JP4203638B2

JP4203638B2 - Mesh-shaped shape memory alloy actuator and method for manufacturing the mesh body

Info

Publication number: JP4203638B2
Application number: JP2001329917A
Authority: JP
Inventors: 亮彦斎藤; 茂堂埜; 康史正木
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2001-10-26
Filing date: 2001-10-26
Publication date: 2009-01-07
Anticipated expiration: 2021-10-26
Also published as: JP2003129945A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、形状記憶合金が記憶形状に変形する際の変形力によって各種装置を駆動させる駆動力を得るメッシュ状形状記憶合金アクチュエータ及びそのメッシュ体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来この種のアクチュエータとしては、特開昭５９−８８９１６号公報、特開昭６１−１９３６７０号公報等があるが、これらは形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んでメッシュ体を形成してあり、このメッシュ体への通電のオンオフでメッシュ体をジュール熱で加熱したり冷却したりしてメッシュ体を伸縮させて駆動力を得るようになっている。またこのメッシュ体のワイヤーは絶縁のために柔らかい樹脂膜で被覆してある。
【０００３】
ところが、上記アクチュエータにあっては、アクチュエートする度に、メッシュ体のワイヤーの重なる箇所が摺動するため、多数回アクチュエートすると、柔らかい樹脂膜では磨耗による膜の剥離が生じ、絶縁性がなくなるという問題がある。硬い樹脂膜ではアクチュエータの歪に追従できずに膜が崩壊するといった問題がある。
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、絶縁層の表面の耐磨耗性、摺動性を向上させ、絶縁効果を高め、アクチュエータ性能を向上させることができるメッシュ状形状記憶合金アクチュエータ及びそのメッシュ体の製造方法を提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで構成されたメッシュ体２を加熱または冷却することで形状変化により対象物を作動させるメッシュ状形状記憶合金アクチュエータにおいて、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して形成された絶縁層３と、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に硬質粒子５を分散形成した耐磨耗層４を有することを特徴とする。絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。さらに表面の硬質粒子５が絶縁層３の破壊を防ぐことで、表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【０００６】
また本発明の請求項２のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで構成されたメッシュ体２を加熱または冷却することで形状変化により対象物を作動させるメッシュ状形状記憶合金アクチュエータにおいて、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して形成された絶縁層３と、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に摺動促進粒子６を分散形成した耐磨耗層４を有することを特徴とする。絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。さらに表面の摺動促進粒子６により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【０００７】
また本発明の請求項３のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで構成されたメッシュ体２を加熱または冷却することで形状変化により対象物を作動させるメッシュ状形状記憶合金アクチュエータにおいて、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して形成された絶縁層３と、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に硬質粒子５及び摺動促進粒子６を分散形成した耐磨耗層４を有することを特徴とする。絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。さらに表面の硬質粒子５及び摺動促進粒子６により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【０００８】
また本発明の請求項４のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液をディップまたはスプレーコートのいずれかで被覆することを特徴とする。軟質絶縁被膜部３ａよりなる絶縁層３と硬質粒子５や摺動促進粒子６を分散した耐磨耗層４をワイヤー１の表面に容易且つ低コストで形成できる。
【０００９】
また本発明の請求項５のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に液状化された軟質絶縁被膜材料７のみを最初にコーティングし、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液をコーティングすることを特徴とする。硬質粒子５や摺動促進粒子６とは別に軟質絶縁被膜材料７のみを被覆することで母材であるワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性が向上する。
【００１０】
また本発明の請求項６のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、耐熱性材料からなる軟質絶縁被膜材料７を液状化させると共に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液を形状記憶合金のワイヤー１にコーティングし、次いで、このワイヤー１をメッシュ形状に編んで所定形状に形成し、しかる後、形状記憶熱処理を行うことを特徴とする。このように製造することで低コストで量産できる。またメッシュ状に編む前にコーティングするので被膜厚みが安定する。
【００１１】
また本発明の請求項７のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合で被覆し、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６をコーティングすることを特徴とする。蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤー１と被覆した軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成して応力集中による破壊を予防することができて絶縁品質をアップできる。
【００１２】
また本発明の請求項８のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んでメッシュ体２を形成し、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散すると共に、上記メッシュ体２を延伸させた状態で上記軟質絶縁被膜材料７をコーティングし、しかる後メッシュ体２の延伸を解除してメッシュ体２を元形状に戻し、再度上記コーティングを施すことを特徴とする。ワイヤー１をメッシュ状に編んでメッシュ体２を形成した後に被覆するものでも、ワイヤー１のクロス部分における軟質絶縁被膜材料７の「かたまり」を防止してメッシュ体２全域を確実に絶縁被覆できる。
【００１３】
また本発明の請求項９のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合し、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散した被覆材料をコーティングすることを特徴とする。蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤー１と被覆した軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成できて絶縁品質をアップでき、さらに硬質粒子５の剥がれを防止できる。
【００１４】
また本発明の請求項１０のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４または請求項５において、形状記憶合金のワイヤー１を液状化された軟質絶縁被膜材料７の硬化温度まで通電加熱することを特徴とする。ワイヤー１を加熱してコーティングするために焼付が瞬時に行われ、コーティング時間が短縮される。このとき母材としてワイヤー１のみが加熱されてエネルギー効率よく加熱される。
【００１５】
また本発明の請求項１１のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に軟質絶縁被膜材料７の溶剤８のみを最初にコーティングした後、該溶剤８の固化前に、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液をコーティングして耐磨耗層４を形成することを特徴とする。溶剤８にて母材としてのワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できる。
【００１６】
また本発明の請求項１２のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤー１にディップでコーティングした後、エアーブローを施すことを特徴とする。ディップでコーティングした後にエアーブローすることで、ディップでコーティングするものでも均一にコートできる。またエアーブローによりメッシュ体２のワイヤー１のクロス部分における被覆材料の「かたまり」を防止できる。
【００１７】
また本発明の請求項１３のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで筒状または袋状のメッシュ体２を形成し、この筒状または袋状のメッシュ体２の表面側からコーティングして耐磨耗層４を形成した後、筒状または袋状のメッシュ体２を裏返して再度コーティングして耐磨耗層４を形成することを特徴とすることを特徴とする。スプレーコートする時「ブラインド」となるメッシュ体２裏側に確実にコートできる。
【００１８】
また本発明の請求項１４のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだ筒状のメッシュ体２をメッシュ体２の外径より大きい内径を持つ筒状カバー９内に入れて筒状カバー９内でスプレーコーティングすることを特徴とする。スプレーコート時不要な飛散を抑制し、スプレーする材料を効率よく利用できる。
【００１９】
また本発明の請求項１５のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４乃至請求項６または請求項８または請求項１０または請求項１２乃至請求項１４のいずれかにおいて、分散液は、液状化された軟質絶縁被膜材料７にカップリング剤またはプライマー溶液を混入したものであることを特徴とする。母材となるワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できる。
【００２０】
また本発明の請求項１６のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、請求項１または請求項３において、硬質粒子５の表面に界面活性処理を施したものであることを特徴とする。分散中の硬質粒子５同士の凝集を防止できる。
【００２１】
また本発明の請求項１７のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法は、請求項４乃至請求項１６のいずれかにおいて、軟質絶縁被膜材料７の層や粒子径がナノオーダーの硬質粒子５の層を形成した後に２００℃以上４００℃以下の環境に放置することを特徴とする。分散した硬質粒子５が熱処理により表面側に析出し、表面の耐磨耗性能がアップする。同時に母材としてのワイヤー１側の硬質粒子５が少なくなるので、ワイヤー１と軟質絶縁被膜部との密着性が向上する。
【００２２】
また本発明の請求項１８のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、請求項１または請求項３において、硬質粒子５は表面に有機薄膜コートを施したものであることを特徴する。軟質絶縁被膜部３ａと硬質粒子５の密着性が向上する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
まず、図１、図２に示す実施の形態の例から述べる。このメッシュ状形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで構成されたメッシュ体２と、このメッシュ体２の形状変化をさせるために加熱や冷却する手段とで構成されている。メッシュ体２の加熱はメッシュ体２に通電することでジュール熱を発生させることで行われ、メッシュ体２の冷却は通電を遮断して放熱させることで行われるようになっている。メッシュ体２を配設した回路１２にはスイッチ１３と電流量を調整して温度制御する温度制御部１４を設けてある。またメッシュ体２にはメッシュ体２を伸ばすために錘のようなバイアス１５を作用させてある。
【００２４】
メッシュ体２は形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで構成されているが、このワイヤー１の表面には絶縁のための絶縁層３を全面に亙って被覆してあり、絶縁層３の表面には耐磨耗層４を全面に亙って被覆してある。かかる絶縁層３や耐磨耗層４を全面に亙って被覆するのはワイヤー１を編む前でもワイヤー１をメッシュ状に編んだ後であってもよい。
【００２５】
ワイヤー１の形状記憶合金としては種々のものがあるが、例えばニッケルとチタンの配合比が５０％の合金（ニチノール）がある。これはオーステナイト層（高温時）、マルテンサイト層（低温時）を有し、また熱処理により高温・低温の中間層Ｒ層も形成される。また若干の銅やアルミニウムが配合されていてもよい。
【００２６】
温度制御部１４のスイッチ１３がオフの場合、形状記憶合金のメッシュ体２は放熱により冷却されて剛性が低下する。その際、図２（ａ）のようにバイアス１５の力により、形状記憶合金のメッシュ体２が伸びた状態になる。一方、図２（ｂ）のようにスイッチ１３をオンにして通電を開始すれば、ジュール熱により形状記憶合金のメッシュ体２が加熱され、メッシュ体２が縮む形状回復動作と共に力を発生する。その際の変位の発生力をメッシュ体２に接触した出力部から取り出すことで（伸縮）アクチュエータを構成する。
【００２７】
アクチュエータの発生力は形状記憶合金のワイヤー１の断面積に比例する。０．３ｍｍ以下程度の細線のワイヤー１をメッシュ状に編み込むことで比表面積は増大し、放熱性が高められるため、応答性に優れたアクチュエータを形成できる。
【００２８】
アクチュエートする際、ワイヤー１同士がクロスする部分でワイヤー１同士の摺動が起きる。このとき絶縁層３の表面が耐磨耗層４で被覆されたことで、アクチュエートしたときワイヤー１同士が摺接する部分の耐磨耗性を向上させて絶縁層３が破損するのを防止できるので持続性が向上し、また耐磨耗層４は絶縁性の材料を用いているので絶縁効果を一層高めることができ、従って絶縁性能の長寿化ができる。また摺動性を向上させることでメッシュ体２の可撓性や伸縮率や発生力を向上できてアクチュエータの性能を向上させることができる。また上記のよう構成されることで、直流通電による低電流で高速加熱・連続挙動が実現できる。
【００２９】
次に図３に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであるので異なる点だけを主に述べる。形状記憶合金のワイヤー１の全表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して絶縁層３を形成してあり、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に硬質粒子５を分散形成して耐磨耗層４を形成してある。このとき、形状記憶合金のワイヤー１が図３（ａ）のように縮んだり、図３（ｂ）のように伸びたりするように歪が生じても絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。また硬質粒子５も分散しているので、硬質粒子５間距離が増すのみで、形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪による割れ、破壊等が生じない。また硬質粒子５が最外面にあるので、図３（ｃ）のように対象物１６に対して摺接して外部摩擦磨耗に対して強靭である。つまり、表面の硬質粒子５により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【００３０】
上記硬質粒子５の材料としては、窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）等があり、粒径はナノオーダ（１０００ｎｍ以下）が望ましい。軟質絶縁被膜部３ａの材料としては、ポリアミドイミド、ポリイミド、パリレン、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ等の柔軟有機材料、シリコン、天然ゴム等の柔軟材料等がある。
【００３１】
次に図４に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項２に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであるので異なる点だけを主に述べる。形状記憶合金のワイヤー１の全表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して絶縁層３を形成してあり、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に摺動促進粒子６を分散形成して耐磨耗層４を形成してある。このとき、形状記憶合金のワイヤー１が図４（ａ）のように縮んだり、図４（ｂ）のように伸びたりするように歪が生じても絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。また摺動促進粒子６も分散しているので、摺動促進粒子６間距離が増すのみで、形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪による割れ、破壊等が生じない。また摺動促進粒子６が最外面にあるので、図４（ｃ）（ｄ）のように対象物１６に対してスムーズに摺接する。このとき摺動促進粒子６は外部摩擦により破壊され、図４（ｄ）のように粒径が小さくなる。また破壊された粒子は表面に残り、滑りを促進する。このようにして表面の摺動促進粒子６により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【００３２】
本例の場合も、軟質絶縁被膜部３ａの材料としては、ポリアミドイミド、ポリイミド、パリレン、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ等の柔軟有機材料、シリコン、天然ゴム等の柔軟材料等がある。また摺動促進粒子６の材料としては、ＰＴＦＥ（テフロン（Ｒ））ＰＴＦＥ、２硫化モリブデン、黒鉛等がある。
【００３３】
次に図５に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項３に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであるので異なる点だけを主に述べる。形状記憶合金のワイヤー１の全表面に軟質絶縁被膜部３ａを被覆して絶縁層３を形成してあり、該軟質絶縁被膜部３ａの外表面に硬質粒子５及び摺動促進粒子６を分散形成して耐磨耗層４を形成してある。このとき、形状記憶合金のワイヤー１が図５（ａ）のように縮んだり、図５（ｂ）のように伸びたりするように歪が生じても絶縁層３が軟質絶縁被膜部３ａで軟質であるために形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪に絶縁層３が剥離や破壊することなく追従する。また硬質粒子５や摺動促進粒子６も分散しているので、硬質粒子５間や摺動促進粒子６間の距離が増すのみで、形状記憶合金のワイヤー１の塑性歪による割れ、破壊等が生じない。また摺動促進粒子６が最外面にあるので、図５（ｃ）（ｄ）のように対象物１６に対してスムーズに摺接する。このとき摺動促進粒子６は外部摩擦により破壊され、図５（ｄ）のように粒径が小さくなる。また破壊された粒子は表面に残り、滑りを促進する。また硬質粒子５が破壊されないで残るので、耐磨耗強度も維持される。このようにして表面の硬質粒子５及び摺動促進粒子６により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー１間の擦れ摩擦にも対応可能である。
【００３４】
本例の場合も、軟質絶縁被膜部３ａの材料としては、ポリアミドイミド、ポリイミド、パリレン、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ等の柔軟有機材料、シリコン、天然ゴム等の柔軟材料等がある。また摺動促進粒子６の材料としては、ＰＴＦＥ（テフロン（Ｒ））、２硫化モリブデン、黒鉛等がある。また硬質粒子５の材料としては、窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）等がある。
【００３５】
次に図６に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項４に対応する例である。これはメッシュ状形状記憶合金アクチュエータのメッシュ体の製造方法であって、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散すると共に、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２にディップまたはスプレーコートで上記軟質絶縁被膜材料７を被覆することにより製造している。ワイヤー１をメッシュ状に編んだとき必要に応じて形状記憶熱処理をする。図に示す例では硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１７にてスプレーコートしているが、ディップでコートしてもよい。ディップコートする場合、メッシュ体２をディップ槽に通す。上記のように製造するとき、スプレーコートの場合は摺動部のみを厚くする等の部分的な膜厚制御が容易であり、ディップコートは量産時の材料損失が少ない。
【００３６】
上記のように製造することにより、軟質絶縁被膜部３ａよりなる絶縁層３と硬質粒子５や摺動促進粒子６を分散した耐磨耗層４をワイヤー１の表面に容易且つ低コストで形成できる。またワイヤー１を編んだメッシュ体２にコートする場合、メッシュ体２のワイヤー１のクロスする部分は乾燥硬化するまで離したりする工夫が施される。また液状化した軟質絶縁被膜材料７としては、ポリアミドイミド、ポリイミド等の液層状態のもの、またはポリアミドイミド、ポリイミド、パリレン、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ等を溶剤に溶解させた溶液がある。
【００３７】
次に図７に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項５に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に液状化された軟質絶縁被膜材料７のみを最初にコーティングし、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液１８をコーティングすることにより製造している。図に示す例では図７（ａ）に示すように軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１９でスプレーコートし、次いで図７（ｂ）に示すように硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液１８をスプレー装置２０でスプレーコートしている。このように硬質粒子５や摺動促進粒子６とは別に軟質絶縁被膜材料７のみを被覆することで母材であるワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性が向上する。つまり、軟質絶縁被膜材料７のみを被覆する方が母材としてのワイヤー１との密着性が高くなる（硬質材料、摺動促進材料等が母材に接触すると剥離しやすいからである）。液状化した軟質絶縁被膜材料７としては、ポリアミドイミド、ポリイミド等の液層状態のもの、またはポリアミドイミド、ポリイミド、パリレン、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ等を溶剤に溶解させた溶液がある。
