JP4259470B2 - Inkjet printer head manufacturing method - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、インクジェットプリンタヘッドの製造方法に関するものである。   The present invention relates to an ink jet printer head manufacturing method.

先行技術のオンディマンド型の衝撃式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開昭62−111758号公報に記載されているように、積層された状態で接着剤を介して一体に保持された複数枚の動作プレートからなるキャビティプレートの背面に、ダイヤフラムプレートを接着剤を介して接合し、該ダイヤフラムプレートの片面には、前記圧力室箇所に対応させて駆動用の圧電素子等の噴射圧力発生部材を固着したインクジェットプリンタヘッドが知られている。   In the prior art on-demand type impact type ink jet printer head, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-111758, a plurality of operation plates are integrally held via an adhesive in a stacked state. An ink jet in which a diaphragm plate is bonded to the back surface of a cavity plate comprising an adhesive, and an injection pressure generating member such as a driving piezoelectric element is fixed to one side of the diaphragm plate in correspondence with the pressure chamber location Printer heads are known.

そして、前記キャビティプレートにおける各動作プレートは、複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記圧力室に接続するインク流路やインクチャンバ(マニホールド)を有するマニホールドプレートとから構成されており、それぞれのプレートは、厚さ200μm程度もしくはそれ以下の薄い金属板である。   Each operation plate in the cavity plate includes a nozzle plate having a plurality of nozzles, a base plate having a pressure chamber for each nozzle, an ink supply source, and ink connected to the pressure chamber. It consists of a manifold plate having a flow path and an ink chamber (manifold), and each plate is a thin metal plate having a thickness of about 200 μm or less.

特開昭62−111758号公報JP-A-62-111758

本発明は、薄板状部品を積層したキャビティプレートを複数個同時に製造する方法を提供するものである。   The present invention provides a method for simultaneously manufacturing a plurality of cavity plates in which thin plate-like components are laminated.

この技術的課題を達成するため、請求項1に記載の発明は、インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数の圧力室を有するキャビティプレートを、複数種類の薄い板からなるノズルプレート、マニホールドプレート、スペーサプレート及びベースプレートを積層して構成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記複数の圧力室を有する前記ベースプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームと、前記各圧力室の一端に連通する貫通孔及び前記各圧力室の他端に連通するもう一つの貫通孔を有する前記スペーサプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームと、前記複数の圧力室の一端と前記スペーサプレートの一方の貫通孔を介して連通するインク通路及び前記複数の圧力室の他端と連通する前記スペーサプレートの他方の貫通孔と前記ノズル孔とを連通させる貫通孔を有する前記マニホールドプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームとを、それぞれ製作し、その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを重ねて一体化し、一体化した前記複数のベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを前記リードフレームから取り外す方法をとる。 To achieve this technical problem, the invention according to claim 1, comprising a cavity plate having a plurality of pressure chambers communicating with a plurality of nozzle holes for discharging ink, a plurality of types of have a thin plate-nozzle In a method of manufacturing an ink jet printer head comprising a laminate of a plate, a manifold plate, a spacer plate, and a base plate, a lead frame in which a plurality of the base plates having the plurality of pressure chambers are arranged continuously on a frame frame, and the pressures A lead frame in which a plurality of the spacer plates having a through hole communicating with one end of the chamber and another through hole communicating with the other end of each of the pressure chambers are arranged in a frame frame; and a plurality of the pressure chambers An ink passage communicating with one end through one through hole of the spacer plate and the plurality of pressure chambers; A lead frame having a plurality of said manifold plate consecutively provided disposed framework having a through hole communicating with said spacer plate other through hole of communicating with the end of said nozzle holes, manufactured respectively, the plurality of types The lead frames are stacked, the base plate, the spacer plate and the manifold plate of each lead frame are stacked and integrated, and the plurality of integrated base plates, spacer plates and manifold plate are removed from the lead frame.

また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートはそれを囲む前記各フレーム枠にそれぞれ連設片で連結され、一体化した前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを前記リードフレームから取り外すとき、前記連設片を切断する方法をとる。 Further, the invention according to claim 2 is the method of manufacturing an ink jet printer head according to claim 1, wherein the base plate, the spacer plate, and the manifold plate are connected to the frame frames surrounding the base plate, the connecting plate , respectively . When the integrated base plate, spacer plate, and manifold plate are removed from the lead frame, the connecting piece is cut.

請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記リードフレームの各前記フレーム枠は、位置決め孔を有する。 According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet printer head according to the first or second aspect , each of the frame frames of the lead frame has a positioning hole.

請求項に記載の発明は、請求項1〜のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの片面に前記接着剤を塗布した後、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを重ねて一体化する。 Invention of Claim 4 is the manufacturing method of the inkjet printer head in any one of Claims 1-3 . After apply | coating the said adhesive agent to the single side | surface of the said base plate, a spacer plate, and a manifold plate , the said base plate, The spacer plate and the manifold plate are stacked and integrated.

請求項に記載の発明は、請求項1〜のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記フレーム枠は、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの複数個をそれぞれ囲む枠状をなしている。 According to a fifth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet printer head according to any one of the first to fourth aspects, the frame frame has a frame shape surrounding each of the base plate, the spacer plate, and the manifold plate. There is no.

