JP4466058B2 - Glass base material manufacturing method and manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、ガラスパイプ内にガラスロッドを挿入して、両者を加熱一体化処理することで光ファイバ用のガラス母材を製造するガラス母材の製造方法及び製造装置に関する。 The present invention relates to a glass base material manufacturing method and a manufacturing apparatus for manufacturing a glass base material for an optical fiber by inserting a glass rod into a glass pipe and subjecting both of them to heat integration.
ガラスパイプ内にガラスパイプよりも屈折率の高いガラスロッドを挿入した後に両者を加熱して一体化するロッドインコラプス法は、分散補償ファイバ或いは分散シフトファイバといった複雑な構造を有する光ファイバ用のガラス母材を製造するのに適した方法として広く用いられている。 The rod-in collapse method, in which a glass rod having a higher refractive index than that of the glass pipe is inserted into the glass pipe and then heated and integrated, is a glass for an optical fiber having a complicated structure such as a dispersion compensating fiber or a dispersion shifted fiber. Widely used as a method suitable for manufacturing a base material.
しかしながら、ロッドインコラプス法において、ガラスパイプとガラスロッドとの間隙部に大気中の水蒸気等が残留していた場合には、コラプス後の光ファイバ母材内に水分が取り込まれてしまうことになる。このような水分が取り込まれた母材から光ファイバを作製すると、その光ファイバにおいてはOH基に起因する吸収損失(OH損失)が大きくなってしまうという問題があった。 However, in the rod-in collapse method, if water vapor or the like in the atmosphere remains in the gap between the glass pipe and the glass rod, moisture will be taken into the optical fiber preform after the collapse. . When an optical fiber is manufactured from such a base material in which moisture is taken in, there is a problem in that the optical fiber has a large absorption loss (OH loss) due to OH groups.
そこで、このような問題を解決するため、ガラスロッドとガラスパイプとの間隙部に塩素ガスを流すといったことが行われる。
図3は、ガラスロッドとガラスパイプとの間隙部に塩素ガスを流しつつ、ロッドインコラプス法を実施して、光ファイバ用のガラス母材を製造するガラス母材の製造装置の従来例を示したものである(例えば、特許文献1参照)。
Therefore, in order to solve such a problem, chlorine gas is allowed to flow through the gap between the glass rod and the glass pipe.
FIG. 3 shows a conventional example of a glass base material manufacturing apparatus that manufactures a glass base material for an optical fiber by carrying out a rod in collapse method while flowing chlorine gas through a gap between the glass rod and the glass pipe. (See, for example, Patent Document 1).
図3に示した製造装置1は、ガラスパイプを保持するパイプ保持部材2、ガラスパイプの端部に取り付けられるシールボックス3a,3bを有する。
また、製造装置1は、ガラスパイプの内部を減圧する真空ポンプ4、ガラスパイプとガラスロッドとを加熱一体化する酸水素火炎バーナ5、及びパイプ保持部材2が固定される基台6を備える。
また、シールボックス3aにはガス供給管7が接続され、シールボックス3bには排気管10が接続されている。
ガス供給管7は、図示しないガス供給系から供給されるガスをシールボックス3aに導く。ガス供給系からは、塩素(Cl2)ガスといった脱水効果の高いガスや弗化硫黄(SF6)といったエッチングガスが供給される。
ガス供給管7には、ガス供給管7から分岐してシールボックス3bに至るバイパス管8が設けられている。
また、ガス供給管7には、ガス供給管7から分岐し真空ポンプ4に繋がる減圧管9が設けられている。バイパス管8にバルブ8vが設けられ、減圧管9にバルブ9vが設けられている。
これらのバルブ8v,9vの操作により、ガスの流路を決定できる。
The manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 3 includes a pipe holding member 2 that holds a glass pipe, and seal boxes 3a and 3b that are attached to end portions of the glass pipe.
The manufacturing apparatus 1 also includes a vacuum pump 4 for decompressing the inside of the glass pipe, an oxyhydrogen flame burner 5 for heating and integrating the glass pipe and the glass rod, and a base 6 to which the pipe holding member 2 is fixed.
A gas supply pipe 7 is connected to the seal box 3a, and an exhaust pipe 10 is connected to the seal box 3b.
The gas supply pipe 7 guides gas supplied from a gas supply system (not shown) to the seal box 3a. From the gas supply system, a gas having a high dehydrating effect such as chlorine (Cl 2 ) gas or an etching gas such as sulfur fluoride (SF 6 ) is supplied.
The gas supply pipe 7 is provided with a bypass pipe 8 branched from the gas supply pipe 7 to reach the seal box 3b.
The gas supply pipe 7 is provided with a decompression pipe 9 that branches from the gas supply pipe 7 and is connected to the vacuum pump 4. The bypass pipe 8 is provided with a valve 8v, and the decompression pipe 9 is provided with a valve 9v.
By operating these valves 8v and 9v, the gas flow path can be determined.
パイプ保持部材2は回転可能に設けられており、基台6に備えられた回転駆動装置(図示せず)により回転される。
これにより、パイプ保持部材2に保持されたガラスパイプ51を周方向に回転することができる。シールボックス3a,3bは、ガラスパイプ51の端部と接触する位置においてシール材(図示せず)を有する。このシール材は、例えばバイトン(Viton、商標名)といった材料から作製されるとよい。このシール材により、シールボックス3a,3bとガラスパイプ51とが密着される。シールボックス3a,3bは、また、回転可能に設けられている。そのため、シールボックス3a,3bは、パイプ保持部材2により周方向に回転されるガラスパイプ51と共に回転する。
The pipe holding member 2 is rotatably provided and is rotated by a rotation driving device (not shown) provided on the base 6.
Thereby, the glass pipe 51 hold | maintained at the pipe holding member 2 can be rotated in the circumferential direction. The seal boxes 3a and 3b have a seal material (not shown) at a position in contact with the end of the glass pipe 51. The sealing material may be made of a material such as Viton (trade name). The seal boxes 3a and 3b and the glass pipe 51 are brought into close contact with each other by this sealing material. The seal boxes 3a and 3b are also rotatably provided. Therefore, the seal boxes 3a and 3b rotate together with the glass pipe 51 rotated in the circumferential direction by the pipe holding member 2.
