JP4356106B2 - Zirconia oxygen analyzer and its starting method - Google Patents

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Description

本発明は、高温に加熱されたジルコニア式センサを有するジルコニア式酸素濃度計に関するものである。   The present invention relates to a zirconia oxygen analyzer having a zirconia sensor heated to a high temperature.

図4は、従来のジルコニア式酸素濃度計の一例を示す構成図である。図において、1は被測定ガスの酸素濃度に応じた起電力を発生するジルコニア式センサ、2はこのジルコニア式センサ1から発生される起電力を受け、酸素濃度に対応した測定出力信号に変換する変換器、3はジルコニア式センサ1を加熱するヒータ、4はヒータ3に電力を供給するヒータ電力線、5はヒータ3の温度制御を行うための温度制御信号線、6はジルコニア式センサ1の起電力を伝送するセンサ出力線、7は変換器2から得られる測定出力信号を伝送する出力信号線である。変換器2には、図示していないが、ヒータ3を介してジルコニア式センサ1の温度を所定の温度に維持するための温度制御装置が含まれている。   FIG. 4 is a configuration diagram showing an example of a conventional zirconia oxygen concentration meter. In the figure, 1 is a zirconia sensor that generates an electromotive force according to the oxygen concentration of the gas to be measured, and 2 is an electromotive force generated from the zirconia sensor 1 and converts it into a measurement output signal corresponding to the oxygen concentration. The converter 3 is a heater for heating the zirconia sensor 1, 4 is a heater power line for supplying power to the heater 3, 5 is a temperature control signal line for controlling the temperature of the heater 3, and 6 is a start of the zirconia sensor 1. A sensor output line for transmitting electric power and 7 is an output signal line for transmitting a measurement output signal obtained from the converter 2. Although not shown, the converter 2 includes a temperature control device for maintaining the temperature of the zirconia sensor 1 at a predetermined temperature via the heater 3.

ジルコニア式センサ1においては、センサ部が750℃の高温に加熱された状態において、センサの両側に被測定ガスと比較ガス(スパンガス)とを流通させることにより、両ガスの酸素濃度の差に応じた起電力が発生される。また、この起電力は、変換器2により被測定ガスの酸素濃度に対応した測定出力信号(4〜20mA)に変換され、出力信号線7を介して伝送される。   In the zirconia sensor 1, the gas to be measured and the reference gas (span gas) are circulated on both sides of the sensor in a state where the sensor portion is heated to a high temperature of 750 ° C., thereby responding to the difference in oxygen concentration between the two gases. Electromotive force is generated. The electromotive force is converted into a measurement output signal (4 to 20 mA) corresponding to the oxygen concentration of the gas to be measured by the converter 2 and transmitted through the output signal line 7.

特開2000−266719号公報JP 2000-266719 A

ここで、ジルコニア式センサ1は、測定動作の開始に先立って、所定の温度(750℃)まで加熱されるもので、本体の電源が投入されると同時に、ヒータ3に電力が供給され、その加熱(温度制御)が開始される。また、ジルコニア式センサ1が所定の温度まで加熱された後は、測定動作が開始されるが、測定動作の前に校正動作が行われる場合もある。この校正動作は、スパンガスおよびゼロガスと呼ばれる校正ガスを順次測定することにより行われる。   Here, the zirconia sensor 1 is heated to a predetermined temperature (750 ° C.) prior to the start of the measurement operation, and power is supplied to the heater 3 at the same time when the power of the main body is turned on. Heating (temperature control) is started. Further, after the zirconia sensor 1 is heated to a predetermined temperature, the measurement operation is started, but a calibration operation may be performed before the measurement operation. This calibration operation is performed by sequentially measuring calibration gas called span gas and zero gas.