請求項に記載の発明は、請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの複数個は、間隔をおいて配列され、前記連設片は、前記配列方向に沿う前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの辺と前記フレーム枠とを微小幅で連設している。 According to a sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet printer head according to the second aspect, a plurality of the base plate, the spacer plate, and the manifold plate are arranged at intervals, and the connecting pieces are Sides of the base plate, spacer plate, and manifold plate along the arrangement direction and the frame frame are continuously provided with a minute width.

本発明は、ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームをそれぞれ製作し、その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームのベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを重ねて一体化し、一体化した複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外すことで、複数個のキャビティプレートを同時に製造することができる。 The present invention is a base plate, spacer plate and the lead frame a plurality and continuously arranged disposed framework of manifold plate manufactured respectively, by stacking the plurality of types of lead frames, each lead frame base plate, spacer plate and A plurality of cavity plates can be simultaneously manufactured by stacking and integrating the manifold plates and removing the integrated thin plate-like parts from the lead frame.

以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図1〜図9は、本発明の第1の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 9 show a piezoelectric ink jet printer head according to a first embodiment of the present invention.

図1において、金属板製のキャビティプレート9に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ20の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル40が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティプレート9の下面側に開口されたノズル15から下向きにインクが吐出するものとする。   In FIG. 1, a flexible flat cable 40 is overlapped and bonded to an upper surface of a plate-type piezoelectric actuator 20 bonded to a metal plate cavity plate 9 with an adhesive for connection to an external device. It is assumed that ink is ejected downward from a nozzle 15 opened on the lower surface side of the lowermost cavity plate 9.

前記キャビティプレート9は、図2〜図6に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート10、二枚のマニホールドプレート11、12、スペーサプレート13及びベースプレート14の五枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート10を除き、各プレート12、13、14は、42%ニッケル合金鋼板製で、50μm〜150μm程度の厚さを有する。前記ノズルプレート10には、微小径(実施形態では25μm程度)のインク噴出用のノズル15が、当該ノズルプレート10における第1の方向(長辺方向)に沿って2列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート10の前記第1の方向に延びる2つの平行状の基準線10a、10bに沿って、微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル15が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート11、12には、インク通路12a、12bが、前記ノズル15の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート10に対面する下側のマニホールドプレート11におけるインク通路12bは、当該マニホールドプレート12の上側にのみ開放するように凹み形成されている(図3及び図4参照)。このインク通路12a、12bは、上側のマニホールドプレート12に対する前記スペーサプレート13の積層により密閉される構造になっている。なお、図4は、ノズルプレート10、マニホールドプレート11、12、スペーサプレート13及びベースプレート14の各々における図3の右端部に相当する箇所の裏面(下面)を上向きにした状態の一部切欠き斜視図である。   The cavity plate 9 is configured as shown in FIGS. That is, the nozzle plate 10, the two manifold plates 11, 12, the spacer plate 13, and the base plate 14 are stacked and bonded together with an adhesive, and in the embodiment, made of synthetic resin. Except for the nozzle plate 10, each of the plates 12, 13, and 14 is made of 42% nickel alloy steel plate and has a thickness of about 50 μm to 150 μm. In the nozzle plate 10, ink ejection nozzles 15 having a minute diameter (in the embodiment, about 25 μm) are provided in a staggered arrangement in two rows along the first direction (long side direction) of the nozzle plate 10. It has been. That is, a large number of nozzles 15 are formed in a staggered pattern at intervals of a minute pitch P along two parallel reference lines 10a and 10b extending in the first direction of the nozzle plate 10. Ink passages 12 a and 12 b are formed in the two manifold plates 11 and 12 so as to extend along both sides of the row of the nozzles 15. However, the ink passage 12b in the lower manifold plate 11 facing the nozzle plate 10 is formed as a recess so as to open only to the upper side of the manifold plate 12 (see FIGS. 3 and 4). The ink passages 12 a and 12 b are sealed by stacking the spacer plate 13 on the upper manifold plate 12. 4 is a partially cutaway perspective view of the nozzle plate 10, the manifold plates 11 and 12, the spacer plate 13, and the base plate 14 in a state in which the back surface (lower surface) of the portion corresponding to the right end in FIG. FIG.

また、前記ベースプレート14には、その長辺(前記第1の方向)に沿う中心線に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細幅の圧力室16の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線14a、14bを設定すると、前記中心線より左側の圧力室16の先端流路16aは前記左側の長手基準線14a上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室16の先端流路16aは前記右側の長手基準線14b上に位置し、且つこの左右の圧力室16の先端流路16aが交互に配置されているので、左右両側の圧力室16は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。   The base plate 14 is provided with a plurality of narrow pressure chambers 16 extending in a second direction (short side direction) perpendicular to the center line along the long side (first direction). Has been. When parallel longitudinal reference lines 14a and 14b are set on both the left and right sides of the center line, the distal end flow path 16a of the pressure chamber 16 on the left side of the center line is positioned on the left reference line 14a. On the other hand, the tip channel 16a of the pressure chamber 16 on the right side of the longitudinal center line is positioned on the right longitudinal reference line 14b, and the tip channels 16a of the left and right pressure chambers 16 are alternately arranged. Therefore, every other pressure chamber 16 on the left and right sides is alternately arranged so as to extend in opposite directions.

