯のテープファイバを２段平行に重ねたハーフピッチの光ファイバ部品を示す。図８（ａ）は、従来技術の構造による光ファイバ部品を示し、図８（ｂ）は、本発明の構造による光ファイバ部品を示し、図８（ｃ）は、本発明の構造における下側テープファイバの座屈構造を示している。 FIG. 5 shows an embodiment in which a normal pitch four-core tape fiber is used, but the present invention can also be applied to other types of tape fibers. FIG. 8 shows a half-pitch optical fiber component in which four-core tape fibers are stacked in parallel in two stages. FIG. 8A shows an optical fiber component according to the structure of the prior art, FIG. 8B shows an optical fiber component according to the structure of the present invention, and FIG. 8C shows a lower side in the structure of the present invention. The buckling structure of a tape fiber is shown.

図８（ａ）に示す従来の構造では、上側テープファイバ２０ａからリッド１０まで距離が短いためファイバ芯線２１ａの曲率が大きく、そのためリッドに働く上向の応力も相対的に大きくなる。また、特許文献１では、Ｖ溝に対して斜め上からファイバ芯線を実装する構造が開示されている。この構造では、リッドに対して上向きの力がかからないが、上下のファイバが両方とも斜め上から実装されるので、ファイバテープが光ファイバ部品から斜めに搭載されるか、またはファイバテープ部分を平行にするために、光ファイバ部品内で十分な空間を確保しなければならない。これは、光ファイバ部品のアセンブリにおいて問題となる。 In the conventional structure shown in FIG. 8A, since the distance from the upper tape fiber 20a to the lid 10 is short, the curvature of the fiber core wire 21a is large, so that the upward stress acting on the lid is also relatively large. Patent Document 1 discloses a structure in which a fiber core wire is mounted obliquely from above a V groove. In this structure, no upward force is applied to the lid, but both the upper and lower fibers are mounted obliquely from above, so that the fiber tape is mounted obliquely from the optical fiber component or the fiber tape portion is parallel In order to achieve this, a sufficient space must be secured in the optical fiber component. This is a problem in the assembly of optical fiber components.

図８（ｂ）に示す本発明による構造では、上側テープファイバ２０ａからリッド１０までの距離が従来の構造に比べて大きくとれるため、その間のファイバ芯線２１ａの曲率が大きく、リッドに働く上向の応力も相対的に小さくなる。これにより、リッドに対して上向きの応力を抑えつつ、テープファイバを光ファイバ部品から平行に取り出すことができる。また、本発明による構造によれば、図８（ｃ）に示すように、下側テープファイバ２０ｂからのファイバ芯線２１ｂを座屈させることにより、Ｖ溝エッジにファイバ芯線を接触させることなく、ファイバ芯線をＶ溝に実装することができる。図８（ｃ）から分かるように、基板のエッジ部でのファイバ芯線２１ｂの高さｙがｈより大きければ、ファイバ芯線はＶ溝のエッジに接触しない。ここで、水平方向（Ｘ軸）の原点を下側テープファイバ２０ｂからファイバ芯線２１ｂが露出する点にとり、高さ方向（Ｙ軸）の原点を下側テープファイバ２０ｂのファイバ芯線２１ｂの最下部にとり、Ｘ軸からＶ溝内に搭載されたファイバ芯線までの距離をｈとしている。また、Ｙ軸からリッドまでの距離をＬとすると、ファイバ芯線の位置（ｘ，ｙ）の関係式は次式で表される。
（１）
ｙ＝１／２ｈ（１−ｃｏｓπ（ｘ／Ｌ））＋１／２δ（１−ｃｏｓ２π（ｘ／Ｌ）） In the structure according to the present invention shown in FIG. 8 (b), the distance from the upper tape fiber 20a to the lid 10 can be made larger than that of the conventional structure. Therefore, the curvature of the fiber core wire 21a therebetween is large, and the upward working force acts on the lid. The stress is also relatively reduced. Thereby, it is possible to take out the tape fiber in parallel from the optical fiber component while suppressing upward stress with respect to the lid. Further, according to the structure of the present invention, as shown in FIG. 8C, the fiber core wire 21b from the lower tape fiber 20b is buckled, so that the fiber core wire is not brought into contact with the V groove edge. The core wire can be mounted in the V-groove. As can be seen from FIG. 8C, when the height y of the fiber core wire 21b at the edge portion of the substrate is larger than h, the fiber core wire does not contact the edge of the V-groove. Here, the origin in the horizontal direction (X axis) is set to the point where the fiber core wire 21b is exposed from the lower tape fiber 20b, and the origin in the height direction (Y axis) is set to the bottom of the fiber core wire 21b of the lower tape fiber 20b. The distance from the X axis to the fiber core wire mounted in the V groove is h. When the distance from the Y axis to the lid is L, the relational expression of the position (x, y) of the fiber core wire is expressed by the following expression.
(1)
y = 1 / 2h (1-cosπ (x / L)) + 1 / 2δ (1-cos2π (x / L))

