JP4216846B2 - Electrodes for electrochemical measurements and electrochemical measurement methods - Google Patents

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本発明は、微小電気化学測定用電極および電気化学測定法に関し、より詳細には、生体試料や環境試料中の分子やイオンを電気化学的に測定するためのセンサーに用いられる微小電気化学測定用電極および電気化学測定法に関するものである。   The present invention relates to a microelectrochemical measurement electrode and an electrochemical measurement method, and more particularly, to a microelectrochemical measurement used in a sensor for electrochemically measuring molecules and ions in a biological sample or an environmental sample. The present invention relates to an electrode and an electrochemical measurement method.

従来、生体試料や環境試料に対する電気化学測定では、参照電極を電位測定、電位設定の基準に用いている。参照電極としては、水素電極、飽和カロメル電極、銀/塩化銀電極が用いられる。これらの電極に共通することは、電極として用いる金属材料のまわりに電解液(電解質溶液)が存在していることである。電解液の組成は、参照電極の種類によって異なるが、それぞれの電解液濃度は、金属材料表面の状態を保つために一定の濃度を保つ必要がある。   Conventionally, in electrochemical measurements on biological samples and environmental samples, a reference electrode is used as a standard for potential measurement and potential setting. As the reference electrode, a hydrogen electrode, a saturated calomel electrode, or a silver / silver chloride electrode is used. What is common to these electrodes is that an electrolytic solution (electrolyte solution) exists around the metal material used as the electrode. The composition of the electrolytic solution varies depending on the type of the reference electrode, but the concentration of each electrolytic solution needs to be kept constant in order to keep the surface of the metal material.

このため、上記金属材料の周りに存在させる電解液として、飽和濃度の電解液が用いられている。微小なチップ上に参照電極を他の電極とともに集積する場合に、非特許文献1では、チップ上において、参照電極の回りに少量の電解液を保持している。また、参照電極に対して、高分子内に電解質を閉じこめたゲル(電解質ゲル)が用いられることもある。電解質ゲルを用いた参照電極の例としては、非特許文献2が挙げられる。   For this reason, a saturated concentration electrolyte is used as an electrolyte present around the metal material. In the case of integrating the reference electrode together with other electrodes on a minute chip, Non-Patent Document 1 holds a small amount of electrolyte around the reference electrode on the chip. Further, a gel (electrolyte gel) in which an electrolyte is confined in a polymer may be used for the reference electrode. Non-patent document 2 is an example of a reference electrode using an electrolyte gel.

H.Suzuki, T.Hirakawa, T.Hoshi, H.Toyooka, “Micromachined sensing module for pO2, pCO2, and pH and its design optimization for practical use” Sensors & Actuators B 76, 565-572, 2001H. Suzuki, T. Hirakawa, T. Hoshi, H. Toyooka, “Micromachined sensing module for pO2, pCO2, and pH and its design optimization for practical use” Sensors & Actuators B 76, 565-572, 2001 H.Suzuki, H.Shiroishi, S.Sasaki, I.Karube, “Microfabricated Liquid Junction Ag/AgCl Reference Electrode and Its Application to a One-Chip Potentiometric Sensor” Anal. Chem.,71, 5069-5075, 1999H. Suzuki, H. Shiroishi, S. Sasaki, I. Karube, “Microfabricated Liquid Junction Ag / AgCl Reference Electrode and Its Application to a One-Chip Potentiometric Sensor” Anal. Chem., 71, 5069-5075, 1999

しかしながら、非特許文献2のように、微小な空間に参照電極を覆うように電解質ゲルを固定し、イオン濃度などの測定を行う場合には、電位応答が経時的に変化することがある。通常、参照電極の内部電解液(或いは電解質ゲル)には、飽和濃度の塩化カリウムが用いられるが、電解質ゲルから測定試料側へと電解質は流出することがある。よって、参照電極の周囲の電解液濃度(電解質の濃度)が上記流出に伴い減少するので、参照電極の電極電位は小さくなってしまうためである。また、内部電解液(電解質ゲル)内へ他のイオンが混入することによっても応答が不安定化する。
よって、安定に測定を行うためには、参照電極用の金属表面における電解質濃度や組成、pHを一定に保つ工夫が必要となる。
However, as in Non-Patent Document 2, when the electrolyte gel is fixed so as to cover the reference electrode in a minute space and the ion concentration or the like is measured, the potential response may change over time. Usually, potassium chloride at a saturated concentration is used for the internal electrolyte solution (or electrolyte gel) of the reference electrode, but the electrolyte may flow out from the electrolyte gel to the measurement sample side. Therefore, since the electrolyte solution concentration (electrolyte concentration) around the reference electrode decreases with the outflow, the electrode potential of the reference electrode becomes small. Further, the response becomes unstable when other ions are mixed into the internal electrolyte (electrolyte gel).
Therefore, in order to perform measurement stably, a device for keeping the electrolyte concentration, composition, and pH on the surface of the metal for the reference electrode constant is required.

本発明は、このような問題を鑑みてなされたもので、その目的とするところは、長時間でも安定に動作可能な微小電気化学測定用電極および電気化学測定法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a microelectrochemical measurement electrode and an electrochemical measurement method that can operate stably even for a long time.

本発明は、このような目的を達成するために、請求項1記載の発明は、基板と、前記基板に形成され、電解質溶液または酸性溶液が流れる第1の流路と、前記第1の流路内に形成された参照電極と、前記基板に形成され、前記第1の流路とは別個の流路であって、測定試料が流れる第2の流路と、前記基板に形成され、前記第1および第2の流路とは別個の流路であって、前記電解質溶液または酸性溶液が流れる第3の流路と、前記第3の流路内に形成された検出電極とを備え、前記第1の流路および第2の流路、ならびに前記第2の流路および前記第3の流路はそれぞれ、電解質を含む液絡によって電気的に接続されていることを特徴とする。 In order to achieve such an object, the present invention provides a substrate, a first channel formed on the substrate, through which an electrolyte solution or an acidic solution flows, and the first flow. A reference electrode formed in a channel, formed on the substrate, and is a channel separate from the first channel, and is formed on the substrate, a second channel through which a measurement sample flows, and the substrate A flow path separate from the first and second flow paths, including a third flow path through which the electrolyte solution or acidic solution flows, and a detection electrode formed in the third flow path, The first flow path and the second flow path, and the second flow path and the third flow path are each electrically connected by a liquid junction containing an electrolyte .