次に、上記製造装置1によるガラス母材の製造方法について説明する。
予め、光ファイバのコア部となるべきガラスロッド50と、光ファイバのクラッド部となるべきガラスパイプ51を用意しておき、まず、ガラスパイプ51をパイプ保持部材2に取り付け、このガラスパイプ51の一方の端部にシールボックス3aを取り付け、他方の端部にシールボックス3bを取り付ける。
Next, the manufacturing method of the glass base material by the said manufacturing apparatus 1 is demonstrated.
A glass rod 50 to be a core portion of an optical fiber and a glass pipe 51 to be a cladding portion of an optical fiber are prepared in advance. First, the glass pipe 51 is attached to the pipe holding member 2, and the glass pipe 51 The seal box 3a is attached to one end, and the seal box 3b is attached to the other end.
その後、ガス供給系よりSF6ガス及びCl2ガスをそれぞれ所定の流量で供給する。これにより、ガラスパイプ51の内部はこれらのガスで置換される。上記のガスを流したまま、酸水素火炎バーナ5を用いてガラスパイプ51を加熱し、ガラスパイプ51の内面に対しエッチング処理を実施する。
なお、このエッチング処理においては、ガラスパイプ51の有効部となるべき部分において、酸水素火炎バーナ5をほぼ一定の速度で移動させ、エッチング量がほぼ一定となるようにする。このエッチングによりガラスパイプ51の内径が所定の値となった後、エッチングを終了させる。
Thereafter, SF 6 gas and Cl 2 gas are respectively supplied at a predetermined flow rate from the gas supply system. Thereby, the inside of the glass pipe 51 is replaced with these gases. The glass pipe 51 is heated using the oxyhydrogen flame burner 5 with the above gas flowing, and the inner surface of the glass pipe 51 is etched.
In this etching process, the oxyhydrogen flame burner 5 is moved at a substantially constant speed in the portion to be an effective part of the glass pipe 51 so that the etching amount becomes substantially constant. After the inner diameter of the glass pipe 51 reaches a predetermined value by this etching, the etching is terminated.
次いで、一方のシールボックス3bをガラスパイプ51から取り外し、ガラスパイプの内部にガラスロッド50を挿入する。
そして、再びシールボックス3bをガラスパイプ51に取り付けた後、ガス供給系からCl2ガスを供給する。
Next, one seal box 3b is removed from the glass pipe 51, and the glass rod 50 is inserted into the glass pipe.
After the re-fitted with a seal box 3b in the glass pipe 51, and supplies the Cl 2 gas from the gas supply system.
そして、ガラスパイプ51の内部がCl2ガスで十分に置換された後、ガラスパイプ51を酸水素火炎バーナ5で加熱して脱水処理を行う。これにより、ガラスロッド50の外周面及びガラスパイプ51の内面に付着する水分を除去する。
その後、バルブ8vを開け、ガラスパイプ51のシールボックス3b側における任意の位置(以下、開始位置)でガラスパイプ51とガラスロッド50との一部を加熱一体化する始端一体化処理を実施する。
Then, after the inside of the glass pipe 51 is sufficiently replaced with Cl 2 gas, the glass pipe 51 is heated by the oxyhydrogen flame burner 5 to perform dehydration treatment. Thereby, the water | moisture content adhering to the outer peripheral surface of the glass rod 50 and the inner surface of the glass pipe 51 is removed.
Thereafter, the valve 8v is opened, and a start end integration process is performed in which a part of the glass pipe 51 and the glass rod 50 is heated and integrated at an arbitrary position (hereinafter referred to as a start position) of the glass pipe 51 on the seal box 3b side.
この始端一体化処理の際には、ガラスパイプ51をパイプ保持部材2により回転させて、ガラスパイプ51とガラスロッド50とを周方向全体にわたって均一に一体化させる。
ガラスパイプ51とガラスロッド50とが周方向全体にわたって均一に一体化されたか否かは、目視によって確認する。
そして、始端一体化処理によって一体化後、ガス供給系からのCl2ガス供給を停止し、バルブ8vを閉めるとともにバルブ9vを開ける。
すると、ガラスパイプ51とガラスロッド50との間隙部のCl2ガスは真空ポンプ4により排気され、間隙部の圧力は外気圧よりも低くなる。当該間隙部のCl2ガスが排気される様子を図3(b)に示す。
In this starting end integration process, the glass pipe 51 is rotated by the pipe holding member 2 so that the glass pipe 51 and the glass rod 50 are uniformly integrated over the entire circumferential direction.
Whether the glass pipe 51 and the glass rod 50 are uniformly integrated over the entire circumferential direction is confirmed by visual observation.
Then, after the integration by the start end integration process, the Cl 2 gas supply from the gas supply system is stopped, the valve 8v is closed, and the valve 9v is opened.
Then, the Cl 2 gas in the gap between the glass pipe 51 and the glass rod 50 is exhausted by the vacuum pump 4 and the pressure in the gap becomes lower than the external pressure. FIG. 3B shows how the Cl 2 gas in the gap is exhausted.
次いで、ガラスパイプ51を回転させたまま、上記の開始位置からシールボックス3aの方向へ酸水素火炎バーナ5を移動させながら、ガラスパイプ51とガラスロッド50とを加熱一体化していく連続一体化処理を実施する。これにより、両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光ファイバ用のガラス母材が完成する。 Next, a continuous integration process in which the glass pipe 51 and the glass rod 50 are heated and integrated while moving the oxyhydrogen flame burner 5 from the start position toward the seal box 3a while rotating the glass pipe 51. To implement. Thereby, both are heat-integrated over predetermined length, and the glass preform | base_material for optical fibers is completed.
ところが、近年は、製造するガラス母材の大径化が進められている。
大径のガラス母材をロッドインコラプス法で製造する場合、上記の始端一体化処理や連続一体化処理等で使用する加熱手段は、上記製造装置1に示したようにガラスパイプ51を回転させながら加熱域を周方向に移動させるバーナ5では、間に合わない。
そこで、加熱手段として、ガラスパイプ51の軸方向に一定の幅を持ち、このガラスパイプ51の外周を囲うリング状に炉体が形成された加熱炉を使用することが提案されている。
しかし、加熱手段として加熱炉を使用した場合には、加熱域が炉体によって隠れてしまうため、加熱処理によって一体化した状態を視認することができない。
However, in recent years, the diameter of glass base materials to be manufactured has been increased.
