JP4292769B2

JP4292769B2 - Optical inspection device

Info

Publication number: JP4292769B2
Application number: JP2002268705A
Authority: JP
Inventors: 勇中山; 勝巳中山
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2002-09-13
Filing date: 2002-09-13
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2022-09-13
Also published as: JP2004109220A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学的視察装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学的視察装置の一例としては特許文献１に示すものがある。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−２３４１３４号公報
【０００４】
この特許文献１の光学的視察装置は、図５に示され、ビデオカメラ１と、ハウジング２と、シュラウド３とを備えている。
【０００５】
ビデオカメラ１は、カメラ構造部分（図示せず）を収容する管状胴部４と、該管状胴部４の後端部に連結され且つ遠隔場所に設置した信号処理装置や表示装置に画像信号を送信するケーブル５とを有している。
【０００６】
管状胴部４の先端部は、ビデオカメラ１の対物レンズ部分を保護し且つ光学的フィルタとしての役割もする透明な板窓６により閉止されている。
【０００７】
ハウジング２は、ビデオカメラ１をその周方向に順に覆う冷却水ジャケット７、内筒８、外筒９、及び外スリーブ１０によって構成されている。
【０００８】
冷却水ジャケット７の外周面には、周方向に延びる溝１１が長手方向に等間隔に形成されている。
【０００９】
内筒８は、冷却水ジャケット７に水密に外嵌して前記の溝１１との間に冷却水流路１２を形成しており、当該冷却水流路１２に連通するように内筒８の後端の大径部１３に穿設した透孔１４には、給水管１５が接続されている。
【００１０】
また、内筒８の大径部１３の後端は、背板１６によって閉止されている。
【００１１】
外筒９の先端には、冷却水ジャケット７の内径と略同寸法の開口１７を有し、該開口１７の冷却水ジャケット７側に位置するフランジ１８とが形成されており、外筒９は、冷却水ジャケット７と内筒８の各先端面、及び内筒８の外周面に空隙を隔ててガス供給室１９を形成するように、内筒８に外嵌されている。
【００１２】
更に、外筒９の後端の大径部２０は、内筒８の大径部１３先端側に嵌着されている。
【００１３】
また、前記のガス供給室１９に連通するように外筒９の大径部２０に穿設した透孔２１には、第１の浄化用ガス管２２が接続されている。
【００１４】
外スリーブ１０の後端のフランジ部１０ａは、外筒９の大径部２０に締結され、また、外スリーブ１０の先端部には、雄ねじ２３が螺設されている。
【００１５】
このハウジング２の外スリーブ１０は、約１０００℃の連続する高温材を搬送させる高温室の側壁に固定されている。
【００１６】
シュラウド３は、外筒９の開口１７に嵌設したシュラウド本体２４と、基部を外スリーブ１０の雄ねじ２３に螺合した管状体２５と、該管状体２５の内周面に固設したノズル２６とによって構成されている。
【００１７】
シュラウド本体２４には、ノズル２６と板窓６の間に介在し且つ該板窓６からノズル２６側へ向かって徐々に内径が拡大する開口２７と、該開口２７の内周面から径方向へ放射状に延び且つ前記のガス供給室１９に連通するガス出口ポート２８とが形成されている。
【００１８】
ノズル２６は、管状体２５先端面に当接するフランジ部２９と、該フランジ部２９に連なり且つ管状体２５に嵌入した胴部３０と、該胴部３０に連なる小径部３１とを有している。
【００１９】
更に、ノズル２６には、シュラウド本体２４の開口２７に連なり且つ先端側へ向かって徐々に内径が拡大する開口３２が形成されている。
【００２０】
この開口３２内周面の先端寄りの所定部分には、周方向に延びる長孔状のガス出口３３が設けられ、該ガス出口３３に対峙する開口３２内周面の先端縁部分は、なだらかな曲面に形成されている。
【００２１】
管状体２５内周面とノズル２６の小径部３１外周面との間に形成された空間を第２のガス供給室３４とし、前記のガス出口３３に第２のガス供給室３４を連通させるガス流路３５を、ノズル２６の胴部３０外面に形成している。
【００２２】
更に、第２のガス供給室３４に連通するように管状体２５に穿設した透孔には、第２の浄化用ガス管３６が接続されている。
【００２３】
図５に示す光学的視察装置では、給水管１５から冷却水流路１２へ送給される冷却水は、冷却水流路１２を流通しつつハウジング２を冷却して図示していない排水管から流出する。
