JP4587026B2 - Fine recess processing apparatus and fine recess processing method - Google Patents
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Description
本発明は、被加工物の表面、例えば、自動車のエンジンを構成するクランクピンやジャーナルやカムジャーナルなどの可動部品の外周面に、作動効率を高めたりフリクションを低減させたりするための微細凹部(油だまり)を形成するのに用いられる微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法に関するものである。 The present invention provides a fine recess (in order to increase the operating efficiency or reduce the friction on the surface of a workpiece, for example, the outer peripheral surface of a movable part such as a crankpin, a journal or a cam journal constituting an automobile engine. The present invention relates to a fine recess processing apparatus and a fine recess processing method used to form an oil sump.
従来、上記したような被加工物の表面に微細凹部を形成する方法としては、例えば、精密ショットピーニング法があったが、この方法では、マスクの貼り付け及び取り外しの作業が必須であることから、生産性の向上を期待できないという問題があった。 Conventionally, as a method for forming a fine recess on the surface of the workpiece as described above, for example, there has been a precision shot peening method, but in this method, the work of attaching and removing the mask is essential. There was a problem that improvement in productivity could not be expected.
そこで、近年においては、外周面に微細な凹凸を有する加工ローラをほぼ一定荷重で被加工物に押し付けて微細凹部を形成する構成の微細凹部加工装置が研究されている。
しかしながら、上記した従来の微細凹部加工装置おいて、加工ローラをほぼ一定荷重で被加工物に押し付けるようにしている都合上、熱処理の範囲や条件などによって被加工物個々の表面硬さが異なっている場合には、被加工物に形成される微細凹部の深さが被加工物毎に変わってしまうという問題があり、この問題を解決することが従来の課題となっていた。 However, in the conventional fine recess processing apparatus described above, the surface hardness of each workpiece varies depending on the range and conditions of the heat treatment because of the fact that the processing roller is pressed against the workpiece with a substantially constant load. In such a case, there is a problem that the depth of the fine recesses formed in the workpiece varies for each workpiece, and it has been a conventional problem to solve this problem.
本発明は、上記した従来の課題に着目してなされたものであり、熱処理条件などによって被加工物個々の表面硬さが異なっていたり、被加工物が異種材(数種類の材種が貼り合わされた物や数種類の材質が混在した物)から成っていたりした場合においても、被加工物の表面に一定深さの微細凹部を形成することが可能である微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made paying attention to the above-mentioned conventional problems, and the surface hardness of each workpiece varies depending on the heat treatment conditions, etc., or the workpiece is made of different materials (several types of materials are bonded together). A fine recess processing apparatus and a fine recess processing method capable of forming a fine recess of a certain depth on the surface of a workpiece even when the substrate is made of a material or a mixture of several kinds of materials) It is intended to provide.
本発明の微細凹部加工装置は、外周面に微細な凹凸を有する加工ローラと、この加工ローラの外周面を被加工物に押し付けて微細凹部を形成するローラ押圧機構と、このローラ押圧機構による加工ローラの押圧力を検出する荷重検出手段とを有すると共に、被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを記憶して、上記加工ローラの外周面を被加工物に押し付けて微細凹部を形成している間に上記荷重検出手段から受けた荷重検出信号、上記表面硬さ分布情報及び上記微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする制御手段とを備えたことを特徴としている。 The fine concave portion processing apparatus of the present invention includes a processing roller having fine irregularities on the outer peripheral surface, a roller pressing mechanism that forms the fine concave portion by pressing the outer peripheral surface of the processing roller against a workpiece, and processing by the roller pressing mechanism. A load detecting means for detecting the pressing force of the roller, and the surface hardness distribution information at the surface processing position of the workpiece, and the fineness formed corresponding to the surface hardness and the pressing force of the processing roller The depth information of the concave portion is stored, the load detection signal received from the load detecting means while the fine concave portion is formed by pressing the outer peripheral surface of the processing roller against the workpiece, and the surface hardness distribution information And a control means for controlling the pressing force of the processing roller to correspond to the surface hardness of the workpiece based on the depth information of the fine recess.
