JP4633964B2

JP4633964B2 - Substrate supply device

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Publication number: JP4633964B2
Application number: JP2001152811A
Authority: JP
Inventors: 正木下; 正光宅島; 敏徳磯部
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2001-05-22
Filing date: 2001-05-22
Publication date: 2011-02-16
Anticipated expiration: 2021-05-22
Also published as: JP2002353690A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装設備等において各種処理装置に基板を供給する基板供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より基板に、例えば電子部品の実装等の様々な処理を施すための装置に基板を供給する基板供給装置が知られている。
以下、図５を用いて、一般的な基板供給装置の一例について説明する。
基板供給装置１００は基板の左右両側に配設される略矩形状の板体である一対の側壁１０１、各側壁１０１の下方側に配設され、側壁１０１を所定のタイミングで左右方向に移動させるシリンダ１０２、側壁１０１の左右方向の移動を案内するガイド部材１０３、基板に対して上下動可能となるよう支柱に配設された吸着ノズル１０４、基板を上面に載置するため左右の側壁１０１に挟まれる位置にほぼ水平に配設される基板載置板１０５、各側壁１０１の上端部分に配設され、各側壁１０１と一体に移動すると共に、基板を所定位置まで搬送する一対の搬送レール１０６等から概略構成される。また、前記一対の側壁１０１のうち、いずれか一方（例えば左側）の側壁１０１ａは、基板の側面を当接させることで基板を左右方向に位置決めするための基準用の側壁（以下、「基準側の側壁」という。）として用いられる。なお、搬送レール１０６による基板の搬送方向は、図５において紙面に垂直な方向である。
【０００３】
上述のような構造を備える基板供給装置１００を用いて基板を供給するには、まず、基板の幅（左右方向の幅）に合わせて予め各側壁１０１同士の間隔を調節したうえで、基板を基板載置板１０５上に直積みする。
そして、吸着ノズル１０４を降下させて最上層の基板を真空吸着し、吸着状態を維持したまま吸着ノズル１０４を上昇させる。この際に、前記シリンダ１０２を駆動させることにより、各側壁１０１を基板から離れる方向に移動させる。
【０００４】
そして、基板を搬送レール１０６より高い位置まで上昇させた後、シリンダ１０２を駆動することにより各側壁１０１を元の位置まで移動させ、搬送レール１０６上に基板を載置する。そして、基板を所定位置まで搬送する。
上述のように、基板の引き上げ時に側壁１０１を基板から離れる方向に移動させることで、基板が側壁１０１や搬送レール１０６に当接して吸着ノズル１０４から脱落することを防止できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような構造を備える基板供給装置１００によると、側壁１０１の直立状態を維持したまま左右方向に移動させていたため、各側壁１０１は、積載された基板の側面から完全に離れることになる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因して、積載された基板に位置ずれが生じ易くなり、また、側壁を元の位置に移動させる際にも、例えば、シリンダ１０２の動作に起因して、基準側の側壁１０１ａに微小量の位置ずれが生じ、積載された基板に位置ずれが生じるという問題があった。また、このように基板の位置がずれることにより、例えば、基板の所定位置を吸着できず、基板が落下したり、あるいは基板を搬送レール１０６上の所定位置に載置できないなど、作業性を悪化させる要因となっていた。
【０００６】
本発明の課題は、上述の問題を考慮し、積載された基板の位置ずれを防止できる基板供給装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１記載の基板供給装置（１０）は、直積みした複数の基板を幅方向に位置決めして収納する基板収納部（２０）と、基板収納部の上方側に配設され、基板を所定位置に搬送する一対の搬送レール（４０）と、基板収納部内の最上層の基板を吸着した状態で上昇し、基板を搬送レールに載置する基板吸着装置（３０）とを備え、前記一対の搬送レールが基板の幅方向に移動可能に配設され、基板吸着装置に吸着された基板が搬送レール間を通過する際に、各搬送レールが基板に干渉しない位置まで移動する基板供給装置であって、前記基板収納部が、基板の側面に当接することで基板を幅方向に位置決めする側面基準板（２２）を備え、この側面基準板は、下縁部分において基板供給装置本体側に軸支されるとともに、上縁部分において前記搬送レールと係合され、前記搬送レールの移動に伴って、軸支された部分を中心に基板の幅方向に傾斜動可能であることを特徴とする。
【０００８】
請求項１記載の基板供給装置によれば、側面基準板は、基板供給装置本体側にその下縁部分を支持されるとともに、上縁部分において搬送レールと係合され、搬送レールの移動に伴ってこの支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなる。つまり、基板収納部に積層された基板のうち、基板収納部から取出す必要がある上層に位置する基板に対しては、搬送レールの後方への移動に伴い側面基準板が一定量離れることで基板を取出しやすくなり、一方、下層に位置する基板に対しては側面基準板が極微量しか離れないので、基板の位置ずれを抑えることができる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【０００９】
請求項２記載の基板供給装置は、請求項１記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段（５０）を備え、該傾斜量調節手段は、該側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピン（５１）と、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケット（５２）とを備え、ブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、第一の当接部がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００１１】
請求項３記載の基板供給装置は、請求項１または２記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、前記側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピンと、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットと、調節ピンの先端部分に配設される第一の当接部（５３）と、調節ピンの側面基準板側に配設される第二の当接部（５４）と、前記搬送レールの移動に伴い、前記調節ピンに案内された状態で、第一の当接部と第二の当接部の間を移動可能に配設されるブロック部材（５５）と、調節ピンが挿通された状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばね（５６）とを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の基板供給装置によれば、請求項１または２と同様の効果を得られると共に、調節ピンに挿通した状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばねを備えることで、第一の当接部がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれ等を防止できる。
【００１３】
請求項４記載の基板供給装置は、請求項１記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、一方の端部において前記搬送レールに接合すると共に、他方の端部において基板の幅方向に回転可能となるよう側面基準板にヒンジ接合される調節部材（６１）と、基板供給装置本体側に配設され、前記調節部材の一部に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケット（５２）とを備え、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材（６３）が配設されると共に、ブラケットの基板の幅方向の配設位置を調節可能であることを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材が配設されることで、調節部材がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、調節部材がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
[第一の実施の形態]