【００２４】
また、第１の浄化用ガス管２２から第１のガス供給室１９へ送給される浄化用ガスは、第１のガス供給室１９からガス出口ポート２８を経て、シュラウド本体２４内側に噴出し、シュラウド本体２４及びノズル２６の開口２７，３２内面に沿って漸次圧力を低下させつつ前方へ流れ、汚染物質が板窓６に付着することを防止する。
【００２５】
更に、第２の浄化用ガス管３６から第２のガス供給室３４へ送給される浄化用ガスは、ガス流路３５及びガス出口３３を経て、ノズル２６内側に噴出し、ガスのカーテン流を形成してノズル２６内への汚染物質の進入を抑止するとともに、その全量がシュラウド３の側方へ流出し、ノズル２６内での逆渦流の発生を防止する。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示す従来の光学的視察装置では、ハウジング２を高温室の壁板に固定しているので、監視可能な範囲がカメラの視角範囲だけに制限され広範囲に監視を行なうときには、多数の光学的視察装置が必要になる。
【００２７】
本発明は上述した実情に鑑みてなしたもので、監視範囲が広い光学的視察装置を提供することを目的としている。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光学的視察装置では、カメラを内装した水冷ジャケット空間を有し且つ先端部分を凸球面状に形成したホルダと、高温室の壁板に固着され且つ高温室の外方側から前記のホルダを摺動可能に当接する環状凹湾曲面を形成した取付座と、ホルダの先端部分に外嵌し且つ取付座に嵌着した押え板と、カメラのレンズ部分に対峙するようにホルダに設けた板窓と、２箇所に球面座を有し且つホルダの後端部に嵌着した環状部材と、ホルダ径方向に伸縮可能な２台のアクチュエータを備え、ホルダ内部の板窓へ連なるガス流路を形成すると共に、前記の水冷ジャケット空間に連通する冷却水流路をホルダに接続し、２台のアクチュエータを環状部材の周方向に間隔をおいて双方の軸線が交差するように配置し、各アクチュエータの一端部を環状部材の球面座に連結し且つ当該アクチュエータの他端部を固定物に枢支している。
【００３１】
本発明の光学的視察装置では、取付座に先端部分が当接しているホルダの姿勢を、アクチュエータの伸縮動作により変位させ、カメラの視軸の向きを調整する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図示例とともに説明する。
【００３３】
図１乃至図４は本発明の光学的視察装置の実施の形態の一例であり、図中、図５と同一の符号を付したものは同一物を表している。
【００３４】
この光学的視察装置は、ビデオカメラ１と、該ビデオカメラ１を先端寄り部分に内装したホルダ３８と、該ホルダ３８の先端に装着したノズル３９と、ホルダ３８の先端部分を摺動可能に保持する取付座４０とを備えている。
【００３５】
ビデオカメラ１は、カメラ構造部分（図示せず）を収容する管状胴部４と、該管状胴部４の後端部に連結され且つ遠隔場所に設置した信号処理装置や表示装置に画像信号を送信するケーブル５とを有している。
【００３６】
管状胴部４の先端部は、ビデオカメラ１の対物レンズ部分を保護し且つ光学的フィルタとしての役割もする透明な板窓６により閉止されている。
【００３７】
ホルダ３８は、その中心に位置してビデオカメラ１を挿入可能な孔４１と、該孔４１の先端部分を周方向に取り囲む水冷ジャケット空間４２と、前記の孔４１に連なり且つホルダ３８先端に向かって開口するノズル３９装着用の孔４３とを有している。
【００３８】
ホルダ３８の先端部分外側面は、ホルダ３８軸線上に中心点を有する凸球面状に形成されている。
【００３９】
また、孔４１には、その長手方向へ延びるガス流路４４が形成されている。
【００４０】
ガス流路４４の上流端は、水冷ジャケット空間４２のホルダ３８後端側に隣接して設けたガス導入室４５に連通し、該ガス導入室４５は、ホルダ３８後端面に接続したガス供給管４６に連通している。
【００４１】
ノズル３９は、図２に示すようにホルダ３８先端の孔４３に嵌合可能な大径部４７と、該大径部４７に連なる小径部４８とを有し、小径部４８側の端面から大径部４７側の端面へ向かって徐々に内径が拡大する孔４９が形成されている。
【００４２】
孔４９には、その内周面の板窓６至近位置から径方向へ放射状に延びて、小径部４８外周面に開口する複数のガス出口ポート５０が穿設されている。
【００４３】
ガス出口ポート５０は、ノズル３９の小径部４８外周面とホルダ３８の孔４３の内周面との間に形成される空間５１を介してガス流路４４に連通している。
【００４４】
水冷ジャケット空間４２には、ホルダ３８後端面に接続した冷却水流入管５２が挿入されている。
【００４５】
取付座４０は、光学的視察装置を取り付けるべき高温室の壁板５３の所定位置に穿設した開口を取り囲むように当該壁板５３に固着されている。
【００４６】
取付座４０は円盤状で、その外周縁部には、円筒状のフランジ５４が設けられており、取付座４０の内周面は、高温室外方側から前記のホルダ３８の先端部分が摺動可能に当接し得るように、環状凹湾曲面に形成されている。
