JP4382051B2 - Magnetic head assembly, magnetic disk drive, and magnetic head assembly driving method - Google Patents

Magnetic head assembly, magnetic disk drive, and magnetic head assembly driving method Download PDF

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JP4382051B2 JP2006084612A JP2006084612A JP4382051B2 JP 4382051 B2 JP4382051 B2 JP 4382051B2 JP 2006084612 A JP2006084612 A JP 2006084612A JP 2006084612 A JP2006084612 A JP 2006084612A JP 4382051 B2 JP4382051 B2 JP 4382051B2
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Description

本発明は、磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスク装置、及び磁気ヘッドアセンブリの駆動方法に関し、特に位置決め精度の高い磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスク装置、及び磁気ヘッドアセンブリの駆動方法に関する。 The present invention relates to a magnetic head assembly, a magnetic disk device, and to a method of driving a magnetic head assembly, particularly high magnetic head assembly of positioning accuracy, a magnetic disk device, and a method of driving a magnetic head assembly.

近年、情報機器の小型化、精密化が進んでおり、微小な移動を制御できるアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等では、高精度で微小距離を移動させ、位置決めすることができるマイクロアクチュエータが必要となっている。   In recent years, miniaturization and precision of information equipment have progressed, and the demand for actuators that can control minute movements has increased. For example, focus correction and tilt angle control of an optical system, an ink jet printer, a head actuator of a magnetic disk device, and the like require a microactuator that can move and position a minute distance with high accuracy.

磁気ディスク装置に対しては、寸法を増大することなく、記録容量を増大することが益々重要となってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化はディスク1枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。ディスクの大きさ、すなわち直径を変えずに高記録密度を達成するためには、半径方向の単位長さ(1インチ)当たりのトラック数(TPI)を大きくすること、すなわち、トラックの幅を狭くすることが不可欠である。このため、トラックの幅方向における磁気ヘッドの位置決め精度を高くすることが必要であり、高位置決め精度が可能な磁気ヘッド用マイクロアクチュエータの開発が要望されている。   For magnetic disk devices, it has become increasingly important to increase the recording capacity without increasing the dimensions. In general, increasing the capacity of a magnetic disk device is achieved by increasing the storage capacity per disk. In order to achieve a high recording density without changing the size of the disk, that is, the diameter, the number of tracks (TPI) per unit length (1 inch) in the radial direction is increased, that is, the width of the track is reduced. It is essential to do. For this reason, it is necessary to increase the positioning accuracy of the magnetic head in the track width direction, and there is a demand for the development of a microactuator for a magnetic head capable of high positioning accuracy.

従来の磁気ヘッドの位置決めは、磁気ヘッド(スライダ)を保持するサスペンションが接続されたキャリッジアームを回転軸の周りにコアースアクチュエータ(ボイスコイルモータ)で回転駆動することで行われてきた。この方式でも従来の媒体の記録密度は十分カバーできる範囲にあった。しかし、近年の記録装置の大容量化にともなう記録密度の高密度化により、従来方式では磁気ヘッドの位置決め精度が不十分となり、磁気ヘッドの読み取り、書き込み不良が発生するおそれがある。   Conventional positioning of the magnetic head has been performed by rotationally driving a carriage arm, to which a suspension for holding the magnetic head (slider) is connected, around a rotation axis by a coarse actuator (voice coil motor). Even in this method, the recording density of the conventional medium is in a range that can be sufficiently covered. However, due to the increase in recording density accompanying the recent increase in capacity of recording apparatuses, the conventional method has insufficient positioning accuracy of the magnetic head, which may cause reading and writing defects of the magnetic head.

特許第3041052号は、キャリッジアームをボイスコイルモータで回転駆動するとともに、マイクロアクチュエータを磁気ヘッドスライダとサスペンションの間に配置して、磁気ヘッドの位置決め精度を改善することを提案している。マイクロアクチュエータは、圧電・電歪材料を用いた変位発生部を有し、印加電圧3〜50V,面内移動距離0.01〜5μm程度、回転角度0.05〜2度程度が例示されている。圧電材料としてはPZT[Pb(Zr,Ti)O]、PT[PbTiO]、PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti)O]、チタン酸バリウム[BaTiO]などが例示されている。 Japanese Patent No. 3041052 proposes that the carriage arm is rotationally driven by a voice coil motor, and the microactuator is disposed between the magnetic head slider and the suspension to improve the positioning accuracy of the magnetic head. The microactuator has a displacement generating part using a piezoelectric / electrostrictive material, and an applied voltage of 3 to 50 V, an in-plane moving distance of about 0.01 to 5 μm, and a rotation angle of about 0.05 to 2 degrees are exemplified. . Examples of the piezoelectric material include PZT [Pb (Zr, Ti) O 3 ], PT [PbTiO 3 ], PLZT [(Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ], barium titanate [BaTiO 3 ], and the like. Yes.