以下、本発明にかかる基板供給装置１０の第一の実施の形態について図１〜図３を用いて説明する。なお、以下の説明において、搬送レール４０による基板の搬送方向を左右方向とし、水平面内で左右方向に直交する方向を前後方向とする。
図１に示すように、基板供給装置１０は、基板収納部２０、基板吸着装置３０、搬送レール４０、傾斜量調節手段５０（図３を参照）等から概略構成される。
【００１６】
基板収納部２０は直積みした複数の基板を幅方向（前後方向）に位置決めした状態で収納するために設けられ、フレーム２１、側面基準板２２、側面板２３、基板載置板２４を備える。
フレーム２１は略矩形状に形成される枠体であり、基板供給装置１０の前後側それぞれに配設される。そして、各フレーム２１間には、リニアガイド２１ａに挿通されたリニアガイド軸２１ｂが掛け渡されており、フレーム駆動用シリンダ２１ｃを駆動させることで、各フレーム２１はリニアガイド軸２１ｂに案内された状態で前後方向に移動可能な構造を備えている。従って、各フレーム２１間の距離を、基板収納部２０に収納される基板の前後方向の幅に対応して調節可能となっている。なお、詳しい説明は後述するが、各フレーム２１には搬送レール４０、傾斜量調節手段５０等が配設される。
側面基準板２２は、基板収納部２０に収納された基板の側面（本実施の形態においては後側面）に当接することで基板を前後方向に位置決めするための略矩形状の板体である。
側面基準板２２の寸法（前後方向及び上下方向の長さ）は、フレーム２１の開口の寸法よりも小さいものとされており、側面基準板２２は、その下縁部分において、例えば図２に示すスプリングピン２２ａなどを介して後側のフレーム２１に軸支されており、この軸支された部分を中心にしてフレーム２１の開口内を前後方向に傾斜動可能となっている。なお、詳しい説明は後述するが、この傾斜動は搬送レール４０の前後方向への移動に伴って行われる。
【００１７】
側面板２３は、基板収納部２０に収納された基板の側面（本実施の形態においては前側面）に当接することで、前記側面基準板２２と共に基板を前後方向に位置決めするための略矩形状の板体であり、その左縁部分において前側のフレーム２１にヒンジ接合されている。また、側面板２３は開閉扉としての機能を備えており、側面板２３を開くことで基板収納部２０への基板の収納が行われる。
基板載置板２４は、その上面に基板を載置するために、前記両フレーム２１間の下面側に掛け渡される略矩形状の板体である。
【００１８】
基板吸着装置３０は、基板収納部２０内に積層された基板のうち、最上層の基板を吸着ノズル３１で吸着した状態で上昇し、搬送レール４０上に載置するために配設される。
基板吸着装置３０は複数の吸着ノズル３１を備え、これら吸着ノズル３１が基板供給装置１０の左側から右方向に延出するアーム３２に取付けられる。また、アーム３２は基板供給装置１０の左側において、上下方向に延びるアームガイド軸３３に、アームガイド３４を介して連結されている。また、アームガイド軸３３の下端側には、主動プーリ３５を備えた回転型モータ３６が配設され、アームガイド軸３３の上端側には、従動プーリ３７が配設される。そして、回転型モータ３６を駆動することで、主動プーリ３５と従動プーリ３７に掛け回されたタイミングベルト３８（無端ベルト）に接合した前記アーム３２が上下動し、吸着ノズル３１を上下動することができる。
【００１９】
搬送レール４０は基板吸着装置３０によって基板収納部２０から取出された基板を所定位置まで搬送するための部材であり、基板収納部２０の上方に前後一対に設けられる。
各搬送レール４０は、フレーム２１の上面に配設された搬送レール移動用シリンダ４１と接合しており、この搬送レール移動用シリンダ４１を駆動させることにより、搬送レール４０を前後方向に移動可能となっている。
なお、搬送レール４０には搬送レール取付け台４２が接合され、この搬送レール取付け台４２は、フレーム２１上面側に取り付けられたリニアガイド４３上を摺動可能に配設されている。従って、搬送レール４０は搬送レール取付け台４２を介して、リニアガイド４３により前後方向への移動が案内される。
【００２０】
搬送レール４０がこのような構造を備えることにより、基板を吸着した状態で上昇する吸着ノズル３１が搬送レール４０間を通過する際に、各搬送レール４０を基板に干渉しない位置まで移動させることができる。
なお、詳しい説明は後述するが、一対の搬送レール４０のうち、前記側面基準板２２が配設されている側（後側）の搬送レール４０には、側面基準板２２を傾斜させると共に、傾斜量を調節する傾斜量調節手段５０が接合されている。
【００２１】
傾斜量調節手段５０は、上述のように、搬送レール４０の移動に伴って側面基準板２２を所定量傾斜させるために配設され、図３に示すように、調節ピン５１、ブラケット５２、第一の当接部５３、第二の当接部５４、ブロック部材５５、つる巻ばね５６等を備える。なお、図１においては、傾斜量調節手段５０の図示を省略している。
調節ピン５１は、側面基準板２２の外面から略垂直方向に突出して配設され、搬送レール４０の移動に伴い前後方向に移動する部材である。
【００２２】
ブラケット５２は、後側のフレーム２１の上縁部分を構成する部材の下面側に取付けられる正面視略Ｌ字状の部材であり、調節ピン５１の先端に配設された第一の当接部５３に当接することで、側面基準板２２の傾斜動を停止させるために配設される。
ブラケット５２が前記フレーム２１と当接する部分には、前後方向に長穴５２ａが形成されており、ブラケット５２は、この長穴５２ａを介して下方側からねじ止めされている。従って、ブラケット５２の配設位置を長穴５２ａに沿った方向に調節できる。
【００２３】
第一の当接部５３は、上述のように、調節ピン５１の先端部分に配設される円形の部材であり、その一方の側面（後側面）において前記ブラケット５２に当接すると共に、他方の側面（前側面）において、後述するつる巻ばね５６の先端部分と当接する。
第二の当接部５４は、調節ピン５１の側面基準板２２側、つまり前記第一の当接部５３に対して間隔をあけて配設される円形の部材であり、その一方の側面（後側面）において、後述するブロック部材５５に当接する。なお、図示はしないが、第二の当接部５４は調節ピン５１に挿通した状態でその周方向の側面側からねじ止めされている。従って、第二の当接部５４の配設位置を、調節ピン５１の軸方向に沿って調節することができる。
【００２４】
ブロック部材５５は、側面視略Ｕ字状に形成された部材であり、前記搬送レール取付け台４２を介して搬送レール４０に接合する。また、ブロック部材５５の開口部５５ａには前記調節ピン５１が挿通されており、ブロック部材５５は、搬送レール４０の移動に伴い調節ピン５１に案内された状態で、第一の当接部５３と第二の当接部５４の間を移動する。なお、ブロック部材５５を前後方向に移動させるために、フレーム２１の一部に切欠き２１ｄが形成されている。
つる巻ばね５６は、調節ピン５１に挿通され、その一方の端部（後側の端部）において、第一の当接部５３の前側面と当接し、他方の端部（前側の端部）において、ブロック部材５５の後側面に当接する。
【００２５】
従って、後側の搬送レール４０が基板に干渉しない方向（後方）へ移動すると、この搬送レール４０と一体にブロック部材５５が後方向に移動する。するとブロック部材５５と第一の当接部５３の間に介在するつる巻ばね５６により、第一の当接部５３を後方向に移動させる力が働き、この第一の当接部５３、ひいては調節ピン５１が後方向に移動する。従って、側面基準板２２を後方に傾斜させることができる。
そして、側面基準板２２が所定量傾斜した時点で第一の当接部５３の後側面がブラケット５２の側面に当接することで、側面基準板２２が停止する。
なお、第一の当接部５３がブラケット５２に当接すると、つる巻ばね５６には、第一の当接部５３により、前方向（縮み側）への力が働き、つる巻ばね５６が一定量縮むことになる。
【００２６】
また、搬送レール４０が元の位置、つまり前方向へ移動すると、つる巻ばね５６は、その両端部分において第一の当接部５３とブロック部材５５に当接した状態を保ちつつ、徐々に伸びていく。なお、この間は第一の当接部５３の後側面はブラケット５２に当接した状態を保っている。
そして、搬送レール４０が前方向に所定量移動した時点で、ブロック部材５５が第二の当接部５４の後側面に当接する。この状態からブロック部材５５がさらに前方向に移動することで、第一の当接部５３がブラケット５２から離れ、調節ピン５１全体が前方向に移動する。
そして、搬送レール４０が元の位置に戻った時点で、調節ピン５１に接合した側面基準板２２が直立状態となる。なお、搬送レール４０が元の位置に戻った状態で、側面基準板２２が直立状態となるように、予め第二の当接部５４の配設位置を調節しておくものとする。
【００２７】
次に、基板供給装置１０の動作について説明する。
まず、フレーム駆動用シリンダ２１ｃを駆動させて、基板収納部２０に収納する基板の幅（前後方向の長さ）に対応して、フレーム２１間の前後方向の距離を調節しておく。そして、複数の基板を前側のフレーム２１の開口側から、順次基板収納部２０に挿入する。この際に、基板の後側面を後側のフレーム２１に配設された側面基準板２２に当接させることで、基板を前後方向に位置決めする。
そして、吸着ノズル３１を降下させ、基板収納部２０内に積層された基板のうち、最上層の基板を吸着する。
【００２８】
そして、基板を吸着した状態で吸着ノズル３１を上昇させる。この際に、基板を通過させるため、各搬送レール４０を基板に干渉しない位置まで移動させる。そして、この搬送レール４０のうち、後側の搬送レール４０の後方への移動に伴い、上述のように側面基準板２２が後方へ所定量傾斜する。
そして、基板が搬送レール４０間を通過後、各搬送レール４０を元の位置まで移動させる。この搬送レール４０の移動により側面基準板２２が直立状態となる。
