JP4473241B2 - Near-field optical concentrator with quantum dots - Google Patents

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Description

本発明は、特にナノスケールの光通信ネットワーク、光計測等の分野に適用される量子ドットによる近接場光集光器に関するものである。   The present invention relates to a near-field light concentrator using quantum dots, particularly applied to fields such as nanoscale optical communication networks and optical measurement.

近年の半導体微細加工技術の発展により、量子力学的効果が顕著に現れるサイズまでに微細な構造をもつ半導体素子が実現されている(例えば、非特許文献1参照。)。この量子力学的効果を利用した半導体素子として、例えばHBT(Hetero-junction Bipolar Transistor)や量子井戸レーザ等が実用化されている。また量子力学的効果を利用し、単一電子を制御することにより電子の粒子性を極限まで利用するナノスケールの量子ドットが注目されている。   With the recent development of semiconductor microfabrication technology, a semiconductor element having a fine structure up to a size at which a quantum mechanical effect appears noticeably has been realized (for example, see Non-Patent Document 1). As semiconductor elements utilizing this quantum mechanical effect, for example, HBT (Hetero-junction Bipolar Transistor) and quantum well lasers have been put into practical use. In addition, nanoscale quantum dots that utilize the particle properties of electrons by controlling single electrons using quantum mechanical effects are attracting attention.

量子ドットは、上述した半導体微細加工技術を用いることにより、励起子に三次元的な量子閉じ込めを与えるほど微細なポテンシャルの箱を形成したものである。この励起子の閉じ込め系を利用した近接場相互作用により、量子ドット内のキャリアのエネルギー準位が離散的になり、状態密度がデルタ関数的に尖鋭化する。この量子ドットにおける尖鋭化した状態間における光の吸収を利用する単一電子メモリや、量子ドットを出入りする単一電子をON/OFF動作させる単一電子トランジスタが既に研究されており、単一電子のナノスケール操作が実現化されつつある。   Quantum dots are formed by using the above-described semiconductor microfabrication technology to form a box with a potential that is so fine that it gives three-dimensional quantum confinement to excitons. By the near-field interaction using the exciton confinement system, the energy level of the carriers in the quantum dot becomes discrete, and the state density is sharpened in a delta function. Single-electron memories that use light absorption between the sharpened states of this quantum dot and single-electron transistors that turn on / off single electrons that enter and exit the quantum dot have already been studied. Nanoscale manipulation is being realized.

M.Ohtsu, K.Kobayashi, T.Kawazoe, S.Sangu, T.Yatsui, IEEE J.Sel.Top.Quant.Electron., to be publishedM.Ohtsu, K.Kobayashi, T.Kawazoe, S.Sangu, T.Yatsui, IEEE J.Sel.Top.Quant.Electron., To be published

しかしながら、量子ドット等を用いるナノ光デバイスの空間分解能を向上させる必要がある。   However, it is necessary to improve the spatial resolution of nano-optical devices that use quantum dots or the like.

そこで本発明は上述した問題点に鑑みて提案されたものであり、ナノスケールの領域まで高効率に近接場を集光させることができる近接場集光器を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a near-field concentrator capable of condensing a near-field with high efficiency up to a nanoscale region.

本発明に係る近接場集光器は、上述した課題を解決するために、導電性の結晶により構成される基板と、光を照射する光照射手段と、基板上に形成され、上記光照射手段から照射される光の波長に応じて励起子が励起される第1のエネルギー準位を有する第1の量子ドットと、基板上に第1の量子ドットより大体積で形成され、第1のエネルギー準位との共鳴に応じて第1の量子ドットから基板を介して励起子が注入される第2のエネルギー準位と、当該第2のエネルギー準位より低準位であり励起子が遷移される第3のエネルギー準位を有し、第3のエネルギー準位と基底準位との間に形成された反転分布に基づいて光を放出する第2の量子ドットとを備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a near-field concentrator according to the present invention is formed on a substrate formed of a conductive crystal, a light irradiation unit that emits light, and the light irradiation unit. A first quantum dot having a first energy level in which excitons are excited in accordance with the wavelength of light emitted from the substrate, and a first energy formed on the substrate in a volume larger than that of the first quantum dot. A second energy level in which excitons are injected from the first quantum dot through the substrate according to resonance with the level, and a level that is lower than the second energy level and the excitons are transitioned. And a second quantum dot that emits light based on an inversion distribution formed between the third energy level and the ground level. .

この近接場光集光器は、導電性の結晶により構成される基板上に、大きさの異なる第1の量子ドット及び第2の量子ドットを形成して状態密度関数が互いに等しくなる量子準位間で共鳴効果を起こさせ、照射光学系から照射される光の波長に応じて第1の量子ドット内で励起された励起子を第2の量子ドットの量子準位へ注入させる。そして励起子を注入させることにより第2の量子ドットの量子準位間に生成される反転分布に応じて光を放出する。   This near-field light concentrator forms quantum levels in which the first quantum dots and the second quantum dots having different sizes are formed on a substrate made of a conductive crystal and the state density functions are equal to each other. A resonance effect is caused between them, and excitons excited in the first quantum dot are injected into the quantum level of the second quantum dot in accordance with the wavelength of light emitted from the irradiation optical system. Then, by injecting excitons, light is emitted according to the inversion distribution generated between the quantum levels of the second quantum dots.

本発明を適用した近接場集光器は、導電性の結晶により構成される基板上に、大きさの異なる第1の量子ドット及び第2の量子ドットを形成して状態密度関数が互いに等しくなる量子準位間で共鳴効果を起こさせ、照射光学系から照射される光の波長に応じて第1の量子ドット内で励起された励起子を第2の量子ドットの量子準位へ注入させる。そして励起子を注入させることにより第2の量子ドットの量子準位間に生成される反転分布に応じて光を放出する。   The near-field concentrator to which the present invention is applied forms first quantum dots and second quantum dots having different sizes on a substrate formed of a conductive crystal, and the state density functions are equal to each other. A resonance effect is caused between the quantum levels, and excitons excited in the first quantum dot are injected into the quantum level of the second quantum dot according to the wavelength of light emitted from the irradiation optical system. Then, by injecting excitons, light is emitted according to the inversion distribution generated between the quantum levels of the second quantum dots.

これにより、本発明を適用した近接場集光器は、ナノスケールの領域において高効率に近接場集光させることができ、ひいては量子ドットから構成される近接場ナノ光デバイスの空間分解能を向上させることも可能となる。   As a result, the near-field concentrator to which the present invention is applied can perform near-field condensing with high efficiency in the nanoscale region, and thus improve the spatial resolution of the near-field nano-optical device composed of quantum dots. It is also possible.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

先ず、本発明を適用した量子ドットによる伝送路1について説明をする。伝送路1は、例えば図1に示すように、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板11と、基板11の表面上において形成されている第1の量子ドット12並びに当該第1の量子ドット12の近傍において形成されている第2の量子ドット13からなる量子ドットグループ10を備えている。 First, a transmission line 1 using quantum dots to which the present invention is applied will be described. For example, as shown in FIG. 1, the transmission line 1 includes a substrate 11 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, a first quantum dot 12 formed on the surface of the substrate 11, and A quantum dot group 10 composed of second quantum dots 13 formed in the vicinity of the first quantum dots 12 is provided.

量子ドットグループ10を構成する各量子ドット12、13は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。またこの各量子ドット12、13は、CuCl、GaN又はZnO等の材料系からなり、各量子ドット12、13を構成する材料系がCuClである場合に、これらは立方体として構成され、また各量子ドット12、13を構成する材料系がGaNやZnOである場合に、これらは球形或いは円盤形として構成される。   Each quantum dot 12 and 13 which constitutes quantum dot group 10 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons three-dimensionally. The quantum dots 12 and 13 are made of a material system such as CuCl, GaN, or ZnO. When the material system constituting the quantum dots 12 and 13 is CuCl, these quantum dots 12 and 13 are configured as cubes. When the material system constituting the dots 12 and 13 is GaN or ZnO, these are configured as a sphere or a disk.

この各量子ドット12,13において、構成される材料系がCuClの場合には、第1の量子ドット12の辺長が約4.6nmであり、また第2の量子ドット13の辺長が約6.3nmである。また構成される材料系がGaN又はZnOの場合には、第1の量子ドット12の半径は約7.0nmであり、また第2の量子ドット13の半径は約10.0nmである。すなわち、第2の量子ドット13は、第1の量子ドット12よりも大体積で構成され、第1の量子ドット12と第2の量子ドット13の辺長(半径)の比は、およそ1:√2で表される。また、第1の量子ドット12は、後述する共鳴効果を効率よく発揮させるべく、通常、第2の量子ドット13を中心として半径30nm以内の領域に形成されている。また第1の量子ドット12には、図示しない光照射系より光が照射される。   In each of the quantum dots 12 and 13, when the material system configured is CuCl, the side length of the first quantum dot 12 is about 4.6 nm, and the side length of the second quantum dot 13 is about It is 6.3 nm. When the material system is GaN or ZnO, the radius of the first quantum dot 12 is about 7.0 nm, and the radius of the second quantum dot 13 is about 10.0 nm. That is, the second quantum dot 13 has a larger volume than the first quantum dot 12, and the ratio of the side length (radius) of the first quantum dot 12 to the second quantum dot 13 is approximately 1: √2 In addition, the first quantum dots 12 are usually formed in a region having a radius of 30 nm or less with the second quantum dots 13 as the center in order to efficiently exhibit the resonance effect described later. The first quantum dots 12 are irradiated with light from a light irradiation system (not shown).

ちなみに構成される材料系がGaNやZnOの場合に、各量子ドット12、13における半径(r)と、基板11から突出する量子ドット12、13の厚み(h)との比は、以下の式により表される。
r:h=2〜5:1
図2は、各量子ドット12、13を構成する材料系がCuClである場合のエネルギバンド図を示している。各量子ドット12、13における量子閉じ込め準位E(n,n,n)は、以下の式(1)により定義される。
Incidentally, when the material system configured is GaN or ZnO, the ratio between the radius (r) in each quantum dot 12 and 13 and the thickness (h) of the quantum dot 12 and 13 protruding from the substrate 11 is expressed by the following equation: It is represented by
r: h = 2 to 5: 1
FIG. 2 shows an energy band diagram in the case where the material system constituting each of the quantum dots 12 and 13 is CuCl. The quantum confinement level E ( nx , ny , nz ) in each quantum dot 12 and 13 is defined by the following formula | equation (1).

Figure 0004473241
Figure 0004473241

この式(1)に基づき、各量子ドット12、13のE(n,n,n)を計算する。このとき、第1の量子ドット12と第2の量子ドット13の辺長比は、およそ1:√2であるため、第1の量子ドット12における量子準位が(1,1,1)であるときのE(111)と、第2の量子ドット13における量子準位が(2,1,1)であるときのE(211)とが等しくなる。すなわち、第1の量子ドット12の量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)は、励起子の励起エネルギー準位が共鳴する関係にある。実際これらの間で共鳴を起こさせるために、第1の量子ドット12における量子準位(1,1,1)に対応する波長をもつ光を、図示しない照射系を介して第1の量子ドット12へ照射する。 Based on this equation (1), E ( nx , ny , nz ) of each quantum dot 12, 13 is calculated. At this time, the side length ratio between the first quantum dot 12 and the second quantum dot 13 is approximately 1: √2, so that the quantum level in the first quantum dot 12 is (1, 1, 1). E (111) at a certain time is equal to E (211) when the quantum level in the second quantum dot 13 is (2, 1, 1). That is, the excitation level of the exciton resonates between the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 12 and the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 13. There is a relationship. Actually, in order to cause resonance between them, light having a wavelength corresponding to the quantum level (1, 1, 1) in the first quantum dot 12 is transmitted through the irradiation system (not shown) to the first quantum dot. 12 is irradiated.

かかる共鳴が生じる場合おいて、第1の量子ドット12の量子準位(1,1,1)に存在する励起子が、第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)へ移動し、また第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)に存在する励起子が、第1の量子ドット12の量子準位(1,1,1)へ移動するが、前者の方が移動速度が速いため、見かけ上第1の量子ドット12から第2の量子ドット13へ励起子が移動することになる。そして、この第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)へ移動した励起子は、当該第2の量子ドット13の量子準位(1,1,1)へ遷移する。   When such resonance occurs, excitons existing at the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 12 move to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 13. The excitons that have moved and exist at the quantum level (2,1,1) of the second quantum dot 13 move to the quantum level (1,1,1) of the first quantum dot 12, Since the former has a higher moving speed, the excitons apparently move from the first quantum dot 12 to the second quantum dot 13. The exciton that has moved to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 13 transitions to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 13.

すなわちこの光伝送路1は、辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット12、13を基板11上に設けることにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。換言すれば、量子ドット間で励起子を伝送することができる。従って図3の如く互いに大きさの異なる3つ以上の量子ドットを基板11上に形成してゆくことにより、伝送路の長さを変えて構成することも可能である。   That is, this optical transmission line 1 can create quantum levels with substantially equal density of states by providing the quantum dots 12 and 13 on the substrate 11 with side length ratios of 1: √2 respectively. By causing a resonance effect between them, excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 13. In other words, excitons can be transmitted between quantum dots. Therefore, it is possible to change the length of the transmission path by forming three or more quantum dots having different sizes on the substrate 11 as shown in FIG.

次に各量子ドット12,13の作製方法について説明をする。各量子ドット12、13は、例えば材料系としてCuClを採用する場合において、以下に説明するブリッジマン法を用いることにより作製することができる。このブリッジマン法において、先ずCuClの粉末と、NaClの粉末を混合して約800℃の温度で融解する。次に、上下方向に温度勾配が施された炉内へ上記融解した混合粉末をつり下げ、数mm/hの速度で炉内を上下移動させることにより、混合粉末内部に温度勾配を作り出して序々に結晶化させてゆく。そして約200℃程度の温度で数分から数10分間熱処理をすると、CuClの量子ドット12、13を包含したNaCl結晶を作製することができる。ちなみに、このブリッジマン法では、熱処理温度や熱処理時間を変えることにより、生成する量子ドット12、13のサイズを自在に制御することもできる。具体的には、熱処理の温度を400℃に設定することにより、量子ドット12、13のサイズを大きく制御することができ、一方熱処理の温度を120℃に設定することにより、量子ドット12、13のサイズをより小さく制御することができる。   Next, a manufacturing method of each quantum dot 12 and 13 will be described. Each quantum dot 12 and 13 can be manufactured by using the Bridgman method described below, for example, when using CuCl as a material system. In this Bridgman method, CuCl powder and NaCl powder are first mixed and melted at a temperature of about 800 ° C. Next, the molten powder mixture is suspended in a furnace having a temperature gradient in the vertical direction, and moved up and down in the furnace at a speed of several mm / h, thereby creating a temperature gradient in the mixed powder gradually. To crystallize. When heat treatment is performed at a temperature of about 200 ° C. for several minutes to several tens of minutes, a NaCl crystal including CuCl quantum dots 12 and 13 can be produced. Incidentally, in this Bridgman method, the size of the generated quantum dots 12 and 13 can be freely controlled by changing the heat treatment temperature and the heat treatment time. Specifically, the size of the quantum dots 12 and 13 can be largely controlled by setting the temperature of the heat treatment to 400 ° C., while the quantum dots 12 and 13 can be controlled by setting the temperature of the heat treatment to 120 ° C. Can be controlled to be smaller.

