JP4604604B2

JP4604604B2 - Displacement detector

Info

Publication number: JP4604604B2
Application number: JP2004232020A
Authority: JP
Inventors: 崇岸本; 徹治鎌田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2004-08-09
Filing date: 2004-08-09
Publication date: 2011-01-05
Anticipated expiration: 2024-08-09
Also published as: JP2006047238A

Description

本発明は、可動部材の変位を磁気により検出する磁気エンコーダ等の変位検出装置に関するものである。 The present invention relates to a displacement detection device such as a magnetic encoder that detects the displacement of a movable member by magnetism.

近年、多くの機械装置では、フィードバック制御等を行うための情報として、可動部材の変位や速度を精密に検出することが行われている。例えば、オートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒においては、電動モータ等の回転駆動力を直線駆動力に変換して、合焦用レンズを進退させるフォーカスカム機構が内部に設けられている。
このようなオートフォーカス機構又はズーム機構を有するレンズ鏡筒では、例えば、特許文献１に記載されたように、レンズ駆動時に移動光学系の移動位置を検出するために、磁気スケールと磁気抵抗素子（以下、ＭＲ素子）を有する磁気エンコーダを変位検出装置として備えているものがある。 In recent years, in many mechanical devices, as information for performing feedback control and the like, the displacement and speed of a movable member are accurately detected. For example, in a lens barrel for an autofocus camera, a focus cam mechanism for converting a rotational driving force of an electric motor or the like into a linear driving force and moving a focusing lens back and forth is provided inside.
In a lens barrel having such an autofocus mechanism or a zoom mechanism, for example, as described in Patent Document 1, a magnetic scale and a magnetoresistive element ( Some of them are provided with a magnetic encoder having an MR element as a displacement detecting device.

従来から、これらの磁気エンコーダでは、加圧ばねとして製造コストが低くかつ量産性に優れることから、板ばねが用いられる場合が多いが、板ばねによって、磁気スケール部材とＭＲ素子との平行度が阻害され、磁気スケール部材に対してＭＲ素子が浮き上がってしまう場合があった。 Conventionally, in these magnetic encoders, a leaf spring is often used because the manufacturing cost is low and the mass productivity is excellent as a pressure spring. However, the parallelism between the magnetic scale member and the MR element is improved by the leaf spring. In some cases, the MR element is lifted with respect to the magnetic scale member.

このような場合、磁気スケール部材に対してＭＲ素子の大部分が密着していないため、ＭＲ素子からの検出信号が非常に微弱になり、検出誤差が大きくなったり、検出もれが生じたりする等の問題があった。また、検出信号が微弱で不安定であるために、その後の信号処理においても、不都合が多かった。 In such a case, since most of the MR element is not in close contact with the magnetic scale member, the detection signal from the MR element becomes very weak, resulting in a large detection error or detection leakage. There was a problem such as. Further, since the detection signal is weak and unstable, there are many inconveniences in the subsequent signal processing.

そこで、上述の特許文献１では、変位検出部を接触平面に略直交する方向に移動可能で、それ以外の方向の移動を規制する支持部材により支持し、さらに加圧部材を設けることにより、スケールに対して変位検出部を密着させる手法が開示されている。 Therefore, in Patent Document 1 described above, the displacement detector can be moved in a direction substantially perpendicular to the contact plane, supported by a support member that restricts movement in other directions, and further provided with a pressure member, thereby providing a scale. In contrast, a technique for bringing a displacement detection unit into close contact is disclosed.

特許文献１に記載の手法では、加圧方向におけるスケールの位置が安定しているときには、支持部材が、ほぼ接触平面上となる位置に設けられているので、スケールの移動によりスケールとＭＲ素子との間で生じる摩擦力に起因して支持部材を撓ませるように働く曲げモーメントは小さく、支持部材が撓むことなく、正確な位置検出を行うことができる。
しかし、スケールが設けられている可動部材が偏芯している等により加圧方向におけるスケールの位置が大きく移動してしまう場合には、スケールとＭＲ素子との間で生じる摩擦力に起因して支持部材を曲げようとする曲げモーメントが大きくなり、その結果、変位検出部がスケールに対して傾いて接触してしまうという問題があった。
特開２００３−１３９５６７号公報 In the method described in Patent Document 1, when the scale position in the pressurizing direction is stable, the support member is provided at a position that is substantially on the contact plane. The bending moment that acts to bend the support member due to the frictional force generated between them is small, and accurate position detection can be performed without the support member being bent.
However, when the position of the scale in the pressurizing direction moves greatly due to the eccentricity of the movable member provided with the scale, it is caused by the frictional force generated between the scale and the MR element. A bending moment for bending the support member is increased, and as a result, there is a problem that the displacement detection unit is tilted and contacts the scale.
JP 2003-139567 A

本発明の課題は、スケールが検出方向以外の方向に大きく移動してしまう場合であっても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、十分な検出信号を得ることができ、また、ガタもなく、正確にスケールを読み取ることができる変位検出装置を提供することである。 The problem of the present invention is that even if the scale moves greatly in a direction other than the detection direction, a sufficient detection signal can be obtained without the detection member being tilted with respect to the scale. And providing a displacement detection device that can accurately read the scale.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１の発明は、固定部材（８）と、前記固定部材に対して変位可能な可動部材（９）と、前記可動部材と一体的に変位可能に設けられたスケール（３）と、前記スケールに直接的又は間接的に接触し、前記スケールの変位を検出する変位検出部（１）と、前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに接する接触平面に略直交する方向（Ｙ）に移動可能に支持する支持部材（４）と、前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに対して加圧する加圧部材（５）と、を備え、前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた前記可動部材の変位を検出する変位検出装置であって、前記支持部材は、前記固定部材に対して固定される固定部（４ａ）と、前記加圧部材の加圧方向（Ｙ）に略直交する方向（Ｘ）に前記固定部から延在する腕部（４ｂ）と、前記腕部の前記固定部と反対側にある腕先端部（４ｅ）から折り返して前記固定部方向へ突出して形成され前記変位検出部を取り付けられた検出部取付部（４ｄ）と、を備え、前記加圧部材が前記変位検出部を加圧する加圧点（５ａ）は、前記腕部の延在する方向において、前記固定部と前記腕先端部との間に位置すること、を特徴とする変位検出装置である。 The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to the Example of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this.
The invention of claim 1 includes a fixed member (8), a movable member (9) displaceable with respect to the fixed member, a scale (3) provided so as to be integrally displaceable with the movable member, A displacement detector (1) that directly or indirectly contacts the scale and detects the displacement of the scale, and a direction that is fixed to the fixing member and that is substantially orthogonal to a contact plane that contacts the scale (see FIG. Y), a support member (4) that is movably supported, and a pressurizing member (5) that is fixed to the fixing member and pressurizes the displacement detection unit against the scale, A displacement detecting device for detecting the displacement of the movable member provided relatively displaceable, wherein the support member includes a fixed portion (4a) fixed to the fixed member, and the pressure member. Direction (X) substantially orthogonal to the pressing direction (Y) of The arm part (4b) extending from the fixing part and the arm tip part (4e) on the opposite side of the arm part from the fixing part are folded back and protruded toward the fixing part, and the displacement detection part is attached. A pressure point (5a) at which the pressure member presses the displacement detection part in a direction in which the arm part extends, and the fixing part and the arm. It is a displacement detection apparatus characterized by being located between the front-end | tip parts.