そして、基板を搬送レール４０上に載置し、所定位置まで搬送する。
以上で基板供給装置１０の動作が完了する。
【００２９】
本実施の形態で示した基板供給装置１０によれば、側面基準板２２は、フレーム２１にその下縁部分を支持され、この支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板２２が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなり、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置３０が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール４０上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【００３０】
また、傾斜量調節手段５０のつる巻ばね５６により、第一の当接部５３がブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、ブラケット５２の配設位置を前後方向に調節可能であるため、ブラケット５２に第一の当接部５３が当接する位置を調節でき、ひいては側面基準板２２の傾斜量を調節することができる。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、傾斜量調節手段５０が調節ピン５１、ブラケット５２、第一の当接部５３、第二の当接部５４、ブロック部材５５、つる巻ばね５６を備えるものとしたが、これに限らず、例えば、調節ピン５１と、ブラケット５２のみを備えるものとしても良い。この場合は、傾斜量調節手段５０の構造を簡易なものにできる。
また、基板搬送方向に対して側面基準板２２を後側に配設するものとしたが、前側に配設しても良い。
【００３２】
[第二の実施の形態]
次に、第二の実施の形態について、図４を用いて説明する。
なお、以下の説明において、上記第一の実施の形態と同様の構成となる部分については同一の符号を用いるものとする。
第一の実施の形態と異なるのは、傾斜量調節手段の構造のみであり、本実施の形態にかかる基板供給装置の傾斜量調節手段６０は、図４に示すように、調節部材６１と、ブラケット５２を備える。
【００３３】
調節部材６１は、一方の端部において搬送レール４０に接合すると共に、他方の端部において側面基準板２２の上縁部分にヒンジ６２により接合される部材である。従って、調節部材６１はヒンジ接合された部分を中心に前後方向に回転可能であると共に、搬送レール４０の移動と一体に前後方向に移動可能である。
調節部材６１の一部には上下方向に延出する当接部６１ａが形成され、この当接部６１ａは、後述するブラケット５２の側面に当接する。
【００３４】
ブラケット５２は、前記第一の実施の形態で示したブラケット５２と同一の構造を備えており、その配設位置を前後方向に調節可能となっている。また、ブラケット５２の側面、つまり調節部材の当接部６１ａと当接する部分には弾性部材６３として、例えば弾性を有する樹脂製のゴムが貼設されている。
【００３５】
従って、搬送レール４０が基板に干渉しない方向（後方）へ移動すると、この搬送レール４０と一体に調節部材６１が後方に移動する。そして、側面基準板２２が所定量傾斜した時点で調節部材の当接部６１ａがブラケット５２の弾性部材６３に当接し、側面基準板２２の傾斜が停止する。
なお、搬送レール４０が元の位置に戻った状態で、側面基準板２２が直立状態となるように、予め調節部材６１の形状を調節しておくものとする。
【００３６】
本実施の形態で示した基板供給装置１０によれば、弾性部材６３により、調節部材の当接部６１ａがブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、ブラケット５２の配設位置を前後方向に調節可能であるため、このブラケット５２に当接部６１ａが当接する位置も調節でき、ひいては側面基準板２２の傾斜量を調節することができる。
なお、本実施の形態においては、ブラケット５２の側面に弾性部材６３が貼設されるものとしたが、これに限らず、例えばブラケット５２を可撓性を有する部材で形成し、ブラケット５２自体の撓みにより調節部材の当接部６１ａがブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和するものとしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１記載の基板供給装置によれば、側面基準板は、基板供給装置本体側にその下縁部分を支持され、この支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなる。つまり、基板収納部に積層された基板のうち、基板収納部から取出す必要がある上層に位置する基板に対しては、側面基準板が一定量離れることで基板を取出しやすくなり、一方、下層に位置する基板に対しては側面基準板が極微量しか離れないので、基板の位置ずれ量を抑えることができる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【００３８】
請求項２記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、第一の当接部がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００３９】
請求項３記載の基板供給装置によれば、請求項１または２と同様の効果を得られると共に、調節ピンに挿通した状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばねを備えることで、第一の当接部がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
【００４０】
請求項４記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材が配設されることで、調節部材がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、調節部材がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の実施の形態の基板供給装置を示す要部斜視図である。
【図２】第一の実施の形態の側面基準板の取付け構造を示す要部斜視図である。
【図３】第一の実施の形態の傾斜量調節手段の構造を示す要部斜視図である。
【図４】第二の実施の形態の傾斜量調節手段の構造を示す要部斜視図である。
【図５】従来の基板供給装置を示す要部正面図である。
【符号の説明】
１０基板供給装置
２０基板収納部
２２側面基準板
３０基板吸着装置
４０搬送レール
５０傾斜量調節手段
５１調節ピン
５２ブラケット
５３第一の当接部
５４第二の当接部
５５ブロック部材
５６つる巻ばね
６１調節部材
６３弾性部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate supply apparatus that supplies substrates to various processing apparatuses in an electronic component mounting facility or the like.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a substrate supply apparatus that supplies a substrate to an apparatus for performing various processes such as mounting electronic components on the substrate.
Hereinafter, an example of a general substrate supply apparatus will be described with reference to FIG.
The substrate supply apparatus 100 is provided with a pair of side walls 101, which are substantially rectangular plates disposed on both the left and right sides of the substrate, and below the side walls 101, and moves the side walls 101 in the left-right direction at a predetermined timing. A cylinder 102, a guide member 103 for guiding the movement of the side wall 101 in the left-right direction, a suction nozzle 104 disposed on a support so as to be movable up and down with respect to the substrate, A pair of transport rails 106 that are disposed at the upper end portion of each of the side walls 101 and are placed in a substantially horizontal position at the sandwiched position, move together with the side walls 101, and transport the substrate to a predetermined position. Etc. One of the pair of side walls 101 (for example, the left side wall 101a) is a reference side wall (hereinafter referred to as “reference side”) for positioning the substrate in the left-right direction by contacting the side surface of the substrate. It is used as a side wall of the In addition, the board | substrate conveyance direction by the conveyance rail 106 is a direction perpendicular | vertical to a paper surface in FIG.
