JP4303640B2 - 様々な知的保全アプリケーション用の汎用組込み型装置および機構 - Google Patents

様々な知的保全アプリケーション用の汎用組込み型装置および機構 Download PDF

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Description

本発明は、様々な知的保全(IM(Intelligent-Maintenance))アプリケーション用の汎用組込み型装置(GED(generic embedded device))および機構に関し、より詳細には、様々なIMアプリケーションの情報を検索および伝送するための拡張可能GEDおよびその機構に関する。
製造工場にとっては、プロセス情報を効率的に収集し、分析することが非常に重要である。一般的に、製造工場は、プロセス情報を収集して分析するための、情報ベンダーが提供するシステム、または自前で開発した専用システムを採用して、様々な種類の情報機器の状態モニタリング、誤り検出、診断および予知診断などの、様々な保全アプリケーションを実施している。システムベンダーが開発したシステム、または製造工場が開発した専用システムのいずれも、様々な種類の機器、異なるアプリケーションモジュール、および外部システムに対する標準通信インターフェイスを備えていない。したがって、様々な種類の機器、異なる保全アプリケーションモジュールおよび外部システムに対して、プロセス情報を収集して分析するための、異なる種類のプログラムを開発しなくてはならない。
米国のウイスコンシン大学(University of Wisconsin)およびミシンガン大学(University of Michigan)は、知的保全システム(IMS)についての産学協同研究センターを設立し、ここで「知的保全」という概念を提示した。この概念では、構成要素および機械は、一般に、4つの動作状態、すなわち正常動作状態、劣化状態、保全状態、および故障状態を有すると考える。経時変化が発生する場合には、構成要素または機械は、一般に、最初に一連の劣化プロセスを経て、次いで故障状態が続く。したがって、劣化状態を検出し検知することができると、故障状態が発生する以前に予防的保全を行うことができる。しかしながら、IMSセンターが提案する現行の機器情報取得システムは、データ管理およびハードウエア変化を考慮に入れておらず、このために異なる種類の情報機器にリンクする移行能力(migration capability)が低い。IMSのD2B(Device-to-Business)という概念は、様々な保全アプリケーションモジュールに対する拡張性を重視せず、このために、異なる保全アプリケーションモジュールを採用する上での困難さを増大させている。さらに、IMSセンターは、保全関係情報を検索し、伝送するための標準的な機構を提案していない。
したがって、様々な保全アプリケーションモジュールを考慮する拡張性問題を解決するためのオブジェクト指向設計のオープンインターフェイスを使用し、かつ、様々な種類の情報機器用の、情報の検索および伝送において汎用であるように、情報取得および伝送用の標準機構を確立して、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を開発し、それによって様々な種類の情報機器に効率的に接続することが急務である。
本発明の一目的は、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を提供し、それによって有線または無線リンクインターフェイスを備える情報機器に、様々なIMアプリケーションの情報を検索して伝送する能力を持たせることを可能にすることである。
本発明の別の目的は、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を提供し、それによって、単一の情報機器または特定のハードウエアだけに使用するのに適する、従来式データ検索プログラムの欠点を克服することである。
本発明の別の目的は、拡張性問題を解決するためにオブジェクト指向設計のオープンインターフェイスを採用し、それによってR&D担当者が、様々な保全アプリケーションモジュールを簡便に追加することを可能にする、GEDおよびその機構を提供することである。
本発明の別の目的は、情報を検索し、伝送するための3つの標準プロセスが、様々な情報機器の情報の操作に汎用的に応用するために設定されている、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を提供することである。
本発明の上記の目的にしたがって、情報機器の情報を検索、収集、管理および分析するための、様々なIMSアプリケーション用のGEDを提供する。
