JP4476690B2 - Bonding state inspection apparatus and method - Google Patents
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Description
この発明は、2つの固体の接着状態を検査する接着状態検査装置及び方法に関するものである。 The present invention relates to an adhesion state inspection apparatus and method for inspecting the adhesion state of two solids.
固体と固体との接着状態を検査する方法には様々な方法がある。例えば通常の超音波探傷試験のように、固体の中に超音波を入射して接着している部分で超音波が反射された場合には、接着状態が不良であると判定する方法がある。この方法が最も簡単な方法であると考えられる。 There are various methods for inspecting the adhesion state between solids. For example, as in a normal ultrasonic flaw detection test, there is a method of determining that the bonding state is poor when the ultrasonic wave is reflected at a portion where the ultrasonic wave is incident and bonded into the solid. This method is considered to be the simplest method.
しかし、通常の超音波探傷試験では、固体の面に超音波探触子を直接接触させるか、あるいは水などの接触媒質を介して超音波を固体中に入射する必要がある。すなわち、2つの固体の接着状態を検査するには、どちらか一方の固体に超音波を入射する必要があるので、2つの固体のどちらにも超音波を入射できない場合には検査することができない。 However, in a normal ultrasonic flaw detection test, it is necessary to bring an ultrasonic probe into direct contact with a solid surface or to make an ultrasonic wave enter a solid through a contact medium such as water. That is, in order to inspect the adhesion state of two solids, it is necessary to inject ultrasonic waves into either one of the solids. .
このような場合でも、電磁誘導作用を用いて固体を振動させることにより、接着状態を検査するという従来技術がある。この種の従来の接着状態検査方法として、例えば、缶詰のタブ脱落を検査する方法が既に開示されている(例えば、特許文献1参照)。その方法は電磁誘導作用によって缶詰を強制励振させ、その時に発生した振動音からタブ脱落を判定するものである。 Even in such a case, there is a conventional technique in which an adhesion state is inspected by vibrating a solid using electromagnetic induction. As this kind of conventional adhesion state inspection method, for example, a method of inspecting canned tab dropout has already been disclosed (for example, see Patent Document 1). In this method, the can is forcibly excited by electromagnetic induction, and the tab dropout is determined from the vibration sound generated at that time.
しかし、上述した方法では、製品全体を強制的に振動できる製品に対しては適用できるが、製品が大きく強制的に振動させることができない場合には、適用できない。また、製品が大きくて異常部分が小さい場合、正常な製品と異常な製品の振動音の差異が小さくなり、結果として異常検知が困難となると考えられる。 However, the above-described method can be applied to a product that can forcibly vibrate the entire product, but cannot be applied when the product cannot be vigorously vibrated. Further, when the product is large and the abnormal part is small, the difference between the vibration sound of the normal product and the abnormal product becomes small, and as a result, it is considered difficult to detect the abnormality.
この発明は上述した従来例に係る問題点に鑑みてなされたもので、接着状態を検査する2つの固体に超音波を入射することができない状態であっても、また、製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても、接着状態を検査できる接着状態検査装置及び方法を提供するものである。 The present invention has been made in view of the problems associated with the above-described conventional example. Even when ultrasonic waves cannot be incident on two solids to be inspected for adhesion, the product is large and has an abnormal portion. It is an object of the present invention to provide an adhesion state inspection apparatus and method capable of inspecting the adhesion state even when it is small.
この発明に係る接着状態検査装置及び方法は、磁石と母材との接着状態を検査する際、前記磁石に近接した位置にコイルを設け、前記コイルに交流信号を印加することにより磁界を発生させ、前記磁界が作る電流と前記磁石による磁界との電磁誘導作用により前記磁石を振動させ、前記磁石の振動に伴う変動を検出し、その検出信号に基づいて前記磁石と前記母材との接着状態を検査することを特徴とする。 In the adhesion state inspection apparatus and method according to the present invention, when inspecting the adhesion state between a magnet and a base material, a coil is provided near the magnet, and a magnetic field is generated by applying an AC signal to the coil. The magnet is vibrated by an electromagnetic induction effect between the current generated by the magnetic field and the magnetic field of the magnet, and a variation associated with the vibration of the magnet is detected. Based on the detection signal, the adhesion state of the magnet and the base material It is characterized by inspecting.