請求項に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記検出電極は、イオンを検出するための電極であることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the detection electrode is an electrode for detecting ions.

請求項に記載の発明は、請求項に記載の発明において、前記イオンを検出するための電極は、イオノフォアを含むポリマーを含むことを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the electrode for detecting ions includes a polymer containing an ionophore.

請求項に記載の発明は、請求項1乃至のいずれかに記載の発明において、前記第1の流路、第2の流路、および前記第3の流路は、1つの流路から分割された流路であることを特徴とする。 The invention according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3 , wherein the first flow path, the second flow path, and the third flow path are formed from one flow path. The flow path is divided.

請求項に記載の発明は、請求項1乃至のいずれかに記載の発明において、前記参照電極の材料は、銀、水銀、白金、または白金黒のいずれかであることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4 , characterized in that a material of the reference electrode is any one of silver, mercury, platinum, or platinum black.

請求項に記載の発明は、請求項1乃至のいずれかに記載の発明において、前記参照電極に対して、ガスを供給する手段をさらに有することを特徴とする。 The invention described in claim 6 is the invention described in any one of claims 1 to 5 , further comprising means for supplying a gas to the reference electrode.

請求項記載の発明は、基板と、前記基板に形成され、電解質溶液または酸性溶液が流れる第1の流路と、前記第1の流路内に形成された参照電極と、前記基板に形成され、前記第1の流路とは別個の流路であって、測定試料が流れる第2の流路と、前記基板に形成され、前記第1および第2の流路とは別個の流路であって、前記電解質溶液または酸性溶液が流れる第3の流路と、前記第3の流路内に形成された検出電極とを備え、前記第1の流路および第2の流路、ならびに前記第2の流路および第3の流路はそれぞれ、電解質を含む液絡によって電気的に接続されている微小電気化学測定用電極により前記測定試料の電極電位を測定する電気化学測定法であって、前記第1の流路に前記電解質溶液または酸性溶液を流し、前記第2の流路に前記測定試料を流し、前記第3の流路に前記電解質溶液または酸性溶液を流す工程と、前記電解質溶液または酸性溶液、および前記測定試料が流れている間に、前記検出電極にて前記測定試料の電極電位を測定する工程とを有することを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a substrate, a first channel formed on the substrate, through which an electrolyte solution or an acidic solution flows, a reference electrode formed in the first channel, and formed on the substrate A second flow path through which the measurement sample flows, and a flow path formed on the substrate and separate from the first and second flow paths. A third flow path through which the electrolyte solution or acidic solution flows, and a detection electrode formed in the third flow path, the first flow path and the second flow path, and Each of the second flow path and the third flow path is an electrochemical measurement method in which the electrode potential of the measurement sample is measured by a microelectrochemical measurement electrode electrically connected by a liquid junction containing an electrolyte. And flowing the electrolyte solution or acidic solution through the first channel, and the second channel. A step of flowing the measurement sample and flowing the electrolyte solution or acidic solution through the third flow path; and while the electrolyte solution or acidic solution and the measurement sample are flowing, the measurement sample at the detection electrode And measuring the electrode potential.

本発明によれば、参照電極用の流路と、測定試料用の流路とを別個に設け、測定中、参照電極用の流路に電解質溶液または酸性溶液を流すようにしたので、長時間でも安定に測定を行うことが可能である。   According to the present invention, the flow path for the reference electrode and the flow path for the measurement sample are provided separately, and the electrolyte solution or the acidic solution is allowed to flow through the flow path for the reference electrode during the measurement. But it is possible to measure stably.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下で説明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
本発明の一実施形態では、参照電極用の金属材料表面での電解質濃度やpHを一定に保つために、微小流路内に参照電極としての金属材料を設置し、金属材料表面に電解質溶液を流しながら測定を行う。このとき、電解質溶液の組成によっては、測定試料から所望の物質(分子やイオンなど)を検出するための検出電極に影響を及ぼす可能性があるため、電解質溶液を流すための流路と、測定試料を流すための流路とは分離し、電解質溶液を流すための流路に参照電極を形成し、測定試料を流すための流路には検出電極を形成する。このような構成において、測定中では、電解質溶液と測定試料とを同時に流す、すなわち、参照電極が形成された流路では電解質溶液を流し、検出電極が形成された流路では測定試料を流すことになる。よって、参照電極には電解質溶液を、また検出電極には測定試料を供給することができる。すなわち、所望の電極に対して、必要な溶液を供給することができるのである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings described below, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof is omitted.
In one embodiment of the present invention, in order to keep the electrolyte concentration and pH on the surface of the metal material for the reference electrode constant, a metal material as a reference electrode is installed in the microchannel, and the electrolyte solution is placed on the surface of the metal material. Measure while flowing. At this time, depending on the composition of the electrolyte solution, there is a possibility of affecting the detection electrode for detecting a desired substance (molecule, ion, etc.) from the measurement sample. A reference electrode is formed in the flow path for flowing the electrolyte solution, separated from the flow path for flowing the sample, and a detection electrode is formed in the flow path for flowing the measurement sample. In such a configuration, during the measurement, the electrolyte solution and the measurement sample are simultaneously flowed, that is, the electrolyte solution is flowed in the flow path in which the reference electrode is formed, and the measurement sample is flowed in the flow path in which the detection electrode is formed. become. Therefore, the electrolyte solution can be supplied to the reference electrode, and the measurement sample can be supplied to the detection electrode. That is, a necessary solution can be supplied to a desired electrode.