請求項２の発明は、請求項１に記載の変位検出装置において、前記腕先端部（４ｅ）と前記検出部取付部（４ｄ）との間には、前記腕部（４ｂ）が延在する方向に対して直交する方向に延在する接続部（４ｃ）が設けられており、前記検出部取付部（４ｄ）は、前記接続部が捩れることにより揺動できること、を特徴とする変位検出装置である。 According to a second aspect of the present invention, in the displacement detection device according to the first aspect, the arm portion (4b) extends between the arm tip portion (4e) and the detection portion mounting portion (4d). connecting portion extending in a direction perpendicular to the direction (4c) is provided, the detector mount portion (4d), the displacement detection and said, can be swung by the connecting portion is twisted Device.

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、前記腕部（４ｂ）は、前記スケール（３）の可動方向（Ｚ）に対して略直交する方向（Ｘ）に延在すること、を特徴とする変位検出装置である。 The invention according to claim 3, in the displacement detecting device according to claim 1 or claim 2, wherein the arm portion (4b) is a direction substantially Cartesian relative to the movable direction (Z) of the scale (3) ( X) is a displacement detecting device characterized by extending.

請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記変位検出部（１０１）に関する信号を伝達する配線部材（１１１）を有し、前記腕部（１０４ｂ）が延在する方向（Ｘ）において、前記加圧点（１０５ａ）と前記接続部（１０４ｃ）との距離は、前記配線部材が前記変位検出部に接続される配線接続部と前記接続部との距離よりも長いこと、を特徴とする変位検出装置である。 Invention of Claim 4 has a wiring member (111) which transmits the signal regarding the said displacement detection part (101) in the displacement detection apparatus of any one of Claim 1- Claim 3, The said, In the direction (X) in which the arm portion (104b) extends, the distance between the pressure point (105a) and the connection portion (104c) is the same as the wiring connection portion where the wiring member is connected to the displacement detection portion. It is a displacement detection apparatus characterized by being longer than the distance with the said connection part.

請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記変位検出部（１）は、前記スケール（３）の変位を検出するセンサ部（１ｂ）と、検出部取付部に取り付けられると共に前記センサ部を保持する保持部（１ａ）と、を有し、前記加圧点（５ａ）は、前記センサ部に近接する位置にあること、を特徴とする変位検出装置である。 According to a fifth aspect of the present invention, in the displacement detection device according to any one of the first to fourth aspects, the displacement detection unit (1) is a sensor unit that detects a displacement of the scale (3). 1b) and a holding part (1a) that is attached to the detection part attaching part and holds the sensor part, and the pressurizing point (5a) is in a position close to the sensor part. This is a featured displacement detection device.

請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記支持部材（４）及び前記加圧部材（５）は、変形により付勢力を発生する弾性体により形成され、前記加圧部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力は、前記支持部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力よりも大きいこと、を特徴とする変位検出装置である。
請求項７の発明は、固定部材（１）に対して変位可能な可動部材（９）と、前記可動部材と一体的に変位可能に設けられたスケール（３）と、前記スケールに直接的又は間接的に接触し前記スケールの変位を検出する変位検出部（１）と、前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに対して加圧する加圧部材（５）と、前記固定部材に対して固定される固定部（４ａ）と、前記固定部から前記スケール側に延在する腕部（４ｂ）と、前記腕部の前記スケール側の端部（４ｅ）から折り返して前記固定部側へ延在し前記変位検出部が取り付けられる検出部取付部（４ｄ）とを有する支持部材（４）とを含み、前記変位検出部は、前記腕部の延在する方向において、前記固定部と、前記腕部の前記スケール側の端部との間の部分が前記加圧部材から加圧されることを特徴とする変位検出装置である。 According to a sixth aspect of the present invention, in the displacement detection device according to any one of the first to fifth aspects, the support member (4) and the pressure member (5) generate a biasing force by deformation. Displacement characterized in that an urging force acting at the pressing point due to deformation of the pressing member is greater than an urging force acting at the pressing point due to deformation of the support member. It is a detection device.
The invention of claim 7 includes a movable member (9) displaceable with respect to the fixed member (1), a scale (3) provided to be displaceable integrally with the movable member, and a direct or A displacement detector (1) that indirectly contacts and detects displacement of the scale, a pressure member (5) that is fixed to the fixed member and pressurizes the displacement detector against the scale, and the fixed member A fixed portion (4a) fixed to the scale, an arm portion (4b) extending from the fixed portion to the scale side, and an end portion (4e) of the arm portion on the scale side, and the fixed portion And a support member (4) having a detection portion attachment portion (4d) to which the displacement detection portion is attached, and the displacement detection portion has the fixing portion in a direction in which the arm portion extends. And a portion between the end of the arm on the scale side A displacement detecting device, characterized in that it is pressurized from asked member.