一方、各量子ドット12、13は、例えば材料系としてGaNやZnOを用いる場合において、例えば図4に示すように分子エピタキシー(MBE)成長法により作製することができる。このMBE成長法は、図4に示す酸化物ドット形成工程において、原子間力顕微鏡(AFM)の探針を基板11にに接近させて電圧を印加させる。これにより大気中に含まれている水分が、探針の居所電場に基づきHと、OHに分解し、さらにこのOHが探針直下の基板11上において酸化物ドット31が形成される。ちなみに、この酸化物ドット31は、AFMによる電圧印加時間と、酸化時間により自在に制御することができる。次にエッチング工程において、上記作成した酸化物ドット31をエッチング液又は超音波洗浄により除去し、基板に凹部32を形成させる。最後にMBE形成工程において、Stranski−Krastanov(S−K)モードを用いて、上述した凹部32へ量子ドットを成長させる。ちなみに、MBE形成工程において、このS−Kモードによる成長時間を制御することにより、凹部32のみに対して精度よく量子ドットを成長させることが可能となる。 On the other hand, when each of the quantum dots 12 and 13 uses, for example, GaN or ZnO as a material system, it can be produced by a molecular epitaxy (MBE) growth method, for example, as shown in FIG. In this MBE growth method, in the oxide dot formation step shown in FIG. 4, an atomic force microscope (AFM) probe is brought close to the substrate 11 to apply a voltage. Moisture contained in the atmosphere is a result, the H +, based on the residence electric field of the probe, OH - decomposed into, the OH further - the oxide dots 31 are formed on the substrate 11 immediately below the probe . Incidentally, the oxide dots 31 can be freely controlled by the voltage application time by AFM and the oxidation time. Next, in the etching step, the created oxide dots 31 are removed by an etching solution or ultrasonic cleaning to form the recesses 32 in the substrate. Finally, in the MBE formation step, quantum dots are grown in the recesses 32 described above using the Stranski-Krastanov (SK) mode. By the way, in the MBE formation process, it is possible to grow quantum dots with high precision only on the recesses 32 by controlling the growth time in the SK mode.

次に、本発明を適用した光増幅器2について説明をする。   Next, the optical amplifier 2 to which the present invention is applied will be described.

光増幅器2は、図5に示すように、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板21と、基板21の表面上において形成されている1つの第2の量子ドット23並びに当該第2の量子ドット23の周囲において離散的に形成されている1つ以上の第1の量子ドット22からなる量子ドットグループ20と、光を入出射するための突出部142を有し、当該突出部142が第2の量子ドット23の近傍に位置するように配設されている光プローブ24と、第2の量子ドット近傍と基板21の側面とを連結するように基板21内に埋設されている出力側導波路25とを備えている。 As shown in FIG. 5, the optical amplifier 2 includes a substrate 21 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, and one second quantum dot 23 formed on the surface of the substrate 21. And a quantum dot group 20 composed of one or more first quantum dots 22 discretely formed around the second quantum dot 23, and a protrusion 142 for entering and exiting light, Embedded in the substrate 21 so as to connect the optical probe 24 disposed so that the protrusion 142 is located in the vicinity of the second quantum dot 23 and the vicinity of the second quantum dot and the side surface of the substrate 21. The output side waveguide 25 is provided.

光プローブ24は、図5に示すように光導波部141と、突出部142と備える。光導波部141は、コア160の周囲にクラッド161が設けられた光ファイバより構成される。コア160及びクラッド161は、それぞれSiO系ガラスからなり、F、GeO、B等を添加することにより、コア160よりもクラッド161の屈折率が低くなるように組織制御されている。突出部142は、光導波部141の一端においてクラッド161から突出させたコア160を先鋭化させることにより構成される。 As shown in FIG. 5, the optical probe 24 includes an optical waveguide portion 141 and a protruding portion 142. The optical waveguide 141 is configured by an optical fiber in which a clad 161 is provided around the core 160. The core 160 and the clad 161 are each made of SiO 2 glass, and the structure is controlled so that the refractive index of the clad 161 is lower than that of the core 160 by adding F, GeO 2 , B 2 O 3 or the like. . The protrusion 142 is configured by sharpening the core 160 that protrudes from the clad 161 at one end of the optical waveguide 141.

このような構成からなる光プローブ24は、図示しない外部光源から光導波部141を介して光が供給される。この光プローブ24は、突出部142を介して第2の量子ドット23へ、最小で約10ナノメータのスケールで光を入力することができる。   The optical probe 24 having such a configuration is supplied with light via an optical waveguide 141 from an external light source (not shown). The optical probe 24 can input light to the second quantum dot 23 through the protrusion 142 at a scale of about 10 nanometers at the minimum.

出力側導波路25は、第2の量子ドット23から供給される光を伝播して、出力側光ファイバ26へ供給するための導波路である。この出力側導波路25は、例えばAlやAu等の細線を利用した金属導波路で構成し、伝播する光をプラズモンとして伝搬してもよい。かかる金属導波路として構成した出力側導波路25は、例えば近接場光CVD等により基板21上に作製される。   The output-side waveguide 25 is a waveguide for propagating light supplied from the second quantum dots 23 and supplying the light to the output-side optical fiber 26. The output-side waveguide 25 may be configured by a metal waveguide using a thin wire such as Al or Au, and may propagate propagating light as plasmons. The output-side waveguide 25 configured as such a metal waveguide is manufactured on the substrate 21 by, for example, near-field light CVD.

ちなみに、この出力側導波路25は、図示しない光結合用量子ドットに代替してもよい。この光結合用量子ドットは、第2の量子ドット23から出力側光ファイバ26へ長手方向に配列させた量子ドットであり、出力側光ファイバ26へ近づくにつれて、量子ドットのサイズを序々に拡大することにより、後述する共鳴効果に基づき光を伝播させてゆく。また、上述した光プローブ24の代替として、この出力側導波路25と同一の構成からなる図示しない入力側導波路を第2の量子ドット23近傍に設けてもよい。これにより、外部光源から光ファイバを介して当該入力側導波路へ光を供給することが可能となり、光プローブ24を用いることなく、第2の量子ドット23へ容易に光入力することができる。   Incidentally, the output-side waveguide 25 may be replaced with an optical coupling quantum dot (not shown). This quantum dot for optical coupling is a quantum dot arranged in the longitudinal direction from the second quantum dot 23 to the output-side optical fiber 26, and gradually increases the size of the quantum dot as it approaches the output-side optical fiber 26. Thus, light is propagated based on the resonance effect described later. As an alternative to the optical probe 24 described above, an input side waveguide (not shown) having the same configuration as that of the output side waveguide 25 may be provided in the vicinity of the second quantum dot 23. As a result, light can be supplied from the external light source to the input-side waveguide via the optical fiber, and light can be easily input to the second quantum dots 23 without using the optical probe 24.

量子ドットグループ20を構成する各量子ドット22、23は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。またこの各量子ドット22、23は、CuCl、GaN又はZnO等の材料系からなり、各量子ドット22、23を構成する材料系がCuClである場合に、これらは立方体として構成され、また各量子ドット22、23を構成する材料系がGaNやZnOである場合に、これらは球形或いは円盤形として構成される。なお、この各量子ドット22、23の形状の詳細については、それぞれ量子ドット12、13の記載を引用し、説明を省略する。   Each quantum dot 22 and 23 constituting the quantum dot group 20 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons three-dimensionally. Each of the quantum dots 22 and 23 is made of a material system such as CuCl, GaN, or ZnO. When the material system that constitutes each quantum dot 22 or 23 is CuCl, these are configured as a cube. When the material system constituting the dots 22 and 23 is GaN or ZnO, these are configured as a sphere or a disk. In addition, about the detail of the shape of each quantum dot 22 and 23, description of quantum dot 12 and 13 is quoted, respectively, and description is abbreviate | omitted.

このような構成からなる光増幅器2において、上述した共鳴が生じると、図6に示すように第1の量子ドット22の量子準位(1,1,1)に存在する励起子が、第2の量子ドット23の量子準位(2,1,1)へ見かけ上移動する。すなわちこの光増幅器2は、辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット22、23を基板21上に設けることにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット23の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。この注入された励起子は、図6に示すように第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)へ遷移する。これにより、第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット23の基底準位よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生成することができる。   When the above-described resonance occurs in the optical amplifier 2 having such a configuration, the excitons existing at the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 22 are second as shown in FIG. It apparently moves to the quantum level (2, 1, 1) of the quantum dot 23. In other words, this optical amplifier 2 can create quantum levels with substantially equal density of states by providing the quantum dots 22 and 23 on the substrate 21 with side length ratios of 1: √2 respectively. Excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 23 by causing a resonance effect between the two. The injected excitons transition to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23 as shown in FIG. Thereby, the density of excitons in the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23 can be made higher than the ground level of the second quantum dot 23, and these two quantum levels can be increased. Inversion distributions can be generated between them.

ちなみに上述した量子ドット22、23間の共鳴効果は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位による近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができる。また、第2の量子ドット23における2つの量子準位間で遷移確率を向上させることができるため、さらに高効率に光増幅を行うことができる。なおこの共鳴効果は、電子による共鳴トンネル効果も含まれる。   Incidentally, the resonance effect between the quantum dots 22 and 23 described above is based on the near-field interaction due to discrete energy levels formed by confining the excitons in three dimensions. The strength can be further increased. In addition, since the transition probability between the two quantum levels in the second quantum dot 23 can be improved, optical amplification can be performed with higher efficiency. This resonance effect includes a resonance tunnel effect caused by electrons.

この光増幅器2における各量子ドット22,23の作製方法は、量子ドット12,13の作製方法の記載を引用し、説明を省略する。   For the method of manufacturing the quantum dots 22 and 23 in the optical amplifier 2, the description of the method of manufacturing the quantum dots 12 and 13 is cited, and the description thereof is omitted.

次に、本発明を適用した光増幅器2の動作について説明をする。   Next, the operation of the optical amplifier 2 to which the present invention is applied will be described.

先ず光プローブ24を構成する突出部142から、第2の量子ドット23へ、光が供給される。この光が供給される第2の量子ドット23には、周囲に分布している第1の量子ドット22から既に励起子が注入されているため、上述した2つの量子準位間において既に反転分布が形成されている。このため第2の量子ドット23において、量子準位(1,1,1)に存在している励起子(電子)が基底準位へ誘導放出遷移する。すなわち第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)に共鳴する光が光プローブ24から供給されると、これら光は反転分布に応じて放出される光により増幅されることになる。第2の量子ドット23により増幅された光は、出力側導波路25へ供給され、さらには出力側光ファイバ26を介して外部へ伝搬される。   First, light is supplied to the second quantum dot 23 from the protruding portion 142 constituting the optical probe 24. Since the excitons have already been injected into the second quantum dots 23 supplied with the light from the first quantum dots 22 distributed in the periphery, the inversion distribution has already occurred between the two quantum levels described above. Is formed. For this reason, in the second quantum dot 23, excitons (electrons) existing in the quantum level (1, 1, 1) undergo a stimulated emission transition to the ground level. That is, when light that resonates with the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23 is supplied from the optical probe 24, the light is amplified by the light emitted according to the inversion distribution. Become. The light amplified by the second quantum dots 23 is supplied to the output-side waveguide 25 and further propagated to the outside through the output-side optical fiber 26.

以上説明したように、本発明を適用した光増幅器2は、大きさの異なる各量子ドット22、23を基板21上に設けることにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット23の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができ、これらが第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)へ遷移するため、第2の量子ドット23における量子準位(1,1,1)と基底準位との間で反転分布を形成させることができる。これにより第2の量子ドット23に注入されるナノスケールの光により、量子準位(1,1,1)から基底準位へ誘導放出遷移させて光を増幅させることができる。   As described above, the optical amplifier 2 to which the present invention is applied can create quantum levels in which the state density functions are approximately equal by providing the quantum dots 22 and 23 having different sizes on the substrate 21. By causing a resonance effect between them, excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 23, and these are the quantum of the second quantum dot 23. Since the transition is made to the level (1, 1, 1), an inversion distribution can be formed between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level in the second quantum dot 23. As a result, the nanoscale light injected into the second quantum dots 23 can be subjected to stimulated emission transition from the quantum level (1, 1, 1) to the ground level to amplify the light.

特に2つの量子準位間で生成される反転分布は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位から生じる近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができ、高効率に光増幅を行うことが可能となり、ひいては単一電子レベルで且つナノスケールで光通信可能な光通信システムの実現化を促進することができる。   In particular, the inversion distribution generated between two quantum levels is based on near-field interactions arising from discrete energy levels formed by confining excitons in three dimensions. The strength of the vibrator can be further increased, and optical amplification can be performed with high efficiency. As a result, it is possible to promote the realization of an optical communication system capable of optical communication at the single electron level and at the nanoscale.

本発明を適用した光増幅器2は、形成される第1の量子ドット22の数を調節することにより、増幅される光強度を自在に制御することができる。第1の量子ドット22の数を増やすことにより、第2の量子ドット23へ注入される励起子数を増加させ、誘導放出される光を増加させることができるからである。   The optical amplifier 2 to which the present invention is applied can freely control the amplified light intensity by adjusting the number of first quantum dots 22 formed. This is because by increasing the number of first quantum dots 22, the number of excitons injected into the second quantum dot 23 can be increased, and the stimulated emission can be increased.

なお、本発明に係る光増幅器2は上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば第1の量子ドット22は、環状に形成されている場合に限定されるものではなく、第2の量子ドット23近傍においてライン状或いは曲線状に形成されてもよいことは勿論である。   The optical amplifier 2 according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the first quantum dots 22 are not limited to being formed in an annular shape, and may of course be formed in a line shape or a curved shape in the vicinity of the second quantum dots 23.

また本発明は、例えば複数の量子ドットグループにより、伝播される光を増幅する光増幅器3に適用してもよい。   Further, the present invention may be applied to the optical amplifier 3 that amplifies the propagated light by, for example, a plurality of quantum dot groups.

図7は、光増幅器3の構成を示している。光増幅器3は、導電性の結晶からなる基板21と、基板21の表面上において形成されている1つの第2の量子ドット23並びに当該第2の量子ドット23の周囲において離散的に形成されている第1の量子ドット22からなる複数の量子ドットグループ40とを備えている。なお、この光増幅器3において、光増幅器1と同一の構成には、同一の番号を付して説明を省略する。   FIG. 7 shows the configuration of the optical amplifier 3. The optical amplifier 3 is discretely formed around a substrate 21 made of a conductive crystal, one second quantum dot 23 formed on the surface of the substrate 21, and the periphery of the second quantum dot 23. And a plurality of quantum dot groups 40 including the first quantum dots 22. In this optical amplifier 3, the same components as those of the optical amplifier 1 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

量子ドットグループ40は、基板21上においてランダムに複数形成されている。各量子ドットグループ40は、それぞれ第2の量子ドット23を介して伝播する光を増幅し、これを出力する。   A plurality of quantum dot groups 40 are randomly formed on the substrate 21. Each quantum dot group 40 amplifies the light propagating through the second quantum dot 23 and outputs it.

ちなみにこの量子ドットグループ40における光増幅方法は、光増幅器1における量子ドットグループ20と同様である。すなわちこの量子ドットグループ40は、形成された第2の量子ドット23の各量子準位(2,1,1)へ、第1の量子ドット22を介して励起子を注入させる。次に量子ドットグループ40は、第2の量子ドット23において量子準位(1,1,1)と、基底準位との間で反転分布を生じさせる。そして第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)における励起子の基底準位への誘導放出遷移に基づき、第2の量子ドット23毎に入力された光を増幅させることができる。   Incidentally, the optical amplification method in the quantum dot group 40 is the same as that in the quantum dot group 20 in the optical amplifier 1. That is, the quantum dot group 40 injects excitons through the first quantum dots 22 into the respective quantum levels (2, 1, 1) of the formed second quantum dots 23. Next, the quantum dot group 40 causes an inversion distribution between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level in the second quantum dot 23. Based on the stimulated emission transition of excitons to the ground level at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23, the light input to each second quantum dot 23 can be amplified. it can.

この量子ドットグループ40が形成された基板上には、図示しない入力側光ファイバより光が供給される。またこの量子ドットグループ40により増幅された光は、図示しない出力側光ファイバへ供給されて外部へ伝搬される。   Light is supplied to the substrate on which the quantum dot group 40 is formed from an input side optical fiber (not shown). The light amplified by the quantum dot group 40 is supplied to an output side optical fiber (not shown) and propagated to the outside.