この発明によれば、接着状態を検査する2つの固体に超音波を入射することができない状態であっても、また、製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても、接着状態を検査できる。 According to this invention, even if it is in a state where ultrasonic waves cannot be incident on two solids to be inspected for adhesion, or even if the product is large and the abnormal portion is small, the adhesion can be inspected. .
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る接着状態検査方法を実現する装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、母材2に接着された磁石1に近接した位置にコイル3が設けられ、このコイル3には、交流信号供給手段を含む送受信器5から交流の送信信号が供給される。母材2へはレーザー変位計4からレーザービームが照射される。ここで、前記コイル3への交流信号の印加に基づいてコイル3に磁界が生じ、その磁界が作る電流と磁石1による磁界との電磁誘導作用により発生する磁石1の振動に伴って発生する変動信号として母材2の振動を検出する検出手段としてのレーザー変位計4で検出する。そして、その検出信号は、検査手段を含む送受信器5へ送られ、送受信器5は、検出信号に基づいて磁石1と母材2との接着状態を検査する。なお、検査の対象となる部分は、磁石1と母材2との間であり、磁石1と母材2との接着状態を検査する。また、この発明における接着状態の検査とは、剥離に限らず一般的な接合不良の検査などを含む。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an apparatus for realizing an adhesion state inspection method according to
図1において、コイル3は磁石1の近くに設置されており、その間は何も無い状態であり、完全に非接触の状態である。レーザー変位計4と母材2との間も何も無い状態であり、完全に非接触の状態である。レーザー変位計4から母材2へはレーザービームが照射されており、図1ではレーザービームを矢印で示している。図2及び図3は、送受信器5からコイル3に送られる交流の送信信号の波形を示している。
In FIG. 1, the
次に、図1に示す構成を備える接着状態検査装置の動作について説明する。送受信器5からは、図2に示す交流の送信信号がコイル3に送られる。送信信号は、図2に示すようにバースト信号であり、周期Tは、磁石1と母材2が効率よく振動する周波数fの逆数としておく。すなわち、送信信号のキャリア周波数はfである。これにより、コイル3では送信信号に基づいて磁界が発生する。発生した磁界により磁石1と母材2との境界面付近には電流が発生し、その結果、電磁誘導作用により磁石1が振動する。磁石1と母材2が完全に接着している状態であるならば、磁石1の振動に伴い母材2も振動する。
Next, the operation of the adhesion state inspection apparatus having the configuration shown in FIG. 1 will be described. An AC transmission signal shown in FIG. 2 is sent to the
磁石1の振動によって発生した母材2の振動は、母材2中を伝搬し、レーザー変位計4のレーザービームが照射されている場所まで到達する。レーザー変位計4では、その振動を検出し、検出された信号は、送受信器5へ送られる。送受信器5には、図示しないが検出された信号に基づいて磁石1と母材2との接着状態を検査する検査手段としての信号処理部が含まれており、この信号処理部においてレーザー変位計4から送られた信号を処理する。
The vibration of the
一方、磁石1と母材2との剥離などの接着不良を起こしている場合には、振動の伝搬が異なる。電磁誘導作用により磁石1が振動するところまでは同様であるが、磁石1と母材2との接着状態が悪いため、母材2への振動の伝達の状況は異なる。すなわち、接着している状態に比べて伝達する振動の振幅が変化する。また、検査対象物にもよるが、振動の位相も変化する場合がある。結果として、母材2中を伝搬する振動は、接着している状態とは異なる振動となる。
On the other hand, when an adhesion failure such as peeling between the
送受信器5内の信号処理部では、レーザー変位計4からの信号を処理し、磁石1と母材2との接着状態を判定する。信号処理方法として、例えば、信号の振幅がある一定の値を超えた場合には、磁石1から母材2へ大きな振動が伝達したので接着状態良好と判定し、信号の振幅が一定の値以下である場合には、磁石1から母材2へ小さな振動しか伝達しなかったので接着状態不良と判定する方法がある。
A signal processing unit in the transmitter /
信号処理方法は、上記のような単純な方法以外にも種々の方法が考えられる。例えば、接着が良い状態の振動と、接着が悪い状態の振動の位相が異なる場合、これらの振動の位相差を利用した方法もある。どのような信号処理方法を適用するかは、実際の検査対象物の特性により適宜検討して決める。 Various signal processing methods other than the above simple method can be considered. For example, when the phase of vibration with good adhesion and the phase of vibration with poor adhesion are different, there is a method using the phase difference between these vibrations. The type of signal processing method to be applied is determined by appropriately considering the actual characteristics of the inspection object.
