JP4259371B2 - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

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本発明は、イオンを反射させるためのリフレクトロンを有する飛行時間型質量分析装置に関する。   The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer having a reflectron for reflecting ions.

飛行時間型質量分析装置では、イオン源で生成されたイオンが所定の加速電圧により加速され、フライトチューブと呼ばれる所定長さの無電界空間を飛行する。この所定距離を飛行する時間はイオンの初速により異なり、この初速はイオンの質量数(質量/電荷数)に依存する。すなわち、質量数の小さいイオンほど、同じ加速電圧により得る初速は大きく、質量数の大きいイオンほど、同じ加速電圧により得る初速は小さい。従って、フライトチューブの端に設けたイオン検出器でイオン検出量を連続的に測定することにより、イオン源において生成されたイオンの質量スペクトルを得ることができる。   In a time-of-flight mass spectrometer, ions generated by an ion source are accelerated by a predetermined acceleration voltage and fly in a non-electric field space of a predetermined length called a flight tube. The time for flying this predetermined distance varies depending on the initial velocity of ions, and this initial velocity depends on the mass number (mass / charge number) of ions. That is, the smaller the mass number, the larger the initial velocity obtained with the same acceleration voltage, and the larger the mass number, the smaller the initial velocity obtained with the same acceleration voltage. Therefore, the mass spectrum of ions generated in the ion source can be obtained by continuously measuring the ion detection amount with an ion detector provided at the end of the flight tube.

しかし実際には、各イオンはイオン源で生成された時点でそれぞれ異なる初期運動エネルギを持っているため、同一の質量数を有しているイオンであっても飛行時間にばらつきがある。   In practice, however, each ion has a different initial kinetic energy when it is generated by the ion source, so that even the ions having the same mass number have variations in flight time.

このような問題を解決するため、フライトチューブの端にイオンを反射するリフレクトロンを設け、同一の質量数を有するイオンの初期エネルギの相違を補償するようにした質量分析装置が開発された。   In order to solve such problems, a mass spectrometer has been developed in which a reflectron that reflects ions is provided at the end of a flight tube to compensate for differences in initial energy of ions having the same mass number.

リフレクトロンを有する飛行時間型質量分析装置の一例を図1に示す。イオン源11で生成されたイオンは、加速器12において所定の加速電圧により運動エネルギが与えられ、フライトチューブ13内に導入される。イオンは、フライトチューブ13内の無電界ドリフト空間を飛行した後、リフレクトロン14に進入する。リフレクトロン14の内部には傾斜電界が形成されており、この傾斜電界によりイオンは入射方向から僅かに傾いた方向に反射され、フライトチューブ13を戻ってイオン検出器15により検出される。   An example of a time-of-flight mass spectrometer having a reflectron is shown in FIG. Ions generated in the ion source 11 are given kinetic energy by a predetermined acceleration voltage in the accelerator 12 and introduced into the flight tube 13. The ions enter the reflectron 14 after flying through the non-electric field drift space in the flight tube 13. A gradient electric field is formed inside the reflectron 14, and ions are reflected in a direction slightly inclined from the incident direction by the gradient electric field, and return to the flight tube 13 to be detected by the ion detector 15.

ここで、同一質量数のイオンであっても、大きい初期エネルギを持つイオンはリフレクトロン14の奥まで進入するため、リフレクトロン14内での飛行時間は長くなる。一方、同一質量数でも小さい初期エネルギを持つイオンはリフレクトロン14の入口近傍までしか進入しないため、リフレクトロン14内での飛行時間は短くなる。従って、リフレクトロン14における傾斜電界を適切に設定しておくことにより、これらの初期エネルギの差異を補償して、同一質量数のイオンが同時に検出器15に到達するように設定することができる。   Here, even if the ions have the same mass number, ions having a large initial energy enter deep into the reflectron 14, and thus the flight time in the reflectron 14 becomes long. On the other hand, even with the same mass number, ions having a small initial energy enter only to the vicinity of the entrance of the reflectron 14, so that the flight time in the reflectron 14 is shortened. Therefore, by appropriately setting the gradient electric field in the reflectron 14, it is possible to set so that ions of the same mass number can reach the detector 15 at the same time by compensating for the difference in these initial energies.