When manufacturing a large-diameter glass base material by the rod-in collapse method, the heating means used in the start end integration process or continuous integration process described above rotates the glass pipe 51 as shown in the manufacturing apparatus 1. However, the burner 5 that moves the heating zone in the circumferential direction is not in time.
Therefore, it has been proposed to use a heating furnace having a certain width in the axial direction of the glass pipe 51 and having a furnace body formed in a ring shape surrounding the outer periphery of the glass pipe 51 as a heating means.
However, when a heating furnace is used as the heating means, the heating area is hidden by the furnace body, so that the integrated state cannot be visually recognized.
そのため、これまで、加熱手段として加熱炉を採用したガラス母材の製造装置の場合には、予め始端一体化処理によってガラスパイプ51とガラスロッド50との一部が一体化するまでの所要時間を推定しておいて、推定時間が経過したら、始端一体化処理が完了したと見なして、次の連続一体化処理の開始を行う製造方法が検討された。 Therefore, until now, in the case of a glass base material manufacturing apparatus that employs a heating furnace as a heating means, the time required until a part of the glass pipe 51 and the glass rod 50 are integrated in advance by the start-end integration processing is determined. Assuming that the estimated time has elapsed, a manufacturing method for considering that the start-end integration process has been completed and starting the next continuous integration process has been studied.
ところが、実際に始端一体化処理が完了するまでの所要時間は、ガラスパイプ51及びガラスロッド50の個体差や、周囲の環境温度等の影響を受けて微妙に変動する。
そのため、予め推定した所要時間で、次の連続一体化処理の開始を始めると、、実際には始端一体化処理が未完了の状態(即ち、周方向の一部に、一体化していない部分が残存している状態)で連続一体化処理が開始される結果、ガラス母材の一部に水分や外気を下流側から巻き込んだ品質不良部が発生したり、或いは、実際には始端一体化処理が終了しているにも拘わらず、連続一体化処理が開始されずに、Cl2,O2,N2等のガスの供給が継続されるために、過剰加圧によってガラスパイプ51が破損するといった問題を招く虞があった。
However, the time required until the start-end integration processing is actually completed varies slightly depending on individual differences of the glass pipe 51 and the glass rod 50, the ambient temperature, and the like.
Therefore, when the start of the next continuous integration process is started in the required time estimated in advance, the start-end integration process is actually incomplete (that is, there is a part that is not integrated in a part of the circumferential direction). As a result of starting the continuous integration process in the remaining state), a defective quality part in which moisture or outside air is engulfed from the downstream side in a part of the glass base material is generated, or actually the start end integration process However, the continuous integration process is not started and the supply of gases such as Cl 2 , O 2 , and N 2 is continued. There was a possibility of causing such a problem.
また、上記製造装置1の構成では、始端一体化処理の際には、ガラスパイプ51内を陽圧にするCl2,O2,N2等のガスが、バイパス管8によってガラスパイプ51の下流端のシールボックス3bにも供給されているため、始端一体化処理の終了間際には、どうしても、一体化した溶着部に陽圧による負担がかかるようになる。従って、陽圧の作用によるガラスパイプ51の破損を防止するためには、始端一体化処理の終了時に過大な陽圧が作用しないように、Cl2,O2,N2等のガスの供給を徐々に減量していくなど、Cl2,O2,N2等のガスの供給制御も重要になるが、加熱手段として加熱炉を採用して一体化の進行を視認できない状況では、Cl2,O2,N2等のガスの供給制御も非常に困難になり、Cl2,O2,N2等のガスの減量が適正にできないため、ガラスパイプ51の破損や、下流側からの外気の巻き込み等が発生する虞があった。 Further, in the configuration of the manufacturing apparatus 1, gases such as Cl 2 , O 2 , and N 2 that make the inside of the glass pipe 51 a positive pressure are downstream of the glass pipe 51 by the bypass pipe 8 during the start end integration process. Since it is also supplied to the end seal box 3b, a load due to positive pressure is inevitably applied to the integrated welded portion at the end of the start end integration process. Therefore, in order to prevent the glass pipe 51 from being damaged by the action of the positive pressure, supply of gases such as Cl 2 , O 2 , N 2, etc. is performed so that an excessive positive pressure does not act at the end of the start end integration process. etc. gradually reduced, Cl 2, O 2, N 2 supply control of the gas, such as also becomes important in situations which can not visually recognize the progress of the adoption to integrate the heating furnace as the heating means, Cl 2, Since the supply control of gases such as O 2 and N 2 becomes very difficult and the amount of gas such as Cl 2 , O 2 , and N 2 cannot be reduced appropriately, the glass pipe 51 is damaged or the outside air from the downstream side There was a risk of entrainment and the like.
本発明の目的は上記課題を解消することにあり、ロッドインコラプス法によるガラス母材の製造工程において、始端一体化処理の際に、加熱炉に隠れている部位における一体化の進行度合いを、正確に検知でき、その検知結果に応じてガラスパイプ内へのガスの供給を制御することで、ガラスパイプの破損を回避すると共に、下流側の外気の巻き込み等の不都合の発生を防止して、円滑に安定した品質のガラス母材を製造することができるガラス母材の製造方法及び製造装置を提供することである。 The purpose of the present invention is to eliminate the above-mentioned problem, and in the manufacturing process of the glass base material by the rod in collapse method, the integration progress in the part hidden in the heating furnace during the start-end integration process, By accurately detecting and controlling the gas supply into the glass pipe according to the detection result, the glass pipe is prevented from being damaged, and the occurrence of inconveniences such as downstream outside air entrainment is prevented. It is an object to provide a glass base material manufacturing method and a manufacturing apparatus capable of manufacturing a glass base material of a stable quality smoothly.
上記目的は下記構成により達成される。
(1) ガラスロッドを挿入したガラスパイプの一端側にガス供給管を接続すると共に他端側にガス排気管を接続し、前記ガラスパイプの一部を加熱手段で加熱して前記ガラスパイプと前記ガラスロッドを一体化する始端一体化処理を実施し、次いで、前記加熱手段を移動させて前記ガラスパイプと前記ガラスロッドとが一体化する連続一体化処理を実施してガラス母材を得るガラス母材の製造方法であって、
前記ガス供給管から供給するガスの余剰分をバイパス管を経由して前記ガス排気管に逃がし、
前記バイパス管に流入するガス流量を測定し、測定されたガス流量と前記ガス供給管から供給するガス流量の差が所定値以下になった後、前記連続一体化処理を開始することを特徴とするガラス母材の製造方法。
The above object is achieved by the following configuration.
