JP4600382B2 - Perpendicular magnetic recording head device - Google Patents
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Description
本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。 The present invention relates to a perpendicular magnetic recording head device that performs recording by applying a magnetic field in a direction perpendicular to the medium surface of a recording medium.
垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面(媒体対向面)に、主磁極層上に対して非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される(特許文献1)。
垂直磁気記録ヘッド装置においては、情報記録時に内部の温度が高くなると、シールド層のような磁性層を構成する材料と、その磁性層の周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いにより、前記磁性層が媒体対向面から突出し易くなるという、いわゆるPTP(Pole Tip Protrusion)現象が起こる。この場合、PTP現象が起こって、前記磁性層の突き出しが大きくなると、減圧環境でヘッド浮上量が低下したときに媒体とヘッドとの間の間隔が狭くなって信頼性が低下するという問題がある。 In the perpendicular magnetic recording head device, when the internal temperature becomes high during information recording, the difference in thermal expansion coefficient between the material constituting the magnetic layer such as the shield layer and the insulating material around the magnetic layer As a result, a so-called PTP (Pole Tip Protrusion) phenomenon occurs in which the magnetic layer easily protrudes from the medium facing surface. In this case, if the PTP phenomenon occurs and the protrusion of the magnetic layer increases, there is a problem in that the reliability between the medium and the head is reduced when the head flying height is reduced in a reduced pressure environment and the reliability is lowered. .
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、PTP現象を抑え、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of this point, and an object thereof is to provide a perpendicular magnetic recording head device that suppresses the PTP phenomenon and has high reliability in a reduced pressure environment.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第1磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広である第2磁性層と、前記第1磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第2磁性層は、平面視において、主磁極と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部を有することを特徴とする。 The perpendicular magnetic recording head device of the present invention is provided with a first magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, a nonmagnetic layer with respect to the magnetic layer, and the main magnetic pole A second magnetic layer having a wide width; and a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer. The second magnetic layer overlaps with the main magnetic pole in a plan view and is formed on the medium facing surface. The exposed surface extends in the track width direction and has an opening extending in the depth direction.
この構成によれば、リターンヨーク層の体積が相対的に少ないので、リターンヨーク層の構成材料とその周辺の層の構成材料との間での熱膨張係数の違いの影響を小さくすることができ、その結果PTP現象を抑えることができる。 According to this configuration, since the volume of the return yoke layer is relatively small, it is possible to reduce the influence of the difference in thermal expansion coefficient between the constituent material of the return yoke layer and the constituent materials of the surrounding layers. As a result, the PTP phenomenon can be suppressed.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記開口部は、前記主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置からハイト方向奥側に延在することが好ましい。 In the perpendicular magnetic recording head device of the present invention, it is preferable that the opening extends from the position where the width of the main magnetic pole in the track width direction is narrowed to the back side in the height direction.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記第2磁性層がリターンヨーク層である場合において、前記開口部は、前記対向面よりもハイト方向奥側に存在する接続部に達しない位置まで形成されていることが好ましい。 In the perpendicular magnetic recording head device of the present invention, when the second magnetic layer is a return yoke layer, the opening is formed to a position that does not reach the connecting portion that is located on the far side in the height direction from the facing surface. It is preferable that
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第1磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広である第2磁性層と、前記第1磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第2磁性層は、平面視において、主磁極と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部を有するので、PTP現象を抑え、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を提供することができる。 The perpendicular magnetic recording head device of the present invention is provided with a first magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, a nonmagnetic layer with respect to the magnetic layer, and the main magnetic pole A second magnetic layer having a wide width; and a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer. The second magnetic layer overlaps with the main magnetic pole in a plan view and is formed on the medium facing surface. Since the exposed surface extends in the track width direction and has an opening extending in the depth direction, it is possible to suppress the PTP phenomenon and provide a highly reliable perpendicular magnetic recording head device in a reduced pressure environment. it can.
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。図2は、図1に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図1において、Xはトラック幅方向を示し、Yはハイト方向を示し、Zは膜厚方向を示す。各方向は残り2つの方向に対して直交する関係となっている。なお、本実施の形態においては、開口部を有する磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a magnetic head provided with a perpendicular magnetic recording head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial plan view of the perpendicular magnetic recording head shown in FIG. 1 and a partial front view of the return yoke layer. In FIG. 1, X indicates the track width direction, Y indicates the height direction, and Z indicates the film thickness direction. Each direction is orthogonal to the remaining two directions. In the present embodiment, the case where the magnetic layer having the opening is a return yoke layer will be described.
