JP4194331B2

JP4194331B2 - Air blow device and part manufacturing method

Info

Publication number: JP4194331B2
Application number: JP2002285373A
Authority: JP
Inventors: 治雄喜多; 英樹船渡
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date: 2002-09-30
Filing date: 2002-09-30
Publication date: 2008-12-10
Anticipated expiration: 2022-09-30
Also published as: JP2004121887A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、出荷トレイ上に載置された電子部品にエアを吹き付けるとともに、前記エアを異物とともに吸引することにより、前記電子部品を洗浄するエアブロー装置、及びそれを用いた部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミックパッケージ等の電子部品を出荷トレイ上に多数載置したまま洗浄する方法として、エアブロー装置を用いた洗浄方法がよく知られている（例えば特許文献１，２参照）。かかるエアブロー装置は、一般に、基台、出荷トレイを固定すべく基台に設けられたトレイ固定治具、エアの吹き付け及び吸引を行うクリーナーヘッド等を備えている。クリーナーヘッドは、出荷トレイの固定されたトレイ固定治具の上方位置に移動し、その位置において電子部品にエアを吹き付ける。電子部品の表面に塵などの異物が付着している場合、その異物は、エアの勢いによって吹き飛ばされる。クリーナーヘッドは同時にエアの吸引を行っているため、前記異物はエアとともに吸引されて除去される。その結果、電子部品が洗浄されるようになっている。なお、エアブローの勢いが強すぎると、異物ばかりでなく電子部品自体が吹き飛んだり、出荷トレイが位置ずれしたりするおそれがある。そのため、従来では、電子部品に対応した箇所に抜き孔を有する板状の押さえ治具を用い、その押さえ治具を出荷トレイ上に重ね合わせて配置するという対策を採っている。
【０００３】
ところが、このような対策では、出荷トレイをトレイ固定治具に対して十分に固定することができないので、さらにメカチャックを用いて押さえ治具及び出荷トレイを上方から機械的に押圧してトレイ固定治具に固定するという対策が採られる場合があった。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２００２−１５１８９６号公報
【特許文献２】
特開平２００２−１３４５８９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、メカチャックを設けるためには、トレイ固定治具の上方領域にある程度大きいスペースを確保しておく必要がある。このため、メカチャックを避けてさらにその上方にクリーナーヘッドを配設したとすると、トレイ固定治具上の出荷トレイと、クリーナーヘッドとの距離が大きくなってしまう。ゆえに、出荷トレイ上の電子部品に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができず、結果として洗浄能力の低下につながるという問題があった。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い洗浄能力を維持しながら、出荷トレイの確実な固定を図ることができるエアブロー装置、及びそれを用いた部品の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
そして上記課題を解決するための手段としては、基台と、部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段である電磁石とを備え、前記電磁石は磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有するとともに、前記トレイ固定治具も前記電磁石と同様の構造を有することを特徴とするエアブロー装置がある。
【０００８】
従って、この構成によると、トレイ固定治具の裏面側の位置に磁気発生手段を配設しているため、トレイ固定治具の表面側の位置に例えば磁性材料を配置しておけば、その磁性材料とともに出荷トレイをトレイ固定治具側方向に磁気的に吸引して固定することができる。それゆえ、メカチャックを用いて出荷トレイ等を上方から機械的に押圧して固定しなくても、出荷トレイをトレイ固定治具に対して確実に固定することができる。また、この構成によれば、トレイ固定治具の上方領域にそれほど大きなスペースを確保しておく必要がないため、トレイ固定治具上の出荷トレイとクリーナーヘッドとが比較的近接した状態となる。よって、出荷トレイ上の部品に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができる。つまり、高い洗浄能力を維持することができる。
【０００９】
なお、この装置による洗浄の対象となる部品とは、比較的寸法が小さく出荷トレイ上に載置された状態で複数同時に洗浄されるのが望ましい各種の部品を指し、その好適例としては電子部品を挙げることができる。前記電子部品としては、具体的には、オーガニックパッケージやセラミックパッケージなどの半導体パッケージや、各種チップ部品（ＩＣチップ、チップ抵抗、チップコンデンサ、チップトランジスタ、チップダイオード、チップコイル等）などがある。勿論、この装置の洗浄対象は、電子部品以外の部品であってもよい。
【００１０】
ここで、このエアブロー装置に使用可能な磁気発生手段は、トレイ固定治具の裏面側の位置に配設される必要がある。仮にこれをトレイ固定治具の表面側の位置に配設しようとすると、トレイ固定治具の上方領域にある程度大きいスペースを確保しておく必要性が生じ、メカチャックのときと同様の問題が起こるからである。その点、トレイ固定治具の裏面側の位置であれば、ある程度スペース的な余裕もあり、そこに磁気発生手段を配設する構成であれば、トレイ固定治具上の出荷トレイとクリーナーヘッドとの距離の増大を回避できるからである。
【００１１】
このエアブロー装置における磁気発生手段は電磁石である。電気エネルギーを磁気エネルギーに変換する電磁石であれば、供給する電流の向きや大きさ等を任意に変更することにより、磁極の向きや強さを比較的容易にコンロトールすることができる。よって、例えば磁極の向きや強さを変更する必要がある場合（後述する脱磁処理を実施する場合など）に好都合となる。これに対して永久磁石は、電気エネルギーが不要な分だけ経済的である反面、電磁石に比べて磁極の向きや強さをコントロールすることが難しい。また、磁極の向きや強さのコントロールを機械的手段により行おうとすれば、構成が複雑化したり大型化したりするおそれがある。
【００１２】
このエアブロー装置は、出荷トレイを前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定するための真空吸着手段をさらに備えることがよい。真空吸着手段があると、真空吸引力の作用によって、出荷トレイをトレイ固定治具側方向に吸着して固定することができる。それゆえ、磁気発生手段の磁気吸引力に加えて真空吸着手段の真空吸引力が働くこととなり、出荷トレイをトレイ固定治具に対してよりいっそう確実に固定することができる。また、この構成であると、出荷トレイの裏面側などに付着した異物も真空引きにより吸引除去することができ、より高いクリーン度を実現することができる。
【００１３】
エアブロー装置に真空吸着手段を設けた構成の場合、前記真空吸着手段（例えば真空ポンプ等）と、トレイ固定治具のトレイ載置面にて開口する真空引き穴とを連通する真空引き通路を形成しておく必要がある。この場合、仮に真空引き通路の一部をトレイ固定治具内に透設するとなると、トレイ固定治具の厚さ方向の寸法が大きくなってしまう。すると、トレイ固定治具の裏面側位置に配設された磁気発生手段の磁力が、トレイ固定治具の表面側にまで及びにくくなるおそれがある。