特開2004−199823号は、磁気ヘッドスライダの重心を通る位置で磁気ヘッドスライダを連結部材でサスペンションに結合し、磁気ヘッドスライダの重心の両側に一対の圧電素子を平行に配置し、重心に対して回転対称な位置で、圧電素子の1端を磁気ヘッドスライダに接着し、他端をサスペンションに接着し、圧電素子を収縮することにより磁気ヘッドスライダに回転駆動力を与えることを提案する。重心を回転中心とした回転駆動になるので、磁気ヘッドスライダの高速駆動が可能になると教示する。   In Japanese Patent Laid-Open No. 2004-199823, a magnetic head slider is coupled to a suspension by a connecting member at a position passing through the center of gravity of the magnetic head slider, and a pair of piezoelectric elements are arranged in parallel on both sides of the center of gravity of the magnetic head slider. It is proposed to apply a rotational driving force to the magnetic head slider by bonding one end of the piezoelectric element to the magnetic head slider and bonding the other end to the suspension and contracting the piezoelectric element at a rotationally symmetric position. He teaches that the magnetic head slider can be driven at high speed because the rotational drive is performed with the center of gravity as the center of rotation.

特開2006−14557号は、圧電素子の接着部と、対向するスライダまたはサスペンションの接着部との少なくとも一方に段差を設け、接着剤の分布を制限して接着面積を一定にすることを提案する。特開2004−199823号提案の構成から、磁気ヘッドスライダの重心における磁気ヘッドスライダ−サスペンション間の結合を省く構成も開示する。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-14557 proposes to provide a step in at least one of the adhesion portion of the piezoelectric element and the adhesion portion of the opposing slider or suspension to restrict the distribution of the adhesive to make the adhesion area constant. . A configuration is also disclosed in which the coupling between the magnetic head slider and the suspension at the center of gravity of the magnetic head slider is omitted from the configuration proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-199823.

特許第3041052号公報(国際公開WO98/19304号公報)Japanese Patent No. 3041052 (International Publication WO98 / 19304) 特開2004−199823号公報JP 2004-199823 A 特開2006−14557号公報JP 2006-14557 A

本発明の目的は、高速駆動が可能で、位置決め精度が高い磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスク装置、及び磁気ヘッドアセンブリの駆動方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a magnetic head assembly, a magnetic disk device, and a magnetic head assembly driving method that can be driven at high speed and have high positioning accuracy.

本発明の他の目的は、機械的強度が高い磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスク装置、及び磁気ヘッドアセンブリの駆動方法を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a magnetic head assembly having high mechanical strength , a magnetic disk device, and a method for driving the magnetic head assembly .

本発明のさらに他の目的は、製造が容易で、構成部品数が少ない磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスク装置、及び磁気ヘッドアセンブリの駆動方法を提供することである。 Still another object of the present invention is to provide a magnetic head assembly, a magnetic disk apparatus, and a magnetic head assembly driving method that are easy to manufacture and have a small number of components.

本発明の1観点によれば、
仮想軸と前記仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと
前記連結部に結合されたサスペンションと、
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、
を有することを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ
が提供される。
According to one aspect of the present invention,
In a state in which a virtual plane assumed to be orthogonal to the virtual axis said virtual axis, at equal distances from the imaginary axis across the imaginary axis on the imaginary plane, in parallel with aligning the position of the longitudinal (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
In (1/2) rotational symmetrical positions with respect to the imaginary axis, and a first piezoelectric element and the second piezoelectric element coupled to the side surface of said first extending portion and the second extending portion A piezoelectric actuator having
A suspension coupled to the connecting portion;
A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
A magnetic head assembly is provided.

本発明の他の観点によれば、
ディスク面を有する磁気ディスクと、
前記磁気ディスク上方に配置されたサスペンションを有し、回転軸の周囲で回転駆動可能なキャリッジアームと、
前記キャリッジアームの先端に備えられた磁気ヘッドアセンブリと、
を有し、前記磁気ヘッドアセンブリは、
仮想軸と該仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと、
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、
を含むことを特徴とする磁気ディスク装置
が提供される。
According to another aspect of the invention,
A magnetic disk having a disk surface;
A carriage arm having a suspension disposed above the magnetic disk and capable of being driven to rotate around a rotation axis;
A magnetic head assembly provided at a tip of the carriage arm;
The magnetic head assembly comprises:
In a state where a virtual axis and a virtual plane orthogonal to the virtual axis are assumed, the position in the length direction is aligned in parallel at a position equidistant from the virtual axis across the virtual axis on the virtual plane. (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
A first piezoelectric element and a second piezoelectric element coupled to the side surfaces of the first extension part and the second extension part at (1/2) rotationally symmetric positions with respect to the virtual axis. A piezoelectric actuator having
A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
A magnetic disk device is provided.