ここで、ｃｏｓ２π（ｘ／Ｌ）成分の係数であるδは、座屈によって生じるファイバのたわみ量を表している。ｘ＝Ｌ−Ｇのとき、ｙがｈよりも大きければファイバ芯線はＶ溝のエッジ部分に接触しない。従って、以下の条件式を満たすことが必要になる。
（２）
ｈ＜１／２ｈ（１−ｃｏｓπ（（Ｌ−Ｇ）／Ｌ））＋１／２δ（１−ｃｏｓ２π（（Ｌ−Ｇ）／Ｌ）） Here, δ, which is a coefficient of the cos 2π (x / L) component, represents the amount of deflection of the fiber caused by buckling. When x = LG, if y is greater than h, the fiber core does not contact the edge of the V groove. Therefore, it is necessary to satisfy the following conditional expression.
(2)
h <1 / 2h (1-cosπ ((LG) / L)) + 1 / 2δ (1-cos2π ((LG) / L))

図８に示すようにファイバ芯線への負荷という面からは、リッドはできるだけ短い方が望ましい。しかし、光ファイバ部品の十分な信頼性を得るためには、リッドと基板の接着強度は可能な限り大きい方がよい。ここで、基板のＶ溝の長さを例えば４ｍｍとし、リッドの長さを３ｍｍとすると（すなわちＧ＝１ｍｍ）、ファイバ径が１２５μｍの場合、上記の距離Ｇとファイバ径ｄの条件式Ｇ≧４ｄおよびリッドと基板の接着強度の条件式ａ／ｂ≧０．５のいずれをも満たす。座屈構造がＶ溝のエッジに触れない条件ｙ＞ｈについては、Ｖ溝基板のザグリ量、Ｖ溝の深さ、ファイバ芯線の長さ、テープファイバの厚さなどに依存するが、上記の（２）式を満たす範囲で許容される。 As shown in FIG. 8, it is desirable that the lid be as short as possible in terms of the load on the fiber core. However, in order to obtain sufficient reliability of the optical fiber component, the adhesive strength between the lid and the substrate should be as large as possible. Here, when the length of the V-groove of the substrate is 4 mm and the length of the lid is 3 mm (that is, G = 1 mm), when the fiber diameter is 125 μm, the conditional expression G ≧ of the above distance G and fiber diameter d ≧ Both 4d and the conditional expression a / b ≧ 0.5 of the bonding strength between the lid and the substrate are satisfied. The condition y> h where the buckling structure does not touch the edge of the V groove depends on the amount of counterbore of the V groove substrate, the depth of the V groove, the length of the fiber core wire, the thickness of the tape fiber, etc. (2) It is allowed as long as the formula is satisfied.

Ｖ溝基板のザグリ量については、ファイバ芯線がテープファイバから露出する点と、ファイバ芯線がＶ溝に嵌入する点との位置関係によって座屈の入り方が変わってくることに関係する。座屈を上向きに作るために、リッドが短い場合は、Ｖ溝に搭載されたファイバ芯線の高さに対し、ファイバ芯線が露出する点での高さは低くなければならない。 The counterbore amount of the V-groove substrate is related to how the buckling is changed depending on the positional relationship between the point where the fiber core wire is exposed from the tape fiber and the point where the fiber core wire is fitted into the V-groove. To make buckling upward, when the lid is short, the height at which the fiber core wire is exposed must be lower than the height of the fiber core wire mounted in the V-groove.

以上、ファイバの座屈を利用してファイバとＶ溝エッジの接触を防止する点について述べたが、このような座屈を生じさせるには、例えば通常の１２５μｍ径のファイバではリッド方向に１００ｇ程度の加重をかけることで達成される。この加重Ｆとファイバ芯線の長さＬおよびファイバ径ｄとの間には、次式の関係がある。
（３）Ｆ∝ｄ^４／Ｌ^２ As described above, the point of preventing the contact between the fiber and the V-groove edge by using the buckling of the fiber has been described. In order to cause such a buckling, for example, in a normal 125 μm diameter fiber, about 100 g in the lid direction. This is achieved by applying a weight of. The relationship between the weight F, the length L of the fiber core wire, and the fiber diameter d is expressed by the following equation.
(3) F∝d ⁴ / L ²

したがって、ファイバ径が８０μｍなどの場合のように細いファイバ芯線を用いると、ファイバ芯線の長さを短くでき、座屈構造を持たせた小型の光ファイバ部品を実現することができる。 Therefore, when a thin fiber core wire is used as in the case where the fiber diameter is 80 μm or the like, the length of the fiber core wire can be shortened, and a compact optical fiber component having a buckling structure can be realized.