【００１４】
そこで、前記電磁石は磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有するとともに、トレイ固定治具も前記電磁石と同様の積層構造を有している。このような磁性材料を用いてトレイ固定治具を構成しておけば、磁気発生手段の発生した磁束を、そのトレイ固定治具内に効率よく流すことができる。よって、磁気発生手段の磁力をトレイ固定治具の表面側にまで十分に及ばせることが可能となり、トレイ固定治具に対する出荷トレイの固定強度の低下を防止することができる。
【００１５】
また、別の解決手段としては、基台と、部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段とを備えたエアブロー装置を用いて、前記部品を洗浄する工程を含む部品の製造方法において、磁性材料からなる押さえ治具を前記出荷トレイの表面上に重ね合わせて配置し、この状態で前記磁気発生手段を作動させることにより、前記押さえ治具を前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定しながら、エアブロー洗浄を行う工程を含むことを特徴とする部品の製造方法がある。
【００１６】
従って、上記製造方法によると、押さえ治具を出荷トレイの表面上に重ね合わせて配置し、さらにこれをトレイ固定治具側方向に磁気的に吸引することにより、エアブロー洗浄時に出荷トレイをトレイ固定治具側方向に吸引して固定することができる。よって、エアブローの勢いを強く設定したとしても、部品の吹き飛びや出荷トレイの位置ずれ等を防止することができ、部品を効果的に洗浄することができる。
【００１７】
前記押さえ治具とは、エアブローによる位置ずれを防止すべく出荷トレイを押さえる機能、及び、エアブローによる吹き飛びを防止すべく部品を押える機能の２つを有するものであることが好ましい。かかる押さえ治具は、トレイ固定治具の上方領域に大きいスペースを確保するためにも、厚さ方向の寸法の小さい板状であることが好ましい。また、直接的な被吸着物である前記押さえ治具は磁性材料からなることが必要とされるが、それ自体が磁石ではないことが望ましい。磁石からなる押さえ治具であったとしても、磁気発生手段の直接的な被吸着物となって出荷トレイを固定することは可能である。しかしながら、磁性材料を含んで構成された部品をエアブロー洗浄する場合には、当該部品が押さえ治具側に吸着され、部品の疵付きや破損等の原因となってしまうからである。従って、部品の疵付き防止等を図るためにも、磁石でない磁性材料（一部の鋼材など）を用いて押さえ治具を構成することが好適である。
【００１８】
ここで、磁性材料を含んで構成された部品の例としては、磁性材料である金めっきが施されたパッドを有する半導体パッケージや、磁性材料であるコバール製のリングやリードフレーム等を有する半導体パッケージなどを挙げることができる。
【００１９】
前記エアブロー洗浄工程の後、前記部品から磁気を除去する脱磁工程を行うことがよい。その理由は、磁気発生手段を作動させてエアブロー洗浄を行うと、部品が磁気を帯びてしまう場合があり、その帯磁した部品を製品として出荷してしまうと、誤動作等を発生させる原因となるからである。ゆえに、帯磁した部品から磁気を除去することで、誤動作等の発生を未然に解消するためである。
【００２０】
前記脱磁工程では、前記磁気発生手段である電磁石が発生する磁極の向きを、前記エアブロー洗浄工程のときは逆向きにすることがよい。このようにすれば、エアブロー洗浄のときとは逆向きの磁力が部品に作用する結果、帯磁した部品の磁気を確実に除去することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態の超音波エアブロー装置１１及びそれを用いた電子部品の製造方法を図１〜図５に基づき詳細に説明する。なお、本実施形態における洗浄対象は、水晶振動子及びＳＡＷフィルタを有する矩形状のセラミックパッケージ１（部品）である。かかるセラミックパッケージ１の外表面には、金めっきが施された複数のパッドが形成されている。
【００２２】
図１は、本実施形態における超音波エアブロー装置１１を示す部分概略図である。図２は、出荷トレイ４１を示す平面図である。図３は、押さえ治具５１を示す平面図である。図４は、トレイ固定治具６１を示す平面図である。図５は、使用時において出荷トレイ４１、押さえ治具５１、トレイ固定治具６１等を重ね合わせた状態を示す要部拡大断面図である。
【００２３】
図１に示されるように、本実施形態の超音波エアブロー装置１１は、基台１２を備えている。基台１２の上面１３は、図１にて二点鎖線で示される防塵カバー１４によって全体的に覆われている。基台１２の上面１３には、クリーナーヘッド１５及びそれを支持及び駆動するための各種構成が配設されている。
【００２４】
前記上面１３には水平方向（即ち図１の左右方向）に沿って延びるようにガイドレール１６が設けられている。このガイドレール１６上には一対のスライダ部材１７が摺動可能に係合され、それらのスライダ部材１７の上部にはヘッド支持体１８が一体的に設けられている。ヘッド支持体１８の上端部には第１モータブラケット１９が設けられ、その第１モータブラケット１９を介して第１モータ２０が下向きで固定されている。ヘッド部上下方向駆動手段である前記第１モータ２０の有する回転軸は、上下方向駆動用ボールねじのねじ部材２１に連結されている。上下方向に沿って延びる前記ねじ部材２１は、上下方向駆動用ボールねじを構成するナット部材２２に螺合されている。また、ナット部材２２はヘッド本体２３と連結されている。よって、第１モータ２０を駆動させてねじ部材２１を回転させると、その回転運動がナット部材２２によって直線運動に変換され、ナット部材２２及びヘッド本体２３が一体的に上下動するようになっている。
【００２５】
また、図１においてヘッド支持体１８の右脇には、第２モータブラケット３１が設けられ、その第２モータブラケット３１を介して第２モータ３２が横向きで固定されている。ヘッド部水平方向駆動手段である前記第２モータ３２の有する回転軸は、水平方向駆動用ボールねじのねじ部材３３に連結されている。水平方向に沿って延びる前記ねじ部材３３は、水平方向駆動用ボールねじを構成するナット部材３４に螺合されている。また、ナット部材３４はヘッド支持体１８に対して固定されている。よって、第２モータ３２を駆動させてねじ部材３３を回転させると、その回転運動がナット部材３４によって直線運動に変換され、ナット部材３４、ヘッド支持体１８及びヘッド本体２３が一体的に水平移動するようになっている。なお、図１においてはヘッド本体２３がトレイ固定治具６１のある位置付近まで移動した状態も併せて示されている（同図の二点鎖線参照）。
【００２６】
ヘッド本体２３の側部には、エア供給部であるエア供給管３５の一端が接続されるとともに、エア排出部であるエア排出管３６の一端が接続されている。エア供給管３５の他端は図示しないエアコンプレッサに接続されている。そして、このエアコンプレッサからは、超音波振動を付与した清浄なエアが圧送されてくるようになっている。一方、エア排出管３６の他端は図示しない真空ポンプに接続されており、そのヘッド本体２３側から真空ポンプ側へと空気が吸引されるようになっている。なお、エア供給管３５の一部及びエア排出管３６の一部には、伸縮性のある材料が用いられており、ヘッド本体２３の上下動、水平動に支障を来たさない構成となっている。
【００２７】
図１に示されるように、基台１２の上面１３における所定箇所には、トレイ固定治具設置部３７が形成されている。そして、このトレイ固定治具設置部３７には、出荷トレイ４１を固定するためのトレイ固定治具６１が設置されている。
【００２８】
