JP4318038B2 - Optical element for optical communication module and optical communication module - Google Patents

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Description

本発明は、回折構造を有する光通信モジュール用光学素子及びこの光学素子を用いて光信号の送信及び受信のために端末に配置される光通信モジュールに関する。 The present invention relates to an optical element for an optical communication module having a diffractive structure and an optical communication module disposed in a terminal for transmitting and receiving an optical signal using the optical element.

従来、波長の異なる光による双方向伝送による光通信システムでは、光信号の送受信端末に受光素子や発光素子等からなる光通信モジュールを配置し、送信・受信の各光を回折格子で分離している。かかる従来の光通信モジュールの例を図16に示す(下記特許文献1参照)。図16の従来の光通信モジュールは、ホログラム光学素子111を半導体レーザ110とフォトダイオード120が実装された支持台130と光ファイバ340の端末140との間に配置し、ホログラム光学素子111は基板の一方の面に回折格子160が形成されかつ基板の他方の面にレンズ170が形成されている。図16のような光通信モジュールによれば、小型化できコストダウンを図ることができる。   Conventionally, in an optical communication system based on bidirectional transmission using light of different wavelengths, an optical communication module composed of a light receiving element, a light emitting element, etc. is arranged at an optical signal transmission / reception terminal, and each light transmitted and received is separated by a diffraction grating. Yes. An example of such a conventional optical communication module is shown in FIG. 16 (see Patent Document 1 below). In the conventional optical communication module of FIG. 16, the hologram optical element 111 is disposed between the support base 130 on which the semiconductor laser 110 and the photodiode 120 are mounted and the terminal 140 of the optical fiber 340. A diffraction grating 160 is formed on one surface, and a lens 170 is formed on the other surface of the substrate. According to the optical communication module as shown in FIG. 16, the size can be reduced and the cost can be reduced.

しかし、図16のように、グレーティングの場合は、回折効率を確保したり偏光依存性が無いような状態にする必要があるため、異次光例えば0次光と1次光の分光では角度0.05ラジアン以内程度にしか分離できない。この分離角は、回折格子からの距離を30mmとすると、1.5mmに相当する。このように、図16のようなグレーティングを用いた光モジュールでは、分離角を大きく確保することが困難であり、このため、光モジュールのパッケージの大型化を避けるためには、半導体レーザ等の発光素子とフォトダイオード等の受光素子とを空間的に近い距離に配置する必要がある。   However, as shown in FIG. 16, in the case of a grating, since it is necessary to ensure diffraction efficiency or to have no polarization dependence, an angle of 0 is used for the spectroscopy of different-order light, for example, zero-order light and first-order light. It can be separated only within .05 radians. This separation angle corresponds to 1.5 mm when the distance from the diffraction grating is 30 mm. As described above, in the optical module using the grating as shown in FIG. 16, it is difficult to ensure a large separation angle. For this reason, in order to avoid an increase in the size of the optical module package, light emission from a semiconductor laser or the like is required. It is necessary to dispose the element and a light receiving element such as a photodiode at a spatially close distance.

そうすると、発光素子からの出射光と受光素子への入射光との間の光学的なクロストークが問題となってしまう。特に、出射光に比べ入射光はその光強度が低いため、出射光による入射光への影響が問題となり易く、この場合、入射光の回折格子における回折効率の低下が問題となる。
特開平5−241049号公報
Then, the optical crosstalk between the emitted light from the light emitting element and the incident light to the light receiving element becomes a problem. In particular, since the incident light has a lower light intensity than the emitted light, the influence of the emitted light on the incident light is likely to be a problem. In this case, a decrease in diffraction efficiency of the incident light in the diffraction grating becomes a problem.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-241049

本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、発光素子からの出射光と受光素子への入射光との光学的なクロストークによる影響を低減するために入射光に関する回折効率を相対的に高めることのできる光通信モジュール用光学素子及び光通信モジュールを提供することを目的とする。 In view of the above-described problems of the prior art, the present invention provides a relative diffraction efficiency with respect to incident light in order to reduce the influence of optical crosstalk between the light emitted from the light emitting element and the light incident on the light receiving element. It is an object of the present invention to provide an optical element for an optical communication module and an optical communication module that can be improved.

本参考例による光学素子は、光学面に回折構造が異なる複数の回折領域を備えることを特徴とする。 The optical element according to this reference example includes a plurality of diffraction regions having different diffraction structures on an optical surface.

この光学素子によれば、回折構造が異なる複数の回折領域の内で、回折効率の比較的大きい回折構造による回折領域により受光素子への入射光の回折光の効率を大きくできる一方、回折効率の比較的小さい回折構造による別の回折領域で発光素子からの出射光の効率が低下しても、さほど問題とならない。これにより、入射光に関する回折効率を相対的に高めることができ、出射光と入射光との光学的なクロストークによる影響を低減することが可能となる。   According to this optical element, the efficiency of the diffracted light incident on the light receiving element can be increased by a diffraction area having a relatively large diffraction efficiency among a plurality of diffraction areas having different diffraction structures. Even if the efficiency of the emitted light from the light emitting element is lowered in another diffraction region having a relatively small diffractive structure, it does not matter so much. Thereby, the diffraction efficiency regarding incident light can be relatively increased, and the influence of optical crosstalk between outgoing light and incident light can be reduced.

上記光学素子において前記光学面が回折構造を有しない回折無領域を備えることで、発光素子からの出射光の効率を大きくできる。   In the optical element, the optical surface includes a non-diffractive region having no diffractive structure, so that the efficiency of light emitted from the light emitting element can be increased.

本発明による光通信モジュール用光学素子は、発光素子、受光素子及び光ファイバを配設して波長が異なる光が双方向に伝送される光通信モジュールに用いられる光通信モジュール用光学素子において、光ファイバからの入射光と発光素子からの出射光が光学面を互いに反対側に通過する際に、前記光学面において前記入射光が通過する入射光領域と前記出射光が通過する出射光領域とがそれぞれ一部で重なり合う共用領域と、前記入射光のみが通過する入射光専用領域と、を形成し、前記共用領域にはエシュロン回折構造を有するとともに、前記入射光専用領域にはブレーズ回折構造を有し、前記入射光の1次回折光を前記受光素子に集光するように出射するとともに、前記出射光の0次光を前記光ファイバに集光するように出射することを特徴とする。 An optical element for an optical communication module according to the present invention is an optical element for an optical communication module used in an optical communication module in which light having different wavelengths is transmitted bidirectionally by arranging a light emitting element, a light receiving element, and an optical fiber. When the incident light from the fiber and the outgoing light from the light emitting element pass through the optical surfaces opposite to each other, there are an incident light region through which the incident light passes and an outgoing light region through which the outgoing light passes through the optical surface. A shared region that partially overlaps with each other and an incident light dedicated region through which only the incident light passes are formed. The shared region has an echelon diffraction structure, and the incident light dedicated region has a blaze diffraction structure. that is, with emitted as converging light to the light receiving element 1-order diffracted light of the incident light, and emits the 0 order light of the emitted light as focused on the optical fiber And features.

この光通信モジュール用光学素子によれば、入射光領域と出射光領域の各一部が重なり合う回折構造を有する共用領域を形成することで入射光領域及び出射光領域において重なり合わない各専用領域を設けることができるとともに、入射光専用領域回折効率の比較的大きいブレーズ回折構造を有することにより、入射光に関する回折効率を相対的に高めることができ、出射光と入射光との光学的なクロストークによる影響を低減することが可能となる。 According to this optical element for an optical communication module, by forming a shared region having a diffractive structure in which each part of the incident light region and the outgoing light region overlaps, each dedicated region that does not overlap in the incident light region and the outgoing light region In addition, since the incident light exclusive area has a blazed diffraction structure with a relatively large diffraction efficiency, the diffraction efficiency related to the incident light can be relatively increased, and the optical cross between the emitted light and the incident light can be increased. It is possible to reduce the influence of talk.

なお、上記光学素子において前記入射光領域の前記少なくとも一部が前記共用領域以外の入射光専用領域に対応するように構成できる。 In the optical element, the at least part of the incident light region may correspond to an incident light dedicated region other than the shared region.

なお、前記入射光領域が前記回折効率の比較的大きい回折構造を有するように構成できる。即ち、入射光専用領域と共用領域との入射光領域全体が回折効率の比較的大きい回折構造を有することができる。 The incident light region can be configured to have a diffractive structure having a relatively large diffraction efficiency. That is, the entire incident light region of the incident light dedicated region and the common region can have a diffraction structure with relatively high diffraction efficiency.