図1に示す垂直磁気記録ヘッドHWは、記録媒体Mに垂直磁界を与え、記録媒体Mのハード膜Maを垂直方向に磁化させる。記録媒体Mは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Maを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Mbを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。 The perpendicular magnetic recording head H W shown in FIG. 1, it applies a perpendicular magnetic field to a recording medium M, to magnetize a hard film Ma of the recording medium M in the vertical direction. The recording medium M has, for example, a disk shape, has a hard film Ma with high remanent magnetization on its surface, and has a soft film Mb with high magnetic permeability inside, and the center of the disk is the center of rotation. Are configured to rotate.
スライダ10は、Al2O3・TiCなどの非磁性材料で構成されている。スライダ10の対向面10aは記録媒体Mに対向しており、記録媒体Mが回転すると、表面の空気流によりスライダ10が記録媒体Mの表面から浮上し、又はスライダ10が記録媒体Mに摺動する。スライダ10のトレーリング側端面(上面)10bには、Al2O3又はSiO2などの無機材料で構成された非磁性絶縁層12が形成されており、この非磁性絶縁層12上に読取り部HRが形成されている。
The
読取り部HRは、非磁性絶縁層12上に形成された下部シールド層13と、下部シールド層13上に無機絶縁層(ギャップ絶縁層)15を介して形成された上部シールド層16とを有する。これらのシールド層13,16は、主磁極に対して幅広に形成されている。無機絶縁層15内には、読み取り素子14が設けられている。読み取り素子14としては、AMR(Anisotropic MagnetoResistance)素子 、GMR(Giant MagnetoResistance)素子、TMR(Tunnel MagnetoResistance)素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。
Reading portion H R includes a
上部シールド層16上には、コイル絶縁下地層17を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片18が形成されている。下層コイル片18は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rh,Niから選ばれた少なくとも1種の金属材料で構成される。また、下層コイル片18は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
A plurality of
下層コイル片18の周囲には、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層19が形成されている。コイル絶縁層19の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層(図示せず)が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層24が設けられている。主磁極層24の周囲は、Al2O3やSiO2などで構成された絶縁層32によって埋められ、主磁極層24の上面と絶縁層32の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層24は、例えばNiFe、CoFe、NiFeCoなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。
A coil insulating layer 19 made of an inorganic insulating material such as Al 2 O 3 or an organic insulating material such as a resist is formed around the
図2に示すように、主磁極層24は、記録媒体との対向面H1a(対向面H1aはスライダ10の対向面10aと略同一平面で形成されている)からハイト方向(図示Y方向)にトラック幅Twで形成された細長い形状の前方部24aと、前方部24aのハイト方向後方において前方部24aよりもトラック幅方向(図示X方向)の幅寸法が広い後方部24b(最大幅寸法T2)とを有する。
As shown in FIG. 2, the main
図1に示すように、主磁極層24上には、Al2O3又はSiO2などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層21が形成されている。ギャップ層21上には、コイル絶縁下地層22を介して上層コイル片23が形成されている。ギャップ層21は、上層コイル片23の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層22は形成されていなくても良い。上層コイル片23は、下層コイル片18と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片23は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rh,Niから選ばれた少なくとも1種の金属材料で構成される。また、上層コイル片23は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
As shown in FIG. 1, a
下層コイル片18と上層コイル片23とは、図2に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向(図示X方向)における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片18及び上層コイル片23には、それぞれ引き出し部18a,23aが形成されており、この引き出し部18a、23aから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。
As shown in FIG. 2, the lower
上層コイル片23上には、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層26が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層21上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層28が形成されている。コイル絶縁層26の前縁は、間隔調整絶縁層28上に重なっている。図2に示すように、間隔調整絶縁層28の前縁28aは、トラック幅方向(図示X方向)と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層28の前縁28aは、対向面H1aからハイト方向に所定距離(ギャップデプス)L1だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層28は、図2に示すように、トラック幅方向(図示X方向)に長く延在している。間隔調整絶縁層28の前縁28aの幅寸法T3は、少なくとも主磁極層24の最大幅寸法T2よりも小さく形成される。