本発明の微細凹部加工方法は、上記の微細凹部加工装置を用いて被加工物に微細凹部を形成するに際して、ローラ押圧機構により加工ローラの外周面を被加工物に押し付けると共に、上記被加工物を回転又は直線的に移動させるのに伴って加工ローラを連れ回りさせて微細凹部の加工を開始し、この微細凹部の加工を行っている間に、制御手段において、荷重検出手段からの荷重検出信号、上記表面硬さ分布情報及び上記微細凹部の深さ情報に基づいて上記ローラ押圧機構による加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールすることを特徴としている。 The fine recess processing method of the present invention is configured to press the outer peripheral surface of the processing roller against the workpiece by a roller pressing mechanism when forming the fine recess on the workpiece using the fine recess processing apparatus. As the workpiece is rotated or linearly moved, the processing roller is rotated to start processing the fine recess, and while the micro recess is being processed, the control means detects the load from the load detection means. Based on the signal, the surface hardness distribution information, and the depth information of the fine recess, the pressing force of the processing roller by the roller pressing mechanism is controlled to correspond to the surface hardness of the workpiece.
本発明によれば、上記した構成としているので、熱処理条件などによって被加工物個々の表面硬さが異なっている場合や、被加工物が数種類の材種を貼り合わせて成っていたり数種類の材質を混在させて成っていたりした場合であったとしても、ほぼ一定深さの微細凹部を被加工物の表面に形成することが可能であり、加えて、被加工物の表面に微細凹部を形成する際に、加工ローラの押圧力を変化させれば、深さが変化する微細凹部を形成することができるという非常に優れた効果がもたらされる。 According to the present invention, since the above-described configuration is adopted, the surface hardness of each workpiece varies depending on the heat treatment conditions or the like, the workpiece is formed by bonding several types of materials, or several types of materials. It is possible to form a minute concave part with a substantially constant depth on the surface of the workpiece, in addition to forming a fine concave part on the surface of the workpiece. In this case, if the pressing force of the processing roller is changed, a very excellent effect that a fine concave portion whose depth changes can be formed is brought about.
本発明の微細凹部加工装置において、被加工物の表面硬度を測定する表面硬度測定手段を備えた構成を採用することができ、この場合には、表面硬度が既知でない被加工物に対して、一定深さの微細凹部を形成し得ることとなる。この際、表面硬度測定手段は、加工ローラを支持して一体で移動するローラ支持部に設けることが望ましく、その場合には、加工ローラによる微細凹部の形成と同時に表面硬さを測定することが可能であるため、生産効率が向上することとなる。 In the fine recess processing apparatus of the present invention, it is possible to employ a configuration provided with a surface hardness measuring means for measuring the surface hardness of the workpiece. In this case, for the workpiece whose surface hardness is not known, A fine recess having a certain depth can be formed. At this time, it is desirable that the surface hardness measuring means is provided on a roller support portion that supports and moves integrally with the processing roller. In this case, the surface hardness can be measured simultaneously with the formation of the fine recesses by the processing roller. Since this is possible, the production efficiency will be improved.
また、本発明の微細凹部加工装置において、制御手段は、被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを記憶して、表面硬さ分布情報及び微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする構成を採用することができ、この構成を採用すると、熱処理条件などによって被加工物個々の表面硬さが異なっている場合や、被加工物が異種材から成っている場合でも、被加工物の表面に一定深さの微細凹部を形成し得ることとなる。 Further, in the fine recess processing apparatus of the present invention, the control means includes a surface hardness distribution information at the surface processing position of the work piece, and a fine formed corresponding to the surface hardness and the pressing force of the processing roller. Stores the depth information of the recesses, and adopts a configuration that controls the pressing force of the processing roller to correspond to the surface hardness of the workpiece based on the surface hardness distribution information and the depth information of the fine recesses If this configuration is adopted, the surface of the workpiece will be constant even if the surface hardness of the workpiece varies depending on the heat treatment conditions, etc., or even if the workpiece is made of different materials. A fine recess having a depth can be formed.
さらに、本発明の微細凹部加工装置において、NC工作機械に搭載可能とし、制御手段を上記NC工作機械の制御部する構成を採用することが可能であり、この構成を採用することで、同じ被加工物に微細凹部を形成する際に、連続的な自動加工を行い得ることとなる。 Furthermore, in the fine recess processing apparatus of the present invention, it is possible to adopt a configuration that can be mounted on an NC machine tool and the control means is a control unit of the NC machine tool. When forming the fine recesses in the workpiece, continuous automatic processing can be performed.