本発明のさらに他の観点によれば、
仮想軸と該仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと、
前記連結部に結合されたサスペンションと、
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、
を有する磁気ヘッドアセンブリの駆動方法であって、
前記第1の圧電素子及び前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の延在部および前記第2の延在部を、それぞれ前記第1の圧電素子側および前記第2の圧電素子側に弧状に湾曲させ、前記湾曲により前記磁気ヘッドスライダを回転させることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリの駆動方法
が提供される。
According to yet another aspect of the invention,
In a state where a virtual axis and a virtual plane orthogonal to the virtual axis are assumed, the position in the length direction is aligned in parallel at a position equidistant from the virtual axis across the virtual axis on the virtual plane. (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
A first piezoelectric element and a second piezoelectric element coupled to the side surfaces of the first extension part and the second extension part at (1/2) rotationally symmetric positions with respect to the virtual axis. A piezoelectric actuator having
A suspension coupled to the connecting portion;
A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
A method of driving a magnetic head assembly comprising:
A voltage is applied to the first piezoelectric element and the second piezoelectric element so that the first extending portion and the second extending portion are respectively connected to the first piezoelectric element side and the second piezoelectric element. A driving method of a magnetic head assembly is provided, wherein the magnetic head slider is bent in an arc shape on the piezoelectric element side, and the magnetic head slider is rotated by the bending .

セラミック体が圧電アクチュエータの機械的強度を提供する。セラミック体に結合した圧電素子が例えば収縮すると、セラミック体が圧電素子側に湾曲し、弧状の変位を生じさせる。   The ceramic body provides the mechanical strength of the piezoelectric actuator. When the piezoelectric element coupled to the ceramic body contracts, for example, the ceramic body is bent toward the piezoelectric element side, causing an arcuate displacement.

一体のセラミック体を用いることにより、部品数が制限される。   By using an integral ceramic body, the number of parts is limited.

連結部でセラミック体を支持部に結合し、延在部の(1/2)回転対称位置でセラミック体を回転対象物に結合することにより、回転対象物は回転駆動される。   The rotating object is driven to rotate by connecting the ceramic body to the support part at the connecting part and connecting the ceramic body to the rotating object at the (1/2) rotationally symmetric position of the extending part.

磁気ヘッドスライダの重心に関して(1/2)回転対称な位置で、磁気ヘッドスライダを圧電アクチュエータに結合すると、磁気ヘッドスライダは重心を回転軸として回転駆動される。   When the magnetic head slider is coupled to the piezoelectric actuator at a (1/2) rotationally symmetric position with respect to the center of gravity of the magnetic head slider, the magnetic head slider is driven to rotate about the center of gravity as a rotation axis.

以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、磁気ディスク装置の構成を示す概略的平面図である。図は、ディスクエンクロージャのカバーを外した状態での内部構造を示す。装置内部を密閉するエンクロージャ31の中央部には、スピンドルモータによって回転駆動されるディスク32が配置されている。ディスク32の外周部近傍に、キャリッジアーム33が回転軸34を中心に回転可能に設けられている。キャリッジアーム33は、ディスク32上に延在し、先端に磁気ヘッドアセンブリ35が取り付けられている。   FIG. 1 is a schematic plan view showing the configuration of a magnetic disk device. The figure shows the internal structure with the disk enclosure cover removed. A disk 32 that is driven to rotate by a spindle motor is disposed at the center of the enclosure 31 that seals the inside of the apparatus. A carriage arm 33 is provided in the vicinity of the outer periphery of the disk 32 so as to be rotatable about a rotation shaft 34. The carriage arm 33 extends on the disk 32, and a magnetic head assembly 35 is attached to the tip.

キャリッジアーム33の基端側には、キャリッジアーム33を回転駆動するメインアクチュエータ(ボイスコイルモータ)36が設けられている。エンクロージャ31側に磁気ギャップを有する磁気回路を固定し、キャリッジアーム33にボイスコイル(ムービングコイル)を固着している。メインアクチュエータ36内のボイスコイルに駆動電流を流すと、磁気ギャップ内にあるボイスコイル部分に推力が発生し、キャリッジアーム33が回転し、磁気ヘッドアセンブリ35内の磁気ヘッドがディスク32のトラック幅方向Tに移動する。   A main actuator (voice coil motor) 36 that rotationally drives the carriage arm 33 is provided on the base end side of the carriage arm 33. A magnetic circuit having a magnetic gap is fixed on the enclosure 31 side, and a voice coil (moving coil) is fixed to the carriage arm 33. When a drive current is passed through the voice coil in the main actuator 36, thrust is generated in the voice coil portion in the magnetic gap, the carriage arm 33 rotates, and the magnetic head in the magnetic head assembly 35 moves in the track width direction of the disk 32. Move to T.

図2Aは、磁気ヘッドアセンブリ35の構成を示す分解斜視図である。最下部に示す磁気ヘッド11は、磁気ディスク上のデータのリード/ライトを行うもので、スライダ12に搭載されている。スライダ12のディスクとの対向面は、ディスク面と平行な摺動面となっており、ディスクが回転すると、摺動面はディスク面から浮上する。   FIG. 2A is an exploded perspective view showing the configuration of the magnetic head assembly 35. The magnetic head 11 shown at the bottom is for reading / writing data on the magnetic disk, and is mounted on the slider 12. The surface of the slider 12 facing the disk is a sliding surface parallel to the disk surface. When the disk rotates, the sliding surface floats from the disk surface.