本発明の好ましい一態様によれば、GEDは、データコレクタおよび通信マネージャを備える。データコレクタは、情報機器の情報を収集して管理するのに使用するとともに、さらにデバイスドライバおよび収集プラン(collection plan)を含み、デバイスドライバは、情報機器の情報を検索するのに使用されるとともに、機器従属であり、また収集プランは、デバイスドライバが検索する情報を管理する役割を果たすとともに、機器独立である。通信マネージャは、通信エージェント、アプリケーションインターフェイスおよび収集インターフェイスをさらに含む。通信エージェントは、情報機器の情報を外部システムに送信するか、または外部システムからコマンドを受信するのに使用する。アプリケーションインターフェイスは、IMアプリケーションモジュールへ結合する役割を果たし、IMアプリケーションモジュールは、アプリケーションインターフェイスを使用してデータコレクタが伝送する情報を取得することができる。収集インターフェイスは、情報機器の情報を通信エージェントまたはアプリケーションインターフェイスに伝送するための収集プランに特にリンクされている。
さらに、本発明の上記目的にしたがって、情報機器の情報を検索、収集、管理および分析するための、様々なIMアプリケーション用のGEDの機構を提供する。
本発明の好ましい一態様によれば、情報取得および伝送機構は、例外通知プロセス、定期検査プロセス、およびデータ照会プロセスを含む。例外通知プロセスにおいては、例外が発生するときに、情報機器が例外メッセージを開始し、この例外メッセージが、GEDを介してIMアプリケーションモジュールまたは外部システムに配信される。定期検査プロセスは、IMアプリケーションモジュールが送るデータ検索要求によって起動される。GEDのデバイスドライバが、データ検索要求に応じて情報機器の情報を検索した後に、情報機器の情報がIMアプリケーションモジュールに送られる。次いで、IMアプリケーションモジュールが、情報の分析と評価を開始する。その後に、検査結果が、外部システムに送られる。データ照会プロセスは、外部システムが送るデータ照会要求によって起動される。データ照会要求に応答してGEDが情報機器の情報を検索した後に,情報機器の情報は、GEDの通信エージェントを介して外部システムに返信される。
したがって、本発明は、様々な種類の情報機器の情報を検索し、伝送するのに汎用的に応用することが可能であり、様々なIMアプリケーションモジュールを採用する拡張性を有し、様々な種類の情報機器またはハードウエアに組込みが可能であり、かつ、情報取得および伝送の標準プロセスを使用して様々な種類の情報機器の情報を検索し伝送することができる。
本発明の上記の態様およびそれに付随する利点の多くが、添付の図面を参照して、以下の詳細な説明を合わせ読んで、本発明をよりよく理解することによって、明らかになるであろう。
本発明のGEDは、2つの主要部分、すなわち組込みリアルタイムオペレーティングシステム(RTOS)で構築された動作環境と、オブジェクト指向のクロスプラットフォームシステムソフトウエアとを含む。本発明は、このシステムソフトウエアをRTOS内に、統合デバイスの形態で装備するものであり、RTOSは、リアルタイムスケジューラ(すなわち、リアルタイムスケジューリングアルゴリズム);TCP/IPスタック(すなわち、完全TCP/IPネットワーク機能);仮想メモリ、メモリページングおよびメモリマネジメントユニット(MMU)もサポートする完全メモリマネジメント;および完全Java(登録商標)実行環境を有する。本発明のRTOSは、次の記憶デバイスにインストールすることもできる。それは、IDE/ユニバーサル・シリアル・バス(USB(登録商標;以下同じ))/PCIインターフェイスのディスク・オン・モジュール、IDE/USB/PCIインターフェイスのディスク・オン・チップ、IDE/USB/PCIインターフェイスのコンパクトフラッシュ(登録商標)カード、およびIDE/USB/PCIインターフェイスのその他のフラッシュメモリである。
本発明のRTOSは、組込み型Linux(登録商標;以下同じ)テクノロジー(組込み型システムにおいてLinuxオペレーティングシステムを用いることを指す)によって開発するが、WinCE、WinCEnetおよびXP組込みオペレーティングシステムも、本発明に適用することができる。組込み型Linuxテクノロジーを使用して組込み型デバイスを開発する最大の利点の一つは、アセンブリ言語でハードウエアを統合する従来式の方法から、アプリケーションソフトウエアだけを開発する方法に、全体開発パターンを進化させて、それによってより強力な機能を有するソフトウエアリゾリューションタスクをさらに提供することである。同時に、全体組込み型Linuxシステムを構築する観点においては、本発明は、オープンソースの方法を採用してソフトウエアを開発し、多くのフリーソフトウエアをリゾリューションタスクとして使用する。
本発明のGEDは、シングルボードシステム、ハードディスクドライブなしのパーソナルコンピュータ、ARM/MIPS/PowerPC、その他のコンピュータシステムの形態などで製作することができる。以下には、本発明のGEDのシステムソフトウエアについて記述する。
