JP4430439B2

JP4430439B2 - Stroke detection mechanism

Info

Publication number: JP4430439B2
Application number: JP2004084787A
Authority: JP
Inventors: 健一野村; 巧木村; 晴夫目黒
Original assignee: Keihin Corp
Current assignee: Keihin Corp
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2004-03-23
Publication date: 2010-03-10
Anticipated expiration: 2024-03-23
Also published as: JP2004309473A

Description

本発明は、ストローク変位する移動体又は弁体の変位量を確実に検出するとともに、その耐久性の向上を図ることが可能なストローク検出機構に関する。 The present invention relates to a stroke detection mechanism that can reliably detect the amount of displacement of a moving body or a valve body that undergoes stroke displacement and can improve the durability thereof.

従来から、例えば、駆動源の駆動作用下に弁体が軸線方向に沿って変位し、圧力流体の連通状態を切り換えるバルブ装置が用いられている。このバルブ装置には、前記弁体の軸線方向に沿った変位量を検出するストローク変位を検出する検出部が設けられ、前記検出部によって弁体の変位量を検出することにより、前記バルブ装置の内部を流通する圧力流体の流量を検出している。 2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a valve device has been used in which a valve body is displaced along an axial direction under the drive action of a drive source to switch the communication state of pressure fluid. The valve device is provided with a detection unit that detects a stroke displacement that detects a displacement amount along the axial direction of the valve body, and by detecting the displacement amount of the valve body by the detection unit, The flow rate of the pressure fluid that circulates inside is detected.

一般的に、この検出部が設けられたバルブ装置は、その内部に圧力流体等が流通する流体通路を有するフレームと、前記フレームに連結されるケースの内部に配設される駆動部と、前記駆動部の駆動作用下に軸線方向に沿って変位し、再循環通路内に設けられる弁座に着座・離間して排気ガスの流通状態を切り換える弁体とからなる。 Generally, a valve device provided with the detection unit includes a frame having a fluid passage through which a pressure fluid or the like flows, a drive unit disposed in a case connected to the frame, It comprises a valve body that is displaced along the axial direction under the drive action of the drive unit, and that is seated and separated from a valve seat provided in the recirculation passage to switch the exhaust gas flow state.

弁体は、その上部に形成される弁軸を介してスライダと一体的に連結されている。そして、前記スライダは、駆動部の駆動作用下にケースの内部を軸線方向に沿って変位する。このスライダの側面にはブラシが設けられ、前記ブラシの先端部が、前記スライダと略平行に設けられた抵抗体に接触するように取り付けられている。そして、前記スライダの変位作用下にブラシが抵抗体に接触している位置によって抵抗値が変化するため、その抵抗値の変化に基づいてスライダの位置を検出し、前記スライダの変位位置を介して弁体の弁開度及び変位量を検出している（例えば、特許文献１参照）。 The valve body is integrally connected to the slider via a valve shaft formed in the upper part thereof. The slider is displaced along the axial direction inside the case under the drive action of the drive unit. A brush is provided on a side surface of the slider, and the tip of the brush is attached so as to contact a resistor provided substantially in parallel with the slider. Then, since the resistance value changes depending on the position where the brush is in contact with the resistor under the displacement action of the slider, the slider position is detected based on the change in the resistance value, and the slider position is detected via the displacement position of the slider. The valve opening degree and displacement amount of the valve body are detected (for example, refer to Patent Document 1).

特開２００１−１９７７１５号公報（段落［００２８］、［００２９］、［００３２］、図１）JP 2001-197715 (paragraphs [0028], [0029], [0032], FIG. 1)

ところで、特許文献１に係る検出部を有するバルブ装置では、弁体の弁開度及び変位量を検出する手段として、スライダに設けられたブラシを抵抗体に接触させ、その抵抗値の変化により検出している。しかしながら、前記ブラシが、常に抵抗体の表面に接触した状態で軸線方向に沿って変位しているため、前記ブラシの先端部が抵抗体との接触作用下に摩耗するという問題がある。そのため、長年の使用によってブラシと抵抗体との接触不良等が生じ、スライダ及び弁体の正確な変位位置及び変位量を検出することができないことが懸念される。 By the way, in the valve device having the detection unit according to Patent Document 1, as a means for detecting the valve opening degree and the displacement amount of the valve body, the brush provided on the slider is brought into contact with the resistor and detected by a change in the resistance value. is doing. However, since the brush is displaced along the axial direction in a state where the brush is always in contact with the surface of the resistor, there is a problem that the tip of the brush is worn under the contact action with the resistor. For this reason, there is a concern that contact failure between the brush and the resistor may occur due to long-term use, and the accurate displacement position and displacement amount of the slider and the valve body cannot be detected.

また、検出部においては、前記ブラシが設けられ、かつ軸線方向に沿って変位するスライダを設けているが、前記スライダは弁軸の上部に一体的に設けられて、前記弁軸と軸線方向に沿って一体的に変位するため、検出部全体の高さ方向の寸法が大型化するという問題がある。 In the detection unit, the brush is provided, and a slider that is displaced along the axial direction is provided. However, the slider is provided integrally with an upper portion of the valve shaft and extends in the axial direction with respect to the valve shaft. Therefore, there is a problem that the height dimension of the entire detection unit increases.

本発明は、前記の問題等を考慮してなされたものであり、移動体又は弁体のストローク方向への変位量を確実に検出するとともに、その耐久性を向上させることが可能なストローク検出機構を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above-described problems, and the like, and a stroke detection mechanism capable of reliably detecting the amount of displacement of the moving body or the valve body in the stroke direction and improving its durability. The purpose is to provide.

前記の目的を達成するために、本発明は、流体が流通する流体通路と弁座とを有する弁基部と、
前記弁座に離間・着座することにより前記流体通路を開閉する弁体と、
前記弁基部に連結されるハウジングの内部に配設され、該ハウジングの軸線方向に沿って変位自在に設けられる移動体と、
電気信号により前記移動体を駆動する駆動部と、
前記移動体と前記弁体とを連結する連結機構と、
前記移動体又は前記弁体の変位作用下に軸線方向に沿って伸縮変位する弾性部材と、
前記ハウジングを閉塞するカバー部材とからなるバルブ装置において、前記弁体の軸線方向に沿った変位量を、前記弾性部材を介して検出するストローク検出機構であって、
前記弾性部材は、前記移動体又は前記弁体と前記カバー部材との間に設けられ、軸線方向に延在した圧縮スプリングであると共に、該圧縮スプリングから付勢される押圧力を受け、該押圧力を検出する検出部を備え、前記検出部は、前記押圧力を電気信号へと変換する圧電素子からなる圧力センサからなり、該圧力センサが、前記カバー部材の内部に形成される装着穴に配設され、前記弾性部材からの押圧力を受けるように前記装着穴と該弾性部材との間に挟持されると共に、前記圧力センサの配線が、前記カバー部材の内部に設けられ、前記駆動部の端子を備えるコネクタに接続されることを特徴とする。 To achieve the above object, the present invention provides a valve base having a fluid passage through which a fluid flows and a valve seat;
A valve body that opens and closes the fluid passage by being separated and seated on the valve seat;
A movable body that is disposed inside a housing connected to the valve base, and that is displaceable along an axial direction of the housing ;
A drive unit for driving the moving body by an electrical signal;
A connection mechanism for connecting the movable body and the valve body ;
An elastic member that expands and contracts along the axial direction under the displacement action of the moving body or the valve body;
In the valve apparatus comprising a cover member for closing the housing, the displacement amount in the axial direction before Kiben body, a stroke detecting mechanism for detecting through said elastic member,
The elastic member is a compression spring that is provided between the movable body or the valve body and the cover member and extends in the axial direction. The elastic member receives a pressing force urged from the compression spring and receives the pressing force. A detection unit configured to detect pressure, and the detection unit includes a pressure sensor including a piezoelectric element that converts the pressing force into an electric signal, and the pressure sensor is provided in a mounting hole formed inside the cover member. And is sandwiched between the mounting hole and the elastic member so as to receive a pressing force from the elastic member, and the wiring of the pressure sensor is provided inside the cover member, and the drive unit is connected to a connector comprising a terminal, characterized in Rukoto.

本発明によれば、駆動部によって移動体又は弁体の軸線方向に沿って変位させると共に、該移動体又は前記弁体とカバー部材との間に圧縮スプリングからなる弾性部材を設け、前記圧縮スプリングから付勢される押圧力を検出部で受けることにより該押圧力を検出している。従って、前記検出部と軸線方向に沿って変位する移動体とが非接触な状態であるため、長年の使用によって移動体と検出部とが接触作用下に摩耗することがなく確実に検出することができるとともに、前記移動体及び検出部の耐久性を向上させることができる。 According to the present invention, by the driving unit causes displaced along the axial direction of the moving body or the valve body, the elastic member made of a compression spring between the movable body or the valve body and the cover member is provided, wherein The pressing force is detected by receiving the pressing force urged from the compression spring by the detection unit. Therefore, since the detection unit and the moving body displaced along the axial direction are in a non-contact state, it is possible to reliably detect the moving body and the detection unit without being worn under the contact action after many years of use. In addition, the durability of the moving body and the detection unit can be improved.

また、ストローク検出機構をバルブ装置に予め組み付けることができるとともに、その構成を簡素化することができるため、前記検出部の部品点数を削減してコストを低減することができる。 In addition, since the stroke detection mechanism can be assembled in advance to the valve device and the configuration thereof can be simplified, the number of parts of the detection unit can be reduced and the cost can be reduced.