【００４７】
また、取付座４０には、ホルダ３８の先端部分に外嵌可能で且つ取付座４０のフランジ５４内に装着し得るシール部材５５と、ホルダ３８先端の凸球面状部分の後端寄り部分に摺動可能に外嵌し且つ取付座４０のフランジ５４の内方に嵌着可能な押え板５６とが付帯している。
【００４８】
すなわち、取付座４０の環状凹湾曲面に先端部分が当接しているホルダ３８の後端側から、シール部材５５及び押え板５６を順次嵌め込み、当該押え板５６を取付座４０にボルト締結して、ホルダ３８を高温室の壁板５３に取り付ける。
【００４９】
この光学的視察装置においては、冷却水流入管５２からホルダ３８の水冷ジャケット空間４２へ流入した冷却水が、水冷ジャケット空間４２内を流通しつつホルダ３８を冷却し、図示していない冷却水排出管から外部へ流出する。
【００５０】
また、ガス供給管４６からガス導入室４５へ送給した浄化用ガスが、ガス流路４４、空間５１、及びガス出口ポート５０を経て、ノズル３９の孔４９の内側に噴出し、当該孔４９の内面に沿って漸次圧力を低下させつつ前方へ流れ、汚染物質が板窓６に付着することを防止する。
【００５４】
また、ホルダ３８及び取付座４０に加えて、ホルダ３８の後端部に、２箇所にボールジョイントの球受座５７を有する環状部材５８を嵌着している。
【００５５】
更に、ホルダ３８径方向に伸縮可能な２台のアクチュエータ５９を、環状部材５８周方向に間隔をおいて配設し、各アクチュエータ５９の一端部を前記の環状部材５８の球受座５７に自在継手６０を介して連結し、当該アクチュエータ５９の他端部に嵌装した球面軸受（図示せず）に、ホルダ３８に対して略平行なピン６１を挿通し、該ピン６１を位置固定のブラケット６２に枢支している。
【００５６】
この光学的視察装置においては、取付座４０の環状凹湾曲面に先端部分が摺動可能に当接しているホルダ３８の姿勢を、各アクチュエータ５９の伸縮作動により変位させて、ビデオカメラ１（図１参照）の視軸の向きを適宜に調整する。
【００５７】
このように、図１乃至図４に示す光学的視察装置においては、アクチュエータ５９によりホルダ３８の姿勢を変位させて、ビデオカメラ１の視軸の向きを調整するので、当該ビデオカメラ１で、高温室の内部を広範囲に監視することが可能になる。
【００５８】
なお、本発明の光学的視察装置は上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において変更を加え得ることは勿論である。
【００５９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の光学的視察装置によれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
【００６１】
本発明の光学的視察装置においては、ホルダの姿勢をアクチュエータの伸縮動作により変位させて、カメラの視軸の向きを調整するので、当該カメラの監視範囲が広がり、よって、視察対象物を確実に監視することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光学的視察装置の一例を示す概念図である。
【図２】図１に関連するノズル部分の拡大図である。
【図３】本発明の光学的視察装置の一例を示す概念図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ矢視図である。
【図５】従来の光学的視察装置の一例を示す概念図である。
【符号の説明】
１ビデオカメラ（カメラ）
６板窓
３８ホルダ
４０取付座
４２水冷ジャケット空間
４６ガス供給管
５０ガス出口ポート（ガス流路）
５２冷却水流入管
５３壁板
５６押え板
５９アクチュエータ
６２ブラケット（固定物）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical inspection device.
[0002]
[Prior art]
An example of a conventional optical inspection device is disclosed in Patent Document 1.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-8-234134 [0004]
The optical inspection device disclosed in Patent Document 1 is shown in FIG. 5 and includes a video camera 1, a housing 2, and a shroud 3.
[0005]
The video camera 1 has a tubular body 4 that accommodates a camera structure (not shown), and an image signal that is connected to a rear end of the tubular body 4 and is installed at a remote place. And a cable 5 for transmission.