本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）支持部材は、加圧部材の加圧方向に略直交する方向に固定部から延在する腕部と、腕部の固定部と反対側にある腕先端部から折り返して固定部方向へ突出して形成され変位検出部を取り付けられた検出部取付部とを備え、加圧部材が変位検出部を加圧する加圧点は、腕部の延在する方向において、固定部と腕先端部との間に位置するので、スケールの位置が加圧方向に大きく移動しても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、変位検出部をスケールに密着させることができ、ガタもなく、正確にスケールを読み取ることができる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.
(1) The support member is folded back from the arm portion extending from the fixing portion in a direction substantially orthogonal to the pressing direction of the pressing member, and the arm tip portion on the opposite side to the fixing portion of the arm portion, toward the fixing portion. And a detection part mounting part that protrudes and is attached with a displacement detection part, and the pressure point at which the pressure member presses the displacement detection part is a fixed part and an arm tip part in the direction in which the arm part extends. Therefore, even if the scale position moves greatly in the pressurizing direction, the detection member does not tilt with respect to the scale, and the displacement detector can be brought into close contact with the scale. The scale can be read.

（２）腕先端部と検出部取付部との間には、腕部が延在する方向に対して直交する方向に延在する接続部が設けられており、検出部取付部は、接続部が捩れることにより揺動できること、簡単な形状であっても、変位検出部を揺動させることができ、また、変位検出部を確実に取り付けることができる。 (2) A connection portion extending in a direction orthogonal to the direction in which the arm portion extends is provided between the arm tip portion and the detection portion attachment portion, and the detection portion attachment portion is connected to the connection portion. can be rocking by twisting, it is a simple shape, the displacement detection unit can be swung, and also, it is possible to attach the displacement detector reliably.

（３）腕部は、スケールの可動方向に対して略直交する方向に延在するので、スケールが可動部材とともに移動することにより変位検出部とスケールとの間に摩擦力が生じても、支持部材が変形しにくく、安定した検出を行うこことができる。 (3) arms, so to extend in the direction substantially Cartesian relative to the movable direction of the scale, the scale is also friction between the displacement detector and the scale by moving together with the movable member occurs, The support member is not easily deformed and stable detection can be performed.

（４）腕部が延在する方向において、加圧点と接続部との距離は、配線部材が変位検出部に接続される配線接続部と接続部との距離よりも長いので、変位検出部が配線から受けるモーメントよりも加圧部材から受けるモーメントの方が大きくなり、変位検出部をスケールに対して安定して密着させることができる。 (4) In the direction in which the arm portion extends, the distance between the pressure point and the connecting portion is longer than the distance between the wiring connecting portion and the connecting portion where the wiring member is connected to the displacement detecting portion. The moment received from the pressurizing member is greater than the moment received from the wiring, and the displacement detector can be brought into stable contact with the scale.

（５）加圧点は、センサ部に近接する位置にあるので、センサ部を確実にスケールに密着させることができ、十分な検出信号を得ることができる。 (5) Since the pressurizing point is in a position close to the sensor unit, the sensor unit can be reliably brought into close contact with the scale, and a sufficient detection signal can be obtained.

（６）加圧部材の変形により加圧点において作用する付勢力は、支持部材の変形により加圧点において作用する付勢力よりも大きいので、変位検出部を確実に支持しながら、十分な加圧力により変位検出部をスケールに対して加圧することができ、精度の高い検出をすることができる。 (6) Since the urging force acting at the pressing point due to the deformation of the pressing member is larger than the urging force acting at the pressing point due to the deformation of the support member, a sufficient force is applied while reliably supporting the displacement detector. The displacement detector can be pressurized against the scale by pressure, and detection with high accuracy can be performed.

スケールが検出方向以外の方向に大きく移動してしまう場合であっても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、十分な検出信号を得ることができるようにするという目的を、支持部材の形状を改良することにより、コストアップすることなく実現した。 The purpose of the support member is to provide a sufficient detection signal without tilting the detection member relative to the scale even if the scale moves greatly in a direction other than the detection direction. This has been achieved without increasing costs.

以下、図面等を参照しながら、本発明の実施例について、更に詳しく説明する。
なお、説明のため、以下に示す各図及び説明文中において、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸からなる座標系を設ける（以下、図１〜５について同一の座標系を適用する）。
図１は、本発明による変位検出装置の実施例を用いたレンズ鏡筒の断面図である。
本実施例におけるレンズ鏡筒は、不図示のカメラ本体に装着して使用する、一眼レフカメラ用のオートフォーカスレンズ鏡筒である。
移動レンズ群１０は、撮影レンズの一部であって、合焦動作を行なうときに光軸Ｌに沿う方向（Ｘ方向）に移動するレンズである。
カム筒９は、移動レンズ群１０を移動させるときに固定筒８のまわりを回転する筒状の可動部材であり、カム溝９ａが形成されている。カム筒９は、係合部が不図示の連結部材に係合し、連結部材から伝えられるアクチュエータの回転力により、回転する。したがって、カム筒９が回転することにより移動レンズ群１０がＸ方向に移動する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
For the sake of explanation, a coordinate system consisting of the X axis, the Y axis, and the Z axis is provided in the following drawings and explanatory texts (hereinafter, the same coordinate system is applied to FIGS. 1 to 5).
FIG. 1 is a cross-sectional view of a lens barrel using an embodiment of a displacement detection device according to the present invention.
The lens barrel in the present embodiment is an autofocus lens barrel for a single-lens reflex camera that is used by being mounted on a camera body (not shown).
The moving lens group 10 is a part of the photographing lens, and is a lens that moves in the direction along the optical axis L (X direction) when performing a focusing operation.
The cam cylinder 9 is a cylindrical movable member that rotates around the fixed cylinder 8 when the movable lens group 10 is moved, and is formed with a cam groove 9a. The cam cylinder 9 is engaged by a coupling member (not shown) and rotated by the rotational force of the actuator transmitted from the coupling member. Therefore, the moving lens group 10 moves in the X direction by rotating the cam cylinder 9.

カム筒９の回転量（変位）を検出し、不図示の制御部に伝えるために、ＭＲエンコーダが設けられている。本実施例におけるＭＲエンコーダは、磁気ヘッド１，スケール３，支持板４，加圧ばね５，フレキシブルプリント配線板１１（以下、ＦＰＣ）を有している。
スケール３は、カム筒９に対して、カム筒９の回転方向に沿って貼り付けられた磁気テープであり、カム筒９の回転と一体となって回転し、異なる極性の磁性が回転方向に沿って交互に配置されている。 An MR encoder is provided to detect the amount of rotation (displacement) of the cam cylinder 9 and transmit it to a control unit (not shown). The MR encoder in this embodiment has a magnetic head 1, a scale 3, a support plate 4, a pressure spring 5, and a flexible printed wiring board 11 (hereinafter referred to as FPC).
The scale 3 is a magnetic tape affixed to the cam cylinder 9 along the rotation direction of the cam cylinder 9, and rotates integrally with the rotation of the cam cylinder 9, and magnets of different polarities in the rotation direction. Alternatingly arranged along.