また、図８に示したようにファイバ芯線への負荷という面からは、リッドはできるだけ短い方が望ましいが、光ファイバ部品の十分な信頼性を得るためには、リッドと基板の接着強度を大きくする必要がある。そこで、図９に示すように、基板とリッドの接着面に凹凸をつけることで接着強度を高めることができる。例えば、接着面を粗化することによって接着面積を増やすことができる。この場合、ファイバ芯線と接触する部分に凹凸をつけると、ファイバ芯線を傷つけるおそれがあるので凹凸をつけないことが望ましい。そこで、図１０に示すように、ファイバ芯線に接触する部分１１は凹凸をつけず、鏡面の状態にしておく。 As shown in FIG. 8, it is desirable that the lid be as short as possible from the viewpoint of the load on the fiber core, but in order to obtain sufficient reliability of the optical fiber component, the bonding strength between the lid and the substrate is increased. There is a need to. Therefore, as shown in FIG. 9, the bonding strength can be increased by making the bonding surface of the substrate and the lid uneven. For example, the adhesion area can be increased by roughening the adhesion surface. In this case, it is desirable not to make the unevenness because the fiber core wire may be damaged if the unevenness is applied to the portion in contact with the fiber core wire. Therefore, as shown in FIG. 10, the portion 11 in contact with the fiber core is not mirrored and is in a mirror state.

リッドがファイバ芯線と接触する部分１１は、リッドの搭載後、常にファイバ芯線に接していることになるので、この部分に凹凸があるとファイバ芯線に常に不均一なストレスを与え続けることになる。そのため、リッドのファイバ芯線と接触する部分１１は、凹凸をつけず、鏡面状態にしておく必要がある。リッドを目視で搭載する場合は、ファイバ芯線に接触する部分から最大で１ｍｍまでの範囲には凹凸をつけないようにするのが望ましい。リッドの搭載精度を上げれば、この範囲を狭めることが可能であり、凹凸をつけない鏡面領域はファイバ芯線に接触する部分から最大で０．５ｍｍ程度の範囲とすることができる。さらに、５０μｍ程度のリッド搭載精度があれば、凹凸をつけない鏡面領域はファイバ芯線が接触している部分から最大で１００μｍ程度まで狭めることができる。 The portion 11 where the lid comes into contact with the fiber core wire is always in contact with the fiber core wire after the lid is mounted. Therefore, if there is unevenness in this portion, the fiber core wire is always subjected to uneven stress. For this reason, the portion 11 that contacts the fiber core wire of the lid needs to be in a mirror state without being uneven. When the lid is mounted visually, it is desirable not to make irregularities in the range from the portion in contact with the fiber core wire to a maximum of 1 mm. If the mounting accuracy of the lid is increased, this range can be narrowed, and the mirror surface area without the unevenness can be set to a range of about 0.5 mm at the maximum from the portion in contact with the fiber core wire. Further, if there is a lid mounting accuracy of about 50 μm, the mirror surface area without the irregularities can be narrowed to a maximum of about 100 μm from the portion where the fiber core wire is in contact.

また、Ｖ溝基板についても同様であり、Ｖ溝部にファイバ芯線を搭載する際に、Ｖ溝の外側に凹凸があると、ファイバ芯線がその部分に触れて傷つくおそれがある。したがって、ファイバ芯線を目視で搭載する場合は、基板のＶ溝から最大で１ｍｍまでの範囲に凹凸をつけないようにするのが望ましい。ファイバ芯線の搭載精度を上げれば、この範囲を狭めることが可能であり、凹凸をつけない鏡面領域はＶ溝から最大で０．５ｍｍ程度の範囲とすることができる。さらに、５０μｍ程度の搭載精度があれば、凹凸をつけない鏡面領域はＶ溝から最大で１００μｍ程度まで狭めることができる。 The same applies to the V-groove substrate, and when the fiber core wire is mounted in the V-groove portion, if the outer surface of the V-groove has irregularities, the fiber core wire may touch the portion and be damaged. Therefore, when the fiber core wire is mounted visually, it is desirable not to make irregularities in the range from the V groove of the substrate up to 1 mm. If the mounting accuracy of the fiber core wire is increased, this range can be narrowed, and the mirror surface area without the unevenness can be set to a maximum range of about 0.5 mm from the V groove. Furthermore, if there is a mounting accuracy of about 50 μm, the mirror surface area without the unevenness can be narrowed from the V groove to about 100 μm at the maximum.