A
ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片23のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層24の最大幅寸法T2よりも必ず大きくなるので、上層コイル片23上を覆うコイル絶縁層26の最大幅寸法T4は、主磁極層24の最大幅寸法T2より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層28は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層28の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状(あるいは少なくとも上面は曲面状)となる。間隔調整絶縁層28上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層26も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層26の対向面側上面は、間隔調整絶縁層28の上面から曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層28及びコイル絶縁層26(以下、この2層を「絶縁層30」と称する場合がある)は、ギャップ層21の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方(図示Z方向)に盛り上がって形成されている。絶縁層30の周囲には、ギャップ層21の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層28の前縁28aと対向面H1aとの間の領域を前方領域Aと称し、絶縁層30のトラック幅方向(図示X方向)における両側の領域を両側領域Bと称する。
When the solenoid coil layer is used, the width dimension of the
図1及び図2に示すように、前方領域A上、絶縁層30上、及び両側領域B上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第2磁性層であるリターンヨーク層27が形成されている。図1に示すように、リターンヨーク層27のハイト方向の後端部は、主磁極層24と磁気的に接続する接続部27cとなっている。リターンヨーク層27上は、無機絶縁材料などで構成された保護層31により覆われている。なお、第2磁性層としては、接続部27cを有しない、すなわち主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単なるシールド作用を有する層であっても良い。このリターンヨーク層27は、主磁極に対してトラック幅方向に幅広に形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a
リターンヨーク層27は、中央部27aと、中央部27aのトラック幅方向(図示X方向)の両側に位置する両側端部27bとで形成される。中央部27aは、主磁極層24と膜厚方向(図示Z方向)で対向する位置に形成されている。図1及び図2に示すように、中央部27aには、絶縁層30上から前方領域A上にかけて上方に向けて突出する突出部27a1が形成されている。絶縁層30上に形成されるリターンヨーク層27は、そもそも絶縁層30が両側領域Bよりも盛り上がって形成されているから両側領域B上に形成されるリターンヨーク層27に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層30上に形成されるリターンヨーク層27の膜厚と、両側領域B上に形成されるリターンヨーク層27の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層27の厚さは、PTP現象を抑制することを考慮すると、0.1μm〜1.0μmであることが好ましい。
The
本発明に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層27は、図3に示すように、主磁極層24と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部27dを有する。本発明で課題とするPTP現象は、コイル通電による発熱の影響ではなく、外部環境の影響により起こる現象である。コイル通電により発熱の影響であれば、熱を逃がす経路を設けることにより解決することが可能であるが、外部環境の影響の場合、熱を逃がす経路を設けても熱の影響を低減させる効果が低いと考えられる。本発明はこの点と、PTP現象がシールド層の構成材料とその周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いに起因する点とに着目し、リターンヨーク層27のようなシールド層の体積を減少させることがPTP現象を抑えることに効果があることを見出した。この場合において、単にリターンヨーク層27のようなシールド層の厚さを一様に減らすだけでは、媒体対向面で露出するリターンヨーク層27の面積が小さくなり、リターンヨーク層がハイト方向に磁化し易くなって結果としてEdge Writeが発生してしまう。このようなことも考慮して、本発明者らは、リターンヨーク層に開口部を設けてシールド層の体積を減少させることにより、PTP現象を抑えることができ、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を実現できることを見出し本発明に至った。
As shown in FIG. 3, the
この場合において、リターンヨーク層27のような磁性層は、主磁極層24に対して幅広であり、厚さや奥行きも十分にあるので、開口部27dを設けるためには自由度がある。したがって、開口部27dの位置や大きさは、リターンヨーク層27が主磁極層24に対して十分なシールド効果を発揮しながら、PTP現象を抑制することを考慮して決定される。すなわち、開口部27dは主磁極層24の前方部24aにおける主磁極層24とリターンヨーク層27との間の磁気的な関係に影響を与えない領域に設ける。したがって、主磁極層24の前方部24aにおいて垂直磁気記録に必要である磁気的特性を維持できるような位置に、すなわち、主磁極層24が磁束を吸い込まないようにリターンヨーク層27で十分にシールドできる(前方部24aを覆うリターンヨーク層27において磁束が飽和して外部に漏れないようにする)ような位置に開口部27dを設ける。このため、開口部27dは、前記要求を満足するために十分な距離だけ主磁極層24の前方部24aから離して設ける。
In this case, since the magnetic layer such as the
このような要件を考慮すると、開口部27dは、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置よりもハイト方向奥側に延在するように形成される。図4は、主磁極層24を平面視した際の概略図である。図4に示すように、主磁極層24においては、第1角部24cで、媒体対向面(図4において上側)に向けて徐々に主磁極が幅狭になり、さらに第2角部(ネック部)24bで、主磁極が幅狭になり、前方部24aを形成している。ここで、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置位置とは、第1角部24cや第2角部24bを意味する。したがって、リターンヨーク層27の開口部27dは、平面視において、この第1角部24cや第2角部24b(いわゆる開口開始部)よりもハイト方向奥側(図4におけるC方向)にわたって延在するように形成される。