図1を参照すると、図1は、本発明によるGEDの概略構成図を示してある。本発明のGED100は、データコレクタ120、通信マネージャ120およびIMアプリケーションモジュール130を含み、IMアプリケーションモジュール130は、知的保全機能を有するプラグ可能カスタム化アプリケーションモジュールである。データコレクタ120は、情報を収集し、管理するために使用する要素であり、収集プラン122およびデバイスドライバ124で構成されており、収集プラン122は、デバイスドライバ124が機器140から検索する情報を管理する役割を果たすとともに、収集プラン122は機器独立である、すなわち収集プラン122は任意の種類の情報機器に対して使用することができる。デバイスドライバ124は、機器140の情報を検索するのに使用し、機器従属である、すなわち異なる種類の情報機器は、異なる設計のデバイスドライバを有し、デバイスドライバは、機器製造業者が提供するインターフェイス仕様を基準にして設計することができる(例えば、自動車使用のためのデバイスドライバ、半導体機器使用のためのデバイスドライバ)。データ収集は、データコレクタ120内にインストールされたデバイスドライバ124によって処理され、デバイスドライバ124は、機器140とのインターフェイス問題を解決して機器140の情報を取得するために使用される。データコレクタ120内の収集プラン122は、デバイスドライバ124が検索した情報を管理する役割を果たし、そのために収集プラン122は、機器140との通信方法について配慮する必要がない。
機器情報を分類して管理するための収集プラン122の方式は、例えば、情報機器の機能に基づいて情報を分類する、リアル、インテジャまたはブーリアンなどのデータタイプに基づいて情報を分類する方式、機器情報をオブジェクトとしてパケット化する方式、情報をXMLフォーマットのメタデータに変換する方式、またはプログラム言語によって実現可能な、その他任意の管理方式とすることができる。機器情報を取得するためのデバイスドライバの方式は、例えば、RS−232、RS−485、その他などの標準ハードウエアI/Oインターフェイス、IEEE802.11a、IEEE802.11b、Bluetooth(登録商標;以下同じ)ワイヤレス規格(IEEE802.15.1ともいう)、その他などの標準TCP/IP有線またはTCP/IP無線ネットワークプロトコル、ハードウエアによって定義されるインターフェイス、ファイル転送、OPC(プロセス制御用のOLE)サーバ、および半導体または電子業界用のSEMISECSI(E4)、SECSII(E5)、GEM(E30)、HSMS(E37)、OBEM(E98)、CEM(E120)、その他などの業界定義の仕様を介して実行することができる。
通信マネージャ110は、通信エージェント114、アプリケーションインターフェイス116および収集インターフェイス112を含む。収集インターフェイス112は、データコレクタ120の収集プラン122に特にリンクするために使用し、収集インターフェイス112が、機器140の情報を、IMアプリケーションモジュールまたは外部システム150に伝送する。アプリケーションインターフェイス116は、GED100にプラグ可能なIMアプリケーションモジュール130にリンクする役割を果たすプログラムインターフェイスであり、IMアプリケーションモジュール130は、アプリケーションインターフェイス116を介して収集インターフェイス112が伝送する情報を取得する。したがって、GEDが特殊なファンクション(例えば、機器140に対して必要な、状態モニタリング、誤り検出、診断、予知診断、その他のアプリケーションプログラム)を必要とするときには、これらの特殊ファンクションは、アプリケーショインターフェイス116およびIMアプリケーションモジュール130を参照して、単にファンクションをIMアプリケーションモジュールの形態でコーディングすることによって、GED100に容易に追加することができる。アプリケーションインターフェイス116の標準ファンクション指定は、次のようにすることができる。
Class{
receiveExceptionInfo();
submitRequest();
submitStatus();
requestforData();
}
IMアプリケーションモジュール130の標準ファンクション指定は、次のようにすることができる。
Class{
analyzeExcepotionalInfo();
analyzeData();
}
さらに、通信マネージャ110は、通信エージェント114に依存して分析結果を外部システム150に送り、外部システム150も、通信エージェント114を介してコマンドを通信マネージャ110に送ることができ、ここで通信エージェント114は、SOAP(Simple Object Access Protocol)またはWebService仕様を採用して、有線または無線通信を介してイントラネット/インターネット上の他端に情報を転送することができる。さらに、CORBA(Common Object Request Broker Architecture)、DCOM(Distributed Component Object Model)、またはRMI(遠隔メソッド呼び出し(Remote Method Invocation))などの、その他の通信仕様も採用可能である。