すなわち、一般にスパンガスは酸素21%、窒素79%を含むガス、ゼロガス9は酸素1%、窒素99%を含むガスであり、これらのガスに対する検出出力を基に測定出力信号の校正が行われる。   That is, the span gas is generally a gas containing 21% oxygen and 79% nitrogen, and the zero gas 9 is a gas containing 1% oxygen and 99% nitrogen, and the measurement output signal is calibrated based on the detection outputs for these gases.

しかしながら、ジルコニア式酸素濃度計の校正動作時において、結露などの要因により、校正ガスの配管内に水滴が付着していた場合には、校正ガスの供給とともに、水滴が加熱されたセンサ部に送られ、水滴の気化熱により、ジルコニア式センサ1が損傷してしまうことがある。   However, during calibration operation of the zirconia oxygen analyzer, if water droplets adhere to the calibration gas piping due to factors such as condensation, the calibration gas is supplied and the water droplets are sent to the heated sensor unit. Therefore, the zirconia sensor 1 may be damaged by the heat of vaporization of the water droplets.

本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、本体の電源投入時において、校正ガスの配管内に水滴が付着していた場合にも、校正動作時にジルコニア式センサ1を損傷してしまうことのないジルコニア式酸素濃度計およびその起動方法を実現することを目的としたものである。   The present invention eliminates the disadvantages of the conventional apparatus as described above, and damages the zirconia sensor 1 during the calibration operation even when water droplets adhere to the calibration gas piping when the main body is turned on. It is intended to realize a zirconia oxygen analyzer and a starting method thereof.

上記のような目的を達成するために、本発明の請求項1では、ジルコニア式センサと、このジルコニア式センサを加熱するヒータと、校正動作に使用する校正ガスを前記ジルコニア式センサに供給する配管と本体の電源投入時には制御弁を駆動して所定の時間前記配管内に前記校正ガスを流通させ、その後前記ヒータでジルコニア式センサの加熱を開始する変換器と、を備えたことを特徴とするジルコニア式酸素濃度計である

In order to achieve the above object, in claim 1 of the present invention, a zirconia sensor, a heater for heating the zirconia sensor, and piping for supplying a calibration gas used for a calibration operation to the zirconia sensor. And a converter that drives the control valve when the main body is turned on to circulate the calibration gas in the pipe for a predetermined time, and then starts heating the zirconia sensor with the heater, This is a zirconia oxygen analyzer .

請求項2では、請求項1のジルコニア式酸素濃度計において、前記校正ガスとしてスパンガスおよびゼロガスを有し、前記ジルコニア式センサの加熱前には前記配管内にスパンガスを流通させることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the zirconia oximeter of the first aspect, the calibration gas includes a span gas and a zero gas, and the span gas is circulated through the pipe before the zirconia sensor is heated.

請求項3では、請求項2のジルコニア式酸素濃度計において、前記スパンガスは空気であることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the zirconia oximeter of the second aspect, the span gas is air.

請求項4では、請求項2のジルコニア式酸素濃度計において、前記スパンガスは計装エアであることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the zirconia oximeter of the second aspect, the span gas is instrument air.

請求項5では、ジルコニア式酸素濃度計の起動方法であり、ジルコニア式センサと、このジルコニア式センサを加熱するヒータと、校正動作に使用する校正ガスを前記ジルコニア式センサに供給する配管とを具備するジルコニア式酸素濃度計を起動する起動方法において、本体の電源を投入するステップと、この電源投入に応じて所定の時間前記配管内に前記校正ガスを流通させるステップと、その後前記ジルコニア式センサの加熱を開始するステップと、前記ジルコニア式センサの温度が所定の値に達した後に測定動作を開始するステップと、前記測定動作における任意のタイミングで校正動作を行うステップとを有することを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a starting method for a zirconia oxygen analyzer, comprising a zirconia sensor, a heater for heating the zirconia sensor, and piping for supplying a calibration gas used for a calibration operation to the zirconia sensor. In the starting method for starting the zirconia oxygen concentration meter, the step of turning on the power of the main body, the step of circulating the calibration gas in the pipe for a predetermined time in response to the turning on of the power, and then the zirconia sensor The method includes a step of starting heating, a step of starting a measurement operation after the temperature of the zirconia sensor reaches a predetermined value, and a step of performing a calibration operation at an arbitrary timing in the measurement operation. .