また、図2に示した送信信号のバースト波は、信号の最初の部分と最後の部分にキャリア周波数f以外の周波数成分を含むので、振動を複雑にする。この余分な周波数成分を除去するため、図3に示すように、信号の最初の部分と最後の部分に振幅変調をかけて余分な周波数成分を低減させ、この信号を送信信号として用いれば、送受信器5の信号処理における処理が簡単になる。
Further, since the burst wave of the transmission signal shown in FIG. 2 includes frequency components other than the carrier frequency f in the first part and the last part of the signal, the vibration is complicated. In order to remove this extra frequency component, as shown in FIG. 3, amplitude modulation is applied to the first part and the last part of the signal to reduce the extra frequency component, and this signal is used as a transmission signal. Processing in the signal processing of the
この発明の実施の形態1で示した接着状態検査方法は、電磁誘導作用を用いているので、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない場合でも適用できる。また、接着状態を検査したい箇所だけを振動させるので、母材2が大きくて磁石1が小さい場合、すなわち製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても適用できる。
Since the adhesion state inspection method shown in
以上説明したように、実施の形態1によれば、磁石1の近くに設置したコイル3に交流の送信信号を流して磁界を発生させ、この磁界による電流と磁石1による電磁誘導作用によって磁石1を振動させ、磁石1から母材2へ伝達した振動をレーザー変位計4で検知することにより、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない状態であっても、また、製品が大きくて異常部分が小さい場合にであっても接着状態を検査できるという効果がある。
As described above, according to the first embodiment, a magnetic field is generated by flowing an AC transmission signal through the
実施の形態2.
図4は、この発明の実施の形態2に係る接着状態検査方法を実現する装置の構成を示すブロック図である。図4に示す実施の形態2に係る接触状態検査装置は、図1に示す実施の形態1とほぼ同じであるが、実施の形態1における、磁石1の振動に伴う変動信号として母材2の振動を検出するレーザー変位計4の代わりに、加速度センサ6を用いる。レーザー変位計4は、完全に非接触な状態で振動を検知できるが、セッティングが複雑であるので実際の現場における検査は困難となる場合が考えられる。実施の形態2では、実際の現場でもセッティングが簡単な加速度センサ6を用いて磁石1の振動に伴う変動信号として母材2の振動を検出する。
FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of an apparatus for realizing the adhesion state inspection method according to
実施の形態2の動作は、振動を検知する方法が異なるだけで実施の形態1とほぼ同じである。すなわち、送受信器5からは、図2に示した交流の送信信号がコイル3に送られる。コイル3では送信信号に基づいて磁界が発生する。発生した磁界により磁石1母材2との境界面付近には電流が発生し、その結果、電磁誘導作用により磁石1が振動する。接着が良好な場合には、磁石1の振動はそのまま母材2へ伝達し、接着が不良な場合には、伝達される振動の振幅が変化する。検査対象物によっては、振動の位相も変化する。加速度センサ6で検知した振動は送受信器5に送られ、送受信器5内の信号処理部で処理される。
The operation of the second embodiment is almost the same as that of the first embodiment except that the method for detecting vibration is different. That is, the AC transmitter signal shown in FIG. 2 is sent from the
信号処理の方法は実施の形態1と同様に、例えば信号の振幅がある一定の値を超えた場合には、磁石1から母材2へ大きな振動が伝達したので接着状態良好と判定し、信号の振幅が一定の値以下である場合には磁石1から母材2へ小さな振動しか伝達しなかったので接着状態不良と判定する方法がある。また、接着が良好である状態と不良である状態の振動の位相が異なる場合、これらの振動の位相差を利用した方法もある。どのような信号処理方法を適用するかは、実際の検査対象物の特性により適宜検討して決める。
The signal processing method is the same as in the first embodiment, for example, when the amplitude of the signal exceeds a certain value, a large vibration is transmitted from the