次に、本発明を適用した光増幅器3の動作について説明をする。   Next, the operation of the optical amplifier 3 to which the present invention is applied will be described.

先ず、入力側光ファイバから基板21の表面へ光が供給される。この供給された光は、基板21上を図7に示す伝搬方向へ伝搬し、各量子ドットグループ40における第2の量子ドット23へ供給される。この光が供給される第2の量子ドット23には、周囲に点在している第1の量子ドット22から既に励起子が注入されているため、上述した2つの準位間において既に反転分布が形成されている。このため第2の量子ドット23において、量子準位(1,1,1)に存在している励起子(電子)が基底準位へ誘導放出遷移する。すなわち第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)に共鳴する光が基板21表面より供給されると、これらは反転分布に応じて増幅されることになる。   First, light is supplied from the input side optical fiber to the surface of the substrate 21. The supplied light propagates on the substrate 21 in the propagation direction shown in FIG. 7 and is supplied to the second quantum dots 23 in each quantum dot group 40. Since excitons have already been injected into the second quantum dots 23 to which this light is supplied from the first quantum dots 22 scattered around, the inversion distribution has already been established between the two levels described above. Is formed. For this reason, in the second quantum dot 23, excitons (electrons) existing in the quantum level (1, 1, 1) undergo a stimulated emission transition to the ground level. That is, when light that resonates with the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23 is supplied from the surface of the substrate 21, these are amplified according to the inversion distribution.

増幅された光は第2の量子ドットを出射して、再び基板21上を図7に示す伝搬方向へ伝搬し他の量子ドットグループ40における第2の量子ドット23へ供給され、再度増幅される。このように複数回に渡って増幅された基板21上の光は、出力側光ファイバに集光されて外部へ供給される。   The amplified light exits the second quantum dot, propagates again on the substrate 21 in the propagation direction shown in FIG. 7, is supplied to the second quantum dot 23 in the other quantum dot group 40, and is amplified again. . The light on the substrate 21 thus amplified a plurality of times is condensed on the output side optical fiber and supplied to the outside.

以上詳細に説明したように、本発明を適用した光増幅器3は、複数の量子ドットグループ40により、伝播される光を複数回にわたり増幅させることができるため、光強度を格段に向上させることができる。また基板21上に形成する量子ドットグループ40の数や配置を変えることにより、増幅する光強度を自在に設定することも可能となる。   As described above in detail, the optical amplifier 3 to which the present invention is applied can amplify the propagated light a plurality of times by the plurality of quantum dot groups 40, so that the light intensity can be remarkably improved. it can. Further, by changing the number and arrangement of the quantum dot groups 40 formed on the substrate 21, it is possible to freely set the light intensity to be amplified.

また本発明を適用した光増幅器3では、量子ドット22、23を活用し、離散的なエネルギー準位から生じる近接場相互作用に基づいて、2つの量子準位間において反転分布を形成することができる。これにより、励起子の振動子強度をより高めることができるため、さらに高効率に光増幅を行うことができる。   Further, in the optical amplifier 3 to which the present invention is applied, the quantum dots 22 and 23 can be used to form an inversion distribution between the two quantum levels based on the near-field interaction generated from the discrete energy levels. it can. Thereby, since the vibrator strength of the exciton can be further increased, optical amplification can be performed with higher efficiency.

次に、本発明を適用した光発振器9について説明をする。   Next, the optical oscillator 9 to which the present invention is applied will be described.

図8(a)は、光発振器9の構成を示している。光発振器9は、導電性の結晶からなる基板21と、基板21の表面上において第1の量子ドット22を長手方向に2列に配列させた第1の量子ドットライン91と、基板21の表面において上記2列に配列された第1の量子ドットライン91の間に第2の量子ドット23を長手方向に配列させた第2の量子ドットライン92と、第2の量子ドットライン92の両端に位置する反射膜93とを備えている。なお、この光発振器9において、光増幅器2と同一の構成には、同一の番号を付して説明を省略する。   FIG. 8A shows the configuration of the optical oscillator 9. The optical oscillator 9 includes a substrate 21 made of a conductive crystal, a first quantum dot line 91 in which first quantum dots 22 are arranged in two rows in the longitudinal direction on the surface of the substrate 21, and a surface of the substrate 21. 2, the second quantum dot line 92 in which the second quantum dots 23 are arranged in the longitudinal direction between the first quantum dot lines 91 arranged in the two rows, and both ends of the second quantum dot line 92. And a reflective film 93 which is positioned. In this optical oscillator 9, the same components as those of the optical amplifier 2 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

第1の量子ドットライン91は、配列させた第1の量子ドット22における量子準位(1,1,1)を、第2の量子ドットライン92中の第2の量子ドット23における量子準位(2,1,1)と共鳴させる。そして第1の量子ドットライン91は、各第1の量子ドット22における量子準位(1,1,1)の励起子を、当該第2の量子ドット23の量子準位(2,1,1)へ注入する。ちなみにこの第1の量子ドットライン91には、第1の量子ドット22の量子準位(1,1,1)に対応する波長の光が図示しない照射系より照射される。   The first quantum dot line 91 has a quantum level (1, 1, 1) in the arranged first quantum dots 22 and a quantum level in the second quantum dots 23 in the second quantum dot line 92. Resonate with (2,1,1). The first quantum dot line 91 transmits the exciton of the quantum level (1, 1, 1) in each first quantum dot 22 to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 23. ). Incidentally, the first quantum dot line 91 is irradiated with light having a wavelength corresponding to the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 22 from an irradiation system (not shown).

第2の量子ドットライン92は、励起子が注入された第2の量子ドット23における量子準位(2,1,1)から、それぞれ第2の量子ドット23の量子準位(1,1,1)へ励起子を遷移させる。そして、当該第2の量子ドット23における量子準位(1,1,1)と、基底準位との間で反転分布を生じさせる。更にこの第2の量子ドットライン92は、量子準位(1,1,1)にある励起子を基底準位へ自然放出遷移させる。この第2の量子ドット23毎に放出された光は、第2の量子ドットライン92上を長手方向に伝搬する。   The second quantum dot line 92 starts from the quantum level (2, 1, 1) in the second quantum dot 23 into which excitons have been injected, and the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 23 respectively. Transition excitons to 1). Then, an inversion distribution is generated between the quantum level (1, 1, 1) in the second quantum dot 23 and the ground level. In addition, the second quantum dot line 92 causes the exciton at the quantum level (1, 1, 1) to undergo spontaneous emission transition to the ground level. The light emitted for each second quantum dot 23 propagates on the second quantum dot line 92 in the longitudinal direction.

反射膜93は、基板21の端面にそれぞれ形成されたいわゆる反射ミラーであり、第2の量子ドットライン92を伝搬する光を往復反射させることにより共振させる。この反射膜93間の距離は、伝搬する光の共振条件を満たすべく、上記伝搬する光の波長の整数倍になるように設定される。ちなみにこの反射膜93は、例えば100%に近い反射率を有する誘電体多層膜であり、屈折率が大小異なる薄膜を交互に重ねて蒸着することにより得られる。   The reflection film 93 is a so-called reflection mirror formed on each end face of the substrate 21, and resonates by reciprocally reflecting light propagating through the second quantum dot line 92. The distance between the reflection films 93 is set to be an integral multiple of the wavelength of the propagating light so as to satisfy the resonance condition of the propagating light. Incidentally, the reflecting film 93 is a dielectric multilayer film having a reflectance close to 100%, for example, and is obtained by alternately depositing thin films having different refractive indexes.

このような構成からなる光発振器9は、第2の量子ドット23内において形成された2つの量子準位間の反転分布に応じて光が放出され、この放出された光は、反転分布が形成された第2の量子ドットライン92中を往復することができる。これにより光強度は次第に増加してレーザ発振させることができる。   The optical oscillator 9 having such a configuration emits light according to an inversion distribution between two quantum levels formed in the second quantum dot 23, and the emitted light forms an inversion distribution. The second quantum dot line 92 can be reciprocated. As a result, the light intensity gradually increases and laser oscillation can be performed.

すなわち、本発明を適用した光発振器9は、量子ドット22、23を活用し、離散的なエネルギー準位から生じる近接場相互作用に基づいて、2つの量子準位間において反転分布を形成することができる。これにより、励起子の振動子強度をより高めることができるため、高効率に光発振を行うことができる。   In other words, the optical oscillator 9 to which the present invention is applied utilizes the quantum dots 22 and 23 to form an inversion distribution between the two quantum levels based on the near-field interaction generated from the discrete energy levels. Can do. Thereby, the oscillator strength of the exciton can be further increased, so that light oscillation can be performed with high efficiency.

この光発振器9における量子ドットライン91,92は、上述した形態に限定されるものではなく、例えば図8(b)に示すように第2の量子ドット23の周辺に離散的に第1の量子ドット22を形成してもよいことは勿論である。これにより、共鳴により第2の量子ドット23へ移動する励起子を増やすことができ、励起子の振動子強度をより高めることができるため、さらに高効率に光発振させることができる。   The quantum dot lines 91 and 92 in the optical oscillator 9 are not limited to the above-described form. For example, as shown in FIG. 8B, the first quantum dots are discretely formed around the second quantum dot 23. Of course, the dots 22 may be formed. Accordingly, the number of excitons that move to the second quantum dot 23 due to resonance can be increased, and the vibrator strength of the excitons can be further increased, so that light can be oscillated more efficiently.

次に本発明を適用した波長多重装置43並びに波長分離装置45について説明をする。   Next, the wavelength multiplexing device 43 and the wavelength separation device 45 to which the present invention is applied will be described.

図9は、本発明に係る波長多重装置43並びに波長分離装置45が適用される光通信システム4の構成を示している。この光通信システム4は、第1のナノ光デバイス42と、波長多重装置43と、光ファイバ44と、波長分離装置45と、第2のナノ光デバイス46とを備えている。   FIG. 9 shows a configuration of an optical communication system 4 to which the wavelength multiplexing device 43 and the wavelength separation device 45 according to the present invention are applied. The optical communication system 4 includes a first nano-optical device 42, a wavelength multiplexing device 43, an optical fiber 44, a wavelength separation device 45, and a second nano-optical device 46.

第1のナノ光デバイス42は、波長多重(WDM:Wavelength Division Multiplexing、DWDM:Dense Wavelength Division Multiplexing)通信方式の下、互いに波長の異なる光を多数生成し、当該生成した光を搬送波として位相変調をかけることにより光変調信号を作り出し、これらを波長多重装置43へ供給する。第1のナノ光デバイス42は、複数のデバイスユニットから構成され、各デバイスユニット毎に波長の異なる搬送波を生成してもよい。この第1のナノ光デバイス42は、量子ドットを用いることにより回折限界以下の寸法でも動作する素子であり、上述した光変調信号をナノスケールオーダーの領域を介して出射することができる。ちなみに量子ドットは、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御できる素子である。   The first nano-optical device 42 generates a lot of light having different wavelengths under a wavelength division multiplexing (WDM: Wavelength Division Multiplexing, DWDM) communication method, and performs phase modulation using the generated light as a carrier wave. By applying the light, optical modulation signals are generated and supplied to the wavelength multiplexer 43. The first nano-optical device 42 may be composed of a plurality of device units, and generate carrier waves having different wavelengths for each device unit. The first nano-optical device 42 is an element that operates even with dimensions below the diffraction limit by using quantum dots, and can emit the above-described light modulation signal through a nano-scale region. Incidentally, a quantum dot is an element that can control a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons in three dimensions.

波長多重装置43は、第1のナノ光デバイス42から供給される各光変調信号を多重化し、光ファイバ44へ送信する。光ファイバ44は、波長多重装置43及び波長分離装置45に接続され、波長多重装置43において多重化された各光変調信号を波長分離装置45へ伝送する。波長分離装置45は、光ファイバ44を介して伝送された光変調信号を波長毎にナノスケールで分離して第2のナノ光デバイス46へ供給する。なお、波長多重装置43並びに波長分離装置45の詳細については後述する。   The wavelength multiplexing device 43 multiplexes each optical modulation signal supplied from the first nano-optical device 42 and transmits it to the optical fiber 44. The optical fiber 44 is connected to the wavelength multiplexer 43 and the wavelength separator 45, and transmits each optical modulation signal multiplexed in the wavelength multiplexer 43 to the wavelength separator 45. The wavelength separation device 45 separates the optical modulation signal transmitted via the optical fiber 44 on a nano scale for each wavelength and supplies the signal to the second nano optical device 46. Details of the wavelength multiplexing device 43 and the wavelength separation device 45 will be described later.

第2のナノ光デバイス46は、量子ドットを用いることにより回折限界以下の寸法でも動作する素子である。この第2のナノ光デバイス46は、波長分離装置45よりナノスケールで波長分離されて供給される光変調信号を、光電変換して読み出す。ちなみに第2のナノ光デバイス46は、複数のデバイスユニットから構成され、各デバイスユニット毎に波長の異なる光変調信号を読み出してもよい。   The second nano-optical device 46 is an element that operates even with dimensions below the diffraction limit by using quantum dots. The second nano-optical device 46 photoelectrically converts and reads out the light modulation signal supplied after being wavelength-separated at the nanoscale by the wavelength separation device 45. Incidentally, the second nano-optical device 46 may be composed of a plurality of device units, and read optical modulation signals having different wavelengths for each device unit.

すなわちこの光通信システム4では、n波の異なる波長の光を多重することにより、各波長の伝送容量のn倍の伝送容量を得ることできる。   In other words, in this optical communication system 4, it is possible to obtain a transmission capacity n times as large as the transmission capacity of each wavelength by multiplexing lights of different wavelengths of n waves.

次に本発明を適用した波長多重装置43の具体的な構成について図10を用いて説明をする。波長多重装置43は、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板431と、基板431上において形成されている1つの第2の量子ドット434並びに当該第2の量子ドット434と対になるように離散的に形成されている1つ以上の第1の量子ドット433からなる量子ドットグループ432とを備えている。ちなみにこの量子ドットグループ432において、第2の量子ドット434は、光ファイバ44側に形成され、第1の量子ドット433は、第1のナノ光デバイス42側に形成される。 Next, a specific configuration of the wavelength multiplexing apparatus 43 to which the present invention is applied will be described with reference to FIG. The wavelength multiplexing device 43 includes, for example, a substrate 431 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, one second quantum dot 434 formed on the substrate 431, and the second quantum dot 434. And a quantum dot group 432 including one or more first quantum dots 433 that are discretely formed so as to be paired with each other. Incidentally, in this quantum dot group 432, the second quantum dot 434 is formed on the optical fiber 44 side, and the first quantum dot 433 is formed on the first nano-optical device 42 side.

また量子ドットグループ432は、第1のナノ光デバイス42から供給される搬送波の波長に応じて複数並設される。量子ドットグループ432aには、第1のナノ光デバイス42から供給される波長λaの搬送波が供給される。また量子ドットグループ432bには、第1のナノ光デバイス42から供給される波長λbの搬送波が供給される。さらに量子ドットグループ432cには、第1のナノ光デバイス42から供給される波長λcの搬送波が供給される。この量子ドットグループ432は、それぞれ供給された搬送波を、励起子を介して第1の量子ドット433から第2の量子ドット434へ伝搬させ、多重光生成領域435にて多重化し、光ファイバ44へ出射する。   A plurality of quantum dot groups 432 are arranged in parallel according to the wavelength of the carrier wave supplied from the first nano-optical device 42. A carrier wave having a wavelength λa supplied from the first nano-optical device 42 is supplied to the quantum dot group 432a. The quantum dot group 432b is supplied with a carrier wave having a wavelength λb supplied from the first nano-optical device 42. Further, a carrier wave having a wavelength λc supplied from the first nano-optical device 42 is supplied to the quantum dot group 432c. The quantum dot group 432 propagates the supplied carrier wave from the first quantum dot 433 to the second quantum dot 434 via excitons, multiplexes them in the multiplexed light generation region 435, and sends them to the optical fiber 44. Exit.

