JP4569325B2 - Balanced elastic wave filter device - Google Patents

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本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用したバランス型弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、縦結合共振子型の複数の弾性波フィルタ素子を用いて構成されている平衡−不平衡変換機能を有するバランス型弾性波フィルタ装置に関する。   The present invention relates to a balance type elastic wave filter device using an elastic wave such as a surface acoustic wave and a boundary acoustic wave, and more specifically, includes a plurality of longitudinally coupled resonator type elastic wave filter elements. The present invention relates to a balanced elastic wave filter device having a balance-unbalance conversion function.

弾性表面波フィルタは、移動体通信機器において、アンテナと差動アンプとの間に帯域フィルタとして接続されることが多い。この場合、アンテナは不平衡信号を入出力する。他方、差動アンプは平衡信号を入出力する。従って、アンテナと差動アンプとの間において、不平衡−平衡変換機能を有する部品を挿入する必要がある。よって、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタを上記帯域フィルタとして用いた場合には、平衡−不平衡変換機能を実現する部品、すなわちバランを省略することができる。従って、従来、平衡−不平衡変換機能を有するバランス型弾性表面波フィルタが種々提案されている。   A surface acoustic wave filter is often connected as a band filter between an antenna and a differential amplifier in a mobile communication device. In this case, the antenna inputs and outputs unbalanced signals. On the other hand, the differential amplifier inputs and outputs balanced signals. Therefore, it is necessary to insert a component having an unbalance-balance conversion function between the antenna and the differential amplifier. Therefore, when a surface acoustic wave filter having a balance-unbalance conversion function is used as the bandpass filter, a component that realizes the balance-unbalance conversion function, that is, a balun can be omitted. Therefore, various types of balanced surface acoustic wave filters having a balance-unbalance conversion function have been proposed.

もっとも、アンテナの特性インピーダンスは通常５０Ωであり、差動アンプの特性インピーダンスは１００Ω以上であり、１０００Ω程度であることも珍しくない。従って、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、インピーダンス変換機能をも併せ持つことが求められている。   However, the characteristic impedance of the antenna is usually 50Ω, and the characteristic impedance of the differential amplifier is 100Ω or more, and it is not uncommon to be about 1000Ω. Therefore, a surface acoustic wave filter having a balance-unbalance conversion function is also required to have an impedance conversion function.

下記の特許文献１には、このようなインピーダンス変換機能を有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置が開示されている。   The following Patent Document 1 discloses a surface acoustic wave filter device having such a balance-unbalance conversion function having an impedance conversion function.

図５は、特許文献１に記載のバランス型弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置１０１は、不平衡端子１０２と、第１，第２の平衡端子１０３，１０４とを有する。不平衡端子１０２に、第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０５，１０６が接続されている。弾性表面波フィルタ１０５，１０６は、それぞれ、第１〜第３のＩＤＴ１０５ａ〜１０５ｃ，１０６ａ〜１０６ｃを有する３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。ＩＤＴ１０５ａ〜１０５ｃ，１０６ａ〜１０６ｃの表面波伝搬方向両側には、それぞれ、反射器１０５ｄ，１０５ｅ，１０６ｄ，１０６ｅが配置されている。   FIG. 5 is a schematic plan view showing an electrode structure of the balanced surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1. As shown in FIG. The surface acoustic wave filter device 101 includes an unbalanced terminal 102 and first and second balanced terminals 103 and 104. First and second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filters 105 and 106 are connected to the unbalanced terminal 102. The surface acoustic wave filters 105 and 106 are 3IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filters having first to third IDTs 105a to 105c and 106a to 106c, respectively. Reflectors 105d, 105e, 106d, and 106e are disposed on both sides of the IDTs 105a to 105c and 106a to 106c in the surface wave propagation direction, respectively.

中央の第２のＩＤＴ１０５ｂ，１０６ｂが、共通接続され、不平衡端子１０２に接続されている。弾性表面波フィルタ１０５の両側のＩＤＴ１０５ａ，１０５ｃが共通接続され、第１の平衡端子１０３に接続されている。また、弾性表面波フィルタ１０６の第１，第３のＩＤＴ１０６ａ，１０６ｃが共通接続されて第２の平衡端子１０４に接続されている。第１，第２の弾性表面波フィルタ１０５，１０６の位相は１８０度異ならされている。   The central second IDTs 105 b and 106 b are connected in common and connected to the unbalanced terminal 102. The IDTs 105 a and 105 c on both sides of the surface acoustic wave filter 105 are commonly connected and connected to the first balanced terminal 103. The first and third IDTs 106 a and 106 c of the surface acoustic wave filter 106 are connected in common and connected to the second balanced terminal 104. The phases of the first and second surface acoustic wave filters 105 and 106 are different by 180 degrees.

特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置１０１では、第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０５，１０６の表面波伝搬路が同じ方向に配置されており、かつ第１，第２の弾性表面波フィルタ１０５，１０６間の間隔をｄ1、使用されている圧電基板の厚みをｔとしたときに、ｄ1≦２．３×ｔまたはｄ1≧２．８×ｔとされており、それによって伝送特性が改善され得ると記載されている。 In the surface acoustic wave filter device 101 described in Patent Document 1, the surface wave propagation paths of the first and second longitudinally coupled resonator surface acoustic wave filters 105 and 106 are arranged in the same direction, and When the distance between the second surface acoustic wave filters 105 and 106 is d 1 and the thickness of the piezoelectric substrate used is t, d 1 ≦ 2.3 × t or d 1 ≧ 2.8 × t It is described that the transmission characteristics can be improved thereby.

また、弾性表面波フィルタ装置１０１では、弾性表面波フィルタ１０５，１０６の入力インピーダンスをＺとしたとき、不平衡端子１０２におけるインピーダンスは、弾性表面波フィルタ１０５，１０６の入力インピーダンスを並列接続したインピーダンスとなるため、約Ｚ／２となる。平衡端子１０３，１０４におけるインピーダンスは、弾性表面波フィルタ１０５，１０６のインピーダンスを直列接続したインピーダンスであるため、約２Ｚとなる。従って、不平衡端子１０２におけるインピーダンスと、平衡端子１０３，１０４におけるインピーダンスとの比は約１：４とされ得る。
特開２００２−２９０２０３号公報 In the surface acoustic wave filter device 101, when the input impedance of the surface acoustic wave filters 105 and 106 is Z, the impedance at the unbalanced terminal 102 is the impedance obtained by connecting the input impedances of the surface acoustic wave filters 105 and 106 in parallel. Therefore, it becomes about Z / 2. The impedance at the balanced terminals 103 and 104 is about 2Z because it is an impedance obtained by connecting the impedances of the surface acoustic wave filters 105 and 106 in series. Therefore, the ratio of the impedance at the unbalanced terminal 102 to the impedance at the balanced terminals 103, 104 can be about 1: 4.
JP 2002-290203 A

上記のように、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置では、不平衡端子１０２側のインピーダンスと、平衡端子１０３，１０４側のインピーダンスとの比を約１：４とすることが可能とされている。   As described above, in the surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1, the ratio of the impedance on the unbalanced terminal 102 side to the impedance on the balanced terminals 103 and 104 side can be about 1: 4. ing.