また、実施の形態1と同様に、図2に示した送信信号のバースト波は、信号の最初の部分と最後の部分にキャリア周波数f以外の周波数成分を含むので、振動を複雑にする。この余分な周波数成分を除去するため、図3に示すように信号の最初の部分と最後の部分に振幅変調をかけて余分な周波数成分を低減させ、この信号を送信信号として用いれば、送受信器5の信号処理における処理が簡単になる。 Similarly to the first embodiment, the burst wave of the transmission signal shown in FIG. 2 includes frequency components other than the carrier frequency f in the first part and the last part of the signal, thus complicating vibration. In order to remove this extra frequency component, as shown in FIG. 3, the first and last portions of the signal are subjected to amplitude modulation to reduce the extra frequency component, and this signal is used as a transmission signal. 5 is simplified.
この発明の実施の形態2で示した接着状態検査方法は、実施の形態1で示した方法と同様に電磁誘導作用を用いているので、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない場合でも適用できる。また、実施の形態1で示した方法と同様に接着状態を検査したい箇所だけを振動させるので、母材2が大きくて磁石1が小さい場合、すなわち製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても適用できる。
Since the adhesion state inspection method shown in the second embodiment of the present invention uses electromagnetic induction as in the method shown in the first embodiment, ultrasonic waves can be incident on the
以上説明したように、実施の形態2によれば、磁石1の近くに設置したコイル3に交流の送信信号を流して磁界を発生させ、この磁界による電流と磁石1による電磁誘導作用によって磁石1を振動させ、磁石1から母材2へ伝達した振動を加速度センサ6で検知することにより、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない状態であっても、また製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても、接着状態を検査できるという効果がある。
As described above, according to the second embodiment, a magnetic field is generated by flowing an AC transmission signal through the
実施の形態3.
図5は、この発明の実施の形態3に係る接着状態検査方法を実現するための装置の構成を示すブロック図である。図5に示す実施の形態3に係る接着状態検査装置は、図1及び図4に示す実施の形態1及び2とほぼ同じであるが、実施の形態1及び2における振動を検知する専用装置としてのレーザー変位計4及び加速度センサ6を有していなく、送受信器5内に電流検出手段を備え、磁石の1の振動に伴う変動信号として、磁石の振動に伴いコイル3に流れる電流の変化を検出することで、磁石1と母材2との接着状態を検査する。
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of an apparatus for realizing an adhesion state inspection method according to
次に、実施の形態3の動作について説明する。図2に示した交流の送信信号をコイル3により磁界が発生し、電磁誘導作用により磁石1が振動するまでは、実施の形態1及びに2と同様である。
Next, the operation of the third embodiment will be described. The process is the same as in the first and second embodiments until the magnetic field is generated by the
磁石1が振動すると、この振動により磁界が変化し、結果として、コイル3に流れる交流電流が変化する。磁石1と母材2との接着状態が良好である場合と不良である場合とでは、磁石1の振動状態が異なるため、コイル3に流れる交流電流も接着状態が良好である場合と不良である場合とでは差異が生じる。なお、交流電流の差異は、信号の振幅の差異だけでなく位相の差異も含む。
When the
実施の形態3において、送受信器5では、コイル3に交流電流を送信するだけでなく、コイルに流れ込む電流の変化も検知する電流検出手段を有している。送受信器5の信号処理部における信号処理方法は、接着状態が良好である場合のコイル3に流れ込む電流を予め測定して記憶しておき、実際の検査で得られた交流電流と比較して、有為な差異がなければ接着状態良好と判定し、有為な差異があれば接着状態不良と判定する。
In the third embodiment, the transmitter /