【００３８】
次に図８に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項６に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。ポリイミド等の耐熱材料の軟質絶縁被膜材料７を液状化させると共に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた材料を形状記憶合金のワイヤー１に予めコーティングし、次いで、このワイヤー１をメッシュ形状に編んで所定形状に形成し、しかる後、形状記憶熱処理を行うことにより製造している。図８（ａ）に示すように供給ロール２１から連続的にワイヤー１を供給し、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた軟質絶縁被膜材料７の液槽にワイヤー１を連続的に浸漬させてコートし、ワイヤー１同士が付着しない程度に予備乾燥した後、巻き取りロール２２に巻き取る。そして図８（ｂ）に示すようにメッシュ状に編み、図８（ｃ）に示すように形状記憶熱処理をしている。このように形状記憶熱処理をするが、軟質絶縁被覆材料７が耐熱性ポリイミドであれば、形状記憶熱処理（４００℃、１時間）の高熱に耐えることができる。上記のように製造することで低コストで量産できる。またメッシュ状に編んだ後にコーティングした場合には、ワイヤー１同士の重なった部分とそれ以外の部分で被膜の厚みが異なりやすいが、メッシュ状に編む前にコーティングするので被膜厚みが安定する。
【００３９】
次に図９、図１０に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項７に対応する例である。形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２に軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合で被覆し、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６をコーティングすることにより製造している。図９（ａ）に示すようにワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２にパリレン等の軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合で被覆し、次いで図９（ｂ）に示すように窒化ホウ素（ＢＮ）のような硬質粒子５をスプレー装置２３でスプレーしてコーティングする。このようにすると、図１０（ａ）の状態になるが、この状態から再び軟質材料２４をスプレーして図１０（ｂ）の状態にして硬質粒子５と軟質材料２４との密着性を確保すると更に好ましい。上記のように軟質絶縁被覆材料７を蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤー１と被覆した軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成できて絶縁品質をアップできる。
【００４０】
次に図１１、図１２に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項８に対応する例である。本例も上記図６の例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んでメッシュ体２を形成し、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散すると共に、上記メッシュ体２を延伸させた状態で上記軟質絶縁被膜材料７をコーティングし、しかる後メッシュ体２の延伸を解除してメッシュ体２を元形状に戻し、再度上記コーティングを施すことで製造している。
【００４１】
まず、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散した軟質絶縁被覆材料７をスプレー装置１７でスプレーコートするとき、ワイヤー１が塑性歪を起こす程度の張力を与えてメッシュ体２を延伸させた状態で図１１（ａ）に示すように行う。このようにメッシュ体２にスプレーコートした状態で軟質絶縁被覆材料７が図１２（ａ）のようにワイヤー１のクロス部に全面に付着してかたまった状態となる。図１２（ａ）のように固化した後に延伸を解除してメッシュ体２を強制的に元の状態に戻すと、図１２（ｂ）に示すようにかたまりが分離する。この状態で、図１１（ｂ）に示すようにスプレー装置１７からスプレーすると、図１２（ｃ）の状態になってワイヤー１のクロス部に凝集する。この状態からメッシュ体２を延伸させると、図１２（ｄ）の状態になってかたまりが分離する。上記動作を周期的に繰り返すと、ワイヤー１のクロス部分に溶液が凝集することなく、塗り残しのないコーティングが可能になる。従って、ワイヤー１をメッシュ状に編んでメッシュ体２を形成した後に被覆するものでも、ワイヤー１のクロス部分における軟質絶縁被膜材料７の「かたまり」を防止してメッシュ体２全域を確実に絶縁被覆できる。
【００４２】
次に図１３、図１４に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項９に対応する例である。これは形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだ後にワイヤー１に軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合し、しかる後、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散した被覆材料２５をコーティングして製造している。まず、図１３（ａ）に示すようにワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２にパリレン等の軟質絶縁被膜材料７を蒸着重合で被覆し、次いで硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散した被覆材料２５をスプレー装置３６でスプレーして被覆する。上記のように軟質絶縁被膜材料７を被覆するとき、蒸着重合するためにディップやスプレーコートに比べ、細部にも均一にコートされるので、メッシュ形状でも均一膜が形成でき、品質が向上する。従って蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤー１と被覆した軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成できて絶縁品質をアップできる。また軟質絶縁被膜材料７と被覆材料２５は有機材料同士で密着性が高く、硬質粒子５または摺動促進粒子６の剥がれを防止できる。
【００４３】
次に図１５に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１０に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは、形状記憶合金のワイヤー１に軟質絶縁被膜材料７を被覆するとき液状化された軟質絶縁被膜材料７の硬化温度まで通電加熱することにより製造するものである。ワイヤー１を編んだメッシュ体２に通電にて加熱する加熱装置２６を接続してあり、硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１７でスプレーして被覆するとき、加熱装置２６から通電してメッシュ体２を軟質絶縁被膜材料７の硬化温度まで加熱されるようになっている。このようにワイヤー１を加熱してコーティングするために焼付が瞬時に行われ、コーティング時間が短縮される。このとき母材としてワイヤー１のみが加熱されてエネルギー効率よく加熱される。
【００４４】
次に図１６、図１７に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１１に対応する例である。これは、形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだ後にワイヤー１に軟質絶縁被膜材料７の溶剤８のみを最初にコーティングし、液状化された軟質絶縁被膜材料７に硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散すると共に、該溶剤８の固化前に上記軟質絶縁被膜材料７をコーティングすることにより製造するものである。
【００４５】
まず、図１６（ａ）のようにスプレー装置２８から溶剤８をスプレーすることで図１７（ａ）の状態から図１７（ｂ）の状態になるように溶剤８を被覆する。次いで、図１６（ｂ）に示すように硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１７からスプレーして図１７（ｃ）に示すように被覆する。すると図１７（ｄ）に示すように軟質絶縁被膜材料７が溶剤８に溶解し、元々あった溶剤８層が軟質絶縁被膜材料７の層に置換される。これにより硬質粒子５または摺動促進粒子６が形状記憶合金のワイヤー１の表面に析出しないので密着性が高くなる。従って、溶剤８にて母材としてのワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できる。
【００４６】
次に図１８乃至図２０に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１２に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは形状記憶合金のワイヤー１にディップでコーティングした後、エアーブローを施すことにより製造するものである。
【００４７】
硬質粒子５や摺動促進粒子６を分散させた軟質絶縁被膜材料７の液はディップ槽２８に装填してあり、先ず図１８（ａ）に示すようにワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２をディップ槽２８に浸漬させ、次いで図１８（ｂ）に示すようにディップ槽２８から軟質絶縁被膜材料７を付着させたメッシュ体２を取り出し、次いで図１８（ｃ）に示すようにブロー装置２９にてエアーを吹き付けてコートした層を均一化すると共に硬化する。このとき図１９のようにディップ槽２８から取り出した際、通電にて加熱する加熱装置２６にてメッシュ体２を加熱し、ブロー装置２９にてエアーブローしてよい。このように加熱装置２６にて軟質絶縁被覆材料７の硬化温度まで加熱しておけば、エアーブロー時の硬化が早くなる。また図２０に示すようにエアーブロー時にメッシュ体２に連続的に可変な負荷を上下端に加える等してメッシュ体を揺動させればエアーブロー時にコートした層がより均等に広がる。上記のようにディップでコーティングした後にエアーブローすることで、ディップでコーティングするものでも均一にコートできる。またエアーブローによりメッシュ体２のワイヤー１のクロス部分における被覆材料の「かたまり」を低減できる。
【００４８】
次に図２１、図２２に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１３に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んで筒状または袋状のメッシュ体２を形成し、この筒状または袋状のメッシュ体２の表面側からコーティングした後、筒状または袋状のメッシュ体２を裏返して裏側から再コーティングすることにより製造する。
【００４９】
図２１の例の場合、メッシュ体２が手袋のような複雑な形状の袋状に形成されており、硬質粒子５や摺動促進粒子６を分散した軟質絶縁被覆材料７をスプレーコートするものである。この場合、まず、図２１（ａ）に示すように袋状のメッシュ体２に表面からスプレーコートし、次いでメッシュ体２を裏返ししてメッシュ体２の裏側から再スプレーコートする。図２２に示すようにメッシュ体２が単純は筒体の場合には図２２（ａ）のように表面からスプレーコートした後に裏返して裏側から再スプレーコートする代わりに、図２２（ｂ）に示すように表面である外周部からスプレーコートした後、裏面である内部から再スプレーコートしてもよい。上記のようにして製造すると、スプレーコートする時「ブラインド」となるメッシュ体２裏側に確実にコートできる。
【００５０】
次に図２３、図２４に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１４に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは形状記憶合金のワイヤー１をメッシュ状に編んだメッシュ体２をメッシュ体２の外径より大きい内径を持つ筒状カバー９内に入れて筒状カバー９内でスプレーコーティングすることにより製造するものである。硬質粒子５や摺動促進粒子６を分散した軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１７でスプレーコートする際、図２３に示すようにメッシュ体２の外径より大きい内径を持つ筒状カバー９内にメッシュ体２を入れ、この筒状カバー９内でスプレーコートしている。このようにして製造すると、スプレーコート時不要な飛散を抑制し、スプレーする材料を効率よく利用できる。またこのとき、図２４に示すように吸引ポンプ等の吸引装置３５で筒状カバー９の一端を吸引すれば、不要飛散物の回収効率が一層高まる。
【００５１】
次に図２５に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１５に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは、液状化された軟質絶縁被膜材料７にはカップリング剤またはプライマー溶液を混入することにより製造するものである。図２５（ａ）に示すように軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１９でスプレーコートし、次いで図２５（ｂ）に示すように硬質粒子５または摺動促進粒子６を分散させた分散液１８をスプレー装置２０でスプレーコートしているが、スプレーコートする上記軟質絶縁被膜材料７には少なくともカップリング剤またはプライマー溶液を混入している。かかるカップリング剤またはプライマー溶液としては例えばシラン系カップリング剤があり、例えば（株）ジャパンエナジー製の「イミダゾールシラン」等がある。このように軟質絶縁被膜材料７にカップリング剤またはプライマー溶液を混入すると、イミダゾール基であれば樹脂の硬化促進機能を有し、合金への高い吸湿性を有するため母材となるワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性を向上できる。
【００５２】
本例の場合、カップリング剤を混入しているが、混入しなくて前処理としてカップリング処理、プライマー処理を行ってもよいことは言うまでもない。さらに母材としてワイヤー１の表面に、脱脂剤、溶剤、アルカリ等でプレ洗浄を行うことで母材への密着性が更にアップする。
【００５３】
次に図２６に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１６に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは硬質粒子５の表面に予め界面活性処理することにより製造するものである。界面活性剤３２を入れた処理槽３３に図２６（ａ）に示すように硬質粒子５を浸漬して界面活性処理をし、この界面活性処理をした硬質粒子５を分散させた軟質絶縁被膜材料７をスプレー装置１７にてメッシュ体２にスプレーコートしている。硬質粒子５の粒子径はナノオーダーなので、液状化された軟質絶縁被膜材料７に多くの粒子を分散させようとすると、凝集が起きる。そこで、粒子表面に界面活性処理をしておけば、溶液中の粒子比率を上げても、粒子同士が電気的に反発するため凝集が起こらず、ナノオーダーの粒子径を維持したまま分散する。
【００５４】
次に図２７に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１７に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは、軟質絶縁被膜材料７の層や硬質粒子５の層を形成した後に２００℃以上４００℃以下の環境に放置することにより製造するものである。上記例のような方法で図２７（ａ）のように軟質絶縁被膜材料７の層や硬質粒子５の層を形成した後に、２００℃以上４００℃以下好ましくは２５０℃〜３００℃に熱処理して図２７（ｂ）に示すように分散させた硬質粒子５を表面側に析出させている。ナノオーダーの粒子分散体（ナノコンポジット体）においては、均一分散された物質の表面を３００℃前後に加熱すると、ナノオーダーの粒子が表面に析出する。粒子径がナノオーダーでなければ析出しない。上記のように製造すると、分散した硬質粒子５が熱処理により表面側に析出し、表面の耐磨耗性能がアップする。同時に母材としてのワイヤー１側の硬質粒子５が少なくなるので、ワイヤー１と軟質絶縁被膜部３ａとの密着性が向上する。
【００５５】
次に図２８に示す実施の形態の例について述べる。これは請求項１８に対応する例である。本例も上記例と基本的に同じであり、異なる点だけを主に述べる。これは硬質粒子５の表面に有機薄膜コートを施すことにより製造している。図２８（ａ）に示すように硬質粒子５にスプレー装置３４によるスプレーコート、蒸着コート等で有機薄膜をコートし、次いでこの有機薄膜コートを施した硬質粒子５を軟質絶縁被膜材料７に分散させてスプレー装置１７でメッシュ体２にスプレーコートしている。軟質絶縁被膜材料７は有機系が大半なので、分散する硬質粒子５の表面も有機コートされている方が軟質絶縁被膜材料７との親和性が高くなり、密着性も向上する。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の請求項１の発明は、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部を被覆して形成された絶縁層と、該軟質絶縁被膜部の外表面に硬質粒子を分散形成した耐磨耗層を有するので、絶縁層が軟質絶縁被膜部で軟質であるために形状記憶合金のワイヤーの塑性歪に絶縁層が剥離や破壊することなく追従するものであり、さらに表面の硬質粒子が絶縁層の破壊を防ぐことで、表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー間の擦れ摩擦にも対応可能なものである。
【００５７】
また本発明の請求項２の発明は、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部を被覆して形成された絶縁層と、該軟質絶縁被膜部の外表面に摺動促進粒子を分散形成した耐磨耗層を有するので、絶縁層が軟質絶縁被膜部で軟質であるために形状記憶合金のワイヤーの塑性歪に絶縁層が剥離や破壊することなく追従するものであり、さらに表面の摺動促進粒子により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー間の擦れ摩擦にも対応可能なものである。
【００５８】
また本発明の請求項３の発明は、少なくともメッシュ状に形成した際摺接部となる部分の表面に軟質絶縁被膜部を被覆して形成された絶縁層と、該軟質絶縁被膜部の外表面に硬質粒子及び摺動促進粒子を分散形成した耐磨耗層を有するので、絶縁層が軟質絶縁被膜部で軟質であるために形状記憶合金のワイヤーの塑性歪に絶縁層が剥離や破壊することなく追従するものであり、さらに表面の硬質粒子及び摺動促進粒子により表面の耐摩擦磨耗性能がアップしてワイヤー間の擦れ摩擦にも対応可能になるものである。
【００５９】
また本発明の請求項４の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだメッシュ体に、液状化された軟質絶縁被膜材料に硬質粒子または摺動促進粒子を分散させた分散液をディップまたはスプレーコートのいずれかで被覆するので、軟質絶縁被膜部よりなる絶縁層と硬質粒子や摺動促進粒子を分散した耐磨耗層をワイヤーの表面に容易且つ低コストで形成できるものである。
【００６０】
また本発明の請求項５の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだメッシュ体に液状化された軟質絶縁被膜材料のみを最初にコーティングし、しかる後、硬質粒子または摺動促進粒子を分散させた分散液をコーティングするので、硬質粒子や摺動促進粒子とは別に軟質絶縁被膜材料のみを被覆することで母材であるワイヤーと軟質絶縁被膜部との密着性が向上するものである。
【００６１】
また本発明の請求項６の発明は、耐熱性材料からなる軟質絶縁被膜材料を液状化させると共に硬質粒子または摺動促進粒子を分散させた分散液を形状記憶合金のワイヤーにコーティングし、次いで、このワイヤーをメッシュ形状に編んで所定形状に形成し、しかる後、形状記憶熱処理を行うので、低コストで量産できるものであり、またメッシュ状に編む前にコーティングするので被膜厚みが安定するものである。
【００６２】
また本発明の請求項７の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだメッシュ体に軟質絶縁被膜材料を蒸着重合で被覆し、しかる後、硬質粒子または摺動促進粒子をコーティングするので、蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤーと被覆した軟質絶縁被膜部との密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成して応力集中による破壊を予防することができて絶縁品質をアップできるものである。
【００６３】
また本発明の請求項８の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んでメッシュ体を形成し、液状化された軟質絶縁被膜材料に硬質粒子または摺動促進粒子を分散すると共に、上記メッシュ体を延伸させた状態で上記軟質絶縁被膜材料をコーティングし、しかる後メッシュ体の延伸を解除してメッシュ体を元形状に戻し、再度上記コーティングを施すので、ワイヤーをメッシュ状に編んでメッシュ体を形成した後に被覆するものでも、ワイヤーのクロス部分における軟質絶縁被膜材料の「かたまり」を防止してメッシュ体の全域を確実に絶縁被覆できるものである。
【００６４】
また本発明の請求項９の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだメッシュ体に軟質絶縁被膜材料を蒸着重合し、しかる後、硬質粒子または摺動促進粒子を分散した被覆材料をコーティングするので、蒸着重合で被覆することにより、母材であるワイヤーと被覆した軟質絶縁被膜部との密着性を向上できると共に均一な薄膜を形成できて絶縁品質をアップできるものであり、さらに硬質粒子の剥がれを防止できるものである。
【００６５】
また本発明の請求項１０の発明は、請求項４または請求項５において、形状記憶合金のワイヤーを液状化された軟質絶縁被膜材料の硬化温度まで通電加熱するので、ワイヤーを加熱してコーティングするために焼付が瞬時に行われ、コーティング時間が短縮されるものであり、このとき母材としてワイヤーのみが加熱されてエネルギー効率よく加熱されるものである。
【００６６】
また本発明の請求項１１の発明は、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだメッシュ体に軟質絶縁被膜材料の溶剤のみを最初にコーティングした後、該溶剤の固化前に、液状化された軟質絶縁被膜材料に硬質粒子または摺動促進粒子を分散させた分散液をコーティングして耐磨耗層を形成するので、溶剤にて母材としてのワイヤーと軟質絶縁被膜部との密着性を向上できるものである。
【００６７】
また本発明の請求項１２の発明は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤーにディップでコーティングした後、エアーブローを施すので、ディップでコーティングした後にエアーブローすることで、ディップでコーティングするものでも均一にコートできるものであり、またエアーブローによりメッシュ体のワイヤーのクロス部分における被覆材料の「かたまり」を防止できるものである。
【００６８】
また本発明の請求項１３の発明は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んで筒状または袋状のメッシュ体を形成し、この筒状または袋状のメッシュ体の表面側からコーティングして耐磨耗層を形成した後、筒状または袋状のメッシュ体を裏返して再度コーティングして耐磨耗層を形成するスプレーコートする時「ブラインド」となるメッシュ体裏側に確実にコートできるものである。
また本発明の請求項１４の発明は、請求項４において、形状記憶合金のワイヤーをメッシュ状に編んだ筒状のメッシュ体をメッシュ体の外径より大きい内径を持つ筒状カバー内に入れて筒状カバー内でスプレーコーティングするので、スプレーコート時不要な飛散を抑制し、スプレーする材料を効率よく利用できるものである。
【００６９】
また本発明の請求項１５の発明は、請求項４乃至請求項６または請求項８または請求項１０または請求項１２乃至請求項１４のいずれかにおいて、分散液は、液状化された軟質絶縁被膜材料にカップリング剤またはプライマー溶液を混入したものであるので、母材となるワイヤーと軟質絶縁被膜部との密着性を向上できるものである。