(1) A gas supply pipe is connected to one end side of a glass pipe into which a glass rod is inserted and a gas exhaust pipe is connected to the other end side, and a part of the glass pipe is heated by heating means to A glass mother is obtained by performing a start-end integration process for integrating the glass rod, and then performing a continuous integration process for moving the heating means to integrate the glass pipe and the glass rod. A method of manufacturing a material,
Let the excess gas supplied from the gas supply pipe escape to the gas exhaust pipe via a bypass pipe,
The flow rate of gas flowing into the bypass pipe is measured, and the continuous integration process is started after the difference between the measured gas flow rate and the gas flow rate supplied from the gas supply pipe becomes a predetermined value or less. A method for manufacturing a glass base material.
(2) 上記(1)において、前記始端一体化処理時には、前記バイパス管のガス流量の増加に応じて、前記ガス供給管へのガス供給量を制御することを特徴とするガラス母材の製造方法。 (2) In said (1), at the time of the said start end integration process, the gas supply amount to the said gas supply pipe is controlled according to the increase in the gas flow rate of the said bypass pipe, The manufacture of the glass base material characterized by the above-mentioned Method.
(3) ガラスパイプにガラスロッドを挿入した状態で加熱し一体化してガラス母材を製造するためのガラス母材の製造装置であって、
前記ガラスパイプの一端側に接続するためのガス供給管と他端側に接続するためのガス排気管と、
前記ガラスパイプの一部を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段を移動させる移動手段と、
前記ガス供給管から供給するガスの余剰分を前記ガス排気管に逃がすバイパス管と、
前記バイパス管には前記余剰分のガス流量を測定するバイパス流量測定手段と、
測定されたガス流量と前記ガス供給管から供給するガス流量の差を計算する計算装置とを有することを特徴とするガラス母材の製造装置。
(3) A glass base material manufacturing apparatus for manufacturing a glass base material by heating and integrating with a glass rod inserted into a glass pipe,
A gas supply pipe for connecting to one end of the glass pipe and a gas exhaust pipe for connecting to the other end;
Heating means for heating a part of the glass pipe;
Moving means for moving the heating means;
A bypass pipe for letting excess gas supplied from the gas supply pipe escape to the gas exhaust pipe;
A bypass flow measuring means for measuring the surplus gas flow in the bypass pipe;
An apparatus for producing a glass base material, comprising: a calculation device that calculates a difference between a measured gas flow rate and a gas flow rate supplied from the gas supply pipe.
(4) 上記(3)において、前記ガス供給管へのガス供給量を制御する流量制御手段を有し、
前記流量制御手段は、前記バイパス流量測定手段で測定されたガス流量に応じて、前記ガス供給管へのガス供給量を制御する制御機能を有することを特徴とするガラス母材の製造装置。
(4) In the above (3), it has a flow rate control means for controlling the gas supply amount to the gas supply pipe,
The apparatus for producing a glass base material, wherein the flow rate control unit has a control function of controlling a gas supply amount to the gas supply pipe according to a gas flow rate measured by the bypass flow rate measurement unit.
(5) 上記(3)または(4)のいずれか1つにおいて、前記バイパス管は、ガス量またはガス流量を調節する機能を有する弁を有していることを特徴とするガラス母材の製造装置。 (5) In any one of the above (3) or (4), the bypass pipe has a valve having a function of adjusting a gas amount or a gas flow rate, and manufacturing a glass base material apparatus.
上記(1)又は(3)に記載のガラス母材の製造方法及び製造装置では、ロッドインコラプス法によるガラス母材の製造工程において、始端一体化処理の際に、加熱手段に隠れている部位における一体化の進行度合いに応じて、ガラスパイプ側は圧力損失が次第に大きくなり、それに伴い、ガス供給管からバイパス管側へ逃げるガス流量が増大していく。
従って、バイパス流量測定手段の検出値を監視していれば、一体化の部位自体は加熱手段に隠れていて視認できなくとも、一体化の完了時期を正確に検知することができ、その検知結果に応じてガラスパイプ内へのガスの供給を制御することで、ガラスパイプの破損や下流側での外気の巻き込み等を防止して、円滑に安定した品質のガラス母材を製造することができる。
In the glass base material manufacturing method and manufacturing apparatus according to (1) or (3) above, in the glass base material manufacturing process by the rod-in collapse method, the part hidden by the heating means during the start-end integration process In accordance with the degree of integration in the glass pipe, the pressure loss gradually increases on the glass pipe side, and accordingly, the gas flow rate escaping from the gas supply pipe to the bypass pipe side increases.
Therefore, if the detection value of the bypass flow rate measuring means is monitored, the integration completion time can be accurately detected even if the integration part itself is hidden behind the heating means and cannot be visually recognized. By controlling the gas supply to the inside of the glass pipe according to the above, it is possible to prevent the glass pipe from being damaged and the outside air from being entrapped in the downstream side, and to smoothly and stably produce a quality glass base material. .
上記(2)又は(4)に記載のガラス母材の製造方法及び製造装置では、始端一体化処理の開始時には、ガラスパイプに比較的多量のガスが流入されて、ガラスパイプ内が所定の陽圧雰囲気に維持されるが、始端一体化処理の進行に伴って、徐々にガラスパイプ内の陽圧が下がるようになるため、一体化した溶着部への陽圧による負担が軽減されて、陽圧の作用によるガラスパイプの破損防止を更に確実にすることができる。 In the method and apparatus for manufacturing a glass base material described in (2) or (4) above, a relatively large amount of gas flows into the glass pipe at the start of the start-end integration process, and the glass pipe has a predetermined positive flow. Although the pressure atmosphere is maintained, the positive pressure in the glass pipe gradually decreases as the start-end integration process proceeds, so the burden due to the positive pressure on the integrated weld is reduced. It is possible to further reliably prevent the glass pipe from being damaged by the action of pressure.
上記(5)に記載のガラス母材の製造装置では、ガス供給管からガラスパイプに供給されるガスの余剰分のバイパス管へのガス量の調整を、比較的に安価なニードル弁の装備のみで実現することができ、装置の低コスト化を図ることができる。 In the glass base material manufacturing apparatus described in (5) above, adjustment of the amount of gas from the gas supply pipe to the bypass pipe for the excess gas supplied from the gas supply pipe to the glass pipe is performed only with a relatively inexpensive needle valve. The cost of the apparatus can be reduced.