この各圧力室16の先端流路16aは、前記ノズルプレート10における前記千鳥状配列のノズル15に、前記スペーサプレート13及び両マニホールドプレート11、12に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路としての微小径の連通孔17、17、17を介して連通している。一方、前記各圧力室16の他端は、断面積の小さいインク流路としての細長い絞り部16dを介して直径が大きい他端流路16bに接続されており、他端流路16bは、前記スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、前記両マニホールドプレート11、12におけるインク通路12a、12bに連通している。なお、前記他端流路16b及び細長の絞り部16dは、図3、図7及び図8に示すように、ベースプレート14の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものであり、前記他端流路16bの直径は前記貫通孔18の直径とほぼ等しく形成する。絞り部16dは圧電アクチュエータ20が連続して駆動されたときに、圧力室16へインクが供給過剰になるのを防ぐため、圧力室16よりも断面が小さくなっている。   The front end flow passages 16a of the pressure chambers 16 are formed in the staggered nozzles 15 of the nozzle plate 10 in the same manner in the staggered arrangement of the spacer plate 13 and the manifold plates 11 and 12. It communicates through small diameter communication holes 17, 17, 17 as a flow path. On the other hand, the other end of each pressure chamber 16 is connected to the other end passage 16b having a large diameter via an elongated narrowed portion 16d as an ink passage having a small cross-sectional area. The spacer plate 13 communicates with the ink passages 12a and 12b in the manifold plates 11 and 12 through through holes 18 formed in both the left and right side portions. The other end flow passage 16b and the elongated throttle portion 16d are formed to be recessed so as to open only on the lower surface side of the base plate 14, as shown in FIGS. 3, 7, and 8. The diameter of the other end channel 16b is formed to be approximately equal to the diameter of the through hole 18. The throttle portion 16d has a smaller cross section than the pressure chamber 16 in order to prevent excessive supply of ink to the pressure chamber 16 when the piezoelectric actuator 20 is continuously driven.

さらに、各圧力室16の長手方向に中途部には、ベースプレート14の板厚の半分程度の連設部16cを設けることにより、多数並設された圧力室16の側壁の剛性の低下を防止する。   Furthermore, by providing a continuous portion 16c that is about half the thickness of the base plate 14 in the middle in the longitudinal direction of each pressure chamber 16, it is possible to prevent a decrease in rigidity of the side walls of the pressure chambers 16 arranged in parallel. .

また、スペーサプレート13の一端に穿設された供給孔19bは、前記インク通路12aに連通すると共に、最上層のベースプレート14の一端部に穿設された供給孔19aにも連通している。そして、この供給孔19aの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ29が張設されている。   A supply hole 19b drilled at one end of the spacer plate 13 communicates with the ink passage 12a and also communicates with a supply hole 19a drilled at one end of the uppermost base plate 14. A filter 29 for removing dust in the ink supplied from the upper ink tank is stretched on the upper surface of the supply hole 19a.

次に、キャビティプレート9を組み立てる方法について説明する。図10に示すように、4枚のリードフレーム100a〜100dを積層して接着固定するものであり、各リードフレーム100a〜100dには、所定のパターンが形成された薄板状の部品としてのマニホールドプレート11、12、スペーサプレート13、ベースプレート14が一定間隔にて連設配置されるものとする。即ち、最下層となるリードフレーム100dには、前記実施形態におけるベースプレート14を一定間隔にて配置するように形成されている。なお、左右の細長いフレーム枠102、102の間は適宜間隔でタイバー104に連結されている。同様に、下から第2層のリードフレーム100cにはスペーサプレート13が前記と同じ間隔で形成されている。下から第3層のリードフレーム100bには、マニホールドプレート12が前記と同じ間隔で形成されている。また、最上層のリードフレーム100aには他方のマニホールドプレート11が前記と同じ間隔で形成されている。また、前記各リードフレーム100a〜100dにおけるフレーム枠102には適宜間隔にて本発明に係る構造の位置決め孔105が形成されている。なお、各プレート11、12、13、14はフレーム枠102に対して微小幅の連設片106で連結されている。   Next, a method for assembling the cavity plate 9 will be described. As shown in FIG. 10, four lead frames 100a to 100d are stacked and bonded and fixed, and each lead frame 100a to 100d has a manifold plate as a thin plate part on which a predetermined pattern is formed. 11, 12, the spacer plate 13, and the base plate 14 are arranged in a row at regular intervals. That is, the base plate 14 in the above-described embodiment is formed on the lead frame 100d as the lowermost layer so as to be arranged at regular intervals. The left and right elongated frame frames 102 are connected to the tie bar 104 at an appropriate interval. Similarly, spacer plates 13 are formed at the same interval as described above on the second-layer lead frame 100c from the bottom. Manifold plates 12 are formed in the third layer lead frame 100b from the bottom at the same intervals as described above. Further, the other manifold plate 11 is formed at the same interval as the above in the uppermost lead frame 100a. Further, positioning holes 105 having a structure according to the present invention are formed in the frame frame 102 of each of the lead frames 100a to 100d at appropriate intervals. Each plate 11, 12, 13, 14 is connected to the frame 102 by a continuous piece 106 having a very small width.

