JP4368849B2 - Carbonitriding method, machine part manufacturing method and machine part - Google Patents

Carbonitriding method, machine part manufacturing method and machine part Download PDF

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本発明は浸炭窒化方法、機械部品の製造方法および機械部品に関し、より特定的には、安定した浸炭窒化処理が可能な浸炭窒化方法、安定した品質を有する機械部品を製造することが可能な機械部品の製造方法、および安定した品質を有する機械部品に関するものである。   The present invention relates to a carbonitriding method, a method for manufacturing a machine part, and a machine part, and more specifically, a carbonitriding method capable of stable carbonitriding, and a machine capable of manufacturing a machine part having stable quality. The present invention relates to a part manufacturing method and a machine part having stable quality.

一般に、浸炭窒化処理、特に鋼からなる被処理物に対して実施されるガス浸炭窒化処理においては、RXガスおよびアンモニア(NH)ガスを一定の流量(単位時間あたりの供給量)で熱処理炉内に流入させるとともに、熱処理炉内のカーボンポテンシャル(C)値を熱処理炉内の二酸化炭素(CO)の分圧に基づいて制御することにより、当該熱処理炉内の雰囲気が制御されている。ここで、被処理物の表層部に侵入する窒素量は、浸炭窒化処理中に直接測定することは困難である。そのため、各熱処理炉に関して、アンモニアガスの流量と被処理物の表層部に侵入する窒素量との関係を過去の生産実績等から経験的に決定し、浸炭窒化処理中に直接測定することが可能なアンモニアガスの流量を調節することにより被処理物の表層部に侵入する窒素量が制御される場合が多い。 In general, in carbon carbonitriding treatment, particularly gas carbonitriding treatment performed on an object made of steel, a heat treatment furnace is supplied with RX gas and ammonia (NH 3 ) gas at a constant flow rate (amount supplied per unit time). And the atmosphere in the heat treatment furnace is controlled by controlling the carbon potential (C P ) value in the heat treatment furnace based on the partial pressure of carbon dioxide (CO 2 ) in the heat treatment furnace. . Here, it is difficult to directly measure the amount of nitrogen entering the surface layer portion of the workpiece during carbonitriding. Therefore, for each heat treatment furnace, the relationship between the flow rate of ammonia gas and the amount of nitrogen entering the surface layer of the workpiece can be determined empirically based on past production results and directly measured during carbonitriding In many cases, the amount of nitrogen entering the surface layer of the workpiece is controlled by adjusting the flow rate of the ammonia gas.

そして、このアンモニアガスの流量は、各熱処理炉の過去の生産実績等に基づき、被処理物の量や形状などを考慮して経験的に決定されているが、過去の生産実績が無いような量や形状の被処理物を浸炭窒化処理する必要が生じた場合、当該浸炭窒化処理における最適なアンモニアガスの流量を決定するための試行錯誤が必要となる。その結果、最適なアンモニアガスの流量が決定されるまでは被処理物の品質を安定させることが困難なだけでなく、上記試行錯誤を量産ラインにおいて実施する必要があるため、要求品質を満たさない被処理物が発生し、生産コスト上昇の要因となるおそれもある。   And the flow rate of this ammonia gas is determined empirically based on the past production results of each heat treatment furnace, taking into account the amount and shape of the object to be processed, but there is no past production record When it becomes necessary to perform carbonitriding on an object to be processed in an amount or shape, trial and error for determining the optimum flow rate of ammonia gas in the carbonitriding process is required. As a result, not only is it difficult to stabilize the quality of the object to be processed until the optimum ammonia gas flow rate is determined, but it is necessary to carry out the above trial and error in the mass production line, so the required quality is not met. An object to be processed may be generated, which may cause an increase in production cost.

これに対し、熱処理炉の形状、被処理物の量や形状ごとに変化するアンモニアガスの流量ではなく、熱処理炉内に残留している気体アンモニアの濃度である未分解アンモニア濃度(アンモニアの残留ガス濃度)を調節することにより、被処理物に侵入する窒素量を制御する方法が提案されている(たとえば、非特許文献1および特許文献1参照)。すなわち、浸炭窒化処理中に測定が可能な未分解アンモニア濃度を測定し、熱処理炉の形状や被処理物の量および形状等に関係なく決定可能な未分解アンモニア濃度と被処理物に侵入する窒素量との関係に基づき、アンモニアガスの流量を調節する。これにより、最適なアンモニアガスの流量を試行錯誤により決定することなく、被処理物に侵入する窒素量を制御することが可能となり、被処理物の品質を安定させることができる。
恒川好樹、外2名、「ガス浸炭窒化処理におけるボイドの発生と窒素の拡散挙動」、熱処理、1985年、25巻、5号、p.242−247 特開平8−13125号公報
On the other hand, the undecomposed ammonia concentration (residual ammonia gas), which is the concentration of gaseous ammonia remaining in the heat treatment furnace, not the flow rate of ammonia gas that changes with the shape of the heat treatment furnace, the amount or shape of the object to be treated There has been proposed a method for controlling the amount of nitrogen that enters a workpiece by adjusting (concentration) (see, for example, Non-Patent Document 1 and Patent Document 1). That is, the undecomposed ammonia concentration that can be measured during carbonitriding is measured, and the undecomposed ammonia concentration that can be determined regardless of the shape of the heat treatment furnace, the amount and shape of the object to be treated, and the nitrogen that enters the object to be treated The flow rate of ammonia gas is adjusted based on the relationship with the amount. This makes it possible to control the amount of nitrogen entering the object to be processed without determining the optimum ammonia gas flow rate by trial and error, and to stabilize the quality of the object to be processed.
Tsunekawa Yoshiki and two others, “Void Generation and Nitrogen Diffusion Behavior in Gas Carbonitriding”, Heat Treatment, 1985, 25, 5, p.242-247 JP-A-8-13125

しかし、上述の未分解アンモニア濃度をパラメータとする浸炭窒化処理方法のように、浸炭窒化処理中に熱処理炉内に供給されるアンモニアの供給量が変化する場合、被処理物の表層部において過剰に炭素が侵入した過浸炭組織、炭素含有量が低下した脱炭組織、析出物(炭化物、炭窒化物など)の消失などの不良組織が発生する場合があり、被処理物の品質の安定を妨げるという問題点があった。   However, when the supply amount of ammonia supplied into the heat treatment furnace during the carbonitriding process changes as in the carbonitriding method using the undecomposed ammonia concentration as a parameter, the surface layer of the object to be processed is excessive. Defective structures such as over-carburized structures with carbon intrusion, decarburized structures with reduced carbon content, and disappearance of precipitates (carbides, carbonitrides, etc.) may occur, preventing stability of the quality of the workpiece. There was a problem.

そこで、本発明の目的は、浸炭窒化処理中にアンモニアの供給量を調節することにより被処理物に侵入する窒素量を制御するとともに、過浸炭組織、脱炭組織、析出物の消失などの不良組織の発生を抑制することにより安定した浸炭窒化処理が可能な浸炭窒化方法を提供することである。また、本発明の他の目的は、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、安定した品質を有する機械部品の製造が可能な機械部品の製造方法を提供することである。また、本発明のさらに他の目的は、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、品質の安定した機械部品を提供することである。   Therefore, the object of the present invention is to control the amount of nitrogen entering the workpiece by adjusting the supply amount of ammonia during the carbonitriding process, and to detect defects such as the loss of overcarburized structure, decarburized structure and precipitates. An object of the present invention is to provide a carbonitriding method capable of performing a stable carbonitriding process by suppressing generation of a structure. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a machine part capable of manufacturing a machine part having stable quality by performing a stable carbonitriding process. Still another object of the present invention is to provide a mechanical component having a stable quality by performing a stable carbonitriding process.

本発明に従った浸炭窒化方法は、熱処理炉内の雰囲気が制御される雰囲気制御工程と、熱処理炉内において被処理物に付与される温度履歴が制御される加熱パターン制御工程とを備えている。雰囲気制御工程は、熱処理炉内に供給されるアンモニアの供給量を調節することにより熱処理炉内の未分解アンモニア濃度を制御する未分解アンモニア濃度制御工程と、熱処理炉内の一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧を制御する分圧制御工程とを含んでいる。そして、分圧制御工程では、未分解アンモニア濃度制御工程においてアンモニアの供給量が変更された場合であって、一酸化炭素の分圧と二酸化炭素の分圧との比である分圧比が変化した場合に、アンモニアの供給量の変更前の分圧比からアンモニアの供給量が変更された後の分圧比への変化を打ち消すように、一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧が変更される。さらに、未分解アンモニア濃度制御工程では、当該未分解アンモニア濃度制御工程において直前に実施された先のアンモニア供給量の変更以降に熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が熱処理炉の容積以上となった否かが判断され、上記体積が熱処理炉の容積以上となったと判断された場合に、アンモニアの供給量の変更が実施される。 The carbonitriding method according to the present invention includes an atmosphere control step in which the atmosphere in the heat treatment furnace is controlled, and a heating pattern control step in which the temperature history applied to the workpiece in the heat treatment furnace is controlled. . The atmosphere control process includes an undecomposed ammonia concentration control process for controlling the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace by adjusting the supply amount of ammonia supplied into the heat treatment furnace, and carbon monoxide and carbon dioxide in the heat treatment furnace. And a partial pressure control step for controlling at least one of the partial pressures. In the partial pressure control step, the ammonia supply amount is changed in the undecomposed ammonia concentration control step, and the partial pressure ratio, which is the ratio between the partial pressure of carbon monoxide and the partial pressure of carbon dioxide, is changed. In such a case, the partial pressure of at least one of carbon monoxide and carbon dioxide is changed so as to cancel the change from the partial pressure ratio before the change of the ammonia supply amount to the partial pressure ratio after the change of the ammonia supply amount. Is done. Further, in the undecomposed ammonia concentration control step, the carburizing gas supplied to the heat treatment furnace at 20 ° C. and 1.05 atm after the change of the previous ammonia supply amount performed immediately before in the undecomposed ammonia concentration control step . It is determined whether or not the volume is equal to or greater than the volume of the heat treatment furnace, and when it is determined that the volume is equal to or greater than the volume of the heat treatment furnace, the supply amount of ammonia is changed.

本発明者は、熱処理炉内の雰囲気の制御状態と、被処理物の表層部における不良組織の発生との関係について詳細に検討を行なった。その結果、熱処理炉内に供給されるアンモニアの供給量(流量)が変更された場合、これに伴って浸炭挙動に影響を与える一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比が変化するため、これを十分に考慮した雰囲気の制御が実施されない場合、被処理物の表層部への炭素の侵入挙動が狙いどおりに制御されず、不良組織が発生する、との知見を得た。そして、浸炭窒化処理において、アンモニアの供給量が変更された場合には、一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比の変化を直ちに打ち消すように、一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧を変更することにより、不良組織の発生を抑制することができることを見出し、本発明に想到した。   The present inventor has studied in detail the relationship between the controlled state of the atmosphere in the heat treatment furnace and the occurrence of defective structures in the surface layer portion of the workpiece. As a result, when the supply amount (flow rate) of ammonia supplied into the heat treatment furnace is changed, the partial pressure ratio between carbon monoxide and carbon dioxide, which affects the carburizing behavior, changes accordingly. It was found that if the atmosphere control was not fully taken into account, the intrusion behavior of carbon into the surface layer of the workpiece was not controlled as intended and a defective structure was generated. In the carbonitriding process, if the supply amount of ammonia is changed, the change in the partial pressure ratio between carbon monoxide and carbon dioxide is immediately canceled, so that at least one of carbon monoxide and carbon dioxide is removed. The inventors have found that the generation of defective tissues can be suppressed by changing the pressure, and have arrived at the present invention.