なお、本発明の一実施形態では、検出電極を測定試料が流れる流路に設けることが本質ではなく、電解質溶液と測定試料との間で、電解質の行き来を無くす、ないしは減少させることが重要である。よって、測定試料が流れる流路と、参照電極が配置され電解質溶液が流れる流路とを別個に設けていれば良く、第3の実施例で説明するように、測定試料が流れる流路中に検出電極を設けなくても良い。よって、流路は、2つ以上あっても良い。   In one embodiment of the present invention, it is not essential to provide the detection electrode in the flow path through which the measurement sample flows, but it is important to eliminate or reduce the flow of the electrolyte between the electrolyte solution and the measurement sample. is there. Therefore, it is only necessary to separately provide a flow path through which the measurement sample flows and a flow path through which the reference electrode is disposed and the electrolyte solution flows. As described in the third embodiment, the flow path through which the measurement sample flows is provided. The detection electrode may not be provided. Therefore, there may be two or more flow paths.

このように、参照電極用の流路(参照電極が形成された、電解質溶液用の流路)を別個に設け、該流路に電解質溶液を流しながら測定を行うことによって、参照電極の表面や周囲の電解質濃度を一定に保つことができる。すなわち、電解質溶液が流れている流路中に参照電極が配置されているので、電解質溶液自体は、参照電極の上流側から下流側へと流れるだけであるが、参照電極から見れば、常に電解質溶液が供給されていることになり、参照電極の表面を含めた周囲の電解質の濃度を均一に保つことができるのである。また、電解質溶液用の流路を別個に設けているので、参照電極の周囲においては、電解質の流出や他のイオンの流入が無くなる、ないしは減少させることができる。   As described above, by separately providing a flow path for the reference electrode (flow path for the electrolyte solution in which the reference electrode is formed) and flowing the electrolyte solution through the flow path, the surface of the reference electrode and The surrounding electrolyte concentration can be kept constant. That is, since the reference electrode is arranged in the flow path through which the electrolyte solution flows, the electrolyte solution itself only flows from the upstream side to the downstream side of the reference electrode. Since the solution is supplied, the concentration of the surrounding electrolyte including the surface of the reference electrode can be kept uniform. In addition, since a flow path for the electrolyte solution is provided separately, it is possible to eliminate or reduce the outflow of the electrolyte and the inflow of other ions around the reference electrode.

さらに、参照電極用の流路(参照電極に供給される電解質溶液用の流路)を別個に設けることによって、参照電極用の電解質溶液が検出電極へと到達することが無くなる、ないしは軽減するので、参照電極用の電解質溶液の、検出電極への影響を無くす、ないしは軽減することができる。よって、測定精度を向上することができる。   Furthermore, by separately providing a reference electrode channel (a channel for the electrolyte solution supplied to the reference electrode), the reference electrode electrolyte solution does not reach the detection electrode or is reduced. The influence of the electrolyte solution for the reference electrode on the detection electrode can be eliminated or reduced. Therefore, measurement accuracy can be improved.

なお、本実施形態では、第1および第2の実施例にて説明するように、参照電極用の流路と、検出電極用の流路(検出電極が形成された、測定試料用の流路)とをそれぞれ、それぞれの電極の下流側で合流させても良い。この合流により、参照電極と検出電極とを電気的に接続することができる。また、参照電極用の流路と検出電極用の流路とを合流しても、その合流地点が、参照電極用の流路では参照電極の下流側であり、検出電極用の流路では検出電極の下流側であるので、一方の流路を流れる液体は、他方の流路へと流れることはない。よって、所望の電極には必要な液体のみが流れていく(供給される)ことになる。
本明細書において、「上流」とは、流路を流れる液体の流れの上流であり、「下流」とは、上記流れの下流である。
In this embodiment, as described in the first and second examples, a reference electrode flow path and a detection electrode flow path (a flow path for a measurement sample in which a detection electrode is formed) ) May be combined on the downstream side of each electrode. By this merging, the reference electrode and the detection electrode can be electrically connected. Further, even if the reference electrode flow path and the detection electrode flow path are merged, the merge point is downstream of the reference electrode in the reference electrode flow path and is detected in the detection electrode flow path. Since it is on the downstream side of the electrode, the liquid flowing in one channel does not flow to the other channel. Therefore, only the necessary liquid flows (supplied) to the desired electrode.
In the present specification, “upstream” is upstream of the flow of liquid flowing through the flow path, and “downstream” is downstream of the flow.

また、本発明の一実施形態では、別個に設けられた参照電極用の流路と、検出電極用の流路等の他の流路とを合流しなくても良い。その場合は、第3の実施例にて説明するように、参照電極用の流路と、他の流路とを液絡により電気的に接続するようにしても良い。この液絡は、用いる電解質溶液に含まれる電解質を含む寒天層などを用いれば良い。
なお、本明細書において、「液絡」とは、イオンのみが通過することのできる部分であって、高分子によって形成される。この液絡があることによって、参照電極と検出電極との電気的な接続が保たれる。この場合は、参照電極用の流路において、参照電極が形成されている領域、またはその近傍に、貫通孔等の不連続領域を形成し、該不連続領域内を液絡によって埋めれば良い。
In one embodiment of the present invention, it is not necessary to join a separately provided reference electrode channel and another channel such as a detection electrode channel. In this case, as described in the third embodiment, the reference electrode channel and the other channel may be electrically connected to each other through a liquid junction. For this liquid junction, an agar layer containing an electrolyte contained in the electrolyte solution to be used may be used.
In the present specification, the “liquid junction” is a portion through which only ions can pass and is formed of a polymer. Due to this liquid junction, the electrical connection between the reference electrode and the detection electrode is maintained. In this case, a discontinuous region such as a through hole may be formed in or near the region where the reference electrode is formed in the reference electrode channel, and the discontinuous region may be filled with a liquid junction.