図中上側に示す板ばね状のサスペンション15の先端部には、略U字形の打ち抜き穴10が穿設され、スライダ保持部15aが中央部に画定される。スライダ12は、圧電アクチュエータ16を介してスライダ保持部15aに支持される。   A substantially U-shaped punching hole 10 is formed at the tip of the leaf spring suspension 15 shown in the upper side in the drawing, and a slider holding portion 15a is defined at the center. The slider 12 is supported by the slider holding portion 15 a via the piezoelectric actuator 16.

図2Bは、圧電アクチュエータ16の構成を示す平面図である。圧電アクチュエータ16は、全体形状が略長方形の板状セラミック体4と、その長辺6a、6bに沿う対向側面に結合した一対の圧電素子3a、3bとを有する。圧電アクチュエータは、例えば厚さ0.1mm、短辺の幅W=0.313mm、長辺の長さL=1.25mm程度の寸法を有する。長さLは、基本的にスライダの寸法に合わせる。セラミック体4の面内重心位置をGで示す。   FIG. 2B is a plan view showing the configuration of the piezoelectric actuator 16. The piezoelectric actuator 16 includes a plate-shaped ceramic body 4 having a substantially rectangular overall shape, and a pair of piezoelectric elements 3a and 3b coupled to opposing side surfaces along the long sides 6a and 6b. The piezoelectric actuator has dimensions of, for example, a thickness of 0.1 mm, a short side width W = 0.313 mm, and a long side length L = 1.25 mm. The length L is basically matched to the size of the slider. In-plane gravity center position of the ceramic body 4 is indicated by G.

対向短辺5a、5bの重心Gに関して(1/2)回転対称な位置から、長辺6a、6bに沿ってセラミック体4にスリットS1,S2が形成され、長辺に沿って平行で、重心Gに関して(1/2)回転対称な、片持ち梁構造4a、4cを形成する。連結部ないし中央部4bは対角位置で片持ち梁構造4a、4cを支持する。全体の形状は、N形(またはNの鏡面対称形)になると言える。片持ち梁部4a、4cの外側面上に重心Gに関して(1/2)回転対称に圧電素子3a、3cが接着される。   Slits S1 and S2 are formed in the ceramic body 4 along the long sides 6a and 6b from the (1/2) rotationally symmetric position with respect to the center of gravity G of the opposing short sides 5a and 5b. The cantilever structures 4a and 4c are formed that are (1/2) rotationally symmetric with respect to G. The connecting portion or the central portion 4b supports the cantilever structures 4a and 4c at diagonal positions. The overall shape can be said to be N-shaped (or N mirror symmetric). The piezoelectric elements 3a and 3c are bonded to the outer surfaces of the cantilever portions 4a and 4c in a (1/2) rotational symmetry with respect to the center of gravity G.

電圧を印加して圧電素子3a、3bの長さを収縮させると、片持ち梁部4a、4cは外側面に圧縮応力を受け、圧電素子側に凹状に湾曲する。片持ち梁4a、4cは1端が連結部4bに結合しているので、連結部から離れた端部が外側に移動する。   When a voltage is applied to contract the length of the piezoelectric elements 3a and 3b, the cantilever portions 4a and 4c are subjected to compressive stress on the outer surface, and are bent concavely toward the piezoelectric element side. Since one end of the cantilever beams 4a and 4c is coupled to the connecting portion 4b, the end portion away from the connecting portion moves outward.

図2Aに戻って、スライダ12の重心に関して(1/2)回転対称な2位置で、接着層13a、13bがスライダ12を圧電アクチュエータ16の片持ち梁4a、4cの連結部から離れた端部に結合する。スライダの重心位置とセラミック体の重心位置は面内で一致する。圧電アクチュエータ16の連結部4b上の接着層7が圧電アクチュエータ16をサスペンション15のスライダ保持部15aに接着する。なお、セラミック体4はサスペンション15に固定されるので、重心Gは(1/2)回転対称の対称軸としての意義が重く、重心としての意義は薄い。   Returning to FIG. 2A, at two positions (1/2) rotationally symmetric with respect to the center of gravity of the slider 12, the adhesive layers 13 a and 13 b end the slider 12 away from the connecting portion of the cantilever 4 a and 4 c of the piezoelectric actuator 16. To join. The center of gravity position of the slider and the center of gravity of the ceramic body coincide in the plane. The adhesive layer 7 on the connecting portion 4 b of the piezoelectric actuator 16 adheres the piezoelectric actuator 16 to the slider holding portion 15 a of the suspension 15. Since the ceramic body 4 is fixed to the suspension 15, the center of gravity G is significant as a (1/2) rotationally symmetric axis of symmetry, and is not significant as a center of gravity.