さらに、弾性部材から付勢される押圧力を検出部で検出することにより移動体又は弁体の変位量を検出しているため、前記検出部に可動部分を追加する必要がなく、ストローク検出機構の軸線方向に沿った大きさを小型化することができる。 Moreover, since the detected amount of displacement of the moving body or the valve body by detecting the pressing force is urged from the elastic member by the detection unit, it is not necessary to add the movable part to the detection unit, the stroke detection mechanism The size along the axial direction can be reduced.

さらに、検出部を、ハウジングを閉塞するカバー部材に装着され、弾性部材から付勢される押圧力を電気信号へと変換する圧電素子からなる圧力センサとすることにより、流体が流通する流体通路を有する弁基部からの離間距離を確保することができるため、前記圧力センサが流体通路を流通する流体の影響を受けることが防止され、好適に移動体の変位量を検出することができる。 Further, the detection portion is a pressure sensor that is mounted on a cover member that closes the housing and converts a pressing force urged by the elastic member into an electric signal, so that a fluid passage through which a fluid flows can be obtained. Since the separation distance from the valve base can be ensured, the pressure sensor is prevented from being affected by the fluid flowing through the fluid passage, and the displacement amount of the moving body can be suitably detected.

本発明によれば、以下の効果が得られる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.

すなわち、駆動部によって移動体又は弁体を軸線方向に沿って変位させた際、弾性部材から検出部へと付勢される押圧力を検出部で検出しているので、前記検出部に可動部分を必要としない。このため、検出を確実に行なうことが可能となり、且つ、移動体と検出部とが長年の使用によって接触作用下に摩耗することがなく、移動体及び検出部の耐久性を向上させることができる。 That is, when the moving body or the valve body by the driving unit is displaced in the axial direction, since the pressing force is urged to the detecting unit of an elastic member is detected by the detection unit, the detection unit Does not require moving parts. For this reason, it becomes possible to perform detection reliably, and the durability of the moving body and the detecting section can be improved without the moving body and the detecting section being worn under contact action due to long-term use. .

また、ストローク検出機構を簡便に組み付けることができるとともに、その構成を簡素化することができる。 In addition, the stroke detection mechanism can be easily assembled and the configuration can be simplified.

さらに、弾性部材から付勢される押圧力を検出部で検出することにより移動体又は弁体の変位量を検出しているため、前記検出部において軸線方向に沿ったストローク方向への変位が不要であり、ストローク検出機構の軸線方向に沿った大きさを小型化することができる。 Further, since the displacement of the moving body or the valve body is detected by detecting the pressing force urged from the elastic member by the detection section, the detection section does not need to be displaced in the stroke direction along the axial direction. Thus, the size of the stroke detection mechanism along the axial direction can be reduced.

本発明に係るストローク検出機構について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。 A preferred embodiment of a stroke detection mechanism according to the present invention will be described below and described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１において、参照符号１０は、第１の実施の形態に係るストローク検出機構が適用されたバルブ装置を示す。 In FIG. 1, reference numeral 10 indicates a valve device to which the stroke detection mechanism according to the first embodiment is applied.

このバルブ装置１０は、図示しない内燃機関の排気系から吸気系への排気ガスの循環を制御する弁部（弁基部）１２と、前記弁部１２における弁軸１４の軸線方向に沿った変位をガイドするガイド部１６と、前記弁部１２を駆動する駆動部１８と、前記弁部１２の開閉状態を検出するストローク検出機構２０とから構成される。 The valve device 10 includes a valve portion (valve base portion) 12 that controls the circulation of exhaust gas from an exhaust system to an intake system (not shown) of the internal combustion engine, and displacement along the axial direction of the valve shaft 14 in the valve portion 12. The guide part 16 to guide, the drive part 18 which drives the said valve part 12, and the stroke detection mechanism 20 which detects the opening-and-closing state of the said valve part 12 are comprised.

弁部１２は弁ボディ２２を備え、この弁ボディ２２の下部には内燃機関の排気系と連結される入口ポート２４と、前記内燃機関の吸気系と連結される出口ポート２６とが形成されている。前記入口ポート２４及び出口ポート２６は、該入口ポート２４の上部に形成された連通室２８と、前記弁ボディ２２内に形成された排気ガスの循環流路である再循環路（流体通路）３０によって連通される。 The valve unit 12 includes a valve body 22, and an inlet port 24 connected to the exhaust system of the internal combustion engine and an outlet port 26 connected to the intake system of the internal combustion engine are formed in the lower part of the valve body 22. Yes. The inlet port 24 and the outlet port 26 include a communication chamber 28 formed in the upper part of the inlet port 24 and a recirculation passage (fluid passage) 30 which is a circulation passage for exhaust gas formed in the valve body 22. Communicated by

入口ポート２４には環状の弁座３２が配設され、この弁座３２には、入口ポート２４及び連通室２８の内部を介して弁軸１４が挿通される。また、前記連通室２８は、その側部に接続される再循環路３０を介して出口ポート２６と連通している。 An annular valve seat 32 is disposed in the inlet port 24, and the valve shaft 14 is inserted into the valve seat 32 through the inside of the inlet port 24 and the communication chamber 28. The communication chamber 28 communicates with the outlet port 26 via a recirculation path 30 connected to the side portion thereof.

弁軸１４は長尺に形成され、その下端部には半径外方向に拡径した弁本体（弁体）３４が形成されている。そして、前記弁本体３４が前記弁座３２に対して着座又は離間することにより入口ポート２４の開閉を行う。また、弁軸１４の上端から所定長だけ下方に指向した部位には、半径内方向に縮径した細軸状の切欠部３６が形成されている。 The valve shaft 14 is formed in an elongated shape, and a valve main body (valve element) 34 having a diameter increased radially outward is formed at a lower end portion thereof. Then, when the valve body 34 is seated or separated from the valve seat 32, the inlet port 24 is opened and closed. In addition, a thin-shaft notch 36 having a diameter reduced radially inward is formed at a portion directed downward by a predetermined length from the upper end of the valve shaft 14.

前記弁ボディ２２の上部には、金属製材料からなる有底状のハウジング３８がねじ部材４０を介して連結され、前記ハウジング３８は、略円筒状に形成される側壁４２と、前記側壁４２の下端から一体的かつ略水平方向に延在する底壁４４とからなる。なお、前記弁ボディ２２の上面とハウジング３８の下面との間には、環状のシール部材４６（例えば、ガスケット）が挟持されているため、弁ボディ２２の連通室２８の内部を流通する排気ガスが外部に漏出することが防止される。 A bottomed housing 38 made of a metal material is connected to the upper portion of the valve body 22 via a screw member 40. The housing 38 includes a side wall 42 formed in a substantially cylindrical shape, and a side wall 42 of the side wall 42. The bottom wall 44 extends integrally and substantially horizontally from the lower end. Since an annular seal member 46 (for example, a gasket) is sandwiched between the upper surface of the valve body 22 and the lower surface of the housing 38, the exhaust gas flowing through the communication chamber 28 of the valve body 22 is retained. Is prevented from leaking outside.

また、前記ハウジング３８には、その側壁４２と底壁４４とに跨って窓部４８が形成され、前記窓部４８を介してハウジング３８の内部と外部（大気側）とが連通している。さらに、前記底壁４４の略中央部には孔部５０が形成され、この孔部５０の内部にはガイド部１６が配設されている。一方、前記ハウジング３８の開口した上部には、ストローク検出機構２０が一体的に装着されている。 Further, a window portion 48 is formed in the housing 38 across the side wall 42 and the bottom wall 44, and the inside of the housing 38 communicates with the outside (atmosphere side) through the window portion 48. Further, a hole 50 is formed in a substantially central portion of the bottom wall 44, and the guide portion 16 is disposed inside the hole 50. On the other hand, a stroke detection mechanism 20 is integrally mounted on the upper portion of the housing 38 which is opened.

ガイド部１６は、弁ボディ２２とハウジング３８との間に位置するように配設され、このガイド部１６は、弁軸１４を保持する略円筒状の弁軸ガイド５２と、前記弁軸ガイド５２の外周側を囲繞するように孔部５０に装着される保持部材５４と、前記保持部材５４の下面と弁ボディ２２との間に挟持される薄板状のアンダーカバー５６とからなる。この弁軸ガイド５２は耐熱性材料（例えば、カーボン焼結体又はステンレス鋼）から形成され、その内部には弁軸１４が軸線方向に沿って変位自在に支持されている。 The guide portion 16 is disposed between the valve body 22 and the housing 38, and the guide portion 16 includes a substantially cylindrical valve shaft guide 52 that holds the valve shaft 14, and the valve shaft guide 52. The holding member 54 is mounted in the hole 50 so as to surround the outer peripheral side of the plate, and the thin plate-like under cover 56 is sandwiched between the lower surface of the holding member 54 and the valve body 22. The valve shaft guide 52 is formed of a heat-resistant material (for example, a carbon sintered body or stainless steel), and the valve shaft 14 is supported therein so as to be displaceable along the axial direction.

また、前記弁軸ガイド５２を囲繞する保持部材５４は、前記弁軸ガイド５２と同様に耐熱性材料から形成され、前記保持部材５４の下端部はアンダーカバー５６の周縁部を介して弁ボディ２２とハウジング３８との間に挟持されている。 The holding member 54 surrounding the valve shaft guide 52 is formed of a heat-resistant material like the valve shaft guide 52, and the lower end portion of the holding member 54 is connected to the valve body 22 via the peripheral edge portion of the under cover 56. And the housing 38.