以下、本発明に係るガラス母材の製造方法及び製造装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明に係るガラス母材の製造方法及び製造装置の一実施の形態を示したものである。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a glass base material manufacturing method and a manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows an embodiment of a method and apparatus for producing a glass base material according to the present invention.
この一実施の形態のガラス母材の製造装置21は、所謂、ロッドインコラプス法によって所定長のガラス母材を得るもので、ガラスロッド23が挿入されたガラスパイプ25の一端側にガス供給管27を気密に接続する管継手としての第1シールボックス29と、ガラスパイプ25の他端にガス排気管31を気密に接続する管継手としての第2シールボックス33と、ガス供給管27に所定のガスを供給する図示略のガス供給手段と、第1シールボックス29及び第2シールボックス33を支持する基台35と、ガラスパイプ25を加熱する加熱手段としての加熱炉37と、ガス供給管27の途中に設けられてガラスパイプ25へのガスの供給量を制御する流量制御手段39と、流量制御手段39と第1シールボックス29との間のガス供給管27をガス排気管31に連通させたバイパス管41と、ガス供給管27からガラスパイプ25へ供給されるガス圧が一定以上にならないように余剰分をバイパス管41へ逃がすガス量調整弁43および自動弁49と、バイパス管41に流れるガス流量を検出するバイパス流量測定手段45と、流量制御手段39と第1シールボックス29との間のガス供給管27に接続された真空吸引装置47と、ガス排気管31に接続された真空吸引装置48と、バイパス流量測定手段45で測定されたガス流量とガス供給管27から供給するガス流量の差を計算する計算装置(CPU)60とから構成されている。 The glass base material manufacturing apparatus 21 according to this embodiment obtains a glass base material having a predetermined length by a so-called rod-in collapse method, and a gas supply pipe is provided on one end side of a glass pipe 25 into which a glass rod 23 is inserted. The first seal box 29 as a pipe joint that connects the gas pipe 27 to the other end of the glass pipe 25, the second seal box 33 as the pipe joint that connects the gas exhaust pipe 31 to the other end of the glass pipe 25, and the gas supply pipe 27 A gas supply means (not shown) for supplying the gas, a base 35 for supporting the first seal box 29 and the second seal box 33, a heating furnace 37 as a heating means for heating the glass pipe 25, and a gas supply pipe 27 is provided in the middle of the flow rate control means 39 for controlling the amount of gas supplied to the glass pipe 25, and the gas supply between the flow rate control means 39 and the first seal box 29. A bypass pipe 41 that communicates with the gas exhaust pipe 31, a gas amount adjusting valve 43 that releases excess to the bypass pipe 41 so that the gas pressure supplied from the gas supply pipe 27 to the glass pipe 25 does not exceed a certain level, and An automatic valve 49, a bypass flow rate measuring means 45 for detecting a gas flow rate flowing in the bypass pipe 41, a vacuum suction device 47 connected to the gas supply pipe 27 between the flow rate control means 39 and the first seal box 29, A vacuum suction device 48 connected to the gas exhaust pipe 31, and a calculation device (CPU) 60 for calculating the difference between the gas flow rate measured by the bypass flow rate measuring means 45 and the gas flow rate supplied from the gas supply pipe 27. ing.
ガラスパイプ25は、予め両端にダミーパイプ26a,26bが気密接合される。そして、一端側のダミーパイプ26aが第1シールボックス29を介してガス供給管27に接続され、他端側のダミーパイプ26bが第2シールボックス33を介してガス排気管31に接続される。
両端にダミーパイプ26a,26bが接続されたガラスパイプ25は、ガラスロッド23を未挿通の状態で、第1シールボックス29及び第2シールボックス33に接続され、その内部にエッチングガスを流すことによって、内周面をエッチングする。そして、エッチング処理後に、一旦、シールボックス29,33から取り外されて、ガラスロッド23が挿通された状態にされ、再度、シールボックス29,33間に取り付けられて、ガラスロッド23とガラスパイプ25とを一体化するための始端一体化処理及び連続一体化処理が順次実施される。
In the glass pipe 25, dummy pipes 26a and 26b are airtightly joined to both ends in advance. The dummy pipe 26 a on one end side is connected to the gas supply pipe 27 via the first seal box 29, and the dummy pipe 26 b on the other end side is connected to the gas exhaust pipe 31 via the second seal box 33.
The glass pipe 25 having the dummy pipes 26a and 26b connected to both ends is connected to the first seal box 29 and the second seal box 33 without passing through the glass rod 23, and an etching gas is caused to flow therein. The inner peripheral surface is etched. Then, after the etching process, it is once removed from the seal boxes 29 and 33, and the glass rod 23 is inserted, and is again attached between the seal boxes 29 and 33, and the glass rod 23 and the glass pipe 25. The start end integration process and the continuous integration process for integrating the two are sequentially performed.
図示略のガス供給手段は、ガラスロッド23を挿通する前にガラスパイプ25の内周面にエッチング処理する工程で弗化硫黄(SF6)といったエッチングガスをガス供給管27に供給したり、始端一体化処理を実施する際に、脱水効果の高い塩素(Cl2)ガス等をガス供給管27に供給する。 The gas supply means (not shown) supplies an etching gas such as sulfur fluoride (SF 6 ) to the gas supply pipe 27 in the step of etching the inner peripheral surface of the glass pipe 25 before the glass rod 23 is inserted, When performing the integration process, chlorine (Cl 2 ) gas or the like having a high dehydration effect is supplied to the gas supply pipe 27.
加熱炉37は、ガラスパイプ25の外周を囲う略環状の炉体37a内に、加熱ヒータ37bを配置したもので、ガス供給管27の全周を略均一に加熱することができる。この加熱炉37は、図1に矢印(イ)で示すように、ガラスパイプ25の軸線方向に沿って移動可能に装備されている。
なお、加熱炉を固定にし、ガラスパイプが軸線方向に沿って移動する構成であったり、両者が共に相対的に移動する構成であっても構わない。
The heating furnace 37 includes a heater 37b disposed in a substantially annular furnace body 37a that surrounds the outer periphery of the glass pipe 25, and can heat the entire circumference of the gas supply pipe 27 substantially uniformly. The heating furnace 37 is equipped to be movable along the axial direction of the glass pipe 25 as indicated by an arrow (A) in FIG.