請求項6では、請求項5のジルコニア式酸素濃度計の起動方法において、前記校正ガスとしてスパンガスおよびゼロガスを有し、前記ジルコニア式センサの加熱前には前記配管内にスパンガスを流通させることを特徴とする。   The zirconia oximeter start method according to claim 5, wherein the calibration gas includes a span gas and a zero gas, and the span gas is circulated in the pipe before the zirconia sensor is heated. And

請求項7では、請求項6のジルコニア式酸素濃度計の起動方法において、前記スパンガスは空気であることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the zirconia oximeter start method according to the sixth aspect, the span gas is air.

請求項8では、請求項6のジルコニア式酸素濃度計の起動方法において、前記スパンガスは計装エアであることを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in the method for starting the zirconia oximeter according to the sixth aspect, the span gas is instrument air.

このように、本体の電源投入時には、所定の時間配管内に校正ガスを流通させ、その後、ジルコニア式センサの加熱を開始するようにすると、校正ガスの流通により、配管内の水滴(ドレン)を除去し、校正動作時における水滴によるセンサ部の損傷を防止することができる。
流通させる校正ガスにスパンガスを使用すれば、ガスの入手コストを低減することができる。
また、流通させるスパンガスに空気を使用すれば、ガスの入手コストをより低減することができる。
さらに、流通させるスパンガスに計装エアを利用すれば、湿度や清浄性の面で良好なスパンガスを得ることができる。
As described above, when the main body is turned on, the calibration gas is allowed to flow in the pipe for a predetermined time, and then the heating of the zirconia sensor is started. It is possible to prevent the sensor unit from being damaged by water drops during the calibration operation.
If span gas is used as the calibration gas to be circulated, the gas acquisition cost can be reduced.
Moreover, if air is used for the span gas to distribute | circulate, the acquisition cost of gas can be reduced more.
Furthermore, if instrumented air is used as the span gas to be circulated, a good span gas can be obtained in terms of humidity and cleanliness.

以下、図面を用いて、本発明のジルコニア式酸素濃度計およびその起動方法を説明する。   Hereinafter, the zirconia oxygen concentration meter and the starting method thereof according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明のジルコニア式酸素濃度計およびその起動方法の一実施例を示す構成図である。図において、前記図4と同様のものは同一符号を付して示す。8は校正ガスとして校正動作に使用されるスパンガス、9は校正ガスとして校正動作に使用されるゼロガスで、ここでは、ガスボンベに封入されている。10はこれらの校正ガスをジルコニア式センサ1に供給する配管、11,12は校正ガス(スパンガス8およびゼロガス9)の流路を切り換える制御弁、13はスパンガス8を比較ガスとしてジルコニア式センサ1に供給する制御弁である。制御弁11,12,13の動作は、変換器2によって制御される。   FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a zirconia oxygen analyzer and a starting method thereof according to the present invention. In the figure, components similar to those in FIG. 8 is a span gas used for the calibration operation as a calibration gas, and 9 is a zero gas used for the calibration operation as a calibration gas. Here, the gas is sealed in a gas cylinder. 10 is a piping for supplying these calibration gases to the zirconia sensor 1, 11 and 12 are control valves for switching the flow path of the calibration gas (span gas 8 and zero gas 9), and 13 is a zirconia sensor 1 using the span gas 8 as a comparison gas. Control valve to be supplied. The operation of the control valves 11, 12, 13 is controlled by the converter 2.

前述したように、スパンガス8は、一般に酸素21%、窒素79%を含むガス、ゼロガス9は、酸素1%、窒素99%を含むガスであり、これらスパンガス8およびゼロガス9を使用して、装置の校正が行われる。また、スパンガス8は、測定動作時および校正動作時において、比較ガスとしても使用されている。   As described above, the span gas 8 is generally a gas containing 21% oxygen and 79% nitrogen, and the zero gas 9 is a gas containing 1% oxygen and 99% nitrogen. Is calibrated. The span gas 8 is also used as a reference gas during the measurement operation and the calibration operation.