これらのリードフレームを積層する場合、図7または図8に示すように、キャビティプレート9の使用状態(下面側にインクのノズルが開口される状態)とは上下が逆になるように、リードフレームを積層する。このときは、図4、図7及び図8に示すごとく、最下層のベースプレート14、下から第2層のスペーサプレート13及びマニホールドプレート12の各々の片面に形成された接着剤用の逃がし溝33a,33b,34、35が上向きになるように配置されるものとする。   When these lead frames are laminated, as shown in FIG. 7 or FIG. 8, the lead frame is set upside down with respect to the use state of the cavity plate 9 (the state where the ink nozzles are opened on the lower surface side). Are stacked. At this time, as shown in FIGS. 4, 7 and 8, an adhesive relief groove 33 a formed on one side of each of the lowermost base plate 14, the second-layer spacer plate 13 and the manifold plate 12 from below. , 33b, 34, and 35 are arranged so as to face upward.

また、前記逃がし溝33a,33b,34、35及びそれに対向する各プレートの平坦面における上下の同じ位置には、該逃がし溝と連通し、且つ各プレート13、12、11の板厚を貫通して互いに上下方向に連通するように空気逃がし孔36a,36b,36cを穿設すると共に最上層のマニホールドプレート11または最下層のベースプレート14に形成される空気逃がし溝36a、36bの少なくとも一方は、外部に開口されている。なお、好ましくは、最下層のベースプレート14に形成される空気逃がし孔36dは板厚さの半分程度で下面側には連通しない凹みとする(図7、図8(a)及び図8(b)参照)。   Further, the escape grooves 33a, 33b, 34, 35 and the same upper and lower positions on the flat surfaces of the respective plates facing the escape grooves 33a, 33b, 34, 35 communicate with the escape grooves and penetrate the plate thicknesses of the plates 13, 12, 11. Air relief holes 36a, 36b, 36c are formed so as to communicate with each other in the vertical direction, and at least one of the air relief grooves 36a, 36b formed in the uppermost manifold plate 11 or the lowermost base plate 14 Is open. Preferably, the air escape hole 36d formed in the lowermost base plate 14 is a recess that is about half the plate thickness and does not communicate with the lower surface side (FIGS. 7, 8A, and 8B). reference).

そして、リードフレーム100a〜100dのプレートの積層面に予め接着剤39を塗布する。この接着剤39の塗布方法の一つとしては、治具の平坦面に予め接着剤39を薄く塗布しておき、この塗布面に前記リードフレーム100a〜100dのプレートの積層面を合わせることにより、例えば、ベースプレート14における逃がし溝33a、33b、圧力室16、他端流路16b、絞り部16d、空気逃がし孔36d等の凹所以外の平坦な凸面に接着剤39を転写することができる。接着剤39を塗布したローラ面に前記プレートの積層面を押し当てて転写するようにしても良い。   Then, an adhesive 39 is applied in advance to the laminated surface of the plates of the lead frames 100a to 100d. As one application method of the adhesive 39, the adhesive 39 is thinly applied in advance to the flat surface of the jig, and the laminated surfaces of the plates of the lead frames 100a to 100d are aligned with the applied surface, For example, the adhesive 39 can be transferred to a flat convex surface other than the recesses such as the escape grooves 33a and 33b, the pressure chamber 16, the other end flow passage 16b, the throttle portion 16d, and the air escape hole 36d in the base plate 14. The laminated surface of the plate may be pressed against the roller surface to which the adhesive 39 is applied to transfer it.

次いで、位置決め孔105にピンを差し込み、最下層のリードフレーム100dと最上層のリードフレーム100aとに挟持力または押圧力を作用させて接着固定するものである。   Next, a pin is inserted into the positioning hole 105, and a clamping force or a pressing force is applied to the lowermost lead frame 100d and the uppermost lead frame 100a to be bonded and fixed.

このようにして接着剤39を転写した複数枚のリードフレームを押圧して、各プレート11、12、13、14の広幅面を接着固定するとき、余分の接着剤39は前記逃がし溝33a、33b、34、35に流れ込み、次いで、さらに余分の接着剤39は、図8(b)に示すように、空気逃がし孔36d、33a、33b、33cを充満させる。このとき、前記隣接するプレート11、12、13、14の合わせ面(広幅面)や接着剤39中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記横方向の逃がし溝33a、33b、34、35及び縦方向の空気逃がし孔36d、33a、33b、33c中の接着剤39と共に移動して、プレートの外に排出される。その結果、前記隣接するプレート11、12、13、14の合わせ面(広幅面)に気泡を含まない層状に形成された接着剤39によって安定した接着兼シール層を形成することができる。   Thus, when the plurality of lead frames to which the adhesive 39 is transferred are pressed and the wide surfaces of the plates 11, 12, 13, 14 are adhered and fixed, the excess adhesive 39 is removed from the release grooves 33 a, 33 b. , 34 and 35, and then, the extra adhesive 39 fills the air escape holes 36d, 33a, 33b and 33c as shown in FIG. 8B. At this time, air mixed in the mating surfaces (wide surfaces) of the adjacent plates 11, 12, 13, 14 and the adhesive 39 becomes bubbles, and the lateral relief grooves 33 a, 33 b, 34, 35, and It moves together with the adhesive 39 in the vertical air escape holes 36d, 33a, 33b, 33c and is discharged out of the plate. As a result, a stable adhesion / seal layer can be formed by the adhesive 39 formed in a layer shape that does not include bubbles on the mating surfaces (wide surfaces) of the adjacent plates 11, 12, 13, 14.