アンダーカバー５６は耐熱性材料から略カップ状に形成され、開口された上端より半径外方向へと延在する周縁部が、弁ボディ２２の上面と保持部材５４との間で挟持されている。そして、前記アンダーカバー５６の略中央部には挿通孔５８が形成され、前記挿通孔５８に挿通される弁軸１４の外周面を囲繞している。そのため、前記アンダーカバー５６によって、前記弁軸ガイド５２及び保持部材５４が外部から遮蔽される。 The under cover 56 is formed in a substantially cup shape from a heat resistant material, and a peripheral edge portion extending radially outward from the opened upper end is sandwiched between the upper surface of the valve body 22 and the holding member 54. An insertion hole 58 is formed in a substantially central portion of the under cover 56, and surrounds the outer peripheral surface of the valve shaft 14 inserted through the insertion hole 58. Therefore, the valve shaft guide 52 and the holding member 54 are shielded from the outside by the under cover 56.

駆動部１８はハウジング３８の内部に配設され、略円柱状の内孔を有する第１支持部材６０と第２支持部材６２とを備えている。この第１支持部材６０は、弁軸１４の軸線に略直交するように延在するとともに、ハウジング３８の上部にその端部が固定される第１周縁部６４と、前記弁軸１４に沿って延在する筒状の第１膨出部６６とからなる。 The drive unit 18 is disposed inside the housing 38 and includes a first support member 60 and a second support member 62 having a substantially cylindrical inner hole. The first support member 60 extends substantially perpendicular to the axis of the valve shaft 14, and has a first peripheral portion 64 whose end is fixed to the upper portion of the housing 38, and the valve shaft 14. It consists of a cylindrical first bulging portion 66 that extends.

一方、第２支持部材６２は、弁軸１４の軸線に略直交するように延在するとともに、前記ハウジング３８の下部に端部が固定される第２周縁部６８と、前記弁軸１４に沿って延在し、かつ前記第１支持部材６０の第１膨出部６６と対向する筒状の第２膨出部７０とからなる。ここで、第２膨出部７０は、その外周が上方に向かって徐々に縮径するテーパ状に形成されている。 On the other hand, the second support member 62 extends so as to be substantially orthogonal to the axis of the valve shaft 14, and has a second peripheral edge 68 whose end is fixed to the lower portion of the housing 38, and the valve shaft 14. And a cylindrical second bulging portion 70 facing the first bulging portion 66 of the first support member 60. Here, the 2nd bulging part 70 is formed in the taper shape from which the outer periphery reduces diameter gradually toward upper direction.

第１支持部材６０及び第２支持部材６２は、各外周面に形成された第１周縁部６４及び第２周縁部６８によって、それぞれハウジング３８における側壁４２の内面に固定され、前記第２周縁部６８の下面には、カバー部材７２の固着部７４が固着される。このカバー部材７２は略カップ状に形成され、その略中央部には保持部材５４が挿通されている。ここで、第２支持部材６２、ハウジング３８の側壁４２及び底壁４４との間に空間７６が形成され、この空間７６は前記窓部４８を介して外部と連通されている。 The first support member 60 and the second support member 62 are fixed to the inner surface of the side wall 42 of the housing 38 by a first peripheral portion 64 and a second peripheral portion 68 formed on each outer peripheral surface, respectively, and the second peripheral portion. A fixing portion 74 of the cover member 72 is fixed to the lower surface of 68. The cover member 72 is formed in a substantially cup shape, and a holding member 54 is inserted through a substantially central portion thereof. Here, a space 76 is formed between the second support member 62 and the side wall 42 and the bottom wall 44 of the housing 38, and the space 76 communicates with the outside through the window 48.

また、ハウジング３８の内部における第１支持部材６０と第２支持部材６２とによって囲繞された空間７６には、弁軸１４を駆動するためのコイル７８が配設される。前記コイル７８は非金属製材料からなるボビン８０に巻回され、このボビン８０は、第２支持部材６２上のスプリングワッシャ８２によって、第１支持部材６０に指向して弾性的に固定される。このコイル７８には、図示しない電源が接続される。 A coil 78 for driving the valve shaft 14 is disposed in a space 76 surrounded by the first support member 60 and the second support member 62 inside the housing 38. The coil 78 is wound around a bobbin 80 made of a non-metallic material, and the bobbin 80 is elastically fixed toward the first support member 60 by a spring washer 82 on the second support member 62. A power source (not shown) is connected to the coil 78.

一方、第１支持部材６０及び第２支持部材６２の内孔には、非磁性体材料で略カップ状に形成されたスリーブ部材８４がその底面を下にして挿入されている。そして、前記スリーブ部材８４の開口された上端は、外方向に湾曲して形成され、前記第１支持部材６０の上端に係止される。 On the other hand, a sleeve member 84 formed in a substantially cup shape with a non-magnetic material is inserted into the inner holes of the first support member 60 and the second support member 62 with the bottom face down. The opened upper end of the sleeve member 84 is curved outward and is locked to the upper end of the first support member 60.

また、スリーブ部材８４の下部には、後述する第２ばね部材１１２のガイドとして機能するものであって、下方に向かってカップ状に形成され、その略中央部には、前記ハウジング３８内に挿入された弁軸１４が挿通される挿通孔８６が形成される。 The lower portion of the sleeve member 84 functions as a guide for a second spring member 112, which will be described later, and is formed in a cup shape downward, and is inserted into the housing 38 at a substantially central portion thereof. An insertion hole 86 through which the valve shaft 14 is inserted is formed.

さらに、スリーブ部材８４の内部には、磁性体からなる略円筒状のプランジャ（移動体）８８が前記弁軸１４と同軸上かつ摺動自在に挿入される。そして、プランジャ８８の内周側には、その略中央部において半径内方向に所定長だけ突出したフランジ部９０が形成されている。前記フランジ部９０の内部には弁軸１４が挿通されている。 Furthermore, a substantially cylindrical plunger (moving body) 88 made of a magnetic material is inserted into the sleeve member 84 coaxially with the valve shaft 14 and slidable. A flange portion 90 is formed on the inner peripheral side of the plunger 88 and protrudes by a predetermined length in the radially inward direction at a substantially central portion thereof. The valve shaft 14 is inserted into the flange portion 90.

前記プランジャ８８のフランジ部９０と弁軸１４の切欠部３６との間には、前記プランジャ８８と弁軸１４とを連結する連結機構９２が設けられている。 A connecting mechanism 92 that connects the plunger 88 and the valve shaft 14 is provided between the flange portion 90 of the plunger 88 and the notch 36 of the valve shaft 14.

この連結機構９２は、前記フランジ部９０の上面側に配設される環状のばね受部材９４と、前記フランジ部９０の下面側に配設される第１リテーナ９６と、前記弁軸１４における第１リテーナ９６より下方に環状溝を介して装着される第２リテーナ９８とからなる。 The coupling mechanism 92 includes an annular spring receiving member 94 disposed on the upper surface side of the flange portion 90, a first retainer 96 disposed on the lower surface side of the flange portion 90, and a first in the valve shaft 14. The second retainer 98 is mounted below the first retainer 96 via an annular groove.

環状に形成されるばね受部材９４とセンサ部における後述するプレート部材１３０との間には第１ばね部材（弾性部材）１００が介装され、前記第１ばね部材１００は、第１リテーナ９６を介してプランジャ８８を下方（矢印Ｚ１方向）に押圧する方向に付勢している。 A first spring member (elastic member) 100 is interposed between a spring receiving member 94 formed in an annular shape and a plate member 130 described later in the sensor unit, and the first spring member 100 includes a first retainer 96. The plunger 88 is biased in a direction to press downward (in the direction of arrow Z1).

第１リテーナ９６は、前記プランジャ８８の内周径より小径の略円盤状に形成され、その略中央部には上方に向かって所定長だけ突出した突部１０２が形成されている。そして、前記突部１０２の内部には挿入穴１０４が形成され、弁軸１４の一部が挿入されて係合される。 The first retainer 96 is formed in a substantially disk shape having a diameter smaller than the inner peripheral diameter of the plunger 88, and a protrusion 102 protruding upward by a predetermined length is formed at a substantially central portion thereof. An insertion hole 104 is formed in the protrusion 102, and a part of the valve shaft 14 is inserted and engaged therewith.

また、前記第１リテーナ９６の略中央部には第１係着孔１０６が形成され、この第１係着孔１０６はこれよりも大径に形成される導入孔１０８と連通状態にある。そして、前記導入孔１０８は第１リテーナ９６の略中央部に形成される第１係着孔１０６より半径外方向に若干オフセットして形成されている。 A first engaging hole 106 is formed in a substantially central portion of the first retainer 96, and the first engaging hole 106 is in communication with an introduction hole 108 having a larger diameter. The introduction hole 108 is formed slightly offset in the radially outward direction from the first engagement hole 106 formed in the substantially central portion of the first retainer 96.

弁軸１４の切欠部３６に対して第１リテーナ９６を係着させる場合には、弁軸１４に第１リテーナ９６の導入孔１０８を挿通させ、前記導入孔１０８を切欠部３６に対向する位置に変位させた後に、前記第１リテーナ９６を弁軸１４の方向に向かって変位させる。そして、前記第１リテーナ９６の第１係着孔１０６を前記切欠部３６に嵌合させるとともに、前記弁軸１４の切欠部３６の上部側に第１リテーナ９６の挿入穴１０４を係合させる。 When the first retainer 96 is engaged with the notch 36 of the valve shaft 14, the introduction hole 108 of the first retainer 96 is inserted through the valve shaft 14, and the introduction hole 108 is opposed to the notch 36. Then, the first retainer 96 is displaced toward the valve shaft 14. Then, the first engaging hole 106 of the first retainer 96 is fitted into the notch 36 and the insertion hole 104 of the first retainer 96 is engaged with the upper side of the notch 36 of the valve shaft 14.