なお、前記共用領域が回折効率の比較的小さい回折構造を有していてもよい。即ち、入射光領域では入射光専用領域だけが回折効率の比較的大きい回折構造を有する。 The common area may have a diffractive structure having a relatively small diffraction efficiency. That is, in the incident light region, only the incident light dedicated region has a diffraction structure having a relatively large diffraction efficiency.

前記出射光領域内の前記共用領域以外の出射光専用領域は、エシュロン回折構造を有するかまたは回折構造を有しない回折無領域であるようにできる。また、前記出射光専用領域は、前記回折無領域であるようにでき、この場合、前記入射光領域にも前記出射光領域にも属さない前記光学面内の領域は、エシュロン回折構造を有するようにできる。 The outgoing light dedicated region other than the shared region in the outgoing light region may have an echelon diffractive structure or a non-diffractive region having no diffractive structure. Further, the outgoing light dedicated region can be the non-diffractive region, and in this case, the region in the optical plane that does not belong to the incident light region or the outgoing light region has an echelon diffraction structure. Can be.

また、前記入射光領域にも前記出射光領域にも属さない前記光学面内の領域は、隣接する前記入射光領域または前記出射光領域と同じ回折構造を有することで、加工が容易となり、製造し易くなる。   In addition, the region in the optical plane that does not belong to the incident light region or the outgoing light region has the same diffractive structure as the adjacent incident light region or the outgoing light region, thereby facilitating processing and manufacturing. It becomes easy to do.

なお、回折構造としては、例えば、ブレーズ回折構造、エシュロン回折構造、バイナリー回折構造があり、一般的に、この順で、回折効率が小さくなる。   Examples of the diffractive structure include a blazed diffractive structure, an echelon diffractive structure, and a binary diffractive structure. In general, the diffraction efficiency decreases in this order.

また、前記出射光はレーザ光であることができ、レーザ光源がファブリ・ペロー半導体レーザであって、波長変動が大きい場合でも、出射光として0次光を用いることで波長変動による影響を抑えることができる。   Further, the emitted light can be laser light, and even if the laser light source is a Fabry-Perot semiconductor laser and the wavelength fluctuation is large, the influence of the wavelength fluctuation is suppressed by using the 0th-order light as the emitted light. Can do.

また、前記入射光は前記光学素子の光軸に対しその出射端面が傾斜した光ファイバから前記光学素子に入射するようにできる。   The incident light can be incident on the optical element from an optical fiber whose exit end face is inclined with respect to the optical axis of the optical element.

また、前記光学面において前記入射光領域が略円形状であり、前記出射光領域が略楕円形状であるようにできる。これにより、入射光領域及び出射光領域において共用領域、入射光専用領域及び出射光専用領域を設けることができる。   In the optical surface, the incident light region may have a substantially circular shape, and the emission light region may have a substantially elliptical shape. Thereby, a common area, an incident light dedicated area, and an outgoing light dedicated area can be provided in the incident light area and the outgoing light area.

また、前記入射光は、複数の波長の光を含むとき、前記入射光領域の回折構造により回折され、その回折光は前記波長により回折角度が異なるようにできる。   In addition, when the incident light includes light of a plurality of wavelengths, the incident light is diffracted by the diffraction structure of the incident light region, and the diffraction angle of the diffracted light can be different depending on the wavelength.

また、前記光学素子は集光機能を備えることもできる。また、上述の光学素子の各回折構造を前記光学面に電子ビーム描画法により形成することができる。   The optical element may have a light collecting function. Moreover, each diffraction structure of the above-mentioned optical element can be formed on the optical surface by an electron beam drawing method.

また、本発明による光通信モジュールは、上述の光学素子と、光ファイバ端末からの光が前記光学素子を介して入射する受光素子と、前記光ファイバ端末に向けて前記光学素子を介して光を出射する発光素子と、を備えることを特徴とする。   An optical communication module according to the present invention includes the above-described optical element, a light receiving element on which light from an optical fiber terminal enters through the optical element, and light through the optical element toward the optical fiber terminal. And a light emitting element that emits light.

この光通信モジュールによれば、上述の光学素子により、入射光に関する回折効率を相対的に高めることができるので、発光素子からの出射光と受光素子への入射光との光学的なクロストークによる影響を低減することが可能となる。   According to this optical communication module, the diffraction efficiency related to the incident light can be relatively increased by the above-described optical element, so that optical crosstalk between the emitted light from the light emitting element and the incident light to the light receiving element can be achieved. The influence can be reduced.

上記光通信モジュールにおいて前記光ファイバ端末は前記光学素子の光軸に対しその出射端面が傾斜していることが好ましい。   In the optical communication module, it is preferable that an exit end face of the optical fiber terminal is inclined with respect to an optical axis of the optical element.

また、前記発光素子はファブリ・ペロー半導体レーザから構成されることで、光通信モジュールのコスト減に寄与できる。   Further, the light emitting element is constituted by a Fabry-Perot semiconductor laser, which can contribute to cost reduction of the optical communication module.

また、前記受光素子は複数の受光部を備え、前記回折構造による回折角度の異なる回折光がその回折角度に応じて各々の受光部に入射するように構成することが好ましい。これにより、入射光が複数の波長の光を含む場合に、各波長の光を分離でき、多重受信が可能となる。   Preferably, the light receiving element includes a plurality of light receiving portions, and diffracted lights having different diffraction angles due to the diffraction structure are incident on the light receiving portions according to the diffraction angles. Thereby, when incident light contains light of a plurality of wavelengths, light of each wavelength can be separated and multiplex reception is possible.

なお、上記光通信モジュールにおいて、前記光学素子と前記発光素子との間に第1のコリメータレンズを配置し、前記光ファイバ端末側に第2のコリメータレンズを前記光学素子として配置し、前記第2のコリメータレンズの焦点距離を次の式で得られる焦点距離f2よりも長くするとともに、前記第2のコリメータレンズの前記出射光領域または前記共用領域を回折構造を有しない回折無領域またはエシェロン回折構造等の回折効率の比較的小さい回折構造に構成し、前記回折無領域または前記回折構造以外の領域をブレーズ回折構造等の回折効率の比較的大きい回折構造に構成することが好ましい。これにより、光ファイバ端末に発光素子からの光を導くと、その光が結果的に光ファイバ端末の端面上でコア径よりも広がりをもって結像し、結合効率は低下するものの、発光素子から光ファイバ端末までの間のアライメントが容易となるとともに、第2のコリメータレンズの出射光領域または共用領域部以外を回折効率の比較的大きいブレーズ構造等にすることで、受信側における回折角を大きくかつ回折効率を低下しないようにできる。 In the optical communication module, a first collimator lens is disposed between the optical element and the light emitting element, a second collimator lens is disposed on the optical fiber terminal side as the optical element, and the second The collimator lens has a focal length longer than the focal length f2 obtained by the following equation, and the outgoing light region or the common region of the second collimator lens has no diffraction structure or an echelon diffraction structure. It is preferable that a diffraction structure having a relatively small diffraction efficiency is formed, and the non-diffractive region or a region other than the diffraction structure is formed in a diffraction structure having a relatively large diffraction efficiency such as a blaze diffraction structure. As a result, when the light from the light emitting element is guided to the optical fiber terminal, the resulting light forms an image wider than the core diameter on the end face of the optical fiber terminal, and the coupling efficiency is reduced, but the light from the light emitting element is reduced. Alignment to the fiber end is facilitated, and the diffractive angle on the receiving side is increased by using a blazed structure or the like having a relatively large diffraction efficiency other than the outgoing light region or shared region of the second collimator lens. The diffraction efficiency can be prevented from decreasing.

f2=α*f1 ・・・(A)
但し、f1:第1のコリメータレンズの焦点距離
α:sin((発光素子からの出射光の広がり角)/(光ファイバからの出射光の広がり角))
f2 = α * f1 (A)
However, f1: Focal length α of the first collimator lens: sin ((divergence angle of emitted light from light emitting element) / (divergence angle of emitted light from optical fiber))

なお、前記出射光領域または前記共用領域を輪帯状の回折格子に構成し、前記輪帯状の回折格子の部分の焦点距離を長くすることで、特に、波長多重の間隔が粗いCWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)の場合に好ましい。 The outgoing light region or the common region is configured as a ring-shaped diffraction grating, and the focal length of the portion of the ring-shaped diffraction grating is increased, so that CWDM (Coarse Wavelength Division Multiplexing) is preferable.

本発明の光通信モジュール用光学素子によれば、入射光に関する回折効率を相対的に高めることができるので、出射光と入射光との光学的なクロストークによる影響を低減できる。また、本発明の光通信モジュールによれば、上述の光学素子により発光素子からの出射光と受光素子への入射光との光学的なクロストークによる影響を低減できる。
According to the optical element for an optical communication module of the present invention, since the diffraction efficiency with respect to incident light can be relatively increased, the influence of optical crosstalk between the emitted light and the incident light can be reduced. Further, according to the optical communication module of the present invention, it is possible to reduce the influence of optical crosstalk between the light emitted from the light emitting element and the light incident on the light receiving element by the above-described optical element.