例えば図1に示すように、GED100の各構成要素の動作プロセスについての説明は以下のとおりである。
データコレクタ120は、その中にインストールされたデバイスドライバ124を介して、機器140の情報を取得する。その後に、収集プランが、デバイスドライバ124が取得した情報をフィルタリング、分類し、次いで処理した情報を、収集インターフェイス112を介して通信マネージャ110に伝送する。IMアプリケーションモジュール130が、GED100にプラグされている場合には、通信マネージャ110は、アプリケーションインターフェイス116を介してIMアプリケーションモジュール130に、すべての必要な情報を伝送する。外部システム150に送る必要のある情報がある場合には、通信マネージャ110は、その情報を、通信エージェント114を介して外部システム150に有線または無線で伝送することになる。本発明のGED100は、双方向通信インフラストラクチャに構築される、すなわち、外部システム150は、通信エージェント114、収集インターフェイス112、および収集プラン122およびデバイスドライバ124を介して、機器140にコマンドを出すこともできる。
本発明は、システムソフトウエアを包含するGEDであり、GEDは、情報機器内部に直接的に実装することが可能であり、GEDが検索する知的保全関係の情報は、実際の要件に応じてカスタム化することができる。全体システムソフトウエアが、オブジェクト指向テクノロジーを用いて設計されているので、専用アプリケーションを実行するためのIMアプリケーションモジュール130は、通信マネージャ110内のアプリケーションインターフェイス116のインターフェイス仕様およびIMアプリケーションモジュール130のそれを参照するだけの実装によって、追加することができる。したがって、本発明を採用する情報機器は、無線または有線ネットワークを介して様々な知的保全アプリケーションをカスタム化する能力が高い。
情報検索方法に関して、本発明は、最初に収集および管理し、続いて伝送する方式を採用する。本発明によれば、様々なIMアプリケーション用のGEDの、情報取得および伝送に3種類のプロセス機構があり、それは、例外通知プロセス、定期検査プロセス、およびデータ照会プロセスである。例外通知プロセスにおいては、例外が発生すると、機器140が、能動的に例外メッセージを開始し、この例外メッセージが、GED100を介してIMアプリケーションモジュール130または外部システム150に配信される。定期検査プロセスにおいては、データ検索要求または検査要求が、GEDにプラグされたIMアプリケーションモジュール130によって、定期的に提出され、このデータ検索または検査要求に応答して、GED100が機器140の情報を検索した後に、機器140の情報が、IMアプリケーションモジュール130に返信される。
次いで、IMアプリケーションモジュール130は、分析プロセスを実行する。分析結果が取得された後に、それは、外部システム150に送られることになる。データ照会プロセスにおいては、外部システム150が、データ照会要求を提出し、このデータ照会要求に応じてGED100が機器140の情報を検索した後に、その情報が、通信エージェント114を介して外部システム150に返信される。以下には、これら3つのプロセスの詳細なシナリオを記述する。
1.例外通知プロセス
図2を参照すると、図2には、本発明の例外通知プロセスを示す概略シーケンス図を示してある。機器140に例外が発生すると、機器140は、能動的に例外メッセージを送る。例外メッセージは、収集プラン122によって分類され、次いで収集インターフェイス112が、分析および処理のために、例外メッセージをIMアプリケーションモジュール130に配信することを選択することができる。分析および処理がなされた後に、IMアプリケーションモジュール130は、外部システム150に、分析結果を通知する。IMアプリケーションモジュール130による分析が、分配可能(dispensable)であれば、収集インターフェイス112は、実行メッセージを外部システム150に直接送ることを選択することができる。IMアプリケーションモジュール130または外部システム150は、機器140についての、状態モニタリング、誤り検出、診断、または予知診断のジョブを実行することができる。メッセージフロープロセスについて以下に記述する。
機器140に例外が発生すると、この機器は能動的に例外メッセージを配信することになる(ステップ200)。次いで、コレクタ120内で、デバイスドライバ124が、機器140の物理的なハードウエアインターフェイスとリンクされて、例外メッセージを取得できるようになる。その後に、収集プラン122が、例外メッセージを分類、フィルタリングして例外情報として(ステップ210)、その後に、2つの可能性のあるシナリオが続く。
(1)例外情報をIMアプリケーションモジュールに送出