以上のように、リッドとＶ溝基板に凹凸をつけない鏡面領域を設けることで、ファイバ芯線が凹凸によって傷つき、断線する確率を低減することができる。なお、凹凸をつける領域は広いほど接着強度を向上させることができる。 As described above, by providing a mirror-surface region that does not give unevenness to the lid and the V-groove substrate, the probability that the fiber core wire is damaged by the unevenness and is disconnected can be reduced. In addition, adhesive strength can be improved, so that the area | region which gives an unevenness | corrugation is large.

また、リッドの凹凸をつけない部分は、図１１に示すように、必要に応じて異なるパターンを選択することができる。図１０（ａ）は、Ｖ溝の直上部分のすべてに凹凸をつけない例であり、図１０（ｂ）は、ファイバ芯線と接触する部分のみに凹凸をつけない例である。また、図１０（ｃ）は、ファイバ芯線がリッドとＶ溝の間に嵌入する部分のみに凹凸をつけない例である。これは、ファイバ芯線が受けるストレスはこの部分で特に大きく、この部分でファイバ芯線の断線につながる可能性が高いためである。図１０（ｃ）の凹凸をつけていない部分１１は、リッドを目視で搭載する場合、ファイバ芯線とリッドが接触するエッジ部分から１ｍｍ以内の範囲とすることができる。リッドの搭載精度を上げれば、この範囲を狭めることが可能であり、凹凸をつけない鏡面領域はファイバ芯線とリッドが接触するエッジ部分から０．５ｍｍ程度の範囲とすることができる。さらに、５０μｍ程度の搭載精度があれば、凹凸をつけない鏡面領域はファイバ芯線とリッドが接触するエッジ部分から最大で１００μｍ程度まで狭めることができる。 In addition, as shown in FIG. 11, a different pattern can be selected as necessary for the portion where the unevenness of the lid is not provided. FIG. 10A is an example in which no concavity and convexity are formed on the entire portion directly above the V-groove, and FIG. 10B is an example in which concavity and convexity are not provided only on the portion in contact with the fiber core wire. FIG. 10C shows an example in which the fiber core wire is not uneven only in a portion where the fiber core wire is inserted between the lid and the V groove. This is because the stress applied to the fiber core wire is particularly large at this portion, and there is a high possibility that the fiber core wire is disconnected at this portion. When the lid is visually mounted, the portion 11 having no unevenness in FIG. 10C can be within a range of 1 mm from the edge portion where the fiber core wire contacts the lid. If the mounting accuracy of the lid is increased, this range can be narrowed, and the mirror surface area without the unevenness can be set to a range of about 0.5 mm from the edge portion where the fiber core wire contacts the lid. Furthermore, if there is a mounting accuracy of about 50 μm, the mirror surface area without the irregularities can be narrowed to about 100 μm at the maximum from the edge portion where the fiber core wire and the lid contact.

また、図１２に示すように、凹凸をつけた部分１２は、凹凸をつけていない鏡面部分１１から突出しないようにする。例えば、リッドの凹凸部分の突起が鏡面部分から突出していると、対向するＶ溝基板の平面部に当たって、リッドがファイバ芯線を十分に押さえることができないおそれがあるからである。これは、Ｖ溝基板およびリッドの両方の凹凸部分についていえることである。 Moreover, as shown in FIG. 12, the uneven | corrugated part 12 is made not to protrude from the mirror surface part 11 which is not uneven | corrugated. For example, if the projections on the concave and convex portions of the lid protrude from the mirror surface portion, the lid may hit the flat surface portion of the opposing V-groove substrate and the lid may not be able to sufficiently hold the fiber core wire. This is true for the concave and convex portions of both the V-groove substrate and the lid.