The heating furnace may be fixed and the glass pipe may move along the axial direction, or both may move relatively.
流量制御手段39は、図示略のガス供給手段がガス供給管27に供給するガスの流量を制御する。 The flow rate control means 39 controls the flow rate of the gas supplied from the gas supply means (not shown) to the gas supply pipe 27.
本実施の形態の場合、ガス量調整弁が取り付けられている。 In the case of the present embodiment, a gas amount adjusting valve is attached.
次に、上記の製造装置21によるガラス母材の製造方法の手順を説明する。
予め、光ファイバのコア部となるべきガラスロッド23と、光ファイバのクラッド部となるべきガラスパイプ25を用意しておく。ガラスパイプ25は、図1に示すように、両端にダミーパイプ26a,26bを接合した状態で用意しておく。
そして、まず、ガラスパイプ25の両端のダミーパイプ26a,26bを、一対のシールボックス29,33に取り付けて、ガラスパイプ25の両端にガス供給管27及びガス排気管31が接続された状態にする。
Next, the procedure of the manufacturing method of the glass base material by said manufacturing apparatus 21 is demonstrated.
A glass rod 23 to be a core part of an optical fiber and a glass pipe 25 to be a clad part of the optical fiber are prepared in advance. As shown in FIG. 1, the glass pipe 25 is prepared with dummy pipes 26a and 26b joined to both ends.
First, the dummy pipes 26 a and 26 b at both ends of the glass pipe 25 are attached to the pair of seal boxes 29 and 33 so that the gas supply pipe 27 and the gas exhaust pipe 31 are connected to both ends of the glass pipe 25. .
その後、真空吸引装置47は休止させた状態で、図示略のガス供給手段及び、流量制御手段39、ガス供給管27により、SF6ガス及びCl2ガスをそれぞれ所定の流量で、ガラスパイプ25に供給する。これにより、ガラスパイプ25の内部はこれらのガスで置換される。上記のガスを流したまま、加熱炉37を用いてガラスパイプ25を加熱し、ガラスパイプ25の内面をエッチングするエッチング処理を実施する。
このエッチング処理においては、ガラスパイプ25の有効部となるべき範囲において、加熱炉37をほぼ一定の速度で移動させ、エッチング量がほぼ一定となるようにする。このエッチング処理によりガラスパイプ25の内径が所定の値となった後、エッチングを終了させる。
Thereafter, in a state where the vacuum suction device 47 is stopped, SF 6 gas and Cl 2 gas are respectively supplied to the glass pipe 25 at a predetermined flow rate by a gas supply means (not shown), a flow rate control means 39 and a gas supply pipe 27. Supply. Thereby, the inside of the glass pipe 25 is replaced with these gases. An etching process is performed in which the glass pipe 25 is heated using the heating furnace 37 while the gas is flowing, and the inner surface of the glass pipe 25 is etched.
In this etching process, the heating furnace 37 is moved at a substantially constant speed within a range to be an effective part of the glass pipe 25 so that the etching amount becomes substantially constant. The etching is terminated after the inner diameter of the glass pipe 25 reaches a predetermined value by this etching process.
次いで、一方のシールボックス33をガラスパイプ25から取り外し、ガラスパイプの内部にガラスロッド23を挿入する。
そして、再びシールボックス33をガラスパイプ25に取り付けた後、図示略のガス供給手段及び、流量制御手段39、ガス供給管27により、ガラスパイプ25にCl2ガスを供給する。
Next, one seal box 33 is removed from the glass pipe 25, and the glass rod 23 is inserted into the glass pipe.
Then, after the seal box 33 is attached to the glass pipe 25 again, Cl 2 gas is supplied to the glass pipe 25 by a gas supply means (not shown), a flow rate control means 39 and a gas supply pipe 27.
このようにガラスロッド23とガラスパイプ25との間隙部の圧力が外気圧よりも高い場合には、外気がシールボックス29,33との接続部からガラスパイプ25の内部に侵入するのが防止される。 As described above, when the pressure in the gap between the glass rod 23 and the glass pipe 25 is higher than the outside air pressure, the outside air is prevented from entering the inside of the glass pipe 25 from the connection portion with the seal boxes 29 and 33. The
そして、ガラスパイプ25の内部がCl2ガスで十分に置換された後、ガラスパイプ25の内部の圧力をその外部の圧力より高く保ったまま、ガラスパイプ25を加熱炉37で加熱して脱水処理を行う。これにより、ガラスロッド23の外周面及びガラスパイプ25の内面に付着する水分を除去する。
その後、自動弁49を開き、ガラスパイプ25の他端側(第2シールボックス33側)の任意の位置(以下、開始位置)でガラスパイプ25とガラスロッド23との一部を加熱一体化する始端一体化処理を実施する。この状態では、ガス供給管27に供給されたCl2,O2,N2等のガスは、全量がガラスパイプ25側に流れて、ガス排気管31に排出されることになる。
Then, after the inside of the glass pipe 25 is sufficiently replaced with Cl 2 gas, the glass pipe 25 is heated in the heating furnace 37 while the pressure inside the glass pipe 25 is kept higher than the pressure outside the glass pipe 25, and dehydration treatment is performed. I do. Thereby, the water | moisture content adhering to the outer peripheral surface of the glass rod 23 and the inner surface of the glass pipe 25 is removed.
Thereafter, the automatic valve 49 is opened, and a part of the glass pipe 25 and the glass rod 23 is heated and integrated at an arbitrary position (hereinafter referred to as a start position) on the other end side (second seal box 33 side) of the glass pipe 25. Perform start-end integration processing. In this state, all the gases such as Cl 2 , O 2 , and N 2 supplied to the gas supply pipe 27 flow toward the glass pipe 25 and are discharged to the gas exhaust pipe 31.