収集プラン122は、例外情報を、通信マネージャ110の収集インターフェイス112に送る(ステップ220)。次いで、アプリケーションインターフェイス116が、例外情報を収集インターフェイスから受け取り(ステップ230)、この例外情報を分析のためにIMアプリケーションモジュール130に配信し(ステップ240)、IMアプリケーションモジュール130が、状態レポートをアプリケーションインターフェイス116に提出する(ステップ244)。その後に、アプリケーションインターフェイス116は、状態レポートを通信エージェント114に送り(ステップ242)、通信エージェント114は、状態レポートを外部システム150に送る(ステップ250)。
(2)例外情報を外部システムに送出
収集プラン122は、例外情報を収集インターフェイス112に送る(ステップ220)。次いで、収集インターフェイス112が、通信エージェント114に例外情報を送る(ステップ232)。その後に、通信エージェント114は、外部システム150に例外情報を送る(ステップ252)。
2.定期検査プロセス
図3を参照すると、図3は、本発明の定期的検査プロセスを示す概略シーケンス図である。このプロセスには3つのステップがある。定期検査プロセスは、GEDにプラグされたIMアプリケーションモジュール130が送る定期検査要求によって起動され、要求が承諾されると、IMアプリケーション130は、機器140からの情報の検索を開始することが可能であり、その後に、IMアプリケーションモジュール130が、検査プログラムを実行して、検査結果を外部システム150に送る。以下に、これら3つのステップの詳細について述べる。
IMアプリケーションモジュール130は、定期検査の要求を能動的に提出し(ステップ300)、同時に、定期検査のための要求関係データを送る。アプリケーションインターフェイス116を介して、通信マネージャ110は、IMアプリケーションモジュール130が提供する要求関係データを受け取り、次いで、要求関係データを収集インターフェイス112に伝え(ステップ310)、こうして要求関係データをデータコレクタ120に伝える。引き続き、収集インターフェイス112は、収集プラン122に、データタイプ(ステップ330)、バッファサイズ(ステップ332)、および開始時間(ステップ334)を、通信マネージャ110が送る要求関係データに応じて設定することを要求する。これらのパラメータが適切に設定された後に、次いで、収集プラン122がデータ収集プランを生成する(ステップ340)。
データ収集プランが生成された後に、IMアプリケーションモジュール130は、データの要求を送り始め(ステップ302)、アプリケーションインターフェイス116を介してデータ要求を伝送する(ステップ312)。次いで、収集インターフェイス112が、収集プラン120にデータ収集プランを開始することを要求する(ステップ336)。このように、データ収集プランの開始要求を受け取った後に、収集プラン122は、デバイスドライバ124を介して機器データの収集を開始する(ステップ342)。その後に、デバイスドライバ124は、データを取得するために機器140の物理インターフェイスにリンクされる(ステップ350)。機器データが収集された後に、収集プラン122は、これらのデータの分類とフィルタリングを開始し(ステップ344)、この分類、フィルタリングしたデータを、さらに処理するためにIMアプリケーションモジュールに送る。
機器140のデータを取得した後に、IMアプリケーションモジュール130が、データの分析と評価を開始する(ステップ304)とともに、検査結果の状態レポートが生成されて、アプリケーションインターフェイス116に送られる(ステップ306)。その後に、アプリケーションインターフェイス116が、通信エージェント114に状態レポートを送り(ステップ314)、次いで、通信エージェント11が、状態レポートを外部システム150に送る(ステップ320)。
3.データ照会プロセス
図4を参照すると、図4には本発明のデータ照会プロセスの概略シーケンス図を示してある。このプロセスには、3つのステップがある。それは、セキュリティ検査、データ収集生成、およびデータ取得である。データ照会プロセスは、外部システム150が送るデータ照会要求によって起動される。外部システム150が要求する情報をGEDが受け取った後に、この情報が、外部システム150に返信される。以下には、これら3つのステップの詳細シナリオについて述べる。
外部システム150は、有線または無線ネットワークを介してGEDにデータ照会要求を提出する(ステップ400)。データ照会要求を受け取った後に、通信エージェント114は、収集インターフェイス112に、外部システム150の識別に関するセキュリティ検査の処理を要求する(ステップ410)。識別認証(identity authentication)を完了した後に(ステップ420)、通信エージェント114が、外部システム150から送られるデータ照会要求に関係するデータの受け取りを開始する(ステップ402)。その後に、通信エージェント114は、関係するデータを収集インターフェイス112に送り(ステップ412)、次いで、収集インターフェイス112が、データコレクタ120にデータ照会要求を提出する。最初に、収集プラン120は、通信マネージャ110が送る関係データに応じて、データタイプ(ステップ422)、バッファサイズ(ステップ424)、および開始時間(ステップ426)を設定し、次いで、データ収集プランを生成する(ステップ430)。