図2は、本発明のジルコニア式酸素濃度計における電源投入時(起動時)の動作を示すタイムチャートである。図に示すように、時刻t1において装置の主電源が投入されたとすると、まず、制御弁11,12,13が駆動され、スパンガス8が配管10に供給される。スパンガス8は配管10を介してジルコニア式センサ1に流通させても良いし、配管10の終端から大気に放出させても良い。スパンガス8の供給は所定の時間(t2)まで継続される。   FIG. 2 is a time chart showing the operation of the zirconia oxygen analyzer according to the present invention when the power is turned on (starting up). As shown in the figure, when the main power supply of the apparatus is turned on at time t1, first, the control valves 11, 12, 13 are driven, and the span gas 8 is supplied to the pipe 10. The span gas 8 may be circulated through the pipe 10 to the zirconia sensor 1 or may be discharged from the end of the pipe 10 to the atmosphere. The supply of the span gas 8 is continued until a predetermined time (t2).

ここで、配管10内にスパンガス8を流通させると、配管10内に水滴が付着していた場合にも、スパンガス8により水滴を除去することができる。水滴の除去は、風圧により吹き飛ばすことや、蒸発させることにより実現される。なお、スパンガス8を供給する時間は、配管10の構造やスパンガス8の流量などにより、経験的に決定される。   Here, when the span gas 8 is circulated in the pipe 10, the water droplets can be removed by the span gas 8 even when water drops are attached in the pipe 10. The removal of water droplets is realized by blowing off by wind pressure or evaporating. The time for supplying the span gas 8 is empirically determined by the structure of the pipe 10 and the flow rate of the span gas 8.

スパンガス8を所定の時間供給した後は、時刻t2において、スパンガス8の供給が停止され、ヒータ3に電力が供給されて、ジルコニア式センサ1の加熱が開始される。その後、ジルコニア式センサ1の温度が上昇し、所定の温度(750℃)に達すると(時刻t3)、通常の測定動作に先立って、校正動作が開始される。校正動作においては、スパンガス8およびゼロガス9が制御弁11,12を介して、順次ジルコニア式センサ1に供給され、同時に、スパンガス8が制御弁13を介して、比較ガスとしてジルコニア式センサ1に供給される。   After supplying the span gas 8 for a predetermined time, supply of the span gas 8 is stopped at time t2, power is supplied to the heater 3, and heating of the zirconia sensor 1 is started. Thereafter, when the temperature of the zirconia sensor 1 rises and reaches a predetermined temperature (750 ° C.) (time t3), the calibration operation is started prior to the normal measurement operation. In the calibration operation, the span gas 8 and the zero gas 9 are sequentially supplied to the zirconia sensor 1 via the control valves 11 and 12, and at the same time, the span gas 8 is supplied to the zirconia sensor 1 as a comparison gas via the control valve 13. Is done.

この時、配管10内の水滴は、センサ加熱前のスパンガス8の流通により、完全に除去されているので、配管10内に付着していた水滴が加熱されたセンサ部に送られてしまうことがなく、校正動作時にジルコニア式センサ1を損傷してしまうことがない。   At this time, since the water droplets in the pipe 10 are completely removed by the circulation of the span gas 8 before the sensor heating, the water droplets adhering in the pipe 10 may be sent to the heated sensor unit. In addition, the zirconia sensor 1 is not damaged during the calibration operation.