V溝基板とリッドの接着面に凹凸をつけるためには、例えば粗研磨などにより粗化を行うことができる。この場合、表面粗さが小さすぎるとその効果が小さく、表面粗さが大き過ぎるとファイバの適切な固定の妨げとなってしまう。そのため、粗化面の表面粗さＲａは１〜５μｍであることが望ましい。作製する粗化面は、V溝基板またはリッド部材を直接粗研磨してもよいし、ウェットエッチングやブラスト等よって加工してもよい。なお、図１０および１１に示すように表面を粗化する部分としない部分を作製する場合は、粗化しない部分をマスキングした後にサンドブラストにより表面を粗化する方法が簡便である。 In order to make the bonding surface of the V-groove substrate and the lid uneven, for example, roughening can be performed by rough polishing or the like. In this case, if the surface roughness is too small, the effect is small, and if the surface roughness is too large, proper fixing of the fiber is hindered. Therefore, the surface roughness Ra of the roughened surface is desirably 1 to 5 μm. The roughened surface to be produced may be directly rough polished on the V-groove substrate or the lid member, or may be processed by wet etching, blasting, or the like. In addition, when producing the part which does not roughen the surface as shown in FIG.10 and 11, the method of roughening the surface by sandblasting after masking the part which is not roughened is simple.

以上、リッドの長さが基板のＶ溝部よりも短い場合を例に説明したが、逆に基板のＶ溝部をリッドの長さより短くしても同様の効果が得られる。この場合、Ｖ溝基板のザグリ量を大きくして上側テープファイバの高さを下げ、上側テープファイバの芯線部分の曲率をできるだけ小さくするのが望ましい。これにより、上側テープファイバの芯線からリッドにかかる応力が低減される。この場合、上側テープファイバからのファイバ芯線の座屈構造が下向きに生じることは言うまでもない。 As described above, the case where the length of the lid is shorter than the V-groove portion of the substrate has been described as an example. Conversely, the same effect can be obtained even if the V-groove portion of the substrate is made shorter than the length of the lid. In this case, it is desirable to increase the counterbore amount of the V-groove substrate to reduce the height of the upper tape fiber and to reduce the curvature of the core portion of the upper tape fiber as much as possible. Thereby, the stress applied to the lid from the core wire of the upper tape fiber is reduced. In this case, it goes without saying that the buckling structure of the fiber core wire from the upper tape fiber occurs downward.

また、上記ではファイバ芯線をＶ溝に搭載する場合を例に説明したが、溝はファイバ芯線を正確に固定できれば、Ｕ溝、四角溝、多角形の溝、複数のファイバを一括して収容するコの字型の溝などでもよい。 In the above description, the case where the fiber core wire is mounted in the V-groove has been described as an example. However, if the fiber core wire can be accurately fixed, the groove accommodates a U-groove, a square groove, a polygonal groove, and a plurality of fibers collectively. A U-shaped groove may be used.

また、リッドまたは基板とファイバの被覆終端部の間にあるファイバ芯線がむき出しの状態であると外部からの物理的ストレス等により、ファイバ芯線が損傷を受け断線する可能性がある。そこで、この空間にはファイバ保護用の樹脂（図示せず）を充填し、ファイバ芯線を覆うことが好ましい。充填する樹脂は、リッドや基板およびファイバ芯線との接着性がよく、適切な硬度を持つものとする必要がある。樹脂の硬度が２０ショアＡ未満の場合には、樹脂内でファイバ芯線の移動が起こり、基板エッジ部やザグリ部表面と接触することでファイバ芯線に傷が入ることがある。また、樹脂の硬度が８０ショアＤを越える場合には、熱刺激に対する膨張や収縮により樹脂表面がひび割れ等の劣化が起こり、ファイバ芯線を保護できなくなる。従って、ファイバ芯線保護用樹脂の硬度は２０ショアＡ〜８０ショアＤであることが望ましい。 Further, if the fiber core wire between the lid or the substrate and the fiber coating end portion is exposed, there is a possibility that the fiber core wire is damaged and disconnected due to external physical stress. Therefore, it is preferable to fill this space with a resin (not shown) for protecting the fiber and cover the fiber core wire. The resin to be filled needs to have good adhesion to the lid, the substrate, and the fiber core wire, and have an appropriate hardness. When the hardness of the resin is less than 20 Shore A, the fiber core wire moves within the resin, and the fiber core wire may be damaged by coming into contact with the substrate edge portion or the counterbore surface. When the resin hardness exceeds 80 Shore D, the resin surface is deteriorated by cracking or the like due to expansion or contraction due to thermal stimulation, and the fiber core wire cannot be protected. Therefore, the hardness of the fiber core wire protecting resin is desirably 20 Shore A to 80 Shore D.