リフレクトロン14は一般に、図2(a)に示すように、イオンの進行方向に沿って多数の電極板(イオンレンズ)21を配列した構造を有する。図2(b)に示すように、各イオンレンズ21の中心にはイオンが通過する孔22が設けられており、これら各イオンレンズ21に少しずつ異なる電圧を印加することにより、多数のイオンレンズ21の中心孔22の縁の包絡面で形成される反射空間の内部に、飛来してくるイオンを反発する傾斜電界を形成する。   As shown in FIG. 2A, the reflectron 14 generally has a structure in which a large number of electrode plates (ion lenses) 21 are arranged along the ion traveling direction. As shown in FIG. 2 (b), a hole 22 through which ions pass is provided at the center of each ion lens 21, and by applying a slightly different voltage to each ion lens 21, a number of ion lenses can be obtained. A gradient electric field that repels incoming ions is formed inside the reflection space formed by the envelope surface of the edge of the center hole 22 of 21.

特開2003-151487号公報JP 2003-151487 A

図2(a)に示すように、リフレクトロン14は、飛行時間型質量分析装置のフライトチューブに固定されるアダプタ23に植設されたロッド24に、多数のイオンレンズ21が絶縁スペーサ25を介して配列された構成を有する。これらイオンレンズ21及びスペーサ25は、終端においてバックプレート26を介してナット27により締め付けられる。
各イオンレンズ21は中心孔22を有する薄い金属板であるため比較的軽量であるが、それが数十枚と多数配列される上、フライトチューブ28の端に片持で支持され、しかも、各イオンレンズ21間にスペーサ25が介挿されるため全体が比較的長いことから、飛行時間型質量分析装置を水平に設置した場合、図3に示すように、端の方では重力によりたわみが生じる。これによりリフレクトロン内部の電界分布が設計値からずれ、質量分析装置のイオン分解能に悪影響を与えるという問題がある。
As shown in FIG. 2 (a), the reflectron 14 includes a rod 24 implanted in an adapter 23 fixed to a flight tube of a time-of-flight mass spectrometer, and a large number of ion lenses 21 via insulating spacers 25. Have a configuration arranged. The ion lens 21 and the spacer 25 are tightened by a nut 27 via a back plate 26 at the end.
Since each ion lens 21 is a thin metal plate having a center hole 22, it is relatively light weight. However, it is arranged in a large number such as several tens, and is supported at the end of the flight tube 28 in a cantilever manner. Since the spacer 25 is interposed between the ion lenses 21 and the whole is relatively long, when the time-of-flight mass spectrometer is installed horizontally, as shown in FIG. 3, deflection occurs due to gravity at the end. As a result, the electric field distribution inside the reflectron deviates from the design value, which has a problem of adversely affecting the ion resolution of the mass spectrometer.

本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、略水平に保持されたリフレクトロンを有する飛行時間型質量分析装置において、その重力の影響による分解能の低下の問題を解消することにある。   The present invention has been made to solve such problems, and the object of the present invention is to provide a resolution due to the influence of gravity in a time-of-flight mass spectrometer having a reflectron held substantially horizontally. It is to solve the problem of decrease in the number.

上記課題を解決するために成された本発明は、複数のイオンレンズを片持ロッドにより略水平方向に保持した構成を有するリフレクトロンを備えた飛行時間型質量分析装置において、各イオンレンズが重力によって固定端に対して垂直な軸から下方に変位することを補償するために、各イオンレンズの中心がロッドに対して上方に変位するように取り付けられたていることを特徴とする。 The present invention was made in order to solve the above described problems is the time-of-flight mass spectrometer equipped with a reflectron having the structure held in a substantially horizontal direction a plurality of ion lens by cantilevered rods, each ion lens gravity In order to compensate for the downward displacement from the axis perpendicular to the fixed end, the center of each ion lens is mounted so as to be displaced upward with respect to the rod .

ここで、「無重力状態」とは、リフレクトロンを略水平方向に保持した場合にリフレクトロンに働く重力が存在しない状態を言い、「上方」とは、リフレクトロンを略水平方向に保持する場合にリフレクトロンの上方となる方向を言う。
各イオンレンズの重力による下方への変位は、各イオンレンズの中心軸を固定端に対して垂直な軸に揃えて実際にリフレクトロンを組み立て、それを水平に保持して各イオンレンズの下方への変位を実測することによって求めることができる。
Here, the “gravity state” means a state where there is no gravity acting on the reflectron when the reflectron is held in a substantially horizontal direction, and “upward” means a state where the reflectron is held in a substantially horizontal direction. The direction above the reflectron.
The downward displacement due to the gravity of each ion lens is such that the center axis of each ion lens is aligned with the axis perpendicular to the fixed end, and the reflectron is actually assembled and held horizontally to move below each ion lens. Can be obtained by actually measuring the displacement.