さらにまた、本発明の微細凹部加工装置において、流体圧を用いて加工ローラの外周面を被加工物に押し付ける流体圧押圧機構をローラ押圧機構とする構成を採用することが可能であり、この場合には、ポンプやバルブの制御によって加工ローラの押圧力を変化させることができるため、複数の微細凹部加工装置に配管を施すようになせば、数ヶ所の被加工物に対して同時に同じ押圧力で加工ローラを押し付け得ることとなる。 Furthermore, in the fine recess processing apparatus of the present invention, it is possible to employ a configuration in which the fluid pressure pressing mechanism that presses the outer peripheral surface of the processing roller against the workpiece using the fluid pressure is a roller pressing mechanism. Since the pressing force of the processing roller can be changed by controlling pumps and valves, the same pressing force can be applied to several workpieces at the same time if piping is provided to a plurality of fine recess processing devices. Thus, the processing roller can be pressed.
さらにまた、本発明の微細凹部加工装置において、弾性体を用いて加工ローラの外周面を被加工物に押し付ける弾性体押圧機構をローラ押圧機構とする構成を採用することが可能であり、この場合には、配管などが不要であって簡単な構成とすることができるため、装置のコンパクト化が図られ、これにより、装置の取りまわしが良くなって、旋盤やフライス盤やマシニングセンタなどのあらゆる既存の工作機械に容易に取付け得ることとなり、その結果、多くの被加工物の加工が可能となるうえ、設備費が少なくて済むこととなる。 Furthermore, in the fine recess processing apparatus of the present invention, it is possible to employ a configuration in which the elastic body pressing mechanism that presses the outer peripheral surface of the processing roller against the workpiece using the elastic body is a roller pressing mechanism. This eliminates the need for piping, etc., and can be simplified in structure, thereby reducing the size of the equipment. It can be easily attached to the machine, and as a result, a large number of workpieces can be processed and the equipment cost can be reduced.
さらにまた、本発明の微細凹部加工装置において、弾性体を支持する弾性体支持部を備え、この弾性体支持部を被加工物に接近離間させることで加工ローラの押圧力を変化させる構成を採用することも可能であり、この場合には、制御手段からの指令によって加工ローラの押圧力を連続的に変化させることができる。また、弾性体を、例えば、スプリングとした場合、このスプリングを交換することにより、適正なばね定数を選択可能となる。つまり、精密な位置制御を行わなくても微小な加圧力の変化を与えることができる。流体圧を用いた場合、加圧力そのものの細かな制御が必要であるのに対し、上記した構成を採用すれば、例えば、ばね定数が10N/mmであるとすると、0.1mm単位の弾性体支持部の移動によって、1N単位の加圧力の変化を簡単に行い得ることとなる。 Furthermore, in the fine recess processing apparatus of the present invention, an elastic body supporting portion that supports the elastic body is provided, and the pressing force of the processing roller is changed by moving the elastic body supporting portion toward and away from the workpiece. In this case, the pressing force of the processing roller can be continuously changed by a command from the control means. Further, when the elastic body is a spring, for example, an appropriate spring constant can be selected by exchanging the spring. That is, a minute change in the applied pressure can be given without performing precise position control. When the fluid pressure is used, fine control of the pressurizing force itself is necessary. On the other hand, if the above-described configuration is adopted, for example, if the spring constant is 10 N / mm, the elastic body is in units of 0.1 mm. By the movement of the support portion, it is possible to easily change the pressurizing force in 1N units.