図２は、本実施例におけるＭＲエンコーダの斜視図である。
図２において、＋Ｘ方向が不図示のカメラ本体側である。
図３は、本実施例におけるＭＲエンコーダを説明する図である。図３（ａ）は、レンズ鏡筒の外周側（Ｙ方向）から見た図であり、＋Ｘ方向が不図示のカメラ本体側である。図３（ｂ）は、レンズ鏡筒の横側（−Ｚ方向）から見た図である。
図４は、本実施例における支持板４と加圧ばね５の形状を詳細に示した図である。なお、図４中に示す寸法の単位は、ミリメートルである。また、図１から３に示す図では、簡単のため適宜形状を簡略化して示しているので、図４に示した形状と部分的に形状が異なっている。
固定筒８は、不図示のカメラ本体に固定される固定部材であり、後述の支持板４と加圧ばね５を固定する台座８ａを有している。 FIG. 2 is a perspective view of the MR encoder in the present embodiment.
In FIG. 2, the + X direction is the camera body side (not shown).
FIG. 3 is a diagram for explaining the MR encoder in the present embodiment. FIG. 3A is a diagram viewed from the outer peripheral side (Y direction) of the lens barrel, and the + X direction is a camera body side (not shown). FIG. 3B is a diagram viewed from the lateral side (−Z direction) of the lens barrel.
FIG. 4 is a diagram showing in detail the shapes of the support plate 4 and the pressure spring 5 in this embodiment. In addition, the unit of the dimension shown in FIG. 4 is millimeter. Further, in the drawings shown in FIGS. 1 to 3, the shape is simplified as appropriate for the sake of simplicity, and therefore the shape is partially different from the shape shown in FIG.
The fixed cylinder 8 is a fixing member that is fixed to a camera body (not shown), and includes a pedestal 8 a that fixes a support plate 4 and a pressure spring 5 described later.

磁気ヘッド１は、支持板４に対して固定されている変位検出部であり、スケール３の磁気を検出するセンサ部である磁気抵抗素子１ｂと、磁気抵抗素子１ｂを保持しながら磁気ヘッド取付部４ｄに取り付けられる保持部１ａとを有し、加圧ばね５の加圧力によりスケール３に対して−Ｙ方向に押しつけられて（加圧されて）いる。従って、カム筒９が回転すると、スケール３が磁気ヘッド１に摺動しながら回転し、カム筒９の回転量を検出することができる。 The magnetic head 1 is a displacement detection unit fixed to the support plate 4, and includes a magnetoresistive element 1b that is a sensor unit that detects the magnetism of the scale 3, and a magnetic head mounting unit while holding the magnetoresistive element 1b. 4d, and is pressed (pressed) in the −Y direction against the scale 3 by the pressure of the pressure spring 5. Therefore, when the cam cylinder 9 rotates, the scale 3 rotates while sliding on the magnetic head 1, and the rotation amount of the cam cylinder 9 can be detected.

加圧ばね５は、磁気ヘッド１をスケール３に対して加圧する加圧部材であり、固定部４ａ側を支点として撓むように、ばね性（弾性）を有した金属薄板により形成されている。加圧ばね５は、固定部５ｂ側が固定ねじ７により支持板４とスペーサ６を挟んで台座８ａ上に固定されている。また、加圧ばね５は、固定部５ｂから−Ｘ方向の先端近傍に加圧点５ａが設けられている。この加圧点５ａは、球凸状に形成されており、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄを介して磁気ヘッド１の特定の点に加圧力を加えることができるようになっている。加圧ばね５は、加圧点５ａ側が−Ｙ方向に向かって曲げ加工を施されており、図１から３に示したように組み立てられた状態において、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄに対して加圧力を−Ｙ方向に加えることができるように、撓んだ状態（チャージされた状態）となっている。 The pressurizing spring 5 is a pressurizing member that pressurizes the magnetic head 1 against the scale 3, and is formed of a thin metal plate having springiness (elasticity) so as to bend with the fixed portion 4a side as a fulcrum. The pressure spring 5 is fixed on the pedestal 8a with the support plate 4 and the spacer 6 sandwiched by the fixing screw 7 on the fixing portion 5b side. Further, the pressurizing spring 5 is provided with a pressurizing point 5a in the vicinity of the tip in the −X direction from the fixed portion 5b. The pressurizing point 5a is formed in a spherical convex shape, and a pressing force can be applied to a specific point of the magnetic head 1 via the magnetic head mounting portion 4d of the support plate 4. The pressurizing spring 5 is bent on the pressurizing point 5a side in the −Y direction, and is attached to the magnetic head mounting portion 4d of the support plate 4 in the assembled state as shown in FIGS. On the other hand, it is in a bent state (charged state) so that a pressing force can be applied in the -Y direction.

支持板４は、磁気ヘッド１をＹ方向に沿って移動可能、かつ、Ｙ方向以外の方向の移動を規制するように支持する支持部材である。
支持板４は、固定部４ａ，腕部４ｂ，接続部４ｃ，磁気ヘッド取付部４ｄを有している。
固定部４ａは、固定ねじ７によって加圧ばね５及びスペーサ６と共に固定筒８の台座８ａに固定される部分である。 The support plate 4 is a support member that supports the magnetic head 1 so as to be movable along the Y direction and to restrict movement in directions other than the Y direction.
The support plate 4 has a fixed portion 4a, an arm portion 4b, a connection portion 4c, and a magnetic head mounting portion 4d.
The fixing portion 4 a is a portion that is fixed to the base 8 a of the fixing cylinder 8 together with the pressure spring 5 and the spacer 6 by the fixing screw 7.