従って、例えばアンテナの入出力インピーダンスが５０Ωであり、弾性表面波フィルタ装置の後段に接続される差動アンプの特性インピーダンスが２００Ω程度である場合には、上記バランス型弾性表面波フィルタ装置１０１を好適に用いることができる。   Therefore, for example, when the input / output impedance of the antenna is 50Ω and the characteristic impedance of the differential amplifier connected to the subsequent stage of the surface acoustic wave filter device is about 200Ω, the balanced surface acoustic wave filter device 101 is preferable. Can be used.

しかしながら、近年、この種の用途で用いられる差動アンプの特性インピーダンスは２００Ωよりも大きくなってきており、前述したように、１０００Ω程度であることも珍しくない。   However, in recent years, the characteristic impedance of a differential amplifier used in this type of application has become larger than 200Ω, and as described above, it is not uncommon to be about 1000Ω.

従って、特許文献１に記載のバランス型弾性表面波フィルタ装置１０１を用いたとしても、このような大きな特性インピーダンスを有する差動アンプが後段に接続される場合、インピーダンスを変換する部品をさらに接続しなければならなかった。すなわち、特許文献１に記載のバランス型弾性表面波フィルタ装置では、インピーダンス変換機能が十分でなく、従って入出力インピーダンス比をより一層大きくすることが可能なバランス型弾性表面波フィルタ装置が求められている。   Therefore, even if the balanced surface acoustic wave filter device 101 described in Patent Document 1 is used, when a differential amplifier having such a large characteristic impedance is connected to a subsequent stage, a component for converting the impedance is further connected. I had to. That is, in the balanced surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1, there is a need for a balanced surface acoustic wave filter device that does not have sufficient impedance conversion function, and therefore can further increase the input / output impedance ratio. Yes.

他方、近年、弾性表面波フィルタだけでなく、弾性境界波などの他の弾性波を利用した弾性波フィルタ装置も知られている。弾性境界波フィルタは圧電基板と誘電体とが積層された境界にＩＤＴを有しており、境界を伝搬する弾性境界波を用いる。弾性表面波フィルタとまったく同じような電極を形成して弾性境界波フィルタを構成できる。このような弾性波フィルタ装置一般においても、上記のように平衡−不平衡変換機能と、大きなインピーダンス変換機能とを有することが求められている。   On the other hand, in recent years, not only a surface acoustic wave filter but also an elastic wave filter device using another elastic wave such as a boundary acoustic wave is known. The boundary acoustic wave filter has an IDT at the boundary where the piezoelectric substrate and the dielectric are laminated, and uses boundary acoustic waves that propagate through the boundary. A boundary acoustic wave filter can be formed by forming electrodes exactly the same as those of a surface acoustic wave filter. Such elastic wave filter devices in general are also required to have a balanced-unbalanced conversion function and a large impedance conversion function as described above.

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、平衡−不平衡変換機能を有するだけでなく、不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの比がより一層大きくされたインピーダンス変換機能を有する弾性波フィルタ装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an impedance conversion that has not only a balanced-unbalanced conversion function, but also a larger ratio between the impedance on the unbalanced terminal side and the impedance on the balanced terminal side, in view of the current state of the prior art described above. An object of the present invention is to provide an elastic wave filter device having a function.

本発明は、不平衡端子と、第１，第２の平衡端子とを有する縦結合共振子型のバランス型弾性波フィルタ装置であって、縦結合共振子型の第１のフィルタ素子と、第１のフィルタ素子とは入力信号に対する出力信号の位相差が１８０度異なる、縦結合共振子型の第２のフィルタ素子と、縦結合型共振子型の第３のフィルタ素子と、第３のフィルタ素子とは入力信号に対する出力信号の位相差が１８０度異なる、縦結合型共振子型の第４のフィルタ素子とを備え、前記第１〜第４のフィルタ素子が不平衡端子に接続されており、該第１〜第４のフィルタ素子のＩＤＴの内、前記不平衡端子に接続されているＩＤＴが並列に接続されており、前記第３のフィルタ素子が第１の平衡端子に、第４のフィルタ素子が第２の平衡端子に接続されており、前記第３のフィルタ素子のＩＤＴの内、第１の平衡端子に接続されているＩＤＴが、前記第１のフィルタ素子の対応するＩＤＴに直列接続されており、前記第４のフィルタ素子のＩＤＴの内、前記第２の平衡端子に接続されているＩＤＴが、第２のフィルタ素子の対応するＩＤＴに直列接続されていることを特徴とする。   The present invention is a longitudinally coupled resonator type balanced acoustic wave filter device having an unbalanced terminal and first and second balanced terminals, wherein the longitudinally coupled resonator type first filter element, The first coupled filter element, the longitudinally coupled resonator type second filter element, the longitudinally coupled resonator type third filter element, and the third filter. And a vertical coupled resonator type fourth filter element having a phase difference of 180 degrees different from the input signal in the output signal, and the first to fourth filter elements are connected to the unbalanced terminal. Among the IDTs of the first to fourth filter elements, the IDT connected to the unbalanced terminal is connected in parallel, the third filter element is connected to the first balanced terminal, A filter element is connected to the second balanced terminal; Of the IDTs of the third filter element, the IDT connected to the first balanced terminal is connected in series to the corresponding IDT of the first filter element, and the IDT of the fourth filter element Among them, the IDT connected to the second balanced terminal is connected in series to the corresponding IDT of the second filter element.

上記第３，第４のフィルタ素子は、好ましくは、第１，第２のフィルタ素子とそれぞれほぼ同一に構成される。ここで、ほぼ同一に構成されているとは、後述の直列重み付け等の重み付けの有無においてのみ異なる構造が、「ほぼ同一」の構造に含まれることを意味する。   The third and fourth filter elements are preferably configured substantially the same as the first and second filter elements, respectively. Here, “substantially the same configuration” means that “substantially the same” structures include structures that differ only in the presence or absence of weighting such as serial weighting described later.

本発明に係るバランス型弾性波フィルタ装置のある特定の局面では、平衡端子に接続されている前記ＩＤＴの電極指の内、平衡端子に接続されるＩＤＴに隣り合っている電極指が、ア−ス電位に接続される電極指である。   In a specific aspect of the balanced acoustic wave filter device according to the present invention, among the electrode fingers of the IDT connected to the balanced terminal, an electrode finger adjacent to the IDT connected to the balanced terminal is An electrode finger connected to the source potential.

本発明に係るバランス型弾性波フィルタ装置の他の特定の局面では、前記第１または第２の平衡端子に接続されるＩＤＴの電極指の内、不平衡端子に接続されるＩＤＴに隣り合っている電極指であって、ア−ス電位に接続される電極指でない少なくとも一部の電極指に直列重み付けが施されている。   In another specific aspect of the balanced elastic wave filter device according to the present invention, the electrode fingers of the IDT connected to the first or second balanced terminal are adjacent to the IDT connected to the unbalanced terminal. At least some of the electrode fingers that are not connected to the ground potential are serially weighted.

本発明に係るバランス型弾性波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記弾性波として弾性表面波が用いられており、それによって弾性表面波フィルタ装置が構成されている。   In still another specific aspect of the balanced elastic wave filter device according to the present invention, a surface acoustic wave is used as the elastic wave, thereby forming a surface acoustic wave filter device.