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。図1は本実施の形態による光通信モジュールの光路を示す概略図である。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing an optical path of the optical communication module according to the present embodiment.

図1に示すように、本実施の形態による光通信モジュールは、光ファイバ16の光軸p方向に全体として細長く構成され、光ファイバ16の端面17の近傍に配置された光学素子である回折格子10と、端面17と回折格子10との間に配置された集光レンズ15と、光ファイバ16の端面17に対向するように反対側に光軸p上に配置された発光素子11と、発光素子11の前面に前置されたレンズ13と、を備える。   As shown in FIG. 1, the optical communication module according to the present embodiment is configured to be elongated in the direction of the optical axis p of the optical fiber 16 as a whole, and is a diffraction grating that is an optical element disposed in the vicinity of the end face 17 of the optical fiber 16. 10, a condenser lens 15 disposed between the end face 17 and the diffraction grating 10, a light emitting element 11 disposed on the optical axis p on the opposite side so as to face the end face 17 of the optical fiber 16, and light emission A lens 13 placed in front of the element 11.

また、図1の光通信モジュールは、回折格子10から光軸pに対し若干傾斜した延長線上に配置された受光素子12と、受光素子12の前面に前置されたレンズ14と、を備える。光ファイバ16の端面17は光軸pに関し垂直な面に対して若干傾斜している。   The optical communication module of FIG. 1 includes a light receiving element 12 disposed on an extension line slightly inclined from the diffraction grating 10 with respect to the optical axis p, and a lens 14 disposed in front of the light receiving element 12. The end face 17 of the optical fiber 16 is slightly inclined with respect to a plane perpendicular to the optical axis p.

なお、光通信モジュールは、図1の各部分が全体としてケース内に収容されて遮光状態で使用され、外部に延びる光ファイバ16が光通信システムの光ケーブル網に接続可能である。   1 is housed in a case as a whole and used in a light-shielded state, and an optical fiber 16 extending to the outside can be connected to an optical cable network of the optical communication system.

発光素子11は、例えばファブリ・ペロー半導体レーザから構成される。発光素子11から出射した波長λ10(例えば、1.31μm)の光は、レンズ13を介して回折格子10を通過する。そして、この回折格子10によって回折されない光(0次光)が出射光として集光レンズ15を介して端面17に集光され、光ファイバ16を通して外部に送信される。   The light emitting element 11 is composed of, for example, a Fabry-Perot semiconductor laser. Light having a wavelength λ10 (for example, 1.31 μm) emitted from the light emitting element 11 passes through the diffraction grating 10 via the lens 13. Then, the light (0th-order light) that is not diffracted by the diffraction grating 10 is collected on the end face 17 through the condenser lens 15 as outgoing light, and transmitted to the outside through the optical fiber 16.

また、受光素子12は例えばフォトダイオードから構成され、光ファイバ16から送られて端面17から出た光が集光レンズ15を介して回折格子10で回折され、波長λ1(例えば、1.49μm)の1次回折光が光軸pから曲がりレンズ14を介して受光素子12に入射して電気信号に変換される。   The light receiving element 12 is composed of, for example, a photodiode, and the light transmitted from the optical fiber 16 and emitted from the end face 17 is diffracted by the diffraction grating 10 via the condenser lens 15, and has a wavelength λ1 (for example, 1.49 μm). The first-order diffracted light is bent from the optical axis p, enters the light receiving element 12 via the lens 14, and is converted into an electric signal.

図1の光通信モジュールは、波長分割多重方式による波長の異なる光信号を伝送する光通信システムに適用可能であり、例えば、光ファイバ16が光通信システムの光ケーブル網に接続される一方、光通信モジュールの端子(図示省略)が例えばルータ等の接続機器の差込口に差し込まれ、パソコン等と接続される。このようにして、図1の光通信モジュールにより波長の異なる光信号が同じ光ファイバ16内で上り及び下りの双方向に伝送されることで、パソコン等によりインターネット等を介して通信を行うことが可能となる。   The optical communication module of FIG. 1 can be applied to an optical communication system that transmits optical signals having different wavelengths by the wavelength division multiplexing method. For example, the optical fiber 16 is connected to the optical cable network of the optical communication system. A module terminal (not shown) is inserted into an insertion port of a connection device such as a router and connected to a personal computer or the like. In this way, optical signals having different wavelengths are transmitted in both the upstream and downstream directions within the same optical fiber 16 by the optical communication module of FIG. 1, so that communication can be performed via the Internet or the like by a personal computer or the like. It becomes possible.

次に、図1の発光素子11からの出射光及び受光素子12への入射光が回折格子10の光学面において占める各領域について図2乃至図6を参照して説明する。   Next, each region occupied by the light emitted from the light emitting element 11 and the light incident on the light receiving element 12 in FIG. 1 on the optical surface of the diffraction grating 10 will be described with reference to FIGS.

図2は図1の要部配置構成及びその座標系を示す概略図である。図3は図1の光ファイバの傾斜した端面を説明するための要部側面図である。図4は図2の発光素子と各理想レンズと光ファイバの傾斜した端面との配置関係を示す概略図である。図5は図1の回折格子10の光学面における出射光領域と入射光領域を概略的に示す平面図である。   FIG. 2 is a schematic view showing the arrangement and the coordinate system of the main part of FIG. FIG. 3 is a side view of an essential part for explaining an inclined end face of the optical fiber of FIG. FIG. 4 is a schematic view showing the positional relationship among the light emitting element of FIG. 2, each ideal lens, and the inclined end face of the optical fiber. FIG. 5 is a plan view schematically showing an outgoing light region and an incident light region on the optical surface of the diffraction grating 10 of FIG.

図2において図1の各レンズ13,15は、けられや収差のない理想的なレンズと仮定し、発光素子11であるレーザ半導体(LD)はレンズ13の焦点位置に位置し、光ファイバ16を最も結合効率の高い位置に設置する。   In FIG. 2, it is assumed that the lenses 13 and 15 in FIG. 1 are ideal lenses having no blur or aberration, and the laser semiconductor (LD) as the light emitting element 11 is located at the focal position of the lens 13, and the optical fiber 16. Is installed at the position with the highest coupling efficiency.

次に、図3のように、光ファイバ16の端面17の傾斜角を例えば6°とすると、光ファイバ16の等価屈折率nを例えば1.4682とすると、光ファイバ16からは、次式(1)から得られるように、光ファイバ16から光軸pに対し2.828°だけ斜めに光が進む。   Next, as shown in FIG. 3, when the inclination angle of the end face 17 of the optical fiber 16 is 6 °, for example, and the equivalent refractive index n of the optical fiber 16 is 1.4682, the following expression ( As obtained from 1), light travels obliquely by 2.828 ° with respect to the optical axis p from the optical fiber 16.

sin−1(1.4682×sin(6°))−6°=2.828° (1) sin −1 (1.4682 × sin (6 °)) − 6 ° = 2.828 ° (1)

一方、図4を参照して、発光素子11の半導体レーザ(LD)からのレーザ光は、図2のx方向(図4の紙面垂直方向)における広がり角θx及び図2のy方向(図4の紙面上下方向)の広がり角θy(半幅)を持ち、焦点距離f0にあるレンズ13で平行光となると、その光束は、次の式(2)、(3)の大きさの楕円形となる。   On the other hand, referring to FIG. 4, the laser light from the semiconductor laser (LD) of the light emitting element 11 is spread in the x direction (the vertical direction in FIG. 4) in FIG. 2 and the y direction (FIG. 4). If the lens 13 having a divergence angle θy (half width) in the vertical direction of the paper and having a focal length f0 becomes parallel light, the luminous flux becomes an ellipse having the size of the following expressions (2) and (3). .

Rx=f0・tan(θx) (2)   Rx = f0 · tan (θx) (2)

Ry=f0・tan(θy) (3)   Ry = f0 · tan (θy) (3)

この光束が、図3の光ファイバ16の2.828°の傾斜角に対応した角度θ0で端面17に入射するには、レンズ15においてレンズ15の中心から次の式(4)から求められるy0だけ方向yに離れた位置を前記平行光の光軸が通過するように、発光素子11及びレンズ13を光軸pに対し平行にずらす。   In order for this light beam to enter the end face 17 at an angle θ0 corresponding to the inclination angle of 2.828 ° of the optical fiber 16 of FIG. 3, y0 obtained from the center of the lens 15 from the center of the lens 15 by the following equation (4). The light emitting element 11 and the lens 13 are shifted in parallel to the optical axis p so that the optical axis of the parallel light passes through a position separated in the direction y only.

y0=f1・tanθ0 (4)
但し、f1は光ファイバ側のレンズ15の焦点距離である。
y0 = f1 · tan θ0 (4)
Here, f1 is the focal length of the lens 15 on the optical fiber side.