その後、最上層のマニホールドプレート11の上面にて前記空気逃がし孔3633cの箇所を接着剤等のシール剤38にて封止すると、マニホールドプレート11の上面が平滑な広幅面であり、この面でシールすることから、確実に前記シール剤38にて塞ぐことができる。その結果、各プレート11、12、13、14におけるインク流路としての、インク通路12a、12b、連通孔17、貫通孔18、並びに各圧力室16や先端流路16a、他端流路16b等からキャビティプレート9の外部へのインクの漏出が確実に防止できるのである。   Thereafter, when the air escape hole 3633c is sealed with a sealing agent 38 such as an adhesive on the upper surface of the uppermost manifold plate 11, the upper surface of the manifold plate 11 is a smooth wide surface. As a result, the sealing agent 38 can be reliably closed. As a result, the ink passages 12a, 12b, the communication holes 17, the through holes 18, the pressure chambers 16, the front end flow passages 16a, the other end flow passages 16b, etc., as the ink flow paths in the plates 11, 12, 13, 14 and so on. Thus, leakage of ink from the outside to the outside of the cavity plate 9 can be reliably prevented.

なお、液状の接着剤39がプレート(ベースプレート14等を含む、以下同じ)の合わせ面のような狭い隙間を通る毛細管現象では、断面積の大きい箇所よりも毛細管力が大きい、断面積の小さい箇所の方に、先に接着剤39が引き寄せられるから、インク流路としての他端流路16bから圧力室16に連通する前記絞り部16dや連通孔17、貫通孔18の各断面積よりも逃がし溝33a、33b、34、35の断面積を小さくなるように設定することで、プレートの合わせ面における接着剤39が前記各インク流路よりも先に逃がし溝33a、33b、34、35を介して外に逃がし、インク流路が接着剤39で塞がれるのを防止できるのである。   In a capillary phenomenon in which the liquid adhesive 39 passes through a narrow gap such as a mating surface of a plate (including the base plate 14 and the like), a location where the capillary force is larger than a location where the cross-sectional area is large and the location where the cross-sectional area is small On the other hand, since the adhesive 39 is first drawn, it escapes from the cross-sectional areas of the throttle portion 16d, the communication hole 17, and the through hole 18 communicating with the pressure chamber 16 from the other end flow path 16b as an ink flow path. By setting the cross-sectional areas of the grooves 33a, 33b, 34, and 35 to be small, the adhesive 39 on the mating surfaces of the plates escapes before the ink channels and passes through the grooves 33a, 33b, 34, and 35. Therefore, it is possible to prevent the ink flow path from being blocked by the adhesive 39.

図4及び図9に示すように、前記絞り部16dや連通孔17、貫通孔18などのインク流路から離れた箇所の逃がし溝42、43、44に空気逃がし孔52、53、54、55を穿設するようにしても良い。   As shown in FIGS. 4 and 9, air escape holes 52, 53, 54, and 55 are provided in the escape grooves 42, 43, and 44 at locations away from the ink flow path, such as the throttle portion 16d, the communication hole 17, and the through hole 18. You may make it pierce.

なお、これら逃がし溝36c、36d、55の開口端は、好ましくは図11のように封止することができる。即ち、後述するよう、完成したインクジェットプリンタヘッド6を、装置本体のヘッドホルダ1またはキャリッジ等に固定する際、ノズルプレート10が露出する窓孔44aを有するカバープレート44とマニホールド11との間にシール剤38を挟んで、カバープレート44でインクジェットプリンタヘッド6を覆う。これにより、カバープレート44の窓孔44aの周囲とインクジェットプリンタヘッド6との間の封止と前記空気逃がし孔36c、36d、55の開口端の封止を同時に行う。図4のマニホールドプレート11の溝45は、シール剤38のための逃がし溝である。   Note that the open ends of the escape grooves 36c, 36d, and 55 can be preferably sealed as shown in FIG. That is, as will be described later, when the completed inkjet printer head 6 is fixed to the head holder 1 or the carriage of the apparatus main body, a seal is provided between the cover plate 44 having the window hole 44a through which the nozzle plate 10 is exposed and the manifold 11. The ink jet printer head 6 is covered with the cover plate 44 with the agent 38 interposed therebetween. Thereby, sealing between the periphery of the window hole 44a of the cover plate 44 and the inkjet printer head 6 and sealing of the open ends of the air escape holes 36c, 36d, and 55 are simultaneously performed. The groove 45 of the manifold plate 11 in FIG. 4 is a relief groove for the sealant 38.

以上のようにして接着固定されたリードフレーム100a〜100dから連設片106が切断されて、一体化されたキャビティプレート9が取り外される。そのキャビティプレート9では、前記前記ベースプレート14及びスペーサプレート13の一端部に穿設の供給孔19a,19bから前記インク通路12a、12b内に流入したインクは、このインク通路12aから前記各貫通孔18を通って前記各圧力室16内に分配されたのち、この各圧力室16内から前記連通孔17、17、17を通って、当該圧力室16に対応するノズル15に至るという構成になっている。   The continuous piece 106 is cut from the lead frames 100a to 100d bonded and fixed as described above, and the integrated cavity plate 9 is removed. In the cavity plate 9, the ink that has flowed into the ink passages 12 a and 12 b from the supply holes 19 a and 19 b drilled at one end of the base plate 14 and the spacer plate 13 passes through the ink passages 12 a and the through holes 18. After being distributed through the pressure chambers 16 through each of the pressure chambers 16, the nozzles 15 corresponding to the pressure chambers 16 are reached from the pressure chambers 16 through the communication holes 17, 17, 17. Yes.