【００７０】
また本発明の請求項１６の発明は、請求項１または請求項３において、硬質粒子の表面に界面活性処理を施したものであるので、分散中の硬質粒子同士の凝集を防止できるものである。
【００７１】
また本発明の請求項１７の発明は、請求項４乃至請求項１６のいずれかにおいて、軟質絶縁被膜材料の層や粒子径がナノオーダーの硬質粒子の層を形成した後に２００℃以上４００℃以下の環境に放置するので、分散した硬質粒子が熱処理により表面側に析出し、表面の耐磨耗性能がアップするものであり、同時に母材としてのワイヤー側の硬質粒子が少なくなるので、ワイヤーと軟質絶縁被膜部との密着性が向上するものである。
【００７２】
また本発明の請求項１８の発明は、請求項１または請求項３において、硬質粒子は表面に有機薄膜コートを施したものであるので、軟質絶縁被膜部と硬質粒子の密着性が向上するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明のメッシュ状形状記憶合金アクチュエータの一例の説明図、（ｂ）はワイヤーの断面図である。
【図２】同上の動作を説明する説明図である。
【図３】同上の他の例を説明する説明図である。
【図４】同上の他の例を説明する説明図である。
【図５】同上の他の例を説明する説明図である。
【図６】同上のメッシュ体の製造方法の一例を説明する説明図。
【図７】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図８】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図９】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１０】図９の方法の状態を説明する説明図である。
【図１１】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１２】図１１の方法の状態を説明する説明図である。
【図１３】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１４】同上の方法により加工されたワイヤー部分の断面図である。
【図１５】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１６】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１７】図１６の方法の状態を説明する説明図である。
【図１８】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図１９】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２０】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２１】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２２】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２３】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２４】同上の製造方法の他例＋を説明する説明図である。
【図２５】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２６】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２７】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【図２８】同上の製造方法の他例を説明する説明図である。
【符号の説明】
１ワイヤー
２メッシュ体
３絶縁層
３ａ軟質絶縁被膜部
４耐磨耗層
５硬質粒子
６摺動促進粒子
７軟質絶縁被膜材料[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a mesh-shaped shape memory alloy actuator for obtaining a driving force for driving various devices by a deformation force when a shape memory alloy is deformed into a memory shape, and a method for manufacturing the mesh body.
[0002]
[Prior art and problems to be solved by the invention]
  Conventionally, as this type of actuator, there are JP-A-59-88916, JP-A-61-193670, etc., and these are formed by meshing a shape memory alloy wire into a mesh shape. The mesh body is heated or cooled by Joule heat by energization of the mesh body to expand and contract the mesh body to obtain a driving force. The wire of the mesh body is covered with a soft resin film for insulation.
[0003]
  However, in the above actuator, every time the actuator is actuated, the mesh wire-When the actuator is actuated many times, there is a problem that the soft resin film peels off due to wear and loses insulation. In the case of a hard resin film, there is a problem that the film collapses without being able to follow the strain of the actuator.
[0004]
  The present invention has been made in view of the above points, and is a mesh-shaped shape memory alloy that can improve the wear resistance and slidability of the surface of the insulating layer, enhance the insulating effect, and improve the actuator performance. It is an object of the present invention to provide an actuator and a method for manufacturing the mesh body.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
  The mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problems is caused by a shape change by heating or cooling a mesh body 2 formed by knitting a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape. In mesh-shaped shape memory alloy actuators that actuate objectsIn addition, an insulating layer 3 formed by covering the surface of a portion that becomes a sliding contact portion when formed in a mesh shape with a soft insulating coating portion 3a, and hard particles 5 are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating portion 3a The wear-resistant layer 4 is provided. Since the insulating layer 3 is soft at the soft insulating coating portion 3a, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the wire 1 of the shape memory alloy without peeling or breaking. Further, since the hard particles 5 on the surface prevent the insulating layer 3 from being broken, the frictional wear resistance of the surface can be improved and the friction between the wires 1 can be dealt with.
[0006]
  Claims of the invention2The mesh shape memory alloy actuator ofIn a mesh-shaped shape memory alloy actuator that operates an object by a shape change by heating or cooling a mesh body 2 configured by knitting a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape,At least the insulating layer 3 formed by coating the surface of the portion that becomes the sliding contact portion when formed in a mesh shape with the soft insulating coating portion 3a, and the sliding promoting particles 6 are dispersed on the outer surface of the soft insulating coating portion 3a The wear-resistant layer 4 is formed. Since the insulating layer 3 is soft at the soft insulating coating portion 3a, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the wire 1 of the shape memory alloy without peeling or breaking. Furthermore, the surface friction-enhancing particles 6 improve the surface friction and wear resistance, and can cope with rubbing friction between the wires 1.
[0007]
  Claims of the invention3The mesh shape memory alloy actuator ofIn a mesh-shaped shape memory alloy actuator that operates an object by a shape change by heating or cooling a mesh body 2 configured by knitting a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape,At least the insulating layer 3 formed by covering the surface of the portion that becomes the sliding contact portion when formed in a mesh shape with the soft insulating coating portion 3a, and the hard particles 5 and sliding acceleration on the outer surface of the soft insulating coating portion 3a It has a wear-resistant layer 4 in which particles 6 are dispersedly formed. Since the insulating layer 3 is soft at the soft insulating coating portion 3a, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the wire 1 of the shape memory alloy without peeling or breaking. Further, the surface hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 improve the surface frictional wear resistance and can cope with rubbing friction between the wires 1.
[0008]
  Claims of the invention4The mesh-shaped shape memory alloy actuator mesh body manufacturing method includes a mesh body 2 in which a shape memory alloy wire 1 is knitted in a mesh shape, a liquefied soft insulating coating material 7 with hard particles 5 or sliding-promoting particles. The dispersion liquid in which 6 is dispersed is coated with either dip or spray coating. The insulating layer 3 composed of the soft insulating coating 3a and the wear-resistant layer 4 in which the hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 are dispersed can be formed on the surface of the wire 1 easily and at low cost.
[0009]
  Claims of the invention5In the method of manufacturing a mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator, first, only the liquefied soft insulating coating material 7 is coated on the mesh body 2 obtained by knitting the shape memory alloy wire 1 into a mesh shape, It is characterized by coating a dispersion liquid in which hard particles 5 or sliding promotion particles 6 are dispersed. By covering only the soft insulating coating material 7 separately from the hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6, the adhesion between the wire 1 as the base material and the soft insulating coating portion 3a is improved.
[0010]
  Claims of the invention6The mesh-shaped shape memory alloy actuator mesh body manufacturing method of the present invention is based on the shape memory alloy of a dispersion liquid in which the soft insulating coating material 7 made of a heat-resistant material is liquefied and the hard particles 5 or the sliding acceleration particles 6 are dispersed. The wire 1 is coated, then the wire 1 is knitted into a mesh shape and formed into a predetermined shape, and thereafter, shape memory heat treatment is performed. Manufacturing in this way enables mass production at low cost. Moreover, since it coats before knitting into a mesh shape, the film thickness is stabilized.
[0011]
  Claims of the invention7The mesh-shaped shape memory alloy actuator mesh body is manufactured by coating the mesh body 2 of the shape memory alloy wire 1 in a mesh shape with the soft insulating coating material 7 by vapor deposition polymerization. The sliding promotion particles 6 are coated. By coating by vapor deposition polymerization, it is possible to improve the adhesion between the base wire 1 and the coated soft insulating coating portion 3a, and to form a uniform thin film to prevent breakage due to stress concentration. Can be improved.
[0012]
  Claims of the invention8The mesh-shaped shape memory alloy actuator mesh body is manufactured by forming a mesh body 2 by knitting a shape-memory alloy wire 1 into a mesh shape, and forming a hard particle 5 or sliding on a liquefied soft insulating coating material 7. The accelerating particles 6 are dispersed, and the soft insulating coating material 7 is coated in a state where the mesh body 2 is stretched. Thereafter, the stretching of the mesh body 2 is released to return the mesh body 2 to the original shape, and again the above-mentioned It is characterized by applying a coating. Even when the wire 1 is knitted into a mesh and formed after the mesh body 2 is formed, the entire area of the mesh body 2 can be reliably covered with insulation by preventing the “clump” of the soft insulating coating material 7 at the cross portion of the wire 1.
[0013]
  Claims of the invention9The mesh-shaped shape memory alloy actuator has a mesh body manufacturing method in which a soft insulating coating material 7 is vapor-deposited and polymerized on a mesh body 2 knitted from a shape memory alloy wire 1 and then hard particles 5 or sliding. A coating material in which the promoting particles 6 are dispersed is coated. By coating by vapor deposition polymerization, the adhesion between the wire 1 as a base material and the coated soft insulating coating portion 3a can be improved, a uniform thin film can be formed, the insulating quality can be improved, and the hard particles 5 can be peeled off. Can be prevented.
[0014]
  Claims of the invention10The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4Or claims5The shape memory alloy wire 1 is heated to the curing temperature of the liquefied soft insulating coating material 7. Since the wire 1 is heated and coated, baking is performed instantaneously, and the coating time is shortened. At this time, only the wire 1 is heated as a base material, and is heated efficiently.
[0015]
  Claims of the invention11In the method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator, the mesh body 2 obtained by knitting the shape memory alloy wire 1 in a mesh shape is first coated with only the solvent 8 of the soft insulating coating material 7, and then the solvent 8 Before solidifying, the liquefied soft insulating coating material 7 is coated with a dispersion obtained by dispersing hard particles 5 or sliding accelerating particles 6 to form the wear-resistant layer 4. The solvent 8 can improve the adhesion between the wire 1 as a base material and the soft insulating coating 3a.