[0003]
In order to supply a substrate using the substrate supply apparatus 100 having the above-described structure, first, the distance between the side walls 101 is adjusted in advance according to the width of the substrate (the width in the left-right direction), and then the substrate is removed. Directly stack on the substrate mounting plate 105.
Then, the suction nozzle 104 is lowered to vacuum-suck the uppermost substrate, and the suction nozzle 104 is raised while maintaining the suction state. At this time, by driving the cylinder 102, each side wall 101 is moved away from the substrate.
[0004]
Then, after raising the substrate to a position higher than the transport rail 106, each side wall 101 is moved to the original position by driving the cylinder 102, and the substrate is placed on the transport rail 106. Then, the substrate is transported to a predetermined position.
As described above, when the substrate is pulled up, the side wall 101 is moved away from the substrate, so that the substrate can be prevented from coming out of the suction nozzle 104 due to contact with the side wall 101 or the transport rail 106.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the substrate supply apparatus 100 having the above-described structure, each side wall 101 is completely separated from the side surface of the loaded substrate because the side wall 101 is moved in the left-right direction while maintaining the upright state. Become. Therefore, for example, due to vibration at the time of suction or pulling up of the substrate, the loaded substrate is likely to be displaced, and when the side wall is moved to the original position, for example, the cylinder 102 Due to the operation, there has been a problem that a slight amount of positional deviation occurs in the reference side wall 101a, and a positional deviation occurs in the stacked substrates. In addition, by shifting the position of the substrate in this way, for example, the predetermined position of the substrate cannot be adsorbed, the substrate is dropped, or the substrate cannot be placed at the predetermined position on the transport rail 106, thereby deteriorating workability. It was a factor to make.
[0006]
The subject of this invention is providing the board | substrate supply apparatus which can prevent the position shift of the board | substrate loaded in view of the above-mentioned problem.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the substrate supply device (10) according to claim 1 includes a substrate storage portion (20) for positioning and storing a plurality of directly stacked substrates in the width direction, and an upper side of the substrate storage portion. And a substrate adsorption device (30) that moves up in a state where the uppermost substrate in the substrate storage portion is adsorbed and places the substrate on the conveyance rail. And the pair of transport rails are arranged so as to be movable in the width direction of the substrate, and each of the transport rails does not interfere with the substrate when the substrate sucked by the substrate suction device passes between the transport rails. The substrate supply device includes a side reference plate (22) for positioning the substrate in the width direction by contacting the side surface of the substrate. Is The lower edge is pivotally supported on the substrate feeder main body. And , Engaged with the transport rail at the upper edge portion; Along with the movement of the transport rail, the substrate can be tilted in the width direction of the substrate around the pivotally supported portion.