このようにして、ジルコニア式酸素濃度計の主電源が投入された際には、ヒータ3の加熱に先立って、まず、配管10内にスパンガス8が所定時間供給され、その後、ヒータ3の加熱が開始され、ジルコニア式センサ1の温度が所定の温度に達した後に、通常の校正(測定)動作が開始される。これらの動作シーケンスは、変換器2に記憶され、各部の制御動作の一部として実行される。なお、校正動作を実行するタイミングは、任意であり、測定動作の前であっても、途中であっても良い。   In this way, when the main power supply of the zirconia oximeter is turned on, the span gas 8 is first supplied into the pipe 10 for a predetermined time before the heater 3 is heated, and then the heater 3 is heated. After the start and the temperature of the zirconia sensor 1 reaches a predetermined temperature, a normal calibration (measurement) operation is started. These operation sequences are stored in the converter 2 and executed as part of the control operation of each unit. The timing for executing the calibration operation is arbitrary, and may be before or during the measurement operation.

ここで、配管10における水滴の除去にスパンガス8を使用するのは、スパンガス8が空気から生成され、安価に入手可能であるためである。なお、この水滴除去に使用するガスには、空気(スパンガス8)のみではなく、無害なガスであれば、他の校正ガス(ゼロガス9)など、どのようなガスでも使用することができる。   Here, the span gas 8 is used for removing water droplets in the pipe 10 because the span gas 8 is generated from air and can be obtained at low cost. As the gas used for removing the water droplets, not only air (span gas 8) but also any gas such as other calibration gas (zero gas 9) can be used as long as it is harmless.

図3は、本発明のジルコニア式酸素濃度計の他の実施例を示す構成図である。図において、前記図1と同様のものは同一符号を付して示す。14は計装エアであり、図に示す例は、計装エア14をスパンガスとして使用したものである。ジルコニア式酸素濃度計が使用されるような計装プラントにおいては、プラント内に計装用のエア配管が設置されている場合が多く、この計装エア14を利用すれば、スパンガス用のボンベを用意する必要がなくなる。   FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the zirconia oxygen analyzer according to the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. Reference numeral 14 denotes instrumentation air. In the example shown in the figure, the instrumentation air 14 is used as a span gas. In instrumentation plants where zirconia oxygen analyzers are used, there are many cases where air piping for instrumentation is installed in the plant, and if this instrumentation air 14 is used, a cylinder for span gas is prepared. There is no need to do it.

計装エア14はダストなどの不純物が除去され、湿度もほぼ一定に保たれているので、この計装エア14をスパンガスとして利用すれば、湿度や清浄性の面で良好なスパンガスを得ることができる。また、ジルコニア式酸素濃度計においては、常に、スパンガスおよびゼロガスを使用した校正動作を行っているので、計装エア14の成分が急激に変動しない限り、測定精度に悪影響を与えてしまうことはない。   Since the instrumentation air 14 is free of impurities such as dust and the humidity is kept substantially constant, if the instrumentation air 14 is used as a span gas, a good span gas can be obtained in terms of humidity and cleanliness. it can. In addition, since the zirconia oxygen analyzer always performs a calibration operation using a span gas and a zero gas, the measurement accuracy is not adversely affected unless the components of the instrument air 14 fluctuate rapidly. .

図1は本発明のジルコニア式酸素濃度計およびその起動方法の一実施例を示す構成図。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a zirconia oxygen analyzer according to the present invention and a starting method thereof. 図2は本発明のジルコニア式酸素濃度計における電源投入時(起動時)の動作を示すタイムチャート。FIG. 2 is a time chart showing the operation of the zirconia oxygen analyzer according to the present invention when the power is turned on (starting up). 図3は本発明のジルコニア式酸素濃度計およびその起動方法の他の実施例を示す構成図。FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the zirconia oxygen analyzer of the present invention and its starting method. 図4は従来のジルコニア式酸素濃度計の一例を示す構成図。FIG. 4 is a block diagram showing an example of a conventional zirconia oxygen analyzer.