本発明に係るバランス型弾性波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記弾性波として弾性境界波が用いられており、それによって弾性境界波フィルタ装置が構成されている。   In still another specific aspect of the balanced elastic wave filter device according to the present invention, an elastic boundary wave is used as the elastic wave, thereby forming an elastic boundary wave filter device.

本発明に係るバランス型弾性波フィルタ装置は、それぞれ、縦結合共振子型弾性波フィルタ素子である第１〜第４のフィルタ素子を備える。ここで、第１のフィルタ素子における入力信号に対する出力信号の位相差は、第２，第４のフィルタ素子における入力信号に対する出力信号の位相差と１８０度異なっており、第１〜第４のフィルタ素子が不平衡端子に接続されている。また、第１のフィルタ素子と第３のフィルタ素子とが接続されており、第３のフィルタ素子が第１の平衡端子に接続されている。また、第２のフィルタ素子と第４のフィルタ素子とが接続されており、第４のフィルタ素子が第２の平衡端子に接続されている。従って、平衡−不平衡変換機能を有する。   The balanced acoustic wave filter device according to the present invention includes first to fourth filter elements that are longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter elements. Here, the phase difference of the output signal with respect to the input signal in the first filter element is 180 degrees different from the phase difference of the output signal with respect to the input signal in the second and fourth filter elements, and the first to fourth filters. The element is connected to an unbalanced terminal. Further, the first filter element and the third filter element are connected, and the third filter element is connected to the first balanced terminal. Further, the second filter element and the fourth filter element are connected, and the fourth filter element is connected to the second balanced terminal. Therefore, it has a balance-unbalance conversion function.

また、第１〜第４のフィルタ素子の不平衡端子に接続されているＩＤＴが並列接続されており、第３のフィルタ素子の第１の平衡端子に接続されているＩＤＴが第１のフィルタ素子の対応する位置のＩＤＴに直列接続されており、かつ第４のフィルタ素子の第２の平衡端子に接続されているＩＤＴが第２のフィルタ素子の対応するＩＤＴに直列接続されているため、不平衡端子におけるインピ−ダンスと、平衡端子側におけるインピ−ダンスとの比を１対１６とすることが可能とされている。従って、平衡−不平衡変換機能を有し、大きなインピ−ダンス変換機能を有するバランス型弾性波フィルタ装置を提供することが可能となる。   The IDTs connected to the unbalanced terminals of the first to fourth filter elements are connected in parallel, and the IDT connected to the first balanced terminal of the third filter element is the first filter element. Is connected in series to the IDT at the corresponding position of the fourth filter element, and the IDT connected to the second balanced terminal of the fourth filter element is connected in series to the corresponding IDT of the second filter element. The ratio of the impedance at the balanced terminal to the impedance at the balanced terminal side can be set to 1:16. Therefore, it is possible to provide a balanced elastic wave filter device having a balanced-unbalanced conversion function and a large impedance conversion function.

本発明において、不平衡端子に接続されているＩＤＴの電極指の内、平衡端子に接続されているＩＤＴに隣り合っている電極指が、ア−ス電位に接続される電極指である場合には、通過帯域外における減衰量の拡大を図ることができ、かつ平衡端子から取り出される信号の平衡度を改善することができる。   In the present invention, when the electrode finger adjacent to the IDT connected to the balanced terminal among the electrode fingers of the IDT connected to the unbalanced terminal is an electrode finger connected to the ground potential. Can increase the amount of attenuation outside the passband, and can improve the balance of the signal extracted from the balanced terminal.

第１または第２の平衡端子に接続されているＩＤＴの電極指の内、不平衡端子に接続されているＩＤＴに隣り合っている電極指であって、ア−ス電位に接続される電極指ではない少なくとも一部の電極指が直列重み付けされている場合には、平衡度をより一層高めることができる。   Of the electrode fingers of the IDT connected to the first or second balanced terminal, the electrode fingers adjacent to the IDT connected to the unbalanced terminal and connected to the ground potential If at least some of the electrode fingers that are not are weighted in series, the degree of balance can be further increased.

以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図である。本実施形態では、バランス型弾性波フィルタ装置として、図示の電極構造を有する弾性表面波フィルタ装置１が構成されている。   FIG. 1 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention. In the present embodiment, a surface acoustic wave filter device 1 having the illustrated electrode structure is configured as a balanced type acoustic wave filter device.

弾性表面波フィルタ装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２はＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3もしくは水晶などの圧電単結晶または圧電セラミックスにより構成されている。また、圧電基板２は、圧電材料からなる基板または絶縁基板上に圧電薄膜を形成した構造を有していてもよい。 The surface acoustic wave filter device 1 includes a piezoelectric substrate 2. The piezoelectric substrate 2 is made of a piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 , LiNbO 3 or quartz or piezoelectric ceramics. The piezoelectric substrate 2 may have a structure in which a piezoelectric thin film is formed on a substrate made of a piezoelectric material or an insulating substrate.

弾性表面波フィルタ装置１は、平衡−不平衡変換機能を有するバランス型弾性表面波フィルタ装置であり、不平衡端子３と、第１，第２の平衡端子４，５とを有する。   The surface acoustic wave filter device 1 is a balanced surface acoustic wave filter device having a balance-unbalance conversion function, and includes an unbalanced terminal 3 and first and second balanced terminals 4 and 5.

圧電基板２上には、弾性波フィルタ素子である第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４が構成されている。第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４は、いずれも３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子である。３ＩＤＴ型とは表面波伝搬方向に配置された３個のＩＤＴを有する形式の構造を言う。例えば、第１のフィルタ素子１１は、弾性表面波伝搬方向に沿って配置された第１〜第３のＩＤＴ２１〜２３を有する。ＩＤＴ２１〜２３の設けられている領域の表面波伝搬方向両側に反射器２４ａ，２４ｂが設けられている。   On the piezoelectric substrate 2, the 1st-4th filter elements 11-14 which are elastic wave filter elements are comprised. The first to fourth filter elements 11 to 14 are all 3IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter elements. The 3IDT type refers to a structure of a type having three IDTs arranged in the surface wave propagation direction. For example, the first filter element 11 includes first to third IDTs 21 to 23 arranged along the surface acoustic wave propagation direction. Reflectors 24a and 24b are provided on both sides of the surface wave propagation direction of the region where the IDTs 21 to 23 are provided.

同様に、第２のフィルタ素子１２は、第１〜第３のＩＤＴ２５〜２７及び反射器２８ａ，２８ｂを有し、第３のフィルタ素子１３は、第１〜第３のＩＤＴ３１〜３３及び反射器３４ａ，３４ｂを有し、第４のフィルタ素子１４は、第１〜第３のＩＤＴ３５〜３７及び反射器３８ａ，３８ｂを有する。   Similarly, the second filter element 12 includes first to third IDTs 25 to 27 and reflectors 28a and 28b, and the third filter element 13 includes first to third IDTs 31 to 33 and a reflector. 34a and 34b, and the fourth filter element 14 includes first to third IDTs 35 to 37 and reflectors 38a and 38b.