[0016]
  Claims of the invention12The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4The shape memory alloy wire 1 is coated with a dip and then air blown. By coating with dip and air blowing, even dip coating can be coated uniformly. Further, the “bloom” of the coating material at the cross portion of the wire 1 of the mesh body 2 can be prevented by air blowing.
[0017]
  Claims of the invention13The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4The shape-memory alloy wire 1 is knitted into a mesh shape to form a cylindrical or bag-like mesh body 2 and coated from the surface side of the cylindrical or bag-like mesh body 2 to form an abrasion-resistant layer 4. After the formation, the cylindrical or bag-like mesh body 2 is turned over and coated again to form the wear-resistant layer 4. It is possible to reliably coat the back side of the mesh body 2 that becomes a “blind” when spray coating.
[0018]
  Claims of the invention14The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4The cylindrical mesh body 2 knitted in the shape of a shape memory alloy wire is placed in the cylindrical cover 9 having an inner diameter larger than the outer diameter of the mesh body 2 and spray-coated in the cylindrical cover 9. Features. Suppresses unnecessary splashing during spray coating, enabling efficient use of spray material.
[0019]
  Claims of the invention15The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4To claims6Or claims8Or claims10Or claims12To claims14In any of the above, the dispersion is characterized in that a liquefied soft insulating coating material 7 is mixed with a coupling agent or a primer solution. Adhesion between the wire 1 serving as a base material and the soft insulating coating 3a can be improved.
[0020]
  Claims of the invention16The mesh shape memory alloy actuator of claim1Or claims3The surface of the hard particles 5 is subjected to a surface active treatment. Aggregation of the hard particles 5 during dispersion can be prevented.
[0021]
  Claims of the invention17The method of manufacturing the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator of claim4To claims16In any one of the above, after forming the layer of the soft insulating coating material 7 and the layer of the hard particles 5 having a particle size of nano order, it is left in an environment of 200 ° C. or more and 400 ° C. or less. The dispersed hard particles 5 are deposited on the surface side by heat treatment, and the surface wear resistance is improved. At the same time, since the hard particles 5 on the wire 1 side as the base material are reduced, the adhesion between the wire 1 and the soft insulating coating is improved.
[0022]
  Claims of the invention18The mesh shape memory alloy actuator of claim1Or claims3The hard particles 5 are characterized in that the surface is coated with an organic thin film. Adhesion between the soft insulating coating 3a and the hard particles 5 is improved.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  First, an example of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described..This mesh shape memory alloy actuator is composed of a mesh body 2 formed by knitting a shape memory alloy wire 1 into a mesh shape, and means for heating and cooling to change the shape of the mesh body 2. Yes. Heating of the mesh body 2 is performed by generating Joule heat by energizing the mesh body 2, and cooling of the mesh body 2 is performed by interrupting the energization and dissipating heat. The circuit 12 provided with the mesh body 2 is provided with a switch 13 and a temperature control unit 14 for adjusting the temperature by adjusting the amount of current. Further, a bias 15 such as a weight is applied to the mesh body 2 in order to extend the mesh body 2.
[0024]
  The mesh body 2 is formed by knitting a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape. The surface of the wire 1 is covered with an insulating layer 3 for insulation over the entire surface. The surface of this is coated with a wear-resistant layer 4 over the entire surface. The insulating layer 3 and the wear-resistant layer 4 may be covered over the entire surface before the wire 1 is knitted or after the wire 1 is knitted in a mesh shape.
[0025]
  There are various types of shape memory alloys for the wire 1, for example, an alloy (Nitinol) having a mixing ratio of nickel and titanium of 50%. This has an austenite layer (at a high temperature) and a martensite layer (at a low temperature), and a high temperature / low temperature intermediate layer R layer is also formed by heat treatment. Moreover, some copper and aluminum may be mix | blended.
[0026]
  When the switch 13 of the temperature control unit 14 is off, the shape memory alloy mesh body 2 is cooled by heat dissipation and the rigidity is lowered. At that time, the shape memory alloy mesh body 2 is stretched by the force of the bias 15 as shown in FIG. On the other hand, when the switch 13 is turned on and energization is started as shown in FIG. 2B, the shape memory alloy mesh body 2 is heated by Joule heat, and a force is generated along with the shape recovery operation in which the mesh body 2 contracts. The (extension / contraction) actuator is configured by taking out the generation force of the displacement at that time from the output part in contact with the mesh body 2.
[0027]
  The force generated by the actuator is proportional to the cross-sectional area of the wire 1 of shape memory alloy. Since the specific surface area is increased by knitting a thin wire 1 of about 0.3 mm or less in a mesh shape and the heat dissipation is improved, an actuator having excellent responsiveness can be formed.
[0028]
  When actuating, sliding of the wires 1 occurs at a portion where the wires 1 cross each other. At this time, since the surface of the insulating layer 3 is covered with the wear-resistant layer 4, it is possible to improve the wear resistance of the portion where the wires 1 are in sliding contact with each other when actuated, thereby preventing the insulating layer 3 from being damaged. Therefore, the durability is improved, and since the wear-resistant layer 4 uses an insulating material, the insulating effect can be further enhanced, and thus the insulation performance can be prolonged. Further, by improving the slidability, the flexibility, expansion / contraction rate and generated force of the mesh body 2 can be improved, and the performance of the actuator can be improved. Moreover, by being configured as described above, high-speed heating and continuous behavior can be realized with a low current by direct current conduction.
[0029]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 3 will be described. This is the claim1It is an example corresponding to. Since this example is basically the same as the above example, only the differences will be mainly described. An insulating layer 3 is formed by covering the entire surface of the shape memory alloy wire 1 with a soft insulating coating portion 3a, and hard particles 5 are dispersed and formed on the outer surface of the soft insulating coating portion 3a. 4 is formed. At this time, even if the shape memory alloy wire 1 is contracted as shown in FIG. 3A or stretched as shown in FIG. 3B, the insulating layer 3 is soft by the soft insulating coating portion 3a. Therefore, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the shape memory alloy wire 1 without peeling or breaking. Further, since the hard particles 5 are also dispersed, only the distance between the hard particles 5 is increased, and cracks, breakage, and the like due to plastic strain of the wire 1 of the shape memory alloy do not occur. Further, since the hard particles 5 are on the outermost surface, they are in sliding contact with the object 16 as shown in FIG. That is, the hard particles 5 on the surface can improve the frictional wear resistance of the surface, and can cope with rubbing friction between the wires 1.
[0030]
  Examples of the material of the hard particles 5 include boron nitride (BN), silicon carbide (SiC), and the like, and the particle size is preferably nano-order (1000 nm or less). Examples of the material for the soft insulating coating 3a include flexible organic materials such as polyamideimide, polyimide, parylene, polyurethane, polyester, and epoxy, and flexible materials such as silicon and natural rubber.
[0031]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 4 will be described. This is the claim2It is an example corresponding to. Since this example is basically the same as the above example, only the differences will be mainly described. The entire surface of the shape memory alloy wire 1 is covered with a soft insulating coating portion 3a to form an insulating layer 3, and sliding promotion particles 6 are formed in a dispersed manner on the outer surface of the soft insulating coating portion 3a. A wear layer 4 is formed. At this time, even if the shape memory alloy wire 1 is contracted as shown in FIG. 4 (a) or distorted as shown in FIG. 4 (b), the insulating layer 3 is soft at the soft insulating coating 3a. Therefore, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the shape memory alloy wire 1 without peeling or breaking. Further, since the sliding promoting particles 6 are also dispersed, only the distance between the sliding promoting particles 6 is increased, and the shape memory alloy wire 1 is not cracked or broken by plastic strain. Further, since the sliding promotion particles 6 are on the outermost surface, they smoothly slide against the object 16 as shown in FIGS. At this time, the sliding promotion particles 6 are destroyed by external friction, and the particle size becomes small as shown in FIG. The broken particles remain on the surface and promote slip. In this way, the surface friction-enhancing particles 6 can improve the surface frictional wear resistance and can cope with rubbing friction between the wires 1.
[0032]
  Also in this example, the material of the soft insulating coating 3a includes a flexible organic material such as polyamideimide, polyimide, parylene, polyurethane, polyester, and epoxy, and a flexible material such as silicon and natural rubber. Examples of the material of the sliding accelerating particles 6 include PTFE (Teflon (R)) PTFE, molybdenum disulfide, and graphite.