従って、半導体レーザ(LD)からのレーザ光(出射光)が光ファイバ側のレンズ15上で形成する影(出射光領域)は、次式(5)を満たす楕円形の領域となる。   Therefore, the shadow (emitted light region) formed on the lens 15 on the optical fiber side by the laser light (emitted light) from the semiconductor laser (LD) is an elliptical region that satisfies the following expression (5).

(x/Rx)+((y−y0)/Ry)≦1 (5) (x / Rx) 2 + ((y−y0) / Ry) 2 ≦ 1 (5)

また、光ファイバ16の端面17から出た受光素子12に向かう入射光が光ファイバ側のレンズ15上で形成する影(入射光領域)は、次式(6)を満たす半径rの円形の領域となる。   Further, the shadow (incident light region) formed on the optical fiber side lens 15 by the incident light that travels from the end face 17 of the optical fiber 16 toward the light receiving element 12 is a circular region having a radius r that satisfies the following equation (6). It becomes.

+(y−y0)≦r (6) x 2 + (y−y0) 2 ≦ r 2 (6)

なお、半導体レーザ(LD)が形成する楕円形の光束よりも半導体レーザ(LD)側のレンズ13の有効径(半径r1)が小さい場合には、けられが発生するため、出射光領域は、上述の式(5)と(6)(r=r1)の両方を満たす領域となる。   Note that, when the effective diameter (radius r1) of the lens 13 on the semiconductor laser (LD) side is smaller than the elliptical light beam formed by the semiconductor laser (LD), the emission light region is This is a region that satisfies both of the above-described equations (5) and (6) (r = r1).

上述の結果から分かるように、レンズ13とレンズ15との間に配置される回折格子10において上記式(5)による楕円形状の出射光領域と、上記式(6)による入射光領域とが形成されるが、出射光領域と入射光領域とは、完全に一致せずかつ一方が他方に含まれることがなくそれぞれの領域に専用領域があるように形成され得る。   As can be seen from the above results, an elliptical outgoing light region according to the above equation (5) and an incident light region according to the above equation (6) are formed in the diffraction grating 10 disposed between the lens 13 and the lens 15. However, the outgoing light region and the incident light region may not be completely coincident with each other, and one of them may not be included in the other, and each region may have a dedicated region.

即ち、図5に示すように、回折格子10の、例えば図1の発光素子11側の光学面3には、略楕円形状の出射光領域1と、略円形状の入射光領域2が形成され、出射光領域1の一部と入射光領域2の一部とが重なり合い、共用領域Cを形成している。   That is, as shown in FIG. 5, a substantially elliptical outgoing light region 1 and a substantially circular incident light region 2 are formed on the optical surface 3 of the diffraction grating 10 on the light emitting element 11 side in FIG. A part of the outgoing light region 1 and a part of the incident light region 2 overlap to form a common region C.

従って、出射光領域1は、共用領域Cと、発光素子11からの光である出射光のみが通過する出射光専用領域Bと、から構成される。また、入射光領域2は、共用領域Cと、受光素子12に向かう入射光のみが通過するように共用領域Cの両側に略三日月状の入射光専用領域Dと、から構成される。   Accordingly, the outgoing light region 1 includes a shared region C and an outgoing light dedicated region B through which only outgoing light that is light from the light emitting element 11 passes. The incident light region 2 includes a shared region C and a substantially crescent-shaped incident light dedicated region D on both sides of the shared region C so that only incident light directed to the light receiving element 12 passes.

次に、図5の回折格子10の光学面3には各領域A、B、C、Dに対応して形成する異なる回折構造について図6乃至図8を参照して説明する。   Next, different diffractive structures formed on the optical surface 3 of the diffraction grating 10 in FIG. 5 corresponding to the regions A, B, C, and D will be described with reference to FIGS.

図6は、図5の回折格子10の光学面3の各領域A乃至Dに形成される複数の回折構造と回折無領域との組合せ(8種類)を示す表である。図7は、図5の回折格子10の光学面3に形成したブレーズ回折構造とエシュロン回折構造を部分的にかつ概略的に示す側断面図である。図8は、図7のブレーズ回折構造とエシュロン回折構造を概略的に示す断面斜視図である。   FIG. 6 is a table showing combinations (eight types) of a plurality of diffractive structures and non-diffraction regions formed in the regions A to D of the optical surface 3 of the diffraction grating 10 of FIG. FIG. 7 is a side sectional view partially and schematically showing the blazed diffraction structure and the echelon diffraction structure formed on the optical surface 3 of the diffraction grating 10 of FIG. FIG. 8 is a cross-sectional perspective view schematically showing the blaze diffraction structure and the echelon diffraction structure of FIG.

図5,図6に示すように、組み合わせ1では、入射光専用領域Dをブレーズ回折構造に形成し、入射光専用領域D以外はエシュロン回折構造に形成している。即ち、入射光専用領域Dが比較的回折効率の高いブレーズ回折構造であり、共用領域Cと出射光専用領域Bと領域B、C、D以外の光学面3内の領域Aとがブレーズ回折構造よりは回折効率の低いエシュロン回折構造である。   As shown in FIGS. 5 and 6, in the combination 1, the incident light dedicated region D is formed in a blazed diffraction structure, and the portions other than the incident light dedicated region D are formed in an echelon diffraction structure. That is, the incident light dedicated region D is a blazed diffractive structure with relatively high diffraction efficiency, and the shared region C, the outgoing light dedicated region B, and the region A in the optical surface 3 other than the regions B, C, D are blazed diffractive structures. It is an echelon diffraction structure with lower diffraction efficiency.

図7,図8に示すように、ブレーズ回折構造4は、傾斜が比較的急で面積の小さい傾斜面4aと、傾斜が比較的緩やかで面積の大きい傾斜面4bとが所定ピッチt及び所定高さhで繰り返し形成されて構成されている。また、エシュロン回折構造5は、それぞれ所定幅sと所定深さdからなる複数の段差が繰り返し形成されて構成されている。   As shown in FIGS. 7 and 8, the blazed diffraction structure 4 has an inclined surface 4a having a relatively steep inclination and a small area, and an inclined surface 4b having a relatively gentle inclination and a large area, having a predetermined pitch t and a predetermined height. The length h is repeatedly formed. Further, the echelon diffractive structure 5 is configured by repeatedly forming a plurality of steps each having a predetermined width s and a predetermined depth d.

また、図7,図8のように、ブレーズ回折構造4とエシュロン回折構造5の境界では、ブレーズ回折構造4の傾斜が比較的緩やかで面積の大きい傾斜面4bの傾斜方向と、エシュロン回折構造5の各段差が落ち込む方向とが同じ向きであるように形成されている。   Further, as shown in FIGS. 7 and 8, at the boundary between the blazed diffractive structure 4 and the echelon diffractive structure 5, the blazed diffractive structure 4 is inclined relatively slowly and has a large area, and the echelon diffractive structure 5 It is formed so that the direction in which each level difference falls is the same direction.

以上のように、従来までは光強度の大きい発光素子11からの出射光が光強度の小さい受光素子12への入射光に対し悪影響を与え易かったのであるが、上述の回折格子10を含む図1の光通信モジュールによれば、回折効率の比較的大きいブレーズ回折構造が形成された入射光専用領域Dにより受光素子12への入射光の回折光の効率を大きくできるので、入射光に関する回折効率を相対的に高めることができ、入射光と出射光との光学的なクロストークによる影響を低減することが可能となる。   As described above, until now, the light emitted from the light emitting element 11 having a high light intensity has been easily adversely affected to the incident light to the light receiving element 12 having a low light intensity. According to the optical communication module 1, the efficiency of the diffracted light of the incident light to the light receiving element 12 can be increased by the incident light dedicated region D in which the blazed diffraction structure having a relatively large diffraction efficiency is formed. Can be relatively increased, and the influence of optical crosstalk between incident light and outgoing light can be reduced.

一方、回折効率の比較的小さいエシュロン回折構造による出射光領域1により発光素子11からの出射光の効率が低下しても、出射光は発光素子11の電流制御等により光強度の制御が可能であるので、さほど問題とならない。   On the other hand, even if the efficiency of the outgoing light from the light emitting element 11 is reduced by the outgoing light region 1 due to the echelon diffraction structure having a relatively small diffraction efficiency, the light intensity of the outgoing light can be controlled by the current control of the light emitting element 11 or the like. Because there is, it does not matter so much.