符号の説明Explanation of symbols

1 ジルコニア式センサ
2 変換器
3 ヒータ
4 ヒータ電力線
5 温度制御信号線
6 センサ出力線
7 出力信号線
8 スパンガス
9 ゼロガス
10 配管
11 制御弁
12 制御弁
13 制御弁
14 計装エア
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Zirconia type sensor 2 Converter 3 Heater 4 Heater power line 5 Temperature control signal line 6 Sensor output line 7 Output signal line 8 Span gas 9 Zero gas 10 Piping 11 Control valve 12 Control valve 13 Control valve 14 Instrument air

Claims (8)

ジルコニア式センサと、このジルコニア式センサを加熱するヒータと、校正動作に使用する校正ガスを前記ジルコニア式センサに供給する配管と本体の電源投入時には制御弁を駆動して所定の時間前記配管内に前記校正ガスを流通させ、その後前記ヒータでジルコニア式センサの加熱を開始する変換器と、を備えたことを特徴とするジルコニア式酸素濃度計。
A zirconia sensor, a heater for heating the zirconia sensor, a pipe for supplying a calibration gas used for a calibration operation to the zirconia sensor, and a control valve is driven when the main body is turned on for a predetermined time in the pipe. A zirconia oxygen concentration meter comprising: a converter that causes the calibration gas to flow through and then starts heating the zirconia sensor with the heater .
前記校正ガスとしてスパンガスおよびゼロガスを有し、前記ジルコニア式センサの加熱前には前記配管内にスパンガスを流通させることを特徴とする請求項1に記載のジルコニア式酸素濃度計。   2. The zirconia oxygen concentration meter according to claim 1, wherein the calibration gas includes a span gas and a zero gas, and the span gas is circulated in the pipe before heating the zirconia sensor. 前記スパンガスは空気であることを特徴とする請求項2に記載のジルコニア式酸素濃度計。   The zirconia oxygen analyzer according to claim 2, wherein the span gas is air. 前記スパンガスは計装エアであることを特徴とする請求項2に記載のジルコニア式酸素濃度計。   The zirconia oximeter according to claim 2, wherein the span gas is instrument air. ジルコニア式センサと、このジルコニア式センサを加熱するヒータと、校正動作に使用する校正ガスを前記ジルコニア式センサに供給する配管とを具備するジルコニア式酸素濃度計を起動する起動方法において、本体の電源を投入するステップと、この電源投入に応じて所定の時間前記配管内に前記校正ガスを流通させるステップと、その後前記ジルコニア式センサの加熱を開始するステップと、前記ジルコニア式センサの温度が所定の値に達した後に測定動作を開始するステップと、前記測定動作における任意のタイミングで校正動作を行うステップとを有することを特徴とするジルコニア式酸素濃度計の起動方法。   In a starting method for starting a zirconia oximeter comprising a zirconia sensor, a heater for heating the zirconia sensor, and a pipe for supplying a calibration gas used for a calibration operation to the zirconia sensor, A step of flowing the calibration gas through the pipe for a predetermined time in response to the power-on, a step of starting heating the zirconia sensor, and a temperature of the zirconia sensor being a predetermined temperature. A method for starting a zirconia oximeter, comprising: starting a measurement operation after reaching a value; and performing a calibration operation at an arbitrary timing in the measurement operation. 前記校正ガスとしてスパンガスおよびゼロガスを有し、前記ジルコニア式センサの加熱前には前記配管内にスパンガスを流通させることを特徴とする請求項5に記載のジルコニア式酸素濃度計の起動方法。   6. The zirconia oxygen analyzer start method according to claim 5, wherein span gas and zero gas are used as the calibration gas, and the span gas is circulated in the pipe before heating the zirconia sensor. 前記スパンガスは空気であることを特徴とする請求項6に記載のジルコニア式酸素濃度計の起動方法。   The method of starting a zirconia oximeter according to claim 6, wherein the span gas is air. 前記スパンガスは計装エアであることを特徴とする請求項6に記載のジルコニア式酸素濃度計の起動方法。
The method of starting a zirconia oximeter according to claim 6, wherein the span gas is instrument air.
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