[0008]
According to the substrate supply apparatus of the first aspect, the side reference plate is supported at the lower edge portion on the substrate supply apparatus main body side. And , Engaged with the transport rail at the upper edge, and as the transport rail moves It tilts around this supported part. Therefore, the side reference plate is not greatly separated from the side surface of the loaded substrate. In other words, among the substrates stacked in the substrate storage unit, for the substrate located in the upper layer that needs to be taken out from the substrate storage unit, As the transport rail moves backward When the side reference plate is separated by a certain amount, the substrate can be easily taken out. On the other hand, since the side reference plate is separated from the substrate located in the lower layer by a very small amount, the positional deviation of the substrate can be suppressed. Therefore, for example, the displacement of the substrate due to vibrations at the time of suction or pulling up of the substrate, or driving of a reference side wall, such as a conventional substrate supply device, for example, driving of a cylinder or a motor The position shift of the reference side wall due to the operation of the apparatus can be prevented.
In addition, since the displacement of the substrate can be prevented, the substrate suction device can accurately attract the predetermined position of the substrate, the substrate can be prevented from dropping during the substrate supply operation, and the substrate can be accurately positioned at the predetermined position on the transport rail. It can be placed and workability can be improved.
[0009]
The substrate supply device according to claim 2 is the substrate supply device according to claim 1, further comprising an inclination amount adjusting means (50) for adjusting an inclination amount of the side reference plate. The inclination amount adjusting means includes: An adjustment pin (51) that protrudes in a substantially vertical direction from the outer surface of the side surface reference plate and moves in the width direction of the substrate as the transport rail moves, and an adjustment pin (51) disposed on the substrate supply apparatus main body side for adjustment A bracket (52) for stopping the tilting movement of the side reference plate by abutting against the tip of the pin is provided, and the arrangement position of the bracket can be adjusted in the width direction of the substrate.
[0010]
According to the substrate supply apparatus of the second aspect, it is possible to obtain the same effect as the first aspect and to adjust the arrangement position of the bracket for stopping the tilting movement of the side reference plate in the width direction of the substrate. The position where the first abutting portion abuts on the bracket can be adjusted, and the amount of inclination of the side reference plate can be adjusted in accordance with the width of the substrate that differs for each type of substrate.
[0011]
A substrate supply apparatus according to claim 3 is the substrate supply apparatus according to claim 1 or 2, further comprising an inclination amount adjusting means for adjusting an inclination amount of the side reference plate, wherein the inclination amount adjusting means is provided on the side surface. An adjustment pin that protrudes in a substantially vertical direction from the outer surface of the reference plate and moves in the width direction of the substrate with the movement of the transport rail, and is disposed on the substrate supply apparatus main body side and contacts the tip of the adjustment pin. The bracket that stops the tilting movement of the side reference plate by contact, the first contact portion (53) provided at the tip of the adjustment pin, and the first contact provided on the side reference plate side of the adjustment pin. A second abutting portion (54) and a movement between the first abutting portion and the second abutting portion in a state of being guided by the adjusting pin as the transport rail moves. Block member (55) and the block member in a state where the adjustment pin is inserted. Characterized in that it comprises a one helical spring which is arranged between the abutment (56).
[0012]
According to the substrate supply apparatus of the third aspect, the same effect as that of the first or second aspect can be obtained, and the substrate supply apparatus is disposed between the block member and the first contact portion in a state of being inserted through the adjustment pin. By providing the helical spring, it is possible to mitigate the impact when the first abutment portion abuts against the bracket, and it is possible to prevent the substrate from being displaced due to the impact.
[0013]
A substrate supply apparatus according to a fourth aspect is the substrate supply apparatus according to the first aspect, further comprising an inclination amount adjusting means for adjusting an inclination amount of the side reference plate, wherein the inclination amount adjusting means has one end portion. And an adjustment member (61) hinged to the side reference plate so as to be rotatable in the width direction of the substrate at the other end thereof, and disposed on the substrate supply apparatus main body side. A bracket (52) for stopping the tilting movement of the side reference plate by abutting against a part of the adjustment member, and an elastic member (63) disposed at a portion where the bracket abuts on the adjustment member; The position of the substrate in the width direction can be adjusted.
[0014]
According to the substrate supply apparatus of the fourth aspect, the same effect as that of the first aspect can be obtained, and the adjustment member abuts on the bracket by arranging the elastic member in a portion where the bracket abuts on the adjustment member. The impact at the time can be mitigated, and the displacement of the substrate due to the impact can be prevented.
In addition, since the position of the bracket that stops the tilting movement of the side reference plate can be adjusted in the width direction of the board, the position at which the adjusting member contacts the bracket can be adjusted, and the board width varies depending on the type of board. Corresponding to the above, the inclination amount of the side reference plate can be adjusted.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
[First embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of a substrate supply apparatus 10 according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the following description, the transport direction of the substrate by the transport rail 40 is the left-right direction, and the direction orthogonal to the left-right direction in the horizontal plane is the front-back direction.
As shown in FIG. 1, the substrate supply device 10 is roughly configured by a substrate storage unit 20, a substrate suction device 30, a transport rail 40, an inclination amount adjusting unit 50 (see FIG. 3) and the like.
[0016]
The substrate storage unit 20 is provided to store a plurality of directly stacked substrates positioned in the width direction (front-rear direction), and includes a frame 21, a side reference plate 22, a side plate 23, and a substrate placement plate 24.
The frame 21 is a frame formed in a substantially rectangular shape, and is disposed on each of the front and rear sides of the substrate supply apparatus 10. Between each frame 21, a linear guide shaft 21b inserted through the linear guide 21a is stretched. By driving the frame driving cylinder 21c, each frame 21 is guided to the linear guide shaft 21b. It has a structure that can move back and forth in the state. Accordingly, the distance between the frames 21 can be adjusted in accordance with the width in the front-rear direction of the substrate stored in the substrate storage unit 20. As will be described in detail later, each frame 21 is provided with a transport rail 40, an inclination amount adjusting means 50, and the like.
The side reference plate 22 is a substantially rectangular plate for positioning the substrate in the front-rear direction by coming into contact with the side surface (the rear side surface in the present embodiment) of the substrate stored in the substrate storage unit 20.