量子ドットグループ432を構成する各量子ドット433、434は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。またこの各量子ドット433、434は、CuCl、GaN又はZnO等の材料系からなり、各量子ドット433、434を構成する材料系がCuClである場合に、これらは立方体として構成され、また各量子ドット433、434を構成する材料系がGaNやZnOである場合に、これらは球形或いは円盤形として構成される。量子ドットグループ432は、通信帯域に対応させるべく、量子ドット433、434をInGaAs等の材料系で構成してもよい。   Each quantum dot 433 and 434 constituting the quantum dot group 432 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons three-dimensionally. The quantum dots 433 and 434 are made of a material system such as CuCl, GaN, or ZnO. When the material system that forms the quantum dots 433 and 434 is CuCl, the quantum dots 433 and 434 are configured as cubes. When the material system constituting the dots 433 and 434 is GaN or ZnO, these are configured as a sphere or a disk. In the quantum dot group 432, the quantum dots 433 and 434 may be made of a material system such as InGaAs so as to correspond to the communication band.

量子ドットグループ432を構成する各量子ドット433、434は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。またこの各量子ドット433、434は、CuCl、GaN又はZnO等の材料系からなる。なおこの各量子ドット433、434の形状の詳細については、それぞれ量子ドット12、13の記載を引用し、説明を省略する。   Each quantum dot 433 and 434 constituting the quantum dot group 432 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons three-dimensionally. The quantum dots 433 and 434 are made of a material system such as CuCl, GaN, or ZnO. In addition, about the detail of the shape of each quantum dot 433,434, description of the quantum dots 12 and 13 is quoted, respectively, and description is abbreviate | omitted.

すなわち、量子ドットグループ432は、各量子ドット433、434をナノスケールで構成することにより、第1のナノ光デバイス42から光変調信号をナノスケールの領域を介して受け取ることが可能となる。   That is, the quantum dot group 432 can receive the light modulation signal from the first nano-optical device 42 via the nano-scale region by configuring the quantum dots 433 and 434 on the nano-scale.

図11は、各量子ドット433、434を構成する材料系がCuClである場合のエネルギバンド図を示している。各量子ドット433、434におけるE(n,n,n)は、上述した式(1)により定義される。 FIG. 11 shows an energy band diagram in the case where the material system constituting each of the quantum dots 433 and 434 is CuCl. E (n x , n y , n z ) in each quantum dot 433, 434 is defined by the above-described equation (1).

この式(1)に基づき、各量子ドット43、434のE(n,n,n)を計算するとき、第1の量子ドット433と第2の量子ドット434の辺長比は、およそ1:√2であるため、第1の量子ドット433における量子準位が(1,1,1)であるときのE(111)と、第2の量子ドット434における量子準位が(2,1,1)であるときのE(211)とが等しくなる。すなわち、第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット434の量子準位(2,1,1)は、励起子のエネルギー準位が共鳴する関係にある。 When calculating E (n x , n y , n z ) of each quantum dot 43, 434 based on this equation (1), the side length ratio of the first quantum dot 433 and the second quantum dot 434 is Since it is approximately 1: √2, E 1 (111) when the quantum level in the first quantum dot 433 is (1, 1, 1) and the quantum level in the second quantum dot 434 are ( E 2 (211) when 2,1,1) is equal. That is, the relationship between the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 433 and the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 434 resonates with the energy level of the exciton. It is in.

かかる共鳴が生じる場合には、第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)に存在する励起子が、第2の量子ドット434の量子準位(2,1,1)へ見かけ上移動する。そして、この第2の量子ドット434の量子準位(2,1,1)へ移動した励起子は、さらに低準位である当該第2の量子ドット434の量子準位(1,1,1)へ遷移する。   When such resonance occurs, excitons existing at the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 433 move to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 434. Moves in appearance. Then, the exciton that has moved to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 434 has a lower quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 434. ).

また、第1の量子ドット433において、量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波を含む光変調信号を受光することにより、励起子を基底準位b1から量子準位(1,1,1)へ励起させることができる。この第1の量子ドット433は、量子準位(1,1,1)に励起された励起子を、上述の如く第2の量子ドット434における量子準位(2,1,1)へ順次注入させることができる。   In addition, the first quantum dot 433 receives an optical modulation signal including a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1, thereby causing excitons to be generated. The ground level b1 can be excited to the quantum level (1,1,1). The first quantum dot 433 sequentially injects excitons excited to the quantum level (1, 1, 1) into the quantum level (2, 1, 1) in the second quantum dot 434 as described above. Can be made.

すなわち、量子ドットグループ432は、第1の量子ドット433における量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップEg1に相当する波長の搬送波が入射された場合のみ、励起子を量子準位(1,1,1)へ励起させてこれを第2の量子ドット434へ移動させることができるが、他の波長の搬送波が入射されたときには励起子を量子準位(1,1,1)へ励起させることができない。このため、第1の量子ドット433における量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップ差を自在に設定することにより、第1の量子ドット433から第2の量子ドット434への励起子の移動について波長選択性をもたせることができる。これにより量子ドットグループ433は、単一の波長からなる搬送波を選択的に伝搬させることができる。   In other words, the quantum dot group 432 has excitons only when a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1 in the first quantum dot 433 is incident. Can be excited to the quantum level (1,1,1) and moved to the second quantum dot 434. However, when a carrier wave of another wavelength is incident, the exciton is moved to the quantum level (1,1). 1, 1) cannot be excited. For this reason, by setting the energy gap difference between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1 in the first quantum dot 433 freely, the first quantum dot 433 to the second quantum dot Wavelength selectivity can be provided for exciton migration to 434. Thereby, the quantum dot group 433 can selectively propagate a carrier wave having a single wavelength.

例えば量子ドットグループ432aは、エネルギーギャップEg1を、第1のナノ光デバイス42から供給される搬送波の波長λaに応じて設定する。これにより、波長λaの搬送波が供給された場合のみ上述の如く第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)へ励起子を励起させることができ、これを第2の量子ドット434へ移動させることができる。同様に、量子ドットグループ432bにおいて、エネルギーギャップEg1を供給される搬送波の波長λbに応じて設定し、さらに量子ドットグループ432cにおいて、エネルギーギャップEg1を供給される搬送波の波長λcに応じて設定することにより、それぞれのエネルギーギャップEg1に相当する波長の搬送波のみ励起子を励起させ、これを第2の量子ドットグループ434へ移動させることができる。   For example, the quantum dot group 432a sets the energy gap Eg1 according to the wavelength λa of the carrier wave supplied from the first nano-optical device 42. As a result, the exciton can be excited to the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 433 as described above only when the carrier wave having the wavelength λa is supplied. 434. Similarly, in the quantum dot group 432b, the energy gap Eg1 is set according to the wavelength λb of the supplied carrier wave, and in the quantum dot group 432c, the energy gap Eg1 is set according to the wavelength λc of the supplied carrier wave. Thus, excitons can be excited only by a carrier wave having a wavelength corresponding to each energy gap Eg1, and this can be moved to the second quantum dot group 434.

すなわち、本発明を適用した波長多重装置43では、かかる量子ドットグループ432における波長選択性を利用することにより、第1のナノ光デバイス42から入射される互いに波長の異なる搬送波からなる光変調信号を、ナノスケールで高効率に伝搬させて、多重化させることができる。   That is, in the wavelength multiplexing device 43 to which the present invention is applied, by using the wavelength selectivity in the quantum dot group 432, an optical modulation signal composed of carriers having different wavelengths incident from the first nano-optical device 42 is generated. It can be propagated at a nanoscale with high efficiency and multiplexed.

ちなみにこれら量子ドットグループ432は、各量子準位を、量子ドット433、434の体積を変更したり、或いは材質を変更することにより上述したエネルギーギャップEg1を設定してもよい。   Incidentally, in the quantum dot group 432, the energy gap Eg1 described above may be set for each quantum level by changing the volume of the quantum dots 433 and 434 or changing the material.

すなわち、量子ドットグループ432間で、それぞれ形成される量子ドット433、434の体積や材質を変化させることにより、量子ドットグループ間でエネルギーギャップEg1を変化させることができる。これにより各量子ドットグループ432は、この設定されたエネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波が入射された場合のみ励起子を励起させることができる。ちなみに、材質を変更する場合において、例えば材料系としてInGaAsを用いる場合には、各量子ドットグループ432間で、Inの含有量を微量に変えて構成してもよい。   That is, the energy gap Eg1 can be changed between the quantum dot groups by changing the volume and material of the quantum dots 433 and 434 formed between the quantum dot groups 432, respectively. Thus, each quantum dot group 432 can excite excitons only when a carrier wave having a wavelength corresponding to the set energy gap Eg1 is incident. Incidentally, when changing the material, for example, when InGaAs is used as the material system, the In content may be changed between the quantum dot groups 432 to a very small amount.

また、本発明を適用した波長多重装置43では、辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット433、434を基板32上に形成することにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット434の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。この注入された励起子は、第2の量子ドット434の量子準位(1,1,1)へ遷移する。これにより、第2の量子ドット434の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット434の基底準位b1よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生成させることができる。   Further, in the wavelength multiplexing device 43 to which the present invention is applied, the quantum levels 430, 434 having side length ratios of 1: √2 are formed on the substrate 32 so that the state density functions become substantially equal. Excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 434 by causing a resonance effect between them. This injected exciton transitions to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 434. As a result, the density of excitons at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 434 can be made higher than the ground level b1 of the second quantum dot 434, and these two quantum levels can be increased. An inversion distribution can be generated between positions.

ちなみに上述した量子ドット433、434間の共鳴効果は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位による近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができる。また、第2の量子ドット433における2つの量子準位間で遷移確率を向上させることができるため、さらに高効率に各搬送波を伝搬させることができる。なおこの共鳴効果は、電子による共鳴トンネル効果も含まれる。   Incidentally, the resonance effect between the quantum dots 433 and 434 described above is based on the near-field interaction caused by discrete energy levels formed by confining the excitons in three dimensions. The strength can be further increased. Further, since the transition probability can be improved between the two quantum levels in the second quantum dot 433, each carrier wave can be propagated with higher efficiency. This resonance effect includes a resonance tunnel effect caused by electrons.

上述のような構成からなる波長多重装置43は、例えば以下の如く動作することができる。   The wavelength multiplexing device 43 configured as described above can operate as follows, for example.

先ず、第1のナノ光デバイス42から、各量子ドットグループ432を構成する第1の量子ドット433へ、互いに異なる波長の搬送波が入射される。各量子ドットグループ432におけるエネルギーギャップEg1は、第1のナノ光デバイス42から供給される搬送波の波長に応じて設定されているため、第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)へ励起子を励起させ、これを第2の量子ドット434へ移動させることができる。第2の量子ドット434において量子準位(2,1,1)へ移動された励起子は、そのまま第2の量子ドット434における量子準位(1,1,1)へ遷移し上述の如く反転分布が形成される。そしてこの形成された反転分布に応じて、励起子(電子)が基底準位へ自然放出遷移し、多重光生成領域435へ出射される。多重光生成領域435において、複数の量子ドットグループ432から供給され、互いに異なる波長を持つ搬送波が多重合成され、光ファイバ44へ出射される。   First, carrier waves having mutually different wavelengths are incident on the first quantum dots 433 constituting each quantum dot group 432 from the first nano-optical device 42. Since the energy gap Eg1 in each quantum dot group 432 is set according to the wavelength of the carrier wave supplied from the first nano-optical device 42, the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 433 is set. Excitons can be excited and moved to the second quantum dot 434. The exciton moved to the quantum level (2,1,1) in the second quantum dot 434 transits to the quantum level (1,1,1) in the second quantum dot 434 as it is and is inverted as described above. A distribution is formed. Then, in accordance with the inversion distribution thus formed, excitons (electrons) undergo spontaneous emission transition to the ground level and are emitted to the multiple light generation region 435. In the multiplexed light generation region 435, carriers supplied from a plurality of quantum dot groups 432 and having different wavelengths are multiplexed and emitted to the optical fiber 44.

以上説明したように、本発明を適用した波長多重装置43は、第1のナノ光デバイス42から互いに異なる波長の搬送波をナノスケールの領域を介して受け取り、エネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波が入射された場合のみ励起子を励起させ、これを量子ドット433、434を介して移動させて多重合成することができる。これによりナノスケールで入力される各搬送波を高効率に合成して多重化することができ、回折限界以下の寸法でも動作可能なナノ光デバイス間で波長多重通信することができ、超微細化された波長多重通信システムを提案することができる。   As described above, the wavelength multiplexing device 43 to which the present invention is applied receives the carrier waves having different wavelengths from the first nano-optical device 42 via the nanoscale region, and the carrier waves having the wavelengths corresponding to the energy gap Eg1 are received. Excitons can be excited only when they are incident, and these can be moved through the quantum dots 433 and 434 for multiple synthesis. This makes it possible to synthesize and multiplex each carrier wave input at the nanoscale with high efficiency, and to perform wavelength multiplex communication between nano optical devices that can operate even at dimensions below the diffraction limit, and is ultra-miniaturized. A wavelength division multiplexing communication system can be proposed.

なお、本発明を適用した波長多重装置43は上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば図12に示すように、各量子ドットグループ432において、量子ドット437を追加してもよい。量子ドット437は、第1の量子ドット433と対になるように第1のナノ光デバイス42側において離散的に複数形成されている。量子ドット437は、第1のナノ光デバイス42から互いに異なる波長の搬送波が供給され、基底準位から励起された励起子を上述した共鳴により第1の量子ドット433へ移動させる。量子ドット437は、複数列に亘って形成してもよいことは勿論である。   The wavelength multiplexing device 43 to which the present invention is applied is not limited to the above-described embodiment. For example, as shown in FIG. 12, a quantum dot 437 may be added in each quantum dot group 432. A plurality of quantum dots 437 are discretely formed on the first nano-optical device 42 side so as to be paired with the first quantum dots 433. The quantum dots 437 are supplied with carriers having different wavelengths from the first nano-optical device 42, and move excitons excited from the ground level to the first quantum dots 433 by the resonance described above. Of course, the quantum dots 437 may be formed over a plurality of rows.

また量子ドットグループ432は、図10,12に示すように3グループに限定されることはない。例えばn波の異なる波長の光を多重することにより、各波長の伝送容量のn倍の伝送容量を得るために、nグループ並設するようにしてもよい。   Further, the quantum dot group 432 is not limited to three groups as shown in FIGS. For example, n groups may be arranged in parallel in order to obtain a transmission capacity n times the transmission capacity of each wavelength by multiplexing light of different wavelengths of n waves.

次に本発明を適用した波長分離装置45の具体的な構成について図13を用いて説明をする。なお、上述した波長多重装置43と同一の構成、部材には同一の番号を付して説明を引用する。   Next, a specific configuration of the wavelength separation device 45 to which the present invention is applied will be described with reference to FIG. It should be noted that the same components and members as those of the wavelength multiplexing device 43 described above are denoted by the same reference numerals and the description thereof is cited.

波長分離装置45は、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板431と、基板431上において形成されている1つの第2の量子ドット434並びに当該第2の量子ドット434と対になるように離散的に形成されている1つ以上の第1の量子ドット433からなる量子ドットグループ452とを備えている。ちなみにこの量子ドットグループ452において、第1の量子ドット433は、光ファイバ44側に形成され、第2の量子ドット434は、第2のナノ光デバイス46側に形成される。 The wavelength separation device 45 includes a substrate 431 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, one second quantum dot 434 formed on the substrate 431, and the second quantum dot 434. And a quantum dot group 452 composed of one or more first quantum dots 433 that are discretely formed so as to be paired with each other. Incidentally, in this quantum dot group 452, the first quantum dot 433 is formed on the optical fiber 44 side, and the second quantum dot 434 is formed on the second nano-optical device 46 side.