また、実施の形態1及び実施の形態2と同様に、図2に示した送信信号のバースト波は、信号の最初の部分と最後の部分にキャリア周波数f以外の周波数成分を含むので、振動を複雑にする。この余分な周波数成分を除去するため、図3に示すように信号の最初の部分と最後の部分に振幅変調をかけて余分な周波数成分を低減させ、この信号を送信信号として用いれば、送受信器5の信号処理における処理が簡単になる。 Similarly to the first and second embodiments, the burst wave of the transmission signal shown in FIG. 2 includes frequency components other than the carrier frequency f in the first part and the last part of the signal. Make it complicated. In order to remove this extra frequency component, as shown in FIG. 3, the first and last portions of the signal are subjected to amplitude modulation to reduce the extra frequency component, and this signal is used as a transmission signal. 5 is simplified.
この発明の実施の形態3で示した接着状態検査方法は、実施の形態1及び2で示した方法と同様に電磁誘導作用を用いているので、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない場合でも適用できる。また、実施の形態1及び2で示した方法と同様に接着状態を検査したい箇所だけを振動させるので、母材2が大きくて磁石1が小さい場合、すなわち製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても適用できる。
Since the adhesion state inspection method shown in the third embodiment of the present invention uses the electromagnetic induction action similarly to the method shown in the first and second embodiments, ultrasonic waves are incident on the
以上説明したように、実施の形態3によれば、磁石1の近くに設置したコイル3に交流の送信信号を流して磁界を発生させ、この磁界による電流と磁石1による電磁誘導作用によって磁石1を振動させ、コイル3に流れ込む電流の変化を測定することで、磁石1及び母材2に超音波を入射することができない状態であっても、また、製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても接着状態を検査できるという効果がある。
As described above, according to the third embodiment, a magnetic field is generated by flowing an AC transmission signal through the
実施の形態4.
図6は、この発明の実施の形態4に係る接着状態検査方法を実現するための装置の構成を示すブロック図である。実施の形態1〜3では、磁石1及びコイル3は、どのような部品に用いられるのか特定していなかったが、実施の形態4では、磁石1及びコイル3がモータの部品である場合について示したものである。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of an apparatus for realizing an adhesion state inspection method according to Embodiment 4 of the present invention. In the first to third embodiments, the
図6(a)及び(b)は、モータの断面図及び側面図をそれぞれ示している。この実施の形態4では、実施の形態1〜3における母材2が図6に示すモータの回転子7に対応し、実施の形態1〜3における磁石1が図6に示すモータの回転子7に接着されている磁石1に対応し、実施の形態1〜3におけるコイル3が図6に示す回転子7を回転させるために用いられるコイル3に対応する。なお、図6において、5は送受信器、6は加速度センサ、8はモータの固定子、9はモータの軸である。磁石1は回転子7に接着されており、磁石1と回転子7との間の接着状態が検査される。コイル3は固定子8に組み込まれている。なお、図6(a)ではコイルを1個図示しているが、実際はコイルも複数個存在する。図面及び説明を簡単にするため、コイルを1個だけ図示している。
FIGS. 6A and 6B show a cross-sectional view and a side view of the motor, respectively. In the fourth embodiment, the
モータとしての動作としては、コイル3に電流を流して磁石1を動かし回転子7を回転させるので、接着状態検査で用いるコイル3はモータを駆動するコイルと同一のものを用いる。実際のモータは回転子7を固定子8が覆うような構成となっており、磁石1の近くに検査専用のコイルを新たに設置することは事実上無理である。実施の形態4では、固定子8に組み込まれているモータ駆動用コイル3を検査用に兼用する構成となっている。この構成ならば、新たに検査コイルを設置する必要はなく、装置構成が簡単になる。
As the operation of the motor, since the current is passed through the