一方、本発明の微細凹部加工方法において、表面硬度測定手段を備えた微細凹部加工装置を用いて被加工物に微細凹部を形成するに際して、ローラ押圧機構により加工ローラの外周面を被加工物に押し付けると共に、上記被加工物を回転又は直線的に移動させるのに伴って加工ローラを連れ回りさせて微細凹部の加工を開始し、この微細凹部の加工を行っている間に、制御手段において、表面硬度測定手段により被加工物の表面硬度を測定して得た表面硬さ分布情報及び荷重検出手段からの荷重検出信号に基づいて上記ローラ押圧機構による加工ローラの押圧力をコントロールする構成を採用することができ、この際、被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを制御手段にあらかじめ記憶させておき、この制御手段では、表面硬さ分布情報及び微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする構成とすることが望ましい。 On the other hand, in the fine recess processing method of the present invention, when forming the fine recess on the workpiece using the micro recess processing apparatus provided with the surface hardness measuring means, the outer peripheral surface of the processing roller is formed on the workpiece by the roller pressing mechanism. While pressing, the processing roller is rotated along with the workpiece to be rotated or linearly moved to start processing the fine concave portion, and while the fine concave portion is being processed, in the control means, Employs a configuration that controls the pressing force of the processing roller by the roller pressing mechanism based on the surface hardness distribution information obtained by measuring the surface hardness of the workpiece by the surface hardness measuring means and the load detection signal from the load detecting means. In this case, the surface hardness distribution information at the surface processing position of the workpiece and the fineness formed corresponding to the surface hardness and the pressing force of the processing roller are formed. The depth information of the recess is stored in advance in the control means, and the control means determines the surface hardness of the workpiece based on the surface hardness distribution information and the depth information of the fine recess. It is desirable to adopt a configuration that controls to cope with this.
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。この実施例では、被加工物が円筒部材である場合を示す。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. In this embodiment, the case where the workpiece is a cylindrical member is shown.
[実施例1]
図1に示すように、この微細凹部加工装置1は、ステッピングモータ2と、このステッピングモータ2の作動によりボールねじ3とともにX軸方向に移動して円筒部材Wに対して進退するスライダ4と、このスライダ4に固定した弾性体支持部としてのハウジング5と、このハウジング5内に設けたコイルスプリング6と、このコイルスプリング6に上端を連結すると共に下端にアーム8を連結したシャフト7と、外周面9aに微細な凹凸9b(図2参照)を具備してアーム8に回転自在に支持された加工ローラ9と、ハウジング5内に設けられてコイルスプリング6による加工ローラ9の円筒部材Wに対する押圧力を検出する荷重検出手段10と、この荷重検出手段10及びステッピングモータ2に電気的に接続する制御手段11を備えており、ステッピングモータ2,ボールねじ3,スライダ4,ハウジング5及びコイルスプリング6でローラ押圧機構としての弾性体押圧機構を構成していると共に、NC工作機械の制御部を制御手段11としている。
[Example 1]
As shown in FIG. 1, the fine
この場合、微細凹部加工装置1のステッピングモータ2は、NC工作機械の図示しないヘッド部に取り付けられるようになっており、制御手段11としてのNC工作機械の制御部では、加工ローラ9の外周面9aを円筒部材Wに押し付けて微細凹部を形成している間に、荷重検出手段10からの荷重検出信号に基づいて加工ローラ9の押圧力を所定値とするべくステッピングモータ2に制御指令を出力するようになっている。一方、円筒部材Wは、その端部をNC工作機械の主軸台A上に配置された主軸Bのチャッキング部Cに把持させることで、主軸Bとともに回転するようになっている。