また量子ドットグループ452は、第2のナノ光デバイス46へ供給する搬送波の波長に応じて複数形成される。この量子ドットグループ452は、光ファイバ44から供給された多重光を、これら複数の量子ドットグループ452により、励起子を介して第1の量子ドット433から第2の量子ドット434へ伝搬させ、互いに波長の異なる各搬送波へ分離し、第2のナノ光デバイス46へ供給する。例えば量子ドットグループ452aは、多重光入射領域455から波長λaの搬送波を分離して第2のナノ光デバイス46へ供給する。量子ドットグループ452bは、多重光入射領域455から波長λbの搬送波を分離して第2のナノ光デバイス46へ供給する。量子ドットグループ452cは、多重光入射領域455から波長λcの搬送波を分離して第2のナノ光デバイス46へ供給する。   A plurality of quantum dot groups 452 are formed according to the wavelength of the carrier wave supplied to the second nano-optical device 46. The quantum dot group 452 propagates the multiplexed light supplied from the optical fiber 44 from the first quantum dot 433 to the second quantum dot 434 via the excitons by the plurality of quantum dot groups 452. Each carrier wave having a different wavelength is separated and supplied to the second nano-optical device 46. For example, the quantum dot group 452 a separates the carrier wave having the wavelength λa from the multiple light incident region 455 and supplies it to the second nano-optical device 46. The quantum dot group 452 b separates the carrier wave having the wavelength λb from the multiple light incident region 455 and supplies it to the second nano-optical device 46. The quantum dot group 452 c separates the carrier wave having the wavelength λc from the multiple light incident region 455 and supplies it to the second nano-optical device 46.

量子ドットグループ452を構成する量子ドット433、434は、上述の如くそれぞれナノスケールで構成されているため、第1のナノ光デバイス42から光変調信号をナノスケールの領域を介して受け取ることが可能となる。   Since the quantum dots 433 and 434 constituting the quantum dot group 452 are each configured at the nanoscale as described above, it is possible to receive the light modulation signal from the first nanooptical device 42 via the nanoscale region. It becomes.

第1の量子ドット433において、図11に示すように、量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波の光を受光することにより、励起子を基底準位b1から量子準位(1,1,1)へ励起させることができる。この第1の量子ドット433は、量子準位(1,1,1)に励起された励起子を、上述の如く第2の量子ドット434における量子準位(2,1,1)へ順次移動させることができる。   As shown in FIG. 11, the first quantum dot 433 is excited by receiving light of a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1. The child can be excited from the ground level b1 to the quantum level (1, 1, 1). The first quantum dot 433 sequentially moves excitons excited to the quantum level (1, 1, 1) to the quantum level (2, 1, 1) in the second quantum dot 434 as described above. Can be made.

すなわち、第1の量子ドット433は、第1の量子ドット433における量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップEg1に相当する波長の搬送波が入射された場合のみ、励起子を量子準位(1,1,1)へ励起させてこれを第2の量子ドット434へ移動させることができるが、他の波長の搬送波が入射されたときには励起子を量子準位(1,1,1)へ励起させることができない。このため、第1の量子ドット433における量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップ差を自在に設定することにより、第1の量子ドット433から第2の量子ドット434への励起子の移動について波長選択性をもたせることができる。これにより量子ドットグループ452は、単一の波長からなる搬送波を選択的に伝搬させることができる。   That is, the first quantum dot 433 is received only when a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1 in the first quantum dot 433 is incident. The exciton can be excited to the quantum level (1,1,1) and moved to the second quantum dot 434. When a carrier wave of another wavelength is incident, the exciton is moved to the quantum level ( Cannot be excited to 1,1,1). For this reason, by setting the energy gap difference between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1 in the first quantum dot 433 freely, the first quantum dot 433 to the second quantum dot Wavelength selectivity can be provided for exciton migration to 434. Thereby, the quantum dot group 452 can selectively propagate a carrier wave having a single wavelength.

例えば、量子ドットグループ452aは、エネルギーギャップEg1を、光ファイバ44から供給される多重光のうち一の搬送波の波長λaに応じて設定する。これにより、波長λaの搬送波が供給された場合のみ上述の如く第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)へ励起子を励起させることができ、これを第2の量子ドット434へ移動させることができる。同様に、量子ドットグループ452bにおいて、エネルギーギャップEg1を供給される多重光のうち一の搬送波の波長λbに応じて設定し、さらに量子ドットグループ452cにおいて、エネルギーギャップEg1を、供給される多重光のうち一の搬送波の波長λcに応じて設定することにより、それぞれのエネルギーギャップEg1に相当する波長の搬送波のみ励起子を励起させ、これを第2の量子ドット434へ移動させることができる。   For example, the quantum dot group 452a sets the energy gap Eg1 according to the wavelength λa of one carrier wave of the multiplexed light supplied from the optical fiber 44. As a result, the exciton can be excited to the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 433 as described above only when the carrier wave having the wavelength λa is supplied. 434. Similarly, in the quantum dot group 452b, the energy gap Eg1 is set according to the wavelength λb of one of the multiplexed lights to be supplied, and in the quantum dot group 452c, the energy gap Eg1 is set in accordance with the supplied multiplexed light. By setting according to the wavelength λc of one of the carriers, excitons can be excited only by the carrier having a wavelength corresponding to each energy gap Eg1 and moved to the second quantum dot 434.

すなわち、本発明を適用した波長分離装置45では、かかる量子ドットグループ433における波長選択性を利用することにより、互いに波長の異なる搬送波を含む多重光を、ナノスケールで高効率に伝搬させて、それぞれ分離させることができる。   That is, in the wavelength separator 45 to which the present invention is applied, by utilizing the wavelength selectivity in the quantum dot group 433, the multiplexed light including carrier waves having different wavelengths can be propagated with high efficiency on the nanoscale, respectively. Can be separated.

ちなみにこれら量子ドットグループ452は、それぞれのエネルギーギャップEg1を、量子ドット433、434の体積を変更したり、或いは材質を変更することにより自在に設定してもよい。   Incidentally, in each of the quantum dot groups 452, the energy gaps Eg1 may be freely set by changing the volume of the quantum dots 433 and 434 or changing the material.

すなわち、量子ドットグループ52間で、それぞれ形成される量子ドット433、434の体積や材質を変化させることにより、エネルギーギャップEg1を設定することができる。これにより各量子ドットグループ452は、この設定されたエネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波が入射された場合のみ励起子を励起させることができる。   That is, the energy gap Eg1 can be set by changing the volume and material of the quantum dots 433 and 434 formed between the quantum dot groups 52, respectively. Thereby, each quantum dot group 452 can excite excitons only when a carrier wave having a wavelength corresponding to the set energy gap Eg1 is incident.

また、本発明を適用した波長分離装置45では、辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット433、434を基板431上に形成することにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット434の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。この注入された励起子は、第2の量子ドット434の量子準位(1,1,1)へ遷移する。これにより、第2の量子ドット434の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット434の基底準位b1よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生成することかできる。   Further, in the wavelength separation device 45 to which the present invention is applied, the quantum level at which the state density functions become substantially equal by forming the quantum dots 433 and 434 having the side length ratios of 1: √2 on the substrate 431, respectively. Excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 434 by causing a resonance effect between them. This injected exciton transitions to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 434. As a result, the density of excitons at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 434 can be made higher than the ground level b1 of the second quantum dot 434, and these two quantum levels can be increased. An inversion distribution can be generated between positions.

ちなみに上述した量子ドット433、434間の共鳴効果は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位による近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができる。また、第2の量子ドット433における2つの量子準位間で遷移確率を向上させることができるため、さらに高効率に各搬送波を伝搬させることができる。   Incidentally, the resonance effect between the quantum dots 433 and 434 described above is based on the near-field interaction caused by discrete energy levels formed by confining the excitons in three dimensions. The strength can be further increased. Further, since the transition probability can be improved between the two quantum levels in the second quantum dot 433, each carrier wave can be propagated with higher efficiency.

上述のような構成からなる波長分離装置45は、例えば以下の如く動作することができる。   The wavelength separation device 45 configured as described above can operate as follows, for example.

先ず、光ファイバ44から各量子ドットグループ452を構成する第1の量子ドット433へ、多重光入射領域455を介して互いに異なる波長の搬送波が入射される。各量子ドットグループ452におけるエネルギーギャップEg1は、第1のナノ光デバイス42へ供給する搬送波の波長に応じて設定されているため、当該波長の搬送波の成分のみ第1の量子ドット433の量子準位(1,1,1)へ励起子を励起させ、これを第2の量子ドット434へ移動させることができる。第2の量子ドット434において量子準位(2,1,1)へ移動された励起子は、そのまま第2の量子ドット434における量子準位(1,1,1)へ遷移し上述の如く反転分布が形成される。そしてこの形成された反転分布に応じて、励起子(電子)が基底準位へ自然放出遷移し、第2のナノ光デバイス46へ送信される。   First, carrier waves having different wavelengths are incident on the first quantum dots 433 constituting each quantum dot group 452 from the optical fiber 44 via the multiple light incident region 455. Since the energy gap Eg1 in each quantum dot group 452 is set according to the wavelength of the carrier wave supplied to the first nano-optical device 42, only the component of the carrier wave of the wavelength is the quantum level of the first quantum dot 433. Excitons can be excited to (1,1,1) and moved to the second quantum dot 434. The exciton moved to the quantum level (2,1,1) in the second quantum dot 434 transits to the quantum level (1,1,1) in the second quantum dot 434 as it is and is inverted as described above. A distribution is formed. Then, according to the inversion distribution thus formed, excitons (electrons) undergo spontaneous emission transition to the ground level and are transmitted to the second nano-optical device 46.

以上説明したように、本発明を適用した波長分離装置45は、光ファイバ44から互いに異なる波長の搬送波を含む多重光を受け取り、エネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波が入射された場合のみ励起子を励起させ、これを量子ドット433,434を介して移動させて、第2のナノ光デバイス46へ提供することができる。これにより、各搬送波を含む多重光をナノスケールで高効率に分離することができるため、回折限界以下の寸法でも動作可能なナノ光デバイス間で波長多重通信することができ、超微細化された波長多重通信システムを提案することができる。   As described above, the wavelength separation device 45 to which the present invention is applied receives the multiplexed light including carrier waves having different wavelengths from the optical fiber 44, and excitons only when a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 is incident. Can be excited and moved through the quantum dots 433 and 434 to be provided to the second nano-optical device 46. As a result, multiplexed light including each carrier wave can be separated with high efficiency at the nanoscale, so wavelength-multiplexed communication can be performed between nano-optical devices that can operate even at dimensions below the diffraction limit, and it has been miniaturized. A wavelength division multiplexing communication system can be proposed.

なお、本発明を適用した波長分離装置45は上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば図14に示すように、各量子ドットグループ452において、量子ドット457を追加してもよい。量子ドット457は、第1の量子ドット433と対になるように光ファイバ44側において離散的に複数形成されている。量子ドット457は、光ファイバ44から互いに異なる波長の搬送波を含む多重光が供給され、エネルギーギャップEg1に応じた波長の搬送波が入射された場合のみ励起子を励起させ、上述した共鳴により第1の量子ドット433へ移動させる。量子ドット457は、複数列に亘って形成してもよいことは勿論である。   The wavelength separation device 45 to which the present invention is applied is not limited to the above-described embodiment. For example, as shown in FIG. 14, quantum dots 457 may be added in each quantum dot group 452. A plurality of quantum dots 457 are discretely formed on the optical fiber 44 side so as to be paired with the first quantum dots 433. The quantum dots 457 excite excitons only when multiplexed light including carrier waves having different wavelengths is supplied from the optical fiber 44 and a carrier wave having a wavelength corresponding to the energy gap Eg1 is incident. Move to quantum dot 433. Of course, the quantum dots 457 may be formed over a plurality of rows.

また量子ドットグループ432は、図13、14に示すように3グループに限定されることはない。例えばn波の異なる波長の光を多重することにより、各波長の伝送容量のn倍の伝送容量が得るために、nグループ設けるようにしてもよい。   Further, the quantum dot group 432 is not limited to three groups as shown in FIGS. For example, n groups may be provided in order to obtain a transmission capacity that is n times the transmission capacity of each wavelength by multiplexing light of different wavelengths of n waves.

次に本発明を適用した近接場集光器5について説明をする。なお、上述した光増幅器2と同一の構成、部材については同一の番号を付して説明を省略する。   Next, the near-field collector 5 to which the present invention is applied will be described. Note that the same components and members as those of the optical amplifier 2 described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

近接場集光器5は、図15に示すように、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板511と、基板511の表面上において形成されている1つの第2の量子ドット13並びに当該第2の量子ドット13の周囲において離散的に形成されている1つ以上の第1の量子ドット12からなる量子ドットグループ520とを備えている。各量子ドット12,13が形成された基板511の上方には、照射光学系518が配設され、当該照射光学系518から基板511へ光が照射される。 As shown in FIG. 15, the near-field collector 5 includes a substrate 511 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, and one second formed on the surface of the substrate 511. And a quantum dot group 520 including one or more first quantum dots 12 discretely formed around the quantum dots 13 and the second quantum dots 13. An irradiation optical system 518 is disposed above the substrate 511 on which the quantum dots 12 and 13 are formed, and light is irradiated from the irradiation optical system 518 to the substrate 511.

すなわちこの近接場集光器5は、例えば図6に示すように辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット12、13を基板511上に設けることにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット13の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。この注入された励起子は、第2の量子ドット13の量子準位(1,1,1)へ遷移する。これにより、第2の量子ドット13の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット13の基底準位よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生成することかできる。この生成された反転分布に応じて励起子が自然放出遷移することにより光が放出されることになる。   That is, the near-field concentrator 5 is provided with the quantum dots 12 and 13 having a side length ratio of 1: √2 on the substrate 511, for example, as shown in FIG. A quantum level can be created, and an exciton can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 13 by causing a resonance effect between them. The injected excitons make a transition to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 13. As a result, the density of excitons at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 13 can be made higher than the ground level of the second quantum dot 13, and these two quantum levels can be increased. Inverted distributions can be generated between them. Light is emitted by spontaneous emission transition of excitons in accordance with the generated inversion distribution.

ナノスケールの第2の量子ドット13から放出される光は、ナノメートルサイズの極めて狭い領域において分布することになる。これにより、励起子を介して第1の量子ドット12から第2の量子ドット13へエネルギーを供給することができ、当該エネルギーに基づき放出される光をナノスケールの領域に分布させることにより見かけ上集光させることができる。ちなみに本発明では、用途に応じて各量子ドットのサイズを変えることにより、集光させるサイズを自在に調整することもできる。   The light emitted from the nanoscale second quantum dots 13 is distributed in a very narrow region of nanometer size. Thereby, energy can be supplied from the first quantum dots 12 to the second quantum dots 13 via excitons, and apparently by distributing light emitted based on the energy in a nanoscale region. It can be condensed. Incidentally, in the present invention, the size of the condensed light can be freely adjusted by changing the size of each quantum dot according to the application.

また、第2の量子ドット13の周囲において、多くの第1の量子ドット12が形成されているほど、第2の量子ドット13へ注入される励起子の量は多くなり、ひいては2つの量子準位間に生じさせる反転分布を強くすることができる。これにより放出される光の光強度を上げることができ、さらには用途に応じて基板11上に形成する第1の量子ドット12の数量を調整することにより、放出される光強度を変化させることもできる。   In addition, the more first quantum dots 12 are formed around the second quantum dot 13, the more excitons are injected into the second quantum dot 13. The inversion distribution generated between the positions can be strengthened. As a result, the light intensity of the emitted light can be increased, and furthermore, the emitted light intensity can be changed by adjusting the number of first quantum dots 12 formed on the substrate 11 according to the application. You can also.