The dimension (length in the front-rear direction and the vertical direction) of the side reference plate 22 is smaller than the dimension of the opening of the frame 21, and the side reference plate 22 is shown at the lower edge portion, for example, as shown in FIG. It is pivotally supported on the rear frame 21 through a spring pin 22a and the like, and can be tilted in the front-rear direction within the opening of the frame 21 with the pivotally supported portion as the center. Although detailed description will be given later, this tilting movement is performed as the transport rail 40 moves in the front-rear direction.
[0017]
The side plate 23 is in a substantially rectangular shape for positioning the substrate in the front-rear direction together with the side reference plate 22 by contacting the side surface (front side surface in the present embodiment) of the substrate stored in the substrate storage unit 20. And is hinged to the front frame 21 at the left edge portion. Further, the side plate 23 has a function as an opening / closing door, and the substrate is stored in the substrate storage unit 20 by opening the side plate 23.
The substrate mounting plate 24 is a substantially rectangular plate that is stretched over the lower surface between the two frames 21 in order to place the substrate on the upper surface thereof.
[0018]
The substrate suction device 30 is arranged so as to rise in a state where the uppermost substrate among the substrates stacked in the substrate storage unit 20 is sucked by the suction nozzle 31 and to be placed on the transport rail 40.
The substrate suction device 30 includes a plurality of suction nozzles 31, and these suction nozzles 31 are attached to an arm 32 that extends rightward from the left side of the substrate supply device 10. The arm 32 is connected to an arm guide shaft 33 extending in the vertical direction on the left side of the substrate supply apparatus 10 via an arm guide 34. A rotary motor 36 having a main pulley 35 is disposed on the lower end side of the arm guide shaft 33, and a driven pulley 37 is disposed on the upper end side of the arm guide shaft 33. Then, by driving the rotary motor 36, the arm 32 joined to the timing belt 38 (endless belt) wound around the main driving pulley 35 and the driven pulley 37 moves up and down to move the suction nozzle 31 up and down. Can do.
[0019]
The transport rails 40 are members for transporting the substrate taken out from the substrate storage unit 20 by the substrate suction device 30 to a predetermined position, and are provided in a pair of front and rear above the substrate storage unit 20.
Each transport rail 40 is joined to a transport rail moving cylinder 41 disposed on the upper surface of the frame 21, and the transport rail 40 can be moved in the front-rear direction by driving the transport rail moving cylinder 41. It has become.
A transport rail mounting base 42 is joined to the transport rail 40, and the transport rail mounting base 42 is slidably disposed on a linear guide 43 attached to the upper surface side of the frame 21. Therefore, the conveyance rail 40 is guided to move in the front-rear direction by the linear guide 43 via the conveyance rail mounting base 42.
[0020]
By providing the transport rail 40 with such a structure, when the suction nozzle 31 that rises while the substrate is sucked passes between the transport rails 40, the transport rails 40 can be moved to positions that do not interfere with the substrates. it can.
Although the detailed description will be given later, the side reference plate 22 is inclined and inclined on the side (rear) transfer rail 40 on which the side reference plate 22 is disposed, of the pair of transfer rails 40. An inclination amount adjusting means 50 for adjusting the amount is joined.
[0021]
As described above, the inclination amount adjusting means 50 is arranged to incline the side reference plate 22 by a predetermined amount in accordance with the movement of the transport rail 40. As shown in FIG. One contact portion 53, a second contact portion 54, a block member 55, a helical spring 56, and the like are provided. In FIG. 1, illustration of the tilt amount adjusting means 50 is omitted.
The adjustment pin 51 is a member that protrudes from the outer surface of the side reference plate 22 in a substantially vertical direction and moves in the front-rear direction as the transport rail 40 moves.
[0022]
The bracket 52 is a substantially L-shaped member that is attached to the lower surface side of the member that constitutes the upper edge portion of the rear frame 21, and is a first abutting portion that is disposed at the tip of the adjustment pin 51. By being in contact with 53, the side reference plate 22 is disposed to stop the tilting movement.
A slot 52a is formed in the front-rear direction at a portion where the bracket 52 abuts the frame 21, and the bracket 52 is screwed from below through the slot 52a. Therefore, the arrangement position of the bracket 52 can be adjusted in the direction along the elongated hole 52a.
[0023]
As described above, the first abutting portion 53 is a circular member disposed at the tip portion of the adjustment pin 51, and abuts against the bracket 52 on one side surface (rear side surface) and the other side. On the side surface (front side surface), it abuts on a tip portion of a helical spring 56 described later.
The second abutting portion 54 is a circular member disposed at a distance from the side reference plate 22 side of the adjustment pin 51, that is, the first abutting portion 53. In the rear side surface, it abuts on a block member 55 described later. Although not shown, the second contact portion 54 is screwed from the side surface side in the circumferential direction while being inserted into the adjustment pin 51. Therefore, the arrangement position of the second contact portion 54 can be adjusted along the axial direction of the adjustment pin 51.
[0024]
The block member 55 is a member formed in a substantially U shape in a side view, and is joined to the transport rail 40 via the transport rail mounting base 42. Further, the adjustment pin 51 is inserted through the opening 55 a of the block member 55, and the block member 55 is guided by the adjustment pin 51 along with the movement of the transport rail 40, and the first contact portion 53. And the second abutment portion 54. A notch 21d is formed in a part of the frame 21 in order to move the block member 55 in the front-rear direction.
The helical spring 56 is inserted into the adjustment pin 51, and is in contact with the front side surface of the first contact portion 53 at one end portion (rear end portion) and the other end portion (front end portion). ) In contact with the rear side surface of the block member 55.
[0025]
Accordingly, when the rear transport rail 40 moves in the direction not to interfere with the substrate (rearward), the block member 55 moves rearward together with the transport rail 40. Then, the helical spring 56 interposed between the block member 55 and the first contact portion 53 exerts a force for moving the first contact portion 53 in the rearward direction. The adjustment pin 51 moves backward. Therefore, the side reference plate 22 can be inclined backward.
Then, the side reference plate 22 stops when the rear side surface of the first contact portion 53 contacts the side surface of the bracket 52 when the side surface reference plate 22 is inclined by a predetermined amount.