そして、始端一体化処理の開始後は、バイパス流量測定手段45の検出値を監視する。ガラスパイプ25とガラスロッド23との溶着・一体化が始まると、ガラスパイプ25内の間隙部が絞られた状態になって、ガス排気管31側へガスが流れにくくなる。そのため、溶着・一体化の進行に伴って、ガラスパイプ25内の陽圧が上昇する結果となり、予め設定した基準の陽圧を越える余剰分は、バイパス管41に流れるようになる。
即ち、溶着・一体化の進行に伴って、バイパス管41に流れるガス量が増大していくことになり、バイパス管41に流れるガス量を監視することで、溶着・一体化の進行状態を検知することができる。
Then, after the start end integration process is started, the detection value of the bypass flow rate measuring means 45 is monitored. When the welding / integration of the glass pipe 25 and the glass rod 23 starts, the gap in the glass pipe 25 is in a narrowed state, and the gas does not easily flow to the gas exhaust pipe 31 side. Therefore, as the welding / integration progresses, the positive pressure in the glass pipe 25 increases, and surplus exceeding the preset reference positive pressure flows to the bypass pipe 41.
That is, as the welding / integration progresses, the amount of gas flowing through the bypass pipe 41 increases, and the progress of welding / integration is detected by monitoring the amount of gas flowing through the bypass pipe 41. can do.
なお、始端一体化処理の開始後、溶着・一体化の進行に応じてガス供給管27からバイパス管41へのガスの流入量が増え始めたら、流量制御手段39によって徐々にガス供給管27へのガス供給量を低減して、必要以上の陽圧がガラスパイプ25に作用しないようにする。若しくは、真空吸引装置48を作動させることにより、ガラスパイプ25が陽圧にならないようにする。 After the start-end integration process is started, if the amount of gas flowing from the gas supply pipe 27 into the bypass pipe 41 starts to increase with the progress of welding and integration, the flow rate control means 39 gradually moves to the gas supply pipe 27. The gas supply amount is reduced so that an excessive positive pressure does not act on the glass pipe 25. Alternatively, by operating the vacuum suction device 48, the glass pipe 25 is prevented from becoming a positive pressure.
始端一体化処理による溶着・一体化がガラスパイプ25の全周に渡って完了すると、ガラスパイプ25内をガスが通過することができない。そのため、ガス供給管27に供給されたガス量は、全量がバイパス管41に流れることになる。
そこで、バイパス流量測定手段45を監視していて、ガス供給管27に供給されたガス量の全量がバイパス管41に流れた時、始端一体化処理が完了したと見なして、ガス供給手段及び流量制御手段39を介してこのCl2,O2,N2等のガス供給を停止すると共に、自動弁49を閉じ、真空吸引装置47を作動させる。
すると、ガラスパイプ25とガラスロッド23との間隙部に残留していたCl2,O2,N2等のガスが真空吸引装置47により排気され、間隙部の圧力は外気圧よりも低くなる。
When the welding / integration by the start end integration process is completed over the entire circumference of the glass pipe 25, the gas cannot pass through the glass pipe 25. Therefore, the total amount of gas supplied to the gas supply pipe 27 flows to the bypass pipe 41.
Therefore, when the bypass flow rate measuring means 45 is monitored and the entire amount of gas supplied to the gas supply pipe 27 flows to the bypass pipe 41, it is considered that the start end integration processing is completed, and the gas supply means and flow rate are determined. The supply of gas such as Cl 2 , O 2 , N 2, etc. is stopped via the control means 39, the automatic valve 49 is closed, and the vacuum suction device 47 is operated.
Then, gases such as Cl 2 , O 2 , and N 2 remaining in the gap between the glass pipe 25 and the glass rod 23 are exhausted by the vacuum suction device 47, and the pressure in the gap becomes lower than the external pressure.
次いで、図2に示すように、上記の開始位置からガラスパイプ25の一端側(第1シールボックス29の側)に加熱炉37を徐々に移動させて、ガラスパイプ25を収縮(所謂、コプラス)させることで、ガラスパイプ25とガラスロッド23との加熱一体域を第1シールボックス29側に延長して行く連続一体化処理を実施する。これにより、ガラスパイプ25及びガラスロッド23の両者が所定の長さにわたって加熱一体化されて、光ファイバ用のガラス母材が完成する。 Next, as shown in FIG. 2, the heating furnace 37 is gradually moved from the start position to one end side (the first seal box 29 side) of the glass pipe 25 to shrink the glass pipe 25 (so-called coplus). By doing so, a continuous integration process is performed in which the heating integrated region of the glass pipe 25 and the glass rod 23 is extended to the first seal box 29 side. Thereby, both the glass pipe 25 and the glass rod 23 are heat-integrated over predetermined length, and the glass preform for optical fibers is completed.
以上に説明した製造装置21によるガラス母材の製造方法では、ロッドインコラプス法によるガラス母材の製造工程において、始端一体化処理の際に、加熱炉に隠れている部位における一体化の進行度合いに応じて、ガラスパイプ25側は圧力損失が次第に大きくなって、それに伴い、ガス供給管27からバイパス管41側へ逃げるガス流量が増大していく。
従って、バイパス流量測定手段45の検出値を監視していれば、一体化の部位自体は加熱炉に隠れていて視認できなくとも、一体化の完了時期を正確に検知でき、その検知結果に応じてガラスパイプ25内へのガスの供給を制御することで、ガラスパイプ25の破損や下流側での外気の巻き込み等を防止して、円滑に安定した品質のガラス母材を製造することができる。
In the manufacturing method of the glass base material by the manufacturing apparatus 21 described above, in the glass base material manufacturing process by the rod-in collapse method, the degree of integration progress in the portion hidden in the heating furnace during the start-end integration process Accordingly, the pressure loss gradually increases on the glass pipe 25 side, and accordingly, the gas flow rate that escapes from the gas supply pipe 27 to the bypass pipe 41 side increases.
Therefore, if the detection value of the bypass flow rate measuring means 45 is monitored, the integration completion time can be accurately detected even if the integration part itself is hidden behind the heating furnace and cannot be visually recognized. By controlling the supply of gas into the glass pipe 25, it is possible to prevent damage to the glass pipe 25, entrapment of outside air on the downstream side, and the like, and to manufacture a glass base material having a stable and smooth quality. .