[0006]
The distal end portion of the tubular body 4 is closed by a transparent plate window 6 that protects the objective lens portion of the video camera 1 and also serves as an optical filter.
[0007]
The housing 2 includes a cooling water jacket 7, an inner cylinder 8, an outer cylinder 9, and an outer sleeve 10 that sequentially cover the video camera 1 in the circumferential direction.
[0008]
Grooves 11 extending in the circumferential direction are formed on the outer peripheral surface of the cooling water jacket 7 at equal intervals in the longitudinal direction.
[0009]
The inner cylinder 8 is water-tightly fitted to the cooling water jacket 7 to form a cooling water flow path 12 between the inner cylinder 8 and the rear end of the inner cylinder 8 so as to communicate with the cooling water flow path 12. A water supply pipe 15 is connected to the through hole 14 formed in the large diameter portion 13.
[0010]
The rear end of the large diameter portion 13 of the inner cylinder 8 is closed by a back plate 16.
[0011]
At the tip of the outer cylinder 9, an opening 17 having substantially the same size as the inner diameter of the cooling water jacket 7 is formed, and a flange 18 is formed on the cooling water jacket 7 side of the opening 17. The gas supply chamber 19 is externally fitted on the front end surfaces of the cooling water jacket 7 and the inner cylinder 8 and the outer peripheral surface of the inner cylinder 8 so as to form a gas supply chamber 19 with a space therebetween.
[0012]
Further, the large-diameter portion 20 at the rear end of the outer cylinder 9 is fitted on the distal end side of the large-diameter portion 13 of the inner cylinder 8.
[0013]
A first purification gas pipe 22 is connected to a through hole 21 formed in the large diameter portion 20 of the outer cylinder 9 so as to communicate with the gas supply chamber 19.
[0014]
The flange portion 10 a at the rear end of the outer sleeve 10 is fastened to the large-diameter portion 20 of the outer cylinder 9, and a male screw 23 is screwed to the distal end portion of the outer sleeve 10.