すなわち、本発明の浸炭窒化方法によれば、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度をパラメータとしてアンモニア供給量が調節されて、被処理物に侵入する窒素量が調整される。そして、当該アンモニアの供給量の調節により、アンモニア供給量が変化した場合、これに伴って変化する一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比を早期に変化前の状態に戻すことができる。その結果、当該分圧比がパラメータとなっており、被処理物の浸炭挙動に直接影響する(式(1)および式(2)参照)熱処理炉内のカーボンポテンシャル(C)値や被処理物中の炭素の活量(a)等を精度良く制御することが可能となり、不良組織の発生を抑制して、被処理物の品質を安定させることができる。
また、本発明者は、一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比の制御の精度に及ぼすアンモニア供給量の変化の影響を抑制する方策について鋭意検討を行なった。その結果、未分解アンモニア濃度の制御に通常必要な程度のアンモニア供給量の変化があった場合、これに伴って変化した一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比をアンモニア供給量の変化前の状態に復帰させるためには、20℃、1.05気圧において熱処理炉の容積以上の浸炭ガスの供給が必要であることを見出した。
したがって、上述の条件を満たしたことが確認されたうえでアンモニア供給量の変更が行われることにより、上記分圧比が先のアンモニア供給量の変更前の状態に復帰した後、新たなアンモニア供給量の変更が行なわれることとなる。その結果、上記本発明の浸炭窒化方法において、C 、a などの制御が一層容易となり、不良組織の発生が一層抑制される。
That is, according to the carbonitriding method of the present invention, the ammonia supply amount is adjusted using the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace as a parameter, and the nitrogen amount entering the workpiece is adjusted. When the ammonia supply amount is changed by adjusting the ammonia supply amount, the partial pressure ratio between carbon monoxide and carbon dioxide, which changes with the ammonia supply amount, can be quickly returned to the state before the change. As a result, the partial pressure ratio is a parameter, which directly affects the carburizing behavior of the workpiece (see Equation (1) and Equation (2)) and the carbon potential (C P ) value in the heat treatment furnace and the workpiece It becomes possible to control the carbon activity (a C ) and the like in the medium with high accuracy, and to suppress the occurrence of defective structures and stabilize the quality of the workpiece.
In addition, the present inventor has intensively studied a measure for suppressing the influence of the change in the ammonia supply amount on the accuracy of controlling the partial pressure ratio between carbon monoxide and carbon dioxide. As a result, if there is a change in the amount of ammonia supply that is normally required to control the undecomposed ammonia concentration, the partial pressure ratio of carbon monoxide and carbon dioxide that has changed is the state before the change in the ammonia supply amount. In order to return to the above condition, it has been found that it is necessary to supply a carburizing gas that exceeds the volume of the heat treatment furnace at 20 ° C. and 1.05 atm.
Therefore, after confirming that the above-mentioned conditions are satisfied, the ammonia supply amount is changed, so that after the partial pressure ratio is restored to the state before the previous ammonia supply amount change, a new ammonia supply amount is obtained. Changes will be made. As a result, in the carbonitriding method of the present invention, control of C P , a C, etc. is further facilitated, and generation of defective structures is further suppressed.

ここで、Cおよびaは、以下の式(1)および式(2)で定義される。 Here, C P and a C are defined by the following formulas (1) and (2).

Figure 0004368849
Figure 0004368849

式(1)および式(2)において、Aは温度に依存する物性値、aは鋼中の炭素の活量、PCOは一酸化炭素(CO)の分圧、PCO2は二酸化炭素(CO)の分圧、Kは
<C>+CO⇔2CO
における平衡定数である。
In formulas (1) and (2), A S is the physical property values that depend on the temperature, a c is the activity of the carbon in the steel, the partial pressure of P CO is carbon monoxide (CO), P CO2 is carbon dioxide (CO 2 ) partial pressure, K is <C> + CO 2 ⇔2CO
Is the equilibrium constant.

また、未分解アンモニア濃度とは、熱処理炉内に供給されたアンモニアのうち、分解されることなく気体アンモニアの状態で残存しているアンモニアの熱処理炉内の雰囲気における濃度をいう。   The undecomposed ammonia concentration refers to the concentration in the atmosphere in the heat treatment furnace of the ammonia supplied in the heat treatment furnace and remaining in the gaseous ammonia state without being decomposed.

上記浸炭窒化方法において好ましくは、未分解アンモニア濃度制御工程では、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度が測定され、未分解アンモニア濃度と被処理物の表層部における窒素濃度との関係に基づいて、熱処理炉内に供給されるアンモニアの流量を調節することにより、被処理物の表層部における窒素濃度が制御される。   Preferably, in the carbonitriding method, in the undecomposed ammonia concentration control step, the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace is measured, and the heat treatment is performed based on the relationship between the undecomposed ammonia concentration and the nitrogen concentration in the surface layer portion of the workpiece. By adjusting the flow rate of ammonia supplied into the furnace, the nitrogen concentration in the surface layer portion of the workpiece is controlled.

これにより、熱処理炉内における雰囲気中の未分解アンモニア濃度を精度良くコントロールし、被処理物に侵入する窒素量を精度良く制御することができる。   Thereby, the undecomposed ammonia concentration in the atmosphere in the heat treatment furnace can be accurately controlled, and the amount of nitrogen entering the object to be processed can be accurately controlled.

ここで、本発明の浸炭窒化方法において使用される浸炭ガスとしては、たとえばRXガスとエンリッチガスとの混合ガスを使用することができる。また、上述の一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比の制御は、エンリッチガスとしてのプロパン(C)ガス、ブタンガス(C10)などの供給量(流量)を調節することにより実施することができる。 Here, as the carburizing gas used in the carbonitriding method of the present invention, for example, a mixed gas of RX gas and enriched gas can be used. In addition, the control of the partial pressure ratio of carbon monoxide and carbon dioxide is controlled by adjusting the supply amount (flow rate) of propane (C 3 H 8 ) gas, butane gas (C 4 H 10 ) or the like as an enriched gas. Can be implemented.

本発明に従った機械部品の製造方法は、機械部品の概略形状に成形された鋼製部材を準備する鋼製部材準備工程と、鋼製部材準備工程において準備された鋼製部材に対して、浸炭窒化処理を実施した後、A点以上の温度からM点以下の温度へ冷却することにより、鋼製部材を焼入硬化する焼入硬化工程とを備えている。そして、焼入硬化工程における浸炭窒化処理は、上述の本発明の浸炭窒化方法を用いて実施される。 The method for manufacturing a machine part according to the present invention includes a steel member preparation step for preparing a steel member formed into a schematic shape of a machine part, and a steel member prepared in the steel member preparation step. after performing carbonitriding treatment by cooling from a temperature of more than a 1 point to the M S point below the temperature, and a quench-hardening step of quench-hardening the steel member. And the carbonitriding process in a quench hardening process is implemented using the above-mentioned carbonitriding method of this invention.

ここで、A点とは鋼を加熱した場合に、鋼の組織がフェライトからオーステナイトに変態を開始する温度に相当する点をいう。また、M点とはオーステナイト化した鋼が冷却される際に、マルテンサイト化を開始する温度に相当する点をいう。 Here, the point A 1 in the case of heating the steel refers to a point that the structure of the steel corresponds to the temperature to start the transformation from ferrite to austenite. Further, the M s point means a point corresponding to a temperature at which martensite formation starts when the austenitized steel is cooled.

本発明の機械部品の製造方法によれば、安定した浸炭窒化処理が可能な上述の本発明の浸炭窒化方法が焼入硬化工程において採用されることにより、安定した品質を有する機械部品の製造が可能である。   According to the method for manufacturing a mechanical component of the present invention, the above-described carbonitriding method of the present invention capable of stable carbonitriding is employed in the quench hardening process, thereby manufacturing a mechanical component having stable quality. Is possible.

上記本発明の機械部品は軸受を構成する部品として用いられてもよい。浸炭窒化が実施されることにより表面層が強化され、かつ品質の安定した本発明の機械部品は、疲労強度、耐摩耗性等が要求される機械部品である軸受を構成する部品として好適である。   The mechanical component of the present invention may be used as a component constituting a bearing. The mechanical component of the present invention, whose surface layer is strengthened by carbonitriding and whose quality is stable, is suitable as a component constituting a bearing that is a mechanical component that requires fatigue strength, wear resistance, and the like. .

なお、上述の機械部品を用いて、軌道輪と、軌道輪に接触し、円環状の軌道上に配置される転動体とを備えた転がり軸受を構成してもよい。すなわち、軌道輪および転動体の少なくともいずれか一方は、上述の機械部品である。浸炭窒化が実施されることにより表面層が強化され、かつ品質の安定した本発明の機械部品を備えていることにより、当該転がり軸受によれば、品質が安定しているとともに、長寿命な転がり軸受を提供することができる。   In addition, you may comprise the rolling bearing provided with the above-mentioned machine component and the rolling element which contacts a bearing ring and contacts a bearing ring, and is arrange | positioned on an annular | circular shaped raceway. That is, at least one of the raceway and the rolling element is the above-described machine part. By carrying out the carbonitriding, the surface layer is strengthened and the mechanical parts of the present invention with stable quality are provided, so that according to the rolling bearing, the quality is stable and the rolling life is long. A bearing can be provided.

以上の説明から明らかなように、本発明の浸炭窒化方法によれば、浸炭窒化処理中にアンモニアの供給量を調節することにより被処理物に侵入する窒素量を制御するとともに、過浸炭組織、脱炭組織、析出物の消失などの不良組織の発生を抑制することにより安定した浸炭窒化処理が可能な浸炭窒化方法を提供することができる。また、本発明の機械部品の製造方法によれば、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、安定した品質を有する機械部品の製造が可能な機械部品の製造方法を提供することができる。また、本発明の機械部品によれば、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、品質の安定した機械部品を提供することができる。   As is apparent from the above description, according to the carbonitriding method of the present invention, the amount of nitrogen entering the workpiece is controlled by adjusting the supply amount of ammonia during the carbonitriding process, It is possible to provide a carbonitriding method capable of stable carbonitriding by suppressing the occurrence of defective structures such as decarburized structure and disappearance of precipitates. Moreover, according to the manufacturing method of the mechanical component of this invention, the manufacturing method of the mechanical component which can manufacture the mechanical component with the stable quality can be provided by performing the stable carbonitriding process. Moreover, according to the machine component of the present invention, a stable carbonitriding process is performed, so that a machine component with stable quality can be provided.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

図1は、本発明の一実施の形態である機械部品を備えた転がり軸受としての深溝玉軸受の構成を示す概略断面図である。図1を参照して、本発明の一実施の形態における転がり軸受としての深溝玉軸受について説明する。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a deep groove ball bearing as a rolling bearing provided with a mechanical component according to an embodiment of the present invention. With reference to FIG. 1, the deep groove ball bearing as a rolling bearing in one embodiment of this invention is demonstrated.