一方、前記圧電アクチュエータ20は、図5及び図6に示すように、複数枚の圧電シート21を積層した構造で、特開平4−341853号公報に開示されたものと同様に、1枚の厚さが30μm程度の各圧電シート21のうち最下段の圧電シートとそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シートの上面(広幅面)には、前記キャビティプレート9における各圧力室16に対応した箇所ごとに細幅の個別電極(図示せず)が、第1の方向(長辺方向)に沿って列状に形成され、各個別電極は前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面(広幅面)には、複数個の圧力室16に対して共通のコモン電極(図示せず)が形成されており、最上段のトップシート23の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極30と、前記各コモン電極に対して電気的に接続される表面電極31とが、設けられている(図1参照)。   On the other hand, as shown in FIGS. 5 and 6, the piezoelectric actuator 20 has a structure in which a plurality of piezoelectric sheets 21 are laminated, and the thickness of one sheet is the same as that disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-341833. Among the piezoelectric sheets 21 having a thickness of about 30 μm, on the upper surface (wide surface) of the lowest-order piezoelectric sheet and the odd-numbered piezoelectric sheet counting upward from the piezoelectric sheet 21, there are portions corresponding to the pressure chambers 16 in the cavity plate 9. Narrow individual electrodes (not shown) are formed in a row along a first direction (long-side direction), and each individual electrode extends along a second direction orthogonal to the first direction. Each piezoelectric sheet extends to the vicinity of the edge of the long side. A common electrode (not shown) common to the plurality of pressure chambers 16 is formed on the upper surface (wide surface) of the even-numbered piezoelectric sheet from the bottom. The surface electrode 30 that is electrically connected to each of the individual electrodes and the surface electrode 31 that is electrically connected to each of the common electrodes are provided along the edge of the long side. (See FIG. 1).

そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ20における下面(圧力室16と対面する広幅面)全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート41を予め貼着し、次いで、前記キャビティプレート9に対して、当該圧電アクチュエータ20が、その各個別電極を前記キャビティプレート9における各圧力室16の各々に対応させて接着・固定される(図5、図6参照)。また、この圧電アクチュエータ20における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル40が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル40における各種の配線パターン(図示せず)が、前記各表面電極30、31に電気的に接合される。   Then, an adhesive sheet 41 made of an ink non-permeable synthetic resin material as an adhesive layer is pasted in advance on the entire lower surface (the wide surface facing the pressure chamber 16) of the plate-type piezoelectric actuator 20 having such a configuration. Next, the piezoelectric actuator 20 is bonded and fixed to the cavity plate 9 with the individual electrodes corresponding to the pressure chambers 16 in the cavity plate 9 (FIGS. 5 and 6). reference). Further, when the flexible flat cable 40 is pressed against the upper surface of the piezoelectric actuator 20, various wiring patterns (not shown) in the flexible flat cable 40 become the surface electrodes 30, 31. Electrically joined to the

この構成において、前記圧電アクチュエータ20における各個別電極24のうち任意の個別電極と、コモン電極との間に電圧を印加することにより、圧電シート21のうち前記電圧を印加した個別電極の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室16の内容積が縮小されることにより、この圧力室16内のインクが、ノズル15から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる(図6参照)。   In this configuration, by applying a voltage between an arbitrary individual electrode among the individual electrodes 24 in the piezoelectric actuator 20 and a common electrode, the piezoelectric sheet 21 is piezoelectrically applied to the portion of the individual electrode to which the voltage is applied. Due to the distortion in the stacking direction due to the ink, the internal volume of the pressure chamber 16 corresponding to each individual electrode is reduced due to this distortion, so that the ink in the pressure chamber 16 is ejected from the nozzle 15 in the form of droplets. Then, predetermined printing is performed (see FIG. 6).

図12は、発明者が、上記実施形態の先に考えたキャビティプレートの製造方法を示す。図12(a)に示すように、ベースプレート101dでは、ノズルプレートにおけるノズルの数に対応する数の圧力室(図示せず)が所定の間隔で形成されており、この各圧力室の他端に連通する絞り溝103とその端部に連通する大径のインク流路102とが、板厚の半分程度に凹み形成される。また、このベースプレート101cに接着固定するスペーサプレート101cでは、前記インク流路102に連通すると共にその隣接する層のマニホールドプレート101b(図12(b)参照)における共通のインクチャンバ(図示せず)に連通するインク流路としての貫通孔104が板厚を貫通するように穿設されている。そして、前記インク流路102、絞り溝103及び貫通孔104の周囲には、接着するときの余分な接着剤105(図12(b)参照)や空気を逃がすために、逃がし溝106、107が形成され、さらに、逃がし溝106、107の端部106a、107aを各プレート101c、101dの外周面に開放するように延長していた(図12(a)及び図12(b)参照)。   FIG. 12 shows a method for manufacturing a cavity plate, which the inventor considered before the above embodiment. As shown in FIG. 12 (a), in the base plate 101d, a number of pressure chambers (not shown) corresponding to the number of nozzles in the nozzle plate are formed at predetermined intervals, and the other end of each pressure chamber is formed. The throttle groove 103 that communicates with the large-diameter ink flow path 102 that communicates with the end of the diaphragm groove 103 is formed in a recess about half the plate thickness. In addition, the spacer plate 101c bonded and fixed to the base plate 101c communicates with the ink flow path 102 and is connected to a common ink chamber (not shown) in the manifold plate 101b (see FIG. 12B) of the adjacent layer. A through hole 104 serving as a communicating ink flow path is formed so as to penetrate the plate thickness. In addition, there are escape grooves 106 and 107 around the ink flow path 102, the throttle groove 103, and the through hole 104 in order to escape excess adhesive 105 (see FIG. 12B) and air when bonding. Further, the end portions 106a and 107a of the escape grooves 106 and 107 were extended to open to the outer peripheral surfaces of the plates 101c and 101d (see FIGS. 12A and 12B).