[0015]
The outer sleeve 10 of the housing 2 is fixed to a side wall of a high temperature chamber that conveys a continuous high temperature material of about 1000 ° C.
[0016]
The shroud 3 includes a shroud main body 24 fitted in the opening 17 of the outer cylinder 9, a tubular body 25 having a base screwed to the male screw 23 of the outer sleeve 10, and a nozzle 26 fixed to the inner peripheral surface of the tubular body 25. And is composed of.
[0017]
The shroud body 24 includes an opening 27 that is interposed between the nozzle 26 and the plate window 6 and gradually increases in inner diameter from the plate window 6 toward the nozzle 26, and radially from the inner peripheral surface of the opening 27. A gas outlet port 28 extending radially and communicating with the gas supply chamber 19 is formed.
[0018]
The nozzle 26 has a flange portion 29 that contacts the distal end surface of the tubular body 25, a body portion 30 that is continuous with the flange portion 29 and fitted into the tubular body 25, and a small-diameter portion 31 that is continuous with the body portion 30. .
[0019]
Further, the nozzle 26 is formed with an opening 32 which is continuous with the opening 27 of the shroud main body 24 and whose inner diameter gradually increases toward the tip side.
[0020]
A gas outlet 33 having a long hole extending in the circumferential direction is provided at a predetermined portion near the tip of the inner peripheral surface of the opening 32, and a tip edge portion of the inner peripheral surface of the opening 32 facing the gas outlet 33 is gentle. It is formed on a curved surface.
[0021]
A space formed between the inner peripheral surface of the tubular body 25 and the outer peripheral surface of the small-diameter portion 31 of the nozzle 26 is defined as a second gas supply chamber 34, and the gas that communicates the second gas supply chamber 34 with the gas outlet 33. A flow path 35 is formed on the outer surface of the body 30 of the nozzle 26.
[0022]
Further, a second purifying gas pipe 36 is connected to a through hole formed in the tubular body 25 so as to communicate with the second gas supply chamber 34.
[0023]
In the optical inspection apparatus shown in FIG. 5, the cooling water fed from the water supply pipe 15 to the cooling water flow path 12 cools the housing 2 while flowing through the cooling water flow path 12 and flows out from a drain pipe (not shown). .
[0024]
Further, the purification gas fed from the first purification gas pipe 22 to the first gas supply chamber 19 is ejected from the first gas supply chamber 19 to the inside of the shroud main body 24 through the gas outlet port 28. Then, the pressure gradually decreases along the inner surfaces of the openings 27 and 32 of the shroud main body 24 and the nozzle 26 and flows forward to prevent contaminants from adhering to the plate window 6.
[0025]
Further, the purifying gas fed from the second purifying gas pipe 36 to the second gas supply chamber 34 is ejected to the inside of the nozzle 26 through the gas flow path 35 and the gas outlet 33, and the gas curtain flow To prevent the entry of contaminants into the nozzle 26, and the entire amount flows out to the side of the shroud 3, thereby preventing the occurrence of a reverse vortex in the nozzle 26.
[0026]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional optical inspection apparatus shown in FIG. 5, since the housing 2 is fixed to the wall plate of the high temperature chamber, the range that can be monitored is limited only to the viewing angle range of the camera, so An optical inspection device is required.
[0027]
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an optical inspection device having a wide monitoring range.
[0028]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in the optical inspection device of the present invention, a water cooling jacket space with a camera built therein and a tip portion formed in a convex spherical shape and a wall plate of a high temperature chamber are fixed to the high temperature chamber. A mounting seat that forms an annular concave curved surface that slidably contacts the holder from the outside of the chamber, a presser plate that is fitted on the tip of the holder and is fitted on the mounting seat, and a lens portion of the camera A plate window provided on the holder so as to face the holder, an annular member having spherical seats at two locations and fitted on the rear end of the holder, and two actuators that can extend and contract in the holder radial direction, A gas flow path connected to the internal plate window is formed, and the cooling water flow path communicating with the water cooling jacket space is connected to the holder, and the two actuators are spaced apart from each other in the circumferential direction of the annular member. Place them to cross each One end portion of the actuator is pivotally supported to a fixed object and the other end of the connection to and the actuator spherical seat of the annular member.