本実施形態では、第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４において、３個のＩＤＴの内の中央に配置された第２のＩＤＴ２２，２６，３２，３６が接続点６で共通接続され、１ポ−ト型弾性表面波共振子７を介して不平衡端子３に接続されている。すなわち、不平衡端子３に対し、第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４が並列接続されている。   In the present embodiment, in the first to fourth filter elements 11 to 14, the second IDTs 22, 26, 32 and 36 arranged at the center of the three IDTs are commonly connected at the connection point 6. The port type surface acoustic wave resonator 7 is connected to the unbalanced terminal 3. That is, the first to fourth filter elements 11 to 14 are connected in parallel to the unbalanced terminal 3.

１ポ−ト型弾性表面波共振子７は、ＩＤＴ７ａと、ＩＤＴ７ａの両側に配置された反射器７ｂ，７ｃとを有する。   The 1-port surface acoustic wave resonator 7 includes an IDT 7a and reflectors 7b and 7c arranged on both sides of the IDT 7a.

上記ＩＤＴ２２，２６，３２，３６の不平衡端子３に接続されている側とは反対側の端部はア−ス電位に接続されている。   The ends of the IDTs 22, 26, 32, 36 opposite to the side connected to the unbalanced terminal 3 are connected to the ground potential.

ところで、第１のフィルタ素子１１の入力信号に対する出力信号の位相差と、第２のフィルタ素子１２における入力信号に対する出力信号の位相差とは１８０度異ならされている。すなわち、第１のフィルタ素子１１の極性と、第２のフィルタ素子１２の極性とは反転されている。   Incidentally, the phase difference of the output signal with respect to the input signal of the first filter element 11 and the phase difference of the output signal with respect to the input signal of the second filter element 12 are different from each other by 180 degrees. That is, the polarity of the first filter element 11 and the polarity of the second filter element 12 are reversed.

また、第３，第４のフィルタ素子１３，１４は、それぞれ、第１，第２のフィルタ素子１１，１２とほぼ同様に構成されている。すなわち、第１のフィルタ素子１１と、第３のフィルタ素子１３とは第３のフィルタ素子１３において直列重み付けが施されていることを除いては、同様に構成されている。なお、第２，第４のフィルタ素子１２，１４は同様に構成されている。   The third and fourth filter elements 13 and 14 are configured in substantially the same manner as the first and second filter elements 11 and 12, respectively. That is, the first filter element 11 and the third filter element 13 are configured in the same manner except that serial weighting is applied to the third filter element 13. The second and fourth filter elements 12 and 14 are configured similarly.

他方、第１のフィルタ素子１１の第２のＩＤＴ２２の両側に位置する第１，第３のＩＤＴ２１，２３の一端はア−ス電位に接続されており、他端が、それぞれ、第３のフィルタ素子１３において対応するＩＤＴである第１，第３のＩＤＴ３１，３３に接続されている。第１，第３のＩＤＴ３１，３３は、ＩＤＴ２１，２３に接続されている側とは反対側の端部が共通接続され、さらに１ポ−ト型弾性表面波共振子８を介して第１の平衡端子４に接続されている。   On the other hand, one ends of the first and third IDTs 21 and 23 located on both sides of the second IDT 22 of the first filter element 11 are connected to the ground potential, and the other ends are respectively connected to the third filter. The element 13 is connected to first and third IDTs 31 and 33 which are corresponding IDTs. The first and third IDTs 31 and 33 are connected in common at the end opposite to the side connected to the IDTs 21 and 23, and further through the 1-port surface acoustic wave resonator 8. It is connected to the balanced terminal 4.

また、第２のフィルタ素子１２の第１，第３のＩＤＴ２５，２７の各一端はア−ス電位に接続されている。第１，第３のＩＤＴ２５，２７のア−ス電位に接続されている側とは反対側の端部が、第４のフィルタ素子１４において対応する第１，第３のＩＤＴ３５，３７に接続されている。ＩＤＴ３５，３７のＩＤＴ２５，２７に接続されている側とは反対側の端部は共通接続され、１ポ−ト型弾性表面波共振子９を介して第２の平衡端子５に接続されている。   In addition, one end of each of the first and third IDTs 25 and 27 of the second filter element 12 is connected to the ground potential. The ends of the first and third IDTs 25 and 27 opposite to the side connected to the ground potential are connected to the corresponding first and third IDTs 35 and 37 in the fourth filter element 14. ing. The ends of the IDTs 35 and 37 opposite to the side connected to the IDTs 25 and 27 are connected in common, and are connected to the second balanced terminal 5 via the one-port surface acoustic wave resonator 9. .

１ポ−ト型弾性表面波共振子８は、ＩＤＴ８ａと、反射器８ｂ，８ｃとを有し、同様に、１ポ−ト型弾性表面波共振子９も、ＩＤＴ９ａと、反射器９ｂ，９ｃとを有する。   The 1-port surface acoustic wave resonator 8 includes an IDT 8a and reflectors 8b and 8c. Similarly, the 1-port surface acoustic wave resonator 9 includes an IDT 9a and reflectors 9b and 9c. And have.

上記のように、ＩＤＴ２１，２３とＩＤＴ３１，３３とを接続することにより、不平衡端子３と第１の平衡端子４との間で第１，第３のフィルタ素子１１，１３が直列に接続されている。同様に、ＩＤＴ２５，２７とＩＤＴ３５，３７とを接続することにより、不平衡端子３と第２の平衡端子５との間で第２，第４のフィルタ素子１２，１４が、直列接続されている。   As described above, the first and third filter elements 11 and 13 are connected in series between the unbalanced terminal 3 and the first balanced terminal 4 by connecting the IDTs 21 and 23 and the IDTs 31 and 33. ing. Similarly, by connecting the IDTs 25 and 27 and the IDTs 35 and 37, the second and fourth filter elements 12 and 14 are connected in series between the unbalanced terminal 3 and the second balanced terminal 5. .

また、本実施形態では、第２のフィルタ素子１２のＩＤＴ２５，２７のＩＤＴ２６側に隣り合っている電極指を含む一部の電極指に直列重み付けが施されている。すなわち、ＩＤＴ２５，２７のＩＤＴ２６に隣り合っている電極指２５ａ，２７ａと、次の位置に位置する電極指が設けられている部分に至るように浮き電極指２５ｂ，２７ｂを設けるようにして、直列重み付けが施されている。   In the present embodiment, serial weighting is applied to some electrode fingers including the electrode fingers adjacent to the IDT 26 side of the IDTs 25 and 27 of the second filter element 12. That is, the electrode fingers 25a and 27a adjacent to the IDT 26 of the IDTs 25 and 27 and the floating electrode fingers 25b and 27b are provided in series so as to reach the portion where the electrode finger located at the next position is provided. Weighting is applied.

同様に、第４のフィルタ素子１４においても、第２のフィルタ素子１２の場合と同様に、ＩＤＴ３５，３７のＩＤＴ３６に隣り合っている電極指３５ａ，３７ａを含む一部の電極指において、浮き電極指３５ｂ，３７ｂを設けることにより直列重み付けが施されている。   Similarly, in the fourth filter element 14, as in the case of the second filter element 12, the floating electrode is included in some electrode fingers including the electrode fingers 35 a and 37 a adjacent to the IDT 36 of the IDTs 35 and 37. Series weighting is performed by providing the fingers 35b and 37b.

