JP4454519B2 - 発光分光による少量気体種の検出 - Google Patents
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Description
2 真空管
3 分岐励起筐体
4 プラズマ
5 励磁器アンテナ
6 発電機
7 光ファイバ
8 光学的分光計
9 ライン
10 コンピュータ
11 中央ユニット
12 入出力手段
13 表示手段
14 メモリ
14a プログラムゾーン
14b ライブラリゾーン
14c 測定メモリゾーン
14d 結果メモリゾーン
Claims (21)
- 発光分光を用いて、大量に存在し、かつ/またはより容易に励起可能な少なくとも1つの気体種との混合物における、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な少なくとも1つの気体種を検出する方法であって、分析対象の気体混合物中にプラズマ(4)を使用し、放射スペクトルと知られているスペクトルのライブラリとの後の比較のために、プラズマ(4)によって放射される光線の本来の光スペクトルを測定し、該方法は、本来のスペクトルにおいて、大量に存在し、かつ/またはより容易に励起可能な気体種に特有の1つまたは複数のライン(B、C、F、J)を利用する検出ステップを含み、前記ラインは、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の存在に感応する振幅を有し、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の濃度に関する情報を前記ライン(B、C、F、J)の振幅から推定し、
大量に存在し、かつ/または容易に励起可能な気体種に特有のスペクトルにおいて、混合物の圧力の変化に無感応である組合せを有するライン(F、G)を識別する方法。 - 前記組合せが、平均である請求項1に記載の方法。
- 少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の濃度の変化の関数として、大量に存在し、かつ/または励起するのが容易な気体種の特徴ライン(B、C、D、F、G、J、K)の振幅の変化を観察する前ステップを含む請求項1に記載の方法。
- 観察する前ステップに、特定スペクトルを確立するステップが続き、該特定スペクトルを確立するステップの間に、大量に存在し、かつ/または容易に励起可能な気体種に特有のスペクトルにおいて、感応ライン(B、C、F、J)を利用し、該感応ライン(B、C、F、J)が、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の濃度の変化の関数としての振幅の変化であって、定められた閾値より大きい振幅の変化を示す請求項3に記載の方法。
- 前ステップの間に、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の濃度の関数として、感応ラインまたは各感応ライン(B、C、F、J)の振幅の変化を表す較正関数を確立しかつ記憶する請求項1に記載の方法。
- 観察および検出ステップを一定の全圧で実施する請求項1に記載の方法。
- 圧力較正曲線を確立し、後に、実際に存在する少量気体種の量を推定するために、圧力の関数としてラインの振幅値を補正するのに圧力較正曲線を用いる請求項1に記載の方法。
- 大量に存在し、かつ/または容易に励起可能な監視されている気体種毎に少なくとも1つの特定のスペクトルを含む特定スペクトルのライブラリを確立する前ステップを含み、前記特定スペクトルが、該方法を実施するのに使用されるのと同じ測定システムを使用して、大量に存在し、かつ/または容易に励起可能な気体種のスペクトル分析によって得られ、前記ライブラリは、混合物のスペクトルとの後の比較に用いられる請求項1に記載の方法。
- 混合物における、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種としての水蒸気の検出に適用される請求項1に記載の方法。
- 大量に存在し、かつ/または容易に励起する気体種は窒素である請求項9に記載の方法。
- 分析対象の気体混合物が流れる1つの機器(1)の正常な動作状態を表す少量気体種を選択し、前記選択された少量気体種の変化をリアルタイムで監視し、前記変化を基準変化データと比較し、基準変化データからずれている場合に警告または制御信号を生成する請求項1に記載の方法。
- 微量水分、または機器(1)内に存在すべきでなく、機器の外部に存在する漏れを表す任意の他の少量気体種の存在および変化を監視することによって、機器(1)からの漏れを監視する請求項11に記載の方法。
- ウェハ輸送チャンバの監視に適用される請求項12に記載の方法。
- 微量水分、または機器(1)における漏れを表す他の少量気体種の経時変化を、前記変化における変化の原因を推定するために、機器(1)の動作事象群と比較する請求項12に記載の方法。
- 分析対象の気体混合物を扱う処理の進行の状態を表す少量気体種を選択し、前記選択された少量気体種の変化をリアルタイムで監視し、前記変化を処理に対する基準変化データと比較し、処理に対する基準変化データからずれている場合に警告または制御信号を生成する請求項1に記載の方法。
- パージガスによる筐体のパージにおける進行の状態を表す少量気体種を選択し、少量気体種を検出し、前記選択された少量気体種の経時変化を監視し、前記変化をパージに対する基準変化データと比較し、パージ変化データがパージの終了を示す状態に達したときに警告または制御信号を生成する請求項1に記載の方法。
- 窒素によるパージ中に、筐体における塩素の存在または変化を監視する請求項16に記載の方法。
- 整備されているチャンバの整備状態を表す少量気体種を選択し、整備されている前記チャンバにおける前記選択された少量気体種の変化をリアルタイムで監視し、前記変化をチャンバ整備に対する基準変化データと比較し、前記選択された少量気体種に対するデータがチャンバ整備の終了を示す状態に達したときに警告または制御信号を生成する請求項1に記載の方法。
- 請求項1に記載の、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種を検出する方法を実施するための装置であって、
検査対象の気体混合物にプラズマ(4)を生成するためのプラズマ源(3、5、6)と、
プラズマ(4)によって放射された光線をピックアップし、光学的分光計(8)に伝送する手段(7)と、
光学的分光計(8)によって出された信号を分析するためのコンピュータ(10)とを備え、
コンピュータ(10)は、中央ユニット(11)と、メモリ(14)のプログラムゾーン(14a)に記録されたプログラムとを備え、
前記プログラムは、前記方法を実施するための一連の命令を備える装置。 - コンピュータ(10)のメモリ(14)は、大量に存在し、かつ/または容易に励起される分析対象の気体種の予め記録された特定の光スペクトルと、少量で存在し、かつ/または励起するのが困難な気体種の濃度の関数としての感応ライン(B、C、F、J)の振幅の変化を表す較正関数とを含むライブラリゾーン(14b)を含む請求項19に記載の装置。
- 漏れが検出される機器(1)に付随し、漏れを表す少量気体種の検出と機器(1)の動作事象とを同期する手段(11)を含む請求項19に記載の装置。
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