一体に形成した1つの圧電アクチュエータで、スライダをサスペンションに結合するので、複数の部材を用いる場合に較べ、位置合わせ誤差を抑制することができる。スライダは重心を圧電アクチュエータの(1/2)回転対称の対称軸と位置合わせして支持される。   Since the slider is coupled to the suspension by one piezoelectric actuator formed integrally, alignment errors can be suppressed as compared with the case where a plurality of members are used. The slider is supported with its center of gravity aligned with the (1/2) rotationally symmetric axis of symmetry of the piezoelectric actuator.

図3Aは、圧電アクチュエータ16にスライダ12を接着した状態を示す平面図である。スライダ12は、紙面で示される仮想面上に配置され、重心がGの位置にあるとする。重心Gを通り、仮想面に垂直な仮想軸を想定する。片持ち梁4a、4cは、仮想軸を挟んで、仮想軸から等距離の位置で平行にかつ長さ方向の位置を併せて配置される。片持ち梁4a、4cは、重心Gに関して(1/2)回転対称な、連結部4bの対角部に支持される。圧電素子3a、3bは、重心Gに関して(1/2)回転対称な位置で、片持ち梁4a、4cの外側側面上に接着される。セラミック体4を長方形のセラミック板部材から形成した場合、セラミック体の重心も、スライダの重心と面内で位置を一致させる。片持ち梁4a、4cの自由端とスライダ12間の接着剤層13は、重心Gに関して(1/2)回転対称な位置にある。   FIG. 3A is a plan view showing a state in which the slider 12 is bonded to the piezoelectric actuator 16. It is assumed that the slider 12 is arranged on a virtual plane indicated by a paper surface and the center of gravity is at the position G. A virtual axis passing through the center of gravity G and perpendicular to the virtual plane is assumed. The cantilevers 4a and 4c are arranged in parallel at a position equidistant from the virtual axis and in the length direction with the virtual axis in between. The cantilevers 4a and 4c are supported by diagonal portions of the connecting portion 4b that are (1/2) rotationally symmetric with respect to the center of gravity G. The piezoelectric elements 3a and 3b are bonded on the outer side surfaces of the cantilevers 4a and 4c at a position (1/2) rotationally symmetric with respect to the center of gravity G. When the ceramic body 4 is formed from a rectangular ceramic plate member, the center of gravity of the ceramic body is also aligned with the center of gravity of the slider in the plane. The adhesive layer 13 between the free ends of the cantilevers 4a and 4c and the slider 12 is in a position that is (1/2) rotationally symmetric with respect to the center of gravity G.

圧電素子3a、3bに電圧を印加して圧電素子を長さ方向で収縮させると、片持ち梁4a、4cの自由端が外側に反って移動し、スライダ12を図中時計回り方向に回転させる。スライダ12は重心を中心として回転するので、イナーシャは小さく、共振周波数は高くなる。スライダの高速駆動が可能となる。   When a voltage is applied to the piezoelectric elements 3a and 3b to cause the piezoelectric elements to contract in the length direction, the free ends of the cantilevers 4a and 4c move outward and rotate the slider 12 in the clockwise direction in the figure. . Since the slider 12 rotates about the center of gravity, the inertia is small and the resonance frequency is high. The slider can be driven at high speed.

圧電アクチュエータの構成例を説明する。セラミック体4を、剛性の高いジルコニアで作成する。圧電素子3の圧電材料としてPNN−PT−PZ[Pb(NiNb)O−PbTiO−PbZrO]セラミックスを使用し、電極材料としてはPtを使用する。PNN−PT−PZグリーンシート上にPt電極を印刷し、所望枚数積層する。大気中1050℃で焼成する。その後、素子幅で切断する。得られた圧電素子をセラミック体に接着する。接着剤としては、UV硬化型接着剤、熱硬化型接着剤等を用いることができる。ジルコニアセラミックスは機械的強度が高い。PNN−PT−PZは、圧電効果が大きい。両者を組み合わせることにより、機械的強度が高く、圧電効果による変位が十分な圧電アクチュエータを作成することができる。 A configuration example of the piezoelectric actuator will be described. The ceramic body 4 is made of zirconia having high rigidity. Use the PNN-PT-PZ [Pb ( NiNb) O 3 -PbTiO 3 -PbZrO 3] ceramic as the piezoelectric material of the piezoelectric element 3, as the electrode material to use Pt. A Pt electrode is printed on a PNN-PT-PZ green sheet, and a desired number of layers are stacked. Bake at 1050 ° C. in air. Then, it cuts with element width. The obtained piezoelectric element is bonded to the ceramic body. As the adhesive, a UV curable adhesive, a thermosetting adhesive, or the like can be used. Zirconia ceramics have high mechanical strength. PNN-PT-PZ has a large piezoelectric effect. By combining both, a piezoelectric actuator having high mechanical strength and sufficient displacement due to the piezoelectric effect can be created.