図２，図５に示されるように、本実施形態の出荷トレイ４１は、ＰＥＴからなる透明な板状成形品であって、平面視で矩形状を呈している。この出荷トレイ４１の表面側において外周部を除くほぼ全域には、部品収容用の多数の凹部４２が形成されている。かかる凹部４２は、上記セラミックパッケージ１（部品）を収容可能な大きさに形成されており、かつ出荷トレイ４１の表面側において格子状にレイアウトされている。出荷トレイ４１の表面側外周部には、全体の強度向上等のために突条４３が形成されている。この突条４３の裏面側には係止溝４４が位置しており、かかる係止溝４４はトレイ固定治具６１側の所定部位に対して係止可能となっている。
【００２９】
図３，図５に示されるように、出荷トレイ４１の表面側に載置される押さえ治具５１は、磁性を有する鋼材の一種であるＳＵＳ４３０からなる板材を用いて形成されている。本実施形態の押さえ治具５１は、出荷トレイ４１よりも一回り寸法の小さい略矩形状の部材であり、エッチングにより形成された多数の抜き孔５２を有している。これらの抜き孔５２は押さえ治具５１の表裏面を貫通しているため、前記抜き孔５２を介してエアが通過可能となっている。また、これらの抜き孔５２は、出荷トレイ４１における部品収容用の凹部４２に対応して形成されている。抜き孔５２の中央部には十字状の梁部５３が設けられており、この梁部５３があることによってセラミックパッケージ１の飛び出しが確実に防止されている。そして、かかる押さえ治具５１は、出荷トレイ４１の表面側に重ね合わせた状態でかつ突条４３によって四方から包囲された状態で載置されるようになっている。
【００３０】
図４，図５に示されるように、本実施形態のトレイ固定治具６１は、複数種の金属材料を用いて構成されており、平面視で略矩形状となっている。トレイ固定治具６１を構成する治具本体６２の上面（即ちトレイ載置面６７）には、出荷トレイ４１の外形寸法にほぼ等しい形状及び大きさのトレイ係止リブ６３が形成されている。そして、このトレイ係止リブ６３に出荷トレイ４１の裏面側の係止溝４４が係止されることにより、出荷トレイ４１がトレイ固定治具６１に位置決めされて固定されるようになっている。治具本体６２のトレイ載置面６７においてトレイ係止リブ６３によって包囲される領域内には、出荷トレイ４１の凹部４２に対応して、前記凹部４２よりも若干大きな逃がし穴６４が多数形成されている。従って、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１に固定した場合には、各逃がし穴６４内に各凹部４２が配置されて逃がされた状態となる。また、前記領域内においてはトレイ載置面６７にて開口する複数の真空引き穴６５が散点的に形成されている。また、治具本体６２内には複数の真空引き通路６６が透設されている。かかる真空引き通路６６の始端は前記真空引き穴６５に連通される一方、終端は図示しない真空ポンプ（真空吸着手段）に接続されている。従って、真空ポンプを作動させることにより、真空引き通路６６を介して真空引き穴６５の周囲の空気が吸引され、これにより出荷トレイ４１の裏面がトレイ載置面６７に固定されるようになっている。
【００３１】
図１，図５に示されるように、本実施形態の場合、トレイ固定治具６１の裏面側の位置には、磁気発生手段である電磁石７１が配設されている。かかる電磁石７１は、磁性材料である鉄層７２と非磁性材料である真鍮層７３とを交互に横方向に並べて積層した構造を有している。かかる電磁石７１は、方向切換スイッチを介して電源に電気的に接続されている（いずれも図示略）。従って、電磁石７１に通電を行うことにより、電磁石７１の周囲に磁気を発生させることが可能となっている。また、方向切換スイッチを操作することにより、磁気の向きを図１の上方向及び下方向のうちのいずれかに選択的に切り換え可能となっている。
【００３２】
また、図５に示されるように、トレイ固定治具６１を構成する治具本体６２についても、電磁石７１と同様に、鉄層７２と真鍮層７３とを交互に横方向に並べて積層した構造となっている。なお、治具本体６２における鉄層７２は、電磁石７１における鉄層７２の直上に位置している。治具本体６２における真鍮層７３は、電磁石７１における真鍮層７３の直上に位置している。
【００３３】
次に、この超音波エアブロー装置１１を用いた洗浄方法について説明する。
【００３４】
まず、セラミックパッケージ１を多数載置した状態の出荷トレイ４１を用意するとともに、その出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１上にセットし、さらにその上に押さえ治具５１をセットする（図５参照）。
【００３５】
ここで電磁石７１を作動させるとともに、真空ポンプを作動させることにより、押さえ治具５１をトレイ固定治具６１側方向（即ち下方向）に吸引して固定する。そして次に、クリーナーヘッド１５を駆動するとともに、出荷トレイ４１及び押さえ治具５１の上方位置にてヘッド本体２３を水平往復動作させながらエアブロー洗浄を行う。このとき、エア供給管３５を介して圧送されるエアがヘッド本体２３から吹き出すとともに、その勢いによってセラミックパッケージ１表面の異物が吹き飛ばされる。そして、吹き飛ばされた異物は、さらにエアとともにヘッド本体２３に吸引された後、エア排出管３６を経て外部に排出されてしまう。
【００３６】
上記のようなエアブロー洗浄工程を所定時間行った後、次いでセラミックパッケージ１から磁気を除去する脱磁工程を行う。具体的には、方向切換スイッチを切り換えて電磁石７１が発生する磁極の向きを、エアブロー工程のときは逆向きにする。例えば、エアブロー工程時における磁極の向きが上方向であったとしたら、脱磁工程では磁極の向きを下向きにする。脱磁工程が終了したら、電磁石７１及び真空ポンプをいったん停止させ、洗浄済みの出荷トレイ４１を取り外し未洗浄の出荷トレイ４１をあらたにセットして、同様の作業を行うようにする。
【００３７】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００３８】
（１）本実施形態では、トレイ固定治具６１の裏面側の位置に電磁石７１を配設している。このため、トレイ固定治具６１の表面側の位置に配置された押さえ治具５１とともに、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１側方向に磁気的に吸引して固定することができる。それゆえ、メカチャックを用いて出荷トレイ４１等を上方から機械的に押圧して固定しなくても、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１に対して確実に固定することができる。また、この構成によれば、トレイ固定治具６１の上方領域にそれほど大きなスペースを確保しておく必要がないため、トレイ固定治具６１上の出荷トレイ４１とクリーナーヘッド１５のヘッド本体２３とが比較的近接した状態となる。よって、出荷トレイ４１上のセラミックパッケージ１に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができる。つまり、このエアブロー装置１１の構成であれば、高い洗浄能力を維持することができる。
【００３９】
（２）この実施形態では、電磁石７１を磁気発生手段として用いるとともに、それをスペース的に余裕のあるトレイ固定治具６１の裏面側（下面側）の位置に配設している。従って、そのような箇所に電磁石７１を配設する構成であれば、トレイ固定治具６１の表面側（上面側）の位置に何らスペースを確保する必要がなくなる。このため、トレイ固定治具６１上の出荷トレイ４１及び押さえ治具５１と、クリーナーヘッド１５のヘッド本体２３との距離の増大を回避することができる。また、電磁石７１を用いた本実施形態では、磁極の向きの変更が必要となる脱磁処理を実施するにあたって極めて好都合である。
【００４０】