また、出射光は、発光素子11がファブリ・ペロー半導体レーザであるため波長変動が大きい場合でも、0次光を用いるので、波長変動による影響を抑えることができる。また、ファブリ・ペロー半導体レーザは低コストであるので、光通信モジュールのコスト減に寄与できる。   In addition, since the light emitting element 11 is a Fabry-Perot semiconductor laser, zero-order light is used as the emitted light even when the wavelength variation is large, so that the influence due to the wavelength variation can be suppressed. Further, since the Fabry-Perot semiconductor laser is low in cost, it can contribute to the cost reduction of the optical communication module.

また、図5,図6のように、回折格子10の光学面3の各領域A乃至Dに形成される複数の回折構造と回折無領域との組み合わせは、組み合わせ1に限定されずに、他の組み合わせ2〜8であってもよい。   In addition, as shown in FIGS. 5 and 6, the combination of the plurality of diffractive structures formed in the regions A to D of the optical surface 3 of the diffraction grating 10 and the non-diffracting regions is not limited to the combination 1, and other The combination 2-8 may be sufficient.

即ち、組み合わせ2では、共用領域Cと出射光専用領域B(即ち、出射光領域1)をエシュロン回折構造とし、それ以外の領域A及び入射光専用領域Dをブレーズ回折構造にしている。これにより、光学面3の加工が容易となり、また、入射光の回折効率を向上できる。   That is, in the combination 2, the shared region C and the outgoing light dedicated region B (that is, the outgoing light region 1) have an echelon diffraction structure, and the other region A and the incident light dedicated region D have a blaze diffraction structure. Thereby, the processing of the optical surface 3 becomes easy, and the diffraction efficiency of incident light can be improved.

また、図6の組み合わせ3では、共用領域Cをエシュロン回折構造とし、出射光専用領域Bを回折構造を形成しない回折無領域とし、それ以外の領域A及び入射光専用領域Dをブレーズ回折構造にしている。これにより、出射光の効率を向上できる。   In the combination 3 of FIG. 6, the shared region C is an echelon diffractive structure, the outgoing light dedicated region B is a non-diffractive region that does not form a diffractive structure, and the other region A and the incident light dedicated region D are blazed diffractive structures. ing. Thereby, the efficiency of emitted light can be improved.

また、図6の組み合わせ4では、出射光専用領域Bを回折構造を形成しない回折無領域とし、それ以外の領域A,C,Dをブレーズ回折構造にしている。これにより、組み合わせ1よりも出射光の効率を向上できる。   Further, in the combination 4 in FIG. 6, the outgoing light dedicated region B is a non-diffractive region where a diffraction structure is not formed, and the other regions A, C, and D are blazed diffraction structures. Thereby, the efficiency of emitted light can be improved as compared with the combination 1.

更に、組み合わせ5,6,7,8では、それぞれ図6の組み合わせのように各領域A乃至Dの各回折構造及び回折無領域を決めている。   Further, in the combinations 5, 6, 7 and 8, the diffractive structures and non-diffracted regions of the regions A to D are determined as in the combination of FIG.

次に、図7,図8に示すブレーズ回折構造及びエシュロン回折構造を図5,図6の組み合わせ1で配置した回折格子の作製法について図9を参照して説明する。図9は図5〜図8の回折格子を電子ビーム描画法により作製する手順(a)乃至(c)を説明するための図である。   Next, a method for manufacturing a diffraction grating in which the blazed diffraction structure and the echelon diffraction structure shown in FIGS. 7 and 8 are arranged in the combination 1 of FIGS. 5 and 6 will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a view for explaining procedures (a) to (c) for producing the diffraction gratings of FIGS. 5 to 8 by an electron beam drawing method.

なお、電子ビーム描画法とは、本発明者等が、例えば、先に特願2002−249614で提案したように、回折格子のような光学素子等の面上に所望の描画パターンを電子ビームによる3次元描画でサブミクロンオーダーの高精度で形成できるものである。   The electron beam writing method is, for example, as proposed by the present inventors in Japanese Patent Application No. 2002-249614, and a desired drawing pattern is formed on the surface of an optical element such as a diffraction grating by an electron beam. It can be formed with high precision on the order of submicrons by three-dimensional drawing.

まず、図9(a)のように、母型となる円柱状の樹脂材料からなる基材80について基材80の外径81を基準として外周面80aを切削加工し、誤差0.5μm以下の精度で中心だしを行い、次に、切削加工で基材80の一端面の円形平面82を平面加工する。   First, as shown in FIG. 9A, an outer peripheral surface 80a of a base material 80 made of a cylindrical resin material serving as a matrix is cut based on the outer diameter 81 of the base material 80, and the error is 0.5 μm or less. Centering is performed with accuracy, and then the circular flat surface 82 on one end surface of the substrate 80 is processed by cutting.

次に、図9(b)のように、切削加工で外周面80aを基準として同心円線83を加工してから、同心円線83を基準として平面82の中心を合わせ、電子ビーム描画によって回折格子パターンをレジスト上に形成する。必要に応じてX−Y軸を決めるためのマークを加工する。この場合、レジスト厚さは例えば2μm程度である。   Next, as shown in FIG. 9B, the concentric circle 83 is processed by cutting with the outer peripheral surface 80a as a reference, the center of the plane 82 is aligned with the concentric circle 83 as a reference, and the diffraction grating pattern is drawn by electron beam drawing. Is formed on the resist. Marks for determining the XY axes are processed as necessary. In this case, the resist thickness is about 2 μm, for example.

上述のようにして作製された基材80には、図9(c)の平面図のように、平面82上の円形84内に図5,図6の組み合わせ1の回折格子構造に対応した回折パターンがレジストに形成される。   As shown in the plan view of FIG. 9C, the base material 80 manufactured as described above has a diffraction pattern corresponding to the diffraction grating structure of the combination 1 in FIGS. A pattern is formed in the resist.

次に、プラズマシャワー等によるドライエッチングで、電子ビーム描画により形成されたレジストの回折格子パターンをマスクとして基材80を加工する。このドライエッチングにより、基材80上に回折格子パターンが転写される。   Next, the substrate 80 is processed by dry etching using a plasma shower or the like using the resist diffraction grating pattern formed by electron beam drawing as a mask. The diffraction grating pattern is transferred onto the substrate 80 by this dry etching.

次に、ドライエッチングで成形した基材を母材として、電鋳金型を作製し、その金型により回折格子の成形を行うことで、図1,図5,図6の組み合わせ1の回折格子10を得る。なお、基材を直接、母型金型として回折レンズを押圧成形するようにしてもよい。   Next, an electroformed mold is manufactured using a base material formed by dry etching as a base material, and the diffraction grating is formed by using the mold, so that the diffraction grating 10 of the combination 1 in FIGS. Get. Note that the diffractive lens may be press-molded using the base material directly as a mother mold.

次に、図1の回折格子の構造として図6の組み合わせ1を採用した場合の実施例(a)〜(f)について図10,図11,図12を参照して説明する。図10〜図12は、実施例(a)〜(f)について、図の中央に図1の各レンズ13〜15と回折格子10と光ファイバ16の端面17の光学配置を示し、図の左側に発光素子及び受光素子の平面図を示し、更に、図の右側に図5の回折格子の光学面における各領域A〜Dを示す図である。   Next, Examples (a) to (f) in the case where the combination 1 in FIG. 6 is adopted as the structure of the diffraction grating in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 10, 11, and 12. 10 to 12 show the optical arrangements of the lenses 13 to 15, the diffraction grating 10, and the end face 17 of the optical fiber 16 in the center of the drawing (Examples (a) to (f)), and the left side of the drawing. FIG. 6 shows a plan view of the light emitting element and the light receiving element, and further shows each region A to D on the optical surface of the diffraction grating of FIG. 5 on the right side of the figure.

図10,図11に示す実施例(a)〜(d)は、光ファイバ16の中心軸pに対する発光素子11及びレンズ13の相対位置を変更して、図2の方向yにおける図4のy0を変えた場合の例であり、(c)、(d)は、さらに、光ファイバ16を(a)、(b)の配置位置から180°回転させた例となっている。図10,図11の右側に示すように、回折格子10の光学面3には出射光専用領域B、共用領域C、入射光専用領域D、及び領域B〜D以外の領域Aがそれぞれ形成され、各領域A〜Dに対応して図6の組み合わせ1で回折構造が形成されている。   In the embodiments (a) to (d) shown in FIGS. 10 and 11, the relative positions of the light emitting element 11 and the lens 13 with respect to the central axis p of the optical fiber 16 are changed, and y0 in FIG. 4 in the direction y in FIG. (C) and (d) are examples in which the optical fiber 16 is further rotated 180 ° from the positions (a) and (b). As shown on the right side of FIGS. 10 and 11, the optical surface 3 of the diffraction grating 10 is formed with an outgoing light dedicated area B, a shared area C, an incident light dedicated area D, and an area A other than the areas B to D, respectively. A diffractive structure is formed in combination 1 in FIG. 6 corresponding to each of the regions A to D.