腕部４ｂは、固定部４ａから−Ｘ方向に突出するように２箇所平行に延在しており、固定部４ａ側を支点として撓むようになっている。腕部４ｂは、−Ｘ方向に延在しているので、スケール３の変位方向（Ｚ方向）に略直交する方向に延在していることになり、スケール３がカム筒９とともに回転変位することにより、磁気ヘッド１とスケール３との間に生じる摩擦力を受けても、変形しにくいようになっている。 The arm portion 4b extends in parallel at two locations so as to protrude in the −X direction from the fixed portion 4a, and is bent with the fixed portion 4a side as a fulcrum. Since the arm portion 4 b extends in the −X direction, the arm portion 4 b extends in a direction substantially orthogonal to the displacement direction (Z direction) of the scale 3, and the scale 3 is rotationally displaced together with the cam cylinder 9. As a result, even if it receives a frictional force generated between the magnetic head 1 and the scale 3, it is difficult to be deformed.

接続部４ｃは、腕部４ｂの先端部分である腕先端部４ｅと磁気ヘッド取付部４ｄとを接続する部分であり、１対の腕部４ｂ先端からＺ方向に延在している。
磁気ヘッド取付部４ｄは、−Ｘ方向に廷在する腕部４ｂに対して略折り返す形で、接続部４ｃによって支えられて＋Ｘ方向に突出して設けられている検出部取付部である。接続部４ｃは、図４に示すように、幅が０．７ｍｍと狭いので、僅かな加圧力によって簡単に捩れる。したがって、腕部４ｂが撓むことによる磁気ヘッド取付部４ｄの固定部４ａ側を支点とした揺動に加えて、磁気ヘッド取付部４ｄが腕先端部４ｅ側を支点として揺動することができる。 The connection portion 4c is a portion that connects the arm tip portion 4e, which is the tip portion of the arm portion 4b, and the magnetic head mounting portion 4d, and extends from the tip ends of the pair of arm portions 4b in the Z direction.
The magnetic head attachment portion 4d is a detection portion attachment portion that is supported by the connection portion 4c and protrudes in the + X direction so as to be substantially folded with respect to the arm portion 4b that is present in the −X direction. As shown in FIG. 4, the connecting portion 4 c has a narrow width of 0.7 mm, so that it can be easily twisted by a slight pressure. Therefore, in addition to swing with the fulcrum fixed portion 4a side of the magnetic head mounting portion 4d due to the arm portion 4b is bent, it is possible to swing as a fulcrum of the magnetic head mounting portion 4d Gaude distal portion 4e side .

支持板４は、ばね性（弾性）を有する一枚の金属板により形成されており、加圧ばね５が無い自由な状態では、固定部４ａ、腕部４ｂ、接続部４ｃ、磁気ヘッド取付部４ｄは、すべて同一平面上に存在する。
支持板４、高さ調整用のスペーサ６、加圧ばね５は、台座８ａ上に１対の固定ねじ７によって固定されている。そのため、支持板４、スペーサ６、加圧ばね５のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置は、調整の必要なく一意的に決定される。このとき、図３（ｂ）に示すように、加圧点５ａから支持板４へ加えられる加圧ばね５の加圧力により、磁気ヘッド１は、スケール３に密着する。 The support plate 4 is formed of a single metal plate having springiness (elasticity), and in a free state without the pressure spring 5, the fixed portion 4a, the arm portion 4b, the connection portion 4c, and the magnetic head mounting portion. All 4d exist on the same plane.
The support plate 4, the height adjusting spacer 6, and the pressure spring 5 are fixed on the base 8 a by a pair of fixing screws 7. Therefore, the positions of the support plate 4, the spacer 6, and the pressure spring 5 in the X, Y, and Z directions are uniquely determined without the need for adjustment. At this time, as shown in FIG. 3B, the magnetic head 1 is brought into close contact with the scale 3 by the pressing force of the pressing spring 5 applied from the pressing point 5 a to the support plate 4.

磁気ヘッド１は、磁気ヘッド取付部４ｄに接着等によって固定されている。磁気ヘッド１には、先に述べたように磁気抵抗素子１ｂが設けられており、スケール３が磁気抵抗素子１ｂに接触して摺動するとき、スケール３の変位を検出する。磁気抵抗素子１ｂには、ＦＰＣ１１が接続されている。
ＦＰＣ１１は、磁気ヘッド１から＋Ｘ方向へ設けられており、不図示の制御部に磁気抵抗素子１ｂによって検出された変位データ（信号）を伝達する配線部材である。
また、本実施例における磁気抵抗素子１ｂは、磁気ヘッド１のＸ方向幅の中心付近、及び、Ｚ方向幅の中心付近に設けられており、加圧ばね５の加圧点５ａは、この磁気抵抗素子１ｂに近接する位置を磁気ヘッド取付部４ｄを介して加圧している。したがって、加圧点５ａは、腕部４ｂの延在するＸ方向において、固定部４ａと接続部４ｃとの間に位置している。 The magnetic head 1 is fixed to the magnetic head mounting portion 4d by adhesion or the like. The magnetic head 1 is provided with the magnetoresistive element 1b as described above, and detects the displacement of the scale 3 when the scale 3 slides in contact with the magnetoresistive element 1b. The FPC 11 is connected to the magnetoresistive element 1b.
The FPC 11 is provided in the + X direction from the magnetic head 1 and is a wiring member that transmits displacement data (signal) detected by the magnetoresistive element 1b to a control unit (not shown).
The magnetoresistive element 1b in the present embodiment is provided near the center of the X-direction width of the magnetic head 1 and near the center of the Z-direction width. A position close to the resistance element 1b is pressurized via the magnetic head mounting portion 4d. Therefore, the pressurization point 5a is located between the fixed part 4a and the connection part 4c in the X direction in which the arm part 4b extends.

ここで、カム筒９に偏芯が存在し、カム筒９の回転運動とともにスケール３がＹ方向にも変位してしまう場合を考える。
図５は、スケール３が設けられているカム筒９の偏芯により、スケール３が初期位置よりも−Ｙ方向に変位し支持板４が撓んだ状態を、磁気ヘッド１部分のみ拡大・誇張して示した図である。図５（ａ）は、加圧ばね５の加圧点５ａが磁気抵抗素子１ｂに近接する位置を加圧する本実施例の場合を示し、図５（ｂ）は、加圧ばね５の加圧点５ａが磁気抵抗素子１ｂから−Ｘ方向にずれた位置を加圧する場合を示している。 Here, consider the case where the cam cylinder 9 is eccentric and the scale 3 is displaced in the Y direction as the cam cylinder 9 rotates.
FIG. 5 shows an enlargement and exaggeration of the magnetic head 1 only in a state where the scale 3 is displaced in the −Y direction from the initial position and the support plate 4 is bent due to the eccentricity of the cam cylinder 9 provided with the scale 3. FIG. FIG. 5A shows the case of the present embodiment in which the pressure point 5a of the pressure spring 5 presses the position close to the magnetoresistive element 1b, and FIG. The case where the point 5a pressurizes the position shifted in the −X direction from the magnetoresistive element 1b is shown.