[0033]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 5 will be described. This is the claim3It is an example corresponding to. Since this example is basically the same as the above example, only the differences will be mainly described. An insulating layer 3 is formed by covering the entire surface of the shape memory alloy wire 1 with a soft insulating coating 3a, and hard particles 5 and sliding promoting particles 6 are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating 3a. Thus, the wear-resistant layer 4 is formed. At this time, even if the shape memory alloy wire 1 is contracted as shown in FIG. 5A or is distorted as shown in FIG. 5B, the insulating layer 3 is soft at the soft insulating coating portion 3a. Therefore, the insulating layer 3 follows the plastic strain of the shape memory alloy wire 1 without peeling or breaking. Further, since the hard particles 5 and the sliding promotion particles 6 are also dispersed, only the distance between the hard particles 5 and the sliding promotion particles 6 is increased, so that the shape memory alloy wire 1 is cracked or broken by plastic strain. Does not occur. Further, since the sliding promotion particles 6 are on the outermost surface, they smoothly slide against the object 16 as shown in FIGS. At this time, the sliding promotion particles 6 are destroyed by external friction, and the particle size becomes small as shown in FIG. The broken particles remain on the surface and promote slip. Further, since the hard particles 5 remain without being destroyed, the wear resistance is also maintained. In this way, the surface hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 can improve the surface friction-resistant wear performance and can cope with rubbing friction between the wires 1.
[0034]
  Also in this example, the material of the soft insulating coating 3a includes a flexible organic material such as polyamideimide, polyimide, parylene, polyurethane, polyester, and epoxy, and a flexible material such as silicon and natural rubber. Examples of the material of the sliding accelerating particles 6 include PTFE (Teflon (R)), molybdenum disulfide, and graphite. Examples of the material of the hard particles 5 include boron nitride (BN) and silicon carbide (SiC).
[0035]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 6 will be described. This is the claim4It is an example corresponding to. This is a method for manufacturing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator, in which hard particles 5 or sliding accelerating particles 6 are dispersed in a liquefied soft insulating coating material 7 and the shape memory alloy wire 1 is meshed. It is manufactured by coating the soft insulating coating material 7 on the mesh body 2 knitted in the shape by dip or spray coating. When the wire 1 is knitted into a mesh shape, shape memory heat treatment is performed as necessary. In the example shown in the figure, the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed is spray-coated by the spray device 17, but may be coated by dipping. In the case of dip coating, the mesh body 2 is passed through the dip tank. When manufactured as described above, in the case of spray coating, partial film thickness control such as thickening only the sliding portion is easy, and dip coating has little material loss during mass production.
[0036]
  By manufacturing as described above, the insulating layer 3 composed of the soft insulating coating portion 3a and the wear-resistant layer 4 in which the hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 are dispersed can be formed on the surface of the wire 1 easily and at low cost. . Also knitted wire 1IsWhen the mesh body 2 is coated, a measure is taken such that the crossing portion of the wire 1 of the mesh body 2 is separated until it is dried and cured. Examples of the liquefied soft insulating coating material 7 include those in a liquid layer state such as polyamideimide and polyimide, or solutions in which polyamideimide, polyimide, parylene, polyurethane, polyester, epoxy, and the like are dissolved in a solvent.
[0037]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 7 will be described. This is the claim5It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. A dispersion liquid in which only a liquefied soft insulating coating material 7 is first coated on a mesh body 2 formed by knitting a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape, and then hard particles 5 or sliding accelerating particles 6 are dispersed. 18 is manufactured by coating. In the example shown in the figure, the soft insulating coating material 7 is spray-coated with a spray device 19 as shown in FIG. 7 (a), and then the hard particles 5 or the sliding promoting particles 6 are dispersed as shown in FIG. 7 (b). The dispersion liquid 18 is spray-coated with a spray device 20. Thus, the adhesiveness of the wire 1 which is a base material and the soft insulating coating part 3a improves by coat | covering only the soft insulating coating material 7 separately from the hard particle 5 and the sliding acceleration | stimulation particle | grains 6. FIG. That is, the adhesiveness with the wire 1 as a base material becomes higher when only the soft insulating coating material 7 is coated (because it is easy to peel off when a hard material, a sliding acceleration material, etc. are in contact with the base material). Examples of the liquefied soft insulating coating material 7 include those in a liquid layer state such as polyamideimide and polyimide, or solutions in which polyamideimide, polyimide, parylene, polyurethane, polyester, epoxy, and the like are dissolved in a solvent.
[0038]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 8 will be described. This is the claim6It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. A shape memory alloy wire 1 is pre-coated with a material in which a soft insulating coating material 7 such as polyimide is liquefied and hard particles 5 or sliding promotion particles 6 are dispersed, and then the wire 1 is mesh-shaped. It is manufactured by knitting into a predetermined shape and then performing shape memory heat treatment. As shown in FIG. 8 (a), the wire 1 is continuously supplied from the supply roll 21, and the wire 1 is continuously provided in the liquid tank of the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 or the sliding promotion particles 6 are dispersed. After being dipped and coated and preliminarily dried to such an extent that the wires 1 do not adhere to each other, they are wound on a winding roll 22. Then, a mesh is knitted as shown in FIG. 8B, and shape memory heat treatment is performed as shown in FIG. 8C. Although shape memory heat treatment is performed in this way, if the soft insulating coating material 7 is a heat-resistant polyimide, it can withstand the high heat of shape memory heat treatment (400 ° C., 1 hour). By producing as described above, it can be mass-produced at low cost. When coating is performed after knitting in a mesh shape, the thickness of the coating tends to differ between the overlapping portions of the wires 1 and other portions, but the coating thickness is stabilized because the coating is performed before knitting in the mesh shape.
[0039]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 9 and 10 will be described. This is the claim7It is an example corresponding to. It is manufactured by coating a mesh body 2 made of a shape memory alloy wire 1 in a mesh shape with a soft insulating coating material 7 by vapor deposition polymerization, and then coating with hard particles 5 or sliding acceleration particles 6. As shown in FIG. 9 (a), a mesh body 2 in which the wire 1 is knitted into a mesh shape is coated with a soft insulating coating material 7 such as parylene by vapor deposition polymerization, and then boron nitride (BN) as shown in FIG. 9 (b). The hard particles 5 as shown in FIG. If it does in this way, it will be in the state of Fig.10 (a), but if the soft material 24 is sprayed again from this state, it will be in the state of FIG.10 (b), and the adhesiveness of the hard particle 5 and the soft material 24 will be ensured. Further preferred. By coating the soft insulating coating material 7 by vapor deposition polymerization as described above, the adhesion between the base material wire 1 and the coated soft insulating coating portion 3a can be improved and a uniform thin film can be formed, resulting in improved insulation quality. Can be up.
[0040]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 11 and 12 will be described. This is the claim8It is an example corresponding to. This example is basically the same as the example of FIG. 6 described above, and only the differences will be mainly described. This is made by forming a mesh body 2 by knitting a shape memory alloy wire 1 into a mesh shape, dispersing hard particles 5 or sliding promotion particles 6 in a liquefied soft insulating coating material 7, and forming the mesh body 2 The soft insulating coating material 7 is coated in a stretched state, and then the mesh body 2 is released from stretching, the mesh body 2 is returned to its original shape, and the coating is applied again.
[0041]
  First, when the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed is spray-coated by the spray device 17, the wire 1 is stretched to give a tension that causes plastic strain. As shown in FIG. In this way, the soft insulation coating material 7 adheres to the entire cross portion of the wire 1 and becomes clumped as shown in FIG. When the stretching is canceled and the mesh body 2 is forcibly returned to the original state after solidifying as shown in FIG. 12 (a), the clumps are separated as shown in FIG. 12 (b). In this state, when spraying from the spray device 17 as shown in FIG. 11B, the state shown in FIG. When the mesh body 2 is stretched from this state, the mass is separated as shown in FIG. When the above operation is repeated periodically, the solution does not aggregate on the cross portion of the wire 1 and a coating without any remaining coating becomes possible. Therefore, even if the wire 1 is knitted into a mesh and formed after the mesh body 2 is formed, the “insulation” of the soft insulating coating material 7 in the cross portion of the wire 1 is prevented and the entire mesh body 2 is reliably insulated. it can.
[0042]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 13 and 14 will be described. This is the claim9It is an example corresponding to. This is because the shape memory alloy wire 1 is knitted into a mesh shape, and then a soft insulating coating material 7 is vapor-deposited on the wire 1 and then coated with a coating material 25 in which hard particles 5 or sliding promotion particles 6 are dispersed. Manufacture. First, as shown in FIG. 13 (a), a soft insulating coating material 7 such as parylene is coated on the mesh body 2 in which the wire 1 is knitted in a mesh shape by vapor deposition polymerization, and then the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed. The coated material 25 is sprayed with a spray device 36 and coated. As described above, when the soft insulating coating material 7 is coated, since it is vapor-deposited, it is coated more uniformly than the dip or spray coating, so a uniform film can be formed even in a mesh shape, and the quality is improved. Therefore, by coating by vapor deposition polymerization, the adhesion between the wire 1 as a base material and the coated soft insulating coating portion 3a can be improved and a uniform thin film can be formed to improve the insulation quality. Moreover, the soft insulating coating material 7 and the coating material 25 are organic materials and have high adhesion, and can prevent the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 from peeling off.