図1を参照して、深溝玉軸受1は、環状の外輪11と、外輪11の内側に配置された環状の内輪12と、外輪11と内輪12との間に配置され、円環状の保持器14に保持された転動体としての複数の玉13とを備えている。外輪11の内周面には外輪転走面11Aが形成されており、内輪12の外周面には内輪転走面12Aが形成されている。そして、内輪転走面12Aと外輪転走面11Aとが互いに対向するように、外輪11と内輪12とは配置されている。さらに、複数の玉13は、内輪転走面12Aおよび外輪転走面11Aに接触し、かつ保持器14により周方向に所定のピッチで配置されることにより円環状の軌道上に転動自在に保持されている。以上の構成により、深溝玉軸受1の外輪11および内輪12は、互いに相対的に回転可能となっている。   Referring to FIG. 1, a deep groove ball bearing 1 is arranged between an annular outer ring 11, an annular inner ring 12 arranged inside the outer ring 11, and between the outer ring 11 and the inner ring 12. 14 and a plurality of balls 13 as rolling elements held by 14. An outer ring rolling surface 11 </ b> A is formed on the inner circumferential surface of the outer ring 11, and an inner ring rolling surface 12 </ b> A is formed on the outer circumferential surface of the inner ring 12. And the outer ring | wheel 11 and the inner ring | wheel 12 are arrange | positioned so that 12A of inner ring | wheel rolling surfaces and 11A of outer ring | wheels may mutually oppose. Further, the plurality of balls 13 are in contact with the inner ring rolling surface 12A and the outer ring rolling surface 11A, and are arranged at a predetermined pitch in the circumferential direction by the cage 14, so that they can roll on an annular track. Is retained. With the above configuration, the outer ring 11 and the inner ring 12 of the deep groove ball bearing 1 are rotatable relative to each other.

ここで、機械部品である外輪11、内輪12、玉13および保持器14のうち、特に、外輪11、内輪12および玉13には転動疲労強度や耐摩耗性が要求される。そのため、これらのうち少なくとも1つは本発明の機械部品であることにより、深溝玉軸受1の品質を安定させるとともに、長寿命化することができる。   Here, among the outer ring 11, the inner ring 12, the ball 13, and the cage 14 that are mechanical parts, the outer ring 11, the inner ring 12, and the ball 13 are particularly required to have rolling fatigue strength and wear resistance. Therefore, at least one of these is the machine part of the present invention, so that the quality of the deep groove ball bearing 1 can be stabilized and the life can be extended.

図2は、本発明の一実施の形態である機械部品を備えた転がり軸受としてのスラストニードルころ軸受の構成を示す概略断面図である。図2を参照して、本発明の一実施の形態における転がり軸受としてのスラストニードルころ軸受について説明する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a thrust needle roller bearing as a rolling bearing provided with mechanical parts according to an embodiment of the present invention. With reference to FIG. 2, the thrust needle roller bearing as a rolling bearing in one embodiment of the present invention will be described.

図2を参照して、スラストニードルころ軸受2は、円盤状の形状を有し、互いに一方の主面が対向するように配置された転動部材としての一対の軌道輪21と、転動部材としての複数のニードルころ23と、円環状の保持器24とを備えている。複数のニードルころ23は、一対の軌道輪21の互いに対向する主面に形成された軌道輪転走面21Aに接触し、かつ保持器24により周方向に所定のピッチで配置されることにより円環状の軌道上に転動自在に保持されている。以上の構成により、スラストニードルころ軸受2の一対の軌道輪21は、互いに相対的に回転可能となっている。   Referring to FIG. 2, thrust needle roller bearing 2 has a disk-like shape, and a pair of races 21 as a rolling member arranged so that one main surface faces each other, and a rolling member As a plurality of needle rollers 23 and an annular retainer 24. The plurality of needle rollers 23 are in contact with the raceway rolling surfaces 21A formed on the mutually opposing main surfaces of the pair of raceways 21 and are arranged at a predetermined pitch in the circumferential direction by the cage 24, thereby forming an annular shape. It is held so that it can roll on the track. With the above configuration, the pair of race rings 21 of the thrust needle roller bearing 2 can rotate relative to each other.

ここで、機械部品である軌道輪21、ニードルころ23および保持器24のうち、特に、軌道輪21、ニードルころ23には転動疲労強度や耐摩耗性が要求される。そのため、これらのうち少なくとも1つは本発明の機械部品であることにより、スラストニードルころ軸受2の品質を安定させるとともに、長寿命化することができる。   Here, among the bearing ring 21, the needle roller 23, and the cage 24, which are mechanical parts, in particular, the rolling ring 21 and the needle roller 23 are required to have rolling fatigue strength and wear resistance. Therefore, at least one of these is the mechanical part of the present invention, so that the quality of the thrust needle roller bearing 2 can be stabilized and the life can be extended.

図3は、本発明の一実施の形態である機械部品を備えた等速ジョイントの構成を示す概略部分断面図である。また、図4は、図3の線分IV−IVに沿う概略断面図である。また、図5は、図3の等速ジョイントが角度をなした状態を示す概略部分断面図である。なお、図3は、図4の線分III−IIIに沿う概略断面図に対応する。図3〜図5を参照して、本発明の一実施の形態における等速ジョイントについて説明する。   FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing a configuration of a constant velocity joint including mechanical parts according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is a schematic partial sectional view showing a state in which the constant velocity joint of FIG. 3 forms an angle. FIG. 3 corresponds to a schematic cross-sectional view taken along line III-III in FIG. With reference to FIGS. 3-5, the constant velocity joint in one embodiment of this invention is demonstrated.

図3〜図5を参照して、等速ジョイント3は、軸35に連結されたインナーレース31と、インナーレース31の外周側を囲むように配置され、軸36に連結されたアウターレース32と、インナーレース31とアウターレース32との間に配置されたトルク伝達用のボール33と、ボール33を保持するケージ34とを備えている。ボール33は、インナーレース31の外周面に形成されたインナーレースボール溝31Aと、アウターレース32の内周面に形成されたアウターレースボール溝32Aとに接触して配置され、脱落しないようにケージ34によって保持されている。   3 to 5, the constant velocity joint 3 includes an inner race 31 connected to the shaft 35, an outer race 32 arranged so as to surround the outer peripheral side of the inner race 31, and connected to the shaft 36. A torque transmitting ball 33 disposed between the inner race 31 and the outer race 32 and a cage 34 for holding the ball 33 are provided. The ball 33 is disposed in contact with the inner race ball groove 31A formed on the outer peripheral surface of the inner race 31 and the outer race ball groove 32A formed on the inner peripheral surface of the outer race 32 so that the ball 33 is not dropped. 34.

インナーレース31の外周面およびアウターレース32の内周面のそれぞれに形成されたインナーレースボール溝31Aとアウターレースボール溝32Aとは、図3に示すように、軸35および軸36の中央を通る軸が一直線上にある状態において、それぞれ当該軸上のジョイント中心Oから当該軸上の左右に等距離離れた点Aおよび点Bを曲率中心とする曲線(円弧)状に形成されている。すなわち、インナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aに接触して転動するボール33の中心Pの軌跡が、点A(インナーレース中心A)および点B(アウターレース中心B)に曲率中心を有する曲線(円弧)となるように、インナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aのそれぞれは形成されている。これにより、等速ジョイントが角度をなした場合(軸35および軸36の中央を通る軸が交差するように等速ジョイントが動作した場合)においても、ボール33は、常に軸35および軸36の中央を通る軸のなす角(∠AOB)の2等分線上に位置する。   As shown in FIG. 3, the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A formed on the outer peripheral surface of the inner race 31 and the inner peripheral surface of the outer race 32 pass through the centers of the shaft 35 and the shaft 36, respectively. In a state where the axes are in a straight line, each of them is formed in a curve (arc) shape having a curvature center at points A and B that are equidistant from the joint center O on the axis to the left and right on the axis. That is, the trajectory of the center P of the ball 33 that rolls in contact with the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A is centered on the point A (inner race center A) and point B (outer race center B). Each of the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A is formed so as to have a curved line (arc). As a result, even when the constant velocity joint makes an angle (when the constant velocity joint operates so that the axes passing through the centers of the shaft 35 and the shaft 36 intersect), the ball 33 always has the shaft 35 and the shaft 36. Located on the bisector of the angle (∠AOB) formed by the axis passing through the center.

次に、等速ジョイント3の動作について説明する。図3および図4を参照して、等速ジョイント3においては、軸35、36の一方に軸まわりの回転が伝達されると、インナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aに嵌め込まれたボール33を介して、軸35、36の他方の軸に当該回転が伝達される。   Next, the operation of the constant velocity joint 3 will be described. 3 and 4, in constant velocity joint 3, when rotation around the shaft is transmitted to one of shafts 35 and 36, the ball fitted in inner race ball groove 31A and outer race ball groove 32A. The rotation is transmitted to the other of the shafts 35 and 36 via 33.

ここで、図5に示すように軸35、36が角度θをなした場合、ボール33は、前述のインナーレース中心Aおよびアウターレース中心Bに曲率中心を有するインナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aに案内されて、中心Pが∠AOBの二等分線上となる位置に保持される。また、ジョイント中心Oからインナーレース中心Aまでの距離と、アウターレース中心Bまでの距離とが等しくなるように、インナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aが形成されているため、ボール33の中心Pからインナーレース中心Aおよびアウターレース中心Bまでの距離はそれぞれ等しく、△OAPと△OBPとは合同である。その結果、ボール33の中心Pから軸35、36までの距離Lは互いに等しくなり、軸35、36の一方が軸まわりに回転した場合、他方も等速で回転する。このように、等速ジョイント3は、軸35、36が角度をなした場合でも、等速性を確保することができる。なお、ケージ34は、軸35、36が回転した場合に、インナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aからボール33が飛び出すことをインナーレースボール溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aとともに防止すると同時に、等速ジョイント3のジョイント中心Oを決定する機能を果たしている。   Here, when the shafts 35 and 36 form an angle θ as shown in FIG. 5, the ball 33 includes the inner race ball groove 31 </ b> A and the outer race ball having the centers of curvature at the inner race center A and the outer race center B described above. Guided by the groove 32A, the center P is held at a position on the bisector of ∠AOB. Further, the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A are formed so that the distance from the joint center O to the inner race center A and the distance from the outer race center B are equal. The distances from the center P to the inner race center A and the outer race center B are equal, and ΔOAP and ΔOBP are congruent. As a result, the distances L from the center P of the ball 33 to the shafts 35 and 36 are equal to each other, and when one of the shafts 35 and 36 rotates around the axis, the other also rotates at a constant speed. Thus, the constant velocity joint 3 can ensure constant velocity even when the shafts 35 and 36 form an angle. The cage 34, together with the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A, prevents the balls 33 from jumping out from the inner race ball groove 31A and the outer race ball groove 32A when the shafts 35 and 36 rotate. It performs the function of determining the joint center O of the constant velocity joint 3.

ここで、機械部品であるインナーレース31、アウターレース32、ボール33およびケージ34のうち、特に、インナーレース31、アウターレース32およびボール33には疲労強度や耐摩耗性が要求される。そのため、これらのうち少なくとも1つは本発明の機械部品であることにより、等速ジョイント3の品質を安定させるとともに、長寿命化することができる。   Here, among the inner race 31, the outer race 32, the ball 33, and the cage 34 that are mechanical parts, the inner race 31, the outer race 32, and the ball 33 are particularly required to have fatigue strength and wear resistance. Therefore, at least one of these is the machine part of the present invention, so that the quality of the constant velocity joint 3 can be stabilized and the life can be extended.