基板およびリッドの材質は、ガラス、半導体、プラスティックなどを使用することができる。組立工程において、接着剤として紫外線硬化剤を使用する場合は、基板とリッドの少なくとも一方が紫外線に対して透過性のある材料を用いると都合がよい。また、組立後のゴミや泡残りを確認するために、基板とリッドの少なくとも一方を可視光に対して透過性がある材料にすると検査が容易になる。 As the material of the substrate and the lid, glass, semiconductor, plastic, or the like can be used. In the assembly process, when an ultraviolet curing agent is used as an adhesive, it is convenient to use a material in which at least one of the substrate and the lid is transparent to ultraviolet rays. In addition, in order to check dust and bubble residue after assembly, it is easy to inspect if at least one of the substrate and the lid is made of a material that is transparent to visible light.

本発明は、光スプリッタやＡＷＧのようなパッシブ部品、レーザダイオード（ＬＤ）やフォトダイオード（ＰＤ）のようなアクティブ素子、光スイッチや光変調器のような部品と共に使用することができる。図１３に、導波路型平面光波回路（ＰＬＣ：ＰｌａｎａｒＬｉｇｈｔｗａｖｅＣｉｒｃｕｉｔ）の光スプリッタとファイバの接続例を示す。テープファイバおよび単芯ファイバ２０とＰＬＣ５０との接続に本発明による技術を用いることで、光部品の信頼性を向上させることができる。 The present invention can be used with passive components such as optical splitters and AWGs, active devices such as laser diodes (LD) and photodiodes (PD), components such as optical switches and optical modulators. FIG. 13 shows a connection example of an optical splitter and a fiber of a waveguide type planar lightwave circuit (PLC). By using the technique according to the present invention for connecting the tape fiber and single-core fiber 20 to the PLC 50, the reliability of the optical component can be improved.

図１４は、シリコンベンチとリッドによるＰＬＣとファイバの接続例を示している。この接続例では、Ｖ溝が作製されたシリコン基板（シリコンベンチ）３０の上にＰＬＣチップ５０を搭載し、光ファイバ２１を接続してリッド１０で固定し、接着剤で固着している。光ファイバの実装に本発明による技術を用いることで、光部品の信頼性を向上させることができる。なお、シリコンベンチ上にはＰＬＣチップだけでなく、フィルタなどのパッシブ部品、ＬＤやＰＤ、アンプなどのアクティブ素子を搭載してもよい。 FIG. 14 shows a connection example of the PLC and the fiber by the silicon bench and the lid. In this connection example, a PLC chip 50 is mounted on a silicon substrate (silicon bench) 30 on which a V-groove is formed, and an optical fiber 21 is connected and fixed with a lid 10 and fixed with an adhesive. The reliability of the optical component can be improved by using the technique according to the present invention for mounting the optical fiber. On the silicon bench, not only the PLC chip but also passive components such as a filter, and active elements such as LD, PD, and amplifier may be mounted.

実際に本発明による光ファイバアレイ部品を高温高湿による加速試験にかけたところ、ファイバの断線確率を大幅に低減できることが確認できた。したがって、本発明の構造を用いることにより、光ファイバアレイ部品の信頼性を高めることができる。 When the optical fiber array component according to the present invention was actually subjected to an accelerated test by high temperature and high humidity, it was confirmed that the fiber disconnection probability could be greatly reduced. Therefore, the reliability of the optical fiber array component can be enhanced by using the structure of the present invention.

以上、本発明について、具体的にいくつかの実施形態について説明したが、本発明の原理を適用できる多くの実施可能な形態に鑑みて、ここに記載した実施形態は、単に例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。ここに例示した実施形態は、本発明の趣旨から逸脱することなくその構成と詳細を変更することができる。さらに、説明のための構成要素および手順は、本発明の趣旨から逸脱することなく変更、補足、またはその順序を変えてもよい。 While the present invention has been described with respect to several specific embodiments, the embodiments described herein are merely illustrative in view of the many possible embodiments to which the principles of the present invention can be applied. It is not intended to limit the scope of the invention. The configuration and details of the embodiment exemplified here can be changed without departing from the spirit of the present invention. Further, the illustrative components and procedures may be changed, supplemented, or changed in order without departing from the spirit of the invention.