ちなみに上述した量子ドット12、13間の共鳴効果は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位による近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができる。また、量子準位を介した励起子の移動を利用することにより、上述のエネルギー移動を実現することができるため、光損失を軽減させて非常に高効率な近接場集光を実現させることができる。例えば従来の近接場光プローブでは、ナノスケールの領域において約10−6程度の効率でしか近接場集光させることができないのに対し、本発明を適用した近接場集光器5では、同じナノスケールの領域において100%近い効率で近接場集光させることができる。 Incidentally, the resonance effect between the quantum dots 12 and 13 described above is based on the near-field interaction caused by discrete energy levels formed by confining the excitons in three dimensions. The strength can be further increased. In addition, since the above-described energy transfer can be realized by using exciton movement via the quantum level, it is possible to reduce the optical loss and realize very efficient near-field focusing. it can. For example, a conventional near-field optical probe can collect near-field light only with an efficiency of about 10 −6 in the nanoscale region, whereas the near-field light collector 5 to which the present invention is applied has the same nano-field concentration. Near-field light can be collected with an efficiency of nearly 100% in the scale region.

これにより、本発明を適用した近接場集光器5を用いることにより、量子ドットから構成される近接場ナノ光デバイスの空間分解能を向上させることも可能となる。   Thereby, by using the near-field collector 5 to which the present invention is applied, it is possible to improve the spatial resolution of the near-field nano-optical device composed of quantum dots.

なお、本発明に係る近接場集光器5は上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば第1の量子ドット12は、図15に示すように第2の量子ドット13を中心として曲線状に形成されている場合に限定されるものではなく、第2の量子ドット13を中心とした円弧上に形成されていてもよい。   The near-field collector 5 according to the present invention is not limited to the embodiment described above. For example, the first quantum dots 12 are not limited to the case where the first quantum dots 12 are formed in a curved shape centering on the second quantum dots 13 as shown in FIG. It may be formed on an arc.

また本発明を適用した近接場集光器5は、図16に示すように第1の量子ドット12の外郭において、さらに外郭量子ドット531を形成してもよい。この外郭量子ドット531は、第1の量子ドット12と対になるように離散的に複数形成されている。外郭量子ドット531と第1の量子ドット12の辺長比は、およそ1:√2であり互いに励起子のエネルギー準位が共鳴する関係にある。外郭量子ドット531には、照射光学系518から基板511へ光が照射することにより励起された励起子を、第1の量子ドット12における量子準位(1,1,1)へ順次注入することができる。この第1の量子ドット13における量子準位(1,1,1)へ順次注入された励起子は、上述の如く第2の量子ドット13へ注入されることになる。   Further, the near-field collector 5 to which the present invention is applied may further form an outer quantum dot 531 in the outer wall of the first quantum dot 12 as shown in FIG. A plurality of outer quantum dots 531 are discretely formed so as to be paired with the first quantum dots 12. The side length ratio between the outer quantum dot 531 and the first quantum dot 12 is approximately 1: √2, and the energy levels of excitons resonate with each other. The outer quantum dots 531 are sequentially injected with the excitons excited by irradiating light from the irradiation optical system 518 to the substrate 511 to the quantum levels (1, 1, 1) in the first quantum dots 12. Can do. The excitons sequentially injected into the quantum level (1, 1, 1) in the first quantum dot 13 are injected into the second quantum dot 13 as described above.

すなわち、第1の量子ドット12の周囲に多くの外郭量子ドット531が形成されているほど、第1の量子ドット12へ注入される励起子の量は多くなり、ひいては2つの量子準位間生じさせる反転分布を強くすることができる。これにより放出される光の光強度を上昇させることができる。さらに用途に応じて基板511上に形成する外郭量子ドット531の数量を調整することにより、放出される光強度をさらに細かいステップで変化させることも可能となる。   That is, the more outer quantum dots 531 are formed around the first quantum dot 12, the more excitons are injected into the first quantum dot 12, which in turn occurs between the two quantum levels. The inversion distribution to be made can be strengthened. Thereby, the light intensity of the emitted light can be increased. Further, by adjusting the number of outer quantum dots 531 formed on the substrate 511 according to the application, the emitted light intensity can be changed in finer steps.

なお、外郭量子ドット531のさらに外郭においても同様に量子ドットが形成されていてもよいことは勿論である。   Needless to say, quantum dots may be formed in the outer shell of the outer quantum dots 531 in the same manner.

次に本発明を適用した光ゲート素子6について説明をする。   Next, the optical gate element 6 to which the present invention is applied will be described.

光ゲート素子6は、図17に示すように、例えばNaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板611と、基板611の表面上において形成されている第2の量子ドット613並びに当該第2の量子ドット613の周囲において離散的に形成されている第1の量子ドット612、第3の量子ドット614からなる量子ドットグループ620と、信号光を出射するための突出部212が第1の量子ドット612の近傍に位置するように配設されている入射側光プローブ621と、信号光を入射させるための突出部312が第3の量子ドット14の近傍に位置するように配設されている出射側光プローブ641と、基板611上に積層され電圧制御部616を介して制御電圧Vが印加されるPN接合層615とを備えている。 As shown in FIG. 17, the optical gate element 6 includes a substrate 611 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, a second quantum dot 613 formed on the surface of the substrate 611, and A quantum dot group 620 composed of first quantum dots 612 and third quantum dots 614 discretely formed around the second quantum dots 613, and a protrusion 212 for emitting signal light are first The incident-side optical probe 621 disposed so as to be positioned in the vicinity of one quantum dot 612 and the protruding portion 312 for allowing signal light to be incident are disposed in the vicinity of the third quantum dot 14. And a PN junction layer 615 that is stacked on the substrate 611 and to which the control voltage V is applied via the voltage control unit 616. .

入射側光プローブ621は、図17に示すように突出部212に加えて光導波部211をさらに備え、光導波部211は、コア230の周囲にクラッド231が設けられた光ファイバより構成される。コア230及びクラッド231は、それぞれSiO系ガラスからなり、F、GeO、B等を添加することにより、コア230よりもクラッド231の屈折率が低くなるように組織制御されている。突出部212は、光導波部211の一端においてクラッド231から突出させたコア230を先鋭化させることにより構成される。 As shown in FIG. 17, the incident-side optical probe 621 further includes an optical waveguide 211 in addition to the protrusion 212, and the optical waveguide 211 is configured by an optical fiber in which a clad 231 is provided around the core 230. . The core 230 and the clad 231 are each made of SiO 2 glass, and the structure is controlled so that the refractive index of the clad 231 is lower than that of the core 230 by adding F, GeO 2 , B 2 O 3 or the like. . The protruding portion 212 is configured by sharpening the core 230 protruding from the clad 231 at one end of the optical waveguide portion 211.

このような構成からなる入射側光プローブ621は、図示しない外部光源から光導波部211を介して信号光が供給される。この入射側光プローブ621は、突出部212を介して第1の量子ドット612へ、ナノスケールで信号光を入力することができる。   The incident-side optical probe 621 having such a configuration is supplied with signal light from an external light source (not shown) via the optical waveguide unit 211. The incident-side optical probe 621 can input signal light at the nanoscale to the first quantum dots 612 via the protrusions 212.

出射側光プローブ641は、図17に示すように突出部312に加えて光導波部311をさらに備え、光導波部311は、コア330の周囲にクラッド331が設けられた光ファイバより構成される。このような構成からなる出射側光プローブ641は、ナノスケールサイズの第3の量子ドット614から放出される信号光を取り出して外部へ搬送することができる。   As shown in FIG. 17, the emission-side optical probe 641 further includes an optical waveguide portion 311 in addition to the protruding portion 312, and the optical waveguide portion 311 is configured by an optical fiber in which a cladding 331 is provided around the core 330. . The emission-side optical probe 641 having such a configuration can take out the signal light emitted from the nanoscale-sized third quantum dot 614 and convey it to the outside.

なお、この入射側光プローブ621及び出射側光プローブ641は、図示しない光導波路に代替してもよい。この図示しない光導波路は、光源から供給される光を伝播して第1の量子ドット612へ供給し、或いは第3の量子ドット614から供給する光を外部へ伝搬する。この図示しない光導波路は、例えばAlやAu等の細線を利用した金属導波路で構成し、伝播する光をプラズモンとして伝搬してもよい。   The incident side optical probe 621 and the emission side optical probe 641 may be replaced with an optical waveguide (not shown). This optical waveguide (not shown) propagates light supplied from the light source and supplies it to the first quantum dots 612 or propagates light supplied from the third quantum dots 614 to the outside. The optical waveguide (not shown) may be formed of a metal waveguide using a thin wire such as Al or Au, and may propagate the propagating light as plasmons.

量子ドットグループ620を構成する各量子ドット612,613,614は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。第1の量子ドット612は、入射側光プローブ621から入力される信号光を励起子に変換して、これを第2の量子ドット613へ注入する。第2の量子ドット613は、PN接合層615上に形成され、電圧制御部616から印加される制御電圧Vに応じて、第1の量子ドット613から注入される励起子を第3の量子ドット614へさらに注入し、或いは励起子を基底準位へ自然放出遷移させて光として放出させる。第3の量子ドット614は、第2の量子ドット613から注入される励起子を自然放出遷移させて光に変換し、これを信号光として出力側光プローブ641へ供給する。   Each quantum dot 612, 613, 614 constituting the quantum dot group 620 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons in three dimensions. The first quantum dot 612 converts the signal light input from the incident side optical probe 621 into an exciton and injects it into the second quantum dot 613. The second quantum dot 613 is formed on the PN junction layer 615, and excitons injected from the first quantum dot 613 are converted into the third quantum dot in accordance with the control voltage V applied from the voltage control unit 616. Further injection into 614 is performed, or exciton undergoes spontaneous emission transition to the ground level and is emitted as light. The third quantum dot 614 performs spontaneous emission transition of excitons injected from the second quantum dot 613 and converts it into light, and supplies this to the output-side optical probe 641 as signal light.

この各量子ドット612,613,614は、CuCl、InGaN又はZnO等の材料系からなり、各量子ドット612,613,614を構成する材料系がCuClである場合に、これらは立方体として構成され、また各量子ドット612,613,614を構成する材料系がInGaNやZnOである場合に、これらは球形或いは円盤形として構成される。   Each quantum dot 612, 613, 614 is made of a material system such as CuCl, InGaN or ZnO. When the material system constituting each quantum dot 612, 613, 614 is CuCl, these are configured as a cube, Moreover, when the material system which comprises each quantum dot 612,613,614 is InGaN or ZnO, these are comprised as a spherical form or a disk shape.

この各量子ドット612,613,614において、構成される材料系がCuClの場合には、第1の量子ドット612及び第3の量子ドット614の辺長が約4.6nmであり、また第2の量子ドット613の辺長が約6.3nmである。また構成される材料系がInGaN又はZnOの場合には、第1の量子ドット612及び第3の量子ドット614の半径は約7.0nmであり、また第2の量子ドット613の半径は約10.0nmである。すなわち、第2の量子ドット613は、第1の量子ドット612及び第3の量子ドット614よりも大体積で構成され、第1,第3の量子ドット612,614と第2の量子ドット613の辺長(半径)の比は、およそ1:√2で表される。また、第1の量子ドット612並びに第3の量子ドット614は、後述する共鳴効果を効率よく発揮させるべく、通常、第2の量子ドット613を中心として半径25nm以内の領域において、離散的に形成されている。   In each of the quantum dots 612, 613, and 614, when the material system is CuCl, the side length of the first quantum dot 612 and the third quantum dot 614 is about 4.6 nm, and the second The quantum dot 613 has a side length of about 6.3 nm. When the material system is InGaN or ZnO, the radius of the first quantum dot 612 and the third quantum dot 614 is about 7.0 nm, and the radius of the second quantum dot 613 is about 10 nm. 0.0 nm. In other words, the second quantum dot 613 is configured with a larger volume than the first quantum dot 612 and the third quantum dot 614, and the first quantum dot 612, the second quantum dot 613, The ratio of side length (radius) is represented by approximately 1: √2. Further, the first quantum dots 612 and the third quantum dots 614 are usually formed discretely in a region within a radius of 25 nm around the second quantum dots 613 so as to efficiently exhibit the resonance effect described later. Has been.

図18は、各量子ドット612,613,614を構成する材料系がCuClである場合のエネルギバンド図を示している。第1の量子ドット612と第2の量子ドット613の辺長比は、およそ1:√2であるため、第1の量子ドット612における量子準位が(1,1,1)であるときのE(111)と、第2の量子ドット613における量子準位が(2,1,1)であるときのE(211)とが等しくなる。すなわち第1の量子ドット612の量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)は、励起子の励起エネルギー準位が共鳴する関係にある。 FIG. 18 shows an energy band diagram in the case where the material system constituting each quantum dot 612, 613, 614 is CuCl. Since the side length ratio between the first quantum dot 612 and the second quantum dot 613 is approximately 1: √2, the quantum level in the first quantum dot 612 is (1, 1, 1). E 1 (111) is equal to E 2 (211) when the quantum level of the second quantum dot 613 is (2, 1, 1). That is, the relationship between the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 612 and the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613 resonates with the excitation energy level of the exciton. It is in.

かかる共鳴が生じる場合おいて、第1の量子ドット612の量子準位(1,1,1)に存在する励起子が、第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)へ移動し、また第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)に存在する励起子が、第1の量子ドット612の量子準位(1,1,1)へ移動するが、前者の方が移動速度が速いため、見かけ上第1の量子ドット612から第2の量子ドット613へ励起子が移動することになる。そして、この第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)へ移動した励起子は、さらに低準位である当該第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)へ遷移する。   When such resonance occurs, excitons existing at the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 612 move to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613. The exciton that has moved and exists in the quantum level (2,1,1) of the second quantum dot 613 moves to the quantum level (1,1,1) of the first quantum dot 612. Since the former has a higher moving speed, the excitons apparently move from the first quantum dot 612 to the second quantum dot 613. Then, the exciton that has moved to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613 has a lower quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613. ).

ちなみに第1の量子ドット612において、量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップに応じた波長の信号光を受光することにより、励起子を基底準位b1から量子準位(1,1,1)へ励起させることができる。この第1の量子ドット612は、量子準位(1,1,1)に励起された励起子を、上述の如く第2の量子ドット613における量子準位(2,1,1)へ順次注入させることができる。   By the way, the first quantum dot 612 receives the signal light having a wavelength corresponding to the energy gap between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1, thereby excitons from the ground level b1 to the quantum. It can be excited to the level (1,1,1). The first quantum dot 612 sequentially injects excitons excited to the quantum level (1, 1, 1) into the quantum level (2, 1, 1) in the second quantum dot 613 as described above. Can be made.

また式(1)に基づいて第3の量子ドット614のE(n,n,n)を計算するとき、第3の量子ドット614と第2の量子ドット613の辺長比は、およそ1:√2であるため、第3の量子ドット614における量子準位が(1,1,1)であるときのE3(111)と、第2の量子ドット613における量子準位が(2,1,1)であるときのE2(211)とが等しくなる。すなわち、第3の量子ドット614の量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)は、励起子の励起エネルギー準位が共鳴する関係にある。 Moreover, when calculating E ( nx , ny , nz ) of the 3rd quantum dot 614 based on Formula (1), the side length ratio of the 3rd quantum dot 614 and the 2nd quantum dot 613 is: Since it is approximately 1: √2, E3 (111) when the quantum level in the third quantum dot 614 is (1, 1, 1) and the quantum level in the second quantum dot 613 is (2 , 1, 1) is equal to E2 (211). That is, the excitation level of the exciton resonates between the quantum level (1, 1, 1) of the third quantum dot 614 and the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613. There is a relationship.

すなわちこの光ゲート素子6は、辺長比がそれぞれ1:√2である各量子ドット612,613,614を基板611上に設けることにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)に励起子を注入することができる。この注入された励起子は、通常、第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)へ遷移する。これにより、第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット613の基底準位b2よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生じさせることができ、さらには、第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)に遷移した励起子を、基底準位b2へ自然放出遷移させることができる。   In other words, this optical gate element 6 can produce quantum levels with substantially equal density of states by providing quantum dots 612, 613, and 614 on the substrate 611 having side length ratios of 1: √2. In addition, excitons can be injected into the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613 by causing a resonance effect between them. The injected excitons usually transition to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613. Thereby, the density of excitons at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613 can be made higher than the ground level b2 of the second quantum dot 613, and these two quantum levels can be increased. An inversion distribution can be generated between the levels, and further, the exciton transitioned to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613 can be spontaneously emitted to the ground level b2. it can.