次に、本発明の機械部品の製造方法における一実施の形態である上記機械部品、および上記機械部品を備えた転がり軸受、等速ジョイントなどの機械要素の製造方法について説明する。図6は、本発明の一実施の形態における機械部品および当該機械部品を備えた機械要素の製造方法の概略を示す図である。図6を参照して、まず、機械部品の概略形状に成形された鋼製部材を準備する鋼製部材準備工程が実施される。具体的には、たとえば、棒鋼を素材とし、当該棒鋼に対して切断、鍛造、旋削などの加工が実施されることにより、機械部品としての外輪11、軌道輪21、インナーレース31などの機械部品の概略形状に成形された鋼製部材が準備される。   Next, a description will be given of a method of manufacturing machine elements such as the above-described machine component, a rolling bearing equipped with the machine component, and a constant velocity joint, which is an embodiment of the method of manufacturing a machine component of the present invention. FIG. 6 is a diagram showing an outline of a machine part and a method of manufacturing a machine element provided with the machine part in one embodiment of the present invention. With reference to FIG. 6, first, a steel member preparation step of preparing a steel member formed into a schematic shape of a machine part is performed. Specifically, for example, a steel bar is used as a raw material, and machining such as cutting, forging, and turning is performed on the steel bar, thereby mechanical parts such as an outer ring 11, a race ring 21, and an inner race 31 as mechanical parts. The steel member shape | molded by the following general shape is prepared.

次に、鋼製部材準備工程において準備された上述の鋼製部材に対して、浸炭窒化処理を実施した後、A点以上の温度からM点以下の温度へ冷却することにより、鋼製部材を焼入硬化する焼入硬化工程が実施される。この焼入硬化工程の詳細については後述する。 Next, after the carbonitriding process is performed on the above-described steel member prepared in the steel member preparation step, the steel member is cooled to a temperature equal to or lower than the MS point from a temperature of A 1 point or higher. A quench hardening process for quench hardening the member is performed. Details of this quench hardening process will be described later.

次に、焼入硬化工程が実施された鋼製部材に対して、A点以下の温度に加熱することにより、焼入硬化された鋼製部材の靭性等を向上させる焼戻工程が実施される。具体的には、焼入硬化された鋼製部材がA点以下の温度である150℃以上350℃以下の温度、たとえば180℃に加熱され、30分間以上240分間以下の時間、たとえば120分間保持されて、その後室温の空気中で冷却される(空冷)。 Next, a tempering step for improving the toughness and the like of the hardened and hardened steel member is performed by heating the steel member subjected to the hardening and hardening step to a temperature of A 1 point or less. The Specifically, the hardened and hardened steel member is heated to a temperature of 150 ° C. or higher and 350 ° C. or lower, which is a temperature of A 1 or less, for example, 180 ° C., and a time of 30 minutes or longer and 240 minutes or shorter, for example, 120 minutes. Held and then cooled in air at room temperature (air cooling).

さらに、焼戻工程が実施された鋼製部材に対して、仕上げ加工などが施される仕上げ工程が実施される。具体的には、たとえば、焼戻工程が実施された鋼製部材の内輪転走面12A、軌道輪転走面21A、アウターレースボール溝32Aなどに対する研削加工が実施される。これにより、本発明の一実施の形態における機械部品は完成し、本発明の一実施の形態における機械部品の製造方法は完了する。さらに、完成した機械部品が組み合わされて機械要素が組み立てられる組立て工程が実施される。具体的には、上述の工程により製造された本発明の機械部品である、たとえば外輪11、内輪12、玉13と保持器14とが組み合わされて、深溝玉軸受1が組み立てられる。これにより、本発明の機械部品を備えた機械要素が製造される。   Furthermore, the finishing process in which a finishing process etc. are given with respect to the steel member in which the tempering process was implemented is implemented. Specifically, for example, grinding is performed on the inner ring rolling surface 12A, the raceway rolling surface 21A, the outer race ball groove 32A, and the like of the steel member on which the tempering process has been performed. Thereby, the machine part in one embodiment of the present invention is completed, and the method for manufacturing the machine part in one embodiment of the present invention is completed. Further, an assembly process is performed in which the machine elements are assembled by combining the completed machine parts. Specifically, the deep groove ball bearing 1 is assembled by combining, for example, the outer ring 11, the inner ring 12, the ball 13 and the cage 14, which are the machine parts of the present invention manufactured by the above-described process. Thereby, the machine element provided with the machine part of the present invention is manufactured.

次に、上述の焼入硬化工程の詳細について説明する。図7は、本発明の一実施の形態における機械部品の製造方法に含まれる焼入硬化工程の詳細を説明するための図である。また、図8は、図7の浸炭窒化工程が備えている分圧制御工程に含まれる一酸化炭素と二酸化炭素との分圧の比の制御方法の一例を示す図である。また、図9は、図7の浸炭窒化工程に含まれる加熱パターン制御工程における加熱パターン(被処理物に与えられる温度履歴)の一例を示す図である。図9において、横方向は時間を示しており右に行くほど時間が経過していることを示している。また、図9において、縦方向は温度を示しており上に行くほど温度が高いことを示している。図7〜図9を参照して、本実施の形態における機械部品の製造方法に含まれる焼入硬化工程の詳細について説明する。   Next, the detail of the above-mentioned quench hardening process is demonstrated. FIG. 7 is a diagram for explaining the details of the quench hardening process included in the method of manufacturing a mechanical component in one embodiment of the present invention. FIG. 8 is a diagram showing an example of a method for controlling the ratio of partial pressures of carbon monoxide and carbon dioxide included in the partial pressure control step included in the carbonitriding step of FIG. Moreover, FIG. 9 is a figure which shows an example of the heating pattern (temperature history given to a to-be-processed object) in the heating pattern control process included in the carbonitriding process of FIG. In FIG. 9, the horizontal direction indicates time, and the time elapses toward the right. In FIG. 9, the vertical direction indicates the temperature, and the higher the temperature, the higher the temperature. With reference to FIGS. 7-9, the detail of the hardening process included in the manufacturing method of the machine component in this Embodiment is demonstrated.

図7を参照して、本発明の一実施の形態における機械部品の製造方法の焼入硬化工程においては、本発明の一実施の形態における浸炭窒化方法が用いられて浸炭窒化工程が実施される。本発明の一実施の形態における浸炭窒化方法では、まず、被処理物としての鋼製部材が浸炭窒化される浸炭窒化工程が実施される。その後、鋼製部材がA点以上の温度からM点以下の温度に冷却される冷却工程が実施される。 Referring to FIG. 7, in the quench hardening process of the method for manufacturing a machine component in one embodiment of the present invention, the carbonitriding process is performed using the carbonitriding method in one embodiment of the present invention. . In the carbonitriding method according to one embodiment of the present invention, first, a carbonitriding process is performed in which a steel member as a workpiece is carbonitrided. Thereafter, a cooling step is performed in which the steel member is cooled from a temperature of A 1 point or higher to a temperature of M S point or lower.

浸炭窒化工程は、熱処理炉内の雰囲気が制御される雰囲気制御工程と、熱処理炉内において被処理物に付与される温度履歴が制御される加熱パターン制御工程とを備えている。この雰囲気制御工程と加熱パターン制御工程とは、独立に、かつ並行して実施することができる。そして、雰囲気制御工程は、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度を制御する未分解アンモニア濃度制御工程と、熱処理炉内の一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧を制御する分圧制御工程とを含んでいる。   The carbonitriding process includes an atmosphere control process in which the atmosphere in the heat treatment furnace is controlled, and a heating pattern control process in which the temperature history applied to the workpiece in the heat treatment furnace is controlled. The atmosphere control step and the heating pattern control step can be performed independently and in parallel. The atmosphere control step includes an undecomposed ammonia concentration control step for controlling the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace, and a partial pressure control for controlling a partial pressure of at least one of carbon monoxide and carbon dioxide in the heat treatment furnace. Process.

具体的には、未分解アンモニア濃度制御工程では、まず、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度を測定する未分解アンモニア濃度測定工程が実施される。未分解アンモニア濃度の測定は、たとえばガスクロマトグラフを用いて実施することができる。そして、未分解アンモニア濃度測定工程において測定された未分解アンモニア濃度に基づいて熱処理炉へのアンモニアガスの供給量を増減させるアンモニア供給量調節工程の実施の要否を判断する未分解アンモニア濃度判断工程が実施される。当該判断は、たとえば予め実験的に求められた未分解アンモニア濃度と被処理物の表層部における窒素濃度との関係に基づいて実施される。   Specifically, in the undecomposed ammonia concentration control step, first, an undecomposed ammonia concentration measurement step for measuring the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace is performed. The measurement of the undecomposed ammonia concentration can be performed using, for example, a gas chromatograph. Then, an undecomposed ammonia concentration determination step for determining whether or not an ammonia supply amount adjustment step for increasing or decreasing the supply amount of ammonia gas to the heat treatment furnace based on the undecomposed ammonia concentration measured in the undecomposed ammonia concentration measurement step is performed. Is implemented. This determination is performed based on, for example, the relationship between the undecomposed ammonia concentration experimentally obtained in advance and the nitrogen concentration in the surface layer portion of the workpiece.

ここで、被処理物の表層部とは、被処理物の表面付近の領域をいい、たとえば仕上げ加工等が実施され、被処理物が製品となった状態における表面からの距離が0.1mm以下の領域となるべき領域をいう。つまり、被処理物の表層部とは、被処理物が加工等されて製造される製品に対する要求特性に鑑み、被処理物が製品となった状態において、窒素濃度を制御すべき領域であって、製品ごとに適宜決定することができる。   Here, the surface layer portion of the object to be processed refers to a region near the surface of the object to be processed. For example, the distance from the surface in a state where the object to be processed is a finished product is 0.1 mm or less. An area that should be an area. That is, the surface layer portion of the object to be processed is an area where the nitrogen concentration should be controlled in a state where the object to be processed is a product in view of the required characteristics for the product manufactured by processing the object to be processed. It can be determined appropriately for each product.

図11は、浸炭窒化処理時間9000秒、a値1.0の条件の下で浸炭窒化処理を実施した場合における、熱処理炉内の未分解アンモニア量と被処理物への窒素侵入量(被処理物の単位表面積から被処理物の内部に侵入した窒素の質量)との関係を示す図である。図11を参照して、未分解アンモニア濃度判断工程の実施の一態様について説明する。 FIG. 11 shows the amount of undecomposed ammonia in the heat treatment furnace and the amount of nitrogen intrusion into the object to be treated (carbonized amount) when carbonitriding was performed under the conditions of carbonitriding time of 9000 seconds and a C value of 1.0. It is a figure which shows the relationship with the mass of the nitrogen which penetrate | invaded into the to-be-processed object from the unit surface area of a to-be-processed object. With reference to FIG. 11, one embodiment of the undecomposed ammonia concentration determination step will be described.