In consideration of such requirements, the
リターンヨーク層27の主磁極層24に対してより優れたシールド効果を発揮させるためには、開口開始部を平面視における第1角部24cに設定することが好ましい。なお、本実施の形態においては、ネック部よりもハイト方向奥側の主磁極層24の形状については、図2、図4に示す形状に限定されず、種々変形することができる。すなわち、本実施の形態においては、主磁極層24の形状が前方部24aを含む領域において、2段階で幅狭になっている形状について説明しているが、本発明はこれに限定されず、主磁極層24の前方部24aを含む領域が3段階以上で段階的に幅狭担っていても良く、前方部24aにわたって角部を有さない状態で徐々に幅狭になっていても良い。
In order to exert a better shielding effect on the main
開口部27dの大きさの例としては、媒体対向面からハイト方向奥側に0.1μm〜3μmの開口開始部であって、幅が1μm以上30μm以下であり、奥行きが1μm以上10μm以下であることが好ましい。
As an example of the size of the
シールド層がリターンヨーク層27である場合には、開口部27dは、媒体対向面よりもハイト方向奥側に存在する接続部27cに達しない位置(開口終了点)まで形成されていることが好ましい。なお、シールド層が下部シールド層13や上部シールド層16である場合には、開口部の開口終了点の位置について制限はない。
When the shield layer is the
このように、リターンヨーク層27に、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置よりもハイト方向奥側に延在する開口部27dが形成されている垂直磁気記録ヘッドにおいては、リターンヨーク層27の体積が相対的に少ないので、リターンヨーク層27の構成材料とその周辺の層の構成材料との間での熱膨張係数の違いの影響を小さくすることができ、その結果PTP現象を抑えることができる。
As described above, in the perpendicular magnetic recording head in which the
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
図1に示す基本構造を有し、リターンヨーク層27に開口部27d(媒体対向面からハイト方向奥側に1.0μmの開口開始部であって、幅が20.0μmであり、奥行きが9.0μmである)を有する垂直磁気記録ヘッド(実施例)と、図1に示す基本構造を有し、リターンヨーク層27に開口部を有しない垂直磁気記録ヘッド(比較例)とについて、熱解析シミュレーションにより、熱により媒体対向面から突出する素子の突き出し量を求めた。なお、素子の突き出し量は、主磁極近傍のトラック幅方向中央部と厚膜部近傍であるエッジ部とで測定した。その結果を図5に示す。
Next, examples performed for clarifying the effects of the present invention will be described.
1 has the basic structure shown in FIG. 1, and the
図5から分かるように、リターンヨーク層に開口部を有する垂直磁気記録ヘッド(実施例)は、トレーリング側端面(トレーリングエッジ)10b近傍における素子突き出し量が約2.1nmであったが、リターンヨーク層に開口部を有しない垂直磁気記録ヘッド(比較例)は、トレーリングエッジ近傍における素子突き出し量が約2.8nmであった。すなわち、トレーリングエッジ近傍における素子突き出し量が約25%減少することが分かった。 As can be seen from FIG. 5, the perpendicular magnetic recording head (Example) having an opening in the return yoke layer had an element protrusion amount in the vicinity of the trailing side end face (trailing edge) 10b of about 2.1 nm. In the perpendicular magnetic recording head (comparative example) having no opening in the return yoke layer, the element protrusion amount in the vicinity of the trailing edge was about 2.8 nm. That is, it was found that the amount of protrusion of the element near the trailing edge was reduced by about 25%.
上述したように、PTP現象により素子突き出し量が大きくなると、減圧環境においてヘッド浮上量が低下した際に媒体とヘッドとの間の間隔が現象して磁気記録の信頼性が低下する、すなわち減圧下において常温と高温との間で減圧特性に差が生じる。ここで、垂直磁気記録ヘッド装置におけるAEセンサ(PHYSICAL ACOUSTICS CORPORATION社製、Pico AE sensor)を用い、常温(25℃)における減圧下でヘッドと媒体とが接触した際の圧力と、高温(60℃)における減圧下でヘッドと媒体とが接触した際の圧力とを測定した。その結果を図6に示す。 As described above, when the amount of protrusion of the element increases due to the PTP phenomenon, when the head flying height decreases in a reduced pressure environment, the distance between the medium and the head occurs, and the reliability of magnetic recording decreases. In this case, a difference occurs in the decompression characteristics between normal temperature and high temperature. Here, by using an AE sensor (Pico AE sensor, manufactured by PHYSICAL ACOUSTICS CORPORATION) in a perpendicular magnetic recording head device, the pressure when the head and the medium come into contact with each other under reduced pressure at room temperature (25 ° C.) and high temperature (60 ° C.). The pressure when the head and the medium contact with each other under reduced pressure was measured. The result is shown in FIG.