When the first contact portion 53 comes into contact with the bracket 52, a force in the forward direction (contraction side) is applied to the helical spring 56 by the first contact portion 53. A certain amount will shrink.
[0026]
Further, when the transport rail 40 moves to the original position, that is, in the forward direction, the helical spring 56 gradually expands while maintaining a state in which both ends thereof are in contact with the first contact portion 53 and the block member 55. To go. During this time, the rear side surface of the first contact portion 53 is kept in contact with the bracket 52.
Then, the block member 55 comes into contact with the rear side surface of the second contact portion 54 when the transport rail 40 moves a predetermined amount in the forward direction. When the block member 55 further moves in the forward direction from this state, the first contact portion 53 is separated from the bracket 52, and the entire adjustment pin 51 moves in the forward direction.
Then, when the transport rail 40 returns to the original position, the side reference plate 22 joined to the adjustment pin 51 is in an upright state. In addition, the arrangement | positioning position of the 2nd contact part 54 shall be adjusted beforehand so that the side surface reference board 22 may be in an upright state in the state which the conveyance rail 40 returned to the original position.
[0027]
Next, the operation of the substrate supply apparatus 10 will be described.
First, the frame driving cylinder 21c is driven, and the distance in the front-rear direction between the frames 21 is adjusted in accordance with the width (length in the front-rear direction) of the substrate stored in the substrate storage unit 20. Then, the plurality of substrates are sequentially inserted into the substrate storage unit 20 from the opening side of the front frame 21. At this time, the substrate is positioned in the front-rear direction by bringing the rear side surface of the substrate into contact with the side reference plate 22 disposed on the rear frame 21.
Then, the suction nozzle 31 is lowered to suck the uppermost substrate among the substrates stacked in the substrate storage unit 20.
[0028]
Then, the suction nozzle 31 is raised while the substrate is sucked. At this time, in order to pass the substrate, each transport rail 40 is moved to a position where it does not interfere with the substrate. Then, as described above, the side reference plate 22 is inclined backward by a predetermined amount with the rearward movement of the rear rail 40 in the transport rail 40.
And after a board | substrate passes between the conveyance rails 40, each conveyance rail 40 is moved to the original position. The side reference plate 22 is brought into an upright state by the movement of the transport rail 40.
Then, the substrate is placed on the transport rail 40 and transported to a predetermined position.
Thus, the operation of the substrate supply apparatus 10 is completed.
[0029]
According to the substrate supply apparatus 10 shown in the present embodiment, the side reference plate 22 is supported by the frame 21 at its lower edge portion, and tilts around the supported portion. Accordingly, the side reference plate 22 is not greatly separated from the side surface of the loaded substrate. For example, the position shift of the substrate due to vibration at the time of suction or lifting of the substrate, or the conventional substrate supply apparatus Thus, it is possible to prevent the positional deviation of the reference side wall due to the operation of a drive device such as a cylinder or a motor for moving the reference side wall.
Further, since the substrate can be prevented from being displaced, the substrate suction device 30 can accurately suck the predetermined position of the substrate, can prevent the substrate from dropping during the substrate supply operation, and can be placed at the predetermined position on the transport rail 40. It can be placed accurately and workability can be improved.
[0030]
Further, the helical spring 56 of the tilt amount adjusting means 50 can alleviate the impact when the first contact portion 53 contacts the bracket 52, and can prevent the substrate from being displaced due to the impact.
In addition, since the arrangement position of the bracket 52 can be adjusted in the front-rear direction, the position where the first contact portion 53 contacts the bracket 52 can be adjusted, and as a result, the amount of inclination of the side reference plate 22 can be adjusted. .
[0031]
In the present embodiment, the inclination amount adjusting means 50 includes an adjustment pin 51, a bracket 52, a first contact portion 53, a second contact portion 54, a block member 55, and a helical spring 56. However, the present invention is not limited to this. For example, only the adjustment pin 51 and the bracket 52 may be provided. In this case, the structure of the tilt amount adjusting means 50 can be simplified.
Further, although the side reference plate 22 is disposed on the rear side with respect to the substrate transport direction, it may be disposed on the front side.
[0032]
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.
In the following description, the same reference numerals are used for portions having the same configuration as in the first embodiment.
The difference from the first embodiment is only the structure of the tilt amount adjusting means, and the tilt amount adjusting means 60 of the substrate supply apparatus according to the present embodiment includes an adjusting member 61, as shown in FIG. A bracket 52 is provided.
[0033]
The adjustment member 61 is a member that is joined to the transport rail 40 at one end and is joined to the upper edge portion of the side reference plate 22 by a hinge 62 at the other end. Accordingly, the adjustment member 61 can rotate in the front-rear direction around the hinge-joined portion, and can move in the front-rear direction integrally with the movement of the transport rail 40.
A part of the adjustment member 61 is formed with a contact part 61 a extending in the vertical direction, and the contact part 61 a is in contact with a side surface of a bracket 52 described later.
[0034]
The bracket 52 has the same structure as the bracket 52 shown in the first embodiment, and the arrangement position thereof can be adjusted in the front-rear direction. Further, an elastic resin rubber, for example, is affixed as an elastic member 63 to the side surface of the bracket 52, that is, the portion that contacts the contact portion 61a of the adjustment member.
[0035]
Therefore, when the transport rail 40 moves in the direction not to interfere with the substrate (rearward), the adjustment member 61 moves rearward together with the transport rail 40. Then, when the side surface reference plate 22 is inclined by a predetermined amount, the contact portion 61a of the adjustment member contacts the elastic member 63 of the bracket 52, and the inclination of the side surface reference plate 22 stops.
Note that the shape of the adjustment member 61 is adjusted in advance so that the side reference plate 22 is in an upright state with the transport rail 40 returned to the original position.
[0036]
According to the substrate supply apparatus 10 shown in the present embodiment, the elastic member 63 can mitigate the impact when the contact portion 61a of the adjustment member contacts the bracket 52, and the position of the substrate caused by the impact. Misalignment can be prevented.
Further, since the mounting position of the bracket 52 can be adjusted in the front-rear direction, the position at which the contact portion 61a contacts the bracket 52 can also be adjusted, and consequently the amount of inclination of the side reference plate 22 can be adjusted.