（３）このエアブロー装置１１は、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１方向に吸引して固定するための手段として、電磁石７１ばかりでなく真空ポンプも備えている。このため、磁気吸引力に加えて真空吸引力が働くこととなり、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１のトレイ載置面６７に対してよりいっそう確実に固定することができる。また、この構成であると、出荷トレイ４１の裏面側などに付着した異物も真空引きにより吸引除去することができ、より高いクリーン度を実現することができる。よって、セラミックパッケージ１に代表される電子部品の洗浄において有利となる。
【００４１】
（４）本実施形態では、電磁石７１が磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有することに加え、トレイ固定治具６１もそれと同様の積層構造を有している。従って、電磁石７１の発生した磁束をトレイ固定治具６１内に効率よく流すことができる。よって、真空引き通路６６の配設のため治具本体６２を厚肉に形成したとしても、電磁石７１の磁力をトレイ固定治具６１の表面側にまで十分に及ばせることが可能となる。このため、トレイ固定治具６１に対する出荷トレイ４１の固定強度の低下を防止することができる。
【００４２】
（５）本実施形態の電子部品の製造方法では、エアブロー洗浄工程の後に脱磁工程を行うことを特徴としている。従って、エアブロー洗浄時にセラミックパッケージ１が着磁したとしても、脱磁工程によって確実に磁気を除去することができる。
【００４３】
（６）本実施形態にて使用する押さえ治具５１は、ＳＵＳ４３０製であり、磁石ではない磁性材料からなる。従って、被洗浄物であるセラミックパッケージ１が金めっき（磁性材料）を含んで構成されるものであったとしても、それが押さえ治具５１側に吸着されることがない。ゆえに、押さえ治具５１との接触に起因する金めっきの疵付きやはがれ等も防止され、不良品の発生も確実に防止することができる。
【００４４】
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
【００４５】
・前記実施形態では、押さえ治具５１とともに出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１側方向に吸引して固定する手段である電磁石７１を用いて、脱磁工程も行うようにしていた。これに代えて、電磁石７１とは別個に設けられた磁気発生手段により脱磁工程を行うようにしてもよい。
【００４６】
・真空ポンプ等の真空吸着手段は、必須の構成ではないため、不要であれば省略されることもできる。
【００４７】
・押さえ治具５１は必ずしも前記実施形態のような板状でなくてもよく、例えば磁性材料を用いて形成された網目状構造体などであってもよい。
【００４８】
・本発明のエアブロー装置１１は、エアに超音波を付与しないで洗浄を行う装置として具体化されてもよい。
【００４９】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００５０】
（１）請求項３乃至５のいずれか１項において、前記押さえ治具は、磁石ではない磁性材料からなることを特徴とする部品の製造方法。
【００５１】
（２）請求項３乃至５のいずれか１項において、前記押さえ治具は、磁石ではない磁性材料からなるとともに、前記部品は磁性材料を含んで構成された電子部品であることを特徴とする部品の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を具体化した一実施形態における超音波エアブロー装置を示す部分概略図。
【図２】実施形態において使用される出荷トレイを示す平面図。
【図３】実施形態において使用される押さえ治具を示す平面図。
【図４】実施形態において使用されるトレイ固定治具を示す平面図。
【図５】使用時においてトレイ固定治具、押さえ治具、出荷トレイ等を重ね合わせた状態を示す要部拡大断面図。
【符号の説明】
１…部品としてのセラミックパッケージ
１１…（超音波）エアブロー装置
１２…基台
１５…クリーナーヘッド
３５…エア供給部としてのエア供給管
３６…エア排出部としてのエア排出管
４１…出荷トレイ
５１…押さえ治具
６１…トレイ固定治具
７１…磁気発生手段としての電磁石
７２…磁性材料としての鉄層
７３…非磁性材料としての真鍮層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an air blowing device for cleaning the electronic component by blowing air to the electronic component placed on a shipping tray and sucking the air together with a foreign substance, and a method of manufacturing a component using the same. It is.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a cleaning method using an air blowing device is well known as a method of cleaning a large number of electronic components such as ceramic packages while being placed on a shipping tray (see, for example, Patent Documents 1 and 2). Such an air blowing device generally includes a base, a tray fixing jig provided on the base for fixing the shipping tray, a cleaner head for blowing and sucking air, and the like. The cleaner head moves to a position above the tray fixing jig to which the shipping tray is fixed, and blows air onto the electronic component at that position. When foreign matter such as dust adheres to the surface of the electronic component, the foreign matter is blown away by the momentum of air. Since the cleaner head is simultaneously sucking air, the foreign matter is sucked and removed together with the air. As a result, the electronic component is cleaned. If the air blow momentum is too strong, not only foreign substances but also the electronic components themselves may blow out or the shipping tray may be displaced. For this reason, conventionally, a countermeasure has been taken in which a plate-like pressing jig having a punched hole at a location corresponding to the electronic component is used and the pressing jig is placed on the shipping tray.