一方、第１リテーナ９６の下面には、下方に向かって突出した環状壁部１１０が形成され、この環状壁部１１０の外周側にはスリーブ部材８４との間に第２ばね部材１１２が介装されるとともに、前記環状壁部１１０の内周側には、第２リテーナ９８（図１参照）との間に第３ばね部材１１４が介装されている。 On the other hand, an annular wall portion 110 projecting downward is formed on the lower surface of the first retainer 96, and a second spring member 112 is interposed between the sleeve member 84 and the outer peripheral side of the annular wall portion 110. In addition, a third spring member 114 is interposed on the inner peripheral side of the annular wall portion 110 between the second retainer 98 (see FIG. 1).

すなわち、プランジャ８８のフランジ部９０は、第１ばね部材１００が介装されるばね受部材９４に付勢される下方（矢印Ｚ１方向）への弾発力と、第２ばね部材１１２が介装される第１リテーナ９６の下面に付勢される上方（矢印Ｚ２方向）への弾発力との作用下に挟持され、前記プランジャ８８が第１リテーナ９６とばね受部材９４との間に連結されている状態にある。 That is, the flange portion 90 of the plunger 88 is provided with a downward spring force (in the direction of the arrow Z1) urged by the spring receiving member 94 in which the first spring member 100 is interposed, and the second spring member 112 is interposed. The plunger 88 is connected between the first retainer 96 and the spring receiving member 94 under the action of the upward elastic force (in the direction of arrow Z2) urged by the lower surface of the first retainer 96. It is in a state that has been.

図１に示されるように、第２リテーナ９８は略円盤状に形成され、その略中央部に形成される第２係着孔１１６を、弁軸１４の略中央部に形成された環状溝に嵌め込むことにより、前記第２リテーナ９８が弁軸１４に一体的に係着される。なお、前記第２リテーナ９８は、弁軸１４において第１リテーナ９６の下方となるように配設される。 As shown in FIG. 1, the second retainer 98 is formed in a substantially disc shape, and the second engaging hole 116 formed in the substantially central portion thereof is formed in an annular groove formed in the substantially central portion of the valve shaft 14. By fitting, the second retainer 98 is integrally engaged with the valve shaft 14. The second retainer 98 is disposed below the first retainer 96 on the valve shaft 14.

ストローク検出機構２０は、ハウジング３８の上部に装着される蓋状のセンサケース（カバー部材）１１８と、前記センサケース１１８の内部に形成される装着穴１２０を介して配設される検出センサ１２２と、複数の端子１２４を介して前記検出センサ１２２及び駆動部１８のコイル７８と接続されるコネクタ部１３２とからなる。 The stroke detection mechanism 20 includes a lid-shaped sensor case (cover member) 118 mounted on the upper portion of the housing 38, and a detection sensor 122 disposed via a mounting hole 120 formed in the sensor case 118. The connector unit 132 is connected to the detection sensor 122 and the coil 78 of the drive unit 18 through a plurality of terminals 124.

センサケース１１８は、その下端部がハウジング３８の内部に挿入され、薄板状の固定カバー１２６を介してハウジング３８の上部に一体的に装着されている。その際、センサケース１１８の外周面に装着されたシール部材１２８によってハウジング３８の内部の気密が保持される。 The lower end of the sensor case 118 is inserted into the housing 38 and is integrally attached to the upper portion of the housing 38 via a thin plate-like fixed cover 126. At that time, the inside of the housing 38 is kept airtight by the seal member 128 attached to the outer peripheral surface of the sensor case 118.

また、センサケース１１８の内部には、その略中央部に上方に向かって所定深さだけ窪んだ装着穴１２０が形成されている。そして、前記装着穴１２０の内部には、プランジャ８８を介して弁軸１４の変位量を検出し、検出量を電気信号に変換して出力する検出センサ１２２が配設されている。前記検出センサ１２２の下面には、薄板状のプレート部材１３０が設けられている。この検出センサ１２２は、圧力を検出する圧力センサからなり、前記圧力センサとしては、例えば、歪みゲージをロードセル（荷重変換器）に貼着し、この歪みゲージで検出された歪みを電圧変化として出力するようにしてもよいし、機械的な歪みが生じることにより電圧を発生するピエゾ素子等の圧電素子を用いてもよい。 In addition, a mounting hole 120 that is recessed upward by a predetermined depth is formed substantially in the center of the sensor case 118. In the mounting hole 120, a detection sensor 122 that detects the amount of displacement of the valve shaft 14 via the plunger 88, converts the detected amount into an electrical signal, and outputs the electric signal is disposed. A thin plate member 130 is provided on the lower surface of the detection sensor 122. The detection sensor 122 includes a pressure sensor that detects pressure. As the pressure sensor, for example, a strain gauge is attached to a load cell (load converter), and the strain detected by the strain gauge is output as a voltage change. Alternatively, a piezoelectric element such as a piezo element that generates a voltage due to mechanical distortion may be used.

そして、前記プレート部材１３０の下面とばね受部材９４との間には、第１ばね部材１００が介装されている。 A first spring member 100 is interposed between the lower surface of the plate member 130 and the spring receiving member 94.

また、センサケース１１８の側方には、所定長だけ突出したコネクタ部１３２が形成され、前記コネクタ部１３２には、その内部に配設された端子１２４を介して図示しない電源と接続されるリード線（図示せず）が接続される。そして、前記コネクタ部１３２の端子１２４を介して前記電源からの電流がコイル７８へと供給されるとともに、前記端子１２４の一方は、前記検出センサ１２２に接続され、前記検出センサ１２２で検出された第１ばね部材１００の押圧力Ｆに変換された弁軸１４の変位量を検出信号としてコネクタ部１３２より出力している。 Further, a connector portion 132 protruding by a predetermined length is formed on the side of the sensor case 118, and the connector portion 132 is a lead connected to a power source (not shown) via a terminal 124 disposed therein. A line (not shown) is connected. Then, the current from the power source is supplied to the coil 78 via the terminal 124 of the connector portion 132, and one of the terminals 124 is connected to the detection sensor 122 and detected by the detection sensor 122. The displacement amount of the valve shaft 14 converted into the pressing force F of the first spring member 100 is output from the connector portion 132 as a detection signal.

本発明の第１の実施の形態に係るストローク検出機構２０が適用されたバルブ装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。 The valve device 10 to which the stroke detection mechanism 20 according to the first embodiment of the present invention is applied is basically configured as described above. Next, its operation and effects will be described.

図１は、弁本体３４が弁座３２に着座して、入口ポート２４と出口ポート２６との連通が遮断された弁閉状態を示している。なお、その際、プレート部材１３０とばね受部材９４との間に介装される第１ばね部材１００は、プランジャ８８の上方（矢印Ｚ２方向）への変位作用下に圧縮されて縮退している状態にある。 FIG. 1 shows a valve closed state in which the valve body 34 is seated on the valve seat 32 and the communication between the inlet port 24 and the outlet port 26 is blocked. At this time, the first spring member 100 interposed between the plate member 130 and the spring receiving member 94 is compressed and retracted under a displacement action upward (in the direction of arrow Z2) of the plunger 88. Is in a state.

このような弁閉状態において、図示しない電源に接続されたコネクタ部１３２を介して駆動部１８のコイル７８に電流を供給する。そして、前記コイル７８に電流が供給されることにより弁部１２の開弁動作が行われ、前記コイル７８への電流の供給を停止することによって前記弁部１２の閉弁動作が行われる。 In such a valve closed state, a current is supplied to the coil 78 of the drive unit 18 via the connector unit 132 connected to a power source (not shown). When the current is supplied to the coil 78, the valve portion 12 is opened, and when the supply of current to the coil 78 is stopped, the valve portion 12 is closed.

すなわち、図示しない制御回路の指示に基づいて、前記電源よりコイル７８に所定量の電流が供給されると、該コイル７８の励磁作用下に磁界が発生し、プランジャ８８がスリーブ部材８４の内周面に沿って下方（矢印Ｚ１方向）に移動するように電磁力を受ける。 That is, when a predetermined amount of current is supplied from the power source to the coil 78 based on an instruction of a control circuit (not shown), a magnetic field is generated under the exciting action of the coil 78, and the plunger 88 is moved to the inner periphery of the sleeve member 84. Electromagnetic force is received so as to move downward (in the direction of arrow Z1) along the surface.

また、第２支持部材６２の第２膨出部７０は、その外周が上方に向かって徐々に縮径するテーパ状に形成されているため、プランジャ８８に加わる軸線方向の電磁力が、該プランジャ８８の軸線方向に沿った位置に比例する。 Further, the second bulging portion 70 of the second support member 62 is formed in a tapered shape whose outer circumference gradually decreases in diameter toward the upper side, so that the electromagnetic force in the axial direction applied to the plunger 88 is affected by the plunger. It is proportional to the position along the axial direction of 88.

そして、プランジャ８８が、そのフランジ部９０を介して第１リテーナ９６を押圧することにより、第２ばね部材１１２の弾発力に抗しながら前記プランジャ８８が下方向（矢印Ｚ１方向）に変位する。その際、前記第１リテーナ９６と連結された弁軸１４が、弁軸ガイド５２のガイド作用下に下方向（矢印Ｚ１方向）に変位し、この弁軸１４の下端部に形成される弁本体３４が弁座３２から離間することによって、入口ポート２４と出口ポート２６の間が連通された弁開状態となる。 Then, when the plunger 88 presses the first retainer 96 through the flange portion 90, the plunger 88 is displaced downward (arrow Z1 direction) while resisting the elastic force of the second spring member 112. . At this time, the valve shaft 14 connected to the first retainer 96 is displaced downward (in the direction of arrow Z1) under the guide action of the valve shaft guide 52, and the valve body formed at the lower end of the valve shaft 14 When 34 is separated from the valve seat 32, the valve is in an open state in which the inlet port 24 and the outlet port 26 are communicated with each other.