図11を参照して、a値1.0、浸炭窒化処理の実施時間が9000秒間の条件の下で、被処理物への窒素侵入量をある値としたい場合、図11の関係から目標の未分解アンモニア濃度を決定することができる。したがって、未分解アンモニア濃度判断工程においては、未分解アンモニア濃度測定工程において測定されたアンモニア濃度が当該目標の未分解アンモニア濃度となっているか否かによりアンモニア供給量調節工程の実施の要否を判断することができる。なお、目標の未分解アンモニア濃度を決定するための関係は、上述のような未分解アンモニア濃度と窒素侵入量との関係に限られず、たとえば未分解アンモニア濃度と被処理物の表面から所定の深さの位置における窒素濃度との関係などであってもよい。 Referring to FIG. 11, when it is desired to set the nitrogen intrusion amount to the object to be processed under a condition where the a C value is 1.0 and the carbonitriding process is performed for 9000 seconds, the target from the relationship of FIG. The undecomposed ammonia concentration of can be determined. Therefore, in the undecomposed ammonia concentration determination step, it is determined whether or not the ammonia supply amount adjustment step is necessary depending on whether or not the ammonia concentration measured in the undecomposed ammonia concentration measurement step is the target undecomposed ammonia concentration. can do. The relationship for determining the target undecomposed ammonia concentration is not limited to the relationship between the undecomposed ammonia concentration and the nitrogen intrusion amount as described above. For example, the relationship between the undecomposed ammonia concentration and the surface of the object to be treated is a predetermined depth. It may be a relationship with the nitrogen concentration at this position.

未分解アンモニア濃度が目標の未分解アンモニア濃度になっていない場合には、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度を増減させるためのアンモニア供給量調節工程が実施された後、未分解アンモニア濃度測定工程が再度実施される。アンモニア供給量調節工程は、たとえば、熱処理炉に配管を介して連結されたアンモニアガスボンベから単位時間に熱処理炉に流入するアンモニアの量(アンモニアガスの流量)を当該配管に取り付けられたマスフローコントローラなどを備えた流量制御装置により調節することにより実施することができる。すなわち、測定された未分解アンモニア濃度が目標の未分解アンモニア濃度よりも高い場合、上記流量を低下させ、低い場合、上記流量を増加させることにより、アンモニア供給量調節工程を実施することができる。このアンモニア供給量調節工程において、測定された未分解アンモニア濃度と目標の未分解アンモニア濃度との間に所定の差がある場合、どの程度流量を増減させるかについては、予め実験的に決定したアンモニアガスの流量の増減と未分解アンモニア濃度の増減との関係に基づいて決定することができる。   If the undecomposed ammonia concentration is not the target undecomposed ammonia concentration, an ammonia supply amount adjusting step for increasing or decreasing the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace is performed, and then the undecomposed ammonia concentration measuring step is performed. Will be implemented again. The ammonia supply amount adjusting step includes, for example, a mass flow controller attached to the pipe for the amount of ammonia flowing into the heat treatment furnace per unit time from an ammonia gas cylinder connected to the heat treatment furnace via the pipe. It can implement by adjusting with the flow control apparatus with which it was equipped. That is, when the measured undecomposed ammonia concentration is higher than the target undecomposed ammonia concentration, the ammonia supply amount adjusting step can be performed by decreasing the flow rate, and increasing the flow rate when the concentration is low. In this ammonia supply amount adjustment step, when there is a predetermined difference between the measured undecomposed ammonia concentration and the target undecomposed ammonia concentration, the degree of increase or decrease in flow rate is determined experimentally in advance. It can be determined based on the relationship between increase / decrease in gas flow rate and increase / decrease in undecomposed ammonia concentration.

一方、未分解アンモニア濃度が目標の未分解アンモニア濃度になっている場合には、アンモニア供給量調節工程が実施されることなく、未分解アンモニア濃度測定工程が再度実施される。   On the other hand, when the undecomposed ammonia concentration is the target undecomposed ammonia concentration, the undecomposed ammonia concentration measuring step is performed again without performing the ammonia supply amount adjusting step.

分圧制御工程では、エンリッチガスとしてのプロパン(C)ガス、ブタンガス(C10)などの供給量が調節されることにより、COおよびCOの分圧の少なくともいずれか一方の分圧が制御されて、a値やC値などが調整される。具体的には、たとえば、赤外線ガス濃度測定装置を用いて雰囲気中の一酸化炭素の分圧PCOおよび二酸化炭素の分圧PCO2が測定される。そして、当該測定値に基づいて、a値やC値などが目標の値となるように、エンリッチガスとしてのプロパン(C)ガス、ブタンガス(C10)などの供給量が調節される。 In the partial pressure control step, by adjusting the supply amount of propane (C 3 H 8 ) gas, butane gas (C 4 H 10 ), etc. as an enriched gas, at least one of the partial pressures of CO and CO 2 The partial pressure is controlled to adjust the a C value, the CP value, and the like. Specifically, for example, the partial pressure P CO2 partial pressure P CO and carbon monoxide to carbon dioxide in the atmosphere by using an infrared gas concentration measurement device are measured. Then, based on the measured values, as such a C value and C P value is the value of the target, propane (C 3 H 8) as enriched gas Gas supply rate of such butane gas (C 4 H 10) Is adjusted.

ここで、分圧制御工程では、未分解アンモニア濃度制御工程においてアンモニアの供給量が変更された場合であって、一酸化炭素の分圧と二酸化炭素の分圧との比である分圧比が変化した場合に、アンモニアの供給量の変更前の分圧比からアンモニアの供給量が変更された後の分圧比への変化を打ち消すように、一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧が変更される。   Here, in the partial pressure control step, when the supply amount of ammonia is changed in the undecomposed ammonia concentration control step, the partial pressure ratio that is the ratio of the partial pressure of carbon monoxide and the partial pressure of carbon dioxide changes. In this case, the partial pressure of at least one of carbon monoxide and carbon dioxide is set so as to cancel the change from the partial pressure ratio before the change of the ammonia supply amount to the partial pressure ratio after the change of the ammonia supply amount. Be changed.

具体的には、図8に示すように、まず、所定時間内にアンモニアの供給量が変更されたかどうかが判断される供給量変更判断工程が実施される。前述のように、アンモニアの供給量が変更された場合、これに伴って、たとえば一酸化炭素の分圧が変化する。熱処理炉の容量等に基づいてアンモニアの供給量の変更から一酸化炭素の分圧に影響が出るまでの時間を考慮して、上記所定時間を予め決定しておき、当該所定時間内にアンモニアの供給量が変更されたか否かにより、後述する一酸化炭素および二酸化炭素の分圧の測定の要否が判断される。   Specifically, as shown in FIG. 8, first, a supply amount change determination step is performed in which it is determined whether or not the supply amount of ammonia has been changed within a predetermined time. As described above, when the supply amount of ammonia is changed, for example, the partial pressure of carbon monoxide changes accordingly. The predetermined time is determined in advance in consideration of the time from the change in the supply amount of ammonia based on the capacity of the heat treatment furnace until the partial pressure of carbon monoxide is affected. Whether or not the measurement of the partial pressure of carbon monoxide and carbon dioxide, which will be described later, is determined is determined depending on whether or not the supply amount is changed.

所定時間内にアンモニアの供給量が変更されていない場合、通常どおりの分圧制御工程である通常時分圧制御工程、たとえば一定時間ごとに雰囲気中の一酸化炭素の分圧PCOおよび/または二酸化炭素の分圧PCO2が測定されて、a値やC値などが目標の値となるように、エンリッチガスの供給量が調節される工程、が実施される。あるいは、後述する図8のCO,COの分圧測定を実施する工程から判断変数が基準値になるようにCO,COの分圧を制御する工程までの工程と同様の工程を、一定時間ごとに実施してもよい。そして、再度、供給量変更判断工程が実施される。 When the supply amount of ammonia is not changed within a predetermined time, a normal partial pressure control step, which is a normal partial pressure control step, for example, a partial pressure P CO of carbon monoxide in the atmosphere at regular intervals and / or is measured partial pressure P CO2 of carbon dioxide, as such a C value and C P value is a value of the target, step feed amount of enriched gas is adjusted, it is performed. Alternatively, a process similar to the process from the process of measuring the partial pressure of CO and CO 2 in FIG. 8 described later to the process of controlling the partial pressure of CO and CO 2 so that the determination variable becomes a reference value is constant. You may carry out every hour. Then, the supply amount change determination step is performed again.

一方、所定時間内にアンモニアの供給量が変更された場合、一酸化炭素の分圧PCOおよび/または二酸化炭素の分圧PCO2が測定される分圧測定工程が実施され、分圧比PCO/PCO2、a値、C値などの判断変数が算出される判断変数算出工程が実施される。そして、当該判断変数が予め決定された基準値になっているかどうかを判断する判断変数判断工程が実施される。判断変数が基準値となっている場合、たとえば判断変数としてのC値が基準値である1.0となっている場合、あるいは所定の許容範囲内(たとえば0.95以上1.05以下)となっている場合、アンモニアの供給量の変更に対応した本工程をそのまま終了する。判断変数が基準値となっていない場合、判断変数が基準値になるようにCO,COの分圧を制御する工程が実施される。たとえばPCOが低下し、判断変数としての分圧比PCO/PCO2が基準値よりも小さくなっている場合、判断変数が基準値となるように、たとえばPCO2を低下させて分圧比PCO/PCO2を基準値に戻すようにエンリッチガスの流量が変更される。 On the other hand, if the supply amount of ammonia was changed within a predetermined time, the partial pressure measurement step of partial pressure P CO2 partial pressure P CO and / or carbon monoxide to carbon dioxide is measured is performed, the partial pressure ratio P CO A decision variable calculation step is performed in which decision variables such as / P CO2 , a C value, and CP value are calculated. Then, a determination variable determination step is performed for determining whether the determination variable is a predetermined reference value. When the judgment variable is the reference value, for example, when the CP value as the judgment variable is the reference value of 1.0, or within a predetermined allowable range (for example, 0.95 to 1.05) If this is the case, the present process corresponding to the change in the supply amount of ammonia is terminated as it is. When the determination variable is not the reference value, a step of controlling the partial pressure of CO and CO 2 is performed so that the determination variable becomes the reference value. For example reduces the P CO, if the partial pressure ratio P CO / P CO2 as determined variable is smaller than the reference value, as determined variable as a reference value, for example pressure ratio decreases the P CO2 partial P CO The flow rate of the rich gas is changed so that / P CO2 is returned to the reference value.

一方、加熱パターン制御工程では、被処理物としての鋼製部材に付与される加熱履歴が制御される。具体的には、図9に示すように、鋼製部材が上述の雰囲気制御工程によって制御された雰囲気中で、A点以上の温度である800℃以上1000℃以下の温度、たとえば850℃に加熱され、60分間以上300分間以下の時間、たとえば150分間保持される。当該保持時間が経過するとともに加熱パターン制御工程は終了し、同時に雰囲気制御工程も終了する。 On the other hand, in the heating pattern control step, the heating history applied to the steel member as the object to be processed is controlled. Specifically, as shown in FIG. 9, in an atmosphere in which the steel member is controlled by the above-described atmosphere control step, a temperature of 800 ° C. or higher and 1000 ° C. or lower, which is a temperature of one point or higher, for example, 850 ° C. It is heated and held for 60 minutes to 300 minutes, for example 150 minutes. As the holding time elapses, the heating pattern control process ends, and at the same time, the atmosphere control process ends.

その後、鋼製部材が油中に浸漬(油冷)されることにより、A点以上の温度からM点以下の温度に冷却される冷却工程が実施される。以上の工程により、鋼製部材は表層部が浸炭窒化されるとともに焼入硬化される。これにより、本実施の形態の焼入硬化工程は完了する。 Thereafter, the steel member by being dipped (oil cooling) in oil, a cooling step is cooled from a temperature of more than 1 point A to M S point below the temperature is carried out. Through the above steps, the steel member is carbonitrided and hardened and hardened at the surface. Thereby, the quench hardening process of this Embodiment is completed.