データ収集プランが生成された後に、外部システム150が、データ照会要求を通信エージェント114に送り(ステップ404)、次いで、通信エージェント114は、データ照会要求を収集インターフェイス112に送る(ステップ414)。データ照会要求を受け取った後に、データ収集プランが起動され(ステップ428)、収集インターフェイス122が、デバイスドライバ124を介してデータ収集を開始する(ステップ432)。その後に、デバイスドライバ124が、機器140の情報を取得できるように機器140の物理インターフェイスにリンクされる(ステップ440)。機器140の情報を取得した後に、収集プラン122は、情報を分類、フィルタリングして(ステップ434)、処理された情報を、通信マネージャ110を介して外部システム150に送り返す。
要約すると、本発明によれば、GED内の各構成要素のインターフェイスのファンクション指定は、次のように要約することができ、その中で、以下に紹介するファンクションは、図2〜図4に示すシーケンスの実行に使用するメソッドコールである。
(1)機器140:getData();
(2)外部システム150:sendStatus(); sendExceptionInfo();
(3)アプリケーションインターフェイス116(通信マネージャ110のサブモジュール):receivExceptionInfo(); submitRequest(); submitStatus(); requestforData();
(4)通信エージェント114(通信マネージャ110のサブモジュール):dirverRequestInfo(); sendStatus(); sendExceptionInfo(); submitRequest(); requestforData();
(5)収集インターフェイス112(通信マネージャ110のサブモジュール):sendExceptionalInfo(); deliverRequestInfo(); requestforData(); indentify(); authenticate();
(6)収集プラン122(データコレクタ120のサブモジュール):classifyException(); setDataTyps(); startDataCollectPlan(); classify&filterData(); creataDataCollectPan(); setBuffer(); setStartTime();
(7)デバイスドライバ124(データコレクタ120のサブモジュール):deliverException(); startDataCollect();
(8)IMアプリケーションモジュール130:analyzeExceptionInfo(); analyzeData().
上記のファンクション指定は、オブジェクト指向メソッドによってリンクされているすべての構成要素に必要とされる基本機能であり、この中のメソッドは、情報取得と伝送の様々なプロセスにおいてコールすることができる。
本発明のGEDは、様々な分野に応用可能であり、それは、製造機器内に組込みこんで、状態モニタリング、誤り検出および診断、予防的保全、その他を機器上で局所的および遠隔操作の両方で、実行する分野、あらやる種類のサーバに組み込んで、サーバまたは外部システムが、サーバの誤りまたは性能低下を検出して、誤り回復またはフォールトトレラント処置を行い、それによってアプリケーションサーバのサービス品質と信頼性を改善することを可能にする分野、AGV(自動誘導車両)に組み込んで、AGV自体または外部システムが、AGVの状態を監視し、誤りを検出かつ診断する分野などである。
以下では、好ましい実施態様を用いて、本発明をさらに説明する。
図5を参照すると、図5には、本発明の一実施態様によるGED100を、半導体製造機器のe−診断およびe−診断に応用する統合アーキテクチャの概略構造図を示してあり、ここでは、複数のGEDが、SEMI機構によって定義されるCEM(Common Equipment Model)のインターフェイス仕様を採用するそれぞれの機器140(製造機械など)に実装され、その中の各GEDは、各機器140の情報の検索に使用される。機器140の情報は、イントラネット151の工場側にあるMES(Manufacturing Execution System)170内、およびイントラネット152の供給側にある遠隔診断/保全サーバ160内で使用するために提供され、ここでイントラネット151およびイントラネット152は、インターネット153にリンクされており、ファイアウォール154および156を用いて防護される。