[0031]
In the optical inspection device according to the present invention, the orientation of the visual axis of the camera is adjusted by displacing the posture of the holder whose tip is in contact with the mounting seat by the expansion and contraction of the actuator.
[0032]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0033]
1 to 4 show an example of an embodiment of an optical inspection apparatus according to the present invention. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 5 denote the same components.
[0034]
This optical inspection apparatus includes a video camera 1, a holder 38 in which the video camera 1 is mounted near the tip, a nozzle 39 attached to the tip of the holder 38, and a tip of the holder 38 slidably held. Mounting seat 40.
[0035]
The video camera 1 has a tubular body 4 that accommodates a camera structure (not shown), and an image signal that is connected to a rear end of the tubular body 4 and is installed at a remote place. And a cable 5 for transmission.
[0036]
The distal end portion of the tubular body 4 is closed by a transparent plate window 6 that protects the objective lens portion of the video camera 1 and also serves as an optical filter.
[0037]
The holder 38 is located at the center of the hole 41 through which the video camera 1 can be inserted, the water cooling jacket space 42 that surrounds the tip of the hole 41 in the circumferential direction, and the hole 38 that extends to the tip of the holder 38. And a hole 43 for mounting the nozzle 39.
[0038]
The outer surface of the tip end portion of the holder 38 is formed in a convex spherical shape having a center point on the holder 38 axis.
[0039]
The hole 41 is formed with a gas flow path 44 extending in the longitudinal direction.
[0040]
The upstream end of the gas flow path 44 communicates with a gas introduction chamber 45 provided adjacent to the rear end side of the holder 38 of the water cooling jacket space 42, and the gas introduction chamber 45 is connected to the rear end surface of the holder 38. 46 communicates.
[0041]
As shown in FIG. 2, the nozzle 39 has a large-diameter portion 47 that can be fitted in the hole 43 at the tip of the holder 38 and a small-diameter portion 48 that continues to the large-diameter portion 47, and is large from the end surface on the small-diameter portion 48 side. A hole 49 whose inner diameter gradually increases toward the end face on the diameter portion 47 side is formed.
[0042]
In the hole 49, a plurality of gas outlet ports 50 extending in a radial direction from the position close to the plate window 6 on the inner peripheral surface thereof and opening to the outer peripheral surface of the small diameter portion 48 are formed.
[0043]
The gas outlet port 50 communicates with the gas flow path 44 through a space 51 formed between the outer peripheral surface of the small diameter portion 48 of the nozzle 39 and the inner peripheral surface of the hole 43 of the holder 38.
[0044]
A cooling water inflow pipe 52 connected to the rear end surface of the holder 38 is inserted into the water cooling jacket space 42.
[0045]
The mounting seat 40 is fixed to the wall plate 53 so as to surround an opening formed in a predetermined position of the wall plate 53 of the high temperature chamber to which the optical inspection device is to be mounted.
[0046]
The mounting seat 40 has a disc shape, and a cylindrical flange 54 is provided on the outer peripheral edge thereof. The inner peripheral surface of the mounting seat 40 slides from the tip of the holder 38 from the outside of the high temperature chamber. It is formed in an annular concave curved surface so as to be able to abut.
[0047]
Further, the mounting seat 40 is slid onto a seal member 55 that can be fitted to the front end portion of the holder 38 and can be mounted in the flange 54 of the mounting seat 40, and a portion near the rear end of the convex spherical portion at the front end of the holder 38. A presser plate 56 that is externally movably fitted and fits inside the flange 54 of the mounting seat 40 is attached.