In this case, the stepping
次に、上記微細凹部加工装置1を用いて円筒部材Wに微細凹部を形成する要領を説明する。
Next, the point which forms a fine recessed part in the cylindrical member W using the said fine recessed
まず、NC工作機械の主軸台A又はこの微細凹部加工装置1のステッピングモータ2が取り付けられたヘッド部を図示Z軸方向へ移動させて、図3(a)に示すように、加工ローラ9を円筒部材Wの被加工面Waに対向する部位に位置させる。
First, the head part on which the headstock A of the NC machine tool or the
次に、図3(b)に示すように、ステッピングモータ2を動作させてボールねじ3を回転させ、ハウジング5を固定したスライダ4を図示X軸方向に沿って降下させることによって、加工ローラ9の先端を円筒部材Wの被加工面Waに接触させる。
Next, as shown in FIG. 3B, the
これに続いて、スライダ4及びハウジング5をさらに降下させ、図3(c)に示すように、ハウジング5内に内蔵したコイルスプリング6を縮ませつつシャフト7をハウジング5に対して上方に移動させることによって、押圧力(荷重)を円筒部材Wの被加工面Waに付与する。
Subsequently, the
このとき、ハウジング5内に設けた荷重検出手段10が上記押圧力を検出して、この検出した信号をNC工作機械の制御部である制御手段11へ伝達する。これを受けて、制御手段11は指令を発してあらかじめ設定した荷重となるまでステッピングモータ2を動作させてハウジング5を降下させた後、図3(d)に示すように、主軸Bの回転を開始させると同時に、主軸台A又はスライダ4が取り付けられたヘッド部のZ軸方向への移動を開始させる。
At this time, the load detection means 10 provided in the
この際、例えば、図4のグラフに示すように、加工ローラ9の押圧力に対する円筒部材Wの被加工面Waの表面硬さと、円筒部材Wの被加工面Waに形成する微細凹部の深さとの関係をNC工作機械の制御部である制御手段11に記憶させておくと共に、被加工面WaのZ軸方向位置と表面硬さとの関係も制御手段11に記憶させておき、これらのデータに基づいて、図3(e)及び(f)に示すように、加工ローラ9と円筒部材WとをZ軸方向に相対移動させながら、ステッピングモータ2を動作させてスライダ4とともにハウジング5をX軸方向に移動させることにより、被加工面Waの表面硬さの変化に合わせて押圧力を変化させることができる。その結果、円筒部材Wの被加工面Waには、一定深さの微細凹部が連続的に形成されることとなる。
At this time, for example, as shown in the graph of FIG. 4, the surface hardness of the processing surface Wa of the cylindrical member W with respect to the pressing force of the
上記した実施例では、微細凹部加工装置1の弾性体押圧機構によるハウジング5の位置制御を行って加工ローラ9の押圧力を変化させることで、円筒部材Wの被加工面Waに、図6(a)に示すように、一定深さの微細凹部Wbを形成する場合を示したが、上記と同様な要領で加工ローラ9の押圧力を変化させることによって、円筒部材Wの被加工面Waに、図6(b)に示すように、深さが変化する微細凹部Wbを形成することができる。
In the above-described embodiment, the position of the
また、上記した実施例において、ハウジング5に内蔵したコイルスプリング6のばね定数を10N/mmとすれば、例えば、ステッピングモータ2を動作させてハウジング5を0.1mm単位で上下方向に移動させることによって、数μmないしはそれ以下のレベルで微細凹部Wbの深さをコントロールすることが可能である。つまり、数μmないしはそれ以下のレベルでの微細凹部加工装置1全体の位置制御が不要になるという優れた特性を有することとなる。
Further, in the above-described embodiment, if the spring constant of the coil spring 6 built in the
[実施例2]
図7は、本発明の微細凹部加工装置の他の実施例を示しており、この実施例では、ステッピングモータ2を取り付ける図示しないヘッド部に、アダプタ13を介して表面硬度測定手段としての表面硬度検出器12を取り付けるようにしている。
[Example 2]
FIG. 7 shows another embodiment of the fine recess processing apparatus of the present invention. In this embodiment, a surface hardness as a surface hardness measuring means is attached to a head portion (not shown) to which the stepping
この表面硬度検出器12は、渦電流型の被接触式検出器であって、図7に示すように、プローブ12aを円筒部材Wの被加工面Waに接近させた後、主軸Bに取り付けた円筒部材Wを回転させつつこのプローブ12aを回転軸方向に相対的に移動させて円筒部材Wの表面硬度を計測し、円筒部材Wの被加工面Waの位置と硬度との関係をNC工作機械の制御部である制御手段11に出力して記憶させる。
The
すなわち、表面硬度が既知でない場合においても、押圧力を変化させることによって、一定深さの微細凹部Wbの加工を行い得ることとなる。 That is, even when the surface hardness is not known, by changing the pressing force, it is possible to process the fine concave portion Wb having a certain depth.