この際、弁軸１４及びプランジャ８８の下方（矢印Ｚ１方向）への変位作用下に、ばね受部材９４に装着された第１ばね部材１００の一端部側が下方（矢印Ｚ１方向）に向かって変位する。そのため、前記第１ばね部材１００は、ばね受部材９４の変位作用下にその圧縮状態が緩和され軸線方向に沿って伸張する。それに伴って、前記第１ばね部材１００のばね受部材９４による圧縮作用下にプレート部材１３０に付勢されていた押圧力Ｆが、前記第１ばね部材１００の伸び量に比例して徐々に小さくなる。そして、弁本体３４が弁座３２より離間して弁開状態になった際に、前記押圧力Ｆが最小となる。 At this time, one end side of the first spring member 100 mounted on the spring receiving member 94 is displaced downward (arrow Z1 direction) under the displacement action of the valve shaft 14 and the plunger 88 downward (arrow Z1 direction). To do. Therefore, the compression state of the first spring member 100 is relaxed under the displacement action of the spring receiving member 94 and extends along the axial direction. Accordingly, the pressing force F biased to the plate member 130 under the compression action of the first spring member 100 by the spring receiving member 94 gradually decreases in proportion to the amount of extension of the first spring member 100. Become. When the valve main body 34 is separated from the valve seat 32 and is in the valve open state, the pressing force F is minimized.

換言すると、弁軸１４及びプランジャ８８の上方（矢印Ｚ２方向）への変位作用下にばね受部材９４を介して第１ばね部材１００の弾発力が圧縮された縮退状態が、前記弁軸１４及びプランジャ８８の下方（矢印Ｚ１方向）への変位作用下に徐々に解除される。 In other words, the valve shaft 14 is in a contracted state in which the elastic force of the first spring member 100 is compressed via the spring receiving member 94 under the displacement action of the valve shaft 14 and the plunger 88 in the upward direction (arrow Z2 direction). And the plunger 88 is gradually released under the action of displacement downward (in the direction of arrow Z1).

すなわち、駆動部１８の駆動作用下にプランジャ８８が軸線方向に沿って変位する際、ばね受部材９４に一端部側が装着された第１ばね部材１００が伸縮する。その際、前記第１ばね部材１００の他端部側が装着されるプレート部材１３０に、前記第１ばね部材１００の押圧力Ｆが付勢される。そのため、検出センサ１２２の下面に当接するように設けられたプレート部材１３０を介して、前記プレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが検出センサ１２２によって検出される。 That is, when the plunger 88 is displaced along the axial direction under the drive action of the drive unit 18, the first spring member 100 having one end attached to the spring receiving member 94 expands and contracts. At this time, the pressing force F of the first spring member 100 is biased to the plate member 130 to which the other end side of the first spring member 100 is attached. Therefore, the detection sensor 122 detects the pressing force F urged by the plate member 130 through the plate member 130 provided so as to contact the lower surface of the detection sensor 122.

その結果、弁本体３４の開閉状態（変位量）が第１ばね部材１００の伸縮変位へと変換され、前記第１ばね部材１００の押圧力Ｆは、プレート部材１３０を介して隣接する検出センサ１２２へと伝達される。前記検出センサ１２２において前記押圧力Ｆに基づいた電気信号に変換された後、コネクタ部１３２の端子１２４を介して検出信号として図示しない制御回路に出力される。 As a result, the open / closed state (displacement amount) of the valve body 34 is converted into the expansion / contraction displacement of the first spring member 100, and the pressing force F of the first spring member 100 is detected by the adjacent detection sensor 122 via the plate member 130. Is transmitted to. After being converted into an electric signal based on the pressing force F in the detection sensor 122, it is output to a control circuit (not shown) as a detection signal via the terminal 124 of the connector portion 132.

なお、このプランジャ８８は、前記電磁力と第２ばね部材１１２の弾発力がつり合う位置で停止する。すなわち、弁部１２の開閉量は、コイル７８に供給される電流の強弱によって決定される。また、プランジャ８８は、第２リテーナ９８によってその下限位置が規制されているため、プランジャ８８がスリーブ部材８４の底面に衝突し、損傷することが回避される。 The plunger 88 stops at a position where the electromagnetic force and the elastic force of the second spring member 112 are balanced. That is, the opening / closing amount of the valve unit 12 is determined by the strength of the current supplied to the coil 78. Moreover, since the lower limit position of the plunger 88 is regulated by the second retainer 98, the plunger 88 is prevented from colliding with the bottom surface of the sleeve member 84 and being damaged.

次に、コイル７８への電流の供給を停止すると、図２に示されるように、第２ばね部材１１２の弾発力によってプランジャ８８が上方（矢印Ｚ２方向）へと変位し、これに伴って弁軸１４は、弁軸ガイド５２のガイド作用下に上方（矢印Ｚ２方向）に変位する。そして、この弁軸１４の弁本体３４が弁座３２に着座し、入口ポート２４が閉塞された弁閉状態となる。 Next, when the supply of current to the coil 78 is stopped, the plunger 88 is displaced upward (in the direction of the arrow Z2) by the elastic force of the second spring member 112 as shown in FIG. The valve shaft 14 is displaced upward (in the arrow Z2 direction) under the guide action of the valve shaft guide 52. The valve main body 34 of the valve shaft 14 is seated on the valve seat 32, and the valve is closed with the inlet port 24 closed.

この際、弁軸１４及びプランジャ８８の上方（矢印Ｚ２方向）への変位作用下に、ばね受部材９４に装着された第１ばね部材１００の一端部側が上方（矢印Ｚ２方向）に向かって変位する。そのため、前記第１ばね部材１００は、ばね受部材９４の変位作用下に軸線方向に沿ってプレート部材１３０側に徐々に圧縮されて縮退する。それに伴って、前記第１ばね部材１００のばね受部材９４による圧縮作用下にプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが、前記第１ばね部材１００の縮退量に比例して徐々に大きくなる。そして、弁本体３４が弁座３２に着座して弁閉状態になった際に、前記押圧力Ｆが最大となる。 At this time, one end side of the first spring member 100 mounted on the spring receiving member 94 is displaced upward (in the direction of arrow Z2) under the displacement action of the valve shaft 14 and the plunger 88 in the upward direction (in the direction of arrow Z2). To do. Therefore, the first spring member 100 is gradually compressed toward the plate member 130 along the axial direction under the displacement action of the spring receiving member 94 and retracts. Accordingly, the pressing force F biased by the plate member 130 under the compression action of the first spring member 100 by the spring receiving member 94 gradually increases in proportion to the amount of degeneration of the first spring member 100. . Then, when the valve body 34 is seated on the valve seat 32 and the valve is closed, the pressing force F becomes maximum.

換言すると、プランジャ８８の軸線方向に沿った変位作用下に連結機構９２を介して第１ばね部材１００が軸線方向に沿って伸縮変位する。その際、プランジャ８８に連結された弁軸１４の変位量が、前記第１ばね部材１００の一端部側が装着されるプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆに変換され、前記押圧力Ｆが前記第１ばね部材１００の伸縮状態によって増減する。そして、前記プレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆを、前記プレート部材１３０に隣接して設けられた検出センサ１２２によって検出する。その後、前記検出センサ１２２によって検出された押圧力Ｆを、電気信号に変換して検出信号としてコネクタ部１３２の端子１２４より図示しない制御回路へと出力している。そして、検出回路によって前記検出信号に基づいて弁軸１４及びプランジャ８８の変位位置及び変位量を算出することにより、弁本体３４の弁開度（変位量）を検出することができる。 In other words, the first spring member 100 expands and contracts along the axial direction via the coupling mechanism 92 under the displacement action along the axial direction of the plunger 88. At that time, the displacement amount of the valve shaft 14 connected to the plunger 88 is converted into a pressing force F urged by the plate member 130 to which one end of the first spring member 100 is attached, and the pressing force F is converted into the pressing force F. The first spring member 100 increases or decreases depending on the expansion / contraction state. Then, the pressing force F biased by the plate member 130 is detected by a detection sensor 122 provided adjacent to the plate member 130. Thereafter, the pressing force F detected by the detection sensor 122 is converted into an electrical signal and output as a detection signal from a terminal 124 of the connector portion 132 to a control circuit (not shown). And the valve opening degree (displacement amount) of the valve main body 34 can be detected by calculating the displacement position and displacement amount of the valve shaft 14 and the plunger 88 based on the detection signal by the detection circuit.

以上のように、第１の実施の形態では、弁軸１４の変位量を検出する検出センサ１２２をセンサケース１１８の装着穴１２０の内部に設け、前記検出センサ１２２の下面に薄板状のプレート部材１３０を当接させるように設けている。そして、前記プレート部材１３０とばね受部材９４との間に第１ばね部材１００を介装している。そのため、簡便な作業でストローク検出機構２０をバルブ装置１０に組み付けることができるとともに、前記検出センサ１２２を予めセンサケース１１８に組み付けておくことが可能である。それに加えて突出した部位がなく、その構成を簡素化することができるため、ストローク検出機構２０の部品点数を削減し、それに伴ってコストを低減することができる。 As described above, in the first embodiment, the detection sensor 122 that detects the amount of displacement of the valve shaft 14 is provided in the mounting hole 120 of the sensor case 118, and a thin plate-like plate member is provided on the lower surface of the detection sensor 122. 130 is provided to contact. A first spring member 100 is interposed between the plate member 130 and the spring receiving member 94. Therefore, the stroke detection mechanism 20 can be assembled to the valve device 10 with a simple operation, and the detection sensor 122 can be assembled to the sensor case 118 in advance. In addition, since there is no protruding portion and the configuration can be simplified, the number of parts of the stroke detection mechanism 20 can be reduced, and the cost can be reduced accordingly.