IMアプリケーションモジュール130は、機器140を診断/保全するためのアプリケーションプログラムである。遠隔診断/保全サーバ(RDMS)100は、インターネット153を介して機器140の情報を検索することが可能であり、ここでGED100は、有線/無線通信をサポートする。したがって、外部システム(MES170またはRDMS160など)は、有線または無線ネットワークを介してGEDからの情報を得ることができる。統合通信プロトコル(SOAPなど)が、MES170、RDMS160および機器140に実装されたGED100の間で使用されるので、これらの3つのメンバは、同一仕様の通信エージェント114、174および164を採用して、イントラネット151、イントラネット152およびインターネット153を介して互いに通信することが可能である。さらに、診断/保全アプリケーションモジュール(すなわち、IMアプリケーションモジュール)は、GED100に組み込み可能であるとともに、GED100は、CEMインターフェイスを有する機器140に実装されて、GEDを装備するCEM機器144を形成する。
デバイスドライバ124は、CEMインターフェイスを有する機器140のデータにアクセスするためのCEMインターフェイス仕様の特別モジュールである。リンクしようとする機器140のインターフェイス仕様が変更されると、デバイスドライバ124だけを交換することが必要であり、GED100にある他のすべてのモジュールは、再設計または交換の必要がなく、したがってGED100には、様々な種類の情報機器の間での高い移行能力が与えられる。
機器140(半導体機械)に対して誤りまたは例外メッセージが発生すると、機器140は、図2に示すように例外通知プロセスにしたがって、診断/保全分析のために、データコレクタ120および通信マネージャ110を介してIMアプリケーションモジュールに例外メッセージを提出する。その後に、IMアプリケーションモジュール130が、通信エージェント114および174を介して、分析した状態レポートをMES170(外部システム)に送る。
定期検査および予防的保全の目的を達成するために、機器140は、図3に示す定期検査プロセスを採用してもよく、ここでは、定期検査周期は、診断に使用するIMアプリケーションモジュールによってスケジュールされて、データ照会要求が周期的に能動的に提出される。IMアプリケーションモジュール130は、最初に、データ照会要求に関係するデータを、通信マネージャ110を介してデータコレクタ120に送り、データタイプ、バッファサイズおよび開始時間を設定し、このようにしてデータ収集プランが設定される。データ収集プランが構築された後に、IMアプリケーションモジュール130は、通信マネージャ110およびデータコレクタ120を介して機器140からの関係する情報を受け取り始める。情報の収集を完了した後に、IMアプリケーションモジュール130は、予防的保全分析を実施し始める。分析が終了した後に、IMアプリケーションモジュール130は、状態レポートを生成し、この状態レポートを、通信エージェント114および174を介して、工場側にあるMES170に送る。
IMアプリケーションモジュール130または工場側が、いくつかの診断/保全問題の解決に失敗すると、工場側は、供給業者に支援を要請することになる。この時に、供給業者は、図4に示すように、データ照会プロセスに追従して、供給業者側のRDMS160(外部システム)から工場側にある故障機器140に、データ照会要求を提出することができる。同時に、RDMS160は、工場の外側にあり、インターネット153に依存してデータ照会要求を提出する必要があるので、セキュリティ面から、一連の検査(識別認証など)を、通信マネージャ110内にある収集インターフェイスによって実施しなくてはならない。
認証の後、次いで、RDMS160がデータ照会要求を提出することが許可される。RDM160から送られるデータ照会要求に関係するデータを受け取った後に、通信マネージャ110は、この要求関係データを、データ収集プランを生成するために、データコレクタ120の収集プラン122に転送する。引き続いて、RDMS160は、通信マネージャ110およびデータコレクタ120を介して、機器140からの関係データを得ることができる。データ収集を終了した後に、RDMS160は、診断モジュール166または保全モジュール168内で分析を実行することができる。したがって、上記のプロセスは、いわゆるe−診断およびe−保全データ照会プロセスである。
本発明の前述の実施態様から分かるように、様々なIMアプリケーションに対してGEDおよびその機構が有する利点は、(1)デバイスドライバおよび収集プランを含む2階層構造を採用し、デバイスドライバを機器従属、かつ収集プランを機器独立とすることによって、リンクすべき情報機器が変更された場合に、交換する必要があるのは対応するデバイスドライバのみであり、したがって異なる種類の情報機器の間で高い移行能力を有する、(2)一つの統合標準収集プランモジュールを異なるデバイスドライバに適用することを可能にする、(3)オブジェクト指向テクノロジーを使用してデバイスドライバおよび収集プランを作成し、これらの2つのモジュールは、データ転送用のメソッドコールを使用するとともに、統一標準インターフェイス仕様を有する、(4)デバイスドライバに、無線通信能力を有する情報機器にリンクするための、無線通信プロトコル(Bluetoothなど)を採用することが可能になることである。