図6から分かるように、PTP現象により素子突き出し量が増加するほど、減圧特性の劣化、すなわち常温と高温との間の減圧特性の差が増加する。具体的には、1nmの素子突き出し量の増加により0.05気圧の減圧特性が劣化した。このことから、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置においては、PTP現象における素子突き出し量を約25%減少させることができるので、減圧特性の劣化を抑制することができ、優れた磁気記録の信頼性を示す。 As can be seen from FIG. 6, as the amount of protrusion of the element increases due to the PTP phenomenon, the pressure reduction characteristics deteriorate, that is, the difference in pressure reduction characteristics between normal temperature and high temperature increases. Specifically, the depressurization characteristic of 0.05 atm was deteriorated by the increase in the protruding amount of the element of 1 nm. Therefore, in the perpendicular magnetic recording head device according to the present invention, the amount of protrusion of the element in the PTP phenomenon can be reduced by about 25%, so that the deterioration of the decompression characteristic can be suppressed, and excellent magnetic recording reliability can be achieved. Showing gender.
また、上記実施例及び比較例の垂直磁気記録ヘッドについて、オーバーライト特性を調べた。その結果を図7に示す。なお、オーバーライト特性は、クロストラック性能で評価した。クロストラック性能は、磁界シミュレーションにより、実施例と比較例との間の磁界強度を比較することにより評価した。図7から分かるように、実施例の垂直磁気記録ヘッドのオーバーライト特性は、比較例の垂直磁気記録ヘッドのオーバーライト特性とほぼ同じであり、リターンヨーク層に開口部を設けたことが磁気特性に影響を及ぼしていない。これは、開口部以外のリターンヨーク層で磁気回路が成立しているためと考えられる。 The overwrite characteristics of the perpendicular magnetic recording heads of the above examples and comparative examples were examined. The result is shown in FIG. The overwrite characteristics were evaluated by cross track performance. The cross track performance was evaluated by comparing the magnetic field strength between the example and the comparative example by magnetic field simulation. As can be seen from FIG. 7, the overwrite characteristic of the perpendicular magnetic recording head of the example is almost the same as the overwrite characteristic of the perpendicular magnetic recording head of the comparative example, and the magnetic characteristic is that an opening is provided in the return yoke layer. Has no effect. This is presumably because a magnetic circuit is formed in the return yoke layer other than the opening.
上記実施の形態においては、コイルがソレノイドコイルである場合について説明しているが、本発明は、コイルがスパイラルコイルである場合にも適用することができる。上述したように、PTP現象は、コイル通電による発熱の影響ではなく、外部環境の影響により起こる現象である。このため、コイルの形態が異なっていてもPTP現象は生ずると考えられるので、本発明は、コイルがスパイラルコイルである場合にも有効である。 Although the case where the coil is a solenoid coil has been described in the above embodiment, the present invention can also be applied to the case where the coil is a spiral coil. As described above, the PTP phenomenon is a phenomenon caused by the influence of the external environment, not the influence of heat generation due to coil energization. For this reason, since it is considered that the PTP phenomenon occurs even if the coil forms are different, the present invention is also effective when the coil is a spiral coil.
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態においては、シールド効果を持つ磁性層がリターンヨーク層である場合について説明しているが、本発明は、シールド効果を持つ磁性層が下部シールド層や上部シールド層である場合にも適用することができる。また、上記実施の形態で説明した数値や材質、部材の形状については特に制限はない。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。 The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, the case where the magnetic layer having the shielding effect is the return yoke layer is described, but the present invention is the case where the magnetic layer having the shielding effect is the lower shield layer or the upper shield layer. It can also be applied to. Moreover, there is no restriction | limiting in particular about the numerical value and material which were demonstrated in the said embodiment, and the shape of a member. Other modifications may be made as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.
10 スライダ
12 非磁性絶縁層
13 下部シールド層
14 読み取り素子
15 無機絶縁層
16 上部シールド層
18 下層コイル片
21 ギャップ層
23 上層コイル片
24 主磁極層
24a 前方部
24b,24c 角部
26 コイル絶縁層
27 リターンヨーク層
27c 接続部
27d 開口部
28 間隔調整絶縁層
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