一方、図５（ａ）に示した本実施例の場合では、図５（ｂ）の場合と同様、カム筒９の偏芯によるスケール３の−Ｙ方向変位に対して、腕部４ｂが加圧力によって撓んでいる。しかし、加圧点５ａは、接続部４ｃから＋Ｘ方向にずれた位置を加圧しているため、加圧点５ａから加わる加圧ばね５の力が、接続部４ｃを中心とした回転モーメントとして磁気ヘッド１に作用し、接続部４ｃを揺動中心として磁気ヘッド１が図５（ａ）中で右方向に回転する。その結果、加圧ばね５の加圧力によって支持板４の腕部４ｂが−Ｙ方向に撓むと共に、磁気ヘッド１が接続部４ｃを中心にして回転（揺動）することで、磁気ヘッド１は、スケール３に密着することができる。さらに、加圧ばね５の加圧点５ａは、磁気抵抗素子１ｂに近接する位置（図５中における真上）に位置するため、少ない加圧力であっても、磁気抵抗素子１ｂをスケール３に確実に密着させることができる。 On the other hand, in the case of the present embodiment shown in FIG. 5A, the arm portion 4b is added to the −Y direction displacement of the scale 3 due to the eccentricity of the cam cylinder 9 as in the case of FIG. Deflection due to pressure. However, since the pressurization point 5a pressurizes a position shifted in the + X direction from the connection portion 4c, the force of the pressurization spring 5 applied from the pressurization point 5a is magnetically generated as a rotational moment about the connection portion 4c. Acting on the head 1, the magnetic head 1 rotates rightward in FIG. As a result, the arm portion 4b of the support plate 4 by pressing force of the pressure spring 5 is deflected in the -Y direction, by the magnetic head 1 is rotated about the connecting portion 4c (rocking), the magnetic head 1 Can adhere to the scale 3. Further, since the pressurizing point 5a of the pressurizing spring 5 is located at a position close to the magnetoresistive element 1b (directly above in FIG. 5), the magnetoresistive element 1b is connected to the scale 3 even with a small applied pressure. It is possible to ensure close contact.

一方、図５（ａ）に示した本実施例の場合では、図５（ｂ）の場合と同様、カム筒９の偏芯によるスケール３の−Ｙ方向変位に対して、腕部４ｂが加圧力によって撓んでいる。しかし、加圧点５ａは、接続部４ｃから＋Ｘ方向にずれた位置を加圧しているため、加圧点５ａから加わる加圧ばね５の力が、接続部４ｃを中心とした回転モーメントとして磁気ヘッド１に作用し、接続部４ｃを揺動中心として磁気ヘッド１が図５（ａ）中で右方向に回転する。その結果、加圧ばね５の加圧力によって支持板４の腕部４ｂが−Ｙ方向に撓むと共に、磁気ヘッド１が接続部４ｃを中心にして回転（遥動）することで、磁気ヘッド１は、スケール３に密着することができる。さらに、加圧ばね５の加圧点５ａは、磁気抵抗素子１ｂに近接する位置（図５中における真上）に位置するため、少ない加圧力であっても、磁気抵抗素子１ｂをスケール３に確実に密着させることができる。 On the other hand, in the case of the present embodiment shown in FIG. 5A, the arm portion 4b is added to the −Y direction displacement of the scale 3 due to the eccentricity of the cam cylinder 9 as in the case of FIG. Deflection due to pressure. However, since the pressurization point 5a pressurizes a position shifted in the + X direction from the connection portion 4c, the force of the pressurization spring 5 applied from the pressurization point 5a is magnetically generated as a rotational moment about the connection portion 4c. Acting on the head 1, the magnetic head 1 rotates rightward in FIG. As a result, the arm portion 4b of the support plate 4 is bent in the -Y direction by the pressure applied by the pressure spring 5, and the magnetic head 1 rotates (swings) about the connection portion 4c. Can adhere to the scale 3. Further, since the pressurizing point 5a of the pressurizing spring 5 is located at a position close to the magnetoresistive element 1b (directly above in FIG. 5), the magnetoresistive element 1b is connected to the scale 3 even with a small applied pressure. It is possible to ensure close contact.

なお、本実施例では、加圧ばね５の加圧力により、支持板４がスケール３のＹ方向変位に追従するようにして撓むことで、磁気ヘッド１をスケール３に密着させている。したがって、加圧ばね５の弾性力（加圧力）は、支持板４の弾性力より十分強くなるように設定されており、磁気ヘッドがスケール３に密着追従することができる。
また、腕部４ｂは、スケール３の変位方向に略直交する方向に延在しており、スケール３がカム筒９と共に回転変位しても、変形しにくいようになっている。 In this embodiment, the magnetic head 1 is brought into close contact with the scale 3 by bending the support plate 4 so as to follow the displacement of the scale 3 in the Y direction by the pressure of the pressure spring 5. Accordingly, the elastic force (pressing force) of the pressure spring 5 is set to be sufficiently stronger than the elastic force of the support plate 4, and the magnetic head can closely follow the scale 3.
Further, the arm portion 4 b extends in a direction substantially orthogonal to the displacement direction of the scale 3, so that the arm portion 4 b is not easily deformed even when the scale 3 is rotationally displaced together with the cam cylinder 9.