また、検出センサ１２２は、圧力センサ又は荷重計でよく、可動部分がない非接触式のセンサであるため、構造が簡単で長年の使用によって検出センサ１２２と前記弁軸１４及びプランジャ８８とが接触作用下に摩耗することがない。そのため、バルブ装置１０におけるストローク検出機構２０の耐久性を向上させることができるとともに、前記ストローク検出機構２０におけるメンテナンス作業のサイクルを長期化させることができる。 The detection sensor 122 may be a pressure sensor or a load meter, and is a non-contact type sensor having no moving parts. Therefore, the detection sensor 122, the valve shaft 14 and the plunger 88 are in contact with each other through simple use and long-term use. Does not wear under action. Therefore, the durability of the stroke detection mechanism 20 in the valve device 10 can be improved, and the maintenance work cycle in the stroke detection mechanism 20 can be lengthened.

さらに、第１ばね部材１００による押圧力Ｆの変化を検出センサ１２２で検出することにより、弁軸１４の変位量を検出しているため、従来技術におけるスライダのように別個に弁軸１４の変位量を検出する目的として、弁軸１４及びプランジャ８８の上部側に別個に可動する部材を設ける必要がない。そのため、ハウジング３８の上部に設けられたストローク検出機構２０の高さ方向の寸法が増大することが抑制され、それに伴ってバルブ装置１０全体の高さ方向の大きさを小型化することができる。 Further, since the displacement amount of the valve shaft 14 is detected by detecting the change in the pressing force F by the first spring member 100 by the detection sensor 122, the displacement of the valve shaft 14 is separately performed like a slider in the conventional technology. For the purpose of detecting the amount, it is not necessary to provide a separately movable member on the upper side of the valve shaft 14 and the plunger 88. Therefore, an increase in the dimension in the height direction of the stroke detection mechanism 20 provided on the upper portion of the housing 38 is suppressed, and accordingly, the size in the height direction of the entire valve device 10 can be reduced.

さらにまた、弁軸１４の変位量を検出する検出センサ１２２は、排気ガスが流通する弁部１２より離間したセンサケース１１８の内部に配設されている。そして、前記センサケース１１８は、弁部１２との間にハウジング３８を介して連結されているため、前記検出センサ１２２に対して前記弁部１２の内部を流通する排気ガスの熱が伝達されることを防止することができる。 Furthermore, the detection sensor 122 that detects the amount of displacement of the valve shaft 14 is disposed inside a sensor case 118 that is separated from the valve portion 12 through which the exhaust gas flows. Since the sensor case 118 is connected to the valve portion 12 via the housing 38, the heat of the exhaust gas flowing through the valve portion 12 is transmitted to the detection sensor 122. This can be prevented.

また、前記検出センサ１２２は、高温の排気ガスによって高温に曝される弁軸１４と別体に設けられるとともに、前記検出センサ１２２は、弁軸１４が接続されるプランジャ８８と第１ばね部材１００を介して接続されているため、前記弁軸１４の熱が伝達されることを防止することができる。さらに、前記検出センサ１２２は、その内部に空間を有する第１ばね部材１００を介してプランジャ８８と接続されているため、前記空間によって熱が好適に冷却される。 The detection sensor 122 is provided separately from the valve shaft 14 exposed to high temperature by high-temperature exhaust gas, and the detection sensor 122 includes the plunger 88 and the first spring member 100 to which the valve shaft 14 is connected. Therefore, it is possible to prevent the heat of the valve shaft 14 from being transmitted. Furthermore, since the detection sensor 122 is connected to the plunger 88 via the first spring member 100 having a space inside, the heat is suitably cooled by the space.

次に、ストローク検出機構２０が適用された変形例に係るバルブ装置２００を図３に示す。なお、以下に説明するバルブ装置２００、２５０と第１の実施の形態に係るバルブ装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。 Next, a valve device 200 according to a modification to which the stroke detection mechanism 20 is applied is shown in FIG. The same reference numerals are given to the same components as those of the valve devices 200 and 250 described below and the valve device 10 according to the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

この変形例に係るバルブ装置２００では、弁軸２０２の先端部に形成される弁本体（弁体）２０４を入口ポート２４に向かって徐々に拡径するテーパ状に形成している点、第１リテーナ２０６の上面及び下面を略平面状に形成している点、前記第１リテーナ２０６とスリーブ部材８４との間に介装された第２ばね部材１１２（図１参照）を省略している点、及び第１支持部材６０の第１膨出部６６が下方に向かってテーパ状に形成されるとともに、第２支持部材６２の第２膨出部７０がテーパ状に形成されていない点で前記バルブ装置１０と相違している。 In the valve device 200 according to this modification, the valve body (valve element) 204 formed at the tip of the valve shaft 202 is formed in a tapered shape that gradually increases in diameter toward the inlet port 24. The upper surface and the lower surface of the retainer 206 are formed in a substantially planar shape, and the second spring member 112 (see FIG. 1) interposed between the first retainer 206 and the sleeve member 84 is omitted. The first bulging portion 66 of the first support member 60 is tapered downward, and the second bulging portion 70 of the second support member 62 is not tapered. This is different from the valve device 10.

すなわち、図示しない電源に接続されたコイル７８に電流を供給し、前記コイル７８の励磁作用下にプランジャ８８が第１ばね部材１００の弾発力に抗して上方（矢印Ｚ２方向）へと変位する。そして、前記プランジャ８８の変位作用下に該プランジャ８８に連結機構９２を介して連結された弁軸２０２が上方（矢印Ｚ２方向）へと変位し、弁本体２０４が弁座３２より離間した弁開状態となる。 That is, current is supplied to a coil 78 connected to a power source (not shown), and the plunger 88 is displaced upward (in the direction of arrow Z2) against the elastic force of the first spring member 100 under the excitation action of the coil 78. To do. Then, the valve shaft 202 coupled to the plunger 88 via the coupling mechanism 92 is displaced upward (in the direction of the arrow Z2) under the displacement action of the plunger 88, and the valve body 204 is separated from the valve seat 32. It becomes a state.

また、コイル７８への電流の供給を停止すると、図３に示されるように、第１ばね部材１００の弾発力によってプランジャ８８が下方（矢印Ｚ１方向）へと押圧され、これに伴って前記プランジャ８８と連結機構９２を介して連結された弁軸２０２は、弁軸ガイド５２のガイド作用下に下方（矢印Ｚ１方向）へと変位する。そして、この弁軸２０２の弁本体２０４が弁座３２に着座し、入口ポート２４が閉塞された弁閉状態となる。 When the supply of current to the coil 78 is stopped, the plunger 88 is pressed downward (in the direction of the arrow Z1) by the elastic force of the first spring member 100 as shown in FIG. The valve shaft 202 coupled to the plunger 88 via the coupling mechanism 92 is displaced downward (in the direction of arrow Z1) under the guide action of the valve shaft guide 52. The valve body 204 of the valve shaft 202 is seated on the valve seat 32, and the valve is closed with the inlet port 24 closed.

なお、第１ばね部材１００は、弁本体２０４が設けられた弁軸２０２を弁座３２に接近させる方向に付勢するリターンスプリングとして機能している。 The first spring member 100 functions as a return spring that urges the valve shaft 202 provided with the valve main body 204 in a direction to approach the valve seat 32.

このような構成とすることにより、弁本体２０４が弁座３２に着座して弁閉状態となる際、第１ばね部材１００がその弾発作用下にプランジャ８８を下方（矢印Ｚ１方向）へと押圧するため、前記プレート部材１３０に第１ばね部材１００を介して付勢される押圧力Ｆは徐々に小さくなる。そして、弁本体２０４が弁座３２に着座して弁閉状態になった際に、前記押圧力Ｆが最小となる。 With such a configuration, when the valve main body 204 is seated on the valve seat 32 and is in the valve closed state, the first spring member 100 moves the plunger 88 downward (in the direction of arrow Z1) under its elastic action. In order to press, the pressing force F urged by the plate member 130 via the first spring member 100 gradually decreases. When the valve body 204 is seated on the valve seat 32 and the valve is closed, the pressing force F is minimized.

また、駆動部１８の駆動作用下に弁本体２０４が上方（矢印Ｚ２方向）へと変位して弁開状態となる際、第１ばね部材１００がプランジャ８８の変位作用下に上方（矢印Ｚ２方向）に向かって縮退するため、前記第１ばね部材１００を介してプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが、前記第１ばね部材１００の縮退量に比例して徐々に大きくなる。そして、弁本体２０４が弁座３２より離間して弁開状態になった際に、前記押圧力Ｆが最大となる。 Further, when the valve main body 204 is displaced upward (in the direction of arrow Z2) under the drive action of the drive unit 18 to be in the valve open state, the first spring member 100 is moved upward (in the direction of arrow Z2) under the displacement action of the plunger 88. ), The pressing force F biased by the plate member 130 via the first spring member 100 gradually increases in proportion to the amount of contraction of the first spring member 100. When the valve main body 204 is separated from the valve seat 32 and is in the valve open state, the pressing force F becomes maximum.

そして、前記プレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆを、前記プレート部材１３０に隣接して設けられた検出センサ１２２によって検出し、前記検出センサ１２２によって検出された押圧力Ｆを電気信号に変換してコネクタ部１３２の端子１２４より図示しない制御回路へと出力している。このため、検出回路によって前記検出信号に基づいて弁軸１４及びプランジャ８８の変位位置及び変位量を算出することにより、弁本体２０４の弁開度（変位量）を検出することができる。 The pressing force F urged by the plate member 130 is detected by a detection sensor 122 provided adjacent to the plate member 130, and the pressing force F detected by the detection sensor 122 is converted into an electrical signal. Then, the data is output from the terminal 124 of the connector portion 132 to a control circuit (not shown). For this reason, the valve opening degree (displacement amount) of the valve main body 204 can be detected by calculating the displacement position and displacement amount of the valve shaft 14 and the plunger 88 based on the detection signal by the detection circuit.