また、リフレクトロン全体を分布荷重の片持梁とみなして、構造力学の計算によっても求めることができる。すなわち、リフレクトロンの全長をL、イオンレンズによる分布荷重をw、自由端のバックプレートによる集中荷重をW、ロッドの弾性率をE、ロッドの断面二次モーメントをIとすると、自由端におけるたわみ量ymaxは式(1)で求められる。

Figure 0004259371
各イオンレンズにおける下方への変位の量も、同様の計算から求めることができる。 Further, the entire reflectron can be regarded as a cantilever beam with a distributed load, and can also be obtained by calculation of structural mechanics. That is, if the total length of the reflectron is L, the distributed load by the ion lens is w, the concentrated load by the back plate at the free end is W, the elastic modulus of the rod is E, and the secondary moment of inertia of the rod is I, the deflection at the free end The quantity y max can be obtained from equation (1).
Figure 0004259371
The amount of downward displacement in each ion lens can also be obtained from the same calculation.

リフレクトロンを組み立てる際に、各イオンレンズを下から支え、重力が働かない状態(無重力状態)として、以上のようにして求められた各イオンレンズの重力変位に相当する距離だけ各イオンレンズを上方に変位させ、ロッドでその位置を固定する。   When assembling the reflectron, support each ion lens from the bottom and keep the ion lens upward by a distance corresponding to the gravitational displacement of each ion lens obtained as described above in a state where gravity does not work (non-gravity state). And fix the position with a rod.

リフレクトロンを組み立てる際に、多数のイオンレンズをそれぞれ個々に所定の距離だけ上方に変位させるのは、手間のかかる作業となる。そこで、それらの変位に相当する形状を有する組立ジグを用意しておき、各イオンレンズをそのジグの上に載置してロッドで締め付けることにより、簡単に本発明に係るリフレクトロンを組み立てることができるようになる。   When assembling the reflectron, it is troublesome to displace a large number of ion lenses individually by a predetermined distance. Therefore, it is possible to easily assemble the reflectron according to the present invention by preparing an assembly jig having a shape corresponding to those displacements, placing each ion lens on the jig and fastening with a rod. become able to.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置では、リフレクトロンを略水平に設置した際に生じる重力(自重)によるたわみを考慮して、それを補償するようにリフレクトロンの各イオンレンズが組み立てられている。このため、実際にリフレクトロンを略水平に片持保持した場合には、リフレクトロンを構成する各イオンレンズは重力(自重)により垂下し、その結果、イオンの走行軸に関して正確な位置に保持されるようになる。これにより、このような水平保持リフレクトロンを有する飛行時間型質量分析装置において、所期の分解能が得られるようになる。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, each ion lens of the reflectron is assembled so as to compensate for the deflection caused by gravity (self-weight) generated when the reflectron is installed substantially horizontally. Yes. For this reason, when the reflectron is actually held in a cantilevered manner, each ion lens constituting the reflectron hangs down due to gravity (self-weight), and as a result, is held in an accurate position with respect to the ion travel axis. Become so. Thereby, in the time-of-flight mass spectrometer having such a horizontal holding reflectron, an intended resolution can be obtained.

本発明の一実施例である反射型飛行時間型質量分析装置について説明する。本実施例の反射型飛行時間型質量分析装置の基本的構造は図1に示す従来のものと同じであり、イオン源とは反対側の端部にリフレクトロン14がイオン検出器15の方に僅かに傾斜して設置されている。   A reflective time-of-flight mass spectrometer that is an embodiment of the present invention will be described. The basic structure of the reflection-type time-of-flight mass spectrometer of this embodiment is the same as that of the conventional one shown in FIG. 1, and the reflectron 14 is located at the end opposite to the ion source toward the ion detector 15. It is installed with a slight inclination.