また、図12に示す実施例(e),(f)は、光ファイバ16を実施例(a)、(b)の配置位置から中心軸pを中心にして90°回転し、発光素子11及びレンズ13の光ファイバ16に対する相対位置を図2の方向xに変えた場合の例であり、図12の右側に示すように、回折格子10の光学面3には出射光専用領域B、共用領域C、入射光専用領域D、及び領域B〜D以外の領域Aがそれぞれ形成され、各領域A〜Dに対応して図6の組み合わせ1で回折構造が形成されている。   In the embodiments (e) and (f) shown in FIG. 12, the optical fiber 16 is rotated by 90 ° from the arrangement position of the embodiments (a) and (b) about the central axis p, and the light emitting element 11 and This is an example in the case where the relative position of the lens 13 with respect to the optical fiber 16 is changed in the direction x in FIG. 2, and as shown on the right side in FIG. C, an incident light dedicated region D, and a region A other than regions B to D are formed, and a diffractive structure is formed in combination 1 of FIG. 6 corresponding to each region A to D.

表1に、上述の実施例(a)〜(f)における0次光を利用した出射光に関する回折効率及び図10〜図12に示す光学配置の最終結合効率の計算結果を示す。   Table 1 shows the calculation results of the diffraction efficiency regarding the emitted light using the 0th-order light in the above-described Examples (a) to (f) and the final coupling efficiency of the optical arrangement shown in FIGS. 10 to 12.

Figure 0004318038
Figure 0004318038

表2に、上述の実施例(a)〜(f)における入射光に関する回折効率及び図10〜図12に示す光学配置の最終結合効率の計算結果を示す。   Table 2 shows the calculation results of the diffraction efficiency relating to the incident light in the above-described Examples (a) to (f) and the final coupling efficiency of the optical arrangement shown in FIGS.

Figure 0004318038
Figure 0004318038

また、表1及び表2には、図10〜図12に示す配置と同様にし、回折格子の光学面の全面をエシュロン回折構造とした比較例の回折効率及び図10〜図12に示す光学配置の最終結合効率の計算結果も併せてそれぞれ示す。   Further, in Tables 1 and 2, the diffraction efficiency of the comparative example and the optical arrangement shown in FIGS. 10 to 12 are the same as the arrangement shown in FIGS. The calculation results of the final coupling efficiency are also shown.

なお、以上の計算において、上記各式(1)乃至(6)においてθx=17°、θy=34°、θ0=2.828°、f0=0.7mm、f1=3mm、とした。また、出射光の0次光の利用効率を98%とし、ブレーズ回折構造の回折効率を92%とした。また、図7のブレーズ回折構造のピッチtを36μm、高さhを3μmとし、エシュロン回折構造の各段差の幅sを9μm、深さdを5μmとした。   In the above calculation, θx = 17 °, θy = 34 °, θ0 = 2.828 °, f0 = 0.7 mm, and f1 = 3 mm in the above formulas (1) to (6). Further, the utilization efficiency of the 0th-order light of the emitted light was set to 98%, and the diffraction efficiency of the blazed diffraction structure was set to 92%. Further, the pitch t of the blazed diffraction structure of FIG. 7 was 36 μm, the height h was 3 μm, the width s of each step of the echelon diffraction structure was 9 μm, and the depth d was 5 μm.

表1から分かるように、出射光に関しては、各実施例(a)〜(f)いずれの場合も回折効率及び最終結合効率は比較例の場合よりも低くなっているが、入射光に関しては、各実施例(a)〜(f)いずれの場合も回折効率及び最終結合効率は比較例の場合よりも高くなっている。   As can be seen from Table 1, with respect to the emitted light, the diffraction efficiency and the final coupling efficiency are lower in each of the examples (a) to (f) than in the comparative example. In any of the examples (a) to (f), the diffraction efficiency and the final coupling efficiency are higher than those in the comparative example.

以上のように、実施例(a)〜(f)の図10乃至図12の光学配置及び回折格子10の構造によれば、回折効率の大きいブレーズ回折構造の入射光専用領域Dにより受光素子12への入射光の回折光の効率を大きくできる一方、回折効率の比較的小さいエシュロン回折構造の出射光領域1により発光素子11からの出射光の効率が小さくなり、入射光の回折効率を相対的に高めることができた。   As described above, according to the optical arrangements of FIGS. 10 to 12 and the structure of the diffraction grating 10 of the embodiments (a) to (f), the light receiving element 12 is provided by the incident light dedicated region D of the blazed diffraction structure having a large diffraction efficiency. While the efficiency of the diffracted light incident on the light can be increased, the output light region 1 of the echelon diffractive structure having a relatively low diffraction efficiency reduces the efficiency of the emitted light from the light emitting element 11, and the relative efficiency of the incident light is relatively low. I was able to increase it.

以上のように本発明を実施するための最良の形態及び実施例について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、図1では、回折格子10の発光素子11側の光学面3に各回折構造を形成したが、反対の光ファイバ16側の光学面に形成してもよく、また、ある領域の回折構造を光学面3に形成し、別の領域の回折構造を反対側の光学面に形成してもよい。   As described above, the best modes and examples for carrying out the present invention have been described. However, the present invention is not limited to these, and various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention. is there. For example, in FIG. 1, each diffraction structure is formed on the optical surface 3 on the light emitting element 11 side of the diffraction grating 10, but may be formed on the optical surface on the opposite optical fiber 16 side. May be formed on the optical surface 3, and a diffractive structure of another region may be formed on the optical surface on the opposite side.

また、集光レンズ15を光学素子とし、その光学面に図5と同様の回折構造を形成してもよい。この場合、いずれか一方の光学面に各回折構造を形成してよく、また、ある領域の回折構造を一方の光学面に形成し、別の領域の回折構造を他方の光学面に形成してもよい。   Further, the condensing lens 15 may be an optical element, and a diffraction structure similar to that shown in FIG. In this case, each diffractive structure may be formed on one of the optical surfaces, or a diffractive structure in one region may be formed on one optical surface, and a diffractive structure in another region may be formed on the other optical surface. Also good.

また、図1の光通信モジュールは、受光素子12を、図13のように、アレー状に並べられた複数の受光部12b、12c、12dに分割し、波長の異なる3つの光が入射したときに、回折格子10による回折角度の異なる回折光がその回折角度に応じて各受光部12b、12c、12dに入射するように構成してもよい。   The optical communication module of FIG. 1 divides the light receiving element 12 into a plurality of light receiving portions 12b, 12c, and 12d arranged in an array as shown in FIG. In addition, diffracted light having different diffraction angles by the diffraction grating 10 may be configured to enter each of the light receiving portions 12b, 12c, and 12d according to the diffraction angles.

図13の構成によれば、光多重信号の各波長は、例えば、発光素子11からの出射光波長λ10が1.31μmであり、光ファイバ16の端面17から入射する光の波長がλ0=1.47μm、λ1=1.49μm、λ2=1.51μmであるが、かかる波長の異なる複数の光信号を各受光部12b〜12dで別々に受光できる。このように下り波長多重(WDM)通信を行うことで、各波長の光信号に乗せられた種々のデータ、例えば、デジタルテレビ放送、動画、静止画、音声、デジタルデータ通信などを一本の光ファイバを通して受信できる。   According to the configuration of FIG. 13, each wavelength of the optical multiplexed signal is, for example, 1.31 μm at the emission light wavelength λ10 from the light emitting element 11, and the wavelength of light incident from the end face 17 of the optical fiber 16 is λ0 = 1. .47 [mu] m, [lambda] 1 = 1.49 [mu] m, and [lambda] 2 = 1.51 [mu] m, a plurality of optical signals having different wavelengths can be separately received by the light receiving units 12b to 12d. By performing downstream wavelength division multiplexing (WDM) communication in this way, various data, such as digital television broadcasts, moving images, still images, audio, digital data communications, etc., carried on the optical signal of each wavelength can be converted into a single optical signal. Can be received through fiber.