本発明の一実施形態では、基板は好ましくは絶縁性基板である。また、参照電極に用いられる金属材料は、銀、水銀、白金、白金黒が好ましく用いられる。参照電極用の電解質溶液は、形成される参照電極に用いられる材料によって決めればよいが、参照電極として銀、水銀を用いる場合は、例えば、塩化カリウム溶液等の塩化物イオンを含む溶液を用いることができる。また、参照電極として白金、白金黒を用いる場合は、例えば、塩酸等の塩化物イオンを含む溶液を用いることができ、さらに水素ガスを供給すれば良い。このような電解質溶液としては、飽和濃度であることが望ましい。   In one embodiment of the invention, the substrate is preferably an insulating substrate. The metal material used for the reference electrode is preferably silver, mercury, platinum, or platinum black. The electrolyte solution for the reference electrode may be determined depending on the material used for the reference electrode to be formed. When silver or mercury is used as the reference electrode, for example, a solution containing chloride ions such as a potassium chloride solution should be used. Can do. When platinum or platinum black is used as the reference electrode, for example, a solution containing chloride ions such as hydrochloric acid can be used, and hydrogen gas may be supplied. Such an electrolyte solution desirably has a saturated concentration.

すなわち、本発明の一実施形態では、参照電極の材料によって電解質溶液を選択し、必要であれば、ガスも供給する。また、本発明の一実施形態では、参照電極へと流す(参照電極に供給する)液体として、電解質溶液を用いているが、その目的は、参照電極表面やその周囲の電解質濃度を一定に維持することである。よって、その目的を達成できるのであれば、参照電極に流す液体は、電解質溶液に限らず、酸性溶液を用いても構わない。   That is, in one embodiment of the present invention, an electrolyte solution is selected depending on the material of the reference electrode, and gas is supplied if necessary. In one embodiment of the present invention, an electrolyte solution is used as the liquid that flows to the reference electrode (supplied to the reference electrode). However, the purpose is to maintain a constant electrolyte concentration on the surface of the reference electrode and its surroundings. It is to be. Therefore, as long as the object can be achieved, the liquid flowing to the reference electrode is not limited to the electrolyte solution, and an acidic solution may be used.

以下、本発明の一実施形態に係る微小電気化学測定用電極および電気化学測定法を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明は、下記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変更可能であることは言うまでもない。   Hereinafter, the microelectrochemical measurement electrode and the electrochemical measurement method according to one embodiment of the present invention will be described in detail based on examples, but the present invention is not limited to the following examples, and the gist thereof Needless to say, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

(第1の実施例)
本実施例では、参照電極とpH感応膜とを組み合わせて用いる場合について示す。本実施例に係るフロー型pH電極の構成を図1に示す。本実施例に係るフロー型pH電極は、二枚の絶縁性基板を張り合わせることによって作製されるが、図1では、各電極と流路とが形成されている基板について示している。
(First embodiment)
In this embodiment, a case where a reference electrode and a pH sensitive membrane are used in combination will be described. The structure of the flow type pH electrode according to this example is shown in FIG. The flow-type pH electrode according to this example is manufactured by bonding two insulating substrates, but FIG. 1 shows a substrate on which each electrode and a flow path are formed.

図1において、フロー型pH電極15はガラス基板1を備え、ガラス基板1には、参照電極としての銀薄膜2、電極パッド8a、および配線電極8bが形成されており、銀薄膜2と電極パッド8aとは配線電極8bを介して接続されている。また、ガラス基板1には、検出電極としてのpH測定用の酸化イリジウム薄膜3、電極パッド8c、および配線電極8dが形成されており、酸化イリジウム薄膜3と電極パッド8cとは配線電極8dを介して接続されている。   In FIG. 1, a flow-type pH electrode 15 includes a glass substrate 1, and a silver thin film 2, an electrode pad 8a, and a wiring electrode 8b as reference electrodes are formed on the glass substrate 1, and the silver thin film 2 and the electrode pad are formed. 8a is connected via a wiring electrode 8b. Further, the glass substrate 1 is formed with a pH measuring iridium oxide thin film 3, an electrode pad 8c, and a wiring electrode 8d as detection electrodes. The iridium oxide thin film 3 and the electrode pad 8c are connected via the wiring electrode 8d. Connected.

このようなガラス基板1にはさらに、流路7a、7bおよび7cを形成するように絶縁層9が形成されている。本実施例では、流路7a〜7cの幅および深さはそれぞれ、1mm、100μmである。このように各流路を形成することにより、参照電極用の流路としての流路7a内には、参照電極としての銀薄膜2が形成されている。一方、検出電極用の流路としての流路7b内には、検出電極としてのpH測定用の酸化イリジウム薄膜3が形成されている。図1では、銀薄膜2の下流側および酸化イリジウム薄膜3の下流側にて、流路7aおよび7bが合流して、流路7cとなっている。   In addition, an insulating layer 9 is formed on the glass substrate 1 so as to form the flow paths 7a, 7b and 7c. In this embodiment, the widths and depths of the flow paths 7a to 7c are 1 mm and 100 μm, respectively. By forming each flow path in this manner, the silver thin film 2 as the reference electrode is formed in the flow path 7a as the flow path for the reference electrode. On the other hand, an iridium oxide thin film 3 for pH measurement as a detection electrode is formed in the flow path 7b as a detection electrode flow path. In FIG. 1, on the downstream side of the silver thin film 2 and the downstream side of the iridium oxide thin film 3, the flow paths 7a and 7b merge to form a flow path 7c.

図1において、符号4は飽和塩化カリウム溶液を導入するためのポートの位置であり、符号5は測定試料を導入するためのポートの位置であり、符号6は測定済みの試料を排出するためのポートの位置である。本実施例では、位置4は銀薄膜2の上流側に位置し、位置5は酸化イリジウム薄膜3の上流側に位置する。また、位置6は、流路7aと流路7bとの合流点の下流側に位置する。   In FIG. 1, reference numeral 4 is a port position for introducing a saturated potassium chloride solution, reference numeral 5 is a port position for introducing a measurement sample, and reference numeral 6 is for discharging a measured sample. The position of the port. In this embodiment, the position 4 is located on the upstream side of the silver thin film 2, and the position 5 is located on the upstream side of the iridium oxide thin film 3. Moreover, the position 6 is located downstream of the junction of the flow path 7a and the flow path 7b.