図3Bは、計算結果を示す概略図である。圧電素子に45Vの駆動電圧を印加した時、615nmの変位が得られることが計算で得られた。   FIG. 3B is a schematic diagram illustrating a calculation result. It was calculated that a displacement of 615 nm was obtained when a driving voltage of 45 V was applied to the piezoelectric element.

図4は、変形例を示す平面図である。セラミック体4は、連結部ないし中央部4bの対角位置に片持ち梁構造4a、4cが支持される点は、図2Bと同様である。片持ち梁4a、4cと連結部4bとの間隔、即ちスリットS1,S2の幅が拡げられている。片持ち梁4a、4cの外側面に圧電素子3a、3bを接着すると共に、内側面に圧電素子3c、3dを接着する。圧電素子3a、3bに電圧を印加すれば、片持ち梁4a、4cは外側に反り、圧電素子3c、3dに電圧を印加すれば、片持ち梁4a、4cは内側に反る。   FIG. 4 is a plan view showing a modification. The ceramic body 4 is the same as FIG. 2B in that the cantilever structures 4a and 4c are supported at diagonal positions of the connecting portion or the central portion 4b. The distance between the cantilevers 4a and 4c and the connecting portion 4b, that is, the width of the slits S1 and S2 is increased. The piezoelectric elements 3a and 3b are bonded to the outer surfaces of the cantilevers 4a and 4c, and the piezoelectric elements 3c and 3d are bonded to the inner surfaces. If a voltage is applied to the piezoelectric elements 3a and 3b, the cantilevers 4a and 4c are warped outward, and if a voltage is applied to the piezoelectric elements 3c and 3d, the cantilevers 4a and 4c are warped inward.

なお、一対の片持ち梁部と連結部の間に間隔を設ける場合、一対の片持ち梁の自由端の中心が重心の位置でなくてもよい。一対の片持ち梁が逆平行でかつ長さ方向の位置も揃え、(1/2)回転対称な形状を有すれば、重心は(1/2)回転対称軸からずれてもよい。連結部は支持部に固定されるので、重心の位置に特に意味はないからである。   In addition, when providing a space | interval between a pair of cantilever part and a connection part, the center of the free end of a pair of cantilever may not be the position of a gravity center. If the pair of cantilevers are antiparallel and aligned in the length direction and have a (1/2) rotationally symmetric shape, the center of gravity may be offset from the (1/2) rotationally symmetric axis. This is because the connecting portion is fixed to the support portion, and therefore the position of the center of gravity has no particular meaning.

以上、実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、別途作成した圧電素子をセラミック体に接着する代わりに、セラミック体上に圧電セラミックペースト、電極ペーストを印刷法により形成することも可能である。セラミック体を、ジルコニア以外、例えばアルミナ、ジルコニア−アルミナ等で作成してもよい。圧電素子の圧電材料として、PNN−PT−PZ以外、例えばPZT,PLZT等で作成してもよい。圧電材料の焼成を大気中以外、例えば真空中で行ってもよい。圧電素子の電極を、Pt以外、例えば銀(Ag)−パラジウム(Pd)等で作成してもよい。その他、種々の変更、改良、組合わせが可能なことは当業者に自明であろう。   As mentioned above, although this invention was demonstrated along the Example, this invention is not restrict | limited to these. For example, instead of bonding a separately produced piezoelectric element to a ceramic body, a piezoelectric ceramic paste and an electrode paste can be formed on the ceramic body by a printing method. The ceramic body may be made of alumina, zirconia-alumina, or the like other than zirconia. As a piezoelectric material of the piezoelectric element, other than PNN-PT-PZ, for example, PZT, PLZT, or the like may be used. The piezoelectric material may be baked other than in the air, for example, in a vacuum. The electrode of the piezoelectric element may be made of, for example, silver (Ag) -palladium (Pd) other than Pt. It will be apparent to those skilled in the art that other various modifications, improvements, and combinations can be made.

以下、本発明の特徴を付記する。   The features of the present invention will be described below.

(付記1)
仮想軸と該仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で逆平行に、長さ方向の位置を揃えて配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1および第2の延在部と、前記第1の延在部と第2の延在部の(1/2)回転対称な端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と第2の延在部との側面に結合された第1および第2の圧電素子と、
を有する圧電アクチュエータ。
(Appendix 1)
In a state where a virtual axis and a virtual plane orthogonal to the virtual axis are assumed, the positions in the length direction are aligned in antiparallel with the virtual axis on the virtual plane at a position equidistant from the virtual axis. First and second extending portions that are arranged (1/2) rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and (1/2) rotationally symmetric between the first extending portion and the second extending portion. A ceramic body including an end portion connected on the virtual plane;
First and second piezoelectric elements coupled to side surfaces of the first and second extensions at a position that is (1/2) rotationally symmetric with respect to the virtual axis;
A piezoelectric actuator.