[0003]
However, with such a measure, the shipping tray cannot be sufficiently fixed to the tray fixing jig, and the tray is fixed by mechanically pressing the holding jig and the shipping tray from above using a mechanical chuck. In some cases, measures were taken such as fixing to a jig.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-151896
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-134589
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in order to provide the mechanical chuck, it is necessary to secure a certain large space in the upper region of the tray fixing jig. For this reason, if the cleaner head is disposed further above the mechanical chuck, the distance between the shipping tray on the tray fixing jig and the cleaner head is increased. Therefore, there is a problem that air blow cannot be effectively applied to the electronic components on the shipping tray from a short distance, resulting in a decrease in cleaning ability.
[0006]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an air blowing device capable of reliably fixing a shipping tray while maintaining a high cleaning ability, and a method of manufacturing a component using the same. Is to provide.
[0007]
[Means, actions and effects for solving the problems]
As means for solving the above-mentioned problems, a base, a tray fixing jig disposed on the base, an air supply unit and an air discharge unit are provided to fix a shipping tray on which components are placed. A cleaner head movably disposed at a position on the front surface side of the tray fixing jig, and a magnetism generating hand disposed at a position on the back surface side of the tray fixing jig. The electromagnet has a structure in which a magnetic material and a nonmagnetic material are alternately stacked, and the tray fixing jig has a structure similar to that of the electromagnet. There is an air blow device characterized by the following.
[0008]
Therefore, according to this configuration, since the magnetism generating means is arranged at the position on the back surface side of the tray fixing jig, if a magnetic material is arranged at the position on the front surface side of the tray fixing jig, the magnetic material is arranged. Together with the material, the shipping tray can be magnetically attracted and fixed in the direction of the tray fixing jig. Therefore, the shipping tray can be securely fixed to the tray fixing jig without mechanically pressing and fixing the shipping tray or the like from above using a mechanical chuck. Further, according to this configuration, since it is not necessary to secure a very large space in the upper area of the tray fixing jig, the shipping tray on the tray fixing jig and the cleaner head are relatively close to each other. Therefore, air blow can be effectively applied to the components on the shipping tray from a short distance. That is, high cleaning ability can be maintained.
[0009]
The parts to be cleaned by this apparatus refer to various parts that are relatively small in size and desirably cleaned at the same time in a state of being placed on a shipping tray. Preferred examples thereof are electronic parts. Can be mentioned. Specific examples of the electronic component include a semiconductor package such as an organic package and a ceramic package, and various chip components (IC chip, chip resistor, chip capacitor, chip transistor, chip diode, chip coil, and the like). Of course, the cleaning target of this apparatus may be a component other than the electronic component.
[0010]
Here, the magnetic generator that can be used in this air blower Steps Needs to be arranged at a position on the back side of the tray fixing jig. If it is attempted to dispose this at the position on the surface side of the tray fixing jig, it becomes necessary to secure a certain amount of space in the upper region of the tray fixing jig, and the same problem as in the mechanical chuck occurs. Because. In that respect, if it is a position on the back side of the tray fixing jig, there is a certain amount of space, and if there is a configuration in which magnetism generating means is arranged there, the shipping tray and cleaner head on the tray fixing jig This is because an increase in the distance can be avoided.
[0011]
The magnetism generating means in this air blower is an electromagnet. Ru . If the electromagnet converts electric energy into magnetic energy, the direction and strength of the magnetic pole can be controlled relatively easily by arbitrarily changing the direction and magnitude of the supplied current. Therefore, for example, it is convenient when it is necessary to change the direction and strength of the magnetic pole (for example, when a demagnetization process described later is performed). On the other hand, a permanent magnet is economical because it does not require electrical energy, but it is difficult to control the direction and strength of the magnetic pole compared to an electromagnet. Further, if it is attempted to control the direction and strength of the magnetic poles by mechanical means, the configuration may be complicated or enlarged.
[0012]
The air blowing device may further include vacuum suction means for sucking and fixing the shipping tray in the tray fixing jig side direction. With the vacuum suction means, the shipping tray can be sucked and fixed in the direction of the tray fixing jig by the action of the vacuum suction force. Therefore, the vacuum attraction force of the vacuum attraction means acts in addition to the magnetic attraction force of the magnetism generation means, and the shipping tray can be more reliably fixed to the tray fixing jig. Further, with this configuration, foreign matter adhering to the back side of the shipping tray or the like can be removed by suction, and a higher degree of cleanliness can be realized.
[0013]
In the case where the air blowing device is provided with a vacuum suction means, a vacuum suction passage is formed which communicates the vacuum suction means (for example, a vacuum pump) and a vacuum suction hole opened on the tray mounting surface of the tray fixing jig. It is necessary to keep it. In this case, if a part of the evacuation passage is transparently provided in the tray fixing jig, the dimension of the tray fixing jig in the thickness direction is increased. Then, there is a possibility that the magnetic force of the magnetism generating means disposed at the back surface side position of the tray fixing jig does not easily reach the front surface side of the tray fixing jig.
[0014]
There so, The electromagnet Is It has a structure in which magnetic and non-magnetic materials are alternately stacked. With The tray fixture also has the same laminated structure as the electromagnet ing . If the tray fixing jig is configured using such a magnetic material, the magnetic flux generated by the magnetism generating means can be efficiently passed through the tray fixing jig. Therefore, the magnetic force of the magnetism generating means can be sufficiently applied to the surface side of the tray fixing jig, and a reduction in the fixing strength of the shipping tray with respect to the tray fixing jig can be prevented.