図2は、図1に示したフロー型pH電極15を備える、pH電極測定システムを示す図である。
図2において、ガラス基板1は、飽和塩化カリウム溶液を導入するためのポート17a、測定試料を導入するためのポート17b、および測定済みの試料を排出するためのポート17cが形成されたガラス基板16が貼り合わせられている。ポート17aには、チューブ10aの一方端が接続されており、チューブ10aの他方端には飽和塩化カリウム溶液が貯蔵されたシリンジ11に接続されている。一方、ポート17bには、チューブ10bの一方端が接続されており、チューブ10bの他方端には測定試料が貯蔵されたシリンジ12に接続されている。シリンジ11および12は、シリンジポンプ13に備えられており、不図示のポンプ駆動手段によりシリンジポンプ13が駆動することにより、シリンジ11からは飽和塩化カリウム溶液がチューブ10aを介してポート17aから流路7aへと導入され、シリンジ12からは測定試料がチューブ10bを介してポート17bから流路7bへと導入される。ポート17cには、チューブ10cの一方端が接続されており、流路7cを流れてきた試料を、ポート17cからチューブ10cへと排出する構造となっている。
また、電極パッド8aおよび8bはそれぞれ、電位差計14に電気的に接続されている。
FIG. 2 is a diagram showing a pH electrode measurement system including the flow-type pH electrode 15 shown in FIG.
In FIG. 2, the glass substrate 1 is formed with a port 17a for introducing a saturated potassium chloride solution, a port 17b for introducing a measurement sample, and a port 17c for discharging a measured sample. Are pasted together. One end of a tube 10a is connected to the port 17a, and the other end of the tube 10a is connected to a syringe 11 in which a saturated potassium chloride solution is stored. On the other hand, one end of a tube 10b is connected to the port 17b, and the other end of the tube 10b is connected to a syringe 12 in which a measurement sample is stored. The syringes 11 and 12 are provided in the syringe pump 13, and when the syringe pump 13 is driven by a pump driving means (not shown), a saturated potassium chloride solution flows from the syringe 11 through the tube 10a to the flow path from the port 17a. The sample to be measured is introduced into the flow path 7b from the port 17b through the tube 10b. One end of the tube 10c is connected to the port 17c, and the sample flowing through the flow path 7c is discharged from the port 17c to the tube 10c.
The electrode pads 8a and 8b are electrically connected to the potentiometer 14, respectively.

このような構成において測定を行う際は、シリンジポンプ13を駆動して、シリンジ11および12からそれぞれ飽和塩化カリウム溶液および測定試料を、流路7aおよび7bへと導入する。ポート17aから導入された飽和塩化カリウム溶液は流路7aを流れ、参照電極としての銀薄膜2を通り流路7bとの合流点へと向かう。また、ポート17bから導入された測定試料は流路7bを流れ、検出電極としての酸化イリジウム薄膜3を通り流路7aとの合流点へと向かう。合流点に流れてきた飽和塩化カリウム溶液と測定試料とが合流し、流路7cを流れて、ポート17cから排出される。このように、流路7a〜7cに対応する液体が流れることによって、検出電極と参照電極とは電気的に接続される。このとき、電位差計14にて、検出電極の電極電位を測定することにより、測定試料のpHを測定する。   When performing measurement in such a configuration, the syringe pump 13 is driven to introduce the saturated potassium chloride solution and the measurement sample from the syringes 11 and 12 into the flow paths 7a and 7b, respectively. The saturated potassium chloride solution introduced from the port 17a flows through the flow path 7a, passes through the silver thin film 2 as a reference electrode, and travels to the junction with the flow path 7b. The measurement sample introduced from the port 17b flows through the flow path 7b, passes through the iridium oxide thin film 3 as the detection electrode, and travels to the junction with the flow path 7a. The saturated potassium chloride solution and the measurement sample that have flowed to the merge point merge, flow through the flow path 7c, and are discharged from the port 17c. As described above, the liquid corresponding to the flow paths 7a to 7c flows, whereby the detection electrode and the reference electrode are electrically connected. At this time, the potentiometer 14 measures the electrode potential of the detection electrode, thereby measuring the pH of the measurement sample.

なお、本実施例では、飽和塩化カリウム溶液と測定試料とを同時に導入しているが、導入する順番はこれに限定されず、電位測定を行なう際に、流路7aには飽和塩化カリウムが流れ、流路7bには測定試料が流れていれば良い。よって、飽和塩化カリウム溶液と測定試料とのうちのいずれか一方から導入し、他方を後から導入するようにしても良い。   In this embodiment, the saturated potassium chloride solution and the measurement sample are introduced at the same time, but the order of introduction is not limited to this, and saturated potassium chloride flows through the flow path 7a when measuring the potential. The measurement sample only needs to flow through the flow path 7b. Therefore, the saturated potassium chloride solution and the measurement sample may be introduced from either one, and the other may be introduced later.

本実施例では、溶液の導入速度を、5μl/minに設定して測定を行った。測定の際には、飽和塩化カリウム溶液と測定試料は同時に流した。参照電極である銀薄膜2とpH感応用電極である酸化イリジウム薄膜3とは、二つの流路7aおよび7bに別々に存在し、溶液を流しながら測定を行うため、参照電極は汚染されることがなく、銀薄膜上の塩化カリウム溶液の濃度は一定に保たれる。予めpH値が分かっている標準液を導入し、電位測定を行った。その結果、約90mV/pHの傾きの検量線が得られた。さらに長時間測定を行ったところ、100時間以上において安定な電位応答が得られた。これは、飽和濃度の塩化カリウム溶液を流しながら測定を行うことにより、銀/塩化銀表面の塩化カリウム溶液濃度が一定に保たれているためである。   In this example, measurement was performed with the solution introduction rate set to 5 μl / min. In the measurement, the saturated potassium chloride solution and the measurement sample were flowed simultaneously. The silver thin film 2 as the reference electrode and the iridium oxide thin film 3 as the pH-sensitive application electrode are separately present in the two flow paths 7a and 7b, and the measurement is performed while flowing the solution, so that the reference electrode is contaminated. The concentration of the potassium chloride solution on the silver thin film is kept constant. A standard solution whose pH value was previously known was introduced, and potential measurement was performed. As a result, a calibration curve having a slope of about 90 mV / pH was obtained. Furthermore, when the measurement was performed for a long time, a stable potential response was obtained after 100 hours or more. This is because the potassium chloride solution concentration on the silver / silver chloride surface is kept constant by performing measurement while flowing a saturated potassium chloride solution.