[0043]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 15 will be described. This is the claim10It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by energizing and heating to the curing temperature of the liquefied soft insulating coating material 7 when the shape insulating alloy wire 1 is coated with the soft insulating coating material 7. A heating device 26 for heating by energization is connected to the mesh body 2 knitted with the wire 1, and a soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed is sprayed with a spray device 17. When this is done, electricity is supplied from the heating device 26 so that the mesh body 2 is heated to the curing temperature of the soft insulating coating material 7. Thus, since the wire 1 is heated and coated, baking is performed instantaneously and the coating time is shortened. At this time, only the wire 1 is heated as a base material, and is heated efficiently.
[0044]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 16 and 17 will be described. This is the claim11It is an example corresponding to. This is because, after the shape memory alloy wire 1 is knitted into a mesh shape, the wire 1 is first coated only with the solvent 8 of the soft insulating coating material 7, and the liquefied soft insulating coating material 7 is coated with the hard particles 5 or sliding. The accelerating particles 6 are dispersed and the soft insulating coating material 7 is coated before the solvent 8 is solidified.
[0045]
  First, as shown in FIG. 16A, the solvent 8 is sprayed from the spray device 28 to cover the solvent 8 from the state of FIG. 17A to the state of FIG. 17B. Next, as shown in FIG. 16B, the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed is sprayed from the spray device 17 to be coated as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 17 (d), the soft insulating coating material 7 is dissolved in the solvent 8, and the original 8 layers of the solvent are replaced with the layer of the soft insulating coating material 7. As a result, the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are not deposited on the surface of the shape memory alloy wire 1, so that the adhesion is enhanced. Therefore, the adhesiveness between the wire 1 as the base material and the soft insulating coating 3a can be improved by the solvent 8.
[0046]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 18 to 20 will be described. This is the claim12It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by coating the shape memory alloy wire 1 with a dip and then air blowing.
[0047]
  The liquid of the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 are dispersed is loaded in the dip tank 28. First, as shown in FIG. 18A, a mesh body in which the wire 1 is knitted into a mesh shape. 2 is dipped in the dip tank 28, and then the mesh body 2 to which the soft insulating coating material 7 is adhered is taken out from the dip tank 28 as shown in FIG. 18 (b), and then the blowing device as shown in FIG. 18 (c). At 29, air is blown to uniformize and harden the coated layer. At this time, as shown in FIG.TankWhen taking out from 28, the mesh body 2 may be heated by the heating device 26 that is heated by energization and air blown by the blow device 29. If the heating device 26 is heated to the curing temperature of the soft insulating coating material 7 in this way,-Curing during blowing is accelerated. In addition, as shown in FIG. 20, when the mesh body is swung by applying a continuously variable load to the upper and lower ends of the mesh body 2 at the time of air blowing, the coated layer is more evenly spread at the time of air blowing. Even if it coats by a dip, it can coat uniformly by carrying out an air blow after coating with a dip as mentioned above. Further, the “bulk” of the coating material at the cross portion of the wire 1 of the mesh body 2 can be reduced by air blowing.
[0048]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 21 and 22 will be described. This is the claim13It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is formed by knitting a shape memory alloy wire 1 into a mesh shape to form a cylindrical or bag-shaped mesh body 2, and after coating from the surface side of the cylindrical or bag-shaped mesh body 2, the cylindrical or bag-shaped mesh body 2 is formed. The mesh body 2 is turned over and recoated from the back side.
[0049]
  In the case of the example of FIG. 21, the mesh body 2 is formed in a bag shape having a complicated shape such as a glove, and is spray-coated with a soft insulating coating material 7 in which hard particles 5 and sliding acceleration particles 6 are dispersed. is there. In this case, first, as shown in FIG. 21A, the bag-like mesh body 2 is spray-coated from the surface, and then the mesh body 2 is turned over and re-spray-coated from the back side of the mesh body 2. When the mesh body 2 is simply a cylinder as shown in FIG. 22, instead of spray-coating from the surface and then re-spraying from the back side as shown in FIG. 22 (a), it is shown in FIG. 22 (b). Thus, after spray coating from the outer peripheral portion which is the front surface, re-spray coating may be performed from the inside which is the back surface. If manufactured as described above, the back side of the mesh body 2 that becomes a “blind” when spray coating can be reliably coated.
[0050]
  Next, an example of the embodiment shown in FIGS. 23 and 24 will be described. This is the claim14It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by placing a mesh body 2 knitted from a shape memory alloy wire 1 into a mesh shape into a cylindrical cover 9 having an inner diameter larger than the outer diameter of the mesh body 2 and spray-coating in the cylindrical cover 9. Is. When the soft insulating coating material 7 in which the hard particles 5 and the sliding accelerating particles 6 are dispersed is spray-coated with the spray device 17, as shown in FIG. 23, in the cylindrical cover 9 having an inner diameter larger than the outer diameter of the mesh body 2. The mesh body 2 is put and spray coated in the cylindrical cover 9. If manufactured in this way, unnecessary scattering during spray coating can be suppressed, and the material to be sprayed can be used efficiently. At this time, if one end of the cylindrical cover 9 is sucked with a suction device 35 such as a suction pump as shown in FIG. 24, the collection efficiency of unnecessary scattered matter is further increased.
[0051]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 25 will be described. This is the claim15It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by mixing a liquefied soft insulating coating material 7 with a coupling agent or a primer solution. As shown in FIG. 25 (a), the soft insulating coating material 7 is spray-coated with a spray device 19, and then, as shown in FIG. 25 (b), a dispersion 18 in which the hard particles 5 or the sliding accelerating particles 6 are dispersed is obtained. Although spray coating is performed by the spray device 20, at least a coupling agent or a primer solution is mixed in the soft insulating coating material 7 to be spray coated. An example of such a coupling agent or primer solution is a silane coupling agent, such as “imidazole silane” manufactured by Japan Energy Co., Ltd. Thus, when a coupling agent or a primer solution is mixed in the soft insulating coating material 7, if it is an imidazole group, it has a function of accelerating the curing of the resin and has a high hygroscopic property to the alloy, so that the wire 1 and the soft base material are soft. Adhesion with the insulating coating 3a can be improved.
[0052]
  In this example, a coupling agent is mixed, but it goes without saying that a coupling treatment and a primer treatment may be performed as a pretreatment without mixing. Furthermore, the adhesiveness to a base material further improves by performing pre-cleaning on the surface of the wire 1 as a base material with a degreasing agent, a solvent, an alkali, etc.
[0053]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 26 will be described. This is the claim16It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by subjecting the surfaces of the hard particles 5 to surface active treatment in advance. As shown in FIG. 26 (a), the hard particles 5 are immersed in the treatment tank 33 containing the surfactant 32 to perform the surface active treatment, and the hard particles 5 subjected to the surface active treatment are dispersed. 7 is spray coated on the mesh body 2 by the spray device 17. Since the particle diameter of the hard particles 5 is nano-order, aggregation is caused when many particles are dispersed in the liquefied soft insulating coating material 7. Therefore, if the surface of the particles is subjected to surface active treatment, even if the particle ratio in the solution is increased, the particles repel each other, so that aggregation does not occur and the particles are dispersed while maintaining a nano-order particle diameter.
[0054]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 27 will be described. This is the claim17It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by leaving the layer of the soft insulating coating material 7 or the layer of the hard particles 5 and leaving it in an environment of 200 ° C. or higher and 400 ° C. or lower. After forming the layer of the soft insulating coating material 7 and the layer of the hard particles 5 as shown in FIG. 27A by the method as in the above example, heat treatment is performed at 200 ° C. or more and 400 ° C. or less, preferably 250 ° C. to 300 ° C. As shown in FIG. 27B, the dispersed hard particles 5 are precipitated on the surface side. In a nano-order particle dispersion (nanocomposite), when the surface of a uniformly dispersed substance is heated to around 300 ° C., nano-order particles are deposited on the surface. It does not precipitate unless the particle size is nano-order. If it manufactures as mentioned above, the disperse | distributed hard particle 5 will precipitate on the surface side by heat processing, and the abrasion resistance performance of a surface will improve. At the same time, since the hard particles 5 on the wire 1 side as the base material are reduced, the adhesion between the wire 1 and the soft insulating coating portion 3a is improved.
[0055]
  Next, an example of the embodiment shown in FIG. 28 will be described. This is the claim18It is an example corresponding to. This example is basically the same as the above example, and only the differences will be mainly described. This is manufactured by applying an organic thin film coating on the surface of the hard particles 5. As shown in FIG. 28A, the hard particles 5 are coated with an organic thin film by spray coating or vapor deposition coating using a spray device 34, and then the hard particles 5 coated with the organic thin film 5 are dispersed in the soft insulating coating material 7. The mesh body 2 is spray coated by the spray device 17. Since most of the soft insulating film material 7 is organic, the surface of the hard particles 5 to be dispersed is organically coated, so that the affinity with the soft insulating film material 7 is increased and the adhesion is improved.
[0056]
【The invention's effect】