本実施例の反射型飛行時間型質量分析装置で用いられるリフレクトロン14の基本的構成は図2に示した従来の装置とほぼ同じである。すなわち、飛行時間型質量分析装置のフライトチューブ28の端部に固定されるアダプタ23に4本のロッド24が植設され、そのロッド24にイオンレンズ21及び絶縁スペーサ25が交互に挿入され、最後に絶縁板から成るバックプレート26が挿入されてナット27で締め付けられる。しかし、ここで、全てのイオンレンズ21の中心孔22の中心を、アダプタ23に垂直な軸cに揃えて固定すると、図3に示すように、イオンレンズ21等の自重により、バックプレート26側の端部(自由端)側で各イオンレンズ21の中心が軸cから下方に変位する。   The basic configuration of the reflectron 14 used in the reflective time-of-flight mass spectrometer of the present embodiment is almost the same as the conventional apparatus shown in FIG. That is, four rods 24 are implanted in the adapter 23 fixed to the end of the flight tube 28 of the time-of-flight mass spectrometer, and the ion lenses 21 and the insulating spacers 25 are alternately inserted into the rods 24. A back plate 26 made of an insulating plate is inserted into and tightened with a nut 27. However, here, if the centers of the center holes 22 of all the ion lenses 21 are fixed in alignment with the axis c perpendicular to the adapter 23, the back plate 26 side is caused by the weight of the ion lens 21 and the like as shown in FIG. The center of each ion lens 21 is displaced downward from the axis c on the end (free end) side.

そこで、本実施例の反射型飛行時間型質量分析装置で用いるリフレクトロン30では、各イオンレンズ31のこのような下方変位を予め補償するように、上方に変位して固定する。具体的には、図4に示すようなイオンレンズ固定用ジグ32を使用するのが便利である。このジグ32の上面は、自由端の方に向かって、各イオンレンズ31を上方へ変位すべき量だけ高くなっている。このジグ32を下に敷き、その上にイオンレンズ31が載るようにしてイオンレンズ31とスペーサ33を順にロッド34に挿入してゆくことにより、各イオンレンズ31は自動的に所定の距離だけ上方に変位する。なお、このようにイオンレンズ31がジグ32の上面に載った状態は、上記「無重力状態」である。   Therefore, in the reflectron 30 used in the reflection type time-of-flight mass spectrometer of the present embodiment, the ion lens 31 is displaced and fixed upward so as to compensate in advance for such downward displacement. Specifically, it is convenient to use an ion lens fixing jig 32 as shown in FIG. The upper surface of the jig 32 is raised by an amount by which each ion lens 31 should be displaced upward toward the free end. By laying the jig 32 underneath and inserting the ion lens 31 and the spacer 33 sequentially into the rod 34 so that the ion lens 31 is placed thereon, each ion lens 31 is automatically moved upward by a predetermined distance. It is displaced to. The state in which the ion lens 31 is placed on the upper surface of the jig 32 in this way is the above “gravity-free state”.

各イオンレンズ31の上方変位量はイオンレンズ31毎に異なるため、図5に示すように、全イオンレンズのロッド孔35を、ロッド径dに最大上方変位量ymaxを加えた長さの、又はそれよりも僅かに長い、長孔としておくのが便利である。このような長孔ではなく、d+ymax又はそれよりも僅かに大きな径を有する円孔としてもよい。また、個々のイオンレンズのロッド孔を、アダプタ36側からバックプレート37側にかけて徐々に下方にずらして設けた一セットのイオンレンズとしてもよい。   Since the upward displacement amount of each ion lens 31 is different for each ion lens 31, as shown in FIG. 5, the rod hole 35 of all the ion lenses has a length obtained by adding the maximum upward displacement amount ymax to the rod diameter d, or It is convenient to make it a long hole slightly longer than that. Instead of such a long hole, it may be a circular hole having a diameter slightly larger than d + ymax. Alternatively, the rod holes of the individual ion lenses may be a set of ion lenses provided by gradually shifting downward from the adapter 36 side to the back plate 37 side.

全てのイオンレンズ31を挿入し終えた後、バックプレート37を挿入し、ロッド34を所定の力で引っ張りながらナット38でバックプレート37を締め付ける。その後ロッド34の引張力を解放すると、イオンレンズ31とスペーサ33は強固に固定される。
その後、ジグ32を取り外すと、図6に示すように、自重により各イオンレンズが所定量だけ下方に変位し、各イオンレンズの中心孔39の中心が軸c上に乗る。これにより、リフレクトロン内部の電界は所期の形状を呈し、高分解能の質量分析を行うことが可能となる。
After all the ion lenses 31 have been inserted, the back plate 37 is inserted, and the back plate 37 is tightened with the nut 38 while pulling the rod 34 with a predetermined force. Thereafter, when the tensile force of the rod 34 is released, the ion lens 31 and the spacer 33 are firmly fixed.
Thereafter, when the jig 32 is removed, as shown in FIG. 6, each ion lens is displaced downward by a predetermined amount due to its own weight, and the center of the center hole 39 of each ion lens is placed on the axis c. As a result, the electric field inside the reflectron has an intended shape, and high-resolution mass spectrometry can be performed.