次に、実施の形態4の動作について説明する。モータとして使用する場合には、コイル3はモータ駆動回路に接続されているが、検査を行う場合には接続を変えてコイル3を検査用の送受信器5に接続する。送受信器5からは、図2に示した交流の送信信号がコイル3に送られ、電磁誘導作用により磁石1が振動し、実施の形態1〜3と同様に、磁石1と回転子7との接着状態が良好な場合には振動がそのまま回転子7へ伝達する。回転子7の振動は、モータの軸9を介して固定子8に伝搬する。加速度センサ6を固定子8に設置することにより、振動を検知する。
Next, the operation of the fourth embodiment will be described. When used as a motor, the
送受信器5の信号処理部では、加速度センサ6で検知した振動を処理することにより、接着状態を判定する。信号処理の方法は、実施の形態2と同様に、例えば信号の振幅がある一定の値を超えた場合には、磁石1から回転子7へ大きな振動が伝達したので接着状態は良好であると判定し、信号の振幅が一定の値以下である場合には磁石1から回転子7へ小さな振動しか伝達しなかったので接着状態は不良であると判定する方法がある。また、接着が良好である状態と不良である状態の振動の位相が異なる場合、これらの振動の位相差を利用した方法もある。どのような信号処理方法を適用するかは、実際のモータの特性により適宜検討して決める。
The signal processing unit of the transmitter /
また、実施の形態1〜3と同様に、図2に示した送信信号のバースト波は、信号の最初の部分と最後の部分にキャリア周波数f以外の周波数成分を含むので、振動を複雑にする。この余分な周波数成分を除去するため、図3に示すように信号の最初の部分と最後の部分に振幅変調をかけて余分な周波数成分を低減させ、この信号を送信信号として用いれば、送受信器5の信号処理における処理が簡単になる。 Similarly to the first to third embodiments, the burst wave of the transmission signal shown in FIG. 2 includes frequency components other than the carrier frequency f in the first part and the last part of the signal, so that the vibration is complicated. . In order to remove this extra frequency component, as shown in FIG. 3, the first and last portions of the signal are subjected to amplitude modulation to reduce the extra frequency component, and this signal is used as a transmission signal. 5 is simplified.
図6では、加速度センサ6を固定子8に接触させて振動を検知する装置構成を示したものであるが、実施の形態1と同様に、レーザー変位計4を用いて振動を検知しても構わない。また、実施の形態3と同様に、コイル3に流れ込む電流の変化を測定することで、接着状態を判定しても構わない。
FIG. 6 shows a device configuration in which the
この発明の実施の形態4で示した接着状態検査方法は、実施の形態1〜3で示した方法と同様に、電磁誘導作用を用いているので、磁石1及び回転子7に超音波を入射することができない場合でも適用できる。また、実施の形態1〜3で示した方法と同様に接着状態を検査したい箇所だけを振動させるので、回転子7が大きくて磁石1が小さい場合、すなわち製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても適用できる。
Since the adhesion state inspection method shown in the fourth embodiment of the present invention uses an electromagnetic induction action as in the methods shown in the first to third embodiments, ultrasonic waves are incident on the
以上説明したように、実施の形態4によれば、モータ駆動に用いるコイルと同一のコイル3に交流の送信信号を流して磁界を発生させ、この磁界と磁石1による電磁誘導作用によって磁石1及び回転子7を振動させ、モータの軸9を介して固定子8まで伝搬した振動を加速度センサ6で検知することにより、磁石1及び回転子7に超音波を入射することができない状態であっても、また、製品が大きくて異常部分が小さい場合であっても、接着状態を検査できるという効果がある。
As described above, according to the fourth embodiment, a magnetic field is generated by causing an AC transmission signal to flow through the
1 磁石、2 母材、3 コイル、4 レーザー変位計、5 送受信器、6 加速度センサ、7 回転子、8 モータの固定子、9 モータの軸。 1 magnet, 2 base material, 3 coil, 4 laser displacement meter, 5 transmitter / receiver, 6 acceleration sensor, 7 rotor, 8 motor stator, 9 motor shaft.