[0015]
Another solution is to have a base, a tray fixing jig disposed on the base, an air supply part and an air discharge part in order to fix the shipping tray on which the parts are placed. And an air blower comprising a cleaner head movably disposed at a position on the front surface side of the tray fixing jig and a magnetism generating means disposed at a position on the back surface side of the tray fixing jig. In the component manufacturing method including the step of cleaning the component, a pressing jig made of a magnetic material is arranged on the surface of the shipping tray, and the magnetism generating means is operated in this state, There is a method for manufacturing a component, which includes a step of performing air blow cleaning while sucking and fixing the holding jig in the tray fixing jig side direction.
[0016]
Therefore, according to the manufacturing method described above, the holding jig is placed on the surface of the shipping tray so that the shipping tray is fixed to the tray during air blow cleaning by magnetically attracting it in the direction of the tray fixing jig. It can be fixed by sucking in the jig side direction. Therefore, even if the momentum of air blow is set strongly, it is possible to prevent parts from being blown out, shipping trays to be displaced, and the like, and the parts can be cleaned effectively.
[0017]
The pressing jig preferably has two functions: a function of pressing a shipping tray to prevent displacement due to air blow, and a function of pressing a component to prevent blow-off due to air blow. In order to secure a large space in the upper region of the tray fixing jig, the pressing jig is preferably a plate having a small dimension in the thickness direction. Further, the pressing jig, which is a direct object to be adsorbed, is required to be made of a magnetic material, but is preferably not a magnet itself. Even if it is a pressing jig made of a magnet, it is possible to fix the shipping tray as a direct adsorbed object of the magnetism generating means. However, when air blow cleaning is performed on a component including a magnetic material, the component is attracted to the holding jig side, which may cause wrinkles or damage of the component. Therefore, in order to prevent the parts from being wrinkled or the like, it is preferable to configure the pressing jig using a magnetic material (such as a part of steel) that is not a magnet.
[0018]
Here, as an example of a component configured to include a magnetic material, a semiconductor package having a gold-plated pad that is a magnetic material, or a semiconductor package having a Kovar ring or lead frame that is a magnetic material, etc. And so on.
[0019]
After the air blow cleaning step, a demagnetization step for removing magnetism from the component is preferably performed. The reason is that if air blow cleaning is performed by operating the magnetism generating means, the part may become magnetized. If the magnetized part is shipped as a product, it may cause malfunction or the like. It is. Therefore, by removing the magnetism from the magnetized component, it is possible to eliminate the occurrence of malfunction or the like.
[0020]
In the demagnetizing step, the direction of the magnetic pole generated by the electromagnet as the magnetism generating means is preferably reversed in the air blow cleaning step. In this way, as a result of the magnetic force in the direction opposite to that during air blow cleaning acting on the component, the magnetism of the magnetized component can be reliably removed.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an ultrasonic air blowing device 11 according to an embodiment of the present invention and an electronic component manufacturing method using the same will be described in detail with reference to FIGS. The object to be cleaned in the present embodiment is a rectangular ceramic package 1 (component) having a crystal resonator and a SAW filter. A plurality of pads plated with gold is formed on the outer surface of the ceramic package 1.
[0022]
FIG. 1 is a partial schematic view showing an ultrasonic air blowing device 11 in the present embodiment. FIG. 2 is a plan view showing the shipping tray 41. FIG. 3 is a plan view showing the holding jig 51. FIG. 4 is a plan view showing the tray fixing jig 61. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing a state in which the shipping tray 41, the holding jig 51, the tray fixing jig 61, and the like are overlapped during use.
[0023]
As shown in FIG. 1, the ultrasonic air blow device 11 of this embodiment includes a base 12. The upper surface 13 of the base 12 is entirely covered with a dustproof cover 14 indicated by a two-dot chain line in FIG. The upper surface 13 of the base 12 is provided with a cleaner head 15 and various configurations for supporting and driving the cleaner head 15.
[0024]
A guide rail 16 is provided on the upper surface 13 so as to extend along the horizontal direction (that is, the left-right direction in FIG. 1). A pair of slider members 17 are slidably engaged on the guide rails 16, and a head support 18 is integrally provided on the upper portions of the slider members 17. A first motor bracket 19 is provided at the upper end of the head support 18, and the first motor 20 is fixed downward via the first motor bracket 19. The rotary shaft of the first motor 20 that is the head portion vertical driving means is connected to a screw member 21 of a ball screw for vertical driving. The screw member 21 extending along the vertical direction is screwed to a nut member 22 constituting a ball screw for vertical driving. The nut part Material 22 is connected to the head body 23. Therefore, when the first motor 20 is driven to rotate the screw member 21, the rotational motion is converted into a linear motion by the nut member 22, and the nut portion Material 22 and the head main body 23 move up and down integrally.
[0025]
In FIG. 1, a second motor bracket 31 is provided on the right side of the head support 18, and the second motor 32 is fixed laterally via the second motor bracket 31. The rotating shaft of the second motor 32 that is the head portion horizontal direction driving means is connected to a screw member 33 of a horizontal direction driving ball screw. The screw member 33 extending along the horizontal direction is screwed into a nut member 34 constituting a horizontal driving ball screw. The nut part Material 34 is fixed to the head support 18. Therefore, when the second motor 32 is driven to rotate the screw member 33, the rotational motion is converted into a linear motion by the nut member 34, and the nut portion Material 34, the head support 18 and the head body 23 are horizontally moved integrally. FIG. 1 also shows a state in which the head main body 23 has moved to a position near the tray fixing jig 61 (see the two-dot chain line in FIG. 1).
[0026]
One end of an air supply pipe 35 that is an air supply unit and one end of an air discharge pipe 36 that is an air discharge unit are connected to the side of the head body 23. The other end of the air supply pipe 35 is connected to an air compressor (not shown). From this air compressor, clean air to which ultrasonic vibration is applied is pumped. On the other hand, the other end of the air discharge pipe 36 is connected to a vacuum pump (not shown) so that air is sucked from the head main body 23 side to the vacuum pump side. A part of the air supply pipe 35 and a part of the air discharge pipe 36 are made of a stretchable material so that the head body 23 does not interfere with the vertical and horizontal movements. ing.
[0027]
As shown in FIG. 1, a tray fixing jig installation portion 37 is formed at a predetermined location on the upper surface 13 of the base 12. In the tray fixing jig installation portion 37, a tray fixing jig 61 for fixing the shipping tray 41 is installed.