また、図14に光通信モジュールの変形例を示すが、図14の光通信モジュールは、図1と同様に発光部11からの光が2枚のコリメータレンズ13,15を介して光ファイバ16の端面17に入射し、更に光ファイバ16の端面17から出射した光が2枚のコリメータレンズ15,14を介して図13のアレー状に構成された受光部12に入射するように構成したものである。図14では、コリメータレンズ15のレンズ13側の光学面15aが図5の光学面3と同様に回折構造に構成されており、光ファイバ16の端面17からの光がレンズ15の光学面15aの回折構造で回折されて光路が光軸pに対し折り曲げられて受光部12の受光面12aに結像する。   FIG. 14 shows a modification of the optical communication module. In the optical communication module of FIG. 14, the light from the light emitting unit 11 passes through the two collimator lenses 13 and 15 as in FIG. The light incident on the end surface 17 and further emitted from the end surface 17 of the optical fiber 16 is incident on the light receiving unit 12 configured in the array shape of FIG. 13 through the two collimator lenses 15 and 14. is there. In FIG. 14, the optical surface 15 a on the lens 13 side of the collimator lens 15 is configured in a diffractive structure in the same manner as the optical surface 3 in FIG. 5, and light from the end surface 17 of the optical fiber 16 is reflected on the optical surface 15 a of the lens 15. Diffracted by the diffractive structure, the optical path is bent with respect to the optical axis p and forms an image on the light receiving surface 12 a of the light receiving unit 12.

図14の光ファイバ16側のコリメータレンズ15の焦点距離を次の式(A)で得られる焦点距離f2よりも長くし、光学面15aにおける図5の出射光領域または共用領域を回折構造を有しない回折無領域またはエシェロン回折構造に構成し、回折無領域またはエシェロン回折構造以外の領域をブレーズ回折構造に構成している。これにより、光ファイバ16の端面17に発光素子11からの光を導くと、その光が結果的に光ファイバ16の端面17上でコア径よりも広がりをもって結像し、結合効率は低下するものの、発光素子11から光ファイバ16までの間のアライメントが容易となるとともに、コリメータレンズ15の出射光領域または共用領域部以外をブレーズ構造にすることで、受信側における回折角を大きくかつ回折効率を低下しないようにできる。   The focal length of the collimator lens 15 on the optical fiber 16 side in FIG. 14 is made longer than the focal length f2 obtained by the following equation (A), and the outgoing light region or shared region in FIG. A non-diffractive region or an echelon diffractive structure is formed, and a region other than the non-diffractive region or the echelon diffractive structure is configured as a blaze diffractive structure. As a result, when the light from the light emitting element 11 is guided to the end face 17 of the optical fiber 16, the resulting light forms an image wider than the core diameter on the end face 17 of the optical fiber 16, and the coupling efficiency decreases. Alignment between the light emitting element 11 and the optical fiber 16 is facilitated, and by using a blazed structure other than the emitted light region or the common region portion of the collimator lens 15, the diffraction angle on the receiving side is increased and the diffraction efficiency is increased. It can be prevented from dropping.

f2=α*f1 ・・・(A)
但し、f1:コリメータレンズ13の焦点距離
α:sin((発光素子11からのレーザ光である出射光の広がり角)/(光ファイバ16からの出射光の広がり角))
f2 = α * f1 (A)
However, f1: Focal length α of the collimator lens 13: sin ((divergence angle of emitted light that is laser light from the light emitting element 11) / (divergence angle of emitted light from the optical fiber 16))

例えば、コリメータレンズ15の光学面15a上の面積比として、光ファイバ16への出射光部分(回折構造なしまたはエシュロン回折構造)が25%(−6dB)であり、それ以外の周辺部分(ブレーズ回折構造)が75%(−1.2dB)程度であると、光ファイバ16の端面17上のビーム径がコアのほぼ2倍となり、この場合、コリメータレンズ15の焦点距離は、上記式(A)で与えられるf2の概略2倍程度の値となる。   For example, the area ratio on the optical surface 15a of the collimator lens 15 is 25% (−6 dB) of the outgoing light portion (no diffractive structure or echelon diffractive structure) to the optical fiber 16, and other peripheral portions (blazed diffraction). If the structure) is about 75% (-1.2 dB), the beam diameter on the end face 17 of the optical fiber 16 is almost twice that of the core. In this case, the focal length of the collimator lens 15 is the above formula (A). Is approximately twice the value of f2 given by.

また、図14において、コリメータレンズ15の光学面15aにおける出射光領域または共用領域を図15のような輪帯状の回折格子18に構成し、輪帯状の回折格子の部分の焦点距離を長くすることで、光通信モジュールが、特に波長多重の間隔が例えば20nmのように粗いCWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)に対応可能となる。即ち、光通信モジュールで受信した光はコリメータレンズ15から出射した後、アレー状の受光部12に収束するため、送信する光は、コリメータレンズ15に向かいアレー状の受光部12に収束するのと同じ角度で発散する光束となり、コリメータレンズ13を通過後、所望の発散角とするための調整が必要となるので、平行光束となるように光学系を調整するのと比較し、調整の手間が増える。かかる問題を解決するため、コリメータレンズ15の光学面15aの出射光が通過する部分に輪帯状の回折格子18を設けることで、この部分のレンズのパワーを低下させ、コリメータレンズ15に入射する光が光ファイバ16の端面17上で焦点を結ぶようにでき、光学系の調整が容易になる。   Further, in FIG. 14, the outgoing light region or the common region on the optical surface 15 a of the collimator lens 15 is configured as a ring-shaped diffraction grating 18 as shown in FIG. 15, and the focal length of the ring-shaped diffraction grating portion is increased. Thus, the optical communication module can cope with CWDM (Coarse Wavelength Division Multiplexing) in which the wavelength multiplexing interval is particularly coarse, for example, 20 nm. That is, since the light received by the optical communication module is emitted from the collimator lens 15 and then converges on the array-shaped light receiving unit 12, the transmitted light converges on the array-shaped light receiving unit 12 toward the collimator lens 15. Since the light beam diverges at the same angle and needs to be adjusted to obtain a desired divergence angle after passing through the collimator lens 13, the adjustment work is less than adjusting the optical system to obtain a parallel light beam. Increase. In order to solve such a problem, a ring-shaped diffraction grating 18 is provided in a portion through which the outgoing light of the optical surface 15a of the collimator lens 15 passes, so that the power of the lens in this portion is reduced, and the light incident on the collimator lens 15 Can be focused on the end face 17 of the optical fiber 16, and the adjustment of the optical system becomes easy.

本実施の形態による光通信モジュールの光路を示す概略図である。It is the schematic which shows the optical path of the optical communication module by this Embodiment. 図1の要部配置構成及びその座標系を示す概略図である。It is the schematic which shows the principal part arrangement structure of FIG. 1, and its coordinate system. 図1の光ファイバの傾斜した端面を説明するための要部側面図である。It is a principal part side view for demonstrating the inclined end surface of the optical fiber of FIG. 図2の発光素子と各理想レンズと光ファイバの傾斜した端面との配置関係を示す概略図である。It is the schematic which shows the arrangement | positioning relationship between the light emitting element of FIG. 2, each ideal lens, and the inclined end surface of an optical fiber. 図1の回折格子10の光学面における出射光領域と入射光領域を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the emitted light area and incident light area in the optical surface of the diffraction grating 10 of FIG. 図5の回折格子10の光学面3の各領域A乃至Dに形成される複数の回折構造と回折無領域との組合せ(8種類)を示す表である。6 is a table showing combinations (eight types) of a plurality of diffractive structures and non-diffracted regions formed in each region A to D of the optical surface 3 of the diffraction grating 10 of FIG. 図5の回折格子10の光学面3に形成したブレーズ回折構造とエシュロン回折構造を部分的にかつ概略的に示す側断面図である。FIG. 6 is a side sectional view partially and schematically showing a blazed diffraction structure and an echelon diffraction structure formed on the optical surface 3 of the diffraction grating 10 of FIG. 5. 図7のブレーズ回折構造とエシュロン回折構造を概略的に示す断面斜視図である。FIG. 8 is a cross-sectional perspective view schematically showing the blazed diffraction structure and the echelon diffraction structure of FIG. 7. 図5〜図8の回折格子を電子ビーム描画法により作製する手順(a)乃至(c)を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the procedure (a) thru | or (c) which produces the diffraction grating of FIGS. 5-8 by the electron beam drawing method. 実施例(a)、(b)について、図の中央に図1の各レンズ13〜15と回折格子10と光ファイバ16の端面17の光学配置を示し、図の左側に発光素子及び受光素子の平面図を示し、更に、図の右側に図5の回折格子の光学面における各領域A〜Dを示す図である。For Examples (a) and (b), the optical arrangement of each lens 13 to 15 of FIG. 1, the diffraction grating 10 and the end face 17 of the optical fiber 16 is shown in the center of the figure, and the light emitting element and the light receiving element are shown on the left side of the figure. FIG. 6 shows a plan view, and further shows each region A to D on the optical surface of the diffraction grating of FIG. 5 on the right side of the drawing. 実施例(c)、(d)について、図の中央に図1の各レンズ13〜15と回折格子10と光ファイバ16の端面17の光学配置を示し、図の左側に発光素子及び受光素子の平面図を示し、更に、図の右側に図5の回折格子の光学面における各領域A〜Dを示す図である。In Examples (c) and (d), the optical arrangement of the end surfaces 17 of the lenses 13 to 15, the diffraction grating 10, and the optical fiber 16 in FIG. 1 is shown in the center of the figure, and the light emitting element and the light receiving element are shown on the left side in the figure. FIG. 6 shows a plan view, and further shows each region A to D on the optical surface of the diffraction grating of FIG. 5 on the right side of the drawing. 実施例(e)、(f)について、図の中央に図1の各レンズ13〜15と回折格子10と光ファイバ16の端面17の光学配置を示し、図の左側に発光素子及び受光素子の平面図を示し、更に、図の右側に図5の回折格子の光学面における各領域A〜Dを示す図である。For Examples (e) and (f), the optical arrangement of the lenses 13 to 15, the diffraction grating 10, and the end face 17 of the optical fiber 16 in FIG. FIG. 6 shows a plan view, and further shows each region A to D on the optical surface of the diffraction grating of FIG. 5 on the right side of the drawing. 図1の受光素子の受光部の変形例を概略的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows roughly the modification of the light-receiving part of the light receiving element of FIG. 本実施の形態による光通信モジュールの変形例における光路を示す概略図である。It is the schematic which shows the optical path in the modification of the optical communication module by this Embodiment. 図14のコリメータレンズ15の光学面15aに部分的に形成した輪帯状の回折格子を模式的に示す側面図である。FIG. 15 is a side view schematically showing an annular diffraction grating partially formed on the optical surface 15a of the collimator lens 15 of FIG. レンズ上に回折格子を設けて送信・受信の各光を分離する従来の光通信モジュールを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the conventional optical communication module which provides a diffraction grating on a lens, and isolate | separates each light of transmission and reception.