[実施例3]
図8は、本発明の微細凹部加工装置のさらに他の実施例を示しており、図8に示すように、この実施例の微細凹部加工装置21は、加工ローラ9を支持して一体で移動するローラ支持部としてのアーム28に、先の実施例の表面硬度検出器12を取り付けている。
[Example 3]
FIG. 8 shows still another embodiment of the fine recess processing apparatus of the present invention. As shown in FIG. 8, the micro
この実施例の微細凹部加工装置21では、加工ローラ9を円筒部材Wの被加工面Waに押し付けた状態において、円筒部材Wの被加工面Waと表面硬度検出器12のプローブ12aとの距離をほぼ一定に保つことができ、加えて、微細凹部加工装置21を円筒部材Wの回転軸方向に相対的に移動させることによって、加工ローラ9で押圧する直前の円筒部材Wの表面硬度を同時に測定可能である。
In the fine
すなわち、あらかじめ円筒部材Wの被加工面Waの位置と硬度との関係をNC工作機械の制御部である制御手段11に記録することが可能であるうえ、表面硬度の測定と微細凹部加工とを同時に行うことができるので、効率が良い分だけサイクルタイムの短縮を実現し得ることとなる。 That is, the relationship between the position and hardness of the work surface Wa of the cylindrical member W can be recorded in advance in the control means 11 that is a control unit of the NC machine tool, and the measurement of the surface hardness and the fine recess processing are performed. Since it can be performed at the same time, the cycle time can be shortened by the efficiency.
上記した実施例では、被加工物が円筒形状を成している場合を例に挙げて示したが、これに限定されるものではなく、例えば、被加工物が平板状を成している場合であったとしても、その表面に対して上記と同様の微細凹部Wbを形成することができる。 In the above-described embodiment, the case where the workpiece has a cylindrical shape has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, the workpiece has a flat plate shape. Even if it is, the same fine recessed part Wb as the above can be formed with respect to the surface.
また、上記した実施例では、ステッピングモータ2,ボールねじ3,スライダ4,ハウジング5及びこのハウジング5内に設けたコイルスプリング6とで弾性体押圧機構(ローラ押圧機構)を構成するようにしているが、流体圧を用いて加工ローラ9を被加工物に押し付ける流体圧押圧機構をローラ押圧機構としてもよい。
In the above-described embodiment, the stepping
そして、上記した微細凹部加工装置1を用いて円筒部材Wに微細凹部Wbを形成すると、円筒部材Wの低コスト化が図られ、また、上記した微細凹部加工装置1を用いて自動車用部品、例えば、クランクシャフトやカムシャフトに微細凹部Wbを形成すると、部品の低コスト化が図られるのに加えて、回転時のフリクションの低減及びエンジン性能の向上を実現し得る。
And if the fine recessed part Wb is formed in the cylindrical member W using the above-described fine recessed
1,21 微細凹部加工装置
2 ステッピングモータ(弾性体押圧機構)
3 ボールねじ(弾性体押圧機構)
4 スライダ(弾性体押圧機構)
5 ハウジング(弾性体支持部;弾性体押圧機構)
6 コイルスプリング(弾性体押圧機構)
9 加工ローラ
9a 外周面
9b 微細な凹凸
10 荷重検出手段
11 制御手段
12 表面硬度検出器(表面硬度測定手段)
28 アーム(ローラ支持部)
W 円筒部材
Wa 円筒部材の外周面
Wb 微細凹部
1,21 Fine
3 Ball screw (elastic body pressing mechanism)
4 Slider (elastic body pressing mechanism)
5 Housing (elastic body support; elastic body pressing mechanism)
6 Coil spring (elastic body pressing mechanism)
DESCRIPTION OF
28 Arm (roller support)
W Cylindrical member Wa Peripheral surface of cylindrical member Wb Fine recess
Claims (5)
被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを記憶して、上記加工ローラの外周面を被加工物に押し付けて微細凹部を形成している間に上記荷重検出手段から受けた荷重検出信号、上記表面硬さ分布情報及び上記微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする制御手段とを、備えたことを特徴とする微細凹部加工装置。 A processing roller having fine irregularities on the outer peripheral surface, a roller pressing mechanism that presses the outer peripheral surface of the processing roller against a workpiece to form a fine recess, and a load detection that detects the pressing force of the processing roller by the roller pressing mechanism and having a means,
The surface hardness distribution information at the surface processing position of the workpiece and the depth information of the fine recess formed corresponding to the surface hardness and the size of the pressing force of the processing roller are stored . Based on the load detection signal received from the load detection means, the surface hardness distribution information, and the depth information of the fine recesses while the outer peripheral surface is pressed against the workpiece to form the fine recesses, the processing roller And a control means for controlling the pressing force to correspond to the surface hardness of the workpiece.
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