[0028]
As shown in FIGS. 2 and 5, the shipping tray 41 of the present embodiment is a transparent plate-shaped molded product made of PET, and has a rectangular shape in plan view. On the surface side of the shipping tray 41, a large number of recesses 42 for accommodating components are formed in almost the entire area excluding the outer peripheral portion. The recesses 42 are formed in a size that can accommodate the ceramic package 1 (components), and are laid out in a lattice pattern on the surface side of the shipping tray 41. On the outer peripheral portion on the front side of the shipping tray 41, protrusions 43 are formed to improve the overall strength. A locking groove 44 is located on the back side of the protrusion 43, and the locking groove 44 can be locked to a predetermined portion on the tray fixing jig 61 side.
[0029]
As shown in FIGS. 3 and 5, the holding jig 51 placed on the front side of the shipping tray 41 is formed using a plate material made of SUS430, which is a kind of steel material having magnetism. The holding jig 51 of this embodiment is a substantially rectangular member that is slightly smaller in size than the shipping tray 41 and has a large number of holes 52 formed by etching. Since these punched holes 52 penetrate the front and back surfaces of the holding jig 51, air can pass through the punched holes 52. Further, these punched holes 52 are formed corresponding to the concave portions 42 for accommodating components in the shipping tray 41. A cross-shaped beam 53 is provided at the center of the punched hole 52, and the presence of this beam 53 reliably prevents the ceramic package 1 from popping out. The pressing jig 51 is placed in a state where it is superposed on the surface side of the shipping tray 41 and is surrounded from four sides by the protrusions 43.
[0030]
As shown in FIGS. 4 and 5, the tray fixing jig 61 of the present embodiment is configured using a plurality of types of metal materials, and has a substantially rectangular shape in plan view. On the upper surface of the jig main body 62 (that is, the tray mounting surface 67) constituting the tray fixing jig 61, a tray locking rib 63 having a shape and size substantially equal to the outer dimension of the shipping tray 41 is formed. Then, the shipping groove 41 on the back surface side of the shipping tray 41 is locked to the tray locking rib 63 so that the shipping tray 41 is positioned and fixed to the tray fixing jig 61. In the region surrounded by the tray locking rib 63 on the tray mounting surface 67 of the jig main body 62, a number of escape holes 64 that are slightly larger than the recesses 42 are formed corresponding to the recesses 42 of the shipping tray 41. ing. Therefore, when the shipping tray 41 is fixed to the tray fixing jig 61, the recessed portions 42 are disposed in the escape holes 64 and are in an escaped state. In the region, a plurality of vacuum drawing holes 65 opened at the tray mounting surface 67 are formed in a scattered manner. In addition, a plurality of evacuation passages 66 are provided in the jig main body 62. The starting end of the evacuating passage 66 communicates with the evacuating hole 65, and the ending end is connected to a vacuum pump (vacuum suction means) (not shown). Accordingly, by operating the vacuum pump, the air around the vacuum suction hole 65 is sucked through the vacuum suction passage 66, whereby the rear surface of the shipping tray 41 is fixed to the tray mounting surface 67. Yes.
[0031]
As shown in FIGS. 1 and 5, in the case of the present embodiment, an electromagnet 71 that is a magnetism generating means is disposed at a position on the back surface side of the tray fixing jig 61. The electromagnet 71 has a structure in which iron layers 72, which are magnetic materials, and brass layers 73, which are nonmagnetic materials, are alternately arranged in the horizontal direction. The electromagnet 71 is electrically connected to a power source via a direction changeover switch (both not shown). Accordingly, magnetism can be generated around the electromagnet 71 by energizing the electromagnet 71. Further, by operating the direction changeover switch, the direction of magnetism can be selectively switched between the upper direction and the lower direction in FIG.
[0032]
Further, as shown in FIG. 5, the jig main body 62 constituting the tray fixing jig 61 also has a structure in which iron layers 72 and brass layers 73 are alternately arranged in the horizontal direction and stacked, as with the electromagnet 71. It has become. Note that the iron layer 72 in the jig main body 62 is located immediately above the iron layer 72 in the electromagnet 71. Jig body 6 The brass layer 73 in FIG. 1 Is located immediately above the brass layer 73.
[0033]
Next, a cleaning method using the ultrasonic air blower 11 will be described.
[0034]
First, a shipping tray 41 with a large number of ceramic packages 1 mounted thereon is prepared, the shipping tray 41 is set on a tray fixing jig 61, and a holding jig 51 is set thereon (see FIG. 5). ).
[0035]
Here, by operating the electromagnet 71 and operating the vacuum pump, the holding jig 51 is attracted and fixed in the tray fixing jig 61 side direction (that is, downward). Then, the cleaner head 15 is driven, and air blow cleaning is performed while the head body 23 is reciprocated horizontally at a position above the shipping tray 41 and the holding jig 51. At this time, air pressure-fed through the air supply pipe 35 blows out from the head main body 23, and foreign matter on the surface of the ceramic package 1 is blown off by the momentum. The blown-out foreign matter is further sucked into the head body 23 together with air and then discharged to the outside through the air discharge pipe 36.
[0036]
After performing the air blow cleaning process as described above for a predetermined time, a demagnetization process for removing magnetism from the ceramic package 1 is then performed. Specifically, the direction changeover switch is switched so that the direction of the magnetic pole generated by the electromagnet 71 is reversed in the air blowing process. For example, if the direction of the magnetic pole in the air blowing process is upward, the direction of the magnetic pole is downward in the demagnetization process. When the demagnetization process is completed, the electromagnet 71 and the vacuum pump are temporarily stopped, the cleaned shipping tray 41 is removed, the uncleaned shipping tray 41 is newly set, and the same operation is performed.
[0037]
Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
[0038]
(1) In this embodiment, the electromagnet 71 is disposed at a position on the back side of the tray fixing jig 61. For this reason, the shipping tray 41 can be magnetically attracted and fixed in the direction of the tray fixing jig 61 side together with the holding jig 51 arranged at the position on the surface side of the tray fixing jig 61. Therefore, the shipping tray 41 can be reliably fixed to the tray fixing jig 61 without mechanically pressing and fixing the shipping tray 41 and the like from above using a mechanical chuck. Further, according to this configuration, it is not necessary to secure a large space in the upper area of the tray fixing jig 61, so that the shipping tray 41 on the tray fixing jig 61 and the head main body 23 of the cleaner head 15 are connected. It becomes a relatively close state. Therefore, air blow can be effectively applied to the ceramic package 1 on the shipping tray 41 from a short distance. That is, with the configuration of the air blowing device 11, a high cleaning ability can be maintained.