(第2の実施例)
本実施例では、第1の実施例とは別の構成のフロー型pH電極の一例を示す。
本実施例に係るフロー型pH電極は、第1の実施例に係るフロー型pH電極と同様の構成であるが、異なる点は、参照電極に水素ガスを供給する点である。
図3において、本実施例では参照電極として白金薄膜19を用いている。符号20は、参照電極としての白金薄膜19をバブリングするためのポートの位置である。よって、フロー型pH電極18に貼り合わせるガラス基板16には、上記バブリング用のポートが形成されており、該ポートはチューブを介してバブリング発生装置に接続されている。また、本実施例では、電解質溶液として1M(M=mol/L)の塩酸を用いている。さらに、各ポートに接続されているチューブはフッ素系の材料からなるチューブである。
(Second embodiment)
In the present embodiment, an example of a flow type pH electrode having a configuration different from that of the first embodiment is shown.
The flow type pH electrode according to the present example has the same configuration as the flow type pH electrode according to the first example, except that hydrogen gas is supplied to the reference electrode.
In FIG. 3, in this embodiment, a platinum thin film 19 is used as a reference electrode. Reference numeral 20 denotes a port position for bubbling the platinum thin film 19 as a reference electrode. Accordingly, the bubbling port is formed on the glass substrate 16 to be bonded to the flow type pH electrode 18, and the port is connected to the bubbling generator via a tube. In this embodiment, 1M (M = mol / L) hydrochloric acid is used as the electrolyte solution. Furthermore, the tube connected to each port is a tube made of a fluorine-based material.

本実施例において測定の際には、第1の実施例と同様、測定試料と参照電極用の電解液(塩酸溶液)を流し、かつ水素ガスを白金薄膜19上にバブリングしながら測定を行う。この電解液は、酸素を脱気している方が望ましい。第1の実施例と同様な実験を行ったところ、同様な測定結果が得られた。   In the measurement in this example, as in the first example, the measurement sample and the electrolyte solution for reference electrode (hydrochloric acid solution) are flowed, and the measurement is performed while bubbling hydrogen gas on the platinum thin film 19. This electrolytic solution is preferably degassed of oxygen. When an experiment similar to that of the first example was performed, a similar measurement result was obtained.

(第3の実施例)
本実施例に係る、参照電極を用いたイオン測定用電極の構成を図4に示す。イオンを測定する電極も、内部電解液(電解質溶液)を必要とするため、上述の参照電極と同様、電解質溶液を流しながら測定を行う方式を採用することができる。但し、イオン電極は、イオン感応性を有する材料(イオノフォア)を有するポリ塩化ビニル等の高分子膜を含むことができるので、内部電解液の漏出が起こらない。よって、イオン電極には、ポリビニルピロリドンなどのポリマーに飽和塩化カリウムを保持させた電解質ゲルを用いてもよい。
(Third embodiment)
FIG. 4 shows the configuration of an ion measurement electrode using a reference electrode according to this example. Since the electrode for measuring ions also requires an internal electrolyte solution (electrolyte solution), a method of performing measurement while flowing the electrolyte solution can be employed as in the case of the reference electrode described above. However, since the ion electrode can include a polymer film such as polyvinyl chloride having an ion sensitive material (ionophore), leakage of the internal electrolyte does not occur. Therefore, an electrolyte gel in which saturated potassium chloride is held in a polymer such as polyvinylpyrrolidone may be used for the ion electrode.

図4において、イオン測定用電極21はガラス基板22を備え、ガラス基板22には、参照電極としての銀薄膜23、電極パッド27a、および配線電極27bが形成されており、銀薄膜23と電極パッド27aとは配線電極27bを介して接続されている。また、ガラス基板22には、検出電極としてのイオン電極用の銀薄膜24、電極パッド27c、および配線電極27dが形成されており、銀薄膜24と電極パッド27cとは配線電極27dを介して接続されている。イオン電極用の銀薄膜24上には、ナトリウムイオノフォアを含むイオン感応膜34が形成されている。   4, the ion measurement electrode 21 includes a glass substrate 22, and a silver thin film 23, an electrode pad 27a, and a wiring electrode 27b are formed on the glass substrate 22 as reference electrodes. The silver thin film 23 and the electrode pad 27a is connected via a wiring electrode 27b. The glass substrate 22 is formed with a silver thin film 24 for an ion electrode as a detection electrode, an electrode pad 27c, and a wiring electrode 27d. The silver thin film 24 and the electrode pad 27c are connected via the wiring electrode 27d. Has been. On the silver thin film 24 for ion electrodes, the ion sensitive film | membrane 34 containing a sodium ionophore is formed.

なお、本実施例では、ナトリウムイオンを測定するので、イオン電極として銀薄膜24を用いている。イオン電極として銀薄膜を用いると、ナトリウムイオンの他にも例えば、カリウムイオンも測定することができる。また、水素イオン濃度(pH)を測定する場合は、上記イオン電極として、例えば酸化イリジウムを用いれば良い。このように、イオン電極の材料は、測定したいイオンに応じて決定すれば良い。   In this embodiment, since sodium ions are measured, the silver thin film 24 is used as the ion electrode. When a silver thin film is used as the ion electrode, for example, potassium ions can be measured in addition to sodium ions. When measuring the hydrogen ion concentration (pH), for example, iridium oxide may be used as the ion electrode. Thus, the material of the ion electrode may be determined according to the ion to be measured.