(付記2)
前記セラミック体が板状であり、前記第1および第2の延在部が片持ち梁形状を有し、前記第1および第2の圧電素子が前記片持ち梁の両側面の少なくとも一方に接着された付記1記載の圧電アクチュエータ。
(Appendix 2)
The ceramic body has a plate shape, the first and second extending portions have a cantilever shape, and the first and second piezoelectric elements are bonded to at least one of both side surfaces of the cantilever beam. 2. The piezoelectric actuator according to appendix 1.

(付記3)
前記セラミック体は、前記仮想面上で全体として一対の短辺と一対の長辺とで画定される長方形の外形を有し、前記一対の短辺の、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置から前記長辺に沿って平行に形成されたスリットを有する付記1または2記載の圧電アクチュエータ。
(Appendix 3)
The ceramic body has a rectangular outer shape defined by a pair of short sides and a pair of long sides as a whole on the virtual plane, and is rotated (1/2) with respect to the virtual axis of the pair of short sides. The piezoelectric actuator according to appendix 1 or 2, further comprising slits formed in parallel along the long side from a symmetrical position.

(付記4)
前記セラミック体の重心の面内位置は前記仮想軸の位置と一致する付記1〜3のいずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
(Appendix 4)
4. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein an in-plane position of a center of gravity of the ceramic body coincides with a position of the virtual axis.

(付記5)
前記セラミック体がジルコニアを含むセラミックで形成され、前記圧電素子がPNN−PT−PZを圧電材料として含む付記1〜4のいずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
(Appendix 5)
The piezoelectric actuator according to any one of supplementary notes 1 to 4, wherein the ceramic body is formed of a ceramic containing zirconia, and the piezoelectric element includes PNN-PT-PZ as a piezoelectric material.

(付記6)
付記1〜5のいずれか1項記載の圧電アクチュエータと、
前記セラミック体の連結部に結合された支持部と、
前記セラミック体の第1の延在部と第2の延在部の前記連結部から離れた端部に結合された回転対象物と、
を有する微小移動機構。
(Appendix 6)
The piezoelectric actuator according to any one of appendices 1 to 5,
A support portion coupled to the connecting portion of the ceramic body;
A rotating object coupled to an end of the ceramic body that is away from the connecting portion of the first extending portion and the second extending portion;
A micro-movement mechanism.

(付記7)
前記仮想面と平行に配置されたディスク面を有する磁気ディスクと、
前記磁気ディスク上方に配置されたサスペンションを有し、回転軸の周囲で回転駆動可能なキャリッジアームと、
付記1〜5のいずれか1項記載の圧電アクチュエータであって、前記サスペンションに前記セラミック体の連結部が結合された圧電アクチュエータと、
前記セラミック体の第1の延在部と第2の延在部の前記連結部から離れた端部に結合された磁気ヘッドスライダと、
を有する磁気ディスク装置。
(Appendix 7)
A magnetic disk having a disk surface arranged parallel to the virtual surface;
A carriage arm having a suspension disposed above the magnetic disk and capable of being driven to rotate around a rotation axis;
The piezoelectric actuator according to any one of appendices 1 to 5, wherein a piezoelectric actuator in which a connecting portion of the ceramic body is coupled to the suspension;
A magnetic head slider coupled to ends of the first and second extending portions of the ceramic body away from the connecting portion;
A magnetic disk drive having

(付記8)
前記セラミック体と磁気ヘッドスライダを結合する結合面は、前記スライダの重心に関して(1/2)回転対称な位置にある付記7記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 8)
The magnetic disk drive according to appendix 7, wherein a coupling surface for coupling the ceramic body and the magnetic head slider is located at a position (1/2) rotationally symmetric with respect to the center of gravity of the slider.

磁気ディスク装置の構成を示す平面図である。1 is a plan view showing a configuration of a magnetic disk device. 図2A,2Bは、磁気ヘッドアセンブリの分解斜視図、および圧電アクチュエータの平面図である。2A and 2B are an exploded perspective view of the magnetic head assembly and a plan view of the piezoelectric actuator. 図3A,3Bは、圧電アクチュエータとスライダとを結合した状態を示す平面図、および圧電アクチュエータの動作の計算結果を示す平面図である。3A and 3B are a plan view showing a state in which the piezoelectric actuator and the slider are coupled, and a plan view showing a calculation result of the operation of the piezoelectric actuator. 変形例を示す平面図である。It is a top view which shows a modification.