以上のように、本実施の形態の浸炭窒化方法によれば、通常は、たとえば一定時間ごとに雰囲気中の一酸化炭素の分圧PCOおよび/または二酸化炭素の分圧PCO2が測定されて、a値やC値などが目標の値となるように、エンリッチガスの供給量が調節される工程が実施される一方で、アンモニアの供給量が変更された場合には、これに応じて分圧比PCO/PCO2の調整の必要性が判断されて、a値やC値などが目標の値となるようにPCOおよびPCO2の少なくともいずれか一方の分圧が変更される。すなわち、PCOおよびPCO2の一方の分圧が上昇した場合、その上昇分だけ当該分圧を下げる、あるいは当該分圧が下がった場合、その下降分だけ当該分圧を上げることにより、分圧比PCO/PCO2の変化を打ち消すことができる。また、一方の分圧がアンモニアの供給量の変更前における分圧のx%だけ上昇した場合、他方の分圧もアンモニアの供給量の変更前における分圧のx%だけ上昇させ、一方の分圧がアンモニアの供給量の変更前における分圧のx%だけ下降した場合、他方の分圧もアンモニアの供給量の変更前における分圧のx%だけ下降させることにより、分圧比PCO/PCO2の変化を打ち消してもよい。その結果、被処理物の浸炭挙動に直接影響する熱処理炉内のC値やa値を精度良く制御することが可能となり、不良組織の発生を抑制して、被処理物の品質を安定させることができる。 As described above, according to the carbonitriding method of the present embodiment, usually, for example, the partial pressure P CO of carbon monoxide and / or the partial pressure P CO2 of carbon dioxide in the atmosphere is measured at regular intervals. as such a C value and C P value is the value of target, while the step of supplying the amount of enriched gas is adjusted is performed, if the supply amount of ammonia is changed, accordingly Therefore, the necessity of adjusting the partial pressure ratio P CO / P CO2 is determined, and the partial pressure of at least one of P CO and P CO2 is changed so that the a C value, the CP value, etc. become the target values. The That is, when the partial pressure of one of PCO and PCO2 increases, the partial pressure is decreased by the increased amount, or when the partial pressure decreases, the partial pressure is increased by the decreased amount. The change in P CO / P CO2 can be canceled out. When one partial pressure increases by x% of the partial pressure before changing the ammonia supply amount, the other partial pressure is also increased by x% of the partial pressure before changing the ammonia supply amount. When the pressure decreases by x% of the partial pressure before the change of the ammonia supply amount, the other partial pressure is also decreased by x% of the partial pressure before the change of the ammonia supply amount, so that the partial pressure ratio P CO / P You may cancel the change of CO2 . As a result, it is possible to accurately control the CP value and a C value in the heat treatment furnace, which directly affects the carburizing behavior of the workpiece, and suppress the occurrence of defective structures and stabilize the quality of the workpiece. Can be made.

さらに、本実施の形態の浸炭窒化方法によれば、未分解アンモニア濃度は、熱処理炉内の未分解アンモニア濃度の測定値に基づいて、未分解アンモニア濃度が目標の濃度になるように制御されている。そのため、熱処理炉内における雰囲気中の未分解アンモニア濃度を精度良くコントロールし、被処理物に侵入する窒素量を精度良く制御することが容易となっている。   Further, according to the carbonitriding method of the present embodiment, the undecomposed ammonia concentration is controlled based on the measured value of the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace so that the undecomposed ammonia concentration becomes the target concentration. Yes. For this reason, it is easy to accurately control the concentration of undecomposed ammonia in the atmosphere in the heat treatment furnace and to accurately control the amount of nitrogen entering the object to be processed.

さらに、本実施の形態の浸炭窒化方法においては、未分解アンモニア濃度制御工程におけるアンモニアの供給量の変更は、アンモニアの供給量の変更の直前に実施された先のアンモニア供給量の変更以降に熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が熱処理炉の容積以上となった後に実施されることが好ましい。   Furthermore, in the carbonitriding method of the present embodiment, the change in the ammonia supply amount in the undecomposed ammonia concentration control step is a heat treatment after the previous change in the ammonia supply amount performed immediately before the change in the ammonia supply amount. It is preferable to carry out after the volume of the carburized gas supplied to the furnace at 20 ° C. and 1.05 atm is equal to or greater than the volume of the heat treatment furnace.

具体的には、たとえば未分解アンモニア濃度制御工程のアンモニア供給量調節工程において、以下のような制御が実施されることが好ましい。図10は、図7の浸炭窒化工程が備えている未分解アンモニア濃度制御工程のアンモニア供給量調節工程に含まれるアンモニアの供給量の制御方法の一例を示す図である。図7および図10を参照して、図7のアンモニア供給量調節工程において、図10に示すように、まず、先に実施されたアンモニアの供給量の変更以降に、所定体積、たとえば熱処理炉の容積以上の浸炭ガスが供給されたか否かを判断する浸炭ガス供給量判断工程が実施される。   Specifically, for example, the following control is preferably performed in the ammonia supply amount adjustment step of the undecomposed ammonia concentration control step. FIG. 10 is a diagram showing an example of a method for controlling the supply amount of ammonia included in the ammonia supply amount adjustment step of the undecomposed ammonia concentration control step provided in the carbonitriding step of FIG. Referring to FIGS. 7 and 10, in the ammonia supply amount adjusting step of FIG. 7, as shown in FIG. 10, first, after the change of the ammonia supply amount previously performed, a predetermined volume, for example, a heat treatment furnace A carburizing gas supply amount determining step for determining whether or not the carburizing gas exceeding the volume is supplied is performed.

先に実施されたアンモニアの供給量の変更から、たとえば熱処理炉の容積以上の浸炭ガスが供給されている場合、アンモニアの供給量が変更されることにより、アンモニア供給量調節工程は終了する。一方、未だ熱処理炉の容積以上の浸炭ガスが供給されていない場合、アンモニアの供給量の変更は実施されず、再度浸炭ガス供給量判断工程が実施される。所定体積以上の浸炭ガスが供給されたか否かの判断は、浸炭ガスの流量が一定の場合、所定体積の浸炭ガスが導入されるために要する時間によって判断することができる。また、浸炭ガスの流量が変化する場合、流入した浸炭ガスの体積を積算することにより判断することができる。   If, for example, a carburizing gas larger than the volume of the heat treatment furnace is supplied from the change in the supply amount of ammonia previously performed, the ammonia supply amount adjustment step is completed by changing the ammonia supply amount. On the other hand, when the carburizing gas exceeding the capacity of the heat treatment furnace has not been supplied yet, the supply amount of ammonia is not changed and the carburizing gas supply amount determining step is executed again. Whether the carburizing gas of a predetermined volume or more has been supplied can be determined based on the time required for introducing the carburizing gas of a predetermined volume when the flow rate of the carburizing gas is constant. Further, when the flow rate of the carburizing gas changes, it can be determined by integrating the volume of the carburizing gas that has flowed.

前述のように、未分解アンモニア濃度の制御に通常必要な程度のアンモニア供給量の変化があった場合、これに伴って変化した一酸化炭素と二酸化炭素との分圧比をアンモニア供給量の変化前の状態に復帰させるためには、20℃、1.05気圧において熱処理炉の容積以上の浸炭ガスの供給が必要である。したがって、上述のようにアンモニア供給量調節工程が実施されることにより、分圧比PCO/PCO2が先のアンモニア供給量の変更前の状態に復帰した後、新たなアンモニア供給量の変更が行なわれることとなるため、C値、a値などの制御が一層容易となり、不良組織の発生が一層抑制される。 As described above, when there is a change in the ammonia supply amount that is normally required to control the undecomposed ammonia concentration, the partial pressure ratio of carbon monoxide and carbon dioxide that has changed is changed before the change in the ammonia supply amount. In order to return to this state, it is necessary to supply a carburizing gas exceeding the capacity of the heat treatment furnace at 20 ° C. and 1.05 atm. Therefore, after the ammonia supply amount adjustment step is performed as described above, after the partial pressure ratio P CO / P CO2 returns to the state before the previous change in the ammonia supply amount, a new ammonia supply amount is changed. since the be, C P value, control such as a C value becomes easier, defective tissue is further suppressed.

なお、C値、a値などの制御を一層容易化する観点からは、熱処理炉の容積の2倍以上の浸炭ガスが供給された後アンモニア供給量の変更が実施されることが好ましく、さらに安定させるためには3倍以上の浸炭ガスが供給された後、アンモニア供給量の変更が実施されることが好ましい。一方、残留アンモニア濃度の制御を十分に行なうためには、熱処理炉の容積の4倍以下、好ましくは3倍以下の浸炭ガスが供給された後、アンモニア供給量の変更が実施されることが好ましい。 Incidentally, C P value, from the viewpoint of further facilitating control of such a C value, it is preferable to change the ammonia supply amount after 2 times or more the carburizing gas volume of the heat treatment furnace has been supplied is performed, In order to further stabilize, it is preferable that the ammonia supply amount is changed after three times or more of the carburizing gas is supplied. On the other hand, in order to sufficiently control the residual ammonia concentration, it is preferable to change the ammonia supply amount after supplying a carburizing gas that is 4 times or less, preferably 3 times or less the volume of the heat treatment furnace. .

また、上述の本実施の形態における機械部品の製造方法によれば、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、安定した品質を有する機械部品を製造することができる。また、本実施の形態の機械部品は、安定した浸炭窒化処理が実施されることにより、品質の安定した機械部品となっている。   Moreover, according to the manufacturing method of the machine component in this Embodiment mentioned above, the machine component which has the stable quality can be manufactured by performing the stable carbonitriding process. In addition, the mechanical component of the present embodiment is a mechanical component with stable quality by performing a stable carbonitriding process.

なお、本実施の形態においては、本発明の機械部品の一例として、深溝玉軸受、スラストニードルころ軸受、等速ジョイントについて説明したが、本発明の機械部品はこれに限られず、表層部の疲労強度、耐摩耗性が要求される機械部品、たとえばハブ、ギア、シャフト等であってもよい。   In the present embodiment, a deep groove ball bearing, a thrust needle roller bearing, and a constant velocity joint have been described as examples of the mechanical component of the present invention. However, the mechanical component of the present invention is not limited to this, and fatigue of the surface layer portion is also described. It may be a machine part that requires strength and wear resistance, such as a hub, a gear, and a shaft.

以下、本発明の実施例について説明する。C値の安定性及ぼすアンモニア供給量の変更頻度の影響を調査する実験を行なった。実験の手順は以下のとおりである。 Examples of the present invention will be described below. The impact of changes frequency stability on the ammonia supply amount of C P value An experiment was conducted to investigate. The experimental procedure is as follows.