従来の光ファイバアレイ部品の構造を示す図であり、図１（ａ）は光ファイバアレイ部品の斜視図であり、図１（ｂ）は光ファイバアレイ部品の側面図であり、図１（ｃ）は図１（ｂ）の線分Ｉ−Ｉ’における断面図である。FIG. 1A is a perspective view of an optical fiber array component, FIG. 1B is a side view of the optical fiber array component, and FIG. ) Is a cross-sectional view taken along line II ′ in FIG. 本発明の一実施形態による光ファイバアレイ部品の構造を示す図であり、図２（ａ）は光ファイバ部品の斜視図であり、図２（ｂ）は光ファイバアレイ部品の側面図であり、図２（ｃ）は図２（ｂ）の線分ＩＩ−ＩＩ’における断面図である。FIG. 2 is a diagram showing a structure of an optical fiber array component according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 (a) is a perspective view of the optical fiber component, and FIG. 2 (b) is a side view of the optical fiber array component; FIG. 2C is a cross-sectional view taken along line II-II ′ in FIG. Ｖ溝のエッジと光ファイバ芯線の関係を示す図であり、図３（ａ）はファイバ芯線がＶ溝から完全に離れている状態を示し、図３（ｂ）はファイバ芯線がＶ溝から完全に離れていない状態を示している。FIG. 3A is a diagram showing the relationship between the edge of the V-groove and the optical fiber core wire. FIG. 3A shows a state where the fiber core wire is completely separated from the V-groove, and FIG. The state is not separated. リッドの長さをａとし、Ｖ溝の長さをｂとした場合の接着相対強度を示すグラフである。It is a graph which shows the adhesion | attachment relative strength when the length of a lid is set to a and the length of a V-groove is set to b. 本発明の他の実施形態による光ファイバ部品のいくつかを示す図であり、図５（ａ）はリッドがＶ溝よりも短くリッドのエッジに丸みを持たせた実施形態を示し、図５（ｂ）はリッドの下部を斜めに切り取って座屈構造を受け入れる実施形態を示し、図５（ｃ）はリッドの下部を曲面加工して座屈構造を受け入れる実施形態を示し、図５（ｄ）はＶ溝のエッジ付近のリッド部分を取り除いて座屈構造を受け入れる実施形態を示している。FIG. 5A is a view showing some of the optical fiber components according to another embodiment of the present invention, and FIG. 5A shows an embodiment in which the lid is shorter than the V-groove and the edge of the lid is rounded, and FIG. Fig. 5 (b) shows an embodiment in which the lower part of the lid is cut obliquely to receive the buckling structure, and Fig. 5 (c) shows an embodiment in which the lower part of the lid is curved to receive the buckling structure. Shows an embodiment in which the lid portion near the edge of the V-groove is removed to accept the buckling structure. リッドのエッジとＶ溝のエッジが一致している場合にエッジ部のファイバ芯線に局所的な力が加わる様子を説明する図であり、図６（ａ）はエッジ部の側面図であり、図６（ｂ）はエッジ部の断面図である。FIG. 6A is a side view of the edge portion when a lid edge and a V-groove edge coincide with each other, and FIG. 6A is a side view of the edge portion. 6B is a cross-sectional view of the edge portion. リッドのエッジとＶ溝のエッジが一致していない場合にエッジ部のファイバ芯線に局所的な力が加わる様子を説明する図であり、図７（ａ）はエッジ部の側面図であり、図７（ｂ）はエッジ部の断面図である。FIG. 7A is a side view of the edge portion when the edge of the lid and the edge of the V groove do not coincide with each other, and FIG. 7A is a side view of the edge portion. 7B is a cross-sectional view of the edge portion. テープファイバを２段平行に重ねたハーフピッチの光ファイバ部品を使用した場合の構造を示し、図８（ａ）は従来の構造による光ファイバ部品の断面図を示し、図８（ｂ）は本発明の構造による光ファイバ部品の断面図を示し、図８（ｃ）は本発明の構造における光ファイバ芯線の座屈構造を示している。FIG. 8 (a) shows a cross-sectional view of an optical fiber component having a conventional structure, and FIG. 8 (b) shows the structure when a half-pitch optical fiber component in which two tape fibers are stacked in parallel is used. FIG. 8 (c) shows a buckling structure of an optical fiber core wire in the structure of the present invention. 基板とリッドの接着面に凹凸をつけて接着強度を高めることができることを説明するための図である。It is a figure for demonstrating that unevenness can be given to the adhesion surface of a substrate and a lid, and adhesive strength can be raised. リッドの凹凸をつける部分と凹凸をつけない部分について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the part which gives the unevenness | corrugation of a lid, and the part which does not give an unevenness | corrugation. リッドの凹凸をつける部分と凹凸をつけない部分のいくつかのパターンを示し、図１１（ａ）はＶ溝の直上部分全体に凹凸をつけない場合を示し、図１１（ｂ）は光ファイバ芯線と接する部分のみにストライプ状に凹凸をつけない場合を示し、図１１（ｃ）はＶ溝のエッジ部近辺のみに凹凸をつけない場合を示している。FIGS. 11A and 11B show several patterns of a portion where the unevenness of the lid is provided and a portion where the unevenness is not provided, FIG. 11A shows a case where the entire portion directly above the V-groove is not provided with an unevenness, and FIG. FIG. 11 (c) shows a case where unevenness is not provided only in the vicinity of the edge portion of the V groove. 凹凸をつけた部分と凹凸をつけていない鏡面部分を説明するために図であり、図１２（ａ）は凹凸をつけた部分と凹凸をつけていない部分を有するリッドの底面を示し、図１２（ｂ）は図１２（ａ）の線分Ｖ−Ｖ’における断面図を示している。FIG. 12A is a view for explaining a portion with unevenness and a mirror surface portion without unevenness, and FIG. 12A shows a bottom surface of a lid having a portion with unevenness and a portion without unevenness. FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line VV ′ in FIG. 本発明を適用することができる導波路型ＰＬＣとファイバの接続例を示す図である。It is a figure which shows the example of a connection of the waveguide type PLC and fiber which can apply this invention. 本発明を適用することができるシリコンベンチとリッドによるＰＬＣとファイバの接続例を示す図である。It is a figure which shows the example of a connection of PLC and fiber by the silicon bench and lid which can apply this invention.