上述したように、変形例に係るバルブ装置２００では、弁本体２０４が弁閉状態においてプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが最小となるとともに、前記弁本体２０４が弁開状態においてプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが最大となる。すなわち、弁本体２０４が弁閉状態においてプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが最大となるとともに、弁開状態においてプレート部材１３０に付勢される押圧力Ｆが最小となる前記バルブ装置１０とは反対の特性となる。 As described above, in the valve device 200 according to the modification, the pressing force F biased to the plate member 130 when the valve main body 204 is in the valve closed state is minimized, and the plate member 204 is in the valve open state when the valve main body 204 is in the valve open state. The pressing force F biased by 130 is maximized. That is, the valve device 10 that maximizes the pressing force F biased to the plate member 130 when the valve body 204 is in the valve closed state and minimizes the pressing force F biased to the plate member 130 when the valve body is open. The opposite characteristics.

また、図４に示されるストローク検出機構２０が適用された他の変形例に係るバルブ装置２５０では、排気ガスの循環を制御する弁部１２を構成する弁軸２５２が軸線方向（矢印Ｚ１、Ｚ２方向）に沿って変位自在に設けられ、スリーブ部材８４の内部に配設される前記弁軸２５２の上部にプランジャ８８が連結機構２５４を介して一体的に連結されている。前記弁軸２５２の外周面には、連結機構２５４を構成する一組の係止リング２５６ａ、２５６ｂが環状溝を介して所定間隔離間して設けられ、前記係止リング２５６ａ、２５６ｂの間にはプランジャ８８のフランジ部９０が挟持されている。すなわち、プランジャ８８は、弁軸２５２に対してフランジ部９０を介して軸線方向に沿った相対的な変位が規制されている状態にある。 Further, in the valve device 250 according to another modification to which the stroke detection mechanism 20 shown in FIG. 4 is applied, the valve shaft 252 constituting the valve unit 12 that controls the circulation of the exhaust gas is in the axial direction (arrows Z1, Z2). A plunger 88 is integrally connected to an upper portion of the valve shaft 252 disposed inside the sleeve member 84 through a connecting mechanism 254. On the outer peripheral surface of the valve shaft 252, a pair of locking rings 256a and 256b constituting a coupling mechanism 254 are provided with a predetermined interval through an annular groove, and between the locking rings 256a and 256b. The flange portion 90 of the plunger 88 is clamped. That is, the plunger 88 is in a state in which relative displacement along the axial direction is restricted with respect to the valve shaft 252 via the flange portion 90.

これにより、弁軸２５２の軸線方向（矢印Ｚ１、Ｚ２方向）に沿った変位作用下にプランジャ８８がフランジ部９０を介して前記弁軸２５２と一体的に変位する。なお、上述した連結機構２５４は、一組の係止リング２５６ａ、２５６ｂによってプランジャ８８を弁軸２５２に連結する場合に限定されるものではなく、前記弁軸２５２に対してプランジャ８８を一体的に連結する機構であればよい。 As a result, the plunger 88 is displaced integrally with the valve shaft 252 via the flange portion 90 under the action of displacement along the axial direction (arrow Z1, Z2 direction) of the valve shaft 252. The connecting mechanism 254 described above is not limited to the case where the plunger 88 is connected to the valve shaft 252 by a set of locking rings 256a and 256b. The plunger 88 is integrated with the valve shaft 252 integrally. Any mechanism can be used.

この弁軸２５２の上端部には、前記プランジャ８８の内周径より小径な略円盤状に形成されるばね受部材２５８が装着されている。そして、ストローク検出機構２０を構成する検出センサ１２２とばね受部材２５８との間には、第１ばね部材１００が介装され、前記第１ばね部材１００が、前記ばね受部材２５８を介して弁軸２５２及びプランジャ８８を下方（矢印Ｚ１方向）に押圧する方向に付勢している。さらに、プランジャ８８のフランジ部９０とスリーブ部材８４の間には、第２ばね部材１１２が介装されている。 A spring receiving member 258 formed in a substantially disc shape having a smaller diameter than the inner peripheral diameter of the plunger 88 is attached to the upper end portion of the valve shaft 252. A first spring member 100 is interposed between the detection sensor 122 constituting the stroke detection mechanism 20 and the spring receiving member 258, and the first spring member 100 is valved via the spring receiving member 258. The shaft 252 and the plunger 88 are biased in the direction of pressing downward (in the direction of arrow Z1). Further, a second spring member 112 is interposed between the flange portion 90 of the plunger 88 and the sleeve member 84.

すなわち、このような構成とすることにより、弁軸２５２が軸線方向（矢印Ｚ１、Ｚ２方向）に沿って変位し、このため、弁軸２５２の上端部に設けられたばね受部材２５８を介して第１ばね部材１００が伸縮変位する。その結果、弁軸２５２の変位作用下に第１ばね部材１００を介して検出センサ１２２に押圧力Ｆが付勢され、該押圧力Ｆを前記検出センサ１２２によって検出することが可能となる。 That is, with such a configuration, the valve shaft 252 is displaced along the axial direction (the directions of arrows Z1 and Z2). For this reason, the valve shaft 252 is displaced via the spring receiving member 258 provided at the upper end portion of the valve shaft 252. One spring member 100 expands and contracts. As a result, the pressing force F is urged to the detection sensor 122 via the first spring member 100 under the displacement action of the valve shaft 252, and the pressing force F can be detected by the detection sensor 122.

このように、弁軸２５２の軸線方向（矢印Ｚ１、Ｚ２方向）に沿った変位量を検出センサ１２２によって直接的に検出することが可能となるため、前記弁軸２５２の軸線方向（ストローク方向）に沿った変位量の検出精度をより一層向上させることができる。 In this way, the displacement amount along the axial direction (arrow Z1, Z2 direction) of the valve shaft 252 can be directly detected by the detection sensor 122, and therefore the axial direction (stroke direction) of the valve shaft 252. The detection accuracy of the amount of displacement along can be further improved.

次に、第２の実施の形態に係るストローク検出機構３００を図５及び図６に示す。 Next, a stroke detection mechanism 300 according to the second embodiment is shown in FIGS.

このストローク検出機構３００に、移動体３０６の変位量を検出する一組の第１センサ（第１圧力検出体）３０２及び第２センサ（第２圧力検出体）３０４を設ける場合について説明する。 The case where a pair of first sensor (first pressure detection body) 302 and second sensor (second pressure detection body) 304 for detecting the displacement amount of the moving body 306 is provided in the stroke detection mechanism 300 will be described.

このストローク検出機構３００において、図５に示されるように、このような構成された移動体３０６の軸線方向に沿った変位量が、第１スプリング３０８の伸縮変位によって第１センサ３０２へ付勢される押圧力Ｇ１として検出されると同時に、第２スプリング３１０の伸縮変位によって第２センサ３０４へ付勢される押圧力Ｇ２として検出される。 In the stroke detection mechanism 300, as shown in FIG. 5, the displacement amount along the axial direction of the movable body 306 configured as described above is urged toward the first sensor 302 by the expansion / contraction displacement of the first spring 308. At the same time, it is detected as a pressing force G2 urged to the second sensor 304 by the expansion and contraction displacement of the second spring 310.

詳細には、移動体３０６がスライドガイド３１２に沿って上方（矢印Ｚ２方向）に変位する際、第１スプリング３０８が縮退するため、第１センサ３０２に付勢される押圧力Ｇ１が大きくなるとともに、移動体３０６の下方に介装された第２スプリング３１０は、前記第１スプリング３０８とは反対方向に伸張するため、第２センサ３０４に付勢される押圧力Ｇ２が小さくなる（Ｇ１＞Ｇ２）。 Specifically, when the moving body 306 is displaced upward (in the direction of the arrow Z2) along the slide guide 312, the first spring 308 is retracted, so that the pressing force G1 biased by the first sensor 302 is increased. The second spring 310 interposed below the moving body 306 extends in the opposite direction to the first spring 308, and therefore the pressing force G2 biased by the second sensor 304 is reduced (G1> G2). ).

また、反対に、移動体３０６がスライドガイド３１２に沿って下方（矢印Ｚ１方向）に変位する際、第１スプリング３０８が伸張するため、第１センサ３０２に付勢される押圧力Ｇ１が小さくなるとともに、移動体３０６の下方に介装された第２スプリング３１０は前記第１スプリング３０８とは反対方向に縮退するため、第２センサ３０４に付勢される押圧力Ｇ２が大きくなる（Ｇ１＜Ｇ２）。 On the other hand, when the moving body 306 is displaced downward (in the direction of arrow Z1) along the slide guide 312, the first spring 308 is extended, so that the pressing force G1 biased by the first sensor 302 is reduced. At the same time, the second spring 310 interposed below the moving body 306 is retracted in the opposite direction to the first spring 308, so that the pressing force G2 biased by the second sensor 304 is increased (G1 <G2). ).

すなわち、前記移動体３０６の変位作用下に前記第１スプリング３０８と第２スプリング３１０とが相反して対称的に伸縮変位をするため、図７に示されるように、第１センサ３０２によって検出された押圧力Ｇ１に基づいて出力される出力電圧Ａと、第２センサ３０４によって検出される押圧力Ｇ２に基づいて出力される出力電圧Ｂとが、移動体３０６の軸線方向に沿ったストローク量に対して互いに反比例するように出力される。 That is, since the first spring 308 and the second spring 310 are oppositely expanded and contracted symmetrically under the displacement action of the moving body 306, as shown in FIG. The output voltage A that is output based on the pressing force G1 and the output voltage B that is output based on the pressing force G2 detected by the second sensor 304 are the stroke amount along the axial direction of the moving body 306. Are output in inverse proportion to each other.