符号の説明Explanation of symbols

1 出射光領域
2 入射光領域
3 光学面
4 ブレーズ回折構造
4a 傾斜面
4b 傾斜面
5 エシュロン回折構造
10 回折格子(光学素子)
11 発光素子
12 受光素子
12b〜12d 複数の受光部
13 レンズ、コリメータレンズ
14 レンズ
15 集光レンズ、コリメータレンズ
16 光ファイバ
17 端面
18 輪帯状の回折格子
A 領域B,C,D以外の領域
B 出射光専用領域
C 共用領域
D 入射光専用領域

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Outgoing light area 2 Incident light area 3 Optical surface 4 Blaze diffraction structure 4a Inclined surface 4b Inclined surface 5 Echelon diffraction structure 10 Diffraction grating (optical element)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Light emitting element 12 Light receiving element 12b-12d Multiple light-receiving part 13 Lens, collimator lens 14 Lens 15 Condensing lens, Collimator lens 16 Optical fiber 17 End surface 18 Ring-shaped diffraction grating A Area B other than area B, C, D Radiation exclusive area C Common area D Incident light exclusive area

Claims (15)

発光素子、受光素子及び光ファイバを配設して波長が異なる光が双方向に伝送される光通信モジュールに用いられる光通信モジュール用光学素子において、
光ファイバからの入射光と発光素子からの出射光が光学面を互いに反対側に通過する際に、前記光学面において前記入射光が通過する入射光領域と前記出射光が通過する出射光領域とがそれぞれ一部で重なり合う共用領域と、前記入射光のみが通過する入射光専用領域と、を形成し、
前記共用領域にはエシュロン回折構造を有するとともに、前記入射光専用領域にはブレーズ回折構造を有し、前記入射光の1次回折光を前記受光素子に集光するように出射するとともに、前記出射光の0次光を前記光ファイバに集光するように出射することを特徴とする光通信モジュール用光学素子。
In an optical element for an optical communication module used for an optical communication module in which light having different wavelengths is transmitted bidirectionally by arranging a light emitting element, a light receiving element and an optical fiber,
When incident light from an optical fiber and outgoing light from a light emitting element pass through optical surfaces on opposite sides, an incident light region through which the incident light passes and an outgoing light region through which the outgoing light passes through the optical surface, Forming a shared region where each part overlaps and a dedicated region for incident light through which only the incident light passes,
Together with the Echelon diffractive structure in the common region, the have a blazed structure in the incident light only area, with emitted as converging light to the light receiving element 1-order diffracted light of the incident light, the outgoing light An optical element for an optical communication module , wherein the 0th-order light is emitted so as to be condensed on the optical fiber .
前記出射光領域内の前記共用領域以外の出射光専用領域は、エシュロン回折構造を有するかまたは回折構造を有しない回折無領域であることを特徴とする請求項1に記載の光通信モジュール用光学素子。   2. The optical communication module optical according to claim 1, wherein a region dedicated to outgoing light other than the shared region in the outgoing light region is a diffraction-free region having an echelon diffraction structure or not having a diffraction structure. element. 前記出射光専用領域は、前記回折無領域であることを特徴とする請求項2に記載の光通信モジュール用光学素子。   The optical element for an optical communication module according to claim 2, wherein the outgoing light dedicated region is the diffraction-free region. 前記入射光領域にも前記出射光領域にも属さない前記光学面内の領域は、エシュロン回折構造を有することを特徴とする請求項3に記載の光通信モジュール用光学素子。   4. The optical element for an optical communication module according to claim 3, wherein a region in the optical surface that does not belong to the incident light region or the outgoing light region has an echelon diffraction structure. 前記入射光領域にも前記出射光領域にも属さない前記光学面内の領域は、隣接する前記入射光領域または前記出射光領域と同じ回折構造を有することを特徴とする請求項1に記載の光通信モジュール用光学素子。   The region in the optical plane that does not belong to the incident light region or the outgoing light region has the same diffractive structure as the adjacent incident light region or the outgoing light region. Optical element for optical communication module. 前記出射光はレーザ光であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   6. The optical element for an optical communication module according to claim 1, wherein the emitted light is laser light. 前記入射光は前記光学素子の光軸に対しその出射端面が傾斜した光ファイバから前記光学素子に入射することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   The optical communication module optical according to any one of claims 1 to 6, wherein the incident light is incident on the optical element from an optical fiber whose exit end face is inclined with respect to the optical axis of the optical element. element. 前記光学面において前記入射光領域が略円形状であり、前記出射光領域が略楕円形状であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   The optical element for an optical communication module according to any one of claims 1 to 7, wherein the incident light region has a substantially circular shape on the optical surface, and the emission light region has a substantially elliptical shape. 前記入射光は、複数の波長の光を含むとき、前記入射光領域の回折構造により回折され、その回折光は前記波長により回折角度が異なることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   9. The incident light according to claim 1, wherein when the incident light includes light having a plurality of wavelengths, the incident light is diffracted by a diffractive structure of the incident light region, and the diffraction angle of the diffracted light varies depending on the wavelength. An optical element for an optical communication module according to Item. 集光機能を備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   The optical element for an optical communication module according to claim 1, further comprising a light collecting function. 前記光学面の回折構造を電子ビーム描画法により形成したことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子。   The optical element for an optical communication module according to claim 1, wherein the diffractive structure of the optical surface is formed by an electron beam drawing method. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の光通信モジュール用光学素子と、
前記光ファイバからの光が前記光学素子を介して入射する前記受光素子と、
前記光ファイバに向けて前記光学素子を介して光を出射する前記発光素子と、を備えることを特徴とする光通信モジュール。
An optical element for an optical communication module according to any one of claims 1 to 11,
And the light receiving element which light from the optical fiber is incident through the optical element,
An optical communication module comprising: the light emitting element that emits light toward the optical fiber through the optical element.
前記光ファイバは前記光学素子の光軸に対しその出射端面が傾斜していることを特徴とする請求項12に記載の光通信モジュール。   The optical communication module according to claim 12, wherein an emission end face of the optical fiber is inclined with respect to an optical axis of the optical element. 前記発光素子はファブリ・ペロー半導体レーザから構成されることを特徴とする請求項12または13に記載の光通信モジュール。   14. The optical communication module according to claim 12, wherein the light emitting element is configured by a Fabry-Perot semiconductor laser. 前記受光素子は複数の受光部を備え、前記回折構造による回折角度の異なる回折光がその回折角度に応じて各々の受光部に入射するように構成したことを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の光通信モジュール。   15. The light receiving element according to claim 12, wherein the light receiving element includes a plurality of light receiving portions, and diffracted light having different diffraction angles by the diffraction structure is incident on each light receiving portion according to the diffraction angles. The optical communication module according to claim 1.
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