実験に用いた熱処理炉の容量は120L(リットル)である。被処理物はJIS SUJ2(炭素含有量1質量%)製の外径φ38mm、内径φ30mm、幅10mmのリングとし、熱処理炉以内に約101g挿入した。加熱パタ−ンは図9と同様のパターンを採用して浸炭窒化の保持温度は850℃とした。そして、浸炭ガス(RXガスおよびエンリッチガスの混合ガス)を一定流量で熱処理炉に供給しつつ、アンモニアガスの供給流量を時間tごとに変更した。そして、アンモニアガスの供給流量の変更にともなう一酸化炭素の分圧PCOの変化に合わせて、エンリッチガスの流量を調節することにより二酸化炭素の分圧PCO2を変化させて分圧比PCO/PCO2を一定に保つとともに、C値を一定に保つ制御を行なった。ここで、浸炭ガスは20℃、1.05気圧において、時間tで熱処理炉の容量である120L熱処理炉内に供給される。そして、tを3水準に変化させ、熱処理炉内の一酸化炭素の分圧PCOおよび二酸化炭素の分圧PCO2を測定し、式(1)および(2)によりC値を算出して、C値の安定性を調査した。 The capacity of the heat treatment furnace used in the experiment is 120 L (liter). The object to be treated was a ring made of JIS SUJ2 (carbon content 1% by mass) having an outer diameter of 38 mm, an inner diameter of 30 mm, and a width of 10 mm, and about 101 g was inserted into the heat treatment furnace. The heating pattern employed the same pattern as in FIG. 9, and the carbonitriding holding temperature was 850 ° C. Then, while the carburizing gas (mixed gas of RX gas and enriched gas) is supplied into the heat treatment furnace at a constant flow rate, changing the flow rate of ammonia gas per time t 2. Then, the partial pressure ratio P CO / of the partial pressure P CO2 of the carbon dioxide is changed by adjusting the flow rate of the enriched gas in accordance with the change of the partial pressure P CO of the carbon monoxide accompanying the change in the supply flow rate of the ammonia gas. with keeping the P CO2 constant was carried out a control to keep the C P value constant. Here, the carburizing gas is supplied into a 120 L heat treatment furnace having a capacity of the heat treatment furnace at time t 1 at 20 ° C. and 1.05 atm. Then, t 2 is changed to 3 levels, the partial pressure P CO of carbon monoxide and the partial pressure P CO2 of carbon dioxide in the heat treatment furnace are measured, and the CP value is calculated by the equations (1) and (2). Thus, the stability of the CP value was investigated.

図12は、tをtの1/2とした場合のC値の安定性を示す図である。また、図13はtをtと等しくした場合のC値の安定性を示す図である。また、図14は、tをtの2倍とした場合のC値の安定性を示す図である。図12〜図14において、横軸は浸炭窒化処理の経過時間(処理時間)を示しており、右に進むほど処理時間が経過していることを示している。また、図12〜図14において、縦軸は一酸化炭素(CO)の分圧、二酸化炭素(CO)の分圧、アンモニアガス供給流量およびC値を示しており、それぞれ上に進むほど値が大きいことを示している。なお、図12〜図14において、実線は一酸化炭素の分圧、破線は二酸化炭素の分圧、一点鎖線はアンモニアガス供給流量、二点鎖線はC値を示している。図12〜図14を参照して、本実施例の実験結果について説明する。 FIG. 12 is a diagram illustrating the stability of the CP value when t 2 is ½ of t 1 . FIG. 13 is a diagram showing the stability of the CP value when t 2 is equal to t 1 . Further, FIG 14 is a diagram showing the stability of C P value when the t 2 was set to 2 times the t 1. 12 to 14, the horizontal axis indicates the elapsed time (processing time) of the carbonitriding process, and indicates that the processing time elapses as it goes to the right. 12 to 14, the vertical axis indicates the partial pressure of carbon monoxide (CO), the partial pressure of carbon dioxide (CO 2 ), the ammonia gas supply flow rate, and the CP value. The value is large. 12 to 14, the solid line indicates the partial pressure of carbon monoxide, the broken line indicates the partial pressure of carbon dioxide, the alternate long and short dash line indicates the ammonia gas supply flow rate, and the alternate long and two short dashes line indicates the CP value. With reference to FIGS. 12-14, the experimental result of a present Example is demonstrated.

図12を参照して、本発明の範囲外の浸炭窒化方法の場合であるtをtの1/2とした場合、目標の値に保持されていたC値は、時刻m0においてアンモニアガス供給流量が増加すると一酸化炭素の分圧が低下することにより低下している。これに対し、エンリッチガスの流量を調節して二酸化炭素の分圧を下げてC値の変化(分圧比PCO/PCO2の変化)を打ち消そうとしているが、時刻m0から時間tが経過した時刻m1において、さらにアンモニアガス供給流量が増加している。その結果、C値は目標の値(m0における値)まで復帰することなく、さらに低下している。 Referring to FIG. 12, if the t 2 is the case of the outside of the carbonitriding method of the present invention was a half of t 1, C P value that has been held at the target value, ammonia at time m0 When the gas supply flow rate is increased, the partial pressure of carbon monoxide is lowered, which is lowered. In contrast, although trying to counteract the change in the C P value to lower the partial pressure of carbon dioxide by adjusting the flow rate of the enriched gas (change in partial pressure ratio P CO / P CO2), from time m0 time t 2 At the time m1 when the time elapses, the ammonia gas supply flow rate further increases. As a result, C P value without returning to the target value (the value at m0), is further reduced.

すなわち、図12の浸炭窒化方法では、先のアンモニア供給流量の変更以降に熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が熱処理炉の容積以上となる前に、アンモニアの供給流量の変更が実施されているため、C値が目標の値に復帰することなく、アンモニアガス供給流量がさらに変化している。そのため、C値の制御が困難となり、C値を目標の値に保持することができなくなっている。 That is, in the carbonitriding method of FIG. 12, before the volume of the carburized gas supplied to the heat treatment furnace after the change in the previous ammonia supply flow rate at 20 ° C. and 1.05 atm. since the change in the supply flow rate is implemented, without C P value is restored to the value of the target, the ammonia gas supply flow rate is further changed. Therefore, it is difficult to control the C P value, is no longer able to hold the C P value to the value of the target.

一方、図13を参照して、本発明の浸炭窒化方法の場合であるtをtと等しくした場合においても、目標の値に保持されていたC値は、時刻m0においてアンモニアガス供給流量が増加すると一酸化炭素の分圧が低下することにより低下している。そして、これに対し、エンリッチガスの流量を調節して二酸化炭素の分圧を下げてC値の変化(分圧比PCO/PCO2の変化)を打ち消すことにより、時刻m0から時間tが経過した時刻m1において、C値は目標の値(m0における値)まで復帰している。 On the other hand, referring to FIG. 13, C P value t 2 is the case of the carbonitriding process even when the equal t 1, which has been held at the target value of the present invention, the ammonia gas supply at time m0 When the flow rate is increased, the partial pressure of carbon monoxide is lowered, which is lowered. The contrast, by canceling the change in the C P value to lower the partial pressure of carbon dioxide by adjusting the flow rate of the enriched gas (change in partial pressure ratio P CO / P CO2), is from time m0 time t 2 at time m1 to elapsed, C P value is restored to the target value (the value at m0).

すなわち、図13の浸炭窒化方法では、先のアンモニア供給流量の変更以降に熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が熱処理炉の容積以上になるのと同時に、アンモニアの供給流量の変更が実施されているため、C値が目標の値に復帰し、その後、アンモニアガス供給流量がさらに変化している。そのため、C値の制御の容易性が向上し、図12の場合に比べてC値が安定した状態で浸炭窒化処理が実施されている。 That is, in the carbonitriding method of FIG. 13, the volume of the carburized gas supplied to the heat treatment furnace after the change in the previous ammonia supply flow rate at 20 ° C. and 1.05 atm is equal to or greater than the volume of the heat treatment furnace. Since the supply flow rate is changed, the CP value returns to the target value, and then the ammonia gas supply flow rate further changes. Therefore, improved ease of control of the C P value, C P value carbonitriding process in a stable state as compared with the case of FIG. 12 is performed.

さらに、図14を参照して、本発明の浸炭窒化方法の場合であるtをtの2倍とした場合においても、目標の値に保持されていたC値は、時刻m0においてアンモニアガス供給流量が増加すると一酸化炭素の分圧が低下することにより低下している。そして、これに対し、エンリッチガスの流量を調節して二酸化炭素の分圧を下げてC値の変化(分圧比PCO/PCO2の変化)を打ち消すことにより、時刻m0から時間tが経過した時点でC値は目標の値(m0における値)まで復帰している。そして、時間2×tが経過した時刻m1までの時間tのうち約50%の時間において、C値は目標の値に保持されている。 Furthermore, with reference to FIG. 14, C P value t 2 is the case of the carbonitriding process in the case where twice the t 1 also held in the target value of the present invention include ammonia at time m0 When the gas supply flow rate is increased, the partial pressure of carbon monoxide is lowered, which is lowered. The contrast, by canceling the change in the C P value to lower the partial pressure of carbon dioxide by adjusting the flow rate of the enriched gas (change in partial pressure ratio P CO / P CO2), is from time m0 time t 1 C P value has passed since the beginning has been restored to the target value (the value at m0). Then, in approximately 50% of the time of the time t 2 until time m1 time has passed 2 × t 1, C P value is held at a target value.

すなわち、図14の浸炭窒化方法では、先のアンモニア供給流量の変更以降に熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が熱処理炉の容積の2倍以上になるのと同時に、アンモニアの供給流量の変更が実施されているため、C値が目標の値に復帰した後、目標値に保持されている。その後、アンモニアガス供給流量がさらに変化するため、C値の制御の容易性がさらに向上し、一層C値が安定した状態で浸炭窒化処理が実施されている。 That is, in the carbonitriding method of FIG. 14, the volume of the carburized gas supplied to the heat treatment furnace after the change in the previous ammonia supply flow rate at 20 ° C. and 1.05 atm is more than twice the volume of the heat treatment furnace. At the same time, since the change in the supply flow rate of the ammonia is carried out, after the C P value is restored to the value of the target, it is held at the target value. Then, since the ammonia gas supply flow rate further changes, and ease further improvement in the control of the C P value, the more C P value is implemented carbonitriding process in a stable state.

図15は、熱処理炉の容量と同体積(20℃、1.05気圧)の浸炭ガスが熱処理炉に供給されるのに要する時間tに対するアンモニアガス供給流量が変更されるまでの時間tの比率Tが、浸炭窒化処理時間に対するC値が目標値に保持されている時間の割合であるC値安定時間比率に及ぼす影響を示す図である。図15において、横軸はT(=t/t)、縦軸は浸炭窒化処理時間のうちC値が目標値に保持されている時間の割合であるC値安定時間比率である。図15を参照して、TがC値安定時間比率に及ぼす影響について説明する。 FIG. 15 shows the time t 2 until the ammonia gas supply flow rate is changed with respect to the time t 1 required for supplying the carburizing gas having the same volume (20 ° C., 1.05 atm) as the capacity of the heat treatment furnace to the heat treatment furnace. the ratio T of a diagram showing the effect on the C P value stable time ratio is the ratio of the time C P value for the carbonitriding time is held at the target value. 15, the horizontal axis represents T (= t 2 / t 1 ), the vertical axis is the C P value stable time ratio is the ratio of the time C P value among the carbonitriding time is held at the target value . With reference to FIG. 15, the effect of T on the CP value stabilization time ratio will be described.