  The invention of claim 1 of the present inventionAn insulating layer formed by covering a surface of a portion that becomes a sliding contact portion when formed into a mesh shape with a soft insulating coating, and an abrasion-resistant layer in which hard particles are dispersed and formed on the outer surface of the soft insulating coating Therefore, since the insulating layer is soft at the soft insulating coating portion, it follows the plastic strain of the wire of the shape memory alloy without peeling or breaking the insulating layer. By preventing breakage, the surface wear resistance performance is improved, and it is possible to cope with rubbing friction between wires.
[0057]
  Claims of the invention2The invention of,An insulating layer formed by coating a soft insulating coating on the surface of a portion that becomes a sliding contact portion when formed into a mesh shape, and abrasion-resistant particles in which sliding promoting particles are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating Since it has a wear layer, the insulating layer is soft at the soft insulating coating part, and therefore follows the plastic strain of the wire of the shape memory alloy without the insulating layer being peeled off or broken. As a result, the frictional wear resistance of the surface is improved and it is possible to cope with rubbing friction between wires.
[0058]
  Claims of the invention3The invention of,An insulating layer formed by coating a soft insulating coating on the surface of a portion that becomes a sliding contact portion when formed into a mesh shape, and hard particles and sliding promoting particles are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating Since the insulating layer is soft at the soft insulating coating portion, the insulating layer follows the plastic strain of the shape memory alloy wire without peeling or breaking, and the surface is hard. The particles and the sliding accelerating particles improve the frictional wear resistance of the surface and can cope with rubbing friction between wires.
[0059]
  Claims of the invention4According to the present invention, either a dip or a spray coat is applied to a dispersion in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed in a liquefied soft insulating coating material in a mesh body made of a shape memory alloy wire. Since it coats, an insulating layer composed of a soft insulating coating and an abrasion-resistant layer in which hard particles and sliding accelerating particles are dispersed can be formed on the surface of the wire easily and at low cost.
[0060]
  Claims of the invention5In this invention, a mesh body in which shape memory alloy wires are knitted in a mesh shape is first coated only with a liquefied soft insulating coating material, and then a dispersion in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed is applied. Since the coating is performed, the adhesion between the wire, which is the base material, and the soft insulating coating portion is improved by coating only the soft insulating coating material separately from the hard particles and the sliding accelerating particles.
[0061]
  Claims of the invention6In this invention, a soft insulating coating material made of a heat-resistant material is liquefied and a dispersion in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed is coated on a shape memory alloy wire, and then the wire is knitted into a mesh shape. Since it is formed into a predetermined shape and then subjected to shape memory heat treatment, it can be mass-produced at low cost, and the coating thickness is stabilized because it is coated before knitting into a mesh shape.
[0062]
  Claims of the invention7In this invention, a soft insulating coating material is coated by vapor deposition polymerization on a mesh body made of a shape memory alloy wire in a mesh shape, and thereafter, hard particles or sliding accelerating particles are coated. As a result, the adhesion between the wire as the base material and the coated soft insulating coating can be improved, and a uniform thin film can be formed to prevent breakage due to stress concentration, thereby improving the insulation quality.
[0063]
  Claims of the invention8According to the present invention, a shape memory alloy wire is knitted into a mesh shape to form a mesh body, in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed in a liquefied soft insulating coating material and the mesh body is stretched After coating the soft insulating film material, the mesh body is unstretched, the mesh body is restored to its original shape, and the coating is applied again. Therefore, the wire is knitted into a mesh shape to form the mesh body, and then the coating is performed. Even a thing can prevent insulation of the whole area | region of a mesh body reliably by preventing the "clump" of the soft insulation coating material in the cross part of a wire.
[0064]
  Claims of the invention9In this invention, a soft insulating coating material is vapor-deposited on a mesh body made of shape memory alloy wire in a mesh shape, and then a coating material in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed is coated. By coating, the adhesion between the wire that is the base material and the coated soft insulating film part can be improved, and a uniform thin film can be formed to improve the insulation quality, and further, the peeling of hard particles can be prevented It is.
[0065]
  Claims of the invention10The invention of claim4Or claims5In this case, the shape memory alloy wire is energized and heated to the curing temperature of the liquefied soft insulating coating material, so that the wire is heated and coated, and baking is performed instantaneously, thereby reducing the coating time. At this time, only the wire is heated as a base material and is heated efficiently.
[0066]
  Claims of the invention11According to the present invention, a mesh body obtained by knitting a shape memory alloy wire in a mesh shape is coated with only the solvent of the soft insulating coating material first, and then, before the solvent is solidified, the liquefied soft insulating coating material is hard particles. Alternatively, since the wear-resistant layer is formed by coating the dispersion liquid in which the sliding accelerating particles are dispersed, the adhesion between the wire as the base material and the soft insulating coating can be improved with a solvent.
[0067]
  Claims of the invention12The invention of claim4In this case, air blow is applied after the shape memory alloy wire is coated with a dip. It is possible to prevent the “clump” of the covering material in the cross portion of the body wire.
[0068]
  Claims of the invention13The invention of claim4Then, a wire of shape memory alloy is knitted into a mesh shape to form a cylindrical or bag-shaped mesh body, and after coating from the surface side of this cylindrical or bag-shaped mesh body, a wear-resistant layer is formed, It is possible to reliably coat the back side of the mesh body that becomes a “blind” when spray coating is performed by turning the cylindrical or bag-like mesh body over and coating again to form a wear-resistant layer.
Claims of the invention14The invention of claim4In this case, a cylindrical mesh body made of knitted shape memory alloy wire is placed in a cylindrical cover with an inner diameter larger than the outer diameter of the mesh body and spray coated in the cylindrical cover, so it is not necessary for spray coating. The material to be sprayed can be used efficiently.
[0069]
  Claims of the invention15The invention of claim4To claims6Or claims8Or claims10Or claims12To claims14In any of the above, the dispersion is a mixture of a liquefied soft insulating coating material mixed with a coupling agent or a primer solution, so that the adhesion between the base wire and the soft insulating coating can be improved. It is.
[0070]
  Claims of the invention16The invention of claim1Or claims3In the above, since the surface of the hard particles is subjected to a surface active treatment, aggregation of the hard particles being dispersed can be prevented.
[0071]
  Claims of the invention17The invention of claim4To claims16In any of the above, after forming a layer of a soft insulating coating material or a layer of hard particles having a particle size of nano-order, it is left in an environment of 200 ° C. or more and 400 ° C. or less, so that dispersed hard particles are precipitated on the surface side by heat treatment. In addition, the wear resistance performance of the surface is improved, and at the same time, the hard particles on the wire side as a base material are reduced, so that the adhesion between the wire and the soft insulating coating is improved.
[0072]
  Claims of the invention18The invention of claim1Or claims3, The hard particles have an organic thin film coating on the surface, so that the adhesion between the soft insulating coating and the hard particles is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is an explanatory view of an example of a mesh shape memory alloy actuator of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view of a wire.
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the operation described above.
FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining another example of the above.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining another example of the above.
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining another example of the above.
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining an example of a method for manufacturing the mesh body according to the embodiment.
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method of the above.
FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method.
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the state of the method of FIG. 9;
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method.
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining the state of the method of FIG. 11;
FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method of the above.
FIG. 14 is a cross-sectional view of a wire portion processed by the method described above.
FIG. 15 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method of the above.
FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining the state of the method of FIG. 16;
FIG. 18 is an explanatory diagram for explaining another example of the manufacturing method of the above.
FIG. 19 is an explanatory diagram illustrating another example of the manufacturing method of the above.
FIG. 20 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 21 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 22 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method.
FIG. 23 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 24 is an explanatory view explaining another example + of the manufacturing method same as above.
FIG. 25 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 26 is an explanatory diagram illustrating another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 27 is an explanatory diagram explaining another example of the manufacturing method of the same.
FIG. 28 is an explanatory diagram explaining another example of the production method.
[Explanation of symbols]
1 wire
2 mesh body
3 Insulation layer
3a Soft insulation coating
4 Wear-resistant layer
5 Hard particles
6 Sliding acceleration particles
7 Soft insulating coating material