さらに、２本設けられている腕部４ｂは、スケール３の回転により生じる摩擦力が磁気ヘッド１に加わっても、支持板４が変形しないように、その２本の腕部４ｂ同士のＺ方向の間隔が十分広くなっている。したがって、スケール３と磁気ヘッド１との間の摩擦力によっては、支持板４が変形しにくく、磁気ヘッド１とスケール３との間に隙間が生じることもない。
さらにまた、接続部４ｃは、磁気ヘッド１の揺動中心となるので、Ｘ方向の幅を狭くし、磁気ヘッド１が揺動しやすく（接続部４ｃがねじれやすく）することが望ましい。その一方で、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄは、腕部４ｂから接続部４ｃを介して略折り返す形で設けられている。そのため、Ｘ方向の寸法が小さくて、全体として小型な構造となっており、スペース効率がよく、小型レンズ鏡筒にも搭載することができる。 Further, the two arm portions 4b are arranged in the Z direction between the two arm portions 4b so that the support plate 4 is not deformed even when a frictional force generated by the rotation of the scale 3 is applied to the magnetic head 1. The interval is wide enough. Therefore, depending on the frictional force between the scale 3 and the magnetic head 1, the support plate 4 is not easily deformed, and no gap is generated between the magnetic head 1 and the scale 3.
Furthermore, since the connection portion 4c serves as the swing center of the magnetic head 1, it is desirable that the width in the X direction is narrowed so that the magnetic head 1 can easily swing (the connection portion 4c is easily twisted). On the other hand, the magnetic head mounting portion 4d of the support plate 4 is provided so as to be substantially folded back from the arm portion 4b via the connection portion 4c. Therefore, the dimension in the X direction is small and the structure is small as a whole, space efficiency is high, and it can be mounted on a small lens barrel.

以上のように、本実施例の変位検出装置は、構成部品点数が少なく、さらに支持板４、板ばね５共に一枚の板より形成されるため、加工がしやすく、製造コストを低く抑えることができる。また、簡単な機構で、確実に磁気ヘッド１をスケール３に密着させることが可能なので、製造工程において支持板４の位置等の微調整を必要とせず、単に組み立てただけで必要な性能を発揮することができる。 As described above, the displacement detection device of this embodiment has a small number of components, and since both the support plate 4 and the leaf spring 5 are formed from a single plate, it is easy to process and keeps the manufacturing cost low. Can do. In addition, since the magnetic head 1 can be securely brought into close contact with the scale 3 with a simple mechanism, fine adjustment of the position of the support plate 4 and the like is not necessary in the manufacturing process, and the necessary performance can be achieved simply by assembling. can do.

本実施例によれば、加圧ばね５の加圧点５ａは、接続部４ｃよりも＋Ｘ方向にずれた位置（Ｘ方向において、固定部４ａと接続部４ｃとの間）に配置されているので、スケール３が設けられたカム筒９に偏芯がある場合でも、接続部４ｃを揺動中心として磁気ヘッド１をスケール３に密着させることができる。
また、腕部４ｂは、スケール３の回転変位方向（Ｚ方向）に略直交する方向（Ｘ方向）に延在しており、略平行に設けられた２本の腕部４ｂの間隔が十分長いため、スケール３の回転変位することによるスケール３と磁気ヘッド１との間に摩擦力が生じても支持板４が変形しにくく、より確実に磁気ヘッド１をスケール３に密着させることができる。
さらに、コンパクトな構造のためスペース効率が高く、また、構造が簡単なため低コストで加工することができ、しかも製造ラインにおいて、調整作業が不要であり、製造コストも低減することができる。 According to the present embodiment, the pressurizing point 5a of the pressurizing spring 5 is disposed at a position shifted in the + X direction from the connecting portion 4c (between the fixed portion 4a and the connecting portion 4c in the X direction). Therefore, even when the cam cylinder 9 provided with the scale 3 is eccentric, the magnetic head 1 can be brought into close contact with the scale 3 with the connecting portion 4c as the center of oscillation.
Moreover, the arm part 4b is extended in the direction (X direction) substantially orthogonal to the rotational displacement direction (Z direction) of the scale 3, and the space | interval of the two arm parts 4b provided substantially parallel is sufficiently long. Therefore, even if a frictional force is generated between the scale 3 and the magnetic head 1 due to the rotational displacement of the scale 3, the support plate 4 is not easily deformed, and the magnetic head 1 can be brought into close contact with the scale 3 more reliably.
Furthermore, the space efficiency is high due to the compact structure, and since the structure is simple, it can be processed at low cost, and no adjustment work is required in the production line, and the production cost can be reduced.

（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施例において、図５（ａ）に示すように磁気抵抗素子１ｂに接続されるＦＰＣ１１を、固定部４ａ側（＋Ｘ方向）に延びるようにした例を示したが、これに限らず、例えば、図６に示すように接続部１０４ｃ側から−Ｘ方向に延びるように接続してもよい。このようにすると、加圧点１０５ａと接続部１０４ｃとの距離が、ＦＰＣ１１１が磁気ヘッド１０１に接続される配線接続部と接続部１０４ｃとの距離よりも長くなり、加圧ばね１０５により磁気ヘッド１０１に加わる回転モーメントが、ＦＰＣ１１１により磁気ヘッド１０１に加わる回転モーメントよりも大きくなる。特に、ＦＰＣ１１１が磁気ヘッド１０１に接続される配線接続部と接続部１０４ｃとの距離がゼロとみなせる程度の距離であれば、カム筒の偏芯によってスケール１０３がＹ方向で変位したとしても、接続部１０４ｃを揺動中心とした回転モーメントを磁気ヘッド１０１に対してＦＰＣ１１１が発生しなくなる。そのため、加圧ばね１０５の加圧力による磁気ヘッド１０１の回転モーメントが、ＦＰＣ１１１から受ける力によって阻害されることがなくなり、より効率よく加圧ばね１０５が磁気ヘッド１０１をスケール１０３に密着することができる。 (Modification)
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention.
For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 5A, the example in which the FPC 11 connected to the magnetoresistive element 1b extends to the fixed portion 4a side (+ X direction) has been described. For example, as illustrated in FIG. 6, the connection may be performed so as to extend in the −X direction from the connection portion 104 c side. In this way, the distance between the pressurizing point 105a and the connecting portion 104c is longer than the distance between the wiring connecting portion where the FPC 111 is connected to the magnetic head 101 and the connecting portion 104c. Is larger than the rotational moment applied to the magnetic head 101 by the FPC 111. In particular, if the distance between the wiring connecting portion where the FPC 111 is connected to the magnetic head 101 and the connecting portion 104c can be regarded as zero, even if the scale 103 is displaced in the Y direction due to the eccentricity of the cam cylinder, the connection is possible. The FPC 111 does not generate a rotational moment with respect to the magnetic head 101 with the portion 104c as the swing center. Therefore, the rotational moment of the magnetic head 101 due to the pressure applied by the pressure spring 105 is not hindered by the force received from the FPC 111, and the pressure spring 105 can more closely contact the magnetic head 101 to the scale 103. .