また、第３のフィルタ素子１３においても、ＩＤＴ３１，３３のＩＤＴ３２に隣り合っている電極指３１ａ，３３ａを含む一部の電極指において、浮き電極指３１ｂ，３３ｂを設けることにより直列重み付けが施されている。   Also in the third filter element 13, serial weighting is performed by providing floating electrode fingers 31 b and 33 b in some electrode fingers including the electrode fingers 31 a and 33 a adjacent to the IDT 32 of the IDTs 31 and 33. ing.

本実施形態の弾性表面波フィルタ装置１では、上記のように不平衡端子３に並列に第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４が接続されており、不平衡端子３と第１の平衡端子４との間に第１，第３のフィルタ素子１１，１３が直列接続されており、不平衡端子３と第２の平衡端子５との間に、第２，第４のフィルタ素子１２，１４が直列に接続されている。従って、平衡−不平衡変換機能が実現されている。   In the surface acoustic wave filter device 1 of the present embodiment, the first to fourth filter elements 11 to 14 are connected in parallel to the unbalanced terminal 3 as described above, and the unbalanced terminal 3 and the first balanced terminal are connected. 4, the first and third filter elements 11 and 13 are connected in series, and the second and fourth filter elements 12 and 14 are connected between the unbalanced terminal 3 and the second balanced terminal 5. Are connected in series. Therefore, a balanced-unbalanced conversion function is realized.

しかも、第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４のそれぞれのインピ−ダンスをＺとした場合、不平衡端子３側から見ると、フィルタ素子１１〜１４が並列接続されているため、不平衡端子３側のインピ−ダンスはＺ／４となる。すなわち、この並列接続構造により、４倍のインピ−ダンス変換機能が実現されることになる。他方、第１，第２の平衡端子４，５間には、第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４が直列接続されることになるため、平衡端子４，５側におけるインピ−ダンスは４Ｚとなる。従って、弾性表面波フィルタ装置１全体としてみた場合、不平衡端子３側におけるインピ−ダンスと、平衡端子４，５側のインピ−ダンスとの比は約１対１６とすることができ、インピ−ダンス変換機能を著しく大きくすることが可能とされている。   Moreover, when the impedance of each of the first to fourth filter elements 11 to 14 is Z, the filter elements 11 to 14 are connected in parallel when viewed from the unbalanced terminal 3 side. The impedance on the 3 side is Z / 4. That is, this parallel connection structure realizes a fourfold impedance conversion function. On the other hand, since the first to fourth filter elements 11 to 14 are connected in series between the first and second balanced terminals 4 and 5, the impedance on the balanced terminals 4 and 5 side is 4Z. It becomes. Accordingly, when the surface acoustic wave filter device 1 is viewed as a whole, the ratio of the impedance on the unbalanced terminal 3 side to the impedance on the balanced terminals 4 and 5 side can be about 1:16. It is possible to significantly increase the dance conversion function.

よって、本実施形態によれば、平衡−不平衡変換機能を有し、しかも１６倍という大きなインピ−ダンス変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置１を提供することが可能となる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide the surface acoustic wave filter device 1 having a balanced-unbalanced conversion function and an impedance conversion function that is 16 times larger.

また、弾性表面波フィルタ装置１では、不平衡端子３に接続されているＩＤＴ２２，２６，３２，３６の表面波伝搬方向最外側の電極指２２ａ，２２ｂ，２６ａ，２６ｂ，３２ａ，３２ｂ，３６ａ，３６ｂはア−ス電位に接続されている電極指である。   In the surface acoustic wave filter device 1, the outermost electrode fingers 22 a, 22 b, 26 a, 26 b, 32 a, 32 b, 36 a, IDTs 22, 26, 32, 36 connected to the unbalanced terminal 3 Reference numeral 36b denotes an electrode finger connected to the ground potential.

平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置では、平衡信号が印加される電極指と、不平衡信号が印加される電極指とが隣接すると、直達波が生じ、帯域外における減衰量が損なわれたり、平衡信号の平衡度が損なわれたりする。本実施形態では、上記のように、ＩＤＴ２２，２６，３２，３６の最外側電極指がア−ス電位に接続されている電極指とされている。従って、ＩＤＴ２２，２６，３２，３６における不平衡信号が入力される電極指が、ＩＤＴ２２，２６，３２，３６の最外側電極指とはならない。よって、不平衡信号が印加される電極指が、平衡信号が印加されるＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７の最外側電極指と直接隣り合うことはない。従って、上記直達波の発生を抑制することができ、帯域外減衰量を十分な大きさとすることができ、かつ平衡度を高めることが可能とされている。   In a surface acoustic wave filter device having a balance-unbalance conversion function, when an electrode finger to which a balanced signal is applied and an electrode finger to which an unbalanced signal is applied are adjacent to each other, a direct wave is generated and the attenuation amount outside the band is reduced. Or the balance of the balanced signal may be lost. In the present embodiment, as described above, the outermost electrode fingers of the IDTs 22, 26, 32, and 36 are electrode fingers connected to the ground potential. Therefore, the electrode finger to which the unbalanced signal is input in the IDTs 22, 26, 32, and 36 is not the outermost electrode finger of the IDTs 22, 26, 32, and 36. Therefore, the electrode finger to which the unbalanced signal is applied is not directly adjacent to the outermost electrode finger of the IDTs 21, 23, 25, 27, 31, 33, 35, and 37 to which the balanced signal is applied. Therefore, the generation of the direct wave can be suppressed, the out-of-band attenuation can be made sufficiently large, and the balance can be increased.

加えて、本実施形態では、上記のように、ＩＤＴ２５，２７，３１，３３，３５，３７のＩＤＴ２６，３２，３６側に隣接している部分において、少なくとも一部の電極指に直列重み付けが施されていた。この直列重み付けを施すことにより平衡度をより一層改善することが可能とされている。   In addition, in the present embodiment, as described above, at least a part of the electrode fingers are serially weighted in the portion adjacent to the IDT 26, 32, 36 side of the IDT 25, 27, 31, 33, 35, 37. It had been. By applying this serial weighting, the balance can be further improved.

すなわち、平衡端子４または５に接続されているＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７の電極指の内、不平衡端子３に接続されているＩＤＴ２２，２６，３２，３６に隣接している最外側電極指としては、ア−ス電位に接続されている電極指と、信号が印加される電極指とが存在する。   That is, among the electrode fingers of IDTs 21, 23, 25, 27, 31, 33, 35, and 37 connected to the balanced terminal 4 or 5, IDTs 22, 26, 32, and 36 connected to the unbalanced terminal 3 are connected. The adjacent outermost electrode fingers include an electrode finger connected to the ground potential and an electrode finger to which a signal is applied.

ア−ス電位に接続されている上記最外側電極指では、隣接するＩＤＴ２２，２６，３２，３６の最外側電極指もア−ス電位に接続される電極指とされているので、ＩＤＴ−ＩＤＴ間のギャップにおいて表面波の受励振は行われない。例えば、ＩＤＴ２１とＩＤＴ２２とが隣り合っている部分では、ＩＤＴ２１の最外側電極指２１ａはア−ス電位に接続される電極指であり、ＩＤＴ２２の最外側電極指２２ａもア−ス電位に接続される電極指であるため、ＩＤＴ２１−ＩＤＴ２２間のギャップにおいて弾性表面波は受励振されない。   In the outermost electrode finger connected to the ground potential, the outermost electrode fingers of the adjacent IDTs 22, 26, 32, and 36 are also electrode fingers connected to the ground potential. Therefore, IDT-IDT There is no surface wave excitation in the gap between them. For example, in a portion where IDT 21 and IDT 22 are adjacent to each other, outermost electrode finger 21a of IDT 21 is an electrode finger connected to the ground potential, and outermost electrode finger 22a of IDT 22 is also connected to the ground potential. Therefore, the surface acoustic wave is not excited in the gap between the IDT 21 and the IDT 22.