そして、プレート101b〜101dにおける上下に積層すべき広幅面に予め接着剤を塗布し、各ノズルとインク流路が連通するように位置決めして前記複数枚のプレート101b〜101dを所定の上下位置関係にて位置決めし、この状態で上下のプレート101b〜101dに挟持圧力を作用させて積層固定する。   Then, an adhesive is applied in advance to the wide surfaces to be stacked vertically in the plates 101b to 101d, and the plurality of plates 101b to 101d are placed in a predetermined vertical positional relationship by positioning the nozzles and the ink flow paths to communicate with each other. In this state, a clamping pressure is applied to the upper and lower plates 101b to 101d to fix them in layers.

このように圧着したときに、前記隣接するプレート101c、101d等の合わせ面(広幅面)や接着剤105中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記逃がし溝106、107中の接着剤105に沿って移動して、端部106a、107aからプレートの外に排出される。一方、前記インク流路102、絞り溝103及び貫通孔104内のインクが前記逃がし溝106、107中の接着剤105の中の気泡の連続部を伝って外に漏れ出すという問題があるから、従来は、各プレート101b、101c、101dの外周端面を別途シール材にて密閉する構成を採用した。ただし、各プレートの寸法誤差、切断等の加工誤差等から各プレート101b、101c、101dの外周端面はかならずしも平滑でなく、また、横方向に凹凸となる横ずれが発生するから(図12(b)参照)、前記のシール部材によるプレートの外周端面の密閉の信頼性に欠け、インクの漏れが発生し易いという問題があった。   When crimped in this manner, the air mixed into the mating surfaces (wide surfaces) of the adjacent plates 101c, 101d, etc. and the adhesive 105 becomes bubbles and enters the adhesive 105 in the escape grooves 106, 107. It moves along, and is discharged | emitted out of a plate from edge part 106a, 107a. On the other hand, there is a problem that the ink in the ink flow path 102, the throttle groove 103, and the through hole 104 leaks outside through a continuous portion of bubbles in the adhesive 105 in the escape grooves 106, 107. Conventionally, the structure which sealed the outer peripheral end surface of each plate 101b, 101c, 101d with a sealing material separately was employ | adopted. However, the outer peripheral end surfaces of the plates 101b, 101c, and 101d are not always smooth due to the dimensional error of each plate, the processing error such as cutting, and the like, and a lateral shift that is uneven in the lateral direction occurs (FIG. 12B). And the sealing member is not reliable in sealing the outer peripheral end surface of the plate, and there is a problem that ink leakage is likely to occur.

本発明は、各実施形態のように、リードフレーム等の薄板状部品であって、液体流路が所定パターンで少なくとも片面に形成された薄板状部品が少なくとも一枚あるときの複数枚の薄板状部品を積層固定するインクジェットヘッドの製造に最適なものである。   The present invention is a thin plate-like component such as a lead frame as in each embodiment, and a plurality of thin plate-like components when there is at least one thin plate-like component in which a liquid flow path is formed in at least one side in a predetermined pattern It is optimal for the manufacture of inkjet heads that stack and fix parts.

本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing a piezoelectric inkjet printer head according to an embodiment of the present invention. キャビティプレートの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a cavity plate. キャビティプレートの分解部分的拡大斜視図である。FIG. 4 is an exploded partial enlarged perspective view of a cavity plate. ノズル側を上にして配置したキャビティプレートの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the cavity plate arrange | positioned with the nozzle side facing up. 図1のV−V線矢視拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view taken along line VV in FIG. 1. フレキシブルフラットケーブルとキャビティプレートと圧電アクチュエータとを接着・固定した状態の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of a state where a flexible flat cable, a cavity plate, and a piezoelectric actuator are bonded and fixed. 逃がし溝、空気逃がし孔等を示す要部拡大斜視図である。It is a principal part expansion perspective view which shows an escape groove, an air escape hole, etc. (a)は積層に先立つ接着剤塗布状態を示す逃がし溝、空気逃がし孔等の断面図、(b)は各プレートの積層接着状態を示す断面図である。(A) is sectional drawing, such as an escape groove | channel and an air escape hole which show the adhesive application state prior to lamination | stacking, (b) is sectional drawing which shows the lamination | stacking adhesion state of each plate. ベースプレートの他の逃がし溝、空気逃がし孔等を示す要部拡大斜視図である。It is a principal part expansion perspective view which shows the other escape groove | channel, air escape hole, etc. of a baseplate. 本案のリードフレームの積層を示す斜視図である。It is a perspective view which shows lamination | stacking of the lead frame of this plan. インクジェットプリンタヘッド及びヘッドホルダ等を上下逆にした状態で示す部品の斜視図である。It is a perspective view of components shown in the state where an inkjet printer head, a head holder, etc. were turned upside down. 他の例を示し、(a)は接着剤の逃がし溝の状態を示す要部拡大斜視図、(b)は積層接着の状態を示す要部断面図である。Another example is shown, (a) is an enlarged perspective view of a main part showing a state of an adhesive escape groove, and (b) is a cross-sectional view of a main part showing a state of laminated adhesion.