また、本実施例において、支持板４と磁気ヘッド１との固定は、接着により行う例を示したが、これに限らず、例えば熱カシメ、インサート成型など、他の固定方法でもよい。 Further, in this embodiment, the support plate 4 and the magnetic head 1 are fixed by adhesion. However, the fixing method is not limited to this, and other fixing methods such as heat caulking and insert molding may be used.

さらに、本実施例において、一眼レフカメラ用のオートフォーカスレンズ鏡筒に本発明の変位検出装置を用いた例を示したが、これに限らず、相対的に移動する物体の位置を検出する場合であれば、どのような装置に用いてもよい。 Furthermore, in the present embodiment, an example in which the displacement detection device of the present invention is used in an autofocus lens barrel for a single-lens reflex camera is shown. However, the present invention is not limited to this, and the position of a relatively moving object is detected. Any apparatus may be used as long as it is.

本発明による変位検出装置の実施例を用いたレンズ鏡筒の断面図である。It is sectional drawing of the lens barrel using the Example of the displacement detection apparatus by this invention. 本実施例におけるＭＲエンコーダの斜視図である。It is a perspective view of MR encoder in this example. 本実施例におけるＭＲエンコーダを説明する図である。It is a figure explaining the MR encoder in a present Example. 本実施例における支持板４と加圧ばね５の形状を詳細に示した図である。It is the figure which showed in detail the shape of the support plate 4 and the pressurization spring 5 in a present Example. スケール３が設けられているカム筒９の偏芯により、スケール３が初期位置よりも−Ｙ方向に変位し支持板４が撓んだ状態を、磁気ヘッド１部分のみ拡大・誇張して示した図である。The state in which the scale 3 is displaced in the -Y direction from the initial position and the support plate 4 is bent due to the eccentricity of the cam cylinder 9 provided with the scale 3 is shown by enlarging and exaggerating only the magnetic head 1 portion. FIG. 変形例を示す図である。It is a figure which shows a modification.

Explanation of symbols

１磁気ヘッド
１ａ保持部
１ｂ磁気抵抗素子
３スケール
４支持板
４ａ固定部
４ｂ腕部
４ｃ接続部
４ｄ磁気ヘッド取付部
４ｅ腕先端部
５加圧ばね
５ａ加圧点
５ｂ固定部
６スペーサ
７固定ねじ
８固定筒
８ａ台座
９カム筒
９ａカム溝
１０移動レンズ群
１１フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic head 1a Holding part 1b Magnetoresistive element 3 Scale 4 Support plate 4a Fixing part 4b Arm part 4c Connection part 4d Magnetic head attachment part 4e Arm tip part 5 Pressure spring 5a Pressurization point 5b Fixing part 6 Spacer 7 Fixing screw 8 Fixed cylinder 8a Pedestal 9 Cam cylinder 9a Cam groove 10 Moving lens group 11 Flexible printed circuit board (FPC)

Claims

A fixing member;
A movable member displaceable with respect to the fixed member;
A scale provided to be displaceable integrally with the movable member;
A displacement detector that directly or indirectly contacts the scale and detects the displacement of the scale;
A support member fixed to the fixing member and supporting the displacement detection unit so as to be movable in a direction substantially orthogonal to a contact plane in contact with the scale;
A pressing member fixed to the fixing member and pressurizing the displacement detection unit against the scale;
A displacement detecting device for detecting the displacement of the movable member provided to be relatively displaceable with respect to the fixed member,
The support member includes a fixing portion fixed to the fixing member;
An arm portion extending from the fixed portion in a direction substantially perpendicular to the pressing direction of the pressing member;
A detection portion mounting portion that is formed by protruding from the arm tip portion on the opposite side of the fixing portion of the arm portion and projecting toward the fixing portion, and to which the displacement detection portion is attached;
With
A pressurizing point at which the pressurizing member pressurizes the displacement detecting unit is located between the fixed unit and the arm tip in the extending direction of the arm unit;
A displacement detector characterized by the above.

The displacement detection device according to claim 1,
A connecting portion extending in a direction orthogonal to the direction in which the arm portion extends is provided between the arm tip portion and the detection portion mounting portion,
The detecting unit mounting portion, can be swung by the connecting portion is twisted,
A displacement detector characterized by the above.

In the displacement detection device according to claim 1 or 2,
The arm portion may extend in a direction substantially Cartesian relative to the movable direction of the scale,
A displacement detector characterized by the above.

In the displacement detection apparatus of any one of Claim 1- Claim 3,
A wiring member for transmitting a signal related to the displacement detector;
In the direction in which the arm portion extends, the distance between the pressure point and the connection portion is longer than the distance between the wiring connection portion and the connection portion where the wiring member is connected to the displacement detection unit,
A displacement detector characterized by the above.

In the displacement detection apparatus of any one of Claim 1 to Claim 4,
The displacement detection unit includes a sensor unit that detects displacement of the scale;
A holding unit that is attached to the detection unit mounting unit and holds the sensor unit;
Have
The pressure point is in a position close to the sensor unit;
A displacement detector characterized by the above.

In the displacement detection apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The support member and the pressure member are formed of an elastic body that generates a biasing force by deformation,
The urging force acting at the pressure point due to deformation of the pressure member is greater than the urging force acting at the pressure point due to deformation of the support member;
A displacement detector characterized by the above.

  A movable member displaceable with respect to the fixed member;
  A scale provided to be displaceable integrally with the movable member;
  A displacement detector that directly or indirectly contacts the scale and detects displacement of the scale;
  A pressing member fixed to the fixing member and pressurizing the displacement detection unit against the scale;
  A fixing portion fixed to the fixing member; an arm portion extending from the fixing portion toward the scale; and an end portion of the arm portion on the scale side that is folded back and extends toward the fixing portion. A support member having a detection unit mounting part to which the displacement detection unit is mounted,
  The displacement detection unit is characterized in that, in a direction in which the arm portion extends, a portion between the fixing portion and an end portion on the scale side of the arm portion is pressurized from the pressure member. Displacement detector.