反射型飛行時間型質量分析装置の概略構成図。The schematic block diagram of a reflection type time-of-flight mass spectrometer. 反射型飛行時間型質量分析装置で用いられるリフレクトロンの側面図(a)、及びイオンレンズの平面図(b)。The side view (a) of the reflectron used with a reflection type time-of-flight mass spectrometer, and the top view (b) of an ion lens. リフレクトロンを片持で水平に設置した場合のたわみの様子を表す側面図。The side view showing the mode of a deflection | deviation at the time of installing a reflectron in the cantilever and horizontal. イオンレンズ固定用ジグを用いてリフレクトロンを組み立てる様子を表す側面図。The side view showing a mode that a reflectron is assembled using the jig for ion lens fixation. ロッド孔が長孔とされたイオンレンズの平面図。The top view of the ion lens by which the rod hole was made into the long hole. リフレクトロンをフライトチューブの端部に水平に固定した際の様子を表す側面図。The side view showing a mode at the time of fixing a reflectron horizontally to the edge of a flight tube.

符号の説明Explanation of symbols

11…イオン源
12…加速器
13,28…フライトチューブ
14,30…リフレクトロン
15…検出器
21,31…イオンレンズ
22,39…中心孔
23,36…アダプタ
24,34…ロッド
25,33…スペーサ
26…バックプレート
27,38…ナット
32…イオンレンズ固定用ジグ
35…ロッド孔
37…バックプレート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Ion source 12 ... Accelerator 13, 28 ... Flight tube 14, 30 ... Reflectron 15 ... Detector 21, 31 ... Ion lens 22, 39 ... Center hole 23, 36 ... Adapter 24, 34 ... Rod 25, 33 ... Spacer 26 ... Back plates 27, 38 ... Nuts 32 ... Ion lens fixing jig 35 ... Rod hole 37 ... Back plate

Claims (4)

複数のイオンレンズを片持ロッドにより略水平方向に保持した構成を有するリフレクトロンを備えた飛行時間型質量分析装置において、重力による各イオンレンズの固定端に対して垂直な軸からの下方への変位を補償すべく、各イオンレンズの中心がロッドに対して上方に変位するように取り付けられていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 In a time-of-flight mass spectrometer equipped with a reflectron having a configuration in which a plurality of ion lenses are held in a substantially horizontal direction by cantilever rods , downward from an axis perpendicular to the fixed end of each ion lens by gravity A time-of-flight mass spectrometer, wherein the center of each ion lens is mounted so as to be displaced upward with respect to the rod in order to compensate for the displacement . 複数のイオンレンズを片持ロッドにより略水平方向に保持した構成を有するリフレクトロンを備えた飛行時間型質量分析装置の製造方法において、重力による各イオンレンズの固定端に対して垂直な軸からの下方への変位を補償すべく、各イオンレンズの中心をロッドに対して上方に変位して取り付けることを特徴とする飛行時間型質量分析装置の製造方法。  In a method of manufacturing a time-of-flight mass spectrometer equipped with a reflectron having a configuration in which a plurality of ion lenses are held in a substantially horizontal direction by cantilever rods, the gravity lens is separated from an axis perpendicular to the fixed end of each ion lens A method of manufacturing a time-of-flight mass spectrometer, characterized in that the center of each ion lens is displaced upward relative to the rod in order to compensate for downward displacement. 前記イオンレンズに設けられたロッド貫通用の孔の上下寸法をロッド径に最大上方変位量を加えた長さとしたことを特徴とする請求項1に記載の飛行時間型質量分析装置。 2. The time-of-flight mass spectrometer according to claim 1, wherein the vertical dimension of the hole for penetrating the rod provided in the ion lens is a length obtained by adding the maximum upward displacement to the rod diameter . 請求項に記載の各イオンレンズの上方への変位に相当する形状を有し、請求項2に記載の飛行時間型質量分析装置の製造方法において各イオンレンズを上方に変位して取り付けるために用いられる飛行時間型質量分析装置用リフレクトロン組立ジグ。 Have a shape corresponding to the upward displacement of the ion lens of claim 2, for mounting by displacing the ion lens upward in the manufacturing method of the time-of-flight mass spectrometer according to claim 2 Reflectron assembly jig for time-of-flight mass spectrometer used .
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