本発明の別の利点は、IMアプリケーションモジュールのインターフェイスを容易に拡張および追加することのできる、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を提供することである。
本発明の別の利点は、3つの標準化情報取得および伝送プロセスが、知的保全の目的の様々な種類の情報機器の情報を検索および伝送することに、汎用的に使用できるようにした、様々なIMアプリケーション用のGEDおよびその機構を提供することである。
当業者であれば理解するように、上述の本発明の好ましい実施態様は、本発明の説明であり、本発明の限定ではない。様々な修正および類似の配設は、添付のクレームの趣旨と範囲に含めることを意図するものであり、本発明の範囲には、そのような修正および類似構造をすべて包含するように、最も広い範囲の解釈が与えられるべきである。
本発明によるGEDの概略構造図である。 本発明の例外通知プロセスを示す概略シーケンス図である。 本発明の定期検査プロセスを示す概略シーケンス図である。 本発明のデータ照会プロセスを示す概略シーケンス図である。 本発明の一実施態様に従って、半導体製造機械のe−診断およびe−保全にGEDを応用する、統合アーキテクチャを示す概略構造図である。

Claims (2)

  1. 機器の情報の検索、収集、管理および分析を実行する汎用組込み型装置(GED)であって:
    前記機器から情報を収集し、管理するデータコレクタであって:
    前記機器に従属して、前記機器の前記情報を得るデバイスドライバ;および
    前記機器から独立して、前記デバイスドライバが取得する前記情報を管理する収集プランを生成する手段をさらに含む、前記データコレクタと;
    前記データコレクタ、前記機器に対する様々な知的保全(IM)アプリケーションを提供するIMアプリケーションモジュール、および少なくとも1つの外部システムの間に通信チャネルを確立する通信マネージャであって:
    前記情報を前記外部システムに送出する通信エージェントであって、前記外部システムが該通信エージェントを介してコマンドを送出する、前記通信エージェント;
    前記収集プラン生成手段とリンクし、前記情報を前記IMアプリケーションモジュールおよび前記外部システムに伝送する収集インターフェイスであって、前記コマンドは、前記通信エージェント、前記収集インターフェイス、前記収集プランおよび前記デバイスドライバを介して、前記外部システムから前記機器に発せられる、前記収集インターフェイス;および
    前記IMアプリケーションモジュールが前記GEDに外的にプラグされる際に媒介となるアプリケーションインターフェイスであって、前記IMアプリケーションモジュールが該アプリケーションインターフェイスを使用して前記データコレクタが送出する前記情報を取得し、前記アプリケーションインターフェイスの標準ファンクション指定が、例外情報を受信するファンクション、要求を提出するファンクション、状態レポートを提出するファンクションおよび前記情報を要求するファンクションから構成されるクラスモジュールであり、前記IMアプリケーションモジュールの標準ファンクション指定が、例外情報を分析するファンクションおよび前記情報を分析するファンクションから構成される、前記アプリケーションインターフェイスを含む、前記通信マネージャと;
    例外通知を実行する手段であって、これを介して前記機器が例外メッセージを能動的に送出し、該例外メッセージは、前記GEDを介して、前記IMアプリケーションモジュールおよび外部システムに配信されるものである、前記例外通知を実行する手段と;
    前記IMアプリケーションモジュールが定期的に送出するデータ検索要求に応じて起動する定期検査プロセスを実行する手段であって、前記GEDが前記データ検索要求に応答して前記情報を検索した後に、前記情報が、前記IMアプリケーションモジュールに送られるとともに、前記IMアプリケーションモジュールが前記情報を分析して分析結果を生成した後に、前記分析結果が、前記外部システムに送られる、前記定期検査プロセスを実行する手段と
    を含む、前記汎用組込み型装置(GED)。
  2. 前記外部システムから送出されるデータ照会要求に応答して起動するデータ照会プロセスを実行する手段であって、前記GEDが、最初に、前記外部システムのセキュリティ検査を処理し、次いで、前記データ照会要求に応じて前記情報を検索し、その後に前記GEDの通信エージェントを介して前記外部システムに前記情報を返信する、前記データ照会プロセスを実行する手段とを含む、請求項1に記載の前記汎用組込み型装置(GED)。
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