これに対して、第２のフィルタ素子１２のＩＤＴ２５とＩＤＴ２６との間のギャップでは、弾性表面波の受励振が生じる。すなわち、ＩＤＴ２５のＩＤＴ２６側の最外側電極指２５ａには信号が印加されるので、ＩＤＴ２６の最外側電極指２６ａとの間で弾性表面波の受励振が生じる。同様に、ＩＤＴ２２，２３間のギャップでは、弾性表面波の受励振は生じないが、ＩＤＴ２６，２７間のギャップでは、弾性表面波の受励振が生じる。そこで、第１のフィルタ素子１１側と、第２のフィルタ素子１２側において、上記弾性波の受励振の有無の差が生じ、フィルタの対称性が損なわれることになる。このように、フィルタの対称性が損なわれると、平衡度が損なわるおそれがある。   On the other hand, in the gap between the IDT 25 and the IDT 26 of the second filter element 12, the surface acoustic wave is excited and excited. That is, since a signal is applied to the outermost electrode finger 25 a on the IDT 26 side of the IDT 25, surface acoustic wave excitation is generated between the outermost electrode finger 26 a of the IDT 26. Similarly, surface acoustic wave excitation / excitation does not occur in the gap between the IDTs 22 and 23, but surface acoustic wave excitation / excitation occurs in the gap between the IDTs 26 and 27. Therefore, a difference in presence or absence of the acoustic wave excitation / excitation occurs between the first filter element 11 side and the second filter element 12 side, and the symmetry of the filter is impaired. Thus, if the symmetry of the filter is lost, the balance may be lost.

そこで、本実施形態では、第２のフィルタ素子１２において、上記直列重み付けを施すことにより、ＩＤＴ２５，２６間のギャップ及びＩＤＴ２６，２７間のギャップにおける表面波の受励振が弱められている。すなわち、ＩＤＴ２５，２６間のギャップにおける表面波の受励振及びＩＤＴ２６，２７間のギャップにおける表面波の受励振を弱めるように、ＩＤＴ２５，２７に直列重み付けが行われている。   Therefore, in the present embodiment, by applying the above series weighting in the second filter element 12, the surface wave excitation and excitation in the gap between the IDTs 25 and 26 and the gap between the IDTs 26 and 27 are weakened. That is, serial weighting is performed on the IDTs 25 and 27 so as to weaken the surface wave excitation and excitation in the gap between the IDTs 25 and 26 and the surface wave excitation and excitation in the gap between the IDTs 26 and 27.

従って、弾性表面波フィルタ装置１全体としての対称性が高められ、平衡度が改善されている。   Therefore, the symmetry of the surface acoustic wave filter device 1 as a whole is enhanced, and the balance is improved.

なお、本発明においては、上記１ポ−ト型弾性表面波共振子７〜９は必ずしも設けられずともよい。   In the present invention, the one-port surface acoustic wave resonators 7 to 9 are not necessarily provided.

上記実施形態の弾性表面波フィルタ装置１では、上記のように、フィルタ装置全体の対称性を高めるために、第２〜第４のフィルタ素子１２〜１４において、ＩＤＴ２５，２６間及びＩＤＴ２６，２７間、ＩＤＴ３１，３２間、ＩＤＴ３２，３３間、ＩＤＴ３５，３６間、ＩＤＴ３６，３７間の各ギャップにおける表面波の受励振を抑制するように直列重み付けが行われていた。このような直列重み付けによりフィルタ装置の対称性を高める構造は、さまざまに変形することができる。   In the surface acoustic wave filter device 1 of the above embodiment, as described above, in order to increase the symmetry of the entire filter device, in the second to fourth filter elements 12 to 14, between the IDTs 25 and 26 and between the IDTs 26 and 27. Series weighting is performed so as to suppress surface wave excitation in gaps between IDTs 31 and 32, between IDTs 32 and 33, between IDTs 35 and 36, and between IDTs 36 and 37. The structure for improving the symmetry of the filter device by such serial weighting can be variously modified.

例えば、図２に示す変形例の弾性表面波フィルタ装置４１は、第３のフィルタ素子１３Ａにおいて、上記直列重み付けが施されていないことを除いては、弾性表面波フィルタ装置１と同様に構成されている。この場合においても、第１，第２のフィルタ素子１１，１２が設けられている部分では対称性は高められるため、本変形例においても、フィルタ装置全体としての対称性を改善することが可能とされている。   For example, the surface acoustic wave filter device 41 of the modification shown in FIG. 2 is configured in the same manner as the surface acoustic wave filter device 1 except that the series weighting is not performed in the third filter element 13A. ing. Even in this case, since the symmetry is enhanced in the portion where the first and second filter elements 11 and 12 are provided, it is possible to improve the symmetry of the entire filter device also in this modification. Has been.

図３は本発明の他の実施形態に係る、弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。本実施形態の弾性表面波フィルタ装置５１では、１１Ｂ〜１４Ｂの電極構造については、直列重み付けが施されている部分を除いては、図２に示した変形例と同様である。従って、同一部分においては、同一の参照番号をすることにより、その説明を省略する。   FIG. 3 is a schematic plan view showing an electrode structure of a surface acoustic wave filter device according to another embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave filter device 51 of the present embodiment, the electrode structures 11B to 14B are the same as the modification shown in FIG. 2 except for the portions to which series weighting is applied. Accordingly, the same parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

ところで、本実施形態では、第１〜第４のフィルタ素子１１Ｂ〜１４Ｂの第１，第３のＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７の一端が接続点６に接続され、１ポ−ト型弾性表面波共振子７を介して不平衡端子３に接続されている。ＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７の他端はア−ス電位に接続されている。従って、第１〜第４のフィルタ素子１１Ｂ〜１４Ｂは、不平衡端子３に並列に接続されていることになる。   By the way, in this embodiment, the end of 1st, 3rd IDT21,23,25,27,31,33,35,37 of the 1st-4th filter elements 11B-14B is connected to the connection point 6, It is connected to the unbalanced terminal 3 through a one-port surface acoustic wave resonator 7. The other ends of the IDTs 21, 23, 25, 27, 31, 33, 35, and 37 are connected to the ground potential. Therefore, the first to fourth filter elements 11B to 14B are connected to the unbalanced terminal 3 in parallel.

他方、第１のフィルタ素子１１Ｂの第２のＩＤＴ２２の一端がア−ス電位に接続されており、他端が第３のフィルタ素子１３Ｂの対応する第２のＩＤＴ３２の一端に接続されている。第２のＩＤＴ３２の他端は、１ポ−ト型弾性表面波共振子８を介して第１の平衡端子４に接続されている。   On the other hand, one end of the second IDT 22 of the first filter element 11B is connected to the ground potential, and the other end is connected to one end of the corresponding second IDT 32 of the third filter element 13B. The other end of the second IDT 32 is connected to the first balanced terminal 4 via a 1-port surface acoustic wave resonator 8.