[0048]
That is, the seal member 55 and the presser plate 56 are sequentially fitted from the rear end side of the holder 38 whose front end is in contact with the annular concave curved surface of the mounting seat 40, and the presser plate 56 is bolted to the mounting seat 40. The holder 38 is attached to the wall plate 53 of the high temperature chamber.
[0049]
In this optical inspection apparatus, the cooling water flowing into the water cooling jacket space 42 of the holder 38 from the cooling water inflow pipe 52 cools the holder 38 while circulating in the water cooling jacket space 42, and a cooling water discharge pipe (not shown). Out to the outside.
[0050]
Further, the purifying gas fed from the gas supply pipe 46 to the gas introduction chamber 45 is ejected to the inside of the hole 49 of the nozzle 39 through the gas flow path 44, the space 51, and the gas outlet port 50. It flows forward while gradually reducing the pressure along the inner surface of the steel plate, thereby preventing contaminants from adhering to the plate window 6.
[0054]
In addition to the holder 38 and the mounting seat 40, an annular member 58 having ball joint ball seats 57 at two locations is fitted to the rear end portion of the holder 38.
[0055]
Further, two actuators 59 that can be expanded and contracted in the radial direction of the holder 38 are arranged at intervals in the circumferential direction of the annular member 58, and one end of each actuator 59 is freely attached to the ball seat 57 of the annular member 58. A pin 61 that is substantially parallel to the holder 38 is inserted into a spherical bearing (not shown) that is connected via the joint 60 and fitted to the other end of the actuator 59, and the pin 61 is fixed to the bracket. 62 is pivotally supported.
[0056]
In this optical inspection device, the posture of the holder 38 whose tip portion is slidably in contact with the annular concave curved surface of the mounting seat 40 is displaced by the expansion and contraction operation of each actuator 59, and the video camera 1 (FIG. 1) is adjusted appropriately.
[0057]
As described above, in the optical inspection device shown in FIGS . 1 to 4, the orientation of the visual axis of the video camera 1 is adjusted by displacing the orientation of the holder 38 by the actuator 59. It becomes possible to monitor the interior of the room over a wide area.
[0058]
It should be noted that the optical inspection device of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that changes can be made without departing from the scope of the present invention.
[0059]
【The invention's effect】
As described above, according to the optical inspection device of the present invention, the following various excellent effects can be obtained.
[0061]
In the optical inspection device of the present invention, the orientation of the camera's visual axis is adjusted by displacing the orientation of the holder by the expansion / contraction operation of the actuator, so that the monitoring range of the camera is widened. Can be monitored.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an optical inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a nozzle portion related to FIG. 1;
FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating an example of an optical inspection device according to the present invention.
4 is a view taken along arrow IV-IV in FIG. 3;
FIG. 5 is a conceptual diagram showing an example of a conventional optical inspection device.
[Explanation of symbols]
1 Video camera (camera)
6 Plate window 38 Holder 40 Mounting seat 42 Water cooling jacket space 46 Gas supply pipe 50 Gas outlet port (gas flow path)
52 Cooling water inflow pipe 53 Wall plate 56 Presser plate 59 Actuator 62 Bracket (fixed)

Claims

A holder having a water-cooled jacket space with a built-in camera and a tip formed in a convex spherical shape, and a ring fixed to the wall plate of the high temperature chamber and slidably contacting the holder from the outside of the high temperature chamber A mounting seat having a concave curved surface, a presser plate that is fitted on the tip of the holder and fitted on the mounting seat, a plate window provided on the holder so as to face the lens portion of the camera, and spherical surfaces in two places An annular member having a seat and fitted to the rear end of the holder, and two actuators that can extend and contract in the radial direction of the holder, form a gas flow path that continues to the plate window inside the holder, and A cooling water flow path communicating with the jacket space is connected to the holder, and two actuators are arranged so that both axes intersect with a distance in the circumferential direction of the annular member, and one end of each actuator is connected to the spherical surface of the annular member. Connected to the seat Optical inspection apparatus characterized by pivotally supported and the other end of the actuator to a fixed object.