図15を参照して、Tが1未満では、C値が目標値に保持されている時間は0であり、C値安定時間比率は0となっている。したがって、Tが1未満では、浸炭窒化処理におけるC値の制御が事実上困難となっている。そして、Tが大きくなるにつれてC値安定時間比率は大きくなり、C値の制御が容易となる。図15に示すように、適切なC値の制御を実施するためには、Tは少なくとも1以上必要であり、C値安定時間比率が0.5を超える(すなわち浸炭窒化処理時間のうち50%以上の時間において、C値が目標値に保持されている)2以上とすることが好ましい。さらに、Tを3以上とすることにより、C値安定時間比率が0.65を超え、浸炭窒化処理時間全体の2/3の時間において、C値を目標値に保持することができることがわかる。 Referring to FIG. 15, the T is less than 1, the time C P value is maintained at the target value is 0, C P value stable time ratio is zero. Therefore, if T is less than 1, it is practically difficult to control the CP value in the carbonitriding process. Then, C P value stable time ratio as T increases increases, it becomes easy to control the C P value. As shown in FIG. 15, in order to perform appropriate control of the CP value, T is required to be at least 1 or more, and the CP value stabilization time ratio exceeds 0.5 (that is, out of the carbonitriding time). in more than 50% of the time, it is preferable that the C P value is maintained at the target value) 2 or more. Further, by three or more T, it exceeds the C P value stable time ratio is 0.65, in 2/3 of the time of the entire carbonitriding time, to be able to hold the C P value to the target value Recognize.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiments and examples disclosed herein are illustrative in all respects and should not be construed as being restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の浸炭窒化方法および機械部品の製造方法は、転動疲労強度や耐摩耗性が要求される部材の浸炭窒化方法および転動疲労強度や耐摩耗性が要求される機械部品の製造方法に特に有利に適用され得る。また、本発明の機械部品は、転動疲労強度や耐摩耗性が要求される機械部品に特に有利に適用され得る。   The carbonitriding method and the machine part manufacturing method of the present invention include a carbonitriding method for members that require rolling fatigue strength and wear resistance, and a machine part manufacturing method that requires rolling fatigue strength and wear resistance. It can be applied particularly advantageously. The mechanical component of the present invention can be particularly advantageously applied to a mechanical component that requires rolling fatigue strength and wear resistance.

本発明の一実施の形態である機械部品を備えた転がり軸受としての深溝玉軸受の構成を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure of the deep groove ball bearing as a rolling bearing provided with the machine component which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態である機械部品を備えた転がり軸受としてのスラストニードルころ軸受の構成を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure of the thrust needle roller bearing as a rolling bearing provided with the machine component which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態である機械部品を備えた等速ジョイントの構成を示す概略部分断面図である。It is a general | schematic fragmentary sectional view which shows the structure of the constant velocity joint provided with the machine component which is one embodiment of this invention. 図3の線分IV−IVに沿う概略断面図である。It is a schematic sectional drawing in alignment with line segment IV-IV of FIG. 図3の等速ジョイントが角度をなした状態を示す概略部分断面図である。FIG. 4 is a schematic partial sectional view showing a state in which the constant velocity joint of FIG. 3 forms an angle. 本発明の一実施の形態における機械部品および当該機械部品を備えた機械要素の製造方法の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the manufacturing method of the machine component and the machine element provided with the said machine component in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態における機械部品の製造方法に含まれる焼入硬化工程の詳細を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detail of the quench hardening process included in the manufacturing method of the machine component in one embodiment of this invention. 図7の浸炭窒化工程が備えている分圧制御工程に含まれる一酸化炭素と二酸化炭素との分圧の比の制御方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the control method of the ratio of the partial pressure of carbon monoxide and carbon dioxide included in the partial pressure control process with which the carbonitriding process of FIG. 7 is equipped. 図7の浸炭窒化工程に含まれる加熱パターン制御工程における加熱パターン(被処理物に与えられる温度履歴)の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heating pattern (temperature history given to a to-be-processed object) in the heating pattern control process included in the carbonitriding process of FIG. 図7の浸炭窒化工程が備えている未分解アンモニア濃度制御工程のアンモニア供給量調節工程に含まれるアンモニアの供給量の制御方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the control method of the supply amount of ammonia contained in the ammonia supply amount adjustment process of the undecomposed ammonia concentration control process with which the carbonitriding process of FIG. 7 is equipped. 浸炭窒化処理時間9000秒、a値1.0の条件の下で浸炭窒化処理を実施した場合における、熱処理炉内の未分解アンモニア量と被処理物への窒素侵入量(被処理物の単位表面積から被処理物の内部に侵入した窒素の質量)との関係を示す図である。The amount of undecomposed ammonia in the heat treatment furnace and the amount of nitrogen intruding into the object to be processed (unit of the object to be processed) when the carbonitriding process is performed under the condition of carbonitriding time 9000 seconds and a C value 1.0 It is a figure which shows the relationship with the mass of the nitrogen which penetrate | invaded into the to-be-processed object from the surface area. アンモニアガス供給流量が変更されるまでの時間tを熱処理炉の容量と同体積(20℃、1.05気圧)の浸炭ガスが熱処理炉に供給されるのに要する時間tの1/2とした場合のC値の安定性を示す図である。Capacity and the same volume of the heat treatment furnace time t 2 until the ammonia gas supply flow rate is changed (20 ° C., 1.05 atm) 1/2 time carburizing gas required to be supplied to the heat treatment furnace t 1 of It is a figure which shows stability of CP value at the time of setting. をtと等しくした場合のC値の安定性を示す図である。The t 2 is a diagram showing the stability of C P value when equal to t 1. をtの2倍とした場合のC値の安定性を示す図である。The t 2 is a diagram showing the stability of C P value when twice the t 1. 熱処理炉の容量と同体積(20℃、1.05気圧)の浸炭ガスが熱処理炉に供給されるのに要する時間tに対するアンモニアガス供給流量が変更されるまでの時間tの比率Tが、浸炭窒化処理時間に対するC値が目標値に保持されている時間の割合であるC値安定時間比率に及ぼす影響を示す図である。The ratio T of the time t 2 until the ammonia gas supply flow rate is changed with respect to the time t 1 required for the carburizing gas having the same volume (20 ° C., 1.05 atm) as the capacity of the heat treatment furnace to be supplied to the heat treatment furnace is shows the effect of C P value for the carbonitriding time is on the C P value stable time ratio is the ratio of time held at the target value.

符号の説明Explanation of symbols

1 深溝玉軸受、2 スラストニードルころ軸受、3 等速ジョイント、11 外輪、11A 外輪転走面、12 内輪、12A 内輪転走面、13 玉、14 保持器、21 軌道輪、21A 軌道輪転走面、23 ニードルころ、24 保持器、31 インナーレース、31A インナーレースボール溝、32 アウターレース、32A アウターレースボール溝、33 ボール、34 ケージ、35,36 軸。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Deep groove ball bearing, 2 Thrust needle roller bearing, 3 Constant velocity joint, 11 Outer ring, 11A Outer ring rolling surface, 12 Inner ring, 12A Inner ring rolling surface, 13 Ball, 14 Cage, 21 Race ring, 21A Race ring rolling surface , 23 Needle roller, 24 cage, 31 inner race, 31A inner race ball groove, 32 outer race, 32A outer race ball groove, 33 balls, 34 cage, 35, 36 shafts.

Claims (5)

熱処理炉内の雰囲気が制御される雰囲気制御工程と、
前記熱処理炉内において被処理物に付与される温度履歴が制御される加熱パターン制御工程とを備え、
前記雰囲気制御工程は、
前記熱処理炉内に供給されるアンモニアの供給量を調節することにより前記熱処理炉内の未分解アンモニア濃度を制御する未分解アンモニア濃度制御工程と、
前記熱処理炉内の一酸化炭素および二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧を制御する分圧制御工程とを含み、
前記分圧制御工程では、前記未分解アンモニア濃度制御工程において前記アンモニアの供給量が変更された場合であって、前記一酸化炭素の分圧と前記二酸化炭素の分圧との比である分圧比が変化した場合に、前記アンモニアの供給量の変更前の前記分圧比から前記アンモニアの供給量が変更された後の前記分圧比への変化を打ち消すように、前記一酸化炭素および前記二酸化炭素の少なくともいずれか一方の分圧が変更され、
前記未分解アンモニア濃度制御工程では、前記未分解アンモニア濃度制御工程において直前に実施された先のアンモニア供給量の変更以降に前記熱処理炉に供給された浸炭ガスの20℃、1.05気圧における体積が前記熱処理炉の容積以上となった否かが判断され、前記体積が前記熱処理炉の容積以上となったと判断された場合に、前記アンモニアの供給量の変更が実施される、浸炭窒化方法。
An atmosphere control process in which the atmosphere in the heat treatment furnace is controlled;
A heating pattern control step in which the temperature history applied to the workpiece in the heat treatment furnace is controlled,
The atmosphere control step includes
An undecomposed ammonia concentration control step of controlling the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace by adjusting the supply amount of ammonia supplied into the heat treatment furnace;
A partial pressure control step of controlling a partial pressure of at least one of carbon monoxide and carbon dioxide in the heat treatment furnace,
In the partial pressure control step, the partial pressure ratio is a ratio of the partial pressure of the carbon monoxide and the partial pressure of the carbon dioxide when the supply amount of the ammonia is changed in the undecomposed ammonia concentration control step. Is changed, the carbon monoxide and the carbon dioxide so as to cancel the change from the partial pressure ratio before the change in the ammonia supply amount to the partial pressure ratio after the ammonia supply amount is changed. At least one of the partial pressures is changed,
In the in the undecomposed ammonia concentration control step, the later change of the ammonia supply amount of the performed previously just before the undecomposed ammonia concentration control step, 20 ° C., 1.05 atm carburizing gas supplied to the heat treatment furnace volume, whether became more volume of the heat treatment furnace is determined, if the volume is determined to be equal to or more than the volume of the heat treatment furnace, changes of the supply amount of the ammonia is carried out, carbonitriding Method.
前記未分解アンモニア濃度制御工程では、前記熱処理炉内の未分解アンモニア濃度が測定され、前記未分解アンモニア濃度と前記被処理物の表層部における窒素濃度との関係に基づいて、前記熱処理炉内に供給されるアンモニアの流量を調節することにより、前記被処理物の表層部における窒素濃度が制御される、請求項1に記載の浸炭窒化方法。   In the undecomposed ammonia concentration control step, the undecomposed ammonia concentration in the heat treatment furnace is measured, and based on the relationship between the undecomposed ammonia concentration and the nitrogen concentration in the surface layer portion of the workpiece, The carbonitriding method according to claim 1, wherein a nitrogen concentration in a surface layer portion of the workpiece is controlled by adjusting a flow rate of supplied ammonia. 機械部品の概略形状に成形された鋼製部材を準備する鋼製部材準備工程と、
前記鋼製部材準備工程において準備された前記鋼製部材に対して、浸炭窒化処理を実施した後、A1点以上の温度からMS点以下の温度へ冷却することにより、前記鋼製部材を焼入硬化する焼入硬化工程とを備え、
前記焼入硬化工程における前記浸炭窒化処理は、請求項1または2に記載の浸炭窒化方法を用いて実施される、機械部品の製造方法。
A steel member preparation step of preparing a steel member formed into a schematic shape of a machine part;
After the carbonitriding process is performed on the steel member prepared in the steel member preparation step, the steel member is quenched by cooling from a temperature of A1 point or higher to a temperature of MS point or lower. A quench hardening process to cure,
The said carbonitriding process in the said quench hardening process is a manufacturing method of the machine component implemented using the carbonitriding method of Claim 1 or 2 .
請求項に記載の機械部品の製造方法により製造された、機械部品。 A machine part manufactured by the method for manufacturing a machine part according to claim 3 . 軸受を構成する部品として用いられる、請求項に記載の機械部品。 The machine part according to claim 4 , which is used as a part constituting a bearing.
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