このようなガラス基板1にはさらに、流路25a、25bおよび25cとなる領域を形成するように絶縁層28が形成されている。この領域では、銀薄膜23および24が露出している。上記領域に、壁26aを形成することによって流路25aを形成する。この流路25a内には、参照電極としての銀薄膜23が形成されている。また、壁26bを形成することによって、流路25bおよび流路25cが形成される。流路25cには、イオン電極(検出電極)としての銀薄膜24が形成されている。壁26a、26bの材料には、例えば、フォトレジスト、ポリイミド等の高分子材料を用いることができ、また、ガラスを用いても良い。   In addition, an insulating layer 28 is formed on such a glass substrate 1 so as to form regions that become the flow paths 25a, 25b, and 25c. In this region, the silver thin films 23 and 24 are exposed. A channel 25a is formed in the region by forming a wall 26a. A silver thin film 23 as a reference electrode is formed in the flow path 25a. Moreover, the flow path 25b and the flow path 25c are formed by forming the wall 26b. A silver thin film 24 as an ion electrode (detection electrode) is formed in the flow path 25c. For the material of the walls 26a and 26b, for example, a polymer material such as a photoresist or polyimide can be used, or glass can be used.

なお、本実施例では、流路の本数は、いくらでも良い。例えば、流路25bをさらに壁にて2つ以上の流路に分割しても良い。そのときは、流路を形成するための壁に貫通孔を設け、該貫通孔に液絡を充填することにより、各流路の電気的接続を確立すれば良い。   In the present embodiment, any number of flow paths may be used. For example, the channel 25b may be further divided into two or more channels by a wall. In that case, an electrical connection of each flow path may be established by providing a through hole in a wall for forming the flow path and filling the through hole with a liquid junction.

壁26aには貫通孔29aが形成されており、貫通孔29aには、液絡として塩化物イオンを含んだ寒天層が形成されている。同様に、壁26bにも、貫通孔29bが形成されており、貫通孔29bにも、液絡として塩化物イオンを含んだ寒天層が形成されている。   A through hole 29a is formed in the wall 26a, and an agar layer containing chloride ions as a liquid junction is formed in the through hole 29a. Similarly, a through hole 29b is formed in the wall 26b, and an agar layer containing chloride ions as a liquid junction is also formed in the through hole 29b.

本実施例では、流路25a内に参照電極としての銀薄膜23が形成されているので、流路23が参照電極用の流路となり、流路25aに電解質溶液である飽和塩化カリウム溶液を流す。また、流路25bに測定試料を流し、流路25cにも、イオン電極用の飽和塩化カリウム溶液を流す。上記液絡により各流路は電気的に接続されているので、各流路に、対応する液体を流すと、参照電極とイオン電極とを電気的に接続することが可能となる。   In this embodiment, since the silver thin film 23 as the reference electrode is formed in the flow path 25a, the flow path 23 becomes a flow path for the reference electrode, and a saturated potassium chloride solution, which is an electrolyte solution, flows through the flow path 25a. . In addition, a measurement sample is passed through the flow path 25b, and a saturated potassium chloride solution for the ion electrode is also passed through the flow path 25c. Since each flow path is electrically connected by the liquid junction, the reference electrode and the ion electrode can be electrically connected by flowing a corresponding liquid in each flow path.

図4において、符号30は参照電極用の飽和塩化カリウム溶液を導入するためのポートの位置であり、符号31は測定試料を導入するためのポートの位置であり、符号32はイオン電極用の飽和塩化カリウム溶液を導入するためのポートの位置である。また、符号33は、測定済みの試料を排出するためのポートの位置である。   In FIG. 4, reference numeral 30 denotes a port position for introducing a saturated potassium chloride solution for a reference electrode, reference numeral 31 denotes a port position for introducing a measurement sample, and reference numeral 32 denotes a saturation for an ion electrode. It is the position of the port for introducing the potassium chloride solution. Reference numeral 33 denotes a port position for discharging a measured sample.

本実施例では、図2と同様に、電極パッド27a、および27cは、電位差計14に電気的に接続されている。また、シリンジ11がチューブ10aを介して流路25aに接続されており、シリンジ12がチューブ10bを介して流路25bに接続されている。本実施例では、シリンジポンプ13はさらに、飽和塩化カリウム溶液が貯蔵されたイオン電極用シリンジを備えており、このイオン電極用シリンジは、チューブを介して流路25cに接続されている。   In the present embodiment, the electrode pads 27a and 27c are electrically connected to the potentiometer 14 as in FIG. The syringe 11 is connected to the flow path 25a via the tube 10a, and the syringe 12 is connected to the flow path 25b via the tube 10b. In the present embodiment, the syringe pump 13 further includes an ion electrode syringe in which a saturated potassium chloride solution is stored, and the ion electrode syringe is connected to the flow path 25c via a tube.

このような構成において測定を行う際は、シリンジポンプ13を駆動して、シリンジ11、12、およびイオン電極用のシリンジからそれぞれの溶液を、飽和塩化カリウム溶液については流路25aおよび25cへ、測定試料については流路25bへと導入する。すなわち、各流路に、対応する溶液を流しながら測定を行う。   When performing measurement in such a configuration, the syringe pump 13 is driven to measure each solution from the syringes 11 and 12 and the ion electrode syringe, and to the channels 25a and 25c for the saturated potassium chloride solution. The sample is introduced into the flow path 25b. That is, measurement is performed while flowing the corresponding solution through each channel.

本実施例では、各流路へと導入する各溶液の流速は5μl/minとした。ナトリウムイオン濃度を変化させたときの電位応答を測定したところ、良好なネルンスト応答が得られた。また、100時間以上安定に動作した。イオン電極側については、飽和塩化カリウム溶液を導入し流路内がいっぱいになったところで、送液を止めてから測定を行ってみたが、溶液を流しながら測定を行った場合と同様な結果が得られた。   In this example, the flow rate of each solution introduced into each channel was 5 μl / min. When the potential response when the sodium ion concentration was changed was measured, a good Nernst response was obtained. Moreover, it operated stably for 100 hours or more. On the ion electrode side, when the saturated potassium chloride solution was introduced and the flow path became full, the measurement was performed after the liquid supply was stopped, but the results were the same as when the measurement was performed while the solution was flowing. Obtained.