そして、前記第１スプリング３０８と第２スプリング３１０による押圧力Ｇ１、Ｇ２をそれぞれ検出する第１センサ３０２及び第２センサ３０４とから検出信号を図示しない制御回路へと出力する。そして、前記第１センサ３０２からの検出信号と第２センサ３０４からの検出信号とに基づいて演算処理を行うことにより、移動体３０６の変位量の検出精度を向上させることができる。具体的には、ノイズの低減や増幅、第１センサ３０２又は第２センサ３０４のいずれか一方が万が一故障した場合にも、他方のセンサによって検出することができるためフェイルセイフとして機能する。 Then, detection signals are output to a control circuit (not shown) from the first sensor 302 and the second sensor 304 that detect the pressing forces G1 and G2 by the first spring 308 and the second spring 310, respectively. Then, by performing arithmetic processing based on the detection signal from the first sensor 302 and the detection signal from the second sensor 304, the detection accuracy of the displacement amount of the moving body 306 can be improved. Specifically, it functions as a fail-safe because it can be detected by the other sensor even if one of the first sensor 302 or the second sensor 304 fails by any means, noise reduction or amplification.

なお、図６に示されるように、前記移動体３０６の側面に略直交するように連接プレート３１４を突出させ、前記連接プレート３１４と第１センサ３０２との間に第１スプリング３０８を介装するとともに、前記連接プレート３１４と第２センサ３０４との間に第２スプリング３１０を介装するようにしてもよい。 As shown in FIG. 6, the connecting plate 314 is protruded so as to be substantially orthogonal to the side surface of the moving body 306, and a first spring 308 is interposed between the connecting plate 314 and the first sensor 302. In addition, a second spring 310 may be interposed between the connecting plate 314 and the second sensor 304.

次に、第３の実施の形態に係るストローク検出機構４００について説明する。 Next, a stroke detection mechanism 400 according to the third embodiment will be described.

図８に示されるように、このストローク検出機構４００は、移動体４０２の上方に長尺のピストンロッド４０４を連結し、前記ピストンロッド４０４の先端部に円盤状のピストン４０６が連結される。そして、前記ピストン４０６がシリンダボディ４０８に形成されるシリンダ室４１０の内部に装着され、軸線方向に沿って変位する。前記シリンダボディ４０８の内部には、圧力流体（例えば、圧縮エア）又は圧縮性ガス等が充填されている。このシリンダボディ４０８には、その側面にシリンダ室４１０と外部とを連通する連通路４１２が形成され、前記シリンダボディ４０８の側面には、前記連通路４１２と対向する位置に圧力を検出する第３センサ４１４が装着されている。 As shown in FIG. 8, in the stroke detection mechanism 400, a long piston rod 404 is connected above the moving body 402, and a disc-shaped piston 406 is connected to the tip of the piston rod 404. The piston 406 is mounted inside a cylinder chamber 410 formed in the cylinder body 408, and is displaced along the axial direction. The cylinder body 408 is filled with a pressure fluid (for example, compressed air) or a compressible gas. The cylinder body 408 has a communication passage 412 that communicates the cylinder chamber 410 with the outside on the side surface thereof, and a third surface that detects pressure at a position facing the communication passage 412 on the side surface of the cylinder body 408. A sensor 414 is attached.

このような構成とすることにより、移動体４０２が軸線方向に沿って上方（矢印Ｚ２方向）に変位する際、前記移動体４０２と連結されたピストン４０６がシリンダ室４１０の内部に沿って上方（矢印Ｚ２方向）へと変位し、前記シリンダ室４１０の内部の圧力流体等が圧縮される。そして、前記圧力流体等の流動作用下に連通路４１２を介して第３センサ４１４が押圧される。なお、前記ピストン４０６がシリンダ室４１０内の圧力流体等を圧縮しながら上方（矢印Ｚ２方向）へと変位する際、その圧縮抵抗によってピストン４０６の変位速度が減速されるクッション機能を有している。 With this configuration, when the moving body 402 is displaced upward (in the direction of the arrow Z2) along the axial direction, the piston 406 connected to the moving body 402 moves upward along the inside of the cylinder chamber 410 ( (In the direction of arrow Z2), the pressure fluid or the like inside the cylinder chamber 410 is compressed. Then, the third sensor 414 is pressed through the communication path 412 under the flow action of the pressure fluid or the like. When the piston 406 is displaced upward (in the direction of arrow Z2) while compressing the pressure fluid or the like in the cylinder chamber 410, the piston 406 has a cushioning function that reduces the displacement speed of the piston 406 by the compression resistance. .

また、移動体４０２が軸線方向に沿って下方（矢印Ｚ１方向）に変位する際、前記移動体４０２と連結されたピストン４０６がシリンダ室４１０の内部に沿って下方（矢印Ｚ１方向）へと変位し、前記圧力流体等の流動状態を連通路４１２を介して第３センサ４１４によって検出する。 Further, when the movable body 402 is displaced downward (in the direction of arrow Z1) along the axial direction, the piston 406 coupled to the movable body 402 is displaced downward (in the direction of arrow Z1) along the inside of the cylinder chamber 410. The flow state of the pressure fluid or the like is detected by the third sensor 414 through the communication path 412.

すなわち、第３センサ４１４でシリンダ室４１０における圧力流体等の圧力変化を検出することにより、移動体４０２の軸線方向に沿った変位量を検出することができる。 That is, the displacement amount along the axial direction of the moving body 402 can be detected by detecting the pressure change of the pressurized fluid or the like in the cylinder chamber 410 by the third sensor 414.

本発明の第１の実施の形態に係るストローク検出機構が適用されたバルブ装置を示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a valve device to which a stroke detection mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention was applied. 図１のバルブ装置の弁開状態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the valve open state of the valve apparatus of FIG. 図１のストローク検出機構が適用されたバルブ装置の変形例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the modification of the valve apparatus to which the stroke detection mechanism of FIG. 1 was applied. 図１のストローク検出機構が適用されたバルブ装置の他の変形例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the other modification of the valve apparatus to which the stroke detection mechanism of FIG. 1 was applied. 本発明の第２の実施の形態に係るストローク検出機構を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the stroke detection mechanism which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図５の移動体の変形例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the modification of the moving body of FIG. 第１及び第２センサから出力される出力電圧と移動体の軸線方向に沿ったストローク量を示す特性曲線図である。It is a characteristic curve figure which shows the stroke amount along the axial direction of the output voltage and moving body which are output from a 1st and 2nd sensor. 本発明の第３の実施の形態に係るストローク検出機構を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the stroke detection mechanism which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

Explanation of symbols

１０、２００、２５０…バルブ装置１２…弁部
１４、２０２、２５２…弁軸１８…駆動部
２０、３００、４００…ストローク検出機構
２２…弁ボディ２４…入口ポート
２６…出口ポート２８…連通室
３０…再循環路３２…弁座
３４、２０４…弁本体３６…切欠部
３８…ハウジング５２…弁軸ガイド
５６…アンダーカバー６０…第１支持部材
６２…第２支持部材７８…コイル
８０…ボビン８４…スリーブ部材
８８…プランジャ９０…フランジ部
９２…連結機構９４、２５８…ばね受部材
９６、２０６…第１リテーナ９８…第２リテーナ
１００…第１ばね部材１０６…第１係着孔
１１２…第２ばね部材１１４…第３ばね部材
１１６…第２係着孔１１８…センサケース
１２０…装着穴１２２…検出センサ
１３０…プレート部材１３２…コネクタ部

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 200, 250 ... Valve apparatus 12 ... Valve part 14, 202, 252 ... Valve shaft 18 ... Drive part 20, 300, 400 ... Stroke detection mechanism 22 ... Valve body 24 ... Inlet port 26 ... Outlet port 28 ... Communication chamber 30 Recirculation path 32 Valve seat 34, 204 Valve body 36 Notch 38 ... Housing 52 ... Valve shaft guide 56 ... Under cover 60 ... First support member 62 ... Second support member 78 ... Coil 80 ... Bobbin 84 ... Sleeve member 88 ... Plunger 90 ... Flange portion 92 ... Connection mechanism 94, 258 ... Spring receiving member 96, 206 ... First retainer 98 ... Second retainer 100 ... First spring member 106 ... First engagement hole 112 ... Second spring Member 114 ... Third spring member 116 ... Second engagement hole 118 ... Sensor case 120 ... Mounting hole 122 ... Detection sensor 130 ... Plate Wood 132 ... connector part

Claims

A valve base having a fluid passage through which fluid flows and a valve seat;
A valve body that opens and closes the fluid passage by being separated and seated on the valve seat;
A movable body that is disposed inside a housing connected to the valve base, and that is displaceable along an axial direction of the housing ;
A drive unit for driving the moving body by an electrical signal;
A connection mechanism for connecting the movable body and the valve body ;
An elastic member that expands and contracts along the axial direction under the displacement action of the moving body or the valve body;
In the valve apparatus comprising a cover member for closing the housing, the displacement amount in the axial direction before Kiben body, a stroke detecting mechanism for detecting through said elastic member,
The elastic member is a compression spring that is provided between the movable body or the valve body and the cover member and extends in the axial direction. The elastic member receives a pressing force urged from the compression spring and receives the pressing force. A detection unit configured to detect pressure, and the detection unit includes a pressure sensor including a piezoelectric element that converts the pressing force into an electric signal, and the pressure sensor is provided in a mounting hole formed inside the cover member. And is sandwiched between the mounting hole and the elastic member so as to receive a pressing force from the elastic member, and the wiring of the pressure sensor is provided inside the cover member, and the drive unit stroke detecting mechanism is connected to a connector comprising a terminal, characterized in Rukoto.