符号の説明Explanation of symbols

9 キャビティプレート
10 ノズルプレート
11、12 マニホールドプレート
13 スペーサプレート
14 ベースプレート
15 ノズル
16 圧力室
16b 他端流路
16d 絞り部
17 連通孔
18 貫通孔
20 圧電アクチュエータ
100a〜100d リードフレーム
102 フレーム枠
106 連設片
9 Cavity plate 10 Nozzle plate 11, 12 Manifold plate 13 Spacer plate 14 Base plate 15 Nozzle 16 Pressure chamber 16b Other end flow path 16d Restriction portion 17 Communication hole 18 Through hole 20 Piezoelectric actuators 100a to 100d Lead frame 102 Frame frame 106 Connection piece

Claims (6)

インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数の圧力室を有するキャビティプレートを、複数種類の薄板状の部品としてのノズルプレート、マニホールドプレート、スペーサプレート及びベースプレートを積層して構成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、
前記複数の圧力室を有する前記ベースプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームと、前記各圧力室の一端に連通する貫通孔及び前記各圧力室の他端に連通するもう一つの貫通孔を有する前記スペーサプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームと、前記複数の圧力室の一端と前記スペーサプレートの一方の貫通孔を介して連通するインク通路及び前記複数の圧力室の他端と連通する前記スペーサプレートの他方の貫通孔と前記ノズル孔とを連通させる貫通孔を有する前記マニホールドプレートの複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームとを、それぞれ製作し、
その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを重ねて一体化し、
一体化した前記複数のベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを前記リードフレームから取り外すことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
Inkjet printer comprising a cavity plate having a plurality of pressure chambers communicating with a plurality of nozzle holes for ejecting ink by laminating a plurality of types of thin plate-like nozzle plates, manifold plates, spacer plates and base plates In the head manufacturing method,
A lead frame in which a plurality of the base plates having the plurality of pressure chambers are continuously arranged on a frame , a through hole communicating with one end of each pressure chamber, and another through communicating with the other end of each pressure chamber. A lead frame in which a plurality of the spacer plates having holes are continuously arranged on a frame; an ink passage communicating with one end of the plurality of pressure chambers through one through hole of the spacer plate; and the plurality of pressure chambers. A lead frame in which a plurality of manifold plates having a through hole communicating with the other through hole of the spacer plate communicating with the other end of the spacer plate and the nozzle hole are arranged continuously on a frame frame, respectively .
Laminating the multiple types of lead frames, the base plate, spacer plate and manifold plate of each lead frame are stacked and integrated,
A method of manufacturing an ink jet printer head, wherein the plurality of integrated base plates, spacer plates, and manifold plates are removed from the lead frame.
前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートはそれを囲む前記各フレーム枠にそれぞれ連設片で連結され、一体化した前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを前記リードフレームから取り外すとき、前記連設片を切断することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 The base plate, spacer plate and the manifold plate are connected with each communicating piece to the each frame frame surrounding it, integral base plate, when removing the spacer plate and the manifold plate from the lead frame, cutting the continuous piece The method of manufacturing an ink jet printer head according to claim 1. 前記リードフレームの各前記フレーム枠は、位置決め孔を有することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 Each of said framework of said lead frame manufacturing method of the ink jet printer head according to claim 1 or 2, characterized in that it has a positioning hole. 前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの片面に前記接着剤を塗布した後、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートを重ねて一体化することを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 The base plate, after applying the adhesive to one surface of the spacer plate and the manifold plate, the base plate, the ink-jet according to any one of claims 1 to 3, characterized in that integrating overlapping the spacer plate and the manifold plate A method for manufacturing a printer head. 前記フレーム枠は、前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの複数個をそれぞれ囲む枠状をなしていることを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 The framework, the base plate, spacer plate and a manufacturing method of the ink jet printer head according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a frame shape surrounding a plurality of manifold plates, respectively. 前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの複数個は、間隔をおいて配列され、前記連設片は、前記配列方向に沿う前記ベースプレート、スペーサプレート及びマニホールドプレートの辺と前記フレーム枠とを微小幅で連設していることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 A plurality of the base plate, the spacer plate, and the manifold plate are arranged at intervals, and the connecting piece has a very small width between the side of the base plate, the spacer plate, and the manifold plate along the arrangement direction and the frame frame. The method of manufacturing an ink jet printer head according to claim 2, wherein the ink jet printer head is provided continuously.
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