Claims (7)
前記磁石に近接した位置に設けられたコイルと、
前記コイルに交流信号を供給する交流信号供給手段と、
前記交流信号印加手段による前記コイルへの交流信号の印加に基づいて前記コイルに生じる磁界が作る電流と前記磁石による磁界との電磁誘導作用により発生する前記磁石の振動に伴う変動信号を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された信号に基づいて前記磁石と前記母材との接着状態を検査する検査手段と
を備えたことを特徴とする接着状態検査装置。 In the adhesion state inspection device that inspects the adhesion state between the magnet and the base material,
A coil provided at a position close to the magnet;
AC signal supply means for supplying an AC signal to the coil;
Detection for detecting a fluctuation signal associated with vibration of the magnet generated by electromagnetic induction action of a current generated by the magnetic field generated in the coil based on application of an AC signal to the coil by the AC signal applying means and a magnetic field generated by the magnet Means,
An adhesion state inspection apparatus comprising: inspection means for inspecting an adhesion state between the magnet and the base material based on a signal detected by the detection means.
ことを特徴とする請求項1に記載の接着状態検査装置。 The adhesion state inspection apparatus according to claim 1, wherein the AC signal supply unit supplies an AC signal subjected to amplitude modulation.
前記母材は、モータの回転子であり、
前記磁石は、前記回転子に接着されているものであり、
前記コイルは、前記回転子を回転させるために用いられるコイルである
ことを特徴とする接着状態検査装置。 In the adhesion state inspection device according to claim 1 or 2,
The base material is a rotor of a motor;
The magnet is bonded to the rotor,
The said coil is a coil used in order to rotate the said rotor. The adhesion state inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
前記検出手段は、前記磁石の振動に伴う変動信号として、前記母材の振動を検出するレーザー変位計である
ことを特徴とする接着状態検査装置。 In the adhesion state inspection device according to any one of claims 1 to 3,
The said detection means is a laser displacement meter which detects the vibration of the said base material as a fluctuation signal accompanying the vibration of the said magnet. The adhesion state inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
前記検出手段は、前記磁石の振動に伴う変動信号として、前記母材の振動を検出する加速度センサである
ことを特徴とする接着状態検査装置。 In the adhesion state inspection device according to any one of claims 1 to 3,
The said detection means is an acceleration sensor which detects the vibration of the said base material as a fluctuation signal accompanying the vibration of the said magnet. The adhesion state inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
前記検出手段は、前記磁石の振動に伴う変動信号として、前記磁石の振動に伴い前記コイルに流れる電流の変化を検出する電流検出手段である
ことを特徴とする接着状態検査装置。 In the adhesion state inspection device according to any one of claims 1 to 3,
The said detection means is an electric current detection means which detects the change of the electric current which flows into the said coil with the vibration of the said magnet as a fluctuation signal accompanying the vibration of the said magnet. The adhesion state inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
前記磁石に近接した位置にコイルを設け、
前記コイルに交流信号を印加することにより磁界を発生させ、
前記磁界が作る電流と前記磁石による磁界との電磁誘導作用により前記磁石を振動させ、
前記磁石の振動に伴う変動を検出し、
その検出信号に基づいて前記磁石と前記母材との接着状態を検査する
ことを特徴とする接着状態検査方法。 In the adhesion state inspection method for inspecting the adhesion state between the magnet and the base material,
A coil is provided at a position close to the magnet,
A magnetic field is generated by applying an AC signal to the coil,
The magnet is vibrated by the electromagnetic induction effect of the current generated by the magnetic field and the magnetic field by the magnet,
Detecting fluctuations associated with the vibration of the magnet;
An adhesion state inspection method, wherein the adhesion state between the magnet and the base material is inspected based on the detection signal.
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