PN接合層615は、電圧制御部616から印加される制御電圧Vの極性に応じて、整流作用を有する。このPN接合層615は、例えば図19に示すようにp−GaNと、n−GaNを接合することにより得られる。   The PN junction layer 615 has a rectifying action according to the polarity of the control voltage V applied from the voltage control unit 616. This PN junction layer 615 is obtained by joining p-GaN and n-GaN, for example, as shown in FIG.

このような構成のPN接合層615において、電圧制御部616より、n−GaNを正とし、p−GaNを負とする、いわゆる逆方向バイアス電圧を印加することにより、空乏層を広げることができる。一方、PN接合層615において、電圧制御部616より、n−GaNを負とし、p−GaNを正とする、いわゆる正方向バイアス電圧を印加することにより電流を流すことができ、励起子を伝搬させることができる。   In the PN junction layer 615 having such a configuration, the depletion layer can be expanded by applying a so-called reverse bias voltage in which n-GaN is positive and p-GaN is negative from the voltage control unit 616. . On the other hand, in the PN junction layer 615, a current can be flowed by applying a so-called positive bias voltage in which n-GaN is negative and p-GaN is positive from the voltage control unit 616, and excitons propagate. Can be made.

このため第2の量子ドット613について、例えば図19に示すようにPN接合面近傍に形成し、さらにInGaN等のように、GaNよりも低エネルギー状態の材質で構成することにより、正方向バイアス印加時において励起子を注入することができる。一方、逆方向バイアス印加時には、第2の量子ドット613が形成されるPN接合面近傍は空乏化されているため、励起子が移動することがなくなり、さらには、第2の量子ドット613への励起子の注入を抑えることができる。   For this reason, the second quantum dot 613 is formed in the vicinity of the PN junction surface, for example, as shown in FIG. 19, and is made of a material having a lower energy state than GaN, such as InGaN. Sometimes excitons can be injected. On the other hand, when a reverse bias is applied, the vicinity of the PN junction surface where the second quantum dot 613 is formed is depleted, so that excitons do not move, and further, the second quantum dot 613 Exciton injection can be suppressed.

すなわち、このPN接合体615は、電圧制御部616により印加する電圧の極性を変化させることにより、第2の量子ドット613が形成されている領域において電流をON/OFF制御することができるため、第2の量子ドット613への励起子の注入を制御することができる。   That is, the PN junction 615 can control the current ON / OFF in the region where the second quantum dots 613 are formed by changing the polarity of the voltage applied by the voltage controller 616. Exciton injection into the second quantum dot 613 can be controlled.

なお、第2の量子ドット613へ励起子が注入されると、当該励起子は、基底準位b2から徐々に配列するため、第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)と基底準位b2との励起子の密度の間に格差がなくなり、これら2つの量子準位間において反転分布が生じなくなる。その結果、第2の量子ドット613の量子準位(1,1,1)から基底準位b2へ励起子の自然放出遷移が生じなくなる。   When excitons are injected into the second quantum dot 613, the excitons are gradually arranged from the ground level b2, so that the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613 is obtained. And the density of excitons between the ground level b2 disappear and no inversion distribution occurs between these two quantum levels. As a result, the spontaneous emission transition of excitons from the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 613 to the ground level b2 does not occur.

ここで第1の量子ドット612の量子準位(1,1,1)から、第2の量子ドット613における量子準位(2,1,1)へ励起子が順次注入されてくる場合に、上記反転分布を形成することができないと、励起子が自然放出遷移できずに蓄積され、過飽和状態になってしまう。かかる場合には、第2の量子ドット613の量子準位(2,1,1)と共鳴関係にある第3の量子ドット614の量子準位(1,1,1)へ励起子がさらに移動することになる。かかる励起子が注入される第3の量子ドット614では、量子準位(1,1,1)と基底準位b3との間で反転分布を形成することができ、ひいては自然放出遷移により信号光を放出して、これを出射側光プローブ641へ供給することができる。   Here, when excitons are sequentially injected from the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 612 to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613, If the inversion distribution cannot be formed, excitons are accumulated without being able to undergo spontaneous emission transition, resulting in a supersaturated state. In such a case, the exciton further moves to the quantum level (1, 1, 1) of the third quantum dot 614 that is in resonance with the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 613. Will do. In the third quantum dot 614 into which such excitons are injected, an inversion distribution can be formed between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b3. Can be emitted and supplied to the exit-side optical probe 641.

このように、本発明を適用した光ゲート素子6は、入射される信号光を第1の量子ドット612により励起子に変換してこれを第2の量子ドット613へ注入する。また第2の量子ドット613を整流作用を持つPN接合層615上に形成することにより、電圧制御部16から印加される制御電圧Vに応じて2つの準位間で反転分布を形成して励起子を基底準位へ自然放出遷移させて光として放出させることができる。これにより、第3の量子ドット614へ移動する励起子数を減らすことができるため、当該第3の量子ドット614から放出される信号光の強度を抑えることができ、いわゆる光ゲートとして機能させることが可能となる。またこれらの量子ドット612,613,614は、それぞれナノスケールで構成され、ナノスケールで入力される信号光に対して光ゲートとして機能させることができるため、光ゲート素子全体をナノスケールサイズもの大きさまで微細化させることも可能となる。   As described above, the optical gate element 6 to which the present invention is applied converts the incident signal light into excitons by the first quantum dots 612 and injects them into the second quantum dots 613. Further, by forming the second quantum dot 613 on the PN junction layer 615 having a rectifying action, an inversion distribution is formed between the two levels in accordance with the control voltage V applied from the voltage control unit 16 and excited. The child can be spontaneously emitted to the ground level and emitted as light. Thereby, since the number of excitons moving to the third quantum dot 614 can be reduced, the intensity of the signal light emitted from the third quantum dot 614 can be suppressed, and function as a so-called optical gate. Is possible. In addition, these quantum dots 612, 613, and 614 are each configured at a nanoscale, and can function as an optical gate for signal light input at the nanoscale, so that the entire optical gate element is as large as a nanoscale size. It is also possible to make it finer.

ちなみに上述した量子ドット612,613,614間の共鳴効果は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位による近接場相互作用に基づくものであるため、励起子の振動子強度をより高めることができる。また、第2の量子ドット613における2つの量子準位間で遷移確率を向上させることができるため、光損失を軽減させつつ、上述した光ゲート機能を実現させることができる。なおこの共鳴効果は、電子による共鳴トンネル効果も含まれる。   Incidentally, the resonance effect between the quantum dots 612, 613, and 614 described above is based on the near-field interaction due to discrete energy levels formed by confining the excitons in three dimensions. The vibrator strength can be further increased. In addition, since the transition probability between the two quantum levels in the second quantum dot 613 can be improved, the above-described optical gate function can be realized while reducing optical loss. This resonance effect includes a resonance tunnel effect caused by electrons.

この各量子ドット612,613,614の作製方法については、上述した各量子ドット12、13の作製方法の記載を引用し、説明を省略する。   Regarding the manufacturing method of the quantum dots 612, 613, and 614, the description of the manufacturing method of the quantum dots 12 and 13 described above is cited, and the description thereof is omitted.

なお、本発明を適用した光ゲート素子6は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、例えば図20に示すように、複数の量子ドットからなる他のナノ光デバイスと直接接続されていてもよい。すなわち回折限界以下の寸法でも動作する微小なナノ光デバイスが形成されている基板上に、本発明を適用した光ゲート素子を自在に形成することにより、ナノスケール大の光通信システムの実現化を促進することも可能となる。   The optical gate element 6 to which the present invention is applied is not limited to the embodiment described above, and is directly connected to another nano-optical device composed of a plurality of quantum dots, for example, as shown in FIG. May be. In other words, a nano-scale optical communication system can be realized by freely forming an optical gate element to which the present invention is applied on a substrate on which a minute nano-optical device that operates even at dimensions below the diffraction limit is formed. It can also be promoted.

次に本発明を適用した波長変換素子7について説明をする。   Next, the wavelength conversion element 7 to which the present invention is applied will be described.

この波長変換素子7は、図21に示すように、NaCl、KCl又はCaF等の導電性材料により構成される基板711と、基板711の表面上において形成されている第1の量子ドット712と、第1の量子ドット712の周囲において離散的に形成されている二つの第2の量子ドット713とからなる量子ドットグループ720とを備えている。 As shown in FIG. 21, the wavelength conversion element 7 includes a substrate 711 made of a conductive material such as NaCl, KCl, or CaF 2, and first quantum dots 712 formed on the surface of the substrate 711. , And a quantum dot group 720 including two second quantum dots 713 discretely formed around the first quantum dot 712.

量子ドットグループ720を構成する各量子ドット712,713は、励起子を三次元的に閉じ込めることにより形成される離散的なエネルギー準位に基づき、単一電子(励起子)を制御する。第1の量子ドット712は、入力される波長λ1の光を励起子に変換して、これを第2の量子ドット713へ注入する。第2の量子ドット713は、第1の量子ドット713から注入される励起子を基底準位へ自然放出遷移させてこれを光として放出し、或いは当該励起子を互いに授受する。   Each quantum dot 712 and 713 constituting the quantum dot group 720 controls a single electron (exciton) based on discrete energy levels formed by confining excitons three-dimensionally. The first quantum dot 712 converts the input light of wavelength λ1 into excitons and injects it into the second quantum dot 713. The second quantum dot 713 causes the exciton injected from the first quantum dot 713 to spontaneously emit to the ground level and emit it as light, or exchanges the exciton with each other.

この各量子ドット712,713は、CuCl、GaN又はZnO等の材料系からなり、各量子ドット712,713を構成する材料系がCuClである場合に、これらは立方体として構成され、また各量子ドット712,713を構成する材料系がGaNやZnOである場合に、これらは球形或いは円盤形として構成される。ちなみに、この量子ドットグループ720を構成する各量子ドット712,713は、通信帯域に対応させるべくInGaAs等の材料系で構成してもよい。   Each quantum dot 712, 713 is made of a material system such as CuCl, GaN or ZnO. When the material system constituting each quantum dot 712, 713 is CuCl, these are configured as a cube, and each quantum dot When the material system constituting 712 and 713 is GaN or ZnO, these are configured as a sphere or a disk. Incidentally, the quantum dots 712 and 713 constituting the quantum dot group 720 may be made of a material system such as InGaAs so as to correspond to the communication band.

この各量子ドット712,713において、構成される材料系がCuClの場合には、第1の量子ドット712の辺長が約4.6nmであり、また第2の量子ドット713の辺長が約6.3nmである。また構成される材料系がGaN又はZnOの場合には、第1の量子ドット712の半径は約7.0nmであり、また第2の量子ドット713の半径は約10.0nmである。すなわち、すなわち第2の量子ドット713は、第1の量子ドット712よりも大体積で構成され、第1の量子ドット712と第2の量子ドット713の辺長(半径)の比は、およそ1:√2で表される。また、第2の量子ドット713は、後述する共鳴効果を効率よく発揮させるべく、通常、第1の量子ドット712を中心として半径30nm以内の領域において、望ましくは半径10nm以内の領域において、離散的に2つ形成されている。この2つ形成された第2の量子ドット713のうち、一方を第2の量子ドット713aとし、他方を第2の量子ドット713bとする。   In each of the quantum dots 712 and 713, when the material system configured is CuCl, the side length of the first quantum dot 712 is about 4.6 nm, and the side length of the second quantum dot 713 is about It is 6.3 nm. When the material system is GaN or ZnO, the radius of the first quantum dot 712 is approximately 7.0 nm, and the radius of the second quantum dot 713 is approximately 10.0 nm. That is, that is, the second quantum dot 713 has a larger volume than the first quantum dot 712, and the ratio of the side length (radius) of the first quantum dot 712 to the second quantum dot 713 is approximately 1 : Represented by √2. The second quantum dots 713 are usually discrete in a region within a radius of 30 nm, preferably in a region within a radius of 10 nm, with the first quantum dot 712 as a center, in order to efficiently exhibit a resonance effect described later. Two are formed. Of the two formed second quantum dots 713, one is a second quantum dot 713a and the other is a second quantum dot 713b.

このように量子ドットグループ720は、各量子ドット712、713をナノスケールで構成することにより、ナノスケールで入力される光の波長を変換することができ、或いは変換した光の波長をナノスケールで放出することができる。   In this way, the quantum dot group 720 can convert the wavelength of light input at the nanoscale by configuring each quantum dot 712, 713 at the nanoscale, or the wavelength of the converted light at the nanoscale. Can be released.

なお、これらの各量子ドット712、713の作製方法は、上述した各量子ドット12、13の記載を引用して説明を省略する。   In addition, about the manufacturing method of each of these quantum dots 712 and 713, description of each quantum dot 12 and 13 mentioned above is referred, and description is abbreviate | omitted.

ちなみに、この量子ドットグループを構成する各量子ドット712,713に対しては、図17に示すような入射側光プローブ621、出射側光プローブ641により光を入出力させる。   Incidentally, light is input to and output from each of the quantum dots 712 and 713 constituting this quantum dot group by an incident side optical probe 621 and an emission side optical probe 641 as shown in FIG.

入射側光プローブ621は、図示しない外部光源から光が供給される。この入射側光プローブ621は、図21に示すように、突出部212を介して第1の量子ドット712へ、光をナノスケールで入力することができる。同様に出射側光プローブ621は、第2の量子ドット713から放出されるナノスケールの光を取り出してこれを外部へ搬送することができる。   The incident side optical probe 621 is supplied with light from an external light source (not shown). As shown in FIG. 21, the incident-side optical probe 621 can input light to the first quantum dots 712 via the protrusions 212 on a nanoscale. Similarly, the emission-side optical probe 621 can take out nanoscale light emitted from the second quantum dots 713 and transport it to the outside.

なお、この入射側光プローブ621、出射側光プローブ641は、図示しない光導波路に代替してもよい。この図示しない光導波路は、光源から供給される光を伝播して第1の量子ドット712へ供給し、或いは第2の量子ドット712から供給する光を外部へ伝搬する。この図示しない光導波路は、例えばAlやAu等の細線を利用した金属導波路で構成し、伝播する光をプラズモンとして伝搬してもよい。   The incident side optical probe 621 and the emission side optical probe 641 may be replaced with an optical waveguide (not shown). This optical waveguide (not shown) propagates the light supplied from the light source and supplies it to the first quantum dots 712 or propagates the light supplied from the second quantum dots 712 to the outside. The optical waveguide (not shown) may be formed of a metal waveguide using a thin wire such as Al or Au, and may propagate the propagating light as plasmons.

次に、各量子ドット712,713のエネルギー準位について説明をする。図22は、各量子ドット712、713を構成する材料系がCuClである場合のエネルギバンド図を示している。   Next, energy levels of the quantum dots 712 and 713 will be described. FIG. 22 shows an energy band diagram in the case where the material system constituting each of the quantum dots 712 and 713 is CuCl.

式(1)に基づき、各量子ドット712、713のE(n,n,n)を計算する。このとき、第1の量子ドット712と第2の量子ドット713の辺長比は、およそ1:√2であるため、第1の量子ドット712における量子準位が(1,1,1)であるときのE(111)と、第2の量子ドット713における量子準位が(2,1,1)であるときのE(211)とが等しくなる。すなわち、第1の量子ドット712の量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット713の量子準位(2,1,1)は、励起子のエネルギー準位が共鳴する関係にある。 Based on equation (1), to calculate the E (n x, n y, n z) of the quantum dots 712 and 713. At this time, since the side length ratio of the first quantum dot 712 and the second quantum dot 713 is approximately 1: √2, the quantum level in the first quantum dot 712 is (1, 1, 1). E 1 (111) at a certain time is equal to E 2 (211) when the quantum level of the second quantum dot 713 is (2, 1, 1). That is, the relationship between the quantum level (1, 1, 1) of the first quantum dot 712 and the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 713 resonates with the energy level of the exciton. It is in.