[0039]
(2) In this embodiment, the electromagnet 71 is used as the magnetism generating means, and is disposed at the position on the back surface side (lower surface side) of the tray fixing jig 61 having a sufficient space. Therefore, with the configuration in which the electromagnet 71 is disposed at such a location, it is not necessary to secure any space at the position on the front surface side (upper surface side) of the tray fixing jig 61. For this reason, an increase in the distance between the shipping tray 41 and the holding jig 51 on the tray fixing jig 61 and the head main body 23 of the cleaner head 15 can be avoided. Moreover, in this embodiment using the electromagnet 71, it is very convenient when performing the demagnetization process which requires the change of the direction of a magnetic pole.
[0040]
(3) The air blowing device 11 includes not only the electromagnet 71 but also a vacuum pump as means for sucking and fixing the shipping tray 41 toward the tray fixing jig 61. For this reason, in addition to the magnetic attraction force, the vacuum attraction force acts, and the shipping tray 41 can be more reliably fixed to the tray placement surface 67 of the tray fixing jig 61. Further, with this configuration, foreign matter adhering to the rear surface side of the shipping tray 41 can also be removed by suction, and a higher degree of cleanliness can be realized. Therefore, it is advantageous in cleaning electronic parts represented by the ceramic package 1.
[0041]
(4) In the present embodiment, in addition to the electromagnet 71 having a structure in which a magnetic material and a nonmagnetic material are alternately laminated, the tray fixing jig 61 has a laminated structure similar to that. Therefore, the magnetic flux generated by the electromagnet 71 can be efficiently passed through the tray fixing jig 61. Therefore, even if the jig main body 62 is formed thick due to the provision of the evacuation passage 66, the magnetic force of the electromagnet 71 can be sufficiently applied to the surface side of the tray fixing jig 61. For this reason, it is possible to prevent a decrease in the fixing strength of the shipping tray 41 with respect to the tray fixing jig 61.
[0042]
(5) The electronic component manufacturing method of the present embodiment is characterized in that the demagnetization step is performed after the air blow cleaning step. Therefore, even if the ceramic package 1 is magnetized at the time of air blow cleaning, the magnetism can be surely removed by the demagnetization process.
[0043]
(6) The holding jig 51 used in this embodiment is made of SUS430 and is made of a magnetic material that is not a magnet. Therefore, even if the ceramic package 1 that is the object to be cleaned is configured to include gold plating (magnetic material), it is not attracted to the holding jig 51 side. Therefore, cracking or peeling of the gold plating due to the contact with the pressing jig 51 is prevented, and the occurrence of defective products can be surely prevented.
[0044]
In addition, you may change embodiment of this invention as follows.
[0045]
In the embodiment, the demagnetizing step is also performed using the electromagnet 71 that is a means for attracting and fixing the shipping tray 41 in the direction of the tray fixing jig 61 together with the holding jig 51. Instead of this, the demagnetization step may be performed by magnetism generating means provided separately from the electromagnet 71.
[0046]
-Vacuum suction means such as a vacuum pump is not an essential component and can be omitted if not necessary.
[0047]
The holding jig 51 does not necessarily have a plate shape as in the above-described embodiment, and may be, for example, a mesh structure formed using a magnetic material.
[0048]
The air blow device 11 of the present invention may be embodied as a device that performs cleaning without applying ultrasonic waves to the air.
[0049]
Next, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the embodiment described above are listed below.
[0050]
(1) Claim 3 to 5 The method of manufacturing a part according to any one of the above, wherein the pressing jig is made of a magnetic material that is not a magnet.
[0051]
(2) Claim 3 to 5 The method of manufacturing a component according to any one of the above, wherein the pressing jig is made of a magnetic material that is not a magnet, and the component is an electronic component that includes the magnetic material.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial schematic view showing an ultrasonic air blowing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a shipping tray used in the embodiment.
FIG. 3 is a plan view showing a holding jig used in the embodiment.
FIG. 4 is a plan view showing a tray fixing jig used in the embodiment.
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing a state in which a tray fixing jig, a holding jig, a shipping tray and the like are overlapped during use.
[Explanation of symbols]
1. Ceramic package as a part
11 ... (ultrasonic) air blow device
12 ... Base
15 ... Cleaner head
35. Air supply pipe as an air supply unit
36 ... Air discharge pipe as air discharge section
41 ... Shipping tray
51 ... Holding jig
61 ... Tray fixing jig
71 ... Electromagnet as magnetism generating means
72 ... Iron layer as magnetic material
73 ... Brass layer as non-magnetic material

Claims

The base,
In order to fix the shipping tray on which the parts are placed, a tray fixing jig disposed on the base,
A cleaner head having an air supply part and an air discharge part, and arranged to be movable to a position on the surface side of the tray fixing jig;
Electromagnet and a magnetic generator hand stages arranged on the back side of the position of the tray fixture
The electromagnet has a structure in which a magnetic material and a nonmagnetic material are alternately laminated, and the tray fixing jig has a structure similar to that of the electromagnet.
Air blow device comprising a call.

The air blower according to claim 1 , further comprising vacuum suction means for sucking and fixing the shipping tray in the tray fixing jig side direction.

In order to fix the base and the shipping tray on which the parts are placed, the tray has a tray fixing jig disposed on the base, an air supply unit and an air discharge unit, and the surface side of the tray fixing jig Cleaning the component using an air blowing device including a cleaner head movably disposed at a position of the tray and magnetism generating means disposed at a position on the back side of the tray fixing jig. In the manufacturing method of parts,
A holding jig made of a magnetic material is placed on the surface of the shipping tray, and in this state, the magnetism generating means is operated to attract the holding jig toward the tray fixing jig side. A method of manufacturing a component, comprising a step of performing air blow cleaning while fixing.

The method for manufacturing a component according to claim 3 , wherein a demagnetization step of removing magnetism from the component is performed after the air blow cleaning step.

5. The method of manufacturing a component according to claim 4 , wherein in the demagnetizing step, the direction of the magnetic pole generated by the electromagnet as the magnetism generating means is reversed in the air blow cleaning step.