本発明の第1の実施例に係る、フロー型pH電極を示す上面図である。It is a top view which shows the flow type pH electrode based on the 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る、pH電極測定システムを示す図である。It is a figure which shows the pH electrode measuring system based on the 1st Example of this invention. 本発明の第2の実施例に係る、フロー型pH電極を示す上面図である。It is a top view which shows the flow type pH electrode based on the 2nd Example of this invention. 本発明の第3の実施例に係る、イオン測定用電極の上面図である。It is a top view of the electrode for ion measurement based on the 3rd Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、22 ガラス基板
2、23、24 銀薄膜
3 酸化イリジウム薄膜
4、5、6、30、31、32 ポートの位置
7a、7b、7c、25a、25b、25c 流路
8a、8c、27a、27c 電極パッド
8b、8d、27b、27d 配線電極
9、28 絶縁層
15、18 フロー型pH電極
1, 22 Glass substrate 2, 23, 24 Silver thin film 3 Iridium oxide thin film 4, 5, 6, 30, 31, 32 Port position 7a, 7b, 7c, 25a, 25b, 25c Channel 8a, 8c, 27a, 27c Electrode pad 8b, 8d, 27b, 27d Wiring electrode 9, 28 Insulating layer 15, 18 Flow type pH electrode

Claims (7)

基板と、
前記基板に形成され、電解質溶液または酸性溶液が流れる第1の流路と、
前記第1の流路内に形成された参照電極と、
前記基板に形成され、前記第1の流路とは別個の流路であって、測定試料が流れる第2の流路と、
前記基板に形成され、前記第1および第2の流路とは別個の流路であって、前記電解質溶液または酸性溶液が流れる第3の流路と、
前記第3の流路内に形成された検出電極とを備え、
前記第1の流路および第2の流路、ならびに前記第2の流路および前記第3の流路はそれぞれ、電解質を含む液絡によって電気的に接続されていることを特徴とする微小電気化学測定用電極。
A substrate,
A first flow path formed in the substrate and through which an electrolyte solution or an acidic solution flows;
A reference electrode formed in the first flow path;
A second flow path formed on the substrate and separate from the first flow path, through which the measurement sample flows;
A third flow path formed on the substrate and separate from the first and second flow paths, through which the electrolyte solution or acidic solution flows;
A detection electrode formed in the third flow path,
The first channel and the second channel, and the second channel and the third channel are electrically connected by a liquid junction containing an electrolyte, respectively. Electrode for chemical measurement.
前記検出電極は、イオンを検出するための電極であることを特徴とする請求項1記載の微小電気化学測定用電極。   2. The electrode for microelectrochemical measurement according to claim 1, wherein the detection electrode is an electrode for detecting ions. 前記イオンを検出するための電極は、イオノフォアを含むポリマーを含むことを特徴とする請求項記載の微小電気化学測定用電極。 The electrode for microelectrochemical measurement according to claim 2, wherein the electrode for detecting ions includes a polymer containing an ionophore. 前記第1の流路、第2の流路、および前記第3の流路は、1つの流路から分割された流路であることを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の微小電気化学測定用電極。 The said 1st flow path, the 2nd flow path, and the said 3rd flow path are the flow paths divided | segmented from one flow path, The Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. Electrode for microelectrochemical measurement. 前記参照電極の材料は、銀、水銀、白金、または白金黒のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の微小電気化学測定用電極。 The reference electrode material, silver, mercury, platinum or platinum black micro electrochemical measurement electrode according to any of claims 1 to 4, characterized in that either,. 前記参照電極に対して、ガスを供給する手段をさらに有することを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の微小電気化学測定用電極。 The electrode for microelectrochemical measurement according to any one of claims 1 to 5 , further comprising means for supplying a gas to the reference electrode. 基板と、前記基板に形成され、電解質溶液または酸性溶液が流れる第1の流路と、前記第1の流路内に形成された参照電極と、前記基板に形成され、前記第1の流路とは別個の流路であって、測定試料が流れる第2の流路と、前記基板に形成され、前記第1および第2の流路とは別個の流路であって、前記電解質溶液または酸性溶液が流れる第3の流路と、前記第3の流路内に形成された検出電極とを備え、前記第1の流路および第2の流路、ならびに前記第2の流路および第3の流路はそれぞれ、電解質を含む液絡によって電気的に接続されている微小電気化学測定用電極により前記測定試料の電極電位を測定する電気化学測定法であって、
前記第1の流路に前記電解質溶液または酸性溶液を流し、前記第2の流路に前記測定試料を流し、前記第3の流路に前記電解質溶液または酸性溶液を流す工程と、
前記電解質溶液または酸性溶液、および前記測定試料が流れている間に、前記検出電極にて前記測定試料の電極電位を測定する工程と
を有することを特徴とする電気化学測定法。
A substrate, a first flow path formed in the substrate, in which an electrolyte solution or an acidic solution flows, a reference electrode formed in the first flow path, and the first flow path formed in the substrate. A second flow path through which the measurement sample flows and a flow path formed on the substrate, the first flow path and the second flow path being separate from the electrolyte solution or A third flow path through which the acidic solution flows; and a detection electrode formed in the third flow path; the first flow path and the second flow path; and the second flow path and the second flow path. Each of the three flow paths is an electrochemical measurement method in which the electrode potential of the measurement sample is measured by a microelectrochemical measurement electrode electrically connected by a liquid junction containing an electrolyte,
Flowing the electrolyte solution or acidic solution through the first flow path, flowing the measurement sample through the second flow path, and flowing the electrolyte solution or acidic solution through the third flow path;
And a step of measuring an electrode potential of the measurement sample with the detection electrode while the electrolyte solution or the acidic solution and the measurement sample are flowing.
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