かかる共鳴が生じる場合おいて、見かけ上第1の量子ドット712から第2の量子ドット713へ励起子が移動することになる。そして、この第2の量子ドット713の量子準位(2,1,1)へ移動した励起子は、さらに低準位である当該第2の量子ドット713の量子準位(1,1,1)へ遷移する。すなわち、この第1の量子ドット712における量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット713における量子準位(1,1,1)とは、相互に結合することになる。   In the case where such resonance occurs, excitons apparently move from the first quantum dot 712 to the second quantum dot 713. Then, the exciton that has moved to the quantum level (2, 1, 1) of the second quantum dot 713 has a lower quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 713. ). That is, the quantum level (1, 1, 1) in the first quantum dot 712 and the quantum level (1, 1, 1) in the second quantum dot 713 are coupled to each other.

また、第1の量子ドット712において、量子準位(1,1,1)と基底準位b1とのエネルギーギャップEg1に応じた波長λの光を受光することにより、励起子を基底準位b1から量子準位(1,1,1)へ励起させることができる。そして、第1の量子ドット712における量子準位(1,1,1)へ励起された励起子は、第2の量子ドット713における量子準位(1,1,1)へと結合してゆく。 In addition, the first quantum dot 712 receives the light having the wavelength λ 1 corresponding to the energy gap Eg1 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b1, so that the exciton is grounded. It is possible to excite from b1 to the quantum level (1,1,1). The excitons excited to the quantum level (1,1,1) in the first quantum dot 712 are coupled to the quantum level (1,1,1) in the second quantum dot 713. .

すなわち、第2の量子ドット713の量子準位(1,1,1)における励起子の密度を、第2の量子ドット713の基底準位よりも高めることができ、これら2つの量子準位間で反転分布を生じさせることができ、第2の量子ドット713の量子準位(1,1,1)に遷移した励起子を基底準位へ自然放出遷移させることができる。かかる励起子の自然放出遷移が生じると、量子準位(1,1,1)と基底準位のエネルギー差に相当する波長の光が放出されることになる。なお第2の量子ドット713aから放出される光の波長をλとし、第2の量子ドット713bから放出される光の波長をλとする。 In other words, the density of excitons at the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 713 can be made higher than the ground level of the second quantum dot 713, and between these two quantum levels. The inversion distribution can be generated by the above, and the exciton transitioned to the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 713 can be spontaneously emitted to the ground level. When the spontaneous emission transition of the exciton occurs, light having a wavelength corresponding to the energy difference between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level is emitted. Note the wavelength of light emitted from the second quantum dot 713a and lambda 2, the wavelength of light emitted from the second quantum dot 713b and lambda 3.

ここでエネルギー保存の法則の観点から、光が供給される第1の量子ドット712におけるEg1は、光を放出する第2の量子ドット713aの量子準位(1,1,1)と基底準位b2とのエネルギーギャップEg2、及び第2の量子ドット713bの量子準位(1,1,1)と基底準位b3とのエネルギーギャップEg3の和に等しいことが必要となる。ここでエネルギーEは、E=hc/λで表されるため、エネルギー的に平衡を保つためには、Eg1に相当する波長λと、Eg2に相当する波長λ及びEg3に相当する波長λとの間で、以下の(2)式に示す関係が成り立つことが必要となる。
1/λ=1/λ+1/λ ・・・・・・(2)
ちなみに、第1の量子ドット712は、第2の量子ドット713よりも体積が小さいため、同一の量子準位(1,1,1)であっても、λ<λとなる。従って、1個のフォトンにより励起された1つの励起子が第2の量子ドット713aに移動して波長λの光が放出されても、この第2の量子ドット713aは、放出すべきエネルギーが余剰している状態にある。このため、第2の量子ドット713aにある励起子は、さらに第2の量子ドット713bへと移動し、上述の如く2つの量子準位間で反転分布を形成して波長λの光を放出する。
Here, from the viewpoint of the law of conservation of energy, Eg1 in the first quantum dot 712 to which light is supplied is the quantum level (1,1,1) and the ground level of the second quantum dot 713a that emits light. It is necessary to be equal to the sum of the energy gap Eg2 with b2 and the energy gap Eg3 between the quantum level (1, 1, 1) of the second quantum dot 713b and the ground level b3. Here, since the energy E is expressed by E = hc / λ, in order to maintain an energy balance, a wavelength λ 1 corresponding to Eg1, a wavelength λ 2 corresponding to Eg2, and a wavelength λ corresponding to Eg3 between 3, it is necessary to satisfy the relationship shown in the following equation (2).
1 / λ 1 = 1 / λ 2 + 1 / λ 3 (2)
Incidentally, since the first quantum dot 712 has a smaller volume than the second quantum dot 713, λ 12 even if the quantum level is the same (1, 1, 1). Therefore, one of excitons excited by a single photon be emitted wavelength lambda 2 of the light by moving the second quantum dot 713a, the second quantum dot 713a, the energy to be released There is a surplus. Therefore, excitons in the second quantum dot 713a further second moved to the quantum dots 713b, releasing two quantum levels formed by the light of the wavelength lambda 3 population inversion between as described above To do.

すなわち、第1の量子ドット712における量子準位(1,1,1)は、複数の第2の量子ドット713a、713bにおける量子準位(1,1,1)と相互に結合し、第1の量子ドット712において励起された励起子が第2の量子ドット713aに移動して波長λの光が放出し、さらにエネルギー余剰分に相当する励起子が第2の量子ドット713bへ移動して波長λの光を放出することにより、エネルギー的に平衡を保つことができる。これにより、ナノスケールで入力される波長λの光を、互いに異なる波長λ、λの光に変換して放出することが可能となる。 That is, the quantum level (1, 1, 1) in the first quantum dot 712 is mutually coupled with the quantum level (1, 1, 1) in the plurality of second quantum dots 713a and 713b. excited excitons in the quantum dots 712 are second to move to the quantum dots 713a and emission wavelength lambda 2 of the light, further exciton corresponding to the energy surplus is moved to the second quantum dot 713b of by emitting light of wavelength lambda 3, it is possible to maintain the energy equilibrium. As a result, it is possible to convert the light of wavelength λ 1 input on the nanoscale into light of different wavelengths λ 2 and λ 3 and emit them.

このように本発明を適用した波長変換素子1では、体積が異なる各量子ドット712、713を基板711上に形成することにより、状態密度関数がほぼ等しくなる量子準位を作り出すことができ、これらの間で共鳴効果を起こさせることにより、第1の量子ドット712の量子準位と、複数の第2の量子ドット713の量子準位とを結合させることができる。これにより、1個のフォトンにより励起された1つの励起子を、エネルギー保存の法則を満たすように複数の第2の量子ドット713へ移動させ、それぞれにおいて形成された反転分布に応じた異なる波長の光を放出することができるため、入力された光の損失を抑えて高効率に波長変換することができる。またこの波長変換素子1を構成する各量子ドット712、713は、ナノメータサイズで構成されているため、ナノスケールで入力される光であっても効率よく波長変換することができる。   In this way, in the wavelength conversion element 1 to which the present invention is applied, by forming the quantum dots 712 and 713 having different volumes on the substrate 711, it is possible to create quantum levels in which the state density functions are almost equal. By causing a resonance effect between them, the quantum level of the first quantum dot 712 and the quantum level of the plurality of second quantum dots 713 can be combined. As a result, one exciton excited by one photon is moved to the plurality of second quantum dots 713 so as to satisfy the law of energy conservation, and the different wavelength according to the inversion distribution formed in each of them. Since light can be emitted, wavelength conversion can be performed with high efficiency while suppressing loss of input light. Moreover, since each quantum dot 712 and 713 which comprises this wavelength conversion element 1 is comprised by nanometer size, even if it is the light input by nano scale, it can convert wavelength efficiently.

なお、本発明を適用した波長変換素子7は、上述した実施の形態に限定されるものではない。上述の如く第1の量子ドット712における量子準位(1,1,1)と、第2の量子ドット713における量子準位(1,1,1)とを結合させて、励起子を移動させる場合のみならず、他の量子準位或いはサブレベルを介して励起子を移動させてもよい。   The wavelength conversion element 7 to which the present invention is applied is not limited to the above-described embodiment. As described above, the quantum level (1, 1, 1) in the first quantum dot 712 and the quantum level (1, 1, 1) in the second quantum dot 713 are combined to move excitons. In addition to the case, excitons may be moved through other quantum levels or sublevels.

また、第2の量子ドット713は、基板上711において2つ形成されている場合のみならず、3つ以上形成されていてもよい。これにより、ある一定の確率で量子準位間の結合を作り出すことができ、これらで波長変換させることで、多帯域にわたる光を作り出すことも可能となる。   Moreover, not only the case where two second quantum dots 713 are formed on the substrate 711 but also three or more second quantum dots 713 may be formed. As a result, coupling between quantum levels can be created with a certain probability, and by performing wavelength conversion using these, it is also possible to create light over multiple bands.

また第1の量子ドット712と第2の量子ドット713の辺長比も上述の如く1:√2に限定されるものではなく、第1の量子ドット712の体積が、第2の量子ドット713の体積よりも小さくなれば、いかなる辺長比であってもよい。また、各量子ドット712、713間で体積を変えて構成する場合のみならず、材質を変えることにより、量子準位のレベルを設定してもよい。このとき、例えば量子ドットの材質としてInGaAsを用いる場合には、Inの含有量を変化させることにより、構成してもよい。   Further, the side length ratio between the first quantum dot 712 and the second quantum dot 713 is not limited to 1: √2 as described above, and the volume of the first quantum dot 712 is equal to the second quantum dot 713. Any side length ratio may be used as long as it is smaller than the volume. Further, not only when the volume is changed between the quantum dots 712 and 713, the level of the quantum level may be set by changing the material. At this time, for example, when InGaAs is used as the material of the quantum dots, it may be configured by changing the In content.

また第2の量子ドット713は、量子準位(1,1,1)と基底準位b2とのエネルギーギャップEg2、Eg3を、それぞれ体積や材質を変化させることにより、放出する光の波長λ、λを設定し直すことも可能である。これにより、放出する光の波長λ、λを同等にしてもよいことは勿論である。 Further, the second quantum dot 713 changes the energy gaps Eg2 and Eg3 between the quantum level (1, 1, 1) and the ground level b2 by changing the volume and the material, respectively, and thereby the wavelength λ 2 of the emitted light. , Λ 3 can be reset. In this way, of course, the wavelengths λ 2 and λ 3 of the emitted light may be made equal.

本発明を適用した量子ドットによる伝送路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the transmission line by the quantum dot to which this invention is applied. 量子ドットによる伝送路におけるエネルギバンド図である。It is an energy band figure in the transmission line by a quantum dot. 本発明を適用した量子ドットによる伝送路の他の構成を示す図である。It is a figure which shows the other structure of the transmission line by the quantum dot to which this invention is applied. 量子ドットの作製例について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the example of preparation of a quantum dot. 本発明を適用した光増幅器の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the optical amplifier to which this invention is applied. 光増幅器におけるエネルギバンド図である。It is an energy band figure in an optical amplifier. 本発明を適用した光増幅器の他の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other structure of the optical amplifier to which this invention is applied. 本発明を適用した光発振器の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the optical oscillator to which this invention is applied. 本発明に係る波長多重装置並びに波長分離装置が適用される光通信システムの構成を示した図である。It is the figure which showed the structure of the optical communication system with which the wavelength multiplexing apparatus and wavelength separation apparatus which concern on this invention are applied. 本発明を適用した波長多重装置の具体的な構成について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the specific structure of the wavelength multiplexing apparatus to which this invention is applied. 波長多重装置における量子準位を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the quantum level in a wavelength multiplexing apparatus. 本発明を適用した波長多重装置の他の構成について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other structure of the wavelength multiplexing apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した波長分離装置の具体的な構成について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the specific structure of the wavelength separation apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した波長分離装置の他の構成について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other structure of the wavelength separation apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した近接場集光器の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the near-field collector which applied this invention. 本発明を適用した近接場集光器の他の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other structure of the near-field collector to which this invention is applied. 本発明を適用した光ゲート素子の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the optical gate element to which this invention is applied. 光ゲート素子におけるエネルギバンド図である。It is an energy band figure in an optical gate element. p−GaNと、n−GaNを接合することにより得られるPN接合層の詳細について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detail of the PN junction layer obtained by joining p-GaN and n-GaN. 本発明を適用した光ゲート素子の他の構成について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other structure of the optical gate element to which this invention is applied. 本発明を適用した波長変換素子の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the wavelength conversion element to which this invention is applied. 波長変換素子におけるエネルギバンド図である。It is an energy band figure in a wavelength conversion element.

符号の説明Explanation of symbols

1 伝送路、2,3 光増幅器、4 光通信システム、5 近接場集光器、6 光ゲート素子、7 波長変換素子、9 光発振器、43 波長多重装置、45 波長分離装置、12,22,433,612,712 第1の量子ドット、13,23,434,613,713 第2の量子ドット、614 第3の量子ドット、11,21,431,511,611,711 基板   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transmission path, 2, 3 Optical amplifier, 4 Optical communication system, 5 Near field collector, 6 Optical gate element, 7 Wavelength conversion element, 9 Optical oscillator, 43 Wavelength multiplexing apparatus, 45 Wavelength separation apparatus, 12, 22, 433, 612, 712 first quantum dot, 13, 23, 434, 613, 713 second quantum dot, 614 third quantum dot, 11, 21, 431, 511, 611, 711 substrate

Claims (4)

導電性の結晶により構成される基板と、
光を照射する光照射手段と、
上記基板上に形成され、上記光照射手段から照射される光の波長に応じて励起子が励起される第1のエネルギー準位を有する第1の量子ドットと、
上記基板上に上記第1の量子ドットより大体積で形成され、上記第1のエネルギー準位との共鳴に応じて上記第1の量子ドットから上記基板を介して励起子が注入される第2のエネルギー準位と、当該第2のエネルギー準位より低準位であり上記励起子が遷移される第3のエネルギー準位とを有し、上記第3のエネルギー準位と基底準位との間に形成された反転分布に基づいて光を放出する第2の量子ドットとを備えること
を特徴とする近接場光集光器。
A substrate composed of conductive crystals;
Light irradiation means for irradiating light;
A first quantum dot formed on the substrate and having a first energy level in which excitons are excited according to the wavelength of light emitted from the light irradiation means;
A second volume is formed on the substrate in a larger volume than the first quantum dot, and excitons are injected from the first quantum dot through the substrate in response to resonance with the first energy level. And a third energy level that is lower than the second energy level and in which the exciton is transitioned, and the third energy level and the ground level A near-field light concentrator comprising: a second quantum dot that emits light based on an inversion distribution formed therebetween.
上記第1の量子ドットは、上記第2の量子ドットの周囲に離散的に複数形成されてなること
を特徴とする請求項1記載の近接場集光器。
The near-field concentrator according to claim 1, wherein a plurality of the first quantum dots are discretely formed around the second quantum dots.
上記基板上において上記第1の量子ドットよりも小体積で形成され、上記光照射手段から照射される光の波長に応じて励起された励起子を、上記第1のエネルギー準位との共鳴に応じて注入する第3の量子ドットを備えること
を特徴とする請求項1記載の近接場集光器。
On the substrate, excitons formed in a smaller volume than the first quantum dots and excited according to the wavelength of light emitted from the light irradiation means are caused to resonate with the first energy level. The near-field concentrator according to claim 1, further comprising a third quantum dot to be injected accordingly.
上記第3の量子ドットは、上記第1の量子ドットの周囲において離散的に複数形成されてなること
を特徴とする請求項3記載の近接場集光器。
The near-field concentrator according to claim 3, wherein a plurality of the third quantum dots are discretely formed around the first quantum dot.
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