同様に、第２のフィルタ素子１２Ｂの第２のＩＤＴ２６の一端がア−ス電位に、他端が第４のフィルタ素子１４Ｂの対応する第２のＩＤＴ３６の一端に接続されている。ＩＤＴ３６の他端は１ポ−ト型弾性表面波共振子９を介して第２の平衡端子５に接続されている。   Similarly, one end of the second IDT 26 of the second filter element 12B is connected to the ground potential, and the other end is connected to one end of the corresponding second IDT 36 of the fourth filter element 14B. The other end of the IDT 36 is connected to the second balanced terminal 5 via a 1-port surface acoustic wave resonator 9.

従って、本実施形態においても、第１のフィルタ素子１１Ｂと第３のフィルタ素子１３Ｂとが直列に接続されており、第２のフィルタ素子１２Ｂと第４のフィルタ素子１４Ｂとが直列に接続されている。   Therefore, also in this embodiment, the first filter element 11B and the third filter element 13B are connected in series, and the second filter element 12B and the fourth filter element 14B are connected in series. Yes.

このように、本発明においては、不平衡端子３に第１〜第４のフィルタ素子の第１，第３のＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７が接続され、第１，第２の平衡端子４，５に、第３，第４のフィルタ素子の中央の第２のＩＤＴ３２，３６がそれぞれ接続されている構成であってもよい。   Thus, in the present invention, the first and fourth IDTs 21, 23, 25, 27, 31, 33, 35, and 37 of the first to fourth filter elements are connected to the unbalanced terminal 3, and the first The second IDTs 32 and 36 at the center of the third and fourth filter elements may be connected to the second balanced terminals 4 and 5, respectively.

本実施形態においても、不平衡端子３に接続されているＩＤＴ２１，２３，２５，２７，３１，３３，３５，３７の電極指の内、平衡端子４，５に接続されているＩＤＴに隣り合っている電極指は、全てア−ス電位に接続されている。すなわち、ＩＤＴ２１の電極指２１Ａは平衡端子に接続されているＩＤＴ２２に隣り合っている電極指であるが、ア−ス電位に接続されている。このように、不平衡端子３に接続されているＩＤＴの電極指の内、平衡端子に接続されているＩＤＴに隣り合っている電極指が全てア−ス電位に接続されているため、図１に示した実施形態の場合と同様に、直達波を抑制でき、帯域外減衰量の角度及び平衡度を改善を図ることができる。   Also in this embodiment, among the electrode fingers of IDTs 21, 23, 25, 27, 31, 33, 35, and 37 connected to the unbalanced terminal 3, it is adjacent to the IDT connected to the balanced terminals 4 and 5. All electrode fingers are connected to the ground potential. That is, the electrode finger 21A of the IDT 21 is an electrode finger adjacent to the IDT 22 connected to the balanced terminal, but is connected to the earth potential. As described above, all of the electrode fingers adjacent to the IDT connected to the balanced terminal among the electrode fingers of the IDT connected to the unbalanced terminal 3 are connected to the ground potential. As in the case of the embodiment shown in FIG. 5, the direct wave can be suppressed, and the angle and balance of the out-of-band attenuation can be improved.

加えて、本実施形態においても、直列重み付けを施すことにより、平衡度の改善が図られている。すなわち、第２のフィルタ素子１２Ｂの中央の第２のＩＤＴ２６において、ＩＤＴ２５，２７に隣り合う電極指を含む一部の電極指に直列重み付けが施されている。具体的には、ＩＤＴ２６の表面波伝搬方向両側の電極指２６ａ，２６ｂと、次の位置に位置する電極指が設けられている部分に浮き電極指２６ｃ，２６ｄを設けるようにして直列重み付けが施されている。他方、ＩＤＴ２５，２７においては、直列重み付けが施されていない。この場合においても、ＩＤＴ２５，２６間及びＩＤＴ２６，２７間においては、上記直列重み付けにより、表面波の受励振が抑制される。   In addition, also in this embodiment, the balance is improved by applying serial weighting. That is, in the second IDT 26 at the center of the second filter element 12B, serial weighting is applied to some electrode fingers including the electrode fingers adjacent to the IDTs 25 and 27. Specifically, series weighting is performed by providing floating electrode fingers 26c and 26d at portions where the electrode fingers 26a and 26b on both sides of the IDT 26 in the surface wave propagation direction and the electrode fingers located at the next position are provided. Has been. On the other hand, serial weighting is not applied to the IDTs 25 and 27. Even in this case, the surface wave receiving and excitation is suppressed between the IDTs 25 and 26 and between the IDTs 26 and 27 by the series weighting.

弾性表面波フィルタ装置５１では、第４のフィルタ素子１４Ｂにおいても同様に第２のＩＤＴ３６において直列重み付けが施されており、両側の第１，第３のＩＤＴ３５，３７においては直列重み付けが施されていない。   In the surface acoustic wave filter device 51, the fourth filter element 14B is also serially weighted in the second IDT 36 and serially weighted in the first and third IDTs 35 and 37 on both sides. Absent.

本発明において、第１〜第４のフィルタ素子１１〜１４は、いずれも５ＩＤＴ型の縦結合型共振子型の弾性表面波フィルタ素子であってもよい。   In the present invention, each of the first to fourth filter elements 11 to 14 may be a 5IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter element.

上述してきた実施形態及び変形例の弾性表面波フィルタ装置は、上記のように弾性表面波を利用したものであるが、本発明は、弾性表面波に代えて、弾性境界波などの他の弾性波を用いたものであってもよい。図４は、弾性境界波フィルタ装置の構造を模式的に示す正面断面図である。この弾性境界波フィルタ装置７１では、第１の媒質層としての圧電基板７２と、第２の媒質層としての誘電体７３とが積層されている。圧電基板７２と誘電体７３との境界に複数のＩＤＴを有する電極７４が形成されている。この境界を伝搬する弾性境界波を利用してフィルタとしての特性が得られる。この場合、弾性境界波フィルタ装置７１の電極７４の構造を、前述した弾性表面波フィルタについての実施形態における電極構造と同様に形成することにより、本発明の弾性波フィルタ装置を構成することができる。   The surface acoustic wave filter device according to the embodiment and the modification described above uses the surface acoustic wave as described above. However, the present invention is not limited to the surface acoustic wave, and other elasticity such as a boundary acoustic wave is used. A wave may be used. FIG. 4 is a front sectional view schematically showing the structure of the boundary acoustic wave filter device. In this boundary acoustic wave filter device 71, a piezoelectric substrate 72 as a first medium layer and a dielectric 73 as a second medium layer are laminated. An electrode 74 having a plurality of IDTs is formed at the boundary between the piezoelectric substrate 72 and the dielectric 73. Using the boundary acoustic wave propagating along this boundary, the characteristics as a filter can be obtained. In this case, the elastic wave filter device of the present invention can be configured by forming the structure of the electrode 74 of the boundary acoustic wave filter device 71 in the same manner as the electrode structure in the embodiment of the surface acoustic wave filter described above. .