Claims

In a mesh-shaped shape memory alloy actuator that operates an object by changing a shape by heating or cooling a mesh body formed by knitting a shape-memory alloy wire in a mesh shape, at least when the mesh- shaped shape memory alloy actuator is formed in a mesh shape, A mesh-shaped shape memory comprising: an insulating layer formed by coating a surface of a portion with a soft insulating coating portion; and an abrasion-resistant layer formed by dispersing hard particles on the outer surface of the soft insulating coating portion Alloy actuator.

In a mesh-shaped shape memory alloy actuator that operates an object by changing a shape by heating or cooling a mesh body formed by knitting a shape-memory alloy wire in a mesh shape, at least when the mesh-shaped shape memory alloy actuator is formed in a mesh shape, A mesh-like structure comprising: an insulating layer formed by coating a surface of a portion with a soft insulating coating portion; and an abrasion-resistant layer in which sliding promotion particles are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating portion Shape memory alloy actuator.

In a mesh-shaped shape memory alloy actuator that operates an object by changing a shape by heating or cooling a mesh body formed by knitting a shape-memory alloy wire in a mesh shape, at least when the mesh-shaped shape memory alloy actuator is formed in a mesh shape, An insulating layer formed by covering the surface of the portion with a soft insulating coating and a wear-resistant layer in which hard particles and sliding promoting particles are dispersedly formed on the outer surface of the soft insulating coating. meshed shape memory alloy actuator.

A mesh body in which wire of shape memory alloy is knitted in a mesh shape, and a dispersion in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed in a liquefied soft insulating coating material is coated with either dip or spray coating. A method of manufacturing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator characterized by

The mesh body knitted in the shape memory alloy wire is first coated only with the liquefied soft insulating coating material, and then the dispersion liquid in which the hard particles or the sliding accelerating particles are dispersed is coated. A method for manufacturing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator characterized by the following .

A soft insulating coating material made of a heat-resistant material is liquefied and a dispersion liquid in which hard particles or sliding accelerating particles are dispersed is coated on a shape memory alloy wire, and then the wire is knitted into a mesh shape to a predetermined shape. A method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator, comprising forming and then performing shape memory heat treatment .

A mesh-shaped shape memory alloy actuator characterized in that a mesh body knitted in a shape memory alloy is coated with a soft insulating coating material by vapor deposition polymerization, and then coated with hard particles or sliding acceleration particles . A method for producing a mesh body.

The shape memory alloy wire is knitted into a mesh shape to form a mesh body, the hard particles or sliding promotion particles are dispersed in the liquefied soft insulating coating material, and the mesh body is stretched and the soft insulation is stretched. A method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator, comprising coating a coating material, then releasing the stretching of the mesh body to return the mesh body to its original shape, and applying the coating again .

A mesh-like shape memory characterized by depositing and polymerizing a soft insulating coating material on a mesh body made of shape-memory alloy wire in a mesh shape, and then coating with a coating material in which hard particles or sliding acceleration particles are dispersed. A manufacturing method of a mesh body of an alloy actuator

6. The method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 4, wherein the shape memory alloy wire is heated by energization to a curing temperature of the liquefied soft insulating coating material .

After first coating only the solvent of the soft insulating coating material on the mesh body of shape memory alloy wire knitted into a mesh shape, before solidifying the solvent, the liquefied soft insulating coating material is hard particles or promotes sliding A method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator, wherein a wear-resistant layer is formed by coating a dispersion liquid in which particles are dispersed .

5. The method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 4, wherein the shape memory alloy wire is coated with a dip and then air blown .

Shape memory alloy wire is knitted into a mesh shape to form a cylindrical or bag-like mesh body, coated from the surface side of this cylindrical or bag-like mesh body to form an abrasion resistant layer, and then cylindrical 5. The method for producing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 4, wherein the bag-shaped mesh body is turned over and coated again to form a wear-resistant layer .

5. A cylindrical mesh body obtained by knitting a shape memory alloy wire in a mesh shape is placed in a cylindrical cover having an inner diameter larger than the outer diameter of the mesh body and spray-coated in the cylindrical cover. A method for producing a mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator as described.

The dispersion liquid is a mixture of a liquefied soft insulating coating material mixed with a coupling agent or a primer solution. The manufacturing method of the mesh body of the mesh-shaped shape memory alloy actuator in any one of Claim 14 .

4. The mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 1, wherein the surface of the hard particles is subjected to a surface active treatment.

The layer according to any one of claims 4 to 16, which is left in an environment of 200 ° C or higher and 400 ° C or lower after forming a layer of a soft insulating coating material or a layer of hard particles having a particle size of nano order. A method for manufacturing a mesh body of a mesh-shaped shape memory alloy actuator.

4. The mesh-shaped shape memory alloy actuator according to claim 1, wherein the hard particles have an organic thin film coating on the surface .