符号の説明Explanation of symbols

3 圧電素子
4 セラミック体
4a、4c 片持ち梁部
7 接着層
11 磁気ヘッド
12 スライダ
13a、13b 接着層
G 重心
S1,S2 スリット
15 サスペンション
16 圧電アクチュエータ
31 エンクロージャ
32 ディスク
33 キャリッジアーム
35 磁気ヘッドアセンブリ
36 メインアクチュエータ
3 Piezoelectric elements
4 Ceramic body 4a, 4c Cantilever part
7 Adhesive layer 11 Magnetic head 12 Slider 13a, 13b Adhesive layer
G Center of gravity S1, S2 Slit 15 Suspension 16 Piezoelectric actuator 31 Enclosure 32 Disk 33 Carriage arm 35 Magnetic head assembly 36 Main actuator

Claims (5)

仮想軸と前記仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと
前記連結部に結合されたサスペンションと、
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、
を有することを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ
In a state in which a virtual plane assumed to be orthogonal to the virtual axis said virtual axis, at equal distances from the imaginary axis across the imaginary axis on the imaginary plane, in parallel with aligning the position of the longitudinal (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
In (1/2) rotational symmetrical positions with respect to the imaginary axis, and a first piezoelectric element and the second piezoelectric element coupled to the side surface of said first extending portion and the second extending portion A piezoelectric actuator having
A suspension coupled to the connecting portion;
A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
A magnetic head assembly comprising:
前記セラミック体は、前記仮想面上で全体として一対の短辺と一対の長辺とで画定される長方形の外形を有し、前記一対の短辺の、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置から前記長辺に沿って並行して形成されたスリットを有する請求項1記載の磁気ヘッドアセンブリThe ceramic body has a rectangular outer shape defined by a pair of short sides and a pair of long sides as a whole on the virtual plane, and is rotated (1/2) with respect to the virtual axis of the pair of short sides. 2. The magnetic head assembly according to claim 1, further comprising a slit formed in parallel along the long side from a symmetrical position. 前記第1の延在部、前記第2の延在部、及び前記連結部は、一体に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ヘッドアセンブリ。The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the first extending portion, the second extending portion, and the connecting portion are integrally formed. ィスク面を有する磁気ディスクと、
前記磁気ディスク上方に配置されたサスペンションを有し、回転軸の周囲で回転駆動可能なキャリッジアームと、
前記キャリッジアームの先端に備えられた磁気ヘッドアセンブリと、
を有し、前記磁気ヘッドアセンブリは、
仮想軸と該仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと、
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、
を含むことを特徴とする磁気ディスク装置。
A magnetic disk having a disk plane,
A carriage arm having a suspension disposed above the magnetic disk and capable of being driven to rotate around a rotation axis;
A magnetic head assembly provided at a tip of the carriage arm;
The magnetic head assembly comprises:
In a state where a virtual axis and a virtual plane orthogonal to the virtual axis are assumed, the position in the length direction is aligned in parallel at a position equidistant from the virtual axis across the virtual axis on the virtual plane. (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
A first piezoelectric element and a second piezoelectric element coupled to the side surfaces of the first extension part and the second extension part at (1/2) rotationally symmetric positions with respect to the virtual axis. A piezoelectric actuator having
A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
A magnetic disk drive comprising:
仮想軸と該仮想軸に直交する仮想面とを想定した状態で、前記仮想面上で前記仮想軸を挟んで前記仮想軸から等距離の位置で、長さ方向の位置を揃えて並行して配置された、前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な第1の延在部および第2の延在部と、前記第1の延在部および第2の延在部の、(1/2)回転対称な長さ方向の各1端部を前記仮想面上で接続する連結部とを含むセラミック体と、In a state where a virtual axis and a virtual plane orthogonal to the virtual axis are assumed, the position in the length direction is aligned in parallel at a position equidistant from the virtual axis across the virtual axis on the virtual plane. (1 /) of the first extension part and the second extension part that are rotationally symmetric with respect to the virtual axis, and the first extension part and the second extension part (1 / 2) A ceramic body including a connecting portion that connects each one end portion in the rotationally symmetric length direction on the virtual plane;
前記仮想軸に関して(1/2)回転対称な位置で、前記第1の延在部と前記第2の延在部との側面に結合された第1の圧電素子と第2の圧電素子とを有する圧電アクチュエータと、  A first piezoelectric element and a second piezoelectric element coupled to the side surfaces of the first extension part and the second extension part at (1/2) rotationally symmetric positions with respect to the virtual axis. A piezoelectric actuator having
前記連結部に結合されたサスペンションと、  A suspension coupled to the connecting portion;
前記第1の延在部及び前記第2の延在部の、長さ方向の各他端部に、(1/2)回転対称な2位置で結合された磁気ヘッドスライダと、A magnetic head slider coupled to each of the other ends in the length direction of the first extension part and the second extension part at two (1/2) rotationally symmetric positions;
を有する磁気ヘッドアセンブリの駆動方法であって、A method of driving a magnetic head assembly comprising:
前記第1の圧電素子及び前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の延在部および前記第2の延在部を、それぞれ前記第1の圧電素子側および前記第2の圧電素子側に弧状に湾曲させ、前記湾曲により前記磁気ヘッドスライダを回転させることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリの駆動方法。A voltage is applied to the first piezoelectric element and the second piezoelectric element so that the first extending portion and the second extending portion are respectively connected to the first piezoelectric element side and the second piezoelectric element. A method of driving a magnetic head assembly, wherein the magnetic head slider is bent in an arc shape on the piezoelectric element side, and the magnetic head slider is rotated by the bending.
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