本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。1 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention. 図１に示した実施形態の変形例に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図。The typical top view which shows the surface acoustic wave filter apparatus which concerns on the modification of embodiment shown in FIG. 本発明の他の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図。FIG. 6 is a schematic plan view showing a surface acoustic wave filter device according to another embodiment of the present invention. 本発明が適用される弾性境界波装置の模式的正面段断面図。1 is a schematic front cross-sectional view of a boundary acoustic wave device to which the present invention is applied. 従来のバランス型弾性表面波フィルタ装置を説明するための模式的平面図。The typical top view for demonstrating the conventional balance type | mold surface acoustic wave filter apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１…弾性表面波フィルタ装置
２…圧電基板
３…不平衡端子
４，５…第１，第２の平衡端子
６…接続点
７〜９…弾性表面波共振子
７ａ…ＩＤＴ
７ｂ，７ｃ…反射器
８ａ…ＩＤＴ
８ｂ，８ｃ…反射器
９ａ…ＩＤＴ
９ｂ，９ｃ…反射器
１１〜１４…第１〜第４のフィルタ素子
１１Ｂ〜１４Ｂ…第１〜第４のフィルタ素子
１３Ａ…第３のフィルタ素子
２１〜２３…第１〜第３のＩＤＴ
２２ａ，２２ｂ…電極指
２４ａ，２４ｂ…反射器
２５〜２７…第１〜第３のＩＤＴ
２５ａ，２７ａ…電極指
２５ｂ，２７ｂ…浮き電極指
２６ａ，２６ｂ…電極指
２６ｃ，２６ｄ…浮き電極指
２８ａ，２８ｂ…反射器
３１〜３３…第１〜第３のＩＤＴ
３１Ａ，３３Ａ…ＩＤＴ
３１ａ，３３ａ…電極指
３２ａ，３２ｂ…電極指
３１ｂ，３３ｂ…浮き電極指
３４ａ，３４ｂ…反射器
３５〜３７…第１〜第３のＩＤＴ
３５ａ，３７ａ…電極指
３５ｂ，３７ｂ…浮き電極指
３８ａ，３８ｂ…反射器
４１…弾性表面波フィルタ装置
５１…弾性表面波フィルタ装置
７１…弾性境界波フィルタ装置
７２…圧電基板
７３…誘電体
７４…電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface acoustic wave filter apparatus 2 ... Piezoelectric substrate 3 ... Unbalanced terminal 4, 5 ... 1st, 2nd balanced terminal 6 ... Connection point 7-9 ... Surface acoustic wave resonator 7a ... IDT
7b, 7c ... reflector 8a ... IDT
8b, 8c ... reflector 9a ... IDT
9b, 9c ... reflectors 11-14 ... first to fourth filter elements 11B-14B ... first to fourth filter elements 13A ... third filter elements 21-23 ... first to third IDTs
22a, 22b ... electrode fingers 24a, 24b ... reflectors 25-27 ... first to third IDTs
25a, 27a ... electrode fingers 25b, 27b ... floating electrode fingers 26a, 26b ... electrode fingers 26c, 26d ... floating electrode fingers 28a, 28b ... reflectors 31-33 ... first to third IDTs
31A, 33A ... IDT
31a, 33a ... electrode fingers 32a, 32b ... electrode fingers 31b, 33b ... floating electrode fingers 34a, 34b ... reflectors 35-37 ... first to third IDTs
35a, 37a ... electrode fingers 35b, 37b ... floating electrode fingers 38a, 38b ... reflectors 41 ... surface acoustic wave filter device 51 ... surface acoustic wave filter device 71 ... boundary acoustic wave filter device 72 ... piezoelectric substrate 73 ... dielectric 74 ... electrode

Claims (5)

縦結合共振子型の第１のフィルタ素子と、
第１のフィルタ素子とは入力信号に対する出力信号の位相差が１８０度異なる、縦結合共振子型の第２のフィルタ素子と、
縦結合型共振子型の第３のフィルタ素子と、
第３のフィルタ素子とは入力信号に対する出力信号の位相差が１８０度異なる、縦結合型共振子型の第４のフィルタ素子とを備え、
前記第１〜第４のフィルタ素子が不平衡端子に接続されており、該第１〜第４のフィルタ素子のＩＤＴの内、前記不平衡端子に接続されているＩＤＴが並列に接続されており、
前記第３のフィルタ素子が第１の平衡端子に、第４のフィルタ素子が第２の平衡端子に接続されており、
前記第３のフィルタ素子のＩＤＴの内、前記第１の平衡端子に接続されているＩＤＴが、第１のフィルタ素子の対応するＩＤＴに直列接続されており、
前記第４のフィルタ素子のＩＤＴの内、前記第２の平衡端子に接続されているＩＤＴが、第２のフィルタ素子の対応するＩＤＴに直列接続されていることを特徴とする、バランス型弾性波フィルタ装置。 A longitudinally coupled resonator type first filter element;
A longitudinally coupled resonator type second filter element in which the phase difference of the output signal with respect to the input signal is 180 degrees different from the first filter element;
A third filter element of a longitudinally coupled resonator type;
The third filter element includes a fourth filter element of a longitudinally coupled resonator type in which the phase difference of the output signal with respect to the input signal is different by 180 degrees,
The first to fourth filter elements are connected to an unbalanced terminal, and among the IDTs of the first to fourth filter elements, the IDT connected to the unbalanced terminal is connected in parallel. ,
The third filter element is connected to a first balanced terminal and the fourth filter element is connected to a second balanced terminal;
Of the IDTs of the third filter element, the IDT connected to the first balanced terminal is connected in series to the corresponding IDT of the first filter element,
Among the IDTs of the fourth filter element, the IDT connected to the second balanced terminal is connected in series to the corresponding IDT of the second filter element, and the balanced type elastic wave Filter device. 不平衡端子に接続されている前記ＩＤＴの電極指の内、平衡端子に接続されるＩＤＴに隣り合っている電極指が、ア−ス電位に接続される電極指である、請求項１に記載のバランス型弾性波フィルタ装置。   The electrode finger adjacent to the IDT connected to the balanced terminal among the electrode fingers of the IDT connected to the unbalanced terminal is an electrode finger connected to the ground potential. Balance type elastic wave filter device. 前記第１または第２の平衡端子に接続されるＩＤＴの電極指の内、不平衡端子に接続されるＩＤＴに隣り合っている電極指であって、ア−ス電位に接続される電極指ではない少なくとも一部の電極指に直列重み付けが施されている、請求項２に記載のバランス型弾性波フィルタ装置。   Of the electrode fingers of the IDT connected to the first or second balanced terminal, the electrode fingers adjacent to the IDT connected to the unbalanced terminal, and the electrode fingers connected to the ground potential The balanced elastic wave filter device according to claim 2, wherein at least some of the electrode fingers are serially weighted. 前記弾性波として弾性表面波が用いられており、それによって弾性表面波フィルタ装置が構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のバランス型弾性波フィルタ装置。   The balanced surface acoustic wave filter device according to any one of claims 1 to 3, wherein a surface acoustic wave is used as the acoustic wave, thereby forming a surface acoustic wave filter device. 前記弾性波として弾性境界波が用いられており、それによって弾性境界波フィルタ装置が構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のバランス型弾性波フィルタ装置。

The balanced elastic wave filter device according to any one of claims 1 to 3, wherein a boundary acoustic wave is used as the elastic wave, thereby forming a boundary acoustic wave filter device.

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