Explanation of symbols

１０リッド
１１鏡面部分
１２凹凸部分
２０テープファイバ
２１ファイバ芯線
３０基板
３１Ｖ溝
４０Ｖ溝のエッジ部
５０ＰＬＣ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lid 11 Mirror surface part 12 Uneven part 20 Tape fiber 21 Fiber core wire 30 Substrate 31 V groove 40 Edge part of V groove 50 PLC

Claims

A substrate having a groove, and the optical fiber core wire is disposed in the groove, the optical component and a lid mounted to the core wire to the substrate so as to fix in the groove, the tip of the core wire opposite the lid or falling edge of di is positioned from or falling edge of di of the groove opposite to the distal end of the core wire distally of the core wire, the core wire of the optical fiber, the tip and the groove of the opposite side of the core wire of optical components, characterized in that to buckle so as not to contact with the or falling edge of di unit.

A substrate having a groove, and the optical fiber core wire is disposed in the groove, the optical component and a lid mounted to the core wire to the substrate so as to fix in the groove, the tip of the core wire opposite of or falling edge of di of the groove is, the disposed from or falling edge of di of the lid with the tip of the core wire opposite to the tip end of the core wire, the core wire of the optical fiber, the opposite side of the lid and the distal end of the core wire optical components, characterized in that to buckle so as not to contact with the or falling edge of di unit.

The optical component according to claim 1, wherein the optical fiber is a tape fiber stacked vertically.

4. The optical component according to claim 1, wherein a distance G between the edge portion of the lid and the edge portion of the groove is G ≧ 4d with respect to a diameter d of the core wire of the optical fiber. Optical parts.

5. The optical component according to claim 1, wherein a ratio of the length of the lid to the length of the groove is 1/2 or more.

The optical component according to any one of claims 1 to 5, wherein the core of the optical fiber fixes the substrate mounted on the groove and the lid with an adhesive, and is uneven on at least one of the adhesive surfaces of the adhesive. Optical parts characterized by having

7. The optical component according to claim 6, wherein the adhesive surface in the vicinity of the core wire of the optical fiber is not uneven.

8. The optical component according to claim 6, wherein the lid has an uneven surface on the surface facing the groove.

9. The optical component according to claim 8, wherein the lid is an adhesive surface of the lid facing the groove and has no irregularities in a range of 1 mm from a portion in contact with the core of the optical fiber. parts.

10. The optical component according to claim 6, wherein the concavo-convex convex portion does not protrude from a surface having no concavo-convex portion. 11.

11. The optical component according to claim 6, wherein a surface roughness Ra of the surface having the unevenness is 1 to 5 μm.

12. The optical component according to claim 1, wherein a resin is filled so as to cover a core wire of the optical fiber between the lid or the substrate and a coating end portion of the optical fiber. Optical parts.

13. The optical component according to claim 1, wherein a material of the substrate or the lid is any one of glass, silicon, and plastic.

13. The optical component according to claim 1, wherein a material of the substrate or the lid is transmissive to ultraviolet light or visible light.