In the present embodiment, the elastic member 63 is attached to the side surface of the bracket 52. However, the present invention is not limited to this. For example, the bracket 52 is formed of a flexible member, and the bracket 52 itself The impact when the contact portion 61a of the adjustment member contacts the bracket 52 by bending may be reduced.
[0037]
【The invention's effect】
According to the substrate supply apparatus of the first aspect, the side reference plate is supported by the lower edge portion on the substrate supply apparatus main body side, and tilts and moves around the supported portion. Therefore, the side reference plate is not greatly separated from the side surface of the loaded substrate. In other words, among the substrates stacked in the substrate storage unit, for the substrate located in the upper layer that needs to be removed from the substrate storage unit, the side reference plate is separated by a certain amount, so that the substrate can be easily removed. Since only a very small amount of the side reference plate is separated from the substrate that is positioned, the amount of positional deviation of the substrate can be suppressed. Therefore, for example, the displacement of the substrate due to vibrations at the time of suction or pulling up of the substrate, or driving of a reference side wall, such as a conventional substrate supply device, for example, driving of a cylinder or a motor The position shift of the reference side wall due to the operation of the apparatus can be prevented.
In addition, since the displacement of the substrate can be prevented, the substrate suction device can accurately attract the predetermined position of the substrate, the substrate can be prevented from dropping during the substrate supply operation, and the substrate can be accurately positioned at the predetermined position on the transport rail. It can be placed and workability can be improved.
[0038]
According to the substrate supply apparatus of the second aspect, it is possible to obtain the same effect as the first aspect and to adjust the arrangement position of the bracket for stopping the tilting movement of the side reference plate in the width direction of the substrate. The position where the first abutting portion abuts on the bracket can be adjusted, and the amount of inclination of the side reference plate can be adjusted in accordance with the width of the substrate that differs for each type of substrate.
[0039]
According to the substrate supply apparatus of the third aspect, the same effect as that of the first or second aspect can be obtained, and the substrate supply apparatus is disposed between the block member and the first contact portion while being inserted through the adjustment pin. By providing the helical spring, it is possible to mitigate the impact when the first contact portion comes into contact with the bracket, and it is possible to prevent the substrate from being displaced due to the impact.
[0040]
According to the substrate supply apparatus of the fourth aspect, the same effect as that of the first aspect can be obtained, and the adjustment member abuts on the bracket by arranging the elastic member in a portion where the bracket abuts on the adjustment member. The impact at the time can be mitigated, and the displacement of the substrate due to the impact can be prevented.
In addition, since the position of the bracket that stops the tilting movement of the side reference plate can be adjusted in the width direction of the board, the position at which the adjusting member contacts the bracket can be adjusted, and the board width varies depending on the type of board. Corresponding to the above, the inclination amount of the side reference plate can be adjusted.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a substrate supply apparatus according to a first embodiment.
FIG. 2 is a main part perspective view showing a mounting structure of a side reference plate according to the first embodiment.
FIG. 3 is a perspective view of the main part showing the structure of the tilt amount adjusting means of the first embodiment.
FIG. 4 is a perspective view of a main part showing the structure of an inclination amount adjusting means of a second embodiment.
FIG. 5 is a main part front view showing a conventional substrate supply apparatus.
[Explanation of symbols]
10 Substrate supply device
20 Board storage
22 Side reference plate
30 Substrate adsorption device
40 Transport rail
50 Inclination adjustment means
51 Adjustment pin
52 Bracket
53 First contact portion
54 Second contact portion
55 Block members
56 helical spring
61 Adjustment member
63 Elastic member

Claims

A substrate storage unit for positioning and storing a plurality of directly stacked substrates in the width direction, a pair of transport rails disposed above the substrate storage unit and transporting the substrate to a predetermined position, and an uppermost layer in the substrate storage unit And a substrate suction device for placing the substrate on the transport rail, and the pair of transport rails are disposed so as to be movable in the width direction of the substrate and are attracted to the substrate suction device. A substrate supply device that moves to a position where each conveyance rail does not interfere with the substrate when the substrate passes between the conveyance rails,
The substrate housing portion is provided with a side reference plate for positioning the substrate in the width direction abuts against the side surface of the substrate, this aspect reference plate is Rutotomoni is supported by a substrate supply device main body side in a lower edge portion, the upper A substrate supply apparatus that is engaged with the transport rail at an edge portion and is capable of tilting in the width direction of the substrate about the pivotally supported portion as the transport rail moves.

The substrate supply apparatus according to claim 1,
Inclination amount adjusting means for adjusting the inclination amount of the side reference plate is provided, and the inclination amount adjusting means is disposed so as to protrude in a substantially vertical direction from the outer surface of the side reference plate, and the substrate is moved along with the movement of the transport rail. An adjustment pin that moves in the width direction of the substrate, and a bracket that is disposed on the substrate supply device main body side and stops the tilting movement of the side surface reference plate by contacting the tip portion of the adjustment pin,
A substrate supply device characterized in that the position of the bracket can be adjusted in the width direction of the substrate.

The substrate supply apparatus according to claim 1 or 2,
A tilt amount adjusting means for adjusting the tilt amount of the side reference plate, the tilt amount adjusting means being disposed so as to protrude in a substantially vertical direction from the outer surface of the side reference plate; An adjustment pin that moves in the width direction of the substrate, a bracket that is disposed on the substrate supply device main body side, abuts against the tip of the adjustment pin, and stops at the tip of the adjustment pin. The first abutting portion, the second abutting portion disposed on the side reference plate side of the adjustment pin, and the first guide portion in a state guided by the adjustment pin as the transport rail moves. A block member movably disposed between the abutment portion and the second abutment portion, and disposed between the block member and the first abutment portion in a state where the adjustment pin is inserted. A substrate supply apparatus comprising a helical spring.

The substrate supply apparatus according to claim 1,
Inclination amount adjusting means for adjusting the inclination amount of the side surface reference plate is provided, and the inclination amount adjusting means is joined to the transport rail at one end and rotatable in the width direction of the substrate at the other end. An adjustment member that is hinged to the side reference plate, and a bracket that is disposed on the side of the substrate supply apparatus main body and that stops the tilting movement of the side reference plate by contacting a part of the adjustment member, An elastic member is disposed at a portion where the bracket comes into contact with the adjustment member, and the position of the bracket in the width direction of the substrate can be adjusted.