また、上記製造装置21によるガラス母材の製造方法では、ガス排気管31に接続された真空吸引装置によって、ガラスパイプ25の他端側の陽圧が所定以下に規制されるため、ガス供給管27からバイパス管41を介してガス排気管31に排出される余剰ガス圧は速やかにガス排気管31側に吸収されることになり、始端一体化処理の終了まで、一体化した溶着部に陽圧による負担がかかることを防止できる。
また、ガラスパイプ25内のガスの流れを一端側から他端側に向かう流れに安定維持できるため、例えば、始端一体化処理の終了時に、ガス供給管27からのガス供給を止めた際にも、ガラスパイプ25の他端側から外気の巻き込み等の発生を防止できる。
従って、陽圧の作用によるガラスパイプ25の破損や下流側の外気の巻き込み等の発生防止を、更に確実にすることができる。
Moreover, in the manufacturing method of the glass base material by the said manufacturing apparatus 21, since the positive pressure of the other end side of the glass pipe 25 is regulated below to predetermined by the vacuum suction apparatus connected to the gas exhaust pipe 31, a gas supply pipe The surplus gas pressure discharged from the gas outlet pipe 27 to the gas exhaust pipe 31 through the bypass pipe 41 is quickly absorbed by the gas exhaust pipe 31 side. It is possible to prevent a burden due to pressure.
In addition, since the gas flow in the glass pipe 25 can be stably maintained from the one end side to the other end side, for example, when the gas supply from the gas supply pipe 27 is stopped at the end of the start end integration process Further, it is possible to prevent the outside air from being caught from the other end side of the glass pipe 25.
Therefore, it is possible to further reliably prevent the glass pipe 25 from being damaged by the action of the positive pressure or the outside air from being caught downstream.
更に上記の製造装置21によるガラス母材の製造方法では、始端一体化処理の開始時には、ガラスパイプ25に比較的多量のガスが流入されて、ガラスパイプ25内が所定の陽圧雰囲気に維持されるが、始端一体化処理の進行に伴って、徐々にガラスパイプ25内の陽圧が下がるようになるため、一体化した溶着部への陽圧による負担が軽減されて、陽圧の作用によるガラスパイプ25の破損防止を更に確実にすることができる。 Furthermore, in the glass base material manufacturing method by the manufacturing apparatus 21 described above, a relatively large amount of gas flows into the glass pipe 25 at the start of the start end integration process, and the inside of the glass pipe 25 is maintained in a predetermined positive pressure atmosphere. However, as the start end integration process proceeds, the positive pressure in the glass pipe 25 gradually decreases, so that the burden due to the positive pressure on the integrated welded portion is reduced, and the positive pressure acts. The prevention of breakage of the glass pipe 25 can be further ensured.
更に、上記の製造装置21では、ガス供給管27からガラスパイプ25に供給されるガスの余剰分のバイパス管41へのガス量の調整を、比較的に安価なニードル弁の装備のみで実現しているため、装置の低コスト化を図ることができる。 Furthermore, in the manufacturing apparatus 21 described above, the adjustment of the gas amount to the bypass pipe 41 corresponding to the excess gas supplied from the gas supply pipe 27 to the glass pipe 25 is realized only with a relatively inexpensive needle valve. Therefore, the cost of the apparatus can be reduced.
21 製造装置
23 ガラスロッド
25 ガラスパイプ
27 ガス供給管
29 第1シールボックス
31 ガス排気管
33 第2シールボックス
35 基台
37 加熱炉
39 流量制御手段
41 バイパス管
43 ガス量調整弁
45 バイパス流量測定手段
47,48 真空吸引装置
49 自動弁
60 計算装置(CPU)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Manufacturing apparatus 23 Glass rod 25 Glass pipe 27 Gas supply pipe 29 1st seal box 31 Gas exhaust pipe 33 2nd seal box 35 Base 37 Heating furnace 39 Flow control means 41 Bypass pipe 43 Gas amount adjustment valve 45 Bypass flow measurement means 47, 48 Vacuum suction device 49 Automatic valve 60 Calculator (CPU)
Claims (5)
前記ガス供給管から供給するガスの余剰分をバイパス管を経由して前記ガス排気管に逃がし、
前記バイパス管に流入するガス流量を測定し、測定されたガス流量と前記ガス供給管から供給するガス流量の差が所定値以下になった後、前記連続一体化処理を開始することを特徴とするガラス母材の製造方法。 A gas supply pipe is connected to one end side of the glass pipe into which the glass rod is inserted and a gas exhaust pipe is connected to the other end side, and the glass pipe and the glass rod are heated by heating a part of the glass pipe with heating means. Manufacturing a glass base material that performs a starting end integration process to be integrated, then moves the heating means to perform a continuous integration process in which the glass pipe and the glass rod are integrated to obtain a glass base material A method,
Let the excess gas supplied from the gas supply pipe escape to the gas exhaust pipe via a bypass pipe,
The flow rate of gas flowing into the bypass pipe is measured, and the continuous integration process is started after the difference between the measured gas flow rate and the gas flow rate supplied from the gas supply pipe becomes a predetermined value or less. A method for manufacturing a glass base material.
前記ガラスパイプの一端側に接続するためのガス供給管と他端側に接続するためのガス排気管と、
前記ガラスパイプの一部を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段を移動させる移動手段と、
前記ガス供給管から供給するガスの余剰分を前記ガス排気管に逃がすバイパス管と、
前記バイパス管には前記余剰分のガス流量を測定するバイパス流量測定手段と、
測定されたガス流量と前記ガス供給管から供給するガス流量の差を計算する計算装置とを有することを特徴とするガラス母材の製造装置。 A glass base material manufacturing apparatus for manufacturing a glass base material by heating and integrating with a glass rod inserted into a glass pipe,
A gas supply pipe for connecting to one end of the glass pipe and a gas exhaust pipe for connecting to the other end;
Heating means for heating a part of the glass pipe;
Moving means for moving the heating means;
A bypass pipe for letting excess gas supplied from the gas supply pipe escape to the gas exhaust pipe;
A bypass flow measuring means for measuring the surplus gas flow in the bypass pipe;
An apparatus for producing a glass base material, comprising: a calculation device that calculates a difference between a measured gas flow rate and a gas flow rate supplied from the gas supply pipe.
前記流量制御手段は、前記バイパス流量測定手段で測定されたガス流量に応じて、前記ガス供給管へのガス供給量を制御する制御機能を有することを特徴とする請求項3に記載のガラス母材の製造装置。 Flow rate control means for controlling the gas supply amount to the gas supply pipe,
4. The glass mother according to claim 3, wherein the flow rate control unit has a control function of controlling a gas supply amount to the gas supply pipe according to a gas flow rate measured by the bypass flow rate measurement unit. Material manufacturing equipment.
5. The glass base material manufacturing apparatus according to claim 3, wherein the bypass pipe includes a valve having a function of adjusting a gas amount or a gas flow rate. 6.
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